JP2001162525A - Driving device for double-side polishing device - Google Patents
Driving device for double-side polishing deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、シリコンウエハ
等のワークの両面を平坦に研磨する両面研磨装置の駆動
装置及び両面研磨装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a driving apparatus for a double-side polishing apparatus and a double-side polishing apparatus for polishing both surfaces of a work such as a silicon wafer evenly.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図１４は両面研磨装置に装備される従来
の駆動装置を示す正面図であり、図１５はその平面図で
ある。この駆動装置１００は、図１４及び図１５に示す
ように、モータ１０１と変速機１１０とを備えている。
具体的には、モータ１０１の回転軸１０２にプーリ１０
３が取り付けられ、このプーリ１０３に巻き付けられる
ベルト１０４が変速機１１０の入力軸１１１に取り付け
られたプーリ１１２に巻き付けられている。変速機１１
０は、内部に図示しないギア機構を有しており、入力軸
１１１の回転速度をこのギア機構を介して出力軸１１３
を所望の回転速度に変速することができるようになって
いる。この出力軸１１３には、ギアやプーリ等の回転体
１１４が取り付けられ、この回転体１１４の回転力を両
面研磨装置に伝達するようになっている。2. Description of the Related Art FIG. 14 is a front view showing a conventional driving device provided in a double-side polishing apparatus, and FIG. 15 is a plan view thereof. The drive device 100 includes a motor 101 and a transmission 110, as shown in FIGS.
Specifically, the pulley 10 is attached to the rotating shaft 102 of the motor 101.
The belt 104 wound around the pulley 103 is wound around a pulley 112 attached to an input shaft 111 of a transmission 110. Transmission 11
0 has a gear mechanism (not shown) inside, and controls the rotation speed of the input shaft 111 through this gear mechanism.
Can be changed to a desired rotational speed. A rotating body 114 such as a gear and a pulley is attached to the output shaft 113, and the rotating force of the rotating body 114 is transmitted to the double-side polishing apparatus.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の両面研
磨装置の駆動装置１００では、次のような問題があっ
た。駆動装置１００は、１つのモータ１０１で変速機１
１０の１本の出力軸１１３を回転させる構造であるの
で、両面研磨装置の回転部材の数だけ、駆動装置１００
が必要になる。図１６は、従来の駆動装置１００の組付
設置状態の一例を一部破断して示す正面図である。図１
６に示すように、両面研磨装置２００は、上定盤２１０
とサンギア２１１と下定盤２１２とインターナルギア２
１３とを有し、上定盤２１０を回転させるためのドライ
バ２１４がサンギア２１１の内側に配設された構造にな
っている。すなわち、両面研磨装置２００における回転
部材はサンギア２１１と下定盤２１２とインターナルギ
ア２１３とドライバ２１４とであり、これらの部材を回
転させるために、４台の駆動装置１００−１〜１００−
４を組付なければならない。具体的には、ドライバ２１
４の駆動用の駆動装置１００−１では、回転体１１４と
してのギア１１４が用いられ、このギア１１４がドライ
バ２１４下端部のギア２１４ａに噛合される。そして、
サンギア２１１の駆動用の駆動装置１００−２では、回
転体１１４としてのプーリ１１４が用いられ、このプー
リ１１４に巻き付けられたベルト１１４ａがサンギア２
１１下端部のプーリ２１１ａに巻き付けられる。同様
に、下定盤２１２の駆動用の駆動装置１００−３では、
ギア１１４が下定盤２１２のギア２１２ａと噛合され、
インターナルギア２１３の駆動用駆動装置１００−４で
は、プーリ１１４とインターナルギア２１３下端部のプ
ーリ２１３ａとにベルト１１４ａが巻き付けられる。こ
れにより、駆動装置１００−１〜１００−４の各モータ
１０１を駆動することで、上定盤２１０，サンギア２１
１，下定盤１２及びインターナルギア２１３を所望の回
転速度で回転させることができる。しかしながら、この
ように、４台の駆動装置１００−１〜１００−４を両面
研磨装置２００に組み付けると、１台の両面研磨装置２
００が専有するスペースが大きくなり、限られた面積の
工場内で多数の両面研磨装置２００を配備する事は困難
となる。さらに、４台の駆動装置１００−１〜１００−
４をそれぞれメンテナンスしなければならず、メンテナ
ンスが煩雑となる。特に、シリコンウエハや水晶等のワ
ーク研磨加工を行う工場では、短時間で大量のワークを
加工しなければならず、多数の両面研磨装置２００を配
置すると、そのメンテナンス作業が膨大なものとなる。The driving device 100 of the above-mentioned conventional double-side polishing apparatus has the following problems. The driving device 100 includes the transmission 1 with one motor 101.
Since the output shaft 113 has a structure for rotating one of the output shafts 113, the number of driving devices 100 is equal to the number of rotating members of the double-side polishing device.
Is required. FIG. 16 is a partially cutaway front view showing an example of an assembled and installed state of the conventional driving device 100. FIG.
As shown in FIG. 6, the double-side polishing apparatus 200 includes an upper platen 210
, Sun gear 211, lower surface plate 212 and internal gear 2
13 and a driver 214 for rotating the upper platen 210 is provided inside the sun gear 211. That is, the rotating members in the double-side polishing apparatus 200 are the sun gear 211, the lower platen 212, the internal gear 213, and the driver 214. In order to rotate these members, the four driving devices 100-1 to 100-
4 must be assembled. Specifically, the driver 21
In the fourth driving device 100-1, a gear 114 is used as the rotating body 114, and the gear 114 is meshed with a gear 214a at the lower end of the driver 214. And
In the driving device 100-2 for driving the sun gear 211, a pulley 114 serving as a rotating body 114 is used, and a belt 114a wound around the pulley 114 is
11 is wound around a pulley 211a at the lower end. Similarly, in the driving device 100-3 for driving the lower stool 212,
The gear 114 is engaged with the gear 212a of the lower platen 212,
In drive device 100-4 for driving internal gear 213, belt 114a is wound around pulley 114 and pulley 213a at the lower end of internal gear 213. By driving each of the motors 101 of the driving devices 100-1 to 100-4, the upper surface plate 210 and the sun gear 21 are driven.
1, the lower platen 12 and the internal gear 213 can be rotated at a desired rotation speed. However, as described above, when the four driving devices 100-1 to 100-4 are assembled to the double-side polishing device 200, one single-side polishing device 2
Since the space occupied by the 00 is large, it is difficult to provide a large number of double-side polishing apparatuses 200 in a factory having a limited area. Furthermore, four driving devices 100-1 to 100-
4 must be maintained, which makes the maintenance complicated. In particular, in a factory for polishing workpieces such as silicon wafers and quartz, a large number of workpieces must be processed in a short time, and if a large number of double-side polishing apparatuses 200 are arranged, the maintenance work becomes enormous.
【０００４】この発明は上述した課題を解決するために
なされたもので、小型の１台の駆動装置で両面研磨装置
の回転部材を全て駆動させることが可能な両面研磨装置
の駆動装置及び両面研磨装置を提供することを目的とす
るものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and a driving apparatus for a double-side polishing apparatus and a double-side polishing apparatus capable of driving all rotating members of the double-side polishing apparatus with one small driving apparatus. It is intended to provide a device.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１の発明は、１台以上の駆動源と、この駆動
源の回転速度を変速して両面研磨装置の上定盤，サンギ
ア，下定盤及びインターナルギアにそれぞれ伝達するた
めの上定盤変速部，サンギア変速部，下定盤変速部及び
インターナルギア変速部を有してなる１台の変速機とを
具備する両面研磨装置の駆動装置であって、変速機の上
定盤変速部を、 両面研磨装置の上定盤用回転軸に連結
するための連結部材とギヤとを有する上定盤用出力シャ
フトと、この上定盤用出力シャフトのギヤに噛合したギ
ア部とこのギア部が形成された軸部とを有し、この軸部
の少なくとも一方端部が変速機の筐体の外部に突出され
た状態で筐体内に回転自在に取り付けられた上定盤用入
力シャフトとで構成し、変速機のサンギア変速部を、両
面研磨装置のサンギア回転軸に連結するための連結部材
とギヤとを有し、上定盤用出力シャフトと同心状に上定
盤用出力シャフトの外側に軸受けを介して回転自在に取
り付けられたサンギア用出力シャフトと、このサンギア
用出力シャフトのギヤに噛合したギア部とこのギア部が
設けられた軸部とを有し、この軸部の少なくとも一方端
部が変速機の筐体の外部に突出された状態で筐体内に回
転自在に且つ上定盤用入力シャフトと平行に組み付けら
れたサンギア用入力シャフトとで構成し、変速機の下定
盤変速部を、両面研磨装置の下定盤回転軸に連結するた
めの連結部材とギアとを有し、サンギア用出力シャフト
と同心状にサンギア用出力シャフトの外側に軸受けを介
して回転自在に取り付けられた下定盤用出力シャフト
と、この下定盤用出力シャフトのギヤに噛合したギア部
とこのギア部が設けられた軸部とを有し、この軸部の少
なくとも一方端部が変速機の筐体の外部に突出された状
態で筐体内に回転自在に且つサンギア用入力シャフトと
平行に組み付けられた下定盤用入力シャフトとで構成
し、変速機のインターナルギア変速部は、両面研磨装置
のインターナルギア回転軸に連結するための連結部材と
ギアとを有し、下定盤用出力シャフトと同心状に下定盤
用出力シャフトの外側に軸受けを介して回転自在に取り
付けられたインターナルギア用出力シャフトと、インタ
ーナルギア用出力シャフトのギヤに噛合したギア部とこ
のギア部が設けられた軸部とを有し、この軸部の少なく
とも一方端部が変速機の筐体の外部に突出された状態で
筐体内に回転自在に且つ下定盤用入力シャフトと平行に
組み付けられたインターナルギア用入力シャフトとで構
成し、１台以上の駆動源を、上定盤用入力シャフト，サ
ンギア用入力シャフト，下定盤用入力シャフト及びイン
ターナルギア用入力シャフトの各一方端部に、動力伝達
部材を介して連結した構成としてある。かかる構成によ
り、変速機の上定盤変速部の上定盤用出力シャフト，サ
ンギア変速部のサンギア用出力シャフト，下定盤変速部
の下定盤用出力シャフト及びインターナルギア変速部の
インターナルギア用出力シャフトの各連結部材を、両面
研磨装置の上定盤用回転軸，サンギア回転軸，下定盤回
転軸及びインターナルギア回転軸にそれぞれ連結した状
態で、１台以上の駆動源を駆動させると、一方端部が駆
動源に動力伝達部材を介して連結された上定盤用入力シ
ャフト，サンギア用入力シャフト，下定盤用入力シャフ
ト及びインターナルギア用入力シャフトに、駆動源の回
転が伝達される。そして、その軸部が変速機の筐体内に
回転自在に取り付けられたこれらの入力シャフトがそれ
ぞれ回転する。すると、これらの入力シャフトのギア部
にそれぞれ噛合されたギアを有した上定盤用出力シャフ
ト，サンギア用出力シャフト，定盤用出力シャフト及び
インターナルギア用出力シャフトがそれぞれのギアの歯
数に対応した回転速度で回転する。これにより、上定盤
用出力シャフトに連結された両面研磨装置の上定盤用回
転軸が回転し、この上定盤用回転軸に連結された上定盤
が所定速度で回転する。また、サンギア用出力シャフ
ト，下定盤用出力シャフト及びインターナルギア用出力
シャフトに連結されたサンギア回転軸，下定盤回転軸及
びインターナルギア回転軸がそれぞれ所定速度で回転す
る。In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 includes at least one drive source and an upper surface plate of a double-side polishing apparatus by changing the rotation speed of the drive source. A double-side polishing apparatus comprising a transmission having an upper platen transmission portion, a sun gear transmission portion, a lower platen transmission portion and an internal gear transmission portion for transmitting to a sun gear, a lower platen and an internal gear, respectively. An output shaft for an upper surface plate, comprising: a driving device, a coupling member and a gear for connecting an upper surface transmission portion of a transmission to an upper surface rotation shaft of a double-side polishing device; A gear portion meshed with the gear of the output shaft for use and a shaft portion on which the gear portion is formed, and at least one end of the shaft portion is inserted into the housing of the transmission in a state where the shaft portion projects outside the housing. Consists of a rotatable upper surface plate input shaft And a connecting member and a gear for connecting the sun gear transmission portion of the transmission to the sun gear rotating shaft of the double-side polishing device, and the outer side of the upper surface plate output shaft concentrically with the upper surface plate output shaft. A sun gear output shaft rotatably mounted via a bearing, a gear portion meshed with a gear of the sun gear output shaft, and a shaft portion provided with the gear portion, at least one end of the shaft portion; A sun gear input shaft rotatably mounted in the housing in a state where the portion protrudes outside the housing of the transmission, and an input shaft for a sun gear assembled in parallel with the input shaft for the upper surface plate. A coupling member and a gear for coupling to a lower platen rotating shaft of a double-side polishing device, and a lower member rotatably mounted via a bearing concentrically with the sun gear output shaft via a bearing. Board An output shaft, a gear portion meshed with a gear of the lower surface plate output shaft, and a shaft portion provided with the gear portion, at least one end of the shaft portion protruding outside the casing of the transmission. In this state, the input shaft for the lower surface plate is rotatably mounted in the housing and parallel to the input shaft for the sun gear, and the internal gear transmission of the transmission is connected to the internal gear rotation shaft of the double-side polishing machine. An output shaft for an internal gear, which is rotatably mounted via a bearing concentrically with the output shaft for the lower surface plate via a bearing, and A housing having a gear meshed with a gear of a shaft and a shaft provided with the gear, wherein at least one end of the shaft is projected outside the housing of the transmission; And an input shaft for an internal gear assembled in parallel with the input shaft for the lower surface plate, and at least one drive source is provided with an input shaft for the upper surface plate, an input shaft for the sun gear, and an input shaft for the lower surface plate. It is configured to be connected to one end of each of the shaft and the input shaft for the internal gear via a power transmission member. With this configuration, the output shaft for the upper surface plate of the upper surface portion of the transmission, the output shaft for the sun gear of the sun gear transmission portion, the output shaft for the lower surface portion of the lower surface portion, and the output shaft for the internal gear of the internal gear transmission portion. When one or more driving sources are driven in a state in which each of the connecting members is connected to the upper surface plate rotating shaft, the sun gear rotating shaft, the lower surface plate rotating shaft, and the internal gear rotating shaft, respectively, of the double-side polishing apparatus, one end is driven. The rotation of the drive source is transmitted to an input shaft for an upper surface plate, an input shaft for a sun gear, an input shaft for a lower surface plate, and an input shaft for an internal gear whose parts are connected to the drive source via a power transmission member. Then, these input shafts whose shafts are rotatably mounted in the housing of the transmission rotate. Then, the output shaft for the upper surface plate, the output shaft for the sun gear, the output shaft for the surface plate, and the output shaft for the internal gear having the gears meshed with the gear portions of these input shafts correspond to the number of teeth of each gear. At the specified rotation speed. Thereby, the rotating shaft for the upper surface plate of the double-side polishing apparatus connected to the output shaft for the upper surface plate rotates, and the upper surface plate connected to the rotating shaft for the upper surface plate rotates at a predetermined speed. Further, the sun gear rotation shaft, the lower surface plate rotation shaft, and the internal gear rotation shaft connected to the sun gear output shaft, the lower surface plate output shaft, and the internal gear output shaft rotate at predetermined speeds.
【０００６】出力シャフトの各ギヤと入力シャフトの各
ギア部として、各種ギアを用いることができる。その一
例として、請求項２の発明は、請求項１に記載の両面研
磨装置の駆動装置において、上定盤用出力シャフト，サ
ンギア用出力シャフト，下定盤用出力シャフト及びイン
ターナルギア用出力シャフトの各ギヤは、ウォームホィ
ールギアであり、上定盤用入力シャフト，サンギア用入
力シャフト，下定盤用入力シャフト及びインターナルギ
ア用入力シャフトの各ギア部は、ウォームホィールギア
と噛合するウォームギアである構成とした。Various gears can be used as each gear of the output shaft and each gear of the input shaft. As an example, the invention of claim 2 is a driving device for a double-side polishing apparatus according to claim 1, wherein each of the output shaft for an upper surface plate, the output shaft for a sun gear, the output shaft for a lower surface plate, and the output shaft for an internal gear. The gears are worm wheel gears, and each gear portion of the upper surface plate input shaft, the sun gear input shaft, the lower surface plate input shaft, and the internal gear input shaft is a worm gear that meshes with the worm wheel gear. .
【０００７】ところで、４台の駆動源で変速機の４本の
入力シャフトをそれぞれ駆動すると、各出力シャフトの
トルクを大きくすることが可能である。そこで、請求項
３の発明は、請求項１または請求項２に記載の両面研磨
装置の駆動装置において、駆動源を４台設け、各駆動源
を、上定盤用入力シャフト，サンギア用入力シャフト，
下定盤用入力シャフト及びインターナルギア用入力シャ
フトの各一方端部に動力伝達部材を介してそれぞれ連結
した構成としてある。これに対して、設置スペースの面
を考慮すると、少ない台数の駆動源で変速機を駆動する
ことが好ましい。そこで、請求項４の発明は、請求項１
または請求項２に記載の両面研磨装置の駆動装置におい
て、駆動源を３台設け、各駆動源を、上定盤用入力シャ
フト，サンギア用入力シャフト，下定盤用入力シャフト
及びインターナルギア用入力シャフトの内のいずれか３
本の入力シャフトの各一方端部に動力伝達部材を介して
それぞれ連結すると共に、これら３本の入力シャフトの
内の１本の入力シャフトの一方端部と駆動源が連結され
ていない入力シャフトの一方端部とを動力伝達部材を介
して連結した構成としてある。また、請求項５の発明
は、請求項１または請求項２に記載の両面研磨装置の駆
動装置において、駆動源を２台設け、各駆動源を、上定
盤用入力シャフト，サンギア用入力シャフト，下定盤用
入力シャフト及びインターナルギア用入力シャフトの内
のいずれか２本の入力シャフトの各一方端部に動力伝達
部材を介してそれぞれ連結すると共に、これら２本の入
力シャフトのいずれか又は双方の一方端部と駆動源が連
結されていない２本の入力シャフトの一方端部とを動力
伝達部材を介して連結した構成としてある。さらに、請
求項７の発明は、請求項１ないし請求項３いずれかに記
載の両面研磨装置の駆動装置において、１台の駆動源
を、上定盤用入力シャフト，サンギア用入力シャフト，
下定盤用入力シャフト及びインターナルギア用入力シャ
フトの内のいずれか１本の入力シャフトの一方端部に動
力伝達部材を介して連結すると共に、この入力シャフト
の一方端部と駆動源が連結されていない３本の入力シャ
フトの一方端部とを動力伝達部材を介して連結した構成
としてある。When the four input shafts of the transmission are driven by four drive sources, the torque of each output shaft can be increased. Accordingly, a third aspect of the present invention is the driving apparatus for a double-side polishing apparatus according to the first or second aspect, wherein four driving sources are provided, and each driving source is connected to an upper surface plate input shaft and a sun gear input shaft. ,
The input shaft for the lower stool and the input shaft for the internal gear are connected to one end of each via a power transmission member. On the other hand, in consideration of installation space, it is preferable to drive the transmission with a small number of drive sources. Therefore, the invention of claim 4 is based on claim 1
3. The drive device for a double-side polishing apparatus according to claim 2, wherein three drive sources are provided, and each drive source is provided with an input shaft for an upper surface plate, an input shaft for a sun gear, an input shaft for a lower surface plate, and an input shaft for an internal gear. Any of the three
One of the three input shafts is connected to one end of each of the three input shafts via a power transmission member, and one end of one of the three input shafts is connected to one end of the input shaft to which the drive source is not connected. One end is connected via a power transmission member. According to a fifth aspect of the present invention, in the driving device for a double-side polishing apparatus according to the first or second aspect, two driving sources are provided, and each driving source is connected to an input shaft for an upper surface plate and an input shaft for a sun gear. , The lower shaft plate input shaft and the internal gear input shaft are respectively connected to one end of each of the input shafts via a power transmission member, and either or both of the two input shafts are connected to each other. And one end of two input shafts to which no drive source is connected are connected via a power transmission member. Further, according to a seventh aspect of the present invention, in the driving device for the double-side polishing apparatus according to any one of the first to third aspects, one drive source is connected to an input shaft for an upper surface plate, an input shaft for a sun gear,
One of the input shafts for the lower surface plate input shaft and the internal gear input shaft is connected to one end of the input shaft via a power transmission member, and one end of the input shaft is connected to a drive source. One of the three input shafts is connected to one end via a power transmission member.
【０００８】なお、動力伝達部材の好例として、請求項
７の発明は、請求項１ないし請求項６のいずれかに記載
の両面研磨装置の駆動装置において、動力伝達部材を、
入力シャフトの一方端部及び駆動源の回転軸にそれぞれ
取り付けたプーリと、一対のプーリに巻き付けられた無
端ベルトとで構成した。[0008] As a preferred example of the power transmission member, the invention of claim 7 is a drive device for a double-side polishing apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein
It consisted of pulleys attached to one end of the input shaft and the rotating shaft of the drive source, respectively, and an endless belt wound around a pair of pulleys.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。 （第１の実施形態）図１は、この発明の第１の実施形態
に係る両面研磨装置の駆動装置を示す正面断面図であ
り、図２はこの駆動装置の正面図であり、図３はこの駆
動装置の右側面図であり、図４はこの駆動装置の左側面
図である。この実施形態の駆動装置は、図１及び図２に
示すように、１台の変速機１と４台の駆動モータ８（駆
動源）とで構成されている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. (First Embodiment) FIG. 1 is a front sectional view showing a driving device of a double-side polishing apparatus according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view of this driving device, and FIG. FIG. 4 is a right side view of the driving device, and FIG. 4 is a left side view of the driving device. As shown in FIGS. 1 and 2, the drive device of this embodiment includes one transmission 1 and four drive motors 8 (drive sources).
【００１０】変速機１は、駆動モータ８の回転速度を所
望の回転速度に変えて両面研磨装置の上定盤，サンギ
ア，下定盤及びインターナルギアに伝達するための機器
であり、上定盤変速部２とサンギア変速部３と下定盤変
速部４とインターナルギア変速部５とを有している。The transmission 1 is a device for changing the rotation speed of the drive motor 8 to a desired rotation speed and transmitting the changed rotation speed to an upper surface plate, a sun gear, a lower surface plate, and an internal gear of the double-side polishing apparatus. It has a section 2, a sun gear transmission section 3, a lower platen transmission section 4, and an internal gear transmission section 5.
【００１１】上定盤変速部２は、駆動モータ８（以下、
「駆動モータ８−１」と記す）の回転速度を変速して上
定盤に伝達するための部分であり、上定盤用出力シャフ
ト２０と上定盤用入力シャフト２５とを組み合わせた構
造になっている。具体的には、上定盤用出力シャフト２
０の上端部に、後述する上定盤用回転軸に連結するため
のフランジ２１（連結部材）が形成され、下端部に、ウ
ォームホィールギア２２が設けられている。そして、か
かる上定盤用出力シャフト２０が、垂直方向に向けら
れ、変速機１の筐体１０に軸受１１によって回転自在に
支持されている。一方、上定盤用入力シャフト２５は、
図５に示すように、軸部２６の略中央部にウォームギア
２７を有した構造になっている。そして、ウォームギア
２７をウォームホィールギア２２に噛合させた状態で、
筐体１０に水平に取り付けられ、軸部２６の両端部が図
示しない軸受によって回転自在に支持されている。ま
た、この上定盤用入力シャフト２５の軸部２６の先端部
２６ａ（一方端部）は、筐体１０の外部に突出されてい
る。The upper platen transmission 2 includes a drive motor 8 (hereinafter, referred to as a drive motor 8).
This is a portion for changing the rotation speed of the "drive motor 8-1" and transmitting the rotation speed to the upper surface plate. The output shaft 20 for the upper surface plate and the input shaft 25 for the upper surface plate are combined. Has become. Specifically, the upper surface plate output shaft 2
A flange 21 (connecting member) for connecting to an upper surface plate rotating shaft, which will be described later, is formed at the upper end of the bracket 0, and a worm wheel gear 22 is provided at the lower end. The upper surface plate output shaft 20 is vertically oriented, and is rotatably supported by the housing 11 of the transmission 1 by the bearing 11. On the other hand, the upper surface plate input shaft 25 is
As shown in FIG. 5, a worm gear 27 is provided at a substantially central portion of the shaft portion 26. Then, with the worm gear 27 meshed with the worm wheel gear 22,
It is mounted horizontally on the housing 10, and both ends of the shaft 26 are rotatably supported by bearings (not shown). Further, a tip end portion 26 a (one end portion) of the shaft portion 26 of the upper surface plate input shaft 25 projects outside the housing 10.
【００１２】また、図１及び図２において、サンギア変
速部３は、駆動モータ８（以下、「駆動モータ８−２」
と記す）の回転速度を変速してサンギアに伝達するため
の部分であり、サンギア用出力シャフト３０とサンギア
用入力シャフト３５とを組み合わせた構造になってい
る。具体的には、サンギア用出力シャフト３０の上端部
に、後述するサンギア回転軸に連結するためのフランジ
３１（連結部材）が形成され、下端部に、ウォームホィ
ールギア３２が設けられている。そして、サンギア用出
力シャフト３０が、上定盤用出力シャフト２０と同心状
に配され、上定盤用出力シャフト２０の外側に軸受３３
を介して回転自在に取り付けられている。一方、サンギ
ア用入力シャフト３５は、図６に示すように、軸部３６
の略中央部にウォームギア３７を有した構造になってい
る。サンギア用入力シャフト３５が、ウォームギア３７
をウォームホィールギア３２に噛合させた状態で、上定
盤用入力シャフト２５と平行になるように筐体１０に組
み付けられている。このサンギア用入力シャフト３５の
軸部３６も軸部２６と同様に、その両端部が図示しない
軸受によって回転自在に支持され、その先端部３６ａ
（一方端部）が、筐体１０の外部に突出されている。1 and 2, a sun gear transmission 3 is provided with a drive motor 8 (hereinafter referred to as "drive motor 8-2").
) Is transmitted to the sun gear by changing the rotation speed, and has a structure in which the sun gear output shaft 30 and the sun gear input shaft 35 are combined. Specifically, a flange 31 (connection member) for connecting to a sun gear rotation shaft described later is formed at an upper end of the sun gear output shaft 30, and a worm wheel gear 32 is provided at a lower end. The sun gear output shaft 30 is disposed concentrically with the upper surface plate output shaft 20, and a bearing 33 is provided outside the upper surface plate output shaft 20.
It is rotatably mounted via. On the other hand, the sun gear input shaft 35 is, as shown in FIG.
Has a worm gear 37 at a substantially central portion thereof. The sun gear input shaft 35 is
Are engaged with the worm wheel gear 32 and are assembled to the housing 10 so as to be parallel to the upper surface plate input shaft 25. Similarly to the shaft 26, the shaft 36 of the sun gear input shaft 35 is rotatably supported at both ends by bearings (not shown).
(One end) is projected outside the housing 10.
【００１３】また、図１及び図２に示すように、下定盤
変速部４は、駆動モータ８（以下、「駆動モータ８−
３」と記す）の回転速度を変速して下定盤に伝達するた
めの部分であり、下定盤用出力シャフト４０と下定盤用
入力シャフト４５とを組み合わせた構造になっており、
サンギア変速部３とほぼ同構造である。すなわち、下定
盤用出力シャフト４０の上端部に、後述する下定盤回転
軸に連結するためのフランジ４１（連結部材）が形成さ
れ、そして、下端部に、ウォームホィールギア４２が設
けられている。そして、下定盤用出力シャフト４０が、
サンギア用出力シャフト３０と同心状に配され、サンギ
ア用出力シャフト３０の外側に軸受４３を介して回転自
在に取り付けられている。また、サンギア用入力シャフ
ト４５も、図６に示すように、軸部４６の略中央部にウ
ォームギア４７を有した構造になっており、ウォームギ
ア４７をウォームホィールギア４２に噛合させた状態
で、サンギア用入力シャフト３５と平行になるように筐
体１０に組み付けられている。そして、この下定盤用入
力シャフト４５の軸部４６も軸部３６と同様に、その両
端部が軸受４９によって回転自在に支持され、その先端
部４６ａ（一方端部）が筐体１０の外部に突出されてい
る。As shown in FIGS. 1 and 2, the lower platen transmission 4 includes a drive motor 8 (hereinafter referred to as a "drive motor 8-
3) is transmitted to the lower surface plate by changing the rotation speed of the lower surface plate, and has a structure in which an output shaft 40 for the lower surface plate and an input shaft 45 for the lower surface plate are combined.
It has substantially the same structure as the sun gear transmission unit 3. That is, a flange 41 (connecting member) is formed at the upper end of the lower platen output shaft 40 to be connected to a lower platen rotating shaft described later, and a worm wheel gear 42 is provided at the lower end. And the lower surface plate output shaft 40 is
It is arranged concentrically with the sun gear output shaft 30 and is rotatably attached to the outside of the sun gear output shaft 30 via a bearing 43. As shown in FIG. 6, the sun gear input shaft 45 also has a structure in which a worm gear 47 is provided substantially at the center of the shaft portion 46. The worm gear 47 meshes with the worm wheel gear 42, and the sun gear It is assembled to the housing 10 so as to be parallel to the input shaft 35. Similarly to the shaft portion 36, the shaft portion 46 of the lower surface plate input shaft 45 is rotatably supported at both ends by bearings 49, and the front end portion 46a (one end portion) of the shaft portion 46 is located outside the housing 10. It is protruding.
【００１４】さらに、図１及び図２において、インター
ナルギア変速部５は、駆動モータ８（以下、「駆動モー
タ８−４」と記す）の回転速度を変速してインターナル
ギアに伝達するための部分であり、インターナルギア用
出力シャフト５０とインターナルギア用入力シャフト５
５とを組み合わせた構造になっており、下定盤変速部４
とほぼ同構造である。すなわち、インターナルギア用出
力シャフト５０の上端部に、後述するインターナルギア
回転軸に連結するためのフランジ５１（連結部材）が形
成され、そして、下端部に、ウォームホィールギア５２
が設けられている。そして、インターナルギア用出力シ
ャフト５０が、下定盤用出力シャフト４０と同心状に配
され、下定盤用出力シャフト４０の外側に軸受５３を介
して回転自在に取り付けられると共に、筐体１０の軸受
１２によって回転自在に支持されている。また、インタ
ーナルギア用入力シャフト５５も、図５に示すように、
軸部５６の略中央部にウォームギア５７を有した構造に
なっており、ウォームギア５７をウォームホィールギア
５２に噛合させた状態で、下定盤用入力シャフト４５と
平行になるように筐体１０に組み付けられている。そし
て、このインターナルギア用入力シャフト５５の軸部５
６も軸部４６と同様に、その両端部が軸受５９によって
回転自在に支持され、その先端部５６ａ（一方端部）が
筐体１０の外部に突出されている。Further, in FIGS. 1 and 2, an internal gear transmission section 5 is a portion for changing the rotational speed of a drive motor 8 (hereinafter referred to as "drive motor 8-4") and transmitting the rotation speed to the internal gear. The output shaft 50 for the internal gear and the input shaft 5 for the internal gear
5 and the lower platen transmission section 4
It has almost the same structure. That is, a flange 51 (connecting member) for connecting to an internal gear rotating shaft described later is formed at an upper end of the internal gear output shaft 50, and a worm wheel gear 52 is formed at the lower end.
Is provided. The output shaft 50 for the internal gear is disposed concentrically with the output shaft 40 for the lower stool, and is rotatably mounted on the outside of the output shaft 40 for the lower stool via a bearing 53. It is rotatably supported by. Also, as shown in FIG. 5, the input shaft 55 for the internal gear is
A worm gear 57 is provided at a substantially central portion of the shaft portion 56. The worm gear 57 is engaged with the worm wheel gear 52 and assembled to the housing 10 so as to be parallel to the input shaft 45 for the lower platen. Have been. The shaft 5 of the internal gear input shaft 55
Similarly to the shaft 46, both ends of the shaft 6 are rotatably supported by bearings 59, and the front end 56 a (one end) is projected outside the housing 10.
【００１５】上記のように構成された変速機１に駆動力
を伝達する駆動源は、図１〜図４に示すように、上記４
台の駆動モータ８−１〜８−４でなる。As shown in FIGS. 1 to 4, the driving source for transmitting the driving force to the transmission 1 having the above-described structure is the same as that shown in FIGS.
It consists of two drive motors 8-1 to 8-4.
【００１６】駆動モータ８−１は、変速機１の筐体１０
の右側面下位に固定されており、動力伝達部材６−１を
介して上定盤変速部２に連結されている。具体的には、
駆動モータ８−１の回転軸８ａと上定盤変速部２の上定
盤用入力シャフト２５の先端部２６ａとに、動力伝達部
材６−１を構成する一対のプーリ６０−１，６１−１が
取り付けられ、これら一対のプーリ６０−１，６１−１
に、これら一対のプーリ６０−１，６１−１と共に動力
伝達部材６−１を構成する無端ベルト６２−１が巻き付
けられている。The drive motor 8-1 is connected to the housing 10 of the transmission 1.
And is connected to the upper platen transmission 2 via a power transmission member 6-1. In particular,
A pair of pulleys 60-1 and 61-1 forming a power transmission member 6-1 are provided between the rotation shaft 8a of the drive motor 8-1 and the tip 26a of the upper surface plate input shaft 25 of the upper surface plate transmission unit 2. Are attached, and the pair of pulleys 60-1, 61-1
An endless belt 62-1 constituting the power transmission member 6-1 is wound around the pair of pulleys 60-1 and 61-1.
【００１７】駆動モータ８−２は、変速機１の筐体１０
の左側面下位に固定されており、動力伝達部材６−２を
介してサンギア変速部３に連結されている。すなわち、
駆動モータ８−２の回転軸８ａ，８ａとサンギア用入力
シャフト３５の先端部４６ａ，５６ａとに、一対のプー
リ６０−２，６１−２が取り付けられ、これら一対のプ
ーリ６０−２，６１−２に、無端ベルト６２−２が巻き
付けられている。The drive motor 8-2 is connected to the housing 10 of the transmission 1.
And is connected to the sun gear transmission 3 via a power transmission member 6-2. That is,
A pair of pulleys 60-2, 61-2 are attached to the rotating shafts 8a, 8a of the drive motor 8-2 and the tip portions 46a, 56a of the sun gear input shaft 35, and the pair of pulleys 60-2, 61- 2, an endless belt 62-2 is wound.
【００１８】同様にして、駆動モータ８−３，８−４
も、筐体１０の左側面上位，右側面中位にそれぞれ固定
されており、動力伝達部材６−３，６−４を介して下定
盤変速部４，インターナルギア変速部５に連結されてい
る。すなわち、駆動モータ８−３，８−４の回転軸８ａ
と下定盤用入力シャフト４５及びインターナルギア用入
力シャフト５５の先端部３６ａとに、一対のプーリ６０
−３，６１−３及び６０−４，６１−４がそれぞれ取り
付けられ、プーリ６０−３，６１−３及び６０−４，６
１−４に、無端ベルト６２−３，６２−４がそれぞれ巻
き付けられている。Similarly, drive motors 8-3, 8-4
Are also fixed to the upper left side surface and the middle right side surface of the housing 10, respectively, and are connected to the lower platen transmission unit 4 and the internal gear transmission unit 5 via power transmission members 6-3 and 6-4. . That is, the rotation shaft 8a of the drive motors 8-3 and 8-4.
A pair of pulleys 60 are attached to the input shaft 45 for the lower platen and the tip 36a of the input shaft 55 for the internal gear.
-3, 61-3 and 60-4, 61-4 are respectively attached, and pulleys 60-3, 61-3 and 60-4, 6 are attached.
Endless belts 62-3 and 62-4 are respectively wound around 1-4.
【００１９】次に、この実施形態の駆動装置の使用例と
その動作について説明する。図７は、駆動装置の使用例
とその動作とを説明するための断面図である。まず、駆
動装置を両面研磨装置２００に使用する例について述べ
る。図７に示すように、両面研磨装置２００は、同心状
に組み付けられたサンギア２１１と下定盤２１２とイン
ターナルギア２１３とを有し、これらの組付体の上に上
定盤２１０を有した構造となっている。図７において、
符号３１０が上定盤用回転軸であり、その上端にドライ
バ２１４を有している。ドライバ２１４には、溝２１４
ａが刻設されており、図の破線で示すように、上定盤２
１０の下降時に、この溝２１４ａが上定盤２１０側のフ
ック２１０ａと係合するようになっている。また、この
上定盤用回転軸３１０の下端部には、変速機１のフラン
ジ２１と連結可能なフランジ３１１が設けられている。
そして、上定盤用回転軸３１０の外側に、サンギア回転
軸３２０，下定盤回転軸３３０及びインターナルギア回
転軸３４０が回転自在に取り付けられており、これらサ
ンギア回転軸３２０，下定盤回転軸３３０及びインター
ナルギア回転軸３４０の下端部には、変速機１のフラン
ジ３１，４１，５１にそれぞれ連結可能なフランジ３２
１，３３１，３４１が設けられている。Next, a description will be given of an example of use of the driving device of this embodiment and its operation. FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating an example of use of the drive device and its operation. First, an example in which the driving device is used in the double-side polishing device 200 will be described. As shown in FIG. 7, the double-side polishing apparatus 200 has a sun gear 211, a lower surface plate 212, and an internal gear 213 which are concentrically mounted, and a structure having an upper surface plate 210 on these assembled bodies. It has become. In FIG.
Reference numeral 310 denotes an upper surface plate rotating shaft, which has a driver 214 at its upper end. The driver 214 has a groove 214
a is engraved, and as shown by a broken line in FIG.
The groove 214a engages with the hook 210a on the upper stool 210 when the 10 is lowered. In addition, a flange 311 that can be connected to the flange 21 of the transmission 1 is provided at a lower end of the upper surface plate rotating shaft 310.
A sun gear rotation shaft 320, a lower surface plate rotation shaft 330, and an internal gear rotation shaft 340 are rotatably mounted outside the upper surface plate rotation shaft 310, and the sun gear rotation shaft 320, the lower surface plate rotation shaft 330, and the At the lower end of the internal gear rotation shaft 340, a flange 32 connectable to the flanges 31, 41, 51 of the transmission 1, respectively.
1, 331, 341 are provided.
【００２０】したがって、駆動装置を上記両面研磨装置
２００に組み付けるには、駆動装置を両面研磨装置２０
０の下側に配し、上定盤用回転軸３１０，サンギア回転
軸３２０，下定盤回転軸３３０及びインターナルギア回
転軸３４０のフランジ３１１，３２１，３３１，３４１
に、変速機１のフランジ２１，３１，４１，５１を図示
しないボルトなどでそれぞれ連結する。かかる状態で、
ワークＷを保持したキャリア２２０を、サンギア２１１
及びインターナルギア２１３に噛合させた状態で下定盤
２１２上に載置する。しかる後、図７の破線で示すよう
に、上定盤２１０を下降させ、上定盤２１０のフック２
１０ａをドライバ２１４の溝２１４ａに係合させる。Therefore, in order to assemble the drive unit into the double-side polishing apparatus 200, the drive unit must be mounted on the double-side polishing apparatus 20.
0, and the flanges 311, 321, 331, and 341 of the upper surface plate rotation shaft 310, the sun gear rotation shaft 320, the lower surface plate rotation shaft 330, and the internal gear rotation shaft 340.
The flanges 21, 31, 41, 51 of the transmission 1 are connected to each other with bolts (not shown). In such a state,
The carrier 220 holding the work W is moved to the sun gear 211.
And is placed on the lower platen 212 in a state of being meshed with the internal gear 213. Thereafter, as shown by a broken line in FIG.
10a is engaged with the groove 214a of the driver 214.
【００２１】この状態で、駆動モータ８−１を駆動する
と、駆動モータ８−１の回転軸８ａに取り付けられた動
力伝達部材６−１のプーリ６０−１が回転し、プーリ６
０−１の回転が、無端ベルト６２−１を介して、図１に
示す変速機１の上定盤変速部２を構成する上定盤用入力
シャフト２５の先端部２６ａに取り付けられたプーリ６
１−１に伝達される。これにより、上定盤用入力シャフ
ト２５が回転し、この回転がウォームギア２７に噛合し
た上定盤用出力シャフト２０のウォームホィールギア２
２に伝達され、上定盤用出力シャフト２０がウォームホ
ィールギア２２の歯数に対応した速度で回転する。この
結果、上定盤用出力シャフト２０のフランジ２１に連結
された上定盤用回転軸３１０が回転し、上定盤用回転軸
３１０のドライバ２１４に係合された上定盤２１０が上
定盤用出力シャフト２０と同方向に同速度で回転する。When the drive motor 8-1 is driven in this state, the pulley 60-1 of the power transmission member 6-1 attached to the rotating shaft 8a of the drive motor 8-1 rotates,
The rotation of 0-1 is performed via the endless belt 62-1 by the pulley 6 attached to the distal end portion 26a of the input shaft 25 for the upper surface plate constituting the upper surface plate transmission portion 2 of the transmission 1 shown in FIG.
1-1. As a result, the input shaft 25 for the upper stool rotates, and the rotation of the input shaft 25 for the upper stool is meshed with the worm gear 27.
2 and the upper platen output shaft 20 rotates at a speed corresponding to the number of teeth of the worm wheel gear 22. As a result, the rotation shaft 310 for the upper surface plate connected to the flange 21 of the output shaft 20 for the upper surface plate rotates, and the upper surface plate 210 engaged with the driver 214 of the rotation shaft 310 for the upper surface plate rotates. It rotates at the same speed in the same direction as the output shaft 20 for the panel.
【００２２】また、駆動モータ８−２を駆動すると、動
力伝達部材６−２の無端ベルト６２−２が巻き付けられ
た一対のプーリ６０−２，６１−２が回転し、変速機１
のサンギア変速部３を構成するサンギア用入力シャフト
３５が回転する。これにより、サンギア用入力シャフト
３５の回転が、ウォームギア３７に噛合したサンギア用
出力シャフト３０のウォームホィールギア３２に伝達さ
れ、サンギア用出力シャフト３０が上定盤用出力シャフ
ト２０の外側で回転する。この結果、サンギア２１１が
サンギア用出力シャフト３０と一体に回転する。When the drive motor 8-2 is driven, the pair of pulleys 60-2 and 61-2 around which the endless belt 62-2 of the power transmission member 6-2 is wound rotate, and the transmission 1
The sun gear input shaft 35 that constitutes the sun gear transmission unit 3 rotates. Thus, the rotation of the sun gear input shaft 35 is transmitted to the worm wheel gear 32 of the sun gear output shaft 30 meshed with the worm gear 37, and the sun gear output shaft 30 rotates outside the upper surface plate output shaft 20. As a result, the sun gear 211 rotates integrally with the sun gear output shaft 30.
【００２３】同様にして、駆動モータ８−３を駆動する
と、動力伝達部材６−３の作用によって、変速機１の下
定盤変速部４を構成する下定盤用入力シャフト４５が回
転し、ウォームギア４７とウォームホィールギア４２と
の噛合によって、下定盤用入力シャフト４５の回転が、
下定盤用出力シャフト４０に伝達される。この結果、下
定盤２１２が下定盤用出力シャフト４０と一体に回転す
る。また、駆動モータ８−４を駆動すると、動力伝達部
材６−４の作用によって、変速機１のインターナルギア
変速部５のインターナルギア用入力シャフト５５が回転
する。そして、ウォームギア５７とウォームホィールギ
ア５２との噛合によって、下定盤用入力シャフト４５の
回転が、インターナルギア用出力シャフト５０に伝達さ
れ、インターナルギア２１３がインターナルギア用出力
シャフト５０と一体に回転する。Similarly, when the drive motor 8-3 is driven, the input shaft 45 for the lower platen constituting the lower platen transmission section 4 of the transmission 1 is rotated by the action of the power transmission member 6-3, and the worm gear 47 is driven. The rotation of the lower platen input shaft 45 is
The power is transmitted to the lower surface plate output shaft 40. As a result, the lower stool 212 rotates integrally with the lower stool output shaft 40. When the drive motor 8-4 is driven, the input shaft 55 for the internal gear of the internal gear transmission 5 of the transmission 1 is rotated by the action of the power transmission member 6-4. Then, the rotation of the lower platen input shaft 45 is transmitted to the internal gear output shaft 50 by the engagement of the worm gear 57 and the worm wheel gear 52, and the internal gear 213 rotates integrally with the internal gear output shaft 50.
【００２４】この実施形態の駆動装置によって上記のよ
うに上定盤２１０とサンギア２１１と下定盤２１２とイ
ンターナルギア２１３とを回転させることができるが、
これら上定盤２１０とサンギア２１１と下定盤２１２と
インターナルギア２１３の回転方向は、駆動モータ８−
１〜８−４の回転方向で設定することができ、回転速度
は、動力伝達部材６−１〜６−４のプーリ６０−１〜６
０−４，６１−１〜６１−４の直径及びウォームホィー
ルギア２２，３２，４２，５２の歯数で設定することが
できる。したがって、これらの回転方向や回転速度を予
め所望方向及び所望値に設定した上で、上定盤２１０と
サンギア２１１と下定盤２１２とインターナルギア２１
３とを回転させることにより、キャリア２２０が自転し
ながらサンギア２１１の周りを公転し、キャリア２２０
で保持されたワークＷを回転する上定盤２１０と下定盤
２１２とによって所望研磨レートで両面研磨することが
できる。With the driving device of this embodiment, the upper surface plate 210, the sun gear 211, the lower surface plate 212, and the internal gear 213 can be rotated as described above.
The rotation direction of the upper stool 210, the sun gear 211, the lower stool 212, and the internal gear 213 is determined by the drive motor 8-
The rotation speed can be set in any one of the rotation directions 1 to 8-4, and the rotation speed can be set in the pulleys 60-1 to 60-6 of the power transmission members 6-1 to 6-4.
It can be set by the diameter of 0-4, 61-1 to 61-4 and the number of teeth of the worm wheel gears 22, 32, 42, 52. Therefore, after setting these rotation directions and rotation speeds to desired directions and desired values in advance, the upper platen 210, the sun gear 211, the lower platen 212, and the internal gear 21
3, the carrier 220 revolves around the sun gear 211 while rotating.
The work W held by the above can be polished on both sides at a desired polishing rate by the upper platen 210 and the lower platen 212 rotating.
【００２５】このように、この実施形態の両面研磨装置
の駆動装置によれば、１台の変速機１に４台の駆動モー
タ８が一体に組み付けた構成であるので、駆動装置全体
が小型である。したがって、図７に示すように、この駆
動装置を組み付けた両面研磨装置２００の専有スペース
を小さくすることができる。この結果、限られた面積の
工場内で多数の両面研磨装置２００を配備して、ワーク
Ｗの大量生産が可能となる。さらに、小型だけでなく、
駆動装置の構造も簡単なので、駆動装置のメンテナンス
を容易且つ迅速に行うことができる。As described above, according to the driving apparatus of the double-side polishing apparatus of this embodiment, since the four driving motors 8 are integrally assembled with one transmission 1, the entire driving apparatus is small. is there. Therefore, as shown in FIG. 7, the exclusive space of the double-side polishing apparatus 200 to which the driving device is assembled can be reduced. As a result, a large number of double-side polishing apparatuses 200 are provided in a factory having a limited area, and mass production of the work W becomes possible. In addition to being small,
Since the structure of the driving device is simple, maintenance of the driving device can be performed easily and quickly.
【００２６】（第２の実施形態）図８は、この発明の第
２の実施形態に係る駆動装置の正面図である。この実施
形態は、駆動モータ８−３を除いて、駆動源を３台にし
た点が上記第１の実施形態と異なる。具体的には、駆動
モータ８−１，８−２，８−４及び動力伝達部材６−
１，６−２，６−４の取付状態は、上記第１の実施形態
と同様とし、下定盤変速部４の下定盤用入力シャフト４
５の先端部４６ａに取り付けられたプーリ６１−３とサ
ンギア変速部３のサンギア用入力シャフト３５の先端部
３６ａに取り付けられたプーリ６１−２とに無端ベルト
６４を巻き付けた。これにより、駆動モータ８−２の駆
動すると、その駆動力がプーリ６１−２を介してサンギ
ア変速部３に伝達されると共に、無端ベルト６４とプー
リ６１−３とを介して、下定盤変速部４に伝達される。
かかる構成により、部品点数が削減され、駆動装置のさ
らなる小型化が図られる。その他の構成，作用効果は上
記第１の実施形態と同様であるので、その記載は省略す
る。(Second Embodiment) FIG. 8 is a front view of a driving device according to a second embodiment of the present invention. This embodiment is different from the first embodiment in that three drive sources are used except for the drive motor 8-3. Specifically, the drive motors 8-1, 8-2, 8-4 and the power transmission member 6-
The mounting state of 1, 6-2, 6-4 is the same as that of the first embodiment, and the lower platen transmission shaft 4 has an input shaft 4 for lower platen.
The endless belt 64 was wound around a pulley 61-3 attached to the tip end 46a of the No. 5 and a pulley 61-2 attached to the tip end 36a of the input shaft 35 for the sun gear of the sun gear transmission section 3. As a result, when the drive motor 8-2 is driven, the driving force is transmitted to the sun gear transmission unit 3 via the pulley 61-2, and the lower platen transmission unit via the endless belt 64 and the pulley 61-3. 4 is transmitted.
With this configuration, the number of components is reduced, and the drive device is further reduced in size. The other configuration, operation, and effect are the same as those of the first embodiment, and the description thereof is omitted.
【００２７】（第３の実施形態）図９は、この発明の第
３の実施形態に係る駆動装置の正面図である。この実施
形態は、さらに駆動モータ８−４を除いて、駆動源を２
台にした点が上記第２の実施形態と異なる。具体的に
は、駆動モータ８−１，８−２及び動力伝達部材６−
１，６−２の取付状態は、上記第２の実施形態と同様と
し、上定盤変速部２の上定盤用入力シャフト２５の先端
部２６ａに取り付けられたプーリ６１−１とインターナ
ルギア変速部５のインターナルギア用入力シャフト５５
の先端部５６ａに取り付けられたプーリ６１−４とに無
端ベルト６５を巻き付けた。これにより、駆動モータ８
−１を駆動すると、その駆動力がプーリ６１−１を介し
て上定盤変速部２に伝達されると共に、無端ベルト６５
とプーリ６１−４とを介して、インターナルギア変速部
５に伝達される。かかる構成により、駆動装置のより一
層の小型化が図られる。その他の構成，作用効果は上記
第２の実施形態と同様であるので、その記載は省略す
る。(Third Embodiment) FIG. 9 is a front view of a driving device according to a third embodiment of the present invention. In this embodiment, the drive source is 2 except for the drive motor 8-4.
This embodiment differs from the second embodiment in that it is mounted on a table. Specifically, the drive motors 8-1, 8-2 and the power transmission member 6-
The mounting state of 1, 6-2 is the same as that of the second embodiment, and the pulley 61-1 attached to the tip end 26a of the upper surface plate input shaft 25 of the upper surface speed changer 2 and the internal gear speed changer. Input shaft 55 for internal gear of section 5
The endless belt 65 is wound around a pulley 61-4 attached to the tip end portion 56a. Thereby, the drive motor 8
-1 is transmitted to the upper platen transmission 2 via the pulley 61-1 and the endless belt 65 is driven.
The transmission is transmitted to the internal gear transmission 5 via the pulley 61-4. With this configuration, the drive device can be further reduced in size. The other configuration, operation, and effect are the same as those of the second embodiment, and the description is omitted.
【００２８】（第４の実施形態）図１０は、この発明の
第４の実施形態に係る駆動装置の正面図である。この実
施形態は、さらに駆動モータ８−２以外の全ての駆動モ
ータを除いて、駆動源を１台にした点が上記第１ないし
第３の実施形態と異なる。具体的には、駆動モータ８−
２及び動力伝達部材６−２の取付状態は、上記第１ない
し第３の実施形態と同様であるが、サンギア用入力シャ
フト３５のプーリ６１−２から下定盤用入力シャフト４
５のプーリ６１−３とインターナルギア用入力シャフト
５５のプーリ６１−４と上定盤用入力シャフト２５のプ
ーリ６１−１とに無端ベルト６４，６６，６７をそれぞ
れ巻き付けた。これにより、駆動モータ８−２を駆動す
ると、その駆動力が無端ベルト６４，６６，６７を介し
て下定盤変速部４，インターナルギア変速部５及び上定
盤変速部２に伝達される。その他の構成，作用効果は上
記第１ないし第３の実施形態と同様であるので、その記
載は省略する。(Fourth Embodiment) FIG. 10 is a front view of a driving device according to a fourth embodiment of the present invention. This embodiment is different from the first to third embodiments in that only one drive source is provided except for all the drive motors other than the drive motor 8-2. Specifically, the drive motor 8-
2 and the power transmission member 6-2 are mounted in the same manner as in the first to third embodiments, except that the pulley 61-2 of the sun gear input shaft 35 to the lower surface plate input shaft 4
Endless belts 64, 66, and 67 were wound around a pulley 61-3 of No. 5, a pulley 61-4 of the input shaft 55 for the internal gear, and a pulley 61-1 of the input shaft 25 for the upper surface plate, respectively. Thus, when the drive motor 8-2 is driven, the driving force is transmitted to the lower platen transmission unit 4, the internal gear transmission unit 5, and the upper platen transmission unit 2 via the endless belts 64, 66, 67. The other configuration, operation, and effect are the same as those of the first to third embodiments, and thus description thereof is omitted.
【００２９】なお、この発明は、上記実施形態に限定さ
れるものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の
変形や変更が可能である。例えば、上記実施形態では、
上定盤用出力シャフト，サンギア用出力シャフト，下定
盤用出力シャフト及びインターナルギア用出力シャフト
のギアをウォームホィールギア２２，３２，４２，５２
とし、上定盤用入力シャフト，サンギア用入力シャフ
ト，サンギア用入力シャフト及びインターナルギア用入
力シャフトのギア部をウォームギア２７，３７，４７，
５７としたが、図１１に示すように、各出力シャフトの
ギアと各入力シャフトのギア部をそれぞれ傘歯車７０，
７１としても良い。また、上記第３の実施形態では、サ
ンギア用入力シャフト３５のプーリ６１−２と下定盤用
入力シャフト４５のプーリ６１−３とに無端ベルト６４
を巻き付けると共に、上定盤用入力シャフト２５のプー
リ６１−１とインターナルギア用入力シャフト５５のプ
ーリ６１−４とに無端ベルト６５を巻き付けた構成とし
たが、図１２に示すように、サンギア用入力シャフト３
５のプーリ６１−２から下定盤用入力シャフト４５のプ
ーリ６１−３とインターナルギア用入力シャフト５５の
プーリ６１−４とに無端ベルト６４，６６を巻き付ける
構成としても良い。また、上記第４の実施形態では、プ
ーリ６１−２からプーリ６１−３，６１−４，６１−１
にそれぞれ無端ベルト６４，６６，６７をそれぞれ巻き
付けた構成としたが、図１３に示すように、１つの無端
ベルト６７を４つのプーリ６１−１〜６１−４の全てに
巻き付け、プーリ６１−２を駆動回転させることで、他
の３つのプーリ６１−１，６１−３，６１−４を従動回
転させる構成としても良い。さらに、上記実施形態で
は、動力伝達部材として、一対のプーリと無端ベルトを
用いたが、駆動モータ８−１〜８−４と上定盤用入力シ
ャフト２５とサンギア用入力シャフト３５と下定盤用入
力シャフト４５とインターナルギア用入力シャフト５５
とにそれぞれギヤを取り付け、これらのギアの噛合によ
って、駆動モータ８−１〜８−４の駆動力を上定盤用入
力シャフト２５とサンギア用入力シャフト３５と下定盤
用入力シャフト４５とインターナルギア用入力シャフト
５５とに伝達するように構成しても良い。この際、一対
のギア間を遊びギアで連結し又はチェーンで連結するこ
ともできる。The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications and changes can be made within the scope of the present invention. For example, in the above embodiment,
The worm wheel gears 22, 32, 42, and 52 are used to connect the upper surface plate output shaft, the sun gear output shaft, the lower surface plate output shaft, and the internal gear output shaft.
The gears of the upper surface plate input shaft, sun gear input shaft, sun gear input shaft and internal gear input shaft are worm gears 27, 37, 47,
As shown in FIG. 11, the gears of each output shaft and the gear portion of each input shaft are bevel gears 70 and 70, respectively.
It may be 71. In the third embodiment, the endless belt 64 is attached to the pulley 61-2 of the input shaft 35 for the sun gear and the pulley 61-3 of the input shaft 45 for the lower stool.
And the endless belt 65 is wound around the pulley 61-1 of the input shaft 25 for the upper stool and the pulley 61-4 of the input shaft 55 for the internal gear, but as shown in FIG. Input shaft 3
The endless belts 64 and 66 may be wound around the pulley 61-2 of No. 5 and the pulley 61-3 of the input shaft 45 for the lower surface plate and the pulley 61-4 of the input shaft 55 for the internal gear. In the fourth embodiment, the pulleys 61-2 to 61-3, 61-4, 61-1
The endless belts 64, 66, and 67 are wound around each of the pulleys. However, as shown in FIG. 13, one endless belt 67 is wound around all of the four pulleys 61-1 to 61-4, and the pulley 61-2 is wound. , The other three pulleys 61-1, 61-3, 61-4 may be driven to rotate. Further, in the above-described embodiment, a pair of pulleys and an endless belt are used as the power transmission members. However, the drive motors 8-1 to 8-4, the upper surface plate input shaft 25, the sun gear input shaft 35, and the lower surface plate Input shaft 45 and input shaft 55 for internal gear
Gears are respectively attached to the gears, and the driving forces of the drive motors 8-1 to 8-4 are transmitted by the meshing of these gears. It may be configured to transmit to the input shaft 55 for use. At this time, the pair of gears may be connected by a play gear or by a chain.
【００３０】[0030]
【発明の効果】以上詳しく説明したように、この発明の
両面研磨装置の駆動装置によれば、最大４台の駆動源の
回転速度を１台の変速機で変速して、両面研磨装置の上
定盤，サンギア，下定盤及びインターナルギアに伝達す
ることができるので、駆動装置全体を非常に小型にする
ことができ、この結果、この駆動装置を組み付けた両面
研磨装置の専有スペースを小さくすることができる。し
たがって、限られた面積の工場内で多数の両面研磨装置
を配備することが可能となる。さらに、１台の駆動装置
をメンテナンスすれば足りるので、駆動装置のメンテナ
ンスを容易且つ迅速に行うことができる。したがって、
迅速なメンテナンスが可能であるので、この発明の駆動
装置を、多数の両面研磨装置が設置されているシリコン
ウエハ等のワーク研磨加工工場で用いることで、ワーク
の大量生産を実現することができる。As described above in detail, according to the driving apparatus for the double-side polishing apparatus of the present invention, the rotational speed of a maximum of four driving sources is changed by one transmission, and the rotational speed of the double-side polishing apparatus is increased. Since the power can be transmitted to the surface plate, the sun gear, the lower surface plate, and the internal gear, the entire drive device can be made very small, and as a result, the exclusive space of the double-side polishing device to which the drive device is assembled can be reduced. Can be. Therefore, a large number of double-side polishing apparatuses can be provided in a factory having a limited area. Further, maintenance of one drive device is sufficient, so that maintenance of the drive device can be performed easily and quickly. Therefore,
Since quick maintenance is possible, mass production of a workpiece can be realized by using the drive device of the present invention in a factory for polishing a silicon wafer or the like in which a large number of double-side polishing apparatuses are installed.
【図１】この発明の第１の実施形態に係る両面研磨装置
の駆動装置を示す正面断面図である。FIG. 1 is a front sectional view showing a driving device of a double-side polishing apparatus according to a first embodiment of the present invention.
【図２】駆動装置の正面図である。FIG. 2 is a front view of the driving device.
【図３】駆動装置の右側面図である。FIG. 3 is a right side view of the driving device.
【図４】駆動装置の左側面図である。FIG. 4 is a left side view of the driving device.
【図５】駆動装置の右側断面図である。FIG. 5 is a right side sectional view of the driving device.
【図６】駆動装置の左側断面図である。FIG. 6 is a left side sectional view of the driving device.
【図７】駆動装置の使用例とその動作とを説明するため
の断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating an example of use of a driving device and its operation.
【図８】この発明の第２の実施形態に係る駆動装置の正
面図である。FIG. 8 is a front view of a driving device according to a second embodiment of the present invention.
【図９】この発明の第３の実施形態に係る駆動装置の正
面図である。FIG. 9 is a front view of a driving device according to a third embodiment of the present invention.
【図１０】この発明の第４の実施形態に係る駆動装置の
正面図である。FIG. 10 is a front view of a driving device according to a fourth embodiment of the present invention.
【図１１】第１の実施形態の変形例を示す断面図であ
る。FIG. 11 is a cross-sectional view showing a modification of the first embodiment.
【図１２】第３の実施形態の変形例を示す正面図であ
る。FIG. 12 is a front view showing a modification of the third embodiment.
【図１３】第４の実施形態の変形例を示す正面図であ
る。FIG. 13 is a front view showing a modification of the fourth embodiment.
【図１４】両面研磨装置に装備される従来の駆動装置を
示す正面図である。FIG. 14 is a front view showing a conventional driving device provided in the double-side polishing apparatus.
【図１５】図１４の駆動装置の平面図である。FIG. 15 is a plan view of the driving device of FIG.
【図１６】従来の駆動装置の組付設置状態の一例を一部
破断して示す正面図である。FIG. 16 is a partially cutaway front view showing an example of an assembled installation state of a conventional drive device.
１…変速機１、 ２…上定盤変速部、 ３…サンギア変
速部、 ４…下定盤変部、 ５…インターナルギア変速
部、 ６−１〜６−４…動力伝達部材、 ８，８−１〜
８−４…駆動モータ（駆動源）、 １０…筐体、 ２
１，３１，４１，５１…フランジ（連結部材）、 ２０
…上定盤用出力シャフト、 ２２，３２，４２，５２…
ウォームホィールギア、 ２５…上定盤用入力シャフ
ト、 ２６，３６，４６，５６…軸部、 ２６ａ，３６
ａ，４６ａ，５６ａ…先端部（一方端部）、 ２７，３
７，４７，５７…ウォームギア、 ３０…サンギア用出
力シャフト、 ３５…サンギア用入力シャフト、 ４０
…下定盤用出力シャフト、 ４５…下定盤用入力シャフ
ト、 ５０…インターナルギア用出力シャフト、 ５５
…インターナルギア用入力シャフト、 ６０−１〜６０
−４，６１−１〜６１−４…プーリ、 ６２−１〜６２
−４…無端ベルト、 ３１０…上定盤用回転軸、３２０
…サンギア回転軸、 ３３０…下定盤回転軸、 ３４０
…インターナルギア回転軸。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Transmission 1, 2 ... Upper platen transmission part, 3 ... Sun gear transmission part, 4 ... Lower platen transformation part, 5 ... Internal gear transmission part, 6-1-6-4 ... Power transmission member, 8, 8- 1 to
8-4: drive motor (drive source), 10: housing, 2
1, 31, 41, 51 ... flange (connection member), 20
… Output shaft for upper surface plate, 22, 32, 42, 52…
Worm wheel gear, 25: input shaft for upper surface plate, 26, 36, 46, 56: shaft portion, 26a, 36
a, 46a, 56a: tip (one end), 27, 3
7, 47, 57: worm gear, 30: output shaft for sun gear, 35: input shaft for sun gear, 40
... Output shaft for lower surface plate, 45 ... Input shaft for lower surface plate, 50 ... Output shaft for internal gear, 55
... Input shaft for internal gear, 60-1 to 60
-4, 61-1 to 61-4 ... pulleys, 62-1 to 62
-4: endless belt, 310: rotary shaft for upper platen, 320
… Sun gear rotation axis, 330… Lower table rotation axis, 340
... internal gear rotation axis.
Claims (7)
速度を変速して両面研磨装置の上定盤，サンギア，下定
盤及びインターナルギアにそれぞれ伝達するための上定
盤変速部，サンギア変速部，下定盤変速部及びインター
ナルギア変速部を有してなる１台の変速機とを具備する
両面研磨装置の駆動装置であって、 上記変速機の上定盤変速部を、 両面研磨装置の上定盤用回転軸に連結するための連結部
材とギヤとを有する上定盤用出力シャフトと、 この上定盤用出力シャフトのギヤに噛合したギア部とこ
のギア部が形成された軸部とを有し、この軸部の少なく
とも一方端部が上記変速機の筐体の外部に突出された状
態で上記筐体内に回転自在に取り付けられた上定盤用入
力シャフトとで構成し、 上記変速機のサンギア変速部を、 両面研磨装置のサンギア回転軸に連結するための連結部
材とギヤとを有し、上記上定盤用出力シャフトと同心状
に上定盤用出力シャフトの外側に軸受けを介して回転自
在に取り付けられたサンギア用出力シャフトと、 このサンギア用出力シャフトのギヤに噛合したギア部と
このギア部が設けられた軸部とを有し、この軸部の少な
くとも一方端部が上記変速機の筐体の外部に突出された
状態で上記筐体内に回転自在に且つ上記上定盤用入力シ
ャフトと平行に組み付けられたサンギア用入力シャフト
とで構成し、 上記変速機の下定盤変速部を、 両面研磨装置の下定盤回転軸に連結するための連結部材
とギアとを有し、上記サンギア用出力シャフトと同心状
にサンギア用出力シャフトの外側に軸受けを介して回転
自在に取り付けられた下定盤用出力シャフトと、 この下定盤用出力シャフトのギヤに噛合したギア部とこ
のギア部が設けられた軸部とを有し、この軸部の少なく
とも一方端部が上記変速機の筐体の外部に突出された状
態で上記筐体内に回転自在に且つ上記サンギア用入力シ
ャフトと平行に組み付けられた下定盤用入力シャフトと
で構成し、 上記変速機のインターナルギア変速部は、 両面研磨装置のインターナルギア回転軸に連結するため
の連結部材とギアとを有し、上記下定盤用出力シャフト
と同心状に下定盤用出力シャフトの外側に軸受けを介し
て回転自在に取り付けられたインターナルギア用出力シ
ャフトと、 上記インターナルギア用出力シャフトのギヤに噛合した
ギア部とこのギア部が設けられた軸部とを有し、この軸
部の少なくとも一方端部が上記変速機の筐体の外部に突
出された状態で上記筐体内に回転自在に且つ上記下定盤
用入力シャフトと平行に組み付けられたインターナルギ
ア用入力シャフトとで構成し、 １台以上の駆動源を、上定盤用入力シャフト，サンギア
用入力シャフト，下定盤用入力シャフト及びインターナ
ルギア用入力シャフトの各上記一方端部に、動力伝達部
材を介して連結した、 ことを特徴とする両面研磨装置の駆動装置。1. An at least one drive source, and an upper platen transmission section for changing the rotational speed of the drive source and transmitting the rotational speed to an upper platen, a sun gear, a lower platen, and an internal gear of a double-side polishing machine, respectively. What is claimed is: 1. A drive device for a double-side polishing machine, comprising: a transmission having a sun gear transmission portion, a lower platen transmission portion, and an internal gear transmission portion. An output shaft for the upper stool having a connecting member and a gear for connecting to the rotating shaft for the upper stool, a gear portion meshed with the gear of the output shaft for the upper stool, and the gear portion are formed. And an upper surface plate input shaft rotatably mounted in the housing with at least one end of the shaft protruding outside the housing of the transmission. The sun gear transmission section of the transmission is a double-side polishing device. A sun gear having a connecting member and a gear for connecting to the sun gear rotating shaft, and rotatably mounted via a bearing outside the upper surface plate output shaft concentrically with the upper surface plate output shaft. An output shaft, a gear portion meshed with the gear of the sun gear output shaft, and a shaft portion provided with the gear portion, at least one end of the shaft portion protrudes outside the casing of the transmission. An input shaft for a sun gear rotatably mounted in the housing in the housing and in parallel with the input shaft for the upper surface plate, and a lower surface plate transmission portion of the transmission, a lower surface plate of a double-side polishing apparatus. A lower platen output shaft having a connecting member and a gear for connecting to the rotating shaft, and rotatably mounted via a bearing concentrically with the sun gear output shaft outside the sun gear output shaft via a bearing. A gear portion meshed with the gear of the lower surface plate output shaft, and a shaft portion provided with the gear portion, at least one end of the shaft portion protruding outside the casing of the transmission. An input shaft for the lower surface plate, which is rotatably mounted in the housing in the state and parallel to the input shaft for the sun gear, and an internal gear transmission portion of the transmission is provided on an internal gear rotating shaft of the double-side polishing device. An internal gear output shaft having a connecting member and a gear for connection, rotatably attached via a bearing to the outside of the lower surface plate output shaft concentrically with the lower surface plate output shaft, and A gear portion meshed with the gear of the output shaft for gears, and a shaft portion provided with the gear portion, at least one end of the shaft portion protrudes outside the casing of the transmission. An input shaft for an internal gear, which is rotatably mounted in the housing and parallel to the input shaft for the lower surface plate, and at least one drive source is provided with an input shaft for the upper surface plate and a sun gear. A drive device for a double-side polishing machine, characterized in that each of the input shafts, the lower surface plate input shaft, and the internal gear input shaft is connected to one end of the input shaft via a power transmission member.
置において、 上記上定盤用出力シャフト，サンギア用出力シャフト，
下定盤用出力シャフト及びインターナルギア用出力シャ
フトの各ギヤは、ウォームホィールギアであり、 上記上定盤用入力シャフト，サンギア用入力シャフト，
下定盤用入力シャフト及びインターナルギア用入力シャ
フトの各ギア部は、上記ウォームホィールギアと噛合す
るウォームギアである、 ことを特徴とする両面研磨装置の駆動装置。2. The driving device for a double-side polishing apparatus according to claim 1, wherein the upper surface plate output shaft, the sun gear output shaft,
Each gear of the lower surface plate output shaft and the internal gear output shaft is a worm wheel gear, and the upper surface plate input shaft, the sun gear input shaft,
The drive device for a double-side polishing apparatus, wherein each gear portion of the lower surface plate input shaft and the internal gear input shaft is a worm gear that meshes with the worm wheel gear.
磨装置の駆動装置において、 駆動源を４台設け、各駆動源を、上定盤用入力シャフ
ト，サンギア用入力シャフト，下定盤用入力シャフト及
びインターナルギア用入力シャフトの各上記一方端部に
動力伝達部材を介してそれぞれ連結した、 ことを特徴とする両面研磨装置の駆動装置。3. The drive device for a double-side polishing apparatus according to claim 1, wherein four drive sources are provided, and each drive source is connected to an input shaft for an upper surface plate, an input shaft for a sun gear, and a lower surface plate. A drive device for a double-side polishing apparatus, wherein each of the input shaft and the input shaft for an internal gear is connected to the one end via a power transmission member.
磨装置の駆動装置において、 駆動源を３台設け、各駆動源を、上定盤用入力シャフ
ト，サンギア用入力シャフト，下定盤用入力シャフト及
びインターナルギア用入力シャフトの内のいずれか３本
の入力シャフトの各上記一方端部に動力伝達部材を介し
てそれぞれ連結すると共に、これら３本の入力シャフト
の内の１本の入力シャフトの上記一方端部と上記駆動源
が連結されていない入力シャフトの上記一方端部とを動
力伝達部材を介して連結した、 ことを特徴とする両面研磨装置の駆動装置。4. The driving apparatus for a double-side polishing apparatus according to claim 1, wherein three driving sources are provided, and each driving source is connected to an input shaft for an upper surface plate, an input shaft for a sun gear, and a lower surface plate. Any one of the three input shafts of the input shaft and the input shaft for the internal gear is connected to the one end of the input shaft via a power transmission member, and one of the three input shafts is one of the input shafts. The drive device of the double-side polishing apparatus, wherein the one end of the input shaft and the one end of the input shaft to which the drive source is not connected are connected via a power transmission member.
磨装置の駆動装置において、 駆動源を２台設け、各駆動源を、上定盤用入力シャフ
ト，サンギア用入力シャフト，下定盤用入力シャフト及
びインターナルギア用入力シャフトの内のいずれか２本
の入力シャフトの各上記一方端部に動力伝達部材を介し
てそれぞれ連結すると共に、これら２本の入力シャフト
のいずれか又は双方の上記一方端部と上記駆動源が連結
されていない２本の入力シャフトの上記一方端部とを動
力伝達部材を介して連結した、 ことを特徴とする両面研磨装置の駆動装置。5. The driving device for a double-side polishing apparatus according to claim 1, wherein two driving sources are provided, and each driving source is connected to an input shaft for an upper surface plate, an input shaft for a sun gear, and a lower surface plate. Any one of the two input shafts of the input shaft and the input shaft for the internal gear is connected to the one end of each of the input shafts via a power transmission member, and one or both of the two input shafts are connected to the one of the two input shafts. A drive device for a double-side polishing apparatus, wherein end portions and the one end portions of two input shafts to which the drive source is not connected are connected via a power transmission member.
磨装置の駆動装置において、 １台の上記駆動源を、上定盤用入力シャフト，サンギア
用入力シャフト，下定盤用入力シャフト及びインターナ
ルギア用入力シャフトの内のいずれか１本の入力シャフ
トの上記一方端部に動力伝達部材を介して連結すると共
に、この入力シャフトの上記一方端部と上記駆動源が連
結されていない３本の入力シャフトの上記一方端部とを
動力伝達部材を介して連結した、 ことを特徴とする両面研磨装置の駆動装置。6. The driving apparatus for a double-side polishing apparatus according to claim 1, wherein one of the driving sources is an input shaft for an upper surface plate, an input shaft for a sun gear, an input shaft for a lower surface plate, and an internal shaft. One of the input shafts for the gears is connected to the one end of the input shaft via a power transmission member, and the one end of the input shaft is not connected to the drive source. A driving device for a double-side polishing apparatus, wherein the one end of the input shaft is connected to the input shaft via a power transmission member.
の両面研磨装置の駆動装置において、 上記動力伝達部材を、上記入力シャフトの上記一方端部
及び駆動源の回転軸にそれぞれ取り付けたプーリと、一
対の上記プーリに巻き付けられた無端ベルトとで構成し
た、 ことを特徴とする両面研磨装置の駆動装置。7. The drive device for a double-side polishing apparatus according to claim 1, wherein the power transmission member is attached to the one end of the input shaft and a rotation shaft of a drive source, respectively. And a driving device for a double-side polishing apparatus, comprising: an endless belt wound around the pair of pulleys.
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| JP35081599A JP2001162525A (en) | 1999-12-09 | 1999-12-09 | Driving device for double-side polishing device |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR101370532B1 (en) | 2013-09-04 | 2014-03-06 | 유승열 | Polishing apparatus of discharge valve for reciprocating compressor |
| WO2021254032A1 (en) * | 2020-06-15 | 2021-12-23 | 林鑫森 | Ground leveling grinder |
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- 1999-12-09 JP JP35081599A patent/JP2001162525A/en active Pending
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