JP2001066210A - Pressure measuring device and pressure calibrating device - Google Patents

Pressure measuring device and pressure calibrating device

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JP2001066210A
JP2001066210A JP23946599A JP23946599A JP2001066210A JP 2001066210 A JP2001066210 A JP 2001066210A JP 23946599 A JP23946599 A JP 23946599A JP 23946599 A JP23946599 A JP 23946599A JP 2001066210 A JP2001066210 A JP 2001066210A
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Japan
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pressure
holding container
measuring device
pressure holding
valve
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Japanese (ja)
Inventor
Hirokazu Nagashima
裕和 永嶋
Takamasa Yonenaga
孝征 米長
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Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To create constant pressures of different values, and to realize an automatic calibration by using a stepwise generated constant known pressure by equalizing a known pressure enclosed in a pressure holding container to a pressure in a container held at an atmospheric pressure. SOLUTION: Equalizing of a pressure of a pressure holding container 201 to that of a pressure holding container 202 and releasing of the pressure of the container 202 to the atmosphere are repeated to stepwise reduce the pressure in a closed system constituted of a pressure sensor 102, the containers 201 and 202, the measured and theoretical pressure values of the respective steps are found, a linearity regulating table is updated in the direction ion which both values are matched, thus regulating the linearity. Since a calibrating pressure of high possibility can be generated in the pressure measuring device 100, it is not necessary to periodically send and calibrate the device 100 to an organization having a pressure calibrating facility. If the device 100 is a constituting unit of a pressure measuring system, a worker can calibrate the pressure while remaining setting as a pressure measuring system.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、圧力測定装置内部
で高確度の圧力校正が可能な圧力測定装置に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pressure measuring device capable of highly accurate pressure calibration inside a pressure measuring device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の圧力測定装置の圧力校正は、図5
に示すように被校正圧力測定装置10と、この被校正器
10より更に高確度に校正された高確度圧力測定装置2
0に同時に圧力Pを印加し、両者の指示値を比較し、両
者の指示値が一致する方向に被校正圧力測定装置10に
備えられたゼロ調整手段とスパン調整手段とリニアリテ
ィ調整手段を調整することによって行っていた。
2. Description of the Related Art FIG.
And a high-precision pressure measuring device 2 calibrated with higher accuracy than the device under test 10 as shown in FIG.
At the same time, the pressure P is applied to 0, the two indicated values are compared, and the zero adjustment unit, the span adjustment unit, and the linearity adjustment unit provided in the pressure measurement device 10 to be calibrated are adjusted in a direction in which the two indicated values match. Was going by.

【0003】また、図6に示すように、予め厳密に質量
を測定された重錘を用いた重錘型圧力計を用いて被校正
圧力測定装置10を校正する方法もある。同図において
厳密に質量を測定された重錘31は、シリンダ33内に
挿入された直径Dのピストン32に載せられている。ま
た、シリンダ33と被校正圧力測定装置10は圧力配管
34によって接続され、この圧力配管34は圧力Peに
よって加圧されている。
As shown in FIG. 6, there is also a method of calibrating the pressure measurement device 10 to be calibrated using a weight type pressure gauge using a weight whose weight has been strictly measured in advance. In the figure, the weight 31 whose mass is strictly measured is placed on a piston 32 having a diameter D inserted into a cylinder 33. The cylinder 33 and the pressure measuring device 10 to be calibrated are connected by a pressure pipe 34, and the pressure pipe 34 is pressurized by a pressure Pe.

【0004】シリンダ33に挿入されピストン32は、
圧力配管34を圧力Peで加圧することにより浮上し、
シリンダ33内に圧力Pが発生する。この時、発生する
圧力Pは、 P=W×(π×D2/4) (1) の式によって求められる。この時、力の大きさWは、ピ
ストン32と重錘31の合計質量をにその地点の重力加
速度を乗算した値である。
The piston 32 inserted into the cylinder 33 is
The pressure pipe 34 floats by being pressurized with the pressure Pe,
A pressure P is generated in the cylinder 33. At this time, the pressure P is generated, is determined by the equation P = W × (π × D 2/4) (1). At this time, the magnitude W of the force is a value obtained by multiplying the total mass of the piston 32 and the weight 31 by the gravitational acceleration at that point.

【0005】このことを利用して、図6に示した圧力校
正方法では、様々な質量の重錘31を組み合わせて様々
な圧力Pを発生させ、上記(1)式によって求められた
理論圧力値と被校正圧力測定装置10の指示値を比較
し、両者の指示値が一致する方向に被校正圧力測定装置
10に備えられたゼロ調整手段とスパン調整手段とリニ
アリティ調整手段を調整することによって圧力校正を行
っていた。
Utilizing this, in the pressure calibration method shown in FIG. 6, various weights P are generated by combining weights 31 having various masses, and the theoretical pressure value obtained by the above equation (1) is obtained. And the indicated values of the pressure measurement device 10 to be calibrated, and by adjusting the zero adjustment means, the span adjustment means, and the linearity adjustment means provided in the pressure measurement device 10 to be calibrated in a direction in which the two indicated values coincide with each other, Calibration was being performed.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の校
正方法では、高確度の圧力測定装置と被校正圧力測定装
置を突き合わせて校正を行うか、または、高確度に校正
された基準圧力を被校正圧力測定装置に入力する必要が
あるため、校正設備を備えた校正機関に被校正圧力測定
装置を定期的に送り、校正を行う必要があるという問題
点があった。
However, in the conventional calibration method, calibration is performed by matching a high-accuracy pressure measuring device with a pressure-measuring device to be calibrated, or a reference pressure calibrated with high accuracy is calibrated by the pressure-measuring device. Since it is necessary to input to the measuring device, there is a problem that it is necessary to periodically send the pressure measuring device to be calibrated to a calibration institution equipped with a calibration facility to perform calibration.

【0007】また、被校正圧力測定装置が圧力測定シス
テムの構成装置であった場合、校正作業者は、圧力測定
システムとしてセッティングされた被校正圧力測定装置
を取り外し、校正終了後に再度セッティングを行わなけ
ればならないという問題点があった。
If the pressure measuring device to be calibrated is a constituent device of the pressure measuring system, the calibration operator must remove the pressure measuring device set as the pressure measuring system and set again after the calibration is completed. There was a problem that it had to be done.

【0008】本発明は、上記問題を解決するもので、圧
力測定装置内部で高確度の圧力校正が可能な圧力測定装
置を提供することを目的とする。
An object of the present invention is to solve the above problems and to provide a pressure measuring device capable of highly accurate pressure calibration inside the pressure measuring device.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】圧力入力口から印加され
る圧力を測定する圧力測定手段と、前記圧力入力口を遮
断する第1の遮断弁と、圧力測定手段の入り口圧力を入
力する第1の圧力保持容器と、前記第1の圧力保持容器
の入力を遮断する第2の遮断弁と前記第1の圧力保持容
器の圧力を入力する第2の圧力保持容器と、前記第2の
圧力保持容器の入力を遮断する第3の遮断弁と前記第2
の圧力保持容器の圧力を開放する第4の遮断弁と、前記
圧力測定手段と前記第1〜第4の遮断弁を制御する制御
回路を備えたことを特徴とするものである。
A pressure measuring means for measuring a pressure applied from a pressure input port, a first shut-off valve for shutting off the pressure input port, and a first for inputting an inlet pressure of the pressure measuring means. Pressure holding container, a second shut-off valve for shutting off the input of the first pressure holding container, a second pressure holding container for inputting the pressure of the first pressure holding container, and the second pressure holding A third shutoff valve for shutting off the input of the container, and the second shutoff valve;
And a control circuit for controlling the pressure measurement means and the first to fourth shut-off valves.

【0010】このような構成によれば、圧力保持容器に
閉じ込められた気体の圧力は極めて一定であるので、前
記第1の圧力保持容器内に気体を閉じ込めると共に、こ
の圧力値を測定することによって、極めて一定である既
知の圧力P1を作り出すことができる。次に、前記第1
の圧力保持容器内に閉じ込められた既知の圧力P1を大
気圧に保持された前記第2の圧力保持容器内の圧力と均
圧することによって、前記圧力P1とは異なる値の極め
て一定である圧力P2を作り出すことができる。ここで
発生する圧力P2の値は、前記第1の圧力保持容器及び
前記第2の圧力保持容器の容積と、最初に測定された圧
力P1の測定値から演算によって求めることが可能であ
る。
According to such a configuration, since the pressure of the gas confined in the pressure holding container is extremely constant, the gas is confined in the first pressure holding container, and the pressure value is measured. , A known pressure P1 that is very constant can be created. Next, the first
The known pressure P1 confined in the pressure holding container is equalized with the pressure in the second pressure holding container held at the atmospheric pressure, so that the pressure P2 is a very constant value different from the pressure P1. Can be produced. The value of the pressure P2 generated here can be obtained by calculation from the volumes of the first pressure holding container and the second pressure holding container and the measured value of the pressure P1 measured first.

【0011】ここで発生された圧力P2を、前記第1の
圧力保持容器に閉じ込め、大気圧に保持された前記第2
の圧力保持容器内の圧力と均圧することによって、前記
圧力P2とは異なる値の極めて一定である圧力P3を作
り出すことができる。この圧力P3は、上記同様演算に
よって求めることができるので、このような均圧動作を
複数回、繰り返すことによって、前記第1の圧力保持容
器内に極めて一定である既知の圧力を段階的に作り出す
ことが可能となる。このようにして圧力測定装置内部に
段階的に発生された極めて一定である既知の圧力を用い
て圧力測定装置の自動校正を実現することが可能とな
る。
[0011] The pressure P2 generated here is confined in the first pressure holding container, and the second pressure P2 held at atmospheric pressure is confined.
By pressure equalizing with the pressure in the pressure holding container, a very constant pressure P3 having a value different from the pressure P2 can be produced. Since the pressure P3 can be obtained by the same calculation as described above, such a pressure equalizing operation is repeated a plurality of times, so that a known pressure that is extremely constant is created stepwise in the first pressure holding container. It becomes possible. In this way, it is possible to realize automatic calibration of the pressure measuring device using a very constant known pressure generated stepwise inside the pressure measuring device.

【0012】また、本発明の圧力測定装置では、請求項
2から5に記載のように、インターネット技術を利用し
た通信手段を備えることによって、遠隔地から圧力測定
装置をリモート制御することが可能になると共に、遠隔
自動校正を行うことが可能となる。
In the pressure measuring device of the present invention, the communication device using the Internet technology is provided, so that the pressure measuring device can be remotely controlled from a remote place. At the same time, remote automatic calibration can be performed.

【0013】更に、請求項6のように前記第1から第4
の遮断弁として構造が簡単で安価な電磁弁を用いること
によって、圧力測定装置の信頼性を向上させると共に製
作コストを抑えることが可能となる。
[0013] Further, the first to fourth embodiments may be arranged as described above.
By using an inexpensive solenoid valve having a simple structure as the shut-off valve, it is possible to improve the reliability of the pressure measuring device and to suppress the manufacturing cost.

【0014】請求項7に記載の発明では、圧力校正装置
において、重錘型圧力発生器と、前記重錘型圧力発生器
の発生圧力を入力する第1の圧力保持容器と、前記第1
の圧力保持容器の入力を遮断する第2の遮断弁と前記第
1の圧力保持容器の圧力を入力する第2の圧力保持容器
と、前記第2の圧力保持容器の入力を遮断する第3の遮
断弁と前記第2の圧力保持容器の圧力を開放する第4の
遮断弁と、前記第2の圧力保持容器の圧力を被校正圧力
測定装置に出力する校正用圧力出力口と、前記圧力測定
手段と前記第2〜第4の遮断弁を制御する制御回路を備
えたことを特徴とするものである。
According to a seventh aspect of the present invention, in the pressure calibrating apparatus, the weight type pressure generator, the first pressure holding container for inputting the pressure generated by the weight type pressure generator,
A second shut-off valve for shutting off the input of the pressure holding container, a second pressure holding container for inputting the pressure of the first pressure holding container, and a third shutting off the input of the second pressure holding container. A shutoff valve, a fourth shutoff valve for releasing the pressure of the second pressure holding container, a pressure output port for calibration for outputting the pressure of the second pressure holding container to the pressure measurement device to be calibrated, and the pressure measurement Means and a control circuit for controlling the second to fourth shut-off valves.

【0015】このような構成によれば、重錘型発力発生
器の特徴である安定した圧力発生と、圧力保持容器に閉
じ込められた気体の圧力が極めて一定であることを利用
し、重錘型発力発生器によって発生した既知の圧力を上
述した請求項1の圧力測定装置と同様の手法を用いて前
記第1の圧力保持容器と第2の圧力保持容器の間で均圧
することによって極めて一定である既知の圧力を段階的
に発生することが可能となる。このようにして段階的に
発生された極めて一定である既知の圧力を用いて高確度
の校正用圧力を発生することが可能な圧力校正装置を実
現することが可能となる。
[0015] According to such a configuration, utilizing the fact that the stable pressure generation, which is a feature of the weight type force generator, and that the pressure of the gas confined in the pressure holding container is extremely constant, the weight is used. The known pressure generated by the mold force generator is equalized between the first pressure holding container and the second pressure holding container by using the same method as the pressure measuring device of the above-described claim 1, thereby making the pressure extremely high. It is possible to generate a constant known pressure stepwise. In this way, it is possible to realize a pressure calibrating device capable of generating a highly accurate calibration pressure using an extremely constant known pressure generated stepwise.

【0016】また、請求項8のように前記第2から第4
の遮断弁として構造が簡単で安価な電磁弁を用いること
によって、圧力校正装置の信頼性を向上させると共に製
作コストを抑えることが可能となる。
Also, the second to fourth aspects may be as described in claim 8.
By using an inexpensive solenoid valve having a simple structure as the shut-off valve, it is possible to improve the reliability of the pressure calibration device and to reduce the manufacturing cost.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図1は本発明に係る圧力測定装置の構成図で
ある。尚、同図において従来例と同様の動作を行うもの
は、同一の符号を付しその説明を省略する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram of a pressure measuring device according to the present invention. In the figure, components performing the same operations as those of the conventional example are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

【0018】図1において、圧力入力口101は第1の
遮断弁111に接続され、この第1の遮断弁111の出
力は圧力測定手段として用いられた圧力センサ102に
接続されている。
In FIG. 1, a pressure input port 101 is connected to a first shut-off valve 111, and an output of the first shut-off valve 111 is connected to a pressure sensor 102 used as pressure measuring means.

【0019】第1の遮断弁111の出力と圧力センサ1
02の圧力配管L1には第2の遮断弁112が接続さ
れ、この第2の遮断弁112の出力は第1の圧力保持容
器201に接続されている。
The output of the first shut-off valve 111 and the pressure sensor 1
The second shut-off valve 112 is connected to the pressure pipe L1 of 02, and the output of the second shut-off valve 112 is connected to the first pressure holding container 201.

【0020】第1の圧力保持容器201は、第3の遮断
弁113を介して第2の圧力保持容器202に接続され
ている。
The first pressure holding container 201 is connected to a second pressure holding container 202 via a third shutoff valve 113.

【0021】第2の圧力保持容器202は第4の遮断弁
114を介して外気に開放されている。
The second pressure holding container 202 is open to the outside air via a fourth shutoff valve 114.

【0022】圧力センサ102から得られた圧力信号
は、制御回路103によって数値処理され圧力測定値と
して表示手段(図示せず。)に表示される。また、制御
回路103は、上記第1〜第4の遮断弁111〜114
を制御すると共に、ゼロ点調整を行うためのゼロ点補正
値と、スパン調整を行うためのスパン補正値と、リニア
リティ調整を行うためのリニアリティ調整テーブルを記
憶している。更に、制御回路103はウェブサーバー機
能を備えた通信手段104を備えている。
The pressure signal obtained from the pressure sensor 102 is numerically processed by the control circuit 103 and displayed on a display means (not shown) as a measured pressure value. Further, the control circuit 103 includes the first to fourth shutoff valves 111 to 114.
And a zero point correction value for performing a zero point adjustment, a span correction value for performing a span adjustment, and a linearity adjustment table for performing a linearity adjustment. Further, the control circuit 103 includes a communication unit 104 having a web server function.

【0023】このような構成の圧力測定装置100にお
いて、圧力入力口101に印加された圧力の測定を行う
場合、制御回路103は、第1の遮断弁111を開くと
共に第2の遮断弁112を閉じ、圧力センサ102から
得られた圧力信号を数値処理して圧力測定値を求め、こ
れを表示手段(図示せず。)に表示する。
When measuring the pressure applied to the pressure input port 101 in the pressure measuring apparatus 100 having such a configuration, the control circuit 103 opens the first shutoff valve 111 and sets the second shutoff valve 112. After closing, the pressure signal obtained from the pressure sensor 102 is numerically processed to obtain a pressure measurement value, which is displayed on a display means (not shown).

【0024】ここで、このような構成の圧力測定装置1
00の校正方法について下記に説明する。
Here, the pressure measuring device 1 having such a configuration is described.
The calibration method of 00 will be described below.

【0025】まず、圧力測定装置100においてゼロ点
調整を行う場合、制御回路103は、第1の遮断弁11
1を閉じ、第2の遮断弁112と第3の遮断弁113と
第4の遮断弁114を開く。これらの遮断弁をこのよう
な状態とすることによって、圧力センサ102が大気に
開放されるため、制御回路103は、この時点の圧力を
ゼロ圧力として測定する。
First, when the zero point adjustment is performed in the pressure measuring device 100, the control circuit 103 controls the first shutoff valve 11
1 is closed, and the second shut-off valve 112, the third shut-off valve 113, and the fourth shut-off valve 114 are opened. By setting these shut-off valves in such a state, the pressure sensor 102 is opened to the atmosphere. Therefore, the control circuit 103 measures the pressure at this time as zero pressure.

【0026】次に制御回路103は、ここで得られた測
定値をゼロにする方向に、記憶されたゼロ点補正値を更
新する。これで、ゼロ点調整が完了する。
Next, the control circuit 103 updates the stored zero point correction value in a direction in which the measured value obtained here becomes zero. This completes the zero point adjustment.

【0027】また、圧力測定装置100においてスパン
調整を行う場合、制御回路103は、第1の遮断弁11
2を閉じ、第1の遮断弁111を開く。この時、校正作
業者は、厳密に規定されたスパン圧力を圧力入力口10
1に印加する。制御回路103は、この時点の圧力を測
定し、ここで得られた測定値をスパン圧力値と一致する
方向に記憶されたスパン補正値を更新する。これで、ス
パン調整が完了する。
When the span adjustment is performed in the pressure measuring device 100, the control circuit 103 controls the first shut-off valve 11
2 is closed and the first shut-off valve 111 is opened. At this time, the calibration operator changes the strictly specified span pressure to the pressure input port 10.
Apply to 1. The control circuit 103 measures the pressure at this time, and updates the stored span correction value in the direction in which the measured value obtained here matches the span pressure value. This completes the span adjustment.

【0028】次に、圧力測定装置100においてリニア
リティの調整を行う場合の動作について図2のフローチ
ャートを用いて説明する。
Next, the operation for adjusting the linearity in the pressure measuring device 100 will be described with reference to the flowchart of FIG.

【0029】制御回路103は、第1の遮断弁111と
第2の遮断弁112を開き、第3の遮断弁113を閉じ
て圧力入力口1に現在印加されている圧力を圧力センサ
102と第1の圧力保持容器201に導入する。この時
導入させる圧力は、被校正圧力測定装置10のスパン圧
力近辺の圧力が望ましい。(ST1)
The control circuit 103 opens the first shut-off valve 111 and the second shut-off valve 112, closes the third shut-off valve 113, and controls the pressure applied to the pressure input port 1 to the pressure sensor 102 and the 1 is introduced into the pressure holding container 201. The pressure introduced at this time is desirably a pressure near the span pressure of the pressure measurement device 10 to be calibrated. (ST1)

【0030】制御回路103は、この時の圧力値を圧力
センサ102によって測定し、この圧力を圧力値P1と
して記憶する。(ST2)
The control circuit 103 measures the pressure value at this time by the pressure sensor 102 and stores this pressure as a pressure value P1. (ST2)

【0031】次に、制御回路103は、第1の遮断弁1
11を閉じ、導入されている圧力P1を圧力センサ10
2と第1の圧力保持容器201に密閉する。(ST3)
Next, the control circuit 103 controls the first shut-off valve 1
11 is closed and the introduced pressure P1 is
2 and the first pressure holding container 201 are sealed. (ST3)

【0032】次に、制御回路103は、第4の遮断弁1
14を閉じ、第3の遮断弁113を開き、第1の圧力保
持容器201と第2の圧力保持容器202を均圧する。
この時の第1の圧力保持容器201及び第2の圧力保持
容器202の内圧Ps1を測定し、これを制御回路10
3に記憶する。この時の内圧Ps1の理論値Pr1は、
第1の圧力保持容器201の容積V1と第2の圧力保持
容器202の容積V2の関係がV2=α×V1とする
と、 P1×V1=Pr1×V2 (2) であるから、 Pr1=(1+α)×V1より Pr1=P1/(1+α) (3) となる。(ST4)
Next, the control circuit 103 controls the fourth shutoff valve 1
14 is closed, the third shut-off valve 113 is opened, and the pressures of the first pressure holding container 201 and the second pressure holding container 202 are equalized.
At this time, the internal pressure Ps1 of the first pressure holding container 201 and the second pressure holding container 202 was measured, and this was measured.
3 is stored. The theoretical value Pr1 of the internal pressure Ps1 at this time is:
Assuming that the relationship between the volume V1 of the first pressure holding container 201 and the volume V2 of the second pressure holding container 202 is V2 = α × V1, P1 × V1 = Pr1 × V2 (2): Pr1 = (1 + α) ) × V1, Pr1 = P1 / (1 + α) (3) (ST4)

【0033】次に、制御回路103は、第3の遮断弁1
13を閉じ、第4の遮断弁114を開き、第2の圧力保
持容器202の内圧を大気に開放する。(ST5)
Next, the control circuit 103 controls the third shutoff valve 1
13 is closed, the fourth shutoff valve 114 is opened, and the internal pressure of the second pressure holding container 202 is released to the atmosphere. (ST5)

【0034】制御回路103は、上記均圧回数をカウン
トすると共に、このカウント値nexと予め定められた
規定均圧回数値ncを比較する。この時、カウント値n
exが規定均圧回数値ncより少ない場合、ST4に戻
り、再度、均圧した後、内圧Psnを測定すると共に理
論値Prnを求め両者を記憶する。この時の理論値Pr
nは、均圧回数をnとすると、 Prn=P1/(1+α)n-1 (4) で、求めることができる。また、カウント値nexが規
定大気開放nc以上の場合、ST7に移行する。(ST
6)
The control circuit 103 counts the number of times of equalization, and compares the count value nex with a predetermined number of equalization times nc. At this time, the count value n
If ex is smaller than the specified equalizing frequency value nc, the process returns to ST4, and after equalizing again, the internal pressure Psn is measured, and the theoretical value Prn is obtained and both are stored. The theoretical value Pr at this time
n can be obtained by Prn = P1 / (1 + α) n-1 (4) where n is the number of times of pressure equalization. If the count value nex is equal to or larger than the specified atmospheric release nc, the process proceeds to ST7. (ST
6)

【0035】制御回路103は、第3の遮断弁113と
第4の遮断弁114を開き、第1の圧力保持容器201
と第2の圧力保持容器202内圧を放出し、ST5とS
T6で得られた内圧Psnと理論値Prnを比較し、両
者が一致する方向に、記憶されたリニアリティ調整テー
ブルを更新する。(ST7)
The control circuit 103 opens the third shut-off valve 113 and the fourth shut-off valve 114 and sets the first pressure holding vessel 201
And the internal pressure of the second pressure holding container 202 is released, and ST5 and S
The internal pressure Psn obtained at T6 is compared with the theoretical value Prn, and the stored linearity adjustment table is updated in a direction in which the two coincide with each other. (ST7)

【0036】つまり、本発明の圧力測定装置では、ST
5からST6をnc回繰り返すことによって、第1の圧
力保持容器201の圧力を第2の圧力保持容器202と
均圧し、その後第2の圧力保持容器202の圧力を外気
に放出することを繰り返すことによって、圧力センサ1
02と第1の圧力保持容器201及び第2の圧力保持容
器202で構成された閉じた系の中で圧力を段階的に減
圧し、各段階毎の圧力測定値と理論値を求め、両者が一
致する方向にリニアリティ調整テーブルを更新してリニ
アリティ調整を行う。
That is, in the pressure measuring device of the present invention, ST
Steps 5 to ST6 are repeated nc times to equalize the pressure of the first pressure holding container 201 with the pressure of the second pressure holding container 202, and then repeatedly discharge the pressure of the second pressure holding container 202 to the outside air. With the pressure sensor 1
02, a first pressure holding container 201, and a second pressure holding container 202, the pressure is gradually reduced in a closed system, and a pressure measurement value and a theoretical value for each stage are obtained. The linearity adjustment is performed by updating the linearity adjustment table in the matching direction.

【0037】また、上記のリニアリティ調整期間中は圧
力測定装置100内の温度が一定である必要があるた
め、例えば、圧力測定装置100内に温度制御機能を備
えた電気ヒータ等を設置して、装置内の温度を一定に保
つことが望ましい。
Since the temperature inside the pressure measuring device 100 needs to be constant during the above-described linearity adjustment period, for example, an electric heater or the like having a temperature control function is installed in the pressure measuring device 100. It is desirable to keep the temperature inside the device constant.

【0038】また、本発明の圧力測定装置100はウェ
ブサーバー機能を備えた通信手段104を備えているた
め、上記に説明した校正手順を遠隔操作することができ
ると共に、圧力測定装置100のレンジ切換や起動停止
等の操作を遠隔地から行うことが可能である。
Further, since the pressure measuring device 100 of the present invention includes the communication means 104 having a web server function, the above-described calibration procedure can be remotely controlled, and the range of the pressure measuring device 100 can be switched. It is possible to perform operations such as starting and stopping from a remote location.

【0039】ここで、本発明の圧力測定装置100が備
えた通信手段104について説明する。通信手段104
はインターネットサーバー機能を備えておりローカルエ
リアネットワーク(図示せず。)を介して、または直接
インターネット(図示せず。)に接続されている。ま
た、上述した校正手順を制御回路103に実行させるた
めのインターネットブラウザ内のアプリケーションとし
て動作するソフトウェア(以下アプリケーションソフト
ウェアという。)が搭載されている。
Here, the communication means 104 provided in the pressure measuring device 100 of the present invention will be described. Communication means 104
Has an Internet server function and is connected to a local area network (not shown) or directly to the Internet (not shown). Also, software (hereinafter referred to as application software) that operates as an application in an Internet browser for causing the control circuit 103 to execute the above-described calibration procedure is installed.

【0040】また遠隔地に備えられたクライアントコン
ピュータ(図示せず。)は、例えばWWW(World Wid
e Web)ブラウザのようなインターネットブラウザを搭
載しておりHTTP(Hyper Text Transfer Protoco
l)等のプロトコルを用いて通信手段104と通信を行
っている。つまりこのような接続形態では、インターネ
ットに接続されたクライアントコンピュータはクライア
ント側のコンピュータであり、通信手段104(圧力測
定装置100)はサーバーである。
A client computer (not shown) provided at a remote location is, for example, a WWW (World Wid
e (Web) browser and an Internet browser such as HTTP (Hyper Text Transfer Protocol)
Communication with the communication means 104 is performed using a protocol such as l). That is, in such a connection form, the client computer connected to the Internet is a client-side computer, and the communication means 104 (the pressure measuring device 100) is a server.

【0041】従って、例えばクライアントコンピュータ
からブラウザを介して通信手段104のアプリケーショ
ンソフトウェアを取得し、これをクライアントコンピュ
ータ上で実行する時、クライアントコンピュータを操作
する作業者にグラフィカルユーザーインタフェースが提
供され、作業者はこれを用いて通信手段104(圧力測
定装置100)と対話することが可能である。
Therefore, for example, when the application software of the communication means 104 is obtained from a client computer via a browser and is executed on the client computer, a graphical user interface is provided to an operator operating the client computer, Can use this to interact with the communication means 104 (pressure measurement device 100).

【0042】例えば、クライアントコンピュータのブラ
ウザ画面から通信手段104(圧力測定装置100)の
アプリケーションソフトウェアに対応するアドレスを指
定すると、上述した校正手順を制御する画面が表示さ
れ、作業者はこれを操作して上記に説明した圧力校正を
遠隔操作することができる。
For example, when an address corresponding to the application software of the communication means 104 (pressure measuring device 100) is designated from the browser screen of the client computer, a screen for controlling the above-described calibration procedure is displayed, and the operator operates this screen. The pressure calibration described above can be remotely controlled.

【0043】更に、本発明の圧力測定装置100では、
このような構成の通信手段104を備えたことにより、
圧力測定装置100の起動停止やレンジ切換等の遠隔操
作を行うことが可能であると共に、電子メール技術を利
用することによって、圧力測定装置100の警報をクラ
イアントコンピュータに通知することが可能である。
Further, in the pressure measuring device 100 of the present invention,
By providing the communication means 104 having such a configuration,
It is possible to perform remote control such as start-stop of the pressure measuring device 100 and range switching, and it is possible to notify an alarm of the pressure measuring device 100 to a client computer by using an e-mail technology.

【0044】また、上述した技術と、安定した圧力発生
が可能な重錘型圧力計の長所を利用して高確度で圧力測
定装置の校正が可能な圧力校正装置を実現することが可
能である。図3はこのような圧力校正装置の構成図であ
る。尚、同図において図1と同様の動作を行うものは、
同一の符号を付しその説明を省略する。
Further, it is possible to realize a pressure calibration device capable of calibrating a pressure measurement device with high accuracy by utilizing the advantages of the above-described technique and a weight type pressure gauge capable of generating stable pressure. . FIG. 3 is a configuration diagram of such a pressure calibration device. It should be noted that in FIG.
The same reference numerals are given and the description is omitted.

【0045】図3において、加圧用圧力入力口301は
シリンダ302に接続され、シリンダ302は第2の遮
断弁112に接続されている。この第2の遮断弁112
の出力は第1の圧力保持容器201に接続されている。
また、加圧用圧力入力口301は圧力Peによって加圧
されている。
In FIG. 3, the pressure input port 301 for pressurization is connected to the cylinder 302, and the cylinder 302 is connected to the second shut-off valve 112. This second shut-off valve 112
Is connected to the first pressure holding vessel 201.
The pressure input port 301 for pressurization is pressurized by the pressure Pe.

【0046】第1の圧力保持容器201は、第3の遮断
弁113を介して第2の圧力保持容器202に接続され
ている。
The first pressure holding container 201 is connected to the second pressure holding container 202 via the third shutoff valve 113.

【0047】第2の圧力保持容器202は第4の遮断弁
114を介して外気に開放されている。また、第2の圧
力保持容器202は校正用圧力出力口303に接続さ
れ、この校正用圧力出力口303が被校正圧力測定装置
10に接続されている。
The second pressure holding container 202 is open to the outside air via a fourth shutoff valve 114. The second pressure holding container 202 is connected to the pressure output port for calibration 303, and the pressure output port for calibration 303 is connected to the pressure measurement device 10 to be calibrated.

【0048】また、同図において厳密に質量を測定され
た重錘305は、シリンダ302内に挿入された直径D
のピストン304に載せられている。
The weight 305 whose mass is strictly measured in FIG.
On the piston 304.

【0049】ピストン304にはピストン304を回転
させる駆動手段306が接続され、シリンダ302に
は、ピストン304の位置を検出するファイバー光電ス
イッチ308が備えられている。このファイバー光電ス
イッチ308の検出信号は、制御回路307に伝送され
る。
The driving means 306 for rotating the piston 304 is connected to the piston 304, and the cylinder 302 is provided with a fiber photoelectric switch 308 for detecting the position of the piston 304. The detection signal of the fiber photoelectric switch 308 is transmitted to the control circuit 307.

【0050】上記に説明したシリンダ302とピストン
304と重錘305と駆動手段306とファイバー光電
スイッチ308は、重錘型圧力発生器320を構成して
いる。
The above-described cylinder 302, piston 304, weight 305, driving means 306, and fiber photoelectric switch 308 constitute a weight-type pressure generator 320.

【0051】制御回路307は、上記第2〜第4の遮断
弁112〜114と駆動手段306を制御すると共に、
校正用圧力出力口303から出力される校正用圧力値を
演算し表示手段(図示せず。)に表示する。
The control circuit 307 controls the second to fourth shut-off valves 112 to 114 and the driving means 306,
The calibration pressure value output from the calibration pressure output port 303 is calculated and displayed on a display means (not shown).

【0052】このような構成の圧力校正装置300の校
正方法について下記に説明する。
A method of calibrating the pressure calibrating apparatus 300 having such a configuration will be described below.

【0053】まず、被校正圧力測定装置10のゼロ点調
整を行う場合、制御回路307は、第3の遮断弁113
を閉じ、第4の遮断弁114を開く。両者の遮断弁をこ
のような状態とすることによって、被校正圧力測定装置
10の圧力入力口が大気に開放されるため、作業者はこ
の時点の圧力をゼロ圧力として被校正圧力測定装置10
のゼロ点調整を行う。
First, when adjusting the zero point of the pressure measuring device 10 to be calibrated, the control circuit 307 controls the third shut-off valve 113.
Is closed, and the fourth shutoff valve 114 is opened. By setting the two shut-off valves in such a state, the pressure input port of the pressure-measuring device 10 to be calibrated is opened to the atmosphere.
Adjust the zero point of.

【0054】次に、被校正圧力測定装置10のスパン調
整を行う場合、制御回路307は、第2の遮断弁112
と第3の遮断弁113を開き、第4の遮断弁114を閉
じる。作業者はこの時、ハンドポンプ等によって加圧用
圧力入力口201に圧力Peを印加し、ピストン304
及び重錘305を浮上させる。
Next, when adjusting the span of the pressure measuring device 10 to be calibrated, the control circuit 307 controls the second shutoff valve 112
Then, the third shutoff valve 113 is opened, and the fourth shutoff valve 114 is closed. At this time, the worker applies pressure Pe to the pressure input port 201 for pressurization using a hand pump or the like,
And the weight 305 is lifted.

【0055】制御回路307は、ピストン304及び重
錘305の浮上をファイバー光電スイッチによって検出
すると、駆動手段306によって、ピストン304に回
転力を与え、ピストン304を安定浮上させる。この
時、シリンダ302内部に圧力P1が発生する。
When the floating of the piston 304 and the weight 305 is detected by the fiber photoelectric switch, the control circuit 307 applies a rotational force to the piston 304 by the driving means 306 to stably float the piston 304. At this time, a pressure P1 is generated inside the cylinder 302.

【0056】この時、発生する圧力P1は、従来例と同
様にピストン304の直径をD、ピストン32と重錘3
1の合計質量にその地点の重力加速度を乗算して求めら
れた力の大きさをWとすると、 P1=W×(π×D2/4) (5) の式によって求められる。
At this time, the pressure P1 generated depends on the diameter of the piston 304 as D, the piston 32 and the weight 3 as in the conventional example.
When the total mass of the magnitude of the force obtained by multiplying gravity acceleration of the location of 1 is W, determined by the equation P1 = W × (π × D 2/4) (5).

【0057】制御回路307は、上記(5)式によって
求められた理論圧力値P1を表示手段に表示する。
The control circuit 307 displays the theoretical pressure value P1 obtained by the above equation (5) on the display means.

【0058】作業者は、重錘305の重さ、または圧力
Peを調整し理論圧力値P1を被校正圧力測定装置10
のスパン圧力に一致させ、これと被校正圧力測定装置1
0の指示値を比較し、被校正圧力測定装置10のスパン
調整を行う。
The operator adjusts the weight or the pressure Pe of the weight 305 and obtains the theoretical pressure value P1 from the pressure measuring device 10 to be calibrated.
And the pressure measurement device 1 to be calibrated
By comparing the indicated value of 0, the span of the pressure measurement device 10 to be calibrated is adjusted.

【0059】次に、圧力測定装置100においてリニア
リティの調整を行う場合の動作について図4のフローチ
ャートを用いて説明する。
Next, the operation for adjusting the linearity in the pressure measuring device 100 will be described with reference to the flowchart of FIG.

【0060】制御回路307は、第2の遮断弁112を
開き、第3の遮断弁113を閉じると共に上記スパン調
整と同様の手順でシリンダ302内部に圧力P1を発生
させる。この時発生させる圧力P1は、被校正圧力測定
装置10のスパン圧力に一致させたほうが望ましいが、
リニアリティの調整のみを行う場合はスパン圧力近辺の
適切な圧力値でよい。(ST1)
The control circuit 307 opens the second shut-off valve 112, closes the third shut-off valve 113, and generates the pressure P1 inside the cylinder 302 in the same procedure as the span adjustment. It is desirable that the pressure P1 generated at this time should match the span pressure of the pressure measurement device 10 to be calibrated.
When only the linearity is adjusted, an appropriate pressure value near the span pressure may be used. (ST1)

【0061】次に、制御回路307は、第2の遮断弁1
12を閉じ、圧力P1を第1の圧力保持容器201に密
閉する。(ST2)
Next, the control circuit 307 controls the second shutoff valve 1
12 is closed, and the pressure P1 is sealed in the first pressure holding container 201. (ST2)

【0062】次に、制御回路307は、第4の遮断弁1
14を開き、第2の圧力保持容器202の内圧を開放す
る。(ST3)
Next, the control circuit 307 controls the fourth shutoff valve 1
14, the internal pressure of the second pressure holding container 202 is released. (ST3)

【0063】次に、制御回路307は、第4の遮断弁1
14を閉じ、第3の遮断弁113を開き、第1の圧力保
持容器201と第2の圧力保持容器202を均圧する。
この時の内圧Ps1の理論値Pr1は、図2の説明と同
様に、第1の圧力保持容器201の容積V1と第2の圧
力保持容器202の容積V2の関係がV2=α×V1と
すると、 Pr1=P1/(1+α) (6) となる。作業者は、ここで得られた理論圧力値Prnと
被校正圧力測定装置10の指示値を比較し、両者の偏差
がゼロとなる方向に被校正圧力測定装置10のリニアリ
ティ調整テーブルを更新する。(ST4)
Next, the control circuit 307 controls the fourth shutoff valve 1
14 is closed, the third shut-off valve 113 is opened, and the pressures of the first pressure holding container 201 and the second pressure holding container 202 are equalized.
The theoretical value Pr1 of the internal pressure Ps1 at this time is, as in the description of FIG. 2, assuming that the relationship between the volume V1 of the first pressure holding container 201 and the volume V2 of the second pressure holding container 202 is V2 = α × V1. , Pr1 = P1 / (1 + α) (6) The operator compares the theoretical pressure value Prn obtained here with the indicated value of the pressure measurement device 10, and updates the linearity adjustment table of the pressure measurement device 10 in such a direction that the deviation between them becomes zero. (ST4)

【0064】次に、制御回路307は、第3の遮断弁1
13を閉じ、第4の遮断弁114を開き、第2の圧力保
持容器202の内圧を大気に開放する。(ST5)
Next, the control circuit 307 controls the third shutoff valve 1
13 is closed, the fourth shutoff valve 114 is opened, and the internal pressure of the second pressure holding container 202 is released to the atmosphere. (ST5)

【0065】制御回路307は、上記均圧回数をカウン
トすると共に、このカウント値nexと予め定められた
規定均圧回数値ncを比較する。この時、カウント値n
exが規定均圧回数値ncより少ない場合、ST4に戻
り、再度、均圧した後、内圧Psnを測定すると共に理
論値Prnを求め両者の偏差がゼロとなる方向に被校正
圧力測定装置10のリニアリティ調整テーブルを更新す
る。この時の理論値Prnは、均圧回数をnとすると、 Prn=P1/(1+α)n-1 (7) で、求めることができる。また、カウント値nexが規
定大気開放nc以上の場合、リニアリティ調整を終了す
る。(ST6)
The control circuit 307 counts the number of times of pressure equalization, and compares the count value nex with a predetermined specified number of times of pressure equalization nc. At this time, the count value n
If ex is smaller than the specified equalizing frequency value nc, the process returns to ST4, after equalizing again, measures the internal pressure Psn and obtains the theoretical value Prn. Update the linearity adjustment table. The theoretical value Prn at this time can be obtained by the following equation, where n is the number of times of equalization, and Prn = P1 / (1 + α) n-1 (7). If the count value nex is equal to or larger than the specified atmospheric release nc, the linearity adjustment ends. (ST6)

【0066】つまり、本発明の圧力測定装置では、重錘
型圧力発生器320によって高確度の校正用圧力を発生
し、ここで得られた構成用圧力をST5からST6をn
c回繰り返すことによって、第1の圧力保持容器201
の圧力を第2の圧力保持容器202と均圧し、その後第
2の圧力保持容器202の圧力を外気に放出することを
繰り返すことによって、圧力センサ102と第1の圧力
保持容器201及び第2の圧力保持容器202で構成さ
れた閉じた系の中で圧力を段階的に減圧し、各段階毎の
圧力測定値と理論値を求め、両者が一致する方向に被校
正圧力測定装置10のリニアリティ調整テーブルを更新
してリニアリティ調整を行う。
That is, in the pressure measuring device of the present invention, a highly accurate calibration pressure is generated by the weight type pressure generator 320, and the obtained configuration pressure is converted from ST5 to ST6 by n.
By repeating c times, the first pressure holding vessel 201
The pressure sensor 102, the first pressure holding container 201, and the second pressure holding container 202 are repeatedly pressure-equalized with the second pressure holding container 202, and thereafter, the pressure of the second pressure holding container 202 is released to the outside air. The pressure is reduced stepwise in a closed system constituted by the pressure holding vessel 202, and the pressure measurement value and the theoretical value at each stage are obtained, and the linearity adjustment of the pressure measurement device 10 to be calibrated is performed in a direction in which the two match. Update the table and adjust the linearity.

【0067】また、上記のリニアリティ調整期間中は圧
力校正装置300内の温度が一定である必要があるた
め、例えば、圧力校正装置300内に温度制御機能を備
えた電気ヒータ等を設置して、装置内の温度を一定に保
つことが望ましい。
Since the temperature in the pressure calibration device 300 needs to be constant during the above-described linearity adjustment period, for example, an electric heater or the like having a temperature control function is installed in the pressure calibration device 300, It is desirable to keep the temperature inside the device constant.

【0068】[0068]

【0069】なお、以上の説明は、本発明の説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。
It should be noted that the foregoing description has been directed to specific preferred embodiments for the purpose of illustration and illustration of the invention. Therefore, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes many more modifications without departing from the spirit thereof.
This includes deformation.

【0070】[0070]

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。請求項1に記載
の発明では、圧力測定装置の内部で高確度の校正用圧力
を発生することが可能となるため、圧力測定装置を圧力
校正設備のある機関に定期的に送り校正を行う必要が無
くなる。また、圧力測定装置が圧力測定システムの構成
装置であった場合、校正作業者は、圧力測定システムと
してセッティングされたまま、圧力校正を行うことが可
能となる。従って、校正作業者の負荷を大幅に軽減する
ことが可能となる。
As is apparent from the above description,
According to the present invention, the following effects can be obtained. According to the first aspect of the present invention, since it is possible to generate a highly accurate calibration pressure inside the pressure measurement device, it is necessary to periodically send the pressure measurement device to an organization having pressure calibration equipment to perform calibration. Disappears. Further, when the pressure measuring device is a constituent device of the pressure measuring system, the calibration operator can perform the pressure calibration while being set as the pressure measuring system. Therefore, the load on the calibration operator can be significantly reduced.

【0071】また、本発明の圧力測定装置では、請求項
2から5に記載のように、インターネット技術を利用し
た通信手段を備えることによって、遠隔地から圧力測定
装置をリモート制御することが可能になると共に、遠隔
自動校正を行うことが可能となる。
Further, in the pressure measuring device of the present invention, by providing communication means using the Internet technology, it is possible to remotely control the pressure measuring device from a remote place. At the same time, remote automatic calibration can be performed.

【0072】請求項6に記載の発明では、前記第1から
第4の遮断弁として構造が簡単で安価な電磁弁を用いる
ことによって、圧力測定装置の信頼性を向上させると共
に製作コストを抑えることが可能となる。
According to the sixth aspect of the present invention, by using an inexpensive solenoid valve having a simple structure as the first to fourth shut-off valves, the reliability of the pressure measuring device can be improved and the manufacturing cost can be reduced. Becomes possible.

【0073】請求項6に記載の発明では、重錘型発力発
生器の特徴である安定した圧力発生と、圧力保持容器に
閉じ込められた気体の圧力が極めて一定であることを利
用し、極めて安定な校正用圧力を発生することが可能な
圧力校正装置を実現することが可能となる。
According to the sixth aspect of the present invention, a stable pressure generation characteristic of the weight type force generator and the fact that the pressure of the gas confined in the pressure holding vessel is extremely constant are utilized. It is possible to realize a pressure calibration device capable of generating a stable calibration pressure.

【0074】請求項7に記載の発明では、前記第2から
第4の遮断弁として構造が簡単で安価な電磁弁を用いる
ことによって、圧力校正装置の信頼性を向上させると共
に製作コストを抑えることが可能となる。
According to the seventh aspect of the present invention, by using an inexpensive solenoid valve having a simple structure as the second to fourth shut-off valves, the reliability of the pressure calibration device is improved and the manufacturing cost is reduced. Becomes possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る圧力測定装置の一実施例を示す構
成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of a pressure measuring device according to the present invention.

【図2】本発明に係る圧力測定装置の動作を説明するフ
ローチャートである。
FIG. 2 is a flowchart illustrating an operation of the pressure measuring device according to the present invention.

【図3】本発明に係る圧力校正装置の一実施例を示す構
成図である。
FIG. 3 is a configuration diagram showing one embodiment of a pressure calibration device according to the present invention.

【図4】本発明に係る圧力校正装置の動作を説明するフ
ローチャートである。
FIG. 4 is a flowchart illustrating the operation of the pressure calibration device according to the present invention.

【図5】従来の圧力測定装置の一例を示す構成図であ
る。
FIG. 5 is a configuration diagram showing an example of a conventional pressure measuring device.

【図6】従来の重錘型圧力測定器の一例を示す構成図で
ある。
FIG. 6 is a configuration diagram showing an example of a conventional weight type pressure measuring device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 被構成圧力測定装置 20 高確度圧力測定装置 100 圧力測定装置 111、112、113、114 遮断弁 101 圧力入力口 102 圧力センサ 103、307 制御回路 320 重錘型圧力発生器 301 加圧用圧力入力口 33、302 シリンダ 303 校正用圧力出力口 32、304 ピストン 31、305 重錘 306 駆動手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Constructed pressure measuring device 20 High-accuracy pressure measuring device 100 Pressure measuring device 111, 112, 113, 114 Shut-off valve 101 Pressure input port 102 Pressure sensor 103, 307 Control circuit 320 Weight type pressure generator 301 Pressure input port for pressurization 33, 302 Cylinder 303 Calibration pressure output port 32, 304 Piston 31, 305 Weight 306 Driving means

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】圧力入力口から印加される圧力を測定する
圧力測定手段と、 前記圧力入力口を遮断する第1の遮断弁と、 圧力測定手段の入り口圧力を入力する第1の圧力保持容
器と、 前記第1の圧力保持容器の入力を遮断する第2の遮断弁
と、 前記第1の圧力保持容器の圧力を入力する第2の圧力保
持容器と、 前記第2の圧力保持容器の入力を遮断する第3の遮断弁
と前記第2の圧力保持容器の圧力を開放する第4の遮断
弁と、 前記圧力測定手段と前記第1〜第4の遮断弁を制御する
制御回路を備えたことを特徴とする圧力測定装置。
1. A pressure measuring means for measuring a pressure applied from a pressure input port, a first shutoff valve for shutting off the pressure input port, and a first pressure holding vessel for inputting an inlet pressure of the pressure measuring means. A second shut-off valve for shutting off an input to the first pressure holding container; a second pressure holding container for inputting a pressure of the first pressure holding container; and an input for the second pressure holding container. A third shutoff valve for shutting off the pressure, a fourth shutoff valve for releasing the pressure of the second pressure holding container, and a control circuit for controlling the pressure measuring means and the first to fourth shutoff valves. A pressure measuring device, characterized in that:
【請求項2】前記制御回路は、通信手段を備えたことを
特徴とする請求項1に記載の圧力測定装置。
2. The pressure measuring device according to claim 1, wherein the control circuit includes a communication unit.
【請求項3】前記通信手段は、インターネットサーバー
機能を備え、インターネットに接続された上位装置から
ウェブブラウザを介してリモート制御することが可能な
ように構成されたことを特徴とする請求項3に記載のデ
ータ収録装置。
3. The communication device according to claim 3, wherein said communication means has an Internet server function, and is configured to be able to remotely control a higher-level device connected to the Internet via a web browser. Data recording device as described.
【請求項4】前記ウェブブラウザは、WWWブラウザを
用いたことを特徴とする請求項4に記載のデータ収録装
置。
4. The data recording apparatus according to claim 4, wherein the web browser uses a WWW browser.
【請求項5】前記リモート制御機能は、電子メールによ
って警報通知を行うことが可能なように構成されたこと
を特徴とする請求項4に記載のデータ収録装置。
5. The data recording apparatus according to claim 4, wherein the remote control function is configured to be able to issue an alarm notification by e-mail.
【請求項6】前記第1から第4の遮断弁は、電磁弁であ
ることを特徴とする請求項1に記載の圧力測定装置。
6. The pressure measuring device according to claim 1, wherein said first to fourth shut-off valves are solenoid valves.
【請求項7】重錘型圧力発生器と、 前記重錘型圧力発生器の発生圧力を入力する第1の圧力
保持容器と、 前記第1の圧力保持容器の入力を遮断する第2の遮断弁
と前記第1の圧力保持容器の圧力を入力する第2の圧力
保持容器と、 前記第2の圧力保持容器の入力を遮断する第3の遮断弁
と前記第2の圧力保持容器の圧力を開放する第4の遮断
弁と、 前記第2の圧力保持容器の圧力を被校正圧力測定装置に
出力する校正用圧力出力口と、 前記圧力測定手段と前記第2〜第4の遮断弁を制御する
制御回路を備えたことを特徴とする圧力校正装置。
7. A weight type pressure generator, a first pressure holding container for inputting a pressure generated by the weight type pressure generator, and a second shutoff for shutting off input to the first pressure holding container. A valve and a second pressure holding container for inputting the pressure of the first pressure holding container; a third shutoff valve for shutting off the input of the second pressure holding container; and a pressure of the second pressure holding container. A fourth shutoff valve to be opened; a pressure output port for calibration for outputting the pressure of the second pressure holding container to the pressure measurement device to be calibrated; controlling the pressure measuring means and the second to fourth shutoff valves A pressure calibration device, comprising:
【請求項8】前記第2から第4の遮断弁は、電磁弁であ
ることを特徴とする請求項1に記載の圧力測定装置。
8. The pressure measuring device according to claim 1, wherein the second to fourth shut-off valves are solenoid valves.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011191284A (en) * 2010-03-12 2011-09-29 Toyo Denshi Kenkyusho:Kk Hot-cathode type ionization vacuum gauge with cold-cathode type ionization vacuum gauge
CN104792458A (en) * 2015-04-22 2015-07-22 湖南省计量检测研究院 Wireless pressure data acquiring instrument calibrating device and method thereof
JP2015224997A (en) * 2014-05-29 2015-12-14 株式会社エイムテック Pressure gauge inspection system and pressure gauge inspection method used therefor
US10620074B2 (en) 2017-01-16 2020-04-14 Yokogawa Electric Corporation Pressure gauge with variable measurement range and display thereof

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