JP2000357805A - Light module, its manufacture and light-transmitting device - Google Patents

Light module, its manufacture and light-transmitting device

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JP2000357805A
JP2000357805A JP11169660A JP16966099A JP2000357805A JP 2000357805 A JP2000357805 A JP 2000357805A JP 11169660 A JP11169660 A JP 11169660A JP 16966099 A JP16966099 A JP 16966099A JP 2000357805 A JP2000357805 A JP 2000357805A
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JP
Japan
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electrode
wiring pattern
optical
optical module
platform
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP11169660A
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Japanese (ja)
Inventor
Akihiro Murata
昭浩 村田
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light module that can be incorporated into a final product without applying any operation to a light element, its manufacturing method, and a light-transmitting device. SOLUTION: The light module includes a substrate 40 where a wiring pattern is formed, a platform 10 that is mounted to the substrate 40, an optical fiber 30 that is positioned at the platform 10 for supporting, and a light element 20. The light element 20 has an electrode 24 and an optical part 22 while the optical part 22 is directed toward the end face of the optical fiber 30 and an electrode 24 mounted to the platform 10 is electrically connected to the wiring pattern.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光モジュール及び
その製造方法並びに光伝達装置に関する。
The present invention relates to an optical module, a method of manufacturing the same, and an optical transmission device.

【0002】[0002]

【発明の背景】近年、情報通信が高速化・大容量化の傾
向にあり、光通信の開発が進んでいる。一般に、光通信
では、電気信号を光信号に変換し、光信号を光ファイバ
で送信し、受信した光信号を電気信号に変換する。電気
信号と光信号との変換は光素子によって行われる。
2. Description of the Related Art In recent years, information communication has been trending toward higher speed and larger capacity, and optical communication has been developed. Generally, in optical communication, an electric signal is converted into an optical signal, the optical signal is transmitted through an optical fiber, and the received optical signal is converted into an electric signal. The conversion between an electric signal and an optical signal is performed by an optical element.

【0003】例えば、特開平10−339824号公報
には、V溝が形成されたプラットフォームに光ファイバ
を位置決めして固定して、光モジュールを構成すること
が記載されている。
For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-339824 describes that an optical module is formed by positioning and fixing an optical fiber on a platform having a V-groove formed therein.

【0004】同公報には、光素子と外部との電気的な接
続方法が記載されていないので、最終的な製品にプラッ
トフォームを組み込んでから、ワイヤを使用して、光素
子と外部との接続を図ると考えられる。したがって、製
造工程の最終段階で、光素子に対してワイヤをボンディ
ングするので、このときに光ファイバの位置がずれるな
どの不都合が生じることがあり得る。
Since the publication does not describe a method for electrically connecting an optical element to the outside, the platform is incorporated into the final product, and then the connection between the optical element and the outside is made using a wire. It is thought to aim at. Therefore, since the wire is bonded to the optical element at the final stage of the manufacturing process, inconvenience such as displacement of the optical fiber may occur at this time.

【0005】本発明は、この問題点を解決するものであ
り、その目的は、光素子に対して作用を加えずに最終製
品に組み込むことができる光モジュール及びその製造方
法並びに光伝達装置を提供することにある。
An object of the present invention is to solve this problem, and an object of the present invention is to provide an optical module which can be incorporated into a final product without acting on an optical element, a method of manufacturing the same, and an optical transmission device. Is to do.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】(1)本発明に係る光モ
ジュールは、配線パターンが形成された基板と、前記基
板に取り付けられたプラットフォームと、前記プラット
フォームに配置された光ファイバと、電極及び光学的部
分を有し、前記光学的部分を前記光ファイバの端面に向
けて前記プラットフォームに搭載され、前記電極が前記
配線パターンに電気的に接続された光素子と、を含む。
(1) An optical module according to the present invention comprises a substrate on which a wiring pattern is formed, a platform attached to the substrate, an optical fiber disposed on the platform, electrodes, An optical element having an optical part, the optical part being mounted on the platform with the optical part facing the end face of the optical fiber, and the electrode being electrically connected to the wiring pattern.

【0007】本発明によれば、光素子の電極が配線パタ
ーンに電気的に接続されているので、配線パターンを介
して、光素子の電極と外部とを電気的に接続することが
できる。その結果、外部との電気的な接続時に、光素子
に作用を加えることがないので、光素子の光学的部分と
光ファイバとの位置がずれることがなくなる。
According to the present invention, since the electrode of the optical element is electrically connected to the wiring pattern, the electrode of the optical element can be electrically connected to the outside via the wiring pattern. As a result, no action is applied to the optical element at the time of electrical connection with the outside, so that the position of the optical part of the optical element and the optical fiber do not shift.

【0008】(2)この光モジュールにおいて、前記基
板には、前記配線パターンに電気的に接続された外部端
子が設けられていてもよい。
(2) In this optical module, the substrate may be provided with an external terminal electrically connected to the wiring pattern.

【0009】(3)この光モジュールにおいて、前記電
極は、前記光素子における前記光学的部分とは反対側の
面に形成されていてもよい。
(3) In this optical module, the electrode may be formed on a surface of the optical element opposite to the optical part.

【0010】(4)この光モジュールにおいて、前記光
ファイバは、前記基板の面とほぼ平行に配設されていて
もよい。
(4) In this optical module, the optical fiber may be disposed substantially parallel to a surface of the substrate.

【0011】(5)この光モジュールにおいて、前記電
極の面は、前記基板の面に対してほぼ直角に位置してい
てもよい。
(5) In this optical module, the surface of the electrode may be located substantially perpendicular to the surface of the substrate.

【0012】(6)この光モジュールにおいて、前記電
極と前記配線パターンとの間に、ハンダ及び導電ペース
トの一方が設けられて電気的導通が図られていてもよ
い。
(6) In this optical module, one of a solder and a conductive paste may be provided between the electrode and the wiring pattern to achieve electrical continuity.

【0013】これによれば、ハンダ及び導電ペーストの
一方を使用することで、電極と配線パターンとが対面し
ていなくても、両者を電気的に接続することができる。
According to this, by using one of the solder and the conductive paste, even if the electrode and the wiring pattern do not face each other, they can be electrically connected.

【0014】(7)この光モジュールにおいて、前記配
線パターン上に弾性を有する導電部材が設けられ、前記
導電部材は、弾性によって前記電極に接触していてもよ
い。
(7) In this optical module, a conductive member having elasticity may be provided on the wiring pattern, and the conductive member may be in contact with the electrode by elasticity.

【0015】これによれば、導電部材の弾性を利用する
ので、簡単に導電部材と電極との電気的な接続を図るこ
とができ、電極と配線パターンとが対面していなくて
も、両者を電気的に接続することができる。
According to this, since the elasticity of the conductive member is used, the electrical connection between the conductive member and the electrode can be easily achieved, and even if the electrode and the wiring pattern do not face each other, both can be connected. Can be electrically connected.

【0016】(8)この光モジュールにおいて、前記電
極と前記配線パターンとは、ワイヤによって接続され、
前記ワイヤの一方の端部が前記配線パターンにボンディ
ングされ、前記ワイヤの端部を除く部分が前記電極にボ
ンディングされていてもよい。
(8) In this optical module, the electrode and the wiring pattern are connected by a wire,
One end of the wire may be bonded to the wiring pattern, and a portion other than the end of the wire may be bonded to the electrode.

【0017】これによれば、ワイヤの中間部が電極にボ
ンディングされている。一般的なワイヤボンディングは
上を向く電極になされるが、ワイヤの中間部を使用すれ
ば、水平方向を向く電極に対してもボンディングを行う
ことができる。
According to this, the middle part of the wire is bonded to the electrode. In general, wire bonding is performed on an electrode facing upward. However, if an intermediate portion of the wire is used, bonding can be performed on an electrode facing in the horizontal direction.

【0018】(9)この光モジュールにおいて、支持部
材が前記基板上に設けられ、前記配線パターンにワイヤ
の一方の端部がボンディングされ、前記ワイヤの端部を
除く部分が、前記支持部材と前記電極との間に挟まれる
ことで、前記電極に接続されていてもよい。
(9) In this optical module, a support member is provided on the substrate, one end of a wire is bonded to the wiring pattern, and a portion excluding the end of the wire is connected to the support member by the support member. The electrode may be connected to the electrode by being sandwiched between the electrode and the electrode.

【0019】これによれば、支持部材と電極でワイヤを
挟むことで、簡単にワイヤと電極との電気的な接続を図
ることができる。
According to this, by sandwiching the wire between the support member and the electrode, the electrical connection between the wire and the electrode can be easily achieved.

【0020】(10)この光モジュールにおいて、前記
プラットフォームには、導電層が形成されており、前記
導電層は、前記配線パターンに電気的に接続されていて
もよい。
(10) In this optical module, a conductive layer may be formed on the platform, and the conductive layer may be electrically connected to the wiring pattern.

【0021】(11)この光モジュールにおいて、少な
くとも前記電極と前記配線パターンとの電気的な接続部
を封止する封止部をさらに有していてもよい。
(11) The optical module may further include a sealing portion for sealing at least an electrical connection portion between the electrode and the wiring pattern.

【0022】(12)この光モジュールにおいて、前記
封止部は、前記電極と前記配線パターンとの電気的な接
続部を封止する第1の樹脂部と、前記第1の樹脂部を封
止する第2の樹脂部と、を含んでもよい。
(12) In this optical module, the sealing portion seals the first resin portion for sealing an electrical connection portion between the electrode and the wiring pattern, and seals the first resin portion. And a second resin part.

【0023】(13)この光モジュールにおいて、前記
第1の樹脂部は、前記第2の樹脂部よりも柔軟性が高く
てもよい。
(13) In this optical module, the first resin portion may have higher flexibility than the second resin portion.

【0024】これによれば、電極と配線パターンとの電
気的な接続部に対して大きな応力が加えられないので接
続部が保護される。
According to this, since no large stress is applied to the electrical connection between the electrode and the wiring pattern, the connection is protected.

【0025】(14)本発明に係る光伝達装置は、光フ
ァイバと、前記光ファイバの両端に取り付けられた光モ
ジュールと、を含み、前記光モジュールは、配線パター
ンが形成された基板と、前記基板に取り付けられ、前記
光ファイバが形成されてなるプラットフォームと、電極
及び光学的部分を有し、前記光学的部分を前記光ファイ
バの端面に向けて前記プラットフォームに搭載され、前
記電極が前記配線パターンに電気的に接続された光素子
と、を含む。
(14) An optical transmission device according to the present invention includes an optical fiber, and optical modules attached to both ends of the optical fiber, wherein the optical module includes: a substrate on which a wiring pattern is formed; A platform having the optical fiber formed thereon, the platform having an electrode and an optical portion, the optical portion being mounted on the platform with the optical portion facing an end surface of the optical fiber, the electrode being provided with the wiring pattern; And an optical element electrically connected to the optical element.

【0026】本発明によれば、光素子の電極が配線パタ
ーンに電気的に接続されているので、配線パターンを介
して、光素子の電極と外部とを電気的に接続することが
できる。その結果、外部との電気的な接続時に、光素子
に作用を加えることがないので、光素子の光学的部分と
光ファイバとの位置がずれることがなくなる。
According to the present invention, since the electrode of the optical element is electrically connected to the wiring pattern, the electrode of the optical element can be electrically connected to the outside via the wiring pattern. As a result, no action is applied to the optical element at the time of electrical connection with the outside, so that the position of the optical part of the optical element and the optical fiber do not shift.

【0027】(15)本発明に係る光モジュールの製造
方法は、プラットフォームに光素子を搭載する工程と、
前記光素子が搭載された前記プラットフォームを、配線
パターンが形成された基板に取り付ける工程と、前記プ
ラットフォームに光ファイバを位置合わせして支持させ
る工程と、前記光素子に形成された電極と前記配線パタ
ーンとを電気的に接続する工程と、を含む。
(15) A method of manufacturing an optical module according to the present invention comprises the steps of: mounting an optical element on a platform;
Attaching the platform on which the optical element is mounted to a substrate on which a wiring pattern is formed; aligning and supporting an optical fiber on the platform; and forming an electrode formed on the optical element and the wiring pattern. And electrically connecting the above.

【0028】本発明によれば、光素子の電極が配線パタ
ーンに電気的に接続されているので、配線パターンを介
して、光素子の電極と外部とを電気的に接続することが
できる。その結果、外部との電気的な接続時に、光素子
に作用を加えることがないので、光素子の光学的部分と
光ファイバとの位置がずれることがなくなる。
According to the present invention, since the electrode of the optical element is electrically connected to the wiring pattern, the electrode of the optical element can be electrically connected to the outside via the wiring pattern. As a result, no action is applied to the optical element at the time of electrical connection with the outside, so that the position of the optical part of the optical element and the optical fiber do not shift.

【0029】(16)この光モジュールの製造方法にお
いて、前記電極と前記配線パターンとを電気的に接続す
る工程は、前記電極と前記配線パターンとの間に、ハン
ダ又は導電ペーストを設けて行ってもよい。
(16) In this method of manufacturing an optical module, the step of electrically connecting the electrode and the wiring pattern is performed by providing a solder or a conductive paste between the electrode and the wiring pattern. Is also good.

【0030】これによれば、ハンダ及び導電ペーストの
一方を使用することで、電極と配線パターンとが対面し
ていなくても、両者を電気的に接続することができる。
According to this, by using one of the solder and the conductive paste, even if the electrode and the wiring pattern do not face each other, they can be electrically connected.

【0031】(17)この光モジュールの製造方法にお
いて、前記電極と前記配線パターンとを電気的に接続す
る工程は、前記配線パターンに弾性を有する導電部材を
設け、その後、前記導電部材を前記電極に接触させて行
ってもよい。
(17) In this method of manufacturing an optical module, the step of electrically connecting the electrode and the wiring pattern includes the step of providing a conductive member having elasticity in the wiring pattern, and then connecting the conductive member to the electrode. May be carried out.

【0032】これによれば、導電部材の弾性を利用する
ので、簡単に導電部材と電極との電気的な接続を図るこ
とができ、電極と配線パターンとが対面していなくて
も、両者を電気的に接続することができる。
According to this, since the elasticity of the conductive member is utilized, electrical connection between the conductive member and the electrode can be easily achieved, and even if the electrode and the wiring pattern do not face each other, the two can be connected. Can be electrically connected.

【0033】(18)この光モジュールの製造方法にお
いて、前記電極と前記配線パターンとを電気的に接続す
る工程は、前記配線パターンにワイヤの一方の端部をボ
ンディングし、その後、ワイヤの端部を除く部分を前記
電極にボンディングして行ってもよい。
(18) In the method for manufacturing an optical module, the step of electrically connecting the electrode and the wiring pattern includes bonding one end of a wire to the wiring pattern, and then bonding the end of the wire to the wiring pattern. May be bonded to the electrode.

【0034】これによれば、ワイヤの中間部を電極にボ
ンディングする。一般的なワイヤボンディングは上を向
く電極になされるが、ワイヤの中間部を使用すれば、水
平方向を向く電極に対してもボンディングを行うことが
できる。
According to this, the intermediate part of the wire is bonded to the electrode. In general, wire bonding is performed on an electrode facing upward. However, if an intermediate portion of the wire is used, bonding can be performed on an electrode facing in the horizontal direction.

【0035】(19)この光モジュールの製造方法にお
いて、前記電極と前記配線パターンとを電気的に接続す
る工程は、前記配線パターンにワイヤの一方の端部をボ
ンディングし、支持部材及び前記プラットフォームの一
方を前記基板に取り付けた後、前記ワイヤの端部を除く
部分を、支持部材と前記電極との間で挟んで、前記支持
部材及び前記プラットフォームの他方を前記基板に取り
付けて行ってもよい。
(19) In this method of manufacturing an optical module, the step of electrically connecting the electrode and the wiring pattern includes bonding one end of a wire to the wiring pattern to form a support member and the platform. After attaching one to the substrate, the other of the support member and the platform may be attached to the substrate by sandwiching a portion except for the end of the wire between the support member and the electrode.

【0036】これによれば、支持部材と電極でワイヤを
挟むことで、簡単にワイヤと電極との電気的な接続を図
ることができる。
According to this, by sandwiching the wire between the support member and the electrode, the electrical connection between the wire and the electrode can be easily achieved.

【0037】(20)この光モジュールの製造方法にお
いて、前記基板に、前記配線パターンに電気的に接続さ
れた外部端子を設ける工程を含んでもよい。
(20) The method for manufacturing an optical module may include a step of providing an external terminal electrically connected to the wiring pattern on the substrate.

【0038】(21)この光モジュールの製造方法にお
いて、前記プラットフォームには、導電層が形成されて
おり、前記導電層と前記配線パターンとを電気的に接続
する工程を含んでもよい。
(21) In this method of manufacturing an optical module, a conductive layer may be formed on the platform, and a step of electrically connecting the conductive layer and the wiring pattern may be included.

【0039】(22)この光モジュールの製造方法にお
いて、第1の樹脂によって、前記電極と前記配線パター
ンとの電気的な接続部を封止して第1の樹脂部を形成す
る工程と、その後、第2の樹脂によって、前記第1の樹
脂部を封止して第2の樹脂部を形成する工程と、を含ん
でもよい。
(22) In this method of manufacturing an optical module, a step of sealing the electrical connection between the electrode and the wiring pattern with the first resin to form a first resin part, and thereafter, And a step of sealing the first resin portion with a second resin to form a second resin portion.

【0040】(23)この光モジュールの製造方法にお
いて、前記第1の樹脂部は、前記第2の樹脂部よりも柔
軟性が高くてもよい。
(23) In this method of manufacturing an optical module, the first resin portion may have higher flexibility than the second resin portion.

【0041】これによれば、電極と配線パターンとの電
気的な接続部に対して大きな応力が加えられないので接
続部が保護される。
According to this, since a large stress is not applied to the electrical connection between the electrode and the wiring pattern, the connection is protected.

【0042】[0042]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について図面を参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0043】(第1の実施の形態)図1は、本発明を適
用した第1の実施の形態に係る光モジュールを示す図で
ある。本実施の形態に係る光モジュールは、プラットフ
ォーム10と、光素子20と、光ファイバ30と、基板
40と、を含む。
(First Embodiment) FIG. 1 is a view showing an optical module according to a first embodiment to which the present invention is applied. The optical module according to the present embodiment includes a platform 10, an optical element 20, an optical fiber 30, and a substrate 40.

【0044】プラットフォーム10の全体形状は特に限
定されず、例えば直方体、立方体又は板状のいずれであ
ってもよい。一般的には、プラットフォーム10のいず
れか一つの表面は、角を以て他の表面あるいは側面に接
続されている。プラットフォーム10を構成する材料も
特に限定されず、絶縁体、導電体又は半導体のいずれで
あってもよく、例えばシリコン、セラミック、鉄や銅な
どの金属又は樹脂のいずれであってもよい。
The overall shape of the platform 10 is not particularly limited, and may be, for example, any of a rectangular parallelepiped, a cube, and a plate. Generally, any one surface of the platform 10 is connected to the other surface or side at an angle. The material constituting the platform 10 is not particularly limited, and may be any of an insulator, a conductor, and a semiconductor. For example, it may be any of a metal such as silicon, ceramic, iron and copper, or a resin.

【0045】プラットフォーム10のいずれかの表面に
は、光素子20が搭載される。プラットフォーム10が
直方体又は板状をなすときには、最も大きい表面に光素
子20が搭載される。プラットフォーム10には、貫通
穴12が形成されていてもよい。貫通穴12における一
方の開口は、光素子20が搭載される表面に形成され、
光素子20が搭載される表面以外の表面に、他の開口が
形成されている。貫通穴12は、光ファイバ30を挿入
してその位置決めを行えるものである。貫通穴12は、
丸穴であっても角穴であってもよいが、光ファイバ30
の位置決めを行える程度に、貫通穴12の内面が光ファ
イバ30に接触することが好ましい。
An optical element 20 is mounted on one of the surfaces of the platform 10. When the platform 10 has a rectangular parallelepiped or plate shape, the optical element 20 is mounted on the largest surface. The platform 10 may have a through hole 12 formed therein. One opening in the through hole 12 is formed on a surface on which the optical element 20 is mounted,
Other openings are formed on the surface other than the surface on which the optical element 20 is mounted. The through-hole 12 is for inserting the optical fiber 30 and positioning it. The through hole 12
The optical fiber 30 may be a round hole or a square hole.
It is preferable that the inner surface of the through hole 12 is in contact with the optical fiber 30 to such an extent that positioning can be performed.

【0046】プラットフォーム10には、導電層16を
形成してもよい。導電層16は、プラットフォーム10
における光素子20が搭載される表面に形成することが
できる。この表面には貫通穴12の開口が形成されてお
り、導電層16は、貫通穴12の開口を避けて形成され
ている。プラットフォーム10が導電材料から構成され
ているときには、絶縁膜を介して導電層16を形成する
ことが好ましい。例えば、シリコンによってプラットフ
ォーム10が構成されているときには、表面にシリコン
酸化膜を形成し、その上に導電層16を形成してもよ
い。
The platform 10 may have a conductive layer 16 formed thereon. The conductive layer 16 is formed on the platform 10.
Can be formed on the surface on which the optical element 20 is mounted. The opening of the through hole 12 is formed on this surface, and the conductive layer 16 is formed avoiding the opening of the through hole 12. When the platform 10 is made of a conductive material, it is preferable to form the conductive layer 16 via an insulating film. For example, when the platform 10 is made of silicon, a silicon oxide film may be formed on the surface, and the conductive layer 16 may be formed thereon.

【0047】導電層16は、光素子20と電気的に接続
されるので、必要に応じて、配線パターンになっていて
もよい。導電層16は、プラットフォーム10における
光素子20が搭載される表面とは別の表面に至るまで形
成されていてもよい。例えば、光素子20が搭載される
表面に対して、角を以て接続される側面に至るまで導電
層16が形成されてもよい。
Since the conductive layer 16 is electrically connected to the optical element 20, it may have a wiring pattern as required. The conductive layer 16 may be formed up to a surface different from the surface of the platform 10 on which the optical element 20 is mounted. For example, the conductive layer 16 may be formed on a surface on which the optical element 20 is mounted up to a side surface connected at an angle.

【0048】光素子20は、発光素子であっても受光素
子であってもよい。発光素子の一例として面発光素子、
特に面発光レーザを適用することができる。面発光レー
ザなどの面発光素子は、基板に対して垂直方向に光を発
する。光素子20は、光学的部分22を有する。光素子
20が発光素子であるときは、光学的部分22は発光部
であり、光素子20が受光素子であるときは、光学的部
分22は受光部である。光学的部分22が発光部である
ときは、発光部からの光の全てが貫通穴12内に入射す
るように、発光部の大きさと貫通穴12の直径とを決め
ておくことが好ましい。例えば、発光部の直径よりも貫
通穴12の直径を大きくしてもよい。
The optical element 20 may be a light emitting element or a light receiving element. A surface-emitting element as an example of a light-emitting element,
In particular, a surface emitting laser can be used. A surface emitting device such as a surface emitting laser emits light in a direction perpendicular to a substrate. The optical element 20 has an optical part 22. When the optical element 20 is a light emitting element, the optical part 22 is a light emitting part, and when the optical element 20 is a light receiving element, the optical part 22 is a light receiving part. When the optical part 22 is a light emitting part, it is preferable to determine the size of the light emitting part and the diameter of the through hole 12 so that all the light from the light emitting part enters the through hole 12. For example, the diameter of the through hole 12 may be larger than the diameter of the light emitting unit.

【0049】光素子20は、電極24を有する。光素子
20が面発光レーザなどの半導体レーザであるときは、
光学的部分22が設けられた面とは反対側の面に電極2
4が設けられてもよい。また、光素子20における光学
的部分22が形成された面に、複数の電極26が設けら
れてもよい。複数の電極26のうち、少なくとも一つは
電気的に接続されないダミー電極であってもよい。全て
を直線で結んで三角形以上の多角形を描く位置に電極2
6を設けて、電極26を介して光素子20をプラットフ
ォーム10上に搭載してもよい。こうすることで、三角
形以上の多角形を描く位置で光素子20が安定して支持
される。
The optical element 20 has an electrode 24. When the optical element 20 is a semiconductor laser such as a surface emitting laser,
The electrode 2 is provided on the surface opposite to the surface on which the optical portion 22 is provided.
4 may be provided. Further, a plurality of electrodes 26 may be provided on the surface of the optical element 20 where the optical portion 22 is formed. At least one of the plurality of electrodes 26 may be a dummy electrode that is not electrically connected. Electrode 2 at the position where all are connected by straight lines to draw a polygon of triangle or more
6 may be provided to mount the optical element 20 on the platform 10 via the electrode 26. By doing so, the optical element 20 is stably supported at a position where a polygon that is more than a triangle is drawn.

【0050】光素子20は、プラットフォーム10に搭
載されている。詳しくは、光学的部分22を、プラット
フォーム10の貫通穴12内に向けて、光素子20が搭
載されている。
The optical element 20 is mounted on the platform 10. Specifically, the optical element 20 is mounted with the optical part 22 facing the inside of the through hole 12 of the platform 10.

【0051】光素子20は、プラットフォーム10に形
成された導電層16に電気的に接続されてもよい。図1
では、光素子20の電極26と、導電層16とが接合さ
れている。例えば、ハンダなどによる金属接合や導電性
接着剤を使用して、電極26と導電層16とが接合され
ている。
The optical element 20 may be electrically connected to the conductive layer 16 formed on the platform 10. FIG.
Here, the electrode 26 of the optical element 20 and the conductive layer 16 are joined. For example, the electrode 26 and the conductive layer 16 are bonded by using metal bonding such as solder or a conductive adhesive.

【0052】光ファイバ30は、コアとこれを同心円状
に囲むクラッドとを含むもので、コアとクラッドとの境
界で光が反射されて、コア内に光が閉じこめられて伝搬
するものである。また、クラッドの周囲は、ジャケット
によって保護されることが多い。
The optical fiber 30 includes a core and a clad that concentrically surrounds the core. Light is reflected at the boundary between the core and the clad, and the light is confined and propagated in the core. Also, the periphery of the cladding is often protected by a jacket.

【0053】光ファイバ30は、プラットフォーム10
の貫通穴12に挿入されている。上述したように、プラ
ットフォーム10に搭載された光素子20の光学的部分
22は、プラットフォーム10の貫通穴12内を向いて
いる。したがって、貫通穴12に挿入された光ファイバ
30は、光学的部分22に対して位置合わせがされた状
態となる。
The optical fiber 30 is connected to the platform 10
Are inserted into the through holes 12 of the first and second through holes. As described above, the optical portion 22 of the optical element 20 mounted on the platform 10 faces into the through hole 12 of the platform 10. Therefore, the optical fiber 30 inserted into the through hole 12 is in a state where it is aligned with the optical part 22.

【0054】本実施の形態では、光ファイバ30が基板
40に対してほぼ平行に配設されている。光素子20の
光学的部分22は、光ファイバ30の端面に向けられて
いるので、基板40に対してほぼ平行方向を向いてい
る。光素子20の電極24は、基板40に対してほぼ直
角方向に向けられている。以上の状態になるように、プ
ラットフォーム10は、例えば接着剤14を介して、基
板40に取り付けられている。
In this embodiment, the optical fiber 30 is disposed substantially parallel to the substrate 40. The optical portion 22 of the optical element 20 is directed toward the end face of the optical fiber 30, so that it is substantially parallel to the substrate 40. The electrodes 24 of the optical element 20 are oriented substantially perpendicular to the substrate 40. In such a state, the platform 10 is attached to the substrate 40 via, for example, the adhesive 14.

【0055】基板40は、有機系又は無機系のいずれの
材料から形成されたものであってもよく、これらの複合
構造からなるものであってもよい。基板40には、配線
パターン42が形成されている。また、基板40には、
複数の外部端子44を設けられてもよい。外部端子44
は、配線パターン42に電気的に接続されている。例え
ば、基板40の一方の面に配線パターン42が形成さ
れ、他方の面に外部端子44が設けられ、基板40に形
成されたスルーホールを介して、配線パターン42に外
部端子44が電気的に接続されていてもよい。外部端子
44として、ハンダボールを使用してもよい。
The substrate 40 may be formed of any of an organic or inorganic material, and may be formed of a composite structure thereof. A wiring pattern 42 is formed on the substrate 40. The substrate 40 includes
A plurality of external terminals 44 may be provided. External terminal 44
Are electrically connected to the wiring pattern 42. For example, the wiring pattern 42 is formed on one surface of the substrate 40, the external terminal 44 is provided on the other surface, and the external terminal 44 is electrically connected to the wiring pattern 42 through a through hole formed in the substrate 40. It may be connected. A solder ball may be used as the external terminal 44.

【0056】本実施の形態では、光素子20の電極24
と、基板40に形成された配線パターン42とが電気的
に接続されている。電極24と配線パターン42とは、
ハンダ(例えばハンダボール)や導電ペースト(例えば
銀ペーストやUVペースト)等で電気的に接続すること
ができる。
In the present embodiment, the electrode 24 of the optical element 20
And the wiring pattern 42 formed on the substrate 40 are electrically connected. The electrode 24 and the wiring pattern 42
It can be electrically connected by solder (for example, solder balls) or conductive paste (for example, silver paste or UV paste).

【0057】図1には、ハンダボール46で、電極24
と配線パターン42とが電気的に接続された例が示され
ている。詳しくは、配線パターン42上にハンダボール
46が設けられており、ハンダボール46の側面と光素
子20の電極20とが接合されている。
In FIG. 1, the solder ball 46 is used to
An example in which the wiring pattern 42 and the wiring pattern 42 are electrically connected is shown. Specifically, a solder ball 46 is provided on the wiring pattern 42, and the side surface of the solder ball 46 and the electrode 20 of the optical element 20 are joined.

【0058】なお、プラットフォーム10に導電層16
が形成されているときには、導電層16と、基板42に
形成された配線パターン42とを電気的に接続してもよ
い(第5の実施の形態参照)。その接続には、上述した
手段を適用することができる。図1には、ハンダボール
48で、導電層16と配線パターン42とを電気的に接
続した例が示されている。
The conductive layer 16 is provided on the platform 10.
Is formed, the conductive layer 16 may be electrically connected to the wiring pattern 42 formed on the substrate 42 (see the fifth embodiment). The above-described means can be applied to the connection. FIG. 1 shows an example in which the conductive layer 16 and the wiring pattern 42 are electrically connected by the solder balls 48.

【0059】基板40には、半導体チップ50を搭載し
てもよい。半導体チップ50は、光素子20を駆動する
ための回路を内蔵している。図1には、半導体チップ5
0をフェースアップボンディングした例が示してある。
この場合、例えば、基板40上で、配線パターン42を
避けて半導体チップ50を接着剤52で接着してもよ
い。あるいは、配線パターン42の上に、絶縁性の接着
剤で、半導体チップ50を接着してもよい。半導体チッ
プ50をフェースダウンボンディングする場合には、配
線パターン42上に、異方性導電膜を使用したり、ハン
ダなどの金属接合によって、半導体チップ50を基板4
0に固定する。
The semiconductor chip 50 may be mounted on the substrate 40. The semiconductor chip 50 has a built-in circuit for driving the optical element 20. FIG. 1 shows a semiconductor chip 5.
0 shows an example of face-up bonding.
In this case, for example, the semiconductor chip 50 may be bonded on the substrate 40 with the adhesive 52 while avoiding the wiring pattern 42. Alternatively, the semiconductor chip 50 may be bonded onto the wiring pattern 42 with an insulating adhesive. When the semiconductor chip 50 is subjected to face-down bonding, the semiconductor chip 50 is connected to the substrate 4 by using an anisotropic conductive film on the wiring pattern 42 or by bonding metal such as solder.
Fix to 0.

【0060】半導体チップ50と光素子20とは電気的
に接続されている。例えば、半導体チップ50の電極5
4と、プラットフォーム10の導電層16と、をワイヤ
56で接続してもよい。この場合、光素子20の電極2
6と導電層16とが電気的に接続されていれば、導電層
16を介して、半導体チップ50と光素子20とが電気
的に接続される。
The semiconductor chip 50 and the optical element 20 are electrically connected. For example, the electrode 5 of the semiconductor chip 50
4 and the conductive layer 16 of the platform 10 may be connected by a wire 56. In this case, the electrode 2 of the optical element 20
As long as 6 and conductive layer 16 are electrically connected, semiconductor chip 50 and optical element 20 are electrically connected via conductive layer 16.

【0061】本実施の形態に係る光モジュールは、封止
部60を含んでもよい。封止部60は、少なくとも光素
子20の電極24と、基板40に形成された配線パター
ン42との電気的な接続部を封止している。封止部60
は、第1の樹脂部62と、第2の樹脂部64と、で構成
される。
The optical module according to the present embodiment may include a sealing section 60. The sealing portion 60 seals at least an electrical connection between the electrode 24 of the optical element 20 and the wiring pattern 42 formed on the substrate 40. Sealing part 60
Is composed of a first resin part 62 and a second resin part 64.

【0062】第1の樹脂部62は、光素子20の電極2
4と基板40に形成された配線パターン42との電気的
な接続部(ハンダボール46を含む)を封止する。ま
た、第1の樹脂部62は、光素子20と他の部品との電
気的な接続部を封止してもよい。例えば、第1の樹脂部
62は、光素子20の電極26に接続された導電層16
と、半導体チップ50に接続されたワイヤ56との電気
的な接続部を封止してもよい。また、第1の樹脂部62
は、光素子20の電極26に接続された導電層16と、
基板40に形成された配線パターン42との電気的な接
続部(ハンダボール48を含む)を封止してもよい。第
1の樹脂部62は、プラットフォーム10及び光素子2
0の少なくとも一方、好ましくは両方を封止してもよ
い。また、第1の樹脂部62は、光ファイバ30の一部
を封止して、プラットフォーム10からの抜け止めを図
ってもよい。
The first resin portion 62 is provided on the electrode 2 of the optical element 20.
The electrical connection (including the solder ball 46) between the wiring pattern 4 and the wiring pattern 42 formed on the substrate 40 is sealed. Further, the first resin portion 62 may seal an electrical connection between the optical element 20 and another component. For example, the first resin portion 62 includes the conductive layer 16 connected to the electrode 26 of the optical element 20.
And an electrical connection portion with the wire 56 connected to the semiconductor chip 50 may be sealed. Also, the first resin portion 62
Is a conductive layer 16 connected to the electrode 26 of the optical element 20,
The electrical connection (including the solder ball 48) with the wiring pattern 42 formed on the substrate 40 may be sealed. The first resin part 62 includes the platform 10 and the optical element 2.
At least one of 0, preferably both may be sealed. Further, the first resin portion 62 may seal a part of the optical fiber 30 to prevent the optical fiber 30 from coming off from the platform 10.

【0063】第2の樹脂部64は、第1の樹脂部62を
封止する。第2の樹脂部64は、光ファイバ30の一部
を封止して、プラットフォーム10からの抜け止めを図
ってもよい。第2の樹脂部64は、半導体チップ50と
他の部品との電気的な接続部を封止してもよい。例え
ば、第2の樹脂部64は、半導体チップ50の電極54
とワイヤ56との電気的な接続部を封止する。
The second resin portion 64 seals the first resin portion 62. The second resin portion 64 may seal a part of the optical fiber 30 to prevent the optical fiber 30 from coming off from the platform 10. The second resin portion 64 may seal an electrical connection between the semiconductor chip 50 and another component. For example, the second resin portion 64 is provided on the
The electrical connection between the wire and the wire 56 is sealed.

【0064】第1の樹脂部62は、第2の樹脂部64よ
りも柔軟性が高いことが好ましい。例えば、第1の樹脂
部62が第2の樹脂部64よりも、収縮又は膨張したと
きに生じる応力が低いことが好ましい。あるいは、第1
の樹脂部62が第2の樹脂部64よりも、外部から加え
られた応力を吸収しやすいことが好ましい。柔軟性が高
い第1の樹脂部62によって、光素子20の電極24と
基板40に形成された配線パターン42との電気的な接
続部分(ハンダボール46を含む)を保護することがで
きる。一方、第2の樹脂部64は、第1の樹脂部62ほ
ど柔軟性の高さが要求されないので、材料選択の幅が拡
がる。
It is preferable that the first resin portion 62 has higher flexibility than the second resin portion 64. For example, it is preferable that the stress generated when the first resin portion 62 contracts or expands is lower than that of the second resin portion 64. Or the first
It is preferable that the resin portion 62 absorbs the stress applied from the outside more easily than the second resin portion 64. The first resin portion 62 having high flexibility can protect an electrical connection portion (including the solder ball 46) between the electrode 24 of the optical element 20 and the wiring pattern 42 formed on the substrate 40. On the other hand, the second resin portion 64 is not required to be as flexible as the first resin portion 62, so that the range of material selection is expanded.

【0065】本実施の形態は、上記のように構成されて
おり、以下その製造方法について説明する。
The present embodiment is configured as described above, and its manufacturing method will be described below.

【0066】光モジュールの製造方法は、プラットフォ
ーム10に光素子20を搭載する工程を含む。例えば、
光素子20をプラットフォーム10に搭載して導電層1
6に電気的に接続する。光素子20の光学的部分22
は、貫通穴12内に向けられる。光素子20と、プラッ
トフォーム10の導電層16とは、電極26によって接
続する。導電層16と電極26との接合によって、光素
子20とプラットフォーム10とを固定してもよい。ま
た、電極26のうちのダミー電極と導電層16とを接合
してもよい。
The method for manufacturing an optical module includes a step of mounting the optical element 20 on the platform 10. For example,
The optical element 20 is mounted on the platform 10 and the conductive layer 1
6 electrically. Optical part 22 of optical element 20
Is directed into the through hole 12. The optical element 20 and the conductive layer 16 of the platform 10 are connected by an electrode 26. The optical element 20 and the platform 10 may be fixed by joining the conductive layer 16 and the electrode 26. Further, the dummy electrode of the electrodes 26 and the conductive layer 16 may be joined.

【0067】また、プラットフォーム10に光ファイバ
30を、位置合わせして取り付ける。例えば、プラット
フォーム10に光ファイバ30を挿入してもよい。この
工程は、プラットフォーム10を基板40に実装する工
程の前に行っても、その後に行ってもよい。
Further, the optical fiber 30 is mounted on the platform 10 while being aligned. For example, the optical fiber 30 may be inserted into the platform 10. This step may be performed before or after the step of mounting the platform 10 on the substrate 40.

【0068】本実施の形態では、基板40にプラットフ
ォーム10を取り付ける。この取り付けを行うときに
は、すでにプラットフォーム10に光素子20が搭載さ
れていることが好ましい。プラットフォーム10は、接
着剤14等によって基板40に接着してもよい。
In the present embodiment, the platform 10 is attached to the substrate 40. When performing this mounting, it is preferable that the optical element 20 is already mounted on the platform 10. The platform 10 may be bonded to the substrate 40 with an adhesive 14 or the like.

【0069】次に、光素子20の電極24と、基板40
に形成された配線パターン42と、を電気的に接続する
方法を説明する。例えば、図1に示す例では、電極24
と配線パターン42とが直角方向に位置している。この
場合、電極24と配線パターン42との間にハンダボー
ル46を付けて、リフロー工程などでこれを加熱し溶融
して両者間に接合させる。あるいは、予め配線パターン
42上にハンダボール46を付けて、これを加熱し溶融
して配線パターン42に接合してから、プラットフォー
ム10を基板40に取り付けて、再びハンダボール46
を加熱し溶融して電極24に接合してもよい。また、ボ
ール状以外のハンダや、導電ペーストを使用してもよ
い。導電ペーストの場合、熱や紫外線などの放射線を照
射することで硬化させることができる。
Next, the electrode 24 of the optical element 20 and the substrate 40
A method for electrically connecting the wiring pattern 42 formed in the above will be described. For example, in the example shown in FIG.
And the wiring pattern 42 are located at right angles to each other. In this case, a solder ball 46 is attached between the electrode 24 and the wiring pattern 42, and the solder ball 46 is heated and melted in a reflow process or the like to be joined between the two. Alternatively, a solder ball 46 is attached to the wiring pattern 42 in advance, heated and melted and joined to the wiring pattern 42, the platform 10 is mounted on the substrate 40, and the solder ball 46 is
May be heated and melted and joined to the electrode 24. Further, solder other than a ball shape or a conductive paste may be used. In the case of a conductive paste, it can be cured by irradiating heat or radiation such as ultraviolet rays.

【0070】同様の方法で、プラットフォーム10の導
電層16と配線パターン42とを、ハンダボール48な
どのハンダや、導電ペーストなどで電気的に接続しても
よい。
In a similar manner, the conductive layer 16 of the platform 10 and the wiring pattern 42 may be electrically connected by solder such as solder balls 48 or conductive paste.

【0071】さらに、必要であれば次の工程も行っても
よい。例えば、基板40に光素子20を駆動するための
半導体チップ50を実装してもよい。プラットフォーム
10を基板40に実装してから、半導体チップ50を基
板40に実装してもよい。また、半導体チップ50の電
極42と、プラットフォーム10の導電層16とをワイ
ヤ56で接続してもよい。
Further, the following steps may be performed if necessary. For example, a semiconductor chip 50 for driving the optical element 20 may be mounted on the substrate 40. The semiconductor chip 50 may be mounted on the substrate 40 after the platform 10 is mounted on the substrate 40. Further, the electrode 42 of the semiconductor chip 50 and the conductive layer 16 of the platform 10 may be connected by a wire 56.

【0072】本実施の形態では、プラットフォーム10
を基板40に実装したら、封止部60を設けてもよい。
例えば、まず、第1の樹脂によって、光素子20の電極
24と配線パターン42との電気的な接続部(ハンダボ
ール46を含む)を封止して第1の樹脂部62を形成す
る。その後、第2の樹脂によって、第1の樹脂部62を
封止して第2の樹脂部64を形成する。ここで、第1の
樹脂部62が第2の樹脂部64よりも柔軟性が高くなる
ように、第1及び第2の樹脂を選択する。
In this embodiment, the platform 10
After mounting on the substrate 40, the sealing portion 60 may be provided.
For example, first, the first resin portion 62 is formed by sealing the electrical connection portion (including the solder ball 46) between the electrode 24 of the optical element 20 and the wiring pattern 42 with the first resin. After that, the first resin portion 62 is sealed with the second resin to form the second resin portion 64. Here, the first and second resins are selected such that the first resin portion 62 has higher flexibility than the second resin portion 64.

【0073】こうすることで、例えば、第1の樹脂部6
2が第2の樹脂部64よりも、収縮又は膨張したときに
生じる応力が低くなる。あるいは、第1の樹脂部62が
第2の樹脂部62よりも、外部から加えられた応力を吸
収しやすくなる。柔軟性が高い第1の樹脂部62によっ
て、電極24と配線パターン42との電気的な接続部分
を保護することができる。一方、第2の樹脂部64は、
第1の樹脂部62ほど柔軟性の高さが要求されないの
で、第2の樹脂の材料選択の幅が拡がる。
By doing so, for example, the first resin portion 6
The stress generated when 2 contracts or expands is lower than that of the second resin portion 64. Alternatively, the first resin portion 62 more easily absorbs stress applied from the outside than the second resin portion 62. The first resin portion 62 having high flexibility can protect an electrical connection portion between the electrode 24 and the wiring pattern 42. On the other hand, the second resin portion 64
Since flexibility is not required to be as high as that of the first resin portion 62, the range of material selection for the second resin is expanded.

【0074】本実施の形態によれば、光素子20の電極
24と配線パターン42とが電気的に接続されているの
で、配線パターン42を介して外部と光素子20とを電
気的に接続することができる。したがって、外部との接
続を行うときに、光素子20に作用を加えることがない
ので、光学的部分22と光ファイバ30との位置がずれ
ることがない。特に、配線パターン42が形成された基
板40に、配線パターン42に電気的に接続される外部
端子44を設ければ、外部端子44によって外部との電
気的な接続を図ることができる。
According to the present embodiment, since the electrode 24 of the optical element 20 and the wiring pattern 42 are electrically connected, the outside and the optical element 20 are electrically connected via the wiring pattern 42. be able to. Therefore, when the connection with the outside is performed, no action is applied to the optical element 20, so that the position of the optical part 22 and the optical fiber 30 does not shift. In particular, if external terminals 44 electrically connected to the wiring patterns 42 are provided on the substrate 40 on which the wiring patterns 42 are formed, electrical connection to the outside can be achieved by the external terminals 44.

【0075】本発明は、上記実施の形態に限定されるも
のではなく、種々の変形が可能である。以下、その他の
実施の形態を説明する。
The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible. Hereinafter, other embodiments will be described.

【0076】(第2の実施の形態)図2は、本発明を適
用した第2の実施の形態に係る光モジュールを示す図で
ある。本実施の形態は、基板40に形成された配線パタ
ーン42と、光素子20の電極24と、の電気的な接続
の手段において、第1の実施の形態と異なる。それ以外
の構成は、第1の実施の形態で説明した内容が本実施の
形態でも適用される。
(Second Embodiment) FIG. 2 is a view showing an optical module according to a second embodiment to which the present invention is applied. This embodiment is different from the first embodiment in the means for electrically connecting the wiring pattern 42 formed on the substrate 40 and the electrode 24 of the optical element 20. For other configurations, the contents described in the first embodiment are also applied to the present embodiment.

【0077】本実施の形態では、配線パターン42上に
導電部材70が設けられている。導電部材70は、弾性
を有する。例えば、導電部材70は、配線パターン42
との固定72と、この固定部72から立ち上がる弾性部
74と、を含む。弾性部74は、板状であっても針金形
状であってもよい。弾性部74は、バネとなっているこ
とが好ましい。この導電部材70を配線パターン42に
設けることで、弾性部74がその弾性によって、光素子
20の電極24に接触する。すなわち、弾性部74は、
電極24に付勢された状態となっている。こうして、導
電部材70を介して、配線パターン42と電極24とを
電気的に接続することができる。
In this embodiment, the conductive member 70 is provided on the wiring pattern 42. The conductive member 70 has elasticity. For example, the conductive member 70 is
And an elastic portion 74 rising from the fixing portion 72. The elastic portion 74 may have a plate shape or a wire shape. The elastic portion 74 is preferably a spring. By providing the conductive member 70 on the wiring pattern 42, the elastic portion 74 comes into contact with the electrode 24 of the optical element 20 due to its elasticity. That is, the elastic portion 74
It is in a state of being biased by the electrode 24. Thus, the wiring pattern 42 and the electrode 24 can be electrically connected via the conductive member 70.

【0078】本実施の形態に係る光モジュールの製造方
法では、導電部材70を配線パターン42に設けてか
ら、光素子20が搭載されたプラットフォーム10を基
板40に取り付けることが好ましい。導電部材70の弾
性部74は、プラットフォーム10が取り付けられる前
の状態で、光素子20の電極24の方向に曲がった状態
となっていてもよい。この状態の弾性部74を、曲がっ
た方向とは反対方向に押し戻しながら、光素子20が搭
載されたプラットフォーム10を基板40に取り付けれ
ば、弾性部74と電極24とが、付勢力を以て接触す
る。本実施の形態でも、第1の実施の形態と同じ効果を
達成する。
In the method for manufacturing an optical module according to the present embodiment, it is preferable that the conductive member 70 is provided on the wiring pattern 42 and then the platform 10 on which the optical element 20 is mounted is mounted on the substrate 40. The elastic part 74 of the conductive member 70 may be bent in the direction of the electrode 24 of the optical element 20 before the platform 10 is attached. When the platform 10 on which the optical element 20 is mounted is attached to the substrate 40 while pushing the elastic portion 74 in this state back in the direction opposite to the bending direction, the elastic portion 74 and the electrode 24 come into contact with an urging force. This embodiment also achieves the same effects as the first embodiment.

【0079】(第3の実施の形態)図3は、本発明を適
用した第3の実施の形態に係る光モジュールの製造方法
を説明する図である。本実施の形態では、第1の実施の
形態で使用したハンダボール46の代わりにワイヤ80
を使用する。これ以外の点では、本実施の形態でも第1
の実施の形態で説明した内容を適用することができるの
で、同一部材には同一の符号を付して説明する。
(Third Embodiment) FIG. 3 is a view for explaining a method of manufacturing an optical module according to a third embodiment of the present invention. In this embodiment, a wire 80 is used instead of the solder ball 46 used in the first embodiment.
Use In other respects, the first embodiment also has the first
Since the contents described in the above embodiment can be applied, the same members will be described with the same reference numerals.

【0080】図3に示すように、基板40上に、光素子
20を搭載したプラットフォーム10が取り付けられて
いる。本実施の形態では、基板40に形成された配線パ
ターン42にワイヤ80の一方の端部をボンディングす
る。このボンディングには、半導体装置の製造に使用さ
れるボンダーを使用してもよい。例えば、通常のシング
ルポイントボンダーを使用して、ワイヤ80の先端に形
成されたボール(図示せず)を配線パターン42にボン
ディングする。なお、このボンディングは、プラットフ
ォーム10を基板40に取り付ける前に行っても、その
後に行ってもよい。
As shown in FIG. 3, a platform 10 on which an optical element 20 is mounted is mounted on a substrate 40. In the present embodiment, one end of the wire 80 is bonded to the wiring pattern 42 formed on the substrate 40. For this bonding, a bonder used for manufacturing a semiconductor device may be used. For example, a ball (not shown) formed at the tip of the wire 80 is bonded to the wiring pattern 42 using a normal single point bonder. This bonding may be performed before attaching the platform 10 to the substrate 40 or afterwards.

【0081】次に、ワイヤ80の両端部を除く部分すな
わち中間部を、光素子20の電極24にボンディングす
る。例えば、ワイヤ80を配線パターン42にボンディ
ングした後に、キャピラリ(図示せず)からワイヤ80
を引き出して、ツール82を使用してワイヤ80の中間
部を電極24にボンディングする。ツール82は、ワイ
ヤ80に対して、熱及び超音波の少なくともいずれか一
方を加え、ワイヤ80の中間部を電極24に圧着する。
Next, a portion excluding both ends of the wire 80, that is, an intermediate portion, is bonded to the electrode 24 of the optical element 20. For example, after bonding the wire 80 to the wiring pattern 42, the wire 80 is
Is pulled out, and the intermediate portion of the wire 80 is bonded to the electrode 24 using the tool 82. The tool 82 applies at least one of heat and ultrasonic waves to the wire 80 and presses an intermediate portion of the wire 80 to the electrode 24.

【0082】こうして、ワイヤ80によって電極24と
配線パターン42とを電気的に接続することができる。
その後、第1の実施の形態で説明した工程を行って、光
モジュールを得ることができる。本実施の形態でも、第
1の実施の形態で説明した効果を達成することができ
る。
Thus, the electrode 24 and the wiring pattern 42 can be electrically connected by the wire 80.
After that, by performing the steps described in the first embodiment, an optical module can be obtained. Also in the present embodiment, the effects described in the first embodiment can be achieved.

【0083】(第4の実施の形態)図4は、本発明を適
用した第4の実施の形態に係る光モジュールを示す図で
ある。本実施の形態でも、第1の実施の形態で説明した
部材と同一のものには同一の符号を付して説明する。本
実施の形態では、基板40に形成された配線パターン4
2と、光素子20の電極24とが、ワイヤ90によって
電気的に接続されている。ワイヤ90の一方の端部は配
線パターン42にボンディングされており、両方の端部
を除く部分すなわち中間部が、支持部材92及び電極2
4の間に挟まれた状態となって電極24に接触してい
る。こうして、ワイヤ90の中間部は電極24に電気的
に接続される。
(Fourth Embodiment) FIG. 4 is a diagram showing an optical module according to a fourth embodiment to which the present invention is applied. Also in this embodiment, the same members as those described in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and described. In the present embodiment, the wiring pattern 4 formed on the substrate 40
2 and the electrode 24 of the optical element 20 are electrically connected by a wire 90. One end of the wire 90 is bonded to the wiring pattern 42, and a portion excluding both ends, that is, an intermediate portion is a support member 92 and the electrode 2.
4 and is in contact with the electrode 24. Thus, the intermediate portion of the wire 90 is electrically connected to the electrode 24.

【0084】支持部材92は、基板40上に設けられて
いる。例えば、基板40に半導体チップ50を実装した
場合には、半導体チップ50の例えば側面に支持部材9
2を取り付けて、これを基板40上に設けることができ
る。支持部材92を介して他の部材との電気的な導通を
図るときには、この支持部材92の少なくとも一部は導
電材料からなることが好ましい。また、支持部材92と
他の部材との電気的な導通を避けるときには、この支持
部材92の少なくとも一部好ましくは全体が絶縁体から
なる。例えば、支持部材92が半導体チップ50の一部
(例えば側面)に取り付けられるときには、支持部材9
2は絶縁部材であることが好ましい。あるいは、半導体
チップ50の一部(例えば側面)に、シリコン酸化膜な
どの酸化膜を形成し、これを支持部材92としてもよ
い。
The support member 92 is provided on the substrate 40. For example, when the semiconductor chip 50 is mounted on the substrate 40, the support member 9
2 can be mounted and provided on the substrate 40. When electrical conduction with other members is to be achieved via the support member 92, it is preferable that at least a part of the support member 92 be made of a conductive material. When electrical conduction between the support member 92 and other members is to be avoided, at least a part, preferably the entirety of the support member 92 is made of an insulator. For example, when the support member 92 is attached to a part (for example, a side surface) of the semiconductor chip 50, the support member 9
2 is preferably an insulating member. Alternatively, an oxide film such as a silicon oxide film may be formed on a part (for example, a side surface) of the semiconductor chip 50, and this may be used as the support member 92.

【0085】あるいは、支持部材92を基板40に接着
してもよい。ワイヤ90の他方の端部は、半導体チップ
50の電極54にボンディングされていてもよい。本実
施の形態でも、第1の実施の形態で説明した封止部60
を適用することができる。
Alternatively, the support member 92 may be bonded to the substrate 40. The other end of the wire 90 may be bonded to the electrode 54 of the semiconductor chip 50. Also in the present embodiment, the sealing portion 60 described in the first embodiment is used.
Can be applied.

【0086】次に、本実施の形態の係る光モジュールの
製造方法を説明する。まず、配線パターン42にワイヤ
90の一方の端部をボンディングし、支持部材92及び
プラットフォーム10のうち一方を基板40に取り付け
る。この2つの工程の順序は問わない。その後、支持部
材92及びプラットフォーム10のうち他方を基板40
に取り付ける。このとき、ワイヤ90の両端部を除く部
分すなわち中間部を、支持部材92と電極24で挟む。
こうして、ワイヤ90が、支持部材92及び電極24の
間に挟まれて、電極24と電気的に導通する。本実施の
形態でも、第1の実施の形態と同じ効果を達成すること
ができる。
Next, a method for manufacturing the optical module according to the present embodiment will be described. First, one end of the wire 90 is bonded to the wiring pattern 42, and one of the support member 92 and the platform 10 is attached to the substrate 40. The order of these two steps does not matter. Then, the other of the support member 92 and the platform 10 is
Attach to At this time, a portion excluding both ends of the wire 90, that is, an intermediate portion is sandwiched between the support member 92 and the electrode 24.
Thus, the wire 90 is sandwiched between the support member 92 and the electrode 24, and is electrically connected to the electrode 24. Also in the present embodiment, the same effects as in the first embodiment can be achieved.

【0087】(第5の実施の形態)図5は、本発明を適
用した第5の実施の形態に係る光モジュールを示す図で
ある。本実施の形態では、プラットフォーム100の構
成が、第1の実施の形態で説明したプラットフォーム1
0と異なる。
(Fifth Embodiment) FIG. 5 is a diagram showing an optical module according to a fifth embodiment to which the present invention is applied. In the present embodiment, the configuration of the platform 100 is the same as the platform 1 described in the first embodiment.
Different from 0.

【0088】プラットフォーム100には、光素子20
が搭載された面と、これ以外の面(例えば側面)に、導
電層102が連続して形成されている。そして、プラッ
トフォーム100の導電層102は、基板40に形成さ
れた配線パターン104に接合されている。例えば、導
電性の接着剤を使用したり、金属接合によって、導電層
102と配線パターン42とを接合することができる。
図5には、異方性導電膜106を使用した例が示されて
いる。この場合には、配線パターン104にバンプ10
8を形成しておくことが好ましい。異方性導電膜106
の導電粒子が、導電層102と配線パターン104(詳
しくはバンプ108)との間に介在して、両者間の電気
的な導通が図られる。
The platform 100 includes the optical element 20
The conductive layer 102 is continuously formed on the surface on which is mounted and on other surfaces (for example, side surfaces). The conductive layer 102 of the platform 100 is joined to a wiring pattern 104 formed on the substrate 40. For example, the conductive layer 102 and the wiring pattern 42 can be bonded by using a conductive adhesive or by metal bonding.
FIG. 5 shows an example in which the anisotropic conductive film 106 is used. In this case, the bump 10 is
8 is preferably formed. Anisotropic conductive film 106
The conductive particles are interposed between the conductive layer 102 and the wiring pattern 104 (specifically, the bumps 108) to achieve electrical continuity therebetween.

【0089】その他の構成については、本実施の形態で
も、第1の実施の形態で説明した内容を適用することが
でき、第1の実施の形態と同じ効果を達成することがで
きる。また、プラットフォーム100における光素子2
0が搭載された面以外の面(例えば側面)にも導電層1
02を形成して、この面(例えば側面)を配線パターン
104に接合することは、第2〜第4の実施の形態にも
適用することができる。
For the other configurations, the contents described in the first embodiment can be applied to this embodiment, and the same effects as those of the first embodiment can be achieved. Also, the optical element 2 in the platform 100
The conductive layer 1 is also formed on a surface (for example, a side surface) other than the surface on which the
Forming No. 02 and joining this surface (for example, the side surface) to the wiring pattern 104 can also be applied to the second to fourth embodiments.

【0090】また、前述の実施の形態では、光ファイバ
30が1本の場合の構成を示したが、複数本の光ファイ
バ30が配置された構成でも、本発明を適用することが
できる。すなわち、並列に光ファイバ30が複数本配置
され、各光ファイバ30に光素子20、半導体チップ5
0が配置された構成とすることができる。
Further, in the above-described embodiment, the configuration in which one optical fiber 30 is provided has been described. However, the present invention can be applied to a configuration in which a plurality of optical fibers 30 are arranged. That is, a plurality of optical fibers 30 are arranged in parallel, and the optical element 20 and the semiconductor chip 5
0 may be arranged.

【0091】図6は、本発明を適用した実施の形態に係
る光伝達装置を示す図である。光伝送装置110は、コ
ンピュータ、ディスプレイ、記憶装置、プリンタ等の電
子機器112を相互に接続するものである。電子機器1
12は、情報通信機器であってもよい。光伝送装置11
0は、ケーブル114の両端にプラグ116が設けられ
たものであってもよい。ケーブル114は、1つ又は複
数(少なくとも一つ)の光ファイバ30を含む。光ファ
イバ30の両端部には、プラットフォーム10が設けら
れている。光ファイバ30とプラットフォーム10との
取り付け状態は、上述した通りである。プラグ116
は、プラットフォーム10を内蔵し、プラットフォーム
10は基板40に取り付けられており、基板40には半
導体チップ50が搭載されていてもよい。
FIG. 6 is a diagram showing an optical transmission device according to an embodiment to which the present invention is applied. The optical transmission device 110 interconnects electronic devices 112 such as a computer, a display, a storage device, and a printer. Electronic equipment 1
Reference numeral 12 may be an information communication device. Optical transmission device 11
0 may be a cable 114 in which plugs 116 are provided at both ends. The cable 114 includes one or more (at least one) optical fibers 30. Platforms 10 are provided at both ends of the optical fiber 30. The mounting state of the optical fiber 30 and the platform 10 is as described above. Plug 116
Has a built-in platform 10, and the platform 10 is mounted on a substrate 40, and a semiconductor chip 50 may be mounted on the substrate 40.

【0092】光ファイバ30に接続される一方のプラッ
トフォーム10に搭載される光素子20は、発光素子で
ある。一方の電子機器112から出力された電気信号
は、発光素子である光素子20によって光信号に変換さ
れる。光信号は光ファイバを伝わり、他方のプラットフ
ォーム10に搭載される光素子20に入力される。この
光素子20は、受光素子であり、入力された光信号が電
気信号に変換される。電気信号は、他方の電子機器11
2に入力される。こうして、本実施の形態に係る光伝達
装置110によれば、光信号によって、電子機器112
の情報伝達を行うことができる。
The optical element 20 mounted on one platform 10 connected to the optical fiber 30 is a light emitting element. An electric signal output from one of the electronic devices 112 is converted into an optical signal by the optical element 20 which is a light emitting element. The optical signal propagates through the optical fiber and is input to the optical element 20 mounted on the other platform 10. The optical element 20 is a light receiving element, and converts an input optical signal into an electric signal. The electric signal is transmitted to the other electronic device 11
2 is input. Thus, according to the optical transmission device 110 according to the present embodiment, the electronic device 112
Information can be transmitted.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、本発明を適用した第1の実施の形態に
係る光モジュールを示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing an optical module according to a first embodiment to which the present invention is applied.

【図2】図2は、本発明を適用した第2の実施の形態に
係る光モジュールを示す図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating an optical module according to a second embodiment to which the present invention is applied.

【図3】図3は、本発明を適用した第3の実施の形態に
係る光モジュールの製造方法を説明する図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating a method for manufacturing an optical module according to a third embodiment to which the present invention is applied.

【図4】図4は、本発明を適用した第4の実施の形態に
係る光モジュールを示す図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating an optical module according to a fourth embodiment to which the present invention is applied.

【図5】図5は、本発明を適用した第5の実施の形態に
係る光モジュールを示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing an optical module according to a fifth embodiment to which the present invention is applied.

【図6】図6は、本発明を適用した実施の形態に係る光
伝達装置を示す図である。
FIG. 6 is a diagram illustrating an optical transmission device according to an embodiment to which the present invention is applied.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 プラットフォーム 12 貫通穴 16 導電層 20 光素子 22 光学的部分 30 光ファイバ 40 基板 42 配線パターン 44 外部端子 60 封止部 62 第1の樹脂部 64 第2の樹脂部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Platform 12 Through-hole 16 Conductive layer 20 Optical element 22 Optical part 30 Optical fiber 40 Substrate 42 Wiring pattern 44 External terminal 60 Sealing part 62 1st resin part 64 2nd resin part

Claims (23)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 配線パターンが形成された基板と、 前記基板に取り付けられたプラットフォームと、 前記プラットフォームに配置された光ファイバと、 電極及び光学的部分を有し、前記光学的部分を前記光フ
ァイバの端面に向けて前記プラットフォームに搭載さ
れ、前記電極が前記配線パターンに電気的に接続された
光素子と、 を含む光モジュール。
1. A substrate having a wiring pattern formed thereon, a platform attached to the substrate, an optical fiber disposed on the platform, an electrode and an optical part, wherein the optical part is an optical fiber An optical element mounted on the platform toward an end surface of the optical element, wherein the electrode is electrically connected to the wiring pattern.
【請求項2】 請求項1記載の光モジュールにおいて、 前記基板には、前記配線パターンに電気的に接続された
外部端子が設けられている光モジュール。
2. The optical module according to claim 1, wherein the substrate is provided with an external terminal electrically connected to the wiring pattern.
【請求項3】 請求項1又は請求項2記載の光モジュー
ルにおいて、 前記電極は、前記光素子における前記光学的部分とは反
対側の面に形成されてなる光モジュール。
3. The optical module according to claim 1, wherein the electrode is formed on a surface of the optical element opposite to the optical part.
【請求項4】 請求項1から請求項3のいずれかに記載
の光モジュールにおいて、 前記光ファイバは、前記基板の面とほぼ平行に配設され
てなる光モジュール。
4. The optical module according to claim 1, wherein the optical fiber is disposed substantially parallel to a surface of the substrate.
【請求項5】 請求項1から請求項4のいずれかに記載
の光モジュールにおいて、 前記電極の面は、前記基板の面に対してほぼ直角に位置
してなる光モジュール。
5. The optical module according to claim 1, wherein the surface of the electrode is positioned substantially perpendicular to the surface of the substrate.
【請求項6】 請求項1から請求項5のいずれかに記載
の光モジュールにおいて、 前記電極と前記配線パターンとの間に、ハンダ及び導電
ペーストの一方が設けられて電気的導通が図られてなる
光モジュール。
6. The optical module according to claim 1, wherein one of a solder and a conductive paste is provided between the electrode and the wiring pattern to achieve electrical continuity. Optical module.
【請求項7】 請求項1から請求項6のいずれかに記載
の光モジュールにおいて、 前記配線パターン上に弾性を有する導電部材が設けら
れ、 前記導電部材は、弾性によって前記電極に接触してなる
光モジュール。
7. The optical module according to claim 1, wherein an elastic conductive member is provided on the wiring pattern, and the conductive member contacts the electrode by elasticity. Optical module.
【請求項8】 請求項1から請求項7のいずれかに記載
の光モジュールにおいて、 前記電極と前記配線パターンとは、ワイヤによって接続
され、 前記ワイヤの一方の端部が前記配線パターンにボンディ
ングされ、前記ワイヤの端部を除く部分が前記電極にボ
ンディングされてなる光モジュール。
8. The optical module according to claim 1, wherein the electrode and the wiring pattern are connected by a wire, and one end of the wire is bonded to the wiring pattern. An optical module in which a portion excluding an end of the wire is bonded to the electrode;
【請求項9】 請求項1から請求項7のいずれかに記載
の光モジュールにおいて、 支持部材が前記基板上に設けられ、 前記配線パターンにワイヤの一方の端部がボンディング
され、 前記ワイヤの端部を除く部分が、前記支持部材と前記電
極との間に挟まれることで、前記電極に接続されてなる
光モジュール。
9. The optical module according to claim 1, wherein a support member is provided on the substrate, one end of a wire is bonded to the wiring pattern, and an end of the wire is provided. An optical module comprising a portion excluding a portion connected to the electrode by being sandwiched between the support member and the electrode.
【請求項10】 請求項1から請求項9のいずれかに記
載の光モジュールにおいて、 前記プラットフォームには、導電層が形成されており、 前記導電層は、前記配線パターンに電気的に接続されて
いる光モジュール。
10. The optical module according to claim 1, wherein a conductive layer is formed on the platform, and the conductive layer is electrically connected to the wiring pattern. Optical module.
【請求項11】 請求項1から請求項10のいずれかに
記載の光モジュールにおいて、 少なくとも前記電極と前記配線パターンとの電気的な接
続部を封止する封止部をさらに有する光モジュール。
11. The optical module according to claim 1, further comprising a sealing portion for sealing at least an electrical connection portion between the electrode and the wiring pattern.
【請求項12】 請求項11記載の光モジュールにおい
て、 前記封止部は、前記電極と前記配線パターンとの電気的
な接続部を封止する第1の樹脂部と、前記第1の樹脂部
を封止する第2の樹脂部と、を含む光モジュール。
12. The optical module according to claim 11, wherein the sealing portion seals an electrical connection between the electrode and the wiring pattern, and the first resin portion. A second resin part for sealing the optical module.
【請求項13】 請求項12記載の光モジュールにおい
て、 前記第1の樹脂部は、前記第2の樹脂部よりも柔軟性が
高い光モジュール。
13. The optical module according to claim 12, wherein the first resin portion has higher flexibility than the second resin portion.
【請求項14】 光ファイバと、前記光ファイバの両端
に取り付けられた光モジュールと、を含み、 前記光モジュールは、 配線パターンが形成された基板と、 前記基板に取り付けられ、前記光ファイバが形成されて
なるプラットフォームと、 電極及び光学的部分を有し、前記光学的部分を前記光フ
ァイバの端面に向けて前記プラットフォームに搭載さ
れ、前記電極が前記配線パターンに電気的に接続された
光素子と、 を含む光伝達装置。
14. An optical module comprising: an optical fiber; and optical modules attached to both ends of the optical fiber, wherein the optical module is attached to the substrate, and the optical fiber is attached to the substrate. And an optical element having an electrode and an optical part, the optical part being mounted on the platform with the optical part facing the end face of the optical fiber, and the electrode being electrically connected to the wiring pattern. An optical transmission device comprising:
【請求項15】 プラットフォームに光素子を搭載する
工程と、 前記光素子が搭載された前記プラットフォームを、配線
パターンが形成された基板に取り付ける工程と、 前記プラットフォームに光ファイバを位置合わせして支
持させる工程と、 前記光素子に形成された電極と前記配線パターンとを電
気的に接続する工程と、 を含む光モジュールの製造方法。
15. A step of mounting an optical element on a platform, a step of attaching the platform on which the optical element is mounted to a substrate on which a wiring pattern is formed, and positioning and supporting an optical fiber on the platform. A method for manufacturing an optical module, comprising: a step of: electrically connecting an electrode formed on the optical element and the wiring pattern.
【請求項16】 請求項15記載の光モジュールの製造
方法において、 前記電極と前記配線パターンとを電気的に接続する工程
は、前記電極と前記配線パターンとの間に、ハンダ又は
導電ペーストを設けて行う光モジュールの製造方法。
16. The method for manufacturing an optical module according to claim 15, wherein in the step of electrically connecting the electrode and the wiring pattern, a solder or a conductive paste is provided between the electrode and the wiring pattern. Manufacturing method of optical module.
【請求項17】 請求項15記載の光モジュールの製造
方法において、 前記電極と前記配線パターンとを電気的に接続する工程
は、前記配線パターンに弾性を有する導電部材を設け、
その後、前記導電部材を前記電極に接触させて行う光モ
ジュールの製造方法。
17. The method for manufacturing an optical module according to claim 15, wherein the step of electrically connecting the electrode and the wiring pattern includes: providing a conductive member having elasticity in the wiring pattern;
Then, a method for manufacturing an optical module, in which the conductive member is brought into contact with the electrode.
【請求項18】 請求項15記載の光モジュールの製造
方法において、 前記電極と前記配線パターンとを電気的に接続する工程
は、前記配線パターンにワイヤの一方の端部をボンディ
ングし、その後、ワイヤの端部を除く部分を前記電極に
ボンディングして行う光モジュールの製造方法。
18. The method for manufacturing an optical module according to claim 15, wherein the step of electrically connecting the electrode and the wiring pattern includes bonding one end of a wire to the wiring pattern, and then connecting the wire to the wiring pattern. A method of manufacturing an optical module by bonding a portion except for an end of the optical module to the electrode.
【請求項19】 請求項15記載の光モジュールの製造
方法において、 前記電極と前記配線パターンとを電気的に接続する工程
は、前記配線パターンにワイヤの一方の端部をボンディ
ングし、支持部材及び前記プラットフォームの一方を前
記基板に取り付けた後、前記ワイヤの端部を除く部分
を、支持部材と前記電極との間で挟んで、前記支持部材
及び前記プラットフォームの他方を前記基板に取り付け
て行う光モジュールの製造方法。
19. The method for manufacturing an optical module according to claim 15, wherein the step of electrically connecting the electrode and the wiring pattern includes bonding one end of a wire to the wiring pattern, After attaching one of the platforms to the substrate, a light excluding the end of the wire is sandwiched between a support member and the electrode, and the other of the support member and the platform is attached to the substrate. Module manufacturing method.
【請求項20】 請求項15から請求項19のいずれか
に記載の光モジュールの製造方法において、 前記基板に、前記配線パターンに電気的に接続された外
部端子を設ける工程を含む光モジュールの製造方法。
20. The method for manufacturing an optical module according to claim 15, further comprising: providing an external terminal electrically connected to the wiring pattern on the substrate. Method.
【請求項21】 請求項15から請求項20のいずれか
に記載の光モジュールの製造方法において、 前記プラットフォームには、導電層が形成されており、 前記導電層と前記配線パターンとを電気的に接続する工
程を含む光モジュールの製造方法。
21. The method for manufacturing an optical module according to claim 15, wherein a conductive layer is formed on the platform, and the conductive layer and the wiring pattern are electrically connected to each other. A method for manufacturing an optical module including a connecting step.
【請求項22】 請求項15から請求項21のいずれか
に記載の光モジュールの製造方法において、 第1の樹脂によって、前記電極と前記配線パターンとの
電気的な接続部を封止して第1の樹脂部を形成する工程
と、 その後、第2の樹脂によって、前記第1の樹脂部を封止
して第2の樹脂部を形成する工程と、を含む光モジュー
ルの製造方法。
22. The method for manufacturing an optical module according to claim 15, wherein an electrical connection between the electrode and the wiring pattern is sealed with a first resin. An optical module manufacturing method, comprising: forming a first resin part; and thereafter, sealing the first resin part with a second resin to form a second resin part.
【請求項23】 請求項22記載の光モジュールの製造
方法において、 前記第1の樹脂部は、前記第2の樹脂部よりも柔軟性が
高い光モジュールの製造方法。
23. The method of manufacturing an optical module according to claim 22, wherein the first resin portion has higher flexibility than the second resin portion.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100404932B1 (en) * 2000-04-07 2003-11-10 세이코 엡슨 가부시키가이샤 Platform and optical module, manufacturing method of the same, and optical transmission device

Cited By (1)

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KR100404932B1 (en) * 2000-04-07 2003-11-10 세이코 엡슨 가부시키가이샤 Platform and optical module, manufacturing method of the same, and optical transmission device

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