JP2001023399A - Semiconductor memory - Google Patents

Semiconductor memory

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JP2001023399A
JP2001023399A JP11195480A JP19548099A JP2001023399A JP 2001023399 A JP2001023399 A JP 2001023399A JP 11195480 A JP11195480 A JP 11195480A JP 19548099 A JP19548099 A JP 19548099A JP 2001023399 A JP2001023399 A JP 2001023399A
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JP
Japan
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power supply
circuit
level
pull
semiconductor memory
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Withdrawn
Application number
JP11195480A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshiaki Tawara
良昭 田原
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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  • Static Random-Access Memory (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor memory in which a test time for guaranteeing the minimum power source voltage previously determined, by which data are normally held can be shortened. SOLUTION: In pull-down circuits 3.1-3.n of a SRAM chip 1, an external power source voltage Vcc is kept at the minimum standard voltage Vr at the time of data retention, while an internal voltage Vi of power source wiring L1-Ln is pulled down in response to a test signal TE1 made a 'H' level. Therefore, compared with a conventional method in which voltage drop is performed according to the external power source voltage Vcc through wiring resistance R1-Rn, newly provided internal voltage Vi of power source wiring L1-Ln can be dropped in a short time so that the test time is shortened.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は半導体記憶装置に
関し、特に、データを正常に保持することが可能な予め
定められた最小の電源電圧を保証するためのテストモー
ドを有する半導体記憶装置に関する。
The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly, to a semiconductor memory device having a test mode for guaranteeing a predetermined minimum power supply voltage capable of normally retaining data.

【0002】[0002]

【従来の技術】図22は、従来のスタティックランダム
アクセスメモリ(以下、SRAMと称す)の構成を示す
ブロック図である。
2. Description of the Related Art FIG. 22 is a block diagram showing a configuration of a conventional static random access memory (hereinafter referred to as SRAM).

【0003】図22を参照して、このSRAMは、行列
状に配列された複数(説明の簡単化のため4つとする)
のメモリセルMC1〜MC4と、各行に対応して設けら
れたワード線WL1,WL2と、各列に対応して設けら
れたビット線対BL1,/BL1;BL2,/BL2と
を備える。
Referring to FIG. 22, this SRAM has a plurality of SRAMs arranged in a matrix (four for simplicity of description).
, Memory cells MC1 to MC4, word lines WL1 and WL2 provided corresponding to each row, and bit line pairs BL1 and / BL1; BL2 and / BL2 provided corresponding to each column.

【0004】メモリセルMC1は、図23に示すよう
に、負荷抵抗素子71,72、ドライバトランジスタ
(NチャネルMOSトランジスタ)73,74、アクセ
ストランジスタ(NチャネルMOSトランジスタ)7
5,76および記憶ノードN71,N72を含む。負荷
抵抗素子71,72は、それぞれ電源電位Vccのノー
ドと記憶ノードN71,N72との間に接続される。ド
ライバトランジスタ73,74は、それぞれ記憶ノード
N71,N72と接地電位GNDのノードとの間に接続
され、各々のゲートがそれぞれ記憶ノードN72,N7
1に接続される。アクセストランジスタ75,76は、
それぞれ記憶ノードN71,N72とビット線BL1,
/BL1との間に接続され、各々のゲートがともにワー
ド線WL1に接続される。
As shown in FIG. 23, a memory cell MC1 has load resistance elements 71 and 72, driver transistors (N-channel MOS transistors) 73 and 74, and an access transistor (N-channel MOS transistor) 7.
5 and 76 and storage nodes N71 and N72. Load resistance elements 71 and 72 are connected between the node of power supply potential Vcc and storage nodes N71 and N72, respectively. Driver transistors 73 and 74 are connected between storage nodes N71 and N72 and a node of ground potential GND, respectively, and have respective gates at storage nodes N72 and N7, respectively.
Connected to 1. The access transistors 75 and 76
The storage nodes N71, N72 and the bit lines BL1,
/ BL1, and each gate is connected to the word line WL1.

【0005】メモリセルMC1は、ワード線WL1を選
択レベルの「H」レベルにしてアクセストランジスタ7
5,76を導通させることにより活性化され、ワード線
WL1を非選択レベルの「L」レベルにしてアクセスト
ランジスタ75,76を非導通にすることにより非活性
化される。
The memory cell MC1 sets the access transistor 7 by setting the word line WL1 to the "H" level of the selected level.
The word line WL1 is activated by making it conductive, and the word line WL1 is made inactive by turning off the access transistors 75 and 76 by setting the word line WL1 to the "L" level of the non-selection level.

【0006】書込動作時は、メモリセルMC1を活性化
させて書込データDIに応じてビット線BL1,/BL
1のうちの一方を「H」レベルにし、他方を「L」レベ
ルにする。これにより、ドライバトランジスタ73,7
4の一方が導通し、他方が非導通になり、記憶ノードN
71,N72にビット線BL1,/BL1のレベルがラ
ッチされる。メモリセルMC1が非活性化された後は、
電源電位Vccのノードから負荷抵抗素子71,72を
介して記憶ノードN71,N72に電流が供給されて、
記憶ノードN71,N72のレベルすなわち書込データ
DIが保持される。
At the time of a write operation, memory cell MC1 is activated and bit lines BL1, / BL according to write data DI.
One of the signals is set to the “H” level, and the other is set to the “L” level. Thereby, the driver transistors 73, 7
4 is turned on, the other is turned off, and the storage node N
The levels of bit lines BL1 and / BL1 are latched at 71 and N72. After the memory cell MC1 is deactivated,
A current is supplied from the node of the power supply potential Vcc to the storage nodes N71 and N72 via the load resistance elements 71 and 72,
The level of storage nodes N71 and N72, that is, write data DI is held.

【0007】読出動作時は、メモリセルMC1が活性化
されると、ドライバトランジスタ73,74のうちの導
通している方のトランジスタを介してビット線BL1,
/BL1のうちのそのトランジスタに対応する方のビッ
ト線から接地電位GNDのノードに電流が流出し、その
ビット線が「L」レベルとなる。この状態でビット線B
L1と/BL1のレベルを比較することにより、メモリ
セルMC1のデータが読出される。
At the time of a read operation, when memory cell MC1 is activated, bit lines BL1 and BL1 are driven through the conductive one of driver transistors 73 and 74.
A current flows out of the bit line of / BL1 corresponding to the transistor to the node of ground potential GND, and the bit line goes to "L" level. In this state, bit line B
By comparing the levels of L1 and / BL1, data of memory cell MC1 is read.

【0008】また、このSRAMは、ビット線BL1〜
/BL2を所定の電位に充電するためのビット線負荷5
1〜54と、読出動作時にビット線対BL1,/BL
1;BL2,/BL2間の電位をイコライズするための
イコライザ55,56と、データ入出力線対IO,/I
Oと、ビット線対BL1,/BL1;BL2,/BL2
とデータ入出力線対IO,/IOとを接続するための列
選択ゲート57,58とを備える。
The SRAM has bit lines BL1 to BL1.
Bit line load 5 for charging / BL2 to a predetermined potential
1 to 54, and a bit line pair BL1, / BL during a read operation.
1; equalizers 55 and 56 for equalizing the potential between BL2 and / BL2, and a pair of data input / output lines IO and / I
O, bit line pair BL1, / BL1; BL2, / BL2
And column select gates 57 and 58 for connecting the data input / output line pairs IO and / IO to each other.

【0009】ビット線負荷51〜54の各々は、電源電
位Vccのノードと対応のビット線BL1〜/BL2の
一方端との間にダイオード接続されたNチャネルMOS
トランジスタで構成される。イコライザ55,56の各
々は、対応のビット線対BL1,/BL1;BL2,/
BL2の間に接続され、そのゲートがビット線イコライ
ズ信号BLEQを受けるPチャネルMOSトランジスタ
で構成される。
Each of bit line loads 51-54 is an N-channel MOS diode-connected between a node of power supply potential Vcc and one end of corresponding bit line BL1- / BL2.
It is composed of transistors. Each of equalizers 55 and 56 has a corresponding bit line pair BL1, / BL1;
It is connected between BL2 and has a gate formed of a P-channel MOS transistor receiving bit line equalize signal BLEQ.

【0010】列選択ゲート57は、ビット線BL1の他
方端とデータ入出力線IOの一方端の間に接続されたN
チャネルMOSトランジスタと、ビット線/BL1の他
方端とデータ入出力線/IOの一方端の間に接続された
NチャネルMOSトランジスタとを含み、2つのNチャ
ネルMOSトランジスタのゲートは列選択線CSL1の
一方端に接続される。列選択ゲート58は、ビット線B
L2の他方端とデータ入出力線IOの一方端の間に接続
されたNチャネルMOSトランジスタと、ビット線/B
L2の他方端とデータ入出力線/IOの一方端の間に接
続されたNチャネルMOSトランジスタとを含み、2つ
のNチャネルMOSトランジスタのゲートが列選択線C
SL2の一方端に接続される。
The column selection gate 57 is connected between the other end of the bit line BL1 and one end of the data input / output line IO.
A channel MOS transistor, and an N-channel MOS transistor connected between the other end of bit line / BL1 and one end of data input / output line / IO, the gates of two N-channel MOS transistors are connected to column select line CSL1. Connected to one end. The column selection gate 58 is connected to the bit line B
An N-channel MOS transistor connected between the other end of L2 and one end of data input / output line IO;
An N-channel MOS transistor connected between the other end of L2 and one end of data input / output line / IO, the gates of two N-channel MOS transistors are connected to column select line C
Connected to one end of SL2.

【0011】さらに、このSRAMは、行デコーダ5
9、制御回路60、列デコーダ61、書込回路62およ
び読出回路63を備える。行デコーダ59は、外部から
与えられる行アドレス信号RAに従って複数のワード線
WL1,WL2の内のいずれかのワード線を選択レベル
の「H」レベルに立上げる。制御回路60は、外部から
与えられるチップセレクト信号/CS、書込イネーブル
信号/WEおよび読出イネーブル信号/OEに従ってS
RAM全体を制御する。列デコーダ61は、外部から与
えられる列アドレス信号CAに従って複数の列選択線C
SL1,CSL2のうちのいずれかの列選択線を選択レ
ベルの「H」レベルに立上げる。
Further, this SRAM has a row decoder 5
9, a control circuit 60, a column decoder 61, a write circuit 62, and a read circuit 63. Row decoder 59 raises any one of a plurality of word lines WL1 and WL2 to a selected level “H” according to an externally applied row address signal RA. Control circuit 60 controls S in accordance with an externally applied chip select signal / CS, write enable signal / WE and read enable signal / OE.
It controls the entire RAM. Column decoder 61 includes a plurality of column select lines C according to an externally applied column address signal CA.
One of the column selection lines SL1 and CSL2 is raised to the selected level "H".

【0012】書込回路62および読出回路63は、とも
にデータ入出力線対IO,/IOの他方端に接続され
る。書込回路62は、外部から与えられた書込データD
Iを、行デコーダ59および列デコーダ61によって選
択されたメモリセルに書込む。読出回路63は、行デコ
ーダ59および列デコーダ61によって選択されたメモ
リセルからの読出データDOを外部に出力する。
Write circuit 62 and read circuit 63 are both connected to the other end of data input / output line pair IO, / IO. Write circuit 62 has an externally applied write data D
I is written into the memory cell selected by the row decoder 59 and the column decoder 61. Read circuit 63 externally outputs read data DO from a memory cell selected by row decoder 59 and column decoder 61.

【0013】次に、図22および図23に示したSRA
Mの動作について説明する。書込動作時は、行デコーダ
59によってたとえばワード線WL1が選択レベルの
「H」レベルに立上げられて、メモリセルMC1,MC
2が活性化される。次いで、列デコーダ61によってた
とえば列選択線CSL1が選択レベルの「H」レベルに
立上げられて列選択ゲート57が導通し、活性化された
メモリセルMC1がビット線対BL1,/BL1および
データ入出力線対IO,/IOを介して書込回路62に
接続される。
Next, the SRA shown in FIGS.
The operation of M will be described. At the time of the write operation, for example, word line WL1 is raised to the selected level "H" level by row decoder 59, and memory cells MC1, MC
2 is activated. Then, for example, column select line CSL1 is raised to the selected level "H" by column decoder 61, column select gate 57 is rendered conductive, and activated memory cell MC1 is connected to bit line pair BL1, / BL1 and data input. Output line pair IO, / IO is connected to write circuit 62.

【0014】書込回路62は、外部から与えられたデー
タDIに従って、データ入出力線対IO,/IOのうち
の一方を「H」レベルにし、他方を「L」レベルにして
メモリセルMC1にデータを書込む。ワード線WL1お
よび列選択線CSL1が「L」レベルに立下げられる
と、メモリセルMC1にデータが記憶される。
Write circuit 62 sets one of data input / output line pairs IO and / IO to "H" level and the other to "L" level according to externally applied data DI to memory cell MC1. Write the data. When word line WL1 and column select line CSL1 fall to "L" level, data is stored in memory cell MC1.

【0015】読出動作時は、列デコーダ61によってた
とえば列選択線CSL1が選択レベルの「H」レベルに
立上げられて列選択ゲート57が導通し、ビット線対B
L1,/BL1がデータ入出力線対IO,/IOを介し
て読出回路63に接続される。次いで、ビット線イコラ
イズ信号/BLEQが活性化レベルの「L」レベルにな
り、イコライザ55,56が導通し、ビット線BL1と
/BL1、BL2と/BL2の電位がそれぞれイコライ
ズされる。ビット線イコライズ信号/BLEQが非活性
化レベルの「H」レベルになってイコライザ55,56
が非導通になった後、行デコーダ59によってたとえば
ワード線WL1が選択レベルの「H」レベルに立上げら
れて、メモリセルMC1,MC2が活性化される。これ
により、メモリセルMC1が記憶しているデータに応じ
てビット線対BL1,/BL1のうちの一方からメモリ
セルMC1に電流が流入し、応じてデータ入出力線対I
O,/IOのうちの一方の電位が低下する。読出回路6
3は、データ入出力線IOと/IOの電位を比較し、比
較結果に応じたデータDOを外部に出力する。
At the time of a read operation, column select line CSL1 is raised to the selected level "H" level by column decoder 61, column select gate 57 is rendered conductive, and bit line pair B is turned on.
L1 and / BL1 are connected to read circuit 63 via data input / output line pair IO and / IO. Next, bit line equalize signal / BLEQ attains the activation level of "L" level, equalizers 55 and 56 conduct, and the potentials of bit lines BL1 and / BL1 and BL2 and / BL2 are equalized, respectively. Bit line equalize signal / BLEQ attains the "H" level of the inactivation level, and equalizers 55 and 56
Is turned off, row decoder 59 raises, for example, word line WL1 to the selected level of "H" level, and memory cells MC1 and MC2 are activated. Thereby, a current flows into memory cell MC1 from one of bit line pair BL1, / BL1 according to the data stored in memory cell MC1, and data input / output line pair I
The potential of one of O and / IO decreases. Readout circuit 6
3 compares the potentials of the data input / output lines IO and / IO, and outputs data DO according to the comparison result to the outside.

【0016】さて、このようなSRAMでは、データリ
テンション時の最小電圧規格を保証するためのテストが
出荷前に行なわれる。以下、このテストについて説明す
る。
In such an SRAM, a test for guaranteeing a minimum voltage standard at the time of data retention is performed before shipment. Hereinafter, this test will be described.

【0017】図24は、SRAMチップ81の要部を示
す回路ブロック図である。図24において、このSRA
Mチップ81は、n本(ただし、nは自然数である)の
電源配線L1〜Lnを含む。
FIG. 24 is a circuit block diagram showing a main part of the SRAM chip 81. In FIG. 24, this SRA
The M chip 81 includes n (where n is a natural number) power supply wirings L1 to Ln.

【0018】電源配線L1〜Lnの一方端は共通接続さ
れて外部電源電位Vccを受ける。電源配線L1〜Ln
は、チップ全面に引き回され、内部回路(図22で示し
たすべての回路を含む)に電源電位Vccを供給する。
電源配線L1〜Lnは、それぞれ配線抵抗R1〜Rnお
よび配線容量C1〜Cnを有する。
One ends of power supply lines L1 to Ln are commonly connected and receive an external power supply potential Vcc. Power supply lines L1 to Ln
Are supplied to the entire surface of the chip to supply the power supply potential Vcc to the internal circuits (including all the circuits shown in FIG. 22).
The power supply wirings L1 to Ln have wiring resistances R1 to Rn and wiring capacitances C1 to Cn, respectively.

【0019】図25は、SRAMチップ81の上記テス
ト時の動作を示すタイムチャートである。図25におい
て、まずSRAMチップ81は通常のアクティブ状態に
され、全メモリセルに所定のデータが書込まれる(時刻
t0〜t3)。このとき、チップセレクト信号/CSは
「L」レベルになり、外部電源電位Vccは通常のレベ
ルVaになっており、電源配線L1〜Lnの他方端の電
位ViもVaになっている。
FIG. 25 is a time chart showing the operation of the SRAM chip 81 during the test. In FIG. 25, first, the SRAM chip 81 is set to a normal active state, and predetermined data is written to all memory cells (time t0 to t3). At this time, the chip select signal / CS is at the “L” level, the external power supply potential Vcc is at the normal level Va, and the potentials Vi at the other ends of the power supply lines L1 to Ln are also at Va.

【0020】次いで、時刻t3において、チップセレク
ト信号/CSが非活性化レベルの「H」レベルになって
SRAMチップ81がスタンバイ状態にされるとともに
外部電源電位Vccがデータリテンション時の最小規格
電圧Vr(Vr<Va)に下げられる。電源配線L1〜
Lnの内部電位Viは、配線抵抗R1〜Rnを介して外
部電源電位Vcc(=Vr)に近づいていく。電源配線
L1〜Lnの内部電位Viが最小規格電位Vrになった
後、SRAMチップ81はデータリテンション状態(ス
タンバイ状態)で所定時間放置される。
Next, at time t3, chip select signal / CS attains the "H" level of the inactive level, and SRAM chip 81 is set to the standby state, and external power supply potential Vcc is set to minimum standard voltage Vr at the time of data retention. (Vr <Va). Power supply wiring L1
The internal potential Vi of Ln approaches the external power supply potential Vcc (= Vr) via the wiring resistances R1 to Rn. After the internal potential Vi of the power supply lines L1 to Ln has reached the minimum standard potential Vr, the SRAM chip 81 is left in a data retention state (standby state) for a predetermined time.

【0021】次に、チップセレクト信号/CSが活性化
レベルの「H」レベルにされるとともに外部電源電位V
ccが通常のレベルVaにされて、SRAMチップ81
は通常のアクティブ状態に戻される。この状態で各メモ
リセルのデータが読出されて書込データと比較され、全
メモリセルの読出データと書込データが一致した場合は
最小電圧規格が保証される。
Next, the chip select signal / CS is set to the "H" level of the activation level and the external power supply potential V
cc is set to the normal level Va, and the SRAM chip 81
Is returned to the normal active state. In this state, the data of each memory cell is read and compared with the write data. If the read data and the write data of all the memory cells match, the minimum voltage standard is guaranteed.

【0022】[0022]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のSRA
Mチップ81では、外部電源電圧Vccを最小規格電圧
Vrに下げてから電源配線L1〜Lnの内部電圧Viが
最小規格電圧Vrになるまで長時間を要していたので、
テスト時間が長くなり生産性が低くなるという問題があ
った。しかも、近年におけるSRAMの大容量化に伴っ
て電源配線L1〜Lnの配線抵抗R1〜Rnおよび配線
容量C1〜Cnが増大し、テスト時間がさらに長くなる
傾向がある。
However, the conventional SRA
In the M chip 81, since it took a long time from lowering the external power supply voltage Vcc to the minimum standardized voltage Vr until the internal voltage Vi of the power supply lines L1 to Ln became the minimum standardized voltage Vr,
There is a problem that the test time becomes longer and the productivity becomes lower. In addition, with the recent increase in the capacity of the SRAM, the wiring resistances R1 to Rn and the wiring capacitances C1 to Cn of the power supply wirings L1 to Ln increase, and the test time tends to be longer.

【0023】それゆえに、この発明の主たる目的は、デ
ータを正常に保持することが可能な予め定められた最小
の電源電圧を保証するためのテストのテスト時間を短縮
することが可能な半導体記憶装置を提供することであ
る。
Accordingly, a main object of the present invention is to provide a semiconductor memory device capable of shortening a test time for a test for guaranteeing a predetermined minimum power supply voltage capable of normally retaining data. It is to provide.

【0024】[0024]

【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
データを正常に保持することが可能な予め定められた最
小の電源電圧を保証するためのテストモードを有する半
導体記憶装置であって、その一方端に通常動作時は通常
の電源電圧が与えられテストモード時は最小の電源電圧
が与えられる電源配線と、電源配線からの電源電圧によ
って駆動され、データを保持するメモリ回路と、テスト
モードの実行を指示するためのテスト信号が与えられた
ことに応じて電源配線の電圧を最小の電源電圧に降圧さ
せるためのプルダウン回路を備えたものである。
The invention according to claim 1 is
A semiconductor memory device having a test mode for guaranteeing a predetermined minimum power supply voltage capable of holding data normally, wherein one end of the semiconductor memory device is supplied with a normal power supply voltage during a normal operation to perform a test. In the mode, the power supply wiring to which the minimum power supply voltage is applied, the memory circuit driven by the power supply voltage from the power supply wiring to hold data, and the test signal for instructing the execution of the test mode are given And a pull-down circuit for reducing the voltage of the power supply wiring to the minimum power supply voltage.

【0025】請求項2に係る発明では、請求項1に係る
発明のプルダウン回路は、それぞれのしきい値電圧の和
が最小の電源電圧に等しい1または2以上のダイオード
素子と、テスト信号が与えられたことに応じて、1また
は2以上のダイオード素子を電源配線と基準電位のノー
ドとの間に直列接続する接続回路とを含む。
According to a second aspect of the present invention, in the pull-down circuit according to the first aspect of the present invention, one or more diode elements each having a sum of threshold voltages equal to a minimum power supply voltage, and a test signal supplied thereto. And a connection circuit for connecting one or more diode elements in series between the power supply wiring and the node of the reference potential in accordance with the operation.

【0026】請求項3に係る発明では、請求項1に係る
発明のプルダウン回路は、テスト信号が与えられたこと
に応じて予め定められたパルス幅のパルス信号を出力す
るパルス発生回路と、電源配線と基準電位のノードとの
間に接続され、パルス発生回路からのパルス信号に応答
してパルス的に導通するスイッチング素子とを含む。
According to a third aspect of the present invention, there is provided the pull-down circuit according to the first aspect of the present invention, wherein the pulse generating circuit outputs a pulse signal having a predetermined pulse width in response to the application of the test signal; A switching element that is connected between the wiring and the node of the reference potential and that conducts in a pulsed manner in response to a pulse signal from the pulse generation circuit.

【0027】請求項4に係る発明では、請求項1から3
のいずれかに係る発明の半導体記憶装置はスタティック
型半導体記憶装置であり、メモリ回路は、行列状に配列
され、それぞれがデータを保持する複数のスタティック
型メモリセルを含む。
In the invention according to claim 4, claims 1 to 3 are provided.
The semiconductor memory device according to any one of the above aspects is a static semiconductor memory device, and the memory circuit includes a plurality of static memory cells arranged in a matrix and each holding data.

【0028】[0028]

【発明の実施の形態】[実施の形態1]図1は、この発
明の実施の形態1によるSRAMチップ1の要部を示す
回路ブロック図である。図1において、このSRAMチ
ップ1は、n本の電源配線L1〜Ln、入力バッファ2
およびn個のプルダウン回路3.1〜3.nを備える。
[First Embodiment] FIG. 1 is a circuit block diagram showing a main part of an SRAM chip 1 according to a first embodiment of the present invention. 1, this SRAM chip 1 includes n power supply lines L1 to Ln, an input buffer 2
And n pull-down circuits 3.1 to 3. n.

【0029】電源配線L1〜Lnの一方端は共通接続さ
れて外部電源電位Vccを受ける。電源配線L1〜Ln
は、チップ全面に引き回され、内部回路(図22で示し
たすべての回路を含む)に電源電位Vccを供給する。
電源配線L1〜Lnは、それぞれ配線抵抗R1〜Rnお
よび配線容量C1〜Cnを有する。
One ends of power supply lines L1 to Ln are commonly connected to receive external power supply potential Vcc. Power supply lines L1 to Ln
Are supplied to the entire surface of the chip to supply the power supply potential Vcc to the internal circuits (including all the circuits shown in FIG. 22).
The power supply wirings L1 to Ln have wiring resistances R1 to Rn and wiring capacitances C1 to Cn, respectively.

【0030】入力バッファ2は、外部テスト信号TE1
に応答して内部テスト信号TE1′を生成し、内部テス
ト信号TE1′をプルダウン回路3.1〜3.nに与え
る。外部テスト信号TE1は、データリテンション時に
活性化レベルの「H」レベルとなり、それ以外の期間は
非活性化レベルの「L」レベルとなる。内部テスト信号
TE1′は、外部テスト信号TE1が「H」レベルにな
ったことに応じて「H」レベルとなり、外部テスト信号
TE1が「L」レベルになったことに応じて「L」レベ
ルとなる。
The input buffer 2 receives the external test signal TE1
, An internal test signal TE1 'is generated, and the internal test signal TE1' is supplied to the pull-down circuits 3.1-3. n. External test signal TE1 attains an active level of “H” during data retention, and at an inactive level of “L” during other periods. The internal test signal TE1 'goes high when the external test signal TE1 goes high, and goes low when the external test signal TE1 goes low. Become.

【0031】プルダウン回路3.1〜3.nは、それぞ
れ電源配線L1〜Lnに対応して設けられる。プルダウ
ン回路3.1は、図2に示すように、入力ノードN1と
接地電位GNDのノードとの間に直列接続されたNチャ
ネルMOSトランジスタ4〜6を含む。入力ノードN1
は、対応の電源配線L1の他方端に接続され、電源配線
L1の内部電位Viを受ける。NチャネルMOSトラン
ジスタ4,5のゲートは、それぞれ各々のドレインに接
続されている。NチャネルMOSトランジスタ4,5の
各々は、ダイオードとして動作する。NチャネルMOS
トランジスタ6のゲートは、内部テスト信号TE1′を
受ける。
Pulldown circuits 3.1 to 3. n is provided corresponding to the power supply lines L1 to Ln, respectively. Pull-down circuit 3.1 includes N-channel MOS transistors 4 to 6 connected in series between input node N1 and a node of ground potential GND, as shown in FIG. Input node N1
Are connected to the other end of the corresponding power supply line L1 and receive the internal potential Vi of the power supply line L1. The gates of the N-channel MOS transistors 4 and 5 are connected to their respective drains. Each of N channel MOS transistors 4 and 5 operates as a diode. N channel MOS
The gate of transistor 6 receives internal test signal TE1 '.

【0032】内部テスト信号TE1′が活性化レベルの
「H」レベルになるとNチャネルMOSトランジスタ6
がオンしてプルダウン回路3.1が活性化され、内部テ
スト信号TE1′が非活性化レベルの「L」レベルにな
るとNチャネルMOSトランジスタ6がオフしてプルダ
ウン回路3.1が非活性化される。
When internal test signal TE1 'attains the "H" level of the activation level, N-channel MOS transistor 6
Is turned on to activate the pull-down circuit 3.1, and when the internal test signal TE1 'goes to the "L" level of the inactivation level, the N-channel MOS transistor 6 is turned off and the pull-down circuit 3.1 is inactivated. You.

【0033】NチャネルMOSトランジスタ4のしきい
値電圧Vth4とNチャネルMOSトランジスタ5のし
きい値電圧Vth5の和VT=Vth4+Vth5は、
データリテンション時の最小規格電圧Vrに設定され
る。ここで、NチャネルMOSトランジスタ4〜6のド
レインの電位をそれぞれV4〜V6とすると、Nチャネ
ルMOSトランジスタ4はV5>V4−Vth4でオフ
し、NチャネルMOSトランジスタ5はV6>V5−V
th5でオフする。NチャネルMOSトランジスタ4,
5がオンしているときはV5=V4−Vth4,V6=
V5−Vth5となり、V6=V4−VTとなる。
The sum of the threshold voltage Vth4 of the N-channel MOS transistor 4 and the threshold voltage Vth5 of the N-channel MOS transistor 5, VT = Vth4 + Vth5,
It is set to the minimum standard voltage Vr at the time of data retention. Here, assuming that the potentials at the drains of N-channel MOS transistors 4 to 6 are V4 to V6, N-channel MOS transistor 4 is turned off at V5> V4-Vth4, and N-channel MOS transistor 5 is V6> V5-V.
Turns off at th5. N channel MOS transistor 4,
5 is on, V5 = V4-Vth4, V6 =
V5−Vth5, and V6 = V4−VT.

【0034】したがって、電源配線L1の配線抵抗値R
1がNチャネルMOSトランジスタ4〜6のオン抵抗値
の和よりも十分に大きいことを前提とすると、Nチャネ
ルMOSトランジスタ6がオンしてプルダウン回路3.
1が活性化されている場合において、Vcc≧VTのと
きはVi=VTとなり、Vcc<VTのときはVi=V
ccとなる。また、NチャネルMOSトランジスタ6が
オフしてプルダウン回路3.1が非活性化されていると
きは、Vi=Vccとなる。他のプルダウン回路3.2
〜3.nは、プルダウン回路3.1と同じ構成である。
Therefore, the wiring resistance value R of the power supply wiring L1
Assuming that 1 is sufficiently larger than the sum of the on-resistance values of the N-channel MOS transistors 4 to 6, the N-channel MOS transistor 6 turns on and the pull-down circuit 3.
1 is activated, when Vcc ≧ VT, Vi = VT, and when Vcc <VT, Vi = V
cc. When the N-channel MOS transistor 6 is turned off and the pull-down circuit 3.1 is inactivated, Vi = Vcc. Other pull-down circuits 3.2
~ 3. n has the same configuration as the pull-down circuit 3.1.

【0035】図3は、図1および図2で示したSRAM
チップ1のテスト時の動作を示すタイムチャートであ
る。
FIG. 3 shows the SRAM shown in FIGS.
5 is a time chart illustrating an operation of the chip 1 during a test.

【0036】図3において、まずSRAMチップ1は通
常のアクティブ状態にされ、全メモリセルに所定のデー
タが書込まれる(時刻t0〜t3)。このとき、外部テ
スト信号TE1は「L」レベルになり、外部電源電位V
ccは通常のレベルVaになっている。このため、内部
テスト信号TE1′は「L」レベルになってプルダウン
回路3.1〜3.nのNチャネルMOSトランジスタ6
はオフし、電源配線L1〜Lnの内部電位ViもVaと
なり、V6=Va−VTとなっている。
In FIG. 3, first, the SRAM chip 1 is set to a normal active state, and predetermined data is written to all memory cells (time t0 to t3). At this time, external test signal TE1 attains “L” level, and external power supply potential V
cc is at the normal level Va. Therefore, internal test signal TE1 'attains "L" level, and pull-down circuits 3.1-3. n N-channel MOS transistor 6
Is turned off, the internal potential Vi of the power supply lines L1 to Ln also becomes Va, and V6 = Va−VT.

【0037】次いで、時刻t3において、チップセレク
ト信号/CSが非活性化レベルの「H」レベルになって
SRAMチップ1がスタンバイ状態にされるとともに、
外部テスト信号TE1が「H」レベルになり、外部電源
電位Vccが最小規格電位Vrになる。これにより、内
部テスト信号TE1′は「H」レベルになってプルダウ
ン回路3.1〜3.nのNチャネルMOSトランジスタ
6がオンし、V6=GNDとなって電源配線L1〜Ln
の内部電位Viが最小規格電位Vrに急峻に立下がり、
SRAMチップ1はデータリテンション状態にされる。
このとき、Vi<VrになるとNチャネルMOSトラン
ジスタ4,5がオフするので、ViはVrよりも低いレ
ベルになることはない。
Next, at time t3, the chip select signal / CS goes to the "H" level of the inactive level, and the SRAM chip 1 is set to the standby state.
External test signal TE1 attains an "H" level, and external power supply potential Vcc attains minimum specified potential Vr. As a result, internal test signal TE1 'attains "H" level, and pull-down circuits 3.1 to 3. n N-channel MOS transistor 6 is turned on, V6 = GND, and power supply lines L1 to Ln
Internal potential Vi sharply falls to the minimum specified potential Vr,
The SRAM chip 1 is set in a data retention state.
At this time, when Vi <Vr, the N-channel MOS transistors 4 and 5 are turned off, so that Vi does not become lower than Vr.

【0038】したがって、電源配線L1〜Lnの内部電
位Viを従来よりも短時間で最小規格電位Vrに低下さ
せることができ、テスト時間の短縮化を図ることができ
る。
Accordingly, the internal potential Vi of the power supply lines L1 to Ln can be reduced to the minimum standard potential Vr in a shorter time than in the conventional case, and the test time can be reduced.

【0039】SRAMチップ1は所定時間だけデータリ
テンション状態にされた後に通常のアクティブ状態にさ
れ、各メモリセルのデータが読出されて書込データと比
較される。全メモリセルの読出データと書込データが一
致した場合は最小電圧規格が保証され、一致しない場合
は保証されない。
The SRAM chip 1 is brought into a normal active state after being brought into a data retention state for a predetermined time, and data in each memory cell is read and compared with write data. If the read data and the write data of all the memory cells match, the minimum voltage standard is guaranteed, and if they do not match, the minimum voltage standard is not guaranteed.

【0040】なお、VT=VrではなくVT>Vrに設
定された場合は、図4に示すように、Vi<VTになる
とNチャネルMOSトランジスタ4,5がオフするた
め、Vi=VTになった後は電源配線L1〜Lnの内部
電位Viは配線抵抗R1〜Rnを介して外部電源電位V
cc(=Vr)に向かってゆっくりと低下していく(時
刻t4〜t5)。したがって、VT>Vrの場合は、V
T=Vrの場合よりも電源配線L1〜Lnの内部電位V
iが最小規格電位Vrまで低下する時間が長くなる。
When VT> Vr is set instead of VT = Vr, as shown in FIG. 4, when Vi <VT, the N-channel MOS transistors 4 and 5 are turned off, so that Vi = VT. Thereafter, the internal potential Vi of the power supply wirings L1 to Ln is changed to the external power supply potential V via the wiring resistances R1 to Rn.
It gradually decreases toward cc (= Vr) (time t4 to t5). Therefore, when VT> Vr, V
The internal potential V of the power supply lines L1 to Ln is higher than when T = Vr.
The time required for i to decrease to the minimum standard potential Vr increases.

【0041】また、VT=VrではなくVT<Vrに設
定された場合は、図5に示すように、電源配線L1〜L
nの内部電位ViはVTまで急峻に低下する。したがっ
て、ViがVrまで低下する時間はVT=Vrの場合と
同等であるが、ViがVrよりも低下してしまいデータ
を正常に保持できなくなる場合がある。したがって、こ
の場合は、テストを正常に行なうことはできない。
When VT <Vr is set instead of VT = Vr, as shown in FIG.
The internal potential Vi of n rapidly drops to VT. Accordingly, the time when Vi decreases to Vr is the same as when VT = Vr, but there are cases where Vi falls below Vr and data cannot be held normally. Therefore, in this case, the test cannot be performed normally.

【0042】なお、この実施の形態では、プルダウン回
路3.1〜3.nの各々にダイオード接続されたNチャ
ネルMOSトランジスタを2つずつ設けたが、VT=V
rに設定できるのであれば、ダイオード接続されたNチ
ャネルMOSトランジスタを1つずつ設けてもよいし3
つ以上設けてもよい。
In this embodiment, the pull-down circuits 3.1 to 3. Although two N-channel MOS transistors diode-connected to each of n are provided, VT = V
If it can be set to r, one diode-connected N-channel MOS transistor may be provided.
More than one may be provided.

【0043】また、この実施の形態では、プルダウン回
路3.1〜3.nを電源配線L1〜Lnの他方端に接続
したが、他の部分、たとえば電源配線L1〜Lnの中間
部に接続してもよい。
In this embodiment, the pull-down circuits 3.1 to 3. Although n is connected to the other end of power supply lines L1 to Ln, it may be connected to another portion, for example, an intermediate portion of power supply lines L1 to Ln.

【0044】また、この実施の形態では、電源配線L1
〜Lnの各々にプルダウン回路を1つずつ設けたが、複
数個ずつ設けてもよい。
In this embodiment, the power supply line L1
To Ln, one pull-down circuit is provided, but a plurality of pull-down circuits may be provided.

【0045】以下、プルダウン回路3.1の変更例につ
いて説明する。図6のプルダウン回路では、図2のプル
ダウン回路3.1のダイオード接続されたNチャネルM
OSトランジスタ4,5がそれぞれダイオード接続され
たPチャネルMOSトランジスタ10,11で置換され
る。
Hereinafter, a modified example of the pull-down circuit 3.1 will be described. In the pull-down circuit of FIG. 6, the diode-connected N-channel M of the pull-down circuit 3.1 of FIG.
OS transistors 4 and 5 are replaced by diode-connected P-channel MOS transistors 10 and 11, respectively.

【0046】図7のプルダウン回路では、図2のプルダ
ウン回路3.1のダイオード接続されたNチャネルMO
Sトランジスタ5がダイオード接続されたPチャネルM
OSトランジスタ12で置換される。図8のプルダウン
回路では、図2のプルダウン回路3.1のダイオード接
続されたNチャネルMOSトランジスタ4がダイオード
接続されたPチャネルMOSトランジスタ13で置換さ
れる。
In the pull-down circuit shown in FIG. 7, the diode-connected N-channel MO of the pull-down circuit 3.1 shown in FIG.
P-channel M in which S transistor 5 is diode-connected
Replaced by OS transistor 12. In the pull-down circuit of FIG. 8, the diode-connected N-channel MOS transistor 4 of the pull-down circuit 3.1 of FIG. 2 is replaced by a diode-connected P-channel MOS transistor 13.

【0047】図9のプルダウン回路では、図2のプルダ
ウン回路3.1のNチャネルMOSトランジスタ6がP
チャネルMOSトランジスタ14で置換される。内部テ
スト信号TE1′は、インバータ15を介してPチャネ
ルMOSトランジスタ14のゲートに入力される。図1
0のプルダウン回路では、図9のプルダウン回路のダイ
オード接続されたNチャネルMOSトランジスタ4,5
がそれぞれダイオード接続されたPチャネルMOSトラ
ンジスタ16,17で置換される。
In the pull-down circuit of FIG. 9, the N-channel MOS transistor 6 of the pull-down circuit 3.1 of FIG.
It is replaced by a channel MOS transistor 14. Internal test signal TE1 'is input to the gate of P-channel MOS transistor 14 via inverter 15. FIG.
In the pull-down circuit of FIG. 9, the N-channel MOS transistors 4, 5 which are diode-connected of the pull-down circuit of FIG.
Are replaced by diode-connected P-channel MOS transistors 16 and 17, respectively.

【0048】図11のプルダウン回路では、図9のプル
ダウン回路のダイオード接続されたNチャネルMOSト
ランジスタ5がダイオード接続されたPチャネルMOS
トランジスタ18で置換される。図12のプルダウン回
路では、図9のプルダウン回路のダイオード接続された
NチャネルMOSトランジスタ4がダイオード接続され
たPチャネルMOSトランジスタ19で置換される。図
2のプルダウン回路3.1の代わりに、すなわち図1の
プルダウン回路3.1〜3.nの各々の代わりに図6〜
図12のプルダウン回路のうちのいずれのプルダウン回
路を用いても、同じ効果が得られる。
In the pull-down circuit of FIG. 11, the diode-connected N-channel MOS transistor 5 of the pull-down circuit of FIG.
Replaced by transistor 18. In the pull-down circuit of FIG. 12, the diode-connected N-channel MOS transistor 4 of the pull-down circuit of FIG. 9 is replaced by a diode-connected P-channel MOS transistor 19. Instead of the pull-down circuit 3.1 of FIG. 2, that is, the pull-down circuits 3.1 to 3. n for each of n
The same effect can be obtained by using any one of the pull-down circuits in FIG.

【0049】[実施の形態2]図13は、この発明の実
施の形態2によるSRAMチップ21の要部を示す回路
ブロック図である。図13において、このSRAMチッ
プ21は、n本の電源配線L1〜Ln、入力バッファ2
2,23、パルス発生回路24、およびn個のプルダウ
ン回路25.1〜25.nを備える。電源配線L1〜L
nは、図1で説明したとおりである。
[Second Embodiment] FIG. 13 is a circuit block diagram showing a main part of an SRAM chip 21 according to a second embodiment of the present invention. 13, this SRAM chip 21 includes n power supply lines L1 to Ln, an input buffer 2
2, 23, a pulse generation circuit 24, and n pull-down circuits 25.1 to 25. n. Power supply wiring L1 to L
n is as described in FIG.

【0050】入力バッファ22は、外部テスト信号TE
2に応答して内部テスト信号TE2′を生成し、内部テ
スト信号TE2′をパルス発生回路24に与える。外部
テスト信号TE2は、テスト時においてデータリテンシ
ョン期間を含む所定の期間に活性化レベルの「H」レベ
ルになり、それ以外の期間は非活性化レベルの「L」レ
ベルになる。内部テスト信号TE2′は、外部テスト信
号TE2が「H」レベルになったことに応じて「H」レ
ベルになり、外部テスト信号TE2が「L」レベルにな
ったことに応じて「L」レベルになる。
The input buffer 22 receives the external test signal TE
2 to generate an internal test signal TE2 'and apply the internal test signal TE2' to the pulse generation circuit 24. External test signal TE2 attains an active level of “H” during a predetermined period including a data retention period during a test, and attains an inactive level of “L” during other periods. Internal test signal TE2 'attains "H" level when external test signal TE2 attains "H" level, and at "L" level according to external test signal TE2 attaining "L" level. become.

【0051】入力バッファ23は、チップセレクト信号
/CSに応答して内部チップセレクト信号/CS′を生
成し、内部チップセレクト信号/CS′をパルス発生回
路24に与える。チップセレクト信号CSは、アクティ
ブ時は「L」レベルになり、スタンバイ時は「H」レベ
ルになる。内部チップセレクト信号/CS′は、チップ
セレクト信号CSが「H」レベルになったことに応じて
「H」レベルになり、チップセレクト信号/CSが
「L」レベルになったことに応じて「L」レベルにな
る。
Input buffer 23 generates internal chip select signal / CS 'in response to chip select signal / CS, and supplies internal chip select signal / CS' to pulse generating circuit 24. The chip select signal CS is at "L" level when active, and is at "H" level during standby. The internal chip select signal / CS 'becomes "H" level when the chip select signal CS becomes "H" level, and becomes "H" level when the chip select signal / CS becomes "L" level. L "level.

【0052】パルス発生回路24は、図14に示すよう
に、ANDゲート31,32および遅延回路33を含
み、遅延回路33は直列接続された奇数段(図では3
段)のインバータ34を含む。ANDゲート31は、内
部テスト信号TE2′および内部チップセレクト信号/
CS′を受ける。ANDゲート31の出力は、ANDゲ
ート32の一方入力ノードに直接入力されるとともに、
遅延回路33を介してANDゲート32の他方入力ノー
ドに入力される。ANDゲート32の出力が、パルス発
生回路24の出力信号φ24となる。
The pulse generating circuit 24 includes AND gates 31 and 32 and a delay circuit 33, as shown in FIG. 14, and the delay circuit 33 is an odd-numbered stage (3 in FIG. 14) connected in series.
Stage) inverter 34. AND gate 31 receives internal test signal TE2 'and internal chip select signal /
Receive CS '. The output of the AND gate 31 is directly input to one input node of the AND gate 32,
The signal is input to the other input node of the AND gate 32 via the delay circuit 33. The output of the AND gate 32 becomes the output signal φ24 of the pulse generation circuit 24.

【0053】テスト信号TE2′が非活性化レベルの
「L」レベルの場合は、パルス発生回路24が非活性化
され、ANDゲート31,32の出力が「L」レベルに
固定され、信号φ24も「L」レベルに固定される。テ
スト信号TE2′が活性化レベルの「H」レベルになる
と、パルス発生回路24が活性化される。内部チップセ
レクト信号CS′が「L」レベルの期間は、ANDゲー
ト31の出力が「L」レベルになり、遅延回路33の出
力が「H」レベルになり、ANDゲート32の出力信号
φ24は「L」レベルになる。内部チップセレクト信号
/CS′が「H」レベルに立上がると、ANDゲート3
1の出力が「H」レベルになって信号φ24が「H」レ
ベルに立上がり、遅延回路33の遅延時間経過後に遅延
回路33の出力が「L」レベルに立下がって信号φ24
が「L」レベルに立下がる。したがって、信号φ24
は、内部チップセレクト信号CS′が「L」レベルから
「H」レベルに立上がったことに応じて、遅延回路33
の遅延時間だけ「H」レベルに立上がる。信号φ24
は、プルダウン回路25.1〜25.nの各々に与えら
れる。
When test signal TE2 'is at the "L" level of the inactivation level, pulse generation circuit 24 is inactivated, the outputs of AND gates 31 and 32 are fixed at the "L" level, and signal φ24 is also output. Fixed at “L” level. When test signal TE2 'attains the activation level of "H", pulse generation circuit 24 is activated. While the internal chip select signal CS ′ is at “L” level, the output of the AND gate 31 is at “L” level, the output of the delay circuit 33 is at “H” level, and the output signal φ24 of the AND gate 32 is “ L "level. When internal chip select signal / CS 'rises to "H" level, AND gate 3
1 goes high, the signal φ24 rises to the “H” level, and after the delay time of the delay circuit 33 elapses, the output of the delay circuit 33 falls to the “L” level, and the signal φ24
Falls to the “L” level. Therefore, the signal φ24
Delay circuit 33 in response to internal chip select signal CS 'rising from "L" level to "H" level.
Rises to "H" level for the delay time of. Signal φ24
Are pull-down circuits 25.1 to 25. n.

【0054】プルダウン回路25.1〜25.nは、そ
れぞれ電源配線L1〜Lnに対応して設けられる。プル
ダウン回路25.1は、図15に示すように、入力ノー
ドN2と接地電位GNDのノードとの間に接続されたN
チャネルMOSトランジスタ35を含む。入力ノードN
2は、対応の電源配線L1の他方端に接続され、電源配
線L1の内部電位Viを受ける。NチャネルMOSトラ
ンジスタ35のゲートは、パルス発生回路20の出力信
号φ24を受ける。信号φ24が「L」レベルの期間は
NチャネルMOSトランジスタ35がオフし、信号φ2
4が所定時間だけ「H」レベルになるとNチャネルMO
Sトランジスタ35がその時間だけオンして電源配線L
1の他方端を接地電位GNDのノードに接続する。信号
φ24が「H」レベルになる時間は、電源配線L1の内
部電位ViがVaからVrに立下がるように設定されて
いる。
Pulldown circuits 25.1 to 25. n is provided corresponding to the power supply lines L1 to Ln, respectively. Pull-down circuit 25.1, as shown in FIG. 15, includes N connected between input node N2 and a node of ground potential GND.
It includes a channel MOS transistor 35. Input node N
2 is connected to the other end of the corresponding power supply line L1 and receives the internal potential Vi of the power supply line L1. The gate of N-channel MOS transistor 35 receives output signal φ24 of pulse generation circuit 20. While signal φ24 is at “L” level, N-channel MOS transistor 35 is turned off and signal φ2
4 becomes "H" level for a predetermined time, the N-channel MO
The S transistor 35 is turned on for that time and the power supply line L
1 is connected to the node of ground potential GND. The time during which the signal φ24 is at the “H” level is set so that the internal potential Vi of the power supply line L1 falls from Va to Vr.

【0055】図16は、図13〜図15で示したSRA
Mチップ21のテスト時の動作を示すタイムチャートで
ある。
FIG. 16 shows the SRA shown in FIGS.
5 is a time chart illustrating an operation of the M chip 21 during a test.

【0056】図16において、まずSRAMチップ21
は通常のアクティブ状態にされ、全メモリセルに所定の
データが書込まれる(時刻t0〜t1)。このとき、外
部テスト信号TE2およびチップセレクト信号/CSは
ともに「L」レベルとなり、外部電源電位Vccは通常
のレベルVaになっている。このため、内部テスト信号
TE2′および内部チップセレクト信号CS′はともに
「L」レベルになって信号φ24は「L」レベルとな
り、プルダウン回路25.1〜25.nのNチャネルM
OSトランジスタ35がオフし、Vi=Vaとなってい
る。
In FIG. 16, first, the SRAM chip 21
Is set to a normal active state, and predetermined data is written to all memory cells (time t0 to t1). At this time, external test signal TE2 and chip select signal / CS are both at "L" level, and external power supply potential Vcc is at normal level Va. Therefore, internal test signal TE2 'and internal chip select signal CS' both attain an "L" level, signal .phi.24 attains an "L" level, and pull-down circuits 25.1-25. n N channels M
The OS transistor 35 is turned off, and Vi = Va.

【0057】次いで時刻t1において、外部テスト信号
TE2が活性化レベルの「H」レベルになって内部テス
ト信号TE2′が「H」レベルになり、パルス発生回路
24が活性化される。次いで時刻t3において、チップ
セレクト信号/CSが非活性化レベルの「H」レベルに
なってSRAMチップ21がスタンバイ状態になるとと
もに外部電源電位Vccが最小規格電位Vrになる。チ
ップセレクト信号/CSに従って内部チップセレクト信
号/CS′も「H」レベルに立上がり、これに応じてパ
ルス発生回路24によって所定のパルス幅W1のパルス
信号Pが生成される。このパルス信号P(φ24)に応
答してプルダウン回路25.1〜25.nのNチャネル
MOSトランジスタ35が所定時間W1だけオンし、電
源配線L1〜Lnの内部電位Viが最小規格電位Vrに
急峻に立下がり、SRAMチップ21はデータリテンシ
ョン状態にされる。
Next, at time t1, external test signal TE2 attains the activation level "H" level, internal test signal TE2 'attains the "H" level, and pulse generation circuit 24 is activated. Next, at time t3, the chip select signal / CS goes to the “H” level of the inactivation level, the SRAM chip 21 enters the standby state, and the external power supply potential Vcc becomes the minimum standard potential Vr. In accordance with chip select signal / CS, internal chip select signal / CS 'also rises to "H" level, and in response to this, pulse signal P of predetermined pulse width W1 is generated by pulse generation circuit 24. In response to this pulse signal P (φ24), pull-down circuits 25.1 to 25. The n-channel N-channel MOS transistor 35 is turned on for a predetermined time W1, the internal potential Vi of the power supply wirings L1 to Ln sharply falls to the minimum specified potential Vr, and the SRAM chip 21 is in a data retention state.

【0058】したがって、電源配線L1〜Lnの内部電
位Viを従来よりも短時間で最小規格電位Vrに低下さ
せることができ、テスト時間の短縮化を図ることができ
る。
Therefore, the internal potential Vi of the power supply lines L1 to Ln can be reduced to the minimum standard potential Vr in a shorter time than before, and the test time can be shortened.

【0059】SRAMチップ21は所定時間だけデータ
リテンション状態にされた後に通常のアクティブ状態に
され、各メモリセルのデータが読出されて書込データと
比較される。全メモリセルの読出データと書込データが
一致した場合はデータリテンション時の最小電圧規格が
保証され、一致しない場合は保証されない。
The SRAM chip 21 is brought into a normal active state after being brought into the data retention state for a predetermined time, and the data of each memory cell is read and compared with the write data. If the read data and the write data of all the memory cells match, the minimum voltage standard at the time of data retention is guaranteed, and if they do not match, it is not guaranteed.

【0060】なお、電源配線L1〜Lnの内部電位Vi
の変化はパルス信号Pのパルス幅に依存する。図16で
は、電源配線L1〜Lnの内部電位Viが最小規格電位
Vrになると同時にパルス信号Pが「L」レベルになっ
てプルダウン回路25.1〜25.nのNチャネルMO
Sトランジスタ35がオフした。
The internal potential Vi of the power supply lines L1 to Ln
Changes depending on the pulse width of the pulse signal P. In FIG. 16, at the same time when the internal potential Vi of the power supply lines L1 to Ln becomes the minimum specified potential Vr, the pulse signal P goes to the “L” level and the pull-down circuits 25.1 to 25. n N-channel MOs
The S transistor 35 turned off.

【0061】しかし、パルス信号Pのパルス幅がW1よ
りも小さなW2の場合は、図17に示すように、パルス
信号Pのパルス幅W2の期間はプルダウン回路25.1
〜25.nのNチャネルMOSトランジスタ35がオン
して電源配線L1〜Lnの内部電位Viが急峻に低下す
るが、その後はNチャネルMOSトランジスタ35がオ
フするためViは配線抵抗R1〜Rnを介して外部電源
電位Vcc(=Vr)に向かってゆっくりと低下してい
く。このため、パルス信号Pのパルス幅はW1の場合よ
りも電源配線L1〜Lnの内部電位Viが最小規格電位
Vrまで低下する時間が長くなる。
However, when the pulse width of the pulse signal P is W2 smaller than W1, as shown in FIG. 17, during the period of the pulse width W2 of the pulse signal P, the pull-down circuit 25.1 is used.
~ 25. The n-channel MOS transistor 35 is turned on and the internal potential Vi of the power supply lines L1 to Ln drops sharply. However, since the N-channel MOS transistor 35 is turned off, Vi is applied to the external power supply via the wiring resistances R1 to Rn. It gradually decreases toward the potential Vcc (= Vr). For this reason, the pulse width of the pulse signal P becomes longer than the case of W1 in which the internal potential Vi of the power supply lines L1 to Ln falls to the minimum standard potential Vr.

【0062】また、パルス信号Pのパルス幅がW1より
も大きなW3の場合は、図18に示すように、電源配線
L1〜Lnの内部電位Viが最小規格電位Vrに低下す
る時間はパルス幅がW1の場合と同じであるが、Viが
内部電源電位Vcc(=Vr)よりも低下してしまい、
プルダウン回路25.1〜25.nのNチャネルMOS
トランジスタ35がオフしてからViがVrまで上昇す
るまでの期間にデータを保持できなくなる場合がある。
したがって、この場合は、テストを正常に行なうことは
できない。
In the case where the pulse width of the pulse signal P is W3 larger than W1, as shown in FIG. 18, the pulse width is set such that the internal potential Vi of the power supply lines L1 to Ln falls to the minimum standard potential Vr. Same as W1, but Vi drops below internal power supply potential Vcc (= Vr),
Pull-down circuits 25.1 to 25. n N-channel MOS
Data may not be held during a period from when the transistor 35 is turned off to when Vi rises to Vr.
Therefore, in this case, the test cannot be performed normally.

【0063】以下、この実施の形態2の変更例について
説明する。図19のプルダウン回路では、図15のプル
ダウン回路25.1のNチャネルMOSトランジスタ3
5がPチャネルMOSトランジスタ36で置換される。
パルス発生回路24の出力信号φ24は、インバータ3
7を介してPチャネルMOSトランジスタ36のゲート
に入力される。図15で示したプルダウン回路25.1
の代わりに、すなわち図13のプルダウン回路25.1
〜25.nの各々の代わりに図19のプルダウン回路を
用いても同じ効果が得られる。
Hereinafter, a modification of the second embodiment will be described. In the pull-down circuit of FIG. 19, the N-channel MOS transistor 3 of the pull-down circuit 25.1 of FIG.
5 is replaced by a P-channel MOS transistor 36.
The output signal φ24 of the pulse generation circuit 24 is
7 is input to the gate of the P-channel MOS transistor 36. Pull-down circuit 25.1 shown in FIG.
Instead of the pull-down circuit 25.1 of FIG.
~ 25. The same effect can be obtained by using the pull-down circuit of FIG. 19 instead of each of n.

【0064】図20のSRAMチップ41では、図13
のSRAMチップ21の入力バッファ22,23および
パルス発生回路24が入力バッファ2およびパルス発生
回路42で置換される。
In the SRAM chip 41 shown in FIG.
The input buffers 22 and 23 and the pulse generation circuit 24 of the SRAM chip 21 are replaced with the input buffer 2 and the pulse generation circuit 42.

【0065】入力バッファ2は、外部テスト信号TE1
に応答して内部テスト信号TE1′を生成し、パルス発
生回路42に与える。信号TE1,TE1′は、実施の
形態1で説明したものと同じである。
The input buffer 2 receives the external test signal TE1
And generates an internal test signal TE1 'in response to the Signals TE1 and TE1 'are the same as those described in the first embodiment.

【0066】パルス発生回路42は、図21に示すよう
に、ANDゲート43および遅延回路44を含み、遅延
回路44は直列接続された奇数段(図では3段)のイン
バータ45を含む。内部テスト信号TE1′は、AND
ゲート43の一方入力ノードに直接入力されるととも
に、遅延回路44を介してANDゲート43の他方入力
ノードに入力される。ANDゲート43の出力は、パル
ス発生回路42の出力信号φ42となる。
As shown in FIG. 21, pulse generating circuit 42 includes an AND gate 43 and a delay circuit 44. Delay circuit 44 includes an odd-numbered (three in the figure) inverter 45 connected in series. The internal test signal TE1 'is AND
The signal is directly input to one input node of the gate 43, and is input to the other input node of the AND gate 43 via the delay circuit 44. The output of the AND gate 43 becomes the output signal φ42 of the pulse generation circuit 42.

【0067】内部テスト信号TE1′が「L」レベルの
期間は、遅延回路44の出力は「H」レベルになり、信
号φ42は「L」レベルになっている。内部テスト信号
TE1′が「H」レベルに立上がると、信号φ42は
「H」レベルに立上がり、遅延回路44の遅延時間が経
過して遅延回路44の出力が「L」レベルに立下がると
信号φ42も「L」レベルに立下がる。したがって、パ
ルス発生回路42は、外部テスト信号TE1′に応答し
て所定パルス幅W1のパルス信号Pをプルダウン回路2
5.1〜25.nに与える。プルダウン回路25.1〜
25.nは、そのパルス信号Pに応答して電源配線L1
〜Lnの内部電位Viを最小規格電位Vrに引下げる。
したがって、このSRAMチップ41でも、図13のS
RAMチップ21と同じ効果が得られる。
While internal test signal TE1 'is at "L" level, the output of delay circuit 44 is at "H" level and signal φ42 is at "L" level. When internal test signal TE1 'rises to "H" level, signal .phi.42 rises to "H" level, and when the delay time of delay circuit 44 elapses and the output of delay circuit 44 falls to "L" level, signal .phi. φ42 also falls to the “L” level. Therefore, the pulse generation circuit 42 responds to the external test signal TE1 'to output the pulse signal P having the predetermined pulse width W1 to the pull-down circuit 2.
5.1-25. n. Pulldown circuits 25.1 to 25.1
25. n is the power supply line L1 in response to the pulse signal P.
LLn is reduced to the minimum specified potential Vr.
Therefore, even in this SRAM chip 41, S in FIG.
The same effect as that of the RAM chip 21 can be obtained.

【0068】なお、図20のSRAMチップ41におい
てパルス発生回路42を除去し、入力バッファ2の出力
信号TE1′をプルダウン回路25.1〜25.nに直
接入力した上で、外部テスト信号TE1をパルス信号に
してもよい。
In the SRAM chip 41 shown in FIG. 20, the pulse generation circuit 42 is removed, and the output signal TE1 'of the input buffer 2 is supplied to the pull-down circuits 25.1 to 25. The external test signal TE1 may be converted into a pulse signal after being directly input to n.

【0069】また、図13および図20のSRAMチッ
プ21,41のプルダウン回路25.1〜25.nを図
1のプルダウン回路3.1〜3.nで置換してもよい。
The pull-down circuits 25.1 to 25... Of the SRAM chips 21 and 41 shown in FIGS. n with the pull-down circuits 3.1 to 3. It may be replaced by n.

【0070】なお、今回開示された実施の形態はすべて
の点で例示であって制限的なものではないと考えられる
べきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特
許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の
意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意
図される。
It should be understood that the embodiments disclosed this time are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

【0071】[0071]

【発明の効果】以上のように、請求項1に係る発明で
は、テスト信号に応答して電源配線の電圧を最小の電源
電圧に降圧させるためのプルダウン回路が設けられる。
したがって、電源配線の一方端にのみ電流を流して電源
配線の内部電圧を降圧させていた従来に比べ、電源配線
の内部電圧を最小電源電圧に短時間で降圧させることが
でき、テスト時間の短縮化を図ることができる。
As described above, according to the first aspect of the present invention, the pull-down circuit for reducing the voltage of the power supply wiring to the minimum power supply voltage in response to the test signal is provided.
Therefore, the internal voltage of the power supply wiring can be reduced to the minimum power supply voltage in a short time as compared with the conventional method in which a current flows through only one end of the power supply wiring to reduce the internal voltage of the power supply wiring, thereby shortening the test time. Can be achieved.

【0072】請求項2に係る発明では、請求項1に係る
発明のプルダウン回路が、それぞれのしきい値電圧の和
が最小の電源電圧に等しい1または2以上のダイオード
素子と、テスト信号に応答して1または2以上のダイオ
ード素子を電源配線と基準電位のノードとの間に直列接
続する接続回路とを含む。この場合は、電源配線の内部
電圧を最小電源電圧に正確に降圧できる。
According to a second aspect of the present invention, there is provided the pull-down circuit according to the first aspect of the present invention, wherein the pull-down circuit includes one or more diode elements each having a sum of threshold voltages equal to a minimum power supply voltage, and responding to a test signal. And a connection circuit for connecting one or more diode elements in series between the power supply wiring and the node of the reference potential. In this case, the internal voltage of the power supply wiring can be accurately reduced to the minimum power supply voltage.

【0073】請求項3に係る発明では、請求項2に係る
発明のプルダウン回路は、テスト信号に応答して所定パ
ルス幅のパルス信号を出力するパルス発生回路と、電源
配線と基準電位のノードとの間に接続され、パルス信号
に応答してパルス的に導通するスイッチング素子とを含
む。この場合は、電源配線の内部電圧を一層短時間で降
圧できる。
According to a third aspect of the present invention, there is provided the pull-down circuit according to the second aspect of the present invention, wherein the pulse generating circuit outputs a pulse signal having a predetermined pulse width in response to a test signal; And a switching element that is turned on in a pulsed manner in response to the pulse signal. In this case, the internal voltage of the power supply wiring can be reduced in a shorter time.

【0074】請求項4に係る発明では、請求項1から3
のいずれかに係る発明の半導体記憶装置はスタティック
型半導体記憶装置であり、メモリ回路は、行列状に配列
された複数のスタティック型メモリセルを含む。この発
明は、この場合に特に有効である。
In the invention according to claim 4, claims 1 to 3 are provided.
The semiconductor memory device according to any one of the above is a static semiconductor memory device, and the memory circuit includes a plurality of static memory cells arranged in a matrix. The present invention is particularly effective in this case.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 この発明の実施の形態1によるSRAMチッ
プの構成を示す回路ブロック図である。
FIG. 1 is a circuit block diagram showing a configuration of an SRAM chip according to a first embodiment of the present invention.

【図2】 図1に示したプルダウン回路の構成を示す回
路図である。
FIG. 2 is a circuit diagram showing a configuration of a pull-down circuit shown in FIG.

【図3】 図1に示したSRAMチップの効果を説明す
るためのタイムチャートである。
FIG. 3 is a time chart for explaining effects of the SRAM chip shown in FIG. 1;

【図4】 図1に示したSRAMチップの効果を説明す
るための他のタイムチャートである。
FIG. 4 is another time chart for explaining the effect of the SRAM chip shown in FIG. 1;

【図5】 図1に示したSRAMチップの効果を説明す
るためのさらに他のタイムチャートである。
FIG. 5 is still another time chart for explaining the effect of the SRAM chip shown in FIG. 1;

【図6】 実施の形態1の変更例を示す回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram showing a modification of the first embodiment.

【図7】 実施の形態1の他の変更例を示す回路図であ
る。
FIG. 7 is a circuit diagram showing another modification of the first embodiment.

【図8】 実施の形態1のさらに他の変更例を示す回路
図である。
FIG. 8 is a circuit diagram showing still another modification of the first embodiment.

【図9】 実施の形態1のさらに他の変更例を示す回路
図である。
FIG. 9 is a circuit diagram showing still another modification of the first embodiment.

【図10】 実施の形態1のさらに他の変更例を示す回
路図である。
FIG. 10 is a circuit diagram showing still another modification of the first embodiment.

【図11】 実施の形態1のさらに他の変更例を示す回
路図である。
FIG. 11 is a circuit diagram showing still another modification of the first embodiment.

【図12】 実施の形態1のさらに他の変更例を示す回
路図である。
FIG. 12 is a circuit diagram showing still another modification of the first embodiment.

【図13】 この発明の実施の形態2によるSRAMチ
ップの構成を示す回路ブロック図である。
FIG. 13 is a circuit block diagram showing a configuration of an SRAM chip according to a second embodiment of the present invention.

【図14】 図13に示したパルス発生回路の構成を示
す回路図である。
FIG. 14 is a circuit diagram showing a configuration of a pulse generation circuit shown in FIG.

【図15】 図13に示したプルダウン回路の構成を示
す回路図である。
FIG. 15 is a circuit diagram showing a configuration of the pull-down circuit shown in FIG.

【図16】 図13に示したSRAMチップの効果を説
明するためのタイムチャートである。
FIG. 16 is a time chart for explaining effects of the SRAM chip shown in FIG. 13;

【図17】 図13に示したSRAMチップの効果を説
明するための他のタイムチャートである。
FIG. 17 is another time chart for explaining the effect of the SRAM chip shown in FIG. 13;

【図18】 図13に示したSRAMチップの効果を説
明するためのさらに他のタイムチャートである。
FIG. 18 is still another time chart for describing effects of the SRAM chip shown in FIG. 13;

【図19】 実施の形態2の変更例を示す回路図であ
る。
FIG. 19 is a circuit diagram showing a modification of the second embodiment.

【図20】 実施の形態2の他の変更例の構成を示す回
路ブロック図である。
FIG. 20 is a circuit block diagram showing a configuration of another modification of the second embodiment.

【図21】 図20に示したパルス発生回路の構成を示
す回路図である。
FIG. 21 is a circuit diagram showing a configuration of a pulse generation circuit shown in FIG. 20;

【図22】 従来のSRAMの構成を示す回路ブロック
図である。
FIG. 22 is a circuit block diagram showing a configuration of a conventional SRAM.

【図23】 図22に示したメモリセルの構成を示す回
路図である。
FIG. 23 is a circuit diagram showing a configuration of a memory cell shown in FIG. 22.

【図24】 従来のSRAMチップの要部を示す回路ブ
ロック図である。
FIG. 24 is a circuit block diagram showing a main part of a conventional SRAM chip.

【図25】 図24に示したSRAMチップの問題点を
説明するためのタイムチャートである。
FIG. 25 is a time chart for explaining a problem of the SRAM chip shown in FIG. 24;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,21,41,81 SRAMチップ、2,22,2
3 入力バッファ、3.1〜3.n,25.1〜25.
n プルダウン回路、L1〜Ln 電源配線、R1〜R
n 配線抵抗、C1〜Cn 配線容量、4〜6,35
NチャネルMOSトランジスタ、10〜14,16〜1
9,36 PチャネルMOSトランジスタ、15,3
4,37,45 インバータ、24,42 パルス発生
回路、32,33,43 ANDゲート、34,44
遅延回路、51〜54 ビット線負荷、55,56 イ
コライザ、57,58 列選択ゲート、59 行デコー
ダ、60 制御回路、61 列デコーダ、62 書込回
路、63 読出回路、MC1〜MC4 メモリセル、W
L1,WL2 ワード線、BL1,/BL1,BL2,
/BL2 ビット線、CSL1,CSL2 列選択線、
IO,/IO データ入出力線、71,72 負荷抵抗
素子、73,74 ドライバトランジスタ、75,76
アクセストランジスタ。
1,21,41,81 SRAM chip, 2,22,2
3. Input buffer, 3.1 to 3. n, 25.1-25.
n pull-down circuit, L1 to Ln power supply wiring, R1 to R
n wiring resistance, C1 to Cn wiring capacitance, 4 to 6, 35
N-channel MOS transistor, 10 to 14, 16 to 1
9,36 P-channel MOS transistor, 15,3
4, 37, 45 inverter, 24, 42 pulse generating circuit, 32, 33, 43 AND gate, 34, 44
Delay circuit, 51-54 bit line load, 55, 56 equalizer, 57, 58 column selection gate, 59 row decoder, 60 control circuit, 61 column decoder, 62 write circuit, 63 read circuit, MC1-MC4 memory cell, W
L1, WL2 word lines, BL1, / BL1, BL2
/ BL2 bit line, CSL1, CSL2 column select line,
IO, / IO data input / output lines, 71, 72 load resistance elements, 73, 74 driver transistors, 75, 76
Access transistor.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 データを正常に保持することが可能な予
め定められた最小の電源電圧を保証するためのテストモ
ードを有する半導体記憶装置であって、 その一方端に通常動作時は通常の電源電圧が与えられ前
記テストモード時は前記最小の電源電圧が与えられる電
源配線、 前記電源配線からの電源電圧によって駆動され、前記デ
ータを保持するメモリ回路、および前記テストモードの
実行を指示するためのテスト信号が与えられたことに応
じて前記電源配線の電圧を前記最小の電源電圧に降圧さ
せるためのプルダウン回路を備える、半導体記憶装置。
1. A semiconductor memory device having a test mode for guaranteeing a predetermined minimum power supply voltage capable of normally retaining data, wherein one end of the semiconductor memory device has a normal power supply during normal operation. A power supply line to which a voltage is applied and the minimum power supply voltage is applied in the test mode; a memory circuit driven by a power supply voltage from the power supply line to retain the data; and an instruction for executing the test mode. A semiconductor memory device, comprising: a pull-down circuit for lowering the voltage of the power supply wiring to the minimum power supply voltage in response to the application of a test signal.
【請求項2】 前記プルダウン回路は、 それぞれのしきい値電圧の和が前記最小の電源電圧に等
しい1または2以上のダイオード素子、および前記テス
ト信号が与えられたことに応じて、前記1または2以上
のダイオード素子を前記電源配線と基準電位のノードと
の間に直列接続する接続回路を含む、請求項1に記載の
半導体記憶装置。
2. The pull-down circuit according to claim 1, wherein one or two or more diode elements having a sum of respective threshold voltages equal to the minimum power supply voltage and the test signal supplied thereto. 2. The semiconductor memory device according to claim 1, further comprising a connection circuit for connecting two or more diode elements in series between said power supply wiring and a node of a reference potential.
【請求項3】 前記プルダウン回路は、 前記テスト信号が与えられたことに応じて予め定められ
たパルス幅のパルス信号を出力するパルス発生回路、お
よび前記電源配線と基準電位のノードとの間に接続さ
れ、前記パルス発生回路からのパルス信号に応答してパ
ルス的に導通するスイッチング素子を含む、請求項1に
記載の半導体記憶装置。
3. A pulse generation circuit for outputting a pulse signal having a predetermined pulse width in response to the application of the test signal, and a circuit between the power supply line and a node of a reference potential. 2. The semiconductor memory device according to claim 1, further comprising: a switching element connected to conduct in a pulsed manner in response to a pulse signal from said pulse generation circuit.
【請求項4】 前記半導体記憶装置はスタティック型半
導体記憶装置であり、 前記メモリ回路は、行列状に配列され、それぞれがデー
タを保持する複数のスタティック型メモリセルを含む、
請求項1から請求項3のいずれかに記載の半導体記憶装
置。
4. The semiconductor memory device is a static semiconductor memory device, wherein the memory circuit includes a plurality of static memory cells arranged in a matrix and each holding data.
The semiconductor memory device according to claim 1.
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