JP2001020093A - 電気泳動装置およびそれを利用して製造した電子放出素子および画像表示装置、並びにそれらの製造方法 - Google Patents
電気泳動装置およびそれを利用して製造した電子放出素子および画像表示装置、並びにそれらの製造方法Info
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- JP2001020093A JP2001020093A JP19559699A JP19559699A JP2001020093A JP 2001020093 A JP2001020093 A JP 2001020093A JP 19559699 A JP19559699 A JP 19559699A JP 19559699 A JP19559699 A JP 19559699A JP 2001020093 A JP2001020093 A JP 2001020093A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 少ないプロセス工程で低コストの電子放出素
子を容易に形成できる電気泳動装置を提供する。 【解決手段】 一対の対向する平行平板電極間に微粒子
を含む懸濁液をサンドイッチし、該電極間に電界を印加
して該微粒子を移動させる電気泳動装置に於て、該平行
平板電極の少なくともどちらか一方の表面に突部を形成
する。
子を容易に形成できる電気泳動装置を提供する。 【解決手段】 一対の対向する平行平板電極間に微粒子
を含む懸濁液をサンドイッチし、該電極間に電界を印加
して該微粒子を移動させる電気泳動装置に於て、該平行
平板電極の少なくともどちらか一方の表面に突部を形成
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、平板電極上に局所
的に微粒子（無機の微粒子および有機高分子など）を集
める電気泳動装置に関し、より具体的には、カーボンナ
ノチューブや炭素繊維などの微粒子を局所的に集めて冷
陰極部材を容易に構成する電気泳動装置に関する。更
に、本発明は、上記のような電気泳動装置を利用して構
成される電子放出素子や画像表示装置およびその製造方
法に関する。
的に微粒子（無機の微粒子および有機高分子など）を集
める電気泳動装置に関し、より具体的には、カーボンナ
ノチューブや炭素繊維などの微粒子を局所的に集めて冷
陰極部材を容易に構成する電気泳動装置に関する。更
に、本発明は、上記のような電気泳動装置を利用して構
成される電子放出素子や画像表示装置およびその製造方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】電気泳動法は高分子やコロイドを電界に
より移動させる手法で、混合物中から特定の物質を分離
・分析するために広く用いられている。この電気泳動法
の新しい応用として、カーボンナノチューブ９０１を紫
外線（ＵＶ）照射した有機ポリシラン膜９０２に電気泳
動によって突き刺し、基板９０３に対し鉛直方向にカー
ボンナノチューブ９０１を立てる手法が開発された（参
考文献：中山 他、Pan-Pacific Imaging Conference/J
apan Hardcopy'98予稿集 ページ313-316、日本画像学
会主催、1998年7月、東京）。その電気泳動装置の模式図
を図９に示す。
より移動させる手法で、混合物中から特定の物質を分離
・分析するために広く用いられている。この電気泳動法
の新しい応用として、カーボンナノチューブ９０１を紫
外線（ＵＶ）照射した有機ポリシラン膜９０２に電気泳
動によって突き刺し、基板９０３に対し鉛直方向にカー
ボンナノチューブ９０１を立てる手法が開発された（参
考文献：中山 他、Pan-Pacific Imaging Conference/J
apan Hardcopy'98予稿集 ページ313-316、日本画像学
会主催、1998年7月、東京）。その電気泳動装置の模式図
を図９に示す。
【０００３】この泳動装置は、アルコール中にカーボン
ナノチューブ９０１を分散させた液体を泳動容器９０４
内に注入し、基板９０３に対向した平板電極９０５と基
板９０３上に形成したパターニングされた導電層９０６
との間に外部電源９０７によって電界を印加し、カーボ
ンナノチューブ９０１を泳動させるものである。この手
法の特長は、紫外線照射された有機ポリシラン膜９０２
にのみカーボンナノチューブ９０１が刺さり、照射され
ていない有機ポリシラン膜９０８にはカーボンナノチュ
ーブ９０１は刺さらないという点である。つまり、電気
泳動する前に導電層９０６上の有機ポリシラン膜９０２
のみに紫外線照射しておけば、この部分の有機ポリシラ
ン膜のSi-Si結合が切断され膜がポーラスになり、この
部分にカーボンナノチューブ９０１を選択的に突き刺す
ことができるというものである。
ナノチューブ９０１を分散させた液体を泳動容器９０４
内に注入し、基板９０３に対向した平板電極９０５と基
板９０３上に形成したパターニングされた導電層９０６
との間に外部電源９０７によって電界を印加し、カーボ
ンナノチューブ９０１を泳動させるものである。この手
法の特長は、紫外線照射された有機ポリシラン膜９０２
にのみカーボンナノチューブ９０１が刺さり、照射され
ていない有機ポリシラン膜９０８にはカーボンナノチュ
ーブ９０１は刺さらないという点である。つまり、電気
泳動する前に導電層９０６上の有機ポリシラン膜９０２
のみに紫外線照射しておけば、この部分の有機ポリシラ
ン膜のSi-Si結合が切断され膜がポーラスになり、この
部分にカーボンナノチューブ９０１を選択的に突き刺す
ことができるというものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の電
気泳動装置では、有機ポリシランを使用しなければなら
ない点で材料的制約がある。例えば電子放出素子を形成
する場合、真空容器を形成する際に４００〜５００℃の
温度プロセスを経るが、有機ポリシランは３００℃で分
解してしまうため使用できない。また、有機ポリシラン
は導電性が低く導電薄膜９０６とカーボンナノチューブ
との電気的接続を阻害してしまい、カーボンナノチュー
ブからの電子放出がしにくく、素子の動作電圧が高くな
ってしまうという問題もある。
気泳動装置では、有機ポリシランを使用しなければなら
ない点で材料的制約がある。例えば電子放出素子を形成
する場合、真空容器を形成する際に４００〜５００℃の
温度プロセスを経るが、有機ポリシランは３００℃で分
解してしまうため使用できない。また、有機ポリシラン
は導電性が低く導電薄膜９０６とカーボンナノチューブ
との電気的接続を阻害してしまい、カーボンナノチュー
ブからの電子放出がしにくく、素子の動作電圧が高くな
ってしまうという問題もある。
【０００５】工程的には、カーボンナノチューブを突き
刺したくない部分をマスクして、紫外線を照射する工程
が必要とされる。
刺したくない部分をマスクして、紫外線を照射する工程
が必要とされる。
【０００６】本発明は、上記の課題を解決するためにな
されたものであって、その目的は、材料的な制約が無い
とともに紫外線照射の余計な工程も無く、微粒子を任意
のところに容易に集めることのできる電気泳動装置を提
供することであり、特に２次元アレイ状に冷陰極部材を
配設した電子放出素子および画像表示装置を生産性に優
れる製造方法にて実現できる電気泳動装置、およびその
電気泳動装置を用いた電子放出素子および画像表示装置
の製造方法、並びに低コストの電子放出素子および画像
表示装置を提供することである。
されたものであって、その目的は、材料的な制約が無い
とともに紫外線照射の余計な工程も無く、微粒子を任意
のところに容易に集めることのできる電気泳動装置を提
供することであり、特に２次元アレイ状に冷陰極部材を
配設した電子放出素子および画像表示装置を生産性に優
れる製造方法にて実現できる電気泳動装置、およびその
電気泳動装置を用いた電子放出素子および画像表示装置
の製造方法、並びに低コストの電子放出素子および画像
表示装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達するため、
本願第１の発明の電気泳動装置は、一対の対向する平行
平板電極間に微粒子を含む懸濁液をサンドイッチし、前
記電極間に電界を印加して前記微粒子を移動させる電気
泳動装置に於て、前記平行平板電極の少なくともどちら
か一方の表面に突部が形成されていることを特徴とす
る。
本願第１の発明の電気泳動装置は、一対の対向する平行
平板電極間に微粒子を含む懸濁液をサンドイッチし、前
記電極間に電界を印加して前記微粒子を移動させる電気
泳動装置に於て、前記平行平板電極の少なくともどちら
か一方の表面に突部が形成されていることを特徴とす
る。
【０００８】また、上記構成において、突部が複数であ
ることが好ましい。
ることが好ましい。
【０００９】また、上記目的を達するため、本願第２の
発明の電気泳動装置は、一対の対向する平行平板電極間
に微粒子を含む懸濁液をサンドイッチし、前記電極間に
電界を印加して前記微粒子を移動させる電気泳動装置に
於て、平行平板電極のうち少なくともどちらか一方が時
間経過ともに前記平行平板の面内方向に移動することを
特徴とする。
発明の電気泳動装置は、一対の対向する平行平板電極間
に微粒子を含む懸濁液をサンドイッチし、前記電極間に
電界を印加して前記微粒子を移動させる電気泳動装置に
於て、平行平板電極のうち少なくともどちらか一方が時
間経過ともに前記平行平板の面内方向に移動することを
特徴とする。
【００１０】また、上記構成において、平行平板電極の
うち少なくともどちらかの表面に突部が形成されている
ことが好ましい。
うち少なくともどちらかの表面に突部が形成されている
ことが好ましい。
【００１１】また、上記構成において、突部の先端が平
になっていることが好ましい。
になっていることが好ましい。
【００１２】また、上記構成において、突部の高さが平
行平板電極間の距離の０．１倍以上０．９倍以下の範囲
であることが好ましい。
行平板電極間の距離の０．１倍以上０．９倍以下の範囲
であることが好ましい。
【００１３】また、上記構成において、平行平板間の距
離が０．２ｍｍ以上５０ｍｍ以下であることが好まし
い。
離が０．２ｍｍ以上５０ｍｍ以下であることが好まし
い。
【００１４】また、上記構成において、平行平板電極の
うち少なくともどちらか一方が絶縁性支持部材上に形成
されていることが好ましい。
うち少なくともどちらか一方が絶縁性支持部材上に形成
されていることが好ましい。
【００１５】また、上記構成において、平行平板間に印
加する電界強度が、５×１０3Ｖ/ｃｍ以上２×１０4Ｖ/
ｃｍ以下であることが好ましい。
加する電界強度が、５×１０3Ｖ/ｃｍ以上２×１０4Ｖ/
ｃｍ以下であることが好ましい。
【００１６】また、上記構成において、平行平板電極が
それぞれ硬度の異なる材料で構成されていることが好ま
しい。
それぞれ硬度の異なる材料で構成されていることが好ま
しい。
【００１７】また、上記構成において、微粒子が少なく
とも炭素を主成分とすることを特徴とすることが好まし
い。
とも炭素を主成分とすることを特徴とすることが好まし
い。
【００１８】また、上記構成において、微粒子が黒鉛を
含むことが好ましい。
含むことが好ましい。
【００１９】また、上記構成において、微粒子がカーボ
ンナノチューブを含むことが好ましい。
ンナノチューブを含むことが好ましい。
【００２０】また、上記構成において、微粒子が炭素繊
維を含むことが好ましい。
維を含むことが好ましい。
【００２１】また、上記構成において、微粒子がダイヤ
モンド粒を含むことが好ましい。
モンド粒を含むことが好ましい。
【００２２】また、上記構成において、微粒子が炭素、
シリコン、ホウ素、窒素、酸素などの原子が符合したナ
ノチューブであることが好ましい。
シリコン、ホウ素、窒素、酸素などの原子が符合したナ
ノチューブであることが好ましい。
【００２３】また、上記構成において、平行平板電極の
少なくともどちらか一方の表面に高分子膜が形成されて
いることが好ましい。
少なくともどちらか一方の表面に高分子膜が形成されて
いることが好ましい。
【００２４】また、上記構成において、高分子膜が紫外
線を照射したシリコンポリマー膜であることが好まし
い。
線を照射したシリコンポリマー膜であることが好まし
い。
【００２５】また、上記構成において、懸濁液が低級ア
ルコール、酢酸エステルおよび酢酸３メチルブチルの中
から１種類選択された溶媒あるいはそれらの混合したも
のからなる溶媒に微粒子を分散させたものであることが
好ましい。
ルコール、酢酸エステルおよび酢酸３メチルブチルの中
から１種類選択された溶媒あるいはそれらの混合したも
のからなる溶媒に微粒子を分散させたものであることが
好ましい。
【００２６】また、上記構成において、低級アルコール
に対する酢酸エステルあるいは酢酸３メチルブチルの混
合の割合が体積比０．０１％以上３０％以下であること
が好ましい。
に対する酢酸エステルあるいは酢酸３メチルブチルの混
合の割合が体積比０．０１％以上３０％以下であること
が好ましい。
【００２７】また、上記構成において、懸濁液が溶媒１
０ｃｃに対し０．５ｍｇ以上４０ｍｇ以下の割合で微粒
子を分散させて調整されていることが好ましい。
０ｃｃに対し０．５ｍｇ以上４０ｍｇ以下の割合で微粒
子を分散させて調整されていることが好ましい。
【００２８】本発明の更に他の局面によれば、本願第３
の発明である電子放出素子の形成方法は、平行平板電極
のどちらか一方の電極に微粒子が寄せ集められて構成さ
れる冷陰極部材を上記に説明したような特徴を有する電
気泳動装置を用いて形成することを特徴とする。
の発明である電子放出素子の形成方法は、平行平板電極
のどちらか一方の電極に微粒子が寄せ集められて構成さ
れる冷陰極部材を上記に説明したような特徴を有する電
気泳動装置を用いて形成することを特徴とする。
【００２９】本発明の更に他の局面によれば、本願第４
の発明である電子放出素子は、平行平板電極のどちらか
一方の電極に微粒子が寄せ集められて構成される冷陰極
部材を上記に説明した方法に従って形成したことを特徴
とする。
の発明である電子放出素子は、平行平板電極のどちらか
一方の電極に微粒子が寄せ集められて構成される冷陰極
部材を上記に説明した方法に従って形成したことを特徴
とする。
【００３０】また、上記構成に於て、冷陰極部材を構成
する微粒子の一部分が、冷陰極部材と接する平板電極に
めり込んでいることが好ましい。
する微粒子の一部分が、冷陰極部材と接する平板電極に
めり込んでいることが好ましい。
【００３１】また、上記構成に於て、冷陰極部材が、球
面状に微粒子が集まって構成されていることが好まし
い。
面状に微粒子が集まって構成されていることが好まし
い。
【００３２】また、上記構成に於て、冷陰極部材と接す
る平板電極に突部が形成され、突部の先端部分に冷陰極
部材が形成されていることが好ましい。
る平板電極に突部が形成され、突部の先端部分に冷陰極
部材が形成されていることが好ましい。
【００３３】また、上記構成に於て、冷陰極部材と接す
る平板電極と平行に第１の導電性電極が配置され、平板
電極と第１の導電性電極の間に第２の導電性電極を配置
することが好ましい。
る平板電極と平行に第１の導電性電極が配置され、平板
電極と第１の導電性電極の間に第２の導電性電極を配置
することが好ましい。
【００３４】本発明の更に他の局面によれば、本願第５
の発明である画像表示装置の製造方法は、電子放出素子
を構成する工程と、該電子放出素子から放出された電子
が照射されて画像を形成する画像形成部材と、該電子放
出素子に対して所定の位置関係で配置する工程とを包含
し、該電子放出素子を上記に説明したような特徴を有す
る電子放出素子の製造方法に従って構成することを特徴
とする。
の発明である画像表示装置の製造方法は、電子放出素子
を構成する工程と、該電子放出素子から放出された電子
が照射されて画像を形成する画像形成部材と、該電子放
出素子に対して所定の位置関係で配置する工程とを包含
し、該電子放出素子を上記に説明したような特徴を有す
る電子放出素子の製造方法に従って構成することを特徴
とする。
【００３５】本発明の更に他の局面によれば、本願第６
の発明である画像表示装置は、電子放出素子と、該電子
放出素子から放出された電子が照射されて画像を形成す
る画像形成部材を包含する画像表示装置であって、該電
子放出素子を上記に説明したような方法に従って構成す
ることを特徴とする。
の発明である画像表示装置は、電子放出素子と、該電子
放出素子から放出された電子が照射されて画像を形成す
る画像形成部材を包含する画像表示装置であって、該電
子放出素子を上記に説明したような方法に従って構成す
ることを特徴とする。
【００３６】また、上記構成に於て、冷陰極部材を構成
する微粒子の一部分が、冷陰極部材と接する平板電極に
めり込んでいることが好ましい。
する微粒子の一部分が、冷陰極部材と接する平板電極に
めり込んでいることが好ましい。
【００３７】また、上記構成に於て、冷陰極部材と接す
る平板電極と平行に第１の導電性電極が配置され、平板
電極と第１の導電性電極の間に第２の導電性電極を配置
することが好ましい。
る平板電極と平行に第１の導電性電極が配置され、平板
電極と第１の導電性電極の間に第２の導電性電極を配置
することが好ましい。
【００３８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。なお、以下の実施形態の説明では、フラット
パネルディスプレイへの適用を例にとって本発明を説明
するが、本発明の適用はそれに限られるものではなく、
陰極線管、ランプ、電子銃など、電子源（電子エミッ
タ）を必要とする様々なアプリケーションに適用可能で
ある。
説明する。なお、以下の実施形態の説明では、フラット
パネルディスプレイへの適用を例にとって本発明を説明
するが、本発明の適用はそれに限られるものではなく、
陰極線管、ランプ、電子銃など、電子源（電子エミッ
タ）を必要とする様々なアプリケーションに適用可能で
ある。
【００３９】（実施の形態１）図１は、本発明に係わる
電気泳動装置１０００の概略構成図である。図１に示す
ように電気泳動容器１０１内に突部１０２を設けた平板
電極１０３および真空蒸着法あるいはスパッタ法により
Ａｌ電極１０４を０．１〜１μｍ厚で形成したガラス基
板１０５を１ｍｍの間隔で平行に配置した。但し、この
間隔はＡｌ電極１０４表面と平板電極１０３の突部の無
いＡｌ電極１０４側表面との距離とした。また、突部１
０２の形状は円錘の頂部を水平に切り取った形であり
(図１は断面が描かれている)、その高さは０．５ｍｍと
した。
電気泳動装置１０００の概略構成図である。図１に示す
ように電気泳動容器１０１内に突部１０２を設けた平板
電極１０３および真空蒸着法あるいはスパッタ法により
Ａｌ電極１０４を０．１〜１μｍ厚で形成したガラス基
板１０５を１ｍｍの間隔で平行に配置した。但し、この
間隔はＡｌ電極１０４表面と平板電極１０３の突部の無
いＡｌ電極１０４側表面との距離とした。また、突部１
０２の形状は円錘の頂部を水平に切り取った形であり
(図１は断面が描かれている)、その高さは０．５ｍｍと
した。
【００４０】次に、エチルアルコール１０ｃｃに対して
カーボンナノチューブ０．１〜１００ｍｇの割合で混合
した液に超音波（２５ｋＨｚ〜１ＭＨｚ）を伝搬させ
て、液中にほぼ均一にカーボンナノチューブ１０６を分
散させた懸濁液１０７を注入し、直流電源１０８によっ
て２５０Ｖの電圧を電極１０３とＡｌ電極１０４間に２
秒間印加した。この時の突部１０２先端と電極１０４間
の電界強度は７×１０3Ｖ／ｃｍである。電気泳動の
際、エチルアルコール１０ｃｃに対してカーボンナノチ
ューブの加える量を５０ｍｇ以上にするとブレークダウ
ンしやすく好ましくないことが判明した。そこで、今後
はエチルアルコール１０ｃｃに対してカーボンナノチュ
ーブの加える量を４０ｍｇ以下とした。
カーボンナノチューブ０．１〜１００ｍｇの割合で混合
した液に超音波（２５ｋＨｚ〜１ＭＨｚ）を伝搬させ
て、液中にほぼ均一にカーボンナノチューブ１０６を分
散させた懸濁液１０７を注入し、直流電源１０８によっ
て２５０Ｖの電圧を電極１０３とＡｌ電極１０４間に２
秒間印加した。この時の突部１０２先端と電極１０４間
の電界強度は７×１０3Ｖ／ｃｍである。電気泳動の
際、エチルアルコール１０ｃｃに対してカーボンナノチ
ューブの加える量を５０ｍｇ以上にするとブレークダウ
ンしやすく好ましくないことが判明した。そこで、今後
はエチルアルコール１０ｃｃに対してカーボンナノチュ
ーブの加える量を４０ｍｇ以下とした。
【００４１】その結果、突部１０２と向かい合うＡｌ電
極１０４上にカーボンナノチューブ１０６が円形（直
径：概ね０．１５ｍｍ）に球面を形成するように密集し
て基板１０５に対してある角度（１０度〜９０度）でも
って重なり合い付着していることが走査電子顕微鏡（Ｓ
ＥＭ）にて確かめることができた。また、カーボンナノ
チューブ１０６の一部がＡｌ電極１０４にめり込んでい
ることが判明した。これは、電界強度の高い領域にカー
ボンナノチューブ１０６が瞬時に寄せ集められ、電界で
加速され電極１０４表面に衝突固着したためと考えられ
る。また、ＳＥＭ観察によってこの時のカーボンナノチ
ューブ１０６の固着領域の高さは、２μｍ〜２００μｍ
の範囲であることが確認できた。但し、エチルアルコー
ル１０ｃｃに対してカーボンナノチューブの加える量を
０．３ｍｇ以下した時はカーボンナノチューブの密度が
小さく好ましくないことが判明した。そこで、今後はエ
チルアルコール１０ｃｃに対してカーボンナノチューブ
の加える量を０．５ｍｇ以上４０ｍｇ以下とした。
極１０４上にカーボンナノチューブ１０６が円形（直
径：概ね０．１５ｍｍ）に球面を形成するように密集し
て基板１０５に対してある角度（１０度〜９０度）でも
って重なり合い付着していることが走査電子顕微鏡（Ｓ
ＥＭ）にて確かめることができた。また、カーボンナノ
チューブ１０６の一部がＡｌ電極１０４にめり込んでい
ることが判明した。これは、電界強度の高い領域にカー
ボンナノチューブ１０６が瞬時に寄せ集められ、電界で
加速され電極１０４表面に衝突固着したためと考えられ
る。また、ＳＥＭ観察によってこの時のカーボンナノチ
ューブ１０６の固着領域の高さは、２μｍ〜２００μｍ
の範囲であることが確認できた。但し、エチルアルコー
ル１０ｃｃに対してカーボンナノチューブの加える量を
０．３ｍｇ以下した時はカーボンナノチューブの密度が
小さく好ましくないことが判明した。そこで、今後はエ
チルアルコール１０ｃｃに対してカーボンナノチューブ
の加える量を０．５ｍｇ以上４０ｍｇ以下とした。
【００４２】続いて、カーボンナノチューブを選択的に
付着させたガラス基板１０５を泳動容器１０１より取り
出し、Ａｌ電極１０４表面に残る懸濁液１０７を洗い流
し乾燥した後、図２に示すようにこの基板を陰極２００
とし、対向側にはガラス基板２０１上にＩＴＯまたはＳ
ｎＯ2等からなる透明電極２０２および蛍光体薄膜２０
３からなる陽極２５０を配置して（陰極２００−陽極２
５０間距離は０．５ｍｍ）電子放出型発光装置２０００
を構成した（但し、蛍光体薄膜２０３上にはチャージア
ップを防ぐために０．１〜０．２μｍ厚のＡｌ膜をコー
トしてもよい）。これらの基板間を真空状態にして直流
電源２０４を使って陰極−陽極間に電圧を印加した。そ
の結果、約５００Ｖの電圧印加時に、蛍光体薄膜２０３
が円形で面状に発光し、Ａｌ電極１０４表面に固着した
カーボンナノチューブからの電子放出を観測でき、上記
のように電気泳動にて固着させたカーボンナノチューブ
が冷陰極部材２０５として機能することが確認できた。
このように本発明は、カーボンナノチューブを基板１０
５に対し垂直ではないが、ある角度でＡｌ電極１０４上
に立たせることができ、良好な電子放出が可能となる。
また、本発明は微粒子を集めて固着したいところに電界
を局部的に高め、従来例に対しポリシランの塗布および
マスク合わせと紫外線（ＵＶ）照射等の工程を必要とせ
ず、少ないプロセス工程で微粒子の固着を簡単に行える
電気泳動装置を提供するものである。さらに、本発明
は、耐熱性の乏しいポリシランを使わず直接Ａｌ電極１
０４に微粒子を固着するので、真空容器を形成する４０
０〜５００℃の温度プロセスを経ても問題無い。
付着させたガラス基板１０５を泳動容器１０１より取り
出し、Ａｌ電極１０４表面に残る懸濁液１０７を洗い流
し乾燥した後、図２に示すようにこの基板を陰極２００
とし、対向側にはガラス基板２０１上にＩＴＯまたはＳ
ｎＯ2等からなる透明電極２０２および蛍光体薄膜２０
３からなる陽極２５０を配置して（陰極２００−陽極２
５０間距離は０．５ｍｍ）電子放出型発光装置２０００
を構成した（但し、蛍光体薄膜２０３上にはチャージア
ップを防ぐために０．１〜０．２μｍ厚のＡｌ膜をコー
トしてもよい）。これらの基板間を真空状態にして直流
電源２０４を使って陰極−陽極間に電圧を印加した。そ
の結果、約５００Ｖの電圧印加時に、蛍光体薄膜２０３
が円形で面状に発光し、Ａｌ電極１０４表面に固着した
カーボンナノチューブからの電子放出を観測でき、上記
のように電気泳動にて固着させたカーボンナノチューブ
が冷陰極部材２０５として機能することが確認できた。
このように本発明は、カーボンナノチューブを基板１０
５に対し垂直ではないが、ある角度でＡｌ電極１０４上
に立たせることができ、良好な電子放出が可能となる。
また、本発明は微粒子を集めて固着したいところに電界
を局部的に高め、従来例に対しポリシランの塗布および
マスク合わせと紫外線（ＵＶ）照射等の工程を必要とせ
ず、少ないプロセス工程で微粒子の固着を簡単に行える
電気泳動装置を提供するものである。さらに、本発明
は、耐熱性の乏しいポリシランを使わず直接Ａｌ電極１
０４に微粒子を固着するので、真空容器を形成する４０
０〜５００℃の温度プロセスを経ても問題無い。
【００４３】（実施の形態２）図３は、本発明に係わる
電気泳動装置３０００の概略構成図である。図３は、図
１において平板電極１０３にあった突部１０２をＡｌ電
極１０４側に設けて突部３０１としたものである。突部
３０１の形状は実施の形態１と同じで、材質のみＡｌに
変更した。実施の形態１と同様に平板電極１０３とガラ
ス基板１０５を０．５ｍｍの間隔で平行に配置し、カー
ボンナノチューブの懸濁液１０７を注入して電気泳動を
実施した。
電気泳動装置３０００の概略構成図である。図３は、図
１において平板電極１０３にあった突部１０２をＡｌ電
極１０４側に設けて突部３０１としたものである。突部
３０１の形状は実施の形態１と同じで、材質のみＡｌに
変更した。実施の形態１と同様に平板電極１０３とガラ
ス基板１０５を０．５ｍｍの間隔で平行に配置し、カー
ボンナノチューブの懸濁液１０７を注入して電気泳動を
実施した。
【００４４】その結果、突部３０１上にカーボンナノチ
ューブ１０６が選択的に球面状に密集して付着している
ことがＳＥＭにて確かめることができた。
ューブ１０６が選択的に球面状に密集して付着している
ことがＳＥＭにて確かめることができた。
【００４５】続いて、実施の形態１と同様に本実施形態
の素子の電子放出特性を調べたところ、実施の形態１に
おける素子２００と同じ結果を得た。
の素子の電子放出特性を調べたところ、実施の形態１に
おける素子２００と同じ結果を得た。
【００４６】（実施の形態３）実施の形態１において突
部１０２の形状を図４（ａ）に示すような円錐形のもの
を使用して電子放出素子を作製し、その電子放出特性を
調べた。その結果、カーボンナノチューブの冷陰極部材
２０５の面積が半減した分、蛍光体２０３の発光面積も
半減したが、発光開始電圧は３５０Ｖと小さかった。ま
た、発光開始電圧が低くなった原因を調べるためにＡｌ
電極１０４上のカーボンナノチューブ１０６をＳＥＭに
て観察したところ、カーボンナノチューブが基板１０５
に対して実施の形態１に比べてより高い角度（３０度〜
９０度）でもって重なり合い付着していることが確認で
きた。これより、先の尖った突部１０２を使用すること
により冷陰極部材２０５の面積は小さくなるが、カーボ
ンナノチューブが基板１０５に対して立つため低い電圧
でも電子放出の開始されることが判明した。
部１０２の形状を図４（ａ）に示すような円錐形のもの
を使用して電子放出素子を作製し、その電子放出特性を
調べた。その結果、カーボンナノチューブの冷陰極部材
２０５の面積が半減した分、蛍光体２０３の発光面積も
半減したが、発光開始電圧は３５０Ｖと小さかった。ま
た、発光開始電圧が低くなった原因を調べるためにＡｌ
電極１０４上のカーボンナノチューブ１０６をＳＥＭに
て観察したところ、カーボンナノチューブが基板１０５
に対して実施の形態１に比べてより高い角度（３０度〜
９０度）でもって重なり合い付着していることが確認で
きた。これより、先の尖った突部１０２を使用すること
により冷陰極部材２０５の面積は小さくなるが、カーボ
ンナノチューブが基板１０５に対して立つため低い電圧
でも電子放出の開始されることが判明した。
【００４７】またこれとは別に実施の形態２と同様にし
て、図４（ａ）に示す突部をＡｌ電極１０４側に設けた
電子放出素子を作製し評価したところ、上記と同じ結果
を得た。
て、図４（ａ）に示す突部をＡｌ電極１０４側に設けた
電子放出素子を作製し評価したところ、上記と同じ結果
を得た。
【００４８】突部１０２，３０１の形状は、上記の円錐
の他に三角錘や四角錘などの角錘、あるいは図４（ｅ）
に示すような半球を使用しても同様の効果を得た。
の他に三角錘や四角錘などの角錘、あるいは図４（ｅ）
に示すような半球を使用しても同様の効果を得た。
【００４９】また、図４（ｂ）に示すような円柱、図４
（ｃ）に示すような四角錘の先を除去して先端部分を平
にしたもの（図示していないが三角錘や他の角錘の先を
除去したものも同様）、図４（ｄ）に示すような四角柱
（図示していないが三角柱や他の角柱の場合も同様）を
突部１０２，３０１に使用した場合は、発光パターンは
突部の形状に応じて変わるが電子放出特性は実施の形態
１と同様な結果を得た。
（ｃ）に示すような四角錘の先を除去して先端部分を平
にしたもの（図示していないが三角錘や他の角錘の先を
除去したものも同様）、図４（ｄ）に示すような四角柱
（図示していないが三角柱や他の角柱の場合も同様）を
突部１０２，３０１に使用した場合は、発光パターンは
突部の形状に応じて変わるが電子放出特性は実施の形態
１と同様な結果を得た。
【００５０】（実施の形態４）実施の形態１〜３におい
てカーボンナノチューブの代わりに直径０．１μｍ〜１
０μｍ、長さ１μｍ〜１００μｍのカーボンファイバー
を使用して電子放出素子を作製し評価したところ、カー
ボンナノチューブの場合と同じ電子放出特性を得た。
てカーボンナノチューブの代わりに直径０．１μｍ〜１
０μｍ、長さ１μｍ〜１００μｍのカーボンファイバー
を使用して電子放出素子を作製し評価したところ、カー
ボンナノチューブの場合と同じ電子放出特性を得た。
【００５１】（実施の形態５）実施の形態１〜３におい
てカーボンナノチューブの代わりに粒径５μｍ〜１００
μｍのグラファイト（黒鉛）粒子を使用して電子放出素
子を作製し評価したところ、カーボンナノチューブの場
合と同じ電子放出特性を得た。
てカーボンナノチューブの代わりに粒径５μｍ〜１００
μｍのグラファイト（黒鉛）粒子を使用して電子放出素
子を作製し評価したところ、カーボンナノチューブの場
合と同じ電子放出特性を得た。
【００５２】（実施の形態６）実施の形態１〜３におい
てカーボンナノチューブの代わりに粒径５μｍ〜１００
μｍのダイヤモンド粒子を使用して電子放出素子を作製
し評価したところ、カーボンナノチューブの場合と同じ
電子放出特性を得た。
てカーボンナノチューブの代わりに粒径５μｍ〜１００
μｍのダイヤモンド粒子を使用して電子放出素子を作製
し評価したところ、カーボンナノチューブの場合と同じ
電子放出特性を得た。
【００５３】（実施の形態７）図５は、本発明に係わる
電気泳動装置５０００の概略構成図である。図５の平板
電極５０１は、突部１０２を２次元アレイ状に１１００
ｘ２０００個配列したものであり、図５ではその一部を
示している。また、Ａｌ電極１０４は、真空蒸着あるい
はスパッタにより形成する際に適切なパターンのマスク
を使用するかフォトリソグラフ技術によって２０００本
の互いに電気的に絶縁された矩形の電極パターンとして
形成した。この電気泳動装置を用いて実施の形態１と同
様に電気泳動したところカーボンナノチューブの集合体
５０２が突部１０２の配列に１対１対応してＡｌ電極１
０４上に固着していた。しかも、カーボンナノチューブ
の一部はＡｌ電極１０４にめり込んでいた。但し、泳動
の際は図５に示すように個々のＡｌ電極１０４は電気的
に接続された状態とし、一括でＡｌ電極１０４上にカー
ボンナノチューブ１０６が固着するようにした。
電気泳動装置５０００の概略構成図である。図５の平板
電極５０１は、突部１０２を２次元アレイ状に１１００
ｘ２０００個配列したものであり、図５ではその一部を
示している。また、Ａｌ電極１０４は、真空蒸着あるい
はスパッタにより形成する際に適切なパターンのマスク
を使用するかフォトリソグラフ技術によって２０００本
の互いに電気的に絶縁された矩形の電極パターンとして
形成した。この電気泳動装置を用いて実施の形態１と同
様に電気泳動したところカーボンナノチューブの集合体
５０２が突部１０２の配列に１対１対応してＡｌ電極１
０４上に固着していた。しかも、カーボンナノチューブ
の一部はＡｌ電極１０４にめり込んでいた。但し、泳動
の際は図５に示すように個々のＡｌ電極１０４は電気的
に接続された状態とし、一括でＡｌ電極１０４上にカー
ボンナノチューブ１０６が固着するようにした。
【００５４】このようにして作製した電子放出素子アレ
イにおける個々のカーボンナノチューブ集合体５０２の
電子放出特性を実施の形態１と同様に評価したところ、
素子２０００と同じ結果を得た。続いて、真空蒸着また
はスパッタにて透明電極２０２を形成する際Ａｌ電極１
０４とは直交する方向に所定のパターンのマスクを使用
するかフォトリソグラフ技術によって１１００本の電気
的に絶縁された矩形の電極パターンとして形成した陽極
２５０に置き換えることによって電子放出型画像表示装
置を構成した。Ａｌ電極１０４と透明電極２０２との間
に線順次に直流電圧を印加したところ、蛍光体層２０３
からの発光はモノクロ画像を表示した。カラー画像を表
示する場合は、蛍光体薄膜２０３として１つ１つのカー
ボンナノチューブ集合体５０２に対応してＲ，Ｇ，Ｂを
発色する蛍光体を配置させたものを使用すれば良い。
イにおける個々のカーボンナノチューブ集合体５０２の
電子放出特性を実施の形態１と同様に評価したところ、
素子２０００と同じ結果を得た。続いて、真空蒸着また
はスパッタにて透明電極２０２を形成する際Ａｌ電極１
０４とは直交する方向に所定のパターンのマスクを使用
するかフォトリソグラフ技術によって１１００本の電気
的に絶縁された矩形の電極パターンとして形成した陽極
２５０に置き換えることによって電子放出型画像表示装
置を構成した。Ａｌ電極１０４と透明電極２０２との間
に線順次に直流電圧を印加したところ、蛍光体層２０３
からの発光はモノクロ画像を表示した。カラー画像を表
示する場合は、蛍光体薄膜２０３として１つ１つのカー
ボンナノチューブ集合体５０２に対応してＲ，Ｇ，Ｂを
発色する蛍光体を配置させたものを使用すれば良い。
【００５５】また、２次元アレイ状に配列した突部を図
３のようにＡｌ電極側に形成した場合についても実施し
た。この時、２０００本の電気的に絶縁された矩形の電
極パターンとして形成したＡｌ電極１０４上に突部３０
１を２次元アレイ状に配列した。上記と同様にして電気
泳動を行ったところ、個々の突部３０１の先にカーボン
ナノチューブが付着し、個々のカーボンナノチューブか
らの電子放出特性は実施の形態２と同じ結果を得た。続
いて、上記と同様に１１００本の電気的に絶縁された矩
形の透明電極２０２パターンを形成した陽極２５０を用
いて電子放出型画像表示装置を構成し、Ａｌ電極１０４
と透明電極２０２との間に線順次に直流電圧を印加した
ところ、蛍光体層２０３からの発光はモノクロ画像を表
示した。
３のようにＡｌ電極側に形成した場合についても実施し
た。この時、２０００本の電気的に絶縁された矩形の電
極パターンとして形成したＡｌ電極１０４上に突部３０
１を２次元アレイ状に配列した。上記と同様にして電気
泳動を行ったところ、個々の突部３０１の先にカーボン
ナノチューブが付着し、個々のカーボンナノチューブか
らの電子放出特性は実施の形態２と同じ結果を得た。続
いて、上記と同様に１１００本の電気的に絶縁された矩
形の透明電極２０２パターンを形成した陽極２５０を用
いて電子放出型画像表示装置を構成し、Ａｌ電極１０４
と透明電極２０２との間に線順次に直流電圧を印加した
ところ、蛍光体層２０３からの発光はモノクロ画像を表
示した。
【００５６】（実施の形態８）図６は、本発明に係わる
電気泳動装置６０００の概略構成図である。図６の平板
電極６０１は、Ａｌ電極１０４上にカーボンナノチュー
ブ１０６を固着したい領域とほぼ等しい大きさを有する
もので、Ａｌ電極上１０４に一箇所ずつカーボンナノチ
ューブ１０６を泳動固着しては平板電極６０１面内方向
において前後左右に移動し、２次元アレイ状にカーボン
ナノチューブの塊６０２配列するものである。この装置
の特徴は任意のカーボンナノチューブの配列を容易にで
きることである。
電気泳動装置６０００の概略構成図である。図６の平板
電極６０１は、Ａｌ電極１０４上にカーボンナノチュー
ブ１０６を固着したい領域とほぼ等しい大きさを有する
もので、Ａｌ電極上１０４に一箇所ずつカーボンナノチ
ューブ１０６を泳動固着しては平板電極６０１面内方向
において前後左右に移動し、２次元アレイ状にカーボン
ナノチューブの塊６０２配列するものである。この装置
の特徴は任意のカーボンナノチューブの配列を容易にで
きることである。
【００５７】Ａｌ電極１０４は、実施の形態７と同様に
して２０００本の互いに電気的に絶縁された矩形の電極
パターンとして形成した。平板電極６０１とＡｌ電極１
０４間との距離を０．２〜１ｍｍとし、電界強度５×１
０3〜２×１０4Ｖ／ｃｍの電圧を印加して２秒間電気泳
動を行った。その結果、カーボンナノチューブの集合体
６０２が平板電極６０２と向かい合ったＡｌ電極１０４
上の平板電極６０１と重なり合う部分にのみ形成されて
いた。しかも、カーボンナノチューブの一部はＡｌ電極
１０４にめり込んでいた。但し、泳動の際は図６に示す
ように平行電極６０１と向かい合うＡｌ電極１０４のみ
電源１０８と接続された状態とした。平板電極６０１を
前後左右にガラス基板１０５と平行に移動させながら、
実施の形態７と同様にカーボンナノチューブの集合体６
０２を２次元アレイ状に１１００ｘ２０００個配列させ
た。図６では途中工程での一部分を示している。
して２０００本の互いに電気的に絶縁された矩形の電極
パターンとして形成した。平板電極６０１とＡｌ電極１
０４間との距離を０．２〜１ｍｍとし、電界強度５×１
０3〜２×１０4Ｖ／ｃｍの電圧を印加して２秒間電気泳
動を行った。その結果、カーボンナノチューブの集合体
６０２が平板電極６０２と向かい合ったＡｌ電極１０４
上の平板電極６０１と重なり合う部分にのみ形成されて
いた。しかも、カーボンナノチューブの一部はＡｌ電極
１０４にめり込んでいた。但し、泳動の際は図６に示す
ように平行電極６０１と向かい合うＡｌ電極１０４のみ
電源１０８と接続された状態とした。平板電極６０１を
前後左右にガラス基板１０５と平行に移動させながら、
実施の形態７と同様にカーボンナノチューブの集合体６
０２を２次元アレイ状に１１００ｘ２０００個配列させ
た。図６では途中工程での一部分を示している。
【００５８】このようにして作製した電子放出素子アレ
イにおける個々のカーボンナノチューブ集合体６０２の
電子放出特性を実施の形態１と同様に評価したところ、
素子２０００と同じ結果を得た。続いて、真空蒸着また
はスパッタにて透明電極２０２を形成する際Ａｌ電極１
０４とは直交する方向に所定のパターンのマスクを使用
するかフォトリソグラフ技術によって１１００本の電気
的に絶縁された矩形の電極パターンとして形成した陽極
２５０に置き換えることによって電子放出型画像表示装
置を構成した。Ａｌ電極１０４と透明電極２０２との間
に線順次に直流電圧を印加したところ、蛍光体層２０３
からの発光はモノクロ画像を表示した。カラー画像を表
示する場合は、蛍光体薄膜２０３として１つ１つのカー
ボンナノチューブ集合体６０２に対応してＲ，Ｇ，Ｂを
発色する蛍光体を配置させたものを使用すれば良い。
イにおける個々のカーボンナノチューブ集合体６０２の
電子放出特性を実施の形態１と同様に評価したところ、
素子２０００と同じ結果を得た。続いて、真空蒸着また
はスパッタにて透明電極２０２を形成する際Ａｌ電極１
０４とは直交する方向に所定のパターンのマスクを使用
するかフォトリソグラフ技術によって１１００本の電気
的に絶縁された矩形の電極パターンとして形成した陽極
２５０に置き換えることによって電子放出型画像表示装
置を構成した。Ａｌ電極１０４と透明電極２０２との間
に線順次に直流電圧を印加したところ、蛍光体層２０３
からの発光はモノクロ画像を表示した。カラー画像を表
示する場合は、蛍光体薄膜２０３として１つ１つのカー
ボンナノチューブ集合体６０２に対応してＲ，Ｇ，Ｂを
発色する蛍光体を配置させたものを使用すれば良い。
【００５９】また電気泳動装置６０００において、平板
電極６０１に実施の形態１〜７において記述した突部を
設けても、上記と同様の効果を得ることができる。
電極６０１に実施の形態１〜７において記述した突部を
設けても、上記と同様の効果を得ることができる。
【００６０】（実施の形態９）実施の形態１にて作製し
た陰極２００において、Ａｌ電極１０４上に誘電体スペ
ーサ７０１およびグリッド電極７０２を順次積層し、Ａ
ｌ電極１０４とグリッド電極７０２間に直流電源７０３
を接続して図７に示すような電子放出型発光装置７００
０を構成した。図に示すように、誘電体スペーサ７０１
およびグリッド電極７０２は、冷陰極部材２０５の部分
に開口部が形成された構成である。但し、スペーサ７０
１の厚みは０．０２〜０．２ｍｍとした。実施の形態１
と同様にして直流電源２０４を使って陰極−陽極間に電
圧を印加した。その結果、蛍光体薄膜２０３が円形で面
状に発光するのを確認できた。また、直流電源７０３の
電圧を増減することにより、蛍光体薄膜２０３の発光の
明るさが変化することを確認した。これより冷陰極部材
２０５から放出する電子の数をグリッド電極７０２によ
って制御できることが判明した。
た陰極２００において、Ａｌ電極１０４上に誘電体スペ
ーサ７０１およびグリッド電極７０２を順次積層し、Ａ
ｌ電極１０４とグリッド電極７０２間に直流電源７０３
を接続して図７に示すような電子放出型発光装置７００
０を構成した。図に示すように、誘電体スペーサ７０１
およびグリッド電極７０２は、冷陰極部材２０５の部分
に開口部が形成された構成である。但し、スペーサ７０
１の厚みは０．０２〜０．２ｍｍとした。実施の形態１
と同様にして直流電源２０４を使って陰極−陽極間に電
圧を印加した。その結果、蛍光体薄膜２０３が円形で面
状に発光するのを確認できた。また、直流電源７０３の
電圧を増減することにより、蛍光体薄膜２０３の発光の
明るさが変化することを確認した。これより冷陰極部材
２０５から放出する電子の数をグリッド電極７０２によ
って制御できることが判明した。
【００６１】（実施の形態１０）実施の形態７におい
て、Ａｌ電極１０４上にカーボンナノチューブの集合体
５０２を形成した後、図８に示すように誘電体スペーサ
８０１を積層し、さらにグリッド電極８０２を形成して
電子放出素子アレイ（陰極）８００を構成した。誘電体
スペーサ８０１およびグリッド電極８０２は、冷陰極部
材５０２の部分に開口部が形成された構成であり、グリ
ッド電極８０２はＡｌ電極１０４とは直交する方向に所
定のパターンのマスクを使用して１１００本配列した。
ガラス基板２０１上にベタの透明電極２０２および蛍光
体薄膜２０３を順次積層して形成した陽極８５０を電子
放出素子アレイ（陰極）８００い対向するように配置し
て画像表示装置８０００が構成される。
て、Ａｌ電極１０４上にカーボンナノチューブの集合体
５０２を形成した後、図８に示すように誘電体スペーサ
８０１を積層し、さらにグリッド電極８０２を形成して
電子放出素子アレイ（陰極）８００を構成した。誘電体
スペーサ８０１およびグリッド電極８０２は、冷陰極部
材５０２の部分に開口部が形成された構成であり、グリ
ッド電極８０２はＡｌ電極１０４とは直交する方向に所
定のパターンのマスクを使用して１１００本配列した。
ガラス基板２０１上にベタの透明電極２０２および蛍光
体薄膜２０３を順次積層して形成した陽極８５０を電子
放出素子アレイ（陰極）８００い対向するように配置し
て画像表示装置８０００が構成される。
【００６２】この画像表示装置８０００について、実施
の形態９と同様に電子放出特性を調べた。その結果、直
流電源２０４によって電圧をＡｌ電極１０４と透明電極
２０２間に印加すると、蛍光体薄膜２０３からの発光は
モノクロ画像を表示した。また、グリッド電極８０２と
Ａｌ電極間に接続した直流電源８０３の電圧を変化させ
たところ、蛍光体薄膜２０３の発光輝度が変化すること
を確認した。
の形態９と同様に電子放出特性を調べた。その結果、直
流電源２０４によって電圧をＡｌ電極１０４と透明電極
２０２間に印加すると、蛍光体薄膜２０３からの発光は
モノクロ画像を表示した。また、グリッド電極８０２と
Ａｌ電極間に接続した直流電源８０３の電圧を変化させ
たところ、蛍光体薄膜２０３の発光輝度が変化すること
を確認した。
【００６３】（実施の形態１１）実施の形態８におい
て、Ａｌ電極１０４上にカーボンナノチューブの集合体
６０２を形成した後、実施の形態１０と同様にして画像
表示装置を構成した。この画像表示装置の電子放出特性
を調べたところ、実施の形態１０と同じ結果を得た。
て、Ａｌ電極１０４上にカーボンナノチューブの集合体
６０２を形成した後、実施の形態１０と同様にして画像
表示装置を構成した。この画像表示装置の電子放出特性
を調べたところ、実施の形態１０と同じ結果を得た。
【００６４】以上の実施の形態１〜１１に於て、懸濁液
１０７の作製にエチルアルコールを使用したが、揮発性
を有する有機溶剤、具体的にはメチルアルコール、イソ
プロピルアルコールなどの低級アルコール、あるいは酢
酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチルなどの酢酸エステル
や酢酸３メチルブチル（化学式：ＣＨ2ＣＯＯＣＨ2ＣＨ
2ＣＨ（ＣＨ3）2）を主成分とするビークル（東京応化
製）を体積比０．０１〜３０％の割合で混合したものを
使用しても同様の効果が得られた。また、このような有
機溶剤を使わずに、純水に界面活性剤を混合した液を使
用してもよい。さらに、微粒子にはカーボンナノチュー
ブや炭素繊維など炭素を主成分とするものを使用した
が、炭素，Ｓｉ，ホウ素，窒素，酸素などの原子が符合
したナノチューブや金属硫化物からなるナノチューブ、
Ｓｉ，ＳｉＣ，Ｇｅ，ＧａＡｓ，ＧｅＮなどの半導体の
微粒子、ＳｉＯ2，Ｓｉ3Ｎ4などの誘電体の微粒子など
のような無機物であってもよく、タンパク質や高分子、
ＤＮＡなどの有機物であってもよい。
１０７の作製にエチルアルコールを使用したが、揮発性
を有する有機溶剤、具体的にはメチルアルコール、イソ
プロピルアルコールなどの低級アルコール、あるいは酢
酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチルなどの酢酸エステル
や酢酸３メチルブチル（化学式：ＣＨ2ＣＯＯＣＨ2ＣＨ
2ＣＨ（ＣＨ3）2）を主成分とするビークル（東京応化
製）を体積比０．０１〜３０％の割合で混合したものを
使用しても同様の効果が得られた。また、このような有
機溶剤を使わずに、純水に界面活性剤を混合した液を使
用してもよい。さらに、微粒子にはカーボンナノチュー
ブや炭素繊維など炭素を主成分とするものを使用した
が、炭素，Ｓｉ，ホウ素，窒素，酸素などの原子が符合
したナノチューブや金属硫化物からなるナノチューブ、
Ｓｉ，ＳｉＣ，Ｇｅ，ＧａＡｓ，ＧｅＮなどの半導体の
微粒子、ＳｉＯ2，Ｓｉ3Ｎ4などの誘電体の微粒子など
のような無機物であってもよく、タンパク質や高分子、
ＤＮＡなどの有機物であってもよい。
【００６５】また、以上の実施の形態１〜１１に於て、
Ａｌ電極１０４側に正の電圧を印加して泳動を行った
が、負の電圧を印加しても良い。また、交流電圧でも、
直流電圧を重畳した交流電圧でも良い。
Ａｌ電極１０４側に正の電圧を印加して泳動を行った
が、負の電圧を印加しても良い。また、交流電圧でも、
直流電圧を重畳した交流電圧でも良い。
【００６６】また、以上の実施の形態１〜１１に於て、
ガラス基板１０５は、例えば耐熱性ガラス（パイレック
スガラス、コーニング＃７７４０、＃７０５９など）や
石英基板とする。但し、基板１０５の構成材料としては
他のものも使用可能である。例えば、高分子フィルムや
各種セラミックス材料（アルミナなど）、各種ガラスセ
ラミックス（グリーンシート）からなる基板を使用する
ことができる。
ガラス基板１０５は、例えば耐熱性ガラス（パイレック
スガラス、コーニング＃７７４０、＃７０５９など）や
石英基板とする。但し、基板１０５の構成材料としては
他のものも使用可能である。例えば、高分子フィルムや
各種セラミックス材料（アルミナなど）、各種ガラスセ
ラミックス（グリーンシート）からなる基板を使用する
ことができる。
【００６７】また、以上の実施の形態１〜１１に於て、
Ａｌ電極１０４の構成材料もＡｌに限られるものではな
く、微粒子を固着できる軟らかい導電材料（例えば、Ａ
ｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｐｔ，Ｍｇ，Ｆｅ，Ｚｎ、Ｓｎ，Ｚ
ｎ，Ｐｂ，あるいはこれらの合金あるいは樹脂に導電粒
子を分散させたもの）を使用することができる。
Ａｌ電極１０４の構成材料もＡｌに限られるものではな
く、微粒子を固着できる軟らかい導電材料（例えば、Ａ
ｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｐｔ，Ｍｇ，Ｆｅ，Ｚｎ、Ｓｎ，Ｚ
ｎ，Ｐｂ，あるいはこれらの合金あるいは樹脂に導電粒
子を分散させたもの）を使用することができる。
【００６８】また、以上の実施の形態１〜１１に於て、
平板電極１０３，５０１，６０１（突部部分１０２，３
０１を含む）は、電気泳動後に微粒子がはなれて液中に
もどるよう、固着され難い硬質の導電材料で構成される
ことが望ましい。具体的には、Ｗ，Ｎｉ，Ｍｏ，Ｃｒ，
ステンレス，ＩＴＯ、ＺｎＯ、ＳｎＯ2、あるいはこれ
らの合金、または絶縁性基板か上記軟らかい導電材料に
これらの導電材料をコートしたものである。
平板電極１０３，５０１，６０１（突部部分１０２，３
０１を含む）は、電気泳動後に微粒子がはなれて液中に
もどるよう、固着され難い硬質の導電材料で構成される
ことが望ましい。具体的には、Ｗ，Ｎｉ，Ｍｏ，Ｃｒ，
ステンレス，ＩＴＯ、ＺｎＯ、ＳｎＯ2、あるいはこれ
らの合金、または絶縁性基板か上記軟らかい導電材料に
これらの導電材料をコートしたものである。
【００６９】また、以上の実施の形態１〜１１に於て、
突部１０２，３０１の高さは平板電極１０３、５０１と
Ａｌ電極１０４との距離（以下特に断わらない限り、平
板電極とＡｌ電極の距離とは、Ａｌ電極と向かい合いか
つ、突部を除いた平板電極の平面とＡｌ電極間の距離で
ある）の０．１倍から０．９倍であることが好ましい。
０．１倍以下になると微粒子が集中して固着しなくな
り、０．９倍以上になると突部１０２，３０１とＡｌ電
極１０４間に存在する微粒子が数が少なくなり突部１０
２の周辺部分に微粒子が集中してしまい、微粒子の固着
が不均一になってしまうからである。より好ましくは、
突部１０２，３０１の高さは平板電極１０３、５０１と
Ａｌ電極１０４との距離の０．３倍から０．６倍であ
る。
突部１０２，３０１の高さは平板電極１０３、５０１と
Ａｌ電極１０４との距離（以下特に断わらない限り、平
板電極とＡｌ電極の距離とは、Ａｌ電極と向かい合いか
つ、突部を除いた平板電極の平面とＡｌ電極間の距離で
ある）の０．１倍から０．９倍であることが好ましい。
０．１倍以下になると微粒子が集中して固着しなくな
り、０．９倍以上になると突部１０２，３０１とＡｌ電
極１０４間に存在する微粒子が数が少なくなり突部１０
２の周辺部分に微粒子が集中してしまい、微粒子の固着
が不均一になってしまうからである。より好ましくは、
突部１０２，３０１の高さは平板電極１０３、５０１と
Ａｌ電極１０４との距離の０．３倍から０．６倍であ
る。
【００７０】以上の実施の形態１〜１１に於て、突部１
０２先端部分とＡｌ電極１０４間、突部３０１の先端部
分と平板電極１０３間および平板電極６０１とＡｌ電極
１０４間に印加する電界強度の大きさは５×１０3Ｖ／
ｃｍ以上２×１０4Ｖ／ｃｍ以下であることが好まし
い。４×１０3Ｖ／ｃｍ以下になると微粒子が集中し難
くなるとともに泳動時間が長くなり、３×１０4Ｖ／ｃ
ｍ以上になると泳動時の電流が不安定になるとともに短
絡して異常に大きな電流が流れてしまうからである。ま
た、平板電極１０３、５０１とＡｌ電極１０４との距離
および平板電極６０１とＡｌ電極１０４との距離は、好
ましくは０．２ｍｍ以上５０ｍｍ以下である。何故な
ら、０．２ｍｍ以下の場合は平板電極とＡｌ電極間で短
絡しやすく、微粒子の電気泳動が均一になされなくな
り、５０ｍｍを越える場合は泳動のための印加電圧が高
電圧になって実用的でなくなるからである。
０２先端部分とＡｌ電極１０４間、突部３０１の先端部
分と平板電極１０３間および平板電極６０１とＡｌ電極
１０４間に印加する電界強度の大きさは５×１０3Ｖ／
ｃｍ以上２×１０4Ｖ／ｃｍ以下であることが好まし
い。４×１０3Ｖ／ｃｍ以下になると微粒子が集中し難
くなるとともに泳動時間が長くなり、３×１０4Ｖ／ｃ
ｍ以上になると泳動時の電流が不安定になるとともに短
絡して異常に大きな電流が流れてしまうからである。ま
た、平板電極１０３、５０１とＡｌ電極１０４との距離
および平板電極６０１とＡｌ電極１０４との距離は、好
ましくは０．２ｍｍ以上５０ｍｍ以下である。何故な
ら、０．２ｍｍ以下の場合は平板電極とＡｌ電極間で短
絡しやすく、微粒子の電気泳動が均一になされなくな
り、５０ｍｍを越える場合は泳動のための印加電圧が高
電圧になって実用的でなくなるからである。
【００７１】冷陰極部材を形成後、３００℃以上の高温
のプロセスを経ることの無い場合には、当然のことなが
ら以上の実施の形態１〜１１に於て、Ａｌ電極１０４上
にＵＶ照射したＳｉポリマー膜、例えばポリメチルフェ
ニルシラン膜、あるいは電子放出の安定性を高めるため
の高抵抗層としてポリイミド、ポリカーボネート、ポリ
エチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリ塩化ビ
ニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、ポ
リスチレン、ポリアミド、ポリ四フッ化エチレン、ポリ
三フッ化塩化エチレン、ポリフッ化ビニリデン、六フッ
化プロピレンー四フッ化エチレンコポリマー、三フッ化
エチレンーフッ化ビニリデンコポリマー、ポリブデン、
ポリビニルブチラール、ポリウレタンなどのポリマーを
０．０１〜１μｍの厚みでコートしてもよい。３００℃
以上の高温のプロセスを経る場合には、これらの高分子
材料の代わりに、Ｓｉ1-xＯx，Ｓｉ1-xＣx，Ｓｉ
1-xＮx，Ｇｅ1-xＣx，Ｇｅ1-xＮx，Ｇｅ1-xＯx，Ｂ1-x
Ｎx，Ｂ1-xＣx，Ａｌ1-xＮx，Ａｌ 1-xＯx，Ｓｎ1-xＮx
（但し、０＜ｘ＜１）などの無機絶縁物を使用しても良
い。
のプロセスを経ることの無い場合には、当然のことなが
ら以上の実施の形態１〜１１に於て、Ａｌ電極１０４上
にＵＶ照射したＳｉポリマー膜、例えばポリメチルフェ
ニルシラン膜、あるいは電子放出の安定性を高めるため
の高抵抗層としてポリイミド、ポリカーボネート、ポリ
エチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリ塩化ビ
ニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、ポ
リスチレン、ポリアミド、ポリ四フッ化エチレン、ポリ
三フッ化塩化エチレン、ポリフッ化ビニリデン、六フッ
化プロピレンー四フッ化エチレンコポリマー、三フッ化
エチレンーフッ化ビニリデンコポリマー、ポリブデン、
ポリビニルブチラール、ポリウレタンなどのポリマーを
０．０１〜１μｍの厚みでコートしてもよい。３００℃
以上の高温のプロセスを経る場合には、これらの高分子
材料の代わりに、Ｓｉ1-xＯx，Ｓｉ1-xＣx，Ｓｉ
1-xＮx，Ｇｅ1-xＣx，Ｇｅ1-xＮx，Ｇｅ1-xＯx，Ｂ1-x
Ｎx，Ｂ1-xＣx，Ａｌ1-xＮx，Ａｌ 1-xＯx，Ｓｎ1-xＮx
（但し、０＜ｘ＜１）などの無機絶縁物を使用しても良
い。
【００７２】実施の形態９〜１１における誘電体スペー
サ７０１，８０１は、ガラスやセラミックス、ガラスセ
ラミックス、上記の高分子材料や無機絶縁物などが使用
される。
サ７０１，８０１は、ガラスやセラミックス、ガラスセ
ラミックス、上記の高分子材料や無機絶縁物などが使用
される。
【００７３】上記のようにして得られた電子放出素子を
複数個用意して、それらを、所定の回路構成からの各々
へ供給される入力信号に応じて電子を放出するように所
定のパターンに配置して電子放出源を構成し、そこから
放出された電子に照射されて画像を形成するような位置
関係で画像形成部材を配置すれば、画像表示装置が構成
される。
複数個用意して、それらを、所定の回路構成からの各々
へ供給される入力信号に応じて電子を放出するように所
定のパターンに配置して電子放出源を構成し、そこから
放出された電子に照射されて画像を形成するような位置
関係で画像形成部材を配置すれば、画像表示装置が構成
される。
【００７４】以上から分かるように、従来手法では、ポ
リシラン塗布工程（洗浄工程、ポリシラン塗布工程）、
ＵＶ照射工程（アライメント工程、ＵＶ照射工程）が必
要であり高コストで有るが、本発明によればこれらの工
程は必要なく、低コストで電子放出素子および画像表示
装置を作製することが可能となる。
リシラン塗布工程（洗浄工程、ポリシラン塗布工程）、
ＵＶ照射工程（アライメント工程、ＵＶ照射工程）が必
要であり高コストで有るが、本発明によればこれらの工
程は必要なく、低コストで電子放出素子および画像表示
装置を作製することが可能となる。
【００７５】
【発明の効果】本発明によれば、カーボンナノチューブ
などの微粒子の集合体からなる冷陰極部材を、十分な生
産性で２次元アレイ状に配設して、電界放出型電子エミ
ッタとして機能させることができる構成を有する電子放
出素子を生産性良く製造することができる。
などの微粒子の集合体からなる冷陰極部材を、十分な生
産性で２次元アレイ状に配設して、電界放出型電子エミ
ッタとして機能させることができる構成を有する電子放
出素子を生産性良く製造することができる。
【００７６】上記のようにして得られた電子放出素子を
複数個用意して、それらから放出された電子に照射され
て画像を形成する様な位置関係で画像形成部材を配置す
れば、画像表示装置が構成される。
複数個用意して、それらから放出された電子に照射され
て画像を形成する様な位置関係で画像形成部材を配置す
れば、画像表示装置が構成される。
【図１】本発明の一実施形態における電気泳動装置の構
成を模式的に示す図
成を模式的に示す図
【図２】本発明の一実施形態における電子放出素子、お
よびそれを用いて構成される電界放出型発光装置の構成
を模式的に示す図
よびそれを用いて構成される電界放出型発光装置の構成
を模式的に示す図
【図３】本発明の別の実施形態における電気泳動装置の
構成を模式的に示す図
構成を模式的に示す図
【図４】本発明の電気泳動装置に使用される突部形状の
一例を示す断面図
一例を示す断面図
【図５】本発明の別の実施形態における電気泳動装置の
構成を模式的に示す図
構成を模式的に示す図
【図６】本発明の別の実施形態における電気泳動装置の
構成を模式的に示す図
構成を模式的に示す図
【図７】本発明のある実施形態における電子放出素子を
用いて構成される電界放出型発光装置の構成を模式的に
示す図
用いて構成される電界放出型発光装置の構成を模式的に
示す図
【図８】本発明のある実施形態における電子放出素子を
用いて構成される電界放出型画像表示装置の構成を模式
的に示す図
用いて構成される電界放出型画像表示装置の構成を模式
的に示す図
【図９】従来技術による電気泳動装置の構成を模式的に
示す図
示す図
【符号の説明】 １０１ 電気泳動容器 １０２，３０１ 突部 １０３，５０１，６０１ 平板電極 １０４ Ａｌ電極 １０５ ガラス基板 １０６ カーボンナノチューブ（微粒子） １０７ 懸濁液 １０８ 直流電源 ２００，８００ 陰極 ２０１ ガラス基板 ２０２ 透明電極 ２０３ 蛍光体薄膜 ２０４ 直流電源 ２０５ 冷陰極部材 ２５０，８５０ 陽極 ５０２，６０２ カーボンナノチューブ集合体 ７０１，８０１ 誘電体スペーサ ７０２，８０２ グリッド電極 ７０３，８０３ 直流電源 １０００，３０００，５０００，６０００ 電気泳動装
置 ２０００，７０００ 電界放出型発光装置 ８０００ 電界放出型画像表示装置
置 ２０００，７０００ 電界放出型発光装置 ８０００ 電界放出型画像表示装置
Claims (31)
- 【請求項１】一対の対向する平行平板電極間に微粒子を
含む懸濁液をサンドイッチし、前記電極間に電界を印加
して前記微粒子を移動させる電気泳動装置に於て、前記
平行平板電極の少なくともどちらか一方の表面に突部が
形成されていることを特徴とする電気泳動装置。 - 【請求項２】突部が複数であることを特徴とする請求項
１に記載の電気泳動装置。 - 【請求項３】一対の対向する平行平板電極間に微粒子を
含む懸濁液をサンドイッチし、前記電極間に電界を印加
して前記微粒子を移動させる電気泳動装置に於て、平行
平板電極のうち少なくともどちらか一方が時間経過とも
に前記平行平板の面内方向に移動することを特徴とする
電気泳動装置。 - 【請求項４】平行平板電極のうち少なくともどちらかの
表面に突部が形成されていることを特徴とする請求項３
に記載の電気泳動装置。 - 【請求項５】突部の先端が平になっていることを特徴と
する請求項１から請求項４のいずれかに記載の電気泳動
装置。 - 【請求項６】突部の高さが平行平板電極間の距離の０．
１倍以上０．９倍以下の範囲であることを特徴とする請
求項１または請求項５に記載の電気泳動装置。 - 【請求項７】平行平板間の距離が０．２ｍｍ以上５０ｍ
ｍ以下であることを特徴とする請求項１または請求項３
に記載の電気泳動装置。 - 【請求項８】平行平板電極のうち少なくともどちらか一
方が絶縁性支持部材上に形成されていることを特徴とす
る請求項１から請求項７のいずれかに記載の電気泳動装
置。 - 【請求項９】平行平板間に印加する電界強度が、５×１
０3Ｖ/ｃｍ以上２×１０4Ｖ/ｃｍ以下であることを特徴
とする請求項１から請求項８のいずれかに記載の電気泳
動装置。 - 【請求項１０】平行平板電極がそれぞれ硬度の異なる材
料で構成されていることを特徴とする請求項１から請求
項９のいずれかに記載の電気泳動装置。 - 【請求項１１】微粒子が少なくとも炭素を主成分とする
ことを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれかに
記載の電気泳動装置。 - 【請求項１２】微粒子が黒鉛を含むことを特徴とする請
求項１１に記載の電気泳動装置。 - 【請求項１３】微粒子がカーボンナノチューブを含むこ
とを特徴とする請求項１１に記載の電気泳動装置。 - 【請求項１４】微粒子が炭素繊維を含むことを特徴とす
る請求項１１に記載の電気泳動装置。 - 【請求項１５】微粒子がダイヤモンド粒を含むことを特
徴とする請求項１１に記載の電気泳動装置。 - 【請求項１６】微粒子が炭素、シリコン、ホウ素、窒
素、酸素などの原子が符合したナノチューブであること
を特徴とする請求項１から請求項１０のいずれかに記載
の電気泳動装置。 - 【請求項１７】平行平板電極の少なくともどちらか一方
の表面に高分子膜が形成されていることを特徴とする請
求項１から請求項１０のいずれかに記載の電気泳動装
置。 - 【請求項１８】高分子膜が紫外線を照射したシリコンポ
リマー膜であることを特徴とする請求項１７に記載の電
気泳動装置。 - 【請求項１９】懸濁液が低級アルコール、酢酸エステル
および酢酸３メチルブチルの中から１種類選択された溶
媒あるいはそれらの混合したものからなる溶媒に微粒子
を分散させたものであることを特徴とする請求項１から
請求項１８のいずれかに記載の電気泳動装置。 - 【請求項２０】低級アルコールに対する酢酸エステルあ
るいは酢酸３メチルブチルの混合の割合が体積比０．０
１％以上３０％以下であることを特徴とする請求項１９
に記載の電気泳動装置。 - 【請求項２１】懸濁液が溶媒１０ｃｃに対し０．５ｍｇ
以上４０ｍｇ以下の割合で微粒子を分散させて調整され
ていることを特徴とする請求項１９に記載の電気泳動装
置。 - 【請求項２２】平行平板電極のどちらか一方の電極に微
粒子が寄せ集められて構成される冷陰極部材を請求項１
から請求項２１のいずれかに記載の方法に従って形成す
ることを特徴とする電子放出素子の製造方法。 - 【請求項２３】平行平板電極のどちらか一方の電極に微
粒子が寄せ集められて構成される冷陰極部材を請求項１
から請求項２１のいずれかに記載の方法に従って形成す
ることを特徴とする電子放出素子。 - 【請求項２４】冷陰極部材を構成する微粒子の一部分
が、前記冷陰極部材と接する平板電極にめり込んでいる
ことを特徴とする請求項２３に記載の電子放出素子。 - 【請求項２５】冷陰極部材が、球面状に微粒子が集まっ
て構成されていることを特徴とする請求項２３に記載の
電子放出素子。 - 【請求項２６】冷陰極部材と接する平板電極に突部が形
成され、前記突部の先端部分に冷陰極部材が形成されて
いることを特徴とする請求項２２に記載の電子放出素子
の製造方法。 - 【請求項２７】冷陰極部材と接する平板電極と平行に第
１の導電性電極が配置され、前記平板電極と前記第１の
導電性電極の間に第２の導電性電極を配置したことを特
徴とする請求項２２に記載の電子放出素子の製造方法。 - 【請求項２８】電子放出素子を構成する工程と、該電子
放出素子から放出された電子が照射されて画像を形成す
る画像形成部材と、該電子放出素子に対して所定の位置
関係で配置する工程とを包含する画像表示装置の製造方
法であって、該電子放出素子を、請求項２２に記載の方
法に従って構成することを特徴とする画像表示装置の製
造方法。 - 【請求項２９】電子放出素子と、該電子放出素子から放
出された電子が照射されて画像を形成する画像形成部材
を包含する画像表示装置であって、該電子放出素子を、
請求項２２に記載の方法に従って構成することを特徴と
する画像表示装置。 - 【請求項３０】冷陰極部材を構成する微粒子の一部分
が、前記冷陰極部材と接する平板電極にめり込んでいる
ことを特徴とする請求項２９に記載の画像表示装置。 - 【請求項３１】冷陰極部材と接する平板電極と平行に第
１の導電性電極が配置され、前記平板電極と前記第１の
導電性電極の間に第２の導電性電極を配置したことを特
徴とする請求項２９に記載の画像表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19559699A JP3582410B2 (ja) | 1999-07-09 | 1999-07-09 | 電子放出素子およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19559699A JP3582410B2 (ja) | 1999-07-09 | 1999-07-09 | 電子放出素子およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001020093A true JP2001020093A (ja) | 2001-01-23 |
| JP3582410B2 JP3582410B2 (ja) | 2004-10-27 |
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ID=16343789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19559699A Expired - Fee Related JP3582410B2 (ja) | 1999-07-09 | 1999-07-09 | 電子放出素子およびその製造方法 |
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Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002097843A1 (fr) * | 2001-05-28 | 2002-12-05 | Kabushiki Kaisha Watanabe Shoko | Electrode, element d'emission d'electrons et dispositif d'utilisation correspondant |
| EP1451844A2 (en) * | 2001-06-14 | 2004-09-01 | Hyperion Catalysis International, Inc. | Field emission devices using modified carbon nanotubes |
| KR100583769B1 (ko) * | 2004-03-17 | 2006-05-26 | 한국과학기술원 | 탄소나노튜브 카트리지 제조장치 |
| WO2006095947A1 (en) * | 2005-03-11 | 2006-09-14 | Seoul National University Industry Foundation | Method of forming electron emitter tips using copper-carbon nanotube composite electroplating |
| CN1303260C (zh) * | 2004-04-23 | 2007-03-07 | 清华大学 | 一种碳纳米管薄膜的电泳沉积制备方法 |
| KR100730401B1 (ko) | 2006-03-09 | 2007-06-19 | 한국기계연구원 | 전기영동소자 및 그 제작 방법 |
| KR100743018B1 (ko) * | 2006-06-29 | 2007-07-26 | 삼성전기주식회사 | 전계방출 에미터전극의 제조방법 및 이에 의해 제조된전계방출 에미터전극 |
| KR100840534B1 (ko) | 2007-08-27 | 2008-06-23 | 삼성전기주식회사 | 전계방출소자 제조방법 |
| CN100572612C (zh) * | 2005-10-28 | 2009-12-23 | 厦门大学 | 纳米羟基磷灰石/碳纳米管复合涂层制备方法 |
| US7887689B2 (en) * | 2001-11-30 | 2011-02-15 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Method and apparatus for attaching nanostructure-containing material onto a sharp tip of an object and related articles |
| WO2018136637A1 (en) * | 2017-01-18 | 2018-07-26 | Arconic Inc. | Systems and methods for electrodepositing multi-component alloys, and products made from the same |
-
1999
- 1999-07-09 JP JP19559699A patent/JP3582410B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002097843A1 (fr) * | 2001-05-28 | 2002-12-05 | Kabushiki Kaisha Watanabe Shoko | Electrode, element d'emission d'electrons et dispositif d'utilisation correspondant |
| EP1451844A2 (en) * | 2001-06-14 | 2004-09-01 | Hyperion Catalysis International, Inc. | Field emission devices using modified carbon nanotubes |
| US7960904B2 (en) | 2001-06-14 | 2011-06-14 | Hyperion Catalysis International, Inc. | Field emission devices using carbon nanotubes modified by energy, plasma, chemical or mechanical treatment |
| EP1451844A4 (en) * | 2001-06-14 | 2008-03-12 | Hyperion Catalysis Int | FIELD EMISSION DEVICES USING MODIFIED CARBON NANOTUBES |
| US8002958B2 (en) | 2001-11-30 | 2011-08-23 | University Of North Carolina At Chapel Hill | Deposition method for nanostructure materials |
| US7887689B2 (en) * | 2001-11-30 | 2011-02-15 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Method and apparatus for attaching nanostructure-containing material onto a sharp tip of an object and related articles |
| KR100583769B1 (ko) * | 2004-03-17 | 2006-05-26 | 한국과학기술원 | 탄소나노튜브 카트리지 제조장치 |
| CN1303260C (zh) * | 2004-04-23 | 2007-03-07 | 清华大学 | 一种碳纳米管薄膜的电泳沉积制备方法 |
| WO2006095947A1 (en) * | 2005-03-11 | 2006-09-14 | Seoul National University Industry Foundation | Method of forming electron emitter tips using copper-carbon nanotube composite electroplating |
| CN100572612C (zh) * | 2005-10-28 | 2009-12-23 | 厦门大学 | 纳米羟基磷灰石/碳纳米管复合涂层制备方法 |
| KR100730401B1 (ko) | 2006-03-09 | 2007-06-19 | 한국기계연구원 | 전기영동소자 및 그 제작 방법 |
| KR100743018B1 (ko) * | 2006-06-29 | 2007-07-26 | 삼성전기주식회사 | 전계방출 에미터전극의 제조방법 및 이에 의해 제조된전계방출 에미터전극 |
| KR100840534B1 (ko) | 2007-08-27 | 2008-06-23 | 삼성전기주식회사 | 전계방출소자 제조방법 |
| WO2018136637A1 (en) * | 2017-01-18 | 2018-07-26 | Arconic Inc. | Systems and methods for electrodepositing multi-component alloys, and products made from the same |
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| JP3582410B2 (ja) | 2004-10-27 |
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