JP2000230604A - Damping base plate - Google Patents
Damping base plateInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、電子顕微鏡、電子
線プローブマイクロアナライザ、核磁気共鳴装置、等で
使用される防振用ベースプレートに関する。The present invention relates to an anti-vibration base plate used in an electron microscope, an electron probe microanalyzer, a nuclear magnetic resonance apparatus, and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】前記電子顕微鏡等のような試料に対する
分析・観察・測定等の精密作業を行う装置では、顕微分
析用試料の水平面内および鉛直軸方向（光軸方向）等の
移動、回転等を高精度で行い、種々の方向から観察や分
析が行われる。前記装置や試料を支持するために使用さ
れるベースプレートに、外部からの振動（すなわち、外
乱）が伝達されると、前記分析・観察・測定用の装置や
試料等に振動が伝達されて、観察結果、分析結果等に悪
影響が生じる。また、前記分析・観察・測定等の精密作
業を行う装置は、非常に微細な部分の分析を行うため、
高精度に製作されている。このため、外部からの振動の
伝達は精密に調整された装置に誤差を発生させる原因と
なる。2. Description of the Related Art In an apparatus such as the electron microscope, which performs precision work such as analysis, observation, and measurement on a sample, movement, rotation, and the like of a sample for microanalysis in a horizontal plane and a vertical axis direction (optical axis direction). Is performed with high accuracy, and observation and analysis are performed from various directions. When an external vibration (that is, disturbance) is transmitted to the base plate used to support the device or the sample, the vibration is transmitted to the analysis, observation, or measurement device or the sample, and the observation is performed. As a result, adverse effects occur on the analysis results and the like. In addition, the apparatus for performing precision work such as the analysis, observation, measurement, etc., for analyzing very fine parts,
Manufactured with high precision. For this reason, the transmission of vibration from the outside causes an error in a precisely adjusted device.
【０００３】前記外乱要因としては次のようなものがあ
る。 （a）前記防振用ベースプレートが収容された建造物の
付近を通過する自動車による振動、（b）前記防振用ベ
ースプレートが収容された建造物の風による揺れ、およ
び、付近の高層建造物の風による揺れに基づく地面の揺
れ、（c）近くに配置された発電機等の振動源、従来、
前述の各外乱要因の悪影響を避けるため、前記ベースプ
レートに外部の振動が伝達されないようにする技術（す
なわち、振動の伝達を防止する防振技術）が種々提案さ
れている。The following are the causes of the disturbance. (A) vibration from an automobile passing near the building in which the base plate for vibration isolation is accommodated; (b) vibration of the building in which the base plate for vibration isolation is accommodated by wind, and the vicinity of a high-rise building (C) Vibration sources such as generators located near (c)
In order to avoid the adverse effects of the above-mentioned respective disturbance factors, various techniques for preventing external vibration from being transmitted to the base plate (that is, anti-vibration techniques for preventing transmission of vibration) have been proposed.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】図５は従来の防振技術
の説明図である。図６はベースプレートＰの一例の説明
図で、図６Ａは上面図、図６Ｂは前記図６ＡのＶIＢ−
ＶIＢ線断面図である。図５において、走査電子顕微鏡
等の装置０１は、架台０２上に支持された４個のバネ定
数の低い防振マウント０３と、前記防振マウント０３上
に支持された長方形のベースプレートＰと、前記ベース
プレートＰ上に支持された顕微鏡本体０４を有してい
る。ベースプレートＰはその外周辺にリブＰa（図６参
照）を有している。前記図５に示す従来の防振技術は、
振動吸収用または振動減衰用の防振マウント０３により
ベースプレートＰを支持して、前記ベースプレートＰに
振動が伝達されるのを防止する。FIG. 5 is an explanatory diagram of a conventional vibration damping technique. FIG. 6 is an explanatory view of an example of the base plate P, FIG. 6A is a top view, and FIG.
It is a VIB sectional view. In FIG. 5, an apparatus 01 such as a scanning electron microscope includes four anti-vibration mounts 03 supported on a gantry 02 and having a low spring constant, a rectangular base plate P supported on the anti-vibration mount 03, It has a microscope main body 04 supported on a base plate P. The base plate P has a rib Pa (see FIG. 6) around its outer periphery. The conventional anti-vibration technology shown in FIG.
The base plate P is supported by an anti-vibration mount 03 for absorbing or attenuating vibration to prevent transmission of vibration to the base plate P.
【０００５】ところが、外部音響にさらされた時、前記
べースプレートＰが音の入力により共振して機械振動を
引き起こし、結果として走査像に振動によるノイズが現
れることがある。この振動は前記防振マウント０３上の
ベースプレートＰ自体の固有振動（共振振動）である。
図７は前記図６に示すベースプレートＰに生じる１次モ
ード（固有振動モードの中で最も振動数の低い振動モー
ド）の共振振動の説明図である。図８は前記図６に示す
ベースプレートＰに生じる２次モード（固有振動モード
の中で２番目に振動数の低い振動モード）の共振振動の
説明図である。図９は前記図６に示すベースプレートＰ
に生じる３次モードの共振振動の説明図である。図７〜
図９から分かるようにベースプレートＰのコーナ部は比
較的大きい振幅で振動する。前記振幅の大きい部分の振
動を減衰することによりベースプレートＰ全体の振動を
減衰させることが可能となる。また、コーナ部を切除し
たベースプレートにおいてもコーナ部の切除部分に隣接
する部分の振動を減衰することによりベースプレートＰ
全体の振動を減衰させることが可能となる。However, when exposed to external sound, the base plate P resonates due to the input of sound, causing mechanical vibration, and as a result, noise due to vibration may appear in the scanned image. This vibration is a natural vibration (resonant vibration) of the base plate P itself on the vibration-proof mount 03.
FIG. 7 is an explanatory diagram of the resonance vibration of the primary mode (the vibration mode having the lowest frequency among the natural vibration modes) generated in the base plate P shown in FIG. FIG. 8 is an explanatory diagram of the resonance vibration of the secondary mode (the vibration mode having the second lowest frequency among the natural vibration modes) generated in the base plate P shown in FIG. FIG. 9 shows the base plate P shown in FIG.
FIG. 4 is an explanatory diagram of a third-order mode resonance vibration that occurs in FIG. FIG.
As can be seen from FIG. 9, the corner portion of the base plate P vibrates with a relatively large amplitude. By attenuating the vibration of the portion having the large amplitude, the vibration of the entire base plate P can be attenuated. Also, in the base plate from which the corner portion has been cut, the vibration of the portion adjacent to the cut portion of the corner portion is attenuated so that the base plate P
The whole vibration can be attenuated.
【０００６】本発明は前述の事情に鑑み、下記（Ｏ0
1），（Ｏ02）の記載内容を課題とする。 （Ｏ01）４つの側辺を有する略長方形状の平板の４個の
コーナ部または前記コーナ部を切除した切除部分に隣接
する部分の振動を減衰させること。 （Ｏ02）固有振動モードのうちの１次モード（固有振動
モードの中で最も振動数の低い振動モード）の固有振動
数が高い防振用ベースプレートを提供すること。The present invention has been made in view of the above circumstances, and has the following (O0
1) and (O02) are to be described. (O01) Attenuating vibrations at four corners of a substantially rectangular flat plate having four sides or at a part adjacent to a cut-off portion obtained by cutting the corner. (O02) To provide an anti-vibration base plate having a high natural frequency of a primary mode (a vibration mode having the lowest frequency among natural vibration modes) among natural vibration modes.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決す
るために案出した本発明を説明するが、本発明の要素に
は、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実
施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。ま
た、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する
理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明
の範囲を実施例に限定するためではない。Next, the present invention devised to solve the above-mentioned problems will be described. Elements of the present invention are used to facilitate correspondence with elements of the embodiments described later. , The reference numerals of the elements of the embodiment are enclosed in parentheses. The reason why the present invention is described in correspondence with the reference numerals of the embodiments described below is to facilitate understanding of the present invention and not to limit the scope of the present invention to the embodiments.
【０００８】（本発明）前記課題を解決するために、本
発明の防振用ベースプレートは、次の要件（Ａ01）〜
（Ａ03）を備えたことを特徴とする、（Ａ01）４つの側
辺を有する略長方形状の平板の４個のコーナ部または前
記コーナ部を切除した切除部分に隣接する部分の下面に
防振マウント連結部（２６，２７，２８，２９）が設け
られた平板状のベース本体（１１）、（Ａ02）前記平板
の４個のコーナ部分に隣接する部分の上面に支持された
弾性を有する損失係数の高いダンピング材（４６）、
（Ａ03）前記ダンピング材（４６）の上に支持された防
振用重量物（４７）。(The present invention) In order to solve the above-mentioned problems, the vibration-proof base plate of the present invention has the following requirements (A01) to
(A01) A vibration isolator is provided on the lower surface of four corner portions of a substantially rectangular flat plate having four sides or a portion adjacent to a cut portion obtained by cutting the corner portion. A flat base body (11) provided with mount connecting portions (26, 27, 28, 29), (A02) a loss having elasticity supported on the upper surface of a portion of the flat plate adjacent to four corner portions. High damping material (46),
(A03) An anti-vibration weight (47) supported on the damping material (46).
【０００９】（本発明の作用）前記構成を備えた本発明
の防振用ベースプレートでは、平板状のベース本体（１
１）は、４つの側辺を有する略長方形状の平板の４個の
コーナ部または前記コーナ部を切除した切除部分に隣接
する部分の下面に防振マウント連結部（２６，２７，２
８，２９）が設けられる。弾性を有する損失係数の高い
ダンピング材（４６）は、前記平板の４個のコーナ部分
に隣接する部分の上面に支持される。防振用重量物（４
７）は、前記ダンピング材（４６）の上に支持される。
前記ベース本体（１１）の４つの防振マウント連結部
（２６，２７，２８，２９）が振動した場合、前記防振
用重量物（４７）の慣性力のため前記ダンピング材（４
６）が前記ベース本体（１１）および防振用重量物（４
７）の間で伸縮され振動エネルギーを吸収する。したが
って、本発明の防振用ベースプレート（Ｐ）の振動が減
衰される。(Operation of the Present Invention) In the vibration-damping base plate of the present invention having the above-described structure, a flat base body (1) is provided.
1) A vibration isolating mount connecting portion (26, 27, 2) is provided on the lower surface of four corner portions of a substantially rectangular flat plate having four sides or a portion adjacent to a cut portion obtained by cutting the corner portion.
8, 29) are provided. An elastic, high loss coefficient damping material (46) is supported on the upper surface of the plate adjacent to the four corners. Vibration isolation weight (4
7) is supported on the damping material (46).
When the four anti-vibration mount connecting portions (26, 27, 28, 29) of the base body (11) vibrate, the damping material (4) is vibrated due to the inertial force of the anti-vibration weight (47).
6) is the base body (11) and the anti-vibration weight (4).
It is expanded and contracted between 7) and absorbs vibration energy. Therefore, the vibration of the anti-vibration base plate (P) of the present invention is attenuated.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】（実施の形態１）また、本発明の
実施の形態１の防振用ベースプレートは、前記本発明の
防振用ベースプレート（Ｐ）において、次の要件（Ａ0
4），（Ａ05）を備えたことを特徴とする、（Ａ04）４
つの側辺により形成される長方形状の平板の４個のコー
ナ部が切除され、前記切除された部分に隣接する部分の
下面に防振マウント連結部（２６，２７，２８，２９）
が設けられた前記平板状のベース本体（１１）、（Ａ0
5）前記ベース本体（１１）下面の前記４個の防振マウ
ント連結部（２６，２７，２８，２９）の内側に設けら
れるとともに、前記４個の各防振マウント連結部（２
６，２７，２８，２９）が同一形状とならないように前
記ベース本体（１１）下面の中心に対して非対称に構成
された枠状リブ（３１）および前記枠状リブ（３１）の
内側を連結する複数の連結リブ（４２，４３，４４，４
５）。(Embodiment 1) The vibration-damping base plate according to Embodiment 1 of the present invention is the same as the vibration-damping base plate (P) of the present invention except for the following requirements (A0).
(A04) 4 characterized by comprising (4), (A05).
Four corner portions of a rectangular flat plate formed by two side edges are cut off, and anti-vibration mount connecting portions (26, 27, 28, 29) are provided on the lower surface of a portion adjacent to the cut portion.
The flat base body (11) provided with
5) The base body (11) is provided inside the four anti-vibration mount connecting portions (26, 27, 28, 29) on the lower surface, and each of the four anti-vibration mount connecting portions (2
6, 27, 28, 29) are connected to the frame-shaped rib (31) and the inside of the frame-shaped rib (31) which are asymmetrically formed with respect to the center of the lower surface of the base body (11) so as not to have the same shape. Connecting ribs (42, 43, 44, 4)
5).
【００１１】（実施の形態１の作用）前記構成を備えた
本発明の実施の形態１の防振用ベースプレートでは、平
板状のベース本体（１１）は、４つの側辺により形成さ
れる長方形状の平板の４個のコーナ部が切除され、前記
切除された部分に隣接する部分の下面に防振マウント連
結部（２６，２７，２８，２９）が設けられる。前記ベ
ース本体（１１）下面の前記４個の防振マウント連結部
（２６，２７，２８，２９）の内側に設けられた複数の
連結リブ（４２，４３，４４，４５）は、前記４個の各
防振マウント連結部（２６，２７，２８，２９）が同一
形状とならないように前記ベース本体（１１）下面の中
心に対して非対称に構成された枠状リブ（３１）および
前記枠状リブ（３１）の内側を連結する。前記枠状リブ
（３１）を非対称にすることで、それぞれの防振マウン
ト連結部（２６，２７，２８，２９）の固有振動数をバ
ラバラにすることができる。このため、ある周波数にお
いて、４つの防振マウント連結部（２６，２７，２８，
２９）の平板がいっせいに振動することが避けられる。(Operation of Embodiment 1) In the base plate for vibration isolation according to Embodiment 1 of the present invention having the above-described configuration, the flat base body (11) has a rectangular shape formed by four sides. Four corner portions of the flat plate are cut off, and anti-vibration mount connecting portions (26, 27, 28, 29) are provided on the lower surface of a portion adjacent to the cut portion. The plurality of connecting ribs (42, 43, 44, 45) provided inside the four vibration-proof mount connecting portions (26, 27, 28, 29) on the lower surface of the base body (11) are the four Frame-shaped ribs (31) and frame-shaped ribs asymmetrically formed with respect to the center of the lower surface of the base body (11) so that the respective vibration-proof mount connecting portions (26, 27, 28, 29) do not have the same shape. The inside of the rib (31) is connected. By making the frame-shaped rib (31) asymmetric, the natural frequencies of the respective vibration-proof mount connecting portions (26, 27, 28, 29) can be made different. For this reason, at a certain frequency, the four anti-vibration mount connectors (26, 27, 28,
It is possible to prevent the flat plate of 29) from vibrating at the same time.
【００１２】[0012]
【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の実施例の
防振用ベースプレートを説明するが、本発明は以下の実
施例に限定されるものではない。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an exploded perspective view of a base plate for vibration isolation according to an embodiment of the present invention; however, the present invention is not limited to the following embodiment.
【００１３】（実施例１）図１は本発明の防振用ベース
プレートの実施例１を使用したＳＥＭ（ScaningElectro
n Microscope、走査型電子顕微鏡）の全体説明図であ
る。図１において、走査電子顕微鏡等の装置１は、架台
２上に支持された４個のバネ定数の低い防振マウント３
と、前記防振マウント３上に支持された防振用のベース
プレートＰと、前記ベースプレートＰ上に支持された顕
微鏡本体４を有している。前記顕微鏡本体４には排気管
６が接続されている。(Embodiment 1) FIG. 1 is a scanning electron microscope (SEM) using a base plate for vibration isolation according to Embodiment 1 of the present invention.
1 is an overall explanatory diagram of an “n Microscope, a scanning electron microscope”. In FIG. 1, an apparatus 1 such as a scanning electron microscope includes four anti-vibration mounts 3 supported on a gantry 2 and having a low spring constant.
A base plate P for vibration isolation supported on the vibration isolation mount 3 and a microscope main body 4 supported on the base plate P. An exhaust pipe 6 is connected to the microscope main body 4.
【００１４】図２は前記図１の防振用ベースプレートの
説明図で、図２Ａは上面図、図２Ｂは前記図２ＡのIIＢ
−IIＢ線断面図である。図２において、防振用のベース
プレートＰは、平板状のベース本体１１を有している。
平板状のベース本体１１は、４つの側辺により形成され
る長方形状（前後の側辺＝８００ｍｍ、左右の側辺９０
０ｍｍ）の平板の４個のコーナ部が切除された形状をし
ている。前記切除部分の形状は直角２等辺３角形であり
その２等辺の各長さは１１５ｍｍである。したがって、
前記ベース本体１１は、前後左右の各側辺１２，１３，
１４，１５と、前側の左右の斜辺１６，１７と、後側の
左右の斜辺１８，１９とを有している。FIG. 2 is an explanatory view of the anti-vibration base plate of FIG. 1. FIG. 2A is a top view, and FIG. 2B is IIB of FIG. 2A.
It is a IIB sectional view. In FIG. 2, the base plate P for vibration isolation has a flat base body 11.
The flat base body 11 has a rectangular shape (front and rear sides = 800 mm, left and right sides 90) formed by four sides.
0 mm) flat plate with four corners cut away. The shape of the cut portion is a right-angled isosceles triangle, and each length of the isosceles is 115 mm. Therefore,
The base body 11 includes front, rear, left and right sides 12, 13,.
14 and 15, front left and right oblique sides 16 and 17, and rear left and right oblique sides 18 and 19.
【００１５】前記前後の各側辺１２，１３の長さは５７
０（＝８００−１１５×２）ｍｍ、前記左右の各側辺１
４，１５の長さは６７０（＝９００−１１５×２）ｍ
ｍ、前記各斜辺１６〜１９の長さは１６３（＝１１５×
２1/2）ｍｍである。したがって、前記長方形の前後の
側辺の長さ８００ｍｍに対する切除された部分の長さ２
３０（１１５×２）ｍｍの割合は２９％であり、前記長
方形の左右の側辺の長さ９００ｍｍに対する切除された
部分の長さ２３０（１１５×２）ｍｍの割合は２５％で
ある。すなわち、前記各斜辺１６〜１９を形成する際に
前記切除前の長方形の各側辺の長さ８００ｍｍまたは９
００ｍｍに対する切除された前記側辺の長さ２３０（＝
１１５×２）ｍｍの割合を２５％以上とすることによ
り、前記ベース本体１１の中心から離れた部分の質量を
減少させてねじり振動の固有振動数を高めることができ
る。The length of each of the front and rear sides 12, 13 is 57
0 (= 800-115 × 2) mm, each of the left and right sides 1
The length of 4,15 is 670 (= 900-115 × 2) m
m, the length of each of the oblique sides 16 to 19 is 163 (= 115 ×
2 1/2 ) mm. Therefore, the length 2 of the cut portion with respect to the length 800 mm of the front and rear sides of the rectangle is 2 mm.
The ratio of 30 (115 × 2) mm is 29%, and the ratio of the length of the cut portion 230 (115 × 2) mm to the length of 900 mm on the left and right sides of the rectangle is 25%. That is, when forming each of the oblique sides 16 to 19, the length of each side of the rectangle before the resection is 800 mm or 9 mm.
The length 230 of the cut-out side to 00 mm (=
By setting the ratio of 115 × 2) mm to 25% or more, it is possible to reduce the mass of the portion of the base body 11 away from the center and increase the natural frequency of the torsional vibration.
【００１６】前記斜辺１６〜１９に隣接して前記ベース
本体１１下面に防振マウント連結部２６，２７，２８，
２９が設けられている。前記各防振マウント連結部２
６，２７，２８，２９には防振マウント３（図１参照）
が連結される。On the lower surface of the base body 11 adjacent to the oblique sides 16 to 19, anti-vibration mount connecting portions 26, 27, 28,
29 are provided. Each anti-vibration mount connecting part 2
Anti-vibration mount 3 for 6, 27, 28 and 29 (see Fig. 1)
Are linked.
【００１７】前記ベース本体１１下面の前記４個の防振
マウント連結部２６〜２９の内側には枠状リブ３１が設
けられている。枠状リブ３１は、前記各側辺１２〜１５
にそれぞれ平行に設けられた側辺リブ３２〜３５と、前
記各斜辺１６〜１９に平行に且つ対向して配置された斜
辺対向リブ３６〜３９を有している。前記斜辺対向リブ
３６〜３９のうち対向する一対の斜辺対向リブ３６，３
９および３７，３８はそれぞれ第１斜辺対向リブ３６，
３９および第２斜辺対向リブ３７，３８を構成してい
る。そして、第１斜辺対向リブ３６，３９と第２斜辺対
向リブ３７，３８とは互いに垂直に配置されている。A frame-shaped rib 31 is provided on the lower surface of the base body 11 inside the four vibration-proof mount connecting portions 26 to 29. The frame-shaped ribs 31 are provided on the respective sides 12 to 15.
Have side ribs 32 to 35 provided in parallel with each other, and oblique side opposing ribs 36 to 39 arranged in parallel with and opposed to the oblique sides 16 to 19, respectively. A pair of opposing oblique side ribs 36, 3 of the oblique side opposing ribs 36-39
9 and 37, 38 are the first hypotenuse facing ribs 36,
39 and the second oblique side opposing ribs 37 and 38. The first oblique side opposing ribs 36 and 39 and the second oblique side opposing ribs 37 and 38 are arranged perpendicular to each other.
【００１８】前記側辺リブ３２〜３５および斜辺対向リ
ブ３６〜３９により形成される前記枠状リブ３１は、前
記４個の各防振マウント連結部２６〜２９が同一形状と
ならないように前記ベース本体１１下面の中心に対して
非対称に構成されている。また、前記各斜辺対向リブ３
６〜３９は、各斜辺１６〜１９との間に防振マウント連
結部２６〜２９を形成するために前記各斜辺１６〜１９
から離れた位置に形成されている。したがって、前記斜
辺対向リブ３６〜３９の長さは前記側辺に比べて長く形
成されており、前記斜辺対向リブ３６〜３９の長さの合
計は側辺リブ３２〜３５の長さの合計よりも長く形成さ
れている。なお、前記斜辺対向リブ３６〜３９およびそ
の両端を接続する前記側辺リブ３２〜３５は、４５°の
角度で交差して連結されている。The frame-like ribs 31 formed by the side ribs 32 to 35 and the oblique side opposing ribs 36 to 39 are provided on the base so that the four vibration-proof mount connecting portions 26 to 29 do not have the same shape. It is configured asymmetrically with respect to the center of the lower surface of the main body 11. Further, each of the oblique side opposing ribs 3
6 to 39 are provided to form the anti-vibration mount connecting portions 26 to 29 between the oblique sides 16 to 19, respectively.
It is formed at a position away from. Therefore, the lengths of the oblique side opposing ribs 36 to 39 are formed longer than the side sides, and the total length of the oblique side opposing ribs 36 to 39 is greater than the total length of the side side ribs 32 to 35. Are also long. The oblique side facing ribs 36 to 39 and the side side ribs 32 to 35 connecting both ends thereof are connected to each other at an angle of 45 °.
【００１９】前記枠状リブ３１（側辺リブ３２〜３５＋
斜辺対向リブ３６〜３９）の内側には、前記枠状リブ３
１の内側を連結する複数の連結リブ４２〜４５が設けら
れている。前記連結リブ４２〜４５はそれぞれ、前記側
辺１２〜１５に平行に配置され且つ両端が前記斜辺対向
リブ３６〜３９に連結されている。なお、前記ベース本
体１１、前記枠状リブ３１および連結リブ４２〜４５の
材質および各種寸法は次のとおりである。 ベース本体の材料＝（Ｅ＝１×１０4ｋｇｆ／ｍｍ2、密
度ρ＝７.８５ｇ／ｃｍ3） コーナ部切除前のベース本体サイズ（縦×横×厚さ）＝
９００×８００×２０（ｍｍ） コーナ部切除後のベース本体サイズ：縦＝６７０ｍｍ、
横＝５７０ｍｍThe frame-shaped rib 31 (side ribs 32 to 35+
Inside the hypotenuse-facing ribs 36 to 39), the frame-shaped ribs 3 are provided.
A plurality of connecting ribs 42 to 45 for connecting the inside of one are provided. The connection ribs 42 to 45 are arranged in parallel with the side sides 12 to 15, and both ends are connected to the oblique side opposing ribs 36 to 39, respectively. The materials and various dimensions of the base body 11, the frame-shaped rib 31, and the connection ribs 42 to 45 are as follows. Material of base body = (E = 1 × 10 4 kgf / mm 2 , density ρ = 7.85 g / cm 3 ) Base body size (vertical × horizontal × thickness) before corner excision =
900 x 800 x 20 (mm) Base body size after corner resection: length = 670 mm,
Side = 570mm
【００２０】図３は前記図２の要部拡大説明図であり、
図３Ａは前記図２Ａの要部拡大図、図３Ｂは前記図３Ａ
の矢印IIIＢから見た図である。前記ベース本体１１の
長方形状の平板の４個のコーナ部が切除された部分に隣
接する部分の上面には弾性を有する損失係数の高い複数
の板状のダンピング材４６が支持されている。前記複数
の各ダンピング材４６の上面により１枚の鉄板（防振用
重量物）４７が支持されている。FIG. 3 is an enlarged explanatory view of a main part of FIG.
3A is an enlarged view of a main part of FIG. 2A, and FIG.
FIG. 3 is a diagram viewed from an arrow IIIB of FIG. A plurality of plate-like damping members 46 having elasticity and a high loss coefficient are supported on the upper surface of a portion adjacent to the portion where the four corner portions of the rectangular flat plate of the base body 11 are cut off. One iron plate (weight for vibration isolation) 47 is supported on the upper surface of each of the plurality of damping members 46.
【００２１】（実施例１の作用）図４は本発明の実施例
１が奏する作用効果の説明図で、図４Ａはリブ無しの長
方形状のベースプレートのねじれモードの説明図、図４
Ｂは前記長方形の４つのコーナ部を切除し且つ枠状リブ
を設けたベースプレートを示す図、図４Ｃはリブに囲ま
れた部分のねじれモードの説明図、図４Ｄは前記図４Ｃ
で囲まれた部分のねじれ剛性を高めるために枠状リブの
内側に連結リブを設けた図である。(Operation of Embodiment 1) FIG. 4 is an explanatory view of the operation and effect of the embodiment 1 of the present invention. FIG. 4A is an explanatory view of a torsion mode of a rectangular base plate without ribs.
FIG. 4B is a view showing a base plate in which the four corners of the rectangle are cut off and provided with frame-shaped ribs, FIG. 4C is an explanatory view of a torsional mode of a portion surrounded by the ribs, and FIG.
FIG. 6 is a diagram in which connecting ribs are provided inside frame-shaped ribs in order to increase the torsional rigidity of a portion surrounded by.
【００２２】図４Ａの平板状のベースプレートのねじれ
モードは直交する第１直線Ｌ1および第２直線Ｌ2周りの
ねじれ振動である。図４Ｂに示すように、４つのコーナ
部を切除して中心から遠い部分の質量を減らすととも
に、外周部よりも内側に斜辺対向リブ３６〜３９を設け
て剛性を向上させると、前記図４Ａのベースプレートの
ねじれ振動の固有振動数を上げることができる。図４Ｃ
は前記４Ｂのベースプレートの枠状リブ３１に囲まれた
部分のねじれモードの説明図で、この場合のねじれモー
ドは直交する第３直線Ｌ3および第４直線Ｌ4周りのねじ
れ振動である。前記図４Ｄに示すように前記枠状リブ３
１内部に連結リブ４２〜４５を設けることにより前記図
４Ｃの部分のねじれ剛性を向上させて枠状リブのねじれ
モードの固有振動数をさらに上げることができる。The torsional mode of the flat base plate shown in FIG. 4A is torsional vibration about orthogonal first straight line L1 and second straight line L2. As shown in FIG. 4B, when the four corners are cut off to reduce the mass of a portion far from the center, and the oblique side opposing ribs 36 to 39 are provided inside the outer periphery to improve the rigidity, The natural frequency of the torsional vibration of the base plate can be increased. FIG. 4C
FIG. 4 is an explanatory view of a torsional mode of a portion surrounded by the frame-shaped rib 31 of the base plate 4B. In this case, the torsional mode is torsional vibration around the orthogonal third straight line L3 and fourth straight line L4. As shown in FIG. 4D, the frame-shaped rib 3
By providing the connecting ribs 42 to 45 inside 1, the torsional rigidity of the portion shown in FIG. 4C can be improved, and the natural frequency of the torsional mode of the frame-shaped rib can be further increased.
【００２３】以上の理由により実施例１の防振用ベース
プレートＰの１次モードの固有振動数は高くなる。この
ため、低い周波数での共振を避けることができる。これ
により、顕微鏡本体４に機械振動が伝わるのは、実質上
３番目の固有モード以降とすることが可能となり、平板
のみの場合と比較した時、低周波音響に対して非常に強
い系が得られる。また、比較的高い周波数においては、
防振マウント連結部２６〜２９がローカルに振動するモ
ードが見られるが、側辺リブ３２〜３５および斜辺対向
リブ３６〜３９により構成される枠状リブ３１を非対称
にすることで、それぞれの防振マウント連結部２６〜２
９の固有振動数をバラバラにすることにより、ある周波
数において、４つの防振マウント連結部２６〜２９の平
板がいっせいに振動し、大きく顕微鏡本体４を揺さぶっ
てしまうことを避けている。この非対称な構造は、この
ローカルモードの固有振動数付近で、単一周波数の鋭い
ピークを持つ音源が周囲に存在する設置室において有効
な手段となる。For the above reasons, the natural frequency of the primary mode of the vibration isolating base plate P of the first embodiment increases. Therefore, resonance at a low frequency can be avoided. As a result, mechanical vibration can be transmitted to the microscope main body 4 substantially after the third eigenmode, and a very strong system for low-frequency sound can be obtained as compared with the case of only a flat plate. Can be Also, at relatively high frequencies,
There is a mode in which the anti-vibration mount connecting portions 26 to 29 vibrate locally. Shaking mount connecting part 26-2
By making the natural frequencies of 9 different, it is possible to prevent the flat plates of the four anti-vibration mount connecting portions 26 to 29 from vibrating together at a certain frequency and to shake the microscope body 4 greatly. This asymmetric structure is an effective means in an installation room where a sound source having a sharp peak of a single frequency exists around the natural frequency of the local mode.
【００２４】前記ベース本体１１の長方形状の平板の４
個のコーナ部が切除された部分に隣接する部分の下面に
は前記防振マウント連結部２６〜２９が設けられてお
り、上面には弾性を有する損失係数の高い複数の板状の
ダンピング材４６を介して１枚の鉄板（防振用重量物）
４７が支持されている。このため、また前記ベース本体
１１の４つの防振マウント連結部２６〜２９が振動した
場合、前記鉄板（防振用重量物）４７の慣性力のため前
記ダンピング材４６が前記ベース本体１１および鉄板４
７の間で伸縮され振動エネルギーを吸収する。したがっ
て、ベースプレートＰの振動が減衰される。The rectangular flat plate 4 of the base body 11
The vibration isolating mount connecting portions 26 to 29 are provided on the lower surface of a portion adjacent to the portion where the corner portions have been cut off, and a plurality of plate-shaped damping members 46 having elasticity and a high loss coefficient are provided on the upper surface. One iron plate (weight for vibration isolation)
47 are supported. Therefore, when the four anti-vibration mount connecting portions 26 to 29 of the base body 11 vibrate, the damping material 46 is moved by the inertia force of the iron plate (vibration-proof heavy object) 47 to the base body 11 and the iron plate. 4
7 expands and contracts and absorbs vibration energy. Therefore, the vibration of the base plate P is attenuated.
【００２５】（変更例）以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記に例示する。(Modifications) Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, but falls within the scope of the present invention described in the appended claims. Thus, various changes can be made. Modified embodiments of the present invention will be exemplified below.
【００２６】（Ｈ01）本発明は走査型電子顕微鏡以外の
電子顕微鏡や精密作業を行う装置等の防振用ベースプレ
ートに適用可能である。(H01) The present invention is applicable to a vibration-proof base plate of an electron microscope other than the scanning electron microscope and a device for performing precision work.
【００２７】[0027]
【発明の効果】前述の本発明の防振用ベースプレート
は、下記の効果を奏することができる。 （Ｅ01）４つの側辺を有する略長方形状の平板の４個の
コーナ部または前記コーナ部を切除した切除部分に隣接
する部分の振動を減衰させることができる。 （Ｅ02）固有振動モードのうちの１次モード（固有振動
モードの中で最も振動数の低い振動モード）の固有振動
数が高い防振用ベースプレートを提供することができ
る。The anti-vibration base plate of the present invention has the following effects. (E01) Vibration at four corners of a substantially rectangular flat plate having four sides or a portion adjacent to a cut portion obtained by cutting the corners can be damped. (E02) It is possible to provide a vibration-proof base plate having a high natural frequency of a primary mode (a vibration mode having the lowest frequency among the natural vibration modes) among the natural vibration modes.
【図１】 図１は本発明の防振用ベースプレートの実施
例１を使用したＳＥＭ（Scaning Electron Microscop
e、走査型電子顕微鏡）の全体説明図である。FIG. 1 is an SEM (Scanning Electron Microscop) using a vibration-proof base plate according to a first embodiment of the present invention.
e, a scanning electron microscope).
【図２】 図２は前記図１の防振用ベースプレートの説
明図で、図２Ａは上面図、図２Ｂは前記図２ＡのIIＢ−
IIＢ線断面図である。FIG. 2 is an explanatory view of the anti-vibration base plate of FIG. 1, FIG. 2A is a top view, and FIG. 2B is IIB- of FIG. 2A.
It is IIB sectional drawing.
【図３】 図３は前記図２の要部拡大説明図であり、図
３Ａは前記図２Ａの要部拡大図、図３Ｂは前記図３Ａの
矢印IIIＢから見た図である。3 is an enlarged view of a main part of FIG. 2; FIG. 3A is an enlarged view of a main part of FIG. 2A; and FIG. 3B is a view seen from an arrow IIIB of FIG. 3A.
【図４】 図４は本発明の実施例１が奏する作用効果の
説明図で、図４Ａはリブ無しの長方形状のベースプレー
トのねじれモードの説明図、図４Ｂは前記長方形の４つ
のコーナ部を切除し且つ枠状リブを設けたベースプレー
トを示す図、図４Ｃはリブに囲まれた部分のねじれモー
ドの説明図、図４Ｄは前記図４Ｃで囲まれた部分のねじ
れ剛性を高めるために枠状リブの内側に連結リブを設け
た図である。FIG. 4 is an explanatory view of the operation and effect of the first embodiment of the present invention. FIG. 4A is an explanatory view of a torsion mode of a rectangular base plate without ribs, and FIG. 4B is a view showing four corners of the rectangle. FIG. 4C is an explanatory view of a torsional mode of a portion surrounded by the ribs, and FIG. 4D is a frame shape for increasing the torsional rigidity of the portion surrounded by FIG. 4C. It is the figure which provided the connection rib inside the rib.
【図５】 図５は従来の防振技術の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a conventional image stabilization technique.
【図６】 図６はベースプレートＰの一例の説明図で、
図６Ａは上面図、図６Ｂは前記図６ＡのＶIＢ−ＶIＢ線
断面図である。FIG. 6 is an explanatory view of an example of a base plate P,
6A is a top view, and FIG. 6B is a sectional view taken along the line VIB-VIB in FIG. 6A.
【図７】 図７は前記図６に示すベースプレートＰに生
じる１次モード（固有振動モードの中で最も振動数の低
い振動モード）の共振振動の説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram of a resonance vibration of a primary mode (a vibration mode having the lowest frequency among natural vibration modes) generated in the base plate P shown in FIG.
【図８】 図８は前記図６に示すベースプレートＰに生
じる２次モード（固有振動モードの中で２番目に振動数
の低い振動モード）の共振振動の説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram of a resonance vibration of a secondary mode (a vibration mode having the second lowest frequency among the natural vibration modes) generated in the base plate P shown in FIG. 6;
【図９】 図９は前記図６に示すベースプレートＰに生
じる３次モードの共振振動の説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram of a third-order mode resonance vibration generated in the base plate P shown in FIG. 6;
Ｐ…防振用ベースプレート、１１…ベース本体、２６〜
２９…防振マウント連結部、３１…枠状リブ、４２〜４
５…連結リブ、４６…ダンピング材、４７…防振用重量
物。P: anti-vibration base plate, 11: base body, 26-
29: anti-vibration mount connecting part, 31: frame-shaped rib, 42-4
5 ... connecting rib, 46 ... damping material, 47 ... heavy thing for vibration isolation.
Claims (2)
とを特徴とする防振用ベースプレート、（Ａ01）４つの
側辺を有する略長方形状の平板の４個のコーナ部または
前記コーナ部を切除した切除部分に隣接する部分の下面
に防振マウント連結部が設けられた平板状のベース本
体、（Ａ02）前記平板の４個のコーナ部分に隣接する部
分の上面に支持された弾性を有する損失係数の高いダン
ピング材、（Ａ03）前記ダンピング材の上に支持された
防振用重量物。An anti-vibration base plate having the following requirements (A01) to (A03), (A01) four corner portions of a substantially rectangular flat plate having four sides, or A flat base body having an anti-vibration mount connecting portion on the lower surface of a portion adjacent to the cut portion where the corner portion has been cut, (A02) supported on the upper surface of the portion of the flat plate adjacent to the four corner portions (A03) a damping material having elasticity and a high loss coefficient; and (A03) a vibration damping weight supported on the damping material.
とを特徴とする請求項１記載の防振用ベースプレート、
（Ａ04）４つの側辺により形成される長方形状の平板の
４個のコーナ部が切除され、前記切除された部分に隣接
する部分の下面に防振マウント連結部が設けられた前記
平板状のベース本体、（Ａ05）前記ベース本体下面の前
記４個の防振マウント連結部の内側に設けられるととも
に、前記４個の各防振マウント連結部が同一形状となら
ないように前記ベース本体下面の中心に対して非対称に
構成された枠状リブおよび前記枠状リブの内側を連結す
る複数の連結リブ。2. The anti-vibration base plate according to claim 1, wherein the following requirements (A04) and (A05) are provided.
(A04) The rectangular flat plate formed by the four sides is cut off at four corners, and a vibration-proof mount connecting portion is provided on the lower surface of a portion adjacent to the cut-out portion. A base body, (A05) provided inside the four anti-vibration mount connecting portions on the lower surface of the base body, and a center of the lower surface of the base main body such that the four anti-vibration mount connecting portions do not have the same shape; And a plurality of connecting ribs for connecting the inside of the frame-shaped rib asymmetrically to the frame-shaped rib.
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