JP2000338531A - Wavelength conversion laser device and laser radar device - Google Patents

Wavelength conversion laser device and laser radar device

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JP2000338531A
JP2000338531A JP11146554A JP14655499A JP2000338531A JP 2000338531 A JP2000338531 A JP 2000338531A JP 11146554 A JP11146554 A JP 11146554A JP 14655499 A JP14655499 A JP 14655499A JP 2000338531 A JP2000338531 A JP 2000338531A
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JP
Japan
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light
optical
excitation light
wavelength
opo
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Japanese (ja)
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Atsushi Takada
淳 高田
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Original Assignee
Toshiba Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To instantly switch the oscillation wavelengths by disposing a PPLN (Periodically Poled Lithium Niobate) crystal which generates polarization inversion states with different periods to produce different OPO(Optical Parametric Oscillation) wavelengths along two optical axes in an OPO resonator. SOLUTION: The PPLN crystal 3 having the following property is disposed in the OPO resonator. The PPLN crystal 3 generates polarization inversion states with different periods to produce different OPO wavelengths along the optical axis A and optical axis B, namely, the crystal generates signal light of wavelength λsa and idler light of wavelength λia, or signal light of wavelength λsb and idler light of wavelength λib. When no voltage is applied on an EO element 7, the OPO excitation light is reflected as s-polarized light by a polarizer 8 and propagates along the optical axis A. If a voltage is applied on the EO element 7, the OPO excitation light is transmitted as p-polarized light through the polarizer 8 and propagates along the optical axis B.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光の発振波
長を極短時間で可変する波長変換レーザ装置及びこの波
長変換レーザ装置を適用して測定の対象物に応じて発振
波長を変化させるレーザレーダ装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wavelength conversion laser device for changing the oscillation wavelength of a laser beam in a very short time, and a laser for applying the wavelength conversion laser device to change the oscillation wavelength according to an object to be measured. The present invention relates to a radar device.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザ光の波長可変技術の1つに光パラ
メトリック発振(Optical ParametricOscillation 以
下、OPOと称する)に係わる技術がある。このOPO
は、波長λpの励起光から波長λsと波長λiとの2波
長を発生する現象であり、これら波長λs、波長λiの
関係は、 1/λp=(1+λs)+(1/λi) …(1) を満たすものである。ここで、一般のOPOによる光
(以下、OPO光と称する)のうち短波長の光をシグナ
ル光(波長λs)、長波長の光をアイドラ光(波長λ
i)と呼ばれている。
2. Description of the Related Art One of the techniques for changing the wavelength of laser light is a technique relating to optical parametric oscillation (hereinafter referred to as OPO). This OPO
Is a phenomenon of generating two wavelengths of the wavelength λs and the wavelength λi from the pumping light of the wavelength λp, and the relationship between the wavelength λs and the wavelength λi is 1 / λp = (1 + λs) + (1 / λi) (1) ). Here, of the light by the general OPO (hereinafter, referred to as OPO light), a short wavelength light is signal light (wavelength λs), and a long wavelength light is idler light (wavelength λ).
Called i).

【0003】例えば、励起光として波長1064nmの
Nd:YAGレーザを使用した場合、波長λs=150
0nm、波長λi=3660nmといったOPO光を発
生することが可能である。
For example, when an Nd: YAG laser having a wavelength of 1064 nm is used as the excitation light, the wavelength λs = 150
OPO light having a wavelength of 0 nm and a wavelength of λi = 3660 nm can be generated.

【0004】これらシグナル光、アイドラ光の各波長の
組み合わせは、OPOに用いる光学結晶(以下、OPO
結晶と称する)に対する設置角度や温度、OPOに用い
るミラーの特性などに依存し、上記式(1)を満たす限り
においてかなりの自由度で波長選択が可能となってい
る。
[0004] The combination of each wavelength of the signal light and the idler light is determined by an optical crystal (hereinafter referred to as OPO) used for OPO.
The wavelength can be selected with a considerable degree of freedom as long as the above expression (1) is satisfied, depending on the installation angle with respect to the crystal (referred to as crystal), the temperature, the characteristics of the mirror used for the OPO, and the like.

【0005】この波長選択性を利用することによってO
POは、波長可変レーザ光源の少ない波長域で波長可変
光源としてよく利用されている。その用途としては、例
えば分光などの理化学用、環境測定などのリモートセン
シング用が多く、その他に医療用途への応用も行われて
いる。
[0005] By utilizing this wavelength selectivity, O
PO is often used as a wavelength tunable light source in a wavelength range where the wavelength tunable laser light source is small. As its uses, for example, there are many applications for physics and chemistry such as spectroscopy, and for remote sensing such as environmental measurements, and also applied to medical uses.

【0006】一般に、媒質中では光の屈折率は波長によ
り異なり、これを波長分散と呼ぶ。有効なOPOを実現
するためには、この屈折率差を解消する必要がある。
In general, the refractive index of light in a medium varies depending on the wavelength, and this is called wavelength dispersion. In order to realize effective OPO, it is necessary to eliminate this difference in refractive index.

【0007】通常、励起光、シグナル光、アイドラ光の
偏光の違いなどを利用して、この屈折率差を解消してお
り、この解消の方法の一つに疑似位相整合という方法が
ある。
Usually, this difference in refractive index is eliminated by utilizing the difference in the polarization of excitation light, signal light, and idler light, and one method of eliminating this is a method called quasi-phase matching.

【0008】この疑似位相整合とは、例えばLiNbO
3のような2次非線型光学効果を示す強誘電体結晶の分
極を周期的に反転させた分極反転グレーティングを作成
することで2次非線型光学テンソルの周期的符号反転構
造を実現し、これにより励起光とOPOの位相不整合を
補償して、疑似的に位相整合を達成する方法である。
This quasi-phase matching means, for example, LiNbO
By creating a domain-inverted grating that periodically inverts the polarization of a ferroelectric crystal exhibiting a secondary nonlinear optical effect as shown in 3 , the periodic sign inversion structure of the secondary nonlinear optical tensor is realized. This is a method of compensating for the phase mismatch between the pump light and the OPO to achieve the pseudo phase matching.

【0009】この疑似位相整合を利用したOPO結晶と
しては、例えば周期的分極反転したLiNbO3(Perio
dically Poled Lithium Niobate、以下PPLNと称す
る)やRTA(RbTiOAsO:以下、PPRTA
と称する)、KTP(KTiOPO、以下、PPKT
Pと称する)が良く知られており、変換効率が高いこと
から研究開発が盛んに行われている。
As an OPO crystal utilizing the quasi phase matching, for example, a periodically poled LiNbO 3 (Period) is used.
dically Poled Lithium Niobate (hereinafter referred to as PPLN) and RTA (RbTiOAsO 4 : hereinafter PPRTA)
), KTP (KTiOPO 4 , hereinafter, PPKT)
P) is well known, and research and development are being actively conducted because of its high conversion efficiency.

【0010】OPOを用いた波長可変レーザでは、波長
可変の方法として次の2つの方法が良く使用されてお
り、その1つの方法が発振光軸に対してOPO結晶の角
度を変えるもので角度チューニングと呼ばれており、他
の1つの方法がOPO結晶の温度を変えるもので温度チ
ューニングと呼ばれている。
In the wavelength tunable laser using the OPO, the following two methods are often used as a wavelength tunable method. One of the methods is to change the angle of the OPO crystal with respect to the oscillation optical axis, and the angle tuning is performed. Another method for changing the temperature of the OPO crystal is called temperature tuning.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】ところで、複数の波長
を使用しているある種のレーザレーダでは、被照射物の
特性に応じて発振波長を瞬時に切り替える必要があるも
のがある。このようなレーザレーダにおいて発振波長を
可変するのに上記の如く機械的な角度チューニングや温
度チューニングを行っていては、発振波長を瞬時に切り
替えることは困難であり、角度チューニングや温度チュ
ーニングによる発振波長に要する時間よりも速く波長を
変える必要がある。
Some laser radars using a plurality of wavelengths need to instantaneously switch the oscillation wavelength according to the characteristics of an object to be irradiated. In such a laser radar, mechanical angle tuning and temperature tuning are performed as described above to vary the oscillation wavelength, but it is difficult to instantaneously switch the oscillation wavelength. Need to change the wavelength faster than the time required.

【0012】そこで本発明は、発振波長を瞬時に切り替
えることができる波長変換レーザ装置を提供することを
目的とする。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a wavelength conversion laser device capable of instantaneously switching the oscillation wavelength.

【0013】又、本発明は、測定の対象物に応じて発振
波長を瞬時に切り替えることができるレーザレーダ装置
を提供することを目的とする。
Another object of the present invention is to provide a laser radar device capable of instantaneously switching an oscillation wavelength according to an object to be measured.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
励起光を発生する励起光発生源と、この励起光発生源に
より発生した励起光の光路位置によって発生する波長が
異なる光パラメトリック発振光学系と、励起光発生源か
ら発生した励起光の光パラメトリック発振光学系におけ
る透過光路位置を可変とする光路可変光学系と、を備え
た波長変換レーザ装置である。
According to the first aspect of the present invention,
An excitation light source that generates the excitation light, an optical parametric oscillation optical system that generates a different wavelength depending on the optical path position of the excitation light generated by the excitation light source, and an optical parametric oscillation of the excitation light generated from the excitation light source A wavelength conversion laser device comprising: an optical path variable optical system that changes a transmission optical path position in the optical system.

【0015】請求項2記載の発明は、請求項1記載の波
長変換レーザ装置において、光パラメトリック発振光学
系は、少なくとも2つの部位に周期の異なる分極反転が
生成された非線型光学結晶を有するものである。
According to a second aspect of the present invention, in the wavelength conversion laser device according to the first aspect, the optical parametric oscillation optical system has a nonlinear optical crystal in which polarization inversions having different periods are generated in at least two portions. It is.

【0016】請求項3記載の発明は、請求項2記載の波
長変換レーザ装置において、非線型光学結晶としてLi
NbO3、RbTiOAsO、KTiOPOのうち
いずれかが用いられる。
According to a third aspect of the present invention, there is provided the wavelength conversion laser device according to the second aspect, wherein the nonlinear optical crystal is Li
One of NbO 3 , RbTiOAsO 4 , and KTiOPO 4 is used.

【0017】請求項4記載の発明は、請求項1記載の波
長変換レーザ装置において、光路可変光学系は、励起光
発生源から発生した励起光を偏光し、この偏光に応じて
励起光の光路位置を変更するものである。
According to a fourth aspect of the present invention, in the wavelength conversion laser device of the first aspect, the optical path variable optical system polarizes the excitation light generated from the excitation light generation source, and changes the optical path of the excitation light according to the polarization. Change the position.

【0018】請求項5記載の発明は、請求項1記載の波
長変換レーザ装置において、光路可変光学系は、励起光
発生源から発生した励起光をs偏光又はp偏光に変える
電気光学素子と、この電気光学素子により偏光されたs
偏光又はp偏光の光路位置を変更する偏光子と、を有す
るものである。
According to a fifth aspect of the present invention, in the wavelength conversion laser device according to the first aspect, the optical path variable optical system comprises: an electro-optical element for converting the excitation light generated from the excitation light generation source into s-polarized light or p-polarized light; S polarized by this electro-optical element
A polarizer that changes the optical path position of polarized light or p-polarized light.

【0019】請求項6記載の発明は、励起光を発生する
励起光発生源と、この励起光発生源により発生した励起
光の光路によって発生する波長が異なる光パラメトリッ
ク発振光学系と、励起光発生源から発生した励起光の光
パラメトリック発振光学系における透過光路位置を可変
する光路可変光学系と、光パラメトリック発振光学系か
ら出射されたレーザ光の対象物からの光を受光し、この
光に応じて光路可変光学系での励起光の光路を可変制御
する光路制御手段と、を備えたレーザレーダ装置であ
る。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided an excitation light generation source for generating excitation light, an optical parametric oscillation optical system having different wavelengths generated by an optical path of the excitation light generated by the excitation light generation source, and an excitation light generation optical system. An optical path variable optical system that varies the transmission optical path position of the excitation light generated from the source in the optical parametric oscillation optical system, and receives light from the object of the laser light emitted from the optical parametric oscillation optical system, and responds to the light. Optical path control means for variably controlling the optical path of the excitation light in the optical path variable optical system.

【0020】請求項7記載の発明は、励起光を発生する
励起光発生源と、少なくとも2つの部位に周期の異なる
分極反転が生成された非線型光学結晶を有し、励起光発
生源により発生した励起光の非線型光学結晶における光
路位置によって発生する波長が異なる光パラメトリック
発振光学系と、励起光発生源から発生した励起光の偏光
角を変える電気光学素子と、この電気光学素子により偏
光されたs偏光又はp偏光の光路位置を変更して前記非
線型光学結晶に導く偏光子と、光パラメトリック発振光
学系から出射されたレーザ光の対象物からの光を受光
し、この光に応じて電気光学素子への印加電圧を制御し
てs偏光又はp偏光の偏光角を変えてs偏光とp偏光と
の出力比を制御する光路制御手段と、を備えたレーザレ
ーダ装置である。
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided an excitation light generation source for generating excitation light, and a nonlinear optical crystal in which polarization inversions having different periods are generated in at least two portions, wherein the excitation light generation source generates the excitation light. An optical parametric oscillation optical system in which the generated excitation light has a different wavelength depending on the optical path position in the non-linear optical crystal, an electro-optic element that changes the polarization angle of the excitation light generated from the excitation light source, and polarized light by the electro-optic element A polarizer that guides the nonlinear optical crystal by changing the optical path position of the s-polarized light or the p-polarized light, and receives light from a target object of laser light emitted from the optical parametric oscillation optical system, and responds to the light. An optical path control unit that controls an applied voltage to the electro-optical element to change a polarization angle of s-polarized light or p-polarized light to control an output ratio between s-polarized light and p-polarized light.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0022】図1は本発明の波長変換レーザ装置を用い
たレーザレーダ装置の構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram of a laser radar device using the wavelength conversion laser device of the present invention.

【0023】励起光発生用レーザ装置1は、例えばOP
Oに用いる波長λpの励起光を発生する機能を有するも
のである。このOPOに用いる励起光(以下、OPO励
起光と称する)は、直線偏光レーザ光であり、ここでは
その偏光方向がs偏光となっている。なお、s偏光は、
図面に対して垂直な方向に偏光が振動する方向を持って
いる。
The excitation light generating laser device 1 is, for example, an OP
It has a function of generating excitation light of wavelength λp used for O. The excitation light used for this OPO (hereinafter referred to as OPO excitation light) is a linearly polarized laser light, and here the polarization direction is s-polarized light. The s-polarized light is
It has a direction in which polarized light oscillates in a direction perpendicular to the drawing.

【0024】光パラメトリック発振光学系2は、励起光
発生用レーザ装置1により発生したOPO励起光を入射
して、そのOPO励起光の各光路位置(光軸A上又は光
軸B)上によって発生する波長が異なるOPO光、すな
わち光軸Aにおいて波長λsaのシグナル光と波長λiaの
アイドラ光とを発生し、光軸Bにおいて波長λsbのシグ
ナル光と波長λibのアイドラ光とを発生するものとなっ
ている。
The optical parametric oscillation optical system 2 receives the OPO pumping light generated by the pumping light generating laser device 1 and generates the OPO pumping light on each optical path position (on the optical axis A or the optical axis B). OPO light having different wavelengths, that is, a signal light having a wavelength λsa and an idler light having a wavelength λia are generated on the optical axis A, and a signal light having a wavelength λsb and an idler light having a wavelength λib are generated on the optical axis B. ing.

【0025】具体的な構成について説明すると、PPL
N結晶3を挟むようにOPO入射ミラー4とOPO出射
ミラー5とを配置してOPO共振器を形成した構成とな
っている。
The specific configuration will be described.
An OPO resonator is formed by arranging an OPO incident mirror 4 and an OPO exit mirror 5 so as to sandwich the N crystal 3.

【0026】PPLN結晶3は、光軸Aと光軸Bとでは
OPO光が異なる波長を発生するように、異なる周期の
分極反転が生成されている非線型光学結晶である。すな
わち、このPPLN結晶3は、励起光発生用レーザ装置
1により発生したOPO励起光の波長をλpとした場
合、光軸Aでは、 1/λp=(1/λsa)+(1/λia) …(1) 光軸Bでは、 1/λp=(1/λsb)+(1/λib) …(2) を満たす波長λsaのシグナル光と波長λiaのアイドラ
光、又は波長λsbのシグナル光と波長λibのアイドラ光
とを発生するように、光軸A上と光軸B上とのPPLN
結晶3の分極反転周期が設定されている。
The PPLN crystal 3 is a non-linear optical crystal in which polarization inversion of different periods is generated so that OPO light generates different wavelengths in the optical axis A and the optical axis B. That is, when the wavelength of the OPO pumping light generated by the pumping light generating laser device 1 is λp, the PPLN crystal 3 has an optical axis A at 1 / λp = (1 / λsa) + (1 / λia). (1) In the optical axis B, 1 / λp = (1 / λsb) + (1 / λib) (2) The signal light having the wavelength λsa and the idler light having the wavelength λia, or the signal light having the wavelength λsb and the wavelength λib PPLN between the optical axis A and the optical axis B so as to generate the idler light of
The polarization inversion period of the crystal 3 is set.

【0027】ここで、PPLN結晶3は、通常type
I位相整合となり、光軸A上においてOPO光の偏光は
OPO励起光の偏光に対して直交するものとなり、波長
λiaのアイドラ光はp偏光となる。これと共にPPLN
結晶3は、光軸B上においてOPO光の偏光はOPO励
起光の偏光に対して直交するものとなり、波長λibのア
イドラ光はp偏光となる。
Here, the PPLN crystal 3 is usually of type
I phase matching is achieved, and the polarization of the OPO light on the optical axis A is orthogonal to the polarization of the OPO excitation light, and the idler light having the wavelength λia becomes p-polarized light. Together with PPLN
In the crystal 3, the polarization of the OPO light is orthogonal to the polarization of the OPO excitation light on the optical axis B, and the idler light having the wavelength λib is p-polarized.

【0028】又、OPO入射ミラー4及び出射ミラー5
の光軸A上には、OPO励起光が効率良く波長λsaのシ
グナル光と波長λiaのアイドラ光とに変換されるように
コーティングが施される、かつこれらOPO入射ミラー
4及び出射ミラー5の光軸B上には、OPO励起光が効
率良く波長λsbのシグナル光と波長λibのアイドラ光と
に変換されるようにコーティングが施されている。
The OPO entrance mirror 4 and the exit mirror 5
On the optical axis A, a coating is applied so that the OPO excitation light is efficiently converted into a signal light having a wavelength λsa and an idler light having a wavelength λia. On the axis B, a coating is applied so that the OPO excitation light is efficiently converted into signal light having the wavelength λsb and idler light having the wavelength λib.

【0029】上記励起光発生用レーザ装置1と光パラメ
トリック発振光学系2との間には、光路可変光学系6と
して、励起光発生用レーザ装置1から発生したOPO励
起光の光パラメトリック発振光学系2における透過光路
位置すなわち光軸A又は光軸Bに可変する機能が配置さ
れている。
An optical path variable optical system 6 is provided between the pumping light generating laser device 1 and the optical parametric oscillation optical system 2 as an optical parametric oscillation optical system for the OPO pumping light generated from the pumping light generating laser device 1. The function of changing the position of the transmitted light path in 2, ie, the optical axis A or the optical axis B, is provided.

【0030】この光路可変光学系6の具体的な構成を説
明すると、励起光発生用レーザ装置1から発生するOP
O励起光の光路上には、EO(Electro Optic)素子
(電気光学素子)7及び偏光子8が配置されている。
The specific configuration of the optical path variable optical system 6 will be described.
An EO (Electro Optic) element (electro-optical element) 7 and a polarizer 8 are arranged on the optical path of the O excitation light.

【0031】EO素子7は、所定の電圧が印加されたと
きにOPO励起光の偏光方向をs偏光からp偏光に変
え、電圧が印加されない状態であれば透過光の偏光が変
わらないように設定されている。ここで、p偏光は、図
面に対して水平な方向に偏光振動面を持つ偏光である。
又、このEO素子7は、KDP(KHPO)、LB
O(LiB)などで形成されている。
The EO element 7 changes the polarization direction of the OPO excitation light from s-polarized light to p-polarized light when a predetermined voltage is applied, and is set so that the polarization of the transmitted light does not change when no voltage is applied. Have been. Here, the p-polarized light is a polarized light having a polarization vibration plane in a direction horizontal to the drawing.
The EO element 7 is composed of KDP (KH 2 PO 4 ), LB
O (LiB 3 O 5 ) or the like.

【0032】偏光子8は、p偏光を透過し、s偏光を反
射する作用を持っている。この偏光子8の反射光路は、
PPLN結晶3の光軸Aに一致し、かつ偏光子8の透過
光路上には45°ミラー9が配置されてその透過光の進
行方向がPPLN結晶3の光軸Bに一致するようになっ
ている。
The polarizer 8 has a function of transmitting p-polarized light and reflecting s-polarized light. The reflected light path of the polarizer 8 is
A 45 ° mirror 9 is arranged on the transmission optical path of the polarizer 8 so that the traveling direction of the transmitted light coincides with the optical axis A of the PPLN crystal 3. I have.

【0033】従って、EO素子7に電圧が印加されてい
なければ、OPO励起光はs偏光であり、偏光子8によ
って反射されて光軸A上を進み、又、EO素子7に電圧
が印加されていれば、OPO励起光はp偏光となって偏
光子8を透過し、45°ミラー9で反射されて光軸B上
を進むようになる。
Therefore, if no voltage is applied to the EO element 7, the OPO excitation light is s-polarized light, is reflected by the polarizer 8 and travels on the optical axis A, and if a voltage is applied to the EO element 7, If so, the OPO excitation light becomes p-polarized light, passes through the polarizer 8, is reflected by the 45 ° mirror 9, and travels on the optical axis B.

【0034】なお、光軸B上の光パラメトリック発振光
学系2の両側には、それぞれλ/2板10、11が配置
されている。
On both sides of the optical parametric oscillation optical system 2 on the optical axis B, λ / 2 plates 10 and 11 are disposed, respectively.

【0035】そして、光パラメトリック発振光学系2の
出射側には、光軸B上に45°ミラー12が配置され、
かつ光軸A上の45°ミラー12の反射光路との交差す
るところに偏光子13が配置されている。
On the emission side of the optical parametric oscillation optical system 2, a 45 ° mirror 12 is arranged on the optical axis B.
The polarizer 13 is disposed at a position on the optical axis A where the 45 ° mirror 12 intersects with the reflection optical path.

【0036】一方、光路制御手段14は、光パラメトリ
ック発振光学系2から出射されたレーザ光の対象物15
からのリターン光Cを受光し、このリターン光Cに応じ
てEO素子7への印加電圧を制御してs偏光又はp偏光
の偏光角を変えて、これらs偏光とp偏光との出力比を
制御する機能を有している。
On the other hand, the optical path control means 14 controls the object 15 of the laser light emitted from the optical parametric oscillation optical system 2.
, And by controlling the voltage applied to the EO element 7 according to the return light C to change the polarization angle of the s-polarized light or the p-polarized light, the output ratio between the s-polarized light and the p-polarized light is changed. It has a control function.

【0037】この光路制御手段14の構成を具体的に説
明すると、光パラメトリック発振光学系2から出射され
たOPO光が対象物15に照射されると、その一部は反
射光又は後方散乱光となりリターン光Cとしてレーザレ
ーダ装置に戻ってくる。このように本明細書においてリ
ターン光とは、測定される対象物15による反射光や後
方散乱光を指すものとする。
The structure of the optical path control means 14 will be specifically described. When the object 15 is irradiated with the OPO light emitted from the optical parametric oscillation optical system 2, a part of the light becomes reflected light or backscattered light. It returns to the laser radar device as return light C. Thus, in this specification, the return light refers to the reflected light or the backscattered light by the object 15 to be measured.

【0038】受光部16は、このリターン光Cを受光し
てその受光量等に応じた電気信号に変換する機能を有し
ている。
The light receiving section 16 has a function of receiving the return light C and converting it into an electric signal corresponding to the amount of the received light.

【0039】EOドライバ制御系17は、受光部16か
らの電気信号を入力し、この電気信号を処理して測定の
対象物15に応じた制御信号、すなわちEO素子7への
電圧値を示す制御信号をEOドライバ18に送出する機
能を有している。
The EO driver control system 17 receives an electric signal from the light receiving section 16 and processes the electric signal to control a signal corresponding to the object 15 to be measured, that is, a control signal indicating a voltage value to the EO element 7. It has a function of sending a signal to the EO driver 18.

【0040】このEOドライバ18は、EOドライバ制
御系17からの制御信号を受けてEO素子7に対して電
圧値0V、又は所定の印加電圧値、さらには任意の電圧
値を印加する機能を有している。
The EO driver 18 has a function of receiving a control signal from the EO driver control system 17 and applying a voltage value of 0 V, a predetermined applied voltage value, or an arbitrary voltage value to the EO element 7. are doing.

【0041】EO素子7は、上記の如く所定の電圧が印
加されたときにOPO励起光の偏光方向をs偏光からp
偏光に変え、電圧が印加されない状態(0V)であれば
透過光の偏光が変わらないように設定され、さらに印加
される電圧値に応じた角度だけ直線偏光の偏光角が変化
する性質を持っている。
The EO element 7 changes the polarization direction of the OPO excitation light from the s-polarized light to the p-polarized light when the predetermined voltage is applied as described above.
The polarization is changed so that the polarization of the transmitted light is not changed when no voltage is applied (0 V), and the polarization angle of the linearly polarized light is changed by an angle corresponding to the applied voltage. I have.

【0042】従って、EOドライバ制御系17によって
EO素子7への印加電圧値を変化させることによって光
軸Aと光軸Bとに進むOPO励起光の比率が変化し、こ
れに伴って波長λiaのアイドラ光と波長λibのアイドラ
光との出力比も変化するものとなっている。
Therefore, the ratio of the OPO excitation light traveling to the optical axis A and the optical axis B is changed by changing the voltage applied to the EO element 7 by the EO driver control system 17, and the wavelength λia is accordingly changed. The output ratio between the idler light and the idler light having the wavelength λib also changes.

【0043】次に上記の如く構成されたレーザレーダ装
置の作用について説明する。
Next, the operation of the laser radar device configured as described above will be described.

【0044】励起光発生用レーザ装置1は、例えば波長
λpで、偏光方向がs偏光となっている直線偏光となっ
ているOPO励起光を発生する。このOPO励起光は、
光路可変光学系6に入射する。
The excitation light generating laser device 1 generates, for example, OPO excitation light having a wavelength λp and linearly polarized light having a polarization direction of s-polarized light. This OPO excitation light is
The light enters the variable optical path system 6.

【0045】この光路可変光学系6のEO素子7は、所
定の電圧が印加されたときに入射するOPO励起光の偏
光方向をs偏光からp偏光に変え、電圧が印加されない
状態であればOPO励起光の偏光が変わらないようにし
て偏光子8に送る。
The EO element 7 of the optical path variable optical system 6 changes the polarization direction of the incident OPO excitation light from a s-polarized light to a p-polarized light when a predetermined voltage is applied. The excitation light is sent to the polarizer 8 without changing its polarization.

【0046】この偏光子8は、EO素子7からのOPO
励起光がp偏光であれば、このOPO励起光を透過し、
s偏光であれば反射する。
The polarizer 8 is provided with the OPO from the EO element 7.
If the excitation light is p-polarized, the OPO excitation light is transmitted,
If it is s-polarized light, it reflects.

【0047】従って、OPO励起光は、EO素子7に電
圧が印加されていなければ、s偏光となり偏光子8によ
って反射されて光軸A上を進み、EO素子7に電圧が印
加されていれば、p偏光となって偏光子8を透過し、4
5°ミラー9で反射されてλ/2板10を透過し、光軸
B上を進む。
Therefore, if no voltage is applied to the EO element 7, the OPO excitation light becomes s-polarized light, is reflected by the polarizer 8, travels on the optical axis A, and if no voltage is applied to the EO element 7. , Becomes p-polarized light, passes through the polarizer 8, and
The light is reflected by the 5 ° mirror 9, passes through the λ / 2 plate 10, and travels on the optical axis B.

【0048】このうち光軸A上を進んだOPO励起光
は、PPLN結晶3、OPO入射ミラー4及び出射ミラ
ー5から構成されるOPO共振器により光共振し、波長
λsaのシグナル光と波長λiaのアイドラ光が発生する。
The OPO pumping light traveling on the optical axis A is optically resonated by the OPO resonator composed of the PPLN crystal 3, the OPO incidence mirror 4 and the emission mirror 5, and the signal light of wavelength λsa and the wavelength of λia Idler light is generated.

【0049】ここでは、これら波長λsaのシグナル光と
波長λiaのアイドラ光とのうち波長λiaのアイドラ光を
使用するものとすると、PPLN結晶3は、通常typ
eI位相整合であり、光軸A上においてOPO光の偏光
はOPO励起光の偏光に対して直交するものとなり、波
長λiaのアイドラ光はp偏光となって偏光子13を透過
して出射する。
Here, assuming that the idler light having the wavelength λia is used among the signal light having the wavelength λsa and the idler light having the wavelength λia, the PPLN crystal 3 usually has a type
This is eI phase matching, in which the polarization of the OPO light is orthogonal to the polarization of the OPO excitation light on the optical axis A, and the idler light having the wavelength λia becomes p-polarized light and passes through the polarizer 13 to be emitted.

【0050】一方、光軸B上を進んだ励起光は、λ/2
板10によって偏光が90°回転されてs偏光となり、
PPLN結晶3、OPO入射ミラー4及び出射ミラー5
から構成されるOPO共振器により光共振し、波長λsb
のシグナル光と波長λibのアイドラ光が発生する。ここ
では、これら波長λsbのシグナル光と波長λibのアイド
ラ光とのうち波長λibのアイドラ光を使用するものとす
ると、PPLN結晶3は、通常typeI位相整合であ
り、光軸A上でのOPOと同様に、p偏光の波長λibの
アイドラ光を発生してOPO共振器から出射する。この
出射された波長λibのアイドラ光は、p偏光であるが、
λ/2板11を透過することによりs偏光となり、45
°ミラー12によって反射された後、偏光子13で反射
して出射される。
On the other hand, the excitation light traveling on the optical axis B is λ / 2
The polarization is rotated by 90 ° by the plate 10 to become s-polarized light,
PPLN crystal 3, OPO entrance mirror 4 and exit mirror 5
Optically resonates with an OPO resonator composed of
Signal light and idler light of wavelength λib are generated. Here, if it is assumed that the idler light having the wavelength λib is used among the signal light having the wavelength λsb and the idler light having the wavelength λib, the PPLN crystal 3 is usually of type I phase matching, and the OPO on the optical axis A is Similarly, idler light having a wavelength λib of p-polarized light is generated and emitted from the OPO resonator. The emitted idler light of wavelength λib is p-polarized light,
When transmitted through the λ / 2 plate 11, the light becomes s-polarized light,
After being reflected by the mirror 12, the light is reflected by the polarizer 13 and emitted.

【0051】このように出射された波長λiaのアイドラ
光又は波長λibのアイドラ光は、対象物15に照射さ
れ、その一部が反射光又は後方散乱光となりリターン光
Cとしてレーザレーダ装置に戻ってくる。
The idler light having the wavelength λia or the idler light having the wavelength λib emitted as described above is applied to the object 15, and a part of the idler light becomes reflected light or backscattered light and returns to the laser radar device as return light C. come.

【0052】受光部16は、このリターン光Cを受光し
てその受光量等に応じた電気信号に変換してEOドライ
バ制御系17に送出する。
The light receiving section 16 receives the return light C, converts the return light C into an electric signal corresponding to the amount of the received light, and sends the electric signal to the EO driver control system 17.

【0053】このEOドライバ制御系17は、受光部1
6からの電気信号を入力し、この電気信号をレーザレー
ダ装置の測定対象物15や測定内容に応じた処理を行
い、その結果として対象物15に応じた制御信号、すな
わちEO素子7への電圧値を示す制御信号をEOドライ
バ18に送出する。
The EO driver control system 17 includes the light receiving unit 1
6, the electrical signal from the laser radar device is processed according to the measurement object 15 and the measurement contents, and as a result, the control signal corresponding to the object 15, that is, the voltage to the EO element 7 A control signal indicating the value is sent to the EO driver 18.

【0054】このEOドライバ18は、EOドライバ制
御系17からの制御信号を受けてEO素子7に対して電
圧値0V、又は所定の印加電圧値、さらには任意の電圧
値を印加する。
The EO driver 18 receives a control signal from the EO driver control system 17 and applies a voltage value of 0 V, a predetermined applied voltage value, or an arbitrary voltage value to the EO element 7.

【0055】従って、EO素子7は、上記の如く所定の
電圧が印加されたときにOPO励起光の偏光方向をs偏
光からp偏光に変え、電圧が印加されない状態(0V)
であれば透過光の偏光が変わらないようにする。
Therefore, the EO element 7 changes the polarization direction of the OPO excitation light from the s-polarized light to the p-polarized light when the predetermined voltage is applied as described above, so that the voltage is not applied (0 V).
If so, the polarization of the transmitted light is kept unchanged.

【0056】又、EO素子7は、印加される電圧値に応
じた角度だけ直線偏光の偏光角を変化させる。これによ
り、EO素子7への印加電圧値を変化させることによっ
て光軸Aと光軸Bとに進むOPO励起光の比率が変化
し、これに伴って波長λiaのアイドラ光と波長λibのア
イドラ光との出力比も変化するものとなっている。
The EO element 7 changes the polarization angle of the linearly polarized light by an angle corresponding to the applied voltage value. Thus, the ratio of the OPO excitation light traveling to the optical axis A and the optical axis B is changed by changing the voltage applied to the EO element 7, and the idler light having the wavelength λia and the idler light having the wavelength λib are accordingly changed. The output ratio also changes.

【0057】このように上記一実施の形態においては、
光軸Aと光軸Bとでは異なるOPO波長すなわち波長λ
saのシグナル光と波長λiaのアイドラ光、又は波長λsb
のシグナル光と波長λibのアイドラ光を発生するように
異なる周期の分極反転が生成されているPPLN結晶3
をOPO共振器内に配置し、EO素子7に電圧を印加し
なければ、OPO励起光をs偏光として偏光子8によっ
て反射させて光軸A上を進行させ、又、EO素子7に電
圧を印加すれば、OPO励起光をp偏光として偏光子8
を透過させて光軸B上を進むようにしたので、一般の電
気光学系の電圧立上がり時間の数nsに対応して、波長
制御をnsオーダで瞬時に切り替えることができる。例
えば、複数の波長を使用しているある種のレーザレーダ
(反射光により距離を測定するものや反射光により大気
中のガス分布を測定するものなど)では、対象物15の
特性に応じて発振波長を極めて短時間に切り替える必要
があるものがあり、このようなレーザレーダの光源とし
て用いて波長切り替えに適用できる。
As described above, in one embodiment,
The optical axis A and the optical axis B have different OPO wavelengths, that is, wavelength λ.
sa signal light and idler light of wavelength λia or wavelength λsb
PPLN crystal 3 in which polarization inversions of different periods are generated so as to generate signal light and idler light of wavelength λib
Is disposed in the OPO resonator, and if no voltage is applied to the EO element 7, the OPO excitation light is reflected by the polarizer 8 as s-polarized light to travel on the optical axis A, and a voltage is applied to the EO element 7. When applied, the OPO excitation light is converted into p-polarized light to form a polarizer 8.
Is transmitted and travels on the optical axis B, so that the wavelength control can be instantaneously switched on the order of ns, corresponding to several ns of the voltage rise time of a general electro-optical system. For example, in a certain type of laser radar using a plurality of wavelengths (such as a type that measures a distance by reflected light or a type that measures a gas distribution in the atmosphere by reflected light), oscillation occurs according to the characteristics of the object 15. Some wavelengths need to be switched in a very short time, and can be used as a light source of such a laser radar for wavelength switching.

【0058】又、EO素子7への印加電圧値に応じた角
度だけ直線偏光の偏光角を変化させるので、光軸Aと光
軸Bとに進むOPO励起光の比率を変化させることがで
き、波長λiaのアイドラ光と波長λibのアイドラ光との
出力比を極めて短時間に変化させることができる。
Further, since the polarization angle of the linearly polarized light is changed by an angle corresponding to the voltage applied to the EO element 7, the ratio of the OPO excitation light traveling to the optical axis A and the optical axis B can be changed. The output ratio between the idler light having the wavelength λia and the idler light having the wavelength λib can be changed in a very short time.

【0059】又、レーザレーダ装置全体もコンパクト化
できる。
Also, the entire laser radar device can be made compact.

【0060】[0060]

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、発
振波長を瞬時に切り替えることができる波長変換レーザ
装置を提供できる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a wavelength conversion laser device capable of instantaneously switching the oscillation wavelength.

【0061】又、本発明によれば、測定の対象物に応じ
て発振波長を瞬時に切り替えることができるレーザレー
ダ装置を提供できる。
Further, according to the present invention, it is possible to provide a laser radar device capable of instantaneously switching an oscillation wavelength according to an object to be measured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係わる波長変換レーザ装置を用いたレ
ーザレーダ装置の一実施の形態を示す構成図。
FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of a laser radar device using a wavelength conversion laser device according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:励起光発生用レーザ装置、 2:光パラメトリック発振光学系、 3:PPLN結晶、 4:OPO入射ミラー、 5:OPO出射ミラー、 6:光路可変光学系、 7:EO素子(電気光学素子)、 8,13:偏光子、 9,12:45°ミラー、 10,11:λ/2板、 14:光路制御手段、 15:対象物、 16:受光部、 17:EOドライバ制御系、 18:EOドライバ。 1: laser device for generating pump light, 2: optical parametric oscillation optical system, 3: PPLN crystal, 4: OPO incidence mirror, 5: OPO emission mirror, 6: variable optical path system, 7: EO element (electro-optical element) 8, 13: polarizer, 9, 12: 45 ° mirror, 10, 11: λ / 2 plate, 14: optical path control means, 15: object, 16: light receiving unit, 17: EO driver control system, 18: EO driver.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 励起光を発生する励起光発生源と、 この励起光発生源により発生した前記励起光の光路位置
によって発生する波長が異なる光パラメトリック発振光
学系と、 前記励起光発生源から発生した前記励起光の前記光パラ
メトリック発振光学系における透過光路位置を可変とす
る光路可変光学系と、を具備したことを特徴とする波長
変換レーザ装置。
An excitation light generating source for generating excitation light; an optical parametric oscillation optical system having a different wavelength depending on an optical path position of the excitation light generated by the excitation light generation source; A variable optical path system for changing a position of a transmitted light path of the excitation light in the optical parametric oscillation optical system.
【請求項2】 前記光パラメトリック発振光学系は、少
なくとも2つの部位に周期の異なる分極反転が生成され
た非線型光学結晶を有することを特徴とする請求項1記
載の波長変換レーザ装置。
2. The wavelength conversion laser device according to claim 1, wherein the optical parametric oscillation optical system has a nonlinear optical crystal in which polarization inversions having different periods are generated in at least two portions.
【請求項3】 前記非線型光学結晶としてLiNb
3、RbTiOAsO 、KTiOPOのうちいず
れかが用いられることを特徴とする請求項2記載の波長
変換レーザ装置。
3. The method according to claim 1, wherein the non-linear optical crystal is LiNb.
OThree, RbTiOAsO 4, KTiOPO4Out of
3. The wavelength according to claim 2, wherein said wavelength is used.
Conversion laser device.
【請求項4】 前記光路可変光学系は、前記励起光発生
源から発生した前記励起光を偏光し、この偏光に応じて
前記励起光の光路位置を変更するものであることを特徴
とする請求項1記載の波長変換レーザ装置。
4. The optical path variable optical system polarizes the excitation light generated from the excitation light generation source, and changes an optical path position of the excitation light according to the polarization. Item 2. A wavelength conversion laser device according to item 1.
【請求項5】 前記光路可変光学系は、前記励起光発生
源から発生した前記励起光をs偏光又はp偏光に変える
電気光学素子と、 この電気光学素子により偏光されたs偏光又はp偏光の
光路位置を変更する偏光子と、を有することを特徴とす
る請求項1記載の波長変換レーザ装置。
5. The variable optical path optical system, comprising: an electro-optical element for converting the excitation light generated from the excitation light source into s-polarized light or p-polarized light; and an s-polarized light or a p-polarized light polarized by the electro-optical element. The wavelength conversion laser device according to claim 1, further comprising: a polarizer that changes an optical path position.
【請求項6】 励起光を発生する励起光発生源と、 この励起光発生源により発生した前記励起光の光路によ
って発生する波長が異なる光パラメトリック発振光学系
と、 前記励起光発生源から発生した前記励起光の前記光パラ
メトリック発振光学系における透過光路位置を可変する
光路可変光学系と、 前記光パラメトリック発振光学系から出射されたレーザ
光の対象物からの光を受光し、この光に応じて前記光路
可変光学系での前記励起光の光路を可変制御する光路制
御手段と、を具備したことを特徴とするレーザレーダ装
置。
6. An excitation light source for generating excitation light, an optical parametric oscillation optical system having different wavelengths generated by an optical path of the excitation light generated by the excitation light source, and an excitation light generated from the excitation light generation source. An optical path variable optical system that varies a transmission optical path position of the excitation light in the optical parametric oscillation optical system, and receives light from an object of laser light emitted from the optical parametric oscillation optical system, and responds to the light. A laser path control unit that variably controls an optical path of the excitation light in the optical path variable optical system.
【請求項7】 励起光を発生する励起光発生源と、 少なくとも2つの部位に周期の異なる分極反転が生成さ
れた非線型光学結晶を有し、前記励起光発生源により発
生した前記励起光の前記非線型光学結晶における光路位
置によって発生する波長が異なる光パラメトリック発振
光学系と、 前記励起光発生源から発生した前記励起光の偏光角を変
える電気光学素子と、 この電気光学素子により偏光されたs偏光又はp偏光の
光路位置を変更して前記前記非線型光学結晶に導く偏光
子と、 前記光パラメトリック発振光学系から出射されたレーザ
光の対象物からの光を受光し、この光に応じて前記電気
光学素子への印加電圧を制御して前記s偏光又は前記p
偏光の偏光角を変えて前記s偏光と前記p偏光との出力
比を制御する光路制御手段と、を具備したことを特徴と
するレーザレーダ装置。
7. An excitation light generating source for generating excitation light, and a nonlinear optical crystal in which polarization inversions having different periods are generated in at least two portions, wherein the excitation light is generated by the excitation light generating source. An optical parametric oscillation optical system having a different wavelength generated depending on the optical path position in the nonlinear optical crystal; an electro-optic element for changing a polarization angle of the excitation light generated from the excitation light source; a polarizer that changes the optical path position of the s-polarized light or the p-polarized light and guides the nonlinear optical crystal to the nonlinear optical crystal; and receives light from an object of laser light emitted from the optical parametric oscillation optical system, and responds to the light. Controlling the voltage applied to the electro-optical element to adjust the s-polarized light or the p-polarized light.
A laser radar device comprising: an optical path control unit that controls an output ratio between the s-polarized light and the p-polarized light by changing a polarization angle of polarized light.
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