JP2001094261A - Interlayer insulating material for multilayer printed wiring boards - Google Patents

Interlayer insulating material for multilayer printed wiring boards

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JP2001094261A
JP2001094261A JP27015999A JP27015999A JP2001094261A JP 2001094261 A JP2001094261 A JP 2001094261A JP 27015999 A JP27015999 A JP 27015999A JP 27015999 A JP27015999 A JP 27015999A JP 2001094261 A JP2001094261 A JP 2001094261A
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JP
Japan
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interlayer insulating
insulating material
resin
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epoxy resin
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JP27015999A
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Japanese (ja)
Inventor
Masashi Minegishi
昌司 峰岸
Yasukazu Watanabe
靖一 渡辺
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Taiyo Holdings Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Ink Mfg Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an interlayer insulating material for multilayer printed wiring boards whereby the adhesion of plating films can be improved, without deteriorating the coating property, the electric insulation and the heat resistance. SOLUTION: The interlayer insulating material for multilayer printed wiring boards contains an organic binder component and a filler component for forming micropits formed by the roughening process. The filler component is prepared by compounding a spherical porous inorganic filler of 3-10 μm in mean grain size.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、多層プリント配線
板用層間絶縁材に関し、特に、導体回路層と樹脂絶縁層
とを交互にビルドアップした多層プリント配線板に好適
に用いられる層間絶縁材に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an interlayer insulating material for a multilayer printed wiring board, and more particularly to an interlayer insulating material suitably used for a multilayer printed wiring board in which conductive circuit layers and resin insulating layers are alternately built up. .

【0002】[0002]

【従来の技術】ビルドアップ方式による多層プリント配
線板は、回路形成された配線板の導体上に樹脂絶縁層と
導体回路パターンを順次形成(ビルドアップ)することに
より製造される。このビルドアップ方式による多層プリ
ント配線板では、内外に隣接する導体層同士の電気的接
続はバイアホールにて行われ、最外層に位置する導体層
同士の電気的接続はスルーホールにて行われる。
2. Description of the Related Art A multilayer printed wiring board by a build-up method is manufactured by sequentially forming (building up) a resin insulating layer and a conductor circuit pattern on a conductor of a circuit-formed wiring board. In the multilayer printed wiring board based on this build-up method, the electrical connection between the conductor layers adjacent inside and outside is made via holes, and the electrical connection between the outermost conductor layers is made through holes.

【0003】このようなビルドアップ方式で製造される
多層プリント配線板は、層間絶縁樹脂と導体との密着性
が配線板の信頼性に大きく影響するため、かかる密着性
を改善するために種々の方法が提案されている。例え
ば、層間絶縁樹脂として、紫外線硬化性樹脂及び/又は
熱硬化性樹脂(マトリックス樹脂)中に、ゴム粒子やポ
リマー粒子などの有機フィラー、あるいは炭酸カルシウ
ムなどの無機フィラーを含有してなる硬化性樹脂組成物
が提案されている。
[0003] In a multilayer printed wiring board manufactured by such a build-up method, the adhesion between the interlayer insulating resin and the conductor greatly affects the reliability of the wiring board. A method has been proposed. For example, a curable resin containing an organic filler such as rubber particles or polymer particles or an inorganic filler such as calcium carbonate in an ultraviolet curable resin and / or a thermosetting resin (matrix resin) as an interlayer insulating resin. Compositions have been proposed.

【0004】これらの提案によれば、確かに、フィラー
を含有した硬化性樹脂組成物からなる硬化皮膜の表面を
粗化剤で化学的に処理することにより、硬化樹脂(マト
リックス樹脂)の酸化分解によるゴム粒子の露出、ある
いは有機フィラーや無機フィラーの溶解などが生じ、硬
化皮膜の表面が凹凸になって、硬化皮膜上に形成される
めっき皮膜との密着性が改善される。
According to these proposals, it is true that the surface of a cured film made of a curable resin composition containing a filler is chemically treated with a roughening agent to thereby oxidatively decompose the cured resin (matrix resin). As a result, the rubber particles are exposed, or the organic filler or the inorganic filler is dissolved, and the surface of the cured film becomes uneven, so that the adhesion to the plating film formed on the cured film is improved.

【0005】しかしながら、硬化樹脂(マトリックス樹
脂)の一部を溶出してゴム粒子の凸部を形成する方法で
は、マトリックス樹脂を溶出させるためにゴム粒子のマ
トリックス樹脂との密着性が不安定となり、粗化処理の
条件によっては逆に層間絶縁樹脂と導体の密着性を悪化
させるという問題があった。
However, in the method of forming a convex portion of rubber particles by eluting a part of the cured resin (matrix resin), the adhesion of the rubber particles to the matrix resin becomes unstable because the matrix resin is eluted. On the contrary, there is a problem that the adhesion between the interlayer insulating resin and the conductor is deteriorated depending on the conditions of the roughening treatment.

【0006】また、酸化剤等の粗化剤に可溶なエポキシ
樹脂やポリエステル樹脂などの有機フィラーを溶解して
凹部を形成する方法では、酸化剤等に溶解されずに層内
に有機フィラーが残存する。そして硬化樹脂(マトリッ
クス樹脂)成分との耐熱性の差に起因してその硬化物は
一般的に耐熱性の低い有機フィラーの特性に依存するこ
とになり、結果として耐熱性の低い樹脂絶縁層が形成さ
れるということが問題となっていた。
In the method of forming a concave portion by dissolving an organic filler such as an epoxy resin or a polyester resin which is soluble in a roughening agent such as an oxidizing agent, the organic filler is not dissolved in the oxidizing agent or the like but is contained in the layer. Will remain. Due to the difference in heat resistance between the cured resin (matrix resin) and the cured resin (matrix resin), the cured product generally depends on the characteristics of the organic filler having low heat resistance. The problem was that it was formed.

【0007】さらに、粗化処理によって硬化皮膜表面の
無機フィラーを溶解して凹部を形成する方法では、凹部
を均一かつ高密度で形成するためには無機フィラーの含
有率を高くする必要がある。ところが、粗化処理によっ
て溶解する無機フィラー、例えば炭酸カルシウムなどを
硬化性樹脂組成物中に多量に配合すると、その組成物の
粘度が高くなって流動性が悪くなり、塗布性の悪い組成
物しか得られないといった問題や、電気絶縁性が低下し
てくるといった種々の問題が生じるおそれがあった。
Further, in the method of forming the concave portions by dissolving the inorganic filler on the surface of the cured film by a roughening treatment, it is necessary to increase the content of the inorganic filler in order to form the concave portions uniformly and at a high density. However, when a large amount of an inorganic filler dissolved by the roughening treatment, such as calcium carbonate, is added to the curable resin composition, the viscosity of the composition becomes high, the fluidity becomes poor, and only the composition having poor applicability is obtained. There is a possibility that various problems, such as a problem that it cannot be obtained and a decrease in electrical insulation, may occur.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、従来
技術が抱える上記課題を解消するためになされたもので
あり、その主たる目的は、塗布性、電気絶縁性ならびに
耐熱性の低下を招くことなく、めっき皮膜との密着性を
向上し得る多層プリント配線板用層間絶縁材を提供する
ことにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and its main object is to reduce the applicability, electric insulation and heat resistance. Another object of the present invention is to provide an interlayer insulating material for a multilayer printed wiring board which can improve the adhesion to a plating film.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記目的
の実現に向け鋭意研究した結果、下記内容を要旨構成と
する発明に想到した。即ち、前記問題を解消するため
に、本発明の多層プリント配線板用層間絶縁材は、有機
バインダー成分と、粗化処理による微小凹部形成用のフ
ィラー成分を含む層間絶縁材において、前記フィラー成
分として、平均粒径3〜10μmの球状多孔質無機フィ
ラーを配合してなることを特徴とする。ここで、有機バ
インダー成分としては、多層プリント配線板用層間絶縁
材の要求特性を満足し得る樹脂組成物であれば、感光性
樹脂、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂を問わず用いること
ができる。より好ましくは、少なくとも(A)感光性プ
レポリマー、(B)光重合開始剤、(C)希釈剤として
の光重合性モノマー及び/又は有機溶剤を含有する感光
性樹脂組成物、もしくは(a)エポキシ樹脂、(b)エ
ポキシ樹脂硬化剤、(c)有機溶剤を必須成分として含
有する熱硬化性樹脂組成物が用いられる。とくに上記感
光性樹脂組成物にはさらに(D)微粒状エポキシ化合物
を配合してなることが好ましい。さらに好適には、前記
球状多孔質無機フィラーはシリカからなることが好まし
く、その球状多孔質無機フィラーの配合量は層間絶縁材
の樹脂固形分100重量部に対して5〜100重量部の
割合が好ましく、また、球状多孔質無機フィラーとして
はその吸油量が、50〜800ml/100g、好まし
くは100〜200ml/100gのものが好ましい。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have conducted intensive studies for realizing the above-mentioned object, and as a result, have arrived at an invention having the following content as a gist configuration. That is, in order to solve the above problem, the interlayer insulating material for a multilayer printed wiring board of the present invention, an organic binder component, an interlayer insulating material containing a filler component for forming fine recesses by roughening treatment, as the filler component And a spherical porous inorganic filler having an average particle size of 3 to 10 μm. Here, as the organic binder component, any resin composition that can satisfy the required characteristics of the interlayer insulating material for a multilayer printed wiring board can be used regardless of a photosensitive resin, a thermosetting resin, or a thermoplastic resin. . More preferably, a photosensitive resin composition containing at least (A) a photosensitive prepolymer, (B) a photopolymerization initiator, (C) a photopolymerizable monomer as a diluent and / or an organic solvent, or (a) A thermosetting resin composition containing an epoxy resin, (b) an epoxy resin curing agent, and (c) an organic solvent as essential components is used. It is particularly preferable that the photosensitive resin composition further comprises (D) a finely divided epoxy compound. More preferably, the spherical porous inorganic filler is preferably made of silica, and the compounding amount of the spherical porous inorganic filler is 5 to 100 parts by weight based on 100 parts by weight of the resin solid content of the interlayer insulating material. Preferably, the spherical porous inorganic filler has an oil absorption of 50 to 800 ml / 100 g, preferably 100 to 200 ml / 100 g.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】本発明の多層プリント配線板用層
間絶縁材は、粗化剤にて除去し得るフィラーとして平均
粒径3〜10μmの球状多孔質無機フィラーを用いる点
に特徴があり、この球状フィラーは粗化剤にて容易に除
去することができる。通常の不定形フィラーを用いる場
合、アルカリ可溶性のマトリックス樹脂が表面層からア
ルカリ溶液に溶解除去されることによりフィラーが除去
されるため、層間樹脂表面に不完全な除去状態にあるフ
ィラーが残る場合がある。この残存フィラーに起因して
導体との密着強度の向上が図れないという問題があっ
た。この点、本発明の構成によれば、球状多孔質フィラ
ーの微孔中にアルカリ溶液が浸透しフィラーの球面に沿
ってマトリックス樹脂が均等に除去され、かつフィラー
が球状であるため樹脂表面から抜け出易くなるので、層
間樹脂表面に良好なアンカー効果を発揮する微小凹凸面
が形成される。その結果、導体との密着性を著しく向上
させることができる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The interlayer insulating material for a multilayer printed wiring board of the present invention is characterized in that a spherical porous inorganic filler having an average particle size of 3 to 10 μm is used as a filler which can be removed by a roughening agent. This spherical filler can be easily removed with a roughening agent. When a normal amorphous filler is used, the filler is removed by dissolving and removing the alkali-soluble matrix resin from the surface layer in an alkaline solution, so that an incompletely removed filler may remain on the interlayer resin surface. is there. There was a problem that the adhesion strength with the conductor could not be improved due to the residual filler. In this regard, according to the configuration of the present invention, the alkaline solution penetrates into the micropores of the spherical porous filler, and the matrix resin is uniformly removed along the spherical surface of the filler, and the filler is spherical and escapes from the resin surface. As a result, a fine uneven surface exhibiting a good anchor effect is formed on the interlayer resin surface. As a result, the adhesion to the conductor can be significantly improved.

【0011】このような球状多孔質無機フィラーとして
は、過マンガン酸カリウムや、クロム酸などの粗化剤に
より除去されるものであればいずれでもよい。特に本発
明では絶縁性を損なわないという点でシリカが好適に用
いられる。この球状多孔質無機フィラーの平均粒径は、
3〜10μmである。この理由は、3μm未満の粒子は
分級が難しいために平均粒径を3μm未満に調製するこ
とは難しく、一方、層間絶縁層の膜厚や微細パターンの
形成を考慮すると、10μm以下とすることが好ましい
からである。この球状多孔質無機フィラーの配合量は、
層間絶縁材の樹脂固形分100重量部に対して5〜10
0重量部とする。この理由は、5重量部未満では十分な
アンカー効果を発揮する粗化面が得られないために導体
のピール強度向上が図れず、一方、100重量部超で
は、樹脂中に均一分散できなくなるからである。球状多
孔質フィラーの吸油量は50〜800ml/100gと
する。この理由は、50ml/100g未満では多孔率
が十分ではないために本発明の効果が得られず、一方8
00ml/100g超では、多孔状態を維持できなくな
るからである。
As such a spherical porous inorganic filler, any one can be used as long as it can be removed by a roughening agent such as potassium permanganate or chromic acid. Particularly, in the present invention, silica is preferably used in that the insulating property is not impaired. The average particle size of this spherical porous inorganic filler is
3 to 10 μm. The reason for this is that it is difficult to adjust the average particle diameter to less than 3 μm because particles smaller than 3 μm are difficult to classify. On the other hand, considering the thickness of the interlayer insulating layer and the formation of a fine pattern, the average particle diameter should be 10 μm or less. This is because it is preferable. The compounding amount of this spherical porous inorganic filler is
5-10 based on 100 parts by weight of resin solid content of interlayer insulating material
0 parts by weight. The reason for this is that if the amount is less than 5 parts by weight, a roughened surface exhibiting a sufficient anchoring effect cannot be obtained, so that the peel strength of the conductor cannot be improved. On the other hand, if it exceeds 100 parts by weight, it cannot be uniformly dispersed in the resin. It is. The oil absorption of the spherical porous filler is 50 to 800 ml / 100 g. The reason for this is that if the porosity is less than 50 ml / 100 g, the effect of the present invention cannot be obtained because the porosity is not sufficient.
If the amount exceeds 00 ml / 100 g, the porous state cannot be maintained.

【0012】次に、粗化剤としては、前記球状多孔質無
機フィラーの多孔質内を浸透してフィラー外周面から均
等にマトリックス樹脂を分解又は溶解するものであれ
ば、いずれのものであってもよい。例えば、用いるマト
リックスの樹脂成分により異なるが、アルカリ性の粗化
剤として、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等が、ま
た、酸性の粗化剤として、過マンガン酸カリウム、重ク
ロム酸カリウム、オゾン、塩酸、硫酸、硝酸、フッ化水
素酸等が、有機溶剤としてN−メチル−2−ピロリド
ン、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルオキ
シド、メトキシプロパノール、ジメチルホルムアミド
(DMF)等が用いられる。
Next, any roughening agent may be used as long as it penetrates into the porosity of the spherical porous inorganic filler and uniformly decomposes or dissolves the matrix resin from the outer peripheral surface of the filler. Is also good. For example, although different depending on the resin component of the matrix used, sodium hydroxide, potassium hydroxide, and the like as alkaline roughening agents, and potassium permanganate, potassium dichromate, ozone, and hydrochloric acid as acidic roughening agents. , Sulfuric acid, nitric acid, hydrofluoric acid and the like, and N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylformamide, dimethylsulfoxide, methoxypropanol, dimethylformamide (DMF) and the like as organic solvents.

【0013】次に、本発明の多層プリント配線板用層間
絶縁材を構成する有機バインダー成分について説明す
る。この有機バインダー成分は、特に限定されるもので
はなく、多層プリント配線板用層間絶縁材の要求特性を
満足し得る樹脂組成物であればよく、例えば感光性樹脂
組成物や熱硬化性樹脂組成物、熱可塑性樹脂組成物、若
しくはこれらの混合物または複合物などを適用すること
ができる。特に本発明では、(A)感光性プレポリマ
ー、(B)光重合開始剤、(C)希釈剤としての光重合
性モノマー及び/又は有機溶剤を含有する感光性樹脂組
成物、もしくは(a)エポキシ樹脂、(b)エポキシ樹
脂硬化剤、(c)有機溶剤を必須成分として含有する熱
硬化性樹脂組成物が用いられる。上記感光性樹脂組成物
では、さらに(D)微粒状エポキシ化合物を配合してな
ることが好ましい。
Next, the organic binder component constituting the interlayer insulating material for a multilayer printed wiring board of the present invention will be described. The organic binder component is not particularly limited as long as it is a resin composition that can satisfy the required characteristics of the interlayer insulating material for a multilayer printed wiring board, such as a photosensitive resin composition or a thermosetting resin composition. , A thermoplastic resin composition, or a mixture or composite thereof. In particular, in the present invention, (A) a photosensitive prepolymer, (B) a photopolymerization initiator, (C) a photosensitive resin composition containing a photopolymerizable monomer and / or an organic solvent as a diluent, or (a) A thermosetting resin composition containing an epoxy resin, (b) an epoxy resin curing agent, and (c) an organic solvent as essential components is used. The photosensitive resin composition preferably further comprises (D) a finely divided epoxy compound.

【0014】上記感光性プレポリマー(A)としては、
例えば1分子中に少なくとも2個のエチレン性不飽和結
合を有する化合物が好ましく、(a−1)エポキシ化合
物と不飽和モノカルボン酸とのエステル化反応によって
生成するエポキシ基の全エステル化物、(a−2)上記
全エステル化物(a−1)の二級水酸基と飽和又は不飽
和多塩基酸無水物との反応生成物、(a−3)ジイソシ
アネート類と1分子中に1個の水酸基を有する(メタ)
アクリレート類との反応生成物と、上記全エステル化物
(a−1)の二級水酸基とを反応させて得られる反応生
成物、(a−4)エポキシ化合物と不飽和モノカルボン
酸とのエステル化反応によって生成するエポキシ基の部
分エステル化物、(a−5)上記部分エステル化物(a
−4)の二級水酸基と飽和又は不飽和多塩基酸無水物と
の反応生成物、及び(a−6)ジイソシアネート類と1
分子中に1個の水酸基を有する(メタ)アクリレート類
との反応生成物と、上記部分エステル化物(a−4)の
二級水酸基とを反応させて得られる反応生成物等が挙げ
られる。このような感光性プレポリマーは、特開平1-
141904号公報に詳しく説明されているので、詳細
については該公報を参照されたい。上記感光性プレポリ
マー(A)が常温で固型又は半固型の場合には接触及び
非接触のいずれの露光方式にも使用でき、常温で液状の
場合には主に非接触露光方式に使用される。感光性プレ
ポリマー(A)は、このような露光方式に応じて、上記
各種プレポリマーの中から少なくとも1種類選ばれて使
用される。
The photosensitive prepolymer (A) includes:
For example, a compound having at least two ethylenically unsaturated bonds in one molecule is preferable, and (a-1) a total esterified product of an epoxy group generated by an esterification reaction between an epoxy compound and an unsaturated monocarboxylic acid; -2) a reaction product of a secondary hydroxyl group of the above all esterified product (a-1) with a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride, and (a-3) a diisocyanate having one hydroxyl group in one molecule (Meta)
A reaction product obtained by reacting a reaction product with an acrylate with a secondary hydroxyl group of the above-mentioned all-esterified product (a-1), (a-4) esterification of an epoxy compound with an unsaturated monocarboxylic acid A partial esterified product of an epoxy group generated by the reaction, (a-5) the partial esterified product (a
-4) a reaction product of a secondary hydroxyl group with a saturated or unsaturated polybasic anhydride, and (a-6) a diisocyanate and 1
A reaction product obtained by reacting a reaction product with a (meth) acrylate having one hydroxyl group in the molecule and a secondary hydroxyl group of the above partially esterified product (a-4) is exemplified. Such a photosensitive prepolymer is disclosed in
Since it is described in detail in JP-A-141904, refer to the official gazette for details. When the photosensitive prepolymer (A) is solid or semi-solid at room temperature, it can be used for both contact and non-contact exposure systems. When it is liquid at room temperature, it is mainly used for non-contact exposure system. Is done. The photosensitive prepolymer (A) is used by selecting at least one of the above various prepolymers according to the exposure method.

【0015】また、感光性プレポリマー(A)として
は、環境汚染の観点からはアルカリ現像が可能なものが
好ましく、感光性プレポリマーの安定性の観点からは不
飽和モノカルボン酸による全エステル化物が好ましく、
さらに、光硬化性の観点からはアクリル酸(及び/又は
メタクリル酸)を用いた不飽和モノカルボン酸によるエ
ステル化物が好ましい。従って、感光性プレポリマー
(A)としては、ノボラック型エポキシ化合物の(メ
タ)アクリル酸による全エステル化物に、さらにフタル
酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、マ
レイン酸、コハク酸、イタコン酸、クロレンド酸、メチ
ルヘキサヒドロフタル酸、メチルエンドメチレンテトラ
ヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸、トリメ
リット酸、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカル
ボン酸などの多塩基酸無水物を反応させて得られる反応
生成物(a−2)が特に好ましい。
As the photosensitive prepolymer (A), those which can be alkali-developed from the viewpoint of environmental pollution are preferable, and from the viewpoint of stability of the photosensitive prepolymer, all the esterified products of unsaturated monocarboxylic acid are used. Is preferred,
Further, from the viewpoint of photocurability, an esterified product of an unsaturated monocarboxylic acid using acrylic acid (and / or methacrylic acid) is preferable. Therefore, as the photosensitive prepolymer (A), all esterified products of the novolak type epoxy compound with (meth) acrylic acid, and further, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, maleic acid, succinic acid, itaconic acid, Reaction products obtained by reacting polybasic acid anhydrides such as chlorendic acid, methylhexahydrophthalic acid, methylendomethylenetetrahydrophthalic acid, methyltetrahydrophthalic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid and benzophenonetetracarboxylic acid ( a-2) is particularly preferred.

【0016】次に、光重合開始剤(B)の代表的なもの
としては、ベンゾイン、ベンジル、ベンゾインメチルエ
ーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルなどのベンゾ
イン類及びゾンゾインアルキルエーテル類;アセトフェ
ノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノ
ン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノ
ン、1,1−ジクロロアセトフェノン、1−ヒドロキシ
シクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−[4
−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−プロ
パン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−
1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、
N,N−ジメチルアミノアセトフェノンなどのアセトフ
ェノン類;2−メチルアントラキノン、2−エチルアン
トラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、1
−クロロアントラキノン、2−アミルアントラキノン、
2−アミノアントラキノンなどのアントラキノン類;
2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチ
オキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジ
イソプロピルチオキサントンなどのチオキサントン類;
アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケ
タールなどのケタール類;ベンゾフェノン、メチルベン
ゾフェノン、4,4′−ジクロロベンゾフェノン、4,
4′−ビスジエチルアミノベンゾフェノンなどのベンゾ
フェノン類;及びキサントン類などがあり、単独で又は
2種以上を組み合わせて用いることができる。さらに、
係る光重合開始剤(B)は、エチル−4−ジメチルアミ
ノベンゾエート、2−(ジメチルアミノ)エチルベンゾ
エートなどの安息香酸エステル類、あるいはトリエチル
アミン、トリエタノールアミンなどの三級アミン類のよ
うな公知慣用の光増感剤の1種又は2種以上と組み合わ
せて用いることができる。上記のような光重合開始剤
(B)の使用量の好適な範囲は、前記感光性プレポリマ
ー(A)100重量部に対して0.2〜30重量部、好
ましくは2〜20重量部である。
Representative examples of the photopolymerization initiator (B) include benzoins such as benzoin, benzyl, benzoin methyl ether and benzoin isopropyl ether and zonzoin alkyl ethers; acetophenone, 2,2- Dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 2-methyl-1- [4
-(Methylthio) phenyl] -2-morpholino-propan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-
1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,
Acetophenones such as N, N-dimethylaminoacetophenone; 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone,
-Chloroanthraquinone, 2-amylanthraquinone,
Anthraquinones such as 2-aminoanthraquinone;
Thioxanthones such as 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone;
Ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal; benzophenone, methylbenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, 4,
Benzophenones such as 4'-bisdiethylaminobenzophenone; and xanthones can be used alone or in combination of two or more. further,
Such a photopolymerization initiator (B) may be a commonly used photopolymerization initiator such as benzoic acid esters such as ethyl-4-dimethylaminobenzoate and 2- (dimethylamino) ethylbenzoate, or tertiary amines such as triethylamine and triethanolamine. And one or more photosensitizers can be used in combination. The preferred range of the amount of the photopolymerization initiator (B) used is 0.2 to 30 parts by weight, preferably 2 to 20 parts by weight, based on 100 parts by weight of the photosensitive prepolymer (A). is there.

【0017】次に、前記希釈剤(C)としては、光重合
性ビニル系モノマー及び/又は有機溶剤が使用できる。
光重合性ビニル系モノマーの代表的なものとしては、2
−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシブチ
ルアクリレートなどのヒドロキシアルキルアクリレート
類;エチレングリコール、メトキシテトラエチレングリ
コール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコー
ルなどのグリコールのモノ又はジアクリレート類;N,
N−ジメチルアクリルアミド、N−メチロ−ルアクリル
アミドなどのアクリルアミド類;N,N−ジメチルアミ
ノエチルアクリレートなどのアミノアルキルアクリレー
ト類;ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペ
ンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリス
−ヒドロキシエチルイソシアヌレートなどの多価アルコ
ール又はこれらのエチレンオキサイドもしくはプロピレ
ンオキサイド付加物の多価アクリレート類;フェノキシ
アクリレート、ビスフェノールAジアクリレート、及び
これらのフェノール類のエチレンオキサイドあるいはプ
ロピレンオキサイド付加物などのアクリレート類;グリ
セリンジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパン
トリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレ
ートなどのグリシジルエーテルのアクリレート類;及び
メラミンアクリレート、及び/又は上記アクリレート類
に対応するメタクリレート類などがある。
Next, as the diluent (C), a photopolymerizable vinyl monomer and / or an organic solvent can be used.
Representative photopolymerizable vinyl monomers include 2
Hydroxyalkyl acrylates such as -hydroxyethyl acrylate and 2-hydroxybutyl acrylate; mono- or diacrylates of glycols such as ethylene glycol, methoxytetraethylene glycol, polyethylene glycol and propylene glycol;
Acrylamides such as N-dimethylacrylamide and N-methylolacrylamide; aminoalkyl acrylates such as N, N-dimethylaminoethyl acrylate; hexanediol, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, tris-hydroxyethyl isocyanate Polyhydric alcohols such as nurate or polyhydric acrylates of these ethylene oxide or propylene oxide adducts; phenoxy acrylates, bisphenol A diacrylates, and acrylates of these phenols such as ethylene oxide or propylene oxide adducts; Glycidyl ether such as glycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, triglycidyl isocyanurate, etc. Acrylates ethers; and the like melamine acrylate, and / or the corresponding methacrylates of the above acrylates.

【0018】一方、有機溶剤としては、メチルエチルケ
トン、シクロヘキサノンなどのケトン類;トルエン、キ
シレン、テトラメチルベンゼンなどの芳香族炭化水素
類;メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルカル
ビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコール
モノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチ
ルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテ
ルなどのグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチ
ル、及び上記グリコールエーテル類の酢酸エステル化物
などのエステル類;エタノール、プロパノール、エチレ
ングリコール、プロピレングリコールなどのアルコール
類;オクタン、デカンなどの脂肪族炭化水素;石油エー
テル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ
などの石油系溶剤などがあり、前記感光性プレポリマー
(A)と相溶性が良く、且つ前記微粒状エポキシ化合物
(D)を溶解しないものが好ましい。
On the other hand, organic solvents include ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; methyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether Glycol ethers such as dipropylene glycol monoethyl ether and triethylene glycol monoethyl ether; esters such as ethyl acetate, butyl acetate and acetic acid ester of the above glycol ethers; ethanol, propanol, ethylene glycol, propylene glycol and the like Alcohols such as octane and decane; petroleum solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha and solvent naphtha There are, the photosensitive prepolymer (A) and the compatibility is good and does not dissolve the particulate epoxy compound (D) is preferred.

【0019】上記のような希釈剤(C)は、単独で又は
2種以上の混合物として用いられ、使用量の好適な範囲
は、前記感光性プレポリマー(A)100重量部に対し
て20〜300重量部、好ましくは30〜200重量部
である。上記希釈剤の使用目的は、光重合性ビニル系モ
ノマーの場合は、感光性プレポリマーを希釈せしめ、塗
布しやすい状態にすると共に、光重合性を増強するもの
であり、有機溶剤の場合は、感光性プレポリマーを溶解
し希釈せしめ、それによって液状として塗布し、次い
で、乾燥させることにより造膜せしめるためである。従
って、用いる希釈剤に応じて、フォトマスクを塗膜に接
触させる接触方式あるいは非接触方式のいずれかの露光
方式が用いられる。
The diluent (C) as described above is used alone or as a mixture of two or more, and the preferred range of the amount is 20 to 100 parts by weight of the photosensitive prepolymer (A). It is 300 parts by weight, preferably 30 to 200 parts by weight. The purpose of use of the diluent is, in the case of a photopolymerizable vinyl monomer, to dilute the photosensitive prepolymer to make it easy to apply, and to enhance photopolymerizability, and in the case of an organic solvent, This is for dissolving and diluting the photosensitive prepolymer, thereby applying it as a liquid, and then drying it to form a film. Therefore, depending on the diluent to be used, either a contact type or a non-contact type in which a photomask is brought into contact with a coating film is used.

【0020】次に、微粒状エポキシ化合物(D)は、前
記感光性プレポリマー(A)に微粒状に分散させること
が必要であり、常温で固型もしくは半固型でなければな
らず、また混練時に前記感光性プレポリマー(A)及び
使用する希釈剤(C)に溶解しないもの、及び/又は感
光性及び現像性に悪影響を及ぼさない範囲の溶解性のも
のである。これらの条件を満たすものとして好ましいの
は、日産化学(株)製TEPIC(トリグリシジルイソ
シアヌレートについての登録商標)、チバ・ガイギー社
製アラルダイトPT810などのヘテロサイクリックエ
ポキシ樹脂と油化シェル(株)製YX−4000などの
ビキシレノール型エポキシ樹脂である。これらのエポキ
シ樹脂は融点が高く(例えば、TEPICの融点は90
〜125℃、YX−4000は約105℃)、塗膜の乾
燥時の加熱温度(通常、60〜85℃)でも溶解しない
ので好ましい。その他、日本油脂(株)製ブレンマーD
GT等のジグリシジルフタレート樹脂や油化シェル
(株)製YL−6056などのビフェノール型エポキシ
樹脂、東都化成(株)製ZX−1063などのテトラグ
リシジルキシレノイルエタン樹脂なども用いることがで
きるが、特に好ましいのは前記ヘテロサイクリックエポ
キシ樹脂である。
Next, the finely divided epoxy compound (D) must be dispersed in the photosensitive prepolymer (A) in a finely divided form, and must be solid or semi-solid at room temperature. Those which do not dissolve in the photosensitive prepolymer (A) and the diluent (C) to be used during kneading, and / or have a solubility within a range that does not adversely affect the photosensitivity and developability. It is preferable that these conditions are satisfied. Heterocyclic epoxy resins such as TEPIC (registered trademark for triglycidyl isocyanurate) manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd., and Araldite PT810 manufactured by Ciba-Geigy, and Yuka Shell Co., Ltd. And a bixylenol type epoxy resin such as YX-4000. These epoxy resins have a high melting point (for example, the melting point of TEPIC is 90
125125 ° C., about 105 ° C. for YX-4000), and it is preferable because it does not dissolve even at the heating temperature (usually 60-85 ° C.) for drying the coating film. In addition, Blemmer D manufactured by NOF Corporation
A diglycidyl phthalate resin such as GT, a biphenol type epoxy resin such as YL-6056 manufactured by Yuka Shell Co., Ltd., and a tetraglycidyl xylenoyl ethane resin such as ZX-1063 manufactured by Toto Kasei can be used. Particularly preferred are the above-mentioned heterocyclic epoxy resins.

【0021】係るエポキシ化合物(D)は、常法により
前記エポキシ化合物を粉砕することにより、及び/又
は、前記感光性プレポリマー(A)などの他の組成物成
分と例えばロールミルなどの混練機で破壊分散させて微
粒状とされ、単独あるいは2種以上混合して用いること
ができる。また、使用量の好適な範囲は、前記感光性プ
レポリマー(A)とエポキシ化合物(D)の混合比率が
50〜95:50〜5(重量部基準)(感光性プレポリ
マー100重量部に対して約5〜100重量部に相
当)、さらに好ましくは60〜90:40〜10であ
る。50:50を越えると感光性及び現像液での未露光
部の溶解性が低下し、一方、95:5未満では耐熱性な
ど層間絶縁材としての諸特性が得られない。また、粒径
(組成物中に分散している粒子の粒径)は50μm以下
が適し、好ましくは30μm以下である。粒径が50μ
mを越える場合、前記スクリーン印刷による塗布ではス
クリーンの通過性が悪くなり、塗膜表面にピンホールが
生じ易く、また他の塗布方法であっても塗膜表面にザラ
ツキがで易くなるので好ましくない。
The epoxy compound (D) is obtained by pulverizing the epoxy compound by a conventional method and / or kneading with another composition component such as the photosensitive prepolymer (A) by, for example, a kneader such as a roll mill. Fine particles can be obtained by breaking and dispersing, and they can be used alone or in combination of two or more. The preferred range of the amount used is such that the mixing ratio of the photosensitive prepolymer (A) and the epoxy compound (D) is 50 to 95:50 to 5 (parts by weight) (based on 100 parts by weight of the photosensitive prepolymer). About 5 to 100 parts by weight), more preferably 60 to 90:40 to 10. If the ratio exceeds 50:50, the photosensitivity and the solubility of the unexposed portion in the developing solution are reduced. On the other hand, if the ratio is less than 95: 5, various properties as an interlayer insulating material such as heat resistance cannot be obtained. Further, the particle size (the particle size of the particles dispersed in the composition) is suitably 50 μm or less, and preferably 30 μm or less. Particle size 50μ
In the case where m is exceeded, the passability of the screen is deteriorated in the application by the screen printing, so that a pinhole is easily generated on the surface of the coating film. .

【0022】なお、上記難溶性エポキシ化合物(D)の
一部に置き換えて、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、
水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノール
F型エポキシ樹脂、臭素化ビスフェノールA型エポキシ
樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAの
ノボラック型エポキシ樹脂、グリオキザール型エポキシ
樹脂、アミノ基含有エポキシ樹脂、ゴム変性エポキシ樹
脂、ジシクロペンタジエンフェノリック型エポキシ樹
脂、シリコーン変性エポキシ樹脂、ε−カプロラクトン
変性エポキシ樹脂、これらのエポキシ化合物の(メタ)
アクリル酸による部分エステル化物などの前記希釈剤
(C)に可溶な、1分子中に2個以上のエポキシ基を含
有するエポキシ化合物を、感光性及び現像液での未露光
部の溶解性の面において実用上問題のない範囲で使用す
ることができる。この可溶性エポキシ化合物(S)の使
用量の好適な範囲は、前記難溶性エポキシ化合物(D)
に対しD:S=40〜100:60〜0、好ましくは6
0〜100:40〜0、さらに好ましくは70〜10
0:30〜0であり、また前記感光性プレポリマー
(A)に対する配合比率では75:25以下、さらに好
ましくは、80:20以下である。75:25を越える
と、アルカリ現像タイプの場合、現像液での未露光部の
溶解性が低下し、現像残りが発生し易くなり、一方、溶
剤現像タイプの場合、現像液に侵され、塗膜の脱落やフ
クレが発生し易くなり、実用上使用することが難しい。
なお、可溶性エポキシ化合物の併用により、層間絶縁材
としての特性の一部、例えば耐めっき性が向上するとい
う効果が得られる。
In place of the sparingly soluble epoxy compound (D), bisphenol A type epoxy resin,
Hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, brominated bisphenol A type epoxy resin, novolak type epoxy resin, novolak type epoxy resin of bisphenol A, glyoxal type epoxy resin, amino group containing epoxy resin, rubber modified epoxy resin , Dicyclopentadiene phenolic epoxy resin, silicone-modified epoxy resin, ε-caprolactone-modified epoxy resin, and (meth) of these epoxy compounds
An epoxy compound having two or more epoxy groups in one molecule, which is soluble in the diluent (C) such as a partially esterified product of acrylic acid, is used for photosensitivity and solubility of an unexposed portion in a developer. It can be used within a range where there is no practical problem in terms of surface. The preferred range of the amount of the soluble epoxy compound (S) to be used is as follows.
D: S = 40-100: 60-0, preferably 6
0 to 100: 40 to 0, more preferably 70 to 10
0:30 to 0, and the compounding ratio to the photosensitive prepolymer (A) is 75:25 or less, more preferably 80:20 or less. If the ratio exceeds 75:25, in the case of the alkali developing type, the solubility of the unexposed portion in the developing solution is reduced, and the undeveloped portion tends to be generated. The film is likely to fall off and blisters, making it difficult to use practically.
The combined use of a soluble epoxy compound has an effect of improving some of the properties as an interlayer insulating material, for example, plating resistance.

【0023】かくして得られる感光性熱硬化性樹脂組成
物は、前記感光性プレポリマー(A)中に水酸基及び/
又はカルボキシル基が含有され、感光性プレポリマー
(A)中の水酸基及び/又はカルボキシル基がエポキシ
樹脂の硬化剤として働くため、さらにエポキシ樹脂用硬
化剤を併用することなく、層間絶縁材として十分に機能
する。また前記光重合開始剤(B)として、感光性向上
のために使用されるアミノ基含有の前記光重合開始剤、
光増感剤が含まれる場合、光重合開始剤、光増感剤中の
アミノ基の効果により、前記エポキシ化合物(D)の硬
化がさらに促進される。しかしながら、密着性、耐薬品
性、耐熱性、耐無電解めっき性などの特性をより一層上
げる目的で、さらに以下のようなエポキシ樹脂用硬化剤
(b)を併用することが好ましい。
The photosensitive thermosetting resin composition thus obtained contains a hydroxyl group and / or a hydroxyl group in the photosensitive prepolymer (A).
Or, since a carboxyl group is contained and the hydroxyl group and / or carboxyl group in the photosensitive prepolymer (A) functions as a curing agent for the epoxy resin, it can be sufficiently used as an interlayer insulating material without further using a curing agent for an epoxy resin. Function. Further, as the photopolymerization initiator (B), the amino group-containing photopolymerization initiator used for improving photosensitivity,
When a photosensitizer is contained, the curing of the epoxy compound (D) is further promoted by the effects of the photopolymerization initiator and the amino group in the photosensitizer. However, in order to further improve properties such as adhesion, chemical resistance, heat resistance, and electroless plating resistance, it is preferable to further use the following epoxy resin curing agent (b) in combination.

【0024】このようなエポキシ樹脂用硬化剤もしくは
硬化促進剤(b)としては、例えば、ジシアンジアミ
ド、メラミンや、アセトグアナミン、ベンゾグアナミ
ン、3,9−ビス[2−(3,5−ジアミノ−2,4,
6−トリアザフェニル)エチル]2,4,8,10テト
ラオキサスピロ[5,5]ウンデカン等のグアナミン及
びその誘導体、及びこれらの有機酸塩やエポキシアダク
トなどを好適に用いることができる。これらの化合物
は、従来から銅との密着性や防錆性を有することが知ら
れており、エポキシ樹脂の硬化剤として働くばかりでな
く、プリント配線板の銅の変色防止に寄与することがで
きる。イミダゾール誘導体;ジアミノジフェニルメタ
ン、m−フェニレンジアミン、ジアミノジフェニルスル
フォン、シクロヘキシルアミン、m−キシリレンジアミ
ン、4,4´−ジアミノ−3,3´−ジエチルジフェニ
ルメタン、ジエチレントリアミン、テトラエチレンペン
タミン、N−アミノエチルピペラジン、イソホロンジア
ミン、尿素、尿素誘導体、多塩基ヒドラジドなどのポリ
アミン類、これ等の有機酸塩及び/又はエポキシアダク
ト;三フッ化ホウ素のアミン錯体;トリメチルアミン、
トリエタノールアミン、N,N−ジメチルオクチルアミ
ン、N,N−ジメチルアニリン、N−ベンジルジメチル
アミン、ピリジン、N−メチルピリジン、N−メチルモ
ルホリン、ヘキサメトキシメチルメラミン、2,4,6
−トリス(ジメチルアミノフェノール)、N−シクロヘ
キシルジメチルアミン、テトラメチルグアニジン、m−
アミノフェノールなどの三級アミン類;ポリビニルフェ
ノール、ポリビニルフェノール臭素化物、フェノールノ
ボラック、アルキルフェノールノボラックなどのポリフ
ェノール類;トリブチルホスフィン、トリフェニルホス
フィン、トリス−2−シアノエチルホスフィンなどの有
機ホスフィン類;トリ−n−ブチル(2,5−ジヒドロ
キシフェニル)ホスホニウムブロマイド、ヘキサデシル
トリブチルホスホニウムクロライドなどのホスホニウム
塩類;ベンジルトリメチルアンモニウムクロライド、フ
ェニルトリブチルアンモニウムクロライド、ベンジルト
リメチルアンモニウムブロマイドなどの4級アンモニウ
ム塩;前記多塩基酸無水物;ジフェニルヨードニウムテ
トラフルオロボレート、トリフェニルスルホニウムヘキ
サフルオロアンチモネート、2,4,6−トリフェニル
チオピリリウムヘキサフルオロホスフェート、チバ・ガ
イギー社製イルガキュア261などの光カチオン重合触
媒;スチレン−マレイン酸樹脂などが挙げられ、このよ
うな公知慣用の硬化剤類及び硬化促進剤類を1種又は2
種以上前記化合物と混合して用いることができる。これ
らエポキシ樹脂用硬化剤(b)の使用量は通常の量的割
合で充分であり、例えば本発明に係る感光性熱硬化性樹
脂組成物に対しては0.1重量%以上10重量%以下が
好ましい。
Examples of the curing agent or curing accelerator (b) for epoxy resin include dicyandiamide, melamine, acetoguanamine, benzoguanamine, 3,9-bis [2- (3,5-diamino-2, 4,
Guanamine such as 6-triazaphenyl) ethyl] 2,4,8,10tetraoxaspiro [5,5] undecane and derivatives thereof, and organic acid salts and epoxy adducts thereof can be preferably used. These compounds are conventionally known to have adhesiveness and rust-preventive property to copper, and not only act as a curing agent for epoxy resin, but also can contribute to prevention of discoloration of copper on a printed wiring board. . Imidazole derivatives; diaminodiphenylmethane, m-phenylenediamine, diaminodiphenylsulfone, cyclohexylamine, m-xylylenediamine, 4,4'-diamino-3,3'-diethyldiphenylmethane, diethylenetriamine, tetraethylenepentamine, N-aminoethyl Polyamines such as piperazine, isophoronediamine, urea, urea derivatives, polybasic hydrazide, organic acid salts and / or epoxy adducts thereof; amine complexes of boron trifluoride; trimethylamine;
Triethanolamine, N, N-dimethyloctylamine, N, N-dimethylaniline, N-benzyldimethylamine, pyridine, N-methylpyridine, N-methylmorpholine, hexamethoxymethylmelamine, 2,4,6
-Tris (dimethylaminophenol), N-cyclohexyldimethylamine, tetramethylguanidine, m-
Tertiary amines such as aminophenol; polyphenols such as polyvinylphenol, polyvinylphenol bromide, phenol novolak and alkylphenol novolak; organic phosphines such as tributylphosphine, triphenylphosphine, tris-2-cyanoethylphosphine; tri-n- Phosphonium salts such as butyl (2,5-dihydroxyphenyl) phosphonium bromide and hexadecyltributylphosphonium chloride; quaternary ammonium salts such as benzyltrimethylammonium chloride, phenyltributylammonium chloride and benzyltrimethylammonium bromide; Diphenyliodonium tetrafluoroborate, triphenylsulfonium hexafluoroanti And cationic photopolymerization catalysts such as 2,4,6-triphenylthiopyrylium hexafluorophosphate and Irgacure 261 manufactured by Ciba-Geigy; styrene-maleic acid resin; and such known and commonly used curing agents. And one or two curing accelerators
More than one kind can be used as a mixture with the compound. The amount of the epoxy resin curing agent (b) used is usually sufficient in a quantitative ratio, and is, for example, 0.1% by weight or more and 10% by weight or less based on the photosensitive thermosetting resin composition according to the present invention. Is preferred.

【0025】なお、前記のような熱硬化性成分は、予め
前記感光性樹脂組成物に混合してもよいが、回路板ブラ
ンクへの塗布前に増粘し易いので、通常の使用法に従っ
て、使用に際して両者を混合して用いるのが望ましい。
すなわち、前記エポキシ化合物(D)を主体とした硬化
剤溶液と、前記感光性プレポリマー(A)を主体とし、
これに前記エポキシ樹脂用硬化剤(b)等を配合した主
剤溶液の二液型に組成し、使用に際してこれらを混合し
て用いることが好ましい。また、前記した光重合性モノ
マーや充填剤、着色顔料等を前記熱硬化性成分としての
エポキシ化合物(D)の有機溶剤溶液に混合することも
できる。
Although the above-mentioned thermosetting component may be mixed in advance with the photosensitive resin composition, it tends to thicken before application to a circuit board blank. In use, it is desirable to use a mixture of both.
That is, a curing agent solution mainly composed of the epoxy compound (D) and the photosensitive prepolymer (A) mainly,
It is preferable to form a two-part composition of a base solution containing the curing agent for epoxy resin (b) and the like, and to mix these before use. Further, the above-mentioned photopolymerizable monomer, filler, coloring pigment and the like can be mixed with an organic solvent solution of the epoxy compound (D) as the thermosetting component.

【0026】また、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物
には、密着性、硬度などの特性を上げる目的で、必要に
応じて硫酸バリウム、チタン酸バリウム、酸化ケイ素
粉、微粉状酸化ケイ素、無定形シリカ、タルク、クレ
ー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニ
ウム、水酸化アルミニウム、雲母粉などの公知慣用の無
機充填剤が配合でき、その配合割合は感光性熱硬化性樹
脂組成物の0〜60重量%であり、好ましくは5〜40
重量%である。さらに必要に応じてフタロシアニン・ブ
ルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリー
ン、ジスアゾイエロー、クリスタルバイオレット、酸化
チタン、カーボンブラック、ナフタレンブラックなどの
公知慣用の着色剤、ハイドロキノン、ハイドロキノンモ
ノメチルエーテル、tert−ブチルカテコール、ピロ
ガロール、フェノチアジンなどの公知慣用の熱重合禁止
剤、アスベスト、オルベン(オルガノベントナイト)、
ベントン、モンモリロナイトなどの公知慣用の増粘剤、
シリコーン系、フッ素系、高分子系などの消泡剤及び/
又はレベリング剤、イミダゾール系、チアゾール系、ト
リアゾール系、シランカップリング剤などの密着性付与
剤のような公知慣用の添加剤類を配合することができ
る。
The photosensitive thermosetting resin composition of the present invention may contain barium sulfate, barium titanate, silicon oxide powder, fine powdered silicon oxide, if necessary, for the purpose of improving properties such as adhesion and hardness. Known inorganic fillers such as amorphous silica, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, and mica powder can be compounded, and the compounding ratio is 0% of the photosensitive thermosetting resin composition. 6060% by weight, preferably 5-40
% By weight. If necessary, phthalocyanine blue, phthalocyanine green, iodine green, disazo yellow, crystal violet, titanium oxide, carbon black, naphthalene black and other commonly used coloring agents, hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, tert-butyl catechol, Pyrogallol, phenothiazines and other commonly known thermal polymerization inhibitors, asbestos, orbenes (organo bentonite),
Benton, known and conventional thickeners such as montmorillonite,
Defoamers such as silicone-based, fluorine-based, and polymer-based defoamers and / or
Alternatively, known and commonly used additives such as a leveling agent, an imidazole-based, a thiazole-based, a triazole-based, and an adhesion-imparting agent such as a silane coupling agent can be blended.

【0027】また、硬化塗膜の耐衝撃性を増進する目的
で、アクリル酸エステル類などのエチレン性不飽和化合
物の共重合体類や、多価アルコール類と飽和あるいは不
飽和多塩基酸化合物から合成されるポリエステル樹脂類
などの公知慣用のバインダー樹脂、及び多価アルコール
類と飽和あるいは不飽和多塩基酸化合物とグリシジル
(メタ)アクリレートから合成されるポリエステル(メ
タ)アクリレート類や、多価アルコール類とジイソシア
ネート類と水酸基含有(メタ)アクリレート類から合成
されるウレタン(メタ)アクリレート類などの公知慣用
の感光性オリゴマーも層間絶縁材としての諸特性に影響
を及ぼさない範囲で用いることができる。但し、上記成
分のうちアクリル酸エステル類などのエチレン性不飽和
化合物の共重合体類やポリエステル樹脂類などの公知慣
用のバインダー樹脂に関しては、前記感光性熱硬化性樹
脂組成物中に有機溶剤に可溶性のエポキシ樹脂を用いた
場合と同様に、感光基を含有しない共重合体類や公知慣
用のバインダー樹脂が感光性プレポリマー(A)とから
み合った状態で溶け込むと推定され、使用量が多いと現
像性や感度が悪くなる等の問題を生じるため、使用量は
感光性プレポリマー(A)に対して10重量%以下(組
成物全体の約5重量%以下)が望ましい。
For the purpose of enhancing the impact resistance of the cured coating film, a copolymer of an ethylenically unsaturated compound such as an acrylate ester or a polyhydric alcohol and a saturated or unsaturated polybasic acid compound may be used. Known and commonly used binder resins such as synthesized polyester resins, polyester (meth) acrylates synthesized from polyhydric alcohols and saturated or unsaturated polybasic acid compounds and glycidyl (meth) acrylate, and polyhydric alcohols Known and commonly used photosensitive oligomers such as urethane (meth) acrylates synthesized from polyisocyanates and diisocyanates and hydroxyl group-containing (meth) acrylates can also be used in a range that does not affect various properties as an interlayer insulating material. However, among the components described above, with respect to known and commonly used binder resins such as copolymers of ethylenically unsaturated compounds such as acrylates and polyester resins, the photosensitive thermosetting resin composition contains an organic solvent. Similar to the case where a soluble epoxy resin is used, it is estimated that copolymers having no photosensitive group or a commonly used binder resin are dissolved in a state in which they are entangled with the photosensitive prepolymer (A). Therefore, the amount used is preferably 10% by weight or less (about 5% by weight or less of the whole composition) based on the photosensitive prepolymer (A).

【0028】かかる感光性熱硬化性樹脂組成物をフォト
マスクを通し露光した後の層間絶縁材パターンを形成す
る為の現像液としては、感光性プレポリマー(A)の選
択により異なるが、有機溶剤としては、シクロヘキサノ
ン、キシレン、テトラメチルベンゼン、ブチルセロソル
ブ、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメ
チルエーテル、セロソルブアセテート、プロパノール、
プロピレングリコール、トリクロロエタン、トリクロロ
エチレン、変性トリクロロエタン(旭化成工業(株)製
エターナIR、東亜合成化学工業(株)製スリーワンE
X−R、関東電化工業(株)製カンデントリエタンSR
−A、旭硝子(株)製レジソルブV−5)などの有機溶
剤、及び/又は水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭
酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ
酸ナトリウム、アンモニア、アミン類などのアルカリ水
溶液、及び/又は界面活性剤水溶液等が使用できる。
The developing solution for forming the interlayer insulating material pattern after exposing the photosensitive thermosetting resin composition through a photomask varies depending on the selection of the photosensitive prepolymer (A). As, cyclohexanone, xylene, tetramethylbenzene, butyl cellosolve, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether, cellosolve acetate, propanol,
Propylene glycol, trichloroethane, trichloroethylene, modified trichloroethane (Eterna IR manufactured by Asahi Kasei Kogyo Co., Ltd., Three One E manufactured by Toa Gosei Chemical Industry Co., Ltd.)
XR, Kanden Triethane SR manufactured by Kanto Denka Kogyo Co., Ltd.
-A, an organic solvent such as RESISOLV V-5) manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., and / or an alkali such as potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, ammonia, and amines. An aqueous solution and / or a surfactant aqueous solution can be used.

【0029】次に、熱硬化性樹脂組成物を構成するエポ
キシ樹脂(a)としては、公知慣用のものを用いること
ができ、例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹
脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノ
ールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹
脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、脂肪族環状型エ
ポキシ樹脂、トリアジン核含有エポキシ樹脂、ビフェニ
ル型エポキシ樹脂、ブロム化エポキシ樹脂、ダイマー酸
変性エポキシ樹脂、トリヒドロキシフェニルメタン型エ
ポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、グ
リシジルアミン型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエ
タン型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂等が挙げら
れる。また、上記エポキシ樹脂と共に配合するエポキシ
樹脂用硬化剤(b)及び有機溶剤(c)としては、前記
感光性樹脂組成物に関して述べたものと同じものが使用
でき、それらの配合割合についても同様である。さら
に、熱硬化性樹脂組成物には、所望の性状や特性に反し
ない限り前記した各種添加剤を配合することができる。
Next, as the epoxy resin (a) constituting the thermosetting resin composition, known epoxy resins can be used. For example, phenol novolak type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, bisphenol A type Epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, bisphenol S epoxy resin, aliphatic cyclic epoxy resin, epoxy resin containing triazine nucleus, biphenyl epoxy resin, brominated epoxy resin, dimer acid modified epoxy resin, trihydroxyphenylmethane epoxy Resins, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, tetraphenylolethane type epoxy resin, heterocyclic epoxy resin and the like. As the epoxy resin curing agent (b) and the organic solvent (c) to be mixed together with the epoxy resin, the same ones as described for the photosensitive resin composition can be used, and the same applies to the mixing ratio thereof. is there. Further, various additives described above can be blended with the thermosetting resin composition as long as the desired properties and characteristics are not violated.

【0030】熱可塑性樹脂としては、公知慣用のものを
用いることができ、例えばメチルセルロース、エチルセ
ルロース、ヒドロキシエチルセルロース等のセルロース
誘導体や、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、オレフィン系
水酸基含有ポリマー、これらのオレフィン系水酸基含有
ポリマーの水酸基やアミノ樹脂のアミノ基にラクトンを
付加したラクトン変成ポリマー、1分子中に水酸基又は
アミノ基と不飽和基を併せ持つモノマーの水酸基又はア
ミノ基にラクトンを付加したラクトン変成モノマーの単
独重合体、該ラクトン変成モノマーと他の不飽和基を有
するモノマーとの共重合体、共重合(メタ)アクリレー
ト樹脂、ポリプロピレンカーボネート樹脂、アセタール
樹脂、ABS樹脂、フッ素樹脂、ポリアミド、ポリイミ
ド、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフ
タレート、ポリスチレンなどの種々の樹脂を使用でき
る。
As the thermoplastic resin, known and commonly used ones can be used, for example, cellulose derivatives such as methylcellulose, ethylcellulose and hydroxyethylcellulose, polyolefins such as ethylene-vinyl acetate copolymer, polyethylene and polypropylene, and olefinic hydroxyl groups. Lactone-modified polymer in which a lactone is added to the hydroxyl group of the olefinic hydroxyl group-containing polymer or the amino group of the amino resin, or a lactone to the hydroxyl group or amino group of a monomer having both a hydroxyl group or an amino group and an unsaturated group in one molecule. Homopolymer of added lactone-modified monomer, copolymer of lactone-modified monomer and monomer having another unsaturated group, copolymerized (meth) acrylate resin, polypropylene carbonate resin, acetal resin, ABS resin Fluororesin, polyamide, polyimide, polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, various resins such as polystyrene can be used.

【0031】[0031]

【実施例】以下に実施例及び比較例を示して本発明につ
いて具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定さ
れるものでないことはもとよりである。なお、以下にお
いて「部」及び「%」とあるのは、特に断りのない限り
全て重量基準である。
EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples and comparative examples, but it is needless to say that the present invention is not limited to the following examples. In the following, “parts” and “%” are all based on weight unless otherwise specified.

【0032】実施例1(感光性樹脂組成物の調製) 下記の配合割合で各成分を配合し、3本ロールを用いて
混練して感光性樹脂組成物を得た。 ・感光性プレポリマー(クレゾールノボラック型エポキ
シ樹脂とアクリル酸の等モル反応生成物にその水酸基1
個当たり0.5モルのテトラヒドロフタル酸無水物を付
加した樹脂固形分)100部、 ・2−メチル1−(4−(メチルチオ)フェニル)―2
−モルフォリノ−プロパン−1−オン:10部、 ・ジプロピレングリコールモノメチルエーテル:20
部、 ・ジシアンジアミド:1部、 ・シリコーン系消泡剤:0.5部、 ・球状多孔質シリカ:20部、 ・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート:15
部、 ・エポキシ樹脂:25部 上記の球状多孔質シリカとして、旭硝子(株)サンスフ
ェア(商標名)H−31を使用した。具体的な物性は以
下の通りである。 平均粒径:3μm、比表面積:800m2/g、細孔容
積:1ml/g、細孔径:50Å、吸油量:150ml
/100g
Example 1 (Preparation of photosensitive resin composition) Each component was blended in the following blending ratio and kneaded using a three-roll mill to obtain a photosensitive resin composition. A photosensitive prepolymer (equimolar reaction product of cresol novolac type epoxy resin and acrylic acid,
100 parts of a resin solid to which 0.5 mol of tetrahydrophthalic anhydride is added per unit) 100 parts of 2-methyl 1- (4- (methylthio) phenyl) -2
-Morpholino-propan-1-one: 10 parts, dipropylene glycol monomethyl ether: 20
Parts: Dicyandiamide: 1 part Silicone defoamer: 0.5 part Spherical porous silica: 20 parts Dipentaerythritol hexaacrylate: 15
Parts: Epoxy resin: 25 parts As the above spherical porous silica, Asahi Glass Co., Ltd. Sunsphere (trade name) H-31 was used. Specific physical properties are as follows. Average particle size: 3 μm, specific surface area: 800 m 2 / g, pore volume: 1 ml / g, pore diameter: 50 °, oil absorption: 150 ml
/ 100g

【0033】比較例1 球状多孔質シリカを配合しない以外は実施例1と同様に
して感光性樹脂組成物を得た。下記の配合割合で各成分
を配合し、3本ロールを用いて混練して感光性樹脂組成
物を調製した。 ・感光性プレポリマー(クレゾールノボラック型エポキ
シ樹脂とアクリル酸の等モル反応生成物にその水酸基1
個当たり0.5モルのテトラヒドロフタル酸無水物を付
加した樹脂固形分):100部、 ・2−メチル1−(4−(メチルチオ)フェニル)―2
−モルフォリノ−プロパン−1−オン:10部、 ・ジプロピレングリコールモノメチルエーテル:20
部、 ・ジシアンジアミド:1部、 ・シリコーン系消泡剤:0.5部、 ・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート:15
部、 ・エポキシ樹脂:25部
Comparative Example 1 A photosensitive resin composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that spherical porous silica was not blended. The components were blended at the following blend ratios, and kneaded using a three-roll mill to prepare a photosensitive resin composition. A photosensitive prepolymer (equimolar reaction product of cresol novolac type epoxy resin and acrylic acid,
Resin solid content to which 0.5 mol of tetrahydrophthalic anhydride is added per unit): 100 parts 2-methyl 1- (4- (methylthio) phenyl) -2
-Morpholino-propan-1-one: 10 parts, dipropylene glycol monomethyl ether: 20
Parts:-Dicyandiamide: 1 part-Silicone-based antifoaming agent: 0.5 parts-Dipentaerythritol hexaacrylate: 15
Parts, epoxy resin: 25 parts

【0034】比較例2 球状多孔質シリカの換わりに不定形シリカを配合したこ
と以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物を得
た。下記の配合割合で各成分を配合し、3本ロールを用
いて混練して感光性樹脂組成物を調製した。 ・感光性プレポリマー(クレゾールノボラック型エポキ
シ樹脂とアクリル酸の等モル反応生成物にその水酸基1
個当たり0.5モルのテトラヒドロフタル酸無水物を付
加した樹脂固形分)100部、 ・2−メチル1−(4−(メチルチオ)フェニル)―2
−モルフォリノ−プロパン−1−オン:10部、 ・ジプロピレングリコールモノメチルエーテル:20
部、 ・ジシアンジアミド:1部、 ・シリコーン系消泡剤:0.5部、 ・不定形シリカ:20部、 ・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート:15
部、 ・エポキシ樹脂:25部
Comparative Example 2 A photosensitive resin composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that amorphous silica was used instead of spherical porous silica. The components were blended at the following blend ratios, and kneaded using a three-roll mill to prepare a photosensitive resin composition. A photosensitive prepolymer (equimolar reaction product of cresol novolac type epoxy resin and acrylic acid,
100 parts of a resin solid to which 0.5 mol of tetrahydrophthalic anhydride is added per unit) 100 parts of 2-methyl 1- (4- (methylthio) phenyl) -2
-Morpholino-propan-1-one: 10 parts, dipropylene glycol monomethyl ether: 20
Parts: Dicyandiamide: 1 part Silicone antifoaming agent: 0.5 part Amorphous silica: 20 parts Dipentaerythritol hexaacrylate: 15
Parts, epoxy resin: 25 parts

【0035】試験片の調製 実施例1、及び比較例1及び2において得られた感光性
樹脂組成物を、PET100メッシュのスクリーンで各
々ガラスエポキシ樹脂基板上に膜厚50μmの厚さに塗
布し、熱風循環式乾燥炉にて80℃、60分乾燥し、塗
膜を形成した。この基板にネガフィルムを当て、所定の
パターン通りに露光し、スプレー圧2kg/cm2の1
wt%Na2CO3水溶液で現像し、樹脂絶縁パターンを
形成した。この基板を160℃で60分加熱して熱硬化
させ試験片を作製した。更に、硬化塗膜の表面を粗面化
するために、70℃の過マンガン酸カリウム水溶液で1
0分間処理後、表面を中和し、洗浄した。そして、実施
例1、及び比較例1及び2において得られた感光性樹脂
組成物を使用して調整された粗化処理後の試験片をそれ
ぞれ「試験片a」及び「試験片b1及びb2」とした。
次に粗面化処理した基板をパラジウム触媒液に浸せきし
た後触媒を活性化させ、無電解めっき浴に浸せきして無
電解めっきを行い、その後電解めっきを行って約20μ
mの銅めっきを形成した。そして、実施例1、及び比較
例1及び2において得られた感光性樹脂組成物を使用し
て調整された試験片に銅めっきを施したものをそれぞれ
「試験片A」及び「試験片B1及びB2」とした。各試
験片について以下の性能試験を行った。
Preparation of Test Pieces The photosensitive resin compositions obtained in Example 1 and Comparative Examples 1 and 2 were each coated on a glass epoxy resin substrate with a PET 100 mesh screen to a thickness of 50 μm. The coating was dried at 80 ° C. for 60 minutes in a hot-air circulation drying oven to form a coating film. Applying a negative film on the substrate, exposing a predetermined pattern as one of the spray pressure 2 kg / cm 2
It was developed with a wt% Na 2 CO 3 aqueous solution to form a resin insulating pattern. This substrate was heated at 160 ° C. for 60 minutes and thermally cured to prepare a test piece. Furthermore, in order to roughen the surface of the cured coating film, 1% aqueous solution of potassium permanganate at 70 ° C.
After treatment for 0 minutes, the surface was neutralized and washed. Then, the test pieces after the roughening treatment prepared using the photosensitive resin compositions obtained in Example 1 and Comparative Examples 1 and 2 were referred to as “test piece a” and “test pieces b1 and b2”, respectively. And
Next, the substrate subjected to the surface roughening treatment is immersed in a palladium catalyst solution, and then the catalyst is activated. The substrate is immersed in an electroless plating bath to perform electroless plating.
m of copper plating was formed. Then, a test piece prepared by using the photosensitive resin composition obtained in Example 1 and Comparative Examples 1 and 2 and subjected to copper plating was subjected to “test piece A” and “test piece B1 and B2 ". The following performance tests were performed on each test piece.

【0036】銅めっき導体の密着性 試験片Aについて銅めっき導体のピール強度を調べたと
ころ約1.0kg/cmであった。一方、試験片B1及
びB2について銅めっき導体のピール強度を調べたとこ
ろいずれも約0.6kg/cmであった。
Adhesion of Copper-Plated Conductor The peel strength of the copper-plated conductor of the test piece A was about 1.0 kg / cm. On the other hand, when the peel strength of the copper-plated conductor was examined for the test pieces B1 and B2, both were about 0.6 kg / cm.

【0037】試験片の表面観察 試験片a及び試験片b1及びb2のそれぞれの表面を、
走査電子顕微鏡(SEM)を用いて観察した。すると、
試験片aについては、フィラーが良好に除去され、かつ
均一で高密度な微小凹凸が絶縁層表面に形成されてい
た。一方、試験片b1については、微小凹凸が絶縁層表
面にまばらに形成されていた。また、試験片b2につい
ては、微小凹凸が絶縁層表面にまばらに形成されてお
り、かつ多数の不定形シリカが残存していた。
Observation of the surface of the test piece The surfaces of the test piece a and the test pieces b1 and b2 were
Observation was performed using a scanning electron microscope (SEM). Then
With respect to the test piece a, the filler was satisfactorily removed and uniform and high-density fine irregularities were formed on the surface of the insulating layer. On the other hand, as for the test piece b1, minute irregularities were sparsely formed on the surface of the insulating layer. In the test piece b2, fine irregularities were sparsely formed on the surface of the insulating layer, and a large number of amorphous silica remained.

【0038】実施例2(熱硬化性樹脂組成物の調製) 下記の配合割合で各成分を配合し、3本ロールを用いて
混練して熱硬化性樹脂組成物を調製した。 ・クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(油化シェルエ
ポキシ(株)製):84部、 ・ビスフェノールA型エポキシ樹脂(油化シェルエポキ
シ(株)製):16部、 ・球状多孔質シリカ(旭硝子(株)製):60部、 ・ジプロピレングリコールモノメチルエーテル:10
部、 ・エポキシ硬化剤として、フェノール樹脂(明和化成
(株)製):50部、 ・イミダゾール硬化剤(四国化成工業(株)製):5
部、 ・ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテー
ト:30部
Example 2 (Preparation of Thermosetting Resin Composition) Each component was blended in the following proportions and kneaded using a three-roll mill to prepare a thermosetting resin composition. -Cresol novolak type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell Epoxy): 84 parts,-Bisphenol A type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell Epoxy): 16 parts,-Spherical porous silica (Asahi Glass Co., Ltd.) Manufactured): 60 parts, dipropylene glycol monomethyl ether: 10
Parts:-As an epoxy curing agent, a phenolic resin (manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.): 50 parts;-An imidazole curing agent (manufactured by Shikoku Chemical Industry Co., Ltd.): 5
Parts: diethylene glycol monoethyl ether acetate: 30 parts

【0039】比較例3(熱硬化性樹脂組成物の調製) 下記の配合割合で各成分を配合し、3本ロールを用いて
混練して熱硬化性樹脂組成物を調製した。 ・クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(油化シェルエ
ポキシ(株)製):84部 ・ビスフェノールA型エポキシ樹脂(油化シェルエポキ
シ(株)製):16部 ・球状シリカ((株)アドマテックス製、平均粒径3μ
m):60部、 ・ジプロピレングリコールモノメチルエーテル:10
部、 ・エポキシ硬化剤として、フェノール樹脂(明和化成
(株)製):50部、 ・イミダゾール硬化剤(四国化成工業(株)製):5部 ・ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテー
ト:30部
Comparative Example 3 (Preparation of Thermosetting Resin Composition) Each component was blended at the following blending ratio and kneaded using a three-roll mill to prepare a thermosetting resin composition. -Cresol novolak type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.): 84 parts-Bisphenol A type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.): 16 parts-Spherical silica (manufactured by Admatechs, average) Particle size 3μ
m): 60 parts Dipropylene glycol monomethyl ether: 10
Parts:-As an epoxy curing agent, phenol resin (manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.): 50 parts-Imidazole curing agent (manufactured by Shikoku Chemical Industry Co., Ltd.): 5 parts-Diethylene glycol monoethyl ether acetate: 30 parts

【0040】前記実施例2及び比較例3で得られた各熱
硬化性樹脂組成物を、予め回路の形成された基板にスク
リーン印刷にて塗布し、加熱硬化(150℃×30分)
した後、前記「試験片の調製」と同様にして粗面化処理
を行い、次いで、無電解銅めっき・電解銅めっきを行っ
た。得られた各試験片についてJIS C 6481に
従って銅めっき導体のピール強度を測定したところ、実
施例2の場合には1.2kg/cm、比較例3の場合に
は0.8kg/cmであった。尚、いずれの樹脂絶縁層
も、粗面化処理の前後において電気絶縁性に変化は認め
られなかった。
Each of the thermosetting resin compositions obtained in Example 2 and Comparative Example 3 is applied by screen printing to a substrate on which a circuit is formed in advance, and is heated and cured (150 ° C. × 30 minutes).
After that, a roughening treatment was performed in the same manner as in “Preparation of test piece”, and then electroless copper plating and electrolytic copper plating were performed. When the peel strength of the copper-plated conductor was measured in accordance with JIS C 6481 for each of the obtained test pieces, it was 1.2 kg / cm in Example 2 and 0.8 kg / cm in Comparative Example 3. . It should be noted that no change was observed in the electrical insulation of any of the resin insulating layers before and after the surface roughening treatment.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、フ
ィラーとして球状多孔質無機フィラーを使用しているこ
とより、以下に挙げる効果が得られる。 (1)フィラーが良好に除去され、均一で高密度な微小
凹凸が絶縁層表面に形成され、充分なアンカー効果が得
られる。そのため、塗布性や、電気絶縁性、耐熱性の低
下を招くことがなく、めっき膜との密着性を向上し得る
多層プリント配線板用層間絶縁材料が提供される。 (2)また、均一で高密度な微小凹凸が絶縁層表面に得
られることより、フィラーの使用量を従来より少なくす
ることができる。 (3)感光性樹脂組成物の場合、球状多孔質フィラーを
用いることにより、解像性が損なわれないという効果も
得られる。
As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained by using a spherical porous inorganic filler as a filler. (1) The filler is satisfactorily removed, uniform and high-density fine irregularities are formed on the surface of the insulating layer, and a sufficient anchor effect can be obtained. Therefore, there is provided an interlayer insulating material for a multilayer printed wiring board capable of improving the adhesion to a plating film without causing a decrease in applicability, electrical insulation and heat resistance. (2) Since uniform and high-density minute irregularities are obtained on the surface of the insulating layer, the amount of filler used can be reduced as compared with the conventional case. (3) In the case of a photosensitive resin composition, the use of a spherical porous filler also provides an effect that resolution is not impaired.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 有機バインダー成分と、粗化処理による
微小凹部形成用のフィラー成分を含む多層プリント配線
板用層間絶縁材において、前記フィラー成分として、平
均粒径3〜10μmの球状多孔質無機フィラーを配合し
てなることを特徴とする層間絶縁材。
1. An interlayer insulating material for a multilayer printed wiring board containing an organic binder component and a filler component for forming fine recesses by roughening treatment, wherein the filler component is a spherical porous inorganic filler having an average particle diameter of 3 to 10 μm. An interlayer insulating material characterized by comprising:
【請求項2】 前記有機バインダー成分として、少なく
とも(A)感光性プレポリマー、(B)光重合開始剤、
(C)希釈剤としての光重合性モノマー及び/又は有機
溶剤を含有することを特徴とする請求項1に記載の層間
絶縁材。
2. As the organic binder component, at least (A) a photosensitive prepolymer, (B) a photopolymerization initiator,
The interlayer insulating material according to claim 1, further comprising (C) a photopolymerizable monomer and / or an organic solvent as a diluent.
【請求項3】 さらに(D)微粒状エポキシ化合物を配
合してなることを特徴とする請求項2に記載の層間絶縁
材。
3. The interlayer insulating material according to claim 2, further comprising (D) a finely divided epoxy compound.
【請求項4】前記有機バインダー成分として、(a)エ
ポキシ樹脂、(b)エポキシ樹脂硬化剤、(c)有機溶
剤を必須成分として含有することを特徴とする請求項1
に記載の層間絶縁材。
4. An organic binder component comprising, as essential components, (a) an epoxy resin, (b) an epoxy resin curing agent, and (c) an organic solvent.
2. The interlayer insulating material according to item 1.
【請求項5】 前記球状多孔質無機フィラーがシリカか
らなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項
に記載の層間絶縁材。
5. The interlayer insulating material according to claim 1, wherein the spherical porous inorganic filler is made of silica.
【請求項6】 前記球状多孔質無機フィラーの配合量が
層間絶縁材の樹脂固形分100重量部に対して5〜10
0重量部であることを特徴とする請求項1乃至5のいず
れか1項に記載の層間絶縁材。
6. The compounding amount of the spherical porous inorganic filler is 5 to 10 based on 100 parts by weight of the resin solid content of the interlayer insulating material.
The interlayer insulating material according to any one of claims 1 to 5, wherein the amount is 0 parts by weight.
【請求項7】 前記球状多孔質無機フィラーの吸油量
は、50〜800ml/100gであることを特徴とす
る請求項1乃至6のいずれか1項に記載の層間絶縁材。
7. The interlayer insulating material according to claim 1, wherein the spherical porous inorganic filler has an oil absorption of 50 to 800 ml / 100 g.
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