JP2000348301A - Magneto-optical head - Google Patents

Magneto-optical head

Info

Publication number
JP2000348301A
JP2000348301A JP11157298A JP15729899A JP2000348301A JP 2000348301 A JP2000348301 A JP 2000348301A JP 11157298 A JP11157298 A JP 11157298A JP 15729899 A JP15729899 A JP 15729899A JP 2000348301 A JP2000348301 A JP 2000348301A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
core
magnetic
film
magneto
center
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP11157298A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Keiko Kikuchi
慶子 菊地
Fumio Nitanda
文雄 二反田
Shinji Furuichi
眞治 古市
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Metals Ltd filed Critical Hitachi Metals Ltd
Priority to JP11157298A priority Critical patent/JP2000348301A/en
Publication of JP2000348301A publication Critical patent/JP2000348301A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a strong magnetic field even if a quantity electric current flowing through a coil is small or the number of winding of the coil is reduced by magnetically connecting a side core provided in opposition to a center core to the center core to constitute a magnetic circuit. SOLUTION: A three-layer film consisting of a glass film 3, a soft magnetic film 4 and a glass film 3 is provided between the butted surfaces between cores 1, and the glass film 3 is made to function as an adhesive film for fixing the soft magnetic film 4 to the core 1. The center core of an E shaped magnetic core is composed of the laminated structure body of the magnetic core 1/the glass film 3/the soft magnetic film 4/the glass film 3/ the magnetic core 1. Stops 6 are formed in both sides of the tip end opposing to the medium of the center core, and the side opposing to the center core side of the U shaped core 1 becomes a side core. A magnetic core 10 functions as a magnetic field generating means by winding a winding wire coil 2 around the center core.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は光磁気記憶装置に搭
載する光磁気ヘッドに関し、特に記録性能を向上させた
磁気コアを有する光磁気ヘッドに係わる。
The present invention relates to a magneto-optical head mounted on a magneto-optical storage device, and more particularly to a magneto-optical head having a magnetic core with improved recording performance.

【0002】[0002]

【従来の技術】光磁気記憶装置は、光磁気媒体(ディス
ク)と、前記光磁気媒体に磁界を印加する磁界発生手段
と、前記磁界を印加した箇所にレーザー光を照射する光
照射手段とを有し、光変調あるいは磁気変調により光磁
気媒体に信号を記録する。以下、光磁気媒体をディスク
と称する。本明細書において、光磁気ヘッドの用語は、
次のタイプを含む広義の意味で用いている。1つ目のタ
イプは、ディスクに印加する磁界発生手段のみを備えた
タイプの光磁気ヘッドである。2つ目のタイプは、磁界
発生手段と光照射手段を共に備えたタイプの光磁気ヘッ
ドである。このタイプはレンズを通してレーザー光をデ
ィスクに照射する手段と、磁界発生手段であるコイルや
永久磁石等を備えている。両手段はともに、平行移動型
キャリッジあるいはサスペンション付きのスライダーに
搭載される。
2. Description of the Related Art A magneto-optical storage device includes a magneto-optical medium (disk), a magnetic field generating means for applying a magnetic field to the magneto-optical medium, and a light irradiating means for irradiating a laser beam to a location where the magnetic field is applied. And records a signal on a magneto-optical medium by optical modulation or magnetic modulation. Hereinafter, the magneto-optical medium is referred to as a disk. In this specification, the term magneto-optical head is
It is used in a broad sense, including the following types: The first type is a magneto-optical head having only a magnetic field generating means for applying a magnetic field to a disk. The second type is a magneto-optical head of a type having both a magnetic field generating means and a light irradiating means. This type includes a means for irradiating a laser beam to a disk through a lens, and a magnetic field generating means such as a coil and a permanent magnet. Both means are mounted on a translation carriage or a slider with suspension.

【0003】1つ目のタイプは磁界発生手段を設けた光
磁気ヘッドと、光照射手段が別の部品として光磁気記憶
装置に備えられている。磁界発生手段はスライダーに搭
載されていることが多い。スライダーはサスペンション
に支持されてディスク上に配置される。ディスクが回転
すると、ディスク上に生じた空気流による浮力でスライ
ダーは浮上し、磁界発生手段とディスクは一定の間隔
(浮上量)で対向する。磁界発生手段はディスクに磁界
を印加する。一般的な光磁気記憶装置では、ディスクの
表面で前記スライダーを浮上させて、ディスクの裏面か
ら光照射手段によってレーザー光を照射させる。これら
従来の磁界発生手段には、例えば、巻線コイルを設けた
コ字状の磁気コアや、コイルボビンを設けたE字型の磁
気コアが用いられている。磁気コアは非磁性セラミック
基板からなるスライダーの後端部に接合されるタイプが
ある。通常、磁気コアを構成する要素である一つのコア
ブロックが磁界を印加する磁気回路の主磁極となり、他
のコアブロックが磁気回路のリターンパスとなり、磁気
コアに巻かれたコイルに電流が供給されると、ディスク
に対して垂直磁界を印加する。以下、磁気コアの構成要
素となるコアブロックをコアと称する。
In the first type, a magneto-optical head provided with a magnetic field generating means and a light irradiating means are provided as separate components in a magneto-optical storage device. The magnetic field generating means is often mounted on a slider. The slider is placed on the disk supported by the suspension. When the disk rotates, the slider flies due to the buoyancy caused by the airflow generated on the disk, and the magnetic field generating means and the disk oppose each other at a fixed interval (floating amount). The magnetic field generating means applies a magnetic field to the disk. In a general magneto-optical storage device, the slider is levitated above the surface of the disk, and laser light is irradiated from the back surface of the disk by light irradiation means. For example, a U-shaped magnetic core provided with a winding coil and an E-shaped magnetic core provided with a coil bobbin are used as these conventional magnetic field generating means. There is a type in which the magnetic core is joined to the rear end of a slider made of a nonmagnetic ceramic substrate. Usually, one core block, which is a component of the magnetic core, serves as a main magnetic pole of a magnetic circuit for applying a magnetic field, and the other core block serves as a return path of the magnetic circuit.Current is supplied to a coil wound on the magnetic core. Then, a perpendicular magnetic field is applied to the disk. Hereinafter, a core block that is a component of the magnetic core is referred to as a core.

【0004】光磁気記憶装置の記録・再生動作の一例を
説明する。記録する場合、予めディスクが磁化された方
向と反対方向の磁界をコイルから印加しつつレーザー光
を照射すると、ビットの磁化の向きが反転する。この作
用を用いてビット毎の反転を制御して情報を記録するこ
とができる。再生する場合、磁化されたビットにレーザ
ー光を照射して、反射してきたレーザー光の偏光面の回
転方向を検出して、記録された情報を再生する。この偏
光面の回転はカー効果を利用している。消去する場合、
予めディスクが磁化された方向に対して同方向の磁界を
コイルから印加しつつレーザー光を照射すると、ビット
に記録された情報は消去される。このような記録・再生
に用いるディスクには、TbFeCo層の記録膜やGd
FeCoの再生膜等を有する多層膜を基板上に積層した
ものが用いられている。基板にはポリカーボネイトやガ
ラス等が用いられている。
An example of a recording / reproducing operation of the magneto-optical storage device will be described. In the case of recording, when a laser beam is irradiated while applying a magnetic field in a direction opposite to the direction in which the disk is magnetized in advance from the coil, the magnetization direction of the bit is reversed. Using this operation, information can be recorded by controlling the inversion for each bit. When reproducing, the magnetized bits are irradiated with laser light, the direction of rotation of the plane of polarization of the reflected laser light is detected, and the recorded information is reproduced. This rotation of the polarization plane utilizes the Kerr effect. When deleting,
When a laser beam is irradiated while applying a magnetic field from the coil in the same direction as the direction in which the disk has been magnetized in advance, the information recorded in the bits is erased. A disk used for such recording / reproducing includes a recording film of a TbFeCo layer and Gd.
A structure in which a multilayer film having an FeCo regenerated film or the like is laminated on a substrate is used. The substrate is made of polycarbonate, glass, or the like.

【0005】光磁気記録あるいは光磁気ヘッドの分野で
は、磁気コア形状に係る技術として次のものが挙げられ
る。特開平8−45129号公報には、主磁極と補助磁
極とがE字状に一体成形されたコアを取り付けたスライ
ダの光磁気記録用磁気ヘッドが開示されている。特開平
6−131608号公報には、コ字型ヨークを用いた光
磁気ディスクドライブ装置が開示されている。また、他
の磁気コアには、フェライトなどの材料で構成され、磁
束密度を向上させるためにセンターコアあるいは主磁極
(主コア)の先端を鋭角に加工するタイプ等がある。
[0005] In the field of magneto-optical recording or magneto-optical head, the following techniques can be given as techniques relating to the shape of the magnetic core. JP-A-8-45129 discloses a magnetic head for magneto-optical recording of a slider having a core in which a main magnetic pole and an auxiliary magnetic pole are integrally formed in an E-shape. JP-A-6-131608 discloses a magneto-optical disk drive using a U-shaped yoke. Other types of magnetic cores include a type formed of a material such as ferrite, in which the tip of a center core or a main magnetic pole (main core) is machined at an acute angle in order to improve the magnetic flux density.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】高記録密度化に伴う記
録周波数の増加のために、磁気コアに周回させたコイル
に電流が流れにくくなり、記録動作に必要な磁界を得る
ことが困難になりつつある。また無理にコイルに大電流
を流すと、発熱により装置やディスクを加熱して歪みを
生じること、あるいは大電流を発生させる回路を光磁気
記憶装置に組み込むため、装置の小型化に反すること等
が問題となった。一方、インダクタンスを下げるため
に、コイルの巻数を減らしたり、あるいはコアを小型化
すると、ディスクに印加する磁界の強さ自体が低下す
る。そこで本発明の目的は、コイルに流す電流が小さく
ても、あるいはコイルの巻数を減らしても、強い磁界が
得られる高効率の光磁気ヘッドを提供することにある。
As the recording frequency increases with the increase in recording density, it becomes difficult for a current to flow through the coil wrapped around the magnetic core, making it difficult to obtain a magnetic field required for recording operation. It is getting. Also, if a large current is forced to flow through the coil, the device or disk may be heated and distorted due to heat generation, or a circuit that generates a large current may be incorporated into the magneto-optical storage device, which is against the miniaturization of the device. Was a problem. On the other hand, if the number of turns of the coil is reduced or the size of the core is reduced in order to reduce the inductance, the strength of the magnetic field applied to the disk itself decreases. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a high-efficiency magneto-optical head capable of obtaining a strong magnetic field even when the current flowing through the coil is small or the number of turns of the coil is reduced.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の光磁気ヘッド
は、センターコアと、センターコアの長手方向に沿って
設けた軟磁性膜と、前記センターコアの先端に設けたス
テップと、前記センターコアに巻いたコイルとを備える
ことを特徴とする。センターコアの少なくとも一方の側
には対向してサイドコアが設けられている。前記センタ
ーコアとサイドコアはバックコアで磁気的に接続され、
磁気回路を構成する。前記センターコアとバックコアと
サイドコアは同一磁性材料で一体に形成されていること
が望ましい。軟磁性膜がセンターコアの長手方向に平行
に配置されるとき、軟磁性膜の長手方向は媒体の表面に
対して直交する関係にある。また、センターコアは軟磁
性膜の両側の面に、ガラス膜を介してセラミックスのコ
アを設けた積層構造とすることが好ましい。
According to the present invention, there is provided a magneto-optical head comprising: a center core; a soft magnetic film provided along a longitudinal direction of the center core; a step provided at a tip of the center core; And a coil wound therearound. Side cores are provided on at least one side of the center core so as to face each other. The center core and the side core are magnetically connected by a back core,
Construct a magnetic circuit. It is preferable that the center core, the back core, and the side core are integrally formed of the same magnetic material. When the soft magnetic film is disposed parallel to the longitudinal direction of the center core, the longitudinal direction of the soft magnetic film is in a relationship orthogonal to the surface of the medium. Also, the center core preferably has a laminated structure in which ceramic cores are provided on both sides of the soft magnetic film via a glass film.

【0008】本発明の他の光磁気ヘッドは、軟磁性膜を
介して接合した少なくとも二つ以上のコアを有し、前記
軟磁性膜に沿った部材をセンターコアとし、前記センタ
ーコアの先端部にステップを設けることを特徴とする。
また、本発明の他の光磁気ヘッドは、コ字状のコアと、
前記コアの側面に設けた軟磁性膜を備え、前記軟磁性膜
とコアの間にガラス膜を有し、前記コアの先端部にステ
ップを設けたことを特徴とする。前記ステップは、前記
コアの軟磁性膜を設けた側と反対の側に設けることが望
ましい。
Another magneto-optical head according to the present invention has at least two or more cores joined via a soft magnetic film, and a member along the soft magnetic film is used as a center core, and a tip of the center core is provided. Is provided with a step.
Further, another magneto-optical head of the present invention has a U-shaped core,
A soft magnetic film is provided on a side surface of the core, a glass film is provided between the soft magnetic film and the core, and a step is provided at a tip portion of the core. Preferably, the step is provided on a side of the core opposite to a side on which the soft magnetic film is provided.

【0009】磁気コアを次のようにする。コ字状のコア
と軟磁性膜ともう1つのコ字状のコアを合わせ、前記軟
磁性膜とコアの間にガラス膜を有し、前記コアの軟磁性
膜に近接する側の先端部にステップを設けたことを特徴
とする。この構成によって、センターコアの中心軸と重
なるように軟磁性膜を配置した。
[0009] The magnetic core is as follows. A U-shaped core, a soft magnetic film and another U-shaped core are combined, and a glass film is provided between the soft magnetic film and the core. A step is provided. With this configuration, the soft magnetic film is arranged so as to overlap the center axis of the center core.

【0010】前記センターコアにおいて、軟磁性膜を設
けた面と反対側の面にステップを設ける。このステップ
によって、センターコアの先端部の幅を絞り、軟磁性膜
に効果的に磁束を集中させることができる。前記ステッ
プは、その面が、複数の面からなる面、平面と曲面を組
み合わせた面、平面と平面を連結した面、平面と曲面を
連結した面、1つの曲面、複数の曲面を連結した面、平
面と曲面と平面を順に連結した面のいずれかとすること
ができる。しかしながら、平面と平面の交差する角(す
なわち稜線)の部分は磁界の絞り込みを妨げるか、ある
いは磁界の漏洩の原因となる。そこで、望ましくはステ
ップ部分を曲面で構成して、磁界を効率よく絞り込む。
ステップの曲面の曲率半径rは、15〜50[μm]の
範囲とすることできるが、望ましくは20≦r≦40
[μm]とする。なお、上記ステップはセンターコアの
先端の両側面に設けることが好ましい。ステップと軟磁
性膜の双方の付加によって、小型のセンターコアの先端
部で十分に磁束を絞って、高密度記録用のディスク上に
高周波でかつ高飽和磁束密度の磁界を印加することがで
きる。
In the center core, a step is provided on a surface opposite to the surface on which the soft magnetic film is provided. By this step, the width of the tip of the center core can be reduced, and the magnetic flux can be effectively concentrated on the soft magnetic film. In the step, the surface is a surface composed of a plurality of surfaces, a surface combining a plane and a curved surface, a surface connecting a plane to a plane, a surface connecting a plane to a curved surface, a single curved surface, and a surface connecting a plurality of curved surfaces. , A plane, a curved surface, and a plane in which the planes are sequentially connected. However, the corners (i.e., ridges) where the planes intersect prevent the magnetic field from being narrowed down or cause the magnetic field to leak. Therefore, it is desirable to form the step portion with a curved surface to narrow down the magnetic field efficiently.
The radius of curvature r of the curved surface of the step may be in the range of 15 to 50 [μm], but preferably 20 ≦ r ≦ 40.
[Μm]. The above steps are preferably provided on both side surfaces of the tip of the center core. By adding both the step and the soft magnetic film, the magnetic flux can be sufficiently reduced at the tip of the small center core, and a magnetic field of high frequency and high saturation magnetic flux density can be applied to the disk for high density recording.

【0011】上記光磁気ヘッドにおいて磁気コア形状
は、E字型磁気コア、コ字状コアあるいはU字状コアを
用いることができるが、ディスクから戻ってくる磁束を
分散させるためには、E字型の形状とすることが望まし
い。垂直磁気記録用のディスクを用いる場合、センター
コアからディスクに印加する磁界の磁束密度は高くする
とともに、ディスクからサイドコアに戻ってくる磁界の
磁束密度は低くするとノイズを抑制できるというメリッ
トがある。
In the above-mentioned magneto-optical head, an E-shaped magnetic core, a U-shaped core, or a U-shaped core can be used as the magnetic core shape. It is desirable to have the shape of a mold. When a disk for perpendicular magnetic recording is used, there is an advantage that noise can be suppressed by increasing the magnetic flux density of the magnetic field applied from the center core to the disk and decreasing the magnetic flux density of the magnetic field returning from the disk to the side core.

【0012】上記磁気コアにおいて、軟磁性膜には飽和
磁束密度の高い磁性膜を用いる。例えば、FeTaN、
FeTaNCr、FeAlSi、FeTaC等の磁性膜
を用いることができ、その膜厚は2〜6[μm]程度と
する。上記光磁気ヘッドに用いる磁気コアのコア間隔
は、200〜500[μm]の範囲で作製するが、狭く
するほうが磁気コアの小型化に寄与できるため、200
≦コア間隔≦300[μm]とすることが好ましい。な
お、コア間隔はセンターコア先端部とサイドコア先端部
の距離に相当し、ギャップともいう。
In the above magnetic core, a magnetic film having a high saturation magnetic flux density is used as the soft magnetic film. For example, FeTaN,
A magnetic film of FeTaNCr, FeAlSi, FeTaC, or the like can be used, and its film thickness is about 2 to 6 [μm]. The core interval of the magnetic cores used in the above-mentioned magneto-optical head is manufactured in the range of 200 to 500 [μm].
It is preferable that ≦ core interval ≦ 300 [μm]. The core interval corresponds to the distance between the center core tip and the side core tip, and is also referred to as a gap.

【0013】センターコアが、軟磁性膜の両面にガラス
膜を介して軟磁性ブロックを接合させた構造を有する。
センターコアの後ろ側は磁性ブロックのバックコアを介
して磁性ブロックの2つのサイドコアと一体に構成され
いる。サイドコアはセンターコアからディスクに印加さ
れた磁界が戻ってくるバックパスとして機能する。巻線
は、ステップを設けたコアあるいはセンターコアに巻き
付ける。従って、磁気回路は、センターコア/ディスク
/サイドコア/バックコアを通りセンターコアに戻る経
路となる。磁性ブロックには、Mn−Znフェライト、
Ni−Znフェライトなどの磁性材料を用いることが望
ましい。
The center core has a structure in which soft magnetic blocks are bonded to both surfaces of a soft magnetic film via glass films.
The rear side of the center core is integrally formed with the two side cores of the magnetic block via the back core of the magnetic block. The side core functions as a back path where the magnetic field applied to the disk from the center core returns. The winding is wound around a core having a step or a center core. Therefore, the magnetic circuit is a path that passes through the center core / disk / side core / back core and returns to the center core. Mn-Zn ferrite,
It is desirable to use a magnetic material such as Ni-Zn ferrite.

【0014】本発明では、E字型コアにおいて軟磁性膜
の両側に対象な構成を接合する。すると、センターコア
内での応力分布が左右対称となり打ち消し合って、軟磁
性膜/ガラス膜/コアという異なる材質を接合しても、
応力歪みによる磁気特性の劣化が抑制される。上記磁気
コアでは、センターコアの中心線上に薄い軟磁性膜を配
置しているため、センターコアの中心近傍で磁束密度が
最大である。一見するとセンターコアとディスク上で位
置制御することが難しいように思える。しかしながら、
VCMによって駆動したサスペンション/スライダーと
本願の磁気コアを組み合わせることで、高精度な位置決
めで高飽和磁束密度の磁界をディスクに印加する光磁気
記録が可能になる。
In the present invention, a target structure is joined to both sides of the soft magnetic film in the E-shaped core. Then, the stress distribution in the center core becomes symmetrical and cancels out, and even if different materials such as soft magnetic film / glass film / core are joined,
Deterioration of magnetic properties due to stress strain is suppressed. In the above-mentioned magnetic core, since the thin soft magnetic film is arranged on the center line of the center core, the magnetic flux density is maximum near the center of the center core. At first glance, it seems difficult to control the position on the center core and disk. However,
By combining the suspension / slider driven by the VCM with the magnetic core of the present invention, it is possible to perform magneto-optical recording in which a magnetic field having a high saturation magnetic flux density is applied to a disk with high precision positioning.

【0015】望ましくは、本発明の光磁気ヘッドのスラ
イダーをVCM(ボイス コイルモーター)で駆動する
サスペンションに設けるとともに、VCMの駆動軸(回
転軸)とスライダーの間に少なくとも1以上のアクチュ
エータを設けることで、より精密な位置制御で光磁気ヘ
ッドをディスク上に配置できる。このアクチュエータと
しては次のタイプが挙げられる。1つ目のタイプはサス
ペンションの途中に関節を設け、この関節を小型の磁石
あるいはVCMで駆動するタイプである。2つ目のタイ
プはスライダーとサスペンションの間に静電力あるいは
磁力で駆動するマイクロアクチュエータを設けるタイプ
である。3つ目のタイプは、スライダー自体が位置ズレ
を補正するアクチュエータとなって変形するタイプであ
る。これらの内、駆動周波数のマッチングを考慮すると
2つ目のタイプと上記光磁気ヘッドを組み合わせること
で、高い駆動周波数に対応できる。
Preferably, the slider of the magneto-optical head of the present invention is provided on a suspension driven by a VCM (voice coil motor), and at least one actuator is provided between the VCM drive shaft (rotation shaft) and the slider. Thus, the magneto-optical head can be arranged on the disk with more precise position control. The following types are mentioned as this actuator. The first type is a type in which a joint is provided in the middle of the suspension, and this joint is driven by a small magnet or VCM. The second type is a type in which a microactuator driven by electrostatic force or magnetic force is provided between a slider and a suspension. The third type is a type in which the slider itself is deformed as an actuator for correcting positional deviation. Of these, considering the matching of the driving frequency, it is possible to cope with a high driving frequency by combining the second type with the magneto-optical head.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明に係る
光磁気ヘッドを説明する。図1から図3の各々は本発明
の光磁気ヘッドが有する磁気コアの一実施形態に係る断
面図である。図4は、起磁力と磁界強度の関係を説明す
るグラフである。図5と図6は、これらの磁気コアを設
けたスライダーの概略図である。図7は本発明の光磁気
ヘッドに係る磁気コアの一実施形態に係る断面図であ
る。図8は本発明の光磁気ヘッドに係るサスペンション
の平面図である。図9は、図8のサスペンション付き光
磁気ヘッドをディスク上で浮上させた様子を説明する断
面図である。図10は、本発明に係る磁気コアの製造方
法を説明する工程図である。図11は、本発明に係る磁
気コアのステップ形状を説明する概略図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A magneto-optical head according to the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 3 are cross-sectional views according to an embodiment of the magnetic core included in the magneto-optical head of the present invention. FIG. 4 is a graph illustrating the relationship between the magnetomotive force and the magnetic field strength. 5 and 6 are schematic diagrams of a slider provided with these magnetic cores. FIG. 7 is a sectional view of a magnetic core according to an embodiment of the magneto-optical head of the present invention. FIG. 8 is a plan view of a suspension according to the magneto-optical head of the present invention. FIG. 9 is a cross-sectional view illustrating a state in which the magneto-optical head with suspension of FIG. 8 is floated on a disk. FIG. 10 is a process diagram illustrating a method for manufacturing a magnetic core according to the present invention. FIG. 11 is a schematic diagram illustrating a step shape of the magnetic core according to the present invention.

【0017】まず、図1において磁気コアの一実施形態
を説明する。この磁気コアは、2個のコ字状コア1をつ
き合わせて接合させたE字型の磁気コア10である。コ
ア1同士のつき合わせ面の間には、ガラス膜3と軟磁性
膜4とガラス膜3からなる3層膜を設けた。ガラス膜3
は軟磁性膜4とコア1を固定する接着膜として機能させ
た。E字型磁気コアのセンターコアは磁気コア1/ガラ
ス膜3/軟磁性膜4/ガラス膜3/磁気コア1の積層構
造体で構成させた。このセンターコアの媒体に対向する
先端部の両側には、ステップ6を形成した。コ字状のコ
ア1のセンターコア側と対向する側はサイドコアであ
り、サイドコアとセンターコアを結ぶ部分はバックコア
である。センターコアとサイドコアの間には強度を保持
するためのガラス部材5が構成することがあるが、この
ガラス部材5は磁気コア10をスライダーに固定する際
に付加するものであり、磁気コア自体にガラス部材5を
付けることは必要に応じて選択的に行なえる。センター
コアの周囲に巻線コイル2を巻くことで磁気コア10は
磁界発生手段として機能する。なお、コア1の材質はニ
ッケル亜鉛フェライトとした。軟磁性膜の材質はFeT
aNCrとした。
First, an embodiment of the magnetic core will be described with reference to FIG. This magnetic core is an E-shaped magnetic core 10 in which two U-shaped cores 1 are joined together. Between the contact surfaces of the cores 1, a three-layer film including the glass film 3, the soft magnetic film 4 and the glass film 3 was provided. Glass film 3
Functioned as an adhesive film for fixing the soft magnetic film 4 and the core 1. The center core of the E-shaped magnetic core was constituted by a laminated structure of magnetic core 1 / glass film 3 / soft magnetic film 4 / glass film 3 / magnetic core 1. Step 6 was formed on both sides of the front end of the center core facing the medium. The side of the U-shaped core 1 facing the center core is a side core, and a portion connecting the side core and the center core is a back core. A glass member 5 for maintaining strength may be formed between the center core and the side cores. This glass member 5 is added when the magnetic core 10 is fixed to the slider, and is attached to the magnetic core itself. The attachment of the glass member 5 can be selectively performed as needed. By winding the winding coil 2 around the center core, the magnetic core 10 functions as a magnetic field generating means. The material of the core 1 was nickel zinc ferrite. The material of the soft magnetic film is FeT
aNCr.

【0018】図2に、本発明に係る磁気コアの他の一実
施形態を説明する。この磁気コアは、L字型のコアにI
字状(角棒状)のコアをつき合わせたコ字型のコア1で
ある。角I字状のコアのつき合わせ面側にはガラス膜3
と軟磁性膜4からなる2層膜を設けた。ガラス膜3は軟
磁性膜4とコア1を固定する接着膜として機能させた。
センターコアはI字状コア/ガラス膜3/軟磁性膜4の
積層構造体で構成させた。このセンターコアの媒体に対
向する先端部の片側には、ステップ6を形成した。L字
型のコアはサイドコアとバックコアからなる。センター
コアとサイドコアの間には強度を保持するためのガラス
部材5を設けた。なお、他の実施形態として、コ字型の
コアブロックの側面に軟磁性膜を設けた構造を用いる場
合、ガラス部材5を設けていない。
FIG. 2 illustrates another embodiment of the magnetic core according to the present invention. This magnetic core has an L-shaped core
It is a U-shaped core 1 in which a U-shaped (square bar) core is attached. A glass film 3 is provided on the contact surface side of the I-shaped core.
And a two-layer film made up of a soft magnetic film 4. The glass film 3 functioned as an adhesive film fixing the soft magnetic film 4 and the core 1.
The center core was composed of a laminated structure of an I-shaped core / glass film 3 / soft magnetic film 4. Step 6 was formed on one side of the front end of the center core facing the medium. The L-shaped core includes a side core and a back core. A glass member 5 for maintaining strength was provided between the center core and the side core. As another embodiment, when using a structure in which a soft magnetic film is provided on the side surface of a U-shaped core block, the glass member 5 is not provided.

【0019】図3に、本発明に係る磁気コアの他の一実
施形態を説明する。この磁気コア1は図1の磁気コアに
おいて、サイドコアの先端部に突出部を設けた構造であ
る。センターコアに向いた突出部を設けることによっ
て、センターコアとサイドコアの間の距離(ギャップ間
隔)を小さくすると共に、巻線コイル2をセンターコア
に巻き付ける空間を広く確保しておくことができる。突
出部を設けずに磁気コアの寸法を小さくしていくと、自
動コイル巻き装置を用いてセンターコアに巻線コイルを
巻き付けることが難しくなる。手作業で巻くことになる
と、製造工程に時間がかかりすぎる。
FIG. 3 illustrates another embodiment of the magnetic core according to the present invention. The magnetic core 1 has a structure in which a protruding portion is provided at the tip of a side core in the magnetic core of FIG. By providing the protruding portion facing the center core, the distance (gap interval) between the center core and the side core can be reduced, and a wide space for winding the winding coil 2 around the center core can be secured. If the size of the magnetic core is reduced without providing the protrusion, it becomes difficult to wind the winding coil around the center core using an automatic coil winding device. If it is wound by hand, the manufacturing process takes too much time.

【0020】上記図1、図2および図3に係る磁気コア
について、コア間隔が200、250、300、35
0、400、450、500[μm]であるサンプルを
作製した。これらの寸法において、ステップと軟磁性膜
を設けていない磁気コア(比較例)と、本発明の磁気コ
ア比較した。図4に電流値によって変化させた起磁力と
磁界強度の関係を示す。図4の横軸は電流による起磁力
[AT]示し、縦軸は磁気コアの先端から30μm下に
離れた位置で測定した磁界強度Hを示す。ここで下と
は、磁気コアの先端からみてディスクに向かう方向をい
う。本発明に係るE字型の磁気コアは、比較例の磁気コ
アにくらべて低い起電力でも十分な磁界が得られること
が判った。従って、高周波化しても電流を上げることな
く十分な磁界が得られる。また、この余裕を使ってコイ
ル巻き数を少なくすることができ、高周波でも動作する
磁気ヘッドを得ることもできる。
The magnetic cores shown in FIGS. 1, 2 and 3 have a core interval of 200, 250, 300, 35.
Samples having 0, 400, 450, and 500 [μm] were prepared. At these dimensions, a magnetic core without a step and a soft magnetic film (Comparative Example) was compared with the magnetic core of the present invention. FIG. 4 shows the relationship between the magnetomotive force and the magnetic field strength changed according to the current value. The horizontal axis in FIG. 4 indicates the magnetomotive force [AT] due to the current, and the vertical axis indicates the magnetic field strength H measured at a position 30 μm below the tip of the magnetic core. Here, the term “down” refers to a direction toward the disk as viewed from the tip of the magnetic core. It has been found that the E-shaped magnetic core according to the present invention can obtain a sufficient magnetic field with a lower electromotive force than the magnetic core of the comparative example. Therefore, even if the frequency is increased, a sufficient magnetic field can be obtained without increasing the current. Also, by using this margin, the number of coil turns can be reduced, and a magnetic head that operates even at high frequencies can be obtained.

【0021】図5に、本発明に係る磁気コアを設けたス
ライダーの概略3面図を示す。図5の(a)はスライダ
ーを浮上面からみた平面図である、図5の(b)はスラ
イダーをA−A断面でみた断面図である。図5の(c)
はスライダーをトレーリング側からみた側面図である。
トレーリング側とは、スライダー12から見て回転する
ディスクが出ていく側を指す。この光磁気ヘッドスライ
ダーは、セラミックの基板に2カ所の切り欠きを設け
た。1カ所目の切り欠きはスライダーの裏面(反浮上面
側の面)を壁面13に沿ってトレーリング側に開口する
ように切り欠いて設けた凹み14であり、スライダーに
磁気コア10を設ける際に生じる歪みを緩和する機能を
有する。2カ所目の切り欠きはスライダーの浮上面15
から前記凹み14に貫通するスリットであり、固定用ガ
ラス11bを介して本発明の磁気コアを固定する箇所で
ある。磁気コアはセンターコアのステップで絞った先端
部9の面が浮上面15と一致するように固定した。
FIG. 5 shows three schematic views of a slider provided with a magnetic core according to the present invention. FIG. 5A is a plan view of the slider viewed from the air bearing surface, and FIG. 5B is a cross-sectional view of the slider taken along the line AA. FIG. 5 (c)
FIG. 4 is a side view of the slider viewed from the trailing side.
The trailing side refers to the side from which the rotating disk as viewed from the slider 12 exits. In this magneto-optical head slider, two cutouts were formed in a ceramic substrate. The first notch is a recess 14 formed by cutting the back surface of the slider (the surface on the anti-floating surface side) along the wall surface 13 so as to open to the trailing side. Has the function of alleviating the distortion generated in The second notch is the slider's floating surface 15
And a slit that penetrates into the recess 14, and is a place where the magnetic core of the present invention is fixed via the fixing glass 11b. The magnetic core was fixed so that the surface of the distal end portion 9 squeezed in the step of the center core coincided with the air bearing surface 15.

【0022】図6に、本発明の他の実施形態に係るスラ
イダーの概略3面図を示す。図6の(a)はスライダー
を浮上面からみた平面図である、図6の(b)はスライ
ダーの側面図である。図6の(c)はスライダーをトレ
ーリング側からみた側面図である。この光磁気ヘッドス
ライダーは、セラミックの基板に4カ所の切り欠きを設
けた。1カ所目の切り欠きはスライダーの裏面(反浮上
面側の面)を壁面13に沿ってトレーリング側に開口す
るように切り欠いて設けた凹み14である。他の3カ所
の切り欠きは、図6の磁気コアの2つのサイドコア1a
と1つのセンターコア1cを、スライダーに固定用ガラ
ス11bを介して接合する固定用溝である。磁気コア1
0aはセンターコアのステップで絞った先端部9の面が
浮上面15と一致するように固定した。図6のスライダ
ーに設けるタイプの磁気コアを図7に示す。図7の
(a)磁気コア10aは、スライダー12の固定用溝1
2に挿入しやすいように、センターコアとサイドコアの
間が離隔されている。右側の図7(b)の磁気コアはバ
ックコアがサイドコアと一体に形成されている。センタ
ーコアには巻線コイル16を巻いた。
FIG. 6 shows three schematic views of a slider according to another embodiment of the present invention. FIG. 6A is a plan view of the slider viewed from the air bearing surface, and FIG. 6B is a side view of the slider. FIG. 6C is a side view of the slider viewed from the trailing side. This magneto-optical head slider was provided with four cutouts in a ceramic substrate. The first notch is a recess 14 formed by cutting out the back surface (surface on the side opposite to the floating surface) of the slider so as to open to the trailing side along the wall surface 13. The other three notches are two side cores 1a of the magnetic core of FIG.
And one center core 1c to the slider via a fixing glass 11b. Magnetic core 1
0a was fixed so that the surface of the tip portion 9 squeezed in the step of the center core coincided with the air bearing surface 15. FIG. 7 shows a magnetic core of the type provided in the slider of FIG. The (a) magnetic core 10a of FIG.
The center core and the side core are separated from each other so as to be easily inserted into the second core. In the magnetic core shown in FIG. 7B on the right side, the back core is formed integrally with the side core. A winding coil 16 was wound around the center core.

【0023】図8に、サスペンションを設けた図6のス
ライダーを浮上面側から見た平面図を示す。サスペンシ
ョン18とスライダー12に間には、ピボットと呼ばれ
る凸部を有するジンバル17が配置され、このジンバル
の撓みによって図中X軸やY軸に沿ったスライダーの傾
きに自由度を持たせてある。浮上面に露出した磁気コア
に係る寸法は次のようにした。すなわち、センターコア
と一方にサイドコアの距離g1と、センターコアと他方
のサイドコアの距離g2の各々は、300[μm]とし
た。スライダーの寸法は、幅dsが1.6[mm]、長
さは2.0[mm]とした。浮上面は、磁気コアの露出
面と固定用ガラスの面と一体となって1の面を構成して
いるが、図8中Y軸の向きに沿ってクラウンを付けてあ
る。クラウンは浮上面のトレーリング側とその反対側の
端に比べて、浮上面の中心が厚くなっている面のことを
いう。
FIG. 8 is a plan view of the slider of FIG. 6 provided with a suspension, as viewed from the floating surface side. A gimbal 17 having a convex portion called a pivot is arranged between the suspension 18 and the slider 12, and the flexure of the gimbal gives a degree of freedom to the inclination of the slider along the X axis and the Y axis in the drawing. The dimensions of the magnetic core exposed on the air bearing surface were as follows. That is, the distance g1 between the center core and one side core and the distance g2 between the center core and the other side core were each 300 [μm]. The slider had a width ds of 1.6 [mm] and a length of 2.0 [mm]. The air bearing surface constitutes one surface integrally with the exposed surface of the magnetic core and the surface of the fixing glass, but has a crown along the direction of the Y axis in FIG. The crown refers to a surface where the center of the air bearing surface is thicker than the trailing side of the air bearing surface and the opposite end.

【0024】図9は、図8のサスペンションをディスク
上で浮上させた様子を説明する断面図である。実際のデ
ィスクは基板上の多層膜を積層したものであるが、図9
では説明し易くするため、層の区別はせず、記録ビット
に相当するセルの断面を模式的に記載した。dmは一つ
の記録ビットの幅に相当する。磁気コアのセンターコア
から発生させた磁界はレーザー光を照射したビットを中
心にディスクに印加される。このビットを突き抜けた磁
界は分散して、ディスクを通って二つのサイドコアの各
々に戻り、バックコアを通してセンターコアに戻る磁気
回路を構成する。
FIG. 9 is a sectional view for explaining a state in which the suspension of FIG. 8 is levitated above the disk. The actual disk is obtained by laminating multilayer films on a substrate.
For ease of explanation, the layers are not distinguished, and the cross section of a cell corresponding to a recording bit is schematically illustrated. dm corresponds to the width of one recording bit. The magnetic field generated from the center core of the magnetic core is applied to the disk around the bit irradiated with the laser light. The magnetic field penetrating the bit is dispersed and forms a magnetic circuit that returns to each of the two side cores through the disk and returns to the center core through the back core.

【0025】記録動作は、ディスク19上を浮上する光
磁気ヘッドスライダー12において、巻線コイルに電流
を流して磁気コアから記録磁界を発生させた。これと同
時に、記録磁界を印加したセルに対して、ディスクの反
対側から集光レンズ20で導かれたレーザー光を照射さ
せてビット磁化の向きを変えて信号の記録を行った。な
お、図9では記載を省略したが、ディスク19はY方向
とは逆方向に高速で回転されており、その中心軸には軸
受けやスピンドルモーター等が連結されている。光磁気
記憶装置にはレーザー光発生装置や、それとレンズ20
の間に設ける光路切替・導入部材なども搭載されてい
る。実施するパラメータは次のようにした。記録磁界の
周波数f=20[MHz]、媒体に印加する記録磁界は
16[kA/m]程度とした。また、ディスク装置のパ
ラメータは、記録密度が6.0GB/直径120mmで
あり、トラックピッチ=0.6[μm]、レーザー波長
=650[nm]、光学系のNAが0.6であり、ディ
スク厚さ0.6または1.2[mm]、データ転送レー
ト=15.3〜35.9[Mbps]とした。
In the recording operation, in the magneto-optical head slider 12 flying above the disk 19, a current was applied to the winding coil to generate a recording magnetic field from the magnetic core. At the same time, the cell to which the recording magnetic field was applied was irradiated with laser light guided by the condenser lens 20 from the opposite side of the disk to change the direction of the bit magnetization and record a signal. Although not shown in FIG. 9, the disk 19 is rotated at a high speed in a direction opposite to the Y direction, and a bearing, a spindle motor, and the like are connected to a central axis thereof. The magneto-optical storage device includes a laser light generator and a lens
An optical path switching / introducing member provided between them is also mounted. The parameters to be implemented were as follows. The frequency f of the recording magnetic field was 20 [MHz], and the recording magnetic field applied to the medium was about 16 [kA / m]. The parameters of the disk device are as follows: the recording density is 6.0 GB / diameter 120 mm, the track pitch is 0.6 [μm], the laser wavelength is 650 [nm], the NA of the optical system is 0.6, The thickness was 0.6 or 1.2 [mm], and the data transfer rate was 15.3 to 35.9 [Mbps].

【0026】データに合わせた記録磁界変調と、データ
クロックに合わせたレーザーパルス照射とを行うレーザ
ーパルス磁界変調方式(MFM:Magnetic F
ield Modulation)で記録した。詳細に
いうと、レーザースポットをずらしながら重ね書きする
エクリプスレコーディングで高密度の書き込みを行っ
た。再生には、センターアパーチャ方式の磁気超解技術
を用いた。ここで使用したディスク(光磁気媒体)の記
録密度は、1.2〜6[GB/disk]程度の範囲の
ものを用いたが、6.0[GB]より記録密度が高く、
記録周波数20[MHz]以上のものについても有効で
ある。本発明の磁気コアを有する光磁気ヘッドを用いる
ことで、前記の光磁気媒体中の狭いビットに、小さく絞
った強い磁界を高周波で印加することができた。
A laser pulse magnetic field modulation system (MFM: Magnetic F) that performs recording magnetic field modulation in accordance with data and laser pulse irradiation in accordance with a data clock.
field). Specifically, high-density writing was performed by eclipse recording in which the laser spot was shifted while overwriting. For the reproduction, a center aperture type magnetic super solution technique was used. The recording density of the disk (magneto-optical medium) used here was in the range of about 1.2 to 6 [GB / disk], but the recording density was higher than 6.0 [GB].
The recording frequency of 20 [MHz] or more is also effective. By using the magneto-optical head having the magnetic core of the present invention, it was possible to apply a small, intense magnetic field at a high frequency to a narrow bit in the magneto-optical medium.

【0027】図10の工程図で本発明の磁気コアの製造
方法を説明する。まず、長い角柱状のフェライトブロッ
クを準備し、このフェライトブロックにダイシングカッ
ターによる切削で溝を形成する。次に、スパッタリング
によって、このフェライトブロックの側面にガラス膜を
成膜し、そのガラス膜の上に軟磁性膜としてFeTaN
Cr膜を成膜して、第1のフェライトブロックとした。
ガラス膜のときのスパッタ装置内の雰囲気はアルゴンと
したが、FeTaNCr膜のときの雰囲気はアルゴンと
窒素を混合したものとした(ステップs1)。なお、同
様の手法で溝を設けたフェライトブロックの側面にガラ
ス膜のみを設けた第2フェライトブロックも作製した。
A method of manufacturing a magnetic core according to the present invention will be described with reference to the process chart of FIG. First, a long prismatic ferrite block is prepared, and a groove is formed in the ferrite block by cutting with a dicing cutter. Next, a glass film is formed on the side surface of the ferrite block by sputtering, and FeTaN is formed on the glass film as a soft magnetic film.
A first ferrite block was formed by depositing a Cr film.
The atmosphere in the sputtering apparatus for the glass film was argon, but the atmosphere for the FeTaNCr film was a mixture of argon and nitrogen (step s1). Note that a second ferrite block in which only a glass film was provided on the side surface of the ferrite block in which the groove was provided was manufactured in the same manner.

【0028】次に、第1のフェライトブロックのFeT
aNCr膜の面と、第2のフェライトブロックのガラス
膜の面とをつき合わせて、治具で固定した。つき合わせ
の際にはフェライトブロックの溝を設けてない側の面を
同一平面上に一致させた。このようにして治具固定した
2個のフェライトブロックを加熱装置内に導入して熱処
理した。この熱処理によりガラス膜は軟化状態を経て、
熱処理終了に伴う冷却で再硬化し、フェライトブロック
と軟磁性膜を一体となって固着できた。以上の工程でE
字型のフェライトブロックを得た(ステップs2)。
Next, the first ferrite block FeT
The surface of the aNCr film was brought into contact with the surface of the glass film of the second ferrite block and fixed with a jig. At the time of abutting, the surface of the ferrite block on which the groove was not formed was made to coincide with the same plane. The two ferrite blocks thus fixed in a jig were introduced into a heating device and heat-treated. By this heat treatment, the glass film goes through a softened state,
The ferrite block and the soft magnetic film were fixed together as a result of re-hardening by cooling upon completion of the heat treatment. In the above steps, E
A letter-shaped ferrite block was obtained (step s2).

【0029】次に、E字型フェライトブロックの中央に
あるセンターコアについて、先端部の両側を切削加工し
てステップを設けた。この切削は、E字型フェライトブ
ロックの長手方向に平行な向きに沿ってセンターコアの
一方に端面にマイクログラインダーを当てて行った。続
けて他方の端面にも同様にステップを切削で形成した
(ステップs3)。次に、E字型フェライトブロックの
両方の溝にガラス部材5を設けて、熱処理でこれを固定
した(ステップs4)。続けて、E字型のフェライトブ
ロックを、その長手方向に直交する面に沿ってワイヤー
ソーで切断し、E字型の磁気コア10を得た(ステップ
s5)。なお、ガラス部材5を要しないタイプの磁気コ
アを作製する場合には、ステップs4を省略して、ステ
ップs3からステップs5に直行した。
Next, the center core in the center of the E-shaped ferrite block was provided with steps by cutting both sides of the tip. This cutting was performed by applying a micro grinder to one end face of the center core along a direction parallel to the longitudinal direction of the E-shaped ferrite block. Subsequently, a step was similarly formed on the other end face by cutting (step s3). Next, glass members 5 were provided in both grooves of the E-shaped ferrite block and fixed by heat treatment (step s4). Subsequently, the E-shaped ferrite block was cut with a wire saw along a plane orthogonal to the longitudinal direction to obtain an E-shaped magnetic core 10 (step s5). When manufacturing a magnetic core that does not require the glass member 5, step s4 was omitted and step s3 was performed directly.

【0030】図11に、本発明に係る磁気コアに設けた
ステップ形状を示す。図11(a)はセンターコアのフ
ェライトの先端部を拡大した斜視図である。この薄くさ
れた先端部6には、平面6aと曲面6bと平面6cから
なるステップが設けられた。平面6aは先端部のステッ
プを設けない側の面に平行な面(XZ平面)とした。図
11(b)は(a)の先端部のYZ平面でみた断面図で
ある。平面6aと平面6cが成す角度θは90°≦θ<
150°とすることが望ましい。図11(c)は異なる
形状のステップを設けた先端部を説明する断面図であ
る。磁気コアの先端部から生じる磁界をさらに絞るため
には、ステップの構造を次のように規定する。
FIG. 11 shows a step shape provided on the magnetic core according to the present invention. FIG. 11A is an enlarged perspective view of the tip of the ferrite of the center core. The thinned tip portion 6 was provided with a step consisting of a flat surface 6a, a curved surface 6b, and a flat surface 6c. The plane 6a is a plane (XZ plane) parallel to the surface on the side where the step is not provided at the tip end. FIG. 11B is a cross-sectional view of the distal end portion of FIG. The angle θ formed by the plane 6a and the plane 6c is 90 ° ≦ θ <
It is desirable to set it to 150 °. FIG. 11C is a cross-sectional view illustrating a tip portion provided with steps having different shapes. To further reduce the magnetic field generated from the tip of the magnetic core, the structure of the step is defined as follows.

【0031】ステップの縦横寸法は、縦方向がステップ
深さ50〜150[μm]の範囲内に相当し、横方向が
磁気コア先端部の厚さ50〜100[μm]の範囲内に
相当するように加工した。磁気コアの元の幅を削って磁
気コア先端部のステップを形成する削り幅は20〜30
[μm]程度とした。これらの寸法範囲において、セン
ターコア内における磁束の流れを効率的に絞り、高周波
磁界に対応するために次の構成も付加した。すなわち、
図11(b)のタイプについては、θが100、11
5、120、130[°]のサンプルを作製して、良好
な特性を得た。図11(c)のタイプについては、サン
プル(1)やサンプル(2)について、r=15、2
0、30、40、50[μm]のものを作製し良好な特
性を得た。サンプル(3)、サンプル(4)あるいはサ
ンプル(5)については屈曲面の箇所に沿ってコア内に
磁壁が生じて、センターコアから磁界を発生させる際の
効率が低下した。
The vertical and horizontal dimensions of the step correspond to a step depth of 50 to 150 [μm] in the vertical direction and a thickness of 50 to 100 [μm] of the tip of the magnetic core in the horizontal direction. Processed as follows. The shaving width for shaping the original width of the magnetic core to form the step at the tip of the magnetic core is 20 to 30.
[Μm]. In these dimensions, the following configuration was added to efficiently restrict the flow of magnetic flux in the center core and to cope with high-frequency magnetic fields. That is,
For the type of FIG. 11B, θ is 100, 11
Samples of 5, 120 and 130 [°] were prepared, and good characteristics were obtained. For the type of FIG. 11C, r = 15, 2 for sample (1) and sample (2).
Those having 0, 30, 40, and 50 [μm] were produced, and good characteristics were obtained. For sample (3), sample (4) or sample (5), a domain wall was formed in the core along the bent surface, and the efficiency of generating a magnetic field from the center core was reduced.

【0032】[0032]

【発明の効果】以上説明したように本発明の構成を用い
ることにより、小さな起磁力でも強い磁界をディスクに
印加できる高効率の光磁気ヘッドを得た。
As described above, by using the structure of the present invention, a high-efficiency magneto-optical head capable of applying a strong magnetic field to a disk even with a small magnetomotive force was obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の光磁気ヘッドが有する磁気コアの一実
施形態に係る断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a magnetic core included in a magneto-optical head according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の光磁気ヘッドが有する磁気コアの一実
施形態に係る断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view according to an embodiment of a magnetic core included in the magneto-optical head of the present invention.

【図3】本発明の光磁気ヘッドが有する磁気コアの一実
施形態に係る断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view according to an embodiment of a magnetic core included in the magneto-optical head of the present invention.

【図4】光磁気ヘッドにおける起磁力と磁界強度の関係
を説明するグラフである。
FIG. 4 is a graph illustrating a relationship between a magnetomotive force and a magnetic field intensity in the magneto-optical head.

【図5】本発明に係る磁気コアを設けたスライダーの概
略図である。
FIG. 5 is a schematic view of a slider provided with a magnetic core according to the present invention.

【図6】本発明に係る磁気コアを設けたスライダーの概
略図である。
FIG. 6 is a schematic view of a slider provided with a magnetic core according to the present invention.

【図7】本発明の光磁気ヘッドが備える磁気コアの一実
施形態に係る断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view according to an embodiment of a magnetic core provided in the magneto-optical head of the present invention.

【図8】本発明の光磁気ヘッドに係るサスペンションの
平面図である。
FIG. 8 is a plan view of a suspension according to the magneto-optical head of the present invention.

【図9】図8のサスペンションをディスク上で浮上させ
た様子を説明する断面図である。
9 is a cross-sectional view illustrating a state where the suspension of FIG. 8 is levitated above a disk.

【図10】本発明に係る磁気コアの製造方法を説明する
工程図である。
FIG. 10 is a process diagram illustrating a method for manufacturing a magnetic core according to the present invention.

【図11】本発明に係る磁気コアのステップ形状を説明
する概略図である。
FIG. 11 is a schematic diagram illustrating a step shape of a magnetic core according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 コア、 2 巻線コイル、 3 ガラス膜、 4
軟磁性膜、5 ガラス部材、6 ステップ、6a 平
面、6b 曲面、6c 平面、9 先端部、10 磁気
コア、11 スリット、11b 固定用ガラス、 12
スライダー、 13 壁面、14 凹み、 15 浮
上面、 16 巻線コイル、 17 ジンバル、18
サスペンション、 19 光磁気媒体、 20 集光レ
ンズ。
1 core, 2 winding coil, 3 glass film, 4
Soft magnetic film, 5 glass member, 6 steps, 6a plane, 6b curved surface, 6c plane, 9 tip, 10 magnetic core, 11 slit, 11b fixing glass, 12
Slider, 13 wall, 14 dent, 15 air bearing surface, 16 wound coil, 17 gimbal, 18
Suspension, 19 magneto-optical medium, 20 condenser lens.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5D075 AA03 BB04 CC04 CF03 5D091 AA08 CC20 CC24 HH20 5D093 AA03 AD05 BA15 BE15  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 5D075 AA03 BB04 CC04 CF03 5D091 AA08 CC20 CC24 HH20 5D093 AA03 AD05 BA15 BE15

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 センターコアと、センターコアの長手方
向に沿って設けた軟磁性膜と、前記センターコアの先端
に設けたステップと、前記センターコアに巻いたコイル
とを備えることを特徴とする光磁気ヘッド。
1. A center core, a soft magnetic film provided along a longitudinal direction of the center core, a step provided at a tip of the center core, and a coil wound around the center core. Magneto-optical head.
【請求項2】 コ字状のコアと、前記コアの側面に設け
た軟磁性膜を備え、前記軟磁性膜とコアの間にガラス膜
を有し、前記コアの先端部にステップを設けたことを特
徴とする光磁気ヘッド。
2. A U-shaped core, a soft magnetic film provided on a side surface of the core, a glass film between the soft magnetic film and the core, and a step provided at a tip portion of the core. A magneto-optical head, characterized in that:
【請求項3】 前記ステップが曲面を含み、該曲面の曲
率半径rは15≦r≦50[μm]の範囲とすることを
特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の光磁気
ヘッド。
3. The magneto-optical head according to claim 1, wherein the step includes a curved surface, and a radius of curvature r of the curved surface is in a range of 15 ≦ r ≦ 50 [μm]. .
JP11157298A 1999-06-04 1999-06-04 Magneto-optical head Withdrawn JP2000348301A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11157298A JP2000348301A (en) 1999-06-04 1999-06-04 Magneto-optical head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11157298A JP2000348301A (en) 1999-06-04 1999-06-04 Magneto-optical head

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000348301A true JP2000348301A (en) 2000-12-15

Family

ID=15646617

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11157298A Withdrawn JP2000348301A (en) 1999-06-04 1999-06-04 Magneto-optical head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000348301A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5958609A (en) Reading-writing head used for vertical recording medium
JP3542386B2 (en) Magnetic head and magneto-optical recording device
JP2000348301A (en) Magneto-optical head
JP2003228802A (en) Light-assisted magnetic recording head and light-assisted magnetic recording disk unit
JPH06195796A (en) Magnetic head for magneto-optical recording and magneto-optical recording device
JPH0573829A (en) Magnetic head
JP2644612B2 (en) Magnetic head and method of manufacturing the same
JP2769025B2 (en) Magnetic head and method of manufacturing the same
JPS5996517A (en) Magnetic recording and reproducing method
JP2664183B2 (en) Magnetic head for magneto-optical recording
JP2685780B2 (en) Magnetic head for magneto-optical recording
JP2665022B2 (en) Magnetic head and method of manufacturing the same
JP2542971B2 (en) Flying magnetic head
JPH1139610A (en) Thin film magnetic head and magnetic recorder using the same
JPS61222006A (en) Magnetic head for vertical recording
JP2545304B2 (en) Flying magnetic head
JPS5979411A (en) Magnetic head
JPS61229209A (en) Magnetic head
JP3011801B2 (en) Floating magnetic head for magneto-optical recording
JPS61110324A (en) Head for vertical magnetic recording
JPS59191119A (en) Single magnetic pole type combined magnetic head for vertical recording
JPH06223310A (en) Magnetic head for vertical recording
JPH0585962B2 (en)
JPS61292247A (en) Information recording device
JPS6216210A (en) Vertical magnetic head

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20040205

A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20060905