JP2000263777A - Laminated piezoelectric element and printer apparatus using the same - Google Patents

Laminated piezoelectric element and printer apparatus using the same

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JP2000263777A
JP2000263777A JP6885899A JP6885899A JP2000263777A JP 2000263777 A JP2000263777 A JP 2000263777A JP 6885899 A JP6885899 A JP 6885899A JP 6885899 A JP6885899 A JP 6885899A JP 2000263777 A JP2000263777 A JP 2000263777A
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JP
Japan
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laminated piezoelectric
region
internal electrode
voltage
piezoelectric element
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JP6885899A
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Inventor
Shinji Sanada
慎二 真田
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laminated piezoelectric element which accurately and correctly shifts and a printer apparatus which can discharge a correct amount of ink with use of the laminated piezoelectric element. SOLUTION: A laminated piezoelectric layer 10 having a piezoelectric substrate 20 and an internal electrode 30 alternately layered includes a first laminated piezoelectric area 10a which shifts in a predetermined direction A when a first voltage is impressed from outside and, a second laminated piezoelectric area 10b which shifts in a direction to negate a ringing component included in a shift amount of the first laminated piezoelectric area 10a when a second voltage corresponding to the ringing component included in the shift amount of the first laminated piezoelectric area 10a is impressed from outside.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、積層圧電素子の変
位量の制御に関する積層圧電素子及びこれを用いたプリ
ンタ装置である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laminated piezoelectric element for controlling the amount of displacement of the laminated piezoelectric element and a printer using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】図7は従来の積層圧電素子の一例を示す
構成図であり、図7を参照して従来の積層圧電素子1に
ついて説明する。図7(A)の積層圧電素子1は、圧電
基板2、内部電極3、外部端子4、5等を有している。
圧電基板2と内部電極3は交互に積層しており、積層さ
れた圧電基板2の両端側には外部端子4、5が形成され
ている。外部端子4は複数の第1内部電極3aとのみ接
続されて、外部端子5は複数の第2内部電極3bとのみ
接続されている。そして、外部端子4、5にパルス電圧
Vが印加されると、異なる極性となる内部電極3a、3
bが交互に積層されている状態となる。
2. Description of the Related Art FIG. 7 is a structural view showing an example of a conventional laminated piezoelectric element. A conventional laminated piezoelectric element 1 will be described with reference to FIG. The laminated piezoelectric element 1 in FIG. 7A has a piezoelectric substrate 2, internal electrodes 3, external terminals 4, 5, and the like.
The piezoelectric substrates 2 and the internal electrodes 3 are alternately stacked, and external terminals 4 and 5 are formed on both ends of the stacked piezoelectric substrates 2. The external terminal 4 is connected only to the plurality of first internal electrodes 3a, and the external terminal 5 is connected only to the plurality of second internal electrodes 3b. When the pulse voltage V is applied to the external terminals 4 and 5, the internal electrodes 3a and 3a having different polarities are provided.
b are alternately stacked.

【0003】図7(B)に示すように、外部端子4が図
示しない電圧供給部の正極側に接続され、外部端子5が
電圧供給部の負極側に接続されたとき、積層圧電素子1
は正極領域1a、不活性領域1b、負極領域1cを形成
する。そして、積層圧電素子1は、外部端子4から正電
圧が印加されると矢印A1方向に変位し、負電圧が印加
されると矢印A2方向に変位する。なお、不活性領域1
bは、外部端子4に正電圧及び負電圧のいずれかが印加
されても、変位しない領域である。
As shown in FIG. 7B, when the external terminal 4 is connected to the positive terminal of a voltage supply unit (not shown) and the external terminal 5 is connected to the negative terminal of the voltage supply unit,
Forms a positive electrode region 1a, an inactive region 1b, and a negative electrode region 1c. The laminated piezoelectric element 1 is displaced in the direction of arrow A1 when a positive voltage is applied from the external terminal 4, and is displaced in the direction of arrow A2 when a negative voltage is applied. Note that inactive region 1
b is a region that does not displace even when either the positive voltage or the negative voltage is applied to the external terminal 4.

【0004】図8は、積層圧電素子1を動作させるため
の回路図を示しており、図7と図8を参照して積層圧電
素子1の動作例について説明する。図8において、外部
端子4は電圧供給部6に接続されていて、外部端子5は
接地されている。そして、電圧供給部6が積層圧電素子
1に対してパルス電圧Vを印加すると、図6の積層圧電
素子1はパルス電圧Vの大きさに比例して、図7の矢印
A方向にその大きさが変位する。
FIG. 8 is a circuit diagram for operating the laminated piezoelectric element 1, and an operation example of the laminated piezoelectric element 1 will be described with reference to FIGS. 7 and 8. FIG. In FIG. 8, the external terminal 4 is connected to the voltage supply unit 6, and the external terminal 5 is grounded. When the voltage supply unit 6 applies the pulse voltage V to the laminated piezoelectric element 1, the laminated piezoelectric element 1 shown in FIG. 6 is proportional to the magnitude of the pulse voltage V in the direction of arrow A in FIG. Is displaced.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、印刷を高速
に行うためには、インクの吐出する速度、すなわち積層
圧電素子10の駆動速度を早くする必要がある。それに
は、積層圧電素子10を高い周波数からなるパルス電圧
Vにより駆動する必要がある。しかし、高周波(共振周
波数)のパルス電圧Vが積層圧電素子1に供給される
と、図10に示すように、積層圧電素子1の変位量にリ
ンギング成分Rpが発生してしまうという問題がある。
Incidentally, in order to perform printing at high speed, it is necessary to increase the speed at which ink is discharged, that is, the driving speed of the laminated piezoelectric element 10. To do so, it is necessary to drive the laminated piezoelectric element 10 with a pulse voltage V having a high frequency. However, when a high-frequency (resonant frequency) pulse voltage V is supplied to the laminated piezoelectric element 1, there is a problem that a ringing component Rp is generated in the displacement of the laminated piezoelectric element 1, as shown in FIG.

【0006】具体的には、図9は、積層圧電素子1に対
して電圧の大きさは同じにして、周波数の異なるパルス
電圧Vを印可したときの変位量の違い(変位量−周波数
特性)を示すグラフ図である。なお、図9において、積
層圧電素子1の共振周波数がたとえば100(kHz)
に設定されているものとし、この共振周波数は図7
(B)に示す積層圧電素子1の長さLによって変化する
ものである。図9において、パルス電圧Vの周波数が共
振周波数(たとえば100(kHz))に近づくにつれ
て、積層圧電素子1の変位量が大きくなっていることが
わかる。そして、共振周波数付近の高周波電圧により積
層圧電素子10が駆動されると、積層圧電素子1の変位
量が突然変化することにより、積層圧電素子1が過渡的
な振動をしてしまう(リンギング)。
[0009] Specifically, FIG. 9 shows a difference in displacement amount (displacement amount-frequency characteristic) when a pulse voltage V having a different frequency is applied to the laminated piezoelectric element 1 with the same voltage magnitude. FIG. In FIG. 9, the resonance frequency of the laminated piezoelectric element 1 is, for example, 100 (kHz).
It is assumed that the resonance frequency is set in FIG.
This changes depending on the length L of the laminated piezoelectric element 1 shown in FIG. 9, it can be seen that as the frequency of the pulse voltage V approaches the resonance frequency (for example, 100 (kHz)), the displacement of the laminated piezoelectric element 1 increases. When the multilayer piezoelectric element 10 is driven by a high-frequency voltage near the resonance frequency, the displacement of the multilayer piezoelectric element 1 suddenly changes, so that the multilayer piezoelectric element 1 undergoes transient vibration (ringing).

【0007】積層圧電素子1の変位量にリンギング成分
Rpが含まれると、パルス電圧Vが立ち上がるとき、積
層圧電素子1の変位量が所定量より大きくなり(オーバ
ーシュート)、パルス電圧Vが0になるときに、積層圧
電素子1の変位量が所定量より小さくなってしまう(ア
ンダーシュート)という問題がある。そして、この積層
圧電素子1がたとえばインクジェットプリンタ装置にお
けるインクを吐出するためのアクチュエータとして使用
されている場合、積層圧電素子1の変位量にリンギング
成分Rpが含まれてしまうと、ノズルから吐出するイン
ク量が所定の量より多く(もしくは少なく)なってしま
い、所望の印刷結果が得られないという問題がある。従
って、積層圧電素子1を用いて印刷を行う場合、高速で
きれいな印刷を行うのは困難であるという問題がある。
If the ringing component Rp is included in the displacement of the laminated piezoelectric element 1, when the pulse voltage V rises, the displacement of the laminated piezoelectric element 1 becomes larger than a predetermined amount (overshoot), and the pulse voltage V becomes zero. Then, there is a problem that the displacement amount of the laminated piezoelectric element 1 becomes smaller than a predetermined amount (undershoot). When the laminated piezoelectric element 1 is used as an actuator for ejecting ink in an ink jet printer, for example, if the amount of displacement of the laminated piezoelectric element 1 includes the ringing component Rp, the ink ejected from the nozzle is There is a problem that the amount becomes larger (or smaller) than a predetermined amount, and a desired print result cannot be obtained. Therefore, when printing is performed using the laminated piezoelectric element 1, there is a problem that it is difficult to perform high-speed and clean printing.

【0008】そこで本発明は上記課題を解消し、精度良
く正確に変位することができる積層圧電素子及びこの積
層圧電素子を用いて高速で正確なインク量を吐出するこ
とができるプリンタ装置を提供することを目的としてい
る。
Accordingly, the present invention solves the above-mentioned problems, and provides a laminated piezoelectric element capable of accurately and accurately displacing, and a printer apparatus capable of discharging an accurate amount of ink at high speed using the laminated piezoelectric element. It is intended to be.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的は、請求項1の
発明によれば、圧電基板と内部電極とを交互に積層した
積層圧電素子において、外部から第1電圧が印加される
ことにより、所定の方向に変位する前記第1積層圧電領
域と、外部から前記第1積層圧電領域の変位量に含まれ
るリンギング成分に対応した第2電圧が印加されること
により、前記第1積層圧電領域の変位量に含まれるリン
ギング成分を打ち消す方向に変位する第2積層圧電領域
とを有する積層圧電素子により、達成される。
According to the first aspect of the present invention, there is provided a laminated piezoelectric element in which piezoelectric substrates and internal electrodes are alternately laminated, by applying a first voltage from the outside, The first laminated piezoelectric region is displaced in a predetermined direction, and a second voltage corresponding to a ringing component included in the displacement amount of the first laminated piezoelectric region is applied from the outside, whereby the first laminated piezoelectric region is displaced. This is achieved by a laminated piezoelectric element having a second laminated piezoelectric region that is displaced in a direction to cancel the ringing component included in the displacement amount.

【0010】また、上記目的は、請求項5の発明によれ
ば、インクを収容するインク収容部と、前記インク収容
部から供給されるインクを対象物に吐出するノズルと、
圧電基板と電極とが交互に積層されていて、前記インク
収容部に圧力を加えて前記ノズルから前記インクを吐出
する積層圧電素子とを有しており、前記積層圧電素子
は、外部から第1電圧が印加されることにより、所定の
方向に変位する前記第1積層圧電領域と、外部から前記
第1積層圧電領域の変位量に含まれるリンギング成分に
対応した第2電圧が印加されることにより、前記第1積
層圧電領域の変位量に含まれるリンギング成分を打ち消
す方向に変位する第2積層圧電領域とを有するプリンタ
装置により、達成される。
According to another aspect of the present invention, there is provided an ink storage unit for storing ink, a nozzle for discharging ink supplied from the ink storage unit to an object,
A piezoelectric substrate in which piezoelectric substrates and electrodes are alternately laminated, and a laminated piezoelectric element that applies pressure to the ink containing section and ejects the ink from the nozzles; When a voltage is applied, the first laminated piezoelectric region displaced in a predetermined direction and a second voltage corresponding to a ringing component included in the amount of displacement of the first laminated piezoelectric region are externally applied. The present invention is achieved by a printer device having a second laminated piezoelectric region that is displaced in a direction to cancel a ringing component included in the displacement amount of the first laminated piezoelectric region.

【0011】請求項1及び請求項5の構成によれば、積
層圧電素子は、第1電圧により変位する第1積層圧電領
域と、第2電圧により変位する第2積層圧電領域とから
形成されている。そして、第2電圧は、第1積層圧電領
域の変位量に含まれるリンギング成分に対応した電圧で
あって、第2積層圧電領域は、第1積層圧電領域で発生
するリンギング成分を打ち消す方向に変位する。これに
より、第1積層圧電領域にリンギング成分が含まれてし
まった場合でも、第2積層圧電領域の変位量によりリン
ギング成分が打ち消されるため、積層圧電素子は、リン
ギング成分を含まれない変位量を出力する。
According to the first and fifth aspects of the present invention, the laminated piezoelectric element is formed by the first laminated piezoelectric region displaced by the first voltage and the second laminated piezoelectric region displaced by the second voltage. I have. The second voltage is a voltage corresponding to a ringing component included in the displacement amount of the first laminated piezoelectric region, and the second laminated region is displaced in a direction to cancel the ringing component generated in the first laminated piezoelectric region. I do. Thus, even when the ringing component is included in the first multilayered piezoelectric region, the ringing component is canceled by the displacement amount of the second multilayered piezoelectric region. Output.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明
の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨
の記載がない限り、これらの形態に限られるものではな
い。
Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. Note that the embodiments described below are preferred specific examples of the present invention,
Although various technically preferable limits are given, the scope of the present invention is not limited to these modes unless otherwise specified in the following description.

【0013】図1は、本発明のプリンタ装置の好ましい
実施の形態を示す構成図であり、図1を参照してプリン
タ装置100について説明する。図1のプリンタ装置1
00は、インクジェットプリンタ装置であって、対象物
送り機構110、プリンタヘッド移動部120、プリン
タヘッド130等を有している。対象物送り機構110
は、対象物保持部111、モータ112、ベルト113
等から構成されている。対象物保持部111は、たとえ
ば円筒状に形成されていて、外周面上に印刷対象物であ
る紙Wを保持するものである。対象物保持部111はモ
ータ112とベルト113を介して機械的に接続されて
いる。モータ112が駆動すると、対象物保持部111
は矢印R方向に回転し、紙Wを矢印R方向に送る。
FIG. 1 is a block diagram showing a preferred embodiment of the printer of the present invention. The printer 100 will be described with reference to FIG. Printer device 1 of FIG.
Reference numeral 00 denotes an inkjet printer, which includes an object feeding mechanism 110, a printer head moving unit 120, a printer head 130, and the like. Object feed mechanism 110
Are the object holder 111, the motor 112, the belt 113
And so on. The object holding unit 111 is formed, for example, in a cylindrical shape, and holds paper W as an object to be printed on the outer peripheral surface. The object holder 111 is mechanically connected to a motor 112 via a belt 113. When the motor 112 is driven, the object holding unit 111
Rotates in the direction of arrow R, and feeds the paper W in the direction of arrow R.

【0014】対象物保持部111の外周面側にはプリン
タヘッド移動部120及びプリンタヘッド130が配置
されている。プリンタヘッド移動部120は、ヘッド保
持部121、モータ122、ガイド123等から構成さ
れていて、ヘッド保持部121はガイド123に保持さ
れている。ヘッド保持部121は、モータ122の駆動
によりガイド123に沿って矢印M方向に移動する。
A printer head moving unit 120 and a printer head 130 are arranged on the outer peripheral surface side of the object holding unit 111. The printer head moving unit 120 includes a head holding unit 121, a motor 122, a guide 123, and the like. The head holding unit 121 is held by the guide 123. The head holding unit 121 moves in the arrow M direction along the guide 123 by driving of the motor 122.

【0015】ヘッド保持部121の上にはプリンタヘッ
ド130が配置されている。図2はプリンタヘッド13
0の構成図を示しており、図2を参照してプリンタヘッ
ド130について説明する。図2のプリンタヘッド13
0は、それぞれ2つのインク収容部131a、131
b、導管132a、132b、ノズル133a、133
b、アクチュエータである積層圧電素子10、10等を
有している。インク収容部131aにはたとえばシア
ン、イエローもしくはマゼンタのいずれかの色からなる
インク原液140aが収容されていて、インク収容部1
31bにはインク原液140aを希釈するための希釈液
140bが収容されている。
A printer head 130 is arranged on the head holding section 121. FIG. 2 shows the printer head 13.
0, and the printer head 130 will be described with reference to FIG. Printer head 13 in FIG.
0 indicates two ink storage units 131a and 131, respectively.
b, conduits 132a, 132b, nozzles 133a, 133
b, including the laminated piezoelectric elements 10 and 10 as actuators. The ink storage section 131a stores, for example, an ink stock solution 140a of any one of the colors cyan, yellow and magenta.
The diluting liquid 140b for diluting the ink stock liquid 140a is stored in 31b.

【0016】インク収容部131a、131bには導管
132a、132bを介してノズル133a、133b
とそれぞれ接続されている。ノズル133a、133b
はそれぞれインク原液140a及び希釈液140bを紙
Wに対して吐出するものである。また、導管132a、
132bの下側には振動板150を介して積層圧電素子
10、10がそれぞれ配置されている。積層圧電素子1
0、10はそれぞれ電圧供給部80と接続されていて、
電圧供給部80からパルス電圧Vが供給されると、その
大きさに従って矢印A方向に所定量変位する。すなわ
ち、積層圧電素子10、10は、それぞれインク原液1
40a及び希釈液140bの吐出量を調整するため、別
々に設けられている。
The nozzles 133a and 133b are connected to the ink storage units 131a and 131b via conduits 132a and 132b.
And are connected respectively. Nozzles 133a, 133b
Are for discharging the stock ink 140a and the diluent 140b to the paper W, respectively. Also, the conduit 132a,
The laminated piezoelectric elements 10 and 10 are arranged below the 132b via the diaphragm 150, respectively. Multilayer piezoelectric element 1
0 and 10 are respectively connected to the voltage supply unit 80,
When the pulse voltage V is supplied from the voltage supply unit 80, the pulse voltage V is displaced by a predetermined amount in the direction of the arrow A according to the magnitude. That is, the laminated piezoelectric elements 10 and 10 are respectively
They are separately provided in order to adjust the discharge amounts of the diluent 40a and the diluent 140b.

【0017】次に、図1と図2を参照して、プリンタ装
置100の動作例について説明する。まず、図1におい
て、紙Wが対象物送り機構110により所定の位置に位
置決めされて、プリンタヘッド130がヘッド移動部1
20により紙Wの所定の位置に移動する。そして、紙W
に対して吐出すべきインク量140に基づいて、図2の
インク140インク原液140a及び希釈液140bの
吐出すべき量がそれぞれ決定される。
Next, an example of the operation of the printer 100 will be described with reference to FIGS. First, in FIG. 1, the paper W is positioned at a predetermined position by the object feeding mechanism 110, and the printer head 130 is moved to the head moving unit 1.
20 moves the paper W to a predetermined position. And paper W
The amounts of the ink 140 and the diluent 140b shown in FIG.

【0018】次に、電圧供給部80がそれぞれ積層圧電
素子10、10に対して、吐出すべきインク原液140
a及び希釈液140bに対応した大きさの第1電圧V1
と後述する第2電圧V2を印加する。積層圧電素子1
0、10は、第1電圧V1と第2電圧V2に基づいてそ
れぞれ矢印A方向に変位し、振動板150を介してイン
ク収容部131a、131bにそれぞれ圧力を加える。
すると、インク収容部131a、131bに収容されて
いるインク原液140a及び希釈液140bがノズル1
33a、133bから所定量吐出して、インク原液14
0a及び希釈液140bを混合したインク140が、紙
Wの所定の位置に対して吐出され、印刷が行われる。
Next, the voltage supply unit 80 applies the undiluted ink 140 to be ejected to the laminated piezoelectric elements 10 and 10, respectively.
a and a first voltage V1 of a magnitude corresponding to the diluent 140b
And a second voltage V2 described later is applied. Multilayer piezoelectric element 1
0 and 10 are displaced in the directions of arrows A based on the first voltage V1 and the second voltage V2, respectively, and apply pressure to the ink storage units 131a and 131b via the diaphragm 150.
Then, the undiluted ink 140a and the diluent 140b stored in the ink storage units 131a and 131b are supplied to the nozzle 1
33a and 133b, a predetermined amount is ejected, and the ink stock solution 14 is discharged.
The ink 140 obtained by mixing 0a and the diluent 140b is ejected to a predetermined position on the paper W, and printing is performed.

【0019】ノズル133a、133bからインク14
0の吐出は、図1のヘッド保持部120の作動により、
たとえばプリンタヘッド130が矢印M方向に移動しな
がら行われる。これにより、紙Wにおける所定のライン
について印刷が行われる。そして、所定のライン分の印
刷が終了すると、モータ112の作動により対象物保持
部111が矢印R方向に回転し、紙Wが所定のラインだ
け送られる。その後、プリンタヘッド130はさらに所
定のラインの印刷を行う。この作業を繰り返すことによ
り、1ページ分の印刷が行われる。
From the nozzles 133a and 133b, the ink 14
The ejection of 0 is performed by the operation of the head holding unit 120 in FIG.
For example, the operation is performed while the printer head 130 moves in the direction of arrow M. Thereby, printing is performed for a predetermined line on the paper W. Then, when printing for a predetermined line is completed, the object holding unit 111 is rotated in the direction of arrow R by the operation of the motor 112, and the paper W is fed by the predetermined line. After that, the printer head 130 further prints a predetermined line. By repeating this operation, printing for one page is performed.

【0020】図3は、本発明の積層圧電素子の好ましい
実施の形態を示す構成図であり、図3を参照して圧電基
板素子10について説明する。図3の圧電基板素子10
は、圧電基板20、内部電極30、外部端子40等を有
している。図3(A)の積層圧電素子10は、たとえば
圧電基板20の上に内部電極30を形成し、その上に圧
電基板20を配置して、さらにその上に内部電極30を
形成するという作業を繰り返すことにより、圧電基板2
0と内部電極30とが図示されているように交互に積層
されるようになる。ここで、圧電基板20は、たとえば
ジルコン酸チタン酸塩が主流であって、コバルトニオブ
酸塩系のジルコン酸チタン酸塩、ビスマスニオブ酸塩系
のジルコン酸チタン酸塩、もしくはチタン酸バリウム等
からなっていて、内部電極30はたとえば白金やパラジ
ウム等からなっている。
FIG. 3 is a structural view showing a preferred embodiment of the laminated piezoelectric element of the present invention. The piezoelectric substrate element 10 will be described with reference to FIG. Piezoelectric substrate element 10 of FIG.
Has a piezoelectric substrate 20, internal electrodes 30, external terminals 40, and the like. The laminated piezoelectric element 10 shown in FIG. 3A has an operation in which, for example, an internal electrode 30 is formed on a piezoelectric substrate 20, the piezoelectric substrate 20 is disposed thereon, and the internal electrode 30 is further formed thereon. By repeating, the piezoelectric substrate 2
0 and the internal electrodes 30 are alternately stacked as shown. Here, the piezoelectric substrate 20 is mainly made of, for example, zirconate titanate, and is made of cobalt niobate zirconate titanate, bismuth niobate zirconate titanate, or barium titanate. The internal electrode 30 is made of, for example, platinum or palladium.

【0021】内部電極30は、第1内部電極31、第2
内部電極32、第3内部電極33からなっている。第1
内部電極31は圧電基板20の一端側20aに形成され
ていて、第2内部電極32は、第1内部電極31と同一
平面上であって、圧電基板20の他端側20bに形成さ
れている。そして、第1内部電極31と第2内部電極3
2は電気的に絶縁されている。また、第3内部電極33
は、圧電基板20の中央の領域であって、第1内部電極
31及び第2内部電極32と重なる領域OR1、OR2
が存在するように形成されている。そして、第1内部電
極31及び第2内部電極32と第3内部電極33とが、
圧電基板20を介して交互に積層されている。これによ
り、圧電基板20、第1内部電極31及び第3内部電極
33が第1積層圧電領域10aを形成し、圧電基板2
0、第2内部電極32及び第3内部電極33が第2積層
圧電領域10bを形成するようになっている。
The internal electrode 30 includes a first internal electrode 31 and a second internal electrode 31.
It comprises an internal electrode 32 and a third internal electrode 33. First
The internal electrode 31 is formed on one end side 20a of the piezoelectric substrate 20, and the second internal electrode 32 is formed on the same plane as the first internal electrode 31 and on the other end side 20b of the piezoelectric substrate 20. . Then, the first internal electrode 31 and the second internal electrode 3
2 is electrically insulated. Also, the third internal electrode 33
Is a central area of the piezoelectric substrate 20 and overlaps with the first internal electrode 31 and the second internal electrode 32.
Is formed to exist. Then, the first internal electrode 31, the second internal electrode 32, and the third internal electrode 33
They are alternately stacked via the piezoelectric substrate 20. As a result, the piezoelectric substrate 20, the first internal electrode 31, and the third internal electrode 33 form the first laminated piezoelectric region 10a, and the piezoelectric substrate 2
0, the second internal electrode 32 and the third internal electrode 33 form the second laminated piezoelectric region 10b.

【0022】また、たとえば圧電基板20の一端側20
aには、第1内部電極31のみと電気的に接続された外
部端子41が形成されていて、たとえば圧電基板20の
他端側20bには、第2内部電極32のみと電気的に接
続された第2外部端子42が形成されている。さらに、
たとえば積層された圧電基板20における第1外部端子
41と第2外部端子42に挟まれた領域には、第3内部
電極33のみと電気的に接続された第3外部端子43が
形成されている。第1外部端子41と第3外部端子43
に後述する第1電圧V1が印加されると、第1積層領域
10aが矢印A方向に向かって所定量変位し、第2外部
端子42と第3外部端子43に後述する第2電圧V2が
印加されると、第2積層圧電領域10bが矢印A方向に
向かって所定量変位する。
For example, one end 20 of the piezoelectric substrate 20
An external terminal 41 electrically connected only to the first internal electrode 31 is formed at a. For example, the other end 20b of the piezoelectric substrate 20 is electrically connected only to the second internal electrode 32 at the other end 20b. A second external terminal 42 is formed. further,
For example, a third external terminal 43 electrically connected to only the third internal electrode 33 is formed in a region between the first external terminal 41 and the second external terminal 42 in the stacked piezoelectric substrates 20. . First external terminal 41 and third external terminal 43
When a first voltage V1 described later is applied, the first laminated region 10a is displaced by a predetermined amount in the direction of arrow A, and a second voltage V2 described later is applied to the second external terminal 42 and the third external terminal 43. Then, the second laminated piezoelectric region 10b is displaced in the direction of arrow A by a predetermined amount.

【0023】具体的には、第1外部端子41及び第2外
部端子42が正極側、第3外部端子43が接地(アー
ス)、もしくは負極側に接続されたとする。このとき、
図3(B)に示すように、第1積層圧電領域10aに
は、正電極領域11、不活性領域12、負電極領域13
が形成される。一方、第2積層圧電領域10bには、負
電極領域13、正殿領域14、不活性領域15が形成さ
れる。そして、第1積層圧電領域10aは、第1外部端
子41から正の第1電圧V1が印加されると矢印A1方
向に変位し、第1電圧V1が0になると矢印A2方向に
戻る。そして、第2積層圧電領域10bは、第2外部端
子42から正の第2電圧V2が印加されると矢印A2方
向に変位し、第2電圧V2が0になると矢印A1方向に
戻る。なお、不活性領域12(14)は、第1外部端子
41(第2外部端子42)に第1電圧V1(第2電圧V
2)が印加されても、変位しない領域である。
Specifically, it is assumed that the first external terminal 41 and the second external terminal 42 are connected to the positive electrode side, and the third external terminal 43 is connected to the ground (earth) or the negative electrode side. At this time,
As shown in FIG. 3B, the first laminated piezoelectric region 10a includes a positive electrode region 11, an inactive region 12, and a negative electrode region 13.
Is formed. On the other hand, a negative electrode region 13, a positive electrode region 14, and an inactive region 15 are formed in the second laminated piezoelectric region 10b. When the first positive voltage V1 is applied from the first external terminal 41, the first laminated piezoelectric region 10a is displaced in the direction of arrow A1, and returns to the direction of arrow A2 when the first voltage V1 becomes zero. The second laminated piezoelectric region 10b is displaced in the direction of arrow A2 when the positive second voltage V2 is applied from the second external terminal 42, and returns in the direction of arrow A1 when the second voltage V2 becomes zero. The inactive region 12 (14) applies the first voltage V1 (second voltage V1) to the first external terminal 41 (second external terminal 42).
This area is not displaced even when 2) is applied.

【0024】図4は、積層圧電素子10を動作させるた
めの回路図を示しており、図4を参照して積層圧電素子
10の駆動回路200について説明する。図4の駆動回
路200は、電圧供給部80、減算器81、ハイパスフ
ィルター(以下「HPF」という)82、直流オフセッ
ト電圧源83等を有している。電圧供給部80は、第1
積層圧電領域10aを変位させるための第1電圧V1を
出力するものであって、第1外部端子41及びHPF8
2に電気的に接続されている。
FIG. 4 is a circuit diagram for operating the laminated piezoelectric element 10, and a driving circuit 200 for the laminated piezoelectric element 10 will be described with reference to FIG. 4 includes a voltage supply unit 80, a subtractor 81, a high-pass filter (hereinafter, referred to as “HPF”) 82, a DC offset voltage source 83, and the like. The voltage supply unit 80
It outputs a first voltage V1 for displacing the laminated piezoelectric region 10a, and includes a first external terminal 41 and an HPF 8
2 are electrically connected.

【0025】減算器81は、第2積層圧電領域10bを
変位させるための第2電圧V2を出力するものであっ
て、第2外部端子42と電気的に接続されている。減算
器81の入力側のプラス端子には直流(DC)オフセッ
ト電圧源83が接続されていて、マイナス端子にはHP
F82が接続されている。HPF82は、後述ように第
1電圧V1とリンギング電圧Vrが入力されたとき、リ
ンギング電圧Vrのみを通過させる機能を有している。
DCオフセット電圧源83は、第2積層圧電領域10b
に負の電圧が印加されないように、常に所定のオフセッ
ト電圧Vfを第2積層圧電領域10bに印加するもので
ある。従って、第2積層圧電領域10bは初期状態では
所定量変位している状態となっている。また、第3外部
端子43は接地(負極側に接続)されている。
The subtractor 81 outputs a second voltage V2 for displacing the second laminated piezoelectric region 10b, and is electrically connected to the second external terminal 42. A direct current (DC) offset voltage source 83 is connected to the plus terminal on the input side of the subtractor 81, and the HP terminal is connected to the minus terminal.
F82 is connected. The HPF 82 has a function of passing only the ringing voltage Vr when the first voltage V1 and the ringing voltage Vr are input as described later.
The DC offset voltage source 83 is connected to the second laminated piezoelectric region 10b.
A predetermined offset voltage Vf is always applied to the second laminated piezoelectric region 10b so that a negative voltage is not applied to the second laminated piezoelectric region 10b. Therefore, the second laminated piezoelectric region 10b is displaced by a predetermined amount in the initial state. The third external terminal 43 is grounded (connected to the negative electrode side).

【0026】図5は、積層圧電素子10が変位した際の
波形図等を示すグラフ図であり、図3乃至図5を参照し
て、積層圧電素子10の動作例について説明する。ま
ず、図4の電圧供給部80が、第1積層圧電領域10a
に対して図5(A)に示すようなパルス電圧である第1
電圧V1を供給する。なお、この第1電圧V1の周波数
は、第1積層圧電領域10aの共振周波数付近(高周
波)に設定されている。すると、第1積層圧電領域10
aでは、図5(B)に示すようなリンギング成分Rpを
含んだ変位量で変位する。このとき、第1積層圧電領域
10aは、このリンギング成分Rpによりリンギング電
圧Vrを生成する。
FIG. 5 is a graph showing a waveform diagram and the like when the laminated piezoelectric element 10 is displaced. An operation example of the laminated piezoelectric element 10 will be described with reference to FIGS. First, the voltage supply unit 80 of FIG.
In contrast, the first pulse voltage shown in FIG.
Supply voltage V1. The frequency of the first voltage V1 is set near the resonance frequency (high frequency) of the first laminated piezoelectric region 10a. Then, the first laminated piezoelectric region 10
In FIG. 5A, the displacement is made by a displacement including the ringing component Rp as shown in FIG. At this time, the first laminated piezoelectric region 10a generates a ringing voltage Vr by the ringing component Rp.

【0027】そして、第1電圧V1とリンギング電圧V
rがHPF(ハイパスフィルター)84に入力される。
HPF84は低周波成分として第1電圧V1成分をカッ
トして、高周波成分としてリンギング電圧Vrのみを通
過させる。そして、このリンギング電圧Vrは減算器8
1のマイナス端子に入力される。ここで、リンギング電
圧Vrが減算器81のマイナス端子に入力されること
で、第2電圧V2にはリンギング電圧Vrの逆位相成分
が含まれた電圧となる。そして、減算器81は、オフセ
ット電圧Vfからリンギング電圧Vrを減算し、その減
算された第2電圧V2(=Vf−Vr)を出力する。
Then, the first voltage V1 and the ringing voltage V
r is input to an HPF (high pass filter) 84.
The HPF 84 cuts off the first voltage V1 component as a low frequency component and passes only the ringing voltage Vr as a high frequency component. The ringing voltage Vr is subtracted from the subtractor 8
1 is input to the minus terminal. Here, when the ringing voltage Vr is input to the minus terminal of the subtractor 81, the second voltage V2 becomes a voltage including an antiphase component of the ringing voltage Vr. Then, the subtracter 81 subtracts the ringing voltage Vr from the offset voltage Vf, and outputs the subtracted second voltage V2 (= Vf-Vr).

【0028】減算器81から出力された第2電圧V2
は、第2積層圧電領域10bに印加され、第2積層圧電
領域10bは第2電圧V2により、図5(C)に示すよ
うなリンギング成分Rpとは逆位相方向(−Rp)に変
位する。すると、第1積層圧電領域10aにおいて発生
したリンギング成分Rpが、第2積層圧電領域10bの
変位により打ち消されて、図5(D)に示すような、印
加された第1電圧V1に対応した同一の変位量で変位す
る。
The second voltage V2 output from the subtractor 81
Is applied to the second laminated piezoelectric region 10b, and the second laminated piezoelectric region 10b is displaced by the second voltage V2 in the opposite phase direction (-Rp) to the ringing component Rp as shown in FIG. 5C. Then, the ringing component Rp generated in the first laminated piezoelectric region 10a is canceled by the displacement of the second laminated piezoelectric region 10b, and the same voltage corresponding to the applied first voltage V1 as shown in FIG. Is displaced by the displacement amount of.

【0029】上記実施の形態によれば、1つの積層圧電
素子10に、独立して変位することができる2つの第1
積層圧電領域10a、第2積層圧電領域10bが形成さ
れていて、第2積層圧電領域10bは、第1積層圧電領
域10aリンギング成分Rpを打ち消す方向に変位す
る。従って、積層圧電素子10全体の変位量は、リンギ
ング成分を含まないパルス電圧Vに対応した変位量とな
り、積層圧電素子10の変位量を正確に制御することが
できる。
According to the above embodiment, the two first piezoelectric elements 10 that can be displaced independently can be
The laminated piezoelectric region 10a and the second laminated piezoelectric region 10b are formed, and the second laminated piezoelectric region 10b is displaced in a direction to cancel the ringing component Rp of the first laminated piezoelectric region 10a. Therefore, the displacement amount of the multilayer piezoelectric element 10 as a whole corresponds to the pulse voltage V that does not include the ringing component, and the displacement amount of the multilayer piezoelectric element 10 can be accurately controlled.

【0030】また、積層圧電素子10がインクジェット
プリンタ装置100のアクチュエータとして機能する場
合、高周波電圧により駆動しても、リンギング成分Rp
により余分にインクを吐出しないようにすることができ
る。よって、インクジェットプリンタ装置の印刷速度を
高速化することができるとともに、きれいな印刷結果を
得ることができる。
When the laminated piezoelectric element 10 functions as an actuator of the ink jet printer 100, the ringing component Rp
Thus, it is possible to prevent extra ink from being ejected. Therefore, it is possible to increase the printing speed of the ink jet printer and obtain a clear printing result.

【0031】本発明の実施の形態は、上記実施の形態に
限定されない。たとえば、図2において、各色について
ノズル等が2つあるプリンタヘッドう130について説
明したが、各色についてノズル等が1つのみから構成さ
れているプリンタヘッドを有するプリンタ装置における
アクチュエータとしても図3の積層圧電素子10を使用
することができる。
The embodiment of the present invention is not limited to the above embodiment. For example, in FIG. 2, the printer head 130 having two nozzles and the like for each color has been described. However, the actuator of the printer apparatus having a printer head having only one nozzle and the like for each color as shown in FIG. A piezoelectric element 10 can be used.

【0032】また、図3において、第1積層圧電領域1
0aと第2積層圧電領域10bは一体となって形成され
ているが、図6に示すように、別々に製造された2つの
積層圧電素子300、400を合わせて、積層圧電素子
300が第1積層圧電領域10a、積層圧電素子400
が第2積層圧電領域10bとして機能させても良い。
In FIG. 3, the first laminated piezoelectric region 1
0a and the second laminated piezoelectric region 10b are integrally formed, but as shown in FIG. 6, the two laminated piezoelectric devices 300 and 400 manufactured separately are combined to form the first laminated piezoelectric device 300. Laminated piezoelectric region 10a, laminated piezoelectric element 400
May function as the second laminated piezoelectric region 10b.

【0033】さらに、図6において、積層圧電素子30
0、400を構成する圧電基板320、420の分極方
向を互いに逆方向にすることにより、図6の駆動回路2
00を簡略化する事ができる。具体的には、圧電基板3
20の分極方向が矢印Z1方向にして、圧電基板420
の分極方向が矢印Z2方向になるように形成する。する
と、第1外部端子41に正の第1電圧V1が印加される
と、積層圧電素子300は矢印A1方向に変位し、負の
第1電圧V1が印加されると、矢印A2方向に変位す
る。一方、第2外部端子42に正の第2電圧V2が印加
されると、積層圧電素子400は矢印A2方向に変位し
て、負の第2電圧V2が印加されると、矢印A2方向に
変位する。従って、HPF82を通過したリンギング電
圧Vrが積層圧電素子400に直接印加することによっ
て、積層圧電素子400はリンギング成分Rpとは逆位
相方向(−Rp)に変位することとなる。従って、図4
の減算器81及びDCオフセット電圧源83が不要にな
る。
Further, referring to FIG.
By setting the polarization directions of the piezoelectric substrates 320 and 420 constituting the driving circuits 0 and 400 to be opposite to each other, the driving circuit 2 of FIG.
00 can be simplified. Specifically, the piezoelectric substrate 3
The polarization direction of the piezoelectric substrate 420 is changed to the direction of the arrow Z1.
Are formed so that the polarization direction of the arrow is in the direction of arrow Z2. Then, when the positive first voltage V1 is applied to the first external terminal 41, the laminated piezoelectric element 300 is displaced in the direction of arrow A1, and when the negative first voltage V1 is applied, the laminated piezoelectric element 300 is displaced in the direction of arrow A2. . On the other hand, when the positive second voltage V2 is applied to the second external terminal 42, the laminated piezoelectric element 400 is displaced in the direction of arrow A2, and when the negative second voltage V2 is applied, the laminated piezoelectric element 400 is displaced in the direction of arrow A2. I do. Accordingly, when the ringing voltage Vr that has passed through the HPF 82 is directly applied to the multilayered piezoelectric element 400, the multilayered piezoelectric element 400 is displaced in the opposite phase direction (−Rp) to the ringing component Rp. Therefore, FIG.
, And the DC offset voltage source 83 becomes unnecessary.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
精度良く正確に変位する積層圧電素子及びこの積層圧電
素子を用いて正確なインク量を吐出することができるプ
リンタ装置を提供することができる。
As described above, according to the present invention,
It is possible to provide a laminated piezoelectric element that displaces accurately and accurately, and a printer device that can discharge an accurate amount of ink using the laminated piezoelectric element.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のプリンタ装置の好ましい実施の形態を
示す構成図。
FIG. 1 is a configuration diagram showing a preferred embodiment of a printer device of the present invention.

【図2】図1のプリンタ装置におけるプリンタヘッドの
構造を示す構成図。
FIG. 2 is a configuration diagram illustrating a structure of a printer head in the printer of FIG. 1;

【図3】本発明の積層圧電素子の好ましい実施の形態を
示す構成図。
FIG. 3 is a configuration diagram showing a preferred embodiment of a laminated piezoelectric element of the present invention.

【図4】本発明の積層圧電素子を動作させるために構成
された駆動回路を示す図。
FIG. 4 is a diagram showing a drive circuit configured to operate the laminated piezoelectric element of the present invention.

【図5】本発明の積層圧電素子における第1電圧、第1
積層圧電領域の変位量、第2積層圧電領域の変位量及び
積層圧電素子の変位量を示すグラフ図。
FIG. 5 shows a first voltage and a first voltage in the multilayer piezoelectric element of the present invention.
FIG. 9 is a graph showing the displacement of a laminated piezoelectric region, the displacement of a second laminated piezoelectric region, and the displacement of a laminated piezoelectric element.

【図6】本発明の積層圧電素子の別の実施の形態を示す
構成図。
FIG. 6 is a configuration diagram showing another embodiment of the laminated piezoelectric element of the present invention.

【図7】従来の積層圧電素子の一例を示す構成図。FIG. 7 is a configuration diagram showing an example of a conventional laminated piezoelectric element.

【図8】従来の積層圧電素子を動作させるための駆動回
路を示す図。
FIG. 8 is a diagram showing a drive circuit for operating a conventional laminated piezoelectric element.

【図9】従来の積層圧電素子における変位量とパルス電
圧の周波数の関係を示すグラフ図。
FIG. 9 is a graph showing the relationship between the amount of displacement and the frequency of a pulse voltage in a conventional laminated piezoelectric element.

【図10】従来の積層圧電素子の変位量を示すグラフ
図。
FIG. 10 is a graph showing the amount of displacement of a conventional laminated piezoelectric element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10・・・積層圧電素子、20・・・圧電基板、30・
・・内部電極、31・・・第1内部電極、32・・・第
2内部電極、33・・・第3内部電極、40・・・外部
端子、41・・・第1外部端子、42・・・第2外部端
子、43・・・第3外部端子、80・・・電圧供給部、
100・・・プリンタ装置、110・・・対象物送り機
構、120・・・ヘッド移動部、130・・・プリンタ
ヘッド、131a、131b・・・インク収容部、13
3a、133b・・・ノズル、200・・・駆動回路、
V1・・・第1電圧、V2・・・第2電圧、Rp・・・
リンギング成分。
10: laminated piezoelectric element, 20: piezoelectric substrate, 30
..Internal electrode, 31 first internal electrode, 32 second internal electrode, 33 third internal electrode, 40 external terminal, 41 first external terminal, 42 ..Second external terminal, 43... Third external terminal, 80... Voltage supply unit,
100 printer device, 110 target object feeding mechanism, 120 head moving unit, 130 printer head, 131a, 131b ink storage unit, 13
3a, 133b: nozzle, 200: drive circuit,
V1 ... first voltage, V2 ... second voltage, Rp ...
Ringing component.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 圧電基板と内部電極とを交互に積層した
積層圧電素子において、 外部から第1電圧が印加されることにより、所定の方向
に変位する前記第1積層圧電領域と、 外部から前記第1積層圧電領域の変位量に含まれるリン
ギング成分に対応した第2電圧が印加されることによ
り、前記第1積層圧電領域の変位量に含まれるリンギン
グ成分を打ち消す方向に変位する第2積層圧電領域とを
有することを特徴とする積層圧電素子。
1. A laminated piezoelectric element in which piezoelectric substrates and internal electrodes are alternately laminated, wherein the first laminated piezoelectric region displaced in a predetermined direction by applying a first voltage from the outside, When a second voltage corresponding to a ringing component included in the displacement amount of the first laminated piezoelectric region is applied, the second laminated piezoelectric member is displaced in a direction to cancel the ringing component included in the displacement amount of the first laminated piezoelectric region. And a region.
【請求項2】 前記内部電極は、 前記圧電基板上の一端側に形成されている第1内部電極
と、 前記第1内部電極と電気的に絶縁されていて、前記圧電
基板上の他端側に形成されている第2電極と、 前記第1内部電極及び前記第2内部電極と電気的に絶縁
されていて、前記圧電基板上の中央の領域であって、前
記第1内部電極及び前記第2電極が形成されている領域
と重なる領域に設けられた第3内部電極とを有してお
り、 前記第1積層圧電領域は、前記圧電基板、前記第1内部
電極及び前記第3内部電極が積層されて形成されてい
て、前記第2積層圧電領域は、前記圧電基板、前記第2
内部電極及び前記第3内部電極が積層されて形成されて
いる請求項1に記載の積層圧電素子。
2. The internal electrode, wherein: a first internal electrode formed at one end on the piezoelectric substrate; and an electrically insulated from the first internal electrode, the other end on the piezoelectric substrate. A second electrode, which is electrically insulated from the first internal electrode and the second internal electrode, and is a central region on the piezoelectric substrate, wherein the first internal electrode and the second A third internal electrode provided in a region overlapping with a region where the two electrodes are formed, wherein the first laminated piezoelectric region includes the piezoelectric substrate, the first internal electrode, and the third internal electrode. The second laminated piezoelectric region is formed by laminating the piezoelectric substrate and the second laminated piezoelectric region.
The multilayer piezoelectric element according to claim 1, wherein the internal electrode and the third internal electrode are formed by lamination.
【請求項3】 前記第1内部電極及び前記第2内部電極
は正極側に電気的に接続されていて、前記第3内部電極
は接地されている請求項1に記載の積層圧電素子。
3. The multilayer piezoelectric element according to claim 1, wherein the first internal electrode and the second internal electrode are electrically connected to a positive electrode, and the third internal electrode is grounded.
【請求項4】 前記第1積層圧電領域を構成する第1圧
電基板の分極方向は、前記第2積層圧電領域を構成する
第2圧電基板の分極方向に対して逆方向になるように形
成されている請求項1に記載の積層圧電素子。
4. A polarization direction of a first piezoelectric substrate constituting the first laminated piezoelectric region is formed to be opposite to a polarization direction of a second piezoelectric substrate constituting the second laminated piezoelectric region. The multilayer piezoelectric element according to claim 1, wherein
【請求項5】 インクを収容するインク収容部と、前記
インク収容部から供給されるインクを対象物に吐出する
ノズルと、圧電基板と電極とが交互に積層されていて、
前記インク収容部に圧力を加えて前記ノズルから前記イ
ンクを吐出する積層圧電素子とを有しており、 前記積層圧電素子は、 外部から第1電圧が印加されることにより、所定の方向
に変位する前記第1積層圧電領域と、 外部から前記第1積層圧電領域の変位量に含まれるリン
ギング成分に対応した第2電圧が印加されることによ
り、前記第1積層圧電領域の変位量に含まれるリンギン
グ成分を打ち消す方向に変位する第2積層圧電領域とを
有することを特徴とするプリンタ装置。
5. An ink storage section for storing ink, a nozzle for discharging ink supplied from the ink storage section to an object, and a piezoelectric substrate and an electrode are alternately stacked,
A multilayer piezoelectric element that applies pressure to the ink storage section to eject the ink from the nozzle, wherein the multilayer piezoelectric element is displaced in a predetermined direction when a first voltage is applied from the outside. When the second voltage corresponding to the ringing component included in the displacement amount of the first laminated piezoelectric region is applied from the outside to the first laminated piezoelectric region, the displacement is included in the displacement amount of the first laminated piezoelectric region. A second laminated piezoelectric region that is displaced in a direction to cancel a ringing component.
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