JP2001009252A - チャンバ内オゾン撹拌方法及びオゾン殺菌装置 - Google Patents

チャンバ内オゾン撹拌方法及びオゾン殺菌装置

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JP2001009252A
JP2001009252A JP11186366A JP18636699A JP2001009252A JP 2001009252 A JP2001009252 A JP 2001009252A JP 11186366 A JP11186366 A JP 11186366A JP 18636699 A JP18636699 A JP 18636699A JP 2001009252 A JP2001009252 A JP 2001009252A
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Japan
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chamber
ozone
electrodes
ion wind
voltage
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JP11186366A
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English (en)
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Ryoji Takahashi
亮二 高橋
Yukihiro Kamase
幸広 釜瀬
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IHI Corp
Original Assignee
IHI Corp
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Publication date
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  • Mixers With Rotating Receptacles And Mixers With Vibration Mechanisms (AREA)
  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ファンを用いることなくチャンバ内のオゾン
ガスの濃度を均一にすることができるチャンバ内オゾン
撹拌方法及びオゾン殺菌装置を提供する。 【解決手段】 殺菌対象物が収納されたチャンバ1内に
設けられた複数の電極3、4間に直流高圧電源5から電
圧を印加することにより各電極3、4間にイオン風が生
じるので、オゾン発生器2からチャンバ1内に導入され
たオゾンガスをファンを用いることなく撹拌することが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、チャンバ内オゾン
撹拌方法及びオゾン殺菌装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、オゾンガスを用いてチャンバ内に
収納された殺菌対象物を殺菌するオゾン殺菌装置の開発
が活発になっている。
【0003】例えば「滅菌及び装置(特開平9−271
512号公報)」もその一種である。この装置は、殺菌
対象物を収納した滅菌処理庫を減圧した後オゾンガスを
導入して殺菌対象物を殺菌し、殺菌処理した後、滅菌処
理庫内の残留オゾンを触媒で還元するものであり、効率
的に殺菌処理するために真空ポンプ、水容器、ヒータの
制御器及び酸素ボンベを配管で接続し、マイコンで制御
するようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の滅菌及び装置は、滅菌処理庫(以下「チャン
バ」という。)内に単純にオゾンガスを導入しただけで
あり、チャンバ内のオゾンガスを均一なオゾン濃度、温
度、湿度にすることは困難であり、チャンバ内の全ての
殺菌対象物を確実に殺菌するのは困難である。また、一
般的なファンは耐オゾン性が無く、軸受け等の潤滑剤が
直ちに劣化してしまい、撹拌機能を維持することができ
ないという問題があった。
【0005】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、ファンを用いることなくチャンバ内のオゾンガスの
濃度を均一にすることができるチャンバ内オゾン撹拌方
法及びオゾン殺菌装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のチャンバ内オゾン撹拌方法は、殺菌対象物が
収納されたチャンバ内のオゾンガスを撹拌するチャンバ
内オゾン撹拌方法において、チャンバ内に設けられた複
数の電極間に電圧を印加して生じるイオン風でオゾンガ
スを撹拌するものである。
【0007】本発明のオゾン殺菌装置は、殺菌対象物が
収納されるチャンバと、チャンバにオゾンガスを導入す
るオゾン発生器と、チャンバ内に設けられた複数の電極
と、各電極間にイオン風を生じさせるための電圧を印加
する電源とを備えたものである。
【0008】本発明によれば、殺菌対象物が収納された
チャンバ内に設けられた複数の電極間に電源から電圧を
印加することにより各電極間にイオン風が生じるので、
オゾン発生器からチャンバ内に導入されたオゾンガスを
ファンを用いることなく撹拌することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳述する。
【0010】図1は本発明のチャンバ内オゾン撹拌方法
を適用したオゾン殺菌装置の一実施の形態を示す概略図
である。但しチャンバのみ透視図になっている。図2は
図1に示したオゾン殺菌装置に用いられる電極の外観斜
視図である。図3〜図5は図2に示した電極の変形例で
ある。
【0011】本オゾン殺菌装置は、主に殺菌対象物が収
納されるチャンバ1と、チャンバ1にオゾンガスを導入
するオゾン発生器2と、チャンバ1内に設けられた複数
の電極3、4と、各電極3、4間にイオン風を生じさせ
るための電圧を印加する直流高圧電源5とで構成された
ものである。
【0012】例えばステンレスからなるチャンバ1の一
方の側壁(図では右側)1aには二つの配管6、7が接
続されており、上側の配管6には滅菌フィルタ8が接続
され、下側の配管7にはオゾンを分解する分解装置9と
オゾンが分解された酸素を排気するポンプ10とが接続
されている。
【0013】チャンバ1の天板1bには円筒状の円筒電
極3と、円筒電極3の中心に配置されたワイヤ電極4と
が図示しない絶縁体で吊り下げられている(図2参
照)。円筒電極3は接地されると共に直流高圧電源(数
kV)5の陽極に接続され、ワイヤ電極4は直流高圧電
源5の陰極に接続されている。なお、直流高圧電源5の
電圧は、両電極3、4間でイオン風が生じると共に放電
しない程度の電圧に設定されている。
【0014】チャンバ1の他方の側壁(図では左側)1
cには二つの配管11、12が接続されている。配管1
1、12はオゾン濃度計13及びポンプ14に直列に接
続されている。チャンバ1内のオゾンガスは、オゾン濃
度計13を通過した後再度チャンバ1内に戻ることによ
りチャンバ1内のオゾン濃度が監視されるようになって
いる。
【0015】チャンバ1の底板1dには配管15を介し
てオゾン発生器2が接続されており、チャンバ1内にオ
ゾンガスを導入するようになっている。
【0016】本オゾン殺菌装置の動作について説明す
る。
【0017】チャンバ1内に殺菌対象物を収納した後、
ポンプ10、14を作動させると共にオゾン発生器2を
作動させると、チャンバ1内の空気が矢印16方向に排
気されてチャンバ1内が減圧されると共に、チャンバ1
内にオゾン発生器2からのオゾンガスが矢印17方向に
導入され、外部からの空気が矢印18方向に滅菌フィル
タ8に吸気され、滅菌された後チャンバ1内に導入され
る。但し、滅菌フィルタ8を介してチャンバ1内に導入
される空気の量よりも、チャンバ1からポンプ10で排
気される酸素(空気)の量の方が多くなるように設定さ
れている。また、ポンプ14によりチャンバ1内のオゾ
ンガスがチャンバ1とオゾン濃度計13との間を矢印1
9方向に循環する(逆方向でもよい。)。
【0018】直流高圧電源5から両電極3、4に直流高
電圧が印加されると、両電極3、4間にイオン風が発生
する。このイオン風によりチャンバ1内のオゾンガスが
撹拌される。
【0019】チャンバ1内でオゾンガスが撹拌されてい
る間、オゾン濃度計13でチャンバ1内のオゾン濃度が
監視され、オゾン濃度が一定の濃度になるようにオゾン
発生器2とポンプ10の動作が制御される。
【0020】所定の時間経過した後、オゾン発生器2の
作動を停止すると、チャンバ1内のオゾンガスは分解装
置9で分解後排気される。チャンバ1内のオゾン濃度が
一定の基準値以下になったときに両電極3、4への電圧
の印加を停止することにより、殺菌処理が終了する。
【0021】すなわち、本発明のチャンバ内オゾン撹拌
方法は、チャンバ1内に設けられた複数の電極3、4間
に電圧を印加して生じるイオン風でオゾンガスを撹拌す
るものである。
【0022】本発明により、ファンを用いることなくチ
ャンバ1内のオゾンガスの濃度を均一にすることができ
る。
【0023】なお、本実施の形態では電極3、4が円筒
電極3と、円筒電極3の中心に配置された1本のワイヤ
電極4の場合で説明したが、本発明はそれに限定される
ものではなく、電極3、4が図3に示すように流路を形
成するための円筒20と、円筒20の中心軸に平行に配
置され直流高圧電源5の陰極と陽極とにそれぞれ接続さ
れたワイヤ電極21、22とで構成されてもよい。ま
た、電極3、4が図4に示すように陽極に接続された平
行な2枚の板状電極23、24と、両板状電極23、2
4の間に配置され陰極に接続されたワイヤ25とで構成
されていてもよい。さらに電極3、4が図5に示すよう
に平行な3枚の板状電極26、27、28からなり、両
側の板状電極26、28が直流高圧電源5の陰極に接続
され、中央の板状電極27が直流高圧電源5の陽極を接
続されていてもよい。
【0024】さらにまた、チャンバ1自体が電極として
の条件を満たしている場合には、チャンバ1の一面ある
いは複数面を一つの電極とみたてて直流高圧電源5の陽
極に接続すると共に接地し、直流高圧電源5の陰極に接
続されたワイヤをチャンバ内に配列してもよい。
【0025】なお、本実施の形態では直流高圧電源5の
極性が一定の場合で説明したが、一定時間ごとに極性を
反転するようにしてもよい。
【0026】また、電極が複数のワイヤからなる場合に
はイオン風の流路を確保できないので、絶縁物等で流路
を形成してもよい。
【0027】さらに殺菌対象物に対して放電が生じない
ように絶縁物でイオン風を阻害しないような柵を設けて
もよい。
【0028】またさらに、チャンバ内に過酸化水素水噴
霧器を配置したり、超音波をチャンバ内に与えるように
してもよい。
【0029】以上において本発明によれば、電極間に電
圧が印加されることによりイオン風が発生するので、チ
ャンバ内のオゾンガスの撹拌が行える。チャンバ内には
可動部が無いので部品全てを容易に耐オゾン性にするこ
とができるので、腐食性の高いオゾン環境下でも劣化す
ることなくオゾンガスの撹拌を行うことができる。ま
た、電極に印加される直流高電圧の極性を反転させた場
合、イオン風の向きが反転するのでより効率的にオゾン
ガスを撹拌することができる。さらに、チャンバの形状
に対して最適な形状の電極を設けることにより効率的に
イオン風を発生させることができる。
【0030】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
【0031】ファンを用いることなくチャンバ内のオゾ
ンガスの濃度を均一にすることができるチャンバ内オゾ
ン撹拌方法及びオゾン殺菌装置の提供を実現することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のチャンバ内オゾン撹拌方法を適用した
オゾン殺菌装置の一実施の形態を示す概略図である。
【図2】図1に示したオゾン殺菌装置に用いられる電極
の外観斜視図である。
【図3】図2に示した電極の変形例である。
【図4】図2に示した電極の変形例である。
【図5】図2に示した電極の変形例である。
【符号の説明】
1 チャンバ 2 オゾン発生器 3 円筒電極(電極) 4 ワイヤ電極(電極) 5 直流高圧電源(電源)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4C058 AA01 BB07 CC02 EE26 JJ14 JJ27 4G035 AB01 AE05 AE13 4G036 AC58 4G042 CB21 CC05 CC09

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 殺菌対象物が収納されたチャンバ内のオ
    ゾンガスを撹拌するチャンバ内オゾン撹拌方法におい
    て、上記チャンバ内に設けられた複数の電極間に電圧を
    印加して生じるイオン風で上記オゾンガスを撹拌するこ
    とを特徴とするチャンバ内オゾン撹拌方法。
  2. 【請求項2】 殺菌対象物が収納されるチャンバと、該
    チャンバにオゾンガスを導入するオゾン発生器と、上記
    チャンバ内に設けられた複数の電極と、各電極間にイオ
    ン風を生じさせるための電圧を印加する電源とを備えた
    ことを特徴とするオゾン殺菌装置。
JP11186366A 1999-06-30 1999-06-30 チャンバ内オゾン撹拌方法及びオゾン殺菌装置 Pending JP2001009252A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP3808238A1 (en) * 2019-10-15 2021-04-21 OP-Hygiene IP GmbH Foam dispenser with ionic wind driven ozone generation and air circulation

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3808238A1 (en) * 2019-10-15 2021-04-21 OP-Hygiene IP GmbH Foam dispenser with ionic wind driven ozone generation and air circulation
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