JP2000257604A - Linear motion driving gear and linear motion driving method using same - Google Patents

Linear motion driving gear and linear motion driving method using same

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JP2000257604A
JP2000257604A JP11058953A JP5895399A JP2000257604A JP 2000257604 A JP2000257604 A JP 2000257604A JP 11058953 A JP11058953 A JP 11058953A JP 5895399 A JP5895399 A JP 5895399A JP 2000257604 A JP2000257604 A JP 2000257604A
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fixed
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To handle even a workpiece of large weight and realize remarkable reduction of a cost, by integrally forming a cylinder with a piston rod linearly moving by supply of a fluid in a hollow motor. SOLUTION: This linear motion driving gear, constituted by cylinders 2, 2 with a piston rod 24 linearly moving by supply of air and a hollow motor 11 turning a hollow rotary shaft 8 by carrying a current in a stator 7 to make a ball screw 4 linearly move, is provided with a table 31 held linear motion operable by a guide means comprising the piston 24 and the ball screw 4 by integrally fixing the cylinders 2, 2 and the hollow motor 1 and an encoder 13 detecting a linear motion amount of this table 31.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は直動駆動装置とこれ
を用いた直動駆動方法に係り、例えば生産ラインや物流
ラインにおいて搬送される物品を所定作業場所で任意に
停止させ物品の昇降や移動を行なう汎用性に富む電気と
空気圧とで駆動されるハイブリッド式の直動技術に関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear drive device and a linear drive method using the same. For example, an article conveyed on a production line or a distribution line can be stopped at a predetermined work place and moved up and down. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a hybrid linear motion technology driven by versatile electricity and air pressure for moving.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、重量の大きなワークの昇降
や、ワークを水平に移動するスライド機構において、大
きな力を発生する空気圧シリンダが用いられている。こ
のようにな空気圧シリンダはピストンロッドの正確な移
動位置決め制御が困難である。このことから、特公平4
−57595号公報の「吊下装置」にみられるように、
モータ駆動されるボールネジを備えた昇降部をエア圧で
バランスを保持し、かつ吊り下げる物品の重量に応じて
エア圧を切換え可能にすることで、モータ駆動制御とエ
アシリンダへのエア圧供給制御の双方を行なうことで任
意の停止位置決めを行なう技術が知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a pneumatic cylinder that generates a large force has been used in lifting and lowering a heavy workpiece and in a slide mechanism for moving the workpiece horizontally. With such a pneumatic cylinder, it is difficult to accurately control the movement of the piston rod. From this, Tokuhei 4
As shown in the "suspension device" of JP-A-57595,
Motor drive control and air pressure supply control to the air cylinder by maintaining the balance with air pressure on the lifting unit equipped with a motor driven ball screw and switching the air pressure according to the weight of the suspended article The technique of performing arbitrary stop positioning by performing both of them is known.

【0003】また、特開昭63−154038号公報の
「ボールネジ付き中空モータ」によれば、回転子にボー
ルナットを固定しておき、このボールナットに螺合する
ボールネジをモータの出力軸とすることで、モータ回転
にともないボールネジをモータから出し入れするように
構成された中空モータが提案されており、直動機構を省
略でき小型軽量に構成できることから現在多く使用され
ている。
According to the "hollow motor with ball screw" disclosed in JP-A-63-154038, a ball nut is fixed to a rotor, and a ball screw screwed to the ball nut is used as an output shaft of the motor. Therefore, a hollow motor has been proposed in which a ball screw is inserted into and taken out of the motor as the motor rotates, and is widely used at present because a direct-acting mechanism can be omitted and a compact and lightweight structure can be achieved.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
特公平4−57595号公報の「吊下装置」によれば、
専ら吊り下げられるワークの重量変化に対応するもので
あるので、重量の大きなワークの昇降や、ワークを水平
に移動する直動機構にそのまま採用することはできな
い。
However, according to the "suspension device" disclosed in Japanese Patent Publication No. 57575/1992,
Since the method only deals with a change in the weight of a suspended work, it cannot be used as it is in a linear motion mechanism for lifting and lowering a heavy work or moving the work horizontally.

【0005】一方、ワークの昇降装置にはワークを上下
方向にガタ付きなく安定して案内するための案内機構が
必要であり、水平方向のスライド機構にも同様な案内機
構を設ける必要がある。したがって、このようなワーク
案内機構を上記の吊下装置にさらに追加することで、重
量の大きなワークの昇降や、ワークを水平に移動する直
動装置を実施できないことはない。
[0005] On the other hand, a work elevating device needs a guide mechanism for stably guiding the work in the vertical direction without play, and a horizontal slide mechanism needs to be provided with a similar guide mechanism. Therefore, by adding such a work guide mechanism to the above-mentioned suspension device, there is no possibility that a heavy-weight work can be lifted or lowered and a linear motion device that moves the work horizontally can not be implemented.

【0006】しかしながら、このようなワーク案内機構
を、例えば上記の吊下装置に追加するようにして昇降装
置またはスライド装置を構成した場合には、当然ながら
その分のコストアップを招くことになるし、また構成が
煩雑となる。
However, when such a work guide mechanism is added to, for example, the above-mentioned suspension device to constitute an elevating device or a slide device, it naturally leads to an increase in cost. In addition, the configuration becomes complicated.

【0007】したがって、本発明は上記の問題点に鑑み
てなされたものであり、直動機構を備えた中空モータ
に、流体供給でピストンロッドが直動するシリンダを一
体化することで、重量の大きなワークも扱うことがで
き、大幅なコストダウンを実現でき、しかもシンプルに
構成できる直動駆動装置とこれを用いた直動駆動方法の
提供を目的としている。
[0007] Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, and by integrating a hollow motor having a linear motion mechanism with a cylinder in which a piston rod linearly moves by fluid supply, the weight of the hollow motor is reduced. It is an object of the present invention to provide a linear drive device capable of handling a large work, realizing a significant cost reduction, and having a simple structure, and a linear drive method using the same.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決し、目
的を達成するために、本発明によれば、流体供給でピス
トンロッドが直動するシリンダと、回転子の回転中心の
貫通孔に挿通される棒体を、前記回転子に固定された回
転直動変換部に係合させ、固定子または回転子への通電
により前記回転子を回動して前記棒体を直動する中空モ
ータとから構成された直動駆動装置であって、前記シリ
ンダと前記中空モータとを一体的に固定することで、前
記ピストンロッドと前記棒体とからなる前記案内手段で
直動自在に保持される移動体と、前記移動体の直動量を
検出する検出手段とを具備することを特徴としている。
According to the present invention, in order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, according to the present invention, a cylinder in which a piston rod moves linearly by supplying a fluid, and a through hole at a rotation center of a rotor are provided. A hollow motor that engages a rod to be inserted with a rotation / linear motion converter fixed to the rotor, rotates the rotor by energizing the stator or the rotor, and linearly moves the rod. Wherein the cylinder and the hollow motor are integrally fixed to be held linearly by the guide means comprising the piston rod and the rod. It is characterized by comprising a moving body and a detecting means for detecting a linear movement amount of the moving body.

【0009】また、前記シリンダと前記中空モータとを
直動方向に並列に一体的に固定するとともに、前記移動
体を前記ピストンロッドの端部と前記棒体の端部に固定
したことを特徴としている。
Further, the cylinder and the hollow motor are integrally fixed in parallel in a linear motion direction, and the moving body is fixed to an end of the piston rod and an end of the rod. I have.

【0010】また、前記中空モータに対して一対分の前
記シリンダを直動方向に並列に一体的に固定するととも
に、前記移動体を一対分の前記ピストンロッドの端部と
前記棒体の端部に固定したことを特徴としている。
In addition, a pair of cylinders are integrally fixed to the hollow motor in parallel in a linear motion direction, and the moving body is connected to a pair of ends of the piston rod and ends of the rod. It is characterized by being fixed to.

【0011】また、前記シリンダと前記中空モータとを
直動方向に直列に一体的に固定するとともに、前記ピス
トンロッドの端部または前記棒体の端部を前記移動体と
して、廻り止状態で直動自在にしたことを特徴としてい
る。
In addition, the cylinder and the hollow motor are integrally fixed in series in the direction of linear movement, and the end of the piston rod or the end of the rod is used as the moving body, and the cylinder is directly rotated. It is characterized by being movable.

【0012】また、前記シリンダは所定空圧の供給及び
排気で作動し、また前記中空モータは前記回転子にロー
タを設け、ステータに回転磁界を印加するサーボモータ
であり、前記棒体はネジリード溝を外周面に有するボー
ルネジであり、かつ前記回転直動変換部は前記ネジリー
ド溝に螺合するボール体を備えたボールナットであり、
前記検出手段は前記回転子に固定されるエンコーダであ
ることを特徴としている。
The cylinder operates by supplying and exhausting a predetermined air pressure, the hollow motor is a servomotor provided with a rotor on the rotor, and a rotating magnetic field is applied to the stator. A ball screw having a ball body screwed into the screw lead groove,
The detection means is an encoder fixed to the rotor.

【0013】そして、直動駆動装置を用いた直動駆動方
法であって、前記流体供給のための流体制御手段と、前
記通電のための通電制御手段と、前記流体制御手段と前
記通電制御手段と前記検出手段とに接続されることで、
前記流体供給と前記通電と前記位置決めの所定同期制御
を司るための主制御手段とを具備し、前記流体供給のた
めの流体制御と前記通電と前記位置決めのための通電制
御とを行ない、前記移動体に加わる荷重または加重、あ
るいは加重と荷重の双方とを受けつつ直動制御すること
を特徴としている。
In a linear drive method using a linear drive device, a fluid control means for supplying the fluid, an energization control means for energization, the fluid control means, and the energization control means And connected to the detection means,
A main control unit for performing predetermined synchronous control of the fluid supply, the energization, and the positioning; performing a fluid control for the fluid supply, an energization control for the energization, and the positioning; It is characterized by performing linear motion control while receiving a load or a load applied to the body, or both a load and a load.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下に本発明の好適な各実施形態
について添付の図面を参照して述べる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

【0015】図1は、並列式の直動駆動装置の要部断面
図である。また、図2は図1のX−X線矢視図である。
図1と図2において、共通のベース板30の中央に中空
モータ1が、またこの中空モータ1を挟んで左右に空気
または油の流体供給によりピストンロッド24が直動す
るようにしたシリンダ2が設けられている。
FIG. 1 is a sectional view of a main part of a parallel-type linear drive device. FIG. 2 is a view taken along line XX of FIG.
1 and 2, a hollow motor 1 is provided at the center of a common base plate 30, and a cylinder 2 having a piston rod 24 linearly moved by the supply of air or oil fluid to the left and right with the hollow motor 1 interposed therebetween. Is provided.

【0016】中空モータ1は、モータハウジング3と、
この内部において図示の位置に夫々内蔵され固定されス
ラスト方向のガタ付きを防止したアンギュラコンタクト
軸受などからなるベアリング6と、このベアリング6に
より回転自在に軸支される中空回転軸8と、この中空回
転軸8の外周面に固定される多極着磁されたロータ磁石
9と、このロータ磁石9に対向してモータハウジング3
の内部に固定されるステータ7とから構成されており、
ステータ7に対してモータ用端子12を介して所定波形
の電力供給を行なうことで、回転磁界をステータ7に発
生させ、この回転磁界によりロータ磁石9を磁気吸引し
て中空回転軸8を所定方向に回転駆動するように構成さ
れている。
The hollow motor 1 includes a motor housing 3 and
A bearing 6 such as an angular contact bearing, which is fixed in the position shown in the drawing and is fixed to prevent play in the thrust direction, a hollow rotary shaft 8 rotatably supported by the bearing 6, and a hollow rotary shaft A multipolar magnetized rotor magnet 9 fixed to the outer peripheral surface of the shaft 8, and a motor housing 3 opposed to the rotor magnet 9.
And a stator 7 fixed inside the
By supplying power of a predetermined waveform to the stator 7 via the motor terminal 12, a rotating magnetic field is generated in the stator 7, and the rotor magnet 9 is magnetically attracted by the rotating magnetic field to move the hollow rotating shaft 8 in a predetermined direction. It is configured to be rotationally driven.

【0017】この中空回転軸8の下方側には、ロータリ
エンコーダ13が固定されており、エンコーダ用端子1
4を介して中空回転軸8の回転量をモータ制御部101
に入力して、回転量に基づく中空モータ1の所定制御を
可能にしている。尚、このロータリエンコーダ13に代
えてリニアエンコーダを後述する直動方向に沿うように
固定し、移動量を直に検出してモータ制御部101に入
力するようにしても良い。
A rotary encoder 13 is fixed below the hollow rotary shaft 8, and an encoder terminal 1 is provided.
4 through the motor control unit 101.
To enable predetermined control of the hollow motor 1 based on the amount of rotation. Instead of the rotary encoder 13, a linear encoder may be fixed along a linear motion direction described later, and the amount of movement may be directly detected and input to the motor control unit 101.

【0018】中空回転軸8の回転中心には長手方向に貫
通孔が穿設されており、この貫通孔を上下に通過するよ
うにして棒体であるボールネジ4が設けられている。こ
のボールネジ4の外周面上には図示のようなボール溝部
4aが形成されており、このボール溝部4aに一部が入
るようにした多数のボールを循環移動するように内蔵し
た回転直動変換部であるボールナット5が係合するよう
に設けられている。このボールナット5には図示のよう
なフランジ部が一体形成されており、このフランジ部を
介して中空回転軸8の上端壁面に固定している。ボール
ネジ4の上端は移動基部となるテーブル31の底面に対
して固定部材32を介して固定されるとともに、ボール
ネジ4の下端側は、ボール溝4aの山部を案内するよう
にしたボールネジベアリング11により長手方向に移動
可能に案内してラジアル方向のガタ付き防止を図ってい
る。尚、移動距離が少なくガタ付きが大きくない場合に
は、ボールネジベアリング11は設けなくとも良い。こ
のボールネジベアリング11の下方には、ボールネジ4
を図示の状態からさらに下方に移動可能にするための孔
部30aが上記のベース板30に穿設されている。
A through hole is formed in the center of rotation of the hollow rotary shaft 8 in the longitudinal direction, and a ball screw 4 as a rod is provided so as to pass vertically through the through hole. A ball groove portion 4a as shown in the figure is formed on the outer peripheral surface of the ball screw 4, and a rotary-to-linear motion converting portion built in so as to circulate and move a large number of balls partially inserted into the ball groove portion 4a. Is provided so as to be engaged. The ball nut 5 is integrally formed with a flange portion as shown, and is fixed to the upper end wall surface of the hollow rotary shaft 8 via the flange portion. The upper end of the ball screw 4 is fixed to a bottom surface of a table 31 serving as a moving base via a fixing member 32, and the lower end side of the ball screw 4 is a ball screw bearing 11 configured to guide the crest of the ball groove 4a. It is movably guided in the longitudinal direction to prevent backlash in the radial direction. When the movement distance is small and the backlash is not large, the ball screw bearing 11 may not be provided. Below the ball screw bearing 11, a ball screw 4
A hole 30a is formed in the base plate 30 so that the base plate 30 can be moved further downward from the state shown in FIG.

【0019】次に、シリンダ2は、ピストンロッド24
の先端に固定されたピストン22を気密または液密状態
で摺動可能に案内する内径部を形成したシリンダ室21
を有する本体20と、ピストンロッド24の上端側を摺
動自在に案内するピストン軸受23とから構成されてお
り、シリンダ室21に連通する入口部25a、25bと
排気口27を介して所定流体の供給及び排気を行なうこ
とで、シリンダ室の内圧を変化させることで、ピストン
ロッド24を上下移動させる。
Next, the cylinder 2 includes a piston rod 24
Cylinder chamber 21 having an inner diameter portion for guiding a piston 22 fixed to the tip of the cylinder so as to be slidable in an airtight or liquid tight state.
, And a piston bearing 23 for slidably guiding the upper end side of the piston rod 24. The predetermined fluid is supplied through inlets 25 a and 25 b communicating with the cylinder chamber 21 and an exhaust port 27. By performing supply and exhaust, the internal pressure of the cylinder chamber is changed, thereby moving the piston rod 24 up and down.

【0020】これらのピストンロッド24の上端は上記
のテーブル31の底面に固定されており、テーブル31
の矢印方向の移動を行なうようにしている。ここで、こ
れらのピストンロッド24とボールネジ4の間の平行度
が確保されないと、コジレを発生して不動状態でロック
するので、いずれかのテーブル固定部に自由度を設ける
必要があることは言うまでもないが、これについてはラ
バーブッシュ、ユニバーサル軸受等が使用可能であ
る。、また、入口部25a、25bには配管がなされて
おり、ポンプ装置103から空気圧を得るようにした流
体制御部102に対して接続されている。排気口27に
は排気音を減少するためのサイイレンサーが配管され
る。
The upper ends of these piston rods 24 are fixed to the bottom surface of the table 31.
Is moved in the direction of the arrow. Here, if the parallelism between the piston rod 24 and the ball screw 4 is not ensured, the locking occurs in an immovable state due to undulation, and it is needless to say that it is necessary to provide a degree of freedom to any of the table fixing portions. However, for this, a rubber bush, a universal bearing, or the like can be used. Further, pipes are provided at the inlet portions 25a and 25b, and are connected to a fluid control unit 102 that obtains air pressure from a pump device 103. The exhaust port 27 is provided with a silencer for reducing exhaust noise.

【0021】上記のモータ制御部101と流体制御部1
02は主制御部100に接続されており、これらの同期
を図りつつ制御するようにしている。
The above-described motor control unit 101 and fluid control unit 1
Reference numeral 02 is connected to the main control unit 100, and controls while synchronizing them.

【0022】また、図2において、中空モータ1は図示
のように正方形の側面形状を有するモータハウジングか
ら構成される場合には、同じく略正方形の側面形状を有
するシリンダ2と図示のように合体するようにできるの
で、上記のピストンロッド24の中心間距離Lを少なく
設定できるようになり、より小型に構成できるようにな
る。また、シリンダ2のハウジング20において図示の
ように長手方向に沿うように連続形成した蟻溝部20a
をさらに形成することで、装置300に対してボルトナ
ットを用いて直に固定できるようになる。この場合、中
空モータとシリンダを固定できれば、上記のベース30
は不要となりさらなるコストダウンが可能となる。さら
に、図2において、中空モータの4辺各側面に沿うよう
に3、4本のシリンダを増設することも可能である。あ
るいは、1本のシリンダを併設しても良い。
In FIG. 2, when the hollow motor 1 is composed of a motor housing having a square side shape as shown in the figure, the hollow motor 1 is united as shown in the drawing with a cylinder 2 also having a substantially square side shape. As a result, the distance L between the centers of the piston rods 24 can be set to be small, and the configuration can be made smaller. Further, a dovetail groove 20a formed continuously along the longitudinal direction in the housing 20 of the cylinder 2 as shown in the figure.
Can be directly fixed to the device 300 using bolts and nuts. In this case, if the hollow motor and the cylinder can be fixed, the base 30
Is unnecessary, and further cost reduction is possible. Further, in FIG. 2, it is also possible to add three or four cylinders along each side of the four sides of the hollow motor. Alternatively, one cylinder may be provided.

【0023】図3は、シリンダと中空モータとを直動方
向に直列に一体的に固定した場合を示した中心断面図で
ある。本図において、既に説明済みの構成部品について
は同様の符号を附して説明を割愛して特徴部分について
述べると、先ず、中空モータ1に設けられるボールネジ
4には上記のボール溝部4aに加えて、長手方向に沿う
V溝部4bが形成されており、このV溝部4bがボール
ナット5の隣りに固定された廻り止部材19に設けられ
た突起部に潜入するようにして、ボールネジ4が回転し
ないようにして、ボールナット5の回転にともないボー
ルネジ4を矢印方向に出し入れ可能にしている。尚、図
1、2で述べた場合には、ボールネジ4の上端はテーブ
ル31に固定されているので回転しない。
FIG. 3 is a central sectional view showing a case where the cylinder and the hollow motor are integrally fixed in series in the direction of linear motion. In this drawing, the components already described are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. The characteristic portion will be described. First, in addition to the above-described ball groove portion 4a, a ball screw 4 provided in the hollow motor 1 is provided. A V-groove portion 4b is formed along the longitudinal direction. The V-groove portion 4b intrudes into a protrusion provided on the rotation preventing member 19 fixed next to the ball nut 5, so that the ball screw 4 does not rotate. In this way, the ball screw 4 can be moved in and out in the direction of the arrow as the ball nut 5 rotates. 1 and 2, the upper end of the ball screw 4 does not rotate since it is fixed to the table 31.

【0024】一方、このボールネジ4の反対側には、一
体部品または別部品として準備されたピストンロッド2
4が固定されている。
On the other hand, on the opposite side of the ball screw 4, the piston rod 2 prepared as an integral part or a separate part is provided.
4 is fixed.

【0025】このように直動方向に直列に一体的に固定
した場合には、より狭い空間に設けることが可能とな
る。
[0025] In the case where the fixing members are integrally fixed in series in the direction of linear movement as described above, it can be provided in a narrower space.

【0026】図4は、上記の流体制御部の空気回路図で
ある。先ず、図4(a)において、エアコンプレッサー
103から所定空気圧を得てからバルブ50でオンオフ
され、オンされた空気圧は、圧力調整ユニット51にお
いて圧力aに設定され、その後に油脂成分、水分を除去
するミストセパレータ52を通過して、分岐管を通過し
てリリーフレギュレータ56に入る。また、分岐管から
分岐した管路にはシリンダの前進用の圧力となる圧力b
に設定するための精密減圧弁54と、シリンダの後退用
の圧力となる圧力cに設定するための精密減圧弁53と
に接続されており、上記の主制御部100からの制御信
号に基づき駆動される3方向電磁弁55のc側とb側に
接続し、3方向電磁弁55の出口を上記のリリーフレギ
ュレータ56のパイロットエアポートPAに接続してい
る。このリリーフレギュレータ56からは、図1で述べ
たシリンダ2の入口部25a、25bまたは、図3で述
べたシリンダの入口部25cに接続される配管が延びて
いる。
FIG. 4 is an air circuit diagram of the above fluid control unit. First, in FIG. 4 (a), after obtaining a predetermined air pressure from the air compressor 103, it is turned on and off by a valve 50, and the turned on air pressure is set to a pressure a in a pressure adjusting unit 51, and thereafter, a fat and oil component and moisture are removed. And passes through a branch pipe and enters a relief regulator 56. In addition, a pressure b, which is a pressure for advancing the cylinder, is provided in a pipe branched from the branch pipe.
And a precision pressure reducing valve 53 for setting the pressure c, which is a pressure for retracting the cylinder, to be driven based on a control signal from the main control unit 100. The three-way solenoid valve 55 is connected to the c side and the b side, and the outlet of the three-way solenoid valve 55 is connected to the pilot air port PA of the relief regulator 56. From this relief regulator 56, piping connected to the inlets 25a and 25b of the cylinder 2 described in FIG. 1 or the inlet 25c of the cylinder described in FIG. 3 extends.

【0027】以上説明した空気回路構成において、図
1、図3の待機状態から起動されると、圧力aのままで
リリーフレギュレータ56に達した圧力は同じ圧力で、
通過して入口部25a、25b、25cに入る。また、
精密減圧弁54を通過して圧力bになった空気圧は、3
方向電磁弁55の電磁弁スイッチb側がオンされること
で、リリーフレギュレータ56のパイロットエアポート
PAに入る。このパイロットエアポートPAの働きで、
リリーフレギュレータ56の出力が圧力bに変化して、
シリンダ室に入力されて、たとえはテーブル31を上方
に移動する際の推力を発生する。ここで、このリリーフ
レギュレータの基本的な役割は、パイロットエアポート
PAへの入力圧力と同じ圧力に出口側を設定し、ピスト
ンロッド24が後退するときに放出されるエアーをリリ
ーフレギュレータの出力側に返し、放出可能にするもの
である。
In the pneumatic circuit configuration described above, when the system is started from the standby state shown in FIGS. 1 and 3, the pressure reaching the relief regulator 56 while maintaining the pressure a is the same pressure.
Pass through and enter the entrances 25a, 25b, 25c. Also,
The air pressure that has passed through the precision pressure reducing valve 54 and has become the pressure b is 3
When the solenoid valve switch b side of the directional solenoid valve 55 is turned on, the pilot air port PA of the relief regulator 56 is entered. By the work of this pilot airport PA,
The output of the relief regulator 56 changes to the pressure b,
The thrust is input to the cylinder chamber, for example, to move the table 31 upward. Here, the basic role of the relief regulator is to set the outlet side to the same pressure as the input pressure to the pilot air port PA and return the air released when the piston rod 24 retreats to the output side of the relief regulator. , Which can be released.

【0028】また、3方向電磁弁55の電磁弁スイッチ
c側オンとすることで、圧力cに設定でき、この圧力c
<圧力bの関係であるので、中空モータ1を逆回転駆動
すれば、エアーは圧縮された状態で移動しつつリリーフ
レギュレータから排気されることになる。
The pressure c can be set by turning on the solenoid valve switch c side of the three-way solenoid valve 55.
Since the pressure b is related, if the hollow motor 1 is driven in reverse rotation, the air is exhausted from the relief regulator while moving in a compressed state.

【0029】以上の動作を繰り返し行なうとともに、中
空モータ1のエンコーダ13によりボールネジ4の移動
量を常にモニターしておくことで、所望の位置にテーブ
ル31が移動したら中空モータへの通電を停止するか
か、または図示しない電磁ブレーキによりボールネジの
回転を強制的に停止してテーブル31の位置決めを行な
う。
By repeating the above operation and constantly monitoring the amount of movement of the ball screw 4 by the encoder 13 of the hollow motor 1, it is possible to stop the energization of the hollow motor when the table 31 moves to a desired position. Alternatively, the table 31 is positioned by forcibly stopping the rotation of the ball screw by an electromagnetic brake (not shown).

【0030】次に、図4(b)において、図4(a)で
既に説明済みの構成部品については同様の符号を附して
説明を割愛すると、精密減圧弁52は図示のように4個
分が並列接続されており、次第に圧力を段階的に下げる
ようにしてから、3方向電磁弁55に入力するようにし
ている。
Next, in FIG. 4 (b), the components already described in FIG. 4 (a) are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. Are connected in parallel, so that the pressure is gradually decreased in a stepwise manner, and then the pressure is input to the three-way solenoid valve 55.

【0031】以上の構成によれば、ワークを所定孔部に
圧入したり、極端に重いワークを上方に上昇させるとき
に、所定の高圧をシリンダに導入できるようになるの
で、中空モータの限られた推力では到底不可能となる直
動動作を行なうことが可能となる。また、下降するとき
には、次第に小さな圧力をシリンダ内に導入するように
切換えることでバランスを保持してスムーズに降下させ
ることが可能となる。
According to the above configuration, when a work is pressed into a predetermined hole or an extremely heavy work is lifted upward, a predetermined high pressure can be introduced into the cylinder. With such a thrust, it becomes possible to perform a linear motion that is impossible at all. Further, when descending, the pressure is switched so as to gradually introduce a small pressure into the cylinder, so that it is possible to maintain balance and smoothly descend.

【0032】以上のように、ワーク昇降または移動を行
なうときに発生する単一負荷に対し各アクチュエータで
あるボールネジとピストンロッドとにより分担して推力
を発揮し、しかもボールナットとともに回転する中空回
転軸の回転量の検出情報に基づき、目標とするスライド
位置に停止するように中空モータを制御するようにして
いる。また、中空モータにすることで、ボールネジが直
動ガイドを構成するので、その分のスペース効率向上が
図れる。また、図2に図示のようなハウジング形状とす
ることでシリンダを任意に増減できるようにして分割ユ
ニット化または標準ユニット化とすることが可能となる
ので分割・交換が容易となる。また、パワー変更も簡単
に行なえる。さらにスライドユニット、パワーユニット
として使用するときに、縦置き横置き配置するときの専
用固定部材が不要となる。
As described above, the hollow rotary shaft rotating with the ball nut exerts a thrust by sharing between the ball screw and the piston rod as the actuators for a single load generated when the workpiece is lifted or moved. The hollow motor is controlled to stop at the target slide position based on the rotation amount detection information. Further, by using a hollow motor, the ball screw forms a linear motion guide, so that the space efficiency can be improved accordingly. Further, by adopting a housing shape as shown in FIG. 2, the number of cylinders can be arbitrarily increased / decreased, so that the unit can be divided into units or standard units, so that division and replacement are facilitated. Also, the power can be changed easily. Further, when used as a slide unit or a power unit, a dedicated fixing member for vertically and horizontally disposed is not required.

【0033】尚、図3に示した直列型は空圧シリンダと
モータを直列に配置し、ピストンロッドとモータ側のボ
ールネジを連結することから中空モータの個数は一個と
なるが、空圧シリンダの個数はさらに軸方向に増加でき
るので、特に横のスペースが使用できない環境に適す
る。一方、図1に示した並列型は、空圧シリンダの個数
は上記のように増減でき、特に縦のスペースが使用でき
ない環境に適する。
The series type shown in FIG. 3 has a pneumatic cylinder and a motor arranged in series and connects a piston rod and a ball screw on the motor side, so that the number of hollow motors is one. Since the number can be further increased in the axial direction, it is particularly suitable for environments where lateral space cannot be used. On the other hand, the parallel type shown in FIG. 1 can increase or decrease the number of pneumatic cylinders as described above, and is particularly suitable for an environment where vertical space cannot be used.

【0034】縦配置(昇降)は負荷対象物の静的荷重と
慣性力(加減速時)が加わる。横配置(水平)は負荷対
象物の摩擦力と慣性力(加減速時)が加わることになる
が、上記のようにエア圧と通電制御を行なうことで柔軟
に対応できる。
In the vertical arrangement (elevation), a static load and an inertial force (during acceleration / deceleration) of a load object are applied. In the horizontal arrangement (horizontal), the frictional force and the inertial force (during acceleration / deceleration) of the load object are applied. However, it can be flexibly handled by controlling the air pressure and the energization as described above.

【0035】空圧シリンダーのパワーは負荷対象物の荷
重(垂直時)・慣性力(水平時)とほぼ同じか、それ以
下とするバイアス推力とし、モータ動力のみで微調整
(制御)を行うことでモータ小動力化によりモータ容積
を小さくできる。また、無負荷に近い情況でモータ駆動
するので、機動力のある動きが可能となる。微調整(制
御)方法として、ボールナット回転の検出情報(位置、
速度、サーボモータのトルク検出)に基づき、モータ動
力(位置、速度、トルク)を制御し、ユニット全体の停
止動作、移動動作を行うことで、大きな負荷に対し、細
かな制御が可能となる。この結果、エアーシリンダのみ
に比べ、停止精度(位置、時間)の向上、自由な移動時
間の設定等が可能となる。別な微調整(制御)方法とし
て、負荷対象物の重量、大きさ、種類に基づき、モータ
動力(位置、速度、トルク)を制御し、ユニット全体の
停止動作パターン、移動動作パターンを択一選択するこ
とで、種々の負荷対象物に対して、制御プログラムのソ
フト変更のみで対応することが可能となり、この場合に
は集中制御がより簡単になる。
The power of the pneumatic cylinder should be approximately equal to or less than the load (vertical) and inertial force (horizontal) of the object to be loaded. Thus, the motor capacity can be reduced by reducing the motor power. In addition, since the motor is driven under a condition close to no load, a movement with mobility can be performed. As the fine adjustment (control) method, the detection information (position,
By controlling the motor power (position, speed, torque) based on the speed and the torque of the servomotor, and performing the stop operation and the movement operation of the entire unit, fine control can be performed for a large load. As a result, it is possible to improve stopping accuracy (position and time) and freely set a moving time, etc., as compared with the case of using only the air cylinder. Another fine-tuning (control) method is to control the motor power (position, speed, torque) based on the weight, size, and type of the load object, and select either the stop operation pattern or the movement operation pattern for the entire unit. By doing so, it becomes possible to deal with various load objects only by software change of the control program, and in this case, centralized control becomes easier.

【0036】モータパワー分担型として空圧シリンダー
と中空モータで、負荷対象物の荷重(垂直時)・慣性力
(水平時)に対する推力を分担し、モータ動力のみで微
調整(制御)を行ない、上記微調整(制御)することで
空圧シリンダーの負担を軽減することができるようにな
るが、機動力は落ちることになる。このときの機械的同
期は、ピストンロッドとモータボールネジの端部を機械
的に連結・拘束して、平行してスライドする。また、電
気的同期は、移動開始及び停止時の電磁弁開閉動作とモ
ータON/OFF動作を同期させる。そして、停止方法
は、電磁ブレーキ等によりブレーキ付加後に、電磁ロッ
クを掛けると共に空圧バルブを閉じる。モータ制御とし
て中空モータとしてサーボモータを使用することによ
り、NC制御で自由度の高い利用が可能となる。
The pneumatic cylinder and the hollow motor as the motor power sharing type share the thrust for the load (vertical) and inertial force (horizontal) of the load object, and perform fine adjustment (control) only with the motor power. By performing the fine adjustment (control), the load on the pneumatic cylinder can be reduced, but the mobility decreases. The mechanical synchronization at this time is such that the piston rod and the end of the motor ball screw are mechanically connected and restrained, and slide in parallel. The electric synchronization synchronizes the electromagnetic valve opening / closing operation at the start and stop of the movement with the motor ON / OFF operation. Then, as a stopping method, after a brake is applied by an electromagnetic brake or the like, the electromagnetic lock is applied and the pneumatic valve is closed. By using a servomotor as a hollow motor for motor control, the NC control can be used with a high degree of freedom.

【0037】釣り合い式は、 W=R+NRi(i=i
番目のシリンダーの意)となり、例えばパラレル構成…
W=R+2Ri、シリアル構成…W=R+Riとなる。
ここで、W=ワーク付加荷重、R=ボールネジ推力、R
i=空圧シリンダー推力、N=空圧シリンダー個数
(N,i=i番目のシリンダーの意)となる。
The balance equation is: W = R + NRi (i = i
The meaning of the second cylinder), for example, parallel configuration ...
W = R + 2Ri, serial configuration ... W = R + Ri.
Here, W = work load, R = ball screw thrust, R
i = pneumatic cylinder thrust, N = pneumatic cylinder number (N, i = the i-th cylinder).

【0038】また、中空モータ推力発生原理は、Rの推
力はモータトルクΥとすると、R=Υη/2πの推力を
発生する。ここで、T=中空モータトルク、η=ボール
ネジ(送りネジ)のリード、π=ネジ効率であり送りネ
ジはボールネジとは限らずすべりネジを含み例えば他に
は台形ネジがある。
The thrust generating principle of the hollow motor is as follows. If the thrust of R is the motor torque Υ, a thrust of R = Υη / 2π is generated. Here, T = hollow motor torque, η = lead of a ball screw (feed screw), π = screw efficiency, and the feed screw is not limited to a ball screw but includes a slide screw, and for example, there is another trapezoidal screw.

【0039】一方、エア推力発生原理はエア推力Ri=
K×A×P、ここでK=比例定数、A=空圧シリンダー
の受圧面積P=設定圧力から求まる。
On the other hand, the principle of air thrust generation is based on the air thrust Ri =
K × A × P, where K = proportional constant, A = pressure receiving area of the pneumatic cylinder P = set pressure

【0040】シリアル構成の場合は、ボールネジスプラ
インは、軸の回り止めとしてのスプラインナットを用
い、中空モータによりその場でボールネジナットを回転
して、ボールネジを回転することなく推力を得ることが
できる。
In the case of the serial configuration, the ball screw spline uses a spline nut as a detent of the shaft, and can rotate the ball screw nut on the spot by a hollow motor to obtain a thrust without rotating the ball screw.

【0041】ボールネジスプライン軸の右半分はシリン
ダーのピストンロッドになっており、全体で、ボールネ
ジの推力+エア推力の合計推力を得ることができ、省ス
ペースで高推力を生みだす。
The right half of the ball screw spline shaft is the piston rod of the cylinder, so that the total thrust of the thrust of the ball screw and the air thrust can be obtained as a whole, thereby producing high thrust in a small space.

【0042】これらのボールネジスプラインとピストン
ロッドを多数一体に設けることにより多数の中空モータ
とシリンダーをシリアルに接続するように構成しても良
い。
By providing a large number of these ball screw splines and piston rods integrally, a large number of hollow motors and cylinders may be connected serially.

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
直動機構を備えた中空モータに、流体供給でピストンロ
ッドが直動するシリンダを一体化することで、重量の大
きなワークも扱うことができ、大幅なコストダウンを実
現でき、しかもシンプルに構成できる直動駆動装置とこ
れを用いた直動駆動方法を提供することができる。
As described above, according to the present invention,
By integrating a hollow motor equipped with a linear motion mechanism and a cylinder whose piston rod moves linearly by supplying fluid, it is possible to handle heavy workpieces, realize significant cost reductions, and have a simple configuration. A linear drive device and a linear drive method using the same can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】並列式の直動駆動装置の要部断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a main part of a parallel-type linear drive device.

【図2】図1のX−X線矢視図である。FIG. 2 is a view taken along line XX of FIG. 1;

【図3】直列式の直動駆動装置の中心断面図である。FIG. 3 is a center cross-sectional view of a series-type linear drive device.

【図4】エア回路構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram of an air circuit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 中空モータ 2 シリンダ 3 モータハウジング 4 ボールネジ 5 ボールナット 6 ベアリング 7 ステータ 8 中空回転軸 9 ロータ 13 エンコーダ 19 廻り止め部材 20 ハウジング 21 シリンダ室 22 ピストン 24 ピストンロッド 31 テーブル 100 主制御部 101 モータ制御部 102 流体制御部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Hollow motor 2 Cylinder 3 Motor housing 4 Ball screw 5 Ball nut 6 Bearing 7 Stator 8 Hollow rotating shaft 9 Rotor 13 Encoder 19 Detent member 20 Housing 21 Cylinder chamber 22 Piston 24 Piston rod 31 Table 100 Main control unit 101 Motor control unit 102 Fluid control unit

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 流体供給でピストンロッドが直動するシ
リンダと、 回転子の回転中心の貫通孔に挿通される棒体を、前記回
転子に固定された回転直動変換部に係合させ、固定子ま
たは回転子への通電により前記回転子を回動して前記棒
体を直動する中空モータとから構成された直動駆動装置
であって、 前記シリンダと前記中空モータとを一体的に固定するこ
とで、前記ピストンロッドと前記棒体とからなる前記案
内手段で直動自在に保持される移動体と、 前記移動体の直動量を検出する検出手段とを具備するこ
とを特徴とする直動駆動装置。
1. A cylinder in which a piston rod moves linearly by supplying a fluid, and a rod inserted into a through-hole at the center of rotation of a rotor are engaged with a rotation / linear motion converter fixed to the rotor. A hollow motor that rotates the rotor by energizing a stator or a rotor to linearly move the rod body, wherein the cylinder and the hollow motor are integrally formed. It is characterized by comprising a moving body which is fixed by being fixed so as to be able to move linearly by the guide means comprising the piston rod and the rod, and a detecting means which detects a linear movement amount of the moving body. Linear drive.
【請求項2】 前記シリンダと前記中空モータとを直動
方向に並列に一体的に固定するとともに、前記移動体を
前記ピストンロッドの端部と前記棒体の端部に固定した
ことを特徴とする請求項1に記載の直動駆動装置。
2. The method according to claim 1, wherein the cylinder and the hollow motor are integrally fixed in parallel in a linear motion direction, and the moving body is fixed to an end of the piston rod and an end of the rod. The linear drive device according to claim 1.
【請求項3】 前記中空モータに対して一対分の前記シ
リンダを直動方向に並列に一体的に固定するとともに、
前記移動体を一対分の前記ピストンロッドの端部と前記
棒体の端部に固定したことを特徴とする請求項2に記載
の直動駆動装置。
3. A pair of the cylinders is integrally fixed to the hollow motor in parallel in a linear motion direction.
The linear drive device according to claim 2, wherein the movable body is fixed to a pair of ends of the piston rod and an end of the rod body.
【請求項4】 前記シリンダと前記中空モータとを直動
方向に直列に一体的に固定するとともに、前記ピストン
ロッドの端部または前記棒体の端部を前記移動体とし
て、廻り止状態で直動自在にしたことを特徴とする請求
項1に記載の直動駆動装置。
4. The cylinder and the hollow motor are integrally fixed in series in the direction of linear motion, and the end of the piston rod or the end of the rod is used as the moving body to prevent the cylinder from rotating. The linear drive device according to claim 1, wherein the linear drive device is movable.
【請求項5】 前記シリンダは所定空圧の供給及び排気
で作動し、また前記中空モータは前記回転子にロータを
設け、ステータに回転磁界を印加するサーボモータであ
り、前記棒体はネジリード溝を外周面に有するボールネ
ジであり、かつ前記回転直動変換部は前記ネジリード溝
に螺合するボール体を備えたボールナットであり、前記
検出手段は前記回転子に固定されるエンコーダであるこ
とを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の
直動駆動装置。
5. The cylinder operates by supplying and exhausting a predetermined air pressure, the hollow motor is a servomotor provided with a rotor in the rotor, and applies a rotating magnetic field to a stator. A ball screw having a ball body screwed into the screw lead groove, and the detecting means is an encoder fixed to the rotor. The linear drive device according to any one of claims 1 to 4, wherein:
【請求項6】 請求項1に記載の直動駆動装置を用いた
直動駆動方法であって、 前記流体供給のための流体制御手段と、 前記通電のための通電制御手段と、 前記流体制御手段と前記通電制御手段と前記検出手段と
に接続されることで、前記流体供給と前記通電と前記位
置決めの所定同期制御を司るための主制御手段とを具備
し、 前記流体供給のための流体制御と前記通電と前記位置決
めのための通電制御とを行ない、前記移動体に加わる荷
重または加重、あるいは加重と荷重の双方とを受けつつ
直動制御することを特徴とする直動駆動装置を用いた直
動駆動方法。
6. A linear drive method using the linear drive device according to claim 1, wherein the fluid control means for supplying the fluid, the current control means for energizing, and the fluid control. Means for controlling the fluid supply, the energization and the predetermined synchronous control of the positioning by being connected to the means, the energization control means and the detection means, the fluid for fluid supply The linear drive device is characterized in that it performs control, the energization and energization control for the positioning, and performs linear motion control while receiving a load or weight applied to the moving body, or both of the load and the load. Linear drive method.
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