JP2000278075A - Surface acoustic wave filter device and unidirectional converter used therefor - Google Patents

Surface acoustic wave filter device and unidirectional converter used therefor

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JP2000278075A
JP2000278075A JP7582499A JP7582499A JP2000278075A JP 2000278075 A JP2000278075 A JP 2000278075A JP 7582499 A JP7582499 A JP 7582499A JP 7582499 A JP7582499 A JP 7582499A JP 2000278075 A JP2000278075 A JP 2000278075A
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JP
Japan
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electrode
surface acoustic
acoustic wave
converter
finger
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JP7582499A
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Japanese (ja)
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Yasubumi Horio
保文 堀尾
Tatsuya Tsuruoka
達也 鶴岡
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NGK Insulators Ltd
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NGK Insulators Ltd
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  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To satisfy various characteristics while practically using a unidirectional characteristic by connecting a first electrode finger to a first electrode, connecting second and fourth electrode fingers, constituting a shorting-type floating electrode and connecting a third electrode finger to a second electrode so as to form a couple. SOLUTION: A first electrode (positive electrode) 2 and a second electrode (negative electrode) 3 are installed. In a part of a couple A, first to fourth electrode fingers 4-7 whose width of the transmitting direction of a surface acoustic wave is λ/12 are connected to the positive electrode 2. The center-to-center distance of the first and second electrode fingers 4 and 5 is set to be λ/6, the intermediate distance of the first and third electrode fingers 4 and 6 to be λ/2 and the center-to-center distance of the first and forth electrode fingers 4 and 7 to be 2λ/3. In the other couple B, a first electrode finger 8 is connected to the positive electrode 2, a second electrode finger 9 and a fourth electrode finger 10 are mutually connected, a short-circuiting type floating electrode 11 is constituted and a third electrode 12 is connected to the negative electrode 3. The center-to-center distance of the first and second electrode fingers 8 and 9 is set to be λ/6, the center-to-center distance of the first and third electrode fingers 8 and 12 to be λ/2 and the center-to-center distance of the first and fourth electrode fingers 8 and 10 to be 2λ/3.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、間引き電極構造を
有する一方向性変換器を具える弾性表面波フィルタ装置
及びこれに好適な一方向性変換器に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface acoustic wave filter device having a one-way converter having a thinned-out electrode structure, and a one-way converter suitable for the device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、短絡型浮き電極の各電極指がこれ
に隣接する正電極の電極指と負電極の電極指との中間位
置から弾性表面波の伝播方向又はこれとは反対の方向に
λ/12偏位して位置する一方向性変換器を有する弾性
表面波フィルタ装置が、例えば特開平5−347535
号公報に開示されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, each electrode finger of a short-circuit type floating electrode is moved from an intermediate position between an electrode finger of an adjacent positive electrode and an electrode finger of a negative electrode in a propagation direction of a surface acoustic wave or in a direction opposite thereto. A surface acoustic wave filter device having a one-way transducer positioned with a λ / 12 deviation is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No.
No. 6,009,045.

【0003】このような一方向性変換器を有する弾性表
面波フィルタ装置では、電極の非対称に基づく一方向性
を高めることによって電極指の励振効果と反射効果とを
適切に利用して挿入損失を大幅に低減させることができ
る。
In a surface acoustic wave filter device having such a unidirectional converter, the insertion loss is enhanced by appropriately utilizing the excitation effect and the reflection effect of the electrode finger by enhancing the unidirectionality based on the asymmetry of the electrode. It can be greatly reduced.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】近年、一方向性の特性
を生かしながら種々の特性を満足する(例えば、帯域外
減衰特性を大きく設定する。)弾性表面波フィルタ装置
が所望されている。
In recent years, there has been a demand for a surface acoustic wave filter device that satisfies various characteristics (for example, sets a large out-of-band attenuation characteristic) while making use of the unidirectional characteristics.

【0005】本発明の目的は、一方向性の特性を十分生
かしながら種々の特性を満足する弾性表面波フィルタ装
置を提供することである。
An object of the present invention is to provide a surface acoustic wave filter device which satisfies various characteristics while making full use of the one-way characteristics.

【0006】本発明の他の目的は、一方向性の特性を十
分生かしながら種々の特性を満足するために弾性表面波
フィルタ装置に用いられる一方向性変換器を提供するこ
とである。
Another object of the present invention is to provide a unidirectional converter used in a surface acoustic wave filter device to satisfy various characteristics while making full use of the unidirectional characteristics.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明のうち請求項1記
載の一方向性変換器は、弾性表面波フィルタ装置用の一
方向性変換器であって、電気機械結合係数が0.1〜
1.5%の圧電性基板と、この圧電性基板上に形成され
た第1電極と、この第1電極に対向するように前記圧電
性基板上に形成された第2電極とを具え、λを基本弾性
表面波の伝播波長とした場合に、前記第1電極と第2電
極との間に、弾性表面波の伝播方向の幅がほぼλ/12
の第1電極指と、この第1電極指との中心間距離がλ/
6で位置する弾性表面波の伝播方向の幅がほぼλ/12
の第2電極指と、前記第1電極指との中心間距離がλ/
2で位置する弾性表面波の伝播方向の幅がほぼλ/12
の第3電極指と、前記第1電極との距離が2λ/3で位
置する弾性表面波の伝播方向の幅がほぼλ/12の第4
電極指とをλのピッチで周期的に形成し、一部の対を、
前記第1〜4電極指の各々を前記第1電極に接続した対
とし、それ以外の対を、前記第1電極指を前記第1電極
に接続し、前記第2電極指及び第4電極指を相互に接続
して短絡型浮き電極を構成し、かつ、前記第3電極指を
前記第2電極に接続した対としたことを特徴とするもの
である。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a unidirectional transducer for a surface acoustic wave filter device, wherein the electromechanical coupling coefficient is 0.1 to 0.1.
A 1.5% piezoelectric substrate, a first electrode formed on the piezoelectric substrate, and a second electrode formed on the piezoelectric substrate so as to face the first electrode; Is the propagation wavelength of the basic surface acoustic wave, the width of the surface acoustic wave in the propagation direction is approximately λ / 12 between the first electrode and the second electrode.
And the center-to-center distance between the first electrode finger and the first electrode finger is λ /
6 is approximately λ / 12 in the propagation direction of the surface acoustic wave.
The center distance between the second electrode finger and the first electrode finger is λ /
2 has a width of approximately λ / 12 in the propagation direction of the surface acoustic wave.
And the fourth electrode having a distance of 2λ / 3 between the third electrode finger and the first electrode and having a width of approximately λ / 12 in the propagation direction of the surface acoustic wave.
The electrode fingers are periodically formed at a pitch of λ, and some pairs are
Each of the first to fourth electrode fingers is a pair connected to the first electrode, and the other pair is a pair where the first electrode finger is connected to the first electrode and the second electrode finger and the fourth electrode finger are connected. Are connected to each other to form a short-circuit type floating electrode, and the third electrode finger is connected to the second electrode to form a pair.

【0008】本発明のうち請求項1記載の一方向性変換
器は、弾性表面波フィルタ装置の入力側変換器又は出力
側変換器として用いられる。ここで、このような一方向
性変換器を入力側変換器に用いる場合、すなわち、第1
〜4電極指が弾性表面波の伝播方向に順に形成した場合
について考察する。なお、第1電極と第2電極のうちの
一方を正電極とし、他方を負電極とする。それ以外の対
の各々については、短絡型浮き電極を配置してその位置
の電位を強制的に零にしているので、電位分布が強制的
に変化し、励振中心が変化する。これによって、励振波
が出力側変換器方向に励振する場合について考えると、
各電極指の反射波のベクトル和の向きは励振波の向きと
一致する。一方、励振波が出力側変換器の逆方向に励振
する場合について考えると、各電極指の反射波のベクト
ル和の向きは励振波の向きと正反対であり、これらは相
殺される。したがって、それ以外の対においては出力側
変換器方向にのみ励振波及び反射波が伝播する。
The one-way converter according to the first aspect of the present invention is used as an input converter or an output converter of a surface acoustic wave filter device. Here, when such a one-way converter is used for the input-side converter, that is, the first converter is used.
Consider a case where the four to four electrode fingers are sequentially formed in the propagation direction of the surface acoustic wave. One of the first electrode and the second electrode is a positive electrode, and the other is a negative electrode. For each of the other pairs, since the short-circuit type floating electrode is arranged to force the potential at that position to zero, the potential distribution is forcibly changed, and the excitation center is changed. As a result, considering the case where the excitation wave excites in the direction of the output converter,
The direction of the vector sum of the reflected waves of each electrode finger matches the direction of the excitation wave. On the other hand, considering the case where the excitation wave excites in the reverse direction of the output-side converter, the direction of the vector sum of the reflected waves of each electrode finger is exactly opposite to the direction of the excitation wave, and these directions cancel each other. Therefore, in the other pairs, the excitation wave and the reflected wave propagate only in the direction of the output-side converter.

【0009】それに対して、一部の対の各々について
は、第1〜4電極指が全て第1電極に接続しているの
で、励振波が発生しない。この場合、それより上流のそ
れ以外の対で発生した励振波及びそれより上流の対で発
生した反射波が一部の対に伝播し、第1〜4電極指の反
射波のみが生じる。これら反射波のベクトル和の向きが
上流のそれ以外の対で発生した励振波の向きと同一であ
るので、一部の対においても出力側変換器方向にのみ反
射波が伝播する。また、一部の対について第1電極のみ
に第1〜4電極指を接続した間引き電極構造によって、
各対についての電極指幅が同一になるので、一部の対を
伝播する弾性表面波の伝播速度は、それ以外の対を伝播
する弾性表面波の伝播速度と同一となり、弾性表面波フ
ィルタ装置の特性に悪影響が及ぼされない。
On the other hand, no excitation wave is generated in each of some of the pairs because the first to fourth electrode fingers are all connected to the first electrode. In this case, the excitation wave generated in the other pair upstream and the reflected wave generated in the upstream pair propagate to some pairs, and only the reflected waves of the first to fourth electrode fingers are generated. Since the direction of the vector sum of these reflected waves is the same as the direction of the excitation waves generated in the other pairs upstream, the reflected waves propagate only in the direction of the output-side converter even in some pairs. In addition, with a thinning electrode structure in which the first to fourth electrode fingers are connected to only the first electrode for some pairs,
Since the electrode finger width of each pair is the same, the propagation speed of the surface acoustic wave propagating through some of the pairs is the same as the propagation speed of the surface acoustic wave propagating through the other pairs. The properties of are not adversely affected.

【0010】このように、一部の対について第1〜第4
電極指を第1電極のみに接続することによって、一方向
性の特性を十分生かしながら種々の特性を満足する間引
き重み付けを行うことができる。なお、このような一方
向性変換器を出力側変換器に用いた場合でも、同様な作
用効果を得ることができる。
As described above, some of the pairs have the first to fourth
By connecting the electrode finger only to the first electrode, it is possible to perform thinning weighting that satisfies various characteristics while making full use of the unidirectional characteristics. Note that the same operation and effect can be obtained even when such a one-way converter is used as the output-side converter.

【0011】このような一方向性変換器を入力側変換器
又は出力側変換器として用いた弾性表面波フィルタ装置
の圧電性基板としては、通常、ニオブ酸リチウム基板
(LiNbO3 )、水晶基板、タンタル酸リチウム基板
(LiTaO3 )、ほう酸リチウム基板(Li2 4
7 )、ランガサイト基板(La3 Ga5 SiO14)等が
用いられている。これら基板のうち、ニオブ酸リチウム
基板は比較的大きな5.5%の電気機械結合係数
(K2 )を有するので、良好な変換特性が得られるとい
う利点を有する。しかしながら、温度特性に難点がある
ため、すなわち、温度変化に対する帯域幅の変化が大き
くなるという不都合があり、広帯域用のフィルタとして
だけ用いられてきた。共振型のフィルタは、その構造か
らG.D.T.が大きい不具合が強く指摘されていた。
それに対して、浮き電極型の変換器を有する弾性表面波
フィルタ装置は、電極の非対称構造を有効に利用してい
るため、挿入損失、G.D.T.(Groupe De
lay Time)を大幅に低減させることができる。
したがって、非対称構造の内部反射型電極構造を温度特
性に優れた圧電性基板に適用すれば、G.D.T.及び
挿入損失に優れるとともに、温度変化に対する通常帯域
の変化が極めて小さい弾性表面波フィルタ装置を実現す
ることができる。
As the piezoelectric substrate of a surface acoustic wave filter device using such a one-way converter as an input converter or an output converter, a lithium niobate substrate (LiNbO 3 ), a quartz substrate, Lithium tantalate substrate (LiTaO 3 ), lithium borate substrate (Li 2 B 4 O)
7 ), a langasite substrate (La 3 Ga 5 SiO 14 ) or the like is used. Among these substrates, the lithium niobate substrate has a relatively large electromechanical coupling coefficient (K 2 ) of 5.5%, and thus has an advantage that good conversion characteristics can be obtained. However, it has been used only as a filter for a wide band because there is a disadvantage in the temperature characteristic, that is, there is an inconvenience that a change in a bandwidth with respect to a temperature change becomes large. Because of its structure, the resonance-type filter is D. T. However, a major problem was strongly pointed out.
On the other hand, the surface acoustic wave filter device having the floating electrode type converter effectively utilizes the asymmetric structure of the electrodes, so that the insertion loss and the G.I. D. T. (Group De
(Layer Time) can be greatly reduced.
Therefore, if an asymmetric internal reflection electrode structure is applied to a piezoelectric substrate having excellent temperature characteristics, G.I. D. T. In addition, it is possible to realize a surface acoustic wave filter device which is excellent in insertion loss and in which a change in a normal band with respect to a temperature change is extremely small.

【0012】このような状況を考慮すると、本発明によ
る弾性表面波フィルタ装置によれば、周波数に対する温
度特性が極めて小さく、電気機械結合係数がニオブ酸リ
チウム基板に比べて1/3から1桁小さく、かつ、電極
指による反射係数が浮き電極に対して正の反射係数を有
する圧電性基板を用いる。これら基板は、温度変化に対
する周波数変動が微小であるので、圧電性基板としてこ
れら基板のうちのいずれかを用いると、温度特性に対す
る通過周波数帯域の変化を微小範囲に維持することがで
きる。しかしながら、電気機械結合係数が小さい基板上
に既存の変換器をそのまま形成すると、挿入損失の観点
から良好な特性の弾性表面波フィルタ装置を実現するこ
とができない。
In view of such circumstances, according to the surface acoustic wave filter device of the present invention, the temperature characteristic with respect to frequency is extremely small, and the electromechanical coupling coefficient is one third to one digit smaller than that of the lithium niobate substrate. In addition, a piezoelectric substrate having a reflection coefficient by the electrode finger having a positive reflection coefficient with respect to the floating electrode is used. Since the frequency variation of these substrates with respect to a temperature change is very small, if any of these substrates is used as the piezoelectric substrate, the variation of the pass frequency band with respect to the temperature characteristics can be maintained in a minute range. However, if an existing converter is formed as it is on a substrate having a small electromechanical coupling coefficient, a surface acoustic wave filter device having good characteristics cannot be realized from the viewpoint of insertion loss.

【0013】本発明者が、電機機械結合係数の小さい基
板における挿入損失について詳細な検討を行った結果、
浮き電極の反射係数の符号が挿入損失に大きく影響して
いることが判明した。このような基板の場合、短絡型浮
き電極を用いると、その電極指の励振中心のシフトが起
こり、励振波の位相と反射波の位相とが一致する。さら
に、開放型浮き電極に比べて短絡型浮き電極の方が反射
係数が大きい。したがって、上記一部のピッチ以外のピ
ッチについては、浮き電極として短絡型浮き電極を用い
るのが好適である。このように構成することによって、
電気機械結合係数の小さい基板を用いても挿入損失を極
めて小さい範囲に抑制することができ、その結果、温度
特性に優れるとともに低損失の広帯域弾性表面波フィル
タ装置を実現することができる。
As a result of a detailed study of the insertion loss in a substrate having a small electromechanical coupling coefficient,
It was found that the sign of the reflection coefficient of the floating electrode greatly affected the insertion loss. In the case of such a substrate, when a short-circuit type floating electrode is used, the center of excitation of the electrode finger shifts, and the phase of the excitation wave matches the phase of the reflected wave. Further, the short-circuit type floating electrode has a larger reflection coefficient than the open type floating electrode. Therefore, it is preferable to use a short-circuit type floating electrode as a floating electrode for pitches other than the above-mentioned partial pitch. With this configuration,
Even if a substrate having a small electromechanical coupling coefficient is used, the insertion loss can be suppressed to an extremely small range, and as a result, a broadband surface acoustic wave filter device having excellent temperature characteristics and low loss can be realized.

【0014】本発明のうち請求項2記載の一方向性変換
器は、前記圧電性基板を、水晶基板、タンタル酸リチウ
ム基板、ほう酸リチウム基板又はランガサイト基板とし
たことを特徴とするものである。
According to a second aspect of the present invention, in the unidirectional converter, the piezoelectric substrate is a quartz substrate, a lithium tantalate substrate, a lithium borate substrate, or a langasite substrate. .

【0015】本発明では、電気機械結合係数が0.1〜
1.5%の圧電性基板として、電気機械結合係数が0.
1〜1.5%である水晶基板(0.14%)、タンタル
酸リチウム基板(0.64%)、ほう酸リチウム基板
(1.0%)又はランガサイト基板(0.3〜0.4
%)を用いる。
In the present invention, the electromechanical coupling coefficient is 0.1 to
As a 1.5% piezoelectric substrate, the electromechanical coupling coefficient is 0.1%.
1 to 1.5% quartz substrate (0.14%), lithium tantalate substrate (0.64%), lithium borate substrate (1.0%) or langasite substrate (0.3 to 0.4%)
%).

【0016】本発明のうち請求項3記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、電気機械結合係数が0.1〜1.5%の
圧電性基板と、この圧電性基板上に形成され、電気信号
が外部から入力され、この電気信号を弾性表面波に変換
する入力側変換器と、前記圧電性基板上に形成され、前
記入力側変換器で励振された弾性表面波を電気信号に変
換し、この電気信号を外部に出力する出力側変換器とを
具え、前記入力側変換器及び出力側変換器をそれぞれ、
前記圧電性基板上に形成された第1電極と、この第1電
極に対向するように前記圧電性基板上に形成された第2
電極とを具え、λを基本弾性表面波の伝播波長とした場
合に、前記第1電極と第2電極との間に、弾性表面波の
伝播方向の幅がほぼλ/12の第1電極指と、この第1
電極指との中心間距離がλ/6で位置する弾性表面波の
伝播方向の幅がほぼλ/12の第2電極指と、前記第1
電極指との中心間距離がλ/2で位置する弾性表面波の
伝播方向の幅がほぼλ/12の第3電極指と、前記第1
電極との距離が2λ/3で位置する弾性表面波の伝播方
向の幅がほぼλ/12の第4電極指とをλのピッチで周
期的に形成し、一部の対を、前記第1〜4電極指の各々
を前記第1電極に接続した対とし、それ以外の対を、前
記第1電極指を前記第1電極に接続し、前記第2電極指
及び第4電極指を相互に接続して短絡型浮き電極を構成
し、かつ、前記第3電極指を前記第2電極に接続した対
とした一方向性変換器としたことを特徴とするものであ
る。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a surface acoustic wave filter device having a piezoelectric substrate having an electromechanical coupling coefficient of 0.1 to 1.5%, and an electric signal formed on the piezoelectric substrate. An input converter that is externally input and converts this electric signal into a surface acoustic wave, and a surface acoustic wave formed on the piezoelectric substrate and excited by the input converter is converted into an electric signal. An output-side converter that outputs an electric signal to the outside, and the input-side converter and the output-side converter, respectively.
A first electrode formed on the piezoelectric substrate and a second electrode formed on the piezoelectric substrate to face the first electrode;
A first electrode finger having a width in the propagation direction of the surface acoustic wave of approximately λ / 12 between the first electrode and the second electrode, where λ is the propagation wavelength of the basic surface acoustic wave. And this first
A second electrode finger having a center-to-center distance of λ / 6 from the electrode finger and having a width in the propagation direction of the surface acoustic wave of approximately λ / 12;
A third electrode finger whose center-to-center distance from the electrode finger is λ / 2 and whose width in the propagation direction of the surface acoustic wave is approximately λ / 12;
A fourth electrode finger having a width of approximately λ / 12 in the propagation direction of the surface acoustic wave located at a distance of 2λ / 3 from the electrode is periodically formed at a pitch of λ, and a part of the pair is formed of the first electrode finger. To the four electrode fingers are connected to the first electrode, the other pairs are connected to the first electrode finger and the first electrode, and the second electrode finger and the fourth electrode finger are connected to each other. And a short-circuit type floating electrode is formed by connecting the third electrode finger to the second electrode.

【0017】このような弾性表面波フィルタ装置では、
請求項1記載の一方向性変換器を2個組み合わせた弾性
表面波フィルタ装置と同様の作用効果を有する。
In such a surface acoustic wave filter device,
The same operation and effect as the surface acoustic wave filter device in which two one-way converters according to claim 1 are combined are provided.

【0018】本発明のうち請求項4記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、電気機械結合係数が0.1〜1.5%の
圧電性基板と、この圧電性基板上に形成され、電気信号
が外部から入力され、この電気信号を弾性表面波に変換
する入力側変換器と、前記圧電性基板上に形成され、前
記入力側変換器で励振された弾性表面波を電気信号に変
換し、この電気信号を外部に出力する出力側変換器とを
具え、前記入力側変換器と出力側変換器のうちの一方
を、前記圧電性基板上に形成された第1電極と、この第
1電極に対向するように前記圧電性基板上に形成された
第2電極とを具え、λを基本弾性表面波の伝播波長とし
た場合に、前記第1電極と第2電極との間に、弾性表面
波の伝播方向の幅がほぼλ/12の幅の第1電極指と、
この第1電極指との中心間距離がλ/6で位置する第2
電極指と、前記第1電極指との中心間距離がλ/2で位
置する第3電極指と、前記第1電極との距離が2λ/3
で位置する第4電極指とをλのピッチで周期的に形成
し、一部の対を、前記第1〜4電極指の各々を前記第1
電極に接続した対とし、それ以外の対を、前記第1電極
指を前記第1電極に接続し、前記第2電極指及び第4電
極指を相互に接続して短絡型浮き電極を構成し、かつ、
前記第3電極指を前記第2電極に接続した対とした一方
向性変換器とし、前記入力側変換器と出力側変換器のう
ちの他方を双方向性変換器としたことを特徴とするもの
である。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a surface acoustic wave filter device comprising a piezoelectric substrate having an electromechanical coupling coefficient of 0.1 to 1.5%, and an electric signal formed on the piezoelectric substrate. An input converter that is externally input and converts this electric signal into a surface acoustic wave, and a surface acoustic wave formed on the piezoelectric substrate and excited by the input converter is converted into an electric signal. An output-side converter that outputs an electric signal to the outside, wherein one of the input-side converter and the output-side converter is connected to a first electrode formed on the piezoelectric substrate, and the first electrode is connected to the first electrode. And a second electrode formed on the piezoelectric substrate so as to face each other. When λ is the propagation wavelength of the basic surface acoustic wave, a surface acoustic wave is formed between the first electrode and the second electrode. A first electrode finger whose width in the propagation direction is approximately λ / 12;
The second electrode whose center distance from the first electrode finger is located at λ / 6
The distance between the electrode finger, the third electrode finger whose center distance between the first electrode finger is λ / 2, and the first electrode is 2λ / 3
Are periodically formed at a pitch of [lambda], and a part of the pairs are respectively connected to the first to fourth electrode fingers by the first.
The other pair is connected to the electrode, and the other pair is configured such that the first electrode finger is connected to the first electrode, and the second electrode finger and the fourth electrode finger are connected to each other to form a short-circuit type floating electrode. ,And,
The third electrode finger may be a pair of one-way converters connected to the second electrode, and the other of the input-side converter and the output-side converter may be a bidirectional converter. Things.

【0019】このように、請求項1記載の一方向性変換
器を双方向性変換器と組み合わせて、本発明による弾性
表面波フィルタ装置を構成することができ、このような
弾性表面波フィルタ装置は、特にCDMA用の弾性表面
波フィルタ装置に好適である。
As described above, the surface acoustic wave filter device according to the present invention can be constructed by combining the unidirectional converter according to the first aspect with the bidirectional converter, and such a surface acoustic wave filter device. Is particularly suitable for a surface acoustic wave filter device for CDMA.

【0020】また、このような弾性表面波フィルタ装置
によって得られる電気信号の周波数特性は、一方向性変
換器の特性と双方向性変換器の特性とが掛け合わされた
特性となる。したがって、周波数特性については双方向
性変換器の良好な特性が活用され、挿入損失及びT.
T.E.(Triple TransitEcho)レ
ベルについては一方向性変換器の有用な特性が生かされ
た弾性表面波フィルタ装置を実現することができる。そ
の結果、周波数特性、挿入損失及びT.T.E.レベル
の要件を全て満足する弾性表面波フィルタ装置を実現す
ることができる。
The frequency characteristic of the electric signal obtained by such a surface acoustic wave filter device is a characteristic obtained by multiplying the characteristic of the unidirectional converter and the characteristic of the bidirectional converter. Therefore, the good characteristics of the bidirectional converter are utilized for the frequency characteristics, and the insertion loss and T.V.
T. E. FIG. With regard to the (Triple TransitEcho) level, a surface acoustic wave filter device utilizing the useful characteristics of the one-way converter can be realized. As a result, frequency characteristics, insertion loss and T.V. T. E. FIG. A surface acoustic wave filter device that satisfies all level requirements can be realized.

【0021】本発明のうち請求項5記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、電気機械結合係数が0.1〜1.5%の
圧電性基板と、この圧電性基板上に形成された双方向性
変換器と、この双方向性変換器の弾性表面波の伝播軸線
の両側に配置した第1の一方向性変換器及び第2の一方
向性変換器とを具え、前記双方向性変換器を入力側変換
器とする場合、前記第1の一方向性変換器及び第2の一
方向性変換器を出力側変換器とし、前記双方向性変換器
を出力側変換器とする場合、前記第1の一方向性変換器
及び第2の一方向性変換器を入力側変換器とし、前記第
1の一方向性変換器及び第2の一方向性変換器の各々
が、前記圧電性基板上に形成された第1電極と、この第
1電極に対向するように前記圧電性基板上に形成された
第2電極とを具え、λを基本弾性表面波の伝播波長とし
た場合に、前記第1電極と第2電極との間に、弾性表面
波の伝播方向の幅がほぼλ/12の第1電極指と、この
第1電極指との中心間距離がλ/6で位置する弾性表面
波の伝播方向の幅がほぼλ/12の第2電極指と、前記
第1電極指との中心間距離がλ/2で位置する弾性表面
波の伝播方向の幅がほぼλ/12の第3電極指と、前記
第1電極との距離が2λ/3で位置する弾性表面波の伝
播方向の幅がほぼλ/12の第4電極指とをλのピッチ
で周期的に形成し、一部の対を、前記第1〜4電極指の
各々を前記第1電極に接続した対とし、それ以外の対
を、前記第1電極指を前記第1電極に接続し、前記第2
電極指及び第4電極指を相互に接続して短絡型浮き電極
を構成し、かつ、前記第3電極指を前記第2電極に接続
した対としたことを特徴とするものである。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a surface acoustic wave filter device having a piezoelectric substrate having an electromechanical coupling coefficient of 0.1 to 1.5%, and a bidirectional filter formed on the piezoelectric substrate. And a first unidirectional converter and a second unidirectional converter arranged on both sides of the propagation axis of the surface acoustic wave of the bidirectional converter. When the input-side converter is used, the first one-way converter and the second one-way converter are used as the output-side converter, and when the bidirectional converter is used as the output-side converter, The first one-way converter and the second one-way converter are input side converters, and each of the first one-way converter and the second one-way converter is provided on the piezoelectric substrate. A first electrode formed on the piezoelectric substrate, and a second electrode formed on the piezoelectric substrate so as to face the first electrode. Is the propagation wavelength of the basic surface acoustic wave, a first electrode finger having a width in the propagation direction of the surface acoustic wave of approximately λ / 12 between the first electrode and the second electrode; A second electrode finger having a center-to-center distance of λ / 6 and having a width in the propagation direction of the surface acoustic wave of approximately λ / 12, and a center-to-center distance of the first electrode finger being λ / 2. A third electrode finger having a width of approximately λ / 12 in the propagation direction of the surface acoustic wave, and a fourth electrode finger having a width of approximately λ / 12 in the propagation direction of the surface acoustic wave located at a distance of 2λ / 3 from the first electrode. Electrode fingers are periodically formed at a pitch of λ, a part of the pairs is a pair in which each of the first to fourth electrode fingers is connected to the first electrode, and the other pair is a first electrode. Connecting a finger to said first electrode;
An electrode finger and a fourth electrode finger are connected to each other to form a short-circuit type floating electrode, and the third electrode finger is connected to the second electrode in a pair.

【0022】このように請求項1記載の一方向性変換器
を双方向性変換器の両側に配置して本発明による弾性表
面波フィルタ装置を構成することもでき、このような弾
性表面波フィルタ装置も、特にCDMA用の弾性表面波
フィルタ装置に好適である。
In this way, the surface acoustic wave filter device according to the present invention can be constructed by arranging the unidirectional converter according to claim 1 on both sides of the bidirectional converter. The device is also particularly suitable for a surface acoustic wave filter device for CDMA.

【0023】また、このように双方向性変換器の両側に
一方向性変換器を配置した場合、双方向性変換器で励振
されたエネルギーを殆ど全て有効に利用することがで
き、挿入損失を大幅に低減させるのに有利である。
When the unidirectional converters are arranged on both sides of the bidirectional converter in this manner, almost all of the energy excited by the bidirectional converter can be used effectively, and the insertion loss can be reduced. This is advantageous for a significant reduction.

【0024】本発明のうち請求項6記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、前記双方向性変換器が、λ/4の中心間
距離を以て位置し、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/8
である2個の電極指の組をλのピッチで周期的に形成し
た正電極と、同様にλ/4の中心間距離を以て位置し、
弾性表面波の伝播方向の幅がλ/8である2個の電極指
の組をλのピッチで周期的に形成され、各電極指の組が
前記正電極の隣接する電極指の組とλ/2の中心間距離
を以てそれぞれ位置する負電極とを具えることを特徴と
するものである。
In the surface acoustic wave filter device according to a sixth aspect of the present invention, the bidirectional converter is located at a center distance of λ / 4, and the width of the surface acoustic wave in the propagation direction is λ / 8.
A positive electrode in which a set of two electrode fingers is periodically formed at a pitch of λ, and similarly, with a center-to-center distance of λ / 4,
A set of two electrode fingers whose width in the propagation direction of the surface acoustic wave is λ / 8 is periodically formed at a pitch of λ, and each set of electrode fingers is set to λ with the set of adjacent electrode fingers of the positive electrode. And a negative electrode located at a center distance of / 2.

【0025】双方向性変換器として、正電極及び負電極
の各電極指の幅をλ/4に設定した変換器がある。この
変換器は励振効率の面では極めて有益である。しかしな
がら、電極指の各端間のピッチがλ/4となるため、電
極指の各端縁で生じた反射波が互いに同相になり、その
結果、1dB以上の大きなリップルが生じる。したがっ
て、一方向性変換器と組み合わせた場合、周波数特性を
満足することができない。
As a bidirectional converter, there is a converter in which the width of each of the positive and negative electrode fingers is set to λ / 4. This converter is very useful in terms of excitation efficiency. However, since the pitch between the respective ends of the electrode fingers is λ / 4, the reflected waves generated at the respective edges of the electrode fingers become in phase with each other, and as a result, a large ripple of 1 dB or more occurs. Therefore, when combined with a one-way converter, the frequency characteristics cannot be satisfied.

【0026】また、各電極指の幅をλ/8に設定した双
方向性変換器の場合、電極指の面積がλ/4型よりも少
なくなるため、励振効率はλ/4型よりも低下する。ま
た、電極指の端縁で生じる反射波の位相が相互にずれる
ために、周波数特性にリップルが生じてしまう。したが
って、一方向性変換器と組み合わせた場合、挿入損失及
び周波数特性について満足できる特性を得ることができ
ない。
In the case of a bidirectional converter in which the width of each electrode finger is set to λ / 8, the excitation efficiency is lower than that of the λ / 4 type because the area of the electrode finger is smaller than that of the λ / 4 type. I do. In addition, since the phases of the reflected waves generated at the edges of the electrode fingers are shifted from each other, ripples occur in the frequency characteristics. Therefore, when combined with a unidirectional converter, satisfactory characteristics regarding insertion loss and frequency characteristics cannot be obtained.

【0027】これに対して、幅がλ/8の2本電極指を
対とし、正電極及び負電極の電極指を2本の電極指対で
構成したλ/8スプリット型の双方向性変換器の場合、
電極指の面積はλ/4型と同一であり、高い変換効率が
得られる。また、電極指端縁で発生する反射波は互いに
位相が反転した反射波同士だけであるので、リップルの
ない極めて良好な周波数特性が得られる。したがって、
このλ/8スプリット型の電極構造を有する双方向性変
換器をλ/12型の一方向性変換器と組み合わせれば、
挿入損失、周波数特性及びT.T.E.減衰レベルにつ
いて各変換器が有する固有の欠点が互いに補完され、そ
の結果、優れた特性を有する弾性表面波フィルタ装置を
実現することができる。
On the other hand, a two-electrode finger having a width of λ / 8 is paired, and a positive / negative electrode finger is composed of two electrode finger pairs. For containers,
The area of the electrode finger is the same as that of the λ / 4 type, and high conversion efficiency can be obtained. In addition, since the reflected waves generated at the electrode finger edges are only the reflected waves whose phases are inverted from each other, an extremely good frequency characteristic without ripple can be obtained. Therefore,
If this bidirectional converter having a λ / 8 split type electrode structure is combined with a λ / 12 type unidirectional converter,
Insertion loss, frequency characteristics and T.V. T. E. FIG. The inherent drawbacks of each converter with respect to the attenuation level are complemented by each other, and as a result, a surface acoustic wave filter device having excellent characteristics can be realized.

【0028】本発明のうち請求項7記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、前記双方向性変換器を、重み付けした電
極構造としたことを特徴とするものである。
The surface acoustic wave filter device according to a seventh aspect of the present invention is characterized in that the bidirectional converter has a weighted electrode structure.

【0029】このように双方向性変換器も重み付けした
電極構造とすることによって、更に良好な周波数特性の
波形が得られるようになる。
By using a weighted electrode structure for the bidirectional converter as described above, a waveform having better frequency characteristics can be obtained.

【0030】本発明のうち請求項8記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、前記双方向性変換器の重み付け電極構造
を、弾性表面波の伝播方向に沿って前記正電極の電極指
と負電極の電極指との交叉幅が順次変化するアポタイズ
法、又は弾性表面波の伝播方向に沿って前記正電極の電
極指と負電極の電極指との交叉幅が一様で、励振強度を
変化させることによって重み付けを行う間引き法によっ
て構成したことを特徴とするものである。
In the surface acoustic wave filter device according to the present invention, the weighting electrode structure of the bidirectional converter may be configured such that an electrode finger of the positive electrode and a negative electrode are arranged along the propagation direction of the surface acoustic wave. The apodizing method in which the cross width with the electrode finger changes sequentially, or the cross width between the electrode finger of the positive electrode and the electrode finger of the negative electrode is uniform along the propagation direction of the surface acoustic wave, and the excitation intensity is changed. It is characterized by a thinning method in which weighting is performed by using

【0031】重み付けの方法として、電極指の間隔を変
化させるバリビッチ法が既知である。しかしながら、こ
の方法では、電極指における反射波に位相のずれが発生
し、これがリップルの原因となる。それに対して、アポ
タイズ法では、電極指の弾性表面波の伝播方向と直交す
る方向の長さを順次変化させているので、位相ずれによ
るリップルの発生を防止し、リップルのない良好な周波
数特性の波形が得やすくなる。このことは、弾性表面波
の伝播方向に沿って正電極の電極指と負電極の電極指と
の交叉幅が一様で、電極を間引くことによって励振強度
を変化させる重み付けを行う間引き法にも当てはまる。
なお、間引き法によって重み付けを行う場合、各対にお
ける弾性表面波の伝播速度を一致させるために、各対の
電極指幅の総和を同一にしている。
As a method of weighting, a Balibich method for changing the interval between electrode fingers is known. However, in this method, a phase shift occurs in the reflected wave from the electrode finger, which causes a ripple. On the other hand, in the apotize method, the length of the electrode finger in the direction orthogonal to the propagation direction of the surface acoustic wave is sequentially changed, so that the occurrence of ripple due to phase shift is prevented, and good frequency characteristics without ripple are obtained. It becomes easier to obtain a waveform. This also applies to the thinning method in which the intersection width between the electrode finger of the positive electrode and the electrode finger of the negative electrode is uniform along the propagation direction of the surface acoustic wave, and the excitation intensity is changed by thinning the electrodes. apply.
When weighting is performed by the thinning method, the sum of the electrode finger widths of each pair is the same in order to make the propagation speed of the surface acoustic wave in each pair coincide.

【0032】本発明のうち請求項9記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、前記圧電性基板を、水晶基板、タンタル
酸リチウム基板、ほう酸リチウム基板又はランガサイト
基板としたことを特徴とするものである。
The surface acoustic wave filter device according to a ninth aspect of the present invention is characterized in that the piezoelectric substrate is a quartz substrate, a lithium tantalate substrate, a lithium borate substrate or a langasite substrate. .

【0033】このような弾性表面波フィルタ装置は、請
求項2記載の一方向性変換器を用いた弾性表面波フィル
タ装置と同様の作用効果を有する。
Such a surface acoustic wave filter device has the same operation and effect as the surface acoustic wave filter device using the one-way converter according to the second aspect.

【0034】[0034]

【発明の実施の形態】本発明による弾性表面波フィルタ
装置及び一方向性変換器の実施の形態を、図面を参照し
て詳細に説明する。なお、図面は線形的であり、寸法通
りではない。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of a surface acoustic wave filter device and a unidirectional converter according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The drawings are linear and are not to scale.

【0035】図1は、本発明による一方向性変換器の実
施の形態を示す図である。この一方向性変換器を入力側
変換器として用いる場合、図において右方向に弾性表面
波が伝播し、出力側変換器として用いる場合、図におい
て左方向に弾性表面波が伝播する。
FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a one-way converter according to the present invention. When this one-way converter is used as an input-side converter, a surface acoustic wave propagates rightward in the figure, and when used as an output-side converter, a surface acoustic wave propagates leftward in the figure.

【0036】本実施の形態において、圧電性基板として
水晶基板1を用いる。水晶基板は、温度変化に対する帯
域幅変化が微小であるので、温度変化による通過周波数
帯域の変化を微小に維持することができる。
In this embodiment, a quartz substrate 1 is used as a piezoelectric substrate. Since the crystal substrate has a small change in the bandwidth with respect to the temperature change, the change in the pass frequency band due to the temperature change can be kept small.

【0037】この一方向性変換器は第1電極としての正
電極2及び第2電極としての負電極3を具える。一部の
対(図1の対A)を、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/
12の第1〜4電極指4〜7を正電極2に接続する。な
お、第1電極指4と第2電極指5との中心間距離をλ/
6とし、第1電極指4と第3電極指6との中間位置をλ
/2とし、第1電極指4と第4電極指7との中心間距離
を2λ/3とする。このような対Aを、所望の特性に応
じて規則的又は不規則的に配置する。
This one-way converter has a positive electrode 2 as a first electrode and a negative electrode 3 as a second electrode. Some pairs (pair A in FIG. 1) have a width of λ /
Twelve first to fourth electrode fingers 4 to 7 are connected to the positive electrode 2. Note that the center-to-center distance between the first electrode finger 4 and the second electrode finger 5 is λ /
6, and an intermediate position between the first electrode finger 4 and the third electrode finger 6 is λ.
/ 2, and the center-to-center distance between the first electrode finger 4 and the fourth electrode finger 7 is 2λ / 3. Such pairs A are arranged regularly or irregularly according to desired characteristics.

【0038】それ以外の対(例えば、図1の対B)を、
第1電極指8を正電極2に接続し、第2電極指9及び第
4電極指10を相互に接続して短絡型浮き電極11を構
成し、第3電極12を負電極3に接続した対とする。こ
の場合も、第1電極指8と第2電極指9との中心間距離
をλ/6とし、第1電極指8と第3電極指12との中心
間距離をλ/2とし、第1電極指8と第4電極指10と
の中心間距離を2λ/3とする。
Other pairs (for example, pair B in FIG. 1)
The first electrode finger 8 was connected to the positive electrode 2, the second electrode finger 9 and the fourth electrode finger 10 were connected to each other to form a short-circuit floating electrode 11, and the third electrode 12 was connected to the negative electrode 3. Make a pair. Also in this case, the center distance between the first electrode finger 8 and the second electrode finger 9 is λ / 6, the center distance between the first electrode finger 8 and the third electrode finger 12 is λ / 2, The center distance between the electrode finger 8 and the fourth electrode finger 10 is 2λ / 3.

【0039】なお、正電極2及び負電極3の対数を、例
えば200対に設定するが、この対数は、要求される変
換器特性に応じて適宜最適条件に設定することができ
る。また、対A及び対Bの数を、要求される変換器特性
に応じて適宜最適条件に設定することができる。
The logarithm of the positive electrode 2 and the negative electrode 3 is set to, for example, 200 pairs. This logarithm can be set to an optimum condition as appropriate according to the required converter characteristics. In addition, the number of pairs A and pairs B can be appropriately set to optimal conditions according to required converter characteristics.

【0040】本実施の形態の動作を説明する。図1に示
した一方向性変換器を、端子13及び14から電気信号
が入力される入力側変換器に用いるとともに、第1電極
指と第2〜4電極指との中心間距離が弾性表面波の伝播
方向とは逆の方向でそれぞれλ/6,λ/2及び2λ/
3となるように配置した点を除いて同一構成の一方向性
変換器を出力側変換器として用いた弾性表面波フィルタ
装置について考察する。
The operation of this embodiment will be described. The one-way converter shown in FIG. 1 is used for an input-side converter to which an electric signal is input from terminals 13 and 14, and the distance between the centers of the first electrode finger and the second to fourth electrode fingers is set to be an elastic surface. Λ / 6, λ / 2 and 2λ / in the direction opposite to the wave propagation direction, respectively.
A surface acoustic wave filter device using a one-way converter having the same configuration as the output-side converter except that it is arranged to be 3 will be considered.

【0041】図2は、図1の対Bにおける励振波及び反
射波の位相関係を説明するための図であり、図3は、図
2における位相関係のベクトル図である。また、図4
は、図1の対Bにおける励振波及び反射波の位相関係を
説明するための図であり、図5は、図4における位相関
係のベクトル図である。対Bにおいては、短絡型浮き電
極が配置された位置の電位は強制的に零にされるため、
圧電性基板(この場合、水晶基板)表面に形成される電
界分布が変化することによって、電極指Fp1の励振中
心がシフトし、これによって励振波と反射波との間の理
想状態に近い位相シフトを発生させることができ、短絡
型浮き電極の電極指を、正電極の電極指と負電極の電極
指との中間位置から弾性表面波の伝播方向とは反対の方
向にλ/12偏位して配置した場合、最良の結果が得ら
れる。
FIG. 2 is a diagram for explaining the phase relationship between the excitation wave and the reflected wave in the pair B of FIG. 1, and FIG. 3 is a vector diagram of the phase relationship in FIG. FIG.
FIG. 5 is a diagram for explaining the phase relationship between the excitation wave and the reflected wave in the pair B in FIG. 1, and FIG. 5 is a vector diagram of the phase relationship in FIG. In the pair B, since the potential at the position where the short-circuit type floating electrode is arranged is forcibly made zero,
When the electric field distribution formed on the surface of the piezoelectric substrate (in this case, the quartz substrate) changes, the excitation center of the electrode finger Fp1 shifts, thereby causing a phase shift between the excitation wave and the reflected wave that is close to an ideal state. Can be generated, and the electrode finger of the short-circuit type floating electrode is displaced by λ / 12 from an intermediate position between the electrode finger of the positive electrode and the electrode finger of the negative electrode in a direction opposite to the propagation direction of the surface acoustic wave. The best results are obtained if they are arranged in a vertical position.

【0042】このように短絡型浮き電極を用いることに
よって、励振中心は正電極の中心から図2の左方向に偏
位する。その結果、電極指Fp1から各電極指Fs1,
Fn,Fs2及びFp2に入射し、右方向に反射する各
反射波rs1,rn,rs2,rpは励振波E1に対し
て位相遅れが少なくなる。その結果、右方向に反射する
合成反射波R1は励振波E1に対してほぼ同相となる。
それに対して、図4及び5に示すように、左方向に反射
する各反射波rs1,rn,rs2,rpは励振波E2
に対して更に位相が遅れた状態となる。その結果、左方
向に反射する合成反射波R2は励振波E2に対してほぼ
逆位相となる。この結果、ほぼ理想状態の一方向性が達
成される。
As described above, by using the short-circuit type floating electrode, the excitation center is shifted to the left in FIG. 2 from the center of the positive electrode. As a result, each of the electrode fingers Fs1 to Fs1,
Each of the reflected waves rs1, rn, rs2, and rp incident on Fn, Fs2, and Fp2 and reflected rightward has a smaller phase delay with respect to the excitation wave E1. As a result, the combined reflected wave R1 reflected to the right has substantially the same phase as the excitation wave E1.
On the other hand, as shown in FIGS. 4 and 5, each of the reflected waves rs1, rn, rs2, and rp reflected in the left direction is the excitation wave E2.
, The phase is further delayed. As a result, the combined reflected wave R2 reflected to the left has substantially the opposite phase to the excitation wave E2. As a result, almost ideal one-way state is achieved.

【0043】図6は、図1の対Aにおける励振波及び反
射波の位相関係を説明するための図であり、図7は、図
6における位相関係のベクトル図である。電極指Fp
1,Fs3,Fs4,Fs5が全て正電極に接続してい
るので、励振波が発生せず、電極指Fp1,Fs3,F
s4,Fs5の反射波rp1,rs3,rs4,rs5
のみが生じる。対Aにはそれより上流の対Bで発生した
励振波及び対Bの反射波が発生し、これら反射波rp
1,rs3,rs4,rs5のベクトル和R3の向きが
上流の対Bで発生した励振波の向きと同一であるので、
対Aにおいても出力側変換器方向にのみ反射波が伝播す
る。また、対Bについて正電極のみに電極指Fp1,F
s3,Fs4,Fs5を接続した間引き電極構造によっ
て、各対についての電極指幅が同一になるので、対Aを
伝播する弾性表面波の伝播速度は、対Bを伝播する弾性
表面波の伝播速度と同一となり、弾性表面波フィルタ装
置の特性に悪影響が及ぼされない。
FIG. 6 is a diagram for explaining the phase relationship between the excitation wave and the reflected wave in the pair A in FIG. 1, and FIG. 7 is a vector diagram of the phase relationship in FIG. Electrode finger Fp
Since Fs1, Fs3, Fs4, and Fs5 are all connected to the positive electrode, no excitation wave is generated, and the electrode fingers Fp1, Fs3, Fs
s4, Fs5 reflected waves rp1, rs3, rs4, rs5
Only occurs. In the pair A, an excitation wave generated in the pair B upstream thereof and a reflected wave of the pair B are generated, and these reflected waves rp
Since the direction of the vector sum R3 of 1, rs3, rs4, and rs5 is the same as the direction of the excitation wave generated in the upstream pair B,
In the pair A, the reflected wave propagates only in the direction of the output converter. Further, for the pair B, the electrode fingers Fp1 and Fp are applied only to the positive electrode.
Since the electrode finger width of each pair is the same due to the thinned electrode structure connecting s3, Fs4, and Fs5, the propagation speed of the surface acoustic wave propagating through pair A is equal to the propagation speed of surface acoustic wave propagating through pair B. And the characteristics of the surface acoustic wave filter device are not adversely affected.

【0044】このように、一部の対Aについて第1〜第
4電極指9〜12(図1)を正電極2(図1)のみに接
続することによって、一方向性変換器に対して、一方向
性の特性を十分生かしながら種々の特性を満足する間引
き重み付け電極構造を構成することができる。なお、こ
のような一方向性変換器を出力側変換器に用いた場合で
も、同様な作用効果を得ることができる。
As described above, by connecting the first to fourth electrode fingers 9 to 12 (FIG. 1) to only the positive electrode 2 (FIG. 1) for a part of the pair A, a one-way converter can be controlled. In addition, it is possible to configure a thinned-out weighted electrode structure that satisfies various characteristics while making full use of the unidirectional characteristics. Note that the same operation and effect can be obtained even when such a one-way converter is used as the output-side converter.

【0045】図8は、本発明による弾性表面波フィルタ
装置の第1の実施の形態を示す図である。本実施の形態
でも、圧電性基板として水晶基板21を用いる。この水
晶基板21の表面上に、電気信号が端子22及び23を
通じて外部から入力され、この電気信号を弾性表面波に
変換する入力側変換器24と、シールド電極25と、入
力側変換器24で励振された弾性表面波を電気信号に変
換し、この電気信号を端子26及び27を通じて外部に
出力する出力側変換器28とを、弾性表面波の伝播方向
に沿って形成する。
FIG. 8 is a diagram showing a first embodiment of a surface acoustic wave filter device according to the present invention. Also in the present embodiment, the quartz substrate 21 is used as the piezoelectric substrate. An electric signal is externally input to the surface of the quartz substrate 21 through terminals 22 and 23, and an input-side converter 24 for converting the electric signal into a surface acoustic wave, a shield electrode 25, and an input-side converter 24. An output converter 28 that converts the excited surface acoustic wave into an electric signal and outputs the electric signal to the outside through terminals 26 and 27 is formed along the propagation direction of the surface acoustic wave.

【0046】入力側変換器24を、図1に示した間引き
電極構造の一方向性変換器と同一のものとする。出力側
変換器28は、各対について第1〜4電極指を、第1電
極指と第2〜4電極指との中心間距離が弾性表面波の伝
播方向とは反対の方向でそれぞれλ/6,λ/2及び2
λ/3となるように配置した点を除いて図1に示した一
方向性変換器と同一構造を有する。
The input-side converter 24 is the same as the one-way converter having the thinned-out electrode structure shown in FIG. The output-side converter 28 outputs the first to fourth electrode fingers for each pair in a direction in which the center-to-center distance between the first and second electrode fingers is opposite to the propagation direction of the surface acoustic wave. 6, λ / 2 and 2
It has the same structure as the one-way converter shown in FIG. 1 except that it is arranged to be λ / 3.

【0047】このような弾性表面波フィルタ装置では、
図1に示した一方向性変換器と、これと同様な構成の一
方向性変換器とを組み合わせた弾性表面波フィルタ装置
と同様な作用効果を有する。
In such a surface acoustic wave filter device,
The same operation and effect as those of the surface acoustic wave filter device obtained by combining the one-way converter shown in FIG. 1 and the one-way converter having the same configuration as above are provided.

【0048】図9は、本発明による弾性表面波フィルタ
装置の第2の実施の形態を示す図である。本実施の形態
では、入力側変換器35を、図2の入力側変換器24と
同一構成のものとする。出力側変換器36を、λ/4の
中心間距離を以て配置した2個の電極指の組をλのピッ
チで周期的に複数形成した正電極37及び負電極38を
有するスプリット電極構造の双方向性変換器で構成し、
正電極37の各電極指の組が負電極38の電極指の組と
λ/2の中心間距離を以てそれぞれ位置するように設定
する。本実施の形態では、弾性表面波の変換効率を良く
するために、これら正電極37及び負電極38の電極指
の幅をλ/8に設定する。このように構成することによ
って、互いに隣接する電極指の間隔が全てλ/8に設定
されることになる。出力側変換器36の対数を、例えば
300対に設定する。
FIG. 9 is a diagram showing a surface acoustic wave filter device according to a second embodiment of the present invention. In the present embodiment, the input converter 35 has the same configuration as the input converter 24 in FIG. The output-side converter 36 is bidirectional in a split electrode structure having a positive electrode 37 and a negative electrode 38 in which a plurality of pairs of two electrode fingers arranged at a center distance of λ / 4 are periodically formed at a pitch of λ. Sex transducer,
The pair of electrode fingers of the positive electrode 37 is set so as to be located at a center-to-center distance of λ / 2 with the pair of electrode fingers of the negative electrode 38. In the present embodiment, the width of the electrode fingers of the positive electrode 37 and the negative electrode 38 is set to λ / 8 in order to improve the conversion efficiency of the surface acoustic wave. With this configuration, the intervals between the electrode fingers adjacent to each other are all set to λ / 8. The logarithm of the output side converter 36 is set to, for example, 300 pairs.

【0049】また、出力側変換器36には、アポタイズ
法による重み付けが行われており、正電極37の電極指
と負電極38の電極指との交叉幅すなわち開口長を、弾
性表面波の伝播方向に沿って変化させている。
The output side converter 36 is weighted by the apodizing method, and the width of the intersection between the electrode finger of the positive electrode 37 and the electrode finger of the negative electrode 38, that is, the opening length is determined by the propagation of the surface acoustic wave. It changes along the direction.

【0050】このように、本発明による一方向性変換器
を双方向性変換器と組み合わせて、本発明による弾性表
面波フィルタ装置を構成することができ、このような弾
性表面波フィルタ装置は、特にCDMA用の弾性表面波
フィルタ装置に好適である。
As described above, the surface acoustic wave filter device according to the present invention can be configured by combining the unidirectional converter according to the present invention with the bidirectional converter. Particularly, it is suitable for a surface acoustic wave filter device for CDMA.

【0051】また、このような弾性表面波フィルタ装置
によって得られる電気信号の周波数特性は、一方向性変
換器の特性と双方向性変換器の特性とが掛け合わされた
特性となる。したがって、周波数特性については双方向
性変換器の良好な特性が活用され、挿入損失及びT.
T.E.レベルについては一方向性変換器の有用な特性
が生かされた弾性表面波フィルタ装置を実現することが
できる。その結果、周波数特性、挿入損失及びT.T.
E.レベルの要件を全て満足する弾性表面波フィルタ装
置を実現することができる。
The frequency characteristic of the electric signal obtained by such a surface acoustic wave filter device is a characteristic obtained by multiplying the characteristic of the unidirectional converter and the characteristic of the bidirectional converter. Therefore, the good characteristics of the bidirectional converter are utilized for the frequency characteristics, and the insertion loss and T.V.
T. E. FIG. As for the level, it is possible to realize a surface acoustic wave filter device utilizing the useful characteristics of the one-way converter. As a result, frequency characteristics, insertion loss and T.V. T.
E. FIG. A surface acoustic wave filter device that satisfies all level requirements can be realized.

【0052】図10は、本発明による弾性表面波フィル
タ装置の第4の実施の形態を示す図である。本実施の形
態では、入力側変換器39の両側に第1及び第2の出力
側変換器40及び41を配置する。入力側変換器39
を、図9の出力側変換器36と同一のものとし、第1の
出力側変換器40を、図8の入力側変換器24と同一の
ものとし、第2の出力側変換器41を、正電極を負電極
にするとともに負電極を正電極とした点を除いて図2の
出力側変換器28と同一のものとする。
FIG. 10 is a diagram showing a surface acoustic wave filter device according to a fourth embodiment of the present invention. In the present embodiment, first and second output converters 40 and 41 are arranged on both sides of the input converter 39. Input side converter 39
Is the same as the output-side converter 36 in FIG. 9, the first output-side converter 40 is the same as the input-side converter 24 in FIG. 8, and the second output-side converter 41 is It is the same as the output converter 28 of FIG. 2 except that the positive electrode is a negative electrode and the negative electrode is a positive electrode.

【0053】このように、図1に示した一方向性変換器
を双方向性変換器の両側に配置することによって、特に
CDMA用の弾性表面波フィルタ装置に好適な弾性表面
波フィルタ装置を構成することができる。また、このよ
うに双方向性変換器の両側に一方向性変換器を配置する
ことによって、双方向性変換器で励振されたエネルギー
をほとんど全て有効に利用することができ、挿入損失を
大幅に低減させるのに有利である。
Thus, by arranging the one-way converter shown in FIG. 1 on both sides of the two-way converter, a surface acoustic wave filter device particularly suitable for a surface acoustic wave filter device for CDMA is constructed. can do. Also, by arranging the unidirectional converters on both sides of the bidirectional converter in this way, almost all of the energy excited by the bidirectional converter can be effectively used, and the insertion loss can be greatly reduced. It is advantageous to reduce.

【0054】次に、図8に示した本発明による弾性表面
波フィルタ装置の特性と、図11に示した従来の弾性表
面波フィルタ装置の特性との比較を行う。なお、図11
に示す弾性表面波フィルタ装置では、一部の対を、第1
電極指を正電極又は負電極に接続し、第2電極指及び第
4電極指を相互に接続して短絡型浮き電極を構成し、か
つ、第3電極指を負電極又は正電極に接続した対とし、
それ以外の対を、第1〜4電極指を有しない対とし、一
部の対及びそれ以外の対の配置については図8に示した
弾性表面波フィルタ装置と同様にした間引き電極構造を
有するものとする。
Next, the characteristics of the surface acoustic wave filter device according to the present invention shown in FIG. 8 will be compared with the characteristics of the conventional surface acoustic wave filter device shown in FIG. Note that FIG.
In the surface acoustic wave filter device shown in FIG.
The electrode finger was connected to the positive electrode or the negative electrode, the second electrode finger and the fourth electrode finger were connected to each other to form a short-circuit type floating electrode, and the third electrode finger was connected to the negative electrode or the positive electrode. Pair
Other pairs are pairs without the first to fourth electrode fingers, and the arrangement of some and other pairs has a thinned-out electrode structure similar to that of the surface acoustic wave filter device shown in FIG. Shall be.

【0055】図12は、図8の弾性表面波フィルタ装置
の特性図である。この場合、一方向性が十分生かされる
とともに所望の特性を満足するように重み付けを行うこ
とによって、挿入損失が十分低減されるとともに、所望
の特性(この場合、広帯域)が得られることがわかる。
FIG. 12 is a characteristic diagram of the surface acoustic wave filter device of FIG. In this case, it is understood that the weighting is performed so that the one-way property is sufficiently utilized and the desired characteristics are satisfied, whereby the insertion loss is sufficiently reduced and the desired characteristics (in this case, a wide band) are obtained.

【0056】図13は、図11の弾性表面波フィルタ装
置の特性図である。図13に示すような間引き重み付け
を行った場合、一部の対とそれ以外の対との間に伝播速
度が生じるために一部の対の各々で生じた励振波及び反
射波の位相差が発生し、強いリップル及び減衰量の悪化
が生じることがわかる。
FIG. 13 is a characteristic diagram of the surface acoustic wave filter device of FIG. When the thinning-out weighting as shown in FIG. 13 is performed, the phase difference between the excitation wave and the reflected wave generated in each of the pairs is caused by the propagation speed between some pairs and the other pairs. It can be seen that strong ripples and deterioration of attenuation amount occur.

【0057】本発明は、上記実施の形態に限定されるも
のではなく、幾多の変更及び変形が可能である。例え
ば、上記実施の形態において、圧電性基板として水晶基
板を用いたが、タンタル酸リチウム基板(LiTa
3 )、ほう酸リチウム基板(Li3 4 7 )又はラ
ンガサイト基板8(La3 Ga5 SiO14)を代わりに
用いることもできる。
The present invention is not limited to the above embodiment, and many modifications and variations are possible. For example, in the above embodiment, a quartz substrate was used as the piezoelectric substrate, but a lithium tantalate substrate (LiTa
O 3 ), a lithium borate substrate (Li 3 B 4 O 7 ) or a langasite substrate 8 (La 3 Ga 5 SiO 14 ) can be used instead.

【0058】また、上記弾性表面波フィルタ装置の第1
〜3の実施の形態において、入力側変換器を出力側変換
器として用いるとともに、出力側変換器を入力側変換器
として用いることもできる。
Further, the first surface acoustic wave filter device of the first embodiment
In the third to third embodiments, the input-side converter can be used as the output-side converter, and the output-side converter can be used as the input-side converter.

【0059】上記双方向性変換器を重み付けするに当た
り、アポタイズ法の代わりに間引き法によって重み付け
することもできる。この場合、各対における弾性表面波
の伝播速度を一致させるために、各対の電極指の総和を
同一にしている。
In weighting the bidirectional converter, weighting may be performed by a thinning method instead of the apotizing method. In this case, in order to make the propagation speed of the surface acoustic wave in each pair coincide, the sum of the electrode fingers of each pair is the same.

【0060】図1に示した一方向性変換器を従来既知の
変換器と組み合わせて弾性表面波フィルタ装置を構成す
ることもできる。
The surface acoustic wave filter device can also be constructed by combining the one-way converter shown in FIG. 1 with a conventionally known converter.

【0061】さらに、一方向性変換器及び双方向性変換
器の正電極を負電極にするとともに、負電極を正電極と
することもできる。
Further, the positive electrode of the one-way converter and the bidirectional converter may be a negative electrode, and the negative electrode may be a positive electrode.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による一方向性変換器の実施の形態を示
す図である。
FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a one-way converter according to the present invention.

【図2】図1の対Aにおける励振波及び反射波の位相関
係を説明するための図である。
FIG. 2 is a diagram for explaining a phase relationship between an excitation wave and a reflected wave in a pair A of FIG. 1;

【図3】図2における位相関係のベクトル図である。FIG. 3 is a vector diagram of a phase relationship in FIG. 2;

【図4】図1の対Aにおける別の励振波及び反射波の位
相関係を説明するための図である。
FIG. 4 is a diagram for explaining a phase relationship between another excitation wave and a reflected wave in the pair A of FIG. 1;

【図5】図4における位相関係のベクトル図である。FIG. 5 is a vector diagram of a phase relationship in FIG. 4;

【図6】図1の対Bにおける励振波及び反射波の位相関
係を説明するための図である。
FIG. 6 is a diagram for explaining a phase relationship between an excitation wave and a reflected wave in pair B of FIG. 1;

【図7】図6における位相関係のベクトル図である。FIG. 7 is a vector diagram of a phase relationship in FIG. 6;

【図8】本発明による弾性表面波フィルタ装置の第1の
実施の形態を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing a first embodiment of a surface acoustic wave filter device according to the present invention.

【図9】本発明による弾性表面波フィルタ装置の第2の
実施の形態を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a surface acoustic wave filter device according to a second embodiment of the present invention.

【図10】本発明による弾性表面波フィルタ装置の第3
の実施の形態を示す図である。
FIG. 10 shows a third example of the surface acoustic wave filter device according to the present invention.
It is a figure showing an embodiment.

【図11】従来の弾性表面波フィルタ装置を示す図であ
る。
FIG. 11 is a diagram showing a conventional surface acoustic wave filter device.

【図12】図8の弾性表面波フィルタ装置の特性図であ
る。
12 is a characteristic diagram of the surface acoustic wave filter device of FIG.

【図13】図11の弾性表面波フィルタ装置の特性図で
ある。
13 is a characteristic diagram of the surface acoustic wave filter device of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,21 水晶基板、2,37 正電極、3,38 負
電極、4,9 第1電極指、5,10 第2電極指、
6,12 第4電極指、7,29 短絡型浮き電極、
8,11 第3電極指、13,14,22,23,2
6,27 端子、24,35,39,42 入力側変換
器、25 シールド電極、28,36 出力側変換器、
40 第1の出力側変換器、41 第2の出力側変換器
1,21 quartz substrate, 2,37 positive electrode, 3,38 negative electrode, 4,9 first electrode finger, 5,10 second electrode finger,
6,12 fourth electrode finger, 7,29 short-circuit type floating electrode,
8, 11 Third electrode finger, 13, 14, 22, 23, 2
6, 27 terminals, 24, 35, 39, 42 input converter, 25 shield electrode, 28, 36 output converter,
40 first output converter, 41 second output converter

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】弾性表面波フィルタ装置用の一方向性変換
器であって、電気機械結合係数が0.1〜1.5%の圧
電性基板と、この圧電性基板上に形成された第1電極
と、この第1電極に対向するように前記圧電性基板上に
形成された第2電極とを具え、 λを基本弾性表面波の伝播波長とした場合に、前記第1
電極と第2電極との間に、弾性表面波の伝播方向の幅が
ほぼλ/12の第1電極指と、この第1電極指との中心
間距離がλ/6で位置する弾性表面波の伝播方向の幅が
ほぼλ/12の第2電極指と、前記第1電極指との中心
間距離がλ/2で位置する弾性表面波の伝播方向の幅が
ほぼλ/12の第3電極指と、前記第1電極との距離が
2λ/3で位置する弾性表面波の伝播方向の幅がほぼλ
/12の第4電極指とをλのピッチで周期的に形成し、 一部の対を、前記第1〜4電極指の各々を前記第1電極
に接続した対とし、 それ以外の対を、前記第1電極指を前記第1電極に接続
し、前記第2電極指及び第4電極指を相互に接続して短
絡型浮き電極を構成し、かつ、前記第3電極指を前記第
2電極に接続した対としたことを特徴とする一方向性変
換器。
1. A one-way transducer for a surface acoustic wave filter device, comprising: a piezoelectric substrate having an electromechanical coupling coefficient of 0.1 to 1.5%; and a first piezoelectric substrate formed on the piezoelectric substrate. A first electrode and a second electrode formed on the piezoelectric substrate so as to face the first electrode, wherein λ is a propagation wavelength of a basic surface acoustic wave;
A first electrode finger having a width in the propagation direction of the surface acoustic wave of approximately λ / 12 between the electrode and the second electrode, and a surface acoustic wave having a center distance of λ / 6 between the first electrode finger and the first electrode finger; And a third electrode finger having a width in the propagation direction of a surface acoustic wave located at a center-to-center distance of λ / 2 between the second electrode finger having a width of approximately λ / 12 and the first electrode finger having a width of approximately λ / 12. When the distance between the electrode finger and the first electrode is 2λ / 3, the width of the surface acoustic wave in the propagation direction is approximately λ.
/ 12 and the fourth electrode fingers are periodically formed at a pitch of λ, and some of the pairs are pairs in which each of the first to fourth electrode fingers is connected to the first electrode. Connecting the first electrode finger to the first electrode, connecting the second electrode finger and the fourth electrode finger to each other to form a short-circuit type floating electrode, and connecting the third electrode finger to the second electrode finger. A one-way converter characterized by a pair connected to an electrode.
【請求項2】前記圧電性基板を、水晶基板、タンタル酸
リチウム基板、ほう酸リチウム基板又はランガサイト基
板としたことを特徴とする請求項1記載の一方向性変換
器。
2. The unidirectional converter according to claim 1, wherein said piezoelectric substrate is a quartz substrate, a lithium tantalate substrate, a lithium borate substrate or a langasite substrate.
【請求項3】電気機械結合係数が0.1〜1.5%の圧
電性基板と、この圧電性基板上に形成され、電気信号が
外部から入力され、この電気信号を弾性表面波に変換す
る入力側変換器と、前記圧電性基板上に形成され、前記
入力側変換器で励振された弾性表面波を電気信号に変換
し、この電気信号を外部に出力する出力側変換器とを具
え、 前記入力側変換器及び出力側変換器をそれぞれ、前記圧
電性基板上に形成された第1電極と、この第1電極に対
向するように前記圧電性基板上に形成された第2電極と
を具え、λを基本弾性表面波の伝播波長とした場合に、
前記第1電極と第2電極との間に、弾性表面波の伝播方
向の幅がほぼλ/12の第1電極指と、この第1電極指
との中心間距離がλ/6で位置する弾性表面波の伝播方
向の幅がほぼλ/12の第2電極指と、前記第1電極指
との中心間距離がλ/2で位置する弾性表面波の伝播方
向の幅がほぼλ/12の第3電極指と、前記第1電極と
の距離が2λ/3で位置する弾性表面波の伝播方向の幅
がほぼλ/12の第4電極指とをλのピッチで周期的に
形成し、一部の対を、前記第1〜4電極指の各々を前記
第1電極に接続した対とし、それ以外の対を、前記第1
電極指を前記第1電極に接続し、前記第2電極指及び第
4電極指を相互に接続して短絡型浮き電極を構成し、か
つ、前記第3電極指を前記第2電極に接続した対とした
一方向性変換器としたことを特徴とする弾性表面波フィ
ルタ装置。
3. A piezoelectric substrate having an electromechanical coupling coefficient of 0.1 to 1.5%, an electric signal formed on the piezoelectric substrate, an electric signal being input from outside, and converting the electric signal into a surface acoustic wave. And an output converter formed on the piezoelectric substrate, converts the surface acoustic wave excited by the input converter to an electric signal, and outputs the electric signal to the outside. A first electrode formed on the piezoelectric substrate and a second electrode formed on the piezoelectric substrate so as to face the first electrode; When λ is the propagation wavelength of the basic surface acoustic wave,
A first electrode finger whose width in the direction of propagation of the surface acoustic wave is approximately λ / 12 and a center-to-center distance between the first electrode and the second electrode is λ / 6. A second electrode finger having a width of approximately λ / 12 in the propagation direction of the surface acoustic wave, and a width of approximately λ / 12 in the propagation direction of the surface acoustic wave located at a center distance of λ / 2 from the first electrode finger; And a fourth electrode finger having a width of approximately λ / 12 in the propagation direction of the surface acoustic wave located at a distance of 2λ / 3 from the first electrode at a pitch of λ. , Some pairs are pairs in which each of the first to fourth electrode fingers is connected to the first electrode, and the other pairs are the first electrodes.
An electrode finger was connected to the first electrode, the second electrode finger and the fourth electrode finger were connected to each other to form a short-circuit type floating electrode, and the third electrode finger was connected to the second electrode. A surface acoustic wave filter device comprising a pair of unidirectional transducers.
【請求項4】電気機械結合係数が0.1〜1.5%の圧
電性基板と、この圧電性基板上に形成され、電気信号が
外部から入力され、この電気信号を弾性表面波に変換す
る入力側変換器と、前記圧電性基板上に形成され、前記
入力側変換器で励振された弾性表面波を電気信号に変換
し、この電気信号を外部に出力する出力側変換器とを具
え、 前記入力側変換器と出力側変換器のうちの一方を、前記
圧電性基板上に形成された第1電極と、この第1電極に
対向するように前記圧電性基板上に形成された第2電極
とを具え、λを基本弾性表面波の伝播波長とした場合
に、前記第1電極と第2電極との間に、弾性表面波の伝
播方向の幅がほぼλ/12の幅の第1電極指と、この第
1電極指との中心間距離がλ/6で位置する第2電極指
と、前記第1電極指との中心間距離がλ/2で位置する
第3電極指と、前記第1電極との距離が2λ/3で位置
する第4電極指とをλのピッチで周期的に形成し、一部
の対を、前記第1〜4電極指の各々を前記第1電極に接
続した対とし、それ以外の対を、前記第1電極指を前記
第1電極に接続し、前記第2電極指及び第4電極指を相
互に接続して短絡型浮き電極を構成し、かつ、前記第3
電極指を前記第2電極に接続した対とした一方向性変換
器とし、 前記入力側変換器と出力側変換器のうちの他方を双方向
性変換器としたことを特徴とする弾性表面波フィルタ装
置。
4. A piezoelectric substrate having an electromechanical coupling coefficient of 0.1 to 1.5%, an electric signal formed on the piezoelectric substrate, an electric signal being input from the outside, and converting the electric signal into a surface acoustic wave. And an output converter formed on the piezoelectric substrate, converts the surface acoustic wave excited by the input converter to an electric signal, and outputs the electric signal to the outside. A first electrode formed on the piezoelectric substrate, and a first electrode formed on the piezoelectric substrate facing the first electrode. When two electrodes are provided and λ is the propagation wavelength of the basic surface acoustic wave, the width of the surface acoustic wave in the propagation direction is approximately λ / 12 between the first electrode and the second electrode. A first electrode finger, a second electrode finger having a center-to-center distance between the first electrode finger and λ / 6, Forming a third electrode finger whose center distance to the finger is λ / 2 and a fourth electrode finger whose distance to the first electrode is 2λ / 3 at a pitch of λ; A pair of parts is a pair in which each of the first to fourth electrode fingers is connected to the first electrode, and the other pair is a pair in which the first electrode finger is connected to the first electrode and the second electrode finger is connected to the second electrode finger. And the fourth electrode fingers are connected to each other to form a short-circuit type floating electrode;
A surface acoustic wave comprising: a one-way converter having a pair of electrode fingers connected to the second electrode; and the other of the input-side converter and the output-side converter being a bidirectional converter. Filter device.
【請求項5】電気機械結合係数が0.1〜1.5%の圧
電性基板と、この圧電性基板上に形成された双方向性変
換器と、この双方向性変換器の弾性表面波の伝播軸線の
両側に配置した第1の一方向性変換器及び第2の一方向
性変換器とを具え、 前記双方向性変換器を入力側変換器とする場合、前記第
1の一方向性変換器及び第2の一方向性変換器を出力側
変換器とし、前記双方向性変換器を出力側変換器とする
場合、前記第1の一方向性変換器及び第2の一方向性変
換器を入力側変換器とし、 前記第1の一方向性変換器及び第2の一方向性変換器の
各々が、前記圧電性基板上に形成された第1電極と、こ
の第1電極に対向するように前記圧電性基板上に形成さ
れた第2電極とを具え、 λを基本弾性表面波の伝播波長とした場合に、前記第1
電極と第2電極との間に、弾性表面波の伝播方向の幅が
ほぼλ/12の第1電極指と、この第1電極指との中心
間距離がλ/6で位置する弾性表面波の伝播方向の幅が
ほぼλ/12の第2電極指と、前記第1電極指との中心
間距離がλ/2で位置する弾性表面波の伝播方向の幅が
ほぼλ/12の第3電極指と、前記第1電極との距離が
2λ/3で位置する弾性表面波の伝播方向の幅がほぼλ
/12の第4電極指とをλのピッチで周期的に形成し、 一部の対を、前記第1〜4電極指の各々を前記第1電極
に接続した対とし、それ以外の対を、前記第1電極指を
前記第1電極に接続し、前記第2電極指及び第4電極指
を相互に接続して短絡型浮き電極を構成し、かつ、前記
第3電極指を前記第2電極に接続した対としたことを特
徴とする弾性表面波フィルタ装置。
5. A piezoelectric substrate having an electromechanical coupling coefficient of 0.1 to 1.5%, a bidirectional converter formed on the piezoelectric substrate, and a surface acoustic wave of the bidirectional converter. A first one-way converter and a second one-way converter arranged on both sides of the propagation axis of the first direction. The first unidirectional converter and the second one-way converter when the one-way converter and the second one-way converter are the output-side converter and the two-way converter is the output-side converter. The converter is an input-side converter, and each of the first unidirectional converter and the second unidirectional converter includes a first electrode formed on the piezoelectric substrate and a first electrode formed on the piezoelectric substrate. A second electrode formed on the piezoelectric substrate so as to face the first substrate, wherein λ is a propagation wavelength of a basic surface acoustic wave;
A first electrode finger having a width in the propagation direction of the surface acoustic wave of approximately λ / 12 between the electrode and the second electrode, and a surface acoustic wave having a center distance of λ / 6 between the first electrode finger and the first electrode finger; And a third electrode finger having a width in the propagation direction of a surface acoustic wave located at a center-to-center distance of λ / 2 between the second electrode finger having a width of approximately λ / 12 and the first electrode finger having a width of approximately λ / 12. When the distance between the electrode finger and the first electrode is 2λ / 3, the width of the surface acoustic wave in the propagation direction is approximately λ.
/ 12 and the fourth electrode fingers are periodically formed at a pitch of λ, and some of the pairs are pairs in which each of the first to fourth electrode fingers is connected to the first electrode. Connecting the first electrode finger to the first electrode, connecting the second electrode finger and the fourth electrode finger to each other to form a short-circuit type floating electrode, and connecting the third electrode finger to the second electrode finger. A surface acoustic wave filter device comprising a pair connected to an electrode.
【請求項6】前記双方向性変換器が、λ/4の中心間距
離を以て位置し、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/8で
ある2個の電極指の組をλのピッチで周期的に形成した
正電極と、同様にλ/4の中心間距離を以て位置し、弾
性表面波の伝播方向の幅がλ/8である2個の電極指の
組をλのピッチで周期的に形成され、各電極指の組が前
記正電極の隣接する電極指の組とλ/2の中心間距離を
以てそれぞれ位置する負電極とを具えることを特徴とす
る請求項4又は5のうちのいずれか1項に記載の弾性表
面波フィルタ装置。
6. The two-way transducer according to claim 1, wherein said bidirectional transducer is positioned with a center distance of λ / 4, and a pair of two electrode fingers having a width of λ / 8 in the propagation direction of the surface acoustic wave is formed at a pitch of λ. A pair of two electrode fingers, which are similarly positioned at a center distance of λ / 4 and have a width in the propagation direction of the surface acoustic wave of λ / 8, are periodically arranged at a pitch of λ. 6. A method according to claim 4, wherein each pair of electrode fingers includes a pair of adjacent electrode fingers of the positive electrode and a negative electrode located at a center-to-center distance of λ / 2. The surface acoustic wave filter device according to any one of the above items.
【請求項7】前記双方向性変換器を、重み付けした電極
構造としたことを特徴とする請求項6記載の弾性表面波
フィルタ装置。
7. The surface acoustic wave filter device according to claim 6, wherein said bidirectional converter has a weighted electrode structure.
【請求項8】前記双方向性変換器の重み付け電極構造
を、弾性表面波の伝播方向に沿って前記正電極の電極指
と負電極の電極指との交叉幅が順次変化するアポタイズ
法、又は弾性表面波の伝播方向に沿って前記正電極の電
極指と負電極の電極指との交叉幅が一様で、励振強度を
変化させることによって重み付けを行う間引き法によっ
て構成したことを特徴とする請求項7記載の弾性表面波
フィルタ装置。
8. A weighting electrode structure of the bidirectional converter is formed by an apotizing method in which an intersection width between the electrode finger of the positive electrode and the electrode finger of the negative electrode sequentially changes along the propagation direction of the surface acoustic wave, or The crossing width between the electrode finger of the positive electrode and the electrode finger of the negative electrode is uniform along the propagation direction of the surface acoustic wave, and is configured by a thinning method of performing weighting by changing the excitation intensity. A surface acoustic wave filter device according to claim 7.
【請求項9】前記圧電性基板を、水晶基板、タンタル酸
リチウム基板、ほう酸リチウム基板又はランガサイト基
板としたことを特徴とする請求項3から8のうちのいず
れかに記載の弾性表面波フィルタ装置。
9. A surface acoustic wave filter according to claim 3, wherein said piezoelectric substrate is a quartz substrate, a lithium tantalate substrate, a lithium borate substrate, or a langasite substrate. apparatus.
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