JP2000346009A - Uniaxial actuator - Google Patents
Uniaxial actuatorInfo
- Publication number
- JP2000346009A JP2000346009A JP11156013A JP15601399A JP2000346009A JP 2000346009 A JP2000346009 A JP 2000346009A JP 11156013 A JP11156013 A JP 11156013A JP 15601399 A JP15601399 A JP 15601399A JP 2000346009 A JP2000346009 A JP 2000346009A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- top plate
- bellows
- uniaxial actuator
- base body
- head portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Actuator (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣの製造工程に
おいてウェハに所望のパターンを描画する電子ビーム露
光装置におけるウェハのチャッキング装置を上下に駆動
するのに適した駆動機構に関する。[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a drive mechanism suitable for vertically driving a wafer chucking device in an electron beam exposure apparatus for drawing a desired pattern on a wafer in an IC manufacturing process.
【０００２】[0002]
【従来の技術】電子ビーム露光装置は、電子銃で発生さ
れた電子ビームをスリットやレンズを介してウェハに所
望のパターンを描画する。露光に際しては、空気は障害
となるため、ウェハは、１０-6Ｔｏｒｒ程度の高真空を
維持できる真空チャンバに収容することが必要である。2. Description of the Related Art An electron beam exposure apparatus draws a desired pattern on a wafer using an electron beam generated by an electron gun through a slit or a lens. At the time of exposure, air becomes an obstacle, so that the wafer must be housed in a vacuum chamber capable of maintaining a high vacuum of about 10 −6 Torr.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところで、電子ビーム
は磁界によって偏向制御される。一方、ウェハは、その
外周においてチャッキング装置によりチャッキングされ
ている。チャッキング装置はまた、通常、複数個のＺ軸
駆動機構によりウェハ面に対して垂直方向に駆動可能に
されている。この場合、Ｚ軸駆動機構が、微弱ではあっ
ても磁界を発生するような金属で構成されていると、電
子ビームによる描画に悪影響を及ぼす。The deflection of an electron beam is controlled by a magnetic field. On the other hand, the wafer is chucked at its outer periphery by a chucking device. In general, the chucking device can be driven in a direction perpendicular to the wafer surface by a plurality of Z-axis driving mechanisms. In this case, if the Z-axis drive mechanism is made of a metal that generates a magnetic field even though it is weak, the drawing by the electron beam is adversely affected.
【０００４】また、Ｚ軸駆動機構にエアシリンダを採用
した場合には、Ｏ−リングでシールが行われているが、
高真空中では空気漏れを起こす場合がある。更に、エア
シリンダの摺動面から発塵があるため、真空チャンバ内
を汚染する可能性がある。When an air cylinder is used for the Z-axis drive mechanism, sealing is performed by an O-ring.
Air leakage may occur in high vacuum. Further, since dust is generated from the sliding surface of the air cylinder, the inside of the vacuum chamber may be contaminated.
【０００５】そこで、本発明の課題は、磁界を発生する
おそれの無い一軸アクチュエータを提供することにあ
る。Accordingly, an object of the present invention is to provide a uniaxial actuator which does not generate a magnetic field.
【０００６】本発明の他の課題は、高真空中でもその雰
囲気を汚染するおそれの無い一軸アクチュエータを提供
することにある。Another object of the present invention is to provide a uniaxial actuator which does not have a possibility of polluting the atmosphere even in a high vacuum.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、固定側のベー
ス体と可動側のトッププレートとの間をベローズで連結
し、前記ベース体に設けられた導入口より作動流体を導
入することで前記ベローズを伸ばし、ばねにより前記ベ
ローズの復帰力を得るようにした一軸アクチュエータに
おいて、前記各構成要素を非磁性材料で構成したことを
特徴とする。According to the present invention, a fixed base member and a movable top plate are connected by a bellows, and a working fluid is introduced from an inlet provided in the base member. In the uniaxial actuator in which the bellows is extended and a return force of the bellows is obtained by a spring, each of the constituent elements is made of a non-magnetic material.
【０００８】前記ベース体には、前記ベローズの内部に
おいて前記トッププレート側に延びる筒状体が設けられ
ており、該筒状体には一端が前記トッププレートに一体
的に結合されたシャフト体が挿通されており、該シャフ
ト体の他端にはヘッド部が設けられて該ヘッド部の移動
が前記筒状体の内壁で案内され、前記ヘッド部と前記筒
状体の先端との間に圧縮コイルばねが前記ばねとして設
けられていることを特徴とする。The base body is provided with a tubular body extending toward the top plate inside the bellows, and the tubular body has a shaft body integrally connected at one end to the top plate. A head portion is provided at the other end of the shaft body, and the movement of the head portion is guided by the inner wall of the tubular body, and is compressed between the head portion and the tip of the tubular body. A coil spring is provided as the spring.
【０００９】前記ヘッド部の外周には周方向に間隔をお
いて複数の突起が設けられており、前記筒状体の内壁に
は前記複数の突起に対応させてそれらの移動を案内する
ための溝が形成されていることを特徴とする。A plurality of protrusions are provided on the outer periphery of the head portion at intervals in a circumferential direction, and an inner wall of the cylindrical body is provided for guiding the movement of the plurality of protrusions in correspondence with the plurality of protrusions. It is characterized in that a groove is formed.
【００１０】前記トッププレートには、これと一体的に
移動する移動片が設けられ、前記ベース体には前記移動
片と協働して該トッププレートがその下死点に移動した
ことを検出するための位置センサが設けられ、前記位置
センサは、光ファイバによる光通路を持ち、しかも該光
通路の一部はギャップを通して光が通過するように構成
されており、かつ前記トッププレートがその下死点に移
動した時に、前記移動片の先端が前記ギャップに入り込
んで光を遮断するように構成されていることを特徴とす
る。The top plate is provided with a moving piece that moves integrally therewith, and the base body cooperates with the moving piece to detect that the top plate has moved to its bottom dead center. A position sensor having an optical path formed by an optical fiber, and a part of the optical path is configured to allow light to pass through a gap, and the top plate has a bottom end. When moving to a point, the tip of the moving piece enters the gap to block light.
【００１１】前記被磁性材料はベリリウム銅が好まし
く、前記作動流体は、Ｎ2 ガスであることが好ましい。The magnetic material is preferably beryllium copper, and the working fluid is preferably N 2 gas.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】図１〜図５を参照して、本発明の
実施の形態について説明する。図１において、この一軸
アクチュエータは、固定側のベース体１０と可動側のト
ッププレート１１との間をベローズ１２で連結し、ベー
ス体１０に設けられた導入口１０ａより作動流体を導入
することでベローズ１２を伸ばし、圧縮コイルばね１３
によりベローズ１２の復帰力を得るようにしている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In FIG. 1, this uniaxial actuator connects a fixed-side base body 10 and a movable-side top plate 11 with a bellows 12, and introduces a working fluid from an inlet 10 a provided in the base body 10. The bellows 12 is extended and the compression coil spring 13 is extended.
Thus, the return force of the bellows 12 is obtained.
【００１３】ベース体１０の一方の端面には本アクチュ
エータを被取付け部に装着するためのねじ軸１４−１を
持つボトムプレート１４が、他方の端面にはベローズ１
２の伸縮部を固定している固定部１２−１ａがそれぞ
れ、ねじ１５により取り付けられている。ベース体１０
にはまた、ベローズ１２の内部においてトッププレート
１１側に延びる筒状体１０−１が一体的に形成されてい
る。筒状体１０−１には一端がトッププレート１１に一
体的に締結されたシャフト体１６が挿通されている。シ
ャフト体１６の他端にはヘッド部１６−１が設けられ、
このヘッド部１６−１の移動が筒状体１０−１の内壁で
案内される。前記の圧縮コイルばね１３は、ヘッド部１
６−１と筒状体１０−１の先端との間に設けられてい
る。特に、ヘッド部１６−１の外周には周方向に間隔を
おいて２つの突起１６−１ａが設けられており、筒状体
１０−１の内壁には２つの突起１６−１ａに対応させて
それらの移動を案内するための溝１０−１ａが形成され
ている。A bottom plate 14 having a screw shaft 14-1 for mounting the present actuator to a mounting portion is provided on one end surface of the base body 10, and a bellows 1 is provided on the other end surface.
The fixing portions 12-1 a that fix the two expandable portions are respectively attached by screws 15. Base body 10
Further, a cylindrical body 10-1 extending toward the top plate 11 inside the bellows 12 is integrally formed. A shaft body 16 having one end integrally fastened to the top plate 11 is inserted through the cylindrical body 10-1. A head portion 16-1 is provided at the other end of the shaft body 16,
The movement of the head portion 16-1 is guided by the inner wall of the cylindrical body 10-1. The compression coil spring 13 is used for the head 1
It is provided between 6-1 and the tip of the cylindrical body 10-1. In particular, two protrusions 16-1a are provided on the outer periphery of the head portion 16-1 at intervals in the circumferential direction, and the inner wall of the cylindrical body 10-1 corresponds to the two protrusions 16-1a. A groove 10-1a for guiding those movements is formed.
【００１４】なお、導入口１０ａから導入された作動流
体は、溝１０−１ａ、筒状体１０−１の内部空間、筒状
体１０−１の先端部の外周に設けられた複数の穴１０−
１ｂを通してベローズ１２内に入る。導入口１０ａに
は、作動流体用の配管１８が接続され、この配管１８を
通して作動流体が出入りする。The working fluid introduced from the inlet 10a is supplied to the groove 10-1a, the internal space of the cylindrical body 10-1, and a plurality of holes 10 provided on the outer periphery of the distal end of the cylindrical body 10-1. −
It enters the bellows 12 through 1b. A working fluid pipe 18 is connected to the inlet 10a, through which the working fluid flows.
【００１５】ベローズ１２と対向しているトッププレー
ト１１の端面には、ベローズ１２の伸縮部を固定してい
る固定部１２−１ｂがねじ１５により取り付けられてい
る。トッププレート１１の中心部にはめねじ部が形成さ
れ、このめねじ部に被駆動部に作用する作動軸１１−１
のおねじ部がねじ込まれている。作動軸１１−１は、ナ
ット１１−２によりトッププレート１１からの突出量が
調整可能にされている。トッププレート１１にはまた、
これと一体的に移動する移動片２１が設けられ、ベース
体１０には移動片２１と協働してトッププレート１１が
その下死点に移動したことを検出するための位置センサ
３０が設けられている。A fixing portion 12-1b for fixing the expansion and contraction portion of the bellows 12 is attached to an end face of the top plate 11 facing the bellows 12 by a screw 15. An internal thread portion is formed at the center of the top plate 11, and an operating shaft 11-1 acting on a driven portion is formed on the internal thread portion.
Male thread is screwed in. The amount of protrusion of the operating shaft 11-1 from the top plate 11 is adjustable by a nut 11-2. The top plate 11 also has
A moving piece 21 that moves integrally therewith is provided, and a position sensor 30 for detecting that the top plate 11 has moved to its bottom dead center in cooperation with the moving piece 21 is provided on the base body 10. ing.
【００１６】ここでは、位置センサ３０は、ブロック部
３１を介してねじによりベース体１０に取り付けられて
いる。位置センサ３０は、入り側の光ファイバ３２と出
側の光ファイバ３３による光通路を持ち、しかもこの光
通路の一部がギャップ３０−１を通して光が通過するよ
うに構成されている。そして、トッププレート１１がそ
の下死点に移動した時に、移動片２１の先端２１−１が
ギャップ３０−１に入り込んで光を遮断するように構成
されている。出側の光ファイバ３３には光のオン、オフ
を検知するためのフォトセンサ（図示せず）等が接続さ
れる。Here, the position sensor 30 is attached to the base body 10 by screws via a block portion 31. The position sensor 30 has an optical path formed by an optical fiber 32 on the input side and an optical fiber 33 on the output side, and a part of the optical path is configured so that light passes through the gap 30-1. Then, when the top plate 11 moves to its bottom dead center, the tip 21-1 of the moving piece 21 enters the gap 30-1 and blocks light. A photo sensor (not shown) for detecting ON / OFF of light is connected to the optical fiber 33 on the exit side.
【００１７】ベース体１０とボトムプレート１４との
間、ベース体１０と固定部１２−１ａとの間、トッププ
レート１１と固定部１２−１ｂとの間、及びトッププレ
ート１１とシャフト体１６との間はそれぞれ、Ｏ−リン
グ１９でシールされている。Between the base body 10 and the bottom plate 14, between the base body 10 and the fixing part 12-1a, between the top plate 11 and the fixing part 12-1b, and between the top plate 11 and the shaft body 16. Each space is sealed by an O-ring 19.
【００１８】上記の各構成要素には被磁性材料、例えば
金属の場合はベリリウム銅が用いられ、非金属の場合に
はセラミックスが用いられる。また作動流体としては、
Ｎ2ガスが用いられる。For each of the above components, a magnetic material, for example, beryllium copper is used in the case of metal, and ceramics is used in the case of non-metal. As working fluid,
N 2 gas is used.
【００１９】以下に、各構成要素の機能について説明す
る。The function of each component will be described below.
【００２０】（１）ベース体１０は、その筒状体１０−
１がシャフト体１６の移動をガイドし、圧縮コイルばね
１３を支持する。(1) The base body 10 has a cylindrical body 10-
1 guides the movement of the shaft body 16 and supports the compression coil spring 13.
【００２１】（２）シャフト体１６は、負荷を支持し、
ベース体１０によりガイドされる。また、駆動すべき負
荷との機械的インタフェースでもある。(2) The shaft body 16 supports a load,
Guided by the base body 10. It is also a mechanical interface with the load to be driven.
【００２２】（３）トッププレート１１は、シャフト体
１６と締結され、ベローズ１２と共に気密空間を構成す
る。(3) The top plate 11 is fastened to the shaft body 16 and forms an airtight space together with the bellows 12.
【００２３】（４）ボトムプレート１４は、ベローズ１
２と共に気密空間を構成する。また、一軸アクチュエー
タの被取付け部との機械的インタフェースでもある。(4) The bottom plate 14 is a bellows 1
2 together with the airtight space. It is also a mechanical interface with the part to be mounted of the uniaxial actuator.
【００２４】（５）圧縮コイルばね１３は、一軸アクチ
ュエータへの作動流体の圧力が常圧（大気圧）の場合、
軸方向の負荷が無い状態でも一軸アクチュエータを下死
点（図１中、２点鎖線で示す）に位置させるための構成
部品である。(5) When the pressure of the working fluid to the uniaxial actuator is normal pressure (atmospheric pressure), the compression coil spring 13
This is a component for positioning the single-axis actuator at the bottom dead center (indicated by a two-dot chain line in FIG. 1) even when there is no axial load.
【００２５】（６）ベローズ１２は、トッププレート１
１及びボトムプレート１４と共に気密空間を構成し、万
一、筒状体１０−１内で発塵があっても外部への放散を
防止する。ベローズ１２は、一軸アクチュエータの全ス
トロークにわたり、伸縮する。この種のベローズ１２
は、次のようにして得られる。０．１５ｍｍ厚のベリリ
ウム銅を円筒状に形成し、片端部を閉じる。内側をベロ
ーズ状に形成した金型に円筒状体を挿入し、内側から水
圧をかけて膨脹させ、ベローズ形状に成形する。そし
て、その両端部に固定部１２−１ａ、１２−１ｂが取り
付けられる。(6) The bellows 12 is a top plate 1
An airtight space is formed together with the first and bottom plates 14, and even if dust is generated in the cylindrical body 10-1, the air is prevented from escaping to the outside. Bellows 12 expands and contracts over the entire stroke of the uniaxial actuator. Bellows of this kind 12
Is obtained as follows. A beryllium copper having a thickness of 0.15 mm is formed in a cylindrical shape, and one end is closed. The cylindrical body is inserted into a mold having a bellows inside, and is expanded by applying water pressure from the inside to form a bellows. Then, fixing portions 12-1a and 12-1b are attached to both ends.
【００２６】（７）位置セン３０は、一軸アクチュエー
タの下死点を検知するための検出装置で、一軸アクチュ
エータのストロークが下死点になると、光路を移動片２
１の先端２１−１が遮断することで下死点を検出できる
ようになっている。(7) The position sensor 30 is a detecting device for detecting the bottom dead center of the uniaxial actuator. When the stroke of the uniaxial actuator reaches the bottom dead center, the moving path 2 moves along the optical path.
The bottom dead center can be detected by cutting off the tip 21-1 of one.
【００２７】（８）ブロック部３１は、位置センサ３０
をベース体１０に取付けるための部品である。(8) The block unit 31 includes the position sensor 30
Is a part for attaching to the base body 10.
【００２８】（９）光ファイバは、一軸アクチュエータ
の下死点を検知するための位置センサ３０の構成品で、
２本ある。１本は光を供給し、もう１本は、光をフォト
センサに送るものである。(9) The optical fiber is a component of the position sensor 30 for detecting the bottom dead center of the uniaxial actuator.
There are two. One provides light and the other sends light to the photosensor.
【００２９】本一軸アクチュエータは、ボトムプレート
１４の側を下に、トッププレート１１の側を上にして被
取付け部に取り付けられる。そして、作動流体の配管１
８をベース体１０の導入口１０ａに接続する。The single-axis actuator is mounted on the mounting portion with the bottom plate 14 side down and the top plate 11 side up. And the working fluid piping 1
8 is connected to the inlet 10 a of the base body 10.
【００３０】本一軸アクチュエータは、作動流体が常圧
の状態でストロークの下死点に位置している。作動流体
の圧力を上昇させると、作動流体の圧力による力で、ベ
ローズ１２が伸び、圧縮コイルばね１３が縮み、作動軸
１１−１に接している負荷を押し上げる。ヘッド部１６
−１の突起１６−１ａと、筒状体１０−１内の溝１０−
１ａの端部が接触すると、スト一クの上死点（ストロー
クエンド）となる。The single-axis actuator is located at the bottom dead center of the stroke when the working fluid is at normal pressure. When the pressure of the working fluid is increased, the bellows 12 expands by the force of the pressure of the working fluid, the compression coil spring 13 contracts, and the load in contact with the working shaft 11-1 is pushed up. Head part 16
-1 projection 16-1a and the groove 10- in the cylindrical body 10-1.
When the end of 1a comes into contact, it becomes the top dead center (stroke end) of the stroke.
【００３１】作動流体の圧力が上昇している状態から、
常圧の状態に下げると、作動流体の圧力が下がるので、
ベローズ１２が縮み、圧縮コイルばね１３が伸び、負荷
が下がる。From the state where the pressure of the working fluid is increasing,
When the pressure is reduced to normal pressure, the pressure of the working fluid decreases,
The bellows 12 shrinks, the compression coil spring 13 expands, and the load decreases.
【００３２】一軸アクチュエータが下死点に達すると、
位置センサ３０におけるギャップ部３０−１における光
の通過を移動片２１の先端部２１−１が遮断する。これ
により、外部にあるフォトセンサのような検出装置で一
軸アクチュエータが下死点に達したことを検知できる。When the single-axis actuator reaches the bottom dead center,
The distal end 21-1 of the moving piece 21 blocks the passage of light in the gap 30-1 of the position sensor 30. This makes it possible to detect that the single-axis actuator has reached the bottom dead center by using a detection device such as a photo sensor provided outside.
【００３３】なお、一軸アクチュエータが下死点に達し
たことを検知するのは、例えば、チャッキング装置によ
りウェハがハンドリング装置でハンドリング可能な位置
におかれたことを知るためである。The reason that the single-axis actuator reaches the bottom dead center is detected, for example, in order to know that the wafer has been placed at a position where the chucking device can handle the wafer with the handling device.
【００３４】前に述べたように、作動流体は、Ｎ2 ガス
が適している。これは、Ｎ2 ガスは不活性ガスであり、
真空中での漏れの検出が容易であるからである。また、
光ファイバを採用しているのは、電線を使用すると、電
線は微弱な磁界を発生して電子ビームの偏向に悪影響を
及ぼすからである。As described above, the working fluid is preferably N 2 gas. This is because N 2 gas is an inert gas,
This is because it is easy to detect a leak in a vacuum. Also,
The optical fiber is used because when an electric wire is used, the electric wire generates a weak magnetic field and adversely affects the deflection of the electron beam.
【００３５】以上、本発明の実施の形態を、電子ビーム
露光装置に適用する場合について説明したが、本発明は
ＥＢリソグラフィ装置用の一軸アクチュエータや電子顕
微鏡装置の一軸アクチュエータとしても適用可能であ
る。Although the embodiment of the present invention has been described above as applied to an electron beam exposure apparatus, the present invention is also applicable to a uniaxial actuator for an EB lithography apparatus and a uniaxial actuator for an electron microscope apparatus.
【００３６】[0036]
【発明の効果】本発明によれば、磁界を発生するおそれ
が無く、高真空中でもその雰囲気を汚染するおそれの無
い一軸アクチュエータを提供することができる。According to the present invention, there can be provided a uniaxial actuator which does not generate a magnetic field and does not pollute the atmosphere even in a high vacuum.
【図１】本発明による一軸アクチュエータの好ましい実
施の形態を説明するための断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a preferred embodiment of a uniaxial actuator according to the present invention.
【図２】図１の一軸アクチュエータを図１の右側から見
た図である。FIG. 2 is a view of the uniaxial actuator of FIG. 1 as viewed from the right side of FIG.
【図３】図１の一軸アクチュエータを図１の左側から見
た図である。FIG. 3 is a view of the uniaxial actuator of FIG. 1 as viewed from the left side of FIG. 1;
【図４】図１の筒状体を図１のＡ−Ａ線で見た断面図で
ある。FIG. 4 is a cross-sectional view of the cylindrical body of FIG. 1 taken along line AA of FIG.
【図５】図１の位置センサとこれと協働する部分とを図
１の矢印Ｂ方向から見た図である。5 is a view of the position sensor of FIG. 1 and a part cooperating with the position sensor as viewed from the direction of arrow B in FIG. 1;
１０ ベース体 １０ａ 導入口 １０−１ 筒状体 １０−１ａ 溝 １１ トッププレート １１−１ 作動軸 １２ ベローズ １２−１ａ、１２−１ｂ 固定部 １３ 圧縮コイルばね １４ ボトムプレート １６ シャフト体 １６−１ａ 突起 １８ 配管 １９ Ｏ−リング ２１ 移動片 ３０ 位置センサ ３１ ブロック部 ３２、３３ 光ファイバ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Base body 10a Inlet 10-1 Cylindrical body 10-1a Groove 11 Top plate 11-1 Working shaft 12 Bellows 12-1a, 12-1b Fixed part 13 Compression coil spring 14 Bottom plate 16 Shaft body 16-1a Projection 18 Piping 19 O-ring 21 Moving piece 30 Position sensor 31 Block 32, 33 Optical fiber
Claims (6)
ートとの間をベローズで連結し、前記ベース体に設けら
れた導入口より作動流体を導入することで前記ベローズ
を伸ばし、ばね手段により前記ベローズの復帰力を得る
ようにした一軸アクチュエータにおいて、前記各構成要
素を非磁性材料で構成したことを特徴とする一軸アクチ
ュエータ。1. A bellows is connected between a fixed-side base body and a movable-side top plate, and the bellows is extended by introducing a working fluid from an introduction port provided in the base body, and is spring-loaded. In the single-axis actuator for obtaining the return force of the bellows, each of the constituent elements is made of a non-magnetic material.
いて、前記ベース体には、前記ベローズの内部において
前記トッププレート側に延びる筒状体が設けられてお
り、該筒状体には一端が前記トッププレートに一体的に
結合されたシャフト体が挿通されており、該シャフト体
の他端にはヘッド部が設けられて該ヘッド部の移動が前
記筒状体の内壁で案内され、前記ヘッド部と前記筒状体
の先端との間に圧縮コイルばねが前記ばね手段として設
けられていることを特徴とする一軸アクチュエータ。2. The uniaxial actuator according to claim 1, wherein the base body is provided with a tubular body extending toward the top plate inside the bellows, and one end of the tubular body is provided with the top plate. A shaft body integrally connected to the plate is inserted, and a head portion is provided at the other end of the shaft body, and movement of the head portion is guided by the inner wall of the cylindrical body, and the head portion and A uniaxial actuator, wherein a compression coil spring is provided as the spring means between the end of the cylindrical body.
いて、前記ヘッド部の外周には周方向に間隔をおいて複
数の突起が設けられており、前記筒状体の内壁には前記
複数の突起に対応させてそれらの移動を案内するための
溝が形成されていることを特徴とする一軸アクチュエー
タ。3. The uniaxial actuator according to claim 2, wherein a plurality of protrusions are provided on an outer periphery of the head portion at intervals in a circumferential direction, and the plurality of protrusions are provided on an inner wall of the tubular body. A uniaxial actuator, wherein a groove for guiding the movement thereof is formed correspondingly.
いて、前記トッププレートには、これと一体的に移動す
る移動片が設けられ、前記ベース体には前記移動片と協
働して該トッププレートがその下死点に移動したことを
検出するための位置センサが設けられ、前記位置センサ
は、光ファイバによる光通路を持ち、しかも該光通路の
一部はギャップを通して光が通過するように構成されて
おり、かつ前記トッププレートがその下死点に移動した
時に、前記移動片の先端が前記ギャップに入り込んで光
を遮断するように構成されていることを特徴とする一軸
アクチュエータ。4. The uniaxial actuator according to claim 1, wherein the top plate is provided with a moving piece that moves integrally with the top plate, and the base body is provided with the top plate in cooperation with the moving piece. A position sensor for detecting movement to the bottom dead center is provided, and the position sensor has an optical path formed by an optical fiber, and a part of the optical path is configured to allow light to pass through a gap. A single-axis actuator, wherein when the top plate moves to its bottom dead center, the tip of the moving piece enters the gap to block light.
いて、前記被磁性材料は、ベリリウム銅であることを特
徴とする一軸アクチュエータ。5. The uniaxial actuator according to claim 1, wherein the material to be magnetized is beryllium copper.
いて、前記作動流体は、Ｎ2 ガスであることを特徴とす
る一軸アクチュエータ。6. The uniaxial actuator according to claim 1, wherein the working fluid is N 2 gas.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11156013A JP2000346009A (en) | 1999-06-03 | 1999-06-03 | Uniaxial actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11156013A JP2000346009A (en) | 1999-06-03 | 1999-06-03 | Uniaxial actuator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000346009A true JP2000346009A (en) | 2000-12-12 |
Family
ID=15618420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11156013A Pending JP2000346009A (en) | 1999-06-03 | 1999-06-03 | Uniaxial actuator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000346009A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008298232A (en) * | 2007-06-01 | 2008-12-11 | Shimadzu Corp | Pressurized air actuator |
| JP2009076521A (en) * | 2007-09-19 | 2009-04-09 | Yaskawa Electric Corp | Precise fine positioning device and fine positioning stage having the same, aligner, and inspection apparatus |
| CN104555367A (en) * | 2013-10-16 | 2015-04-29 | Smc株式会社 | Workpiece positioning device |
| KR20150099607A (en) * | 2012-12-25 | 2015-08-31 | 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤 | Actuator and adhesive chuck device |
-
1999
- 1999-06-03 JP JP11156013A patent/JP2000346009A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008298232A (en) * | 2007-06-01 | 2008-12-11 | Shimadzu Corp | Pressurized air actuator |
| JP2009076521A (en) * | 2007-09-19 | 2009-04-09 | Yaskawa Electric Corp | Precise fine positioning device and fine positioning stage having the same, aligner, and inspection apparatus |
| KR20150099607A (en) * | 2012-12-25 | 2015-08-31 | 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤 | Actuator and adhesive chuck device |
| KR101991990B1 (en) | 2012-12-25 | 2019-06-21 | 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤 | Actuator and adhesive chuck device |
| CN104555367A (en) * | 2013-10-16 | 2015-04-29 | Smc株式会社 | Workpiece positioning device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4560880A (en) | Apparatus for positioning a workpiece in a localized vacuum processing system | |
| JP4713737B2 (en) | Double slit valve door for plasma processing | |
| KR100277109B1 (en) | Scanning exposure apparatus and device manufacturing process using the same | |
| US6496248B2 (en) | Stage device and exposure apparatus and method | |
| JP5141979B2 (en) | Stage apparatus and exposure apparatus | |
| JP2000331931A (en) | Movable support in vacuum chamber and application of movable support to lithography projection apparatus | |
| EP1260720B1 (en) | Hydrostatic bearing and stage apparatus using same | |
| EP3507827A1 (en) | Methods and systems for chucking a warped wafer | |
| JP2000357482A (en) | Stage for micro machining system using charged particle beam | |
| US20020180312A1 (en) | Low-mass and compact stage devices exhibiting six degrees of freedom of fine motion, and microlithography systems comprising same | |
| JPH06208000A (en) | Molecular beam optical device | |
| EP1089001B1 (en) | Static pressure gas bearing, stage device using it, and optical device using it | |
| US7212277B2 (en) | Substrate holding technique | |
| US7253408B2 (en) | Environmental cell for a scanning probe microscope | |
| JP2000346009A (en) | Uniaxial actuator | |
| TW201931419A (en) | Electron beam inspection tool | |
| US6774374B1 (en) | Isolation mounts for use with vacuum chambers and their application in lithographic projection apparatuses | |
| JP2004247718A (en) | Photomask holder and method for fixing photomask | |
| US9431208B2 (en) | Charged-particle beam drawing apparatus and vibration damping mechanism | |
| JP2001044107A (en) | Sliding device for vacuum and stage mechanism thereof | |
| JP2007048956A (en) | Stage apparatus and aligner | |
| US7717966B2 (en) | Barrier assembly for an exposure apparatus | |
| JP4314648B2 (en) | Stage device and optical device equipped with the same | |
| EP1500983A2 (en) | Isolation mounts for use with vacuum chambers and their application in lithographic projection apparatus | |
| JP4296774B2 (en) | Stage apparatus and exposure apparatus |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030521 |