JP2001143335A - Method for information reproduction, device for recording and reproducing information and information recording medium - Google Patents

Method for information reproduction, device for recording and reproducing information and information recording medium

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JP2001143335A
JP2001143335A JP31917299A JP31917299A JP2001143335A JP 2001143335 A JP2001143335 A JP 2001143335A JP 31917299 A JP31917299 A JP 31917299A JP 31917299 A JP31917299 A JP 31917299A JP 2001143335 A JP2001143335 A JP 2001143335A
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JP
Japan
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information
magnetic
recording medium
information recording
light
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JP31917299A
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Japanese (ja)
Inventor
Fumiyoshi Kirino
文良 桐野
Norio Ota
憲雄 太田
Koichiro Wakabayashi
康一郎 若林
Teruaki Takeuchi
輝明 竹内
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Maxell Ltd
Original Assignee
Hitachi Maxell Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve such problem that conventional technology has a limit to control over the distribution of crystal particle sizes of an information recording magnetic film by a seed layer on a magnetic disk and very-high-density recording exceeding 40 Gb/inch2 can not be performed stably and to further improve the reproduction sensitivity for magnetooptic recording since the magnetic domain sizes abruptly become much smaller by the progress of higher density. SOLUTION: An information recording device which has at least a very small light source and an information recording medium for recording information uses a reproduction system for reproduction information recorded on an information recording medium by irradiating the information recording medium surface with the light emitted from the very small light source, modulating the frequency (or wavelength) or light intensity through optical interaction between the light before the irradiation and the light reflected by the medium surface, and detecting the modulated frequency or light intensity.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、大量の情報を迅速
かつ正確に格納するための情報記録装置にかかり、特
に、高性能でかつ高信頼性を有する情報記録用の記録媒
体の構造、さらに、その記録媒体を用いた情報記録装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an information recording apparatus for rapidly and accurately storing a large amount of information, and more particularly to a high-performance and highly reliable recording medium for information recording. And an information recording apparatus using the recording medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年の高度情報化社会の進展にはめざま
しいものがあり、各種形態の情報を統合したマルチメデ
ィアが急速に普及してきている。これを支える情報記録
装置として磁気ディスク装置や光ディスク装置がある。
これらの装置は、それぞれの特徴を生かした分野に用い
られている。
2. Description of the Related Art In recent years, there has been a remarkable progress in the advanced information society, and multimedia in which various forms of information are integrated has rapidly spread. There are a magnetic disk device and an optical disk device as information recording devices supporting this.
These devices are used in fields that take advantage of their respective characteristics.

【0003】現在、磁気ディスク装置では、記録密度を
向上させつつ小型化が図られている。それと並行して、
ディスク装置の低価格化が急速に進められている。とこ
ろで、磁気ディスクの高密度化を実現するためには、
1)ディスクと磁気ヘッドとの距離をつめること、2)
媒体の保磁力を増大させること、3)信号処理方法を工
夫することなどが必須の技術である。中でも、磁気記録
媒体においては、高密度記録を実現するために、保磁力
の増大が必須である。これに加えて、40 Gb/inch 2を超
える高密度な記録を実現するためには、磁化反転が生じ
る単位を小さくしなければならない。そのためには、磁
性粒子のサイズを微細化することが必要で、これを実現
する方法として、磁性膜の下にシード層を設けることが
提案されている。その一例としてUSP-4652499をあげる
ことができる。
At present, in a magnetic disk drive, the recording density is increased.
It is being downsized while improving. In parallel,
The cost reduction of disk devices is rapidly progressing. Toko
In order to increase the density of magnetic disks,
1) Reducing the distance between the disk and the magnetic head 2)
Increase the coercive force of the medium;
Husband is an essential technology. Above all, magnetic recording
In media, coercive force is used to achieve high-density recording.
Is essential. In addition to this, 40 Gb / inch TwoOver
To achieve high-density recording, magnetization reversal
Units must be reduced. To do this,
It is necessary to reduce the size of the conductive particles, which is achieved
As a method of providing, a seed layer is provided under the magnetic film.
Proposed. One example is USP-4652499
be able to.

【0004】一方、レーザー光を用いて記録や再生ある
いは消去を行う光ディスク装置においては、高密度記録
を行うために、波長の短いレーザー光を用いて微小磁気
ドメインを形成することが有効である。この場合、レー
ザー光の波長が短くなるとともに、記録媒体である希土
類元素と鉄族元素の非晶質合金が示すKerr効果が減少す
るために、再生出力対ノイズ比(S/N)が小さくなり、安
定した情報記録が行えない場合があった。この課題に対
し、400nm以下の短波長領域でも大きなKerr効果を示すP
tとCoを交互に積層した人工格子膜が提案されている。
その例として、特開平1-251356をあげることができる。
この他に、レンズの開口比が大きなレンズを用いた記録
方式などが提案されている。さらに、再生方式において
は、上述の短波長光をもしいた再生方法以外に、磁気超
解像法(MSR)を用いた再生方法が提案されている。これ
に加えて、再生時に形成した磁区を拡大させて再生信号
の増大を図った磁区拡大方式などが提案されている。
On the other hand, in an optical disk device that performs recording, reproduction, or erasing using a laser beam, it is effective to form a minute magnetic domain using a laser beam having a short wavelength in order to perform high-density recording. In this case, the wavelength of the laser beam becomes shorter, and the Kerr effect exhibited by the amorphous alloy of the rare earth element and the iron group element, which is the recording medium, decreases, so that the reproduction output-to-noise ratio (S / N) decreases. In some cases, stable information recording cannot be performed. To solve this problem, P that exhibits a large Kerr effect even in the short wavelength region of 400 nm or less
An artificial lattice film in which t and Co are alternately stacked has been proposed.
As an example, JP-A-1-251356 can be mentioned.
In addition, a recording method using a lens having a large aperture ratio has been proposed. Further, in the reproducing method, a reproducing method using a magnetic super-resolution method (MSR) has been proposed in addition to the reproducing method using the short wavelength light. In addition, there has been proposed a magnetic domain enlarging method in which a magnetic domain formed at the time of reproduction is enlarged to increase a reproduction signal.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術では、
まず、磁気ディスクにおいては、シード層による情報記
録用磁性膜の結晶粒子サイズの分布を制御するには限度
があり、微小な粒子や粗大化した粒子が共存している場
合があった。これらの微小な粒子や粗大化した粒子は、
情報を記録する場合(磁化を反転させる場合)に、周囲の
磁性粒子からの漏洩磁界の影響を受けたり、逆に、大き
な粒子では相互作用を与えるために、40Gb/inch2を超え
る超高密度記録を行う場合、安定した記録が行えない場
合があった。この傾向は、Co-Cr系の垂直磁気記録用の
磁性膜においても同様である。
In the above prior art,
First, in a magnetic disk, there is a limit in controlling the crystal grain size distribution of an information recording magnetic film by a seed layer, and fine particles and coarse particles may coexist. These fine particles and coarse particles are
When recording information (when reversing the magnetization), it is affected by the leakage magnetic field from the surrounding magnetic particles, and conversely, for large particles, it has an ultra-high density exceeding 40 Gb / inch 2 to give an interaction. When performing recording, there were cases where stable recording could not be performed. This tendency is the same in a Co—Cr-based magnetic film for perpendicular magnetic recording.

【0006】一方、光磁気記録においては、PtとCoを交
互に積層した人工格子膜を記録膜に用いると、400nm以
下の短波長領域で大きなKerr回転角は得られるものの、
磁壁の移動速度が大きく、特に、マーク長記録を行う場
合に、ジッタの原因となり、安定した記録や再生が行う
ことができなかった。さらに、微小記録は可能である
が、MSR法では分解能は向上させることができるが、再
生信号出力を向上させることは困難な場合があった。磁
区拡大再生技術では、再生時に磁区を拡大させることに
より再生出力を増大できるが、高密度化の進展により、
磁区サイズの微細化が急激に進み、さらなる再生感度の
向上が望まれていた。
On the other hand, in the magneto-optical recording, when an artificial lattice film in which Pt and Co are alternately laminated is used as a recording film, a large Kerr rotation angle can be obtained in a short wavelength region of 400 nm or less.
The moving speed of the domain wall is high, and particularly when performing mark length recording, it causes jitter, and stable recording and reproduction cannot be performed. Further, although minute recording is possible, the resolution can be improved by the MSR method, but it is sometimes difficult to improve the reproduction signal output. In the magnetic domain expansion reproduction technology, the reproduction output can be increased by enlarging the magnetic domain at the time of reproduction.
The miniaturization of the magnetic domain size has rapidly progressed, and further improvement in the reproduction sensitivity has been desired.

【0007】そこで、本発明の第1の目的は、微小磁区
を感度よく再生する方法を提供することにある。本発明
の第2の目的は、微小磁区を形成する方法と形成した磁
区を高感度に再生する方法とを提供することにより、高
性能な情報記録媒体ならびに情報記録装置を提供するこ
とにある。以上により、40Gb/inch2を超える超高密度記
録を行うのに好適な情報再生方式ならびに情報記録媒
体、さらにそれらを用いた情報記録装置を提供すること
にある。
Therefore, a first object of the present invention is to provide a method for reproducing a minute magnetic domain with high sensitivity. A second object of the present invention is to provide a high-performance information recording medium and an information recording device by providing a method for forming a minute magnetic domain and a method for reproducing the formed magnetic domain with high sensitivity. As described above, an object of the present invention is to provide an information reproducing method and an information recording medium suitable for performing ultra-high-density recording exceeding 40 Gb / inch 2 and an information recording apparatus using them.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記の目的は、少なくと
も極微小な光源と情報を記録するための情報記録媒体と
を有する情報記録装置において、極微小な光源から出た
光が情報記録媒体表面に照射され、その光が媒体表面に
おいて反射した後の光と照射前の光との間で光学的な相
互作用により周波数(あるいは波長)あるいは光強度が変
調され、その変調された周波数あるいは光強度を検出す
ることにより情報記録媒体に記録した情報を再生する再
生方式を用いることにより実現できる。ここで、先の情
報記録媒体表面で生じる光学的な変化の結果、照射前の
光との間で光学的な相互作用により生じる光の周波数
(あるいは波長)あるいは光強度の変調において、該変調
が情報記録媒体の有する磁気光学効果に起因してた情報
の再生方式を用いることが最も好ましい。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an information recording apparatus having at least a very small light source and an information recording medium for recording information. The frequency (or wavelength) or light intensity is modulated by optical interaction between the light after the light is reflected on the medium surface and the light before irradiation, and the modulated frequency or light intensity Can be realized by using a reproducing method for reproducing the information recorded on the information recording medium by detecting the information. Here, as a result of the optical change that occurs on the surface of the information recording medium, the frequency of the light generated due to the optical interaction with the light before irradiation
In the modulation of (or wavelength) or light intensity, it is most preferable to use a method of reproducing information in which the modulation is caused by the magneto-optical effect of the information recording medium.

【0009】ところで、情報記録媒体としては、垂直磁
気異方性ならびに磁気光学効果を有する材料を用い、さ
らに具体的には、希土類元素と鉄族元素の非晶質の合金
を用いることが最も好適である。さらに好ましくは、こ
の媒体が、先の磁性層が非磁性層を介して複数の磁性層
から構成されることである。この場合、その一方が情報
を記録するための記録層であり、もう一方の磁性層が再
生時に記録層に記録された磁区が再生層に転写され、該
磁区が記録層より大きな磁区であることにより情報の再
生を行うことが特に好ましい。さらに、その磁性層のう
ち、再生光照射側の磁性層が光照射あるいは/および磁
界を印加することにより垂直磁気異方性が誘起される材
料をもちいる。さらに、再生時に微小光源から再生層に
照射された光が再生層で反射される際に、偏光面がKerr
効果あるいは/およびFaraday効果により回転し、これに
より反射光と入射光との間で生じる光学的な相互作用を
用いて再生を行なう。その場合、再生信号として周波数
(あるいは波長)の変化あるいは光強度の変化を検出する
ことが最も好ましい。ところで、上述の希土類元素と鉄
族元素との非晶質合金が、希土類元素としてTb,Gd,Ho.D
yのうちより選ばれる少なくとも1種類の元素と、鉄族元
素としてFe,Co,Niのうちより選べれる少なくとも1種類
の元素とからなる。また、非磁性材料として、シリコ
ン、タンタル、アルミニウム、チタン、クロムの酸化物
あるいは窒化物を用いる。さらに、極微小な光源とし
て、光源の進行途中に微小なピンホールを設け、そのピ
ンホールの直径が300nm以下であることが最も効果的で
ある。
As the information recording medium, it is most preferable to use a material having perpendicular magnetic anisotropy and a magneto-optical effect, and more specifically, to use an amorphous alloy of a rare earth element and an iron group element. It is. More preferably, in this medium, the magnetic layer is composed of a plurality of magnetic layers via a non-magnetic layer. In this case, one of them is a recording layer for recording information, and the other magnetic layer is a magnetic domain recorded on the recording layer at the time of reproduction is transferred to the reproducing layer, and the magnetic domain is a magnetic domain larger than the recording layer. It is particularly preferable to reproduce information by using Further, of the magnetic layers, the magnetic layer on the reproduction light irradiation side uses a material whose perpendicular magnetic anisotropy is induced by light irradiation and / or application of a magnetic field. Furthermore, when the light irradiated from the minute light source to the reproduction layer during the reproduction is reflected by the reproduction layer, the polarization plane changes to Kerr.
The rotation is effected by the effect and / or the Faraday effect, whereby the reproduction is performed using the optical interaction that occurs between the reflected light and the incident light. In that case, the frequency
It is most preferable to detect a change in (or wavelength) or a change in light intensity. By the way, the above-mentioned amorphous alloy of a rare earth element and an iron group element is used as a rare earth element as Tb, Gd, Ho.D.
It comprises at least one element selected from y and at least one element selected from Fe, Co, and Ni as iron group elements. In addition, as a nonmagnetic material, an oxide or nitride of silicon, tantalum, aluminum, titanium, or chromium is used. Further, as a very small light source, it is most effective that a minute pinhole is provided in the course of the light source, and the diameter of the pinhole is 300 nm or less.

【0010】ところで、情報の記録から再生まで一貫し
て考えると、少なくとも円形の基板上に形成した情報記
録媒体、レンズにより一定のスポットサイズに絞り込ん
だレーザー光源、極微小光源、磁界を印加するための電
磁石、ディスク駆動系、電気回路を具備する情報記録装
置を用い、記録再生方式として、磁気記録媒体への情報
の記録を行うのに少なくともレンズにより一定のスポッ
トサイズに絞り込んだレーザー光源と磁界を印加するた
めの電磁石とを用いて行い、情報の再生を極微小光源を
用いて行なう。あるいは、磁気記録媒体からの情報の再
生を行うのに、極微小光源と磁界を印加するための電磁
石とを用いて行ってもよい。いずれにしても、極微小レ
ーザー光源からに光が情報記録媒体において反射した光
と光源からの光との光学的な相互作用の結果、光の周波
数(あるいは波長)あるいは光の強度が変化するのを検出
するのに、光源からの光と反射後に光学的相互作用を生
じた光とを比較することにより検出する。ここで、この
再生方式は、情報記録媒体に記録された情報の磁区のサ
イズが、情報記録媒体の移動する方向に測った幅が0.3
μm以下である場合に最も大きな効果を発揮する。
[0010] By the way, considering the whole process from recording to reproduction of information, at least an information recording medium formed on a circular substrate, a laser light source narrowed down to a certain spot size by a lens, a micro light source, and a magnetic field are applied. Using an information recording device equipped with an electromagnet, a disk drive system, and an electric circuit, as a recording / reproducing method, a laser light source and a magnetic field narrowed down to a certain spot size by at least a lens in order to record information on a magnetic recording medium. The information is reproduced using an electromagnet for applying the information, and the reproduction of information is performed using an extremely small light source. Alternatively, reproduction of information from a magnetic recording medium may be performed using an extremely small light source and an electromagnet for applying a magnetic field. In any case, the frequency (or wavelength) of light or the intensity of the light changes as a result of the optical interaction between the light reflected from the extremely small laser light source and the light from the light source and the light from the light source. Is detected by comparing light from a light source with light that has undergone optical interaction after reflection. Here, in this reproduction method, the size of the magnetic domain of the information recorded on the information recording medium has a width measured in the moving direction of the information recording medium of 0.3.
The greatest effect is exhibited when it is less than μm.

【0011】このような磁区を形成するのに、少なくと
もレーザー光源と磁気ヘッドとを用いて行う。その場
合、少なくともレーザー光源と磁気ヘッドとを用いて記
録を行うことにより形成された磁区が、情報記録媒体の
移動する方向に測った該磁区の幅が、磁気ヘッドにおけ
る磁気ギャップ長より短い幅であることに特徴がある。
さらに好ましくは、情報記録媒体の記録層に記録された
情報の磁区のサイズが、情報記録媒体の移動する方向に
測った幅が0.1μm以下であることが最も好ましい。情報
記録媒体、情報再生方式、ならびに情報記録装置を用い
て、各種の情報を記録、再生あるいは消去を行なうこと
が最も好ましい。特に、記録あるいは再生する情報が、
少なくとも音声情報、コードデータ、画像情報、磁気デ
ィスク装置を制御するための制御情報のうちの1つであ
ることが好ましい。
[0011] Such a magnetic domain is formed by using at least a laser light source and a magnetic head. In this case, at least the magnetic domain formed by performing recording using the laser light source and the magnetic head has a width of the magnetic domain measured in a direction in which the information recording medium moves, the width being shorter than the magnetic gap length in the magnetic head. It is unique.
More preferably, the size of the magnetic domain of the information recorded on the recording layer of the information recording medium is most preferably 0.1 μm or less as measured in the direction in which the information recording medium moves. It is most preferable to record, reproduce, or erase various types of information using an information recording medium, an information reproducing method, and an information recording device. In particular, the information to be recorded or reproduced
It is preferably at least one of audio information, code data, image information, and control information for controlling the magnetic disk drive.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】本発明を実施の形態を用いてさら
に詳細に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in more detail with reference to embodiments.

【0013】[0013]

【実施例】<実施例1>本実施例は、1層の磁性膜を情報
記録層として用いて情報記録装置を構成した場合であ
る。作製したディスクの断面構造の模式図を図1に示
す。まず、ディスク用の基板(1)として、3.5″直径のガ
ラス基板を用いた。ここで用いた基板はほんの1例であ
り、いずれのサイズのディスク基板を用いても、また、
ポリカーボネイトやアモルファスポリオレフィンなどの
樹脂を用いても本発明の効果は左右されるものではない
ことは言うまでもない。さらに、磁気ヘッドや光ヘッド
の位置決めのために、凹凸の案内溝を有する基板を用い
たり、情報記録媒体を形成後に凹凸の案内溝を作製して
も良いことは言うまでもない。この基板(1)上に、光反
射膜(2)としてAl-Ti膜を30nmの膜厚に形成した。純Arを
放電ガスに、Al90Ti10合金をターゲットにそれぞれ使用
した。スパッタ時の圧力は15mTorr、投入RF電力は0.5kW
/150mmφである。ここで、得られた薄膜の組成とターゲ
ットの組成には違いは見られなかった。
<Embodiment 1> This embodiment is directed to a case where an information recording apparatus is configured by using one magnetic film as an information recording layer. FIG. 1 shows a schematic diagram of a cross-sectional structure of the manufactured disk. First, a 3.5 ″ diameter glass substrate was used as the disk substrate (1). The substrate used here is only one example, and any size disk substrate can be used.
It goes without saying that the effects of the present invention are not affected even if a resin such as polycarbonate or amorphous polyolefin is used. Further, it is needless to say that a substrate having an uneven guide groove may be used for positioning the magnetic head or the optical head, or the uneven guide groove may be formed after forming the information recording medium. On this substrate (1), a 30 nm thick Al-Ti film was formed as a light reflection film (2). Pure Ar was used as a discharge gas and Al 90 Ti 10 alloy was used as a target. The sputtering pressure is 15mTorr and the input RF power is 0.5kW
/ 150mmφ. Here, no difference was found between the composition of the obtained thin film and the composition of the target.

【0014】次に、無機化合物薄膜(3)として、窒化シ
リコン膜をスパッタ法により形成した。Siをターゲット
に、Ar/N2を放電ガスにそれぞれ使用した。スパッタ時
の圧力は10mTorr、投入RF電力は0.7kW/150mmφである。
形成した無機化合物薄膜の膜厚は15nmである。この膜
の上に、磁性膜(4)として、Tb-Fe-Co膜をスパッタ法に
より25nmの膜厚に形成した。スパッタ用のターゲットに
は熱間静圧プレス(HIP)法により作製したTb26Fe62Co12
合金を用い、スパッタ時の圧力は5mTorr、投入RF電力は
1.5kW/150mmφである。ここで、HIP法によりターゲット
を作製すると、ターゲット中の酸素含有量を低減できる
と同時に、ターゲット-膜間の組成差を大幅に低減でき
る効果を有する。最後に、無機化合物薄膜(3)として、
窒化シリコン膜をスパッタ法により65nmの膜厚に形成
した。Siをターゲットに、Ar/O2を放電ガスにそれぞれ
使用した。スパッタ時の圧力は10mTorr、投入RF電力は
0.7kW/150mmφである。ここで、形成した無機化合物薄
膜の膜厚は、再生に用いる光の波長によって決定され
る。
Next, as an inorganic compound thin film (3), a silicon nitride film was formed by a sputtering method. Ar / N 2 was used for the discharge gas, with Si as the target. The pressure during sputtering is 10 mTorr, and the input RF power is 0.7 kW / 150 mmφ.
The thickness of the formed inorganic compound thin film is 15 nm. On this film, a Tb-Fe-Co film was formed as a magnetic film (4) to a thickness of 25 nm by a sputtering method. Tb 26 Fe 62 Co 12 prepared by hot static pressure press (HIP) was used as a target for sputtering.
Using an alloy, the pressure during sputtering is 5 mTorr, and the input RF power is
1.5kW / 150mmφ. Here, when the target is manufactured by the HIP method, it has an effect that the oxygen content in the target can be reduced and the composition difference between the target and the film can be significantly reduced. Finally, as an inorganic compound thin film (3),
A silicon nitride film was formed to a thickness of 65 nm by a sputtering method. Ar / O 2 was used for the discharge gas, with Si as the target. The pressure during sputtering is 10 mTorr, and the input RF power is
0.7kW / 150mmφ. Here, the thickness of the formed inorganic compound thin film is determined by the wavelength of light used for reproduction.

【0015】次に、この磁性膜の磁気特性を測定した。
得られた磁気特性は、保磁力が10.0kOeであり、垂直磁
気異方性エネルギーが5×107erg/ml、飽和磁化は120emu
/ml、Kerr回転角は0.89°であった。また、キュリー温
度は210℃、補償温度は80℃である。
Next, the magnetic characteristics of the magnetic film were measured.
The obtained magnetic properties are as follows: coercive force is 10.0 kOe, perpendicular magnetic anisotropy energy is 5 × 10 7 erg / ml, saturation magnetization is 120 emu
/ ml, the Kerr rotation angle was 0.89 °. The Curie temperature is 210 ° C and the compensation temperature is 80 ° C.

【0016】上記のような磁気特性を有する磁性膜を用
いたディスクの再生特性を評価した。評価に用いた装置
の概略を図2に示す。情報記録媒体(104)として、あらか
じめトラック方向に幅が0.30μm、トラックに垂直方向
に0.5μmの磁区を形成しておいたものを用いた。再生に
は680nmの波長のレーザー光(100)を用い、その光を200n
m径のピンホール(102)を有するスリット(101)を介して
情報記録媒体に照射した。ここで、ピンホールから出て
きた光の1部をハーフミラー(103)にて分取して基準光と
し、これと、情報記録媒体から反射して戻ってきた光が
光源からの基準光との間で光学的な相互作用を生じ、こ
の光をハーフミラー(103)で分取し、それぞれの光を検
出器(105)で電気信号に変換し、これらを比較器(106)で
差動検出することにより、情報が再生できる。ここで、
光の周波数の変化(波長の変化)の検出にはディテクタの
信号出力の波長依存性を用いて行い、光強度変化を検出
にはディテクタの信号出力の光強度依存性を用いた。こ
の手法を用いることにより、トラック方向の幅が0.3μm
から0.2μmの磁区(トラックと垂直方向が0.4μm)を良好
に再生できた。再生信号出力を測定したところ、C/N=55
〜58dBであった。
The reproduction characteristics of the disk using the magnetic film having the above magnetic characteristics were evaluated. FIG. 2 shows an outline of the apparatus used for the evaluation. As the information recording medium (104), a medium in which a magnetic domain having a width of 0.30 μm in the track direction and 0.5 μm in the direction perpendicular to the track was formed in advance was used. For reproduction, laser light (100) with a wavelength of 680 nm is used, and the light is
The information recording medium was irradiated through a slit (101) having a pinhole (102) having an m diameter. Here, a part of the light coming out of the pinhole is collected by a half mirror (103) and used as reference light, and the light reflected from the information recording medium and returned is referred to as a reference light from a light source. An optical interaction occurs between the light, the light is separated by a half mirror (103), each light is converted to an electric signal by a detector (105), and these are differentially converted by a comparator (106). By detecting, information can be reproduced. here,
The change in light frequency (change in wavelength) was detected by using the wavelength dependency of the signal output of the detector, and the change in light intensity was detected by using the light intensity dependency of the signal output of the detector. By using this method, the width in the track direction is 0.3 μm
Magnetic domain (0.4 μm in the direction perpendicular to the track) was successfully reproduced. When the playback signal output was measured, C / N = 55
It was ~ 58dB.

【0017】本実施の形態では、情報記録膜にTb-Fe-Co
系を用いた場合を述べたが、この材料系以外にDy-Fe-C
o,Ho-Fe-Co,Gd-Tb-Fe-Co,Gd-Dy-Fe-Co,Gd-Ho-Fe-Co,Tb-
Dy-Fe-Co,Tb-Ho-Fe-Co,Dy-Ho-Fe-Coを用いても同様の効
果が得られる。特に、Gdを含む系は、垂直磁気異方性は
減少するが、大きな磁気光学効果が得られる。ここで、
2種類以上の希土類元素を含む系では、希土類元素の組
成は、元素の種類に依存せず合計量で決定される。ま
た、Feの一部をNiで置換しても同様の効果が得られるこ
とは言うまでもない。
In this embodiment, the information recording film is made of Tb-Fe-Co
Although the case where a system was used was described, in addition to this material system, Dy-Fe-C
o, Ho-Fe-Co, Gd-Tb-Fe-Co, Gd-Dy-Fe-Co, Gd-Ho-Fe-Co, Tb-
Similar effects can be obtained by using Dy-Fe-Co, Tb-Ho-Fe-Co, and Dy-Ho-Fe-Co. In particular, in a system containing Gd, the perpendicular magnetic anisotropy is reduced, but a large magneto-optical effect is obtained. here,
In a system containing two or more rare earth elements, the composition of the rare earth element is determined by the total amount without depending on the kind of the element. Needless to say, the same effect can be obtained even if a part of Fe is replaced with Ni.

【0018】<実施例2>実施例1の情報記録媒体(104)を
用いて、光ヘッドからは連続光を照射し、同時に情報の
記録を浮上磁気ヘッド(110)により磁界を印加して記録
する磁界変調記録方式を用いた。用いた磁界記録方式の
概略図を図3に示す。ここで、再生用の極微小光源を、
この浮上磁気ヘッドに取り付けてもよい。浮上磁気ヘッ
ド(110)を用いて、情報記録膜(104)に記録を行った。そ
れと同時に、0.6μmにレンズで絞り込んだレーザー光
(連続光)を照射した。ここで、20nsから60ns程度のパル
ス光を用いても良い。この場合、実効的に温度が上がる
領域が狭くなるので高密度記録に好適である。形成した
磁区はトラック方向で測った幅が約0.15μmであった。
トラックと垂直方向に測った幅が0.7μmであった。この
情報記録媒体に形成された磁区を実施例1と同様の図2に
示す極微小光源系を用いて再生したところ、良好に再生
できた。再生信号出力を測定したところ、C/N=54dBであ
った。S/Nを求めたところ、34dBであった。このよう
に、極微小光源を用いて記録した情報を良好に再生でき
ることがわかった。
<Embodiment 2> Using the information recording medium (104) of Embodiment 1, continuous light is irradiated from an optical head, and at the same time, information is recorded by applying a magnetic field by a flying magnetic head (110). A magnetic field modulation recording method was used. FIG. 3 shows a schematic diagram of the magnetic field recording method used. Here, a very small light source for reproduction is
It may be attached to this flying magnetic head. Recording was performed on the information recording film (104) using the flying magnetic head (110). At the same time, a laser beam focused down to 0.6μm with a lens
(Continuous light). Here, a pulse light of about 20 ns to 60 ns may be used. In this case, the area where the temperature rises effectively becomes narrow, which is suitable for high-density recording. The formed magnetic domain had a width measured in the track direction of about 0.15 μm.
The width, measured perpendicular to the track, was 0.7 μm. When the magnetic domains formed on this information recording medium were reproduced using the ultra-small light source system shown in FIG. 2 as in Example 1, good reproduction was possible. When the reproduced signal output was measured, it was C / N = 54 dB. The S / N was found to be 34 dB. As described above, it was found that information recorded by using an extremely small light source can be favorably reproduced.

【0019】<実施例3>本実施例は、先の実施例1の情
報記録媒体に、薄膜型磁気ヘッドとレーザー光源とを併
用して記録を行い、再生に先の実施例1と同様の極微小
光源を用いた場合である。記録系の概略を図4に示す。
記録に用いた磁気ヘッドは、支持バネ(202)に取り付け
てある。用いた記録ヘッドの詳細を図5に示す。記録に
は、2.1Tの高飽和磁束密度を有する軟磁性膜を磁気コア
(302)に使用した薄膜型磁気ヘッドを用いた。ヘッド面
と磁気記録媒体との距離(浮上距離)は12nm、ギャップ幅
(301)は0.20μmである。記録時は、この薄膜磁気ヘッド
から磁界を印加すると同時に、レーザー光源(111)から
レンズ(112)を通してパルス光を印加した。印加するパ
ルス幅は、形成する磁区の幅により変化するが、ここで
は、40nsのレーザーパルスを印加した。磁区観察によれ
ば、形成された磁区の幅はトラック方向に測って0.1μm
であった。このように、磁気ヘッドとレーザー光源を併
用してり記録することにより、磁気ヘッドのギャップ幅
より狭い磁区が形成できることがわかった。
<Embodiment 3> In this embodiment, recording is performed on the information recording medium of the previous embodiment 1 by using both a thin film magnetic head and a laser light source. This is the case where an extremely small light source is used. FIG. 4 shows an outline of the recording system.
The magnetic head used for recording is attached to a support spring (202). FIG. 5 shows the details of the recording head used. For recording, a soft magnetic film with a high saturation magnetic flux density of 2.1T was used for the magnetic core.
The thin-film magnetic head used in (302) was used. The distance (flying distance) between the head surface and the magnetic recording medium is 12 nm and the gap width
(301) is 0.20 μm. At the time of recording, a magnetic field was applied from the thin-film magnetic head, and at the same time, a pulse light was applied from the laser light source (111) through the lens (112). The pulse width to be applied varies depending on the width of the magnetic domain to be formed. Here, a laser pulse of 40 ns was applied. According to the magnetic domain observation, the width of the formed magnetic domain was 0.1 μm measured in the track direction.
Met. As described above, it was found that a magnetic domain narrower than the gap width of the magnetic head can be formed by using the magnetic head and the laser light source together for recording.

【0020】次に、このディスクに40 Gb/inch2に相当
する信号(700kFCI)を記録した。記録した信号を再生し
たところ、S/Nは30dBであった。また、このディスクの
欠陥レートを測定したところ、信号処理を行わない場合
の値で、1×10-5以下であった。
Next, a signal (700 kFCI) corresponding to 40 Gb / inch 2 was recorded on this disk. When the recorded signal was reproduced, the S / N was 30 dB. When the defect rate of this disk was measured, the value was 1 × 10 −5 or less when no signal processing was performed.

【0021】<実施例4>本実施例は、情報記録媒体に再
生時に記録した磁区が拡大されるタイプのものを用いた
場合である。作製した情報記録媒体の構造を図6に示
す。ディスク用の基板(1)として、3.5″直径のガラス基
板を用いた。ここで用いた基板はほんの1例であり、2.
5″などいずれのサイズのディスク基板を用いても、ま
た、ポリカーボネイトやアモルファスポリオレフィンな
どの樹脂を用いても本発明の効果は左右されるものでは
ないことは言うまでもない。さらに、磁気ヘッドや光ヘ
ッドの位置決めのために、凹凸の案内溝を有する基板を
用いたり、情報記録媒体を形成後に凹凸の案内溝を作製
しても良いことは言うまでもない。
<Embodiment 4> This embodiment is directed to a case where a magnetic domain recorded on an information recording medium during reproduction is enlarged. FIG. 6 shows the structure of the manufactured information recording medium. A 3.5 ″ diameter glass substrate was used as the disk substrate (1). The substrate used here is only one example, and 2.
It goes without saying that the effect of the present invention is not affected by using a disk substrate of any size such as 5 ″ or by using a resin such as polycarbonate or amorphous polyolefin. Needless to say, a substrate having an uneven guide groove may be used for the positioning, or the uneven guide groove may be formed after forming the information recording medium.

【0022】この基板(1)上に、光反射膜(2)としてAl-T
i膜を30nmの膜厚に形成した。純Arを放電ガスに、Al90T
i10合金をターゲットにそれぞれ使用した。スパッタ時
の圧力は15mTorr、投入RF電力は0.5kW/150mmφである。
ここで、得られた薄膜の組成とターゲットの組成には違
いは見られなかった。次に、無機化合物薄膜(3)とし
て、窒化シリコン膜をスパッタ法により形成した。Siを
ターゲットに、Ar/N2を放電ガスにそれぞれ使用した。
スパッタ時の圧力は10mTorr、投入RF電力は0.7kW/150mm
φである。形成した無機化合物薄膜の膜厚は15nmであ
る。次に、非磁性層を介して2層からなる磁性膜を形成
した。磁性膜I(5)として、Tb-Fe-Co膜をスパッタ法に
より100nmの膜厚に形成した。スパッタ用のターゲット
には熱間静圧プレス(HIP)法により作製したTb26Fe62Co
12合金を用い、スパッタ時の圧力は5mTorr、投入RF電力
は1.5kW/150mmφである。ここで、HIP法によりターゲッ
トを作製すると、ターゲット中の酸素含有量を低減でき
ると同時に、ターゲット-膜間の組成差を大幅に低減で
きる効果を有するからである。この上に、非磁性層(6)
として窒化シリコン膜を10nmの膜厚に形成した。Siをタ
ーゲットに、Ar/N2を放電ガスにそれぞれ使用した。ス
パッタ時の圧力は10mTorr、投入RF電力は0.7kW/150mmφ
である。引き続き、磁性層II(7)としてGd-Fe-Co膜をス
パッタ法により形成した。スパッタ用のターゲットには
熱間静圧プレス(HIP)法により作製したGd2 6Fe64Co10
金を、放電ガスにArをそれぞれ用いた。スパッタの条件
は、スパッタ時の圧力が5mTorr、投入RF電力が1.5kW/15
0mmφである。磁性層II膜厚は20nmである。このよう
に、非磁性層を介して磁性膜を形成すると、磁性層は互
いに静磁気的に結合していた。最後に、無機化合物薄膜
(3)として、窒化シリコン膜をスパッタ法により65nmの
膜厚に形成した。Siをターゲットに、Ar/O2を放電ガス
にそれぞれ使用した。スパッタ時の圧力は10mTorr、投
入RF電力は0.7kW/150mmφである。ここで、形成した無
機化合物薄膜の膜厚は、再生に用いる光の波長によって
決定される。
On this substrate (1), an Al-T
An i film was formed to a thickness of 30 nm. Pure Ar as discharge gas, Al 90 T
the i 10 alloy was used, respectively to the target. The pressure during sputtering is 15 mTorr, and the input RF power is 0.5 kW / 150 mmφ.
Here, no difference was found between the composition of the obtained thin film and the composition of the target. Next, a silicon nitride film was formed by a sputtering method as the inorganic compound thin film (3). Ar / N 2 was used for the discharge gas, with Si as the target.
The pressure during sputtering is 10mTorr, and the input RF power is 0.7kW / 150mm
φ. The thickness of the formed inorganic compound thin film is 15 nm. Next, a magnetic film composed of two layers was formed via a nonmagnetic layer. As the magnetic film I (5), a Tb-Fe-Co film was formed to a thickness of 100 nm by a sputtering method. Tb 26 Fe 62 Co prepared by hot static pressure press (HIP) was used as a sputtering target.
Using 12 alloy, the pressure during sputtering is 5 mTorr, and the input RF power is 1.5 kW / 150 mmφ. Here, when the target is manufactured by the HIP method, the oxygen content in the target can be reduced, and at the same time, the composition difference between the target and the film can be significantly reduced. On this, a non-magnetic layer (6)
A silicon nitride film was formed to a thickness of 10 nm. Ar / N 2 was used for the discharge gas, with Si as the target. The pressure during sputtering is 10mTorr and the input RF power is 0.7kW / 150mmφ
It is. Subsequently, a Gd-Fe-Co film was formed as a magnetic layer II (7) by a sputtering method. A Gd 2 6 Fe 64 Co 10 alloy produced by a hot static pressure press (HIP) method was used as a sputtering target, and Ar was used as a discharge gas. The sputtering conditions were as follows: the sputtering pressure was 5 mTorr, and the input RF power was 1.5 kW / 15
0 mmφ. The thickness of the magnetic layer II is 20 nm. As described above, when the magnetic film was formed via the nonmagnetic layer, the magnetic layers were magnetostatically coupled to each other. Finally, the inorganic compound thin film
As (3), a silicon nitride film was formed to a thickness of 65 nm by a sputtering method. Ar / O 2 was used for the discharge gas, with Si as the target. The pressure during sputtering is 10 mTorr, and the input RF power is 0.7 kW / 150 mmφ. Here, the thickness of the formed inorganic compound thin film is determined by the wavelength of light used for reproduction.

【0023】上記のディスクに、800kFCIの信号をレー
ザー光源(光ヘッド)と電磁石を用いて記録した。ここで
は、磁性層Iおよび磁性層IIをキュリー温度まで上昇さ
せ、その部分を冷却していく過程で外部より磁界を印加
して磁化の向きを所望の向きに向けることにより記録す
る。記録した情報は、磁性層Iに保存される。再生時に
は、極微小光源と磁気ヘッドを用いる。磁気ヘッドによ
り外部から磁界を印加すると、磁性層Iの情報が磁性層I
Iに拡大して転写される。この情報を極微小光源からの
レーザー光を用いて再生した。ピンホールから出てきた
光の1部を分取して基準光とし、これと、情報記録媒体
から反射して戻ってきた光が光源からの光との間で光学
的な相互作用を生じ、この光とを比較(差動検出)するこ
とにより、情報を再生する。ここで、光の周波数の変化
(波長の変化)の検出にはディテクタの信号出力の波長依
存性を用いて行い、光強度変化を検出にはディテクタの
信号出力の光強度依存性を用いた。この手法を用いるこ
とにより、再生信号出力を測定したところ、C/N=53〜56
dBであった。
An 800 kFCI signal was recorded on the above disk using a laser light source (optical head) and an electromagnet. Here, recording is performed by raising the magnetic layer I and the magnetic layer II to the Curie temperature and applying a magnetic field from the outside in the process of cooling the portions to direct the magnetization in a desired direction. The recorded information is stored in the magnetic layer I. At the time of reproduction, an extremely small light source and a magnetic head are used. When a magnetic field is applied from the outside by the magnetic head, the information of the magnetic layer I is transferred to the magnetic layer I.
It is enlarged and transcribed to I. This information was reproduced using laser light from a very small light source. A part of the light coming out of the pinhole is fractionated and used as a reference light, and the light reflected from the information recording medium and returned returns an optical interaction between the light from the light source, The information is reproduced by comparing the light with the light (differential detection). Where the change in light frequency
The detection of (change in wavelength) was performed using the wavelength dependency of the signal output of the detector, and the change in light intensity was detected using the light intensity dependency of the signal output of the detector. By using this method, when the reproduction signal output was measured, C / N = 53 to 56
dB.

【0024】<実施例5>本実施例は、実施例4の情報記
録媒体を用いて、光ヘッドからは連続光を照射し、同時
に情報の記録を浮上磁気ヘッドにより磁界を印加して記
録する磁界変調記録方式を用いた場合である。その概略
図は図3に示すとおりである。ここで、再生用の極微小
光源を、この浮上磁気ヘッドに取り付けてもよいことは
言うまでもない。まず、浮上磁気ヘッドを用いて、情報
記録膜に記録を行った。形成した磁区は約0.1μmであっ
た。この情報記録媒体に形成された磁区を実施の形態4
と同様の極微小光源系を用いて再生したところ、良好に
再生できた。再生信号出力を測定したところ、C/N=56dB
であった。S/Nを求めたところ、35dBであった。このよ
うに、極微小光源を用いて記録した情報を良好に再生で
きることがわかった。
<Embodiment 5> In this embodiment, using the information recording medium of Embodiment 4, continuous light is irradiated from an optical head, and at the same time, information is recorded by applying a magnetic field by a floating magnetic head. This is a case where a magnetic field modulation recording method is used. The schematic diagram is as shown in FIG. Here, it goes without saying that an extremely small light source for reproduction may be attached to the flying magnetic head. First, recording was performed on the information recording film using a flying magnetic head. The formed magnetic domain was about 0.1 μm. The magnetic domain formed on this information recording medium is referred to as Embodiment 4.
When reproduction was performed using the same ultra-small light source system as described above, good reproduction was possible. When the playback signal output was measured, C / N = 56dB
Met. When the S / N was determined, it was 35 dB. As described above, it was found that information recorded by using an extremely small light source can be favorably reproduced.

【0025】<実施例6>本実施例は、先の実施例4の情
報記録媒体に、薄膜型磁気ヘッドとレーザー光源とを併
用して記録を行い、再生に先の実施例4と同様の極微小
光源を用いた場合である。記録系の概略を図4に示す。
記録には、2.1Tの高飽和磁束密度を有する軟磁性膜を使
用した薄膜型磁気ヘッドを用いた。ヘッド面と磁気記録
媒体との距離(浮上距離)は12nm、ギャップ幅は0.20μm
である。記録時は、この薄膜磁気ヘッドから磁界を印加
すると同時に、レーザー光源からパルス光を印加した。
印加するパルス幅は、形成する磁区の幅により変化する
が、ここでは、40nsのレーザーパルスを印加した。磁区
観察によれば、形成された磁区の幅はトラック方向に測
って0.1μmであった。このように、磁気ヘッドとレーザ
ー光源を併用してり記録することにより、磁気ヘッドの
ギャップ幅より狭い磁区が形成できることがわかった。
<Embodiment 6> In this embodiment, recording is performed on the information recording medium of the previous embodiment 4 by using both a thin film magnetic head and a laser light source. This is the case where an extremely small light source is used. FIG. 4 shows an outline of the recording system.
For recording, a thin-film magnetic head using a soft magnetic film having a high saturation magnetic flux density of 2.1 T was used. The distance (flying distance) between the head surface and the magnetic recording medium is 12 nm, and the gap width is 0.20 μm
It is. At the time of recording, a magnetic field was applied from the thin-film magnetic head and pulse light was applied from a laser light source.
The pulse width to be applied varies depending on the width of the magnetic domain to be formed. Here, a laser pulse of 40 ns was applied. According to the magnetic domain observation, the width of the formed magnetic domain was 0.1 μm as measured in the track direction. As described above, it was found that a magnetic domain narrower than the gap width of the magnetic head can be formed by using the magnetic head and the laser light source together for recording.

【0026】次に、このディスクに40 Gb/inch2に相当
する信号(700kFCI)を記録した。記録した信号を再生し
たところ、S/Nは35dBであった。また、このディスクの
欠陥レートを測定したところ、信号処理を行わない場合
の値で、1×10-5以下であった。ここで、比較のため
に、記録に用いた光ヘッドを用いて再生したところ、S/
Nは28dBであった。このようにS/Nが低かった。これは、
再生感度が低いことに起因していた。さらに、この場
合、クロストークが大きく、分解能が低かった。この理
由として、光スポットが小さくできないこと、光照射に
よる情報記録媒体の温度が上がることなどが考えられ
る。逆に、この点が本発明の特徴になる。
Next, a signal (700 kFCI) corresponding to 40 Gb / inch 2 was recorded on this disk. When the recorded signal was reproduced, the S / N was 35 dB. When the defect rate of this disk was measured, the value was 1 × 10 −5 or less when no signal processing was performed. Here, for comparison, when reproduction was performed using the optical head used for recording, S /
N was 28 dB. Thus, the S / N was low. this is,
This was due to low reproduction sensitivity. Further, in this case, the crosstalk was large and the resolution was low. The reason may be that the light spot cannot be made small and that the temperature of the information recording medium increases due to light irradiation. Conversely, this is a feature of the present invention.

【0027】[0027]

【発明の効果】本発明によれば、300nm以下のスリット
を通したレーザー光(極微小光源)を再生の光源に用い、
磁気光学効果を有する情報記録媒体の表面で偏光を受け
た光と光源との光とで光学的干渉により、光の周波数
(あるいは波長)の変化や光強度の変化となって表れてく
るのを検出することで大きな光再生出力を得ることがで
きる。これにより、0.1μm以下の磁区サイズでも分解
能、感度ともに良好に再生できる再生方式を提供するこ
とができた。特に、磁区拡大再生方式の光磁気ディスク
の再生方式として用いると、その得られる効果は大き
い。
According to the present invention, a laser beam (extremely small light source) passing through a slit of 300 nm or less is used as a light source for reproduction,
Due to the optical interference between the polarized light on the surface of the information recording medium having a magneto-optical effect and the light from the light source, the frequency of the light
A large light reproduction output can be obtained by detecting a change (or a wavelength) or a change in light intensity. As a result, it was possible to provide a reproducing method capable of reproducing data with good resolution and sensitivity even with a domain size of 0.1 μm or less. In particular, when the magnetic domain expansion reproducing method is used as a reproducing method for a magneto-optical disk, the effect obtained is large.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】情報記録媒体の断面構造を示す模式図。FIG. 1 is a schematic diagram showing a cross-sectional structure of an information recording medium.

【図2】微小光源を用いた情報再生方式を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an information reproducing method using a minute light source.

【図3】浮上磁気ヘッドを用いた情報記録方式を示す
図。
FIG. 3 is a diagram showing an information recording method using a flying magnetic head.

【図4】磁気ヘッドと光ヘッドを組み合わせた情報記録
方式を示す図。
FIG. 4 is a diagram showing an information recording method in which a magnetic head and an optical head are combined.

【図5】薄膜型磁気ヘッドの構造を示す図。FIG. 5 is a diagram showing a structure of a thin-film magnetic head.

【図6】情報記録媒体の断面構造を示す模式図。FIG. 6 is a schematic diagram showing a cross-sectional structure of an information recording medium.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…基板 2…光反射膜 3…無機化合物膜 4…磁性膜 5…磁性層I 6…非磁性層 7…磁性層II 100…レーザー光源 101…スリット 102…ピンホール 103…ハーフミラー 104…情報記録媒体 105…検出器 106…比較器 110…浮上磁気ヘッド 111…レーザー光 112…レンズ 201…磁気ヘッド 202…支持バネ 301…磁気ギャップ 302…磁気コア 303…絶縁体 304…電流端子 305…薄膜コイル DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate 2 ... Light reflection film 3 ... Inorganic compound film 4 ... Magnetic film 5 ... Magnetic layer I 6 ... Non-magnetic layer 7 ... Magnetic layer II 100 ... Laser light source 101 ... Slit 102 ... Pinhole 103 ... Half mirror 104 ... Information Recording medium 105 Detector 106 Comparator 110 Floating magnetic head 111 Laser light 112 Lens 201 Magnetic head 202 Support spring 301 Magnetic gap 302 Magnetic core 303 Insulator 304 Current terminal 305 Thin film coil

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 11/105 551 G11B 11/105 551Q 7/18 7/18 (72)発明者 若林 康一郎 大阪府茨木市丑寅一丁目1番88号 日立マ クセル株式会社内 (72)発明者 竹内 輝明 大阪府茨木市丑寅一丁目1番88号 日立マ クセル株式会社内 Fターム(参考) 5D075 BB05 BB06 BB08 BB10 CC11 EE03 FF04 FF12 5D119 AA11 AA22 BA01 FA05 JA70Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat II (Reference) G11B 11/105 551 G11B 11/105 551Q 7/18 7/18 (72) Inventor Koichiro Wakabayashi 1-chome Ushitora, Ibaraki-shi, Osaka No. 1-88 Hitachi Maxell Co., Ltd. (72) Inventor Teruaki Takeuchi 1-88 Ushitora, Ibaraki-shi, Osaka F-term within Hitachi Maxell Co., Ltd. 5D075 BB05 BB06 BB08 BB10 CC11 EE03 FF04 FF12 5D119 AA11 AA22 BA01 FA05 JA70

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 極微小な光源を用いて情報記録媒体の再
生を行なう情報再生方法において、該極微小な光源は、
半導体レーザーと半導体レーザーから出射するレーザー
光の進行途中に設けられた直径が50nm以上300nm以
下のピンホールを有するスリットを少なくとも備えた半
導体パッケージであり、該ピンホールから出た光を該情
報記録媒体表面に照射し、該情報記録媒体表面に照射さ
れた光が媒体表面において反射した後の光と反射前の光
との間で生じる光学的な相互作用により変調し、その変
調度を検出することにより該情報記録媒体の情報を再生
することを特徴とする情報再生方法。
1. An information reproducing method for reproducing an information recording medium using a very small light source, wherein the very small light source comprises:
A semiconductor package having at least a slit having a pinhole having a diameter of 50 nm or more and 300 nm or less provided in the course of a semiconductor laser and a laser beam emitted from the semiconductor laser, and transmitting the light emitted from the pinhole to the information recording medium. Irradiating the surface of the information recording medium, and irradiating the surface of the information recording medium with an optical interaction generated between light reflected from the medium surface and light before reflection, and detecting a modulation degree thereof. Reproducing information from the information recording medium by using the method.
【請求項2】 前記変調される光学的な相互作用が、周
波数、波長、光強度から選択される少なくとも一つであ
ることを特徴とする請求項1記載の情報再生方法。
2. The information reproducing method according to claim 1, wherein the modulated optical interaction is at least one selected from a frequency, a wavelength, and a light intensity.
【請求項3】 前記変調される光学的な相互作用が、情
報記録媒体の有する磁気光学効果に起因して生じている
ことを特徴とする請求項1記載の情報再生方法。
3. The information reproducing method according to claim 1, wherein the modulated optical interaction occurs due to a magneto-optical effect of the information recording medium.
【請求項4】 前記情報記録媒体の移動する方向に測っ
た記録マークの幅が前記ピンホールの直径以下であるこ
とを特徴とする請求項1記載の情報再生方法。
4. The information reproducing method according to claim 1, wherein a width of the recording mark measured in a moving direction of the information recording medium is smaller than a diameter of the pinhole.
【請求項5】 前記情報記録媒体が、垂直磁気異方性を
有し、かつ磁気光学効果を有する材料からなる磁性層を
有することを特徴とする請求項1記載の情報再生方法。
5. The information reproducing method according to claim 1, wherein the information recording medium has a magnetic layer made of a material having perpendicular magnetic anisotropy and having a magneto-optical effect.
【請求項6】 前記磁性層は、希土類元素と鉄族元素の
非晶質の合金であることを特徴とする請求項5記載の情
報再生方法。
6. The information reproducing method according to claim 5, wherein said magnetic layer is an amorphous alloy of a rare earth element and an iron group element.
【請求項7】 前記磁性層が、情報を記録するための記
録層と、該記録層と非磁性層を介して再生時に記録層に
記録された磁区を転写して、該磁区が記録層より大きな
磁区となる再生層を少なくとも備える複数の磁性層から
構成されることを特徴とする請求項6記載の情報再生方
法。
7. The magnetic layer transfers a magnetic domain recorded on the recording layer during reproduction via the recording layer for recording information and the recording layer and the non-magnetic layer, and the magnetic domain is shifted from the recording layer. 7. The information reproducing method according to claim 6, comprising a plurality of magnetic layers including at least a reproducing layer that forms a large magnetic domain.
【請求項8】 前記再生層は、光照射あるいは/および
磁界の印加により垂直磁気異方性が誘起されることを特
徴とする請求項7記載の情報再生方法。
8. The information reproducing method according to claim 7, wherein a perpendicular magnetic anisotropy is induced in the reproducing layer by light irradiation and / or application of a magnetic field.
【請求項9】 前記極微小な光源から前記再生層に照射
された光が再生層で反射される際に、偏光面がKerr効果
あるいは/およびFaraday効果により回転することを特徴
とする請求項7記載の情報再生方法。
9. The polarization plane is rotated by the Kerr effect and / or the Faraday effect when the light applied to the reproduction layer from the extremely small light source is reflected by the reproduction layer. Information reproduction method described.
【請求項10】 レーザー光源と、該レーザー光源より
出射されるレーザー光を一定のスポットサイズに絞り込
むためのレンズと、磁界を印加するための磁気ヘッド
と、情報記録媒体を回転させるためのディスク駆動部
と、電気回路を少なくとも具備する情報記録装置におい
て、該レーザー光源から出射するレーザー光の進行途中
に直径が50nm以上300nm以下のピンホールを有する
スリットをことを特徴とする情報記録再生装置。
10. A laser light source, a lens for narrowing laser light emitted from the laser light source to a fixed spot size, a magnetic head for applying a magnetic field, and a disk drive for rotating an information recording medium. An information recording / reproducing apparatus comprising at least a unit and an electric circuit, characterized in that a slit having a pinhole having a diameter of 50 nm or more and 300 nm or less is provided on the way of laser light emitted from the laser light source.
【請求項11】 前記電気回路が、周波数、波長、光強
度から選択される少なくとも一つの光学的な相互作用を
検出する回路を備えることを特徴とする請求項10記載
の情報記録再生装置。
11. The information recording / reproducing apparatus according to claim 10, wherein the electric circuit includes a circuit for detecting at least one optical interaction selected from a frequency, a wavelength, and a light intensity.
【請求項12】 前記情報記録媒体に記録された情報
が、少なくとも音声情報、コードデータ、画像情報、磁
気ディスク装置を制御するための制御情報のうちの1つ
であることを特徴とする情報記録装置。
12. The information recording method according to claim 1, wherein the information recorded on the information recording medium is at least one of audio information, code data, image information, and control information for controlling a magnetic disk drive. apparatus.
【請求項13】 半導体レーザーと半導体レーザーから
出射するレーザー光の進行途中に設けられた直径が50n
m以上300nm以下のピンホールを有するスリットを少
なくとも備えた半導体パッケージから出た光を照射し、
照射された光が反射した後の光と反射前の光との間で生
じる光学的な相互作用を検出することにより情報を再生
する情報記録媒体において、前記情報記録媒体はTb,Gd,
Ho.Dyのうちより選ばれる少なくとも1種類の希土類元素
とFe,Co,Niのうちより選べれる少なくとも1種類の鉄族
元素との非晶質合金からなる記録層を備えることを特徴
とする情報記録媒体。
13. A semiconductor laser and a laser beam emitted from the semiconductor laser having a diameter of 50 n provided on the way.
irradiating light emitted from a semiconductor package having at least a slit having a pinhole of m or more and 300 nm or less,
In an information recording medium that reproduces information by detecting an optical interaction that occurs between light after reflection of the irradiated light and light before reflection, the information recording medium is Tb, Gd,
Information characterized by comprising a recording layer made of an amorphous alloy of at least one rare earth element selected from Ho.Dy and at least one iron group element selected from Fe, Co, and Ni recoding media.
【請求項14】 前記情報記録媒体の情報が、少なくと
も音声情報、コードデータ、画像情報、磁気ディスク装
置を制御するための制御情報のうちの1つであることを
特徴とする情報記録媒体。
14. The information recording medium according to claim 1, wherein the information on the information recording medium is at least one of audio information, code data, image information, and control information for controlling a magnetic disk drive.
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