JP2000354205A - Solid-state image pickup device - Google Patents

Solid-state image pickup device

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JP2000354205A
JP2000354205A JP2000132088A JP2000132088A JP2000354205A JP 2000354205 A JP2000354205 A JP 2000354205A JP 2000132088 A JP2000132088 A JP 2000132088A JP 2000132088 A JP2000132088 A JP 2000132088A JP 2000354205 A JP2000354205 A JP 2000354205A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make an output signal stable by adjusting a bias level with coupling of a reset pulse in an input signal from a charge transfer section to an optimum bias. SOLUTION: The solid-state image pickup device having a charge transfer section 1, an output section that is connected to the charge transfer section 1 and has a reset gate RG to which a reset pulse Pr is supplied, and an output amplifier that receives an input signal from this output section, is provided with a dummy signal processing section that generates a signal to adjust a bias component generated through coupling of the reset pulse Pr in the input signal supplied from this output section to the output amplifier, and adjusts this bias component to supply the signal generated by this dummy signal processing section to the output amplifier.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像装置、特
にCCDで構成された電荷転送部からの信号電荷を出力
電圧に変換する所謂フローティング・ディフュージョン
・アンプを有する固体撮像装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solid-state imaging device, and more particularly to a solid-state imaging device having a so-called floating diffusion amplifier for converting a signal charge from a charge transfer section constituted by a CCD into an output voltage.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のCCD固体撮像装置、特にその出
力回路は、図5に示すように、CCDで構成された電荷
転送部21の次段に、出力ゲートOGを隔ててフローテ
ィング・ディフュージョンFD、リセットゲートRG及
びドレイン領域Dからなる放電用素子22と、この放電
用素子22の後段に出力素子Q1 と負荷抵抗素子Q2
らなるソースフォロア回路23と、サンプルホールドパ
ルスPsの入力に基いてこのソースフォロア回路23か
らの出力信号Siaのうち、信号成分Vsのみを取り出
すサンプリング・ホールド(S/H)回路24と、該S
/H回路24からの信号成分Vsを増幅し、出力信号S
として取り出す増幅器25を具備して構成されている。
このソースフォロア回路23は、その負荷抵抗素子Q2
のゲートに固定バイアス電位Vgが印加されて、電荷転
送部21からの入力信号Siをゲイン≒+1(符号の+
は非反転を示す)の出力信号Siaとして出力する。
2. Description of the Related Art As shown in FIG. 5, a conventional CCD solid-state image pickup device, particularly an output circuit thereof, includes a floating diffusion FD, which is separated from an output gate OG, at a stage subsequent to a charge transfer section 21 composed of a CCD. and the discharging device 22 consisting of the reset gate RG and a drain region D, a source follower circuit 23 and an output element Q 1 and the load resistance element Q 2 downstream of the discharge device 22, based on the input of the sample-and-hold pulse Ps A sampling and holding (S / H) circuit 24 for extracting only the signal component Vs from the output signal Sia from the source follower circuit 23;
/ H circuit 24 amplifies the signal component Vs from the output signal S
It is configured to include an amplifier 25 that is taken out as a.
This source follower circuit 23 has its load resistance element Q 2
Is applied with a fixed bias potential Vg to the input signal Si from the charge transfer unit 21 with a gain ≒ + 1 (+
Indicates non-inversion).

【0003】そして、この電荷転送部21のうち、最終
段の転送電極TG下から転送される信号電荷を一旦フロ
ーティング・ディフュージョンFDに蓄積し、その蓄積
電荷に基づく電圧変化、即ち入力信号Siを後段のソー
スフォロア回路23に供給する。
In the charge transfer section 21, signal charges transferred from below the transfer electrode TG in the last stage are temporarily stored in the floating diffusion FD, and a voltage change based on the stored charges, that is, an input signal Si is transferred to the subsequent stage. To the source follower circuit 23.

【0004】入力信号Siをソースフォロア回路23に
供給した後は、リセットゲートRGにリセットパルスP
rを供給してフローティング・ディフュージョンFDを
初期電圧Vddにリセットし、フローティング・ディフ
ュージョンFDに蓄積されていた電荷をドレイン領域D
側に掃き出す。
After the input signal Si is supplied to the source follower circuit 23, a reset pulse P is applied to the reset gate RG.
r, the floating diffusion FD is reset to the initial voltage Vdd, and the charge accumulated in the floating diffusion FD is drained to the drain region D.
Sweep out to the side.

【0005】従って、ソースフォロア回路23に入力さ
れる電荷転送部21からの入力信号Siの波形は、図6
に示すように、リセット期間tr、フィールドスルー期
間tf及び信号期間tsの3つの期間に分けられ、リセ
ット期間trにおいてフローティング・ディフュージョ
ンFDの初期電圧Vddが現れ、信号期間tsにおいて
蓄積電荷に伴う信号成分Vsが現れる。
Accordingly, the waveform of the input signal Si from the charge transfer section 21 input to the source follower circuit 23 is shown in FIG.
As shown in FIG. 3, the reset period tr, the field through period tf, and the signal period ts are divided into three periods. In the reset period tr, the initial voltage Vdd of the floating diffusion FD appears. Vs appears.

【0006】そして、後段のS/H回路24にて、この
ソースフォロア回路23からの出力信号Sia中、信号
成分Vsのみをサンプリングして、次段の増幅器25に
供給する。増幅器25においては、このS/H回路24
からのサンプリング信号Vsを増幅し、出力信号Sとし
て取り出す。
Then, in the S / H circuit 24 at the subsequent stage, only the signal component Vs in the output signal Sia from the source follower circuit 23 is sampled and supplied to the amplifier 25 at the next stage. In the amplifier 25, the S / H circuit 24
Is amplified and extracted as an output signal S.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところで、最近では、
高感度化ということを目的に、例えば増幅器25として
インバータゲインアンプを用いるなど、出力回路自体に
ゲインをもたせる場合が多くなってきている。
By the way, recently,
For the purpose of increasing the sensitivity, the output circuit itself is often given a gain, for example, by using an inverter gain amplifier as the amplifier 25.

【0008】ここで、問題となるのが、電荷転送部21
からの入力信号SiにおけるリセットパルスPrのカッ
プリングである。このカップリング量Vは、図6におい
て、リセット期間trにおける電位Vddとフィールド
スルー期間tfにおけるバイアス電位Vbとの差であ
る。
The problem here is that the charge transfer unit 21
This is the coupling of the reset pulse Pr in the input signal Si from. The coupling amount V is a difference between the potential Vdd in the reset period tr and the bias potential Vb in the field through period tf in FIG.

【0009】即ち、図7に示すように、出力回路のゲイ
ンが大きくなるに従い、入出力特性曲線の傾きが大きく
なることから(破線参照)、入力レンジが小さくなり、
入力信号Siのフィールドスルー期間tfにおけるバイ
アス電位Vbに関し、その最適なバイアスを決めること
が困難になるという問題がある。また、製造上のばらつ
きや温度特性などにより、このバイアス電位Vbが変化
するが、少しの変化でこの入力レンジを越えてしまい、
CCD固体撮像装置としての感度が大きく変わるという
不都合が生じる。
That is, as shown in FIG. 7, as the gain of the output circuit increases, the slope of the input / output characteristic curve increases (see the broken line), so that the input range decreases.
With respect to the bias potential Vb during the field through period tf of the input signal Si, there is a problem that it is difficult to determine the optimum bias. Further, the bias potential Vb changes due to manufacturing variations and temperature characteristics.
The inconvenience that the sensitivity as a CCD solid-state imaging device changes greatly occurs.

【0010】また、例えば変換効率を上げるためにフロ
ーティング・ディフュージョンFDの容量を小さくした
場合(フローティング・ディフュージョンFDの形成パ
ターンを小さくした場合)、このカップリング量Vが大
きくなって、入力レンジ内における信号成分Vsの割合
が非常に小さくなるため、感度の向上を期待することは
できない。
Further, for example, when the capacity of the floating diffusion FD is reduced in order to increase the conversion efficiency (when the formation pattern of the floating diffusion FD is reduced), the coupling amount V increases, and the Since the ratio of the signal component Vs becomes very small, improvement in sensitivity cannot be expected.

【0011】本発明は、このような課題に鑑み成された
もので、その目的とするところは、電荷転送部からの入
力信号中、リセットパルスのカップリングによるバイア
ス電位を最適なバイアス値に調整するようにし、出力信
号の安定化を図ることができる固体撮像装置を提供する
ことにある。
The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to adjust a bias potential by coupling of a reset pulse to an optimum bias value in an input signal from a charge transfer unit. And to provide a solid-state imaging device capable of stabilizing an output signal.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明の固体撮像装置
は、電荷転送部とこの電荷転送部に接続され、リセット
パルスが供給されるリセットゲートを有する出力部と、
この出力部からの入力信号が供給される出力アンプとを
有する固体撮像装置において、この出力部から出力アン
プに供給される入力信号のうちこのリセットパルスのカ
ップリングにより発生するバイアス成分を調整する信号
を生成するダミー信号処理部を有し、このダミー信号処
理部により生成された信号をこの出力アンプに供給する
ことによりこのバイアス成分を調整するようにしたもの
である。
According to the present invention, there is provided a solid-state imaging device comprising: a charge transfer unit; an output unit connected to the charge transfer unit and having a reset gate supplied with a reset pulse;
A solid-state imaging device having an output amplifier to which an input signal from the output unit is supplied; and a signal for adjusting a bias component generated by coupling of the reset pulse among input signals supplied from the output unit to the output amplifier. And a bias signal is adjusted by supplying a signal generated by the dummy signal processing unit to the output amplifier.

【0013】上述の本発明の構成によれば、電荷転送部
からの入力信号のリセットパルスのカップリングにより
発生するバイアス成分をダミー信号処理部により生成さ
れた信号により調整するようにしているので、この入力
信号Siのリセットパルスのカップリングにより発生す
るバイアス成分を最適バイアス電位に保持させるように
でき、出力回路自体に高いゲインをもたせて、入力レン
ジが狭くなったとしても、電荷転送部からの入力信号に
対し最適なバイアスを設定することができる。
According to the configuration of the present invention described above, the bias component generated by the coupling of the reset pulse of the input signal from the charge transfer unit is adjusted by the signal generated by the dummy signal processing unit. The bias component generated by the coupling of the reset pulse of the input signal Si can be held at the optimum bias potential. Even if the output circuit itself has a high gain and the input range is narrowed, the charge from the charge transfer unit is reduced. An optimum bias can be set for an input signal.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、図1〜図4を参照しながら
本発明の実施の形態の例を説明する。図1は、本例に係
る固体撮像装置の要部を示す回路図であり、図2は、図
1のA−A線上及びB−B線上の断面図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 1 is a circuit diagram illustrating a main part of the solid-state imaging device according to the present embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA and line BB in FIG.

【0015】この固体撮像装置は、CCDで構成された
電荷転送部1の次段に、出力ゲートOGを隔ててフロー
ティング・ディフュージョンFD、リセットゲートRG
及びドレイン領域Dからなる放電用素子2を有し、この
放電用素子2の後段に本パターン出力回路3が接続され
て構成されている。
In this solid-state imaging device, a floating diffusion FD and a reset gate RG are provided at the next stage of the charge transfer section 1 composed of a CCD via an output gate OG.
And a discharge element 2 including a drain region D, and the pattern output circuit 3 is connected to a stage subsequent to the discharge element 2.

【0016】本パターン出力回路3は、出力素子Q1
負荷抵抗素子Q2 からなるソースフォロア回路4と、サ
ンプルホールドパルスPsの入力に基いてこのソースフ
ォロア回路4からの出力信号Siaのうち、信号成分V
sのみを取り出すサンプリング・ホールド(S/H)回
路5と、このS/H回路5からの信号成分Vsを所定の
高ゲインにて増幅し、出力信号Sとして取り出す増幅器
6を具備して構成されている。
The pattern output circuit 3 includes a source follower circuit 4 including an output element Q 1 and a load resistance element Q 2, and an output signal Sia from the source follower circuit 4 based on an input of a sample and hold pulse Ps. Signal component V
A sampling and holding (S / H) circuit 5 for taking out only s, and an amplifier 6 for amplifying the signal component Vs from the S / H circuit 5 with a predetermined high gain and taking out as an output signal S. ing.

【0017】そして、この電荷転送部1のうち、図2A
に示すように、最終段の転送電極TG下から転送される
信号電荷を一旦フローティング・ディフュージョンFD
に蓄積し、その蓄積電荷に基づく電圧変化、即ち入力信
号Siを本パターン出力回路3のソースフォロア回路4
に供給する。このソースフォロア回路4からの出力信号
Siaと放電用素子2におけるフローティング・ディフ
ュージョンFDからの入力信号Siはほぼ同相の関係を
有する。
2A of the charge transfer section 1
, The signal charge transferred from under the transfer electrode TG in the final stage is temporarily changed to the floating diffusion FD.
And a voltage change based on the accumulated charge, that is, the input signal Si is supplied to the source follower circuit 4 of the pattern output circuit 3.
To supply. The output signal Sia from the source follower circuit 4 and the input signal Si from the floating diffusion FD in the discharging element 2 have substantially the same phase.

【0018】入力信号Siをソースフォロア回路4に供
給した後は、リセットゲートRGにリセットパルスPr
を供給してフローティング・ディフュージョンFDを初
期電圧Vddにリセットし、フローティング・ディフュ
ージョンFDに蓄積されていた電荷をドレイン領域D側
に掃き出す。
After supplying the input signal Si to the source follower circuit 4, a reset pulse Pr is applied to the reset gate RG.
To reset the floating diffusion FD to the initial voltage Vdd, and sweeps out the charges accumulated in the floating diffusion FD to the drain region D side.

【0019】従って、ソースフォロア回路4に入力され
るフローティング・ディフュージョンFDからの入力信
号Siの波形は、図3Aに示すように、リセット期間t
r、フィールドスルー期間tf及び信号期間tsの3つ
の期間に分けられる。リセット期間trにおいては、フ
ローティング・ディフュージョンFDの初期電圧Vdd
が現れ、フィールドスルー期間tfにおいてはバイアス
電位Vb、信号期間tsにおいては蓄積電荷に伴う信号
成分Vsが現れる。
Accordingly, as shown in FIG. 3A, the waveform of the input signal Si from the floating diffusion FD input to the source follower circuit 4 has a reset period t.
r, a field through period tf, and a signal period ts. In the reset period tr, the initial voltage Vdd of the floating diffusion FD
Appear in the field through period tf, and the signal component Vs accompanying the accumulated charge appears in the signal period ts.

【0020】そして、図3Bで示す出力タイミングのサ
ンプルホールドパルスPsが入力される後段のS/H回
路5にて、上記ソースフォロア回路4からの出力信号S
ia中、信号成分Vsのみをサンプリングして、次段の
増幅器6に供給する。増幅器6においては、このS/H
回路5からのサンプリング信号Vsを所定の高ゲインに
て増幅し、図3Cで示す出力信号Sとして取り出す。
The S / H circuit 5 at the subsequent stage to which the sample hold pulse Ps at the output timing shown in FIG. 3B is input is output from the source follower circuit 4 by the output signal S.
During ia, only the signal component Vs is sampled and supplied to the next-stage amplifier 6. In the amplifier 6, this S / H
The sampling signal Vs from the circuit 5 is amplified at a predetermined high gain and is extracted as an output signal S shown in FIG. 3C.

【0021】しかして、本例においては、図1及び図2
Bに示すように、この放電用素子2とは別にその放電用
素子2とほぼ同等の構成を有するダミー出力部7を同一
基板上に形成する。即ち、このダミー出力部7は、出力
ゲートOG、フローティング・ディフュージョンFD、
リセットゲートRG及びドレイン領域Dにて構成され
る。しかし、このダミー出力部7には、電荷転送部1が
接続されないため、フローティング・ディフュージョン
FDからの出力(ダミー出力信号)Sdは、図3Dに示
すように、リセット期間trにおいてフローティング・
ディフュージョンFDの初期電圧Vddが現れ、フィー
ルドスルー期間tf及び信号期間tsにおいて、バイア
ス電位Vbが現れる。
In this embodiment, however, FIGS.
As shown in FIG. 2B, a dummy output section 7 having substantially the same configuration as the discharge element 2 is formed on the same substrate separately from the discharge element 2. That is, the dummy output unit 7 includes an output gate OG, a floating diffusion FD,
It is composed of a reset gate RG and a drain region D. However, since the charge transfer section 1 is not connected to the dummy output section 7, the output (dummy output signal) Sd from the floating diffusion FD is set to the floating state during the reset period tr as shown in FIG. 3D.
The initial voltage Vdd of the diffusion FD appears, and the bias potential Vb appears in the field through period tf and the signal period ts.

【0022】また、本例では、このダミー出力部7の後
段にダミー出力回路8を接続する。このダミー出力回路
8は、出力素子Q1 と負荷抵抗素子Q2 からなるソース
フォロア回路9と、サンプルホールドパルス(図3B参
照)Psの入力に基いてこのソースフォロア回路9から
の出力信号Sdaのうち、バイアス電位Vbのみを取り
出すサンプリング・ホールド(S/H)回路10と、こ
のS/H回路10からのバイアス電位Vbを所定の高ゲ
インにて増幅し、図3Eで示す出力信号Sbとして取り
出す増幅器11を具備して構成されている。
In this embodiment, a dummy output circuit 8 is connected to a stage subsequent to the dummy output section 7. The dummy output circuit 8 includes a source follower circuit 9 and the output element Q 1 consists of a load resistance element Q 2, a sample hold pulse (see FIG. 3B) on the basis of the input of the Ps of the output signal Sda from the source follower circuit 9 Among them, a sampling and holding (S / H) circuit 10 for taking out only the bias potential Vb, and a bias potential Vb from this S / H circuit 10 are amplified with a predetermined high gain and taken out as an output signal Sb shown in FIG. 3E. It comprises an amplifier 11.

【0023】更に、本例では、このダミー出力回路8か
らの出力信号Sbと所定の固定電位Vdとを比較するコ
ンパレータ12と、このコンパレータ12からの交流的
な比較結果信号Scを直流化信号Vcに変換するローパ
スフィルタ13を具備し、このローパスフィルタ13と
ソースフォロア回路4及び9の各負荷抵抗素子Q2 のゲ
ートとを接続して構成されている。そして、このコンパ
レータ12の一方の端子(+端子)に供給される固定電
位Vdは、例えば図4で示す入力レンジ中、バイアス電
位として最適な電位Viに対応した出力電圧Voに設定
する。
Further, in this embodiment, a comparator 12 for comparing the output signal Sb from the dummy output circuit 8 with a predetermined fixed potential Vd, and an AC comparison result signal Sc from the comparator 12 are converted into a DC signal Vc comprising a low-pass filter 13 to be converted into, which are connected between the respective load resistance element Q 2 of the low-pass filter 13 and the source follower circuit 4 and 9 gates. Then, the fixed potential Vd supplied to one terminal (+ terminal) of the comparator 12 is set to, for example, an output voltage Vo corresponding to an optimum potential Vi as a bias potential in the input range shown in FIG.

【0024】次に、本例に係る固体撮像装置の動作を説
明する。まず、本パターン出力回路3及びダミー出力回
路8の各ソースフォロア回路4及び9には、各フローテ
ィング・ディフュージョンFDからの入力信号Si及び
ダミー信号Sdが供給される。このとき、本パターン出
力回路3においては、S/H回路5にてその信号成分V
sのみを取り出した後、増幅器6を介して出力信号Sと
して出力する。一方、ダミー出力回路8においては、S
/H回路10にてそのバイアス電位Vbのみを取り出し
た後、該バイアス電位Vbを増幅器11を介してコンパ
レータ12の(−)端子に供給する。
Next, the operation of the solid-state imaging device according to this embodiment will be described. First, the input signal Si and the dummy signal Sd from each floating diffusion FD are supplied to the source follower circuits 4 and 9 of the pattern output circuit 3 and the dummy output circuit 8, respectively. At this time, in the pattern output circuit 3, the signal component V
After extracting only s, the signal is output as an output signal S via the amplifier 6. On the other hand, in the dummy output circuit 8, S
After taking out only the bias potential Vb in the / H circuit 10, the bias potential Vb is supplied to the (−) terminal of the comparator 12 via the amplifier 11.

【0025】このとき、例えば温度変化によって入力信
号Si及びダミー信号Sdのバイアス電位Vbが最適バ
イアス電位Vi(図4参照)よりも低くなった場合、増
幅器11から出力される出力信号Sbがコンパレータ1
2の(+)端子に印加されている固定電位Vdよりも低
くなるため、コンパレータ12から出力される比較結果
信号Scは高レベルの信号成分が連続的に現れるかたち
となる。
At this time, if the bias potential Vb of the input signal Si and the dummy signal Sd becomes lower than the optimum bias potential Vi (see FIG. 4) due to, for example, a temperature change, the output signal Sb output from the amplifier 11 is changed to the comparator 1
2 is lower than the fixed potential Vd applied to the (+) terminal of the second comparator 2, and the comparison result signal Sc output from the comparator 12 has a form in which high-level signal components appear continuously.

【0026】その結果、ソースフォロア回路4及び9の
各負荷抵抗素子Q2 の各ゲートには高い電位の直流化信
号Vcがかかり、それに伴って、駆動電流が増大し、各
ソースフォロア回路4及び9からの出力信号Sia及び
Sda、即ち各フローティング・ディフュージョンFD
からの入力信号Si及びSdは、全体的にそのバイアス
電位Vbが所定値Viに近づくようにシフトし、帰還回
路を構成しているので結果的に、そのバイアス電位Vb
が最適バイアス電位Viに保持される。
[0026] As a result, each gate of each load resistance element Q 2 of the source follower circuit 4 and 9 takes the DC signal Vc of higher potential, and accordingly, the drive current is increased, 4 and the source follower circuit 9, the output signals Sia and Sda, ie, each floating diffusion FD
Are shifted so that the bias potential Vb as a whole approaches the predetermined value Vi and constitutes a feedback circuit, and as a result, the bias potential Vb
Are held at the optimum bias potential Vi.

【0027】一方、入力信号Si及びダミー信号Sdの
バイアス電位Vbが最適バイアス電位Viよりも高くな
った場合、増幅器11から出力される出力信号Sbが固
定電位Vdよりも高くなるため、コンパレータ12から
出力される比較結果信号Scは低レベルの信号成分が連
続的に現れるかたちとなる。
On the other hand, when the bias potential Vb of the input signal Si and the dummy signal Sd becomes higher than the optimum bias potential Vi, the output signal Sb output from the amplifier 11 becomes higher than the fixed potential Vd. The output comparison result signal Sc has a form in which low-level signal components appear continuously.

【0028】その結果、ソースフォロア回路4及び9の
各負荷抵抗素子Q2 の各ゲートには低い電位の直流化信
号Vcがかかり、それに伴って、駆動電流が低下し、各
ソースフォロア回路4及び9からの出力信号Sia及び
Sda、即ち各フローティング・ディフュージョンFD
からの入力信号Si及びSdは、全体的にそのバイアス
電位Vbが最適バイアス電位Viに近づくようにシフト
し、帰還回路を構成しているので結果的に、そのバイア
ス電位Vbが最適バイアス電位Viに保持される。
[0028] As a result, the direct current signal Vc of the low potential to the gates of the load resistance element Q 2 of the source follower circuit 4, and 9-consuming, and accordingly, the drive current is decreased, 4 and the source follower circuit 9, the output signals Sia and Sda, ie, each floating diffusion FD
Input signals Si and Sd are shifted such that their bias potentials Vb approach the optimum bias potentials Vi and constitute a feedback circuit. As a result, the bias potentials Vb become the optimum bias potentials Vi. Will be retained.

【0029】上述のように、本例によれば、ダミー出力
部7からのダミー信号Sdをダミー出力回路8のソース
フォロア回路9に供給し、後段のS/H回路10にてそ
のバイアス電位Vbのみを取出し、更にこのバイアス電
位Vbを増幅器11にて増幅した後、次段のコンパレー
タ12にてこの増幅器11からの出力信号Sbと所定の
固定電位Vdとを比較し、その比較結果の直流化信号V
cを、電荷転送部1からの入力信号Si及びこのダミー
信号Sdが夫々供給されるソースフォロア回路4及び9
に帰還させて、この入力信号Siのバイアス電位Vbを
この所定の固定電位Vdに対応した最適バイアス電位V
iに保持させるようにしたので、本パターン出力回路3
自体に高いゲインをもたせて、入力レンジが狭くなった
としても、電荷転送部1からの入力信号Siに対し最適
なバイアス電位Viを設定することができる。
As described above, according to this embodiment, the dummy signal Sd from the dummy output section 7 is supplied to the source follower circuit 9 of the dummy output circuit 8, and the bias potential Vb is supplied to the S / H circuit 10 at the subsequent stage. Only after the bias potential Vb is amplified by the amplifier 11, the comparator 12 at the next stage compares the output signal Sb from the amplifier 11 with a predetermined fixed potential Vd, and converts the comparison result into a direct current. Signal V
c, the source follower circuits 4 and 9 to which the input signal Si from the charge transfer unit 1 and the dummy signal Sd are supplied, respectively.
And the bias potential Vb of the input signal Si is adjusted to the optimum bias potential V corresponding to the predetermined fixed potential Vd.
i, the pattern output circuit 3
Even if the input range is narrowed by giving a high gain to itself, the optimum bias potential Vi can be set for the input signal Si from the charge transfer unit 1.

【0030】従って、例えば変換効率を上げるためにフ
ローティング・ディフュージョンFDの容量を小さくし
た場合、電荷転送部1からの入力信号Siにおけるカッ
プリング量Vが大きくなるが、このような場合でも、入
力信号Siにおけるバイアス電位Vbを自動的に最適な
バイアス電位Viに設定させることができる。また、ば
らつき変動、環境変動(製造上のばらつきや温度特性
等)によって入力信号Siのバイアス電位Vbが変動し
ても、自動的に最適なバイアス電位Viに設定させるこ
とができる。このことから、本例の固体撮像装置によれ
ば、本パターン出力回路3からの出力信号Sの安定化が
図れ、感度の向上並びに次段に接続される信号処理回路
等の設計の容易化を図ることができる。
Therefore, for example, when the capacitance of the floating diffusion FD is reduced to increase the conversion efficiency, the coupling amount V in the input signal Si from the charge transfer unit 1 increases. The bias potential Vb of Si can be automatically set to the optimum bias potential Vi. Further, even if the bias potential Vb of the input signal Si fluctuates due to fluctuation fluctuations and environmental fluctuations (manufacturing fluctuations, temperature characteristics, etc.), it is possible to automatically set the optimum bias potential Vi. Thus, according to the solid-state imaging device of the present example, the output signal S from the pattern output circuit 3 can be stabilized, the sensitivity can be improved, and the design of the signal processing circuit connected to the next stage can be simplified. Can be planned.

【0031】上述本例では、ダミー出力回路8の構成を
本パターン出力回路3とほぼ同一の回路構成にした場合
を示したが、その他、ダミー出力回路8の構成をサンプ
リングホールド後の出力回路で最もゲインの高いところ
の信号を得られるところまでの回路構成を採用してもよ
い。
In the above-described embodiment, the case where the configuration of the dummy output circuit 8 is substantially the same as that of the present pattern output circuit 3 has been described. In addition, the configuration of the dummy output circuit 8 may be the output circuit after sampling and holding. A circuit configuration up to a point where a signal having the highest gain can be obtained may be employed.

【0032】[0032]

【発明の効果】本発明に係る固体撮像装置によれば、出
力回路自体に高いゲインをもたせても、電荷転送部から
の入力信号におけるバイアス電位を最適な値に設定する
ことができ、出力回路からの出力信号の安定化を図るこ
とができる。
According to the solid-state imaging device of the present invention, even if the output circuit itself has a high gain, the bias potential of the input signal from the charge transfer unit can be set to an optimum value, and Output signal from the input terminal can be stabilized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る固体撮像装置の実施の形態の例の
要部の構成を示す回路図である。
FIG. 1 is a circuit diagram illustrating a configuration of a main part of an example of an embodiment of a solid-state imaging device according to the present invention.

【図2】Aは、図1におけるA−A線上の断面図であ
る。Bは、図1におけるB−B線上の断面図である。
FIG. 2A is a sectional view taken along line AA in FIG. FIG. 2B is a sectional view taken along line BB in FIG.

【図3】図1例に係る固体撮像装置の信号処理を示す波
形図である。
FIG. 3 is a waveform chart showing signal processing of the solid-state imaging device according to the example of FIG. 1;

【図4】図1例に係る固体撮像装置の入出力特性を示す
特性図である。
FIG. 4 is a characteristic diagram illustrating input / output characteristics of the solid-state imaging device according to the example of FIG. 1;

【図5】従来例に係る固体撮像装置の要部の構成を示す
回路図である。
FIG. 5 is a circuit diagram showing a configuration of a main part of a solid-state imaging device according to a conventional example.

【図6】電荷転送部からの入力信号の波形を示す波形図
である。
FIG. 6 is a waveform diagram showing a waveform of an input signal from a charge transfer unit.

【図7】従来例に係る固体撮像装置の入出力特性を示す
特性図である。
FIG. 7 is a characteristic diagram showing input / output characteristics of a solid-state imaging device according to a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1‥‥電荷転送部、2‥‥放電用素子、3‥‥本パター
ン出力回路、4及び9‥‥ソースフォロア回路、5及び
10‥‥S/H回路、6及び11‥‥増幅器、7‥‥ダ
ミー出力部、8‥‥ダミー出力回路、12‥‥コンパレ
ータ、13‥‥ローパスフィルタ、OG‥‥出力ゲー
ト、FD‥‥フローティング・ディフュージョン、RG
‥‥リセットゲート、D‥‥ドレイン領域
Reference Signs List 1 charge transfer unit, 2 discharge element, 3 pattern output circuit, 4 and 9 source follower circuit, 5 and 10 S / H circuit, 6 and 11 amplifier, 7 {Dummy output section, 8} Dummy output circuit, 12} Comparator, 13} Low pass filter, OG {Output gate, FD} Floating diffusion, RG
{Reset gate, D} Drain region

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電荷転送部と、該電荷転送部に接続さ
れ、リセットパルスが供給されるリセットゲートを有す
る出力部と、該出力部からの入力信号が供給される出力
アンプとを有する固体撮像装置において、 前記出力部から前記出力アンプに供給される入力信号の
うち前記リセットパルスのカップリングにより発生する
バイアス成分を調整する信号を生成するダミー信号処理
部を有し、 該ダミー信号処理部により生成された信号を前記出力ア
ンプに供給することにより前記バイアス成分を調整する
ことを特徴とする固体撮像装置。
1. A solid-state imaging device comprising: a charge transfer unit; an output unit connected to the charge transfer unit and having a reset gate supplied with a reset pulse; and an output amplifier supplied with an input signal from the output unit. The device, further comprising: a dummy signal processing unit that generates a signal for adjusting a bias component generated by coupling of the reset pulse among input signals supplied from the output unit to the output amplifier, A solid-state imaging device, wherein the bias component is adjusted by supplying a generated signal to the output amplifier.
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