JP2000258165A - Angular velocity sensor - Google Patents
Angular velocity sensorInfo
- Publication number
- JP2000258165A JP2000258165A JP11063486A JP6348699A JP2000258165A JP 2000258165 A JP2000258165 A JP 2000258165A JP 11063486 A JP11063486 A JP 11063486A JP 6348699 A JP6348699 A JP 6348699A JP 2000258165 A JP2000258165 A JP 2000258165A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- angular velocity
- sensor element
- sensor
- support substrate
- velocity sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、角速度センサに関
し、詳しくは、支持基板によってセンサ素子が支持固定
されてなる静電容量型の角速度センサに関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an angular velocity sensor, and more particularly, to a capacitance type angular velocity sensor in which a sensor element is supported and fixed by a support substrate.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の静電容量型の角速度センサを、図
８，図９を用いて説明する。図８および図９に示す角速
度センサ１００は、センサ素子１０を含む。センサ素子
１０は、単結晶シリコン材料からなる固定基板１１を備
える。この固定基板１１の表面には、略矩形状の平面振
動子１２が形成され、平面振動子１２の四隅には４本の
支持梁１４が配置され、支持梁１４は、折り曲げ加工さ
れて固定基板１１に固定されている。2. Description of the Related Art A conventional capacitance type angular velocity sensor will be described with reference to FIGS. The angular velocity sensor 100 shown in FIGS. 8 and 9 includes a sensor element 10. The sensor element 10 includes a fixed substrate 11 made of a single crystal silicon material. A substantially rectangular planar oscillator 12 is formed on the surface of the fixed substrate 11, and four support beams 14 are arranged at four corners of the planar oscillator 12, and the support beams 14 are bent and fixed. 11 is fixed.
【０００３】平面振動子１２の二辺には櫛歯状の駆動用
可動電極１５が形成されている。そして、平面振動子１
２の前記二辺に対向する位置には、固定板１６が配置さ
れ、固定板１６からは、櫛歯状の駆動用可動電極１５と
噛み合うように櫛歯状の駆動用固定電極１７が形成され
ている。この駆動用可動電極１５と駆動用固定電極１７
とをあわせて、駆動電極１８とする。[0003] A comb-shaped driving movable electrode 15 is formed on two sides of the planar vibrator 12. And the plane vibrator 1
2, a fixed plate 16 is arranged at a position facing the two sides, and a comb-shaped driving fixed electrode 17 is formed from the fixed plate 16 so as to mesh with the comb-shaped driving movable electrode 15. ing. The driving movable electrode 15 and the driving fixed electrode 17
Are combined to form the drive electrode 18.
【０００４】また、平面振動子１２の他の二辺には、検
出用可動電極１９が形成されている。そして、平面振動
子１２の前記他の二辺に対向する位置には固定板２０が
配置され、固定板２０には、検出用可動電極１９と噛み
合うように検出用固定電極２１が形成されている。この
検出用可動電極１９と検出用固定電極２１とをあわせ
て、検出電極２２とする。A movable electrode 19 for detection is formed on the other two sides of the plane vibrator 12. A fixed plate 20 is arranged at a position facing the other two sides of the planar vibrator 12, and a fixed electrode 21 for detection is formed on the fixed plate 20 so as to mesh with the movable electrode 19 for detection. . The detection movable electrode 19 and the detection fixed electrode 21 are combined to form a detection electrode 22.
【０００５】そして、固定基板１１の表面および裏面側
には、平面振動子１２などを保護し封止するため、ガラ
ス板からなる包囲部材２３が配置されて、平板状のセン
サ素子１０が構成される。An enclosing member 23 made of a glass plate is disposed on the front and back sides of the fixed substrate 11 to protect and seal the planar vibrator 12 and the like, thereby forming a flat sensor element 10. You.
【０００６】このセンサ素子１０は、例えばアルミナ基
板やガラスエポキシ基板などの平坦な支持基板２４に、
センサ素子１０の底面全面が水平を保つように接触し、
接着剤２５で底面全面が固着されて、角速度センサ１０
０が構成される。The sensor element 10 is mounted on a flat support substrate 24 such as an alumina substrate or a glass epoxy substrate.
The entire bottom surface of the sensor element 10 contacts so as to be horizontal,
The entire bottom surface is fixed by the adhesive 25, and the angular velocity sensor 10
0 is configured.
【０００７】この角速度センサ１００において、平面振
動子１２は、駆動電極１８に交流電圧が印加されると、
駆動電極１８における駆動用可動電極１５と駆動用固定
電極１７の間に発生する静電力によって、平面振動子１
２と同一平面内でｙ軸方向に励振する。このとき、ｚ軸
を中心とした回転角速度が加わると、ｙ軸とｚ軸に直交
する方向、すなわちｘ軸方向にコリオリ力が発生し、平
面振動子１２がｘ軸方向に振動する。この振動による振
幅の大きさの変化を検出電極２２における静電容量変化
に対応させて検出し、ｚ軸回りの回転角速度の大きさを
検出するものである。In this angular velocity sensor 100, when an AC voltage is applied to the drive electrode 18,
The electrostatic force generated between the driving movable electrode 15 and the driving fixed electrode 17 in the driving electrode 18 causes the planar vibrator 1
Excitation in the y-axis direction in the same plane as 2. At this time, when a rotational angular velocity about the z-axis is applied, Coriolis force is generated in a direction orthogonal to the y-axis and the z-axis, that is, in the x-axis direction, and the plane vibrator 12 vibrates in the x-axis direction. A change in the magnitude of the amplitude due to the vibration is detected in accordance with a change in the capacitance of the detection electrode 22, and the magnitude of the rotational angular velocity about the z-axis is detected.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の角速度センサでは、使用環境の変化や、角速度セン
サの外部から印加される衝撃，振動などの力により、支
持基板には、たわみやねじれなどの変形が生じる。この
支持基板の変形により、センサ素子には変形応力が作用
することになる。However, in the above-mentioned conventional angular velocity sensor, the supporting substrate is not bent or twisted due to a change in the use environment or a force such as an impact or vibration applied from the outside of the angular velocity sensor. Deformation occurs. Due to the deformation of the support substrate, a deformation stress acts on the sensor element.
【０００９】その結果、センサ素子全体に歪みが生じ、
検出電極において歪みによる静電容量の変化が検出され
る。これにより、コリオリ力とは無関係の検出信号を得
ることになり、センサの検出確度の低下の要因となって
いた。As a result, distortion occurs in the entire sensor element,
A change in capacitance due to distortion is detected at the detection electrode. As a result, a detection signal irrelevant to the Coriolis force is obtained, which causes a reduction in the detection accuracy of the sensor.
【００１０】また、変形応力は平面振動子を支持する支
持梁にも作用し、支持梁のバネ定数の変化により平面振
動子の固有振動数が変化し、感度が変化してしまう要因
ともなっていた。Also, the deformation stress acts on the supporting beam for supporting the planar vibrator, and the natural frequency of the planar vibrator changes due to a change in the spring constant of the supporting beam, which is a factor that causes a change in sensitivity. .
【００１１】これらの変形応力の発生を抑えるために
は、比較的強固で、たわみやねじれなどの変形が生じに
くいアルミナ等のセラミックス基板を利用することが考
えられる。しかし、セラミックス基板はガラスエポキシ
基板などに比べて高価であり、角速度センサのコストダ
ウンという市場の要望に沿うことが困難となる。In order to suppress the generation of these deformation stresses, it is conceivable to use a ceramic substrate made of alumina or the like which is relatively strong and is not easily deformed such as bending or twisting. However, a ceramic substrate is more expensive than a glass epoxy substrate or the like, and it is difficult to meet the market demand for cost reduction of an angular velocity sensor.
【００１２】したがって、本発明の目的は、上述の問題
点を解消するためになされたもので、検出確度が高く、
感度変動の小さな、静電容量型の角速度センサを提供す
ることにある。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problem, and the detection accuracy is high.
An object of the present invention is to provide a capacitance-type angular velocity sensor with small sensitivity fluctuation.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の角速度センサにおいては、平板状のセンサ
素子と、センサ素子を支持する支持基板とを備え、セン
サ素子に加わった角速度に応じてセンサ素子内における
静電容量の変化を検知することによって角速度を検出す
る角速度センサであって、センサ素子は支持基板に面実
装され、支持基板におけるセンサ素子が面実装された周
囲部には、支持基板に加わった変形応力をセンサ素子の
面実装部分に伝搬するのを防止するための防止手段を備
えたことを特徴としている。In order to achieve the above object, an angular velocity sensor according to the present invention includes a flat sensor element and a support substrate for supporting the sensor element, and the angular velocity applied to the sensor element is reduced. An angular velocity sensor that detects an angular velocity by detecting a change in capacitance in the sensor element in response to the angular velocity sensor. The sensor element is surface-mounted on a support substrate, and a peripheral portion of the support substrate on which the sensor element is surface-mounted is provided. And a prevention means for preventing the deformation stress applied to the support substrate from propagating to the surface mounting portion of the sensor element.
【００１４】また、防止手段は、支持基板におけるセン
サ素子が面実装された周囲部に溝または孔を設けてなる
ことを特徴としている。Further, the prevention means is characterized in that a groove or a hole is provided in a peripheral portion of the support substrate on which the sensor element is surface-mounted.
【００１５】また、溝または孔は、支持基板を貫通する
ように形成されてなることを特徴としている。Further, the groove or the hole is formed so as to penetrate the support substrate.
【００１６】これにより、センサ素子の周囲部の防止手
段が、支持基板の変形の伝搬を防止するため、支持基板
のセンサ素子固着部の変形が低減される。[0016] Thus, since the prevention means around the sensor element prevents the propagation of the deformation of the support substrate, the deformation of the sensor element fixing portion of the support substrate is reduced.
【００１７】また、この防止手段は溝や孔などを形成す
ることで構成されるため、簡単な構成でかつ他の物質を
付加する必要がない。Further, since this prevention means is formed by forming a groove, a hole or the like, it has a simple structure and does not need to add another substance.
【００１８】また、溝や孔を支持基板を貫通するように
形成することにより、変形応力の伝搬を防止する効果が
更に大きくなる。By forming the grooves and holes so as to penetrate the support substrate, the effect of preventing the propagation of deformation stress is further increased.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して詳細に説明する。なお、センサ素子について
は、従来例と同一のものを例示して説明するため、同一
番号を付し、センサ素子の内部の構造および角速度検出
の原理についての説明は省略する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. Note that the sensor elements are the same as those in the conventional example and will be described by exemplifying the same elements. Therefore, the same reference numerals are given, and the description of the internal structure of the sensor elements and the principle of angular velocity detection will be omitted.
【００２０】図１，図２に示す本発明の第１の実施の形
態に係る角速度センサ１は、センサ素子１０と支持基板
２を備える。この支持基板２は、例えばガラスエポキシ
基板や金属基板などの、安価で加工が容易な材質からな
り電気配線が可能なものであればよい。この支持基板２
の略中央部には、接着剤５を介してセンサ素子１０が固
着されて面実装される。An angular velocity sensor 1 according to a first embodiment of the present invention shown in FIGS. 1 and 2 includes a sensor element 10 and a support substrate 2. The support substrate 2 may be made of a material that is inexpensive and easy to process, such as a glass epoxy substrate or a metal substrate, and that can be electrically wired. This support substrate 2
The sensor element 10 is fixedly attached to the substantially central portion via an adhesive 5 and surface-mounted.
【００２１】この支持基板２における、センサ素子１０
の面実装部分の周囲部には、センサ素子１０を四角く囲
うように、４本の貫通した溝６が形成されている。これ
らの溝６は、たとえば、パンチなどの非常に簡易な機械
的加工方法によって形成されるものである。そして、セ
ンサ素子１０は、支持基板２における４箇所の架橋部７
で支持されることになる。これらの溝６は、使用環境の
変化や角速度センサ１の外部から印加される衝撃，振動
などの力により、支持基板２に生じるたわみやねじれな
どの変形応力を、センサ素子１０の実装部に伝搬するの
を防止する防止手段として機能するものである。つま
り、図３に示すように、支持基板２が変形した場合、溝
６が貫通していることにより、溝６の存在する部分で屈
曲などの変形がほぼ完全に吸収されるため、センサ素子
１０の実装部まで変形応力が伝搬しない構造となる。The sensor element 10 on the support substrate 2
In the periphery of the surface mounting portion, four penetrating grooves 6 are formed so as to surround the sensor element 10 in a square shape. These grooves 6 are formed by a very simple mechanical processing method such as a punch. The sensor element 10 is provided with four bridge portions 7 at the support substrate 2.
Will be supported by. These grooves 6 transmit deformation stresses such as bending and torsion generated in the support substrate 2 to a mounting portion of the sensor element 10 due to a change in a use environment or a force such as an impact or vibration applied from the outside of the angular velocity sensor 1. It functions as a prevention means for preventing such a situation. In other words, as shown in FIG. 3, when the support substrate 2 is deformed, the deformation such as bending is almost completely absorbed in the portion where the groove 6 exists because the groove 6 penetrates. The structure is such that the deformation stress does not propagate to the mounting part.
【００２２】また、この角速度センサ１では、支持基板
２における架橋部７でセンサ素子１０が支持固定されて
おり、架橋部７は、架橋部７の物理的な構造（寸法な
ど）と材料の持つ物性によって決まるバネ定数によっ
て、固有の共振周波数ｆs を有する。ここで、センサ素
子１０内の平面振動子１２の共振周波数ｆ0 と架橋部７
の共振周波数ｆs とが近い値となる場合、平面振動子１
２の共振エネルギーが架橋部７へ伝達し、支持基板２に
おけるセンサ素子１０の実装部の全体が平面振動子１２
の共振周波数で励振されてしまい、平面振動子１２の振
動エネルギーのロスが発生し、平面振動子１２のＱ値が
下がり、センサとしての感度低下をもたらす可能性があ
る。したがって、このような感度低下を防止するため、
平面振動子１２の共振周波数ｆ0 と架橋部７の共振周波
数ｆs とが十分に乖離（かいり）するように、架橋部７
の幅や長さなどの寸法が設計される必要がある。たとえ
ば、架橋部７の共振周波数ｆs と平面振動子１２の共振
周波数ｆ0 との関係は、ｆs ＜０．１ｆ0 、または、１
０ｆ0 ＜ｆs となるように設計されることが望ましい。In the angular velocity sensor 1, the sensor element 10 is supported and fixed by the bridge portion 7 of the support substrate 2, and the bridge portion 7 has a physical structure (dimensions and the like) of the bridge portion 7 and a material. It has a unique resonance frequency f s due to a spring constant determined by physical properties. Here, the resonance frequency f 0 of the planar vibrator 12 in the sensor element 10 and the bridge portion 7
If the resonance frequency f s of the close values, planar vibrator 1
2 is transmitted to the bridging portion 7, and the entire mounting portion of the sensor element 10 on the support substrate 2 is
, The vibration energy of the planar vibrator 12 is lost, the Q value of the planar vibrator 12 is reduced, and the sensitivity as a sensor may be reduced. Therefore, to prevent such a decrease in sensitivity,
The bridging portion 7 is set so that the resonance frequency f 0 of the planar vibrator 12 and the resonance frequency f s of the bridging portion 7 sufficiently separate from each other.
Dimensions such as width and length need to be designed. For example, the relationship between the resonance frequency f s of the bridge portion 7 and the resonance frequency f 0 of the planar vibrator 12 is f s <0.1 f 0 or 1
It is desirable to be designed such that 0f 0 <f s.
【００２３】次に、本発明の第２の実施の形態を、図
４，図５を用いて説明する。なお、第１の実施の形態と
同一の構成については同一番号を付し、その説明を省略
する。図４および図５に示す角速度センサ１において、
支持基板２におけるセンサ素子１０の面実装部分の周囲
部には、センサ素子１０を四角く囲うように、変形応力
伝搬の防止手段としての４本の有底の溝８が形成されて
いる。これらの溝８は、たとえば、リュータやエンドミ
ル，レーザ切除などの機械的加工や、エッチングなどの
化学的加工など一般的な加工方法によって形成されるも
のである。Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. Note that the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. In the angular velocity sensor 1 shown in FIGS. 4 and 5,
Four bottomed grooves 8 are formed around the surface mounting portion of the sensor element 10 on the support substrate 2 so as to squarely surround the sensor element 10 as a means for preventing deformation stress propagation. These grooves 8 are formed by a general processing method such as a mechanical processing such as a luter, an end mill, and laser ablation, and a chemical processing such as etching.
【００２４】このように、溝８が有底であるため、支持
基板２の表面を削るだけでよく、本第２の実施の形態
は、支持基板２に硬度の高い材質を使用した場合に、特
に有効となる。As described above, since the groove 8 has the bottom, only the surface of the support substrate 2 needs to be shaved. In the second embodiment, when a material having high hardness is used for the support substrate 2, Especially effective.
【００２５】次に、本発明の第３の実施の形態を図６，
図７を用いて説明する。なお、第１の実施の形態や第２
の実施の形態と同一の構成については同一番号を付し、
その説明を省略する。図６および図７に示す角速度セン
サ１において、支持基板２におけるセンサ素子１０の面
実装部分の周囲部には、センサ素子１０を四角く囲うよ
うに、変形応力伝搬の防止手段としての複数個の貫通し
た孔９が形成されている。これらの孔９は、たとえば、
ドリルなどの機械的加工方法によって形成されるもので
ある。Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG. Note that the first embodiment and the second embodiment
The same reference numerals are given to the same configurations as those of the embodiment,
The description is omitted. In the angular velocity sensor 1 shown in FIGS. 6 and 7, a plurality of penetrations as means for preventing deformation stress propagation are provided around the sensor element 10 on the support substrate 2 so as to surround the sensor element 10 in a rectangular shape. A hole 9 is formed. These holes 9 are, for example,
It is formed by a mechanical processing method such as a drill.
【００２６】このように、孔９はドリルなどで簡単に構
成できるため、第１の実施の形態で示した溝６をパンチ
加工で形成する場合と比較して、支持基板２の材質がよ
り硬い場合にも適用可能となる。As described above, since the hole 9 can be easily formed by a drill or the like, the material of the support substrate 2 is harder than the case where the groove 6 is formed by punching shown in the first embodiment. It can be applied to cases.
【００２７】以上の第１〜第３の実施の形態に示した角
速度センサ１では、溝６，８や孔９などの防止手段が、
支持基板２におけるセンサ素子１０の周囲部を四角く囲
うように形成されているが、例えば円形状や多角形状に
囲って形成されてもよい。In the angular velocity sensor 1 shown in the first to third embodiments, the means for preventing the grooves 6, 8 and the holes 9 are provided.
Although it is formed so as to surround the periphery of the sensor element 10 in the support substrate 2 in a square shape, it may be formed so as to surround a circular shape or a polygonal shape, for example.
【００２８】[0028]
【発明の効果】以上のように、本発明による角速度セン
サでは、センサ素子の周囲部の防止手段が、支持基板の
変形応力の伝搬を防止するため、支持基板のセンサ素子
固着部の変形が低減され、センサ素子に、コリオリ力と
関係のない他の信号が発生せず、確度の高いコリオリ信
号が得られる角速度センサとなる。As described above, in the angular velocity sensor according to the present invention, since the prevention means around the sensor element prevents propagation of the deformation stress of the support substrate, the deformation of the sensor element fixing portion of the support substrate is reduced. As a result, another signal irrelevant to the Coriolis force is not generated in the sensor element, and the angular velocity sensor can obtain a highly accurate Coriolis signal.
【００２９】また、この防止手段は溝や孔などを形成す
ることで構成されるため、簡単に且つ安価に構成でき、
他の物質を付加する必要がないため、実用性に優れる。Further, since this prevention means is formed by forming a groove or a hole, it can be easily and inexpensively formed.
Since there is no need to add other substances, it is excellent in practicality.
【００３０】また、溝や孔を支持基板を貫通するように
形成することにより、変形応力の伝搬を防止する効果が
更に大きくなり、支持基板のセンサ素子固着部の変形が
起こらなくなり、角速度センサのコリオリ信号の確度が
さらに向上する。Further, by forming the grooves and holes so as to penetrate the support substrate, the effect of preventing the propagation of deformation stress is further increased, and the deformation of the sensor element fixing portion of the support substrate does not occur. The accuracy of the Coriolis signal is further improved.
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る角速度センサ
の構造を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing a structure of an angular velocity sensor according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る角速度センサ
の構造を示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing the structure of the angular velocity sensor according to the first embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る角速度センサ
における、変形応力が加わった際の状態を示す断面説明
図である。FIG. 3 is an explanatory cross-sectional view showing a state when a deformation stress is applied in the angular velocity sensor according to the first embodiment of the present invention.
【図４】本発明の第２の実施の形態に係る角速度センサ
の構造を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a structure of an angular velocity sensor according to a second embodiment of the present invention.
【図５】本発明の第２の実施の形態に係る角速度センサ
の構造を示す断面図である。FIG. 5 is a sectional view showing a structure of an angular velocity sensor according to a second embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第３の実施の形態に係る角速度センサ
の構造を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing a structure of an angular velocity sensor according to a third embodiment of the present invention.
【図７】本発明の第３の実施の形態に係る角速度センサ
の構造を示す断面図である。FIG. 7 is a sectional view showing a structure of an angular velocity sensor according to a third embodiment of the present invention.
【図８】センサ素子における包囲部材を備えない状態で
の構造を示す平面図である。FIG. 8 is a plan view showing a structure of the sensor element without a surrounding member.
【図９】従来の角速度センサの構造を示す断面図であ
る。FIG. 9 is a cross-sectional view showing a structure of a conventional angular velocity sensor.
１ 角速度センサ ２ 支持基板 ５ 接着剤 ６，８ 溝 ７ 架橋部 ９ 孔 １０ センサ素子 １８ 平面振動子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Angular velocity sensor 2 Support substrate 5 Adhesive 6,8 Groove 7 Bridge part 9 Hole 10 Sensor element 18 Planar oscillator
Claims (3)
を支持する支持基板と、を備え、前記センサ素子に加わ
った角速度に応じて、前記センサ素子内における静電容
量の変化を検知することによって前記角速度を検出する
角速度センサであって、前記センサ素子は、前記支持基
板に面実装され、前記支持基板における前記センサ素子
が面実装された周囲部には、前記支持基板に加わった変
形応力を前記センサ素子の面実装部分に伝搬するのを防
止するための防止手段を備えたことを特徴とする、角速
度センサ。1. A sensor device comprising: a flat sensor element; and a support substrate for supporting the sensor element, wherein a change in capacitance in the sensor element is detected according to an angular velocity applied to the sensor element. An angular velocity sensor that detects the angular velocity by using the sensor element, the sensor element is surface-mounted on the support substrate, and a peripheral portion of the support substrate on which the sensor element is surface-mounted has a deformation stress applied to the support substrate. An angular velocity sensor, comprising: a prevention unit for preventing propagation of the light to a surface mounting portion of the sensor element.
前記センサ素子が面実装された周囲部に、溝または孔を
設けてなることを特徴とする、請求項１に記載の角速度
センサ。2. The angular velocity sensor according to claim 1, wherein said prevention means is provided with a groove or a hole in a peripheral portion of said support substrate on which said sensor element is surface-mounted.
するように形成されてなることを特徴とする、請求項２
に記載の角速度センサ。3. The device according to claim 2, wherein the groove or the hole is formed to penetrate the support substrate.
2. The angular velocity sensor according to 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11063486A JP2000258165A (en) | 1999-03-10 | 1999-03-10 | Angular velocity sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11063486A JP2000258165A (en) | 1999-03-10 | 1999-03-10 | Angular velocity sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000258165A true JP2000258165A (en) | 2000-09-22 |
Family
ID=13230636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11063486A Pending JP2000258165A (en) | 1999-03-10 | 1999-03-10 | Angular velocity sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000258165A (en) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002337934A (en) * | 2001-05-11 | 2002-11-27 | Fdk Corp | Package |
| JP2003028644A (en) * | 2001-07-12 | 2003-01-29 | Denso Corp | Angular velocity sensor |
| JP2012044669A (en) * | 2010-08-17 | 2012-03-01 | Shenzhen Futaihong Precision Industrial Co Ltd | Camera module and portable electronic apparatus using the same |
| CN102650519A (en) * | 2011-02-25 | 2012-08-29 | 索尼公司 | Angular velocity sensor |
| JP2012522987A (en) * | 2009-04-01 | 2012-09-27 | ザ・ボーイング・カンパニー | Environmentally robust disk resonator gyroscope |
| WO2015198536A1 (en) * | 2014-06-27 | 2015-12-30 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | Angular velocity sensor |
| JP2017096877A (en) * | 2015-11-27 | 2017-06-01 | 株式会社デンソー | Vibration type angular velocity sensor |
| CN110189993A (en) * | 2018-02-23 | 2019-08-30 | 东莞新科技术研究开发有限公司 | The method of semiconductor surface elimination internal stress |
| WO2022213681A1 (en) * | 2021-04-08 | 2022-10-13 | 青岛歌尔智能传感器有限公司 | External packaging structure, mems sensor, and electronic device |
-
1999
- 1999-03-10 JP JP11063486A patent/JP2000258165A/en active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002337934A (en) * | 2001-05-11 | 2002-11-27 | Fdk Corp | Package |
| JP2003028644A (en) * | 2001-07-12 | 2003-01-29 | Denso Corp | Angular velocity sensor |
| JP2012522987A (en) * | 2009-04-01 | 2012-09-27 | ザ・ボーイング・カンパニー | Environmentally robust disk resonator gyroscope |
| JP2012044669A (en) * | 2010-08-17 | 2012-03-01 | Shenzhen Futaihong Precision Industrial Co Ltd | Camera module and portable electronic apparatus using the same |
| CN102650519A (en) * | 2011-02-25 | 2012-08-29 | 索尼公司 | Angular velocity sensor |
| JP2012177610A (en) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Sony Corp | Angular velocity sensor |
| CN102650519B (en) * | 2011-02-25 | 2016-06-01 | 索尼公司 | Angular-rate sensor |
| US9885576B2 (en) | 2011-02-25 | 2018-02-06 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Angular velocity sensor |
| WO2015198536A1 (en) * | 2014-06-27 | 2015-12-30 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | Angular velocity sensor |
| JP2017096877A (en) * | 2015-11-27 | 2017-06-01 | 株式会社デンソー | Vibration type angular velocity sensor |
| CN110189993A (en) * | 2018-02-23 | 2019-08-30 | 东莞新科技术研究开发有限公司 | The method of semiconductor surface elimination internal stress |
| WO2022213681A1 (en) * | 2021-04-08 | 2022-10-13 | 青岛歌尔智能传感器有限公司 | External packaging structure, mems sensor, and electronic device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2010197662A (en) | Optical reflection element | |
| WO2018021166A1 (en) | Angular velocity sensor, sensor element, and multi-axis angular velocity sensor | |
| JP2011145243A (en) | Acceleration sensor and acceleration detecting apparatus | |
| WO2013094208A1 (en) | Vibration-type angular velocity sensor | |
| JP2000258165A (en) | Angular velocity sensor | |
| JP6591754B2 (en) | Sensor element and angular velocity sensor | |
| WO2018139396A1 (en) | Sensor element, angular velocity sensor, and multi-axis angular velocity sensor | |
| JP2021067701A (en) | Angular velocity sensor and sensor element | |
| JP2012149961A (en) | Vibration gyro | |
| JP2008170203A (en) | Acceleration detection unit and acceleration sensor | |
| JP2009133807A (en) | Sensor and sensor system | |
| JP2015219204A (en) | Angular velocity sensor and sensor element | |
| JPH116736A (en) | Angular speed sensor | |
| JP4710926B2 (en) | Angular velocity sensor | |
| JP2008304409A (en) | Acceleration detecting unit and acceleration sensor | |
| JPH0526754A (en) | Sensor utilizing change in electrostatic capacitance | |
| JP2012112819A (en) | Vibration gyro | |
| JP2016118497A (en) | Angular velocity sensor and sensor element | |
| JP2000249562A (en) | Angular velocity sensor | |
| JP2011027708A (en) | Angular velocity sensor unit | |
| JPH10332387A (en) | Angular speed sensor | |
| WO2020241629A1 (en) | Angular velocity sensor and sensor element | |
| JPS6246266A (en) | Oscillation sensor | |
| JPH0666828A (en) | Vibration type acceleration meter | |
| JP2013002895A (en) | Inertia force sensor |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051215 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080208 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080304 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090331 |