JP2000243986A - Solar cell and its manufacture - Google Patents

Solar cell and its manufacture

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JP2000243986A
JP2000243986A JP11038845A JP3884599A JP2000243986A JP 2000243986 A JP2000243986 A JP 2000243986A JP 11038845 A JP11038845 A JP 11038845A JP 3884599 A JP3884599 A JP 3884599A JP 2000243986 A JP2000243986 A JP 2000243986A
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JP
Japan
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solar cell
layer
light
film
surface protective
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JP11038845A
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Japanese (ja)
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Yasue Nagano
尉絵 長野
Hiroshi Taniguchi
浩 谷口
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
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    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/548Amorphous silicon PV cells

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a solar cell which prevents the generation of a crack or a pinhole due to a high-temperature firing operation and whose moisture resistance can be enhanced by a method wherein a room-temperature curing glass film is formed on the surface at least on the light incident side of a translucent surface protective film which is composed of a single layer or a plurality of layers. SOLUTION: A photoelectric conversion layer 3 is formed as a single-type which is composed of an n-layer, an I-layer and a P-layer which use amorphous silicon. A film as a transparent electrode layer 4 whose film thickness is 70 nm and which is composed of ITO is formed, by a sputtering method, on the photoelectric conversion layer 3. In addition, an Ag lattice- shaped collecting electrode 5 is formed on the transparent electrode layer 4. An output terminal 6 is attached to a rear electrode 2, and an output terminal 6 is attached to the collecting electrode 5. Then, the transparent electrode layer 4 is coated with a room-temperature curing glass coating agent (of a two-component type) by an air spray method. When the coating agent is held at room temperature for one hour, a translucent surface protective film 7 which is composed of polysiloxane and whose film thickness is at 3 μm is obtained. Thereby, it is possible to obtain this solar cell 10 which prevents the generation of a crack or a pinhole due to a high-temperature firing operation and whose moisture resistance is superior.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池及びその
製造方法に関し、特に、光電変換層を有する太陽電池の
上に設けられた透光性表面保護膜を有する太陽電池及び
その製造方法に関する。
The present invention relates to a solar cell and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a solar cell having a light-transmitting surface protective film provided on a solar cell having a photoelectric conversion layer and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、環境問題への取り組みの点から、
クリーンなエネルギー源のさらなる開発が望まれてい
る。その中でも、太陽電池は、安全性と扱いやすさから
エネルギー源として期待されている。アモルファスシリ
コン系太陽電池を代表とする太陽電池は、結晶系太陽電
池と比較して少量の原料で形成することが可能であり、
集積を行うことにより、出力電圧、電流の設計に高い自
由度が得られるという特長を持っている。また、基材を
選択することにより、軽量性、柔軟性が得られるだけで
なく、幅広い設置の自由度も期待できる。
2. Description of the Related Art In recent years, from the viewpoint of addressing environmental issues,
Further development of clean energy sources is desired. Among them, solar cells are expected as an energy source because of their safety and ease of handling. Solar cells typified by amorphous silicon-based solar cells can be formed with a smaller amount of raw materials as compared to crystalline solar cells,
The advantage of integration is that the output voltage and current can be designed with a high degree of freedom. In addition, by selecting a base material, not only lightness and flexibility can be obtained, but also a wide degree of freedom in installation can be expected.

【0003】現在、太陽電池は、光入射側にガラス等の
透光性絶縁基板を配置し、この基板上に透明電極層、光
電変換層、裏面電極層を順次形成したタイプと、光入射
側の反対側にフィルム基板や金属基板を配置し、この基
板上に裏面電極層、光電変換層、透明電極層を順次形成
したタイプがある。後者のフィルム基板や金属基板を用
いた太陽電池は、軽量で柔軟性に富んでいるが、光入射
側にガラス等の透光性絶縁基板を用いた前者の場合と異
なり、光入射側表面を透明な表面保護材で覆い、太陽電
池を保護する必要がある。
At present, a solar cell has a type in which a transparent insulating substrate such as glass is disposed on the light incident side, and a transparent electrode layer, a photoelectric conversion layer, and a back electrode layer are sequentially formed on this substrate. There is a type in which a film substrate or a metal substrate is disposed on the side opposite to the above, and a back electrode layer, a photoelectric conversion layer, and a transparent electrode layer are sequentially formed on this substrate. A solar cell using a film substrate or a metal substrate is lightweight and highly flexible, but unlike the former case using a translucent insulating substrate such as glass on the light incident side, the light incident side surface is It is necessary to cover the solar cell with a transparent surface protection material.

【0004】従来は、この表面保護材として最表面にフ
ッ素系等の樹脂フィルムや有機系塗料を用いた薄膜層を
設け、その内側に熱可塑性透明有機樹脂層を形成すると
いう方法が用いられてきた。しかし、上述の構成の太陽
電池では、湿度の影響を受けやすく、高湿度の環境下で
は光電変換効率が低下する。この原因として、フッ素系
等の樹脂フィルムや有機系塗料が水蒸気等に対して十分
なバリア機能をもっていないことが挙げられる。
Conventionally, as this surface protective material, a method has been used in which a thin film layer using a fluorine-based resin film or an organic paint is provided on the outermost surface, and a thermoplastic transparent organic resin layer is formed inside the thin film layer. Was. However, the solar cell having the above-described configuration is easily affected by humidity, and the photoelectric conversion efficiency is reduced in a high-humidity environment. The cause is that a fluorine-based resin film or an organic paint does not have a sufficient barrier function against water vapor and the like.

【0005】そこで、太陽電池の表面保護材の最表面層
である有機樹脂フィルムに水蒸気等のバリア機能、つま
り耐湿性を付与する方法として、スパッタリング法、C
VD法等で酸化珪素を成膜する方法がある。この方法を
用いると有機樹脂フィルムの耐湿性を向上させることが
可能であるが、フィルム上の蒸着膜に着色が生じ、蒸着
前の有機樹脂フィルムと比較して光透過率が低下し太陽
電池の変換効率が低下する原因となる。また、酸化アル
ミをスパッタリング法、CVD法等で成膜した場合、光
透過率は酸化珪素よりもすぐれているが、十分な耐湿性
を得ることはできない。このように比較的透明性の高い
金属酸化物を有機樹脂フィルム上に直接成膜する方法で
は、十分な耐湿性と透光性とを同時に得ることができな
いという問題点がある。
[0005] Therefore, as a method for imparting a barrier function against water vapor or the like, that is, moisture resistance to the organic resin film which is the outermost surface layer of the surface protective material of the solar cell, sputtering, C
There is a method of forming a silicon oxide film by a VD method or the like. With this method, the moisture resistance of the organic resin film can be improved, but the deposited film on the film is colored, the light transmittance is reduced as compared to the organic resin film before the deposition, and the This causes the conversion efficiency to decrease. Further, when aluminum oxide is formed by a sputtering method, a CVD method, or the like, the light transmittance is better than that of silicon oxide, but sufficient moisture resistance cannot be obtained. In such a method of forming a metal oxide having relatively high transparency directly on the organic resin film, there is a problem that sufficient moisture resistance and translucency cannot be simultaneously obtained.

【0006】特開平9−199740号公報は、透明フ
ッ素樹脂フィルム層の少なくとも一方の面に、ポリシラ
ザンをコーティングした後、焼成して得られる酸化珪素
等の透明薄膜層を設けた太陽電池について開示する。ポ
リシラザンを使用する方法では、80℃〜200℃の高
温下で焼成を行う必要がある。ポリシラザンは、一般的
に空気中での安定性が悪いため、80%程度のキシレン
等の有機系溶剤を含有した状態で用いる。そのため、コ
ーティング後の焼成時に有機系溶剤が急激に揮発して体
積が減少するため、焼成時において薄膜層内にクラック
やピンホール等が発生しやすい。このようなクラックや
ピンホール等は、それらから水蒸気等が侵入し光電変換
効率の低下の原因となるため、ポリシラザンから形成し
た酸化珪素等の薄膜は、安定した十分な耐湿性を得るこ
とができないという問題点がある。
JP-A-9-199740 discloses a solar cell in which at least one surface of a transparent fluororesin film layer is coated with polysilazane and then provided with a transparent thin film layer of silicon oxide or the like obtained by firing. . In the method using polysilazane, it is necessary to perform firing at a high temperature of 80C to 200C. Since polysilazane generally has poor stability in air, it is used in a state containing about 80% of an organic solvent such as xylene. Therefore, the organic solvent rapidly volatilizes during firing after coating, and the volume decreases, so that cracks, pinholes, and the like are easily generated in the thin film layer during firing. Such cracks, pinholes, and the like cause moisture and the like to penetrate therefrom and cause a decrease in photoelectric conversion efficiency. Therefore, a thin film of silicon oxide or the like formed from polysilazane cannot obtain stable and sufficient moisture resistance. There is a problem.

【0007】特開平6−97482号公報は、透明絶縁
基板上に透明導電膜、非晶質シリコン層、裏面電極層を
順次積層した後、ガスバリアー性の酸化珪素膜を減圧プ
ラズマ化学気相蒸着法にて形成した太陽電池について開
示する。減圧プラズマ化学気相蒸着法を用いた場合、真
空装置を設けるために高い費用が必要となる。また、成
膜に時間がかかるために大量生産に不向きであり太陽電
池の生産コスト低減が困難である。
Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 6-97482 discloses a method in which a transparent conductive film, an amorphous silicon layer, and a back electrode layer are sequentially laminated on a transparent insulating substrate, and then a silicon oxide film having a gas barrier property is formed under reduced pressure chemical vapor deposition. A solar cell formed by the method is disclosed. When the low pressure plasma enhanced chemical vapor deposition method is used, high cost is required for providing a vacuum apparatus. Further, since it takes a long time to form a film, it is not suitable for mass production, and it is difficult to reduce the production cost of a solar cell.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の技術においてフッ素系等の樹脂フィルムや有機系塗料
が水蒸気等に対する十分なバリア機能をもたないため、
これを改善すべく様々な工夫がなされてきた。しかし、
比較的透明性の高い金属酸化物を有機樹脂フィルム上に
直接成膜して耐湿性を上げる方法では、十分な耐湿性と
透光性を得ることができない。また、ポリシラザンから
形成した酸化珪素等の膜では、焼成時にクラックやピン
ホールが発生しやすいため、安定した十分な耐湿性を得
ることができない。また、酸化珪素膜を減圧プラズマ化
学気相蒸着法で直接成膜する方法では、大量生産が困難
な上、設備投資に多額の費用が発生する。
As described above, in the prior art, fluorine-based resin films and organic paints do not have a sufficient barrier function against water vapor and the like.
Various attempts have been made to improve this. But,
In the method of increasing the moisture resistance by forming a relatively transparent metal oxide directly on the organic resin film, sufficient moisture resistance and light transmittance cannot be obtained. Further, in a film of silicon oxide or the like formed from polysilazane, cracks and pinholes are easily generated at the time of firing, so that stable and sufficient moisture resistance cannot be obtained. In addition, in a method in which a silicon oxide film is directly formed by a low-pressure plasma chemical vapor deposition method, mass production is difficult, and a large amount of capital investment is required.

【0009】この発明は、上記の問題点に鑑みてなされ
たものであり、耐湿性及び透光性に優れ、生産効率が高
い表面保護膜を有する太陽電池を提供することを目的と
する。
The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide a solar cell having a surface protective film having excellent moisture resistance and light transmittance and high production efficiency.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、光電変
換層を有する太陽電池であって、単層または複数層から
なる透光性表面保護膜を備え、その透光性表面保護膜が
少なくとも光入射側の表面に常温硬化型のガラス被膜を
備えてなる太陽電池が提供される。
According to the present invention, there is provided a solar cell having a photoelectric conversion layer, comprising a light-transmitting surface protective film composed of a single layer or a plurality of layers, wherein the light-transmitting surface protective film is formed. Provided is a solar cell having a cold-setting glass coating on at least the surface on the light incident side.

【0011】本発明の別の観点によれば、光電変換層を
有する太陽電池の少なくとも光入射側の表面の上に常温
硬化型のガラス被膜からなる透光性表面保護膜を形成す
る太陽電池の製造方法において、ガラス被膜がオルガノ
ポリシロキサンを常温で脱水縮合させて硬化することに
より形成する工程を含むことを特徴とする太陽電池の製
造方法が提供される。
According to another aspect of the present invention, there is provided a solar cell having a photoelectric conversion layer, wherein at least the light incident side surface of the solar cell is provided with a light-transmitting surface protective film made of a cold-curable glass film. A method for manufacturing a solar cell is provided, which comprises a step of forming a glass coating by dehydrating and condensing an organopolysiloxane at room temperature and curing the glass coating.

【0012】すなわち、この発明の太陽電池では、常温
で硬化して形成されたガラス被膜からなる透光性表面保
護膜が得られるので、高温焼成によるクラックやピンホ
ールの発生が防止され、それによって耐湿性に優れた太
陽電池が提供される。さらに水蒸気等に対するバリア機
能が高く透明性の高い常温硬化型のガラス被膜を選択す
ることにより、太陽電池の光入射側の保護膜として用い
るために十分な透光性を得ることができる。また、透光
性表面保護膜が常温硬化型のガラス被膜で形成されるの
で紫外線等による黄変がなく長期に渡って透光性が維持
される。さらに、真空装置や高温焼成装置等の設備及び
これらを用いて行う各工程が不要になり、透光性表面保
護膜の成膜に要する設備コスト及び時間が節約され、そ
れによって透光性表面保護膜の生産効率が向上する。
That is, in the solar cell of the present invention, a translucent surface protective film composed of a glass film formed by curing at room temperature is obtained, so that cracks and pinholes due to high-temperature sintering are prevented. A solar cell having excellent moisture resistance is provided. Further, by selecting a room-temperature-curable glass film having a high barrier function against water vapor and the like and high transparency, sufficient translucency for use as a protective film on the light incident side of the solar cell can be obtained. In addition, since the light-transmitting surface protective film is formed of a room-temperature-curable glass film, the light-transmitting property is maintained for a long time without yellowing due to ultraviolet rays or the like. Furthermore, equipment such as a vacuum apparatus and a high-temperature baking apparatus and each step performed using these equipment are not required, and the equipment cost and time required for forming the light-transmitting surface protective film are saved, whereby the light-transmitting surface protection The membrane production efficiency is improved.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明の太陽電池としては、アモ
ルファスシリコン太陽電池、化合物半導体太陽電池、有
機半導体太陽電池が挙げられる。図1は、本発明の太陽
電池の構成の一例を示す。太陽電池10は、基板1と、
光電変換層3と、光電変換層3を挟持する一対の電極層
2及び4と、光入射側の透明電極層4上に堆積された透
光性表面保護膜7とからなる。裏面電極層2及び透明電
極層4はそれぞれが出力端子6を有する。基板1は、ス
テンレス鋼やアルミニウム等を材料とする金属基板、塩
化ビニル系、ポリエステル系、ポリイミド系、フッ素
系、アクリル系等のフィルムからなる樹脂基板あるいは
ガラス基板が挙げられる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The solar cell of the present invention includes an amorphous silicon solar cell, a compound semiconductor solar cell, and an organic semiconductor solar cell. FIG. 1 shows an example of the configuration of the solar cell of the present invention. The solar cell 10 includes a substrate 1 and
It comprises a photoelectric conversion layer 3, a pair of electrode layers 2 and 4 sandwiching the photoelectric conversion layer 3, and a light-transmitting surface protection film 7 deposited on the transparent electrode layer 4 on the light incident side. Each of the back electrode layer 2 and the transparent electrode layer 4 has an output terminal 6. The substrate 1 includes a metal substrate made of stainless steel, aluminum, or the like, a resin substrate made of a vinyl chloride-based, polyester-based, polyimide-based, fluorine-based, or acrylic-based film, or a glass substrate.

【0014】裏面電極層2の材料としては、Ag、A
l、Ti、Cr、Mo、W、Ni等を用いることができ
る。裏面電極層2の成膜は、スパッタリング法または蒸
着法で行うことが可能である。光電変換層3は、照射さ
れた光を電気に変換して一対の電極層2及び4から取り
出せるよう構成された発電領域であり、非晶質半導体層
または微結晶半導体層で構成することにより、比較的低
コストで、大面積化が可能であり、柔軟性のある太陽電
池を提供することが可能となる。これらの半導体層は具
体的には、Si、SiC、SiN、SiGe、SiOが
挙げられる。
The material of the back electrode layer 2 is Ag, A
1, Ti, Cr, Mo, W, Ni and the like can be used. The back electrode layer 2 can be formed by a sputtering method or an evaporation method. The photoelectric conversion layer 3 is a power generation region configured to convert irradiated light into electricity and extract the light from the pair of electrode layers 2 and 4, and is configured by an amorphous semiconductor layer or a microcrystalline semiconductor layer. It is possible to provide a flexible solar cell which can be formed at a relatively low cost and can have a large area. Specifically, these semiconductor layers include Si, SiC, SiN, SiGe, and SiO.

【0015】光電変換層3の材料としてアモルファスシ
リコン、微結晶シリコン、多結晶シリコンが挙げられ、
例えばプラズマCVD装置で成膜することができる。こ
の中でも、アモルファスシリコンまたは微結晶シリコン
が、環境への影響が小さく、比較的低コストで、柔軟性
のある太陽電池を提供できる点で好ましい。
The material of the photoelectric conversion layer 3 includes amorphous silicon, microcrystalline silicon, and polycrystalline silicon.
For example, it can be formed by a plasma CVD apparatus. Among them, amorphous silicon or microcrystalline silicon is preferable because it has a small effect on the environment, can provide a relatively low cost, and can provide a flexible solar cell.

【0016】透明電極層4の上には、電流を効率よく集
電するために格子状の集電電極(グリッド)5を設けて
もよい。集電電極5の材料としては、Ag、Al、T
i、Cr、Mo、W、Ni、Cuが挙げられる。集電電
極5の形成方法としては、マスクを用いたスパッタリン
グ法や蒸着法の他に、全面に成膜した後でエッチングに
より不要な部分を取り除く方法あるいは銀ペーストをは
じめとする導電性ペーストを印刷する方法等がある。ペ
ースト等電極層2及び4から起電力を取り出すために出
力端子6が裏面電極層2と集電電極5に取り付けられ
る。出力端子6の取り付け方法としては、スポット溶
接、半田接合等が挙げられる。
A grid-like current collecting electrode (grid) 5 may be provided on the transparent electrode layer 4 in order to efficiently collect current. Ag, Al, T
i, Cr, Mo, W, Ni, and Cu. As a method for forming the current collecting electrode 5, in addition to a sputtering method and a vapor deposition method using a mask, a method in which unnecessary portions are removed by etching after forming a film on the entire surface, or a conductive paste such as a silver paste is printed. There is a method to do. An output terminal 6 is attached to the back electrode layer 2 and the current collecting electrode 5 to extract an electromotive force from the electrode layers 2 and 4 such as a paste. Examples of the method of attaching the output terminal 6 include spot welding, soldering, and the like.

【0017】この発明における透光性表面保護膜7は、
太陽電池の上に設けられた単層または複数層からなる。
したがって、透光性表面保護膜7は、そのうちの1層だ
けが、後述する常温で硬化して形成された常温硬化型の
ガラス被膜からなるものであってもよいし、膜全体が、
常温硬化型のガラス被膜からなるものであってもよい。
常温硬化型のガラス被膜は、例えばオルガノポリシロキ
サンと必要に応じて添加物が添加された原料への水の添
加によって形成することができ、主にポリシロキサンか
ら構成される。また、常温硬化型のガラス被膜は、骨材
としてAl2 3 、TiO2 、ZrO2 等の金属酸化物
を含んでもよい。
The translucent surface protective film 7 according to the present invention comprises:
It consists of a single layer or a plurality of layers provided on a solar cell.
Therefore, the light-transmitting surface protective film 7 is one of them.
Injury, a room temperature curing type formed by curing at room temperature
It may be made of a glass coating, or the entire film may be
It may be composed of a cold-setting glass coating.
Cold-curable glass coatings are, for example, organopolysiloxanes.
Addition of water to the sun and raw materials to which additives have been added if necessary
Can be formed mainly by polysiloxane or
It is composed of In addition, cold-curable glass coatings
As AlTwoO Three, TiOTwo, ZrOTwoMetal oxides such as
May be included.

【0018】添加物としては、官能性の側鎖(アルコキ
シ基、アシロキシ基、オキシム基)を有するオルガノシ
ロキサンを架橋剤、また、ホウ素のハロゲン化物からな
る硬化剤が挙げられる。さらに、Zn、Al、Co、S
n等の有機金属化合物からなる硬化剤も挙げられる。よ
り具体的には、ガラス被膜の形成に使用できる原料とし
て、GS−600−1、GS−600−2、GS−60
0−3、GS−600−4及びGS−300−1(株式
会社日興製)が挙げられる。
Examples of the additive include a crosslinking agent of an organosiloxane having a functional side chain (alkoxy group, acyloxy group, oxime group) and a curing agent of a halide of boron. Further, Zn, Al, Co, S
A curing agent comprising an organometallic compound such as n is also included. More specifically, GS-600-1, GS-600-2, GS-60 as raw materials that can be used for forming a glass film.
0-3, GS-600-4 and GS-300-1 (manufactured by Nikko Corporation).

【0019】透光性表面保護膜7は、光入射側の表面に
位置するよう透明電極層4上に形成されるが、太陽電池
の表裏両面すなわち、透明電極層4及び光入射側と反対
側の基板1の裏面上の両面に形成してもよい。透光性表
面保護膜7は、波長400〜1200nmの範囲の光に
対して90%以上の光透過率を有するものであれば、太
陽電池の発電特性の低下が発生しない点から好ましい。
The translucent surface protective film 7 is formed on the transparent electrode layer 4 so as to be located on the surface on the light incident side, but on both front and back sides of the solar cell, that is, on the side opposite to the transparent electrode layer 4 and the light incident side. May be formed on both surfaces on the back surface of the substrate 1. The light-transmitting surface protective film 7 preferably has a light transmittance of 90% or more with respect to light in a wavelength range of 400 to 1200 nm from the viewpoint that the power generation characteristics of the solar cell do not deteriorate.

【0020】本発明の太陽電池の製造方法は、図1の常
温硬化型のガラス被膜からなる透光性表面保護膜7を製
造するに際し、常温硬化型のガラス被膜がオルガノポリ
シロキサンを常温で脱水縮合させて硬化することにより
形成する工程を含む。透光性表面保護膜7は、太陽電池
の少なくとも光入射側の表面、すなわち電極層4上を必
須として、基板1の裏面上にも追加して形成するのが好
ましい。本発明における常温硬化型のガラス被膜を得る
場合の常温とは、およそ5℃から35℃位の室内温度が
好ましい。
In the method of manufacturing a solar cell according to the present invention, when manufacturing the light-transmitting surface protective film 7 made of the cold-curable glass coating shown in FIG. 1, the cold-curable glass coating dehydrates the organopolysiloxane at normal temperature. It includes a step of forming by condensing and curing. The translucent surface protection film 7 is preferably formed on the surface of the solar cell at least on the light incident side, that is, on the electrode layer 4 and additionally on the back surface of the substrate 1. The room temperature for obtaining the room temperature-curable glass film in the present invention is preferably room temperature of about 5 ° C. to 35 ° C.

【0021】まず、上記した原料を含むコーティング液
を作製する。コーティング液は、上記した原料をコーテ
ィングに適した粘度等の液体に調整し、液の安定性を保
つために、溶媒で希釈するのが好ましい。具体的には、
上記した原料をIPA等で希釈したアルコール溶液が挙
げられる。上記加水分解は大気中の水分によっても行わ
れるので、水の添加は必須ではない。また、上記したオ
ルガノポリシロキサンを希釈したアルコール溶液と添加
物を希釈したアルコール溶液を用意し、塗布時に両者を
混合してもよいし、上記したオルガノポリシロキサンを
希釈したアルコール溶液の塗布後に、添加物を希釈した
アルコール溶液を添加してもよい。
First, a coating liquid containing the above-described raw materials is prepared. The coating liquid is preferably diluted with a solvent in order to adjust the above-mentioned raw material to a liquid having a viscosity suitable for coating and maintain the stability of the liquid. In particular,
An alcohol solution obtained by diluting the above-described raw materials with IPA or the like can be used. Since the hydrolysis is also performed by atmospheric moisture, the addition of water is not essential. Alternatively, an alcohol solution obtained by diluting the above-mentioned organopolysiloxane and an alcohol solution obtained by diluting the additive may be prepared, and both may be mixed at the time of application. An alcohol solution diluted with the substance may be added.

【0022】このコーティング液は、透明電極層4上ま
たは基板1の裏面上あるいはすでにコートされた表面保
護膜上にコートされる。コーティング方法としては、デ
ィップ法、ロールコーティング法、バーコーター法、印
刷法、エアスプレー法、エアレススプレー法等の公知の
方法が挙げられる。コーティングは、硬化後の膜厚が
0.1〜10μm程度となるのが望ましい。膜厚0.1
μm以下の場合は、太陽電池表面の微小凹凸に対して十
分なカバーができず、空気中の水分等が太陽電池内に入
り込み、発電効率が低下する原因となる。また、10μ
m以上の場合は、保護膜自身にクラック等が発生し易く
なり、空気中の水分を透過し、発電効率が低下する原因
となる。このような理由から、硬化後の膜厚は0.1〜
10μm程度が望ましく、太陽電池に柔軟性を求める場
合は、2〜3μm程度が望ましい。
This coating liquid is coated on the transparent electrode layer 4, on the back surface of the substrate 1, or on the already coated surface protective film. Examples of the coating method include known methods such as a dip method, a roll coating method, a bar coater method, a printing method, an air spray method, and an airless spray method. The coating preferably has a thickness of about 0.1 to 10 μm after curing. Thickness 0.1
In the case of μm or less, sufficient cover cannot be provided for the fine irregularities on the surface of the solar cell, and moisture or the like in the air enters the solar cell, causing a reduction in power generation efficiency. Also, 10μ
If it is more than m, cracks and the like are apt to occur in the protective film itself, which allows moisture in the air to permeate and causes a reduction in power generation efficiency. For these reasons, the film thickness after curing is 0.1 to
About 10 μm is desirable, and when flexibility is required for the solar cell, about 2-3 μm is desirable.

【0023】0.1〜10μm程度の膜厚で、かつ膜厚
の均一性が高い膜を得るためには、エアレススプレー法
が適している。エアレススプレー装置の使用条件は、エ
アレススプレーガンとワーク(太陽電池)との距離10
0〜200mm、スプレーガン移動速度250〜120
0mm/s、液圧20〜50kg/cm2 程度が適して
いる。エアレススプレー法では、密着性のよい表面保護
膜を形成することができる。
In order to obtain a film having a thickness of about 0.1 to 10 μm and a high uniformity of the film thickness, an airless spray method is suitable. The operating condition of the airless spray device is that the distance between the airless spray gun and the work (solar cell) is 10
0-200mm, spray gun moving speed 250-120
0 mm / s and a liquid pressure of about 20 to 50 kg / cm 2 are suitable. In the airless spray method, a surface protective film having good adhesion can be formed.

【0024】このようにして形成されるガラス被膜は、
前記した表面電極上または基板上にコートされるか、あ
るいは複数の層からなる透光性表面保護膜のうちの少な
くとも一層を形成すべく、他の層上に堆積されて透光性
表面保護膜を形成してもよい。室温硬化を行うことによ
り、コーティング膜の急激な体積減少が抑えられ、膜の
クラックやピンホールの発生を防ぐことが可能となる。
作製した太陽電池は、所望する電圧、電流に応じて直列
か並列に接続され、端面から異物となるガスの侵入等が
ないよう端面を封止し太陽電池モジュールが作製され
る。
The glass coating thus formed is
The light-transmitting surface protective film is coated on the surface electrode or the substrate, or is deposited on another layer to form at least one of the light-transmitting surface protective films composed of a plurality of layers. May be formed. By performing the curing at room temperature, a rapid decrease in the volume of the coating film is suppressed, and it becomes possible to prevent cracks and pinholes from occurring in the film.
The manufactured solar cells are connected in series or in parallel according to a desired voltage and current, and the end faces are sealed so as to prevent invasion of gas as a foreign substance from the end faces, thereby manufacturing a solar cell module.

【0025】本発明の太陽電池の構造及び製造方法の例
を以下に述べる。実施例1 図1に示した太陽電池10を作製するに際し、太陽電池
用基板1としてステンレス鋼板を使用する。この基板1
上にスパッタリング法により、裏面電極層2として、膜
厚約500nmのAgを成膜した後、膜厚約50nmの
ZnOを成膜した。その後、プラズマCVD装置で光電
変換層3を形成した。
An example of the structure and manufacturing method of the solar cell of the present invention will be described below. Example 1 In manufacturing the solar cell 10 shown in FIG. 1, a stainless steel plate is used as the solar cell substrate 1. This substrate 1
After about 500 nm of Ag was formed as the back electrode layer 2 by sputtering, ZnO was formed with a thickness of about 50 nm. After that, the photoelectric conversion layer 3 was formed by a plasma CVD apparatus.

【0026】光電変換層3はアモルファスシリコンを用
いた、n層、i層、p層からなるシングル型として形成
され、それぞれの膜厚は30nm、400nm、20n
mとなるように設定された。なお、このようなシングル
型だけでなく、タンデム型、トリプル型の光電変換層を
形成することも可能である。透明電極層4として、上記
光電変換層3の上にスパッタリング法により、膜厚70
nmのITOからなる膜を形成する。なお、透明電極層
4の材料として、SnO2 、ZnO等を使用することも
でき、スパッタリング法以外に蒸着法を用いてもよい。
The photoelectric conversion layer 3 is formed as a single type using amorphous silicon and composed of an n layer, an i layer, and a p layer, and has a thickness of 30 nm, 400 nm, and 20 n, respectively.
m. Note that not only such a single type but also a tandem type and a triple type photoelectric conversion layer can be formed. As the transparent electrode layer 4, a film thickness of 70 is formed on the photoelectric conversion layer 3 by a sputtering method.
A film made of ITO having a thickness of nm is formed. Note that SnO 2 , ZnO, or the like can be used as the material of the transparent electrode layer 4, and a vapor deposition method may be used instead of the sputtering method.

【0027】さらに、マスクを用いたスパッタリング法
により透明電極層4の上にAgの格子状集電電極5を設
ける。その後、起電力をとりだすために半田接合により
出力端子6を裏面電極層2と集電電極5に取り付ける。
作製された太陽電池素子は、所望する電圧、電流に応じ
て直列か並列に接続される。次に、常温硬化型ガラスコ
ーティング剤である二液型のGS−600−1(株式会
社日興製)を使用してガラス被膜を以下の方法で形成し
た。
Further, a grid-like collector electrode 5 made of Ag is provided on the transparent electrode layer 4 by a sputtering method using a mask. After that, the output terminal 6 is attached to the back electrode layer 2 and the current collecting electrode 5 by soldering in order to extract an electromotive force.
The manufactured solar cell elements are connected in series or in parallel according to the desired voltage and current. Next, a glass coating was formed by the following method using a two-part GS-600-1 (manufactured by Nikko Corporation) which is a room temperature curing type glass coating agent.

【0028】第1液と第2液とを混合し、混合されたコ
ーティング液をただちに透明電極層4上にエアレススプ
レー法によりコーティングを行った。混合された直後の
コーティング液は、IPAを約40%含み、その粘度は
約40cpsであった。エアレススプレーガンとワーク
(太陽電池)との距離は150mm、スプレーガンの移
動速度は1000mm/s、液圧は40kg/cm2
あった。室温で約1時間保持することにより硬化したポ
リシロキサンからなる透光性表面保護膜7を得た。室温
硬化した透光性表面保護膜の膜厚は3μmとなった。
The first liquid and the second liquid were mixed, and the mixed coating liquid was immediately coated on the transparent electrode layer 4 by an airless spray method. The coating liquid immediately after mixing contained about 40% of IPA and had a viscosity of about 40 cps. The distance between the airless spray gun and the work (solar cell) was 150 mm, the moving speed of the spray gun was 1000 mm / s, and the liquid pressure was 40 kg / cm 2 . The translucent surface protective film 7 made of the cured polysiloxane was obtained by holding at room temperature for about 1 hour. The thickness of the light-transmitting surface protective film cured at room temperature was 3 μm.

【0029】上記した方法により形成されたサンプルと
しての太陽電池10について、以下に示す(1)〜
(4)の項目について評価試験を行った。(1)〜
(3)の項目について各サンプルは10個ずつを用い
た。(4)の項目についてはガラス上に表面保護と同様
の膜を形成し、評価試験を行った。
With respect to the solar cell 10 as a sample formed by the above method, the following (1) to (1) are shown.
An evaluation test was performed for the item (4). (1)-
For the item (3), ten samples were used. Regarding item (4), a film similar to that for surface protection was formed on glass, and an evaluation test was performed.

【0030】(1)高温保持試験 大気中の85℃保持環境下で1000時間までサンプル
を放置した。 (2)高温高湿保持試験 85℃、湿度85%保持環境下で1000時間までサン
プルを放置した。 (3)温度サイクル試験 大気中で、90℃15分、−40℃15分の温度サイク
ルを200サイクル繰り返した。 (4)光照射試験 ソーラーシミュレーターで受光面に100mW/cm2
の疑似太陽光を照射しながら1000時間まで放置し
た。
(1) High-Temperature Retention Test The sample was left for 1000 hours in an atmosphere maintained at 85 ° C. in the atmosphere. (2) High-Temperature and High-Humidity Holding Test The sample was allowed to stand for 1000 hours in an environment of 85 ° C. and 85% humidity. (3) Temperature cycle test A temperature cycle of 90 ° C for 15 minutes and -40 ° C for 15 minutes was repeated 200 times in the atmosphere. (4) Light irradiation test 100 mW / cm 2 on the light-receiving surface using a solar simulator
Was allowed to stand for 1000 hours while irradiating the pseudo sunlight.

【0031】(1)〜(3)の項目について行った評価
結果を表1に示す。表1は、試験前の太陽電池の発電量
を1とした場合の試験前後の発電量変化(サンプル10
個の平均値)及び外観観察結果を示している。いずれの
サンプルについても、大きな発電特性の低下は発生して
おらず、太陽電池モジュール(太陽電池に出力端子等を
取り付けた組み立て体)として十分な耐湿性を有し、急
激な温度変化に対しても問題はなかった。また、常温硬
化型ガラス被膜を形成するに際してエアレススプレーで
原料を塗布したので、適正な膜厚を有し均一性が高くか
つ密着性のよい表面保護膜が得られたものと考えられ
る。
Table 1 shows the evaluation results of the items (1) to (3). Table 1 shows the change in power generation amount before and after the test when the power generation amount of the solar cell before the test was set to 1 (sample 10).
(Average value of individual pieces) and appearance observation results. For all samples, there was no significant decrease in power generation characteristics, and the sample had sufficient moisture resistance as a solar cell module (an assembly in which output terminals and the like were attached to a solar cell). There was no problem. In addition, since the raw material was applied by airless spraying when forming the room-temperature-curable glass coating, it is considered that a surface protective film having an appropriate thickness, high uniformity and good adhesion was obtained.

【0032】[0032]

【表1】 [Table 1]

【0033】(4)の項目の評価結果として、外観及び
分光透過率の変化はみられなかった。波長400〜12
00nmの範囲での光透過率が90%以上あるため、太
陽電池の光入射側に用いても問題はなかった。なお、透
光性樹脂等の有機系材料で表面保護膜を形成し光照射試
験を行った場合は、樹脂の黄変により光透過率が低下す
る。本材料は耐光性の点からも問題はないといえる。ま
た、エアレススプレーで塗布した後、常温硬化型のガラ
ス被膜を形成することにより、適正な膜厚を有し均一性
が高くかつ密着性のよい表面保護膜7が得られたものと
考えられる。
As a result of the evaluation of the item (4), no change was observed in the appearance and the spectral transmittance. Wavelength 400-12
Since the light transmittance in the range of 00 nm is 90% or more, there was no problem even when used on the light incident side of the solar cell. In the case where a surface protective film is formed of an organic material such as a light-transmitting resin and a light irradiation test is performed, light transmittance decreases due to yellowing of the resin. It can be said that this material has no problem in terms of light resistance. In addition, it is considered that the surface protective film 7 having an appropriate film thickness, high uniformity, and good adhesion was obtained by forming a room-temperature-curable glass film after application by airless spray.

【0034】実施例2 太陽電池用基板としてフィルム等を使用した場合、基板
側からも水分等が侵入するため、水分の侵入を防ぐため
の表面保護膜が光入射側と、その逆側にも必要となる。
そこで、実施例1と同様の方法で、光電変換層3の光入
射側と逆側に表面保護膜8を設けた太陽電池の例を図2
に示す。
Example 2 When a film or the like is used as a solar cell substrate, moisture penetrates also from the substrate side. Therefore, a surface protective film for preventing the penetration of moisture is provided on the light incident side and on the opposite side. Required.
Therefore, an example of a solar cell in which a surface protective film 8 is provided on the side opposite to the light incident side of the photoelectric conversion layer 3 in the same manner as in Example 1 is shown in FIG.
Shown in

【0035】図2において太陽電池20は、ポリエステ
ルを材料とする樹脂基板11と、光電変換層3と、光電
変換層3を挟持する一対の電極層2及び4と、光入射側
の透明電極層4上に形成された透光性表面保護膜7と、
基板11の裏面に形成された表面保護膜8とからなる。
裏面電極層2及び透明電極層4はそれぞれが出力端子6
を有し、透明電極層4上には、電流を効率よく集電する
ために格子状の集電電極5が設けられている。表面保護
膜8は、透光性表面保護膜7と同じく、その中の少なく
とも一層が常温硬化型のガラス被膜を含む。これにより
耐湿性及び透光性に優れ、生産効率が高い表面保護膜を
有する太陽電池20が提供される。
In FIG. 2, a solar cell 20 comprises a resin substrate 11 made of polyester, a photoelectric conversion layer 3, a pair of electrode layers 2 and 4 sandwiching the photoelectric conversion layer 3, and a transparent electrode layer on the light incident side. 4, a light-transmitting surface protective film 7 formed on
The surface protection film 8 is formed on the back surface of the substrate 11.
The back electrode layer 2 and the transparent electrode layer 4 each have an output terminal 6
And a grid-like current collecting electrode 5 is provided on the transparent electrode layer 4 in order to efficiently collect current. Like the light-transmitting surface protective film 7, at least one of the surface protective films 8 includes a room-temperature-curable glass coating. This provides a solar cell 20 having a surface protective film that is excellent in moisture resistance and light transmission and has high production efficiency.

【0036】[0036]

【発明の効果】本発明によれば、常温硬化型のガラス被
膜からなる透光性表面保護膜が得られるので、高温焼成
によるクラックやピンホールの発生が防止され、それに
よって耐湿性に優れた太陽電池が提供される。さらに水
蒸気等に対するバリア機能が高く透明性の高い常温硬化
型のガラス被膜を選択することにより、太陽電池の光入
射側の保護膜として用いるために十分な透光性を得るこ
とができる。また、透光性表面保護膜が常温硬化型のガ
ラス被膜から形成されるので紫外線等による黄変がなく
長期に渡って透光性が維持される。さらに、真空装置や
高温焼成装置等の設備及びこれらを用いて行う各工程が
不要になり、透光性表面保護膜の成膜に要する設備コス
ト及び時間が節約され、それによって透光性表面保護膜
の生産効率が向上する。
According to the present invention, a light-transmitting surface protective film made of a cold-curable glass film can be obtained, so that cracks and pinholes due to high-temperature sintering are prevented, thereby providing excellent moisture resistance. A solar cell is provided. Further, by selecting a room-temperature-curable glass film having a high barrier function against water vapor and the like and high transparency, sufficient translucency for use as a protective film on the light incident side of the solar cell can be obtained. In addition, since the light-transmitting surface protective film is formed from a room-temperature-curable glass film, the light-transmitting property is maintained for a long period without yellowing due to ultraviolet rays or the like. Furthermore, equipment such as a vacuum apparatus and a high-temperature baking apparatus and each step performed using these equipment are not required, and the equipment cost and time required for forming the light-transmitting surface protective film are saved, whereby the light-transmitting surface protection The membrane production efficiency is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る、光入射側に透光性表面保護膜を
設けた太陽電池の断面模式図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a solar cell according to the present invention having a light-transmitting surface protective film on a light incident side.

【図2】本発明に係る、光入射側と、その逆側とに表面
保護膜を設けた太陽電池モジュールの断面模式図であ
る。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a solar cell module according to the present invention in which a surface protective film is provided on the light incident side and on the opposite side.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 太陽電池用基板 2 裏面電極層 3 光電変換層 4 透明電極層 5 集電電極 6 出力端子 7 透光性表面保護膜 8 表面保護膜 10 太陽電池 20 太陽電池 REFERENCE SIGNS LIST 1 solar cell substrate 2 back electrode layer 3 photoelectric conversion layer 4 transparent electrode layer 5 current collecting electrode 6 output terminal 7 translucent surface protective film 8 surface protective film 10 solar cell 20 solar cell

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光電変換層を有する太陽電池であって、
単層または複数層からなる透光性表面保護膜を備え、そ
の透光性表面保護膜が少なくとも光入射側の表面に常温
硬化型のガラス被膜を備えてなる太陽電池。
1. A solar cell having a photoelectric conversion layer,
A solar cell comprising a light-transmitting surface protective film composed of a single layer or a plurality of layers, wherein the light-transmitting surface protective film comprises a cold-curable glass coating on at least the surface on the light incident side.
【請求項2】 常温硬化型のガラス被膜が、Al
2 3 、TiO2 、ZrO 2 のうちの少なくとも1つの
金属の酸化物を含む請求項1に記載の太陽電池。
2. The cold-curable glass coating is made of Al
TwoOThree, TiOTwo, ZrO TwoAt least one of
The solar cell according to claim 1, comprising a metal oxide.
【請求項3】 常温硬化型のガラス被膜が、0.1〜1
0μmの厚みを有する請求項1または2に記載の太陽電
池。
3. The cold-curable glass coating is 0.1-1.
The solar cell according to claim 1, having a thickness of 0 μm.
【請求項4】 透光性表面保護膜が、波長400〜12
00nmの範囲の光に対して90%以上の光透過率を有
する請求項1〜3のいずれか1つに記載の太陽電池。
4. A light-transmitting surface protective film having a wavelength of 400 to 12
The solar cell according to any one of claims 1 to 3, which has a light transmittance of 90% or more for light in a range of 00 nm.
【請求項5】 光電変換層が、非晶質半導体層または微
結晶半導体層である請求項1〜4のいずれか1つに記載
の太陽電池。
5. The solar cell according to claim 1, wherein the photoelectric conversion layer is an amorphous semiconductor layer or a microcrystalline semiconductor layer.
【請求項6】 光電変換層が、アモルファスシリコン層
または微結晶シリコン層である請求項5に記載の太陽電
池。
6. The solar cell according to claim 5, wherein the photoelectric conversion layer is an amorphous silicon layer or a microcrystalline silicon layer.
【請求項7】 光電変換層を有する太陽電池の少なくと
も光入射側の表面の上に常温硬化型のガラス被膜からな
る透光性表面保護膜を形成する太陽電池の製造方法にお
いて、ガラス被膜がオルガノポリシロキサンを常温で脱
水縮合させて硬化することにより形成する工程を含むこ
とを特徴とする太陽電池の製造方法。
7. A method for manufacturing a solar cell, comprising forming a light-transmitting surface protective film made of a room-temperature-curable glass film on at least a light-incident side surface of a solar cell having a photoelectric conversion layer. A method for producing a solar cell, comprising a step of forming a polysiloxane by dehydration-condensation and curing at room temperature.
【請求項8】 ガラス被膜が、オルガノポリシロキサン
をエアレススプレーにより塗布し、硬化させることによ
り形成される請求項7に記載の太陽電池の製造方法。
8. The method for manufacturing a solar cell according to claim 7, wherein the glass coating is formed by applying and curing an organopolysiloxane by airless spray.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012064767A (en) * 2010-09-16 2012-03-29 Fuji Electric Co Ltd Solar battery module
JP2021512508A (en) * 2018-02-08 2021-05-13 フォトン テクノロジー (クンシャン) カンパニー リミテッドPhoton Technology (Kunshan) Co., Ltd Power generation building materials and their manufacturing methods

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