JP2000297092A - Production of organohalosilane - Google Patents

Production of organohalosilane

Info

Publication number
JP2000297092A
JP2000297092A JP11104694A JP10469499A JP2000297092A JP 2000297092 A JP2000297092 A JP 2000297092A JP 11104694 A JP11104694 A JP 11104694A JP 10469499 A JP10469499 A JP 10469499A JP 2000297092 A JP2000297092 A JP 2000297092A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metal silicon
reaction
silicon particles
oxygen
particles
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP11104694A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Mikio Aramata
幹夫 荒又
Akio Ohori
昭男 大堀
Katsuaki Furuya
勝昭 古谷
Susumu Ueno
進 上野
Norio Shinohara
紀夫 篠原
Tetsuya Inukai
鉄也 犬飼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority to JP11104694A priority Critical patent/JP2000297092A/en
Publication of JP2000297092A publication Critical patent/JP2000297092A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P20/00Technologies relating to chemical industry
    • Y02P20/50Improvements relating to the production of bulk chemicals
    • Y02P20/52Improvements relating to the production of bulk chemicals using catalysts, e.g. selective catalysts

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To readily, surely and selectively use active metal silicon particles in the Rochow reaction and produce the subject compound by reacting the specific metal silicon particles with an oreganohalide in the presence of a copper catalyst. SOLUTION: (A) Metal silicon particles having <=0.3 wt.%, preferably <=0.25 wt.%, more preferably <=0.2 wt.% amount of surface oxygen which is a difference of oxygen concentrations obtained by respectively analyzing the oxygen in metals of the metal silicon particles and small lumps of a metal silicon raw material for obtaining the metal silicon particles by pulverization and preferably having <=0.01 g.oxygen/m2.Si surface area and 10 μm to 10 mm average particle diameter are reacted with (B) an organohalide in the presence of (C) a copper catalyst to produce the objective compound. The Rockow reaction is a reaction for reacting an alkyl halide such as methyl chloride or an aryl halide such as a chlorinated benzene with the metal silicon in the presence of the copper catalyst and a promoter and affording an organochlorosilane.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ロコー(Roch
ow)反応によるオルガノハロシランの製造方法に関す
る。
The present invention relates to a Roch (Roch)
ow) A method for producing an organohalosilane by a reaction.

【0002】[0002]

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】メチル
クロロシラン等のオルガノハロシランの合成は、工業的
には、ハロゲン化アルキルやハロゲン化フェニル等の有
機ハロゲン化物と金属珪素粒子との銅触媒及び適当な助
触媒を添加した混合触媒の存在下で直接反応させる、い
わゆるRochow反応によって250〜500℃で行
われている。この反応において、メチルクロロシラン合
成においては最も需要の多いジメチルジクロロシランの
選択率を上げること、またフェニルシラン合成にあって
は需要の多いジフェニルジクロロシラン、フェニルトリ
クロロシランの需要に見あった組成で得つつ、反応速度
を高く保つことがキーテクノロジーである。
2. Description of the Related Art The synthesis of organohalosilanes such as methylchlorosilane is industrially carried out by using a copper catalyst comprising an organic halide such as an alkyl halide or a phenyl halide and metal silicon particles. The reaction is carried out at 250 to 500 ° C. by a so-called Rochow reaction in which a reaction is directly carried out in the presence of a mixed catalyst to which an appropriate promoter has been added. In this reaction, the selectivity of dimethyldichlorosilane, which is the most demanded in the synthesis of methylchlorosilane, should be increased, and in the synthesis of phenylsilane, a composition that meets the demands of diphenyldichlorosilane and phenyltrichlorosilane, which are in high demand, can be obtained. Meanwhile, keeping the reaction speed high is the key technology.

【0003】更に、この反応は、反応が定常状態になる
までの賦活に要する時間が長く、その一方で定常状態は
比較的短く、時間と共に触体活性が低下することによ
り、ジオルガノジクロロシランの収率が低下し、例えば
メチルシラン合成にあっては、副反応によるジシラン等
の高留分やメチルトリクロロシラン等が増加し、反応器
内の触体交換が必要となるので、この賦活時間の短縮も
大きな問題である。Rochow反応は、流動床、撹拌
流動床での反応が主に用いられているために、流動床の
形成に適した金属珪素粒子の粒度に関しては種々の提案
がなされている。
Further, this reaction requires a long time for activation until the reaction reaches a steady state, while the steady state is relatively short, and the activity of the diorganodichlorosilane is reduced by the reduction of the contact activity with time. The yield decreases, for example, in the synthesis of methylsilane, high fractions such as disilane and methyltrichlorosilane due to side reactions increase, and it is necessary to replace the contact body in the reactor. Is also a big problem. Since the Rochow reaction is mainly performed in a fluidized bed or a stirred fluidized bed, various proposals have been made regarding the particle size of metal silicon particles suitable for forming a fluidized bed.

【0004】この反応では、原材料費の中に占める金属
珪素のコストが高いため、金属珪素の反応率を高めると
同時に、通常、主成分のジオルガノジクロロシランのほ
かに多種類の副生成物が副生するが、この副生成物の生
成比率をオルガノクロロシランの需給バランスに沿った
反応条件で制御することが重要である。この反応は、工
業的には通常、反応系の中に触体を追加する方式で流動
床、振動流動床、撹拌流動床等の反応器を用いて行って
いるが、反応自体は金属珪素粒子表面で起こり、かつ触
媒系も固体であるという極めて複雑な気−固不均一系の
反応であるために、この機構は必ずしも明らかになって
いない。そして、使用する金属珪素粒子の性状(産地、
メーカー、製造装置、破砕方法等の因子)によって、こ
の反応の成績が大きく左右されることは経験的に知られ
ており、これについての提案もいくつか提出されている
が定説はなく、新規の金属珪素にあっては、予め試験を
行った後に本使用の可否を決めている状態である。この
ように、反応に影響を及ぼす金属珪素の因子については
明らかになっていないために、この点が極く最近でも金
属珪素の学会では活発に議論されている(例えば、Si
licon forthe Chemical Ind
ustry IV:Geirenger,Norwa
y,June 3−5,1998)。
In this reaction, the cost of metal silicon in the raw material cost is high, so that the reaction rate of metal silicon is increased, and at the same time, various types of by-products are usually generated in addition to the main component diorganodichlorosilane. As a by-product, it is important to control the production ratio of this by-product under reaction conditions that are in line with the supply and demand balance of organochlorosilane. This reaction is usually carried out industrially using a reactor such as a fluidized bed, a vibrating fluidized bed, or a stirred fluidized bed in a manner in which a contact body is added to the reaction system. This mechanism is not always clear because it is a very complex gas-solid heterogeneous reaction that occurs at the surface and that the catalyst system is also a solid. And the properties of the metal silicon particles to be used (production area,
It is empirically known that the performance of this reaction is greatly affected by factors such as the manufacturer, the production equipment, and the crushing method) .Several proposals have been submitted, but there is no established theory. In the case of metallic silicon, it is in a state in which a test is performed in advance to determine whether or not this use is possible. As described above, since the metal silicon factors affecting the reaction have not been clarified, this point has been very actively discussed recently in the metal silicon society (for example, Si
silicone forthe Chemical Ind
industry IV: Geiranger, Norwa
y, June 3-5, 1998).

【0005】重要なことは、反応物である金属珪素粒子
の反応活性度であるが、これについてもいろいろな角度
から検討されており、この点につき様々な提案(例え
ば、金属珪素そのものの特性)がなされている。更に具
体的に説明すると、金属珪素中に不純物として存在する
アルミニウムは、Rochow反応の助触媒として有効
であることは既に公知のことであるが、同レベルの量で
も活性なものとそうでないものがあるために、H.M.
Rongらは、金属珪素中に不純物として存在するアル
ミニウムの中の活性なもののみが必要であるとして、そ
の測定法を提示してその使用を奨めている(Proce
eding Silicon for the Che
mical Industry,p.69(199
8))。また、特開平6−234776号公報において
は、金属珪素中の不純物である金属間化合物の分散状態
の定量法及び反応性制御のための選択の基準を開示して
おり、これによると、金属珪素塊を切断し、表面を鏡面
仕上げして顕微鏡で微視的にその形態を観察し、その構
造因子をQF値として数値化し、この値が18〜60で
ある金属珪素を使用することが最も反応性が高く、好ま
しいとしている。更に、使用触体の形態から、溶融した
金属珪素に銅を加え評価する方法も提案されている(米
国特許第5281739号公報)。
What is important is the reaction activity of the metal silicon particles as a reactant. This has also been studied from various angles, and various proposals have been made (for example, characteristics of the metal silicon itself). Has been made. More specifically, it is already known that aluminum present as an impurity in metallic silicon is effective as a co-catalyst for the Rochow reaction. To be there, H. M.
Rong et al. Suggested that only the active aluminum among the impurities present in the metallic silicon was needed, and suggested a method of measuring it and recommended its use (Procee).
eding Silicon for the Che
medical Industry, p. 69 (199
8)). Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-234776 discloses a method for quantifying a dispersion state of an intermetallic compound as an impurity in metal silicon and a selection criterion for controlling reactivity. The lump is cut, the surface is mirror-finished, the form is observed microscopically with a microscope, the structure factor is quantified as a QF value, and the most reactive is to use metal silicon having a value of 18 to 60. It is highly desirable and preferred. Furthermore, there has been proposed a method of adding copper to molten metal silicon and evaluating it based on the form of the used touch body (US Pat. No. 5,281,739).

【0006】しかしながら、本発明者等がこれらの追試
をした結果、いずれもこれらの方法によっては判別でき
ず、むしろこれらはいずれも特殊な限られた系において
のみ有効であることがわかり、一般的な方法として採用
できるものではなかった。
However, as a result of the present inventors performing these additional tests, it was found that none of them could be distinguished by these methods, but rather that they were all effective only in special limited systems. It could not be adopted as an effective method.

【0007】一般に、金属珪素は表面が酸化されてお
り、安定な酸化珪素で覆われているので、一定の厚さ以
上は内部の酸化が進まず、安定に作られている。しか
し、珪素自体は酸化性が非常に高く、空気中で酸化膜を
有しない金属珪素はないことは半導体用シリコンをみて
もわかるように公知のことである。Rochow反応用
の金属珪素粒子表面は、多少なりともある程度の酸化膜
があって、これがRochow反応に影響を及ぼすこと
がわかっている。メチルシラン反応における金属珪素の
酸化膜と反応性・選択性について、G.J.Hutch
ingらの報告(Silicon for the C
hemical Industry,Geirenge
r,Norway,p.85−98(1992))や
G.Larozeの報告(Silicon for t
he Chemical Industry II,L
eon,Norway,p.121−127(199
4))があり、酸化膜の反応性及び選択率に対する影響
について述べてはいるが、これらは金属珪素粒子につい
て、酸化膜をXPSという局所分析によって測定してお
り、また、J.L.Falconerら(J.Cata
l.vol.159,p.31−41(1996))
は、シリコンウェーハを用いて、酸化膜、結晶の方位と
反応性について論じているが、実際のRochow反応
用金属珪素粒子表面には当てはまらず、いずれも測定法
を確立した上で工業的に用いる金属珪素粒子を規定する
ものではなかった。
In general, the surface of metal silicon is oxidized and is covered with stable silicon oxide, so that the internal oxidation does not proceed beyond a certain thickness, and the metal silicon is made stable. However, silicon itself has a very high oxidizing property, and there is no metallic silicon having no oxide film in air, as is known from silicon for semiconductors. It has been known that the surface of the metal silicon particles for the Rochow reaction has an oxide film to some extent, which affects the Rochow reaction. Regarding the reactivity and selectivity of an oxide film of metal silicon in a methylsilane reaction, G.S. J. Hutch
ing's report (Silicon for the C)
chemical Industry, Geirenge
r, Norway, p. 85-98 (1992)); Laroze's report (Silicon fort)
he Chemical Industry II, L
eon, Norway, p. 121-127 (199
4)), which describes the effect on the reactivity and selectivity of the oxide film. However, these measurements are performed on metal silicon particles by local analysis of the oxide film by XPS. L. Falconer et al. (J. Cata.
l. vol. 159, p. 31-41 (1996))
Discusses the oxide film, crystal orientation and reactivity using a silicon wafer, but does not apply to the actual surface of the metal silicon particles for the Rochow reaction. It did not specify metal silicon particles.

【0008】このように、従来提案されている方法は、
必ずしも工業用として一般的なものではなく、他の因子
を完全に同一にした条件下で、これらの判断基準によっ
て判別した金属珪素粒子について実際にRochow反
応を実施した場合、反応の成績にばらつきが大きかっ
た。このように、従来提案されている金属珪素粒子の性
状規定は特殊な反応系において適用できるものであり、
工業的に実用化し得る活性な金属珪素粒子とその評価法
が求め続けられてきた。
As described above, the conventionally proposed method is as follows.
It is not necessarily general for industrial use, and when the Rochow reaction is actually performed on metal silicon particles determined by these criteria under conditions where the other factors are completely the same, the results of the reaction vary. It was big. As described above, the conventionally proposed property specification of metal silicon particles can be applied in a special reaction system,
Active metal silicon particles that can be industrially practically used and methods for evaluating the same have been continuously demanded.

【0009】本発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、このようなRochow反応において、活性な金属
珪素粒子を容易且つ確実に選択使用することができるオ
ルガノハロシランの製造方法を提供することを目的とす
る。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to provide a method for producing an organohalosilane in which active metal silicon particles can be easily and reliably selected and used in such a Rochow reaction. Aim.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】本
発明者等は、上記目的を達成するため鋭意検討を行った
結果、Rochow反応で用いる金属珪素粒子の活性に
ついて、表面酸素量として測定される金属珪素表面に形
成している酸素膜の厚さ、多少が大きく関わっているこ
と、この場合、この表面酸素量の測定法として、金属珪
素粒子と、この金属珪素粒子を得るために粉砕すべき金
属珪素原料の小塊とを、金属中酸素分析法(不活性ガス
融解炉酸素分別法)により別々に測定し、その差を表面
酸素量とする測定法が有効であり、こうして得られた表
面酸素量が0.3重量%以下である金属珪素粒子を選択
使用するようにすれば、有機ハロゲン化物と金属珪素粉
末を直接作用させて対応するオルガノハロシランを合成
するために必要な高い活性を有する金属珪素粒子を確実
に選定することができ、当該反応においてネックであっ
た触体の反応の食い付きと称せられる定常状態になるま
での反応賦活時間を短縮し、更に定常状態にあっては反
応速度を高めても選択性を改善でき、結果として、珪素
の有効利用率を高めることができ、また、金属珪素につ
いては、それを粉砕した金属珪素粒子につき実用上予め
反応試験を別に実施して、その反応活性度を評価した後
に工業的に使用していたが、このような迂回プロセス問
題も解決することができることを知見したものである。
Means for Solving the Problems and Embodiments of the Invention The present inventors have conducted intensive studies to achieve the above object, and as a result, measured the activity of metal silicon particles used in the Rochow reaction as the amount of surface oxygen. The thickness of the oxygen film formed on the surface of the metal silicon to be formed is largely related to the thickness of the oxygen film. In this case, as a method of measuring the amount of surface oxygen, metal silicon particles and pulverization to obtain the metal silicon particles are used. A small mass of the metallic silicon raw material to be measured is separately measured by an oxygen in metal analysis method (inert gas melting furnace oxygen fractionation method), and a measurement method in which the difference is determined as the surface oxygen content is effective. If metal silicon particles having a surface oxygen content of 0.3% by weight or less are selected and used, an organic halide and metal silicon powder are required to directly act to synthesize the corresponding organohalosilane. Metal silicon particles having a high activity can be reliably selected, and the reaction activation time until a steady state, which is referred to as a bite of the reaction of the touch body which was a bottleneck in the reaction, is reduced, and furthermore, the steady state is achieved. Therefore, even if the reaction rate is increased, the selectivity can be improved, and as a result, the effective utilization rate of silicon can be increased. Although the method was separately used and industrially used after evaluating its reaction activity, it has been found that such a bypass process problem can be solved.

【0011】従って、本発明は、平均粒径が10μm〜
10mmの金属珪素粒子を銅触媒の存在下にオルガノハ
ライドと反応させてオルガノハロシランを製造する方法
において、上記金属珪素粒子として、この金属珪素粒子
及び粉砕してこの金属珪素粒子を得るための金属珪素原
料の小塊をそれぞれ金属中酸素分析することにより得ら
れた酸素濃度の差である表面酸素量が0.3重量%以下
である金属珪素粒子を選択使用することを特徴とするオ
ルガノハロシランの製造方法を提供する。この場合、更
に、金属珪素粒子が0.01g・酸素/m2・Si表面
積以下を有するものを選択使用することができる。
Accordingly, the present invention provides a method for producing a fine powder having an average particle diameter of 10 μm or less.
In a method of producing organohalosilane by reacting 10 mm of metal silicon particles with an organohalide in the presence of a copper catalyst, the metal silicon particles are used as the metal silicon particles and a metal for pulverizing the metal silicon particles to obtain the metal silicon particles. An organohalosilane characterized by selectively using metal silicon particles having a surface oxygen content of 0.3% by weight or less, which is a difference in oxygen concentration obtained by analyzing a small lump of a silicon raw material in oxygen in a metal. And a method for producing the same. In this case, it is possible to select and use a metal silicon particle having a surface area of 0.01 g · oxygen / m 2 · Si or less.

【0012】本発明によれば、従来、塩化メチル等ハロ
ゲン化アルキル又は塩化ベンゼン等ハロゲン化アリール
と金属珪素の銅触媒及び助触媒存在下におけるオルガノ
クロロシラン合成反応(いわゆるRochow反応)に
おいて、長い期間を要する定常状態に至るまでの賦活時
間(誘導期)の短縮及びシラン生成の反応速度や選択率
は重要な課題であり、これを解決する方法は、触媒組成
の改善と共に、更に金属珪素粒子そのものの改善が必要
であったが、本発明は、シラン反応の機構を解明するこ
とにより、金属珪素粒子を最適化するもので、これによ
りRochow反応のこれら問題点を解決し、特に望ま
しいジオルガノジハロシランの選択率を高めることが可
能となり、ひいては反応成績の向上を達成することがで
きる。更に、ばらつきの大きな先行反応試験を省略で
き、Rochow反応を定量的に管理することが可能と
なる。
According to the present invention, a long period of time has conventionally been required in the organochlorosilane synthesis reaction (so-called Rochow reaction) of an alkyl halide such as methyl chloride or an aryl halide such as benzene chloride with a metal catalyst in the presence of a copper catalyst and a cocatalyst. The reduction of the activation time (induction period) to the required steady state and the reaction rate and selectivity of silane formation are important issues, and a method for solving this problem is to improve the catalyst composition and to further reduce the metal silicon particles themselves. Although an improvement was necessary, the present invention optimizes the metal silicon particles by elucidating the mechanism of the silane reaction, thereby solving these problems of the Rochow reaction, and making a particularly desirable diorganodihalo. It is possible to increase the selectivity of silane, and it is possible to achieve an improvement in the reaction result. In addition, it is possible to omit a precedent reaction test having a large variation, and it is possible to quantitatively manage the Rochow reaction.

【0013】以下、本発明につき更に詳しく説明する。
本発明は、金属珪素粒子にハロゲン化アルキル、ハロゲ
ン化アリール等のオルガノハライド(有機ハロゲン化
物)を銅触媒存在下で作用させて、一般式(1) RmnSiX4-m-n …(1) (式中、Rは炭素数1〜4のアルキル基又はフェニル基
等のアリール基を示し、Xは塩素、臭素等のハロゲン原
子を示し、mは1,2又は3、nは0,1又は2である
が、m+nは4以下の整数である。)で示されるオルガ
ノハロシランを合成する、いわゆるRochow反応に
より使用される反応物である金属珪素粒子に関するもの
で、この反応のネックであったところの反応が定常反応
に至るまでの賦活に要する時間、即ち誘導期を短縮し、
定常状態における高活性を持続できる活性な金属珪素粒
子の選定、その活性度評価法とRochow反応におけ
る当該粒子の使用に関するものである。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail.
In the present invention, an organohalide (organic halide) such as an alkyl halide or an aryl halide is allowed to act on metal silicon particles in the presence of a copper catalyst to obtain a compound represented by the general formula (1): R m H n SiX 4-mn (1) (Wherein, R represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an aryl group such as a phenyl group, X represents a halogen atom such as chlorine or bromine, m represents 1, 2 or 3, and n represents 0, 1). Or 2, but m + n is an integer of 4 or less.) This is related to metal silicon particles which are a reactant used in a so-called Rochow reaction for synthesizing an organohalosilane represented by the following formula: Time required for activation until the reaction reaches a steady state reaction, that is, shortening the induction period,
The present invention relates to selection of active metal silicon particles capable of maintaining high activity in a steady state, a method for evaluating the activity thereof, and use of the particles in a Rochow reaction.

【0014】更に詳述すると、金属珪素は、珪石を炭材
と共に高温のアーク炉で2500℃以上の温度で還元し
て製造されており、大きな電気エネルギーが必要で、必
然的にコストが高い材料である。それ故に、これを原料
として作られるシリコーン樹脂の先駆体であるオルガノ
ハロシランのコストは、この高価である金属珪素のシラ
ンへの転化率と共に(この反応では副反応により種々の
副生シランが生成するので)、需要バランスに見あった
有効なシランの生成率(即ち、選択率)、更に工業的プ
ロセスとして重要視される反応速度の大小によって極め
て左右される。従って、このような観点より、シリコー
ンメーカーでは生成物の選択率及び反応速度を一括して
反応性と称しており、自社製造装置で高い反応性を発揮
できる金属珪素を求めている。一方、金属珪素メーカー
においても、このRochow反応及びRochow反
応に近似している半導体原料であるトリクロロシラン製
造用金属珪素については、全金属珪素消費量の半分以上
がこれらの産業で使用されているために、実際に反応の
シミュレーションを行い、反応性が高く選択率もよい金
属珪素を創製するための研究を、金属珪素メーカーの立
場より、不純物量、不純物の形態、製造方法、冷却方法
等いろいろな角度から改善研究を行っているのが実情で
ある。このようなケミカル用金属珪素についての研究の
成果は、二年に一回の間隔でノルウェーで定期的に開催
されている金属珪素についての国際学会“Silico
n for Chemical Industry”で
報告され、情報交換されているが、現在のところ、Ro
chow反応自体も明確に解明されておらず、金属珪素
の評価も各社各様であるのが現状である。
More specifically, metallic silicon is produced by reducing silica together with a carbonaceous material in a high-temperature arc furnace at a temperature of 2500 ° C. or more, and requires a large amount of electric energy and is a material that is inevitably expensive. It is. Therefore, the cost of organohalosilanes, which are precursors of silicone resins made from this material, is dependent on the conversion rate of this expensive metallic silicon to silane (this reaction produces various by-product silanes by side reactions). Therefore, it depends greatly on the production rate (ie, selectivity) of the effective silane in view of the demand balance, and furthermore, the magnitude of the reaction rate which is regarded as important as an industrial process. Therefore, from such a viewpoint, the silicone maker collectively refers to the selectivity and the reaction rate of the product as the reactivity, and demands metal silicon that can exhibit high reactivity with its own manufacturing apparatus. On the other hand, metal silicon manufacturers also use the Rochow reaction and metallic silicon for producing trichlorosilane, which is a semiconductor material similar to the Rochow reaction, because more than half of the total metal silicon consumption is used in these industries. In addition, we actually simulated the reaction and conducted research on the creation of metallic silicon with high reactivity and good selectivity. From the viewpoint of the metallic silicon manufacturer, various amounts of impurities, impurity forms, manufacturing methods, cooling methods, etc. The fact is that we are conducting improvement research from an angle. The results of this research on metallic silicon for chemicals are based on the “Silico International Conference on Metallic Silicon, which is held regularly in Norway once every two years.
n for Chemical Industry ”, and information is exchanged.
The chow reaction itself has not been clearly elucidated, and metal silicon has been evaluated by various companies at present.

【0015】Rochow反応は、触媒を介して、高温
で固体である金属珪素と高温で気体であるオルガノハラ
イドとの気−固不均一系反応であり、その反応性は金属
珪素の結晶としての性質によるところが大きいことが予
想されることから、特開平6−234776号公報の提
案であるところの金属珪素中の不純物である金属間化合
物の分散状態の定量法及び反応性制御のための選択の基
準は、一見理にかなっており、参考となる。この方法に
あっては、金属珪素塊を切断し、表面を鏡面仕上げし、
その面について顕微鏡で微視的に金属学的な形態の観察
を行い、その構造因子をQF値として数値化し、この値
が18〜60である金属珪素を使用することが最も反応
性が高く好ましいとしている。
The Rochow reaction is a gas-solid heterogeneous reaction between metallic silicon which is a solid at a high temperature and organohalide which is a gas at a high temperature via a catalyst, and its reactivity is a property of metallic silicon as a crystal. Therefore, the method of quantifying the dispersion state of the intermetallic compound, which is an impurity in metallic silicon, which is proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-234776, and the selection criteria for controlling the reactivity are proposed. Makes sense at first glance and is helpful. In this method, the metal silicon block is cut, the surface is mirror-finished,
The surface is microscopically observed with a microscope for a metallurgical morphology, the structure factor is quantified as a QF value, and the use of metallic silicon having a value of 18 to 60 is most highly reactive and preferable. And

【0016】しかし、通常の工業用金属珪素について、
本発明者等が結晶子の大きさを解析した結果、珪素は結
晶性が高いため、工業用グレードの金属珪素の結晶子は
mmオーダーであることがわかった。一方、実際に反応
に用いられる金属珪素粒子は高々100μm程度であ
り、このことからRochow反応に用いられる金属珪
素粒子は結晶子が数個以下であることがわかった。即
ち、これらにより、顕微鏡的に観察してみられる金属珪
素中の不純物である金属間化合物の形態は、必ずしも反
応性を左右する金属珪素の結晶性を表してはいないこと
がわかった。
However, for ordinary industrial metal silicon,
As a result of analyzing the size of crystallites by the present inventors, it has been found that crystallites of industrial grade metallic silicon are on the order of mm because silicon has high crystallinity. On the other hand, the metal silicon particles actually used for the reaction are at most about 100 μm, which indicates that the metal silicon particles used for the Rochow reaction have several crystallites or less. That is, from these, it was found that the form of the intermetallic compound as an impurity in the metal silicon observed by microscopy does not necessarily represent the crystallinity of the metal silicon which affects the reactivity.

【0017】また、このゾーンの部分では結晶欠陥が存
在するので、金属珪素の粉砕によりこの不純物を含んだ
部分は選択的に表面に出るようになるので、H.M.R
ongらがProceeding Silicon f
or the Chemical Industry,
p.69(1998)等で提唱している活性なアルミニ
ウム説は、その測定法(塩酸水溶液での抽出量によって
測定)より、金属珪素粒子の表面に存在しているアルミ
ニウムが活性であることを示唆しているとしてよい。し
かし、この部分は粉砕により選択的に表面に出る上に、
抽出量はアルミニウムの存在量に比例し、抽出率はほぼ
一定となり、このH.M.Rongらの方法を当該反応
に当てはめるわけにはいかない。
Further, since crystal defects are present in this zone portion, the portion containing the impurities selectively comes out to the surface by pulverization of the metal silicon. M. R
ong et al., Proceeding Silicon f
or the Chemical Industry,
p. 69 (1998) suggests that the aluminum present on the surface of metal silicon particles is active, based on the measurement method (measured by the extraction amount with an aqueous hydrochloric acid solution). Good. However, this part selectively appears on the surface by grinding,
The extraction amount is proportional to the abundance of aluminum, and the extraction rate is almost constant. M. Rong et al. Cannot be applied to the reaction.

【0018】前述の通り、Rochow反応は、高温で
気体であるオルガノハライドと高温でも固体である金属
珪素粒子との気−固不均一系反応であるので、G.La
rozeの報告(Silicon for the C
hemical Industry II,Leon,
Norway,p.121−127(1994))や
J.L.Falconerらの報告(J.Catal.
vol.159,p.31−41(1996))からわ
かるように、その反応性が金属珪素粒子の結晶方位、酸
化膜等の表面状態に大きく関わっていることは十分に予
想されることである。しかし、J.L.Falcone
rらの報告を詳細に調べると、実は半導体用シリコンを
用いてメチルシラン反応における金属珪素の酸化膜と選
択性について述べているのみであり、実際の工業的な金
属珪素粒子に当てはめるのには無理がある。また、G.
Larozeの報告では具体的な測定方法については明
らかにしていない。
As described above, the Rochow reaction is a gas-solid heterogeneous reaction between organohalide which is a gas at a high temperature and metal silicon particles which are a solid at a high temperature. La
roze's report (Silicon for the C)
chemical Industry II, Leon,
Norway, p. 121-127 (1994)). L. Falconer et al. (J. Catal.
vol. 159, p. 31-41 (1996)), it is sufficiently expected that the reactivity greatly depends on the crystal orientation of the metal silicon particles and the surface state of the oxide film and the like. However, J. L. Falcone
A detailed examination of the report by R. et al., in fact, only describes the selectivity and selectivity of metal silicon oxide film in the methylsilane reaction using silicon for semiconductors, and it is impossible to apply it to actual industrial metal silicon particles. There is. In addition, G.
Laroze's report does not clarify the specific measurement method.

【0019】珪素は空気中での反応性が高いので、金属
珪素表面には空気との接触により酸化膜が形成されてい
る。一般に、金属珪素塊の粉砕、輸送、貯蔵等は、粉砕
中での粉塵爆発の危険性を回避するために、不活性ガス
中又は酸素濃度の低い雰囲気下で行っているが、必ずし
も完全に酸素を断っているわけではなく、表面には必ず
酸化膜が存在しているのが実状である。そしてまた、保
管条件によっても反応性が異なることも経験的に知られ
ている。
Since silicon has high reactivity in air, an oxide film is formed on the surface of metal silicon by contact with air. Generally, the grinding, transport, storage, etc. of the metal silicon lump are performed in an inert gas or an atmosphere with a low oxygen concentration in order to avoid the risk of dust explosion during the grinding, but it is not necessary to completely remove the oxygen. The fact is that an oxide film always exists on the surface. It is also empirically known that the reactivity differs depending on the storage conditions.

【0020】一方、工業用金属珪素製造工程におては、
アルミニウム、カルシウム等の不純物を減少させるため
に、レードルと呼ばれるタップ容器にタップ後、溶融状
態で下方より酸素又は空気を吹き込んで、これら不純物
を酸化物として除去する精製工程があるが、この工程に
おいて珪素も若干酸化するが、この場合、生成する一酸
化珪素は蒸気圧が高いこと、更に、前述の通り珪素は結
晶性が高いので、酸化珪素(一酸化珪素、二酸化珪素)
は冷却による結晶成長に伴いスラグとして排除される故
に、金属珪素中には酸素は殆ど存在しない。
On the other hand, in the production process of silicon metal for industrial use,
In order to reduce impurities such as aluminum and calcium, after tapping into a tap container called a ladle, oxygen or air is blown from below in a molten state to remove these impurities as oxides. Although silicon is also slightly oxidized, in this case, the generated silicon monoxide has a high vapor pressure, and as described above, silicon has high crystallinity, so that silicon oxide (silicon monoxide, silicon dioxide)
Is eliminated as slag with the crystal growth by cooling, so that there is almost no oxygen in the metallic silicon.

【0021】従って、金属珪素粒子の不活性ガス溶融炉
酸素分析法により測定される酸素の大半は、その表面に
存在する酸素であることが本発明者等によりわかった
(表1)。もちろん、製法によりスラグの小粒子を内部
に含む場合もあり得るので、その確認は分析上必要であ
る。
Therefore, the present inventors have found that most of the oxygen measured by the oxygen analysis method in an inert gas melting furnace for metallic silicon particles is oxygen present on the surface thereof (Table 1). Of course, small particles of slag may be contained inside depending on the manufacturing method, so that confirmation is necessary for analysis.

【0022】以上のような検討の結果、金属珪素粒子の
表面酸素は、金属珪素粒子及びその小塊(当該粒子を得
るために粉砕する金属珪素原料の小塊)それぞれにつ
き、不活性ガス融解炉酸素分析装置(一般的に金属中酸
素分析装置と称せられており、例えば、堀場製作所製E
MGA−650がある)によって酸素量を測定し、この
差を表面酸素量とする。更に、この値を金属珪素粒子の
表面積で除して、単位面積当たりの酸素量を算出するこ
とが有効であることを見出したものである。
As a result of the above examinations, the surface oxygen of the metal silicon particles was determined to be higher in the inert gas melting furnace for each of the metal silicon particles and the small lumps (the small lumps of the metal silicon raw material crushed to obtain the particles). Oxygen analyzer (generally referred to as an oxygen analyzer in metal, for example, E
MGA-650), and the difference is defined as the surface oxygen content. Further, they have found that it is effective to calculate the amount of oxygen per unit area by dividing this value by the surface area of the metal silicon particles.

【0023】試料について更に詳細に説明すると、金属
珪素粒子は酸化性が高いので、不活性気流中で試料採取
を行い、試料秤取等、測定時のハンドリングも不活性ガ
スで充満したグローブボックス中で行う。試料の装置へ
の装着時も速やかに行い、空気との接触をできるかぎり
避ける。金属珪素小塊は、粗砕した金属珪素塊の中から
20〜100mgの小塊を採取し、その小塊をそのまま
測定する。この差を計算することにより、実際にRoc
how反応に供せられる金属珪素粒子表面酸素量を測定
する。
The sample will be described in more detail. Since metal silicon particles have a high oxidizing property, the sample is collected in an inert gas stream, and the handling during measurement, such as sample weighing, is performed in a glove box filled with an inert gas. Do with. When mounting the sample on the device, perform the process immediately and avoid contact with air as much as possible. As the metal silicon small lump, a small lump of 20 to 100 mg is collected from the crushed metal silicon lump, and the small lump is measured as it is. By calculating this difference, it is actually Roc
The amount of oxygen on the surface of the metal silicon particles subjected to the how reaction is measured.

【0024】本発明の特徴は、金属珪素粒子表面の酸化
膜量を測定することによる金属珪素の選定であり、種々
の金属珪素について比較した結果、平均粒径が10μm
〜10mmの金属珪素粒子であって、その表面に存在す
る上記測定による酸素量が0.3重量%以下であり、好
ましくは0.01g・酸素/m2・Si表面積以下であ
ることが必須であった。即ち、この評価において、金属
珪素粒子表面に存在する酸素量を金属珪素粒子及びその
小塊を金属中酸素分析法(不活性ガス融解炉酸素分析
法)により別々に測定した後に、その差を表面酸素量と
する測定方法が適切であり、これにより、予め別に反応
させて試験する必要もなくなり、定量的な管理も可能に
なるものである。
The feature of the present invention is the selection of metallic silicon by measuring the amount of oxide film on the surface of metallic silicon particles. As a result of comparison of various metallic silicon, the average particle diameter is 10 μm.
It is a metal silicon particle of 10 to 10 mm, and the amount of oxygen present on the surface by the above measurement is 0.3% by weight or less, preferably 0.01 g · oxygen / m 2 · Si surface area or less. there were. That is, in this evaluation, the amount of oxygen present on the surface of the metal silicon particles was measured separately for the metal silicon particles and the small lumps thereof by an oxygen-in-metal analysis method (inert gas melting furnace oxygen analysis method). A method for measuring the amount of oxygen is appropriate, which eliminates the need for a separate reaction in advance for testing and enables quantitative management.

【0025】以上のように、本発明は、上記評価法によ
る表面酸素量が0.3重量%以下、好ましくは0.25
重量%以下、更に好ましくは0.2重量%以下の金属珪
素粒子を選定するものである。この場合、表面酸素量の
下限は特に制限されるものではない。また更に、上記金
属珪素粒子の選定基準としては0.01g・酸素/m 2
・Si表面積以下、特に0.005g・酸素/m2・S
i表面積以下、とりわけ0.003g・酸素/m2・S
i表面積未満であることがよい。
As described above, the present invention is based on the above evaluation method.
0.3% by weight or less, preferably 0.25% by weight
Wt% or less, more preferably 0.2 wt% or less
Elementary particles are selected. In this case, the surface oxygen content
The lower limit is not particularly limited. Furthermore, the above gold
The criteria for selection of the silicon metal particles are 0.01 g · oxygen / m Two
-Si surface area or less, especially 0.005 g-oxygen / mTwo・ S
i surface area or less, especially 0.003 g · oxygen / mTwo・ S
It may be less than the i-surface area.

【0026】本発明のオルガノハロシランは、上記金属
珪素粒子を用いる以外は、公知の方法及び条件を採用し
て行うことができる。例えば、銅触媒、助触媒として
は、公知のものを用いることができ、有機ハロゲン化物
としては、塩化メチル、塩化エチル、塩化フェニル等、
製造すべきオルガノハロシランに応じたアルキル基、ア
リール基をもつハロゲン化アルキル、ハロゲン化アリー
ルを用いることができ、本発明では例えば上記式(1)
で示されるオルガノハロシラン、特にm=2,n=0の
ジオルガノジハロシランを高収率で製造することができ
る。
The organohalosilane of the present invention can be produced by using known methods and conditions except that the above-mentioned metal silicon particles are used. For example, as the copper catalyst and co-catalyst, known ones can be used, and as the organic halide, methyl chloride, ethyl chloride, phenyl chloride and the like,
Alkyl halides and aryl halides having an alkyl group and an aryl group according to the organohalosilane to be produced can be used. In the present invention, for example, the above formula (1)
Can be produced at a high yield, especially a diorganodihalosilane of m = 2 and n = 0.

【0027】なお、上記銅触媒の添加量は、金属珪素1
00重量部に対し0.1〜10重量部とすることができ
る。また、この銅触媒には公知の各種助触媒を加えるこ
とができる。
The amount of the copper catalyst to be added is as follows.
The amount can be 0.1 to 10 parts by weight based on 00 parts by weight. Further, various known cocatalysts can be added to the copper catalyst.

【0028】図1は、オルガノハロシランの製造装置の
一例を示し、1は流動床反応器であり、その下部に原料
供給管2を介して原料供給槽3が連結しており、これか
ら反応器1の下部に金属珪素及び上記銅触媒又は銅触媒
と助触媒との混合触媒が導入される。また、4は加熱器
5を介装する原料有機ハロゲン化物管であり、反応器1
の底部に連結され、反応器1の底部から有機ハロゲン化
物のガス又は蒸気が導入されて、上記金属珪素及び触媒
の流動床1aが反応器1内に形成されるものである。な
お、図中6は冷却器である。
FIG. 1 shows an example of an apparatus for producing an organohalosilane. Reference numeral 1 denotes a fluidized-bed reactor, and a raw material supply tank 3 is connected to a lower part thereof through a raw material supply pipe 2. Metallic silicon and the above-mentioned copper catalyst or a mixed catalyst of a copper catalyst and a co-catalyst are introduced into the lower part of 1. Reference numeral 4 denotes a raw material organic halide tube through which a heater 5 is interposed.
And a gas or vapor of an organic halide is introduced from the bottom of the reactor 1 to form a fluidized bed 1 a of the metal silicon and the catalyst in the reactor 1. In the figure, reference numeral 6 denotes a cooler.

【0029】ここで、上記有機ハロゲン化物のガス又は
蒸気は、定常状態において線速2〜10cm/秒で導入
することが好ましい。また、反応は通常250〜350
℃で行うことができる。
The organic halide gas or vapor is preferably introduced at a linear velocity of 2 to 10 cm / sec in a steady state. The reaction is usually 250 to 350
C. can be performed.

【0030】反応で得られたオルガノハロシランは、反
応器1の頂部に連結された排出管7より第1サイクロン
8に導入され、随伴する固体粒子を分離した後(この固
体粒子は固体粒子返送管9より流動床1aに戻され
る)、更に第2サイクロン10でなお随伴する固体粒子
を分離し(この固体粒子は分離粒状物貯蔵層11に貯蔵
される)、次いで第1シラン凝縮器12、更には第2シ
ラン凝縮器13でオルガノハロシランが凝縮され、シラ
ン貯蔵層14に貯蔵される。このように固体粒子が分離
され、オルガノハロシランが凝縮、分離された後の排ガ
スは、その一部又は全部が循環ガスコンプレッサー15
が介装された有機ハロゲン化物返送管16を通って再び
反応器1に戻される。なお、この返送管16は上記原料
有機ハロゲン化物管4に連結されているものである。
The organohalosilane obtained by the reaction is introduced into the first cyclone 8 through a discharge pipe 7 connected to the top of the reactor 1, and the associated solid particles are separated (the solid particles are returned to the first cyclone 8). The fluid particles are returned to the fluidized bed 1a through a pipe 9), and the solid particles still entrained in the second cyclone 10 are separated (the solid particles are stored in the separated granular material storage layer 11), and then the first silane condenser 12, Further, the organohalosilane is condensed in the second silane condenser 13 and stored in the silane storage layer 14. The exhaust gas after the solid particles are separated and the organohalosilane is condensed and separated is partly or entirely part of the circulating gas compressor 15.
Is returned to the reactor 1 again through the organic halide return pipe 16 in which is interposed. The return pipe 16 is connected to the raw organic halide pipe 4.

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明によれば、Rochow反応にお
ける活性な金属珪素粒子を提供することができ、これに
よって、反応速度、特に賦活期での反応速度と賦活期自
体の短縮につながり、Rochow反応そのものの成績
を向上することができる。また、これにより、ばらつき
が大きい予備試験反応を行うことなく、金属珪素粒子の
活性度そのものを予め定量的に予見できるものであり、
Rochow反応用金属珪素粒子として最適なものが選
定でき、工業的に重要であり、実に画期的なものであ
る。
According to the present invention, it is possible to provide active metal silicon particles in the Rochow reaction, which leads to a reduction in the reaction rate, particularly the reaction rate in the activation period and the activation period itself. You can improve your own performance. In addition, by doing this, the activity itself of the metal silicon particles can be quantitatively predicted in advance without performing a preliminary test reaction with large variations.
The most suitable metal silicon particles for the Rochow reaction can be selected, and are industrially important and truly revolutionary.

【0032】[0032]

【実施例】以下、実施例と比較例を示し、本発明を具体
的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるも
のではない。なお、下記例で部は重量部を示す。
EXAMPLES The present invention will be described below in detail with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples. In the following examples, parts are parts by weight.

【0033】〔実験例〕表1に示す種々の金属珪素粒子
につき、分析、反応性評価を行った。結果を表1に併記
する。
[Experimental Examples] Various metallic silicon particles shown in Table 1 were analyzed and evaluated for reactivity. The results are also shown in Table 1.

【0034】[0034]

【表1】 [Table 1]

【0035】〔実施例,比較例〕図1に示したようなス
パイラル撹拌機を有した直径8cmのスチール製の反応
器に、表2に示した平均粒径50μm程度の粉砕後空気
中で保管した各種の金属珪素粉末(産地の異なる)10
0部を仕込み、反応器内に窒素ガスを線速2cm/秒で
導入し、スパイラル撹拌機で撹拌しながら流動させ、2
80℃まで昇温した。その後、スタンピングにより製造
した鱗片状銅箔粉であって、空気透過式比表面積:0.
80m2/g,平均粒径:47μm,かさ比重:1.9
g/cm3の鱗片状の銅触媒及びアンチモン、真鍮、青
銅を主とした助触媒を混合した混合触媒3部を添加し、
反応温度を280〜300℃にコントロールしながら塩
化メチルを徐々に添加し、反応させ、最終的に線速7c
m/秒にして反応を継続した。反応を6時間継続したと
ころで反応を終了させた。この間の平均シラン生成速度
と金属珪素消費率、生成シランの組成を表3に示す。
[Examples and Comparative Examples] In a steel reactor having a spiral stirrer as shown in FIG. 1 and having a diameter of about 8 μm and having a mean particle size of about 50 μm as shown in Table 2, it was stored in air. Various kinds of metallic silicon powder (different production areas) 10
0 parts, nitrogen gas was introduced into the reactor at a linear velocity of 2 cm / sec, and the mixture was fluidized while stirring with a spiral stirrer.
The temperature was raised to 80 ° C. Thereafter, it is a flaky copper foil powder produced by stamping, and has an air-permeability specific surface area: 0.1.
80 m 2 / g, average particle size: 47 μm, bulk specific gravity: 1.9
g / cm 3 of a flaky copper catalyst and 3 parts of a mixed catalyst obtained by mixing antimony, brass, and a co-catalyst mainly containing bronze were added,
Methyl chloride was gradually added while controlling the reaction temperature at 280 to 300 ° C. to cause a reaction.
The reaction was continued at m / sec. When the reaction was continued for 6 hours, the reaction was terminated. Table 3 shows the average silane production rate, the metal silicon consumption rate, and the composition of the produced silane during this period.

【0036】比較として、粉砕時に空気との接触を大き
くして表面酸素量が多い金属珪素粒子について、実施例
と同一条件で反応させた結果を表3に併せて示す。
For comparison, Table 3 also shows the results of reacting metal silicon particles having a large amount of surface oxygen by increasing the contact with air during pulverization under the same conditions as in the examples.

【0037】[0037]

【表2】 [Table 2]

【0038】[0038]

【表3】 [Table 3]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】オルガノハロシランの製造装置の一例を示す該
略図である。
FIG. 1 is a schematic view showing an example of an apparatus for producing an organohalosilane.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 流動床反応器 1a 流動床 2 原料供給管 3 原料供給槽 4 原料有機ハロゲン化物管 5 加熱器 6 冷却器 7 排出管 8 第1サイクロン 9 固体粒子返送管 10 第2サイクロン 11 分離粒状物貯蔵層 12 第1シラン凝縮器 13 第2シラン凝縮器 14 シラン貯蔵層 15 循環ガスコンプレッサー 16 有機ハロゲン化物返送管 REFERENCE SIGNS LIST 1 fluidized bed reactor 1a fluidized bed 2 raw material supply pipe 3 raw material supply tank 4 raw material organic halide pipe 5 heater 6 cooler 7 discharge pipe 8 first cyclone 9 solid particle return pipe 10 second cyclone 11 separated granular material storage Layer 12 First silane condenser 13 Second silane condenser 14 Silane storage layer 15 Circulating gas compressor 16 Organic halide return pipe

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 古谷 勝昭 群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越化 学工業株式会社群馬事業所内 (72)発明者 上野 進 群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越化 学工業株式会社群馬事業所内 (72)発明者 篠原 紀夫 群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越化 学工業株式会社群馬事業所内 (72)発明者 犬飼 鉄也 群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越化 学工業株式会社群馬事業所内 Fターム(参考) 4H039 CA50 CF90 CL00 4H049 VN01 VP01 VQ02 VQ09 VR11 VR21 VR22 VR32 VS99 VT04 VT42 VT43 VW11  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Katsuaki Furuya 2-31-1 Isobe, Annaka-shi, Gunma Shin-Etsu Kagaku Kogyo Co., Ltd. Gunma Office (72) Inventor Susumu Ueno 2-chome, Isobe, Annaka-shi, Gunma 13-1 Shin-Etsu Kagaku Kogyo Co., Ltd., Gunma Plant (72) Inventor Norio Shinohara 2-13-1, Isobe, Annaka-shi, Gunma Prefecture Shin-Etsu Kagaku Kogyo Co., Ltd. Gunma Plant (72) Inventor Tetsuya Inukai Gunma Prefecture 2-13-1, Isobe, Annaka-shi Shin-Etsu Kagaku Kogyo Co., Ltd. Gunma Office F-term (reference) 4H039 CA50 CF90 CL00 4H049 VN01 VP01 VQ02 VQ09 VR11 VR21 VR22 VR32 VS99 VT04 VT42 VT43 VW11

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 平均粒径が10μm〜10mmの金属珪
素粒子を銅触媒の存在下にオルガノハライドと反応させ
てオルガノハロシランを製造する方法において、上記金
属珪素粒子として、この金属珪素粒子及び粉砕してこの
金属珪素粒子を得るための金属珪素原料の小塊をそれぞ
れ金属中酸素分析することにより得られた酸素濃度の差
である表面酸素量が0.3重量%以下である金属珪素粒
子を選択使用することを特徴とするオルガノハロシラン
の製造方法。
1. A method for producing an organohalosilane by reacting metal silicon particles having an average particle size of 10 μm to 10 mm with an organohalide in the presence of a copper catalyst, wherein said metal silicon particles are used as said metal silicon particles and pulverized. Then, the metal silicon particles having a surface oxygen amount of 0.3% by weight or less, which is the difference in oxygen concentration obtained by subjecting the small pieces of the metal silicon raw material for obtaining the metal silicon particles to oxygen analysis in metal, are obtained. A method for producing an organohalosilane, which is selectively used.
【請求項2】 金属珪素粒子が0.01g・酸素/m2
・Si表面積以下を有するものである請求項1記載の製
造方法。
2. The metal silicon particles have a content of 0.01 g · oxygen / m 2.
2. The method according to claim 1, which has a Si surface area or less.
JP11104694A 1999-04-13 1999-04-13 Production of organohalosilane Withdrawn JP2000297092A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11104694A JP2000297092A (en) 1999-04-13 1999-04-13 Production of organohalosilane

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11104694A JP2000297092A (en) 1999-04-13 1999-04-13 Production of organohalosilane

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005269944A Division JP4396858B2 (en) 2005-09-16 2005-09-16 Method for selecting metal silicon particles for organohalosilane production

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000297092A true JP2000297092A (en) 2000-10-24

Family

ID=14387595

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11104694A Withdrawn JP2000297092A (en) 1999-04-13 1999-04-13 Production of organohalosilane

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000297092A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6154510B2 (en) Method for producing organohalosilane
US5334738A (en) Process for the preparation of methylchlorosilanes
JPS6351390A (en) Manufacture of halogen-containing silane
JP3743485B2 (en) Method for producing organohalosilane and method for selecting metal copper catalyst
JP3775467B2 (en) Method for producing organohalosilane
US6686312B1 (en) Metallic copper catalyst and process for making organohalosilanes
JPH03148287A (en) Method of increasing the yield rate of methyldichlorosilane
JP4755251B2 (en) Direct synthesis of alkylhalosilanes.
US6239304B1 (en) Process for preparing organohalosilanes
JP4396858B2 (en) Method for selecting metal silicon particles for organohalosilane production
US6218562B1 (en) Process for preparing organohalosilanes
JP4434847B2 (en) Method for producing phenylchlorosilane
US6339167B2 (en) Process for preparing organohalosilanes
US7238638B2 (en) Composite copper/tin/alkali metal catalysts for the direct synthesis of alkylhalosilanes
JP2000297092A (en) Production of organohalosilane
US6423860B1 (en) Method for promoting dialkyldihalosilane formation during direct method alkylhalosilane production
JP3760984B2 (en) Co-catalyst for organohalosilane synthesis and method for producing organohalosilane
JP2001039988A (en) Production of organohalosilane
US20050283018A1 (en) Composite catalysts for the direct synthesis of alkylhalosilanes
US5880307A (en) Process for the preparation of alkylhalosilanes
EP1737789A2 (en) Method of selecting silicon having improved performance
GB2137604A (en) Process for treating spent silicon-containing reaction masses to produce halosilanes

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050422

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050511

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050704

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20050727

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20051028