JP2000251496A - Semiconductor integrated circuit device - Google Patents

Semiconductor integrated circuit device

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JP2000251496A
JP2000251496A JP11044549A JP4454999A JP2000251496A JP 2000251496 A JP2000251496 A JP 2000251496A JP 11044549 A JP11044549 A JP 11044549A JP 4454999 A JP4454999 A JP 4454999A JP 2000251496 A JP2000251496 A JP 2000251496A
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JP
Japan
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data
signal
test
input
burn
Prior art date
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Withdrawn
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JP11044549A
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Japanese (ja)
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Rie Adachi
理恵 足立
Hiroshi Yoshioka
博志 吉岡
Kazuhisa Kino
和久 嬉野
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Hitachi Ltd
Hitachi Solutions Technology Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi ULSI Systems Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To perform discrimination when a vender test mode is set surely without usinf a measuring device such as an ammeter and the like. SOLUTION: When a vender test mode in which a burn-in test is performed is set, a test input signal TBIN of a Hi level is outputted to a normal/burn-in signal output circuit 10 from a test control circuit, an inverter 13 is made a floating state, and an inverter 16 is operated. Therefore, data MO0 outputted from a sense amplifier is outputted to an output buffer as reversed data of data written through inverters 15-17. This reversed data are monitored by a burn-in tester, and it is discriminated that a burn-in test mode is set.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路装
置におけるテストモードの設定技術に関し、特に、ベン
ダテストモードにおける設定状態の判別に適用して有効
な技術に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a test mode setting technique in a semiconductor integrated circuit device, and more particularly to a technique which is effective when applied to the determination of a setting state in a vendor test mode.

【0002】[0002]

【従来の技術】本発明者が検討したところによれば、シ
ンクロナスDRAM(DynamicRandom A
ccess Memory)などの半導体集積回路装置
においては、大規模な回路に対する試験時間の短縮、通
常のコマンド制御で確認できない内部動作状態の確認
や、効率的なスクリーニングなどのために、通常のモー
ド設定とは別にベンダテストモード設定が設けられてい
る。
2. Description of the Related Art According to studies by the present inventor, a synchronous DRAM (Dynamic Random A) has been disclosed.
In a semiconductor integrated circuit device such as an access memory, a normal mode setting is performed in order to reduce a test time for a large-scale circuit, to confirm an internal operation state that cannot be confirmed by a normal command control, and to perform efficient screening. Separately, a vendor test mode setting is provided.

【0003】このベンダテストモードは、外部クロック
信号に同期した4つのコマンド制御信号組み合わせ(チ
ップセレクト/CS、ローアドレスストローブ/RA
S、カラムアドレスストローブ/CAS、ライトイネー
ブル/WE)によるMRS(Mode Resisto
r Set)コマンドと、特定のアドレス端子に入力さ
れるHi信号とLo信号とを組み合わせた信号とにより
設定が行われる。
In this vendor test mode, four command control signal combinations (chip select / CS, row address strobe / RA) synchronized with an external clock signal are used.
S, column address strobe / CAS, write enable / WE), MRS (Mode Register)
r Set) command and a signal obtained by combining a Hi signal and a Lo signal input to a specific address terminal.

【0004】そして、これらベンダテストモードが設定
されたか否かの判定は、たとえば、半導体集積回路装置
の動作電圧である電源電圧が供給される外部端子に流れ
る電流値を測定することによって行われている。
[0004] Whether or not the vendor test mode is set is determined, for example, by measuring a current value flowing to an external terminal to which a power supply voltage which is an operating voltage of the semiconductor integrated circuit device is supplied. I have.

【0005】なお、この種の半導体集積回路装置のテス
ト技術について詳しく述べてある例としては、平成9年
5月30日、株式会社プレスジャーナル発行、松下晋司
(編)、「月刊Semiconductor Worl
d増刊号 ULSIテスト技術」1997年増刊号 第
16巻 第8号、P19〜P23があり、この文献に
は、DRAMにおけるテスト技術が記載されている。
[0005] As an example describing in detail the test technology of this type of semiconductor integrated circuit device, see, for example, Shinji Matsushita (ed.) Published by Press Journal Co., Ltd. on May 30, 1997, "Monthly Semiconductor World".
d Special Issue, ULSI Test Technology ", 1997 Special Issue, Vol. 16, No. 8, pages P19 to P23, and this document describes a test technique in a DRAM.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
な半導体集積回路装置では、次のような問題点があるこ
とが本発明者により見い出された。
However, the present inventor has found that the above-mentioned semiconductor integrated circuit device has the following problems.

【0007】すなわち、ベンダテストモードが設定され
たか否かを判定するために、電流計を接続して電流値を
測定しなければならないので、それらセッティングや測
定時間がかかってしまい、ベンダテストモードの効率が
悪くなり、半導体集積回路装置の生産性も低下してしま
うという問題がある。
In other words, in order to determine whether or not the vendor test mode has been set, an ammeter must be connected and the current value must be measured, so that setting and measurement time are required. There is a problem that the efficiency is reduced and the productivity of the semiconductor integrated circuit device is reduced.

【0008】本発明の目的は、電流計などの測定機器を
不要とし、かつ確実にベンダテストモードが設定された
際に判別することのできる半導体集積回路装置を提供す
ることにある。
It is an object of the present invention to provide a semiconductor integrated circuit device which does not require a measuring instrument such as an ammeter and can reliably determine when a vendor test mode is set.

【0009】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
SUMMARY OF THE INVENTION Among the inventions disclosed in the present application, the outline of a representative one will be briefly described.
It is as follows.

【0011】すなわち、本発明の半導体集積回路装置
は、テスト制御信号が入力された際に読み出されたデー
タを反転して出力バッファに出力するデータ制御手段を
備えたものである。
That is, the semiconductor integrated circuit device of the present invention includes data control means for inverting data read when a test control signal is input and outputting the inverted data to an output buffer.

【0012】また、本発明の半導体集積回路装置は、テ
スト制御信号が入力された際に入力バッファを介して入
力された書き込みデータを反転して出力するデータ制御
手段を備えたものである。
Further, the semiconductor integrated circuit device of the present invention is provided with data control means for inverting and outputting the write data input through the input buffer when the test control signal is input.

【0013】さらに、本発明の半導体集積回路装置は、
前記データ制御手段に入力されるテスト制御信号が、バ
ーンインテストの設定の際に制御回路から出力される信
号よりなるものである。
Further, the semiconductor integrated circuit device of the present invention
The test control signal input to the data control means comprises a signal output from a control circuit when a burn-in test is set.

【0014】また、本発明の半導体集積回路装置は、前
記データ制御手段が、入力されたデータを反転せずに出
力する第1のデータ出力部と、入力されたデータを反転
して出力する第2のデータ出力部と、テスト制御信号に
基づいて該第1、第2のデータ出力部の切り替え制御を
行う制御信号を生成する制御部とよりなるものである。
Also, in the semiconductor integrated circuit device according to the present invention, the data control means may output the input data without inverting the first data output section, and the data output section may invert the input data and output the inverted data. And a control unit for generating a control signal for performing switching control of the first and second data output units based on a test control signal.

【0015】以上のことにより、バーンインテストが設
定された際には、読み込まれたデータが反転して出力さ
れるので、それをバーンインテスタによってモニタする
ことによって容易に、かつ確実にバーンインテストモー
ドが設定されたことを判別することができる。
As described above, when the burn-in test is set, the read data is inverted and output, so that the burn-in test mode can be easily and reliably monitored by monitoring it with the burn-in tester. It can be determined that the setting has been made.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0017】(実施の形態1)図1は、本発明の一実施
の形態によるシンクロナスDRAMにおけるメモリのブ
ロック図、図2は、本発明の一実施の形態によるメモリ
に設けられたノーマル/バーンイン信号出力回路の回路
図である。
(Embodiment 1) FIG. 1 is a block diagram of a memory in a synchronous DRAM according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a normal / burn-in provided in the memory according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a circuit diagram of a signal output circuit.

【0018】本実施の形態において、シンクロナスDR
AMであるメモリ(半導体集積回路装置)1は、記憶の
最小単位であるメモリセルが規則正しくアレイ状に並べ
られてメモリアレイ2が設けられている。このメモリア
レイ2は、BankA、BankBの2つ設けられた2
バンク構成となっている。
In this embodiment, the synchronous DR
A memory (semiconductor integrated circuit device) 1 that is an AM has a memory array 2 in which memory cells, which are the minimum units of storage, are regularly arranged in an array. This memory array 2 is composed of two banks 2A and 2B.
It has a bank configuration.

【0019】また、それぞれのメモリアレイ2には、ロ
ーデコーダ3が接続されており、このローデコーダ3
は、該メモリアレイ2の内、ロー(行)方向のワード線
を選択する。
A row decoder 3 is connected to each memory array 2.
Selects a word line in the row (row) direction of the memory array 2.

【0020】さらに、各々のメモリアレイ2には、セン
スアンプ4ならびにカラムデコーダ5が接続されてい
る。センスアンプ4は、カラムデコーダ5のデータの増
幅を行い、カラムデコーダ5は、カラム(列)方向のビ
ット線の選択を行う。
Further, a sense amplifier 4 and a column decoder 5 are connected to each memory array 2. The sense amplifier 4 amplifies data of the column decoder 5, and the column decoder 5 selects a bit line in a column (column) direction.

【0021】これらカラムデコーダ5には、カラムアド
レスカウンタ6が接続されている。このカラムアドレス
カウンタ6、およびそれぞれのローデコーダ3には、ア
ドレスバッファ7が接続されている。
A column address counter 6 is connected to these column decoders 5. An address buffer 7 is connected to the column address counter 6 and each row decoder 3.

【0022】カラムアドレスカウンタ6は、アドレスバ
ッファ7から入力されたアドレス信号に基づいてアドレ
スを発生する。アドレスバッファ7は、入力されたカラ
ム方向、ならびにロー方向のアドレス信号に基づいて、
それぞれの内部アドレス信号を発生させ、カラムアドレ
スカウンタ6と、それぞれのローデコーダ3とに出力す
る。
The column address counter 6 generates an address based on an address signal input from the address buffer 7. The address buffer 7 receives the input address signals in the column direction and the row direction based on the input address signals.
Each internal address signal is generated and output to the column address counter 6 and each row decoder 3.

【0023】メモリ1には、コントロール回路8が設け
られている。このコントロール回路8は、外部から入力
されるクロック信号CLK、クロック信号を受け付ける
許可信号であるクロックイネーブル信号CKE、チップ
の選択を行うチップセレクト信号/CS、ロー方向のア
ドレスを適当なタイミングで読み込むための制御信号で
あるローアドレスストローブ信号/RAS、カラム方向
のアドレスを適当なタイミングで読み込むための制御信
号であるカラムアドレスストローブ信号/CAS、書き
込み許可信号であるライトイネーブル信号/WEならび
に選択信号である入出力マスク信号DQMなどの入力信
号やコマンド用信号が入力端子を介して入力され、各種
の制御信号ならびにコマンドバッファ/デコーダにより
コマンド用信号がデコードされた制御信号を出力する。
ここで、前述したコマンドバッファ/デコーダは、コン
トロール回路8内に設けられている。
The memory 1 is provided with a control circuit 8. The control circuit 8 reads the clock signal CLK input from the outside, the clock enable signal CKE which is a permission signal for accepting the clock signal, the chip select signal / CS for selecting a chip, and the address in the row direction at an appropriate timing. , A column address strobe signal / CAS as a control signal for reading an address in a column direction at an appropriate timing, a write enable signal / WE as a write enable signal, and a selection signal. An input signal such as an input / output mask signal DQM or a command signal is input via an input terminal, and various control signals and a control signal in which the command signal is decoded by a command buffer / decoder are output.
Here, the above-mentioned command buffer / decoder is provided in the control circuit 8.

【0024】また、コントロール回路8には、クロック
信号CLKに同期した信号を生成し、メモリ1の動作の
基本となるクロック信号として供給を行うクロック生成
回路が設けられており、該クロック生成回路によって生
成されたクロック信号が内部クロックバスを介して供給
されている。
The control circuit 8 is provided with a clock generation circuit for generating a signal synchronized with the clock signal CLK and supplying the signal as a clock signal which is a basic operation of the memory 1. The generated clock signal is supplied via an internal clock bus.

【0025】さらに、前述したコントロール回路8に
は、テスト制御回路が設けられており、このテスト制御
回路は、メモリ1のテスト時の制御、ならびにMRSコ
マンドと、特定のアドレス端子に入力されるHi、Lo
信号を組み合わせた信号とによりベンダテストモードが
設定された際に、Hi信号のテスト入力信号(テスト制
御信号)TBINを出力する。
Further, the control circuit 8 is provided with a test control circuit. The test control circuit controls the memory 1 at the time of testing, and outputs an MRS command and a Hi signal input to a specific address terminal. , Lo
When the vendor test mode is set by a signal obtained by combining the signals, a test input signal (test control signal) TBIN of the Hi signal is output.

【0026】センスアンプ4には、入力バッファ9、な
らびにノーマル/バーンイン信号出力回路(データ制御
手段)10が接続されている。ノーマル/バーンイン信
号出力回路10には、出力バッファ11が接続されてい
る。
An input buffer 9 and a normal / burn-in signal output circuit (data control means) 10 are connected to the sense amplifier 4. An output buffer 11 is connected to the normal / burn-in signal output circuit 10.

【0027】入力バッファ9は、入力データを所定のタ
イミングによって取り込み、ノーマル/バーンイン信号
出力回路10は、ベンダテストモードが設定された場合
に出力されるデータを反転して出力する。出力バッファ
11は、出力データを一時的に保管する。また、アドレ
スバッファ7には、リフレッシュカウンタ12が接続さ
れており、このリフレッシュカウンタ12は、リフレッ
シュ動作のアドレスを発生する。
The input buffer 9 takes in input data at a predetermined timing, and the normal / burn-in signal output circuit 10 inverts and outputs data output when the vendor test mode is set. The output buffer 11 temporarily stores output data. Also, a refresh counter 12 is connected to the address buffer 7, and the refresh counter 12 generates an address for a refresh operation.

【0028】また、ノーマル/バーンイン信号出力回路
10の回路構成について説明する。
The circuit configuration of the normal / burn-in signal output circuit 10 will be described.

【0029】ノーマル/バーンイン信号出力回路10
は、図2に示すように、インバータ13〜17から構成
されている。
Normal / burn-in signal output circuit 10
Is composed of inverters 13 to 17, as shown in FIG.

【0030】これらインバータ13〜17のうち、イン
バータ(第1のデータ出力部)14,16には制御用ゲ
ートG1,G2が設けられている。インバータ14,1
6は、制御用ゲートG1にHi信号が入力され、制御用
ゲートG2にLo信号が入力された場合に、入力された
信号の反転信号を出力し、制御用ゲートG1にLo信号
が入力され、制御用ゲートG2にHi信号が入力された
場合には、出力部がフローティング状態となる。
Of the inverters 13 to 17, the inverters (first data output units) 14 and 16 are provided with control gates G1 and G2. Inverter 14,1
6 outputs an inverted signal of the input signal when the Hi signal is input to the control gate G1 and the Lo signal is input to the control gate G2, and the Lo signal is input to the control gate G1; When the Hi signal is input to the control gate G2, the output unit enters a floating state.

【0031】インバータ(制御部)13の入力部、イン
バータ14の制御用ゲートG2、インバータ16の制御
用ゲートG1には、前述したテスト入力信号TBINが
入力されるように接続されている。
The input section of the inverter (control section) 13, the control gate G2 of the inverter 14, and the control gate G1 of the inverter 16 are connected so that the above-described test input signal TBIN is input.

【0032】インバータ13の出力部には、インバータ
14の制御用ゲートG1、インバータ16の制御用ゲー
トG2が接続されている。インバータ14,15の入力
部には、センスアンプ5に設けられているメインアンプ
と接続されており、該メインアンプを介して出力される
データが入力される。
The output of the inverter 13 is connected to a control gate G1 of the inverter 14 and a control gate G2 of the inverter 16. The input portions of the inverters 14 and 15 are connected to a main amplifier provided in the sense amplifier 5, and input data output through the main amplifier.

【0033】インバータ(第2のデータ出力部)15の
出力部には、インバータ(第2のデータ出力部)16の
入力部が接続されており、インバータ14,16の出力
部には、インバータ17の入力部が接続されている。イ
ンバータ17の出力部には、出力バッファ11が接続さ
れている。
The output of the inverter (second data output) 15 is connected to the input of an inverter (second data output) 16, and the outputs of the inverters 14 and 16 are connected to the inverter 17. Are connected. The output buffer 11 is connected to the output of the inverter 17.

【0034】また、図2においては、ノーマル/バーン
イン信号出力回路10の1つの回路構成のみを示した
が、実際には出力されるデータD0〜Dn数だけ、図2
の回路が設けられている。
Although only one circuit configuration of the normal / burn-in signal output circuit 10 is shown in FIG. 2, actually, only the number of data D0 to Dn to be output is shown in FIG.
Circuit is provided.

【0035】次に、本実施の形態の作用について説明す
る。
Next, the operation of the present embodiment will be described.

【0036】まず、メモリ1がバーンインテストされる
場合、メモリ1には、外部クロック信号に同期したチッ
プセレクト/CS、ローアドレスストローブ/RAS、
カラムアドレスストローブ/CAS、ライトイネーブル
/WEからなる4つのコマンド制御信号の組み合わせに
よるMRSコマンドと、特定のアドレス端子に入力され
る信号とによってバーンインテストを行うベンダテスト
モードの設定が行われる。
First, when the memory 1 is subjected to the burn-in test, the memory 1 has a chip select / CS, a row address strobe / RAS,
A vendor test mode for performing a burn-in test is set by an MRS command based on a combination of four command control signals including a column address strobe / CAS and a write enable / WE, and a signal input to a specific address terminal.

【0037】この特定のアドレス端子は、たとえば、ア
ドレスA7が入力されるアドレス端子であり、このアド
レス端子にHi信号が入力されることによりバーンイン
テストが設定される。
The specific address terminal is, for example, an address terminal to which an address A7 is input. When a Hi signal is input to this address terminal, a burn-in test is set.

【0038】MRSコマンドはテスト制御回路に入力さ
れ、該テスト制御回路からHiレベルのテスト入力信号
TBINがノーマル/バーンイン信号出力回路10に出
力される。
The MRS command is input to the test control circuit, and the test control circuit outputs a Hi-level test input signal TBIN to the normal / burn-in signal output circuit 10.

【0039】また、このテスト制御回路から出力される
Hiレベルのテスト入力信号TBINは昇圧電源回路な
どに出力されるものであり、昇圧電源回路はテスト入力
信号TBINに基づいて、通常動作時よりも高いバーン
インテスト用の昇圧電圧を生成する。このテスト入力信
号TBINを、ノーマル/バーンイン信号出力回路10
に入力する信号として用いることにより、新たな追加回
路を不要とすることができる。
The Hi-level test input signal TBIN output from the test control circuit is output to a boost power supply circuit or the like. Generates boost voltage for high burn-in test. This test input signal TBIN is supplied to a normal / burn-in signal output circuit 10.
, It is possible to eliminate the need for a new additional circuit.

【0040】テスト入力信号TBINが入力されたこと
によって、インバータ14の制御用ゲートG2、インバ
ータ16の制御用ゲートG1、およびインバータ13の
入力部には、Hi信号が入力される。
When the test input signal TBIN is input, a Hi signal is input to the control gate G2 of the inverter 14, the control gate G1 of the inverter 16, and the input of the inverter 13.

【0041】インバータ13の出力部からは反転信号で
あるLo信号が出力される。このLo信号は、インバー
タ14の制御用ゲートG1、インバータ16の制御用ゲ
ートG2にそれぞれ入力される。
The output of the inverter 13 outputs a Lo signal which is an inverted signal. This Lo signal is input to the control gate G1 of the inverter 14 and the control gate G2 of the inverter 16, respectively.

【0042】よって、インバータ14の制御用ゲートG
1,G2には、Lo信号、Hi信号がそれぞれ入力さ
れ、インバータ16の制御用ゲートG1,G2には、H
i信号、Lo信号がそれぞれ入力されるので、インバー
タ14はフローティング状態となり、インバータ16
は、インバータとして動作することになる。
Therefore, the control gate G of the inverter 14
1 and G2, a Lo signal and a Hi signal are input, respectively, and the control gates G1 and G2 of the inverter 16
Since the i signal and the Lo signal are respectively input, the inverter 14 enters a floating state, and the inverter 16
Operate as an inverter.

【0043】メインアンプから出力されたデータMO0
(〜MOn)は、インバータ14はフローティング状態
であるので、インバータ15〜17を介して出力される
(バーンインパス)。
Data MO0 output from main amplifier
(〜MOn) is output via the inverters 15 to 17 because the inverter 14 is in a floating state (burn-in path).

【0044】データMO0(〜MOn)は、インバータ
15によって反転され、再びインバータ16によって反
転される。その後、その信号は、インバータ17によっ
て反転されて出力バッファ11にデータDO0(〜Do
n)として出力される。
Data MO0 ((MOn) is inverted by inverter 15 and again by inverter 16. Then, the signal is inverted by the inverter 17 and the data DO0 (出力 Do) is output to the output buffer 11.
n).

【0045】このバーンインパスでは、インバータ15
〜17によってデータが3回反転されるので、出力バッ
ファ11を介して出力されるデータDO0(〜Don)
は、書き込まれたデータの反転データが出力されること
になる。この反転データをバーンインテスタが読み込む
ことによってバーンインテストモードの設定が行われた
ことを判定することができる。
In this burn-in pass, the inverter 15
Since the data is inverted three times by .about.17, the data DO0 (.about.Don) output via the output buffer 11
Outputs inverted data of the written data. By reading the inverted data by the burn-in tester, it can be determined that the burn-in test mode has been set.

【0046】また、バーンインテスト以外の場合、ある
いはメモリ1がバーンインテストに設定されなかった場
合においては、テスト入力信号TBINがLo信号とな
るので、インバータ14はインバータとして動作し、イ
ンバータ16はフローティング状態となるために、メイ
ンアンプから出力されたデータMO0(〜MOn)は、
インバータ14,17を介して出力される(ノーマルパ
ス)。
In the case other than the burn-in test, or when the memory 1 is not set to the burn-in test, the test input signal TBIN becomes a Lo signal, so that the inverter 14 operates as an inverter and the inverter 16 is in a floating state. , The data MO0 (〜MOn) output from the main amplifier is
The signal is output via the inverters 14 and 17 (normal path).

【0047】ノーマルパスにおいては、インバータ1
4,17によってデータが2回反転されることになり、
出力バッファ11を介して出力されるデータDO0(〜
Don)は、書き込まれたデータと同じデータが出力さ
れる。このデータDO0(〜Don)をバーンインテス
タが読み込むことによってバーンインテストモードが設
定されなかったことを判定することができる。
In the normal path, the inverter 1
The data is inverted twice by 4,17,
Data DO0 (-) output via output buffer 11
Don), the same data as the written data is output. By reading the data DO0 (〜Don) by the burn-in tester, it can be determined that the burn-in test mode has not been set.

【0048】それにより、本実施の形態では、ノーマル
/バーンイン信号出力回路10によって、バーンインテ
ストモードが設定された場合にのみ、読み込まれたデー
タの反転データが出力されるので、容易に、かつ確実に
メモリ1がバーンインテストモードに設定されたことを
判別することができる。
Thus, in the present embodiment, the inverted data of the read data is output by the normal / burn-in signal output circuit 10 only when the burn-in test mode is set, so that it is easy and reliable. Can be determined that the memory 1 has been set to the burn-in test mode.

【0049】また、本実施の形態においては、出力バッ
ファ11の前段にノーマル/バーンイン信号出力回路1
0を設けた構成としたが、このノーマル/バーンイン信
号出力回路10をセンスアンプ4内、またはその近傍に
設ける構成としてもよい。
In the present embodiment, the normal / burn-in signal output circuit 1
However, the normal / burn-in signal output circuit 10 may be provided in the sense amplifier 4 or in the vicinity thereof.

【0050】さらに、本実施の形態によれば、バーンイ
ンテストが設定された際に読み出したデータをノーマル
/バーンイン信号出力回路10が反転して出力する構成
であったが、たとえば、図3に示すように、入力バッフ
ァ9の後段にノーマル/バーンイン信号出力回路10a
を設け、バーンインテストが設定された際に書き込み前
のデータを反転させてそれぞれのメモリアレイ2に書き
込ませるようにしてもよい。
Further, according to the present embodiment, the normal / burn-in signal output circuit 10 inverts and outputs the data read when the burn-in test is set. For example, FIG. As described above, the normal / burn-in signal output circuit 10a is provided after the input buffer 9.
May be provided, and when the burn-in test is set, the data before writing may be inverted and written into each memory array 2.

【0051】以上、本発明者によってなされた発明を発
明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を
逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでも
ない。
Although the invention made by the inventor has been specifically described based on the embodiments of the present invention, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications may be made without departing from the gist of the invention. Needless to say, it can be changed.

【0052】前記実施の形態においては、読み出された
データが反転されたデータの場合にバーンインテストが
設定されたと判別したが、たとえば、新たに設けた特定
の外部端子、または入出力マスク信号が入力される外部
端子などをモニタし、バーンインが設定されたことを判
別するようにしてもよい。
In the above-described embodiment, it is determined that the burn-in test has been set when the read data is inverted data. However, for example, a newly provided specific external terminal or an input / output mask signal may be used. The input external terminal or the like may be monitored to determine that burn-in has been set.

【0053】入出力マスク信号が入力される外部端子を
モニタする場合、通常時には入出力データマスクを行う
がバーンインテスト時には入出力データマスクを行わな
い回路を設け、入出力データマスクを行っているか否か
により、バーンインテストが設定されているかの判別を
行う。
When monitoring an external terminal to which an input / output mask signal is input, a circuit is provided which normally performs input / output data masking but does not perform input / output data masking during a burn-in test. Thus, it is determined whether the burn-in test is set.

【0054】また、新たな外部端子を設ける場合には、
この外部端子に、前記実施の形態におけるテスト制御回
路から出力されるテスト入力信号を出力し、その信号の
状態に基づいてバーンインテストの設定状態を判別する
ようにしてもよい。
When a new external terminal is provided,
A test input signal output from the test control circuit in the above embodiment may be output to this external terminal, and the setting state of the burn-in test may be determined based on the state of the signal.

【0055】さらに、シンクロナスDRAMにおいて、
コマンドを入力してからデータが出力されるまでのクロ
ック数である/CASレイテンシ(CL)を通常のモー
ドでは設定できないレイテンシ数に設定するようにして
もよい。
Further, in the synchronous DRAM,
The / CAS latency (CL), which is the number of clocks from when a command is input until data is output, may be set to a latency number that cannot be set in a normal mode.

【0056】たとえば、CL=1〜3が用いられる場合
には、CL=4に固定することによってリード動作から
CLがわかるのでバーンインテストを判別できる。
For example, when CL = 1 to 3 is used, the burn-in test can be determined by fixing CL = 4 so that CL can be obtained from the read operation.

【0057】また、前記実施の形態では、シンクロナス
DRAMにノーマル/バーンイン信号出力回路を設けた
場合について記載したが、このノーマル/バーンイン信
号出力回路は、シンクロナスDRAMに限らずバーンイ
ンテストを行うベンダテストモードを有する半導体集積
回路装置であればよい。
In the above embodiment, the case where the normal / burn-in signal output circuit is provided in the synchronous DRAM has been described. However, the normal / burn-in signal output circuit is not limited to the synchronous DRAM, and may be a vendor that performs a burn-in test. Any semiconductor integrated circuit device having a test mode may be used.

【0058】[0058]

【発明の効果】本願によって開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
Advantageous effects obtained by typical ones of the inventions disclosed by the present application will be briefly described as follows.
It is as follows.

【0059】(1)本発明によれば、データ制御手段に
より、バーンインテストモードが設定された場合にの
み、読み込まれたデータの反転データが出力されるの
で、容易に、かつ確実に半導体集積回路装置がバーンイ
ンテストモードに設定されたことを判別することができ
る。
(1) According to the present invention, the inverted data of the read data is output only when the burn-in test mode is set by the data control means, so that the semiconductor integrated circuit can be easily and reliably provided. It can be determined that the device has been set to the burn-in test mode.

【0060】(2)また、本発明では、上記(1)によ
って、バーンインテストを効率よく行うことができるの
で、半導体集積回路装置の生産性を向上することができ
る。
(2) In the present invention, the burn-in test can be performed efficiently according to the above (1), so that the productivity of the semiconductor integrated circuit device can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態によるシンクロナスDR
AMにおけるメモリのブロック図である。
FIG. 1 shows a synchronous DR according to an embodiment of the present invention.
It is a block diagram of a memory in AM.

【図2】本発明の一実施の形態によるメモリに設けられ
たノーマル/バーンイン信号出力回路の回路図である。
FIG. 2 is a circuit diagram of a normal / burn-in signal output circuit provided in a memory according to one embodiment of the present invention;

【図3】本発明の他の実施の形態によるシンクロナスD
RAMにおけるメモリのブロック図である。
FIG. 3 shows a synchronous D according to another embodiment of the present invention.
It is a block diagram of a memory in RAM.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 メモリ(半導体集積回路装置) 2 メモリアレイ 3 ローデコーダ 4 センスアンプ 5 カラムデコーダ 6 カラムアドレスカウンタ 7 アドレスバッファ 8 コントロール回路 9 入力バッファ 10,10a ノーマル/バーンイン信号出力回路(デ
ータ制御手段) 11 出力バッファ 12 リフレッシュカウンタ 13 インバータ(制御部) 14 インバータ(第1のデータ出力部) 15,16 インバータ(第2のデータ出力部) 17 インバータ G1,G2 制御用ゲート TBIN テスト入力信号(テスト制御信号)
Reference Signs List 1 memory (semiconductor integrated circuit device) 2 memory array 3 row decoder 4 sense amplifier 5 column decoder 6 column address counter 7 address buffer 8 control circuit 9 input buffer 10, 10a normal / burn-in signal output circuit (data control means) 11 output buffer Reference Signs List 12 refresh counter 13 inverter (control unit) 14 inverter (first data output unit) 15, 16 inverter (second data output unit) 17 inverter G1, G2 control gate TBIN test input signal (test control signal)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/822 H01L 27/04 T (72)発明者 吉岡 博志 東京都小平市上水本町5丁目22番1号 株 式会社日立超エル・エス・アイ・システム ズ内 (72)発明者 嬉野 和久 東京都小平市上水本町5丁目22番1号 株 式会社日立超エル・エス・アイ・システム ズ内 Fターム(参考) 2G032 AA07 AB02 AE11 AG01 AG07 AK11 AK14 5B024 AA15 BA29 CA07 EA04 5F038 BE04 BE05 BG03 CD08 DF05 DF14 DT02 DT05 DT10 5L106 AA01 DD11 DD35 GG02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H01L 21/822 H01L 27/04 T (72) Inventor Hiroshi Yoshioka 5--22, Kamimizuhoncho, Kodaira-shi, Tokyo No. 1 In Hitachi Ultra SII Systems Co., Ltd. (72) Inventor Kazuhisa Ureshino 5-22-1, Josuihoncho, Kodaira-shi, Tokyo In Hitachi Ultra LSI Systems Co., Ltd. F term (reference) 2G032 AA07 AB02 AE11 AG01 AG07 AK11 AK14 5B024 AA15 BA29 CA07 EA04 5F038 BE04 BE05 BG03 CD08 DF05 DF14 DT02 DT05 DT10 5L106 AA01 DD11 DD35 GG02

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 テスト制御信号が入力された際に読み出
されたデータを反転して出力バッファに出力するデータ
制御手段を備えたことを特徴とする半導体集積回路装
置。
1. A semiconductor integrated circuit device comprising: data control means for inverting data read when a test control signal is input and outputting the inverted data to an output buffer.
【請求項2】 テスト制御信号が入力された際に入力バ
ッファを介して入力された書き込みデータを反転して出
力するデータ制御手段を備えたことを特徴とする半導体
集積回路装置。
2. A semiconductor integrated circuit device comprising: data control means for inverting and outputting write data input via an input buffer when a test control signal is input.
【請求項3】 請求項1または2記載の半導体集積回路
装置において、前記データ制御手段に入力されるテスト
制御信号が、バーンインテストの設定の際に制御回路か
ら出力される信号であることを特徴とする半導体集積回
路装置。
3. The semiconductor integrated circuit device according to claim 1, wherein the test control signal input to the data control means is a signal output from the control circuit when a burn-in test is set. Semiconductor integrated circuit device.
【請求項4】 請求項1〜3のいずれか1項に記載の半
導体集積回路装置において、前記データ制御手段が、入
力されたデータを反転せずに出力する第1のデータ出力
部と、入力されたデータを反転して出力する第2のデー
タ出力部と、テスト制御信号に基づいて前記第1、第2
のデータ出力部の切り替え制御を行う制御信号を生成す
る制御部とよりなることを特徴とする半導体集積回路装
置。
4. The semiconductor integrated circuit device according to claim 1, wherein said data control means outputs a first data output section without inverting input data, A second data output unit for inverting and outputting the output data, and the first and second data output units based on a test control signal.
And a control unit for generating a control signal for performing switching control of the data output unit.
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