JP2000235171A - Optical frequency filter - Google Patents

Optical frequency filter

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JP2000235171A
JP2000235171A JP11035240A JP3524099A JP2000235171A JP 2000235171 A JP2000235171 A JP 2000235171A JP 11035240 A JP11035240 A JP 11035240A JP 3524099 A JP3524099 A JP 3524099A JP 2000235171 A JP2000235171 A JP 2000235171A
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optical frequency
optical
filter
light
waveguide grating
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Hiroyuki Ishii
啓之 石井
Masaki Kamitoku
正樹 神徳
Yasuo Shibata
泰夫 柴田
Yuzo Yoshikuni
裕三 吉國
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress an increase of the number of control electrodes even when the number of selectable optical frequencies are increased by serially connecting two optical frequency filter parts, equalizing both channel frequency intervals and differentiating a free spectral range(FSR) only by channel interval. SOLUTION: A first optical frequency selection filter part 1 and a second optical frequency selection filter part 2 are arranged tow stages serially on the same InP semiconductor substrate. The channel frequency intervals of the preceding stage and the poststage are made equal, and the FSRs are made so as to become values different only by channel interval. When a beam is transmitted through two stages of optical frequency selection filter parts, a thing multiplying both transmission characteristics with each other becomes the characteristic of the whole optical frequency filter. By selecting a combination between an optical gate switch transmission-operating of the optical frequency filter part 1 of the preceding stage and the optical gate switch transmission-operating of the optical frequency filter part 2 of the poststage, the number of optical frequencies selectable with the less number of electrodes are remarkably increased.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光周波数フィルタ
に関する。詳しくは、光通信、光交換、光情報処理、光
計測等に用いられる集積型光周波数フィルタに関するも
のである。
[0001] The present invention relates to an optical frequency filter. More specifically, the present invention relates to an integrated optical frequency filter used for optical communication, optical switching, optical information processing, optical measurement, and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】大容量の通信を実現するために、1本の
光ファイバに複数の異なる光周波数(波長)からなる光
信号を多重化して伝送する波長多重光通信の開発が現在
盛んに行われている。複数の光周波数からなる多重化さ
れた光信号の中から、特定の光周波数(波長)の光信号
のみを選択的に取り出すことのできる光周波数フィルタ
は、光アド・ドロップ装置、光クロスコネクト装置、光
交換機を実現する上で欠かせないものである。
2. Description of the Related Art In order to realize large-capacity communication, wavelength multiplexing optical communication for multiplexing and transmitting optical signals having a plurality of different optical frequencies (wavelengths) on a single optical fiber is being actively developed. Have been done. An optical frequency filter capable of selectively extracting only an optical signal of a specific optical frequency (wavelength) from a multiplexed optical signal composed of a plurality of optical frequencies is an optical add / drop device, an optical cross connect device. It is indispensable for realizing an optical switch.

【0003】1対のアレイ導波路格子フィルタと光ゲー
トスイッチとを集積した光周波数フィルタは、電気的な
信号のON/OFFにより、デジタル的に、且つ、高速
に光周波数を選択できるため、このような用途に適した
フィルタとして有望視されている。InP半導体基板上
に1対のアレイ導波路格子フィルタと半導体アンプ・ゲ
ート・スイッチとを集積化した光周波数フィルタの既報
告例として、M.Zirngible他(IEEEフォトニクス・
テクノロジー・レターズvol.6, pp.513-515.1994)によ
るものがある。ここで、図面を用いて、従来の光周波数
フィルタの動作特性について説明する。
An optical frequency filter in which a pair of arrayed waveguide grating filters and an optical gate switch are integrated can digitally and quickly select an optical frequency by turning on / off an electrical signal. Promising as a filter suitable for such applications. As a reported example of an optical frequency filter in which a pair of an arrayed waveguide grating filter and a semiconductor amplifier / gate switch are integrated on an InP semiconductor substrate, M. Zirngible et al. (IEEE Photonics.
Technology Letters vol.6, pp.513-515.1994). Here, the operating characteristics of the conventional optical frequency filter will be described with reference to the drawings.

【0004】図3は8チャネルの光周波数フィルタを上
面から眺めたときの構成を模式的に描いたものである。
このフィルタは、アレイ導波路格子分波器10、アレイ
導波路格子合波器11及び半導体アンプ・アレイ12の
3領域をInP基板24上に構成したものである。光導
波路は、InP基板上に形成されており、バンドギャッ
プ波長1050nmのInGaAsPコア層がInPクラッ
ド層により挟みこまれた構造となっている。
FIG. 3 schematically illustrates a configuration when an optical frequency filter of eight channels is viewed from above.
In this filter, three regions of an arrayed waveguide grating splitter 10, an arrayed waveguide grating multiplexer 11, and a semiconductor amplifier array 12 are formed on an InP substrate 24. The optical waveguide is formed on an InP substrate, and has a structure in which an InGaAsP core layer having a bandgap wavelength of 1050 nm is sandwiched between InP cladding layers.

【0005】よって、波長1550nm(光周波数:〜
193THz)付近の光に対しては透明であり、InP
に比して屈折率の高いInGaAsP層に光は閉じこめら
れ、導波路パタンに沿って光は伝搬していく。従って、
入射光25が第一のアレイ導波路格子分波器10の入力
導波路13に入射されると、入射光25は第一のスラブ
導波路14に導かれる。この第一のスラブ導波路14で
は、基板24と平行な方向には屈折率による閉じこめ効
果がないために、光はある角度をもって横に広がってい
く。この広がった光は、多数のアレイ導波路17に少し
づつ結合し、第二のスラブ導波路15に導かれる。
Therefore, a wavelength of 1550 nm (optical frequency: to
193 THz) and is transparent to light near InP.
The light is confined in the InGaAsP layer having a higher refractive index than that of the above, and the light propagates along the waveguide pattern. Therefore,
When the incident light 25 enters the input waveguide 13 of the first arrayed waveguide grating splitter 10, the incident light 25 is guided to the first slab waveguide 14. In the first slab waveguide 14, since there is no confinement effect by the refractive index in the direction parallel to the substrate 24, the light spreads at a certain angle. The spread light is gradually coupled to the large number of array waveguides 17 and guided to the second slab waveguide 15.

【0006】第二のスラブ導波路15中では光は収束
し、複数の出力導波路16のうちの1つの導波路に結合
する。ここで、アレイ導波路17の隣り合う導波路間に
は、長さにある一定の差が設けられている。このため、
第二のスラブ導波路15と出力導波路16との間の面内
で、どの位置に光が収束されるのかは、入力された光の
周波数に依存して変化することになる。例えば、ある周
波数f1の光が1番目の出力導波路16に結合したとす
ると、Δfだけ周波数の異なる光は隣の2番目の出力導
波路16に結合することになる。
The light converges in the second slab waveguide 15 and couples to one of the plurality of output waveguides 16. Here, a certain difference in length is provided between adjacent waveguides of the arrayed waveguide 17. For this reason,
The position where light is converged in the plane between the second slab waveguide 15 and the output waveguide 16 changes depending on the frequency of the input light. For example, if light of a certain frequency f 1 is coupled to the first output waveguide 16, light having a frequency different by Δf will be coupled to the adjacent second output waveguide 16.

【0007】即ち、第一のアレイ導波路格子分波器10
は、光周波数の異なる光を複数の出力導波路16に、周
波数に応じて振り分ける働きをする。一方、第二のアレ
イ導波路格子合波器11は、その入力導波路18と出力
導波路21を、第一のアレイ導波路格子分波器10の入
力導波路13と出力導波路16の配置を入れ替えた対称
形の構造となっている。よって、第二のアレイ導波路格
子合波器11は、上記第一のアレイ導波路格子分波器1
0の動作説明において、光が反対向きに進んでいく様子
を考えれば、その動作が理解できる。つまり、第二のア
レイ導波路格子合波器11は、分波された光を1つの導
波路に合波して出力光26とする働きをする。
That is, the first arrayed waveguide grating splitter 10
Functions to distribute light having different optical frequencies to the plurality of output waveguides 16 according to the frequency. On the other hand, the second arrayed waveguide grating multiplexer 11 is arranged such that its input waveguide 18 and output waveguide 21 are arranged in the same manner as the input waveguide 13 and output waveguide 16 of the first arrayed waveguide grating duplexer 10. It is a symmetrical structure with a replacement. Therefore, the second arrayed waveguide grating multiplexer 11 is provided with the first arrayed waveguide grating splitter 1.
In the description of the operation 0, the operation can be understood by considering how light travels in the opposite direction. That is, the second arrayed waveguide grating multiplexer 11 functions to multiplex the demultiplexed light into one waveguide to produce output light 26.

【0008】上記2つのアレイ導波路格子合波器、分波
器10,11の出力導波路と入力導波路の間には半導体
アンプ・アレイ12が形成されている。半導体アンプ・
アレイ12の導波路はバンドギャップ波長1550〜1
580nmのInGaAsPからなっており、電流が注入
されない場合には、1550nm付近の光は吸収され、
電流が注入されると、光は増幅される。即ち、半導体ア
ンプ・アレイ12は、電流ON/OFFにより、光を遮
断したり透過したりするゲート・スイッチとして作用す
る。従って、ある特定の半導体アンプに電流を流して光
を通過させることにより、第一のアレイ導波路格子分波
器10で分波された光の中から特定の波長だけを出力導
波路に導くことが可能となる。
[0008] A semiconductor amplifier array 12 is formed between the output waveguides and the input waveguides of the two arrayed waveguide grating multiplexers and demultiplexers 10 and 11. Semiconductor amplifier
The waveguide of the array 12 has a band gap wavelength of 1550-1.
It is made of 580 nm InGaAsP, and when no current is injected, light near 1550 nm is absorbed,
When current is injected, the light is amplified. That is, the semiconductor amplifier array 12 functions as a gate switch that blocks or transmits light depending on the current ON / OFF. Therefore, by passing a current through a specific semiconductor amplifier to pass light, it is possible to guide only a specific wavelength from the light split by the first arrayed waveguide grating splitter 10 to the output waveguide. Becomes possible.

【0009】この光周波数フィルタは、電気的に高速に
選択する光周波数を切り替えることができるという特徴
をもっている。ここで、アレイ導波路格子フィルタの設
計について以下に述べる。アレイ導波路格子フィルタの
ある特定の出力導波路から透過してくる光の周波数は、
周期的なものとなる。この周波数の周期はフリー・スペ
クトラル・レンジ(FSR)と呼ばれ、以下の式により
定まる。 FSR=c/(n・ΔL) …(1) ここで、cは光速、nはアレイ導波路の実効屈折率、Δ
Lは隣り合うアレイ導波路間の長さの差である。
This optical frequency filter is characterized in that the optical frequency selected electrically can be switched at a high speed. Here, the design of the arrayed waveguide grating filter will be described below. The frequency of light transmitted from a particular output waveguide of the arrayed waveguide grating filter is
It will be periodic. The period of this frequency is called a free spectral range (FSR) and is determined by the following equation. FSR = c / (n · ΔL) (1) where c is the speed of light, n is the effective refractive index of the arrayed waveguide, Δ
L is the difference in length between adjacent arrayed waveguides.

【0010】即ち、FSRはアレイ導波路間の長さの差
ΔLを設定することで、決定される。また、隣り合う出
力導波路間における透過周波数の差、即ちチャネル周波
数間隔Δfは出力導波路間の間隔とスラブ導波路の長
さ、FSRにより定めることができる。図3に示した例
では、チャネル周波数間隔Δfが20GHzで、チャネ
ル数(出力導波路数)が8、FSRが1.6THzとな
っており、FSRがチャネル周波数間隔のちょうどチャ
ネル数倍になるように設定されている。このフィルタ
は、200GHz間隔で配置された8つの多重化された
光信号から、任意の周波数の光のみを選択する光周波数
フィルタとして動作する。
That is, the FSR is determined by setting the length difference ΔL between the arrayed waveguides. Further, the difference in transmission frequency between adjacent output waveguides, that is, the channel frequency interval Δf can be determined by the interval between the output waveguides, the length of the slab waveguide, and the FSR. In the example shown in FIG. 3, the channel frequency interval Δf is 20 GHz, the number of channels (the number of output waveguides) is 8, the FSR is 1.6 THz, and the FSR is exactly the number of channels times the channel frequency interval. Is set to This filter operates as an optical frequency filter that selects only light of an arbitrary frequency from eight multiplexed optical signals arranged at intervals of 200 GHz.

【0011】ところが、上記従来技術においては、選択
できる光周波数の数を多くしていった場合、その数に比
例して、出力導波路数が多いアレイ導波路格子フィルタ
が必要になり、光ゲート数も多くなる。その結果、素子
のサイズが大きくなり、電極数が増してしまう。素子サ
イズの増大化は、単位ウェハから作ることのできる素子
数の低下、歩留まりの低下を招き、電極数の増加は、電
気配線をするためのワイヤリング工程の増加、制御回路
の大規模化を招くといった問題があった。さて、選択可
能な光周波数の数を増やす有効な手段としては、従来よ
り、光フィルタを多段に接続する方法がある。
However, in the above prior art, when the number of selectable optical frequencies is increased, an arrayed waveguide grating filter having a large number of output waveguides is required in proportion to the number of optical frequencies. The number also increases. As a result, the size of the element increases, and the number of electrodes increases. Increasing the element size causes a decrease in the number of elements that can be made from a unit wafer and a decrease in yield, and an increase in the number of electrodes leads to an increase in a wiring process for performing electric wiring and an increase in the scale of a control circuit. There was such a problem. As an effective means for increasing the number of selectable optical frequencies, there is a method of connecting optical filters in multiple stages.

【0012】図4にマッハーツェンダ・フィルタを2段
接続した構成の従来例を示す。マッハーツェンダ・フィ
ルタの場合も、光周波数に対して周期的に透過する特性
となる。透過周波数の周期、即ちFSRは、2本に分岐
した光導波路の長さの差によって決定され、その値は同
様に式(1)により計算される。この例では、第一のマ
ッハーツェンダ・フィルタ30のFSRが第二のマッハ
ーツェンダ・フィルタ31のFSRの2倍となるように
光導波路が設計されており、制御用電極32をON/O
FFすることにより、第一のマッハーツェンダ・フィル
タ30で大まかに入力光33の光周波数を選択し、第二
のマッハーツェンダ・フィルタ31でさらに細かく選択
して出力光34とすることより、選択可能な光周波数の
数を増やしている。
FIG. 4 shows a conventional example in which a Mach-Zehnder filter is connected in two stages. Also in the case of the Mach-Zehnder filter, it has a characteristic of transmitting periodically with respect to the optical frequency. The period of the transmission frequency, that is, the FSR is determined by the difference between the lengths of the two branched optical waveguides, and the value is similarly calculated by the equation (1). In this example, the optical waveguide is designed so that the FSR of the first Mach-Zehnder filter 30 is twice the FSR of the second Mach-Zehnder filter 31, and the control electrode 32 is turned on / off.
By performing FF, the optical frequency of the input light 33 is roughly selected by the first Mach-Zehnder filter 30, and the output light 34 is further finely selected by the second Mach-Zehnder filter 31. The number of selectable optical frequencies has been increased.

【0013】以上説明した2段構成の光フィルタにおい
て、マッハーツェンダ・フィルタのかわりに先に説明し
たアレイ導波路格子と光ゲート・スイッチにより構成さ
れる光周波数フィルタで置き換えたものは、容易に類推
することができる。即ち、第一のフィルタとしてFSR
が大きいアレイ導波路格子フィルタを用い、第二のフィ
ルタとしてFSRが小さいアレイ導波路格子フィルタを
用いれば、FSRが大きいアレイ導波路格子フィルタで
大まかに光周波数を選択し、FSRが小さいアレイ導波
路格子フィルタで細かく選択することが可能である。こ
れらのアレイ導波路格子フィルタのチャネル数をM,N
とすれば、M+Nの光ゲートの制御により、M×Nのチ
ャネル数の中から1つのチャネルを選択することがで
き、チャネル数が多くても制御する電極の数が少なくて
済むので、上述の問題を解決することが可能である(特
願平6−40657号)。
In the two-stage optical filter described above, the optical filter formed by the array waveguide grating and the optical gate switch described above instead of the Mach-Zehnder filter can be easily replaced. You can analogy. That is, FSR is used as the first filter.
If an array waveguide grating filter having a large FSR is used and an array waveguide grating filter having a small FSR is used as the second filter, an optical frequency is roughly selected by the array waveguide grating filter having a large FSR, and the array waveguide having a small FSR is selected. It is possible to select finely with a lattice filter. The number of channels of these arrayed waveguide grating filters is M, N
By controlling the M + N optical gate, one channel can be selected from the number of M × N channels, and the number of electrodes to be controlled can be reduced even if the number of channels is large. It is possible to solve the problem (Japanese Patent Application No. 6-40657).

【0014】ところが、上述のように、アレイ導波路格
子とゲートを用いた光周波数フィルタを2段接続し、且
つ、FSRを大きく異なるものとした構成のフィルタで
は、光周波数選択特性にいくつかの問題を生じてしま
う。これを図面を用いて以下に説明する。図5は第一の
光周波数フィルタのFSRが第二のそれの4倍となるよ
うに設計した2段構成のフィルタの透過特性を示したも
のである。図5(a)、図5(b)、図5(c)はそれ
ぞれ、第一のフィルタ、第二のフィルタ、及び2段合わ
せたフィルタの透過特性を示している。
However, as described above, in a filter having a configuration in which an optical frequency filter using an arrayed waveguide grating and a gate is connected in two stages and the FSR is greatly different, some optical frequency It creates problems. This will be described below with reference to the drawings. FIG. 5 shows the transmission characteristics of a two-stage filter designed so that the FSR of the first optical frequency filter is four times that of the second optical frequency filter. FIGS. 5A, 5B, and 5C show the transmission characteristics of the first filter, the second filter, and the two-stage combined filter, respectively.

【0015】ここで、第一のフィルタで周波数チャネル
A1を選択し、第二のフィルタでチャネルB3を選択す
れば、図5(c)でA1&B3で示される特性となる。
この場合、光周波数の分解能は、FSRの小さく、チャ
ネル間隔の狭い第二のフィルタの分解能に依存すること
になる。このように、このフィルタは一見うまく動作す
るように思えるが、次のような問題がある。第一のフィ
ルタで周波数チャネルA1を選択し、第二のフィルタで
チャネルB1を選択した場合を考えると、チャネルB1
はチャネルA1の帯域の端に位置しているため、チャネ
ルA1の透過率の変化が大きく変化するところにある。
Here, if the frequency channel A1 is selected by the first filter and the channel B3 is selected by the second filter, the characteristic shown by A1 & B3 in FIG. 5C is obtained.
In this case, the resolution of the optical frequency depends on the resolution of the second filter having a small FSR and a narrow channel interval. Thus, while this filter seems to work well, it has the following problems: Consider the case where frequency channel A1 is selected by the first filter and channel B1 is selected by the second filter.
Is located at the end of the band of the channel A1, so that the change in the transmittance of the channel A1 is greatly changed.

【0016】このため、図5(c)のA1&B1で示す
ように、フィルタ全体の透過特性としては、透過率が小
さくなってしまうとともに、透過率の最大となる周波数
もチャネルB1の透過ピークからずれたものとなる。即
ち、単にFSRの異なるフィルタを2段にした構成のフ
ィルタでは、選択するチャネルによって、透過率が変化
し、透過周波数が等間隔でないものになってしまうとい
う問題がある。
As a result, as shown by A1 & B1 in FIG. 5 (c), the transmission characteristics of the entire filter are such that the transmittance is reduced and the frequency at which the transmittance is maximized is shifted from the transmission peak of the channel B1. It will be. That is, in a filter having a configuration in which filters having different FSRs are simply provided in two stages, there is a problem that the transmittance changes depending on the selected channel, and the transmission frequencies are not equal intervals.

【0017】[0017]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
従来例における問題を解決し、選択できる光周波数の数
が増えても、制御電極数の増加が少なくて済み、なおか
つ、選択するチャネルを変えても透過特性の変化が少な
い光周波数フィルタを供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems in the prior art, and to reduce the number of control electrodes even when the number of selectable optical frequencies increases, and to select a channel to be selected. An object of the present invention is to provide an optical frequency filter in which a change in transmission characteristics is small even if the value is changed.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成する本
発明に係る光周波数フィルタは、第一及び第二の光周波
数選択フィルタ部が同一基板上に直列に配置されてなる
光周波数フィルタにおいて、前記光周波数選択フィルタ
部は、一本の入力導波路に入射した光を少なくとも二本
以上の出力導波路に異なる光周波数毎に分波する作用を
持つ第一のアレイ導波路格子フィルタと、その分波され
た光を1つの導波路に合波させる作用をもつ第二のアレ
イ導波路格子フィルタの間に、分波された光を透過又は
遮断させる光ゲート・スイッチを接続して構成され、前
記第一及び第二の光周波数選択フィルタ部中にそれぞれ
2つづつ形成されている前記アレイ導波路格子フィルタ
において、隣り合う出力導波路若しくは入力導波路間に
分波若しくは合波される光周波数の差(いわゆる周波数
チャネル間隔)がすべての前記アレイ導波路格子フィル
タで等しくなるように導波路が配置され、且つ、第一の
光周波数選択フィルタ部で周期的に生じる透過光周波数
の間隔と第二の光周波数選択フィルタ部で周期的に生じ
る透過光周波数の間隔とが前記光周波数の差だけ異なる
ように、第一の光周波数選択フィルタ部の2つのアレイ
導波路格子フィルタの隣り合うアレイ導波路間の長さの
差と、第二の光周波数選択フィルタ中の2つのアレイ導
波路格子フィルタの隣り合うアレイ導波路間の長さの差
とが、異なる値になるように設定されていることを特徴
とする。
According to the present invention, there is provided an optical frequency filter comprising a first and a second optical frequency selection filter arranged in series on the same substrate. The optical frequency selection filter section, a first arrayed waveguide grating filter having the function of splitting light incident on one input waveguide into at least two or more output waveguides for each different optical frequency, An optical gate switch for transmitting or blocking the demultiplexed light is connected between a second arrayed waveguide grating filter having an action of multiplexing the demultiplexed light into one waveguide. In the arrayed waveguide grating filters formed two each in the first and second optical frequency selection filter sections, demultiplexing or multiplexing between adjacent output waveguides or input waveguides. The waveguides are arranged such that the difference in the optical frequencies (so-called frequency channel spacing) is equal in all the arrayed waveguide grating filters, and the transmission optical frequency periodically generated in the first optical frequency selection filter unit is reduced. Adjacent to the two arrayed waveguide grating filters of the first optical frequency selection filter unit, so that the interval and the interval between transmitted light frequencies periodically generated in the second optical frequency selection filter unit are different by the difference of the optical frequency. The difference in length between matching array waveguides and the difference in length between adjacent array waveguides of two array waveguide grating filters in the second optical frequency selection filter are set to be different values. It is characterized by having been done.

【0019】〔作用〕本発明においては、1対のアレイ
導波路格子と光ゲート・スイッチ・アレイにより構成さ
れる光周波数フィルタ部が直列に接続され、前段の光周
波数フィルタと後段の光周波数フィルタのチャネル周波
数間隔は等しくし、且つ、両者間でFSRがチャネル間
隔分だけ異なる値になるようにしたことが特徴である。
本発明による光周波数フィルタでは、前段の光周波数選
択フィルタの透過動作する光ゲート・スイッチと後段の
光周波数フィルタの透過動作する光ゲート・スイッチの
組み合わせを選ぶことにより、少ない電極数で選択でき
る光周波数の数を著しく増やすことが可能となる。
[Operation] In the present invention, an optical frequency filter section composed of a pair of arrayed waveguide gratings and an optical gate switch array is connected in series, and a preceding optical frequency filter and a subsequent optical frequency filter are arranged. Are characterized in that the channel frequency intervals are equal to each other, and the FSR is different between the two by the channel interval.
In the optical frequency filter according to the present invention, by selecting a combination of the optical gate switch that performs the transmission operation of the optical frequency selection filter in the preceding stage and the optical gate switch that performs the transmission operation of the optical frequency filter in the subsequent stage, the light that can be selected with a small number of electrodes The number of frequencies can be significantly increased.

【0020】以下に、その原理について説明する。第一
の光周波数選択フィルタとしてにチャネル数5、FSR
がチャネル間隔の5倍のアレイ導波路格子フィルタを用
い、第二の光周波数選択フィルタとしてチャネル数4、
FSRがチャネル間隔の4倍のアレイ導波路格子フィル
タを用い、且つ両者のチャネル間隔が等しい場合におけ
る各光周波数選択フィルタの透過特性を図2(a)、
(b)にそれぞれ示す。図2中に記された番号A1〜A
5、B1〜B4は、透過動作させる光ゲート・スイッチ
を表している。
The principle will be described below. 5 channels, FSR as first optical frequency selection filter
Uses an arrayed waveguide grating filter five times the channel spacing, and has four channels as a second optical frequency selection filter.
FIG. 2A shows the transmission characteristics of each optical frequency selection filter when the FSR uses an arrayed waveguide grating filter whose channel interval is four times the channel interval and the channel intervals of both are equal.
(B) shows each. Numbers A1 to A shown in FIG.
Reference numerals 5, B1 to B4 denote optical gate switches that perform a transmission operation.

【0021】即ち、光ゲート・スイッチA1及びB1を
透過動作させ、それ以外の光ゲート・スイッチは遮断動
作にある場合の透過分布は、実線で示すようなものとな
る。第一の光周波数選択フィルタ部では、光ゲート・ス
イッチA1を透過動作させることにより、チャネル間隔
5つおきに周期的に透過周波数帯が生じる。一方、第二
の光周波数選択フィルタ部では、光ゲート・スイッチB
1を透過動作させることにより、チャネル間隔4つおき
に周期的に透過周波数帯が生じる。2段の光周波数選択
フィルタ部に光を通した場合、両者の透過特性を掛け合
わせたものが、図2(c)に示す全体の光周波数フィル
タの透過特性となる。
That is, the transmission distribution when the optical gate switches A1 and B1 are operated in the transmission operation and the other optical gate switches are in the cutoff operation is as shown by the solid line. In the first optical frequency selection filter unit, a transmission frequency band is periodically generated at every five channel intervals by performing the transmission operation of the optical gate switch A1. On the other hand, in the second optical frequency selection filter section, the optical gate switch B
By performing the transmission operation of 1, a transmission frequency band is periodically generated at every fourth channel interval. When light passes through the two-stage optical frequency selection filter unit, the transmission characteristics of the two are multiplied by the transmission characteristics of the entire optical frequency filter shown in FIG.

【0022】よって、このフィルタの透過特性は、図2
(c)に示すように、20チャネル(=4×5)おきに
透過周波数帯が生じるものとなる。この光周波数フィル
タは20チャネルの中から任意の周波数を選択できるフ
ィルタとして用いることができる。前後の光周波数選択
フィルタの動作光ゲートの組み合わせを替えれば、他の
19チャネルの中から任意のチャネルを選択すること
は、これらの図より容易に理解することができる。
Therefore, the transmission characteristics of this filter are as shown in FIG.
As shown in (c), a transmission frequency band occurs every 20 channels (= 4 × 5). This optical frequency filter can be used as a filter that can select an arbitrary frequency from 20 channels. By changing the combination of the operation optical gates of the front and rear optical frequency selection filters, the selection of an arbitrary channel from the other 19 channels can be easily understood from these figures.

【0023】従来の1段構成の光周波数フィルタの構成
では、20チャネルの中から任意の周波数を選択できる
フィルタには20の光ゲート・スイッチの制御を要する
が、本構成のフィルタでは、9(=5+4)の光ゲート
・スイッチの制御をすればよく、電極数を著しく減少さ
せることがでさることがわかる。必要な周波数チャネル
の数がより大きくなればなるほど、本発明により、電極
数削減の効果が大きくなることは明らかである。
In the configuration of the conventional one-stage optical frequency filter, a filter capable of selecting an arbitrary frequency from among 20 channels requires control of 20 optical gate switches. = 5 + 4), it can be seen that the number of electrodes can be significantly reduced by controlling the optical gate switch. It is clear that the greater the number of required frequency channels, the greater the effect of the present invention in reducing the number of electrodes.

【0024】また、2段のフィルタのチャネル間隔が等
しい、即ち、分解能が等しいものを用いているので、選
択するチャネルを変えたときの透過率の変化は少なく、
透過周波数がずれるといったこともない。よって、本発
明のフィルタでは、単にFSRの異なるフィルタを2段
組み合わせたものでは得られない均一な透過特性となる
ことは明白である。なお、フィルタの分解能は、2段の
フィルタの特性を掛け合わせたものとなるので、より分
解能の高いフィルタ特性が得られることも、本発明によ
る構成のフィルタの特徴である。
Further, since filters having the same channel interval between the two stages of filters, that is, filters having the same resolution, are used, the change in transmittance when the selected channel is changed is small.
The transmission frequency does not shift. Therefore, it is clear that the filter of the present invention has a uniform transmission characteristic that cannot be obtained by simply combining filters having different FSRs in two stages. Since the resolution of the filter is obtained by multiplying the characteristics of the two-stage filter, it is a feature of the filter according to the present invention that a filter characteristic with higher resolution can be obtained.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】ここで、図1を参照して本発明の
実施の形態を説明する。図1は、第一の光周波数選択フ
ィルタ部1と第二の光周波数選択フィルタ部2とを同一
のInP半導体基板上に2段直列に配置した光周波数フ
ィルタを上部より模式的に示したものである。光周波数
選択フィルタ部1は8チャネル、光周波数選択フィルタ
部2は7チャネルである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Here, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 schematically shows, from above, an optical frequency filter in which a first optical frequency selecting filter unit 1 and a second optical frequency selecting filter unit 2 are arranged in two stages in series on the same InP semiconductor substrate. It is. The optical frequency selection filter unit 1 has eight channels, and the optical frequency selection filter unit 2 has seven channels.

【0026】InP半導体基板上には多数の光導波路が
形成されて、アレイ導波路格子フィルタ部分3,4,6
及び7の導波路のコア層は、バンドギャップ波長105
0nmのInGaAsPで形成されている。光ゲート・ス
イッチとして用いる半導体アンプ部5及び8の導波路層
の組成は、バンドギャップ波長1550〜1580nm
のInGaAsPである。波長1550nm(光周波数:
〜198THz)付近の光に対して、吸収、あるいは、
増幅作用を持つ。
A large number of optical waveguides are formed on the InP semiconductor substrate, and the arrayed waveguide grating filter portions 3, 4, 6
The core layers of the waveguides of FIGS.
It is formed of 0 nm InGaAsP. The composition of the waveguide layers of the semiconductor amplifier units 5 and 8 used as optical gate switches has a band gap wavelength of 1550 to 1580 nm.
Of InGaAsP. Wavelength 1550 nm (optical frequency:
198 THz), or absorb or
Has an amplifying effect.

【0027】半導体アンプ5及び8の下部に形成される
電極9と基板の裏面に形成される電極との間に電圧を制
御し、半導体アンプの導波路層に流れる電流をON/O
FF動作させることにより、光を透過/遮断の制御が行
われる。第一の光周波数選択フィルタ部1中のアレイ導
波路格子フィルタ3、及び4では、周波数チャネル間隔
100GHz、FSR800GHz、チャネル数8とな
るように、アレイ導波路、スラブ導波路、入出力導波路
が配置される。第二の光周波数選択フィルタ部2中のア
レイ導波路格子フィルタ6及び7では、周波数チャネル
間隔100GHz、FSR700GHz、チャネル数7
となるように、アレイ導波路、スラブ導波路、入出力導
波路が配置される。
The voltage is controlled between the electrode 9 formed below the semiconductor amplifiers 5 and 8 and the electrode formed on the back surface of the substrate, and the current flowing through the waveguide layer of the semiconductor amplifier is turned on / off.
The light transmission / blocking is controlled by the FF operation. In the array waveguide grating filters 3 and 4 in the first optical frequency selection filter unit 1, the array waveguide, the slab waveguide, and the input / output waveguide are set so that the frequency channel interval is 100 GHz, the FSR is 800 GHz, and the number of channels is 8. Be placed. In the arrayed waveguide grating filters 6 and 7 in the second optical frequency selection filter unit 2, the frequency channel interval is 100 GHz, the FSR is 700 GHz, and the number of channels is 7
The array waveguide, the slab waveguide, and the input / output waveguide are arranged such that

【0028】よって、このフィルタを用いることによ
り、周波数間隔100GHzで等間隔に配列した56の
光周波数成分を持つ光の中から、任意の1つの光を取り
出すことが可能である。取り出される光周波数と電流を
流して光を透過させる動作ゲートとの対応表を表1に示
す。この実施例では、第一の光周波数選択フィルタ部1
の動作ゲート1〜8と第二の光周波数選択フィルタ部2
の動作ゲート1〜7の組み合わせにより、191.0T
Hzから196.5THzまでの周波数範囲内の56周
波数チャネルから任意のチャネルの光を取り出すことが
できる。なお、制御しなければならない電極数は、15
となっている。
Therefore, by using this filter, it is possible to extract any one light from the light having 56 optical frequency components arranged at regular intervals at a frequency interval of 100 GHz. Table 1 shows a correspondence table between the extracted light frequency and the operation gate that transmits light by passing a current. In this embodiment, the first optical frequency selection filter unit 1
Operation gates 1 to 8 and second optical frequency selection filter unit 2
191.0 T by the combination of the operation gates 1 to 7
Light of an arbitrary channel can be extracted from 56 frequency channels within a frequency range from Hz to 196.5 THz. The number of electrodes that need to be controlled is 15
It has become.

【0029】[0029]

【表1】 [Table 1]

【0030】[0030]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、少
ない電極数の制御で選択できる光周波数(波長)の数を
著しく増加し、なおかつ、選択周波数を変えても透過率
や透過周波数のずれの少ない光周波数フィルタを実現す
ることが可能になる。
As described above, according to the present invention, the number of optical frequencies (wavelengths) that can be selected by controlling a small number of electrodes is remarkably increased. It is possible to realize an optical frequency filter with less deviation.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態を表す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram illustrating an embodiment of the present invention.

【図2】本発明による実施例において、図2(a)は光
周波数選択フィルタ部A1〜A5の透過スペクトル、図
2(b)は光周波数選択フィルタ部B1〜B4の透過ス
ペクトル、図2(c)は光周波数フィルタ全体の透過ス
ペクトルをそれぞれ表したグラフである。
2A is a transmission spectrum of the optical frequency selection filter units A1 to A5, FIG. 2B is a transmission spectrum of the optical frequency selection filter units B1 to B4, and FIG. c) is a graph showing the transmission spectrum of the entire optical frequency filter.

【図3】従来例の構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of a conventional example.

【図4】2段マッハーツェンダ・フィルタを示す構成図
である。
FIG. 4 is a configuration diagram showing a two-stage Mach-Zehnder filter.

【図5】FSRの異なる光周波数選択フィルタを2段に
した場合において、図5(a)は光周波数選択フィルタ
部A1,A2の透過スペクトル、図5(b)は光周波数
選択フィルタ部B1〜B4の透過スペクトル、図5
(c)は光周波数フィルタ全体の透過スペクトルを表し
たグラフである。
5 (a) shows transmission spectra of optical frequency selection filter units A1 and A2, and FIG. 5 (b) shows optical frequency selection filter units B1 to B2 when optical frequency selection filters having different FSRs are provided in two stages. Transmission spectrum of B4, FIG.
(C) is a graph showing the transmission spectrum of the entire optical frequency filter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 第一の光周波数選択フィルタ部 2 第二の光周波数選択フイルタ部 3,6 アレイ導波路格子分波器 4,7 アレイ導波路格子合波器 5,8 半導体アンプ(光ゲート・スイッチ) 9 光ゲート制御用電極 10 アレイ導波路格子分波器 11 アレイ導波路格子合波器 12 半導体アンプ・アレイ 13,18 入力光導波路 16,21 出力光導波路 14,15,19,20 スラブ導波路 17,22 アレイ導波路 23 光ゲート制御用電極 24 InP基板 25,33 入力光 26,34 出力光 30 第1のマッハーツェンダ・フィルタ 31 第2のマッハーツェンダ・フィルタ 32 制御用電極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st optical frequency selection filter part 2 2nd optical frequency selection filter part 3,6 Array waveguide grating splitter 4,7 Array waveguide grating multiplexer 5,8 Semiconductor amplifier (optical gate switch) 9 Electrode for controlling optical gate 10 Arrayed waveguide grating demultiplexer 11 Arrayed waveguide grating multiplexer 12 Semiconductor amplifier array 13, 18 Input optical waveguide 16, 21 Output optical waveguide 14, 15, 19, 20 Slab waveguide 17, Reference Signs List 22 array waveguide 23 optical gate control electrode 24 InP substrate 25, 33 input light 26, 34 output light 30 first Mach-Zehnder filter 31 second Mach-Zehnder filter 32 control electrode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柴田 泰夫 東京都新宿区西新宿三丁目19番2号 日本 電信電話株式会社内 (72)発明者 吉國 裕三 東京都新宿区西新宿三丁目19番2号 日本 電信電話株式会社内 Fターム(参考) 2H079 AA02 AA13 BA01 CA05 DA16 EA07 EB04 HA07 HA14 5F073 BA01 CA12 CB02 GA38  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Yasuo Shibata 3-19-2 Nishi Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo Japan Telegraph and Telephone Corporation (72) Inventor Yuzo Yoshikuni 3- 192-1 Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo No. Nippon Telegraph and Telephone Corporation F-term (reference) 2H079 AA02 AA13 BA01 CA05 DA16 EA07 EB04 HA07 HA14 5F073 BA01 CA12 CB02 GA38

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第一及び第二の光周波数選択フィルタ部
が同一基板上に直列に配置されてなる光周波数フィルタ
において、前記光周波数選択フィルタ部は、一本の入力
導波路に入射した光を少なくとも二本以上の出力導波路
に異なる光周波数毎に分波する作用を持つ第一のアレイ
導波路格子フィルタと、その分波された光を1つの導波
路に合波させる作用をもつ第二のアレイ導波路格子フィ
ルタの間に、分波された光を透過又は遮断させる光ゲー
ト・スイッチを接続して構成され、前記第一及び第二の
光周波数選択フィルタ部中にそれぞれ2つづつ形成され
ている前記アレイ導波路格子フィルタにおいて、隣り合
う出力導波路若しくは入力導波路間に分波若しくは合波
される光周波数の差がすべての前記アレイ導波路格子フ
ィルタで等しくなるように導波路が配置され、且つ、第
一の光周波数選択フィルタ部で周期的に生じる透過光周
波数の間隔と第二の光周波数選択フィルタ部で周期的に
生じる透過光周波数の間隔とが前記光周波数の差だけ異
なるように、第一の光周波数選択フィルタ部の2つのア
レイ導波路格子フィルタの隣り合うアレイ導波路間の長
さの差と、第二の光周波数選択フィルタ中の2つのアレ
イ導波路格子フィルタの隣り合うアレイ導波路間の長さ
の差とが、異なる値になるように設定されていることを
特徴とする光周波数フィルタ。
1. An optical frequency filter in which first and second optical frequency selection filter units are arranged in series on the same substrate, wherein the optical frequency selection filter unit includes a light incident on one input waveguide. A first arrayed waveguide grating filter having the function of splitting the light into at least two or more output waveguides for each different optical frequency, and a second array filter having an action of combining the split light into one waveguide. An optical gate switch for transmitting or blocking the demultiplexed light is connected between the two arrayed waveguide grating filters, two in each of the first and second optical frequency selection filter units. In the formed arrayed waveguide grating filter, the difference in optical frequency demultiplexed or multiplexed between adjacent output waveguides or input waveguides becomes equal in all the arrayed waveguide grating filters. The waveguide is arranged as described above, and the interval between the transmitted light frequencies periodically generated in the first optical frequency selection filter unit and the interval between the transmitted light frequencies periodically generated in the second optical frequency selection filter unit are the aforementioned. The difference in length between the adjacent array waveguides of the two array waveguide grating filters of the first optical frequency selection filter unit and the difference in the length of the two An optical frequency filter, wherein a difference in length between adjacent array waveguides of an arrayed waveguide grating filter is set to a different value.
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