JP2001100414A - Water-soluble photosensitive composition and production method of graphite screen for color cathode ray tube using same - Google Patents

Water-soluble photosensitive composition and production method of graphite screen for color cathode ray tube using same

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JP2001100414A
JP2001100414A JP28097399A JP28097399A JP2001100414A JP 2001100414 A JP2001100414 A JP 2001100414A JP 28097399 A JP28097399 A JP 28097399A JP 28097399 A JP28097399 A JP 28097399A JP 2001100414 A JP2001100414 A JP 2001100414A
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JP
Japan
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photosensitive composition
graphite
water
pattern
copolymer
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JP28097399A
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Inventor
Shozo Miyazawa
祥三 宮澤
Hiroshi Takanashi
博 高梨
Tetsuya Nakajima
哲矢 中島
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Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a water-soluble photosensitive composition excellent in appliability to a glass panel as a photoresist used in the production of a graphite screen for a color cathode ray tube or the like, having high sensitivity, excellent in developability and resolution, capable of forming a fringe-free pattern of a good shape and excellent also in the removability of the photo-cured pattern and to produce a graphite screen using the composition. SOLUTION: (A) A non-photosensitive polymer containing an acrylamide- acryloyl morpholine copolymer and polyvinylpyrrolidone is blended with (B) a photosensitive bisazido compound to obtain the objective water-soluble photosensitive composition. A photo-cured pattern is formed using the composition on the inner face of a glass panel, graphite is applied to the entire face and dried, and then the photo-cured pattern and the resulting graphite film on the pattern are removed to produce the objective graphite screen for a color cathode ray tube.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、特にカラーブラウ
ン管の蛍光面などに用いられる黒鉛スクリーンの製造に
有用な水溶性感光性組成物およびこれを用いたカラーブ
ラウン管用黒鉛スクリーンの作成方法に関する。さらに
詳しくは、ガラスパネルに対する塗布性に優れ均一な塗
膜の形成が可能であるとともに、高感度で、現像性、解
像性に優れ、フリンジのない良好な形状のパターン形成
ができ、さらに光硬化パターンの剥離性に優れる水溶性
感光性組成物、およびこれを用いたカラーブラウン管用
黒鉛スクリーンの作成方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a water-soluble photosensitive composition particularly useful for producing a graphite screen for use as a fluorescent screen of a color cathode ray tube, and a method for producing a graphite screen for a color cathode ray tube using the same. More specifically, it is possible to form a uniform coating film with excellent applicability to a glass panel, and to form a pattern having a high sensitivity, excellent developability, excellent resolution, and no fringe. The present invention relates to a water-soluble photosensitive composition having excellent releasability of a cured pattern, and a method for producing a graphite screen for a color CRT using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】カラーテレビ等のカラーブラウン管の蛍
光面に用いられる黒鉛スクリーンは、通常、ガラスパネ
ル内面に黒鉛からなる黒鉛パターンが所定パターンにて
形成され、このパターン部以外の部分は多数の小さなホ
ール(ブラックマトリックスホール)あるいはストライ
プ(ブラックストライプ)をなす。そしてこのブラック
マトリックスホールあるいはストライプ内に通常、赤色
(R)、緑色(G)、青色(B)の3原色蛍光体を充填
して3原色蛍光体ドット(パターン)またはストライプ
(パターン)を形成し、画像形成時には、電子銃から電
子ビームを発射し、このビームをシャドウマスクに形成
された多数の透孔を通過させるか、あるいはアパチャー
グリルに形成された多数のスリット部を通過させ、上記
蛍光体パターンを選択的に刺激することにより発光さ
せ、パネル上にカラー画像を形成するようになってい
る。
2. Description of the Related Art A graphite screen used as a fluorescent screen of a color cathode ray tube of a color television or the like usually has a graphite pattern made of graphite in a predetermined pattern formed on the inner surface of a glass panel. It forms holes (black matrix holes) or stripes (black stripes). Usually, three primary color phosphors of red (R), green (G), and blue (B) are filled in the black matrix holes or stripes to form three primary color phosphor dots (patterns) or stripes (patterns). At the time of image formation, an electron beam is emitted from an electron gun, and this beam is passed through a number of through holes formed in a shadow mask or through a number of slits formed in an aperture grill. Light is emitted by selectively stimulating the pattern to form a color image on the panel.

【0003】このようなカラーブラウン管においては、
ガラスパネル内面に形成された各蛍光体パターンとシャ
ドウマスクの透孔(電子ビーム通過部)あるいはアパチ
ャーグリルのスリット部(電子ビーム通過部)の位置対
応関係がずれると、電子ビームが目的とする蛍光体に射
突しなかったり、あるいは他の蛍光体に射突したりし
て、色再現性が低下してしまう。したがって、黒鉛パタ
ーンの形成においては、上記シャドウマスクの透孔ある
いはアパチャーグリルのスリット部と正確に対応する位
置関係を保ってブラックマトリックスホールあるいはス
トライプ部分がガラスパネル内面に形成される必要があ
る。そのため、一般に、黒鉛パターンを形成する際に用
いる露光用マスクは、カラーブラウン管に用いられるシ
ャドウマスクあるいはアパチャーグリルそのものが用い
られる。
[0003] In such a color CRT,
If the positional relationship between each phosphor pattern formed on the inner surface of the glass panel and the through hole (electron beam passage portion) of the shadow mask or the slit portion (electron beam passage portion) of the aperture grill is shifted, the electron beam is irradiated with the desired fluorescent light. The color reproducibility is reduced due to not hitting the body or hitting another phosphor. Therefore, in forming a graphite pattern, it is necessary to form a black matrix hole or a stripe portion on the inner surface of the glass panel while maintaining a positional relationship accurately corresponding to the through hole of the shadow mask or the slit portion of the aperture grill. Therefore, in general, a shadow mask or an aperture grill used for a color CRT is used as an exposure mask used when forming a graphite pattern.

【0004】通常、このような黒鉛スクリーンの作成に
おいては、まず、ガラスパネル内面に水溶性感光性組成
物を塗布してホトレジスト層を形成し、シャドウマスク
あるいはアパチャーグリルを介して上記ホトレジスト層
の露光部分を光硬化させ、現像して非露光部分を除去し
て光硬化パターンを形成した後、該光硬化パターン上お
よび露出ガラスパネル上に全面に亘って黒鉛を塗布、乾
燥して黒鉛膜を形成する。次いで上記光硬化パターンを
剥離除去するとともに、該光硬化パターン上の黒鉛膜も
剥離除去して、シャドウマスクの透孔あるいはアパチャ
ーグリルのスリット部に対応する位置にマトリックスホ
ールあるいはストライプの形成された黒鉛パターンを形
成する。そして、該マトリックスホールあるいはストラ
イプ内に、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の3原
色蛍光体のいずれかをそれぞれ充填して3原色蛍光体パ
ターンを形成することによって、蛍光面を作製してい
る。
Usually, in the production of such a graphite screen, first, a water-soluble photosensitive composition is applied to the inner surface of a glass panel to form a photoresist layer, and the photoresist layer is exposed through a shadow mask or an aperture grill. After photo-curing the part, developing and removing the unexposed part to form a photo-cured pattern, apply graphite over the entire surface on the photo-cured pattern and the exposed glass panel and dry to form a graphite film I do. Next, the light-cured pattern is peeled and removed, and the graphite film on the light-cured pattern is also peeled and removed, so that graphite having a matrix hole or a stripe formed at a position corresponding to a hole of a shadow mask or a slit of an aperture grille. Form a pattern. Then, by filling each of the three primary color phosphors of red (R), green (G), and blue (B) into the matrix holes or the stripes to form a three primary color phosphor pattern, the phosphor screen is formed. Has been produced.

【0005】かかる黒鉛スクリーンの作成に用いられる
水溶性感光性組成物としては、従来より、ポリビニルア
ルコール−重クロム酸塩系のもの、あるいは水溶性ポリ
マー−水溶性ビスアジド化合物系のものなどが使用され
ている。
As the water-soluble photosensitive composition used for producing such a graphite screen, a polyvinyl alcohol-bichromate type or a water-soluble polymer-water-soluble bisazide compound type has been conventionally used. ing.

【0006】しかしながら、ポリビニルアルコール−重
クロム酸塩系のものでは、感度変化が経時的に増大し、
また解像性が悪く、さらに、露光停止後に暗反応による
架橋領域の増大を引き起こすという問題点がある。その
ため、3原色蛍光体パターンを順次形成するために3回
露光、現像、充填を行うと、ホトレジスト層に照射され
る光にパターン間どうしでの重複が生じ、本来ならば分
離されなければならないはずの隣接する他の色の蛍光体
パターンが連なってしまう、いわゆるドッキングと呼ば
れる現象が生じやすいという不具合がある。このような
不具合は、特に、マスクをホトレジスト層に接触させず
離隔させて露光を行うギャップ露光において大きな問題
となっていた。
However, in the case of the polyvinyl alcohol-bichromate system, the change in sensitivity increases with time,
In addition, there is a problem that the resolution is poor and the cross-linking area is increased due to a dark reaction after stopping the exposure. Therefore, if exposure, development, and filling are performed three times in order to sequentially form the three primary color phosphor patterns, light irradiated to the photoresist layer will overlap between the patterns, and should be separated if they should be. There is a problem that a phenomenon called so-called docking is likely to occur, in which adjacent phosphor patterns of other colors continue. Such a problem has been a serious problem particularly in gap exposure in which exposure is performed by separating the mask without contacting the photoresist layer.

【0007】このドッキング現象を回避するために、例
えば特開昭48−79970号公報では、水溶性ポリマ
ー−水溶性ビスアジド化合物系の水溶性感光性組成物の
水溶性ポリマーとしてポリビニルピロリドンを用いた方
法が開示されている。すなわち、ポリビニルピロリドン
を用いた場合、光照射積算値がある一定値以下のとき、
それによって生じる架橋がほとんど進行しないという特
性(「相反則不軌特性」)をもつため、ホトレジスト層
の架橋度のプロフィルは、ビーム通過部の中心に比較的
近い場所では傾斜が急であって、中心から離れるにした
がって架橋度が著しく低下する。そのためビーム通過部
の外縁部付近における架橋度は、光硬化パターンを形成
するに必要な最低架橋度に達せず、生ずるドットの直径
あるいはストライプの寸法は、ビーム通過部であるドッ
トの直径あるいはスリット部の寸法より小さくなり、ド
ッキングが生じない、というものである。
In order to avoid this docking phenomenon, for example, JP-A-48-79970 discloses a method in which polyvinylpyrrolidone is used as a water-soluble polymer in a water-soluble polymer-water-soluble bisazide compound-based water-soluble photosensitive composition. Is disclosed. That is, when using polyvinylpyrrolidone, when the integrated value of light irradiation is a certain value or less,
The cross-linking profile of the photoresist layer has a characteristic that the cross-linking caused by it hardly progresses (“reciprocity failure property”). , The degree of crosslinking is significantly reduced. Therefore, the degree of cross-linking near the outer edge of the beam passage does not reach the minimum degree of cross-linking required to form a photocurable pattern, and the diameter of the resulting dot or the size of the stripe is the diameter of the dot or the slit of the beam passage. , And no docking occurs.

【0008】しかしながら特開昭48−79970号公
報に開示されているような水溶性ポリマー−水溶性ビス
アジド化合物系のものは、塗布性、現像性、解像性に優
れるものの、感度が低く、スループットが低いといった
問題がある。また、ガラスパネルとの密着性が悪く、さ
らに、剥離時にホトレジスト層が完全に除去されずに剥
離残りが生じ、そのためフリンジの多い黒鉛パターンと
なったり、次工程の蛍光体形成において、蛍光体がこの
剥離残りに付着し、混色の原因となる等の問題がある。
[0008] However, a water-soluble polymer-water-soluble bisazide compound system disclosed in JP-A-48-79970 is excellent in coatability, developability and resolution, but has low sensitivity and throughput. Is low. In addition, the adhesion to the glass panel is poor, and the photoresist layer is not completely removed at the time of peeling, so that the peeling remains, which results in a graphite pattern with many fringes, or the fluorescent material is formed in the next step of forming the fluorescent material. There is a problem that it adheres to the peeling residue and causes color mixing.

【0009】そのほかにも、例えば特開昭49−688
01号公報では、アクリルアミドとジアセトンアクリル
アミドとからなるコポリマー(AM−DAAMコポリマ
ー)と、感光性ビスアジド化合物とを含有する感光性組
成物を開示している。この感光性組成物は、感度、解像
性に優れ、フリンジの少ない黒鉛パターンの形成が可能
であるが、ガラスパネルに対する塗布性に劣り、均一な
膜厚の感光性被膜を形成することが困難であるという問
題がある。また、未露光部分の現像除去がしづらく、前
述のポリビニルピロリドンを用いた水溶性感光性組成物
に比べ、約2倍以上の現像時間を要する。なお現像が不
十分であると、ガラスパネル上に現像残りを生じるた
め、黒鉛スラリーを塗布する際、ストリエーションを発
生させるといった問題を有する。
In addition, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 49-688
No. 01 discloses a photosensitive composition containing a copolymer of acrylamide and diacetone acrylamide (AM-DAAM copolymer) and a photosensitive bisazide compound. This photosensitive composition is excellent in sensitivity and resolution, and can form a graphite pattern with little fringe, but is inferior in coatability to a glass panel and difficult to form a photosensitive film having a uniform film thickness. There is a problem that is. Further, it is difficult to remove the unexposed portion by development, and it takes about twice or more development time as compared with the above-mentioned water-soluble photosensitive composition using polyvinylpyrrolidone. Insufficient development results in residual development on the glass panel, which causes a problem of striation when applying the graphite slurry.

【0010】また特開平6−51509号公報では、水
溶性モノマー(アクリルアミド、ジアセトンアクリルア
ミド、ジメチルアクリルアミドなど)とアクリロイルモ
ルホリンとからなるコポリマーと、水溶性アジド化合物
を含有する感光性組成物を開示している。
JP-A-6-51509 discloses a photosensitive composition containing a copolymer comprising a water-soluble monomer (eg, acrylamide, diacetone acrylamide, dimethylacrylamide) and acryloylmorpholine, and a water-soluble azide compound. ing.

【0011】この中で、アクリルアミド−アクリロイル
モルホリン(AM−ACMO)コポリマーを含有する感
光性組成物は、ガラスパネルに対する塗布性が良好で、
また高感度で、現像除去も容易であるが、解像性に劣
り、形成される黒鉛パターンにはフリンジが多く、良好
なパターン形状が得られないという問題がある。また、
ジメチルアクリルアミド−アクリロイルモルホリン(D
MAM−ACMO)コポリマーを含有する感光性組成物
は、ガラスパネルに対する塗布性は良好であるものの、
感度が低く、上記と同様に解像性に劣り、形成される黒
鉛パターンにフリンジが多く、良好なパターン形状が得
られない。さらに、アクリルアミド−ジアセトンアクリ
ルアミド−アクリロイルモルホリン(AM−DAAM−
ACMO)コポリマーを含有する感光性組成物は、ガラ
スパネルに対する塗布性は良好であるものの、感度が低
く、上記と同様に解像性に劣り、形成される黒鉛パター
ンにフリンジが多く、良好なパターン形状が得られない
という問題がある。
Among them, a photosensitive composition containing an acrylamide-acryloylmorpholine (AM-ACMO) copolymer has good coatability on a glass panel,
In addition, it has high sensitivity and is easy to remove by development, but has poor resolution and has a problem that a graphite pattern to be formed has many fringes and a good pattern shape cannot be obtained. Also,
Dimethylacrylamide-acryloylmorpholine (D
(MAM-ACMO) The photosensitive composition containing the copolymer has good coatability on a glass panel,
The sensitivity is low, the resolution is inferior as described above, the graphite pattern formed has many fringes, and a good pattern shape cannot be obtained. Further, acrylamide-diacetoneacrylamide-acryloylmorpholine (AM-DAAM-
The photosensitive composition containing the (ACMO) copolymer has good applicability to a glass panel, but has low sensitivity, is inferior in resolution as described above, has many fringes in the graphite pattern formed, and has a good pattern. There is a problem that a shape cannot be obtained.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、特に
カラーブラウン管用黒鉛スクリーンの製造に用いられる
ホトレジストとして、ガラスパネルに対する塗布性に優
れ均一な塗膜の形成が可能であるとともに、高感度で、
現像性、解像性に優れ、フリンジのない良好な形状のパ
ターン形成ができ、さらに光硬化パターンの剥離性に優
れる水溶性感光性組成物、およびこれを用いた黒鉛スク
リーンの作成方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a photoresist for use in the production of a graphite screen for a color cathode ray tube, which is capable of forming a uniform coating film having excellent coatability on a glass panel and high sensitivity. so,
Provided is a water-soluble photosensitive composition which is excellent in developability and resolution, can form a pattern having a good shape without fringes, and has excellent peelability of a photocurable pattern, and a method for producing a graphite screen using the same. It is in.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明者らは上記課題を
解決するために鋭意研究を重ねた結果、特定の非感光性
高分子と感光性ビスアジド化合物を含む水溶性感光性組
成物を用いることにより上記課題を解決することができ
るという知見を得、これに基づいて本発明を完成させる
に至った。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have conducted intensive studies to solve the above-mentioned problems, and as a result, have found that a water-soluble photosensitive composition containing a specific non-photosensitive polymer and a photosensitive bisazide compound is used. As a result, the inventor has found that the above problem can be solved, and based on this finding, has completed the present invention.

【0014】すなわち本発明は、(A)アクリルアミド
−アクリロイルモルホリンコポリマーとポリビニルピロ
リドンを含む非感光性高分子と、(B)感光性ビスアジ
ド化合物を含有してなる水溶性感光性組成物に関する。
That is, the present invention relates to a water-soluble photosensitive composition containing (A) a non-photosensitive polymer containing an acrylamide-acryloylmorpholine copolymer and polyvinylpyrrolidone, and (B) a photosensitive bisazide compound.

【0015】また本発明は、ガラスパネル上に上記水溶
性感光性組成物を用いて光硬化パターンを形成した後、
黒鉛を全面に塗布、乾燥後、前記光硬化パターンとその
上の黒鉛被膜を剥離除去して黒鉛パターンを形成する、
カラーブラウン管用黒鉛スクリーンの作成方法に関す
る。
Further, the present invention provides a method for forming a photocurable pattern on a glass panel using the above water-soluble photosensitive composition.
After applying graphite on the entire surface and drying, the photocurable pattern and the graphite coating thereon are peeled off to form a graphite pattern,
The present invention relates to a method for producing a graphite screen for a color cathode ray tube.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明について詳述する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in detail.

【0017】本発明の水溶性感光性組成物(以下、単に
「感光性組成物」と記す)において、(A)成分として
の非感光性高分子は、アクリルアミド−アクリロイルモ
ルホリンコポリマーとポリビニルピロリドンの2種の高
分子を含有する。
In the water-soluble photosensitive composition of the present invention (hereinafter simply referred to as "photosensitive composition"), the non-photosensitive polymer as the component (A) is an acrylamide-acryloylmorpholine copolymer and polyvinylpyrrolidone. Contains species of macromolecules.

【0018】アクリルアミド−アクリロイルモルホリン
コポリマー(AM−ACMOコポリマー)において、ア
クリルアミド(AM)とアクリロイルモルホリン(AC
MO)の共重合比(モル比)は、ACMO1モルに対し
て、AM1〜5モル程度が好ましく、特には2〜3モル
程度が好ましい。ACMOに対するAMの共重合比が小
さすぎると感度が劣る傾向がみられ、一方、AMの比が
大きすぎるとガス透過率が低くなり、相反則不軌特性が
劣る傾向がみられ、好ましくない。
In the acrylamide-acryloylmorpholine copolymer (AM-ACMO copolymer), acrylamide (AM) and acryloylmorpholine (AC
The copolymerization ratio (molar ratio) of MO) is preferably about 1 to 5 mol, and particularly preferably about 2 to 3 mol, for 1 mol of ACMO. If the copolymerization ratio of AM to ACMO is too small, the sensitivity tends to be inferior. On the other hand, if the ratio of AM is too large, the gas permeability tends to be low, and the reciprocity failure property tends to be inferior.

【0019】AM−ACMOコポリマーの共重合の態様
は、ランダム共重合、ブロック共重合、グラフト共重合
等、任意の態様が可能であるが、ランダム共重合が好ま
しい。重合度は、特に制限されるものでなく、種々の重
合度のものを選ぶことができるが、ガラスパネルに対す
る感光性組成物の塗布性の点から、該コポリマーの3重
量%水溶液の粘度が50〜150cP/25℃をなす程
度の重合度のものが好ましく、特には60〜120cP
/25℃をなす程度の重合度のものが好ましい。
As the mode of copolymerization of the AM-ACMO copolymer, any mode such as random copolymerization, block copolymerization, and graft copolymerization is possible, but random copolymerization is preferred. The polymerization degree is not particularly limited, and various polymerization degrees can be selected. However, from the viewpoint of applicability of the photosensitive composition to a glass panel, the viscosity of a 3% by weight aqueous solution of the copolymer is 50%. A polymerization degree of about 150 to 150 cP / 25 ° C. is preferable.
/ 25 ° C. is preferred.

【0020】ポリビニルピロリドン(PVP)として
は、ガラスパネルに対す塗布性の点から、K値が60〜
100のものが好ましく、特には70〜90のものが好
ましい。ここでK値とは、分子量に依存する値であり、
下記の数1
The polyvinyl pyrrolidone (PVP) has a K value of 60 to 60 from the viewpoint of applicability to a glass panel.
100 is preferable, and especially 70-90 is preferable. Here, the K value is a value that depends on the molecular weight,
Equation 1 below

【0021】[0021]

【数1】 (Equation 1)

【0022】(式中、Cはポリビニルピロリドン水溶液
100mlに含まれる該ポリビニルピロリドンのグラム
数を示し;ηrは該ポリビニルピロリドンの相対粘度を
示す)で表される関係式を満足するものである。K値が
大きいほど分子量が大きいことを示す。なお、上記数式
において相対粘度(ηr)とは、溶媒に対する溶液の比
粘度のことであり、ある濃度の溶液(ここでは上記ポリ
ビニルピロリドン1gを100mlの水に溶解した溶
液)の粘度をη、その溶媒の粘度をηoとすると相対粘
度(ηr)は、ηr=η/ηoにより求められる。K値が
高すぎると、粘性が高くなりホトレジスト膜厚のコント
ロールが難しく、また剥離性も低下する傾向がある。一
方、K値が低すぎると、光硬化性が低下し、所望寸法の
光硬化パターンを形成することが難しくなる。
[0022] (wherein, C is indicates the number of grams of the polyvinyl pyrrolidone contained in the aqueous solution of polyvinylpyrrolidone 100 ml; eta r indicates the relative viscosity of the polyvinyl pyrrolidone) are those satisfying the relationship represented by. A higher K value indicates a higher molecular weight. In the above formula, the relative viscosity (η r ) is the specific viscosity of a solution with respect to a solvent, and the viscosity of a solution having a certain concentration (here, a solution in which 1 g of polyvinylpyrrolidone is dissolved in 100 ml of water) is defined as η, Assuming that the viscosity of the solvent is η o , the relative viscosity (η r ) can be obtained by η r = η / η o . If the K value is too high, the viscosity becomes high, it is difficult to control the photoresist film thickness, and the releasability tends to decrease. On the other hand, if the K value is too low, the photocurability decreases, and it becomes difficult to form a photocurable pattern having a desired size.

【0023】(A)成分として上記AM−ACMOコポ
リマー、PVPの2成分を配合することにより、本発明
の感光性組成物のガラスパネルへの塗布性および剥離性
を向上させることができ、また、高感度、高解像度でフ
リンジのないパターン形成が可能となった。
By blending the two components of the above-mentioned AM-ACMO copolymer and PVP as the component (A), the applicability and peelability of the photosensitive composition of the present invention to a glass panel can be improved. High-sensitivity, high-resolution, fringe-free pattern formation has become possible.

【0024】(A)成分中において、AM−ACMOコ
ポリマーの配合割合は、AM−ACMOコポリマーとP
VPの合計重量1に対して0.2〜0.9(重量比)程
度が好ましく、特には0.4〜0.9(重量比)程度が
好ましい。AM−ACMOコポリマーの配合割合が少な
すぎると感度、光硬化パターンの剥離性が劣る傾向があ
り、一方、配合割合が多すぎるとガス透過率が低くな
り、相反則不軌特性が劣る傾向がみられる。
In the component (A), the mixing ratio of the AM-ACMO copolymer is such that
The total weight of VP is preferably about 0.2 to 0.9 (weight ratio), and more preferably about 0.4 to 0.9 (weight ratio). If the blending ratio of the AM-ACMO copolymer is too small, the sensitivity and the releasability of the photocurable pattern tend to be poor. On the other hand, if the blending ratio is too large, the gas permeability tends to be low and the reciprocity failure property tends to be poor. .

【0025】なお、本発明感光性組成物の固形分中、
(A)成分の配合量は、50〜97重量%程度が好まし
く、特には60〜80重量%程度である。
Incidentally, in the solid content of the photosensitive composition of the present invention,
The compounding amount of the component (A) is preferably about 50 to 97% by weight, particularly about 60 to 80% by weight.

【0026】(B)成分としての感光性ビスアジド化合
物としては、水溶性のものが用いられ、例えば下記一般
式(I)
As the photosensitive bisazide compound as the component (B), a water-soluble one is used, for example, the following general formula (I)

【0027】[0027]

【化3】 Embedded image

【0028】(式中、XはH、Na、KまたはNH4
表す)で表される4,4’−ジアジドスチルベン−2,
2’−ジスルホン酸またはその塩、下記一般式(II)
Wherein X represents H, Na, K or NH 4 , wherein 4,4′-diazidostilbene-2,
2'-disulfonic acid or a salt thereof, represented by the following general formula (II)

【0029】[0029]

【化4】 Embedded image

【0030】(式中、XはH、Na、KまたはNH4
表す)で表されるビス(4−アジド−2−スルホベンジ
リデン)アセトンまたはその塩が好ましく用いられる。
また下記一般式(III)
Bis (4-azido-2-sulfobenzylidene) acetone represented by the formula (wherein X represents H, Na, K or NH 4 ) or a salt thereof is preferably used.
The following general formula (III)

【0031】[0031]

【化5】 Embedded image

【0032】(式中、XはH、Na、KまたはNH4
表す)で表される2,5−ビス(4−アジド−2−スル
ホベンジリデン)シクロペンタノンまたはその塩も用い
ることができる。
2,5-bis (4-azido-2-sulfobenzylidene) cyclopentanone represented by (where X represents H, Na, K or NH 4 ) or a salt thereof can also be used. .

【0033】また、上記した以外にも、アセチルアセト
ン、メチルエチルケトン等とアジドベンズアルデヒドス
ルホン酸塩との縮合反応により得られるビスアジド化合
物も用いることができるが、上記一般式(I)〜(III)
のビスアジド化合物に比べ合成が困難であるので、その
分、原料コストがかかる。中でも、上記一般式(I)、
(II)のビスアジド化合物は、それぞれ分光感度が異な
り、感度に若干の違いはあるが、どちらも本発明の感光
性組成物に有用であり、好ましく用いることができる。
とりわけ一般式(I)で表されるビスアジド化合物は、
安価で最も汎用的に用いられている。
In addition to the above, bisazide compounds obtained by a condensation reaction of acetylacetone, methyl ethyl ketone, etc. with azidobenzaldehyde sulfonate can also be used, and the compounds represented by the above general formulas (I) to (III)
Since the synthesis is more difficult than the bisazide compound, the raw material cost is increased accordingly. Among them, the above general formula (I),
The bisazide compounds (II) have different spectral sensitivities and slightly different sensitivities, but both are useful in the photosensitive composition of the present invention and can be preferably used.
In particular, the bisazide compound represented by the general formula (I)
Inexpensive and most commonly used.

【0034】なお、本発明の感光性組成物では、上記し
た感光性ビスアジド化合物に限らず、水溶性であればど
のような感光性ビスアジド化合物も用いることができ
る。また、感光性ビスアジド化合物は、それぞれ異なる
紫外可視吸収スペクトルを有するため、露光に使用する
光源の種類により、あるいは光学フィルターを使用した
場合に感度の低下を補うために、必要に応じて単独若し
くは組み合わせて使用することができる。
The photosensitive composition of the present invention is not limited to the above-mentioned photosensitive bis azide compound, and any photosensitive bis azide compound which is water-soluble can be used. In addition, since photosensitive bisazide compounds have different ultraviolet-visible absorption spectra, depending on the type of light source used for exposure, or to compensate for the decrease in sensitivity when using an optical filter, alone or in combination as necessary Can be used.

【0035】(B)成分の配合量は、(A)成分に対し
3〜15重量%の割合で配合するのが好ましく、より好
ましくは4〜10重量%である。(A)成分に対し
(B)成分の配合量を上記範囲より多くしてもあまり感
度の向上がみられないのみならず、解像性の劣化、感光
性ビスアジド化合物の析出などの問題を生じるため、好
ましくない。本発明では、このように(B)成分の配合
量を低く抑えることができ、そのため材料コストの低減
化を図ることができ、より安価で実用的な感光性組成物
を得ることができる。
The amount of the component (B) is preferably 3 to 15% by weight, more preferably 4 to 10% by weight, based on the component (A). If the amount of the component (B) is more than the above range with respect to the component (A), not only the sensitivity does not improve much but also problems such as deterioration of resolution and precipitation of a photosensitive bisazide compound are caused. Therefore, it is not preferable. In the present invention, the blending amount of the component (B) can be suppressed as described above, so that the material cost can be reduced, and a more inexpensive and practical photosensitive composition can be obtained.

【0036】本発明においては、上記必須構成成分の他
に、必要に応じて相容性のあるポリマーや各種添加剤、
例えば着色剤、可塑剤、界面活性剤、ガラスパネルとの
密着性をさらに高めるためのシリコンカップリング剤等
を適宜、添加、配合させることができる。
In the present invention, in addition to the above-mentioned essential components, if necessary, compatible polymers and various additives,
For example, a coloring agent, a plasticizer, a surfactant, a silicone coupling agent for further improving the adhesion to the glass panel, and the like can be appropriately added and blended.

【0037】なお、本発明の感光性組成物はガラスパネ
ルとの接着性が良好であるため、シリコンカップリング
剤を添加する場合、少量の配合量で十分に効果を奏す
る。このようなシリコンカップリング剤としては、例え
ば有機シリコン系材料が挙げられ、これらは「KBM6
03」(信越シリコン(株)製)、「A1150」(日
本ユニカー(株)製)等として市販されている。
Since the photosensitive composition of the present invention has good adhesiveness to a glass panel, a small amount of the silicone coupling agent is sufficiently effective when a silicone coupling agent is added. As such a silicon coupling agent, for example, an organic silicon-based material can be mentioned.
03 "(manufactured by Shin-Etsu Silicon Co., Ltd.) and" A1150 "(manufactured by Nippon Unicar Co., Ltd.).

【0038】次に、本発明の感光性組成物を用いて、本
発明に係るカラーブラウン管用黒鉛スクリーンの作成方
法について説明する。
Next, a method for producing a graphite screen for a color cathode ray tube according to the present invention using the photosensitive composition of the present invention will be described.

【0039】本発明のカラーブラウン管用黒鉛スクリー
ンの作成方法によれば、上記感光性組成物を用いてガラ
スパネル内面に光硬化パターンを形成した後、黒鉛を全
面に塗布、乾燥後、前記光硬化パターンとこの上の黒鉛
被膜を剥離除去して黒鉛パターンを形成することによっ
て、カラーブラウン管用黒鉛スクリーンが作成される。
According to the method for producing a graphite screen for a color cathode ray tube of the present invention, a photocuring pattern is formed on the inner surface of a glass panel using the photosensitive composition, then the graphite is applied on the entire surface, dried, and then the photocuring is performed. By exfoliating and removing the pattern and the graphite coating thereon to form a graphite pattern, a graphite screen for a color cathode ray tube is produced.

【0040】まず、上記本発明感光性組成物を、例えば
粘度20〜30cP/25℃程度となるよう、水で希釈
したものを塗布液として用い、これをガラスパネル内面
に塗布する。
First, the photosensitive composition of the present invention is diluted with water so as to have a viscosity of, for example, about 20 to 30 cP / 25 ° C., and used as a coating liquid, which is applied to the inner surface of a glass panel.

【0041】黒鉛パターンの形成において、感光性組成
物の乾燥被膜をガラスパネル内面に均一な厚さで形成し
なければならない。そのための塗布手段としては回転塗
布法、カーテンコート法、スプレー法等があるが、回転
塗布法が一般的である。
In forming a graphite pattern, a dry film of the photosensitive composition must be formed on the inner surface of the glass panel with a uniform thickness. As a coating means therefor, there are a spin coating method, a curtain coating method, a spray method and the like, and the spin coating method is generally used.

【0042】この回転塗布法では、塗布液の流動特性が
重要となる。ポリビニルピロリドンを主成分として含有
する感光性組成物(PVP系組成物)は、いわゆるニュ
ートン流体に近いため極めて塗布性がよく、塗布性向上
等のために界面活性剤を用いる場合、ごく少量の添加量
でよい。
In this spin coating method, the flow characteristics of the coating liquid are important. A photosensitive composition containing polyvinylpyrrolidone as a main component (PVP-based composition) has a very good coatability because it is close to a so-called Newtonian fluid, and when a surfactant is used for improving coatability, a very small amount is added. Amount is fine.

【0043】一方、従来例で示したようなアクリルアミ
ド−ジアセトンアクリルアミド(AM−DAAM)コポ
リマーを主成分として含有する感光性組成物は、非ニュ
ートン流体であり流動性が悪く塗布性は悪い。そのため
使用時、塗布性の改善には多量の界面活性剤若しくは水
溶性の有機溶剤を添加しなければならないが、それでも
PVP系に比べ塗布性はかなり劣る。
On the other hand, a photosensitive composition containing an acrylamide-diacetone acrylamide (AM-DAAM) copolymer as a main component as shown in the conventional example is a non-Newtonian fluid and has poor fluidity and poor coatability. Therefore, in use, a large amount of a surfactant or a water-soluble organic solvent must be added to improve the coating properties, but the coating properties are still considerably inferior to those of the PVP system.

【0044】本発明の感光性組成物は、AM−DAAM
コポリマー系に比べ流動特性に優れ、PVP系と同等の
流動性を示し塗布性が良好である。またPVP系よりも
高感度で、解像性、および光硬化パターンの剥離性に優
れるため、形状のよい黒鉛パターンを形成することがで
きる。
The photosensitive composition of the present invention comprises an AM-DAAM
It has excellent flow characteristics as compared with the copolymer system, exhibits the same flowability as the PVP system, and has good coatability. In addition, since it has higher sensitivity than PVP-based resin, and is excellent in resolution and releasability of a photocurable pattern, a graphite pattern having a good shape can be formed.

【0045】次いで、この感光性組成物を塗布、乾燥し
て得られたホトレジスト層にシャドウマスクあるいはア
パチャーグリルを介して露光する。露光は、紫外線、特
に波長300〜400nm付近の光を出力する超高圧水
銀ランプが好適に用いられ、その露光量は感光性組成物
の組成に応じて若干異なるが、0.1〜1.5mJ/c
2程度が好ましい。本発明の上記感光性組成物を用い
ることにより、ギャップ露光において、相反則不軌特性
を示す良好な光硬化パターンを得ることができる。その
理由は明確ではないものの、おおよそ以下のようであろ
うと考えられている。
Next, the photoresist layer obtained by applying and drying this photosensitive composition is exposed through a shadow mask or an aperture grill. For the exposure, an ultra-high pressure mercury lamp which outputs ultraviolet light, particularly light having a wavelength of about 300 to 400 nm, is preferably used, and the exposure amount is slightly different depending on the composition of the photosensitive composition, but is preferably 0.1 to 1.5 mJ. / C
m 2 is preferable. By using the photosensitive composition of the present invention, it is possible to obtain a good photocurable pattern exhibiting reciprocity failure characteristics in gap exposure. Although the reason is not clear, it is thought to be roughly as follows.

【0046】すなわち、ホトレジスト層の光硬化反応
は、該ホトレジスト層中に含まれるアジド基が露光によ
って励起してナイトレンを発生し、このナイトレンどう
し、あるいはナイトレンとポリマーが反応して架橋し、
光硬化を起こすとされている。しかしながらこのナイト
レンは、酸素や水の存在下においては、上記架橋反応と
酸素や水との非架橋反応とが共存し、その結果、架橋反
応が抑制される。とりわけビニルピロリドンを含有して
なるポリマー、例えば(A)成分中の必須構成成分をな
すポリビニルピロリドン(PVP)は酸素透過性に優れ
るので、ギャップ露光においては、空気中の酸素が効率
よくホトレジスト層中に取り込まれ、ホトレジスト層中
のナイトレンと反応して上記架橋反応を抑制するため、
高照度のビーム通過部中心部分対応箇所に対しては光硬
化反応を起こす一方、低照度のビーム通過部周縁部分対
応箇所では光硬化反応が抑制され、その結果、シャドウ
マスクの透孔(ビーム通過部)あるいはアパチャーグリ
ルのストライプ部(ビーム通過部)よりも小さいドット
あるいはストライプの光硬化パターンが得られる。その
ため、従来例のようなドッキング現象が生じることがな
い。しかし、その分、ホトレジスト層全体の感度も低下
するため、所望のパターン寸法を得るためには照度を高
くする必要があるが、本発明の(A)成分の他の必須構
成成分をなすAM−ACMOコポリマーは、特にACM
Oに対するAMの共重合比を1〜5(モル比)程度とし
た場合、良好な酸素透過率を維持したまま、高感度化が
達成できるため、低照度条件下においても効率よく架橋
反応が進行する。なお、本発明の感光性組成物をコンタ
クト露光(マスクをホトレジスト層に接触させて行う露
光)に用いた場合に、マスクパターンに忠実な光硬化パ
ターンを形成できることはいうまでもない。
That is, in the photo-curing reaction of the photoresist layer, the azide group contained in the photoresist layer is excited by exposure to generate nitrene, and the nitrenes or the nitrene and the polymer react and crosslink,
It is said to cause light curing. However, in the nitrene, in the presence of oxygen or water, the crosslinking reaction and the non-crosslinking reaction with oxygen or water coexist, and as a result, the crosslinking reaction is suppressed. In particular, a polymer containing vinylpyrrolidone, for example, polyvinylpyrrolidone (PVP), which is an essential component in the component (A), has excellent oxygen permeability, so that in the gap exposure, oxygen in the air is efficiently used in the photoresist layer. In order to suppress the crosslinking reaction by reacting with nitrene in the photoresist layer,
The photo-curing reaction occurs at the portion corresponding to the central portion of the high-illuminance beam passage portion, while the photo-curing reaction is suppressed at the portion corresponding to the peripheral portion of the low-illuminance beam passage portion. Area) or a light curing pattern of dots or stripes smaller than the stripe part (beam passage part) of the aperture grille. Therefore, the docking phenomenon unlike the conventional example does not occur. However, the sensitivity of the entire photoresist layer is reduced accordingly, and it is necessary to increase the illuminance in order to obtain a desired pattern size. However, AM-, which is another essential component of the component (A) of the present invention, is required. ACMO copolymers are particularly useful for ACM
When the copolymerization ratio of AM to O is about 1 to 5 (molar ratio), high sensitivity can be achieved while maintaining good oxygen permeability, so that the crosslinking reaction proceeds efficiently even under low illuminance conditions. I do. When the photosensitive composition of the present invention is used for contact exposure (exposure performed by bringing a mask into contact with a photoresist layer), it is needless to say that a photocured pattern faithful to the mask pattern can be formed.

【0047】次いで現像を行い、未露光部分を除去し、
ガラスパネル内面に光硬化パターンを形成する。現像は
公知の方法により水を用いて行い得る。
Next, development is performed to remove unexposed portions.
A light curing pattern is formed on the inner surface of the glass panel. Development can be performed using water by a known method.

【0048】次いでこれを乾燥し、黒鉛含有液(黒鉛ス
ラリー)を光硬化パターン上並びに露出ガラスパネル上
の全面に亘って塗布して再び乾燥した後、前記光硬化パ
ターンを剥離除去するとともに、該光硬化パターン上に
被着された黒鉛も剥離除去することにより、黒鉛パター
ンを形成する。黒鉛としては、特に限定はなく、一般に
カラーブラウン管用黒鉛スクリーンの製造に使用される
黒鉛が好適に用いられる。上述の剥離除去は通常の剥離
剤等を用いて行うことができる。剥離剤としては、例え
ば次亜塩素酸、次亜塩素酸ナトリウム等の次亜塩素酸
塩;過酸化水素;ペルオキソ硫酸、ペルオキソ硫酸カリ
ウム等のペルオキソ硫酸塩;過ヨウ素酸、過ヨウ素酸カ
リウム等の過ヨウ素酸塩のほか、チオ尿素、過マンガン
酸系、スルファミン酸系等の酸性水溶液が用いられ、中
でも過酸化水素、チオ尿素、スルファミン酸の混合水溶
液が好ましい。本発明の感光性組成物は、これら一般的
に知られている剥離剤を1種または2種以上用いて容易
に剥離を行うことができる。また、剥離条件としては、
常温で行ってもよく、加熱して行ってもよい。
Next, this was dried, a graphite-containing liquid (graphite slurry) was applied over the entire surface of the photocured pattern and the exposed glass panel, and dried again. Then, the photocured pattern was peeled off and removed. A graphite pattern is formed by exfoliating and removing the graphite adhered on the photocured pattern. The graphite is not particularly limited, and graphite generally used for producing a graphite screen for a color cathode ray tube is preferably used. The above-described peeling and removal can be performed using a usual peeling agent or the like. Examples of the releasing agent include hypochlorites such as hypochlorous acid and sodium hypochlorite; hydrogen peroxide; peroxosulfates such as peroxosulfuric acid and potassium peroxosulfate; periodic acid and potassium periodate; In addition to periodate, an acidic aqueous solution such as thiourea, permanganate, or sulfamic acid is used, and a mixed aqueous solution of hydrogen peroxide, thiourea, and sulfamic acid is preferable. The photosensitive composition of the present invention can be easily peeled by using one or more of these generally known release agents. Also, as the peeling conditions,
It may be performed at normal temperature or may be performed by heating.

【0049】このようにして得られた黒鉛スクリーンを
カラーブラウン管に用いるときには、ブラックマトリッ
クスホールあるいはストライプ部分に赤、青、緑の3原
色蛍光体を充填し、このパネルを電子銃からの電子ビー
ムをシャドウマスクの透孔あるいはアパチャーグリルの
ストライプ部を通過させて所望の蛍光体に照射し、カラ
ー画像を得る。本発明の感光性組成物およびカラーブラ
ウン管用黒鉛スクリーンの作成方法の適用により、高コ
ントラストで高鮮明なカラー画像を得ることができる。
When the thus obtained graphite screen is used for a color cathode ray tube, the black matrix holes or stripe portions are filled with three primary color phosphors of red, blue and green, and the panel is irradiated with an electron beam from an electron gun. A desired phosphor is radiated through a through hole of a shadow mask or a stripe portion of an aperture grill to obtain a color image. By applying the photosensitive composition of the present invention and the method for producing a graphite screen for a color cathode ray tube, a high-contrast and high-clear color image can be obtained.

【0050】[0050]

【実施例】以下に本発明の実施例について説明するが、
本発明はこれによってなんら限定されるものではない。
EXAMPLES Examples of the present invention will be described below.
The present invention is not limited by this.

【0051】1.感光性組成物の調製1. Preparation of photosensitive composition

【0052】(合成例1: AM−ACMOコポリマー
の合成)アクリルアミド420g(5.9モル)、アク
リロイルモルホリン280g(2.0モル)を、純水9
300gに溶解し、これを三つ口フラスコに仕込み、窒
素ガス置換しつつ加熱して53℃まで昇温させた。
(Synthesis Example 1: Synthesis of AM-ACMO copolymer) 420 g (5.9 mol) of acrylamide and 280 g (2.0 mol) of acryloylmorpholine were added to pure water 9
This was dissolved in 300 g, and this was charged into a three-necked flask, and heated to 53 ° C. while purging with nitrogen gas.

【0053】次いで、重合開始剤(「VA044」:和
光純薬(株)製)1.4gを純水5gに溶解した液体を
これに加え、重合反応を3時間行って、アクリルアミド
−アクリロイルモルホリン(AM−ACMO)コポリマ
ーを合成した。
Next, a liquid obtained by dissolving 1.4 g of a polymerization initiator (“VA044”, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) in 5 g of pure water was added thereto, and a polymerization reaction was carried out for 3 hours to give acrylamide-acryloylmorpholine ( AM-ACMO) copolymer was synthesized.

【0054】合成したAM−ACMOコポリマーは、3
重量%水溶液の粘度が100cP/25℃であった。
The synthesized AM-ACMO copolymer has 3
The viscosity of the weight% aqueous solution was 100 cP / 25 ° C.

【0055】(調製例1: 感光性組成物1の調製)合
成例1で得たAM−ACMOコポリマーの水溶液の一部
を純水で希釈して1.5重量%濃度に調整し、この調整
液1kgに、4,4’−ジアジドスチルベン−2,2’
−ジスルホン酸二ナトリウム(一般式(I)。X=N
a)1.2g(AM−ACMOコポリマーの8重量%)
を添加し、感光性組成物1を調製した。
(Preparation Example 1: Preparation of Photosensitive Composition 1) A part of the aqueous solution of the AM-ACMO copolymer obtained in Synthesis Example 1 was diluted with pure water to adjust the concentration to 1.5% by weight, and this adjustment was performed. 4,4'-diazidostilbene-2,2 'in 1 kg of liquid
Disodium disulfonate (general formula (I); X = N
a) 1.2 g (8% by weight of AM-ACMO copolymer)
Was added to prepare a photosensitive composition 1.

【0056】(調製例2: 感光性組成物2の調製)P
VP(K値90)の3.0重量%水溶液1kgに、4,
4’−ジアジドスチルベン−2,2’−ジスルホン酸二
ナトリウム(一般式(I)。X=Na)2.4g(PV
Pの8重量%)を添加し、感光性組成物2を調製した。
(Preparation Example 2: Preparation of photosensitive composition 2)
To 1 kg of a 3.0% by weight aqueous solution of VP (K value 90) is added 4,
2.4 g of 4'-diazidostilbene-2,2'-disulfonate disodium (general formula (I), X = Na) (PV
P (8% by weight of P) was added to prepare photosensitive composition 2.

【0057】(調製例3〜5: 感光性組成物3〜5の
調製)上記調製例2で得た感光性組成物2〔PVP+
(B)成分〕を純水で二倍量に稀釈した。
(Preparation Examples 3 to 5: Preparation of Photosensitive Compositions 3 to 5) Photosensitive composition 2 [PVP +] obtained in Preparation Example 2 above
(B) component] was diluted twice with pure water.

【0058】この希釈液と、上記調製例1で得た感光性
組成物1〔AM−ACMOコポリマー+(B)成分〕と
を、表1に示す割合(重量比)で配合して、感光性組成
物3〜5を調製した。
This diluent was mixed with the photosensitive composition 1 [AM-ACMO copolymer + component (B)] obtained in Preparation Example 1 in a ratio (weight ratio) shown in Table 1 to obtain a photosensitive composition. Compositions 3-5 were prepared.

【0059】[0059]

【表1】 [Table 1]

【0060】(合成例2: AM−DAAMコポリマー
の合成)アクリルアミド317g(4.46モル)、ジ
アセトンアクリルアミド383g(2.26モル)を、
純水9300gに溶解し、これを三つ口フラスコに仕込
み窒素ガス置換しつつ加熱を行い、50℃まで昇温させ
た。
(Synthesis Example 2: Synthesis of AM-DAAM copolymer) 317 g (4.46 mol) of acrylamide and 383 g (2.26 mol) of diacetone acrylamide were obtained.
This was dissolved in 9300 g of pure water, and this was charged into a three-necked flask and heated while substituting with nitrogen gas, and the temperature was raised to 50 ° C.

【0061】次いで、重合開始剤(「VA044」:和
光純薬(株)製)1.4gを純水5gに溶解した液体を
これに加え、重合反応を3時間行って、アクリルアミド
−ジアセトンアクリルアミド(AM−DAAM)コポリ
マーを合成した。
Next, a liquid prepared by dissolving 1.4 g of a polymerization initiator (“VA044”, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) in 5 g of pure water was added thereto, and a polymerization reaction was carried out for 3 hours to give acrylamide-diacetoneacrylamide. (AM-DAAM) copolymer was synthesized.

【0062】合成したAM−DAAMコポリマーは、3
重量%水溶液の粘度が120cP/25℃であった。
The synthesized AM-DAAM copolymer has 3
The viscosity of the weight% aqueous solution was 120 cP / 25 ° C.

【0063】(調製例6: 感光性組成物6の調製)合
成例2で得たAM−DAAMコポリマーの水溶液の一部
を純水で希釈して1.5重量%濃度に調整し、この調整
液1kgに、4,4’−ジアジドスチルベン−2,2’
−ジスルホン酸二ナトリウム(一般式(I)。X=N
a)1.5g(AM−DAAMコポリマーの10重量
%)を添加し、感光性組成物6を調製した。
(Preparation Example 6: Preparation of Photosensitive Composition 6) A part of the aqueous solution of the AM-DAAM copolymer obtained in Synthesis Example 2 was diluted with pure water to adjust the concentration to 1.5% by weight. 4,4'-diazidostilbene-2,2 'in 1 kg of liquid
Disodium disulfonate (general formula (I); X = N
a) 1.5 g (10% by weight of AM-DAAM copolymer) was added to prepare photosensitive composition 6.

【0064】2.ホトレジスト層の形成 上記の感光性組成物1〜6のそれぞれ1kgに対し、ノ
ニオン系界面活性剤(「LT−221」;日本油脂
(株)製)4g、シリコンカップリング剤(「KBM6
03」;信越シリコン(株)製)4gを添加し、塗布液
1〜6を調合した。
2. Formation of Photoresist Layer For 1 kg of each of the above photosensitive compositions 1 to 6, 4 g of a nonionic surfactant ("LT-221"; manufactured by NOF Corporation) and a silicon coupling agent ("KBM6")
03 "; Shin-Etsu Silicon Co., Ltd.) (4 g), and coating solutions 1 to 6 were prepared.

【0065】塗布液1〜6をそれぞれ、脱脂したガラス
パネル内面に回転塗布し、乾燥してホトレジスト層(乾
燥被膜)を形成した。なお膜厚は、塗布液1、3〜6に
ついては0.4μmで、塗布液2については0.8μm
で、それぞれ形成した。
Each of the coating solutions 1 to 6 was spin-coated on the inner surface of the degreased glass panel, and dried to form a photoresist layer (dry film). The film thickness was 0.4 μm for coating solutions 1 and 3 to 6 and 0.8 μm for coating solution 2.
, Respectively.

【0066】3. 露光 上記ホトレジスト層上に、55μmのスリット、250
μmピッチのスリットパターンの透孔を有するアパチャ
ーグリルを介して、マスク−ホトレジスト層間距離(ギ
ャップ)4mm、ランプ−マスク間距離300mmの露
光条件にて、波長350nm付近の光を出力する超高圧
水銀灯によりマスク通し照度0.07mW/cm2の光
量で10秒間点光源露光を行った(露光量0.7mJ/
cm2)。ガラスパネル温度は40℃であった。
3. Exposure 55 μm slit, 250 μm on the photoresist layer
An ultra-high pressure mercury lamp that outputs light near a wavelength of 350 nm through an aperture grill having slit holes of a μm pitch under an exposure condition of a mask-photoresist interlayer distance (gap) of 4 mm and a lamp-mask distance of 300 mm. Point light source exposure was performed for 10 seconds with a light intensity of 0.07 mW / cm 2 through the mask (exposure amount: 0.7 mJ /
cm 2 ). The glass panel temperature was 40 ° C.

【0067】4. 現像 次いで、スピンナーを用いて常温(25℃)にて純水に
よる弱いシャワー式現像を30秒間行い、その後、振り
切りし、温風乾燥して、ガラスパネル内面に光硬化パタ
ーンを得た。
4. Development Next, weak shower-type development using pure water was performed for 30 seconds at room temperature (25 ° C.) using a spinner, and then shaken off and dried with warm air to obtain a photocured pattern on the inner surface of the glass panel.

【0068】5. ブラックストライプパターンの形成 上記の光硬化パターンが形成されたガラスパネル内面
に、該光硬化パターン上並びに露出ガラスパネルの全面
に亘って黒鉛スラリー(「ヒタゾルGA−66M」;日
立粉末冶金(株)製)の2倍希釈液(水で希釈したも
の)を回転塗布し、50℃、30分間の加熱処理を行
い、乾燥黒鉛被膜を形成した。
5. Formation of Black Stripe Pattern A graphite slurry ("Hitasol GA-66M"; manufactured by Hitachi Powdered Metals Co., Ltd.) is formed on the inner surface of the glass panel on which the above-described photo-cured pattern is formed, on the photo-cured pattern and over the entire surface of the exposed glass panel. ) Was spin-coated with a two-fold dilution (water-diluted solution) and heat-treated at 50 ° C. for 30 minutes to form a dry graphite coating.

【0069】次いで、上記黒鉛被膜が形成されたガラス
パネルを、10%のスルファミン酸と10%のチオ尿素
を含有する水溶液と10%過酸化水素水との1:9(重
量比)混合液中に、1分間浸漬した後、純水によるスプ
レー洗浄を行うことにより、光硬化パターンおよび光硬
化パターン上の黒鉛被膜を除去して、ブラックストライ
プパターンがガラスパネル内面に形成された黒鉛スクリ
ーンを得た。
Next, the glass panel on which the graphite coating was formed was placed in a 1: 9 (weight ratio) mixed solution of an aqueous solution containing 10% of sulfamic acid and 10% of thiourea and a 10% aqueous hydrogen peroxide solution. After immersion for one minute in the glass panel, the photocured pattern and the graphite coating on the photocured pattern were removed by spray cleaning with pure water to obtain a graphite screen having a black stripe pattern formed on the inner surface of the glass panel. .

【0070】このブラックストライプの形成につき、以
下の基準によりガラスパネルに対する感度、現像性、解
像性、剥離性の評価を行った。結果を表2に示す。
With respect to the formation of this black stripe, the sensitivity, developability, resolution, and peelability of the glass panel were evaluated according to the following criteria. Table 2 shows the results.

【0071】[感度評価]ブラックストライプのスリッ
ト寸法がマスク寸法より大きく、相反則不軌特性がみら
れなかったものを××とした。
[Evaluation of Sensitivity] When the slit size of the black stripe was larger than the mask size and no reciprocity failure property was observed, the result was evaluated as XX.

【0072】また、相反則不軌特性はみられたものの、
スリット寸法が小さく、感度が低かったものを×とし
た。
Further, although reciprocity failure characteristics were observed,
A sample having a small slit size and low sensitivity was designated as x.

【0073】相反則不軌特性がみられ、かつスリット寸
法が大きく、感度が高かったものを○とした。
A sample having reciprocity failure characteristics, a large slit size, and high sensitivity was rated as ○.

【0074】[現像性評価]感光性組成物の現像残りに
より、ブラックストライプの表面に放射状の塗布ムラが
みられたり、ガラスパネル周縁部で塗布ムラがみられた
ものを×とした。このようなムラが全くみられなかった
ものを○とした。
[Evaluation of Developability] A sample in which radial coating unevenness was observed on the surface of the black stripe or uneven coating was observed at the periphery of the glass panel due to the undeveloped photosensitive composition was evaluated as x. A sample in which such unevenness was not observed at all was evaluated as ○.

【0075】[解像性評価]ブラックストライプのスリ
ットにフリンジが発生したり、スリットの寸法に不揃い
がみられたものを×とした。フリンジの発生もなく、不
揃いもみられなかったものを○とした。
[Evaluation of Resolution] When a fringe was generated in the slits of the black stripes or when the dimensions of the slits were irregular, the cross was evaluated as x. When no fringe was generated and no irregularities were observed, the sample was marked as “○”.

【0076】[剥離性評価]ガラスパネル上に感光性組
成物の剥離残りを生じたもの×とした。剥離残りを生じ
なかったものを○とした。
[Evaluation of Peeling Property] The result of the peeling of the photosensitive composition on the glass panel was evaluated as x. When no peeling residue occurred, it was evaluated as ○.

【0077】[0077]

【表2】 [Table 2]

【0078】なお、組成物1〜6のいずれにおいてもガ
ラスパネルに対する塗布性は良好であった。
Each of the compositions 1 to 6 had good applicability to a glass panel.

【0079】[0079]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の感光性組
成物は、剥離性が良好で、ほとんど剥離残りが生じない
ため蛍光体の付着による混色を防ぐことができる。また
高感度であるため、短時間、低照度での露光量でパター
ンを形成することができスループットが向上する。した
がって製造コストの低減化、製造効率の向上を図ること
ができるとともに、高品質な製品製造が可能となる。ま
た、ギャップ露光の場合でもドッキング現象が生ぜず、
コンタクト露光、ギャップ露光のいずれにおいても良好
な光硬化パターンを得ることができ、広範囲な適用が可
能である。また、現像性、解像性に優れ、フリンジのな
い良好な形状のパターン形成ができる。本発明の感光性
組成物を用いてカラーブラウン管用黒鉛スクリーンを製
造することにより、高感度で解像度の高い、鮮明なカラ
ー画像を得ることが可能となる。
As described in detail above, the photosensitive composition of the present invention has good releasability and hardly leaves any peeling, so that it is possible to prevent color mixing due to phosphor adhesion. In addition, since the sensitivity is high, a pattern can be formed in a short time with an exposure amount at low illuminance, and the throughput is improved. Therefore, the manufacturing cost can be reduced and the manufacturing efficiency can be improved, and high-quality products can be manufactured. Docking does not occur even in the case of gap exposure,
A good photocurable pattern can be obtained in any of contact exposure and gap exposure, and a wide range of application is possible. Further, it is excellent in developability and resolution, and can form a pattern having a good shape without fringe. By producing a graphite screen for a color cathode ray tube using the photosensitive composition of the present invention, it is possible to obtain a high-sensitivity, high-resolution, clear color image.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C08L 39/06 C08L 39/06 G02B 5/20 101 G02B 5/20 101 G03F 7/008 G03F 7/008 7/40 521 7/40 521 7/42 7/42 (72)発明者 中島 哲矢 神奈川県川崎市中原区中丸子150番地 東 京応化工業株式会社内 Fターム(参考) 2H025 AA01 AA02 AA03 AA04 AB17 AC01 AD01 BA07 CB06 CB15 CB53 DA18 DA19 FA03 FA17 FA39 FA48 2H048 BA11 BA45 BA47 BA48 BB41 2H096 AA27 BA02 BA20 CA20 GA08 HA30 JA04 LA02 LA16 4J002 BG07W BG13W BJ00X EQ036 EV236 EV256 FD340 GH00 GP03 GQ00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) C08L 39/06 C08L 39/06 G02B 5/20 101 G02B 5/20 101 G03F 7/008 G03F 7/008 7 / 40 521 7/40 521 7/42 7/42 (72) Inventor Tetsuya Nakajima 150 Nakamaruko, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Prefecture F-term in Tokyo Keika Kogyo Co., Ltd. 2H025 AA01 AA02 AA03 AA04 AB17 AC01 AD01 BA07 CB06 CB15 CB53 DA18 DA19 FA03 FA17 FA39 FA48 2H048 BA11 BA45 BA47 BA48 BB41 2H096 AA27 BA02 BA20 CA20 GA08 HA30 JA04 LA02 LA16 4J002 BG07W BG13W BJ00X EQ036 EV236 EV256 FD340 GH00 GP03 GQ00

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (A)アクリルアミド−アクリロイルモ
ルホリンコポリマーとポリビニルピロリドンを含む非感
光性高分子と、(B)感光性ビスアジド化合物を含有し
てなる、水溶性感光性組成物。
1. A water-soluble photosensitive composition comprising (A) a non-photosensitive polymer containing an acrylamide-acryloylmorpholine copolymer and polyvinylpyrrolidone, and (B) a photosensitive bisazide compound.
【請求項2】 (A)成分において、コポリマーをなす
アクリルアミドとアクリロイルモルホリンの共重合比
(モル比)が、アクリルアミド/アクリロイルモルホリ
ン=1〜5である、請求項1記載の水溶性感光性組成
物。
2. The water-soluble photosensitive composition according to claim 1, wherein in the component (A), the copolymerization ratio (molar ratio) of acrylamide and acryloylmorpholine constituting the copolymer is acrylamide / acryloylmorpholine = 1 to 5. .
【請求項3】 (A)成分中、コポリマーを、コポリマ
ーとポリビニルピロリドンとの合計重量1に対し0.2
〜0.9(重量比)の割合で含有してなる、請求項1ま
たは2記載の水溶性感光性組成物。
3. The component (A), wherein the copolymer is used in an amount of 0.2 to 1 based on the total weight of the copolymer and polyvinylpyrrolidone.
The water-soluble photosensitive composition according to claim 1 or 2, which is contained at a ratio of from 0.9 to 0.9 (weight ratio).
【請求項4】 コポリマーの3重量%水溶液の粘度が5
0〜150cP/25℃である、請求項1〜3のいずれ
か1項に記載の水溶性感光性組成物。
4. A 3% by weight aqueous solution of the copolymer has a viscosity of 5%.
The water-soluble photosensitive composition according to any one of claims 1 to 3, which has a temperature of 0 to 150 cP / 25 ° C.
【請求項5】 (B)成分が、下記一般式(I)、(I
I) 【化1】 (式中、XはH、Na、KまたはNH4を表す) 【化2】 (式中、XはH、Na、KまたはNH4を表す)で表さ
れる化合物の少なくとも1種を含有する、請求項1〜4
のいずれか1項に記載の水溶性感光性組成物。
5. Component (B) is a compound represented by the following general formula (I) or (I)
I) (Wherein X represents H, Na, K or NH 4 ) (Wherein X represents H, Na, K or NH 4 ), and contains at least one compound represented by the formula:
The water-soluble photosensitive composition according to any one of the above.
【請求項6】 (A)成分に対し、(B)成分を3〜1
5重量%の割合で配合してなる、請求項1〜5のいずれ
か1項に記載の水溶性感光性組成物。
6. The amount of component (B) is 3 to 1 with respect to component (A).
The water-soluble photosensitive composition according to any one of claims 1 to 5, which is blended at a ratio of 5% by weight.
【請求項7】 ガラスパネル上に請求項1〜6のいずれ
か1項に記載の水溶性感光性組成物を用いて光硬化パタ
ーンを形成した後、黒鉛を全面に塗布、乾燥後、前記光
硬化パターンとその上の黒鉛被膜を剥離除去して黒鉛パ
ターンを形成する、カラーブラウン管用黒鉛スクリーン
の作成方法。
7. After forming a photo-curing pattern on a glass panel using the water-soluble photosensitive composition according to claim 1, graphite is applied to the entire surface, dried, and then the light is cured. A method for producing a graphite screen for a color CRT, wherein a cured pattern and a graphite coating thereon are peeled off to form a graphite pattern.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004133384A (en) * 2002-08-14 2004-04-30 Sony Corp Resist removing agent composition and method for manufacturing semiconductor device

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