JP2000281364A - Press die for forming optical element - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】 本発明は、例えば低膨張ガ
ラス等のプレス成形材料をプレス成形するために好適に
用いることができる光学素子成形用プレス金型に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a press die for molding an optical element, which can be suitably used for press molding a press molding material such as low expansion glass.
【0002】[0002]
【従来の技術】 従来から、光学素子として、光ファイ
バーアレイ、レンチキュラーレンズ、及びプリズムアレ
イ基板等の光学部品が知られている。これらの光学部品
は、表面に凹凸や溝等を有するガラス基板から構成され
ており、これらの成形体は、一般に、上金型及び下金型
からなるプレス金型を用いて成形されている。2. Description of the Related Art Hitherto, optical components such as an optical fiber array, a lenticular lens, and a prism array substrate have been known as optical elements. These optical components are composed of a glass substrate having irregularities, grooves, and the like on the surface, and these molded products are generally molded using a press die composed of an upper die and a lower die.
【0003】 すなわち、ガラス基板は、溶融したガラ
ス材料を金型に流し込んでプレス成形して作製される
が、板状のガラス基板のプレス成形においては、通常、
溶融ガラスから板状のガラス基板に成形する第一成形工
程と、第一成形工程で得られたガラス基板を再加熱して
より精密に成形する第二成形工程の2段階成形により、
ガラス基板を作製している。[0003] That is, a glass substrate is produced by pouring a molten glass material into a mold and press-molding the glass substrate.
By a two-stage molding of a first molding step of molding the molten glass into a plate-like glass substrate and a second molding step of reheating the glass substrate obtained in the first molding step to more precisely mold the glass substrate,
We are making glass substrates.
【0004】 ここで、上記のような表面に凹凸、溝を
有するガラス基板を成形する場合には、第二成形工程、
いわゆるリヒートプレス工程において、いずれかに凹
凸、溝状の成形面を有する上金型及び下金型からなるプ
レス金型を用いて成形するのであるが、これらの上金型
及び下金型などの金型材料よりもプレス成形するガラス
材料が低膨張である場合、例えば、低膨張ガラスのよう
に熱に対して寸法変化が少ない材料の場合には、プレス
圧力を材料に均一に伝える構造である嵌合タイプ(お椀
型)では、プレス成形後、冷却時に金型材料が収縮する
ため、金型側面に過締まりの状態を引き起こす。このこ
とから、低膨張材料の場合には、金型側面を開放してプ
レス成形しなければならず、その結果、成形圧力が成形
部材に均一に伝わらず、金型形状の転写性が低下する
(基板全体の寸法精度が確保できない)という問題が生
じていた。Here, in the case of forming a glass substrate having irregularities and grooves on the surface as described above, a second forming step,
In the so-called reheat press step, molding is performed using a press die composed of an upper die and a lower die having a concave / convex shape, a groove-shaped molding surface in any one of these upper die and lower die. When the glass material to be press-molded has a lower expansion than the mold material, for example, when the material has a small dimensional change with respect to heat, such as low expansion glass, the structure is such that the pressing pressure is uniformly transmitted to the material. In the fitting type (bowl type), after the press molding, the mold material shrinks during cooling, which causes an overtightened state on the side surface of the mold. For this reason, in the case of a low expansion material, the side surfaces of the mold must be opened and press-formed, and as a result, the molding pressure is not uniformly transmitted to the molded member, and the transferability of the mold shape is reduced. (The dimensional accuracy of the entire substrate cannot be ensured).
【0005】 図2は従来のファイバーアレイの多数個
一括成形金型と、その金型で成形した多数個取り用成形
品の一例を示す断面説明図である。従来のファイバーア
レイの多数個一括成形金型(上型)1は、そのプレス面
2に成形部たるV凸形状部3を多数設けたV凸列群4を
有している。この上型1と図示しない下型とでガラス材
料を上下方向からプレス成形すると、多数個取り用成形
品5が成形される。このプレス成形では、図2に示す圧
力分布イメージのように、プレス成形時にガラス材料が
横に流れ出してしまい、得られる成形品5の端部にいく
に従いプレス圧力が低くなり、金型形状が転写できない
V溝部6ができ、中央部分のV溝部7しか金型形状が転
写できない状態となる。このように、大型の成形品から
ファイバーアレイを多数個取りする場合、圧力分布のば
らつきが顕著となり、素子部で形状のダレが生じて精度
が確保できず問題であった。FIG. 2 is a cross-sectional explanatory view showing an example of a conventional multi-batch molding die for a fiber array and a multi-cavity molding formed by the die. A conventional multi-piece molding die (upper die) 1 for a fiber array has a V-convex array group 4 in which a plurality of V-convex portions 3 as molding portions are provided on a press surface 2 thereof. When the upper mold 1 and the lower mold (not shown) press-mold a glass material from above and below, a multi-cavity molded product 5 is formed. In this press molding, as shown in the pressure distribution image shown in FIG. 2, the glass material flows out at the time of press molding, and the press pressure decreases toward the end of the obtained molded product 5, and the shape of the mold is transferred. The V groove 6 that cannot be formed is formed, and only the V groove 7 at the center can transfer the mold shape. As described above, when a large number of fiber arrays are taken from a large molded product, the pressure distribution becomes remarkable, causing sagging of the shape at the element portion, and the accuracy cannot be ensured.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】 ところで、図2に示
すファイバーアレイの多数個取り用成形品5において、
ファイバーアレイ基板として使用する部分は、V溝が数
列並んだV溝部7及びその両側の平面部8である。この
多数個取り用成形品5のV溝部7とその隣のV溝部7の
間にある平面部8の一部をスライサーなどで切断するこ
とによりチップ化して、個々のファイバーアレイ基板と
する。したがって、切断代の部分9はファイバーアレイ
としては、必要のない部分である。そこで、本発明にお
いては、この切断代の部分9にガラス材料の流出を防止
する壁を設けることにより、ガラス基板内の圧力均一化
を向上させ、もって、ガラス基板の成形性、すなわち金
型形状の転写性を向上させることをその目的とするもの
である。The multi-cavity molding 5 of the fiber array shown in FIG.
The portions to be used as the fiber array substrate are the V-groove portion 7 in which several V-grooves are arranged in rows and the flat portions 8 on both sides thereof. A part of the flat portion 8 between the V-groove portion 7 and the adjacent V-groove portion 7 of the multi-cavity molded product 5 is cut into pieces by cutting with a slicer or the like to obtain individual fiber array substrates. Therefore, the cutting margin 9 is unnecessary for the fiber array. Therefore, in the present invention, by providing a wall for preventing the outflow of the glass material in the portion 9 of the cutting margin, the pressure uniformity in the glass substrate is improved, so that the moldability of the glass substrate, that is, the mold shape It is an object of the present invention to improve the transferability of the ink.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】 すなわち、本発明によ
れば、光学素子を成形するためのプレス金型であって、
金型材料に対して成形用ガラスが相対的に低膨張のガラ
スを用い、該金型のプレス面における成形部の両側に突
起を有することにより、成形時に該突起が成形用ガラス
に突き刺さり、成形用ガラスの外部流出を防止すること
を特徴とする光学素子成形用プレス金型が提供される。
本発明のプレス金型においては、その断面がV状を呈す
る突起を成形部の両側に設けることが好ましく、また、
本発明では、プレス金型が上型と下型からなり、突起が
上型及び下型のいずれか一方に存在すればよい。また、
本発明では、突起を、金型のプレス面成形部の最外両側
部のみに設けることも可能であり、この構成によっても
十分に有効である。本発明のプレス金型では、成形部を
有さない平面金型に、成形部を有する金型に設けた突起
と直交する方向の突起を設けることが、成形部、即ち、
V凸形状部のV溝と平行方向の圧力の均一化のために、
好ましい。なお、本発明において、成形対象となる光学
素子を具体的に云えば、光ファイバ整列用V溝基板が挙
げられる。また、低膨張ガラスは、その熱膨張係数が5
0×10-7/K以下であることが好ましい。Means for Solving the Problems According to the present invention, there is provided a press die for molding an optical element,
The molding glass is relatively low-expansion glass with respect to the mold material, and has projections on both sides of the molding portion on the pressing surface of the mold. The present invention provides a press die for molding an optical element, which prevents the glass for use from flowing out.
In the press die of the present invention, it is preferable to provide projections having a V-shaped cross section on both sides of the molded portion.
In the present invention, the press die may be composed of an upper die and a lower die, and the protrusion may be present on one of the upper die and the lower die. Also,
In the present invention, the protrusions can be provided only on the outermost side portions of the press surface forming portion of the mold, and this configuration is sufficiently effective. In the press mold of the present invention, it is possible to provide a projection in a direction orthogonal to a projection provided on a mold having a molding portion on a flat mold having no molding portion, that is, a molding portion, that is,
In order to equalize the pressure in the direction parallel to the V-groove of the V-shaped portion,
preferable. In the present invention, the optical element to be molded is specifically a V-groove substrate for aligning optical fibers. Low expansion glass has a coefficient of thermal expansion of 5
It is preferably at most 0 × 10 −7 / K.
【0008】[0008]
【発明の実施の形態】 本発明の光学素子成形用プレス
金型は、金型材料に対して成形用ガラスが相対的に低膨
張のガラスを用い、金型のプレス面における成形部の両
側に突起を有する構造とすることにより、成形時に突起
が成形用ガラスに突き刺さり、成形用ガラスの外部流出
を防止したものである。このように、プレス成形時に、
金型から成形用ガラスの外部への流出を防止したので、
成形圧力が均一にガラス基板の全面にかかり、ガラス基
板の成形性(金型形状の転写性)が良好となる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A press mold for molding an optical element of the present invention uses glass whose molding glass has a relatively low expansion relative to a mold material, and is provided on both sides of a molding portion on a press surface of the mold. With the structure having the projections, the projections pierce the molding glass during molding, thereby preventing the molding glass from flowing out. Thus, at the time of press molding,
Since the molding glass was prevented from flowing out of the mold,
The molding pressure is uniformly applied to the entire surface of the glass substrate, and the moldability of the glass substrate (the mold shape transferability) is improved.
【0009】 以下、本発明の実施の形態を図面に基づ
いて詳細に説明するが、本発明はこれらの実施の形態に
限定されるものではない。図1は、本発明に係るプレス
金型(ファイバーアレイの多数個一括成形金型)と多数
個取り用成形品の一実施例を示す断面説明図である。図
1において、10はファイバーアレイの多数個一括成形
金型(上型)であり、そのプレス面11に成形部たるV
凸形状部12を多数設けたV凸列群13を有するととも
に、突起14をV凸形状部12の両側に設けた。なお、
突起14は、ファイバーアレイとしては必要のない切断
代部分16に設けた。上型10をこのように構成したこ
とにより、この上型10と図示しない下型とでガラス材
料を上下方向からプレス成形した場合に、突起14が成
形用ガラス15に突き刺さり、成形用ガラス15の外部
への流出を防止した状態で、多数個取り用成形品15が
成形される。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings, but the present invention is not limited to these embodiments. FIG. 1 is an explanatory cross-sectional view showing one embodiment of a press die (a multi-piece molding die for a fiber array) and a multi-piece molding according to the present invention. In FIG. 1, reference numeral 10 denotes a molding die (upper die) for molding a large number of fiber arrays.
A V-shaped row group 13 provided with a large number of convex-shaped portions 12 is provided, and projections 14 are provided on both sides of the V-shaped convex portion 12. In addition,
The protrusion 14 is provided on a cutting margin 16 which is not necessary for a fiber array. When the upper mold 10 is configured as described above, when the upper mold 10 and the lower mold (not shown) press-mold a glass material from above and below, the projections 14 pierce the molding glass 15 and the molding glass 15 The multi-cavity molded product 15 is formed in a state where the outflow to the outside is prevented.
【0010】 このプレス成形では、図1に示す圧力分
布イメージのように、プレス成形時に成形用ガラス15
が横に流れ出ることがないので、各V凸形状部12にお
けるプレス圧力が均一化されて、成形部たるV凸形状部
12の転写性が向上する。突起14の圧力は大きな分布
を持つため、成形用ガラス15の歪みや不均一も想定さ
れるが、突起14が突き刺さる部分は切断代となってい
るので、切断で除去されるため問題がない。突起14の
形状としては、図1の場合にはV凸形状としたが、これ
に限られず、円錐形状、角錐形状、それらの連続したド
ット状のものであってもよい。突起14の形状は、離型
性が良く、成形用ガラスに突き刺さりやすい形状である
ことが好ましい。なお、突起14は、必ずしもすべての
V凸形状部12の両側にある必要はなく、多数のV凸形
状部12からなるV凸列群13の最外両側部のみに設け
ることも可能であり、この構成によっても十分に有効で
ある。In this press forming, as shown in a pressure distribution image shown in FIG.
Does not flow laterally, so that the pressing pressure in each V-convex portion 12 is made uniform, and the transferability of the V-convex portion 12 as a molding portion is improved. Since the pressure of the projections 14 has a large distribution, distortion and non-uniformity of the molding glass 15 are also supposed. However, since the portions where the projections 14 pierce are cut margins, there is no problem because they are removed by cutting. The shape of the projection 14 is V-shaped in FIG. 1, but is not limited thereto, and may be a conical shape, a pyramid shape, or a continuous dot shape thereof. It is preferable that the shape of the projection 14 has a good mold releasability and is easy to pierce the molding glass. In addition, the protrusions 14 do not necessarily need to be on both sides of all the V-shaped portions 12, and may be provided only on the outermost side portions of the V-shaped row group 13 including a large number of V-shaped portions 12. This configuration is sufficiently effective.
【0011】 次に、本発明に係るプレス金型の他の実
施の形態について説明する。プレス成形材料たるガラス
基板は平板であるため、成形用ガラスの流出は二次元方
向に生じる。そのため、上記した突起をV凸形状部のV
溝と直交方向に設置することにより、二次元方向におけ
る成形用ガラスの流れを少なくし、成形圧力の均一化が
図れ、その結果、ガラス基板の成形性を向上することが
できる。しかしながら、プレス金型のプレス面にV凸形
状部のV溝と直交する突起を形成することは、その構造
上、加工精度の高い研削加工では不可能で、放電加工な
どで形成する必要がある。しかし、放電加工において
は、溝精度で10μm程度の寸法バラツキが発生し、通
常のシングルモードファイバー用のV溝としては実用上
使用することができない。Next, another embodiment of the press die according to the present invention will be described. Since the glass substrate as the press molding material is a flat plate, the outflow of the molding glass occurs in a two-dimensional direction. For this reason, the above-mentioned protrusions are
By setting the groove in a direction perpendicular to the groove, the flow of the forming glass in the two-dimensional direction can be reduced and the forming pressure can be made uniform. As a result, the formability of the glass substrate can be improved. However, it is impossible to form a projection orthogonal to the V-groove of the V-convex portion on the press surface of the press die by a high-precision grinding process because of its structure, and it is necessary to form the projection by electric discharge machining or the like. . However, in electric discharge machining, a dimensional variation of about 10 μm occurs in the groove accuracy, and it cannot be practically used as a V-groove for a normal single mode fiber.
【0012】 このため、金型のV凸形状部のV溝につ
いては研削により金型加工を施し、成形品の上面となる
面部分に対応する金型部分にのみ放電にて前記V溝と直
交する突起を形成する。このことにより、V溝と平行方
向への成形用ガラスの流出をある程度防止することが可
能となり、成型の均一化を図ることができる。しかし、
放電加工によれば、その面は粗く、かつ寸法精度が10
μm程度で、さらにうねりも発生する。このため、ファ
イバーアレイ等の製品の上面の状態としては適切ででな
い。For this reason, the V-groove of the V-shaped convex portion of the die is subjected to die processing by grinding, and only the die portion corresponding to the surface portion to be the upper surface of the molded product is subjected to electric discharge to be orthogonal to the V-groove. Forming projections. This makes it possible to prevent the outflow of the forming glass in a direction parallel to the V-groove to some extent, and to achieve uniform forming. But,
According to EDM, the surface is rough and the dimensional accuracy is 10
At about μm, undulation also occurs. Therefore, the state of the upper surface of a product such as a fiber array is not appropriate.
【0013】 上記の問題を解決するために、V凸形状
部を有さない平面金型である下型にV溝と直交する突起
を設けることにより、金型内部の底面部に於いて成形用
ガラスの流出を防ぐことが可能となり、これに追随して
V凸形状部における成形用ガラスの流出もある程度防ぐ
ことができる。したがって、金型(上型)のプレス面に
おける成形部の両側に突起と、V凸形状部を有さない平
面金型である下型にV溝と直交する突起との併用によ
り、金型内における二次元方向へのガラス流れを抑制す
ることが可能となり、より好ましいものといえる。な
お、下型のV溝と直交する突起についても、ファイバー
アレイに必要のない部分、例えば、切断代の部分に形成
することが好ましい。In order to solve the above-mentioned problem, a lower mold, which is a flat mold having no V-shaped convex portion, is provided with a projection orthogonal to the V-groove, so that the lower mold inside the mold has a lower surface. The outflow of the glass can be prevented, and the outflow of the forming glass in the V-shaped convex portion can be prevented to some extent. Therefore, the projections on both sides of the molding portion on the press surface of the mold (upper die) and the projections perpendicular to the V-grooves are used in the lower mold, which is a flat mold having no V-convex portion, so that the inside of the mold is Thus, it is possible to suppress the glass flow in the two-dimensional direction, which is more preferable. In addition, it is preferable that the protrusion perpendicular to the V-shaped groove of the lower die is formed in a portion not necessary for the fiber array, for example, in a portion of a cutting margin.
【0014】[0014]
【実施例】 以下、本発明を実施例に基づいて更に詳細
に説明する。 (実施例1:金型製造方法)研削設備としてスライサー
を用い、砥石先端形状は台形状にしたものを用いた。V
凸形状部の加工は、砥石として先端形状が台形(先端角
度70°、平面幅0.03mm)のダイヤモンドSD#
2000メタル砥石を用いて、回転数は10000rp
m、加工速度は20mm/minで数段の切り込みによ
り、φ30mmの金型材料に8本のV凸を4列加工し
た。EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples. (Example 1: Mold manufacturing method) A slicer was used as a grinding facility, and the shape of the tip of the grindstone was trapezoidal. V
For processing of the convex part, diamond SD # with a trapezoidal tip shape (tip angle 70 °, plane width 0.03 mm) as a grindstone
Using 2000 metal whetstone, rotation speed is 10,000 rpm
m, a processing speed was 20 mm / min, and four rows of eight V-shaped protrusions were formed on a mold material of φ30 mm by cutting several steps.
【0015】 ガラス流れ止めのV状突起とV凸形状部
との間の平面部は、砥石先端形状が台形(先端角度70
°、平面幅1.5mm)の上記V凸加工と同仕様のダイ
ヤモンドSD#2000メタル砥石を用い、加工条件も
V凸加工と同様にして加工した。この加工の際、平面部
の研削時にガラス流れ止めのためのV状突起を残すよう
にした。The flat portion between the V-shaped protrusion and the V-convex portion of the glass stopper has a whetstone tip shape of a trapezoid (tip angle 70 °).
(Degree, plane width: 1.5 mm) using a diamond SD # 2000 metal grindstone having the same specification as the above-mentioned V-convex processing, and the processing conditions were the same as in the V-convex processing. At the time of this processing, a V-shaped projection for stopping glass flow was left when grinding the flat portion.
【0016】(実施例2:プレス成形)実施例1の方法
で製作したプレス金型を用いて、以下の条件でプレス成
形した。成形用ガラスとして日本ガイシ製ミラクロンP
C−4を用い、成形温度600℃、成形圧力1.0ト
ン、成形時間60秒として成形を行ったところ、成形用
ガラスの外部への流出が防止され、転写性の良好な成形
品が得られた。(Example 2: Press molding) Using a press die manufactured by the method of Example 1, press molding was performed under the following conditions. Nippon NGK Milacron P as molding glass
When molding was performed using C-4 at a molding temperature of 600 ° C., a molding pressure of 1.0 ton, and a molding time of 60 seconds, outflow of the molding glass to the outside was prevented, and a molded product having good transferability was obtained. Was done.
【0017】[0017]
【発明の効果】 以上説明したように、本発明に係るプ
レス金型によれば、成形用ガラスなどの成形材料の外部
流出を防止することができるため、成形圧力が均一化
し、金型形状の転写性を向上させることができるという
効果を奏する。As described above, according to the press die according to the present invention, the outflow of the molding material such as molding glass to the outside can be prevented, so that the molding pressure is made uniform and the shape of the mold is reduced. This has the effect of improving transferability.
【図1】 本発明に係るプレス金型(ファイバーアレイ
の多数個一括成形金型)と多数個取り用成形品の一実施
例を示す断面説明図、及びその圧力分布イメージを示す
グラフである。FIG. 1 is a cross-sectional explanatory view showing an embodiment of a press die (a multi-piece molding die for a fiber array) and a multi-piece molded product according to the present invention, and a graph showing a pressure distribution image thereof.
【図2】 従来のファイバーアレイの多数個一括成形金
型と、その金型で成形した多数個取り用成形品の一例を
示す断面説明図、及びその圧力分布イメージを示すグラ
フである。FIG. 2 is a cross-sectional explanatory view showing an example of a multi-piece molding die of a conventional fiber array, a multi-piece molding formed by the die, and a graph showing a pressure distribution image thereof.
10…多数個一括成形金型(上型)、11…プレス面、
12…V凸形状部、13…V凸列群、14…突起、15
…成形用ガラス、16…切断代部分。10: a large number of molding dies (upper die), 11: press surface,
12 ... V-convex shape part, 13 ... V-convex row group, 14 ... projection, 15
... glass for molding, 16 ... cutting margin part.
フロントページの続き (72)発明者 遠山 和利 愛知県名古屋市瑞穂区須田町2番56号 エ ヌジーケイ・オプトセラミックス株式会社 内Continued on the front page (72) Inventor Kazutoshi Toyama 2-56 Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi
Claims (7)
あって、金型材料に対して成形用ガラスが相対的に低膨
張のガラスを用い、該金型のプレス面における成形部の
両側に突起を有することにより、成形時に該突起が成形
用ガラスに突き刺さり、成形用ガラスの外部流出を防止
することを特徴とする光学素子成形用プレス金型。1. A press mold for molding an optical element, wherein a glass for molding is relatively low expansion glass with respect to a mold material, and both sides of a molding portion on a press surface of the mold. A press die for molding an optical element, characterized in that the projections pierce the molding glass at the time of molding and prevent the molding glass from flowing out by providing the projections.
のプレス金型。2. The press die according to claim 1, wherein said projection has a V-shaped cross section.
上型及び下型のいずれか一方に存在する請求項1又は2
記載のプレス金型。3. The mold according to claim 1, wherein the mold comprises an upper mold and a lower mold, and the projection is present on one of the upper mold and the lower mold.
Press mold as described.
外両側部のみに設けた請求項1〜3のいずれか1項に記
載のプレス金型。4. The press die according to claim 1, wherein the protrusions are provided only on outermost side portions of the press surface forming portion of the die.
有する金型に設けた突起と直交する方向の突起を設けた
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の
プレス金型。5. A flat mold having no molding portion, wherein a projection is provided in a direction orthogonal to a projection provided on the mold having the molding portion. Press die described in 1.
ある請求項1〜5のいずれか1項に記載のプレス金型。6. The press die according to claim 1, wherein the optical element is a V-groove substrate for aligning optical fibers.
0-7/K以下である請求項1〜6のいずれか1項に記載
のプレス金型。7. The low expansion glass has a thermal expansion coefficient of 50 × 1.
The press die according to any one of claims 1 to 6, which is 0-7 / K or less.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP11084962A JP2000281364A (en) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | Press die for forming optical element |
Applications Claiming Priority (1)
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JP11084962A JP2000281364A (en) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | Press die for forming optical element |
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Family Applications (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011210852A (en) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Sumita Optical Glass Inc | Method for manufacturing light emitting device |
US10112861B2 (en) | 2015-07-30 | 2018-10-30 | Infineon Technologies Ag | Method of manufacturing a plurality of glass members, a method of manufacturing an optical member, and array of glass members in a glass substrate |
-
1999
- 1999-03-26 JP JP11084962A patent/JP2000281364A/en not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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DE102016113827B4 (en) | 2015-07-30 | 2024-11-07 | Infineon Technologies Ag | Method for producing a plurality of optical elements and array of glass elements in a glass substrate |
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