JP2000214398A - Picture output device - Google Patents

Picture output device

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JP2000214398A
JP2000214398A JP11015068A JP1506899A JP2000214398A JP 2000214398 A JP2000214398 A JP 2000214398A JP 11015068 A JP11015068 A JP 11015068A JP 1506899 A JP1506899 A JP 1506899A JP 2000214398 A JP2000214398 A JP 2000214398A
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JP
Japan
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drive signal
signal
micromirror
level
drive
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Application number
JP11015068A
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Japanese (ja)
Inventor
Keiichi Nitta
啓一 新田
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an picture output device capable of controlling rotary drive of a micro mirror so as to make the flicker less noticeable. SOLUTION: In an picture output device using a micro mirror array, a first and a second micro mirror are each driven by a first and a second drive signal in which output order is different for the pulse formed by modulating the pulse width in accordance with a picture signal level. As a result, the irradiation time of light is dispersed, making the flicker less noticeable. In addition, the first and the second drive signal are each made to be a signal consisting of one pulse having a width in accordance with the picture signal level, thereby minimizing the number of times in the rotation of the micro mirror and reducing the ratio of false signals.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロミラーア
レイを用いた画像出力装置に関し、特に、フリッカ(ち
らつき)を低減することができる画像出力装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image output device using a micromirror array, and more particularly, to an image output device capable of reducing flicker.

【0002】[0002]

【従来の技術】図10は、マイクロミラーアレイを用い
た画像出力装置の説明図である。マイクロミラーアレイ
は、微少なマイクロミラーを数十万個集積して構成され
る。まず、単一のマイクロミラーアレイについてその動
作を説明する。
2. Description of the Related Art FIG. 10 is an explanatory diagram of an image output device using a micro mirror array. The micromirror array is configured by integrating hundreds of thousands of micromirrors. First, the operation of a single micromirror array will be described.

【0003】図10(a)において、光源10からの光
は、照明系レンズ14を通り光学的回転フィルタ11に
入射する。光学的回転フィルタ11は、例えば、それぞ
れ扇形を形成する赤(R)、緑(G)、青(B)の三色
のフィルタ領域を有する円盤で、通常の映像信号の周期
の3倍の周期で矢印15の方向に回転する。従って、光
学的回転フィルタ11を通過した光は、映像信号の垂直
周期ごとに赤、緑、青と変化する光となってマイクロミ
ラーM1を照射する。
In FIG. 10A, light from a light source 10 passes through an illumination system lens 14 and enters an optical rotary filter 11. The optical rotation filter 11 is, for example, a disk having three filter regions of red (R), green (G), and blue (B), each of which forms a fan shape, and has a cycle three times the cycle of a normal video signal. To rotate in the direction of arrow 15. Therefore, the light that has passed through the optical rotation filter 11 changes to red, green, and blue for each vertical cycle of the video signal, and irradiates the micromirror M1.

【0004】マイクロミラーM1は、駆動部12により
その角度を制御され、光路Lとの角度θ1の場合は、光
源10からの光を投影レンズ13の方向に反射する。一
方、図10(b)のように、その角度がθ2の場合は、
光源10からの光は投影レンズ13の方向には反射され
ない。
The angle of the micromirror M 1 is controlled by the drive unit 12, and reflects the light from the light source 10 in the direction of the projection lens 13 at an angle θ 1 with the optical path L. On the other hand, when the angle is θ2 as shown in FIG.
Light from the light source 10 is not reflected in the direction of the projection lens 13.

【0005】図10(a)において、マイクロミラーM
1で反射され、投影レンズ13を通過した光は、図示し
ないスクリーンなどに投影される。マイクロミラーM1
は、投影画像の1画素に対応しており、2次元的に配列
されたm×n個のマイクロミラーを集積したマイクロミ
ラーアレイにより、m×n画素の画像を投影することが
できる。
In FIG. 10A, a micro mirror M
The light reflected by 1 and passing through the projection lens 13 is projected on a screen or the like (not shown). Micro mirror M1
Corresponds to one pixel of the projected image, and an image of m × n pixels can be projected by a micromirror array in which m × n micromirrors arranged two-dimensionally are integrated.

【0006】駆動部12は、入力される映像信号S10
の信号レベルに応じた駆動信号S11を生成し、静電吸
引力により、マイクロミラーM1を回転駆動させる。例
えば、駆動信号S11がHレベルのときに、マイクロミ
ラーM1の角度を前述のθ1とし、駆動信号S11がL
レベルのときに、その角度をθ2とする。これにより、
映像信号の信号レベルにより、投影画像の1画素の明暗
を切り換えることができる。なお、角度θ1とθ2との
差である回転角度は約20度である。
[0006] The drive unit 12 receives an input video signal S10.
A drive signal S11 corresponding to the signal level of the micromirror M1 is generated, and the micromirror M1 is rotationally driven by electrostatic attraction. For example, when the drive signal S11 is at the H level, the angle of the micromirror M1 is set to the aforementioned θ1, and the drive signal S11 is set to the L level.
In the case of the level, the angle is set to θ2. This allows
The brightness of one pixel of the projected image can be switched according to the signal level of the video signal. The rotation angle, which is the difference between the angles θ1 and θ2, is about 20 degrees.

【0007】また、1画素の階調は、映像信号S10を
パルス幅変調した駆動信号S11により制御される。即
ち、駆動信号S11のHレベルの時間を変化させれば、
スクリーンに投影される光量が変化するので、映像信号
S10のレベルに応じたマクロミラーM1に対応した画
素の階調を制御することができる。
The gradation of one pixel is controlled by a drive signal S11 obtained by pulse-width-modulating the video signal S10. That is, if the H level time of the drive signal S11 is changed,
Since the amount of light projected on the screen changes, the gradation of the pixel corresponding to the macro mirror M1 according to the level of the video signal S10 can be controlled.

【0008】さらに、カラー画像を投影するためには、
駆動部12に赤、緑、青の映像信号S10を順番に入力
し、赤、緑、青の映像信号S10と同期して前述の光学
的回転フィルタ11を回転させる。即ち、赤、緑、青の
映像信号S10でマイクロミラーM1の角度を制御する
のに同期して、マイクロミラーM1に赤、緑、青の光を
時分割で照射すれば、カラー画像を投影することができ
る。
Further, in order to project a color image,
The red, green, and blue video signals S10 are sequentially input to the drive unit 12, and the optical rotation filter 11 is rotated in synchronization with the red, green, and blue video signals S10. That is, a color image is projected by irradiating the micromirror M1 with red, green, and blue light in a time-sharing manner in synchronization with controlling the angle of the micromirror M1 with the red, green, and blue video signals S10. be able to.

【0009】図11は、投影画像を0レベルから7レベ
ルまでの8階調で表示するため、3ビットの映像信号を
パルス幅変調した駆動信号S11のタイムチャートを示
す。図11において、駆動信号S11の1表示フィール
ドは均等に7分割され、分割された各期間には、0から
6の番号が付されている。
FIG. 11 shows a time chart of a drive signal S11 obtained by pulse-width-modulating a 3-bit video signal in order to display a projected image in eight gradations from 0 level to 7 level. In FIG. 11, one display field of the drive signal S11 is equally divided into seven, and the divided periods are numbered from 0 to 6.

【0010】映像信号S10の3ビットのデジタル値の
うち、下1桁目(LSB(Least Significant Bit)とい
う)は、第6期間である1期間分のレベルを示す値であ
り、下2桁目は、第4期間と第5期間の2期間分のレベ
ルを示す値であり、下3桁目(MSB(Most Significan
t Bit)という)は、第0期間から第3期間までの4期間
分のレベルを示す値である。
[0010] Of the 3-bit digital value of the video signal S10, the lowermost digit (referred to as LSB (Least Significant Bit)) is a value indicating the level for one period, which is the sixth period, and the lower second digit. Is a value indicating the level for two periods of the fourth period and the fifth period, and the third digit (MSB (Most Significan
t Bit)) is a value indicating the level for four periods from the zero period to the third period.

【0011】従って、図11(a)において、映像信号
S10のデジタル値が(000)である場合、1表示フ
ィールド中、駆動信号S11はLレベルであり、マイク
ロミラーアレイの角度は、スクリーン方向への投影方向
でない角度θ2のままである。図11(b)から(g)
において、映像信号S10のデジタル値が「1」である
期間、駆動信号S11はHレベルとなり、その期間の
間、マイクロミラーアレイの角度は、スクリーンへの投
影方向の角度θ1に切り替わる。そして、図11(h)
のように、映像信号S10のデジタル値が(111)で
ある場合は、1表示フィールド中、駆動信号S11はH
レベルであり、マイクロミラーアレイの角度は、スクリ
ーン方向への投影方向である角度θ1のままである。
Therefore, in FIG. 11A, when the digital value of the video signal S10 is (000), the drive signal S11 is at the L level during one display field, and the angle of the micromirror array moves in the screen direction. The angle θ2, which is not the projection direction, remains. From FIG. 11 (b) to (g)
During the period when the digital value of the video signal S10 is "1", the drive signal S11 is at the H level, and during that period, the angle of the micromirror array is switched to the angle θ1 in the projection direction on the screen. Then, FIG.
When the digital value of the video signal S10 is (111) as shown in FIG.
Level, and the angle of the micromirror array remains at the angle θ1, which is the projection direction to the screen direction.

【0012】このように、マイクロミラーアレイは、角
度θ1とθ2とに切り替えられて画像をスクリーンに投
影するが、マイクロミラーアレイが角度θ1からθ2
へ、又は、角度θ2からθ1へ回転する時間(以下、光
学的スイッチング時間という)が、投影画像に悪影響を
及ぼすことがある。即ち、この光学的スイッチング時間
の期間中は、マイクロミラーアレイは、角度θ1及びθ
2以外の角度となっており、この期間中にマイクロミラ
ーアレイにより反射された光により、スクリーン上のあ
る表示画素に他の表示画素の光、即ち、偽信号が重畳さ
れる。
As described above, the micromirror array is switched between the angles θ1 and θ2 and projects an image on the screen.
Or the time required to rotate from the angle θ2 to θ1 (hereinafter referred to as optical switching time) may adversely affect the projected image. That is, during this optical switching time, the micro-mirror array will be
The angle is other than 2, and the light reflected by the micromirror array during this period causes light of another display pixel, that is, a false signal, to be superimposed on one display pixel on the screen.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】このような偽信号を減
らすために、本出願人は、1表示フィールドにおけるマ
イクロミラーの回転回数を最小にする駆動方法を、平成
10年3月18日付け出願「画像出力装置」(特願平1
0−67980号)にて提案した。これによれば、前記
出願の図2に示されるように、駆動信号の1表示フィー
ルド中におけるHレベルの期間が連続してマイクロミラ
ーに供給されるため、マイクロミラーの回転回数が最小
となり、偽信号の割合の低減が期待できる。
In order to reduce such spurious signals, the present applicant has filed a driving method for minimizing the number of rotations of the micromirror in one display field filed on March 18, 1998. "Image output device" (Japanese Patent Application No. Hei 1)
0-67980). According to this, as shown in FIG. 2 of the above-mentioned application, the period of the H level in one display field of the drive signal is continuously supplied to the micromirror. A reduction in the signal ratio can be expected.

【0014】しかしながら、かかる方法では、偽信号の
割合を低減することはできるが、各マイクロミラーにお
いて、1表示フィールド中に光がスクリーンに照射され
る時間が集中し、光が照射される期間と照射されない時
間が交互に発生するため、フリッカが発生するという問
題が起きる。特に、表示データが全画素同じであるよう
な場合や、1表示フィールド同期が長い場合、フリッカ
が目立ちやすい。
However, in such a method, although the ratio of the false signal can be reduced, in each micromirror, the time during which the light is irradiated on the screen during one display field is concentrated, and the period during which the light is irradiated is reduced. Since the non-irradiation time occurs alternately, a problem that flicker occurs occurs. In particular, when the display data is the same for all pixels or when one display field synchronization is long, flicker is easily noticeable.

【0015】従って、本発明の目的は、フリッカが目立
たないように、マイクロミラーの回転駆動を制御するこ
とができる画像出力装置を提供することにある。
Accordingly, it is an object of the present invention to provide an image output apparatus capable of controlling the rotation drive of a micro mirror so that flicker is not noticeable.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の画像出力装置では、隣接するマイクロミラ
ー同士が、互いに異なる駆動信号に基づいて回転駆動す
る。
In order to achieve the above object, in the image output apparatus of the present invention, adjacent micromirrors are rotationally driven based on mutually different drive signals.

【0017】例えば、本発明の画像出力装置の構成は、
光源からの光を投影方向に導く第一の角度位置と、この
第一の角度位置と異なる第二の角度位置との間を回転す
る複数のマイクロミラーを有するマイクロミラーアレイ
によって画像を出力する画像出力装置において、所定周
期を有する映像信号のレベルに基づいてパルス幅変調さ
れた第一の駆動信号を所定周期毎に生成し、第一の駆動
信号のパルス出力期間、第一のマイクロミラーを第一の
角度に駆動する第一の駆動部と、上記映像信号のレベル
に基づいてパルス幅変調され、且つこのパルスの出力順
序が第一の駆動信号のパルス出力順序と逆の第二の駆動
信号を所定周期毎に生成し、この第二の駆動信号のパル
ス出力期間、第一のマイクロミラーと異なる第二のマイ
クロミラーを第一の角度に駆動する第二の駆動部とを備
えることを特徴とする。
For example, the configuration of the image output device of the present invention is as follows.
An image which outputs an image by a micro-mirror array having a plurality of micro-mirrors rotating between a first angular position for guiding light from a light source in a projection direction and a second angular position different from the first angular position In the output device, a pulse width modulated first drive signal is generated at predetermined intervals based on the level of the video signal having a predetermined period, and the first micromirror is output during the pulse output period of the first drive signal. A first driving unit for driving to one angle, and a second driving signal pulse-width-modulated based on the level of the video signal, and the output order of the pulses is opposite to the pulse output order of the first driving signal And a second drive unit that drives a second micromirror different from the first micromirror to a first angle during a pulse output period of the second drive signal. When That.

【0018】本構成により、異なるマイクロミラーを、
映像信号レベルに応じてパルス幅変調されて生成された
パルスの出力順序が異なる駆動信号により駆動するの
で、光の照射時間が分散され、フリッカを目立たなくす
ることができる。
According to this configuration, different micro mirrors can be
Since driving is performed using a drive signal in which the output sequence of pulses generated by pulse width modulation according to the video signal level is different, the light irradiation time is dispersed, and flicker can be made inconspicuous.

【0019】さらに、上記構成において、第一の駆動部
及び第二の駆動部は、それぞれ、映像信号のレベルに応
じた幅を有する1つのパルスからなる第一の駆動信号及
び第二の駆動信号を所定周期毎に生成する。
Further, in the above configuration, the first drive unit and the second drive unit each include a first drive signal and a second drive signal each including one pulse having a width corresponding to the level of a video signal. Are generated at predetermined intervals.

【0020】これにより、マイクロミラーの回転回数が
最小となり、偽信号の割合を低減させることができる。
Thus, the number of rotations of the micromirror is minimized, and the ratio of false signals can be reduced.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。しかしながら、本発明の技術的範囲が、本
実施の形態に限定されるものではない。本発明の実施の
形態においては、上述の平成10年3月18日付け出願
「画像出力装置」(特願平10−67980号)におい
て提案された駆動信号、即ち、Hレベル(パルス)期間
が第0期間から、各ビット数に応じて連続し、その後、
Lレベル期間が連続して発生する第一の駆動信号に加え
て、最初にLレベル期間が第0期間から連続して発生
し、その後、各ビット数に応じてHレベル期間が連続し
て発生する第二の駆動信号が利用される。
Embodiments of the present invention will be described below. However, the technical scope of the present invention is not limited to the present embodiment. In the embodiment of the present invention, the drive signal, that is, the H level (pulse) period proposed in the above-mentioned application “Image Output Device” (Japanese Patent Application No. 10-67980) filed on Mar. 18, 1998 is used. From the 0th period, continuous according to each bit number,
In addition to the first drive signal in which the L-level period is continuously generated, first, the L-level period is continuously generated from the 0th period, and thereafter, the H-level period is continuously generated in accordance with the number of bits. A second drive signal is used.

【0022】図1は、3ビットで量子化された映像信号
に対応する上記第一の駆動信号のタイムチャートであっ
て、図2は、同様に、上記第二の駆動信号のタイムチャ
ートである。両駆動信号を生成するための構成について
は後述する。なお、映像信号は3ビットのデジタル信号
に限定されず、それより大きいビット数であってもよ
い。
FIG. 1 is a time chart of the first drive signal corresponding to the video signal quantized by 3 bits, and FIG. 2 is a time chart of the second drive signal similarly. . A configuration for generating both drive signals will be described later. Note that the video signal is not limited to a 3-bit digital signal, and may have a larger number of bits.

【0023】両駆動信号により、1表示フィールド中に
マイクロミラーの角度が切り替わるのは、最小回数の1
回となり、偽信号成分の少ない高品質な画像を投影する
ことができる。ただし、1表示フィールド期間中にHレ
ベルとLレベルが切り替わる第一の駆動信号と第二の駆
動信号(図1及び図2の(b)〜(g))において、映
像信号の3ビットのデジタル値が同じ場合であっても、
1表示フィールド中のHレベルになる期間(又はLレベ
ルになる期間)が異なる。具体的には、Hレベル(パル
ス)の出力順序が逆になる。即ち、1表示フィールドに
おいて、第一の駆動信号は、先にHレベルを出力し、後
にLレベルを出力するが、第二の駆動信号は、先にLレ
ベルを出力し、後にHレベルを出力する。
The switching of the angle of the micromirror during one display field by both drive signals is the minimum number of times 1
And a high-quality image with few false signal components can be projected. However, in the first drive signal and the second drive signal (H and L) which switch between the H level and the L level during one display field period, the 3-bit digital signal of the video signal is used. Even if the values are the same,
The H level (or the L level) in one display field is different. Specifically, the output order of the H level (pulse) is reversed. That is, in one display field, the first drive signal first outputs the H level and then outputs the L level, but the second drive signal outputs the L level first and then outputs the H level later. I do.

【0024】例えば、図1(e)及び図2(e)に示さ
れるように、1表示フィールド中の時間t1において、
第一の駆動信号(図1(e))は、Hレベルであるが、
第二の駆動信号(図2(e))は、Lレベルである。ま
た、時間t2においては、第一の駆動信号は、Lレベル
であるが、第二の駆動信号はHレベルである。
For example, as shown in FIGS. 1E and 2E, at time t1 in one display field,
The first drive signal (FIG. 1 (e)) is at the H level,
The second drive signal (FIG. 2E) is at the L level. At time t2, the first drive signal is at the L level, while the second drive signal is at the H level.

【0025】このように、映像信号の同じデジタル値に
対応する駆動信号であっても、1表示フィールド中でH
レベルの出力順序が逆の第一の駆動信号と第二の駆動信
号を用いることにより、以下に詳述するように、マイク
ロミラーアレイのフリッカを抑えることができる。具体
的には、マトリックス状に配列されたマイクロミラーに
おいて、隣接するマイクロミラー同士は、異なる駆動信
号(即ち、一方は第一の駆動信号、他方は第二の駆動信
号)に基づいて回転駆動される。
As described above, even if the driving signals correspond to the same digital value of the video signal, H
By using the first drive signal and the second drive signal whose levels are output in reverse order, flicker of the micromirror array can be suppressed as described in detail below. Specifically, in the micromirrors arranged in a matrix, adjacent micromirrors are rotationally driven based on different drive signals (that is, one is a first drive signal and the other is a second drive signal). You.

【0026】図3は、一例である4×4のマイクロミラ
ーアレイにおいて、隣接するマイクロミラーが異なる駆
動信号によって回転駆動される各マイクロミラーの状態
を示す図である。図3(a)及び(b)は、それぞれ1
表示フィールド中の上記時間t1及びt2において、全
てのマイクロミラーに対する映像信号のデジタル値が例
えば(100)である場合のマイクロミラーの状態を示
す図である。図において、細線で囲まれたマイクロミラ
ーは、第一の駆動信号によって駆動され、太線で囲まれ
たマイクロミラーは、第二の駆動信号によって駆動され
る。また、斜線が施されたマイクロミラーは、反射光を
スクリーン方向に照射しない状態、即ち、角度θ2の位
置にあることを示し、また、斜線が施されていない空白
のマイクロミラーは、反射光をスクリーン方向に照射す
る状態、即ち、角度θ1の位置にあることを示す。
FIG. 3 is a diagram showing a state of each micro mirror in which an adjacent micro mirror is rotationally driven by different driving signals in a 4 × 4 micro mirror array as an example. 3 (a) and 3 (b) each show 1
It is a figure which shows the state of a micro mirror when the digital value of the video signal with respect to all the micro mirrors is (100) at the said time t1 and t2 in a display field, for example. In the figure, micromirrors surrounded by thin lines are driven by a first drive signal, and micromirrors surrounded by thick lines are driven by a second drive signal. The hatched micromirror indicates that the reflected light is not irradiated in the screen direction, that is, the mirror is at the position of the angle θ2, and the unshaded blank micromirror reflects the reflected light. It indicates a state of irradiation in the screen direction, that is, the position of the angle θ1.

【0027】図3(a)において、時間t1において、
例えば、左上のマイクロミラーM11(太線&斜線)
は、第二の駆動信号に基づいて駆動される。従って、時
間t1では、マイクロミラーM11は角度θ2であり、
マイクロミラーM11からの反射光は、スクリーンに照
射されない。そして、マイクロミラーM11の右隣のマ
イクロミラーM21(細線&空白)は、第二の駆動信号
ではなく、第一の駆動信号に基づいて駆動される。従っ
て、時間t1では、マイクロミラーM21は角度θ1で
あり、マイクロミラーM21からの反射光は、スクリー
ンに照射される。そして、さらに右隣のマイクロミラー
M31は、第二の駆動信号に基づいて駆動され、さらに
その右隣のマイクロミラーM41は、第一の駆動信号に
基づいて駆動される。
In FIG. 3A, at time t1,
For example, the upper left micromirror M11 (thick and diagonal lines)
Are driven based on the second drive signal. Therefore, at time t1, the micromirror M11 is at the angle θ2,
The reflected light from the micromirror M11 is not irradiated on the screen. Then, the micromirror M21 (thin line & blank) on the right of the micromirror M11 is driven based on the first drive signal instead of the second drive signal. Therefore, at time t1, the micromirror M21 is at the angle θ1, and the light reflected from the micromirror M21 irradiates the screen. Then, the micromirror M31 on the further right is driven based on the second drive signal, and the micromirror M41 on the right is driven based on the first drive signal.

【0028】さらに、マイクロミラーM11の下隣のマ
イクロミラーM12は、第一の駆動信号によって駆動さ
れ、その右隣のマイクロミラーM22は、第二の駆動信
号によって駆動される。
Further, the micromirror M12 on the lower side of the micromirror M11 is driven by the first drive signal, and the micromirror M22 on the right side thereof is driven by the second drive signal.

【0029】そして、図3(b)において、マイクロミ
ラーM11を駆動する第二の駆動信号は、時間t2にお
いて、Hレベルなので、マイクロミラーM11は、角度
θ1の位置にあり、マイクロミラーM11からの反射光
は、スクリーンに照射される。また、マイクロミラーM
21を駆動する第一の駆動信号は、時間t2において、
Lレベルなので、マイクロミラーM21は、角度θ2の
位置にあり、マイクロミラーM21からの反射光は、ス
クリーンに照射されない。そして、同様に、時間t2に
おいて、マイクロミラーM31は角度θ1の位置、マイ
クロミラーM41は、角度θ2の位置にある。さらに、
第一の駆動信号によって駆動されるマイクロミラーM1
2は、角度θ2の位置、第二の駆動信号によって駆動さ
れるマイクロミラーM22は、角度θ1の位置にある。
In FIG. 3B, the second drive signal for driving the micromirror M11 is at the H level at the time t2, so that the micromirror M11 is at the position of the angle θ1, and The reflected light is applied to the screen. Also, the micro mirror M
The first drive signal for driving the drive signal 21 at time t2
Since it is at the L level, the micromirror M21 is at the position of the angle θ2, and the light reflected from the micromirror M21 is not irradiated on the screen. Similarly, at time t2, the micromirror M31 is at the position of the angle θ1, and the micromirror M41 is at the position of the angle θ2. further,
Micro mirror M1 driven by first drive signal
2 is at the position of the angle θ2, and the micromirror M22 driven by the second drive signal is at the position of the angle θ1.

【0030】このように、隣接する2つのマイクロミラ
ーの一方を第一の駆動信号に基づいて駆動し、他方を第
二の駆動信号に基づいて駆動することにより、マイクロ
ミラー毎に、1表示フィールド期間中での角度θ1とな
る時間がずれる。これにより、1表示フィールド中にお
いて、光がスクリーンに照射される時間が分散されるの
で、フリッカを低減することができる。
As described above, one of two adjacent micromirrors is driven based on the first drive signal, and the other is driven based on the second drive signal, whereby one display field is provided for each micromirror. The time to become the angle θ1 during the period is shifted. Thereby, the time during which light is irradiated on the screen is dispersed in one display field, so that flicker can be reduced.

【0031】図4は、図3と同様に4×4のマイクロミ
ラーアレイにおいて、例えば、全てのマイクロミラーを
第二の駆動信号だけで駆動した場合の各マイクロミラー
の状態を示す図である。図4においては、光がスクリー
ンに照射される時間が、1表示フィールド中の時間t1
付近に集中し、時間t2では、光はスクリーンに全く照
射されない。一方、図3においては、上述したように、
光がスクリーンに照射される時間が分散されるため、時
間t1及びt2においても、光はスクリーンに照射され
るので、図4と比較して明らかなように、フリッカが低
減し、目立たなくなる。
FIG. 4 is a diagram showing a state of each micro mirror in a 4 × 4 micro mirror array, for example, when all the micro mirrors are driven only by the second drive signal as in FIG. In FIG. 4, the time when the light is irradiated on the screen is the time t1 in one display field.
At the time t2, no light is irradiated on the screen. On the other hand, in FIG. 3, as described above,
Since the time at which the light is applied to the screen is dispersed, the light is applied to the screen even at times t1 and t2, so that flicker is reduced and becomes inconspicuous, as is apparent from comparison with FIG.

【0032】図5は、本発明の実施の形態における画像
出力装置のブロック構成図である。図5においては、一
例として、並列に並べられた4つのマイクロミラーM1
1、M21、M31、M41により構成されるマイクロ
ミラーアレイMAが使用される場合について説明する。
FIG. 5 is a block diagram of the image output apparatus according to the embodiment of the present invention. In FIG. 5, as an example, four micromirrors M1 arranged in parallel
A case where a micromirror array MA composed of 1, M21, M31, and M41 is used will be described.

【0033】光源10からの光は、照明系レンズ14、
光学的回転フィルタ11を通り、マイクロミラーアレイ
MAにおける各マイクロミラーM11、21、31、4
1を照射する。マイクロミラーM11、21、31、4
1は、それぞれ駆動部12a、12b、12c、12d
によって、その角度を角度θ1又はθ2のいずれかに回
転駆動される。映像信号S1は分配回路20に入力さ
れ、分配回路20は、各マイクロミラーに対応する映像
信号にS1a〜S1dをそれぞれ駆動部12a〜12d
に出力する。
The light from the light source 10 is applied to an illumination system lens 14,
Each of the micromirrors M11, 21, 31, 4 in the micromirror array MA passes through the optical rotation filter 11.
Irradiate 1. Micro mirror M11, 21, 31, 4
1 denotes driving units 12a, 12b, 12c, and 12d, respectively.
, The angle is rotationally driven to either the angle θ1 or θ2. The video signal S1 is input to the distribution circuit 20, and the distribution circuit 20 applies S1a to S1d to the video signals corresponding to each micromirror to the driving units 12a to 12d, respectively.
Output to

【0034】マイクロミラーが角度θ1である場合、マ
イクロミラーは光源10からの光を投影レンズ13の方
向に反射する。投影レンズ13を透過した光は、スクリ
ーン25などに照射される。一方、マイクロミラーが角
度θ2である場合、マイクロミラーは光源10からの光
を投影レンズ13の方向に反射されず、光はスクリーン
に照射されない。
When the micromirror is at the angle θ1, the micromirror reflects light from the light source 10 in the direction of the projection lens 13. The light transmitted through the projection lens 13 is applied to the screen 25 and the like. On the other hand, when the micromirror has the angle θ2, the micromirror does not reflect the light from the light source 10 toward the projection lens 13 and does not irradiate the screen with the light.

【0035】そして、本発明の実施の形態では、各マイ
クロミラー毎の駆動部12が生成する駆動信号は、隣接
するマイクロミラー毎に異なる。例えば、駆動部12a
及び12cは、第一の駆動信号によって、それぞれマイ
クロミラーM11及びM31を駆動し、駆動部12b及
び12dは、第二の駆動信号によって、それぞれマイク
ロミラーM21及びM41を駆動する。
In the embodiment of the present invention, the drive signal generated by the drive unit 12 for each micro mirror is different for each adjacent micro mirror. For example, the driving unit 12a
And 12c drive micromirrors M11 and M31, respectively, with a first drive signal, and drive units 12b, 12d drive micromirrors M21, M41, respectively, with a second drive signal.

【0036】次に、第一の駆動信号を生成する駆動部1
2a、12c(以下、第一の駆動部12Aという)及び
第二の駆動信号を生成する駆動部12b、12d(以
下、第二の駆動部12Bという)の構成について説明す
る。
Next, a driving unit 1 for generating a first driving signal
The configurations of 2a and 12c (hereinafter, referred to as a first driving unit 12A) and the driving units 12b and 12d that generate a second driving signal (hereinafter, referred to as a second driving unit 12B) will be described.

【0037】図6は、第一の駆動部12Aのブロック構
成図である。ここでは、簡単のため、映像信号は3ビッ
トのデジタル信号と仮定する。図6において、第一の駆
動部12Aは、マグニチュードコンパレータ121及び
7進カウンタ122を備え、さらに、必要に応じてAN
D回路123が設けられてもよい。カウンタ122に
は、1表示フィールドの1/7周期を有するクロックが
入力される。なお、一般的には、映像信号のビット数が
nビットである場合のクロックの周期は、1表示フィー
ルドの1/(2n−1)であって、カウンタ122は
(2n−1)進カウンタである。
FIG. 6 is a block diagram of the first drive section 12A. Here, for simplicity, it is assumed that the video signal is a 3-bit digital signal. In FIG. 6, the first driving unit 12A includes a magnitude comparator 121 and a seven-digit counter 122, and further includes an
A D circuit 123 may be provided. A clock having 1/7 cycle of one display field is input to the counter 122. In general, when the number of bits of a video signal is n bits, the clock cycle is 1 / (2 n -1) of one display field, and the counter 122 counts in (2 n -1). It is a counter.

【0038】そして、カウンタ122は、クロックによ
りカウントを行い、1表示フィールド毎に入力されるリ
セット信号によりリセットされる。即ち、カウンタ12
2は、1表示フィールド毎に「0」から「6」までカウ
ントする。カウンタ122からの出力信号S2のカウン
タ値は、マグニチュードコンパレータ121のB端子に
入力される。また、映像信号S1の3ビットのデジタル
値が、マグニチュードコンパレータ121のA端子に入
力される。マグニチュードコンパレータ121は、両端
子に入力された値を比較し、 B端子入力カウンタ値<A端子入力デジタル値 の場合のみ、Hレベルとなる信号S3を出力する。
The counter 122 counts with a clock and is reset by a reset signal input for each display field. That is, the counter 12
2 counts from “0” to “6” for each display field. The counter value of the output signal S2 from the counter 122 is input to the B terminal of the magnitude comparator 121. Further, a 3-bit digital value of the video signal S1 is input to the A terminal of the magnitude comparator 121. The magnitude comparator 121 compares the values input to both terminals, and outputs a signal S3 which becomes H level only when B terminal input counter value <A terminal input digital value.

【0039】図8(a)は、第一の駆動部12Aにおけ
るカウンタ121の出力信号S2とマグニチュードコン
パレータ122の出力信号S3との関係を示す図であ
る。例えば、映像信号S1のデジタル値が(011)=
3である場合、マグニチュードコンパレータ121は、
マグニチュードコンパレータ121のB端子に入力され
るカウンタ値が2まで、Hレベルを出力し、デジタル値
が3以上になると、Lレベルを出力する。このようにし
て、図1に示すような第一の駆動信号S3が生成され
る。
FIG. 8A is a diagram showing the relationship between the output signal S2 of the counter 121 and the output signal S3 of the magnitude comparator 122 in the first drive section 12A. For example, if the digital value of the video signal S1 is (011) =
In the case of 3, the magnitude comparator 121
The H level is output until the counter value input to the B terminal of the magnitude comparator 121 reaches 2, and the L level is output when the digital value becomes 3 or more. Thus, the first drive signal S3 as shown in FIG. 1 is generated.

【0040】そして、この第一の駆動信号S3は、必要
に応じて、AND回路123に入力される。AND回路
123には、ブランキング信号も入力される。こうし
て、AND回路123からの出力信号が、第一の駆動信
号S3’として、マイクロミラーに供給されてもよい。
The first drive signal S3 is input to the AND circuit 123 as needed. A blanking signal is also input to the AND circuit 123. Thus, the output signal from the AND circuit 123 may be supplied to the micro mirror as the first drive signal S3 '.

【0041】AND回路123は、ブランキング期間に
駆動信号がHレベルになるのを防止するために設けられ
る。即ち、ブランキング期間では、映像表示は行われな
いので、その間に駆動信号がHレベルとなり、マイクロ
ミラーの反射光がスクリーンに照射されるのを防止する
ためである。
The AND circuit 123 is provided to prevent the drive signal from going high during the blanking period. That is, during the blanking period, since no image is displayed, the driving signal is at the H level during that period, and the reflected light of the micromirror is prevented from being irradiated on the screen.

【0042】図7は、第二の駆動部12Bのブロック構
成図である。図6同様に、映像信号は3ビットのデジタ
ル信号と仮定する。図7において、第二の駆動部12B
は、マグニチュードコンパレータ121及び7進カウン
タ122を備え、さらに、必要に応じてAND回路12
3が設けられる。カウンタ122には、1表示フィール
ド期間の1/7周期を有するクロックが入力される。そ
して、カウンタ122は、クロックによりカウントを行
い、1表示フィールド毎にリセット信号によりリセット
される。カウンタ122からの出力信号S2のカウンタ
値は、マグニチュードコンパレータ121のB端子に入
力される。また、映像信号S1の3ビットのデジタル値
は、マグニチュードコンパレータ121のA端子に入力
されるとともに、カウンタ122のロード端子に入力さ
れる。即ち、カウンタ122は、リセット信号をトリガ
に、映像信号のデジタル値をロード端子にロードし、ロ
ードされたデジタル値からカウントアップを開始する。
従って、例えば、デジタル値(100)=4の映像信号
がロードされると、カウンタ122は、「4」からカウ
ントアップし、「6」までカウントすると次のクロック
で「0」に戻り、「3」までカウントする。
FIG. 7 is a block diagram of the second drive unit 12B. As in FIG. 6, the video signal is assumed to be a 3-bit digital signal. In FIG. 7, the second drive unit 12B
Has a magnitude comparator 121 and a seven-digit counter 122, and furthermore, an AND circuit 12
3 are provided. A clock having 1/7 cycle of one display field period is input to the counter 122. Then, the counter 122 counts by a clock and is reset by a reset signal every display field. The counter value of the output signal S2 from the counter 122 is input to the B terminal of the magnitude comparator 121. The 3-bit digital value of the video signal S1 is input to the A terminal of the magnitude comparator 121 and is input to the load terminal of the counter 122. That is, the counter 122 loads the digital value of the video signal into the load terminal, triggered by the reset signal, and starts counting up from the loaded digital value.
Therefore, for example, when a video signal having a digital value (100) = 4 is loaded, the counter 122 counts up from “4”, returns to “0” at the next clock when counts up to “6”, and returns to “3”. To ".

【0043】そして、マグニチュードコンパレータ12
1は、図6の場合と同様に、両端子に入力された値を比
較し、 B端子入力カウンタ値<A端子入力デジタル値 の場合にHレベルとなる信号S4を出力する。
Then, the magnitude comparator 12
As in the case of FIG. 6, 1 compares the values input to both terminals and outputs a signal S4 which becomes H level when the B terminal input counter value <A terminal input digital value.

【0044】図8(b)は、第二の駆動部12Bにおけ
るカウンタ121の出力とマグニチュードコンパレータ
122の出力との関係を示す図である。例えば、映像信
号の3ビットのデジタル値が(011)=3がロードさ
れると、カウンタ122が「3」からカウントアップを
開始するので、マグニチュードコンパレータ121は、
そのB端子に入力されるカウンタ値が「3」から「6」
まで、Lレベルを出力し、その後デジタル値が「0」に
戻り、「2」をカウントするまで、Hレベルを出力す
る。このようにして、図2に示すような第二の駆動信号
S4が生成される。
FIG. 8B is a diagram showing the relationship between the output of the counter 121 and the output of the magnitude comparator 122 in the second drive section 12B. For example, when the 3-bit digital value of the video signal is loaded with (011) = 3, the counter 122 starts counting up from “3”, so the magnitude comparator 121
The counter value input to the B terminal is changed from “3” to “6”.
Until the digital value returns to “0” and counts “2”, and then the H level is output. Thus, the second drive signal S4 as shown in FIG. 2 is generated.

【0045】そして、この第二の駆動信号S4は、必要
に応じて、図6同様のAND回路123に入力され、A
ND回路123には、ブランキング信号も入力される。
こうして、AND回路123からの出力信号が、第二の
駆動信号S4’として、マイクロミラーに供給されても
よい。
The second drive signal S4 is input to an AND circuit 123 similar to that shown in FIG.
A blanking signal is also input to the ND circuit 123.
Thus, the output signal from the AND circuit 123 may be supplied to the micro mirror as the second drive signal S4 '.

【0046】なお、図7のカウンタ122が、映像信号
S1をロードする代わりに、リセット時に最大カウント
値(111)をロードして、クロックに応答してダウン
カウントしても、マグニチュードコンパレータ121
は、図7同様の駆動信号S4を出力することができる。
Note that, even if the counter 122 of FIG. 7 loads the maximum count value (111) at the time of reset and counts down in response to the clock instead of loading the video signal S1, the magnitude comparator 121
Can output the same drive signal S4 as in FIG.

【0047】また、図9は、従来のパルス幅変調により
生成されたパルスの出力順序が図11の場合と逆の駆動
信号のタイムチャートを示す図である。即ち、図9にお
いては、3ビットの映像信号がパルス幅変調される場
合、映像信号のデジタル値の下1桁目(LSB)は、駆
動信号の第0期間のレベルに対応し、下2桁目は、駆動
信号の第1期間及び第2期間のレベルに対応し、下3桁
目(MSB)は、第3期間から第6期間までの4期間分
のレベルに対応することとなる。
FIG. 9 is a diagram showing a time chart of a drive signal in which the output sequence of the pulses generated by the conventional pulse width modulation is the reverse of that in FIG. That is, in FIG. 9, when a 3-bit video signal is subjected to pulse width modulation, the lower first digit (LSB) of the digital value of the video signal corresponds to the level of the 0th period of the drive signal, and the lower two digits. The eyes correspond to the levels of the drive signal in the first period and the second period, and the third digit (MSB) corresponds to the levels of four periods from the third period to the sixth period.

【0048】即ち、図9においては、LSBからMSB
の順にパルス幅変調される一方、上述の図11の場合
は、MSBからLSBの順にパルス幅変調されるので、
この場合も、駆動信号のパルスの出力順序が反対とな
る。従って、上述の実施の形態同様に、図9に対応する
駆動信号と図11に対応する駆動信号とを、隣接するマ
イクロミラー毎にそれぞれ供給することにより、フリッ
カの発生を抑えることができる。
That is, in FIG.
In the case of FIG. 11 described above, the pulse width is modulated in the order of MSB to LSB.
Also in this case, the output order of the pulses of the drive signal is reversed. Accordingly, similarly to the above-described embodiment, the generation of flicker can be suppressed by supplying the driving signal corresponding to FIG. 9 and the driving signal corresponding to FIG. 11 to each adjacent micro mirror.

【0049】なお、上述の実施の形態では、マトリック
ス状の複数のマイクロミラーにおいて、1つおきに上述
の異なる駆動信号が供給されるが、これに限定されず、
2つおき又はそれ以上の数おきに異なる駆動信号が供給
されてもよい。
In the above-described embodiment, the above-mentioned different drive signals are supplied to every other one of the plurality of micromirrors in a matrix. However, the present invention is not limited to this.
A different drive signal may be supplied every other or every other number.

【0050】[0050]

【発明の効果】以上、本発明の画像出力装置によれば、
マトリックス状に配列された複数のマイクロミラーにお
いて、隣接するマイクロミラーを、映像信号レベルに応
じてパルス幅変調されて生成されたパルスの出力順序が
異なる駆動信号により駆動するので、光の照射時間が分
散され、フリッカを目立たなくすることができる。
As described above, according to the image output apparatus of the present invention,
In a plurality of micromirrors arranged in a matrix, adjacent micromirrors are driven by driving signals in which the output order of pulses generated by pulse width modulation according to the video signal level is different, so that the light irradiation time is It is dispersed and can make flicker less noticeable.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】映像信号のレベルに対応する第一の駆動信号の
タイムチャートである。
FIG. 1 is a time chart of a first drive signal corresponding to a level of a video signal.

【図2】映像信号のレベルに対応する第二の駆動信号の
タイムチャートである。
FIG. 2 is a time chart of a second drive signal corresponding to a level of a video signal.

【図3】4×4のマイクロミラーアレイにおいて、隣接
するマイクロミラーが異なる駆動信号によって回転駆動
される各マイクロミラーの状態例を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing an example of a state of each micromirror in which a neighboring micromirror is rotationally driven by a different drive signal in a 4 × 4 micromirror array.

【図4】全てのマイクロミラーを第二の駆動信号だけで
駆動した場合の各マイクロミラーの状態を示す図であ
る。
FIG. 4 is a diagram showing a state of each micro mirror when all micro mirrors are driven only by a second drive signal.

【図5】本発明の実施の形態における画像出力装置のブ
ロック構成図である。
FIG. 5 is a block diagram of an image output device according to an embodiment of the present invention.

【図6】第一の駆動部12Aのブロック構成図である。FIG. 6 is a block diagram of a first driving unit 12A.

【図7】第二の駆動部12Bのブロック構成図である。FIG. 7 is a block diagram of a second driving unit 12B.

【図8】カウンタ121の出力とマグニチュードコンパ
レータ122の出力との関係を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing a relationship between an output of a counter 121 and an output of a magnitude comparator 122.

【図9】パルス幅変調により生成されたパルス出力の順
序が図11の場合と逆の駆動信号のタイムチャートを示
す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a time chart of a drive signal in which the order of pulse output generated by pulse width modulation is opposite to that in FIG. 11;

【図10】マイクロミラーアレイを用いた画像出力装置
の説明図である。
FIG. 10 is an explanatory diagram of an image output device using a micro mirror array.

【図11】投影画像を0レベルから7レベルまでの8階
調で表示するため、3ビットの映像信号をパルス幅変調
した駆動信号のタイムチャートを示す図である。
FIG. 11 is a diagram showing a time chart of a drive signal obtained by pulse-width-modulating a 3-bit video signal in order to display a projection image in eight gradations from 0 level to 7 level.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

M11〜M41 マイクロミラー 10 光源 11 光学的回転フィルタ 12 駆動部 13 投影レンズ 14 照明系レンズ 121 カウンタ 122 マグニチュードコンパレータ 123 AND回路 M11 to M41 Micromirror 10 Light source 11 Optical rotation filter 12 Drive unit 13 Projection lens 14 Illumination lens 121 Counter 122 Magnitude comparator 123 AND circuit

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】光源からの光を投影方向に導く第一の角度
位置と、前記第一の角度位置と異なる第二の角度位置と
の間を回転する複数のマイクロミラーを有するマイクロ
ミラーアレイによって画像を出力する画像出力装置にお
いて、 隣接するマイクロミラー同士は、互いに異なる駆動信号
に基づいて回転駆動することを特徴とする画像出力装
置。
1. A micromirror array having a plurality of micromirrors rotating between a first angular position for guiding light from a light source in a projection direction and a second angular position different from the first angular position. An image output device for outputting an image, wherein adjacent micro mirrors are rotationally driven based on mutually different drive signals.
【請求項2】光源からの光を投影方向に導く第一の角度
位置と、前記第一の角度位置と異なる第二の角度位置と
の間を回転する複数のマイクロミラーを有するマイクロ
ミラーアレイによって画像を出力する画像出力装置にお
いて、 所定周期を有する映像信号のレベルに基づいてパルス幅
変調された第一の駆動信号を前記所定周期毎に生成し、
該第一の駆動信号のパルス出力期間、第一のマイクロミ
ラーを前記第一の角度に駆動する第一の駆動部と、 前記映像信号のレベルに基づいてパルス幅変調され、且
つ該パルスの出力順序が前記第一の駆動信号のパルス出
力順序と逆の第二の駆動信号を前記所定周期毎に生成
し、該第二の駆動信号のパルス出力期間、前記第一のマ
イクロミラーと異なる第二のマイクロミラーを前記第一
の角度に駆動する第二の駆動部とを備えることを特徴と
する画像出力装置。
2. A micromirror array having a plurality of micromirrors rotating between a first angular position for guiding light from a light source in a projection direction and a second angular position different from the first angular position. In an image output device that outputs an image, a first drive signal that is pulse width modulated based on a level of a video signal having a predetermined period is generated for each of the predetermined periods,
A first driving unit that drives a first micromirror to the first angle during a pulse output period of the first driving signal; and a pulse width modulation based on a level of the video signal, and an output of the pulse. A second drive signal whose order is opposite to the pulse output order of the first drive signal is generated for each of the predetermined periods, and the pulse output period of the second drive signal is different from the first micromirror. And a second drive section for driving the micromirror to the first angle.
【請求項3】請求項2において、 前記第一の駆動部及び前記第二の駆動部は、それぞれ、
映像信号のレベルに応じた幅を有する1つのパルスから
なる前記第一の駆動信号及び前記第二の駆動信号を前記
所定周期毎に生成することを特徴とする画像出力装置。
3. The method according to claim 2, wherein the first driving unit and the second driving unit each include:
The image output device according to claim 1, wherein the first drive signal and the second drive signal each including one pulse having a width corresponding to a level of a video signal are generated at the predetermined cycle.
【請求項4】請求項3において、 前記映像信号がnビットのデジタル信号である場合、 前記第一の駆動部は、前記所定周期の1/(2n−1)
のクロックを前記所定周期毎にカウントする第一のカウ
ンタと、 前記第一のカウンタのカウント値と前記映像信号のデジ
タル値とを比較し、その比較結果に基づいて前記第一の
駆動信号を出力する第一の比較器とを有し、 前記第二の駆動部は、前記所定周期の1/(2n−1)
のクロックを前記所定周期毎にカウントする第二のカウ
ンタと、 前記第二のカウンタのカウント値と前記映像信号のデジ
タル値とを比較し、その比較結果に基づいて前記第二の
駆動信号を出力する第二の比較器とを有することを特徴
とする画像出力装置。
4. The apparatus according to claim 3, wherein, when the video signal is an n-bit digital signal, the first driving unit is 1 / (2 n -1) of the predetermined period.
A first counter that counts the clock of the predetermined period, and compares the count value of the first counter with the digital value of the video signal, and outputs the first drive signal based on the comparison result. A second comparator, wherein the second driving unit is configured to calculate 1 / (2 n −1) of the predetermined period.
A second counter that counts the number of clocks at each predetermined cycle, and compares the count value of the second counter with the digital value of the video signal, and outputs the second drive signal based on the comparison result. An image output device, comprising:
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008084520A1 (en) * 2006-12-28 2008-07-17 Nikon Corporation Optical device, pattern generating apparatus, pattern generating method, exposure apparatus, exposure method and device manufacturing method

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