JP2000353015A - Method for controlling drive out of empty car in automatic carrier system - Google Patents

Method for controlling drive out of empty car in automatic carrier system

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JP2000353015A
JP2000353015A JP11166119A JP16611999A JP2000353015A JP 2000353015 A JP2000353015 A JP 2000353015A JP 11166119 A JP11166119 A JP 11166119A JP 16611999 A JP16611999 A JP 16611999A JP 2000353015 A JP2000353015 A JP 2000353015A
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JP
Japan
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transport
station
main line
vehicle
carrier
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JP11166119A
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Japanese (ja)
Inventor
Toshimasa Kawagoe
敏昌 川越
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Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Original Assignee
Hitachi Kiden Kogyo Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for controlling drive out of an empty car in an automatic carrier system to enhance carrier efficiency of the automatic carrier system by reducing waiting time of a carrier when the empty car merges. SOLUTION: The automatic carrier system has plural unmanned carriers 5 to run along a path, a main line 12 on which the path is constituted in the shape of a loop, a branch line 11 which is branched from the main line 12 and joined to the side of the main line 12 again and a station 17 arranged on the side of the branch line 11. In this case, a communication point 13 is arranged on the upstream sides of each branching point 14 of the main line 12 and a drive out instruction to drive out from the branch line 11 to the main line 12 is made to the empty carrier 5 to which no carrier instruction is allocated waiting at the branch line 11 of the next station 17 when destination of the carrier 5 is the next station 17 when the carrier 5 passes the communication point 13.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体や液晶の製
造工場のクリーンルーム等に設置される自動搬送システ
ムに係り、詳しくは、自動搬送システムの空車の追出し
制御方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic transfer system installed in a clean room or the like of a semiconductor or liquid crystal manufacturing factory, and more particularly, to a method for controlling the empty conveyance of an automatic transfer system.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、半導体や液晶の製造工場のクリー
ンルーム内では、複数の製造装置間あるいは複数の自動
倉庫間を結ぶループ状の走行経路を、床上又は天井より
吊具により支持させて設置し、この走行経路に沿って複
数の自動搬送車が搬送を行う構成となっている。半導体
や液晶の製造分野においては、半導体IC又は液晶の製
造コスト低減のため、搬送設備に対して、設備の占有面
積の増大を伴わず、単位時間当たりの搬送回数を増大さ
せる要求が高まっている。
2. Description of the Related Art Conventionally, in a clean room of a semiconductor or liquid crystal manufacturing factory, a loop-shaped travel path connecting a plurality of manufacturing apparatuses or a plurality of automatic warehouses is installed by being supported by a hanging tool from the floor or ceiling. In addition, a plurality of automatic guided vehicles are configured to carry along the traveling route. In the field of manufacturing semiconductors and liquid crystals, there is an increasing demand for transfer equipment to increase the number of transfers per unit time without increasing the area occupied by the equipment in order to reduce the manufacturing cost of semiconductor ICs or liquid crystals. .

【0003】搬送回数が多く要求される場合には、ルー
プ状に配置される本線に対して、分岐点、合流点を有す
る支線を接続するとともに、支線側にステーションを配
置し、当該ステーションにて被搬送物の移載を行うよう
にしている。また、搬送車に制御電源や駆動電源として
バッテリが設置されている場合には、このステーション
にて充電のための停止を行うようにしている。さらに、
このステーションは、搬送指示を受けていない搬送車の
待機位置となる。
When a large number of transfers is required, a branch line having a branch point and a junction is connected to a main line arranged in a loop, and a station is arranged on the branch line side. The transfer of the transferred object is performed. When a battery is installed in the carrier as a control power source or a driving power source, a stop for charging is performed at this station. further,
This station is a standby position for a transport vehicle that has not received a transport instruction.

【0004】このように、支線と本線とを分離すること
によって、被搬送物の移載や充電停止を行う搬送車が後
続車の走行を妨げることを防止し、搬送効率の向上を図
っている。搬送車は上位コントローラより搬送指示を割
付けられると、荷積みステーションまで走行して荷積み
を行い、荷卸ステーションまで走行して荷卸を行い、搬
送指示を完了する。そして、搬送指示を完了した搬送車
は、次の搬送指示が与えられるまで、荷卸を行ったステ
ーションにて待機を行う。
[0004] By separating the branch line from the main line in this way, it is possible to prevent a transporting vehicle that transfers or stops charging a transported object from hindering the running of a following vehicle, thereby improving transporting efficiency. . When the transport instruction is assigned by the upper controller, the transport vehicle travels to the loading station to perform loading, travels to the unloading station to perform unloading, and completes the transport instruction. Then, the transport vehicle that has completed the transport instruction waits at the unloading station until the next transport instruction is given.

【0005】すなわち、各ステーションは、荷積み・荷
卸・充電以外にも、空車の待機位置となっているが、従
来においては、ステーションで待機中の空車に対して、
当該ステーションを目的地とする別の搬送車が発生する
と、搬送コントローラは待機中の空車に対して当該ステ
ーションから別の利用可能なステーションまでの走行指
示を出すようになっている。これを追出し指示と呼ぶ
が、空車は搬送コントローラより追出し指示を受ける
と、別の待機可能なステーションに向かって走行を開始
する。
[0005] That is, each station is in a standby position for an empty vehicle in addition to loading, unloading, and charging.
When another transport vehicle having the destination at the station is generated, the transport controller issues a traveling instruction from the station to another available station to the waiting empty vehicle. This is called an ejection instruction. When the empty vehicle receives the ejection instruction from the transport controller, the empty vehicle starts traveling to another station capable of waiting.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
空車の追出し制御方法では、空車を追出すタイミングは
様々であり、これによれば空車が本線側に合流する際
に、本線側を走行中の別の搬送車と競合し、どちらか一
方の搬送車に待ち時間を発生させることがあった。
However, in the above-described conventional empty vehicle ejection control method, there are various timings at which the empty vehicle is ejected. According to this, when the empty vehicle merges with the main road, the empty vehicle travels on the main road. And another vehicle, causing a wait time for one of the vehicles.

【0007】本発明は、上記従来の空車の追出し制御方
法の有する問題点を解決し、上記空車が合流する際の搬
送車の待ち時間を減少させ、自動搬送システムの搬送効
率を向上させるようにした自動搬送システムの空車の追
出し制御方法を提供することを目的とするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the problems of the conventional empty vehicle eviction control method, reduces the waiting time of the transport vehicle when the empty vehicles merge, and improves the transport efficiency of the automatic transport system. It is an object of the present invention to provide a method of controlling empty vehicle eviction of an automatic transfer system.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の空車の追出し制御方式は、軌道に沿って走
行を行う複数の無人搬送車と、軌道をループ状に構成し
た本線と、本線より分岐し、かつその経路を再度本線側
へ合流させる支線と、該支線側に配置されたステーショ
ンとを有する自動搬送システムにおいて、本線の各分岐
点の上流側に通信点を配置し、該通信点を搬送車が通過
する際に、該搬送車が次ステーションを目的地とする場
合に、次ステーションの支線で待機中の搬送指示を割付
けられていない空荷の搬送車に対し、該支線から本線に
出るように追出し指示を出すことを特徴とする。
In order to achieve the above-mentioned object, an empty-vehicle ejection control system according to the present invention comprises a plurality of automatic guided vehicles traveling along a track, a main line having a track formed in a loop, and In an automatic transport system having a branch line that branches off from the main line and merges the route to the main line side again, and a station arranged on the branch line side, a communication point is arranged upstream of each branch point of the main line, When a transport vehicle passes through a communication point, and the transport vehicle is the destination of the next station, if the transport instruction waiting on the branch line of the next station is not assigned to the empty vehicle, the branch line It is characterized by issuing an eviction instruction so as to appear on the main line from.

【0009】本発明の空車の追出し制御方法では、次ス
テーションを目的地とする搬送車が分岐点の上流側の通
信点を通過するタイミングで、目的ステーションで待機
中の空車の追出しを行うため、追出される空車は本線へ
合流する際に他の搬送車との競合が発生することがな
い。
According to the empty vehicle eviction control method of the present invention, the empty vehicle waiting at the destination station is evacuated at the timing when the transport vehicle destined for the next station passes through the communication point on the upstream side of the branch point. When the empty vehicle to be expelled merges with the main line, there is no competition with other carriers.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明の空車の追出し制御
方式の実施の形態を図面に基づいて説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of an empty-vehicle ejection control system according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0011】図1は本発明による自動搬送システムとそ
の周辺装置の部分構成図であり、同図において1は被搬
送物を収納する自動倉庫、2は自動倉庫1に設けられた
入出庫口である。走行軌道は複数の自動倉庫1に沿って
設けられており、被搬送物30の移載等を行うステーシ
ョン17は、走行経路の本線12から分岐させた支線1
1に配置されている。そして、本線12および支線11
で構成される走行軌道上を複数の搬送車5が走行する。
本線12は直線軌道と曲線軌道の組合わせによりはルー
プ状に形成され、各無人搬送車5は単一方向のみ走行可
能である。
FIG. 1 is a partial configuration diagram of an automatic transport system and peripheral devices according to the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes an automatic warehouse for storing articles to be transported, and 2 denotes an entrance and exit port provided in the automatic warehouse 1. is there. The traveling track is provided along a plurality of automatic warehouses 1, and a station 17 for transferring and transferring the transported object 30 is provided on a branch line 1 branched from the main line 12 of the traveling route.
1. And the main line 12 and the branch line 11
A plurality of carriers 5 travel on a traveling track constituted by.
The main line 12 is formed in a loop shape by a combination of a straight track and a curved track, and each automatic guided vehicle 5 can travel only in a single direction.

【0012】自動倉庫1には入出庫口2が設けられてお
り、被搬送物30はこの入出庫口2を介して、自動倉庫
1に設けられた保管棚(図示せず)と搬送車5との間の
移載が行われる。なお、入出庫口2と搬送車5との間の
被搬送物30の移載は、自動倉庫に設けられた図示しな
いスタッカクレーン若しくは図示しない移載ロボット又
は搬送車5に設けられた図示しない移載装置等の手段に
より行う。
The automatic warehouse 1 is provided with a loading / unloading port 2, and a transferred object 30 is connected to a storage shelf (not shown) provided in the automatic warehouse 1 via the loading / unloading port 2 and a transport vehicle 5. Transfer between and is performed. The transfer of the transported object 30 between the loading / unloading port 2 and the transport vehicle 5 is performed by a stacker crane (not shown) or a transfer robot (not shown) provided in the automatic warehouse or a transfer robot (not shown) provided in the transport vehicle 5. This is performed by means such as a mounting device.

【0013】そして、本実施例の制御方法を実施する搬
送システムでは、図1に示すように、各搬送車5の進行
方向において各支線11への分岐点14より上流側に、
搬送車5と搬送コントローラ間の信号の送受信を行う通
信点13を配置している。搬送コントローラは、例え
ば、次のステーション17aを目的地とする搬送車5a
の通信点13の通過を検出すると、当該ステーション1
7aにて待機中の空車5bが存在する場合に、当該空車
5bに追出し指示を与える。
As shown in FIG. 1, in the transport system that implements the control method of the present embodiment, as shown in FIG.
A communication point 13 for transmitting and receiving signals between the transport vehicle 5 and the transport controller is arranged. The transport controller is, for example, a transport vehicle 5a whose destination is the next station 17a.
When the passage of the communication point 13 is detected,
If there is an idle vehicle 5b in standby at 7a, an emptying instruction is given to the empty vehicle 5b.

【0014】次に、一般的な搬送の流れについて説明す
る。生産管理等を行う図示しない上位コンピュータより
図示しない搬送コントローラに対して被搬送物30を特
定の自動倉庫1から特定の自動倉庫1へと搬送するよう
搬送指示が与えられる。搬送コントローラは、上位コン
ピュータより搬送指示を受け取ると、搬送車群の中で利
用可能な空車を選択し、当該空車に搬送指示を割付け
る。空車が複数存在する場合には、通常、搬送コントロ
ーラでは荷積みステーションより進行方向の上流側最短
距離にある空車を選択するように制御を行う。搬送車5
は、搬送指示が与えられるとまず荷積みステーション1
7まで走行を行う。但し、当該荷積みステーション17
で直に搬送指示が与えられた場合には、荷積みステーシ
ョン17までの走行は行われない。
Next, a general transport flow will be described. A transport instruction is given to a transport controller (not shown) from a higher-level computer (not shown) that performs production management and the like so as to transport the transported object 30 from the specific automatic warehouse 1 to the specific automatic warehouse 1. When receiving the transfer instruction from the host computer, the transfer controller selects an available empty vehicle from the group of transfer vehicles and assigns the transfer instruction to the empty vehicle. When there are a plurality of empty vehicles, the transfer controller normally performs control to select an empty vehicle that is located at the shortest distance upstream from the loading station in the traveling direction. Carrier 5
First, when a transport instruction is given, the loading station 1
Drive to 7 However, the loading station 17
When the transfer instruction is given directly in the step (1), the traveling to the loading station 17 is not performed.

【0015】搬送車5は、被搬送物30の荷積みを行っ
た後、荷卸ステーション17に向けて走行を開始する。
支線11に位置するステーション17にて走行を開始し
た搬送車5は本線12側へ合流し、荷卸ステーション1
7まで走行を行い、荷卸ステーション17に到着後、被
搬送物30の荷卸を行い、搬送完了となる。搬送を完了
した搬送車5、つまり空車は、搬送コントローラより次
の指示が無ければ、荷卸ステーション17に待機する。
After loading the transported object 30, the transport vehicle 5 starts running toward the unloading station 17.
The transport vehicle 5 that has started traveling at the station 17 located on the branch line 11 joins the main line 12 side, and the unloading station 1
7, and after arriving at the unloading station 17, unloading of the transported object 30 is performed, and the transfer is completed. The transport vehicle 5 that has completed the transport, that is, the empty vehicle, waits at the unloading station 17 unless the next instruction is given from the transport controller.

【0016】次に、本発明実施例の空車の追出し制御方
法について、図1と図2のフローチャートを参照して説
明する。図1に示すように、搬送車5aが本線12上の
通信点13を通過する際、搬送コントローラに通過報告
を行い、搬送コントローラが通過報告を受けると、空車
の追出し制御処理を開始する。通過報告を受けると搬送
コントローラは通過車両を特定し、搬送指示を有する車
両5a、5cの場合には、当該通過車両の目的地を確認
する(ステップ1)。ここで通過車両の目的地とは、搬
送車5a、5cの次の移動先となるステーション17
a、17bを意味する。荷積みステーション17bヘ向
かう搬送車5cの場合には、当該荷積みステーション1
7b、被搬送物30を搬送中の搬送車5aの場合には、
荷卸ステーション17aが搬送車5aの目的地に該当す
る。
Next, a method of controlling empty vehicle ejection according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the flowcharts of FIGS. As shown in FIG. 1, when the transport vehicle 5 a passes through the communication point 13 on the main line 12, a report is made to the transport controller, and when the transport controller receives the report, the empty vehicle eviction control process is started. Upon receiving the passing report, the transport controller specifies the passing vehicle, and in the case of the vehicles 5a and 5c having the transport instruction, confirms the destination of the passing vehicle (step 1). Here, the destination of the passing vehicle is the station 17 which is the next destination of the transport vehicles 5a and 5c.
a and 17b. In the case of the transport vehicle 5c heading to the loading station 17b, the loading station 1
7b, in the case of the transport vehicle 5a transporting the transported object 30,
The unloading station 17a corresponds to the destination of the transport vehicle 5a.

【0017】次に、搬送車5aの目的地と通信点13の
次のステーション17aが同一かどうか判定する(ステ
ップ2)。同一でない場合は制御処理を終了する。同一
の場合には次のステップヘと進む。上記の処理にて通過
車両5aが次のステーション17aを目的地としている
と判断された場合には、次に目的地に該当するステーシ
ョン17aに待機中の空車5bの存在を判定する(ステ
ップ3)。目的地に該当するステーション17aに待機
中の空車5bが存在する場合には、搬送コントローラ
は、当該空車5bに対して追出し指示を与え、本線12
から別のステーション17ヘと移動させる(ステップ
4)。
Next, it is determined whether the destination of the carrier 5a is the same as the station 17a next to the communication point 13 (step 2). If they are not the same, the control process ends. If they are the same, proceed to the next step. If it is determined in the above processing that the passing vehicle 5a is the destination of the next station 17a, it is next determined whether there is an empty vehicle 5b waiting at the station 17a corresponding to the destination (step 3). . If there is an empty vehicle 5b waiting at the station 17a corresponding to the destination, the transport controller gives an instruction to eject the empty vehicle 5b, and
To another station 17 (step 4).

【0018】このように、本実施例の空車の追出し制御
方法では、次ステーション17aを目的地とする搬送車
5aが分岐点14の上流側の通信点13を通過するタイ
ミングで、目的ステーション17aで待機中の空車5b
の追出しを行うため、追出される空車5bは本線12へ
合流する際に他の搬送車5との競合が発生することがな
い。
As described above, according to the empty vehicle eviction control method of the present embodiment, the transporting vehicle 5a destined for the next station 17a passes through the communication point 13 on the upstream side of the branch point 14 at the target station 17a. Empty car 5b waiting
When the empty vehicle 5b to be expelled merges with the main line 12, there is no occurrence of competition with another transportation vehicle 5.

【0019】以上、本発明の実施例を説明したが、本発
明は搬送車5や軌道の構造によらず、本線12と支線1
1とを有する搬送経路を採用する搬送システムに対して
適用することが可能である。例えば、図3に示すように
床上にガイドテープ3を設置し、当該ガイドテープ3に
沿って搬送を行う搬送システムや、図4、図5に示すよ
うに水平シフト機構4により搬送車5の本線12からの
分岐と合流を実施する有軌道式の天井搬送システムに対
しても適用することが可能である。図4に示す自動搬送
システムは、支線11に対して分岐用の水平シフト機構
4aと合流用の水平シフト機構4bとをそれぞれ設置し
たものであり、図5に示す自動搬送システムは、1つの
水平シフト機構4により分岐と合流とを実施する構成で
ある。
Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the structure of the carrier 5 or the track, and the main line 12 and the branch line 1
1 can be applied to a transport system that employs a transport path having the number 1 and 2. For example, as shown in FIG. 3, the guide tape 3 is set on the floor, and a transport system that transports the tape along the guide tape 3, or as shown in FIGS. The present invention can also be applied to a tracked ceiling transfer system that performs branching and merging from the line 12. The automatic transport system shown in FIG. 4 is provided with a horizontal shift mechanism 4a for branching and a horizontal shift mechanism 4b for merging with respect to the branch line 11, and the automatic transport system shown in FIG. This is a configuration in which branching and merging are performed by the shift mechanism 4.

【0020】[0020]

【発明の効果】本発明の空車の追出し制御方法によれ
ば、搬送指示を受けた搬送車が目的ステーションのすぐ
上流側に位置する通信点を通過するタイミングで、目的
ステーションに待機している空車の追出しを行うことか
ら、空車が支線側から本線側へ合流する際の他の搬送車
との競合を避けることができ、これにより自動搬送シス
テムの搬送効率を向上させることができる。
According to the empty vehicle eviction control method of the present invention, an empty vehicle waiting at a destination station at a timing at which a transport vehicle receiving a transport instruction passes through a communication point located immediately upstream of the destination station. , It is possible to avoid competition with another transport vehicle when the empty vehicle joins from the branch line side to the main line side, thereby improving the transport efficiency of the automatic transport system.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例の空車の追出し制御方法を適用
する自動搬送システムを示す部分構成図である。
FIG. 1 is a partial configuration diagram illustrating an automatic transport system to which an empty vehicle eviction control method according to an embodiment of the present invention is applied.

【図2】同実施例の空車の追出し制御方法による搬送コ
ントローラの空車制御を示すフローチャートである。
FIG. 2 is a flowchart showing empty vehicle control of a transport controller according to the empty vehicle eviction control method of the embodiment.

【図3】同実施例の空車の追出し制御方法を適用する自
動搬送システムの例を示す部分構成図である。
FIG. 3 is a partial configuration diagram illustrating an example of an automatic transport system to which the empty vehicle eviction control method of the embodiment is applied.

【図4】本発明の他の実施例を示す部分構成図である。FIG. 4 is a partial configuration diagram showing another embodiment of the present invention.

【図5】本発明の他の実施例を示す部分構成図である。FIG. 5 is a partial configuration diagram showing another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 自動倉庫 5 搬送車 11 支線 12 本線 13 通信点 14 分岐点 15 合流点 17 ステーション 1 Automatic warehouse 5 Carrier 11 Branch line 12 Main line 13 Communication point 14 Branch point 15 Merging point 17 Station

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3F022 AA08 BB09 FF01 JJ07 KK20 LL12 MM08 MM15 MM44 5F031 GA59 5H301 AA02 AA09 BB05 CC03 CC06 DD01 DD07 DD15 EE02 EE08 EE12 EE18 FF01 KK02 KK04 KK08 KK09 KK20  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 3F022 AA08 BB09 FF01 JJ07 KK20 LL12 MM08 MM15 MM44 5F031 GA59 5H301 AA02 AA09 BB05 CC03 CC06 DD01 DD07 DD15 EE02 EE08 EE12 EE18 FF01 KK02 KK20 KK08 KK08 KK08

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 軌道に沿って走行を行う複数の無人搬送
車と、軌道をループ状に構成した本線と、本線より分岐
し、かつその経路を再度本線側へ合流させる支線と、該
支線側に配置されたステーションとを有する自動搬送シ
ステムにおいて、本線の各分岐点の上流側に通信点を配
置し、該通信点を搬送車が通過する際に、該搬送車が次
ステーションを目的地とする場合に、次ステーションの
支線で待機中の搬送指示を割付けられていない空荷の搬
送車に対し、該支線から本線に出るように追出し指示を
出すことを特徴とする自動搬送システムの空車の追出し
制御方法。
1. A plurality of automatic guided vehicles that travel along a track, a main line having a track formed in a loop, a branch line that branches off from the main line, and joins the route to the main line side again, and the branch line side. In the automatic transport system having a station arranged in the, a communication point is arranged on the upstream side of each branch point of the main line, and when the transport vehicle passes through the communication point, the transport vehicle and the next station as the destination In this case, an empty carrier of the automatic transport system is characterized by issuing an ejection instruction to an empty carrier to which a transport instruction waiting on a branch line of the next station is not assigned so as to exit the main line from the branch line. Expulsion control method.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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