JP2001003871A - Check valve structure for diaphragm pump - Google Patents

Check valve structure for diaphragm pump

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JP2001003871A
JP2001003871A JP11175043A JP17504399A JP2001003871A JP 2001003871 A JP2001003871 A JP 2001003871A JP 11175043 A JP11175043 A JP 11175043A JP 17504399 A JP17504399 A JP 17504399A JP 2001003871 A JP2001003871 A JP 2001003871A
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JP
Japan
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opening
valve
check valve
diaphragm pump
valve base
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JP11175043A
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Takeshi Kusaka
竹史 日下
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Horiba Ltd
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Horiba Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide check valve structure for a diaphragm pump capable of keeping a stable flow rate characteristic without degradation in a sealing property. SOLUTION: In a area which blocks an air hole 21a of an open/close plate 22 blocking the air hole 21a of a valve base 21, a bulge portion 22d bulging to the opposite side to the valve base 21 is provided. Since the size of the area covering an end surface opening of the air hole 21a is enlarged, pressure acting on the above mentioned area through the air hole 21a is dispersed, so that generated stress is made to be small. And by providing the bulge portion 22d, the area is also reinforced. Therefore, the check valve resists deforming against the pressure acting on through the air hole 21a to prevent degradation in a sealing property, which can keep a stable flow rate characteristic.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ダイアフラムポン
プの逆止弁構造に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a check valve structure for a diaphragm pump.

【0002】[0002]

【従来の技術】ダイアフランムポンプの構成例につい
て、本発明の説明図である図2を参照して説明する。こ
のポンプは、ポンプヘッド下ブロック3と、これに上方
から固定されるポンプヘッド上ブロック9とから成るヘ
ッドブロック内に、ダイアフラム5が設けられ、このダ
イアフラム5は、その中心側が、駆動モータ1によって
上下に往復動される取付盤4に固定されている。このよ
うな構成により、ダイアフラム5とポンプヘッド上ブロ
ック9との間の空間(以下、ポンプ空間という)の容積
が変化し、ポンプヘッド上ブロック9の上壁面9aに形
成されている一対の貫通穴11・11の一方を通してガ
スが上記ポンプ空間に吸引され、吸引されたガスが他方
の貫通穴11を通して吐出されるように構成されてい
る。
2. Description of the Related Art A configuration example of a diaphragm pump will be described with reference to FIG. 2 which is an explanatory view of the present invention. In this pump, a diaphragm 5 is provided in a head block including a pump head lower block 3 and a pump head upper block 9 fixed to the pump head from above. It is fixed to a mounting plate 4 that is reciprocated up and down. With such a configuration, the volume of the space between the diaphragm 5 and the pump head upper block 9 (hereinafter, referred to as a pump space) changes, and a pair of through holes formed in the upper wall surface 9a of the pump head upper block 9 are formed. Gas is sucked into the pump space through one of the holes 11 and 11, and the sucked gas is discharged through the other through hole 11.

【0003】各貫通穴11・11には、それぞれ逆止弁
機能を有するバルブ体12・13が装着されており、図
において左側の吸気側バルブ体12は、上記吸引工程で
ガスの通過を許容し、吐出工程でガスの通過を遮断す
る。右側の吐出側バルブ体13は、上記とは逆に、吐出
工程でガスの通過を許容し、吸引工程でガスの通過を遮
断する。
[0003] Valve bodies 12 and 13 each having a check valve function are mounted in each of the through holes 11 and the intake side valve body 12 on the left side in the figure allows gas to pass therethrough in the suction step. Then, the passage of gas is blocked in the discharging process. Contrary to the above, the right discharge side valve body 13 allows the passage of gas in the discharge step and blocks the passage of gas in the suction step.

【0004】このような逆止弁機能を有するバルブ体
は、従来、図3(a)に示すように、上下に貫通する通
気孔51aが、一つの円に沿って等間隔に複数形成され
ている略円盤状のバルブベース51の上面に、同図
(b)に示すように、可撓性を有する薄板状の開閉板5
2を固定ピン53で同心状に固定して構成されている。
なお、同図には、前記した吐出側バルブ体を示してい
る。吸引側バルブ体はこれと同一の構造であり、裏表逆
にして前記貫通穴に装着することによって、吸引側バル
ブ体としての機能を奏するようになっている。
Conventionally, as shown in FIG. 3A, a valve body having such a check valve function is provided with a plurality of vertically penetrating vent holes 51a formed at equal intervals along one circle. On the upper surface of the substantially disk-shaped valve base 51, as shown in FIG.
2 is concentrically fixed by a fixing pin 53.
FIG. 3 shows the above-mentioned discharge side valve body. The suction-side valve body has the same structure as this, and functions as a suction-side valve body by being installed upside down in the through hole.

【0005】開閉板52は、中心部に固定ピン53が貫
通する貫通穴が形成された固定部52aと、外周側に、
バルブベース51の上記した各通気孔51aの形成領域
を覆うドーナツ形状の開閉部52bとを有する形状に形
成され、この開閉部52bは、3本の蛇行形状の接続部
52cによって固定部52aに接続されている。
The opening / closing plate 52 has a fixing portion 52a having a through hole through which a fixing pin 53 penetrates at a center portion, and
The valve base 51 is formed in a shape having a donut-shaped opening / closing portion 52b that covers the formation region of each of the ventilation holes 51a, and the opening / closing portion 52b is connected to the fixed portion 52a by three meandering connection portions 52c. Have been.

【0006】同図(c)(d)には、吐出側の貫通穴5
4に装着された上記バルブ体の動作状態を示している。
前記した吸引工程では、同図(c)に示すように、バル
ブベース51の上面に開閉板52の開閉部52bが密着
し、これにより、各通気孔51aが塞がれて閉弁状態と
なる。一方、吐出工程では、各通気孔51aを通して下
方から吐出圧が作用することによって、同図(d)に示
すように開閉板52に外周側が上方に反るような撓み変
形が生じて、開閉部52bがバルブベース51の上面か
ら上方に離間した開弁状態となる。これにより、各通気
孔51aを通して、実線矢印で示すようにガスが下方か
ら上方に吐出される。このような閉弁状態と開弁状態と
が前記した吸気工程と吐出工程との切換わりに応じて自
動的に生じて運転が継続される。
FIGS. 1C and 1D show through holes 5 on the discharge side.
4 shows an operation state of the valve body attached to the valve body 4.
In the above-mentioned suction step, as shown in FIG. 3C, the opening / closing portion 52b of the opening / closing plate 52 is in close contact with the upper surface of the valve base 51, whereby each air hole 51a is closed and the valve is closed. . On the other hand, in the discharge step, the discharge pressure acts from below through each of the ventilation holes 51a, and as a result, as shown in FIG. The valve 52b is in an open state separated upward from the upper surface of the valve base 51. As a result, gas is discharged upward from below through the ventilation holes 51a as indicated by solid arrows. Such a valve closing state and a valve opening state are automatically generated in accordance with the switching between the intake step and the discharge step, and the operation is continued.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような開閉板52を設けた従来のバルブ体では、閉弁時
における各バルブ体のシール性が次第に低下し、流量特
性が不安定になるという問題を生じている。つまり、例
えば吐出側バルブ体では、吸引工程において開閉部52
bがバルブベース51の上面に密着した閉弁状態となる
が、このとき、各通気孔51aを覆う領域では、この領
域に各通気孔51aを通して下方への吸引力(吸引側の
バルブ体では吐出圧力)が断続的に繰返される結果、図
3(e)に示すように、通気孔51aを覆う領域が下方
に窪むような永久的な歪み変形が生じ、これによって、
閉弁時におけるバルブベース51の上面への密着性が損
なわれてシール性の低下が生じている。
However, in the conventional valve body provided with the opening / closing plate 52 as described above, the sealing performance of each valve body when the valve is closed gradually decreases, and the flow characteristics become unstable. Has a problem. That is, for example, in the discharge side valve body, the opening and closing
b is in a valve-closed state in close contact with the upper surface of the valve base 51. At this time, in a region covering each ventilation hole 51a, a downward suction force is applied to each region through each ventilation hole 51a (discharge force in the suction side valve body). As a result, as shown in FIG. 3 (e), permanent deformation deformation occurs such that the area covering the ventilation holes 51 a is depressed downward as shown in FIG.
When the valve is closed, the adhesion to the upper surface of the valve base 51 is impaired, and the sealing performance is reduced.

【0008】本発明は、上記した従来の問題点に鑑みな
されたものであって、その目的は、シール性の低下を生
じることなく、安定した流量特性を維持し得るダイアフ
ラムポンプの逆止弁構造を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and has as its object to provide a check valve structure of a diaphragm pump capable of maintaining a stable flow rate characteristic without deteriorating sealing performance. Is to provide.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】そこで請求項1のダイア
フラムポンプの逆止弁構造は、ダイアフラムによって増
減されるポンプ空間に通ずる流路孔が形成されたバルブ
ベースと、上記流路孔を塞ぐようにバルブベースの端面
に沿って配置された薄板状の開閉板とを設け、ポンプ空
間の圧力に応じて上記開閉板が撓み変形して流路孔を開
閉するように形成したダイアフラムポンプの逆止弁構造
であって、上記開閉板における流路孔を塞ぐ領域に、バ
ルブベースとは反対側に膨出する膨出部を設けているこ
とを特徴としている。
Therefore, a check valve structure for a diaphragm pump according to the present invention is characterized in that a valve base having a flow passage opening to a pump space which is increased or decreased by the diaphragm is formed, and the flow passage opening is closed. A check valve of a diaphragm pump which is provided with a thin plate-like opening / closing plate arranged along the end face of the valve base, and wherein the opening / closing plate is bent and deformed according to the pressure of the pump space to open and close the flow passage hole. The valve structure is characterized in that a bulging portion bulging to the side opposite to the valve base is provided in a region of the opening / closing plate that closes the flow path hole.

【0010】この構成によれば、開閉板がバルブベース
の端面に沿って密着して流路孔を閉状態としたとき、流
路孔の端面開口を覆う領域は、この領域が平面状である
形状に比べ、上記膨出部を設けた形状とすることで面積
が広くなる。これにより、流路孔を通して上記領域に作
用する圧力が分散されて、生じる応力が小さくなるの
で、変形し難くなる。また、上記のような膨出部は、バ
ルブベースの端面に沿う平面領域に交差する立上げ部が
連設された形状ともなるので、この立上げ部に沿う方向
の撓み変形に対して剛性が大きくなる。これによって
も、流路孔を通して作用する圧力に対して変形し難くな
る。この結果、流路孔を開閉する撓み変形が繰返されて
も、流路孔の端面開口を覆う領域に永久歪みが生じるこ
とが抑えられてシール性の低下が防止され、安定した流
量特性を維持することができる。
According to this structure, when the opening / closing plate is in close contact with the end surface of the valve base to close the flow path hole, the area covering the end face opening of the flow path hole is flat. As compared with the shape, the area provided with the above-mentioned bulging portion is widened. As a result, the pressure acting on the region through the flow passage hole is dispersed, and the generated stress is reduced. Further, since the bulging portion as described above has a shape in which a rising portion intersecting a plane area along the end face of the valve base is continuously provided, rigidity against bending deformation in a direction along the rising portion is provided. growing. This also makes it difficult for the pressure acting through the flow path hole to deform. As a result, even if the bending deformation for opening and closing the flow passage hole is repeated, the generation of permanent distortion in the region covering the end face opening of the flow passage hole is suppressed, the deterioration of the sealing property is prevented, and the stable flow characteristic is maintained. can do.

【0011】請求項2のダイアフラムポンプの逆止弁構
造は、上記膨出部を断面円弧状に形成していることを特
徴としている。
According to a second aspect of the present invention, the check valve structure of the diaphragm pump is characterized in that the bulging portion is formed in an arc-shaped cross section.

【0012】このように、膨出部を断面円弧状に形成し
た構成では、例えば断面三角形などの角部を有する形状
に比べ、流路孔を通して圧力が作用したときの応力集中
が生じずに略一様な応力分布状態となるので、この膨出
部自体に歪みが生じ難くなって当初の形状が維持され
る。したがって、これによってさらにシール性の低下が
防止され、安定した流量特性が維持される。
As described above, in the configuration in which the bulging portion is formed in an arc shape in cross section, stress concentration when pressure acts through the flow passage hole does not occur as compared with a shape having corner portions such as a triangular cross section. Since a uniform stress distribution state is obtained, it is difficult for the bulging portion itself to be distorted, and the original shape is maintained. Accordingly, this further prevents a decrease in sealing performance, and maintains a stable flow rate characteristic.

【0013】請求項3のダイアフラムポンプの逆止弁構
造は、上記膨出部を、バルブベースの端面に密着したと
きに流路孔の端面開口全体がこの膨出部の内側に含まれ
るように形成していることを特徴としている。
According to a third aspect of the present invention, in the check valve structure for a diaphragm pump, when the bulging portion is brought into close contact with the end surface of the valve base, the entire end face opening of the flow passage hole is included inside the bulging portion. It is characterized by forming.

【0014】この構成によれば、開閉板における膨出部
よりも外側の平面領域には、流路孔の閉時に流路孔を通
しての圧力は作用せず、この平面領域の歪み変形がより
確実に防止される。したがって、この平面領域がバルブ
ベースの端面に沿って密着することでシール性の低下が
さらに確実に防止されて、安定した流量特性が維持され
る。
According to this structure, the pressure through the flow passage hole does not act on the flat region outside the bulging portion of the opening / closing plate when the flow passage hole is closed, and the deformation of the flat region is more reliably performed. Is prevented. Therefore, since the flat area is in close contact with the end face of the valve base, a reduction in sealing performance is more reliably prevented, and a stable flow characteristic is maintained.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】次に、本発明の具体的な実施形態
について図面を参照しつつ詳細に説明する。図2に、本
実施形態に係るダイアフラムポンプを示している。この
ポンプは、駆動モータ1と、このモータ1の前面に設け
られたモータヘッドブロック2と、このブロック2の上
面に固定されたポンプヘッド下ブロック3とを備えてい
る。モータヘッドブロック2内には、駆動モータ1の回
転運動を上下の往復運動に変換する機構が内蔵されてお
り、ポンプヘッド下ブロック3内に、この変換機構に連
結されて上下に駆動される円盤状の取付盤4が配置され
ている。
Next, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 2 shows a diaphragm pump according to the present embodiment. This pump includes a drive motor 1, a motor head block 2 provided on a front surface of the motor 1, and a pump head lower block 3 fixed on an upper surface of the block 2. The motor head block 2 has a built-in mechanism for converting the rotational motion of the drive motor 1 into a vertical reciprocating motion, and a disk connected to the conversion mechanism and driven up and down in the pump head lower block 3. A mounting plate 4 in a shape of is provided.

【0016】この取付盤4の上面に沿って円形薄板状の
ダイアフラム5が配置される。このダイアフラム5は、
その下面にテフロンシート6を、また、上面に平フラン
ジ7を重ねて、これら5・6・7が、その中心位置で取
付盤4に取付ねじ8によって締結される。そして、これ
らを覆うように、ポンプヘッド上ブロック9がその周縁
側に固定ねじ10を上方から挿通させてポンプヘッド下
ブロック3に固定される。このとき、ダイアフラム5の
周縁側が、ポンプヘッド上ブロック9と下ブロック3と
の各円筒状側壁間に挟持して固定された状態に組立てら
れる。
A circular thin diaphragm 5 is arranged along the upper surface of the mounting board 4. This diaphragm 5
The Teflon sheet 6 is placed on the lower surface, and the flat flange 7 is placed on the upper surface, and these 5.6.7 are fastened to the mounting plate 4 by mounting screws 8 at the center position. Then, the pump head upper block 9 is fixed to the pump head lower block 3 by inserting a fixing screw 10 from above into the peripheral side thereof so as to cover them. At this time, the peripheral side of the diaphragm 5 is assembled so as to be sandwiched and fixed between the cylindrical side walls of the upper block 9 and the lower block 3 of the pump head.

【0017】ポンプヘッド上ブロック9の上壁面9aに
は、その中心側に、一対の円形貫通穴11・11が形成
されている。これら貫通穴に、後述する円盤状のバルブ
体12・13がそれぞれ装着される。なお、ポンプヘッ
ド上ブロック9上には、これら貫通穴11・11を上方
から覆うブロック14が装着され、このブロック14の
下面と、各バルブ体12・13との間に、それぞれ上方
から、Oリング15・リング状のアダプタ16・ガスケ
ット17を介装させて、各バルブ体12・13が円形貫
通穴11・11内に固定される。
A pair of circular through holes 11 are formed in the upper wall 9a of the upper block 9 of the pump head at the center thereof. Disc-shaped valve bodies 12 and 13 to be described later are mounted in these through holes, respectively. The pump head upper block 9 is provided with a block 14 for covering the through holes 11 from above. Between the lower surface of the block 14 and the valve bodies 12 and 13, O With the ring 15, the ring-shaped adapter 16 and the gasket 17 interposed, the respective valve bodies 12 and 13 are fixed in the circular through holes 11 and 11.

【0018】各バルブ体12・13は逆止弁機能を有す
るもので、図において左側のバルブ体12(以下、吸気
側バルブ体ともいう)は、上方から下方へのガスの通過
を許容し、下方から上方へのガスの通過を遮断する。右
側のバルブ体13(以下、吐出側バルブ体ともいう)
は、上記とは逆に、下方から上方へのガスの通過を許容
し、上方から下方へのガスの通過を遮断する。
Each of the valve bodies 12 and 13 has a check valve function, and the left valve body 12 (hereinafter also referred to as an intake side valve body) in the figure allows gas to pass from above to below. It blocks the passage of gas from below to above. Right valve body 13 (hereinafter also referred to as discharge side valve body)
Conversely, permits the passage of gas from below to above and blocks the passage of gas from above to below.

【0019】このような構成において、駆動モータ1が
作動されると、ダイアフラム5は、その周縁側がポンプ
ヘッド上ブロック9と下ブロック3との間に固定された
状態で、中心側が取付盤4と共に一体的に上下動する。
この結果、このダイアフラム5とポンプヘッド上ブロッ
ク9の上壁面9aとの間の空間(以下、ポンプ空間とい
う)の容積が変化してポンプ作用が生じる。
In such a configuration, when the drive motor 1 is operated, the diaphragm 5 is fixed between the upper block 9 and the lower block 3 of the pump head at the peripheral side, and the mounting plate 4 is positioned at the center side. Together move up and down.
As a result, the volume of the space between the diaphragm 5 and the upper wall surface 9a of the upper pump head block 9 (hereinafter referred to as a pump space) changes, and a pumping action occurs.

【0020】すなわち、ダイアフラム5が下降する吸気
工程では、ポンプ空間の増加に伴ってこのポンプ空間へ
のガスの吸引力が生じ、これによって、実線矢印で示す
ように、ブロック14に形成されている図示しない吸い
込み流路、及び吸気側バルブ体12を通してガスが上記
ポンプ空間に吸い込まれる。このとき、吐出側バルブ体
13は閉弁状態で保持される。
That is, in the suction step in which the diaphragm 5 descends, the suction force of the gas into the pump space is generated as the pump space increases, thereby forming a block 14 as shown by a solid line arrow. Gas is sucked into the pump space through a suction passage (not shown) and the intake side valve body 12. At this time, the discharge side valve body 13 is held in a closed state.

【0021】次いで、ダイアフラム5が上昇する吐出工
程で、ポンプ空間に吸引されていたガスが、このポンプ
空間の減少に伴い、吐出側バルブ体13およびブロック
14に形成されている図示しない吐出流路を通して、図
中破線矢印で示すように、このブロック14から外部に
吐出される。このとき、吸気側バルブ体12は閉弁状態
で保持される。これら吸気工程と吐出工程との繰返しに
伴ってガスが順次吸引され、圧力が高められて吐出され
る。
Next, in the discharge step in which the diaphragm 5 rises, the gas that has been sucked into the pump space is reduced by the decrease in the pump space, and the discharge passage (not shown) formed in the discharge side valve body 13 and the block 14. Is discharged from this block 14 to the outside as shown by the broken line arrow in the figure. At this time, the intake side valve body 12 is held in a closed state. With the repetition of the suction step and the discharge step, the gas is sequentially sucked, and the pressure is increased to be discharged.

【0022】次に、上記のような逆止弁機能を有するバ
ルブ体12・13の具体的な構造について説明する。な
お、これらバルブ体12・13は互いに同一構造で形成
され、各貫通穴11・11に裏表の向きを変えて装着し
ている点のみが相違するだけであるので、以下では、吐
出側バルブ体13を例に挙げて説明する。
Next, the specific structure of the valve bodies 12 and 13 having the above-described check valve function will be described. Note that these valve bodies 12 and 13 are formed in the same structure as each other, and the only difference is that they are mounted in the respective through holes 11 and 11 with the front and rear sides changed. 13 will be described as an example.

【0023】このバルブ体13は、図1(a)に示すよ
うに、略円盤状のバルブベース21と、このベース21
の上面に沿わせて取付けられた可撓性を有する薄板状の
開閉板22と、これらバルブベース21と開閉板22と
を互いに同心状にして中心位置で固定する固定ピン23
とによって構成されている。
As shown in FIG. 1 (a), the valve body 13 has a substantially disc-shaped valve base 21 and
A flexible thin plate-shaped opening / closing plate 22 attached along the upper surface of the base plate, and a fixing pin 23 for fixing the valve base 21 and the opening / closing plate 22 concentrically with each other and fixing them at a center position.
And is constituted by.

【0024】バルブベース21には、同図(b)に示す
ように、上下に貫通する通気孔(流路孔)21aが複
数、図の場合には16個設けられている。これら通気孔
21aは、一つの円に沿って等間隔に形成されている。
As shown in FIG. 2B, the valve base 21 is provided with a plurality of vent holes (flow passage holes) 21a penetrating vertically, in the case of FIG. These ventilation holes 21a are formed at equal intervals along one circle.

【0025】開閉板22は、例えば厚さ120μm程度
のステンレス鋼板を用いて作製されている。本実施形態
における開閉板22は、中心部に固定ピン23が貫通す
る貫通穴が形成された固定部22aと、外周側に、上記
バルブベース21の各通気孔21aの形成領域を覆うド
ーナツ形状の開閉部22bとを有する形状に形成され、
この開閉部22bは、3本の蛇行形状の接続部22cに
よって固定部22aに接続されている。そして上記開閉
部22bに、全周にわたって上方に膨出させた膨出部2
2dが設けられている。
The opening / closing plate 22 is made of, for example, a stainless steel plate having a thickness of about 120 μm. The opening / closing plate 22 in the present embodiment has a doughnut-shaped portion that has a fixed portion 22a formed with a through hole through which the fixed pin 23 penetrates in the center portion, and a donut-shaped portion that covers the formation region of each of the vent holes 21a of the valve base 21 on the outer periphery. It is formed in a shape having an opening / closing portion 22b,
The opening / closing portion 22b is connected to the fixed portion 22a by three meandering connection portions 22c. A swelling portion 2 swelling upward over the entire circumference is provided on the opening / closing portion 22b.
2d is provided.

【0026】この膨出部22dは、同図(c)に示すよ
うに、半円状の断面形状で形成されている。また、バル
ブベース21の各通気孔21aに対し、これら各通気孔
21aの上端開口の全体が膨出部22dで囲われる空間
内に含まれるように、この膨出部22d下端の幅寸法が
設定されている。
The bulging portion 22d has a semicircular cross-sectional shape as shown in FIG. The width of the lower end of the bulging portion 22d is set so that the entire upper end opening of each of the vent holes 21a is included in the space surrounded by the bulging portion 22d. Have been.

【0027】上記構成のバルブ体13は、前記した吸気
工程では各通気孔21aを通して開閉部22bに下方へ
の吸引力が作用する結果、同図(c)に示すように、開
閉部22bにおける膨出部22dを除く平面領域がバル
ブベース21の上面に密着し、これによって、各通気孔
21aを通しての流路を遮断した閉弁状態となる。
In the above-described valve body 13, the downward suction force acts on the opening / closing portion 22b through each vent hole 21a in the above-described intake process, and as a result, as shown in FIG. The plane area excluding the protruding portion 22d is in close contact with the upper surface of the valve base 21, whereby the valve is in a valve-closed state in which the flow path through each vent hole 21a is shut off.

【0028】一方、前記した吐出工程では、各通気孔2
1aを通して開閉部22bに下方から吐出圧が作用し、
この結果、同図(d)に示すように、開閉板22に外周
側が上方に反るような撓み変形が生じて、開閉部22b
がバルブベース21の上面か上方に離間した開弁状態と
なる。これにより、各通気孔21aを通して、実線矢印
で示すようにガスが下方から上方に吐出される。そし
て、このような閉弁状態と開弁状態とが前記した吸気工
程と吐出工程との切換わりに応じて自動的に生じて運転
が継続される。
On the other hand, in the above-described discharge step, each air hole 2
The discharge pressure acts on the opening / closing portion 22b from below through 1a,
As a result, as shown in FIG. 4D, the opening / closing plate 22 undergoes a bending deformation such that the outer peripheral side is warped upward, and the opening / closing portion 22 b
Is in an open state separated from the upper surface of the valve base 21 or upward. Thereby, the gas is discharged upward from below through each ventilation hole 21a as shown by the solid arrow. The valve closing state and the valve opening state are automatically generated in accordance with the switching between the intake step and the discharge step, and the operation is continued.

【0029】ところで、同図(c)に示す閉弁状態で
は、各通気孔21aを通して開閉部22bに下方への吸
引力が作用する。これは、前記の吸気側バルブ体12に
おいても同様であり、この場合には、吸気側バルブ体1
2が閉弁状態のときに前記ポンプ空間で生じる吐出圧が
作用する。このような吸引力や吐出圧力が作用する状態
が断続的に繰返される結果、従来のバルブ体では、前記
のように開閉部に永久的な歪み変形が生じて、閉弁時の
シール性が低下するという問題が生じていた。
By the way, in the valve closed state shown in FIG. 2C, a downward suction force acts on the opening / closing portion 22b through each air hole 21a. The same applies to the intake side valve body 12 described above. In this case, the intake side valve body 1
When the valve 2 is in a closed state, the discharge pressure generated in the pump space acts. As a result of intermittent repetition of the state in which such suction force and discharge pressure act, in the conventional valve body, permanent distortion deformation occurs in the opening / closing portion as described above, and the sealing performance at the time of valve closing decreases. Problem had arisen.

【0030】これに対し、本実施形態では、開閉部22
bに上方への膨出部22dを設けているので、通気孔2
1aの端面開口を覆う領域の面積が広くなる。これによ
り、通気孔21aを通して上記領域に作用する圧力が分
散され、生じる応力が小さくなる。また、上記のような
膨出部22dを設けることで、上記領域が補強されるこ
とともなり、これによって、通気孔21aを通して作用
する圧力に対して変形し難くなる。この結果、通気孔2
1aの開閉に伴う撓み変形が繰返されても、通気孔21
aの端面開口を覆う領域に永久歪みが生じることが抑え
られてシール性の低下が防止され、安定した流量特性が
維持される。
On the other hand, in the present embodiment, the opening / closing section 22
b is provided with an upwardly bulging portion 22d,
The area of the region covering the end face opening of 1a increases. As a result, the pressure acting on the region through the air holes 21a is dispersed, and the generated stress is reduced. In addition, by providing the above-described bulging portion 22d, the above-mentioned region is reinforced, and thereby, it is difficult to be deformed by the pressure acting through the ventilation hole 21a. As a result, the ventilation holes 2
Even if the bending deformation caused by the opening and closing of 1a is repeated, the ventilation holes 21
The generation of permanent distortion in the area covering the end face opening of “a” is suppressed, the deterioration of sealing performance is prevented, and stable flow characteristics are maintained.

【0031】また、上記の膨出部22dは断面円弧状に
形成されているので、この膨出部22dにおいて、通気
孔21aを通して圧力が作用したときの応力集中が生じ
ずに略一様な応力分布状態となる。これにより、この膨
出部22d自体にも歪みが生じ難くなって当初の形状が
維持されるので、これによってもさらにシール性の低下
が防止され、安定した流量特性が維持される。
Since the bulging portion 22d is formed in an arcuate cross section, substantially uniform stress is not generated in the bulging portion 22d when a pressure is applied through the vent hole 21a. It becomes a distribution state. As a result, the bulging portion 22d itself is unlikely to be distorted, and the initial shape is maintained. This also prevents a decrease in sealing performance and maintains a stable flow rate characteristic.

【0032】さらに、上記の膨出部22dは、バルブベ
ース21の端面に密着したときに通気孔21aの端面開
口全体がこの膨出部22dの内側に含まれるように形成
されている。このため、開閉部22bにおける膨出部2
2dよりも外側の平面領域には、通気孔21aの閉時に
通気孔21aを通しての圧力は作用せず、この平面領域
の歪み変形がより確実に防止される。したがって、この
平面領域がバルブベース21の端面に沿って密着するこ
とでシール性の低下がさらに確実に防止されて、安定し
た流量特性が維持される。
Further, the bulging portion 22d is formed such that the entire end face opening of the ventilation hole 21a is included inside the bulging portion 22d when the bulging portion 22d is in close contact with the end face of the valve base 21. For this reason, the bulging part 2 in the opening / closing part 22b
No pressure is applied to the flat area outside the 2d when the air hole 21a is closed when the air hole 21a is closed, so that the deformation of the flat area is more reliably prevented. Therefore, since the flat region adheres tightly along the end face of the valve base 21, a decrease in sealing performance is more reliably prevented, and a stable flow characteristic is maintained.

【0033】以上にこの発明の具体的な実施形態につい
て説明したが、この発明は上記形態に限定されるもので
はなく、この発明の範囲内で種々変更することが可能で
ある。例えば上記形態では、膨出部22dを各通気孔2
1aが配列された円に沿う周状に形成した例を挙げた
が、各通気孔21a毎に対応する領域に離散的に膨出部
を形成した構成とすること等も可能である。また上記で
は、膨出部22dを断面円弧状に形成した例を挙げた
が、請求項1・3の範囲においては、断面形状を楕円状
や三角形・四角形など任意の形状とした膨出部を設けて
構成することができる。
Although the specific embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above embodiments, and various changes can be made within the scope of the present invention. For example, in the above embodiment, the bulging portion 22d is
Although an example has been described in which the protrusions 1a are formed in a circumferential shape along a circle in which they are arranged, it is also possible to adopt a configuration in which bulging portions are discretely formed in a region corresponding to each of the ventilation holes 21a. In the above description, the example in which the bulging portion 22d is formed in an arc shape in cross section has been described. It can be provided and configured.

【0034】さらに上記では、開閉板22が、バルブベ
ース21の端面に密着したとき、通気孔21aの端面開
口全体が膨出部22dの内側に含まれるように、この膨
出部22dの幅寸法を設定して形成した例を挙げたが、
請求項1・2の範囲においては、通気孔21aの端面開
口の一部が膨出部22dの外側に位置するように、この
膨出部22dの幅寸法を小さくした形状等とすることも
可能である。このような形状の膨出部22dでも、通気
孔21aの端面開口を覆う領域の面積が広くなること、
また、この領域が膨出部22dによって補強されること
になるので、この膨出部22より外側の平面領域の歪み
変形が生じ難くなって、シール性の低下が抑えられ、安
定した流量特性が維持される。
Further, in the above description, when the opening / closing plate 22 is in close contact with the end face of the valve base 21, the width dimension of the bulging portion 22d is so set that the entire end face opening of the vent hole 21a is included inside the bulging portion 22d. Although the example of setting and forming was given,
In the scope of claims 1 and 2, the width of the bulging portion 22d may be reduced so that a part of the end face opening of the ventilation hole 21a is located outside the bulging portion 22d. It is. Even with the bulging portion 22d having such a shape, the area of the region covering the end face opening of the ventilation hole 21a is increased,
In addition, since this region is reinforced by the bulging portion 22d, distortion and deformation of the plane region outside the bulging portion 22 are unlikely to occur, and a decrease in sealing performance is suppressed, and a stable flow rate characteristic is obtained. Will be maintained.

【0035】また上記では、ガス用のダイアフラムポン
プを例に挙げて説明したが、液体用のダイアフラムポン
プにも本発明を適用して構成することが可能である。
In the above description, the gas diaphragm pump has been described as an example. However, the present invention can be applied to a liquid diaphragm pump.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上のように、本発明の請求項1のダイ
アフラムポンプの逆止弁構造においては、バルブベース
の流路孔を塞ぐ開閉板には、流路孔を塞ぐ領域にバルブ
ベースとは反対側に膨出する膨出部を設けているので、
流路孔の端面開口を覆う領域の面積が広くなる。これに
より、流路孔を通して上記領域に作用する圧力が分散さ
れ、生じる応力が小さくなる。また、上記のような膨出
部を設けることで、上記領域が補強されることともな
り、これによって、流路孔を通して作用する圧力に対し
て変形し難くなる。この結果、流路孔を開閉する撓み変
形が繰返されても、流路孔の端面開口を覆う領域に永久
歪みが生じることが抑えられてシール性の低下が防止さ
れ、安定した流量特性を維持することができる。
As described above, in the check valve structure of the diaphragm pump according to the first aspect of the present invention, the opening / closing plate for closing the passage hole of the valve base is provided with the valve base in the region for closing the passage hole. Has a bulging part that bulges out on the opposite side,
The area of the region covering the end face opening of the flow path hole is increased. As a result, the pressure acting on the region through the flow path hole is dispersed, and the generated stress is reduced. In addition, by providing the above-described bulging portion, the above-mentioned region is reinforced, and thus, it becomes difficult to be deformed by the pressure acting through the flow passage hole. As a result, even if the bending deformation for opening and closing the flow passage hole is repeated, the generation of permanent distortion in the region covering the end face opening of the flow passage hole is suppressed, the deterioration of the sealing property is prevented, and the stable flow characteristic is maintained. can do.

【0037】請求項2のダイアフラムポンプの逆止弁構
造においては、上記膨出部を断面円弧状に形成している
ので、この膨出部において、流路孔を通して圧力が作用
したときの応力集中が生じずに略一様な応力分布状態と
なるので、この膨出部自体に歪みが生じ難くなって当初
の形状が維持されるので、これによってもさらにシール
性の低下が防止され、安定した流量特性が維持される。
In the check valve structure for a diaphragm pump according to the second aspect, since the bulging portion is formed in an arcuate cross section, stress concentration when pressure acts through the flow passage hole in the bulging portion. Is not generated, and a substantially uniform stress distribution state is obtained, so that the swelling portion itself is hardly distorted and the original shape is maintained, so that the sealing property is further prevented from lowering and stable. Flow characteristics are maintained.

【0038】請求項3のダイアフラムポンプの逆止弁構
造においては、上記膨出部を、バルブベースの端面に密
着したときに流路孔の端面開口全体がこの膨出部の内側
に含まれるように形成しているので、開閉板における膨
出部よりも外側の平面領域には、流路孔の閉時に流路孔
を通しての圧力は作用せず、この平面領域の歪み変形が
より確実に防止される。したがって、この平面領域がバ
ルブベースの端面に沿って密着することでシール性の低
下がさらに確実に防止されて、安定した流量特性が維持
される。
In the check valve structure for a diaphragm pump according to the third aspect, when the bulging portion is in close contact with the end surface of the valve base, the entire end face opening of the flow passage hole is included inside the bulging portion. Since the pressure is not applied to the flat area outside the bulging portion of the opening / closing plate when the flow path hole is closed, the deformation of the flat area is more reliably prevented. Is done. Therefore, since the flat area is in close contact with the end face of the valve base, a reduction in sealing performance is more reliably prevented, and a stable flow characteristic is maintained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態におけるダイアフラムポン
プの要部構成を示すもので、同図(a)は上記ダイアフ
ラムポンプに組み込まれているバルブ体の斜視図、同図
(b)は上記バルブ体の分解斜視図、同図(c)は上記
バルブ体の閉弁時の動作状態を示す断面図、同図(d)
は上記バルブ体の開弁時の動作状態を示す断面図であ
る。
FIGS. 1A and 1B show a main configuration of a diaphragm pump according to an embodiment of the present invention. FIG. 1A is a perspective view of a valve body incorporated in the diaphragm pump, and FIG. FIG. 3C is an exploded perspective view of the valve body, and FIG. 4C is a cross-sectional view showing an operation state when the valve body is closed, and FIG.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing an operation state when the valve body is opened.

【図2】上記ダイアフラムポンプの構成を示す分解斜視
図である。
FIG. 2 is an exploded perspective view showing a configuration of the diaphragm pump.

【図3】従来のダイアフラムポンプの要部構成を示すも
ので、同図(a)は上記ダイアフラムポンプに組み込ま
れているバルブ体のバルブベースを示す斜視図、同図
(b)は上記バルブベースに開閉板を取付けて構成され
たバルブ体の斜視図、同図(c)は上記バルブ体の閉弁
時の動作状態を示す断面図、同図(d)は上記バルブ体
の開弁時の動作状態を示す断面図、同図(e)は上記開
閉板に歪み変形が生じた状態を示す断面図である。
FIGS. 3A and 3B show a main part configuration of a conventional diaphragm pump. FIG. 3A is a perspective view showing a valve base of a valve body incorporated in the diaphragm pump, and FIG. 3B is a view showing the valve base. (C) is a cross-sectional view showing an operation state when the valve body is closed, and FIG. (D) is a cross-sectional view showing an operation state when the valve body is opened. FIG. 4E is a cross-sectional view showing an operation state, and FIG. 4E is a cross-sectional view showing a state in which the opening / closing plate is deformed.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

5 ダイアフラム 12 吸気側バルブ体 13 吐出側バルブ体 21 バルブベース 21a 通気孔(流路孔) 22 開閉板 22d 膨出部 5 Diaphragm 12 Intake side valve body 13 Discharge side valve body 21 Valve base 21a Vent hole (flow path hole) 22 Opening / closing plate 22d Swelling part

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ダイアフラムによって増減されるポンプ
空間に通ずる流路孔が形成されたバルブベースと、上記
流路孔を塞ぐようにバルブベースの端面に沿って配置さ
れた薄板状の開閉板とを設け、ポンプ空間の圧力に応じ
て上記開閉板が撓み変形して流路孔を開閉するように形
成したダイアフラムポンプの逆止弁構造であって、 上記開閉板における流路孔を塞ぐ領域に、バルブベース
とは反対側に膨出する膨出部を設けていることを特徴と
するダイアフラムポンプの逆止弁構造。
1. A valve base in which a flow passage hole communicating with a pump space which is increased and decreased by a diaphragm is formed, and a thin plate-shaped opening / closing plate arranged along an end face of the valve base so as to close the flow passage hole. A check valve structure of a diaphragm pump formed so that the opening / closing plate is bent and deformed in response to the pressure of the pump space to open and close the flow passage hole, and in a region for closing the flow passage hole in the opening / closing plate, A check valve structure for a diaphragm pump, wherein a bulging portion bulging out on the opposite side to the valve base is provided.
【請求項2】 上記膨出部を断面円弧状に形成している
ことを特徴とする請求項1のダイアフラムポンプの逆止
弁構造。
2. The check valve structure for a diaphragm pump according to claim 1, wherein said bulging portion is formed in an arc shape in cross section.
【請求項3】 上記膨出部を、バルブベースの端面に密
着したときに流路孔の端面開口全体がこの膨出部の内側
に含まれるように形成していることを特徴とする請求項
1又は2のダイアフラムポンプの逆止弁構造。
3. The swelling portion is formed such that the entire end face opening of the flow passage hole is included inside the swelling portion when the swelling portion is in close contact with the end face of the valve base. The check valve structure of the diaphragm pump of 1 or 2.
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