JP2000226106A - Slide type transfer device - Google Patents
Slide type transfer deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、スライド式移載装
置に関し、特に、半導体や液晶等の生産設備、搬送台
車、自動倉庫等において、半導体や液晶等を搬送するた
めに使用される移載装置に好適に使用される、固定台上
に複数のスライド台を重ねて配設するとともに、直線案
内機構及び動力伝達機構を備えるようにしたスライド式
移載装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a slide type transfer apparatus, and more particularly to a transfer apparatus used for transferring semiconductors and liquid crystals in production facilities for semiconductors and liquid crystals, transport vehicles, automatic warehouses, and the like. The present invention relates to a slide-type transfer device suitably used for an apparatus, in which a plurality of slide tables are superposed on a fixed table and provided with a linear guide mechanism and a power transmission mechanism.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、特に、半導体や液晶等の生産設
備、搬送台車、自動倉庫等において、半導体や液晶等の
被搬送物を搬送するために使用される移載装置として、
スライド式移載装置が汎用されている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a transfer device used for transporting objects to be transported, such as semiconductors and liquid crystals, particularly in production facilities for semiconductors and liquid crystals, transport vehicles, automatic warehouses, and the like.
A slide type transfer device is widely used.
【０００３】ところで、従来のスライド式移載装置は、
図３〜図４に示すように、駆動用モータ２を備えた固定
台１の上方に、複数のスライド台４，８，９を重ねて配
設するとともに、スライドガイド７０，７１，７２、ス
ライドレール６０，６１，６２よりなる直線案内機構及
びラック５０，５１，５２，５３，５４、ピニオン３
０，３１，３２よりなる動力伝達機構を備え、駆動用モ
ータ２を回転駆動することにより、ラック５０，５１，
５２，５３，５４、ピニオン３０，３１，３２よりなる
動力伝達機構を介して、各スライド台４，８，９が同じ
比率で、スライドガイド７０，７１，７２、スライドレ
ール６０，６１，６２よりなる直線案内機構によって滑
らかに摺動して、全体が伸縮するように構成し、これに
より、上段のスライド台９に載置した被搬送物の積み込
み又は積み卸しを行うようにしていた。[0003] By the way, the conventional slide type transfer device is
As shown in FIGS. 3 and 4, a plurality of slide tables 4, 8, and 9 are superimposed on a fixed table 1 having a drive motor 2, and slide guides 70, 71, 72, A linear guide mechanism composed of rails 60, 61, 62, racks 50, 51, 52, 53, 54, and a pinion 3;
0, 31, 32, and the drive motor 2 is rotated to drive the racks 50, 51,
The slide tables 4, 8, 9 are provided at the same ratio by the slide guides 70, 71, 72 and the slide rails 60, 61, 62 via a power transmission mechanism including 52, 53, 54 and pinions 30, 31, 32. The linear guide mechanism is configured to smoothly slide and expand / contract as a whole, thereby loading or unloading the transferred object placed on the upper slide table 9.
【０００４】そして、このスライド式移載装置は、駆動
用モータ２を回転駆動させると、ピニオン３０が回転
し、ピニオン３０と噛合するラック５０と共に下段のス
ライド台４が摺動し、このとき、下段のスライド台４に
回転自在に配設されているピニオン３１は、固定台１の
ラック５２により回転され、ピニオン３１と噛合するラ
ック５２と共に中段のスライド台８が摺動するととも
に、中段のスライド台８に回転自在に配設されているピ
ニオン３２は、下段のスライド台４のラック５３により
回転され、ピニオン３２と噛合するラック５４と共に上
段のスライド台９が摺動するように構成されている。In this slide type transfer apparatus, when the drive motor 2 is driven to rotate, the pinion 30 rotates, and the lower slide table 4 slides together with the rack 50 meshing with the pinion 30. The pinion 31 rotatably arranged on the lower slide table 4 is rotated by the rack 52 of the fixed table 1, and the middle slide table 8 slides together with the rack 52 meshing with the pinion 31, and the middle slide is performed. The pinion 32 rotatably arranged on the table 8 is configured to be rotated by the rack 53 of the lower slide table 4, and the upper slide table 9 slides together with the rack 54 meshing with the pinion 32. .
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上記従来のスライド式
移載装置の場合、特に、固定台１及び各スライド台４，
８（上段のスライド台９を除く。）に、スライドガイド
７０，７１，７２、スライドレール６０，６１，６２よ
りなる直線案内機構を、重なるように配設しているた
め、移載装置を薄型化することが困難で、これに伴い、
移載装置が生産設備、搬送台車、自動倉庫等において大
きなスペースを占有し、設備コストが上昇するという問
題があった。In the case of the above-mentioned conventional slide type transfer apparatus, in particular, the fixed base 1 and each slide base 4,
8 (excluding the upper slide table 9), a linear guide mechanism composed of slide guides 70, 71, 72 and slide rails 60, 61, 62 is disposed so as to overlap with each other. It is difficult to make
There is a problem that the transfer device occupies a large space in a production facility, a transport trolley, an automatic warehouse, and the like, and the facility cost increases.
【０００６】本発明は、上記従来のスライド式移載装置
の有する問題点に鑑み、固定台上に複数のスライド台を
重ねて配設するとともに、直線案内機構及び動力伝達機
構を備えるようにした薄型のスライド式移載装置を提供
することを目的とする。In view of the above-mentioned problems of the conventional slide type transfer apparatus, the present invention has a plurality of slide tables stacked on a fixed table and has a linear guide mechanism and a power transmission mechanism. An object is to provide a thin slide type transfer device.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のスライド式移載装置は、固定台上に複数の
スライド台を重ねて配設するとともに、スライドガイ
ド、スライドレールよりなる直線案内機構及びラック、
ピニオンよりなる動力伝達機構を備えるようにしたスラ
イド式移載装置において、スライド台に、スライド台の
摺動方向に延びる収納溝を形成し、該収納溝内に、直線
案内機構及び動力伝達機構を配設することにより、複数
のスライド台の直線案内機構及び動力伝達機構を略同一
平面内に配するようにしたことを特徴とする。In order to achieve the above object, a slide type transfer apparatus according to the present invention comprises a plurality of slide stands superposed on a fixed stand and a straight line comprising a slide guide and a slide rail. Guide mechanism and rack,
In a slide type transfer device having a power transmission mechanism composed of a pinion, a storage groove extending in a sliding direction of the slide table is formed in a slide table, and a linear guide mechanism and a power transmission mechanism are formed in the storage groove. The arrangement is such that the linear guide mechanism and the power transmission mechanism of the plurality of slide tables are arranged in substantially the same plane.
【０００８】このスライド式移載装置は、スライド台
に、スライド台の摺動方向に延びる収納溝を形成し、こ
の収納溝内に、直線案内機構及び動力伝達機構を配設す
ることにより、複数のスライド台の直線案内機構及び動
力伝達機構を略同一平面内に配するようにしているの
で、直線案内機構及び動力伝達機構を備えたスライド式
移載装置を薄型化することができる。In this slide type transfer device, a plurality of storage grooves are formed in the slide table so as to extend in the sliding direction of the slide table, and a linear guide mechanism and a power transmission mechanism are provided in the storage grooves. Since the linear guide mechanism and the power transmission mechanism of the slide table are arranged in substantially the same plane, the slide-type transfer device including the linear guide mechanism and the power transmission mechanism can be reduced in thickness.
【０００９】この場合において、スライド式移載装置の
内側に直線案内機構を、外側に動力伝達機構を配設する
ことができる。In this case, a linear guide mechanism can be provided inside the slide type transfer device, and a power transmission mechanism can be provided outside the slide type transfer device.
【００１０】これにより、保守、点検を必要とする頻度
の高い動力伝達機構の保守、点検を容易に行うことがで
き、それに要する時間及び費用を低減することができ
る。[0010] This makes it possible to easily perform maintenance and inspection of the power transmission mechanism that frequently requires maintenance and inspection, thereby reducing the time and cost required for the maintenance and inspection.
【００１１】また、スライド台を、略均一な肉厚で、凹
凸状に形成することができる。[0011] Further, the slide base can be formed in an uneven shape with a substantially uniform thickness.
【００１２】これにより、凹凸状に形成したスライド台
の凹部を直線案内機構及び動力伝達機構を配設する収納
溝として利用することができるとともに、スライド台の
強度を向上することができる。Thus, the concave portion of the slide base formed in an uneven shape can be used as a storage groove for disposing the linear guide mechanism and the power transmission mechanism, and the strength of the slide base can be improved.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明のスライド式移載装
置の実施の形態を図面に基づいて説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a slide type transfer device according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１４】図１〜図２に、本発明のスライド式移載装
置の一実施例を示す。このスライド式移載装置は、半導
体や液晶等の生産設備、搬送台車、自動倉庫等におい
て、半導体や液晶等の被搬送物を搬送するために使用さ
れるもので、駆動用モータ２を備えた固定台１の上方
に、複数のスライド台４，８，９を重ねて配設するとと
もに、スライドガイド７０，７１，７２、スライドレー
ル６０，６１，６２よりなる直線案内機構及びラック５
０，５１，５２，５３，５４、ピニオン３０，３１，３
２よりなる動力伝達機構を備え、駆動用モータ２を回転
駆動することにより、ラック５０，５１，５２，５３，
５４、ピニオン３０，３１，３２よりなる動力伝達機構
を介して、各スライド台４，８，９が同じ比率で、スラ
イドガイド７０，７１，７２、スライドレール６０，６
１，６２よりなる直線案内機構によって滑らかに摺動し
て、全体が伸縮するように構成し、これにより、上段の
スライド台９に載置した被搬送物の積み込み又は積み卸
しを行うようにする。FIGS. 1 and 2 show an embodiment of a slide type transfer apparatus according to the present invention. This slide-type transfer device is used for transporting objects such as semiconductors and liquid crystals in production facilities for semiconductors and liquid crystals, transport trolleys, automatic warehouses, etc., and includes a drive motor 2. A plurality of slide tables 4, 8, 9 are stacked on top of the fixed table 1, and a linear guide mechanism including slide guides 70, 71, 72 and slide rails 60, 61, 62 and a rack 5.
0, 51, 52, 53, 54, pinions 30, 31, 3
2 by driving the driving motor 2 to rotate the racks 50, 51, 52, 53,
And slide guides 70, 71, 72 and slide rails 60, 6 at the same ratio through the power transmission mechanism comprising pinion 30, pinion 30, 31, 32.
The linear guide mechanism consisting of the linear guide mechanisms 1 and 62 smoothly slides and expands and contracts the entirety, so that the load placed on the upper slide table 9 is loaded or unloaded. .
【００１５】そして、このスライド式移載装置は、駆動
用モータ２を回転駆動させると、駆動用モータ２に取り
付けられたピニオン３０が回転し、固定台１を貫通した
ピニオン３０と噛合するラック５０と共に下段のスライ
ド台４が摺動し、このとき、下段のスライド台４の側片
４２に回転自在に配設されているピニオン３１は、固定
台１のラック５２により回転され、ピニオン３１と噛合
するラック５２と共に中段のスライド台８が摺動すると
ともに、中段のスライド台８の側片８２に回転自在に配
設されているピニオン３２は、下段のスライド台４のラ
ック５３により回転され、ピニオン３２と噛合するラッ
ク５４と共に上段のスライド台９が摺動するように構成
されている。In this slide type transfer apparatus, when the drive motor 2 is driven to rotate, the pinion 30 attached to the drive motor 2 rotates, and the rack 50 meshes with the pinion 30 penetrating the fixed base 1. At the same time, the lower slide table 4 slides, and at this time, the pinion 31 rotatably disposed on the side piece 42 of the lower slide table 4 is rotated by the rack 52 of the fixed table 1 and meshes with the pinion 31. The slide 52 of the middle slide slides with the rack 52 to be rotated, and the pinion 32 rotatably disposed on the side piece 82 of the slide 8 of the middle slide is rotated by the rack 53 of the slide 4 of the lower slide, and the pinion is rotated. The upper slide table 9 is configured to slide together with the rack 54 that meshes with the slide 32.
【００１６】この場合において、固定台１及びスライド
台４，８，９は、金属製又は合成樹脂製の略均一な肉厚
の板材を、凹凸状に形成（板材を折曲加工したものや押
出成形したもの等、成形方法は限定されない。）したも
のを使用することができる。なお、上段のスライド台９
は、被搬送物を載置しやすいように、上面を平坦面に形
成するようにする。In this case, the fixed base 1 and the slide bases 4, 8, and 9 are made of a metal or synthetic resin plate having a substantially uniform thickness and formed in an uneven shape (for example, by bending the plate or extruding the plate). A molding method such as a molded product is not limited.) A molded product can be used. The upper slide table 9
The upper surface is formed to be a flat surface so that the transported object can be easily placed.
【００１７】そして、この凹凸状に形成したスライド台
４，８の摺動方向に延びる凹部４１，８１，８３を、ス
ライドガイド７０，７１，７２、スライドレール６０，
６１，６２よりなる直線案内機構を配設する収納溝とし
て利用するようにする。本実施例においては、スライド
ガイド７０，７１，７２、スライドレール６０，６１，
６２よりなる直線案内機構を、それぞれ２個１組として
用い、固定台１及びスライド台４，８，９の幅方向の中
心位置を挟んで両側に対称に配設するようにしたが、こ
れに限定されず、例えば、それぞれ１個で以て直線案内
機構を構成することもできる。The concave portions 41, 81, 83 extending in the sliding direction of the slide bases 4, 8 formed in the uneven shape are provided with slide guides 70, 71, 72, slide rails 60,
The linear guide mechanism composed of 61 and 62 is used as a storage groove for disposing the linear guide mechanism. In the present embodiment, the slide guides 70, 71, 72, the slide rails 60, 61,
The two linear guide mechanisms 62 are used as a pair, and are arranged symmetrically on both sides of the center of the fixed base 1 and the slide bases 4, 8, and 9 in the width direction. However, the present invention is not limited to this. For example, a single linear guide mechanism may be configured with one piece.
【００１８】また、スライド台９の側片９２の内側に形
成されたスライド台９の摺動方向に延びる凹部９１を、
ラック５１，５２，５３，５４、ピニオン３１，３２よ
りなる動力伝達機構を配設する収納溝として利用するよ
うにする。Further, a recess 91 formed inside the side piece 92 of the slide base 9 and extending in the sliding direction of the slide base 9 is provided.
The power transmission mechanism including the racks 51, 52, 53, and 54 and the pinions 31 and 32 is used as a storage groove for disposing the power transmission mechanism.
【００１９】これにより、全体として、スライド台９の
側片９２の内側に形成された凹部９１内に、嵌合状態に
配設したスライド台４，８を嵌入し、スライドガイド７
０，７１，７２、スライドレール６０，６１，６２より
なる直線案内機構、及びラック５１，５２，５３，５
４、ピニオン３１，３２よりなる動力伝達機構を略同一
平面内に配するようにする。As a result, as a whole, the slide tables 4 and 8 arranged in a fitted state are fitted into the concave portions 91 formed inside the side pieces 92 of the slide table 9, and the slide guides 7 are provided.
0, 71, 72, a linear guide mechanism comprising slide rails 60, 61, 62, and racks 51, 52, 53, 5
4. The power transmission mechanism composed of the pinions 31 and 32 is arranged in substantially the same plane.
【００２０】次に、このスライド式移載装置の動作及び
作用について説明する。スライド式移載装置の駆動用モ
ータ２を回転駆動させると、駆動用モータ２に取り付け
られたピニオン３０が回転し、固定台１を貫通したピニ
オン３０と噛合するラック５０と共に下段のスライド台
４が摺動する。このとき、同時に、下段のスライド台４
の側片４２に回転自在に配設されているピニオン３１
は、固定台１のラック５２により回転され、ピニオン３
１と噛合するラック５２と共に中段のスライド台８が摺
動する。また、これと同時に、中段のスライド台８の側
片８２に回転自在に配設されているピニオン３２は、下
段のスライド台４のラック５３により回転され、ピニオ
ン３２と噛合するラック５４と共に上段のスライド台９
が摺動する。これにより、駆動用モータ２を回転駆動す
るだけで、ラック５０，５１，５２，５３，５４、ピニ
オン３０，３１，３２よりなる動力伝達機構を介して、
各スライド台４，８，９が同じ比率で、スライドガイド
７０，７１，７２、スライドレール６０，６１，６２よ
りなる直線案内機構によって滑らかに摺動して、スライ
ド台４，８，９全体が伸縮し、これにより、上段のスラ
イド台９に載置した被搬送物の積み込み又は積み卸しを
行うことができる。また、スライド台４，８，９のスラ
イドガイド７０，７１，７２、スライドレール６０，６
１，６２よりなる直線案内機構及びラック５１，５２，
５３，５４、ピニオン３１，３２よりなる動力伝達機構
を略同一平面内に配するようにしているので、スライド
式移載装置を薄型化することができる。Next, the operation and operation of the slide type transfer apparatus will be described. When the drive motor 2 of the slide type transfer device is rotationally driven, the pinion 30 attached to the drive motor 2 rotates, and the lower slide table 4 is moved together with the rack 50 that meshes with the pinion 30 penetrating the fixed base 1. Slide. At this time, at the same time, the lower slide table 4
The pinion 31 rotatably disposed on the side piece 42
Is rotated by the rack 52 of the fixed base 1 and the pinion 3
The slide block 8 at the middle stage slides together with the rack 52 that meshes with the rack 1. At the same time, the pinion 32 rotatably disposed on the side piece 82 of the middle slide base 8 is rotated by the rack 53 of the lower slide base 4, and together with the rack 54 meshing with the pinion 32, the upper pinion 32 is rotated. Slide stand 9
Slides. Thus, only by driving the drive motor 2 to rotate, a power transmission mechanism including the racks 50, 51, 52, 53, 54 and the pinions 30, 31, 32 is provided.
The slide tables 4, 8, 9 are smoothly slid at the same ratio by a linear guide mechanism including slide guides 70, 71, 72 and slide rails 60, 61, 62, so that the entire slide tables 4, 8, 9 are moved. The conveyed object placed on the upper slide table 9 can be loaded or unloaded. The slide guides 70, 71, 72 of the slide tables 4, 8, 9 and the slide rails 60, 6
1 and 62 and a rack 51, 52,
Since the power transmission mechanism including the pins 53 and 54 and the pinions 31 and 32 is arranged in substantially the same plane, the slide-type transfer device can be made thin.
【００２１】[0021]
【発明の効果】本発明のスライド式移載装置によれば、
スライド台に、スライド台の摺動方向に延びる収納溝を
形成し、この収納溝内に、直線案内機構及び動力伝達機
構を配設することにより、複数のスライド台の直線案内
機構及び動力伝達機構を略同一平面内に配するようにし
ているので、直線案内機構及び動力伝達機構を備えたス
ライド式移載装置を薄型化することができ、これによ
り、移載装置が生産設備、搬送台車、自動倉庫等におい
て占有するスペースを少なくし、設備コストを低廉化で
きる。According to the slide type transfer device of the present invention,
A storage groove extending in the sliding direction of the slide table is formed in the slide table, and a linear guide mechanism and a power transmission mechanism are disposed in the storage groove, so that the linear guide mechanism and the power transmission mechanism of the plurality of slide tables are provided. Are arranged in substantially the same plane, it is possible to reduce the thickness of the slide-type transfer device provided with the linear guide mechanism and the power transmission mechanism. Space occupied in an automatic warehouse or the like can be reduced, and equipment costs can be reduced.
【００２２】また、スライド式移載装置の内側に直線案
内機構を、外側に動力伝達機構を配設することにより、
保守、点検を必要とする頻度の高い動力伝達機構の保
守、点検を容易に行うことができ、それに要する時間及
び費用を低減することができる。Further, by disposing a linear guide mechanism inside the slide type transfer device and a power transmission mechanism outside the slide type transfer device,
Maintenance and inspection of the power transmission mechanism that frequently requires maintenance and inspection can be easily performed, and the time and cost required for the maintenance and inspection can be reduced.
【００２３】また、スライド台を、略均一な肉厚で、凹
凸状に形成することにより、凹凸状に形成したスライド
台の凹部を直線案内機構及び動力伝達機構を配設する収
納溝として利用することができるとともに、スライド台
の強度を向上することができる。Further, by forming the slide base with a substantially uniform thickness and unevenness, the concave part of the slide base formed in the uneven shape is used as a storage groove for disposing the linear guide mechanism and the power transmission mechanism. And the strength of the slide table can be improved.
【図１】本発明のスライド式移載装置の一実施例を示す
説明図である。FIG. 1 is an explanatory view showing one embodiment of a slide type transfer device of the present invention.
【図２】同スライド台が伸縮する状態を示す説明図であ
る。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a state in which the slide base expands and contracts.
【図３】従来のスライド式移載装置を示す説明図であ
る。FIG. 3 is an explanatory view showing a conventional slide type transfer device.
【図４】同スライド台が伸縮する状態を示す説明図であ
る。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a state in which the slide base expands and contracts.
１ 固定台 ２ 駆動用モータ ３０，３１，３２ ピニオン ４ スライド台（下段） ４１ 凹部（収納溝） ４２ 側片 ５０，５１，５２，５３，５４ ラック ６０，６１，６２ スライドレール ７０，７１，７２ スライドガイド ８ スライド台（中段） ８１，８３ 凹部（収納溝） ９ スライド台（上段） ９１ 凹部（収納溝） ９２ 側片 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fixed base 2 Drive motor 30, 31, 32 Pinion 4 Slide base (lower stage) 41 Recess (storage groove) 42 Side piece 50, 51, 52, 53, 54 Rack 60, 61, 62 Slide rail 70, 71, 72 Slide guide 8 Slide base (middle) 81, 83 Recess (storage groove) 9 Slide base (upper) 91 Recess (storage groove) 92 Side piece
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 前田 秀樹 兵庫県尼崎市下坂部３丁目11番１号 日立 機電工業株式会社内 Ｆターム(参考） 3F022 AA08 JJ07 KK02 MM01 MM57 5F031 GA05 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Hideki Maeda 3-1-1, Shimosakabe, Amagasaki-shi, Hyogo F-term (reference) 3F022 AA08 JJ07 KK02 MM01 MM57 5F031 GA05
Claims (3)
設するとともに、直線案内機構及び動力伝達機構を備え
るようにしたスライド式移載装置において、スライド台
に、スライド台の摺動方向に延びる収納溝を形成し、該
収納溝内に、直線案内機構及び動力伝達機構を配設する
ことにより、複数のスライド台の直線案内機構及び動力
伝達機構を略同一平面内に配するようにしたことを特徴
とするスライド式移載装置。1. A slide type transfer device in which a plurality of slide tables are superposed on a fixed table and provided with a linear guide mechanism and a power transmission mechanism. Is formed, and a linear guide mechanism and a power transmission mechanism are disposed in the storage groove, so that the linear guide mechanisms and the power transmission mechanisms of the plurality of slide tables are disposed in substantially the same plane. A slide type transfer device characterized by the following.
構を、外側に動力伝達機構を配設したことを特徴とする
請求項１記載のスライド式移載装置。2. The slide-type transfer device according to claim 1, wherein a linear guide mechanism is disposed inside the slide-type transfer device, and a power transmission mechanism is disposed outside the slide-type transfer device.
に形成したことを特徴とする請求項１又は２記載のスラ
イド式移載装置。3. The slide-type transfer device according to claim 1, wherein the slide base is formed to have a substantially uniform thickness and an uneven shape.
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|---|---|---|---|
| JP2943899A JP3906957B2 (en) | 1999-02-08 | 1999-02-08 | Sliding transfer device |
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| JP2943899A JP3906957B2 (en) | 1999-02-08 | 1999-02-08 | Sliding transfer device |
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