JP2001006520A - Electron gun - Google Patents

Electron gun

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JP2001006520A
JP2001006520A JP17875999A JP17875999A JP2001006520A JP 2001006520 A JP2001006520 A JP 2001006520A JP 17875999 A JP17875999 A JP 17875999A JP 17875999 A JP17875999 A JP 17875999A JP 2001006520 A JP2001006520 A JP 2001006520A
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JP
Japan
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grid
filament
cover
electron gun
thermoelectrons
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Withdrawn
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JP17875999A
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Japanese (ja)
Inventor
Shigeo Konno
野 茂 生 今
Kaoru Shiono
野 薫 塩
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Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
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Publication date
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  • Solid Thermionic Cathode (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a stable electron beam by shielding a thermion heading to a grid from a filament. SOLUTION: A metal cover 8 is disposed between a filament 1 and a grid 3, and is supported by a supporting body of the filament 1 so as to have the same potential as that of the filament 1. A second metal cover 9 is disposed between the metal cover 8 and the grid 3, and the second metal cover is supported by the supporting body of the filament 1 so as to have the same potential as that of the filament 1.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する分野】本発明は、電子ビームの安定化等
を図った電子銃に関する。
The present invention relates to an electron gun for stabilizing an electron beam and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】図1は傍熱型電子銃の一概略例を示した
ものである。
2. Description of the Related Art FIG. 1 shows a schematic example of an indirectly heated electron gun.

【0003】図中1はフィラメント、2はカソード、3
はグリッド、4はアノード、5はフイラメント加熱電
源、6はボンバード電源、7は加速電源である。この様
な構成の電子銃において、フィラメント加熱電源5によ
りフイラメント1を加熱され、該フイラメントが高温に
なると、該フィラメント1から熱電子が発生する。この
際、カソード2とフィラメント1との間にボンバード電
源6から正のボンバード電圧が印加されているので、フ
ィラメント1からの熱電子はカソード2を衝撃する事に
なる。この衝撃により、カソード2が高温になると該カ
ソードから熱電子が発生する。この際、アノード4と、
前記カソード2と同電位にあるグリッド3との間に加速
電源7から正の加速電圧が印加されているので、カソー
ド2からの熱電子はグリッド3の電子通過孔3Kを介し
てアノード4方向に向かう。尚、この熱電子はグリッド
3により集束作用を受ける。
In the figure, 1 is a filament, 2 is a cathode, 3
Is a grid, 4 is an anode, 5 is a filament heating power source, 6 is a bombardment power source, and 7 is an acceleration power source. In the electron gun having such a configuration, when the filament 1 is heated by the filament heating power supply 5 and the temperature of the filament becomes high, thermal electrons are generated from the filament 1. At this time, since a positive bombard voltage is applied from the bombard power supply 6 between the cathode 2 and the filament 1, thermions from the filament 1 impact the cathode 2. Due to this impact, when the temperature of the cathode 2 becomes high, thermoelectrons are generated from the cathode. At this time, the anode 4 and
Since a positive accelerating voltage is applied from the accelerating power source 7 between the cathode 2 and the grid 3 at the same potential, the thermoelectrons from the cathode 2 flow toward the anode 4 through the electron passage holes 3K of the grid 3. Heading. The thermoelectrons are focused by the grid 3.

【0004】さて、この様な構成の電子銃において、前
記フィラメント1からの熱電子の一部がカソード2以外
の部材、特に正のボンバード電位にあるグリッドやグリ
ッド支持体3H(説明の便宜上、このグリッド3とグリ
ッド支持体3Hをグリッド3と総称する)に照射される
と、カソード2の加熱効率が低下するばかりか、グリッ
ド3が高温になり熱変形してしまう。そこで、フィラメ
ント1とグリッド3の間に、前記グリッド3へ向かうフ
ィラメント1からの熱電子を遮蔽する金属製(例えば、
タンタル)カバー8を配置し、前記フィラメント1の支
持体(図示せず)に、該フィラメント1と同電位になる
ように支持させている。
In the electron gun having such a configuration, a part of the thermoelectrons from the filament 1 is a member other than the cathode 2, particularly a grid or grid support 3H having a positive bombardment potential. When the grid 3 and the grid support 3H are collectively referred to as the grid 3, the heating efficiency of the cathode 2 is reduced, and the grid 3 becomes hot and is thermally deformed. Therefore, between the filament 1 and the grid 3, a metal that shields thermoelectrons from the filament 1 toward the grid 3 (for example,
A tantalum) cover 8 is arranged, and is supported on a support (not shown) of the filament 1 so as to have the same potential as the filament 1.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、フイラメント
1及びカソード2からの輻射熱によりカバー8が高温に
なると、このカバーから熱電子が発生し、該熱電子がグ
リッド3を照射してしまう。この結果、カソード2の加
熱効率が低下し、該カソード2から所定のビーム電流が
得られなくなる。又、前記カバー8からの熱電子により
グリッド3が加熱されて高温になると、該グリッドがガ
スを発生し、それによりグリッド周囲において放電が発
生する。その為、カソード2からアノード4方向へ向か
う電子ビームの流れが極めて不安定になってしまう。本
発明は、この様な問題点を解決する為になされたもの
で、新規な電子銃を提供することを目的とするものであ
る。
However, when the cover 8 becomes hot due to the radiant heat from the filament 1 and the cathode 2, thermal electrons are generated from the cover, and the thermal electrons irradiate the grid 3. As a result, the heating efficiency of the cathode 2 decreases, and a predetermined beam current cannot be obtained from the cathode 2. Also, when the grid 3 is heated by the thermoelectrons from the cover 8 to a high temperature, the grid generates gas, thereby generating a discharge around the grid. Therefore, the flow of the electron beam from the cathode 2 toward the anode 4 becomes extremely unstable. The present invention has been made to solve such a problem, and has as its object to provide a novel electron gun.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明の電子銃は、フィ
ラメント、グリッド、アノードを備え、フィラメントか
ら発生された電子をグリッドの電子通過孔を介してアノ
ード方向に加速するように成し、フィラメントとグリッ
ドの間に、グリッドへ向かうフィラメントからの熱電子
を遮蔽するカバーが配置された電子銃において、前記カ
バーとグリッドの間に、グリッドへ向かう該カバーから
の熱電子を遮蔽する別のカバーを配置したことを特徴と
する。
According to the present invention, there is provided an electron gun including a filament, a grid, and an anode, wherein electrons generated from the filament are accelerated toward an anode through an electron passage hole of the grid. An electron gun in which a cover for shielding thermoelectrons from the filament toward the grid is arranged between the grid and the grid, and another cover for shielding thermoelectrons from the cover toward the grid is provided between the cover and the grid. It is characterized by being arranged.

【0007】又、本発明の電子銃は、フィラメント、カ
ソード、グリッド、アノードを備え、フィラメントから
発生された電子の衝撃に基づいてカソードから発生した
電子をグリッドの電子通過孔を介してアノード方向に加
速するように成し、フィラメントとグリッドの間に、グ
リッドへ向かうフィラメントからの熱電子を遮蔽するカ
バーが配置された電子銃において、前記カバーとグリッ
ドの間に、グリッドへ向かう該カバーからの熱電子を遮
蔽する別のカバーを配置したことを特徴とする。
The electron gun according to the present invention includes a filament, a cathode, a grid, and an anode. Electrons generated from the cathode based on the impact of the electrons generated from the filament are directed toward the anode through the electron passage holes of the grid. An electron gun having a cover arranged between the filament and the grid for shielding thermoelectrons from the filament toward the grid, wherein the heat from the cover toward the grid is provided between the cover and the grid. It is characterized in that another cover for shielding electrons is arranged.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0009】図2は本発明の電子銃の1概略例を示した
もので、前記図1と同一記号の付されたものは同一構成
要素を示す。
FIG. 2 shows a schematic example of an electron gun according to the present invention, in which the same reference numerals as those in FIG. 1 denote the same components.

【0010】図2と図1の構成上の差異は、図2におい
て、金属製カバー8とグリッド3の間に、該グリッド3
へ向かう前記カバー8からの熱電子を遮蔽する第2の金
属製(例えば、タンタル)カバー9を配置し、該第2の
金属製カバーをフィラメント1の支持体(図示せず)
に、フィラメント1と同電位になるように支持させたこ
とにある。
The difference between the configuration of FIG. 2 and FIG. 1 is that in FIG.
A second metal (e.g., tantalum) cover 9 for shielding thermoelectrons from the cover 8 is disposed, and the second metal cover is supported by the filament 1 support (not shown).
And the filament 1 is supported so as to have the same potential.

【0011】図2の電子銃において、フィラメント加熱
電源5によりフイラメント1が加熱され高温になると、
該フィラメント1から熱電子が発生する。該フィラメン
ト1からの熱電子はボンバード電圧により、カソード2
を衝撃する。該衝撃により、カソード2が加熱され高温
になると、該カソードから熱電子が発生する。該カソー
ド2からの熱電子は加速電圧によりグリッド3の電子ビ
ーム通過孔3Kを介してアノード4方向に向かう。
In the electron gun shown in FIG. 2, when the filament 1 is heated by the filament heating power source 5 to a high temperature,
Thermoelectrons are generated from the filament 1. Thermions from the filament 1 are applied to the cathode 2 by the bombard voltage.
Shock. When the cathode 2 is heated to a high temperature by the impact, thermoelectrons are generated from the cathode. The thermoelectrons from the cathode 2 are directed toward the anode 4 via the electron beam passage holes 3K of the grid 3 by the acceleration voltage.

【0012】この際、前記フイラメント1及びカソード
2からの輻射熱によりカバー8が高温になると、このカ
バーから熱電子が発生する。しかし、このカバー8を取
り囲んでいる第2の金属カバー9は前記カバー8と同電
位にあるため、該カバー8からの熱電子は第2のカバー
9を照射しない。
At this time, when the cover 8 becomes hot due to the radiant heat from the filament 1 and the cathode 2, thermoelectrons are generated from the cover. However, since the second metal cover 9 surrounding the cover 8 is at the same potential as the cover 8, the thermoelectrons from the cover 8 do not irradiate the second cover 9.

【0013】その為、第2のカバー9は前記カバー8か
らの輻射熱で多少温度が上がっても、少なくとも熱電子
を発生するような温度には達しない。その為、カソード
2の加熱効率の低下が抑えられる。又、前記カバー8か
らの熱電子がグリッド3へ達することはないので、該グ
リッドのガス発生に基づくグリッド周囲の放電の発生が
無く、その為に、カソード2からアノード4方向へ向か
う電子ビームの流れが不安定になることはない。
Therefore, even if the temperature of the second cover 9 is slightly increased by the radiant heat from the cover 8, the temperature does not reach at least a temperature at which thermoelectrons are generated. Therefore, a decrease in the heating efficiency of the cathode 2 is suppressed. In addition, since the thermoelectrons from the cover 8 do not reach the grid 3, there is no generation of discharge around the grid due to gas generation in the grid. Therefore, the electron beam from the cathode 2 toward the anode 4 is not generated. The flow is not unstable.

【0014】尚、前記例では傍熱型の電子銃を説明した
が、フィラメントからの熱電子をそのままアノード方向
へ向かわせる直熱型の電子銃等、他の電子銃にも応用可
能であることはいうまでもない。
In the above example, an indirectly heated electron gun has been described. However, the invention can be applied to other electron guns such as a directly heated electron gun that directs thermoelectrons from a filament toward an anode. Needless to say.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 従来の電子銃の1概略例を示している。FIG. 1 shows a schematic example of a conventional electron gun.

【図2】 本発明の電子銃の1概略例を示している。FIG. 2 shows a schematic example of an electron gun of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…フィラメント 2…カソード 3…グリッド 4…アノード 5…フィラメント加熱電源 6…ボンバード電源 7…加速電源 8…カバー 9…第2のカバー DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Filament 2 ... Cathode 3 ... Grid 4 ... Anode 5 ... Filament heating power supply 6 ... Bombardment power supply 7 ... Acceleration power supply 8 ... Cover 9 ... Second cover

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 フィラメント、グリッド、アノードを備
え、フィラメントから発生された電子をグリッドの電子
通過孔を介してアノード方向に加速するように成し、フ
ィラメントとグリッドの間に、グリッドへ向かうフィラ
メントからの熱電子を遮蔽するカバーが配置された電子
銃において、前記カバーとグリッドの間に、グリッドへ
向かう該カバーからの熱電子を遮蔽する別のカバーを配
置したことを特徴とする電子銃。
1. A filament, a grid, and an anode, wherein electrons generated from the filament are accelerated toward an anode through an electron passage hole of the grid. An electron gun provided with a cover for shielding thermoelectrons, wherein another cover for shielding thermoelectrons from the cover toward the grid is arranged between the cover and the grid.
【請求項2】 フィラメント、カソード、グリッド、ア
ノードを備え、フィラメントから発生された電子の衝撃
に基づいてカソードから発生した電子をグリッドの電子
通過孔を介してアノード方向に加速するように成し、フ
ィラメントとグリッドの間に、グリッドへ向かうフィラ
メントからの熱電子を遮蔽するカバーが配置された電子
銃において、前記カバーとグリッドの間に、グリッドへ
向かう該カバーからの熱電子を遮蔽する別のカバーを配
置したことを特徴とする電子銃。
2. A system comprising a filament, a cathode, a grid, and an anode, wherein electrons generated from the cathode are accelerated toward an anode through electron passage holes of the grid based on impact of electrons generated from the filament, An electron gun having a cover between a filament and a grid for shielding thermoelectrons from the filament toward the grid, wherein another cover for shielding thermoelectrons from the cover toward the grid between the cover and the grid. An electron gun characterized by disposing.
【請求項3】 前記各カバーは金属製であることを特徴
とする請求項1〜2記載の電子銃。
3. The electron gun according to claim 1, wherein each of said covers is made of metal.
【請求項4】 前記各カバーは前記フィラメントと同電
位であることを特徴とする請求項1〜2記載の電子銃。
4. The electron gun according to claim 1, wherein each of said covers has the same potential as said filament.
JP17875999A 1999-06-24 1999-06-24 Electron gun Withdrawn JP2001006520A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011216481A (en) * 2010-03-31 2011-10-27 General Electric Co <Ge> Pierce gun and method of controlling thereof

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011216481A (en) * 2010-03-31 2011-10-27 General Electric Co <Ge> Pierce gun and method of controlling thereof

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Effective date: 20060905