JP2000274478A - Vibration damper for precision mechanical equipment - Google Patents

Vibration damper for precision mechanical equipment

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JP2000274478A
JP2000274478A JP11079314A JP7931499A JP2000274478A JP 2000274478 A JP2000274478 A JP 2000274478A JP 11079314 A JP11079314 A JP 11079314A JP 7931499 A JP7931499 A JP 7931499A JP 2000274478 A JP2000274478 A JP 2000274478A
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JP
Japan
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mount
coil
vibration
precision
vibration damping
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JP11079314A
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Japanese (ja)
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Makoto Morishita
信 森下
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To highly efficiently and accurately damp vibration of precision mechanical equipment used in an automobile by constituting a vibration damper with a mount part for sealing a magnetic viscous fluid inside, a coil part for applying a magnetic field to this mount part and a control part for controlling this coil part. SOLUTION: A mount part 1 is composed of a base board side end part 3 on the coil part 2 side, an equipment side end part 4 having a cylindrical recessed part capable of supporting a shaft body projecting from the equipment side and an elastic part 5 between the end parts 3, 4, and a magnetic viscous fluid 6 is sealed inside the mount part 1. While, an unarranged side end surface of the mount part 1 of a coil part 2 is installed on a base board. When vibration is transmitted from the base board, this is analyzed by a control part, an electric current is carried to the coil part 2 from the control part so that the mount part 1 has the best vibration damping characteristic, and fluid viscosity is changed to viscosity capable of the best vibration damping by a magnetic field generated from this coil part to damp vibration of equipment to thereby accurately damp vibration to precision mechanical equipment according to an external situation.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気粘性流体が内
部に封入され、この磁気粘性流体の粘性を変化させるこ
とによって有効な振動減衰作用を発揮させるようにした
精密機器用制振装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibration damping device for precision equipment in which a magneto-rheological fluid is sealed and an effective vibration damping action is exhibited by changing the viscosity of the magneto-rheological fluid. It is.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年のエレクトロニクス分野の他分野へ
の進出により、種々の状況下で振動を嫌う精密機器を用
いる必要性が生じている。例えば、自動車は、安全性、
快適性等の要求から、多くの情報を正確かつ迅速に処理
することが必要不可欠となってきているため、エレクト
ロニクス化が進められている。また、国家的プロジェク
トとして進められているインテリジェント・トランスポ
ート・システム実現のために、処理能力の高いコンピュ
ータが車に搭載されるのも近い将来である。このような
自動車内で、車両の周囲の状況を的確に判断するコンピ
ュータ等、光ディスクもしくは光磁気ディスクを記録媒
体とし光ピックアップを用いて情報を引き出すカーオー
ディオやカーナビゲーション等、さらにはエンジンを制
御するためのエンジンコントロールユニット等の精密機
器を正確に作動させるためには、路面の凹凸による周波
数の低い振動から、エンジンによる周波数の高い振動に
至る様々な振動を制御する必要がある。
2. Description of the Related Art In recent years, the entry into other fields of the electronics field has necessitated the use of precision instruments which are subject to vibration in various situations. For example, cars are safe,
Due to demands for comfort and the like, it has become indispensable to process a large amount of information accurately and promptly. In the near future, a computer with high processing power will be installed in a car to realize an intelligent transport system being implemented as a national project. In such an automobile, a computer or the like that accurately determines the situation around the vehicle, a car audio or a car navigation that uses an optical pickup or an optical pickup as a recording medium to extract information using an optical pickup, and further controls an engine. In order to accurately operate precision equipment such as an engine control unit, it is necessary to control various vibrations from low-frequency vibrations due to unevenness of the road surface to high-frequency vibrations by the engine.

【0003】このような振動を制御するために、従来か
ら各種の弾性小型制振装置が提案されている。例えば特
開昭61−189336号公報や特開昭61−2019
46号公報には、ゴム袋やゴム・エラストマー筒体等の
弾性収容体に、シリコーンオイルのような粘性流体を封
入して、機器を支持させる構造の弾性小型制振装置が開
示されている。
[0003] In order to control such vibrations, various elastic small vibration damping devices have been proposed. For example, JP-A-61-189336 and JP-A-61-2019
No. 46 discloses an elastic small vibration damping device having a structure in which a viscous fluid such as silicone oil is sealed in an elastic container such as a rubber bag or a rubber / elastomer cylinder to support equipment.

【0004】しかしながら、これらの小型制振装置はあ
くまで外部運動に応じて減衰力を発生させる受動型の制
振方法であり、様々な周囲の状況に応じた制振を行うこ
とは困難なものである。例えば、二つの流体室と両室を
結ぶオリフィスとからなり、マウント内部に封入された
粘性流体がオリフィスを通り抜ける際の慣性力を利用し
て減衰力を得るようなマウントは、ある特定の周波数に
合わせた制振設定となっていることから、路面の凹凸を
乗り越える際の比較的低周波である振動や、エンジンか
らの振動等のある範囲の周波数帯域を有する振動に対
し、十分に抑制することができない。
However, these small vibration damping devices are passive type vibration damping methods that generate a damping force in accordance with an external motion, and it is difficult to perform vibration damping according to various surrounding conditions. is there. For example, a mount that consists of two fluid chambers and an orifice that connects the two chambers, and obtains a damping force by using the inertial force of the viscous fluid enclosed inside the mount through the orifice, has a certain frequency. Due to the combined vibration damping setting, it is necessary to sufficiently suppress vibration with relatively low frequency when overcoming unevenness on the road surface and vibration with a certain range of frequency band such as vibration from the engine. Can not.

【0005】このような受動形の制振方法による制振装
置に代わるものとして、外部にある振動体の運動に反応
して、アクチュエータの減衰特性や剛性を変化させる準
能動型の制振装置や、アクチュエータ自らが力を発生す
る能動型制振方法による制振装置を挙げることができる
が、準能動型制振装置は制御系が機能しない場合でもあ
る程度の制振効果を期待できるため信頼性が高い。この
ような制振装置は、制振装置の他に制御部分が必要とさ
れるが、近年のコンピューターの普及により計算処理が
充実し高速化されていることから、これら準能動型の制
振方法に用いられる制御部についても幅広い研究が行わ
れており、状況に応じて信号を制振装置に送り、制御す
ることは十分に可能となってきている。
As an alternative to such a passive vibration damping method, a quasi-active vibration damping device that changes the damping characteristic and rigidity of an actuator in response to the movement of an external vibrating body, An active-type damping device, in which the actuator itself generates a force, can be cited. However, a quasi-active-type damping device is expected to have a certain level of damping effect even when the control system does not function. high. Such a vibration damping device requires a control part in addition to the vibration damping device. However, since the calculation processing has been enriched and the speed has been increased due to the recent spread of computers, these semi-active vibration damping methods have been used. A wide range of researches have been conducted on the control unit used in the system, and it has become sufficiently possible to send a signal to the vibration damping device and control it according to the situation.

【0006】このような制振装置内部に用いることが可
能な流体の一つとして、磁気粘性流体(以下、MR流体
とする。)を挙げることができる。このMR流体は、磁
場を加えることにより流動特性が変化するという特徴を
有するものである。このMR流体は、通常、溶媒中に粒
径0.1〜数十μmの高い透磁率を持つ粒子を一様に分
散させて作られており、同様に磁界によって特性の変化
する磁性流体とは、粒子の大きさや作動機構の違いなど
によって区別される。
One of the fluids that can be used inside such a vibration damping device is a magnetic viscous fluid (hereinafter referred to as an MR fluid). This MR fluid is characterized in that the flow characteristics change when a magnetic field is applied. This MR fluid is usually made by uniformly dispersing particles having a high magnetic permeability having a particle size of 0.1 to several tens of μm in a solvent. And the size of the particles and the difference in the operating mechanism.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記事情に
鑑みて成し遂げられたものであり、外部の運動に反応し
て、減衰特性を制御できる準能動型の制振方法により、
自動車等の内部で用いられる精密機器の制振を高い効率
で精度良く行うことができる精密機器用制振装置を提供
することを主目的とするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been accomplished in view of the above circumstances, and a quasi-active vibration damping method capable of controlling a damping characteristic in response to an external movement is provided.
It is a main object of the present invention to provide a vibration damping device for a precision instrument which can accurately and precisely control a precision instrument used inside an automobile or the like.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、請求項1において、MR流体が内部に封
入されたマウント部と、このマウント部に磁界を加える
ためのコイル部と、このコイル部を制御する制御部とか
らなることを特徴とする精密機器用制振装置を提供す
る。
According to the present invention, in order to achieve the above object, according to the first aspect, there is provided a mounting part in which an MR fluid is sealed, and a coil part for applying a magnetic field to the mounting part. And a control unit for controlling the coil unit.

【0009】本発明の精密機器用制振装置は、このよう
な構成を有するものであるので、外部の状況によりマウ
ント部内に封入されたMR流体の粘度を制御することが
できる。よって、マウント部の制振特性を外部の状況に
応じて変化させることができ、これにより、種々の外部
の状況に応じた精密機器に対する能率が高く精度の良好
な制振を行うことができる。
Since the vibration damping device for precision equipment of the present invention has such a configuration, the viscosity of the MR fluid sealed in the mount portion can be controlled according to external circumstances. Therefore, the vibration damping characteristics of the mount portion can be changed according to the external situation, whereby highly efficient vibration damping with high efficiency and precision for precision equipment according to various external situations can be performed.

【0010】この場合、請求項2に記載するように、上
記マウント部とコイル部とが別体に形成されていること
が好ましい。マウント部とコイル部とを別体に形成する
ことにより、従来用いられてきた防振用の液封マウント
をマウント部としてそのまま用い、これにコイル部およ
びそれを制御する制御部を取付けることにより、種々の
外部状況に応じて精密機器に対する制振を行うことがで
きる本発明の精密機器用制振装置を容易に得ることがで
きる。
In this case, it is preferable that the mount portion and the coil portion are formed separately from each other. By forming the mount part and the coil part separately, the conventionally used vibration-proof liquid ring mount can be used as the mount part as it is, and the coil part and the control part for controlling it are attached to this. It is possible to easily obtain the vibration damping device for precision equipment according to the present invention, which is capable of damping precision equipment according to various external situations.

【0011】また、本発明においては、請求項3に記載
するように、マウント部の内部が1つの流体室により形
成されていることが好ましい。流体室が二つ形成され、
この間をオリフィスで連通する型の制振装置では、MR
流体が沈殿を生じやすいという特性を有することからオ
リフィスが詰まったり、また粒子濃度の低い流体が通過
して当初設計した効果が得られず、精密機器に対して良
好な制振を行うことができないからである。
Further, in the present invention, as described in claim 3, it is preferable that the inside of the mount portion is formed by one fluid chamber. Two fluid chambers are formed,
In a vibration damping device of the type that communicates with an orifice during this time, MR
The orifice is clogged due to the property that the fluid is liable to precipitate, and the fluid with low particle concentration passes through, and the originally designed effect cannot be obtained, making it impossible to perform good vibration suppression for precision equipment Because.

【0012】さらに、本発明の精密機器用制振装置にお
いては、請求項4に記載するように、マウント部が、精
密機器側に配された精密機器側端部と、前記精密機器を
支持する基板側に配された基板側端部と、この精密機器
側端部と基板側端部との間に設けられた弾性部とからな
り、コイル部がこの基板側端部と基板との間に配置され
ていることが好ましい。このように基板とマウント部の
基板側端部との間にコイル部を配置することにより、マ
ウント部の制振作用に影響を与えることなくコイル部を
配置することができ、さらにマウント部に効果的に磁界
を加えることができるからである。
Further, in the vibration damping device for precision equipment according to the present invention, the mounting portion supports the precision equipment side end disposed on the precision equipment side and the precision equipment. It consists of a board side end arranged on the board side and an elastic part provided between this precision instrument side end and the board side end, and a coil part is provided between the board side end and the board. Preferably, they are arranged. By arranging the coil portion between the substrate and the end of the mount portion on the substrate side in this manner, the coil portion can be arranged without affecting the vibration damping action of the mount portion. This is because a magnetic field can be applied.

【0013】なお、本発明の精密機器用制振装置は、大
量に使用されていることから社会的要請が高く、またエ
ンジンからの振動や路面からの振動等、異なる種類の振
動を受けるため、単一の制振特性では制振が困難である
車載用の精密機器に適用されることが好ましい(請求項
5)。
The vibration damping device for precision equipment of the present invention has high social demands because it is used in a large amount, and receives vibrations of different types such as vibration from an engine and vibration from a road surface. It is preferable that the present invention is applied to an in-vehicle precision device in which it is difficult to control the vibration with a single vibration control characteristic.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の精密機器用制振装
置について、その一例を示す図1を用いて具体的に説明
する。図1に示す本発明の一例である精密機器用制振装
置は、マウント部1と、その下端部に配されたコイル部
2と、このコイル部2を制御する図示略の制御部とから
概略構成されるものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a vibration damping device for precision equipment according to the present invention will be specifically described with reference to FIG. A vibration damping device for precision equipment, which is an example of the present invention shown in FIG. 1, includes a mount unit 1, a coil unit 2 disposed at a lower end thereof, and a control unit (not shown) for controlling the coil unit 2. It is composed.

【0015】上記マウント部1は、コイル部2側に配置
されコイル部2の上端面取り付けられる基板側端部3
と、精密機器側に配置され、精密機器側から突出して設
けられる軸体を支持できるように略中央に筒状の凹部を
有し、この凹部にて上記軸体を介して精密機器を支持す
る精密機器側端部4と、この基板側端部3と精密機器側
端部4との間に配置された弾性部5とから構成されてい
る。このマウント部1の密封された内部にはMR流体6
が封入されており、コイル部2およびこれを制御する制
御部により粘度が制御されている。一方、コイル部2
は、ボビン状に形成されたボビン7に導線8が巻回され
てなるものであり、中心には円柱状の鉄心9が挿入され
ている。
The mount portion 1 is disposed on the side of the coil portion 2 and is mounted on the substrate side end portion 3 to which the upper end surface of the coil portion 2 is attached.
A cylindrical concave portion is provided at a substantially center so as to be able to support a shaft body provided on the precision device side and protruding from the precision device side, and the concave portion supports the precision device via the shaft body. It comprises a precision device side end 4 and an elastic portion 5 disposed between the substrate side end 3 and the precision device side end 4. An MR fluid 6 is provided in the sealed interior of the mount 1.
Is sealed, and the viscosity is controlled by the coil unit 2 and a control unit that controls the coil unit 2. On the other hand, coil part 2
Is formed by winding a conducting wire 8 around a bobbin 7 formed in a bobbin shape, and a columnar iron core 9 is inserted in the center.

【0016】このコイル部2のマウント部1が設けられ
ていない側の端面は、振動が伝達される図示略の基板上
に取り付けられるようになっている。一方、マウント部
2の精密機器側端部4中央の筒上の凹部には、精密機器
から突出する図示略の軸体が挿入され、これにより軸体
を介して精密機器を支持するようになっている。このよ
うに、本発明の制振装置を介して基板に精密機器が支持
されることにより、基板に振動が伝達された場合、本発
明の精密機器用制振装置により振動を減衰することがで
きるため、精密機器に加わる振動を抑えることができ
る。
The end face of the coil section 2 on the side where the mount section 1 is not provided is mounted on a substrate (not shown) to which vibration is transmitted. On the other hand, an unillustrated shaft protruding from the precision device is inserted into a concave portion on the cylinder at the center of the precision device side end 4 of the mount portion 2, thereby supporting the precision device via the shaft. ing. As described above, when the precision device is supported on the substrate via the vibration damping device of the present invention, when vibration is transmitted to the substrate, the vibration can be attenuated by the vibration damping device for a precision device of the present invention. Therefore, vibration applied to precision equipment can be suppressed.

【0017】すなわち、本発明の精密機器用制振装置に
おいては、振動が基板から伝達されてきた場合に、その
振動を制御部等により解析し、最も良い制振特性をマウ
ント部が有するように制御部から電流がコイル部2に送
られ、コイル部2により発生する磁界によりマウント部
1内部のMR流体の粘性が現在の振動に対して最も良い
制振が行える粘度に変化し、精密機器に対する制振を行
うことができるのである。
That is, in the vibration damping device for precision equipment of the present invention, when the vibration is transmitted from the substrate, the vibration is analyzed by the control unit or the like so that the mounting unit has the best vibration damping characteristics. An electric current is sent from the control unit to the coil unit 2, and the magnetic field generated by the coil unit 2 changes the viscosity of the MR fluid inside the mount unit 1 to a viscosity at which the best vibration can be controlled with respect to the current vibration. Damping can be done.

【0018】次に、本発明に用いられるマウント部とコ
イル部との関係について説明する。本発明の精密機器用
制振装置の特徴は、このようにMR流体が封入されたマ
ウント部と、このマウント部に磁界を加えるためのコイ
ル部と、このコイル部を制御する図示略の制御部とから
構成される点にある。ここで、図1に示す例では、マウ
ント部1とコイル部2とが、別体に形成されて構成され
ているが、本発明はこれに限定されるものではなく、マ
ウント部の一部としてコイル部が形成されているもので
あってもよい。例えば、基板側端部3の周囲にコイルを
巻回させてコイル部を一体に設けたもの等であってもよ
い。しかしながら、マウント部とコイル部を別体に形成
すれば、図1の例のように従来の液封型のマウントをマ
ウント部としてそのまま用い、これにコイル部およびそ
れを制御する制御部を取付けることにより、容易に種々
の外部状況に応じて精密機器に対する制振を行うことが
できる本発明の精密機器用制振装置とすることができ
る。また、コイル部とマウント部を別体に形成すれば、
マウント部に対して磁界を与えられる位置であればいか
なる位置でもコイル部を配置することができる。さらに
は、マウント部に磁界を加えられるのであれば、コイル
部とマウント部とを離して配置することも可能である。
したがって、設計の自由度を大幅に広げることができ
る。本発明においては、このように種々の理由から、マ
ウント部とコイル部が別体に形成されていることが好ま
しい。
Next, the relationship between the mount and the coil used in the present invention will be described. The features of the vibration damping device for precision equipment of the present invention include a mount section in which the MR fluid is sealed, a coil section for applying a magnetic field to the mount section, and a control section (not shown) for controlling the coil section. In that it consists of Here, in the example shown in FIG. 1, the mount unit 1 and the coil unit 2 are formed separately from each other, but the present invention is not limited to this. A coil part may be formed. For example, a coil may be wound around the end 3 on the substrate side to integrally provide a coil portion. However, if the mount part and the coil part are formed separately, as in the example of FIG. 1, the conventional liquid ring type mount is used as it is as the mount part, and the coil part and the control part for controlling it are attached to this. Accordingly, it is possible to provide the vibration damping device for precision equipment according to the present invention, which can easily perform vibration suppression for precision equipment according to various external situations. Also, if the coil part and the mount part are formed separately,
The coil unit can be arranged at any position as long as a magnetic field can be applied to the mount unit. Further, if a magnetic field can be applied to the mount section, the coil section and the mount section can be arranged apart from each other.
Therefore, the degree of freedom in design can be greatly expanded. In the present invention, for various reasons as described above, it is preferable that the mount portion and the coil portion are formed separately.

【0019】このように、コイル部とマウント部とが別
体に形成された場合の、コイル部とマウント部との位置
関係は、図1に示すようにマウント部1の基板側端部3
とコイル部2とが接触するような位置関係、すなわちマ
ウント部1がコイル部2を介して基板に支持される構造
に限定されるものでなく、マウント部内部のMR流体に
磁界を加えることができる位置であればいかなる位置で
あってもよい。例えば精密機器側から突出する軸体の周
囲にコイル部を設けた場合等のようにマウント部の精密
機器側端部側にコイル部を形成してもよく、さらには例
えば弾性部5の周囲にコイル部を設ける等の配置であっ
てもよい。
As described above, when the coil portion and the mount portion are formed separately, the positional relationship between the coil portion and the mount portion is, as shown in FIG.
It is not limited to the positional relationship in which the coil part 2 and the coil part 2 are in contact with each other, that is, the structure in which the mount part 1 is supported by the substrate via the coil part 2. Any position is possible as long as it is possible. For example, as in the case where a coil portion is provided around a shaft protruding from the precision device side, a coil portion may be formed on the precision device side end side of the mount portion, and further, for example, around the elastic portion 5. An arrangement such as providing a coil unit may be used.

【0020】本発明においては、最も効率的に磁界をマ
ウント部に加えることができるようにコイル部を配置す
ることが好ましい。このためには、マウント部の最も断
面積の広い部分にコイル部を配置することが好ましく、
具体的には図1に示す例のように、マウント部1の基板
側端部3下面にコイル部2を配置した例を好ましい例と
して挙げることができる。
In the present invention, it is preferable to arrange the coil section so that a magnetic field can be applied to the mount section most efficiently. For this purpose, it is preferable to dispose the coil portion in the portion having the largest cross-sectional area of the mount portion,
Specifically, as an example shown in FIG. 1, an example in which the coil portion 2 is disposed on the lower surface of the substrate-side end portion 3 of the mount portion 1 can be mentioned as a preferable example.

【0021】次に、本発明に用いられるマウント部につ
いて説明する。本発明に用いられるマウント部は、通
常、精密機器用の防振用マウントとして用いられる液封
マウントと同様の構成のものを用いることができ、上述
したように振動が伝達される基板側と連結する基板側端
部と、この振動の制振が必要な精密機器側と連結する精
密機器側端部と、その間の弾性部とから通常構成されて
なるものである。本発明においては、このマウント部内
部にMR流体が封入されている。
Next, the mount used in the present invention will be described. The mount portion used in the present invention can be generally the same as the liquid ring mount used as a vibration isolating mount for precision equipment, and is connected to the substrate side to which vibration is transmitted as described above. This is usually constituted by a substrate side end to be connected, a precision device side end to be connected to a precision device which needs to suppress the vibration, and an elastic portion therebetween. In the present invention, the MR fluid is sealed inside the mount.

【0022】このマウント部の形状は、内部にMR流体
を密封できる形状であれば、特に限定されるものではな
い。しかしながら、上述したように、流体室が二つ形成
され、この間をオリフィスで連通する型の制振装置とし
たのでは、MR流体が沈殿を生じやすいという特性を有
することからオリフィスが詰まったり、また粒子濃度の
低い流体が通過して当初設計した効果が得られず、精密
機器に対して良好な制振を行うことができないことか
ら、マウント部内部が1つの流体室で形成されているこ
とが好ましい。
The shape of the mount is not particularly limited as long as it can seal the MR fluid inside. However, as described above, the two-fluid chamber is formed, and the orifice is clogged because the MR fluid has a characteristic that sedimentation is liable to occur if the damping device is of a type in which the orifice communicates with the orifice. Since the originally designed effect cannot be obtained due to the passage of a fluid with a low particle concentration, and good vibration control cannot be performed on precision equipment, the inside of the mount section must be formed by one fluid chamber. preferable.

【0023】本発明におけるマウント部の基板側端部
は、精密機器を支持する基板、例えば精密機器が車載の
精密機器(カーオーディオ等)である場合は車体にコイ
ル部を介して、もしくは介さずにマウント部を取付ける
ための部位である。図1に示す例では、この基板側端部
3の形状は略円板状に形成されているが、例えば上述し
た精密機器側端部4の例のように、中心に筒状の凹部が
形成されており、この凹部において基板側から突出した
軸体を支持するような構造等、マウント部をコイル部も
しくは基板に支持することができる形状であればいかな
る形状であってもよい。
In the present invention, the end of the mounting portion on the substrate side is a substrate supporting a precision instrument, for example, when the precision instrument is a vehicle-mounted precision instrument (such as a car audio), with or without a coil portion on the vehicle body. This is the part for attaching the mount part to In the example shown in FIG. 1, the shape of the substrate side end 3 is formed in a substantially disc shape, but a cylindrical concave portion is formed at the center as in the example of the precision instrument side end 4 described above. Any shape may be used as long as the mount portion can be supported by the coil portion or the substrate, such as a structure that supports the shaft protruding from the substrate side in the concave portion.

【0024】この基板側端部を形成する材料も特に限定
されるものでなく、弾性部と接着可能な材質であればい
かなる材質を用いることができる。例えば、ポリプロピ
レン等の種々の樹脂や、金属、セラミックス等を挙げる
ことができる。この部位は、基板もしくはコイル部上に
マウント部を固定する部位であるので、ある程度剛性が
ある部材が用いられることが好ましいが、必要に応じて
後述する弾性部に用いられるようなゴム弾性を有する材
質を用いることも可能である。
The material forming the substrate side end is not particularly limited, and any material can be used as long as it can be bonded to the elastic portion. For example, various resins such as polypropylene, metals, ceramics and the like can be mentioned. Since this portion is a portion for fixing the mount portion on the substrate or the coil portion, it is preferable that a member having a certain degree of rigidity be used, but if necessary, it has rubber elasticity used for an elastic portion described later. It is also possible to use a material.

【0025】一方、マウント部の精密機器側に配された
精密機器側端部も、上記基板側端部と同様に、精密機器
を支持することが可能な形状であればいかなる形状であ
ってもよく、例えば円板状や、上述した図1に示す例の
ごとく内部に筒状の凹部を形成し、ここに精密機器側か
ら突出した軸体を収容し固定するような形状であっても
よい。また、材質も上述した基板側端部と同様の材質を
用いることができる。なお、図1に示す例では、精密機
器側から突出する軸体の三次元方向への移動を可能な状
態とする必要があることから、精密機器側端部4は可撓
性が必要とされ、後述する弾性部5と同じゴム弾性を示
す材質を用いて弾性部5と一体に形成されている。
On the other hand, the precision device side end disposed on the precision device side of the mount portion may have any shape as long as it can support the precision device, similarly to the substrate side end. For example, a disk-like shape or a shape in which a cylindrical concave portion is formed inside as in the example shown in FIG. 1 described above, and a shaft protruding from the precision equipment side is housed and fixed here may be used. . In addition, the same material as that of the above-described end portion on the substrate side can be used. In the example shown in FIG. 1, since the shaft protruding from the precision instrument side needs to be movable in a three-dimensional direction, the precision instrument side end 4 needs to be flexible. It is formed integrally with the elastic portion 5 using a material exhibiting the same rubber elasticity as the elastic portion 5 described later.

【0026】本発明に用いられるマウント部の基板側端
部と精密機器側端部との間には、弾性部が配されてい
る。この弾性部は、マウント部内部に封入されたMR流
体と共に基板側からの振動を制振する作用を有する必要
があることから、通常薄肉の弾性体からなる筒状に形成
されている。
An elastic portion is provided between the substrate side end of the mount portion used in the present invention and the precision device side end. Since the elastic portion needs to have a function of suppressing vibration from the substrate side together with the MR fluid sealed inside the mount portion, the elastic portion is usually formed in a cylindrical shape made of a thin elastic body.

【0027】このような弾性部に用いることができる材
料としては、種々の弾性材料を用いることができ、使用
される環境、必要とされる弾性等により適宜選択されて
用いられる。具体的には、天然ゴム、イソプレンゴム、
スチレンブタジエンゴム、ブタジエンゴム、エチレンプ
ロピレンゴム、アクリロニトリルブタジエンゴム、クロ
ロプレンゴム、ブチルゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴ
ム、アクリルゴム、熱可塑性エラストマー(スチレン
系、オレフィン系、ウレタン系、ポリエステル系、ポリ
アミド系、ポリブタジエン系、塩化ビニル系、フッ素
系)等を挙げることができる。
As the material that can be used for such an elastic portion, various elastic materials can be used, and are appropriately selected and used depending on the environment in which the elastic portion is used, the required elasticity, and the like. Specifically, natural rubber, isoprene rubber,
Styrene butadiene rubber, butadiene rubber, ethylene propylene rubber, acrylonitrile butadiene rubber, chloroprene rubber, butyl rubber, silicone rubber, fluorine rubber, acrylic rubber, thermoplastic elastomer (styrene, olefin, urethane, polyester, polyamide, polybutadiene , Vinyl chloride and fluorine).

【0028】本発明に用いられるマウント部は、これら
精密機器側端部、基板側端部、および弾性部が同一の材
料で一体に形成されたものであってもよく、また異なる
材料で形成されたものであってもよい。
The mount used in the present invention may be one in which the end on the precision instrument side, the end on the substrate side, and the elastic portion are integrally formed of the same material, or may be formed of different materials. May be used.

【0029】本発明においては、このようなマウント部
内部にMR流体が封入されている点に大きな特徴を有す
る。本発明に用いられるMR流体としては、MR流体と
しての機能を有する流体であればいかなる流体をも用い
ることができる。
The present invention has a great feature in that an MR fluid is sealed inside such a mount portion. As the MR fluid used in the present invention, any fluid can be used as long as it has a function as an MR fluid.

【0030】通常用いられるMR流体は、液体ビヒクル
中に磁化可能な固体粉末(MR粒子)が分散されてなる
ものである。ここで用いられる液体ビヒクルとしては、
MR粒子と反応しなければいかなる材料を用いることも
可能であるが、具体的に列挙すると、水、炭化水素油、
鉱油、脂肪酸エステル、その他の液状有機物、ポリジメ
チルシロキサン等を挙げることができる。好ましい材料
としては、目的とする精密機器用制振装置の操作温度で
液体であり、かつMR粒子の分散に好ましい粘度を有す
るものである。
A commonly used MR fluid is a fluid in which magnetizable solid powder (MR particles) is dispersed in a liquid vehicle. As the liquid vehicle used here,
Any material can be used as long as it does not react with the MR particles, but specific examples include water, hydrocarbon oil,
Mineral oils, fatty acid esters, other liquid organic substances, polydimethylsiloxane and the like can be mentioned. Preferred materials are those which are liquid at the operating temperature of the vibration damping device for precision equipment and which have a desirable viscosity for dispersion of MR particles.

【0031】MR粒子としては、磁化可能で保磁性の低
い(すなわち、磁界を取り除いたときの残留磁気がほと
んどもしくは全くない)物質が好ましく、具体的には、
鉄、ニッケル、コバルト、鉄−ニッケル合金、鉄−コバ
ルト合金、鉄−ケイ素合金などの粉末を挙げることがで
きる。これらのMR粒子は球状もしくはほぼ球状である
ことが好ましく、粒径が0.1〜数十μmの範囲内であ
ることが好ましい。
As the MR particles, a substance which can be magnetized and has low coercivity (that is, little or no residual magnetism when the magnetic field is removed) is preferable.
Examples include powders of iron, nickel, cobalt, iron-nickel alloy, iron-cobalt alloy, iron-silicon alloy and the like. These MR particles are preferably spherical or nearly spherical, and preferably have a particle size in the range of 0.1 to several tens of μm.

【0032】本発明に用いられるMR流体には、その他
必要に応じて耐摩耗剤や界面活性剤等の添加剤を添加す
ることができる。
In the MR fluid used in the present invention, other additives such as an antiwear agent and a surfactant can be added as required.

【0033】次に、本発明に用いられるコイル部および
制御部について説明する。本発明の精密機器用制振装置
に用いられるコイル部は、マウント部内部に封入された
上記MR流体に磁界を加えることが可能であり、かつそ
の磁界の強度を制御できるものであればコイルに限定さ
れるものでなく、例えば一つもしくは複数の永久磁石を
用い、マウント部との位置関係を制御することによりM
R流体に磁界を加えると共に磁界の強度を制御するもの
等であってもよい。しかしながら、制御の容易性等の観
点から、本発明においてはコイル部としてコイルを用い
ることが好ましい。このようなコイルとしては、通常用
いられるソレノイド形、トロイダル形、スパイラル形、
つぼ形等のコイルを挙げることができる。本発明におい
ては、磁束密度を高くする等の観点から磁心を入れたタ
イプのものが好適に用いられる。
Next, the coil unit and the control unit used in the present invention will be described. The coil unit used in the vibration damping device for precision equipment of the present invention may be a coil unit that can apply a magnetic field to the MR fluid sealed in the mount unit and can control the strength of the magnetic field. The present invention is not limited to this. For example, by using one or a plurality of permanent magnets and controlling the positional relationship with the mount unit,
A device that applies a magnetic field to the R fluid and controls the strength of the magnetic field may be used. However, from the viewpoint of ease of control and the like, in the present invention, it is preferable to use a coil as the coil unit. Such coils include commonly used solenoid type, toroidal type, spiral type,
Pot-shaped coils and the like can be mentioned. In the present invention, a type having a magnetic core is preferably used from the viewpoint of increasing the magnetic flux density.

【0034】このようなコイル部を用いてマウント部に
磁界を加える方法としては、単にコイル部に電流を流す
ことによりマウント部に封入されたMR流体に磁界を加
える方法であってもよく、また永久磁石等により予め磁
界を加えておき、そこにコイル部に電流を流すことによ
り磁界を強めたり弱めたりする方法であってもよい。ま
た、コイル部は一つに限定されるものでなく、複数個配
置されてもよい。この場合、磁界の向きによってMR流
体の粘性が異なりマウント部の制振特性が変化するの
で、異なる向きに磁界を加えられるようにコイル部を配
置し、この複数個のコイル部を制御することによりより
精確な制振の制御を行うようにしてもよい。
As a method of applying a magnetic field to the mount portion using such a coil portion, a method of applying a magnetic field to the MR fluid sealed in the mount portion simply by passing a current through the coil portion may be employed. A method may be used in which a magnetic field is applied in advance by a permanent magnet or the like, and a current is applied to the coil portion to increase or decrease the magnetic field. Further, the number of coil units is not limited to one, and a plurality of coil units may be arranged. In this case, the viscosity of the MR fluid changes depending on the direction of the magnetic field, and the vibration damping characteristics of the mount portion change.Therefore, by arranging the coil portions so that magnetic fields can be applied in different directions, and controlling the plurality of coil portions, More accurate vibration suppression control may be performed.

【0035】本発明に用いられる制御部は、上述したコ
イル部がマウント部内部のMR流体に加える磁界の強さ
を制御する部位である。本発明における制御部として
は、コイル部にコイルを用いた場合は、コイルに通電す
る電流等の量を制御可能な制御装置であればいかなる装
置も用いることができる。この際、この制御部は、他か
ら送られてくる情報によりコイル部に流す電流等を制御
するものであってもよいし、また制御部に加速度センサ
等の振動の状況を把握するセンサを具備し、生じる振動
を解析し、その結果に基づいてコイル部を制御するもの
であってもよい。
The control section used in the present invention is a section for controlling the strength of the magnetic field applied to the MR fluid inside the mount section by the above-described coil section. When a coil is used as the control unit in the present invention, any device can be used as long as it is a control device capable of controlling the amount of current or the like flowing through the coil. At this time, the control unit may control a current or the like flowing to the coil unit based on information sent from another unit, or the control unit includes a sensor such as an acceleration sensor for grasping a vibration state. Then, the generated vibration may be analyzed, and the coil unit may be controlled based on the analysis result.

【0036】本発明の精密機器用制振装置は、振動が生
じる場所で用いられる精密機器に対するものであれば、
いかなる精密機器に対しても用いることができる。中で
も、大量生産され用いられていることから、社会的要請
の高く、さらにエンジン等の駆動部からの振動と、路面
からの振動との複数の振動があり、単一の制振特性では
効率よく制振することが困難な車載用精密機器の制振装
置として好適に用いられる。このような車載用精密機器
としては、車両の自動運転を目的とするコンピュータ、
各種部品の制御用コンピュータ、エンジン制御用のエン
ジンコントロールユニットや、カーオーディオ、カーナ
ビゲーション等の光ピックアップを用いる精密機器等を
挙げることができる。
The vibration damping device for precision equipment of the present invention is applicable to precision equipment used in a place where vibrations occur.
It can be used for any precision equipment. Above all, since it is mass-produced and used, there are high social demands, and there are multiple vibrations, such as vibrations from driving parts such as engines, and vibrations from the road surface. It is suitably used as a vibration damping device for in-vehicle precision equipment which is difficult to control. Examples of such in-vehicle precision equipment include computers for automatic driving of vehicles,
Examples include a computer for controlling various components, an engine control unit for controlling an engine, and precision equipment using an optical pickup such as a car audio system and a car navigation system.

【0037】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明
の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同
一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いか
なるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
The present invention is not limited to the above embodiment. The above embodiment is an exemplification, and has substantially the same configuration as the technical idea described in the scope of the claims of the present invention. It is included in the technical scope of the invention.

【0038】[0038]

【実施例】図1に示すような、精密機器用制振装置を作
成した。マウント部1はポリプロピレン製のケース(基
板側端部3)上にブチルゴム製のダイアフラム(精密機
器側端部4および弾性部5)を溶着したもので、車載用
CDプレーヤの制振用液封式小型マウントのケースをそ
のまま利用した。
EXAMPLE A vibration damping device for precision equipment as shown in FIG. 1 was prepared. The mount part 1 is formed by welding a diaphragm made of butyl rubber (the end part 4 and the elastic part 5 on the precision device side) on a polypropylene case (end part 3 on the substrate side). The small mount case was used as it was.

【0039】このマウント部1の内部に約2ccのMR
流体を封入した。このMR流体は、ロードコーポレーシ
ョン(Lord Corporation)のMRF−132LD(商品
名)を用いた。このMR流体の組成の概略は、PAO
(合成基油、シェブロン社製)4.0cSt;20wt
%、分散粒子(α−鉄の微粒子);80wt%であり、
その他耐摩耗剤としての燐酸エステル、さらには界面活
性剤が添加されたものである。上記α−鉄の微粒子の平
均粒径は約1μmであった。
Approximately 2 cc of MR is
The fluid was sealed. The MR fluid used was MRF-132LD (trade name) of Lord Corporation. An outline of the composition of this MR fluid is PAO
(Synthetic base oil, manufactured by Chevron) 4.0 cSt; 20 wt
%, Dispersed particles (α-iron fine particles);
In addition, a phosphate ester as an antiwear agent and further a surfactant are added. The average particle diameter of the α-iron fine particles was about 1 μm.

【0040】コイル部は、アルミニウムで作製したボビ
ンにS10Cの鉄芯を挿入したものに、0.3mmポリ
イミド被膜導線を300回巻いたものを用いた。コイル
について、0.2Aづつ流す電流を変えてコイルの上方
0.5mmにて磁束密度を測定した結果を図2に示す。
これより、電流と発生する磁束密度はほぼ比例関係にあ
り、1.0Aの電流で25mTの磁束密度が得られるこ
とが分かった。また、印加される電圧と流れ出る電流の
時間変化との指標となるコイルの自己インピーダンスを
測定した結果を図3に示す。この図から、電圧の印加に
対して瞬時に電流が流れることが分かった。
The coil portion used was a bobbin made of aluminum with an S10C iron core inserted therein, and a 0.3 mm polyimide-coated conductor wound 300 times. FIG. 2 shows the results of measuring the magnetic flux density of the coil at 0.5 mm above the coil while changing the current flowing by 0.2 A at a time.
From this, it was found that the current and the generated magnetic flux density were almost in a proportional relationship, and a magnetic flux density of 25 mT was obtained with a current of 1.0 A. FIG. 3 shows the results of measuring the self-impedance of the coil, which is an index of the time change of the applied voltage and the flowing current. From this figure, it was found that a current instantaneously flows in response to the application of a voltage.

【0041】このようなMR流体が封入された制振装置
の制振特性を調べるため、スイープ正弦波の入力による
ボード線図の作成を行った。実験装置の概略を図4に示
す。加振器10の上側には、作製した可変減衰、質量、
ばねを有する1自由度系でCDプレーヤの振動している
状態を模擬する模擬装置11を配置した。実際の車載用
CDプレーヤにおける支持系の特性値を参考に、制振装
置のマウント部1に負荷させる質量の大きさを0.06
kg(質量側加速度ピックアップ12の質量を含
む。)、ばね定数を196N/mとした。
In order to examine the damping characteristics of such a damping device in which the MR fluid was sealed, a Bode diagram was created by inputting a sweep sine wave. FIG. 4 shows an outline of the experimental apparatus. On the upper side of the shaker 10, the prepared variable attenuation, mass,
A simulating device 11 for simulating a vibrating state of a CD player in a one-degree-of-freedom system having a spring is provided. Referring to the characteristic value of the support system in the actual in-vehicle CD player, the magnitude of the mass to be loaded on the
kg (including the mass of the mass-side acceleration pickup 12), and the spring constant was 196 N / m.

【0042】実験の方法としては、デジタルサインコン
トローラ13からの加振信号をパワーアンプ14を通し
て電磁式の加振器10に入力し、スイープ加振を行う。
入力側加速度ピックアップ15と質量側加速度ピックア
ップ12からの信号をアンプ16を介してFFTアナラ
イザ17に取り込み、両ピックアップ12、15の加速
度および移送を測定し、ボード線図を用いて整理した。
なお、入力加振周波数を5〜20Hz、振幅を0.3m
m、電流は1.5Aおよび流さない場合の2種類を用い
た。また、制振装置の特性の変化は、外部の直流電源1
8よりコイル部2に電圧を印加させ電流を流し、発生し
た磁界によりマウント部1内部のMR流体の特性を変化
させ、マウント部自身の制振特性を変化させて行った。
結果を図5に示す。
As a method of the experiment, a vibration signal from the digital sine controller 13 is input to the electromagnetic vibration device 10 through the power amplifier 14 to perform sweep vibration.
The signals from the input-side acceleration pickup 15 and the mass-side acceleration pickup 12 were taken into an FFT analyzer 17 via an amplifier 16, and the acceleration and transfer of both pickups 12, 15 were measured and arranged using a Bode diagram.
The input excitation frequency is 5 to 20 Hz and the amplitude is 0.3 m
m, a current of 1.5 A and two kinds of currents without current were used. Further, the change in the characteristics of the vibration damping device is caused by the external DC power supply 1.
8, a voltage was applied to the coil portion 2 to flow a current, and the generated magnetic field changed the characteristics of the MR fluid inside the mount portion 1 to change the vibration damping characteristics of the mount portion itself.
FIG. 5 shows the results.

【0043】図5は、上記実験装置および実験方法に
て、スイープ速度を1Hz/secとして得た結果であ
る。図中黒い実線がコイルに1.5Aの電流を流した場
合で、灰色の線がコイルに電流を流していない場合であ
る。電流を流すことにより振幅比が約70%減少し、共
振点周波数が10Hzから15Hzに上昇していること
がわかる。比例粘性減衰を有する1自由度系の場合、減
衰項が大きくなると、共振周波数はやや減少していくは
ずであるが、本実験では、減衰されるほどに共振点が高
くなっており、これは制振装置の特性として剛性に50
%の増加が見られることを示しており、電流を流すこと
により制振装置の制振特性を変化させることができるこ
とが明らかとなった。
FIG. 5 shows the results obtained by setting the sweep speed to 1 Hz / sec by the above-described experimental apparatus and experimental method. In the figure, a solid black line indicates a case where a current of 1.5 A flows through the coil, and a gray line indicates a case where no current flows through the coil. It can be seen that the amplitude ratio is reduced by about 70% by flowing the current, and the resonance point frequency is increased from 10 Hz to 15 Hz. In the case of a one-degree-of-freedom system having proportional viscous damping, the resonance frequency should decrease slightly as the damping term increases, but in this experiment, the resonance point increases as the damping term increases. The rigidity of the damping device is 50
%, Indicating that it is possible to change the damping characteristics of the damping device by passing a current.

【0044】[0044]

【発明の効果】本発明の精密機器用制振装置は、MR流
体が内部に封入されたマウント部と、このマウント部に
磁界を加えるためのコイル部と、このコイル部を制御す
る制御部とからなることを特徴とするものであるので、
外部の状況によりマウント部内に封入されたMR流体の
粘度を制御部により制御することができる。よって、マ
ウント部の制振特性を外部の状況に応じて変化させるこ
とができ、これにより、種々の外部の状況に応じた精密
機器に対する制振を精度良く行うことができ、精密機器
の防振を良好に行うことができる。
According to the vibration damping device for precision equipment of the present invention, there are provided a mount section in which an MR fluid is sealed, a coil section for applying a magnetic field to the mount section, and a control section for controlling the coil section. Since it is characterized by consisting of
The viscosity of the MR fluid sealed in the mount section can be controlled by the control section depending on external circumstances. Therefore, the vibration damping characteristics of the mount portion can be changed according to the external situation, and thereby, it is possible to accurately control the vibration of the precision equipment according to various external situations, and Can be performed favorably.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の精密機器用制振装置の一例を示す一部
断面視した概略正面図である。
FIG. 1 is a schematic front view of an example of a vibration damping device for precision equipment according to the present invention, as viewed in partial cross section.

【図2】実施例において作製したコイル部の電流に対す
る磁束密度を示すグラフである。
FIG. 2 is a graph showing a magnetic flux density with respect to a current of a coil portion manufactured in an example.

【図3】実施例において作製したコイル部の自己インピ
ーダンスを示すグラフである。
FIG. 3 is a graph showing self-impedance of a coil unit manufactured in an example.

【図4】実施例における実験装置を説明するための説明
図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining an experimental apparatus in an example.

【図5】実施例において作製した本発明の制振装置の特
性を示すグラフである。
FIG. 5 is a graph showing characteristics of the vibration damping device of the present invention manufactured in the example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 … マウント部、 2 … コイル部、3 … 基
板側端部、 4 … 精密機器側端部、 5 … 弾性
部、6 … MR流体、 7 … ボビン、 8 …
導線、 9 … 鉄芯、10 … 加振器、 11 …
模擬装置、12 … 質量側加速度ピックアップ、1
3 … デジタルサインコントローラ、 14 … パ
ワーアンプ、15 … 入力側加速度ピックアップ、
16 … アンプ、17 … FFTアナライザ、 1
8 … 直流電源。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Mount part, 2 ... Coil part, 3 ... Board side end part, 4 ... Precision equipment side end part, 5 ... Elastic part, 6 ... MR fluid, 7 ... Bobbin, 8 ...
Lead wire, 9 ... iron core, 10 ... shaker, 11 ...
Simulator, 12 ... Mass-side acceleration pickup, 1
3 Digital sign controller 14 Power amplifier 15 Input acceleration pickup
16… amplifier, 17… FFT analyzer, 1
8 DC power supply.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 磁気粘性流体が内部に封入されたマウン
ト部と、このマウント部に磁界を加えるためのコイル部
と、このコイル部を制御する制御部とからなることを特
徴とする精密機器用制振装置。
1. A precision device, comprising: a mount section in which a magneto-rheological fluid is sealed, a coil section for applying a magnetic field to the mount section, and a control section for controlling the coil section. Damping device.
【請求項2】 前記マウント部と前記コイル部とが別体
に形成されていることを特徴とする請求項1記載の精密
機器用制振装置。
2. The vibration damping device for precision equipment according to claim 1, wherein said mount portion and said coil portion are formed separately.
【請求項3】 前記マウント部の内部が1つの流体室に
より形成されていることを特徴とする請求項1または請
求項2に記載の精密機器用制振装置。
3. The vibration damping device for precision equipment according to claim 1, wherein the inside of the mount portion is formed by one fluid chamber.
【請求項4】 前記マウント部が、精密機器側に配され
た精密機器側端部と、前記精密機器を支持する基板側に
配された基板側端部と、この精密機器側端部と基板側端
部との間に設けられた弾性部とからなり、前記コイル部
がこの基板側端部と基板との間に配置されていることを
特徴とする請求項1から請求項3までのいずれかの請求
項に記載の精密機器用制振装置。
4. The mounting device according to claim 1, wherein the mounting portion is a precision device side end disposed on the precision device side, a substrate side end portion disposed on a substrate side supporting the precision device, and the precision device side end portion and the substrate. 4. An elastic part provided between the substrate and the side end, wherein the coil part is disposed between the substrate side end and the substrate. A vibration damping device for precision equipment according to any one of the preceding claims.
【請求項5】 前記精密機器が、車載用精密機器である
ことを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれか
の請求項に記載の精密機器用制振装置。
5. The vibration damping device for precision equipment according to claim 1, wherein the precision equipment is a vehicle-mounted precision equipment.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006095459A1 (en) * 2005-03-04 2006-09-14 Shin Caterpillar Mitsubishi Ltd. Vibration-isolating mount device
US8152145B2 (en) * 2009-04-29 2012-04-10 Honeywell International Inc. Isoelastic magneto-rheological elastomer isolator
WO2018173259A1 (en) * 2017-03-24 2018-09-27 ヤマハ株式会社 Leg structure of acoustic device, and acoustic system

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