JP2001099605A - One-dimensional measuring machine - Google Patents
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- JP2001099605A JP2001099605A JP28155999A JP28155999A JP2001099605A JP 2001099605 A JP2001099605 A JP 2001099605A JP 28155999 A JP28155999 A JP 28155999A JP 28155999 A JP28155999 A JP 28155999A JP 2001099605 A JP2001099605 A JP 2001099605A
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- slider
- sliders
- pressure
- cam member
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、上下方向へ昇降可
能に設けられた測定子を備え、この測定子を被測定物の
測定部位に当接させて、被測定物の寸法、たとえば、高
さ、段差、穴、軸などの寸法を測定する一次元測定機に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention includes a measuring element provided so as to be able to move up and down in the vertical direction. The present invention relates to a one-dimensional measuring machine for measuring dimensions such as steps, holes, and axes.
【0002】[0002]
【背景技術】上下方向へ昇降可能に設けられた測定子を
備え、この測定子を被測定物の測定部位に当接させて、
被測定物の寸法、たとえば、高さ、段差、穴、軸などの
寸法を測定する一次元測定機として、たとえば、特開平
6−123602号公報に開示された直線距離測定装置
が知られている。2. Description of the Related Art A stylus provided to be able to move up and down in a vertical direction is provided.
As a one-dimensional measuring device for measuring a dimension of an object to be measured, for example, a height, a step, a hole, a shaft, etc., for example, a linear distance measuring device disclosed in JP-A-6-123602 is known. .
【0003】この直線距離測定装置は、ベースと、この
ベースに立設された支柱と、この支柱に沿って上下方向
へ昇降可能に設けられかつ被測定物に接する測定子を有
する第1のスライダと、この第1のスライダの高さ位置
を検出する変位検出手段と、前記第1のスライダにその
第1のスライダの移動方向と同方向へ移動可能に設けら
れた第2のスライダと、この第2のスライダに対して第
1のスライダを保持するとともに、これらスライダ間に
所定以上の負荷が作用したとき第1のスライダに対して
第2のスライダを相対移動させ、かつ前記負荷が解除さ
れたとき第1のスライダと第2のスライダとを初期位置
に復帰させる定圧機構と、前記第2のスライダに連結さ
れ第1および第2のスライダを支柱に沿って上下方向へ
昇降させる駆動機構と、前記第1のスライダに対して第
2のスライダが相対移動したとき作動して前記変位検出
手段の検出値を取り込むスイッチ手段とを備える構成で
ある。[0003] This linear distance measuring device comprises a base, a column erected on the base, and a first slider having a tracing stylus provided vertically up and down along the column and in contact with an object to be measured. A displacement detecting means for detecting a height position of the first slider; a second slider provided on the first slider so as to be movable in the same direction as the direction of movement of the first slider; The first slider is held with respect to the second slider, and when a load equal to or more than a predetermined value acts between the sliders, the second slider is relatively moved with respect to the first slider, and the load is released. A constant-pressure mechanism for returning the first slider and the second slider to the initial position, and a driving device connected to the second slider for vertically moving the first and second sliders along the support column When the second slider relative to the first slider is configured to include a switch means for capturing the detection value of the displacement sensor operates when the relative movement.
【0004】測定にあたっては、駆動機構を作動させて
第1および第2のスライダを支柱に沿って上下方向へ昇
降させる。測定子が被測定物に当接すると、第1のスラ
イダはそれ以上移動することができないから、第1のス
ライダに対して第2のスライダが移動される。すると、
スイッチ手段が作動して変位検出手段の検出値が取り込
まれる。つまり、測定子が当接したときの第1のスライ
ダの高さ位置が検出される。このようにして、被測定物
の測定部位を順次測定していくことにより被測定物の寸
法を測定することができる。In measurement, the drive mechanism is operated to move the first and second sliders up and down along the columns. When the tracing stylus abuts on the object to be measured, the first slider cannot move any more, so the second slider is moved relative to the first slider. Then
The switch means operates and the detection value of the displacement detection means is taken in. That is, the height position of the first slider when the tracing stylus abuts is detected. In this way, the dimensions of the measured object can be measured by sequentially measuring the measurement site of the measured object.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した直
線距離測定装置の定圧機構は、3本のコイルばね、具体
的には、第1のスライダ自身の重量のバランスをとる第
1の引張コイルばねと、互いに平行で作動的に対向して
第2のスライダの両移動方向の測定圧を一定に保つ2つ
の第2の引張コイルばねとから構成されているため、こ
れらを互いに平行に配置するためのスペースをスライダ
の幅方向に確保しなければならないうえ、引張コイルば
ねの場合、長さ方向のスペースもある程度確保しなけれ
ばならないから、結局、スライダ部分の大型化を招くと
いう欠点がある。By the way, the constant pressure mechanism of the above-described linear distance measuring apparatus has three coil springs, specifically, a first tension coil spring for balancing the weight of the first slider itself. And two second extension coil springs which are parallel to each other and are operatively opposed to each other to keep the measured pressure in both directions of movement of the second slider constant. This space must be secured in the width direction of the slider, and in the case of a tension coil spring, the space in the length direction must be secured to some extent.
【0006】また、測定圧を一定に保つために2つの引
張コイルばねを用いた場合、第2のスライダが上昇した
ときに作動する引張コイルばねと第2のスライダが下降
したときに作動する引張コイルばねとが異なる。従っ
て、2つの引張コイルばねのばね圧を一致させなけれ
ば、第2のスライダが上昇したときの圧力と第2のスラ
イダが下降したときの測定圧とが異なってしまうため、
測定方向によって測定圧が異なるという問題もある。When two tension coil springs are used to keep the measurement pressure constant, a tension coil spring that operates when the second slider rises and a tension coil that operates when the second slider descends. Different from coil spring. Therefore, if the spring pressures of the two extension coil springs are not made to match, the pressure when the second slider rises and the measurement pressure when the second slider descends will be different.
There is also a problem that the measurement pressure varies depending on the measurement direction.
【0007】本発明の目的は、このような従来の問題を
解消し、スライダ部分の小型化が可能な一次元測定機を
提供することにある。さらに、本発明の目的は、上記目
的に加え、測定方向によって測定圧が異なることが少な
い一次元測定機を提供することにある。An object of the present invention is to solve such a conventional problem and to provide a one-dimensional measuring machine capable of reducing the size of a slider portion. It is a further object of the present invention to provide a one-dimensional measuring machine in which the measurement pressure hardly varies depending on the measurement direction in addition to the above objects.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明の一次元測定機
は、上記目的を達成するため、次の構成を備える。請求
項1に記載の一次元測定機は、ベースと、このベースに
立設された支柱と、この支柱に沿って上下方向へ昇降可
能に設けられかつ被測定物に接する測定子を有する第1
のスライダと、この第1のスライダの高さ位置を検出す
る変位検出手段と、前記第1のスライダにその第1のス
ライダの移動方向と同方向へ移動可能に設けられた第2
のスライダと、この第2のスライダに対して第1のスラ
イダを保持するとともに、これらスライダ間に所定以上
の負荷が作用したとき第1のスライダに対して第2のス
ライダを相対移動させ、かつ前記負荷が解除されたとき
第1のスライダと第2のスライダとを初期位置に復帰さ
せる定圧機構と、前記第2のスライダに連結されその第
2のスライダを支柱に沿って上下方向へ昇降させる駆動
機構と、前記第1のスライダに対して第2のスライダが
相対移動したとき作動して前記変位検出手段の検出値を
取り込むスイッチ手段とを備えた一次元測定機におい
て、前記定圧機構は、前記第1のスライダと第2のスラ
イダとの間に設けられ第1のスライダおよびそれに付加
される部材の総重量と同等な力で第1のスライダを上方
へ付勢する重量バランス用付勢手段と、前記第1のスラ
イダに上下方向へ揺動可能に設けられかつ長手方向に沿
って摺動溝を有するカム部材と、前記第2のスライダに
設けられ前記カム部材の摺動溝に摺動可能に係合する係
合ピンと、前記カム部材を中立位置に保持するととも
に、前記第1および第2のスライダ間にそれらの相対移
動方向へ所定以上の力が作用したとき前記カム部材の揺
動を許容する定圧用付勢手段とを備えたことを特徴とす
る。According to the present invention, there is provided a one-dimensional measuring apparatus having the following structure to achieve the above object. The one-dimensional measuring device according to claim 1, wherein the first dimension measuring device includes a base, a column erected on the base, and a tracing stylus provided vertically up and down along the column and in contact with the object to be measured.
And a displacement detecting means for detecting a height position of the first slider, and a second slider provided on the first slider so as to be movable in the same direction as the moving direction of the first slider.
And the first slider is held with respect to the second slider, and when a predetermined load or more acts between the sliders, the second slider is relatively moved with respect to the first slider, and A constant pressure mechanism for returning the first slider and the second slider to the initial position when the load is released; and a constant pressure mechanism connected to the second slider for vertically moving the second slider along a column. A one-dimensional measuring machine comprising: a drive mechanism; and a switch unit that operates when the second slider relatively moves with respect to the first slider and captures a detection value of the displacement detection unit. A weight variation provided between the first slider and the second slider for urging the first slider upward with a force equivalent to the total weight of the first slider and members added thereto. Biasing means, a cam member provided on the first slider so as to be swingable in the vertical direction and having a sliding groove along the longitudinal direction, and a sliding member for the cam member provided on the second slider. An engagement pin slidably engaged with the dynamic groove, the cam member being held at a neutral position, and a force greater than or equal to a predetermined force acting between the first and second sliders in the direction of their relative movement. And a constant-pressure urging means for allowing the cam member to swing.
【0009】このような構成において、駆動機構を介し
て第2のスライダを支柱に沿って上下方向へ昇降、たと
えば、下降させていくと、定圧機構を介して第1のスラ
イダも同方向へ一緒に下降されていく。やがて、測定子
が被測定物に当接したのち、さらに、第2のスライダを
下降させると、第1のスライダはそれ以上下降すること
ができないから、第1および第2のスライダ間にそれら
の相対移動方向へ所定以上の力が作用したとき定圧機構
のカム部材が定圧用付勢手段に抗して下方へ揺動される
とともに、第2のスライダが第1のスライダに対して相
対移動(下降)される。この間、第2のスライダが第1
のスライダに対して下降しても、測定圧が定圧用付勢手
段によって一定に保たれているから、測定圧を個人差な
く一定に維持できる。これにより、スイッチ手段が作動
されると、このときの変位検出手段の検出値が取り込ま
れる。つまり、測定子が当接した被測定物の測定面の高
さ寸法が測定される。In such a configuration, when the second slider is moved up and down, for example, down along the support via the driving mechanism, the first slider is also moved in the same direction via the constant pressure mechanism. It is descended. Eventually, when the second slider is further lowered after the tracing stylus abuts on the DUT, the first slider cannot be further lowered. When a predetermined force or more acts in the relative movement direction, the cam member of the constant pressure mechanism swings downward against the constant pressure urging means, and the second slider moves relative to the first slider ( Down). During this time, the second slider moves to the first
Even if the slider is lowered, the measured pressure is kept constant by the constant-pressure urging means, so that the measured pressure can be kept constant without any individual difference. Thus, when the switch means is operated, the detected value of the displacement detection means at this time is taken. That is, the height dimension of the measurement surface of the object to be measured with which the probe contacts is measured.
【0010】一方、駆動機構を介して第2のスライダが
上昇した場合では、定圧機構のカム部材が前述の定圧用
付勢手段に抗して上方へ揺動されるだけであるから、第
2のスライダが上昇したときの測定圧と第2のスライダ
が下降したときの測定圧とを同じにできる。つまり、測
定方向によって測定圧が異なることが少ない。なお、測
定後、駆動機構を介して第2のスライダを支柱に沿って
上昇させていくと、定圧用付勢手段の作用によってカム
部材は徐々に水平な中立状態に復帰される。On the other hand, when the second slider is lifted via the drive mechanism, the cam member of the constant pressure mechanism only swings upward against the aforementioned constant pressure urging means. The measurement pressure when the second slider moves down and the measurement pressure when the second slider moves down can be made the same. That is, the measurement pressure hardly differs depending on the measurement direction. After the measurement, when the second slider is raised along the support via the driving mechanism, the cam member is gradually returned to the horizontal neutral state by the action of the constant-pressure urging means.
【0011】上述した作用を行う定圧機構によれば、重
量バランス用付勢手段と、カム部材と、係合ピンと、定
圧用付勢手段とから構成されているから、従来の3本の
引っ張りコイルばねを互いに平行にかつ所定長さに亘っ
て配置するものに比べ、小型化が可能である。しかも、
第2のスライダが上昇および下降時に1つの定圧用付勢
手段によって構成してあるから、第2のスライダが上昇
したときの測定圧と第2のスライダが下降したときの測
定圧とを同じにできる。According to the constant pressure mechanism which performs the above-mentioned operation, since it is constituted by the urging means for weight balance, the cam member, the engaging pin and the urging means for constant pressure, the conventional three tension coils are used. The size can be reduced as compared with the case where the springs are arranged parallel to each other and over a predetermined length. Moreover,
Since the second slider is constituted by one constant-pressure urging means when ascending and descending, the measurement pressure when the second slider rises and the measurement pressure when the second slider descends are the same. it can.
【0012】請求項2に記載の一次元測定機は、請求項
1に記載の一次元測定機において、前記係合ピンを挟ん
で、前記カム部材の一端側が前記第1のスライダに揺動
可能に支持され、カム部材の他端側が前記定圧用付勢手
段によって水平方向へ付勢されていることを特徴とす
る。この構成によれば、係合ピンを挟んで、カム部材の
一端側が揺動支点で、他端側が引張力が働くため、中立
位置への復帰性能を高く維持できる。According to a second aspect of the present invention, in the one-dimensional measuring machine according to the first aspect, one end of the cam member can swing on the first slider with the engagement pin interposed therebetween. And the other end of the cam member is urged in the horizontal direction by the constant-pressure urging means. According to this configuration, one end of the cam member is a swing fulcrum and the other end of the cam member is subjected to a tensile force with the engagement pin interposed therebetween, so that the performance of returning to the neutral position can be kept high.
【0013】請求項3に記載の一次元測定機は、ベース
と、このベースに立設された支柱と、この支柱に沿って
上下方向へ昇降可能に設けられかつ被測定物に接する測
定子を有する第1のスライダと、この第1のスライダの
高さ位置を検出する変位検出手段と、前記第1のスライ
ダにその第1のスライダの移動方向と同方向へ移動可能
に設けられた第2のスライダと、この第2のスライダに
対して第1のスライダを保持するとともに、これらスラ
イダ間に所定以上の負荷が作用したとき第1のスライダ
に対して第2のスライダを相対移動させ、かつ前記負荷
が解除されたとき第1のスライダと第2のスライダとを
初期位置に復帰させる定圧機構と、前記第2のスライダ
に連結されその第2のスライダを支柱に沿って上下方向
へ昇降させる駆動機構と、前記第1のスライダに対して
第2のスライダが相対移動したとき作動して前記変位検
出手段の検出値を取り込むスイッチ手段とを備えた一次
元測定機において、前記定圧機構は、前記第1のスライ
ダと第2のスライダとの間に設けられ第1のスライダお
よびそれに付加される部材の総重量と同等な力で第1の
スライダを上方へ付勢する重量バランス用付勢手段と、
前記第1および第2のスライダのいずれか一方に第1お
よび第2のスライダの相対移動方向へ弾性変形可能に配
置された一対の板ばねと、この各板ばねの弾性変形可能
な部位に接して前記第1および第2のスライダのいずれ
か他方に配置された一対の押圧ピンとを備えたことを特
徴とする。According to a third aspect of the present invention, there is provided a one-dimensional measuring apparatus comprising: a base; a support standing upright on the base; and a measuring element provided vertically up and down along the support and in contact with an object to be measured. A first slider, a displacement detecting means for detecting a height position of the first slider, and a second slider provided on the first slider so as to be movable in the same direction as the moving direction of the first slider. And the first slider is held with respect to the second slider, and when a predetermined load or more acts between the sliders, the second slider is relatively moved with respect to the first slider, and A constant pressure mechanism for returning the first slider and the second slider to the initial position when the load is released; and a constant pressure mechanism connected to the second slider for vertically moving the second slider along a column. Drive A one-dimensional measuring device comprising: a first slider; and a switch which operates when the second slider relatively moves with respect to the first slider to capture a detection value of the displacement detector. Weight balance biasing means provided between the first slider and the second slider for biasing the first slider upward with a force equivalent to the total weight of the first slider and members added thereto; ,
A pair of leaf springs arranged on one of the first and second sliders so as to be elastically deformable in the direction of relative movement of the first and second sliders; And a pair of pressing pins disposed on one of the first and second sliders.
【0014】このような構成において、駆動機構を介し
て第2のスライダを支柱に沿って上下方向へ昇降、たと
えば、下降させていと、定圧機構を介して第1のスライ
ダも同方向へ一緒に下降されていく。やがて、測定子が
被測定物に当接したのち、さらに、第2のスライダを下
降させると、第1のスライダはそれ以上下降することが
できないから、第1および第2のスライダ間にそれらの
相対移動方向へ所定以上の力が作用したとき、たとえ
ば、押圧ピンが板ばねに抗して下方へ揺動されるととも
に、第2のスライダが第1のスライダに対して相対移動
(下降)される。この間、第2のスライダが第1のスラ
イダに対して下降しても、測定圧が板ばねによって一定
に保たれているから、測定圧を個人差なく一定に維持で
きる。これにより、スイッチ手段が作動されると、この
ときの変位検出手段の検出値が取り込まれる。つまり、
測定子が当接した被測定物の測定面の高さ寸法が測定さ
れる。上述した作用を行う定圧機構によれば、重量バラ
ンス用付勢手段と、一対の板ばねと、一対の押圧ピンと
から構成されているから、従来の3本の引っ張りコイル
ばねを互いに平行にかつ所定長さに亘って配置するもの
に比べ、小型化が可能である。In such a configuration, if the second slider is moved up and down, for example, down along the column via the driving mechanism, the first slider is also moved in the same direction via the constant pressure mechanism. Descending. Eventually, when the second slider is further lowered after the tracing stylus abuts on the DUT, the first slider cannot be further lowered. When a force equal to or more than a predetermined force acts in the relative movement direction, for example, the pressing pin swings downward against the leaf spring, and the second slider is relatively moved (downward) with respect to the first slider. You. During this time, even if the second slider is lowered with respect to the first slider, the measured pressure is kept constant by the leaf spring, so that the measured pressure can be kept constant without individual differences. Thus, when the switch means is operated, the detected value of the displacement detection means at this time is taken. That is,
The height dimension of the measurement surface of the object to be measured with which the probe comes into contact is measured. According to the constant-pressure mechanism that performs the above-described operation, since it is constituted by the urging means for weight balance, the pair of leaf springs, and the pair of pressing pins, the conventional three tension coil springs are parallel and predetermined. It is possible to reduce the size as compared with the arrangement over the length.
【0015】請求項4に記載の一次元測定機は、請求項
3に記載の一次元測定機において、前記一対の板ばねの
ばね圧を同時に調整する1つのばね圧調整手段とを備え
ていることを特徴とする。この構成によれば、1つのば
ね圧調整手段によって一対の板ばねのばね圧を同時に調
整することができるから、調整作業が簡単であるととも
に、経済的に構成できる。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the one-dimensional measuring machine according to the third aspect, further comprising one spring pressure adjusting means for simultaneously adjusting the spring pressures of the pair of leaf springs. It is characterized by the following. According to this configuration, the spring pressure of the pair of leaf springs can be simultaneously adjusted by one spring pressure adjusting means, so that the adjusting operation is simple and economical.
【0016】請求項5に記載の一次元測定機は、請求項
3に記載の一次元測定機において、前記一対の板ばねの
ばね圧を個別に調整する2つのばね圧調整手段とを備え
ていることを特徴とする。この構成によれば、一対の板
ばねのばね圧を個別に調整することができるから、たと
えば、第2のスライダが上昇したときの測定圧と第2の
スライダが下降したときの測定圧とが異なってしまう場
合でも、簡単に修正できる。A one-dimensional measuring machine according to a fifth aspect of the present invention is the one-dimensional measuring machine according to the third aspect, further comprising two spring pressure adjusting means for individually adjusting the spring pressures of the pair of leaf springs. It is characterized by being. According to this configuration, since the spring pressures of the pair of leaf springs can be individually adjusted, for example, the measurement pressure when the second slider is raised and the measurement pressure when the second slider is lowered are different. If they differ, you can easily fix them.
【0017】[0017]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。 (全体構成)図1は本実施形態の一次元測定機1の全体
斜視図であり、図2、図3および図4は図1のそれぞれ
II−II線、III−III線およびIV−IV線に沿った断面図で
ある。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. (Overall Configuration) FIG. 1 is an overall perspective view of a one-dimensional measuring device 1 of the present embodiment, and FIGS.
It is sectional drawing along the II-II line, the III-III line, and the IV-IV line.
【0018】一次元測定機1は、ベース11と、このベ
ース11に立設された支柱12と、この支柱12に沿っ
て上下方向へ昇降可能に設けられかつ下部に測定子13
を有する第1のスライダ14と、この第1のスライダ1
4の高さ位置を検出する変位検出手段20と、この第1
のスライダ14を上下方向へ昇降させる第2のスライダ
15と、これら第1および第2のスライダ14,15間
に設けられた定圧機構30と、第2のスライダ15に連
結されて第2のスライダ15を支柱12に沿って上下方
向へ昇降させる駆動機構40と、第1のスライダ14に
対して第2のスライダ15が相対移動したとき作動して
変位検出手段20の検出値を取り込むスイッチ手段50
と、第1のスライダ14と第2のスライダ15とを一体
化させるクランプ機構60と、前記第2のスライダ15
の正面側に設けられ表面に表示手段を構成するLCDな
どの表示装置16およびキー入力部17を有する表示操
作部18とを備える。The one-dimensional measuring machine 1 is provided with a base 11, a support 12 erected on the base 11, a vertically movable up and down along the support 12, and a tracing stylus 13 at a lower part.
A first slider 14 having
4, a displacement detecting means 20 for detecting the height position of the first
A second slider 15 for vertically moving the first slider 14, a constant pressure mechanism 30 provided between the first and second sliders 14, 15, and a second slider 15 connected to the second slider 15. A drive mechanism 40 for raising and lowering the first slider 15 in the vertical direction along the column 12; and a switch means 50 which operates when the second slider 15 moves relative to the first slider 14 and captures the detected value of the displacement detection means 20.
A clamp mechanism 60 for integrating the first slider 14 and the second slider 15 with each other;
And a display operation unit 18 having a key input unit 17.
【0019】(第1のスライダ14)図4において、第
1のスライダ14は、略コ字状に形成されており、第1
のスライダ14に設けられた複数のベアリング141を
支柱12の前後左右の側面に当接させることで、支柱1
2に沿って上下方向へ摺動自在に嵌合されている。(First Slider 14) In FIG. 4, the first slider 14 is formed in a substantially U-shape.
A plurality of bearings 141 provided on the slider 14 are brought into contact with the front, rear, left, and right side surfaces of the support 12, so that the support 1 is
2 so as to be slidable in the vertical direction.
【0020】(第2のスライダ15)図4および図5に
おいて、第2のスライダ15は、平板矩形状に形成され
ており、第1のスライダ14に設けられた複数のベアリ
ング142が第2のスライダ15の前後左右の側面に当
接されていることで、支柱12の上下方向に沿って第1
のスライダ14に摺動自在に取り付けられている。つま
り、第1のスライダ14にその第1のスライダ14の移
動方向と同方向へ摺動自在に設けられている。(Second Slider 15) In FIGS. 4 and 5, the second slider 15 is formed in a flat rectangular shape, and a plurality of bearings 142 provided on the first slider 14 are provided in the second slider 15. By being in contact with the front, rear, left and right side surfaces of the slider 15, the first
Is slidably attached to the slider 14. That is, the first slider 14 is slidably provided in the same direction as the direction in which the first slider 14 moves.
【0021】(変位検出手段20)図3および図4にお
いて、変位検出手段20は、支柱12に沿って設けられ
た光学格子を有するスケール21と、このスケール21
に対向して第1のスライダ14に設けられた検出器22
とを含み、この両者の協動によって支柱12上における
第1のスライダ14の高さ方向の変位量を電気信号とし
て検出する。(Displacement Detecting Means 20) In FIGS. 3 and 4, the displacement detecting means 20 includes a scale 21 having an optical grating provided along
Detector 22 provided on the first slider 14 so as to face the
The displacement of the first slider 14 on the support 12 in the height direction is detected as an electric signal by the cooperation of the two.
【0022】(定圧機構30)図5において、定圧機構
30は、第1のスライダ14およびそれに付加される部
材の総重量と同等の力で第1のスライダ14を上方へ付
勢する重量バランス用付勢手段としての引っ張りばね3
1と、一端が第1のスライダ14に揺動可能に設けられ
かつ長手方向に沿って摺動溝32Aを有するカム部材3
2と、第2のスライダ15に設けられ前記摺動溝32A
に摺動自在に係合する係合ピン33と、カム部材32を
中立位置に保持するとともに第1および第2のスライダ
14,15間にそれらの相対移動方向へ所定以上の力が
作用したときカム部材32の揺動を許容する定圧用付勢
手段としての引っ張りばね34とから構成されている。(Constant-Pressure Mechanism 30) In FIG. 5, the constant-pressure mechanism 30 is used for a weight balance for urging the first slider 14 upward with a force equivalent to the total weight of the first slider 14 and the members added thereto. Tension spring 3 as urging means
1 and a cam member 3 having one end swingably provided on the first slider 14 and having a sliding groove 32A along the longitudinal direction.
2 and the sliding groove 32A provided in the second slider 15.
When a force greater than a predetermined force acts between the first and second sliders 14 and 15 in the direction of relative movement between the engagement pin 33 and the cam member 32 which are slidably engaged with the cam member 32 at the neutral position. And a tension spring 34 as a constant-pressure urging means for allowing the cam member 32 to swing.
【0023】引っ張りばね31の上端および下端は、第
2のスライダ15の上部および第1のスライダ14の下
部にそれぞれ接続されている。これにより、第1のスラ
イダ14は、引っ張りばね31を介して第2のスライダ
15に支持されている。引っ張りばね34の一端はカム
部材32の他端に、他端は第1のスライダ14にそれぞ
れ係止されている。これにより、カム部材32は引っ張
りばね34によって常に水平方向に付勢されている。The upper end and the lower end of the tension spring 31 are connected to the upper part of the second slider 15 and the lower part of the first slider 14, respectively. Thus, the first slider 14 is supported by the second slider 15 via the extension spring 31. One end of the tension spring 34 is locked to the other end of the cam member 32, and the other end is locked to the first slider 14. Thus, the cam member 32 is constantly urged in the horizontal direction by the tension spring 34.
【0024】いま、第1および第2のスライダ14,1
5間に所定以上の負荷がかかっていない時(以下、中立
状態)には、図6(b)に示すように、引っ張りばね3
1は伸びていないので、それらの間には相対移動は生じ
ず、カム部材32は水平に保たれた中立位置が保持され
ている。よって、第2のスライダ15を上下方向に昇降
させると、第1のスライダ14も同方向へ一緒に昇降さ
れる。Now, the first and second sliders 14, 1
When no load equal to or more than a predetermined value is applied between the tension springs 5 (hereinafter, in a neutral state), as shown in FIG.
Since 1 is not extended, no relative movement occurs between them, and the cam member 32 is maintained at the neutral position which is kept horizontal. Therefore, when the second slider 15 is moved up and down in the vertical direction, the first slider 14 is also moved up and down in the same direction.
【0025】第1および第2のスライダ14,15を下
方向に移動させ、たとえば、第1のスライダ14の測定
子13の下部が被測定物(図示せず)に当接したのち、
さらに、第2のスライダ15を下降させると、第1のス
ライダ14はそれ以上下降することができないから、第
1および第2のスライダ14,15間に所定以上の負荷
がかかる。すると、引っ張りばね31は伸ばされるの
で、第1のスライダ14と第2のスライダ15との間に
相対移動が生じる。第2のスライダ15の係合ピン33
が第1のスライダ14のカム部材32の摺動溝32Aに
沿って下方へ摺動することで、カム部材32は、引っ張
りばね34に抗して下方に揺動される(図6(c)参
照)。反対に、第1および第2のスライダ14,15を
上方向に移動させ、第1のスライダ14の測定子13の
上部が被測定物に当接したのち、さらに、第2のスライ
ダ15を上昇させると、カム部材32は、引っ張りばね
34に抗して上方に揺動される(図6(a)参照)。After the first and second sliders 14 and 15 are moved downward, for example, after the lower portion of the tracing stylus 13 of the first slider 14 abuts on the DUT (not shown),
Further, when the second slider 15 is lowered, the first slider 14 cannot be further lowered, so that a predetermined load or more is applied between the first and second sliders 14 and 15. Then, since the extension spring 31 is extended, a relative movement occurs between the first slider 14 and the second slider 15. Engagement pin 33 of second slider 15
Slides downward along the sliding groove 32A of the cam member 32 of the first slider 14, so that the cam member 32 swings downward against the tension spring 34 (FIG. 6C). reference). Conversely, the first and second sliders 14 and 15 are moved upward, and after the upper part of the tracing stylus 13 of the first slider 14 comes into contact with the object to be measured, the second slider 15 is further raised. Then, the cam member 32 swings upward against the tension spring 34 (see FIG. 6A).
【0026】第1および第2のスライダ14,15間か
ら所定以上の負荷が解除されると、カム部材32が引っ
張りばね34により水平方向に付勢されることで、カム
部材32は中立位置に戻り(図6(b)参照)、第1お
よび第2のスライダ14,15間の相対移動は解消され
る。つまり、第1のスライダ14と第2のスライダ15
とが初期位置に復帰される。When a predetermined load or more is released from between the first and second sliders 14 and 15, the cam member 32 is urged in the horizontal direction by a tension spring 34 so that the cam member 32 is in the neutral position. When returning (see FIG. 6B), the relative movement between the first and second sliders 14 and 15 is canceled. That is, the first slider 14 and the second slider 15
Are returned to the initial position.
【0027】(駆動機構40)図2および図3におい
て、駆動機構40は、支柱12の上下端に回転可能に設
けられた2つのプーリー41と、これらプーリー41の
回転方向に沿って掛け回された帯状のベルト42と、支
柱12の下端のプーリー41の軸に設けられたハンドル
43とから構成されている。ベルト42の一端は第2の
スライダ15の上端に、他端は第2のスライダ15の下
端にそれぞれ連結されており、ハンドル43を回すこと
で第2のスライダ15は、支柱12に沿って上下方向へ
昇降される。(Driving Mechanism 40) In FIGS. 2 and 3, the driving mechanism 40 is wound around two pulleys 41 rotatably provided at the upper and lower ends of the column 12 along the rotation direction of the pulleys 41. And a handle 43 provided on the shaft of the pulley 41 at the lower end of the column 12. One end of the belt 42 is connected to the upper end of the second slider 15, and the other end is connected to the lower end of the second slider 15. By turning the handle 43, the second slider 15 moves up and down along the column 12. It is raised and lowered in the direction.
【0028】(スイッチ手段50)図7および図8にお
いて、スイッチ手段50は、第2のスライダ15の側面
に固定されて上下方向に間隔を隔てて配置された第1接
点ピン51および第2接点ピン52と、第1のスライダ
14に揺動可能に設けられた揺動レバー53と、この揺
動レバー53を中立状態に保持するとともに第1および
第2のスライダ14,15が相対変位したとき揺動レバ
ー53の揺動を許容する付勢手段としての引張コイルば
ね54とから構成されている。(Switch Means 50) In FIGS. 7 and 8, the switch means 50 includes a first contact pin 51 and a second contact point which are fixed to the side surface of the second slider 15 and are vertically spaced from each other. A pin 52, a swing lever 53 provided to be swingable on the first slider 14, and when the swing lever 53 is held in a neutral state and the first and second sliders 14, 15 are relatively displaced. And a tension coil spring 54 as an urging means for allowing the swinging lever 53 to swing.
【0029】図8にも拡大して示すように、揺動レバー
53は、中間部位がピン501及び止め輪502によっ
て第1のスライダ14に揺動可能に取り付けられてお
り、その一端は第1および第2接点ピン51,52の間
に配置されている。また、引張コイルばねの一端はねじ
503を介して揺動レバー53の他端に、他端はねじ5
04を介して第1のスライダ14にそれぞれ回動可能に
取り付けられている。これにより、揺動レバー53は引
張コイルばね54によって常に水平方向に付勢されてい
る。As shown in FIG. 8 in an enlarged manner, the swing lever 53 has a middle portion swingably attached to the first slider 14 by a pin 501 and a retaining ring 502, and one end of the swing lever 53 is provided at the first end. And the second contact pins 51 and 52. One end of the tension coil spring is connected to the other end of the swing lever 53 via a screw 503, and the other end is connected to a screw 5
The first slider 14 is rotatably attached to each of the first sliders 14 via a corresponding one of them. Thus, the swing lever 53 is always urged in the horizontal direction by the tension coil spring 54.
【0030】第1接点ピン51と揺動レバー53との間
および第2接点ピン52と揺動レバー53との間にはス
イッチ部55が形成されている。第1および第2接点ピ
ン51,52が揺動レバー53に接触した瞬間に、スイ
ッチ部55がオン状態になり、変位検出手段20の検出
値を取り込むようになっている。逆に、第1および第2
接点ピン51,52が揺動レバー53に接触していない
間は、スイッチ部55がオフ状態になり、変位検出手段
20の検出値を取り込まないようになっている。また、
第1接点ピン51と揺動レバー53との間および第2接
点ピン52と揺動レバー53との間の寸法は、3mm以
上、ここでは5mmに設定されている。A switch portion 55 is formed between the first contact pin 51 and the swing lever 53 and between the second contact pin 52 and the swing lever 53. At the moment when the first and second contact pins 51 and 52 come into contact with the swing lever 53, the switch section 55 is turned on and takes in the detected value of the displacement detecting means 20. Conversely, the first and second
While the contact pins 51 and 52 are not in contact with the swing lever 53, the switch unit 55 is in the off state, so that the detection value of the displacement detecting means 20 is not taken in. Also,
The dimension between the first contact pin 51 and the swing lever 53 and the dimension between the second contact pin 52 and the swing lever 53 are set to 3 mm or more, here 5 mm.
【0031】いま、中立状態においては、図9(b)に
示すように、第1のスライダ14と第2のスライダ15
との間には、相対移動が生じていないので、揺動レバー
53の一端は第1および第2接点ピン51,52の中間
に位置して、中立状態が維持されている。この中立状態
においては、第1および第2接点ピン51,52は、揺
動レバー53に接触していないので、変位検出手段20
の検出値は取り込まれないようになっている。Now, in the neutral state, as shown in FIG. 9B, the first slider 14 and the second slider 15
Since there is no relative movement between the first and second contact pins, one end of the swing lever 53 is located in the middle of the first and second contact pins 51 and 52, and the neutral state is maintained. In this neutral state, the first and second contact pins 51 and 52 are not in contact with the swing lever 53, so that the displacement detecting means 20
Is not taken in.
【0032】第1および第2のスライダ14,15間に
下方向への所定以上の負荷がかかると、定圧機構30に
より、それらの間に相対移動が生じる。相対移動による
相対変位が5mm以上になると、第1接点ピン51の下
部が揺動レバー53の上部に当接され、続いて、揺動レ
バー53が時計方向へ揺動される(図9(c)参照)。
第1および第2のスライダ14,15間に所定以上の上
方向への負荷がかかると、定圧機構30により、それら
の間に相対移動が生じる。相対移動による相対変位が5
mm以上になると、第2接点ピン52の上部が揺動レバ
ー53の下部に当接され、続いて、揺動レバー53が反
時計方向に揺動される(図9(a)参照)。したがっ
て、スイッチ手段50の破損を防止できる。When a predetermined downward load is applied between the first and second sliders 14 and 15 by the constant pressure mechanism 30, relative movement occurs between them. When the relative displacement due to the relative movement becomes 5 mm or more, the lower part of the first contact pin 51 comes into contact with the upper part of the swing lever 53, and subsequently, the swing lever 53 swings clockwise (FIG. 9 (c)). )reference).
When a predetermined upward load is applied between the first and second sliders 14 and 15, the constant pressure mechanism 30 causes relative movement between them. 5 relative displacement due to relative movement
mm, the upper portion of the second contact pin 52 comes into contact with the lower portion of the swing lever 53, and subsequently, the swing lever 53 swings counterclockwise (see FIG. 9A). Therefore, breakage of the switch means 50 can be prevented.
【0033】第1および第2のスライダ14,15から
負荷が解除されると、それらの間の相対移動は定圧機構
30により解消され、揺動レバー53が引張コイルばね
54により水平方向に付勢されることで、揺動レバー5
3は中立状態に戻る(図9(b)参照)。When the load is released from the first and second sliders 14, 15, the relative movement between them is canceled by the constant pressure mechanism 30, and the swing lever 53 is urged in the horizontal direction by the tension coil spring 54. The swing lever 5
3 returns to the neutral state (see FIG. 9B).
【0034】(クランプ機構60)図10ないし図12
において、クランプ機構60は、表示操作部18に設け
られた貫通孔61と、この貫通孔61に対応して第2の
スライダ15に設けられた貫通孔62と、この貫通孔6
2に対応して第1のスライダ14に設けられた係合孔と
しての係合穴63と、各貫通孔61,62に挿通されて
係合穴63に係合されるクランプピン64と、このクラ
ンプピン64を表示操作部18および第2のスライダ1
5の各貫通孔61,62に保持しかつクランプピン64
が所定角度回動された際クランプピン64を第1のスラ
イダ14の係合穴63に向かって進出させるクランプピ
ン保持進出機構65とから構成されている。(Clamp mechanism 60) FIGS. 10 to 12
, The clamp mechanism 60 includes a through hole 61 provided in the display operation section 18, a through hole 62 provided in the second slider 15 corresponding to the through hole 61, and a through hole 6 provided in the second slider 15.
2, an engaging hole 63 as an engaging hole provided in the first slider 14, a clamp pin 64 inserted through each through hole 61, 62 and engaged with the engaging hole 63. The display operation unit 18 and the second slider 1
5 and the clamp pin 64
And a clamp pin holding / advancing mechanism 65 for advancing the clamp pin 64 toward the engagement hole 63 of the first slider 14 when the is rotated by a predetermined angle.
【0035】クランプピン64は、その先端がテーパ面
状に形成されている。クランプピン保持進出機構65
は、クランプピン64に対して直角に互いに対峙してそ
れぞれ突設された位置決めピン651と、第2のスライ
ダ15の貫通孔62の周縁に沿って設けられたガイド筒
652と、クランプピン64が第1のスライダ14の係
合穴63に向かって進出する方向へクランプピン64を
付勢する付勢手段としての圧縮コイルばね653とから
構成されている。ガイド筒652は、貫通孔62の周縁
に沿って設けられた外周壁652Aと、この外周壁65
2Aの軸方向に沿って形成された溝652Bとから構成
されている。圧縮コイルばね653は、クランプピン6
4の中間部位に設けられたストッパー654と表示操作
部18との間に設けられている。The tip of the clamp pin 64 is formed in a tapered shape. Clamp pin holding advance mechanism 65
The positioning pin 651 protrudes from each other at right angles to the clamp pin 64, the guide cylinder 652 provided along the periphery of the through hole 62 of the second slider 15, and the clamp pin 64. A compression coil spring 653 is provided as urging means for urging the clamp pin 64 in a direction to advance toward the engagement hole 63 of the first slider 14. The guide cylinder 652 includes an outer peripheral wall 652 </ b> A provided along the peripheral edge of the through hole 62,
And a groove 652B formed along the axial direction of 2A. The compression coil spring 653 is
4 is provided between the display operation unit 18 and the stopper 654 provided at the intermediate portion.
【0036】次に、本実施形態の作用を説明する。 (通常の高さ測定)たとえば、被測定物(図示せず)の
高さを測定する場合には、次のようにして行われる。駆
動機構40のハンドル43を操作することで、第2のス
ライダ15を下降させると、定圧機構30を介して第1
のスライダ14も同方向へ一緒に下降されていく。やが
て、第1のスライダ14に設けられた測定子13が被測
定物に当接した後、さらに、第2のスライダ15を下降
させると、第1のスライダ14はそれ以上下降すること
ができないので、第1および第2のスライダ14,15
の間には、所定以上の負荷がかかる。すると、定圧機構
30によって第2のスライダ15が第1のスライダ14
に対して相対移動(下降)される。やがて、この相対移
動量が5mm以上になったとき、すなわち、スイッチ手
段50において、第2のスライダ15に固定された第1
接点ピン51が揺動レバー53に接触した瞬間に、スイ
ッチ部55がオン状態となるので、変位検出手段20の
検出値が取り込まれる。つまり、測定子13が当接した
被測定物の測定面の高さ寸法が測定される。Next, the operation of the present embodiment will be described. (Normal Height Measurement) For example, when measuring the height of an object to be measured (not shown), the measurement is performed as follows. When the second slider 15 is lowered by operating the handle 43 of the drive mechanism 40, the first slider 15 is moved through the constant pressure mechanism 30.
Slider 14 is also lowered in the same direction. Eventually, if the second slider 15 is further lowered after the tracing stylus 13 provided on the first slider 14 comes into contact with the object to be measured, the first slider 14 cannot be further lowered. , First and second sliders 14, 15
During this period, a load exceeding a predetermined level is applied. Then, the second slider 15 is moved by the constant pressure mechanism 30 to the first slider 14.
Is moved relative to (down). Eventually, when the relative movement amount becomes 5 mm or more, that is, in the switch means 50, the first fixed to the second slider 15
At the moment when the contact pin 51 comes into contact with the swing lever 53, the switch section 55 is turned on, so that the detected value of the displacement detecting means 20 is captured. That is, the height dimension of the measurement surface of the measured object with which the tracing stylus 13 contacts is measured.
【0037】(倣い測定)倣い測定時には、次のように
して測定が行われる。たとえば、被測定物(図示せず)
の孔の内周面を倣い測定する場合には、測定子13を孔
内に挿入し、この状態で、駆動機構40のハンドル43
を操作することで、第2のスライダ15を下降させる
と、定圧機構30を介して第1のスライダ14も同方向
へ一緒に下降されていく。やがて、測定子13が孔の内
壁に当接したのち、さらに、第2のスライダ15を下降
させると、第1のスライダ14はそれ以上下降すること
ができないので、第1および第2のスライダ14,15
間には所定以上の負荷がかかる。すると、定圧機構30
によって第2のスライダ15が第1のスライダ14に対
して相対移動(下降)される。やがて、この相対移動量
が5mm以上になったとき、すなわち、スイッチ手段5
0において、第2のスライダ15に固定された第1接点
ピン51が揺動レバー53に接触しているときに、スイ
ッチ部55がオン状態となるので、変位検出手段20の
検出値が取り込まれる。この状態においては、第1のス
ライダ14に対して第2のスライダ15が5mm以上下
降されているから、第1のスライダ14および測定子1
3には定圧機構30によって下方への力が作用している
状態にある。したがって、この状態のまま、被測定物ま
たは一次元測定機1を水平方向に移動させると、測定子
13は孔の内壁に当接されたまま移動されていく。この
間、所定時間間隔で変位検出手段20の検出値が取り込
まれるから、そのときの最小値を更新記憶しておくこと
により孔の最下点位置を求めることができ、この位置を
基準に測定子13を上昇させ孔の内壁上部に当接したと
きの検出値を取り込めば孔の内径を求めることができ
る。(Scanning Measurement) At the time of scanning measurement, measurement is performed as follows. For example, the DUT (not shown)
When the inner peripheral surface of the hole is measured by scanning, the tracing stylus 13 is inserted into the hole, and in this state, the handle 43 of the drive mechanism 40 is
When the second slider 15 is lowered by operating the first slider 14, the first slider 14 is also lowered together in the same direction via the constant pressure mechanism 30. When the second slider 15 is further lowered after the tracing stylus 13 comes into contact with the inner wall of the hole, the first slider 14 cannot be further lowered. , 15
A load greater than a predetermined value is applied between them. Then, the constant pressure mechanism 30
As a result, the second slider 15 is moved relative to the first slider 14 (downward). Eventually, when the relative movement amount becomes 5 mm or more, that is, when the switch means 5
At 0, when the first contact pin 51 fixed to the second slider 15 is in contact with the swing lever 53, the switch section 55 is turned on, so that the detection value of the displacement detection means 20 is captured. . In this state, since the second slider 15 is lowered by 5 mm or more with respect to the first slider 14, the first slider 14 and the tracing stylus 1
3 is in a state where a downward force is applied by the constant pressure mechanism 30. Therefore, when the object to be measured or the one-dimensional measuring device 1 is moved in the horizontal direction in this state, the tracing stylus 13 is moved while being in contact with the inner wall of the hole. During this time, the detected value of the displacement detecting means 20 is taken in at a predetermined time interval. Therefore, by updating and storing the minimum value at that time, the lowest point position of the hole can be obtained. The internal diameter of the hole can be determined by taking the detection value when the 13 is raised and brought into contact with the upper part of the inner wall of the hole.
【0038】(罫書き作業)また、罫書き作業時には、
次のようにして作業が行われる。たとえば、対象物(図
示せず)に罫書きを行う場合には、まず、第1のスライ
ダ14に取り付けられた測定子13をスクライバー(図
示せず)等に付け替える。次に、駆動機構40のハンド
ル43を操作することで、第2のスライダ15を昇降さ
せると、定圧機構30を介して第1のスライダ14およ
びスクライバーも同方向へ一緒に昇降されていく。こう
して、スクライバーの高さ位置を所望の位置に設定した
のち、駆動機構40のハンドル43を固定することで、
第2のスライダ15の位置を固定する。(Scribing) At the time of scoring,
The operation is performed as follows. For example, when scribing an object (not shown), first, the tracing stylus 13 attached to the first slider 14 is replaced with a scriber (not shown) or the like. Next, when the second slider 15 is moved up and down by operating the handle 43 of the drive mechanism 40, the first slider 14 and the scriber are also moved up and down together in the same direction via the constant pressure mechanism 30. After setting the height position of the scriber to a desired position in this way, by fixing the handle 43 of the drive mechanism 40,
The position of the second slider 15 is fixed.
【0039】次に、クランプピン64を表示操作部18
および第2のスライダ15の各貫通孔61,62に挿入
し、クランプピン64の位置決めピン651を、第2ス
ライド15の外周壁652Aの周端部に当接させる(図
11参照)。クランプピン64は、その圧縮コイルばね
653によって常に第1のスライダ14の係合穴63に
向かって進出する方向に付勢されているので、クランプ
ピン64を所定角度回動させて、クランプピン64の位
置決めピン651をガイド筒652の溝652Bに対応
するように位置させることで、クランプピン64は、そ
の位置決めピン651を溝652Bに沿わせながら、第
1のスライダ14の係合穴63に向かって進出される。
これにより、クランプピン64の先端は、第1のスライ
ダ14の係合穴63に係合され(図12参照)、表示操
作部18と第2のスライダ15と第1のスライダ14と
が一体的に固定される。このように第2のスライダ15
と第1のスライダ14とを一体的に固定することで、第
1のスライダ14に取り付けられたスクライバーの位置
も固定される。そして、対象物にスクライバーを押し当
てた状態のまま、対象物または一次元測定機1を水平方
向に移動させることで罫書き作業を行う。Next, the clamp pin 64 is moved to the display operation section 18.
And the positioning pins 651 of the clamp pins 64 are brought into contact with the peripheral end of the outer peripheral wall 652A of the second slide 15 (see FIG. 11). Since the clamp pin 64 is constantly urged by the compression coil spring 653 in a direction to advance toward the engagement hole 63 of the first slider 14, the clamp pin 64 is rotated by a predetermined angle, and the clamp pin 64 is rotated. By positioning the positioning pins 651 so as to correspond to the grooves 652B of the guide cylinder 652, the clamp pins 64 face the engagement holes 63 of the first slider 14 while aligning the positioning pins 651 along the grooves 652B. To advance.
As a result, the tip of the clamp pin 64 is engaged with the engagement hole 63 of the first slider 14 (see FIG. 12), and the display operation unit 18, the second slider 15, and the first slider 14 are integrated. Fixed to Thus, the second slider 15
And the first slider 14 are integrally fixed, so that the position of the scriber attached to the first slider 14 is also fixed. Then, while the scriber is pressed against the object, the object or the coordinate measuring machine 1 is moved in the horizontal direction to perform the scoring work.
【0040】上述のような本実施形態によれば、次のよ
うな効果がある。すなわち、定圧機構30は、重量バラ
ンス用付勢手段としての引っ張りばね31と、カム部材
32と、係合ピン33と、定圧用付勢手段としての引っ
張りばね34とから構成されているから、従来の3本の
引っ張りコイルばねを互いに平行にかつ所定長さに亘っ
て配置するものに比べ、小型化できる。しかも、第2の
スライダ15が上昇および下降時、カム部材32を水平
方向に付勢する定圧用付勢手段を1つの引っ張りばね3
4によって構成してあるから、第2のスライダ15が上
昇したときの測定圧と第2のスライダ15が下降したと
きの測定圧とを同じにできる。According to the above-described embodiment, the following effects can be obtained. That is, since the constant pressure mechanism 30 is composed of the tension spring 31 as the weight balance urging means, the cam member 32, the engaging pin 33, and the tension spring 34 as the constant pressure urging means, The size can be reduced as compared with the case where the three tension coil springs are arranged in parallel with each other and over a predetermined length. In addition, when the second slider 15 moves up and down, the constant-pressure urging means for urging the cam member 32 in the horizontal direction is provided by one tension spring 3.
4, the measurement pressure when the second slider 15 moves up and the measurement pressure when the second slider 15 moves down can be made the same.
【0041】また、定圧機構30において、係合ピン3
3を挟んで、カム部材32の一端側が回動支点で、他端
側に引っ張りばね34により引張力が働くため、中立位
置への復帰性能を高く維持できる。In the constant pressure mechanism 30, the engagement pins 3
With the one end of the cam member 32 being a pivot point and the tensile force acting on the other end of the cam member 32 by the tension spring 34, the performance of returning to the neutral position can be kept high.
【0042】スイッチ手段50において、第2のスライ
ダ15が第1のスライダ14に対して相対移動(下降)
すると、揺動レバー53は第1または第2接点ピン5
1,52に接した状態で揺動されるから、これら揺動レ
バー53や第1,第2接点ピン51,52の損傷、破損
を防止でき、このことは、測定子13の保護にも寄与で
きる。また、スイッチ手段50を構成する第1,第2接
点ピン51,52と揺動レバー53とは、測定時におい
て第1、第2のスライダ14,15が相対移動したとき
のみ一時的に接するだけであるから、従来のように抵抗
帯上を板ばねが摺動しながらスライダの相対移動を検出
する構造に比べ、経年変化の影響を極力低減することが
できる。しかも、スイッチ手段50は、第1,第2接点
ピン51,52、揺動レバー53および付勢手段として
の引張コイルばね54によって構成されているから、両
スライダ14,15の相対変位を簡単な構成でかつ確実
に検出できる。In the switch means 50, the second slider 15 moves relative to the first slider 14 (down).
Then, the swing lever 53 is moved to the first or second contact pin 5.
Since the swing lever 53 and the first and second contact pins 51 and 52 can be prevented from being damaged or damaged, the swing lever 53 and the first and second contact pins 51 and 52 can be prevented. it can. Further, the first and second contact pins 51 and 52 and the swing lever 53 constituting the switch means 50 only temporarily come into contact with each other only when the first and second sliders 14 and 15 relatively move during measurement. Therefore, the influence of aging can be reduced as much as possible, as compared with the conventional structure in which the leaf spring slides on the resistance band and detects the relative movement of the slider. In addition, since the switch means 50 is constituted by the first and second contact pins 51 and 52, the swing lever 53 and the tension coil spring 54 as the urging means, the relative displacement between the sliders 14 and 15 can be simplified. With the configuration, it can be reliably detected.
【0043】スイッチ手段50では、第1接点ピン51
と揺動レバー53との間、第2接点ピン51と揺動レバ
ー53との間で直接スイッチ部55を形成してあるか
ら、別個にスイッチを設けなくてもよく、部品点数の削
減、コストダウンをはかることができる。In the switch means 50, the first contact pin 51
Since the switch portion 55 is formed directly between the swing lever 53 and the second contact pin 51 and between the swing lever 53, it is not necessary to provide a separate switch, reducing the number of parts and cost. You can measure down.
【0044】スイッチ手段50において、揺動レバー5
3を水平方向に付勢する付勢手段が1本の引張コイルば
ね54によって構成されているから、極めて安価に構成
することができるとともに、組立も容易である。しか
も、引張コイルばね54のばね力を選択することによ
り、揺動レバー53が第1または第2接点ピン51,5
2に接してから、揺動レバー53が揺動するときの抗力
を調整できるから、第2スライダ15の昇降時に適度な
制動作用を持たせることができる。In the switch means 50, the swing lever 5
Since the urging means for urging 3 in the horizontal direction is constituted by one tension coil spring 54, it can be constructed extremely inexpensively and is easy to assemble. In addition, by selecting the spring force of the extension coil spring 54, the swing lever 53 is connected to the first or second contact pin 51,5.
Since the drag force when the swing lever 53 swings can be adjusted after coming into contact with the second slider 2, an appropriate braking action can be provided when the second slider 15 moves up and down.
【0045】第1接点ピン51と揺動レバー53の間お
よび第2接点ピン52と揺動レバー53との間の寸法
は、5mmに設定されているので、測定子13が被測定
物に当接したときの衝撃や振動が収束している状態にあ
る時点で、変位検出手段20の検出値が取り込まれるか
ら、安定した測定を行うことができる。つまり、測定子
13が被測定物に当接したときの衝撃や振動に影響され
ることなく、被測定物の寸法を正確に測定できる。Since the dimension between the first contact pin 51 and the swing lever 53 and the dimension between the second contact pin 52 and the swing lever 53 are set to 5 mm, the measuring element 13 contacts the workpiece. Since the detection value of the displacement detecting means 20 is taken in at the time when the impact and vibration at the time of contact are converged, stable measurement can be performed. That is, the dimensions of the object to be measured can be accurately measured without being affected by shock or vibration when the tracing stylus 13 contacts the object to be measured.
【0046】倣い測定時において、第1のスライダ14
と第2のスライダ15との相対移動量が5mm以上にな
ったときに、スイッチ手段50が作動して変位検出手段
20の検出値を取り込むとともに、その時点から変位検
出手段20の検出値が所定時間間隔で取り込まれるか
ら、その取り込んだ検出値の最小値を求めれば、孔の最
下端の値を求めることができる。At the time of scanning measurement, the first slider 14
When the relative movement amount between the slider 15 and the second slider 15 becomes 5 mm or more, the switch means 50 is operated to capture the detected value of the displacement detecting means 20, and from that point on, the detected value of the displacement detecting means 20 becomes a predetermined value Since the values are taken at time intervals, if the minimum value of the taken detection values is obtained, the lowermost value of the hole can be obtained.
【0047】クランプ機構60により第1のスライダ1
4と第2のスライダ15とを一体化させることができる
から、駆動機構40を固定させることで第2のスライダ
15を固定したのちに、第1のスライダ14と第2のス
ライダ15とを一体化させることで、第1のスライダ1
4に設けられた測定子13の位置を固定することができ
る。したがって、たとえば、測定子13をスクライバー
等に付け替えて、対象物にスクライバーを押し当てた状
態のまま、対象物または一次元測定機1を水平方向に移
動させることで罫書き作業を行うことができる。また、
運搬時においても、第1のスライダ14と第2のスライ
ダ15とを一体化させることで、第1および第2のスラ
イダ14,15間に相対移動が生じるのを防ぐことがで
きるから、それらの間に介装される定圧機構30等への
支障も極力低減することができる。The first slider 1 is moved by the clamp mechanism 60.
4 and the second slider 15 can be integrated, so that after fixing the second slider 15 by fixing the drive mechanism 40, the first slider 14 and the second slider 15 are integrated. The first slider 1
The position of the tracing stylus 13 provided at 4 can be fixed. Therefore, for example, scribing can be performed by replacing the tracing stylus 13 with a scriber or the like and moving the object or the one-dimensional measuring device 1 in the horizontal direction while the scriber is pressed against the object. . Also,
During transportation, the relative movement between the first and second sliders 14 and 15 can be prevented by integrating the first slider 14 and the second slider 15. Obstacles to the constant pressure mechanism 30 and the like interposed therebetween can be reduced as much as possible.
【0048】クランプピン64を第2のスライダ15の
貫通孔62に挿通して第1のスライダ14の係合穴63
に係合させることで、第1のスライダ14と第2のスラ
イダ15とを一体化させることができるので、前記目的
を簡単な構造のクランプ機構60により達成できる。The clamp pin 64 is inserted into the through-hole 62 of the second slider 15 so that the engagement hole 63 of the first slider 14
, The first slider 14 and the second slider 15 can be integrated, so that the above object can be achieved by the clamp mechanism 60 having a simple structure.
【0049】クランプピン64を第2のスライダ15の
貫通孔62に保持した状態から、所定角度回動させるだ
けで、クランプピン64を第1のスライダ14の係合穴
63に向かって進出、係合させることができるので、た
とえば、第2スライダ14,15にねじ孔を切って、そ
れにクランプピンを螺合して、クランプピンを係合孔に
向かって進出させる構造の場合よりも、クランプピン6
4を第1および第2のスライダ14,15に容易にかつ
短時間で固定できるうえ、罫書き作業や運搬時におい
て、クランプピン保持進出機構65によりクランプピン
64が第1および第2のスライダ14,15から外れる
のを防止できる。From the state in which the clamp pin 64 is held in the through hole 62 of the second slider 15, the clamp pin 64 advances toward the engaging hole 63 of the first slider 14 by simply rotating the clamp pin 64 by a predetermined angle. Therefore, for example, a screw hole is cut in the second sliders 14 and 15, a clamp pin is screwed into the screw hole, and the clamp pin is advanced toward the engagement hole. 6
4 can be easily and quickly fixed to the first and second sliders 14 and 15, and the clamp pin 64 is moved by the clamp pin holding / advancing mechanism 65 during the scoring work or transportation. , 15 can be prevented.
【0050】クランプピン64を所定角度回動させるだ
けで、クランプピン64は、付勢手段としての圧縮コイ
ルばね653により、その位置決めピン651がガイド
筒652の溝652Bに沿いながら進出されるので、ク
ランプピン64を、貫通孔62および係合穴63の中心
軸に沿って、かつ、係合穴63に向かって進出させるこ
とができ、クランプピン64を係合穴63に容易に係合
させることができる。By simply rotating the clamp pin 64 by a predetermined angle, the clamp pin 64 is advanced by the compression coil spring 653 as an urging means while the positioning pin 651 is advanced along the groove 652B of the guide cylinder 652. The clamp pin 64 can be advanced along the central axis of the through hole 62 and the engagement hole 63 and toward the engagement hole 63, so that the clamp pin 64 is easily engaged with the engagement hole 63. Can be.
【0051】クランプピン64の先端は、テーパ面状に
形成されているので、第2のスライダ15の貫通孔62
に挿入されたクランプピン64の中心軸と、第1のスラ
イダ14の係合穴63の中心との互いの位置が多少ずれ
ていても、クランプピン64を第1のスライダ14の係
合穴63に確実に挿入できる。Since the tip of the clamp pin 64 is formed in a tapered surface, the through hole 62 of the second slider 15 is formed.
Even if the center axis of the clamp pin 64 inserted into the first slider 14 and the center of the engagement hole 63 of the first slider 14 are slightly displaced from each other, the clamp pin 64 is moved to the engagement hole 63 of the first slider 14. Can be inserted securely.
【0052】なお、本発明は前記実施形態に限定される
ものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変
形、改良は、本発明に含まれるものである。たとえば、
前記実施形態では、定圧機構30は、重量バランス用付
勢手段としての引っ張りばね31と、カム部材32と、
係合ピン33と、定圧用付勢手段としての引っ張りばね
34とから構成されているが、本発明に係る定圧機構は
これに限定されるものではなく、以下のように構成され
てもよい。It should be noted that the present invention is not limited to the above embodiment, and modifications and improvements as long as the object of the present invention can be achieved are included in the present invention. For example,
In the above embodiment, the constant pressure mechanism 30 includes a tension spring 31 as a weight balance urging unit, a cam member 32,
Although it is composed of the engaging pin 33 and the tension spring 34 as the constant pressure urging means, the constant pressure mechanism according to the present invention is not limited to this, and may be configured as follows.
【0053】図13および図14において、定圧機構7
0は、定圧機構30と同様な重量バランス用付勢手段と
しての引っ張りばね71と、上下方向に間隔を隔てて第
1のスライダ14に設けられた一対の板ばね72と、こ
の各板ばね72の弾性変形可能な部位に接して第2のス
ライダ15に配置された一対の押圧ピン73と、一対の
板ばね72のばね圧を同時に調整するばね調節手段74
とから構成されている。13 and 14, the constant pressure mechanism 7
Numeral 0 denotes a tension spring 71 as a weight balance urging means similar to the constant pressure mechanism 30, a pair of leaf springs 72 provided on the first slider 14 at intervals in the vertical direction, and each leaf spring 72. And a pair of pressing pins 73 arranged on the second slider 15 in contact with the elastically deformable portion of the above, and a spring adjusting means 74 for simultaneously adjusting the spring pressure of the pair of leaf springs 72.
It is composed of
【0054】各板ばね72は、略V字形に形成されてお
り、その中央の折曲部位はねじ72Aにより固定され
て、第1および第2のスライダ14,15の相対移動方
向へ弾性変形可能に配置されている。また、一対の押圧
ピン73は、一対の板ばね72に対応した位置に上下方
向に間隔を隔ててそれぞれ設けられており、各板ばねの
一方の脚にそれぞれ当接または同量の力で押圧してい
る。一方、ばね調節手段74は、一対の板ばね71の間
に配置されており、上下端に各板ばね71の他方の脚を
それぞれ押圧する一対の調整ピン741A有するプレー
ト741と、このプレート741を水平方向に押圧する
押圧機構742とから構成されている。押圧機構742
は、第1のスライダ14に設けられた螺合部742A
と、プレート741を貫通して螺合部742Aに螺合さ
れる調整ねじ742Bとから構成されている。調整ねじ
742Bを回転させることで、プレート741は水平方
向に押圧されて、このプレート741の一対の調整ピン
741Aが一対の板ばね71を水平方向に押圧するか
ら、一対の板ばね71のばね圧が同時に調節される(図
15参照)。Each leaf spring 72 is formed in a substantially V-shape, and the center bent portion is fixed by a screw 72A so that it can be elastically deformed in the relative movement direction of the first and second sliders 14, 15. Are located in The pair of pressing pins 73 are provided at positions corresponding to the pair of leaf springs 72 at an interval in the up-down direction, respectively, and abut against one leg of each leaf spring or press with a same amount of force. are doing. On the other hand, the spring adjusting means 74 is disposed between the pair of leaf springs 71, and includes a plate 741 having a pair of adjustment pins 741 </ b> A at upper and lower ends for pressing the other leg of each leaf spring 71, respectively. And a pressing mechanism 742 for pressing in the horizontal direction. Pressing mechanism 742
Is a threaded portion 742A provided on the first slider 14.
And an adjusting screw 742B that penetrates the plate 741 and is screwed into the screwing portion 742A. By rotating the adjusting screw 742B, the plate 741 is pressed in the horizontal direction, and the pair of adjusting pins 741A of the plate 741 press the pair of leaf springs 71 in the horizontal direction. Are simultaneously adjusted (see FIG. 15).
【0055】中立状態では、図13にも示すように、第
1および第2のスライダ14,15間には相対移動は生
じないので、第2のスライダ15を上下方向に昇降させ
ると、第1のスライダ14も同方向へ一緒に昇降され
る。これにより、一対の板ばね72には弾性変形が生じ
ない、あるいは同量の弾性変形が生じているので、一対
の板ばね72は互いに同じ形となっている。In the neutral state, as shown in FIG. 13, there is no relative movement between the first and second sliders 14 and 15, so that when the second slider 15 is raised and lowered in the vertical direction, the first slider Slider 14 is also raised and lowered together in the same direction. As a result, no elastic deformation occurs or the same amount of elastic deformation occurs in the pair of leaf springs 72, so that the pair of leaf springs 72 have the same shape.
【0056】第1および第2のスライダ14,15を下
方向に移動させ、たとえば、第1のスライダ14の測定
子13の下部に被測定物(図示せず)を当接させたの
ち、さらに、第2のスライダ15を下降させると、第1
のスライダ14はそれ以上下降することができないか
ら、第1および第2のスライダ14,15間に所定以上
の負荷がかかる。すると、引っ張りばね71が伸ばされ
て、第1のスライダ14と第2のスライダ15との間に
相対移動が生じる。すると、第2のスライダ15の各押
圧ピン73は下降され、第1のスライダ14の下方側に
配置された板ばね72は下方に押圧される(図16
(a)参照)。また、反対に、第1および第2のスライ
ダ14,15を上方向に移動させ、第1のスライダ14
の測定子13の上部に被測定物を当接させたのち、さら
に、第2のスライダ15を上昇させると、第2のスライ
ダ15の各押圧ピン73は上昇され、第1のスライダ1
4の上方側に配置された板ばね72は上方に押圧される
(図16(b)参照)。After the first and second sliders 14 and 15 are moved downward, for example, an object to be measured (not shown) is brought into contact with the lower portion of the tracing stylus 13 of the first slider 14 and then further moved. When the second slider 15 is lowered, the first
Since the slider 14 cannot descend any further, a load more than a predetermined value is applied between the first and second sliders 14 and 15. Then, the tension spring 71 is extended, and a relative movement occurs between the first slider 14 and the second slider 15. Then, each pressing pin 73 of the second slider 15 is lowered, and the leaf spring 72 disposed below the first slider 14 is pressed downward (FIG. 16).
(A)). On the other hand, the first and second sliders 14 and 15 are moved upward,
After the object to be measured is brought into contact with the upper part of the tracing stylus 13, when the second slider 15 is further raised, each pressing pin 73 of the second slider 15 is raised, and the first slider 1 is moved.
The leaf spring 72 arranged on the upper side of 4 is pressed upward (see FIG. 16B).
【0057】第1および第2のスライダ14,15間か
ら負荷が除去されると、一対の板ばね72は、その弾性
により中立状態に戻ろうとして、一対の押圧ピン73を
上方または下方に押圧する。これにより、第2のスライ
ダ15は押し戻されるから、第1および第2のスライダ
14,15間の相対移動が解消されて、一対の板ばね7
2は中立状態に戻る(図13参照)。When the load is removed from between the first and second sliders 14 and 15, the pair of leaf springs 72 press the pair of pressing pins 73 upward or downward in an attempt to return to a neutral state due to their elasticity. I do. As a result, the second slider 15 is pushed back, so that the relative movement between the first and second sliders 14 and 15 is eliminated, and the pair of leaf springs 7 are released.
2 returns to the neutral state (see FIG. 13).
【0058】上述のような変形例によれば、重量バラン
ス用付勢手段としての引っ張りばね71と、一対の板ば
ね72と、一対の押圧ピン73と構成されているから、
従来の3本の引っ張りコイルばねを互いに平行にかつ所
定長さに亘って配置するものに比べ、小型化できる。According to the modification described above, since the tension spring 71 as the weight balance urging means, the pair of leaf springs 72, and the pair of pressing pins 73 are provided,
The size can be reduced as compared with a conventional configuration in which three tension coil springs are arranged in parallel with each other and over a predetermined length.
【0059】1つのばね圧調整手段74によって一対の
板ばね72のばね圧を同時に調整することができるか
ら、調整作業が簡単であるとともに、経済的に構成でき
る。また、本変形例では、1つのばね圧調整手段74に
よって一対の板ばね72のばね圧を調整しているが、本
発明はこれに限定されるものではなく、一対の板ばねの
ばね圧を個別に調整する2つのばね圧調整手段を備えて
もよい。このような場合、一対の板ばねのばね圧を個別
に調整することができるから、たとえば、第2のスライ
ダが上昇したときの測定圧と第2のスライダが下降した
ときの測定圧とが異なってしまう場合でも、簡単に修正
できる。さらに、ばね調節手段74を別個に設けるので
はなく、たとえば、各板ばねを固定するねじの締め付け
る度合いを変化させることで、板ばねのばね圧を調整し
てもよい。Since the spring pressure of the pair of leaf springs 72 can be simultaneously adjusted by one spring pressure adjusting means 74, the adjusting operation is simple and economical. Further, in this modification, the spring pressure of the pair of leaf springs 72 is adjusted by one spring pressure adjusting means 74, but the present invention is not limited to this, and the spring pressure of the pair of leaf springs is adjusted. It may be provided with two spring pressure adjusting means for adjusting individually. In such a case, since the spring pressure of the pair of leaf springs can be adjusted individually, for example, the measurement pressure when the second slider rises and the measurement pressure when the second slider descends are different. If it does, you can easily fix it. Further, instead of providing the spring adjusting means 74 separately, for example, the spring pressure of the leaf spring may be adjusted by changing the degree of tightening of a screw for fixing each leaf spring.
【0060】前記実施形態では、ベース11は、略箱状
に形成されているが、本発明のベースはこれに限定され
るものではなく、たとえば、図17に示すようなベース
81であってもよい。ベース81には、下方側に開口し
た凹部81Aが形成されており、この凹部81A内に
は、上下方向に設けられた軸811と、この軸811に
上下方向へ摺動可能に設けられかつ下面が定盤(図示せ
ず)等に接して設けられた摺動パッド812とを有す
る。軸811には、圧縮コイルばね811Aが巻き回さ
れており、摺動パッド812の定盤等に接する下面に
は、テフロン塗布等によって形成された低摩擦係数部材
812Aが設けられている。これにより、水平方向に力
を加えることで、エアベアリング機構等を用いなくても
比較的軽い力で一次元測定機を移動させることができ
る。In the above embodiment, the base 11 is formed in a substantially box shape. However, the base of the present invention is not limited to this. For example, a base 81 as shown in FIG. Good. The base 81 is formed with a concave portion 81A which is open on the lower side. In the concave portion 81A, a shaft 811 provided in a vertical direction, and a lower surface provided on the shaft 811 so as to be slidable in the vertical direction. Has a sliding pad 812 provided in contact with a surface plate (not shown) or the like. A compression coil spring 811A is wound around the shaft 811. A lower friction coefficient member 812A formed by applying Teflon or the like is provided on a lower surface of the sliding pad 812 which is in contact with a surface plate or the like. Thus, by applying a force in the horizontal direction, the one-dimensional measuring machine can be moved with a relatively light force without using an air bearing mechanism or the like.
【0061】前記実施形態の各付勢手段は、引っ張りば
ね31,34、引張コイルばね54および圧縮コイルば
ね653からそれぞれ構成されているが、本発明に係る
各付勢手段はこれに限定されるものではなく、各付勢手
段として機能する適宜な各種ばねやゴムなどから構成さ
れていてもよい。Each of the urging means in the above-described embodiment is constituted by the tension springs 31, 34, the tension coil spring 54, and the compression coil spring 653, but each urging means according to the present invention is not limited to this. Instead, they may be made of various appropriate springs or rubbers that function as the respective urging means.
【0062】前記実施形態では、第1接点ピン51と揺
動レバー53との間および第2接点ピン52と揺動レバ
ー53との間の寸法は、5mmに設定されているが、本
発明はこれに限定されるものではなく、少なくとも3m
m以上に設定されてればよい。また、第1接点ピン51
と揺動レバー53との間および第2接点ピン52と揺動
レバー53との間には、スイッチ部55が形成されてい
るが、たとえば、別個にスイッチを設けてもよく、この
ような場合も本発明に含まれる。しかし、別個にスイッ
チを設けると、部品点数が増えるなどの問題が生じるの
で、スイッチ部は、第1接点ピンと揺動レバーとの間お
よび第2接点ピンと揺動レバーとの間に形成されている
ことが望ましい。In the above embodiment, the dimension between the first contact pin 51 and the swing lever 53 and the dimension between the second contact pin 52 and the swing lever 53 are set to 5 mm. Not limited to this, at least 3m
m may be set to m or more. Also, the first contact pin 51
A switch section 55 is formed between the swing lever 53 and the second contact pin 52 and between the swing lever 53. For example, a separate switch may be provided. Are also included in the present invention. However, if a separate switch is provided, a problem such as an increase in the number of parts occurs. Therefore, the switch portion is formed between the first contact pin and the swing lever and between the second contact pin and the swing lever. It is desirable.
【0063】前記実施形態のスイッチ手段50では、第
1および第2接点ピン51,52は第2のスライダ15
に、揺動レバー53および引張コイルばね54は第1の
スライダ14に設けられているが、本発明に係るスイッ
チ手段はこれに限定されるものではなく、第1および第
2接点ピンは第1のスライダに、揺動レバーおよび引張
コイルばねは第2のスライダに設けられてもよく、この
ような場合にも前記実施形態と同様な効果を得ることが
できる。In the switch means 50 of the embodiment, the first and second contact pins 51 and 52 are connected to the second slider 15.
Although the swing lever 53 and the extension coil spring 54 are provided on the first slider 14, the switch means according to the present invention is not limited to this, and the first and second contact pins are the first. The swing lever and the extension coil spring may be provided on the second slider, and the same effect as in the above embodiment can be obtained in such a case.
【0064】前記実施形態では、クランプピン64の先
端は、テーパ面状に形成されているが、第1のスライダ
の係合孔に係合可能な適宜な形状に形成されていればよ
く、このような場合も本発明に含まれる。In the above-described embodiment, the tip of the clamp pin 64 is formed in a tapered surface shape, but it may be formed in an appropriate shape that can be engaged with the engagement hole of the first slider. Such cases are also included in the present invention.
【0065】前記実施形態では、クランプ機構60は、
クランプピン保持進出機構65を含んで構成されている
が、本発明に係るクランプ機構はこれに限定されるもの
ではなく、クランプ保持進出機構を含んで構成されなく
ともよい。しかし、クランプ進出機構を設けた方が、ク
ランプピンを第1および第2のスライダに容易にかつ短
時間で固定できるうえ、クランプピンが第1および第2
のスライダから外れるのを効果的に防止できるので、ク
ランプ進出機構は設けられることが望ましい。In the above embodiment, the clamp mechanism 60
Although it is configured to include the clamp pin holding / advancing mechanism 65, the clamp mechanism according to the present invention is not limited to this, and may not be configured to include the clamp holding / advancing mechanism. However, when the clamp advance mechanism is provided, the clamp pin can be easily and quickly fixed to the first and second sliders, and the first and second clamp pins can be fixed to the first and second sliders.
It is desirable to provide a clamp advance mechanism because it can effectively prevent the slider from coming off the slider.
【0066】[0066]
【発明の効果】本発明の一次元測定機によれば、スライ
ダ部分の小型化ができるとともに、測定方向によって測
定圧が異なることを減少させることができる。According to the one-dimensional measuring machine of the present invention, it is possible to reduce the size of the slider portion and to reduce the difference in the measurement pressure depending on the measurement direction.
【図1】本発明の一次元測定機の一実施形態を示す斜視
図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a one-dimensional measuring machine according to the present invention.
【図2】図1のII−II線に沿った断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along the line II-II of FIG.
【図3】図1のIII−III線に沿った断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along the line III-III in FIG. 1;
【図4】図1のIV−IV線に沿った断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along the line IV-IV in FIG. 1;
【図5】前記実施形態の要部を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing a main part of the embodiment.
【図6】前記実施形態の定圧機構の作用を示す平面図で
ある。FIG. 6 is a plan view showing the operation of the constant pressure mechanism of the embodiment.
【図7】前記実施形態のスイッチ手段を示す拡大断面図
である。FIG. 7 is an enlarged sectional view showing the switch means of the embodiment.
【図8】図7のスイッチ手段の分解斜視図である。FIG. 8 is an exploded perspective view of the switch unit of FIG. 7;
【図9】図7のスイッチ手段の作用を示す平面図であ
る。FIG. 9 is a plan view showing the operation of the switch means of FIG. 7;
【図10】前記実施形態のクランプ機構を示す拡大分解
斜視図である。FIG. 10 is an enlarged exploded perspective view showing the clamp mechanism of the embodiment.
【図11】図10のクランプ機構のクランプ前の状態を
示す断面図である。11 is a sectional view showing a state before clamping of the clamp mechanism of FIG. 10;
【図12】図10のクランプ機構のクランプ後の状態を
示す断面図である。FIG. 12 is a sectional view showing a state after clamping of the clamp mechanism of FIG. 10;
【図13】前記実施形態の定圧機構の変形例を示す平面
図である。FIG. 13 is a plan view showing a modification of the constant pressure mechanism of the embodiment.
【図14】図13の変形例の拡大分解斜視図である。FIG. 14 is an enlarged exploded perspective view of a modification of FIG.
【図15】図13、14の変形例の作用(ばね圧の調
整)を示す平面図である。FIG. 15 is a plan view showing an operation (adjustment of a spring pressure) of a modified example of FIGS.
【図16】図13、14の変形例の作用(測定圧の調
整)を示す平面図である。FIG. 16 is a plan view showing the operation (adjustment of the measured pressure) of the modified example of FIGS.
【図17】前記実施形態のベースの変形例を示す断面図
である。FIG. 17 is a sectional view showing a modification of the base of the embodiment.
1 一次元測定機 11 ベース 12 支柱 13 測定子 14 第1のスライダ 15 第2のスライダ 20 変位検出手段 30,70 定圧機構 31 重量バランス用付勢手段である引っ張りばね 32 カム部材 32A 摺動溝 33 係合ピン 34 定圧用付勢手段である引っ張りばね 40 駆動機構 50 スイッチ手段 51 第1接点ピン 52 第2接点ピン 53 揺動レバー 54 付勢手段である引張コイルばね 55 スイッチ部 60 クランプ機構 62 貫通孔 63 係合穴 64 クランプピン 65 クランプ保持進出機構 71 板ばね 72 押圧ピン 73 ばね圧調整手段 651 位置決めピン 652 ガイド筒 652A 外周壁 652B 溝 653 付勢手段である圧縮コイルばね DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1-dimensional measuring machine 11 Base 12 Post 13 Measuring element 14 First slider 15 Second slider 20 Displacement detecting means 30, 70 Constant pressure mechanism 31 Tension spring as biasing means for weight balance 32 Cam member 32A Sliding groove 33 Engagement pin 34 Tension spring as biasing means for constant pressure 40 Drive mechanism 50 Switching means 51 First contact pin 52 Second contact pin 53 Swing lever 54 Tension coil spring as biasing means 55 Switch section 60 Clamp mechanism 62 Penetration Hole 63 Engagement hole 64 Clamp pin 65 Clamp holding / advancing mechanism 71 Leaf spring 72 Press pin 73 Spring pressure adjusting means 651 Positioning pin 652 Guide cylinder 652A Outer wall 652B Groove 653 Compression coil spring as urging means
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小島 憲治 栃木県宇都宮市下栗町2200番地 株式会社 ミツトヨ内 Fターム(参考) 2F061 AA02 AA31 AA33 DD26 FF07 FF16 FF34 FF52 FF61 FF72 GG01 GG04 GG05 GG32 HH95 HH96 JJ71 VV04 VV08 VV15 2F062 AA02 AA41 AA43 CC26 EE01 EE62 FF03 FF22 GG42 GG51 GG60 GG69 GG71 HH05 HH13 HH22 HH32 JJ06 JJ08 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Kenji Kojima 2200 Shimoguri-cho, Utsunomiya City, Tochigi Prefecture F-term (reference) 2F061 AA02 AA31 AA33 DD26 FF07 FF16 FF34 FF52 FF61 FF72 GG01 GG04 GG05 GG32 HH95 VH96 JJ VV08 VV15 2F062 AA02 AA41 AA43 CC26 EE01 EE62 FF03 FF22 GG42 GG51 GG60 GG69 GG71 HH05 HH13 HH22 HH32 JJ06 JJ08
Claims (5)
と、この支柱に沿って上下方向へ昇降可能に設けられか
つ被測定物に接する測定子を有する第1のスライダと、
この第1のスライダの高さ位置を検出する変位検出手段
と、前記第1のスライダにその第1のスライダの移動方
向と同方向へ移動可能に設けられた第2のスライダと、
この第2のスライダに対して第1のスライダを保持する
とともに、これらスライダ間に所定以上の負荷が作用し
たとき第1のスライダに対して第2のスライダを相対移
動させ、かつ前記負荷が解除されたとき第1のスライダ
と第2のスライダとを初期位置に復帰させる定圧機構
と、前記第2のスライダに連結されその第2のスライダ
を支柱に沿って上下方向へ昇降させる駆動機構と、前記
第1のスライダに対して第2のスライダが相対移動した
とき作動して前記変位検出手段の検出値を取り込むスイ
ッチ手段とを備えた一次元測定機において、 前記定圧機構は、前記第1のスライダと第2のスライダ
との間に設けられ第1のスライダおよびそれに付加され
る部材の総重量と同等な力で第1のスライダを上方へ付
勢する重量バランス用付勢手段と、前記第1のスライダ
に上下方向へ揺動可能に設けられかつ長手方向に沿って
摺動溝を有するカム部材と、前記第2のスライダに設け
られ前記カム部材の摺動溝に摺動可能に係合する係合ピ
ンと、前記カム部材を中立位置に保持するとともに、前
記第1および第2のスライダ間にそれらの相対移動方向
へ所定以上の力が作用したとき前記カム部材の揺動を許
容する定圧用付勢手段とを備えたことを特徴とする一次
元測定機。A first slider having a base, a support standing upright on the base, and a tracing stylus provided vertically up and down along the support and in contact with an object to be measured;
A displacement detecting means for detecting a height position of the first slider; a second slider provided on the first slider so as to be movable in the same direction as the direction of movement of the first slider;
The first slider is held with respect to the second slider, and when a load equal to or more than a predetermined value acts between the sliders, the second slider is relatively moved with respect to the first slider, and the load is released. A constant pressure mechanism for returning the first slider and the second slider to the initial position when the first slider and the second slider are connected to the second slider, and a driving mechanism for vertically moving the second slider along the column. A switch which operates when the second slider relatively moves with respect to the first slider and takes in a detected value of the displacement detecting means. The constant-pressure mechanism comprises: Weight balance biasing means provided between the slider and the second slider for biasing the first slider upward with a force equivalent to the total weight of the first slider and members added thereto A cam member provided on the first slider so as to be swingable in a vertical direction and having a sliding groove along a longitudinal direction; and a sliding member provided on the second slider and sliding on a sliding groove of the cam member. The cam member is held at a neutral position, and the cam member swings when a force greater than a predetermined force acts between the first and second sliders in the direction of their relative movement. A one-dimensional measuring machine, comprising: a constant-pressure urging means for allowing the pressure.
て、 前記係合ピンを挟んで、前記カム部材の一端側が前記第
1のスライダに揺動可能に支持され、カム部材の他端側
が前記定圧用付勢手段によって水平方向へ付勢されてい
ることを特徴とする一次元測定機。2. The one-dimensional measuring machine according to claim 1, wherein one end of the cam member is swingably supported by the first slider with the engagement pin interposed therebetween, and the other end of the cam member is swingably supported. A one-dimensional measuring machine characterized in that it is urged horizontally by the constant-pressure urging means.
と、この支柱に沿って上下方向へ昇降可能に設けられか
つ被測定物に接する測定子を有する第1のスライダと、
この第1のスライダの高さ位置を検出する変位検出手段
と、前記第1のスライダにその第1のスライダの移動方
向と同方向へ移動可能に設けられた第2のスライダと、
この第2のスライダに対して第1のスライダを保持する
とともに、これらスライダ間に所定以上の負荷が作用し
たとき第1のスライダに対して第2のスライダを相対移
動させ、かつ前記負荷が解除されたとき第1のスライダ
と第2のスライダとを初期位置に復帰させる定圧機構
と、前記第2のスライダに連結されその第2のスライダ
を支柱に沿って上下方向へ昇降させる駆動機構と、前記
第1のスライダに対して第2のスライダが相対移動した
とき作動して前記変位検出手段の検出値を取り込むスイ
ッチ手段とを備えた一次元測定機において、 前記定圧機構は、前記第1のスライダと第2のスライダ
との間に設けられ第1のスライダおよびそれに付加され
る部材の総重量と同等な力で第1のスライダを上方へ付
勢する重量バランス用付勢手段と、前記第1および第2
のスライダのいずれか一方に第1および第2のスライダ
の相対移動方向へ弾性変形可能に配置された一対の板ば
ねと、この各板ばねの弾性変形可能な部位に接して前記
第1および第2のスライダのいずれか他方に配置された
一対の押圧ピンとを備えたことを特徴とする一次元測定
機。3. A first slider having a base, a support erected on the base, and a tracing stylus provided vertically up and down along the support and in contact with an object to be measured.
A displacement detecting means for detecting a height position of the first slider; a second slider provided on the first slider so as to be movable in the same direction as the direction of movement of the first slider;
The first slider is held with respect to the second slider, and when a load equal to or more than a predetermined value acts between the sliders, the second slider is relatively moved with respect to the first slider, and the load is released. A constant pressure mechanism for returning the first slider and the second slider to the initial position when the first slider and the second slider are connected to the second slider, and a driving mechanism for vertically moving the second slider along the column. A switch which operates when the second slider relatively moves with respect to the first slider and takes in a detected value of the displacement detecting means. The constant-pressure mechanism comprises: Weight balance biasing means provided between the slider and the second slider for biasing the first slider upward with a force equivalent to the total weight of the first slider and members added thereto And the first and second
A pair of leaf springs arranged on one of the sliders so as to be resiliently deformable in the direction of relative movement of the first and second sliders; A one-dimensional measuring machine comprising: a pair of pressing pins arranged on one of the other of the two sliders.
て、 前記一対の板ばねのばね圧を同時に調整する1つのばね
圧調整手段とを備えていることを特徴とする一次元測定
機。4. The one-dimensional measuring machine according to claim 3, further comprising one spring pressure adjusting means for simultaneously adjusting a spring pressure of the pair of leaf springs.
て、 前記一対の板ばねのばね圧を個別に調整する2つのばね
圧調整手段とを備えていることを特徴とする一次元測定
機。5. The one-dimensional measuring machine according to claim 3, further comprising two spring pressure adjusting means for individually adjusting a spring pressure of the pair of leaf springs. .
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28155999A JP3394008B2 (en) | 1999-10-01 | 1999-10-01 | One-dimensional measuring machine |
US09/671,145 US6401352B1 (en) | 1999-10-01 | 2000-09-28 | Linear measuring machine |
DE60017328T DE60017328T2 (en) | 1999-10-01 | 2000-09-29 | Altimeter with coupled double slide |
EP00308568A EP1089051B1 (en) | 1999-10-01 | 2000-09-29 | Height gauge with coupled double slider |
CNB001305662A CN1162680C (en) | 1999-10-01 | 2000-09-29 | One dimensional detector |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP28155999A JP3394008B2 (en) | 1999-10-01 | 1999-10-01 | One-dimensional measuring machine |
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JP3394008B2 JP3394008B2 (en) | 2003-04-07 |
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Family Applications (1)
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-
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