JP2000207029A - Flow rate controller - Google Patents

Flow rate controller

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JP2000207029A
JP2000207029A JP11009691A JP969199A JP2000207029A JP 2000207029 A JP2000207029 A JP 2000207029A JP 11009691 A JP11009691 A JP 11009691A JP 969199 A JP969199 A JP 969199A JP 2000207029 A JP2000207029 A JP 2000207029A
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JP
Japan
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flow rate
orifices
valves
opening
fluid
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Application number
JP11009691A
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Japanese (ja)
Inventor
Hidekazu Imai
英和 今井
Shinichi Fujikawa
真一 藤川
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Tamura Corp
Tamura FA System Corp
Original Assignee
Tamura Corp
Tamura FA System Corp
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Publication date
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  • Flow Control (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inexpensive flow rate controller capable of controlling the flow rate of fluid by a simple signal. SOLUTION: Plural orifices 4 set so as to obtain different flow rates against the set pressure of an air pressure source 1 are mutually parallelly connected to the source 1. Plural valves 5 in an opening/closing operation shape are respectively serially connected to the orifices 4. A spray nozzle 7 is connected to the valves 5, and the fluid of a flow rate decided by the combination of orifices 4 selected by the opening operation of the valves 5 is supplied to the nozzle 7. When the flow rate needed by the nozzle 7 is inputted to the an operation control part 8, the part 8 controls the opening and closing of the respective valves 5.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、流体の流量を制御
する流量制御装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow control device for controlling a flow rate of a fluid.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、空気により液体を粉砕し微粒子化
する2流体スプレーノズルの空気流量制御装置では、ス
プレーノズルに供給される空気の圧力を手動減圧弁によ
って空気圧源の設定圧力より減圧し、変化させることに
よって、空気流量を制御している。
2. Description of the Related Art Conventionally, in an air flow control device for a two-fluid spray nozzle that pulverizes and atomizes a liquid with air, the pressure of air supplied to the spray nozzle is reduced by a manual pressure reducing valve from a set pressure of an air pressure source. The air flow is controlled by changing the air flow.

【0003】この従来の装置では、空気の流量制御を手
動減圧弁による圧力制御で行っているため、電気信号で
空気流量を制御できない。
In this conventional apparatus, since the flow rate of air is controlled by pressure control using a manual pressure reducing valve, the air flow rate cannot be controlled by an electric signal.

【0004】このため、例えばスプレーフラクサなどに
おいて、フラックスが塗布される各基板ごとの塗布条件
を電気的な記憶装置に記憶し、これを各々の基板生産に
対して自動的に適用したり、あるいは空気流量を時間的
に変化させることが不可能である。
For this reason, for example, in a spray fluxer or the like, the application conditions for each substrate to which the flux is applied are stored in an electric storage device, and this is automatically applied to each substrate production. Alternatively, it is impossible to change the air flow rate over time.

【0005】一方、減圧弁に与える電圧または電流によ
って、その二次側圧力を変化させる市販の減圧弁が存在
し、これを使用すれば、電気信号で空気流量を制御する
ことが可能である。
[0005] On the other hand, there is a commercially available pressure reducing valve that changes the secondary pressure thereof according to the voltage or current applied to the pressure reducing valve. If this is used, the air flow rate can be controlled by an electric signal.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、スプレ
ーフラクサなどにこれを使用する場合は、減圧弁に電圧
または電流を制御値として出力するために、この種の装
置の制御に多く用いられるシーケンサに、装置構成部品
としては高価なD/A変換回路を組込むか取付ける必要
が生じ、装置の商品性を悪化させるという問題があっ
た。しかも、このようなものは、得られる空気流量制御
が高精度のものとなるが、スプレーノズルの空気流量制
御としては過剰な精度である。
However, when this is used in a spray fluxer or the like, a voltage or current is output as a control value to a pressure reducing valve, so that a sequencer often used for controlling this type of apparatus is used. In addition, it is necessary to incorporate or attach an expensive D / A conversion circuit as a component of the device, and there has been a problem that the marketability of the device is deteriorated. In addition, in such a method, the obtained air flow rate control has high accuracy, but the air flow rate control of the spray nozzle is excessively accurate.

【0007】本発明は、このような点に鑑みなされたも
ので、流体の流量を単純な信号によって制御できる安価
な流量制御装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide an inexpensive flow control device which can control the flow rate of a fluid by a simple signal.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載された発
明は、同一の流体圧力に対し異なる流量が得られるよう
に設定され相互に並列に接続された複数のオリフィス
と、これらのオリフィスにそれぞれ直列に接続され開作
動により選択したオリフィスの組合せで流体の流量を制
御する複数の開閉作動形の弁とを具備した流量制御装置
である。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the first aspect of the present invention, there are provided a plurality of orifices which are set so as to obtain different flow rates with respect to the same fluid pressure and which are connected in parallel with each other; A flow control device comprising: a plurality of valves of an opening / closing operation type, each of which is connected in series and controls a flow rate of a fluid by a combination of orifices selected by an opening operation.

【0009】そして、複数の弁を単純なオン/オフ信号
によってそれぞれ開閉制御することにより、流量特性の
異なる複数のオリフィスの組合せを変え、流体の流量を
多段階に制御する。
By controlling the opening and closing of a plurality of valves by simple ON / OFF signals, the combination of a plurality of orifices having different flow characteristics is changed, and the flow rate of the fluid is controlled in multiple stages.

【0010】請求項2に記載された発明は、請求項1記
載の流量制御装置において、必要とする流量の入力によ
り各々の弁の開閉を制御する演算制御部を具備したもの
である。
According to a second aspect of the present invention, there is provided the flow control device according to the first aspect, further comprising an arithmetic control unit that controls opening and closing of each valve by inputting a required flow rate.

【0011】そして、演算制御部に必要とする流量を入
力すると、この演算制御部は各々の弁の開閉を自動的に
制御して、オリフィスの組合せを自動的に変える。
When the required flow rate is input to the arithmetic and control unit, the arithmetic and control unit automatically controls the opening and closing of each valve and automatically changes the combination of orifices.

【0012】請求項3に記載された発明は、流体圧源
と、この流体圧源の設定圧力に対し異なる流量が得られ
るように設定され相互に並列に接続された複数のオリフ
ィスと、これらのオリフィスにそれぞれ直列に接続され
た複数の開閉作動形の弁と、これらの弁の開作動により
選択したオリフィスの組合せで決定された流量の流体が
供給されるスプレーノズルと、このスプレーノズルで必
要とする流量の入力により各々の弁の開閉を制御する演
算制御部とを具備した流量制御装置である。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a fluid pressure source, a plurality of orifices set so as to obtain different flow rates with respect to a set pressure of the fluid pressure source, and connected to each other in parallel. A plurality of open / close-operated valves respectively connected in series to the orifices, a spray nozzle that supplies a fluid at a flow rate determined by a combination of the selected orifices by opening these valves, and a spray nozzle that is required. And a calculation control unit that controls the opening and closing of each valve according to the input of the flow rate.

【0013】そして、スプレーノズルで必要とする流量
を演算制御部に入力すると、この演算制御部からの信号
により複数の弁がそれぞれ開閉制御され、流体圧源より
供給された流体は、弁の開作動により選択されたオリフ
ィスの組合せを経てスプレーノズルに供給される。
When the flow rate required by the spray nozzle is input to the arithmetic and control unit, a plurality of valves are respectively controlled to open and close by a signal from the arithmetic and control unit, and the fluid supplied from the fluid pressure source opens the valve. The spray is supplied to the spray nozzle through a combination of orifices selected by operation.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明を図1および図2に
示された実施の一形態を参照しながら説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to an embodiment shown in FIGS.

【0015】図1に示されるように、圧力設定部1aを備
えた流体圧源としての空気圧源1に入口側マニホールド
2が接続され、この入口側マニホールド2に、複数すな
わちn個の通路31 ,32 ,33 ,34 ,……3n が並
列に接続されている。
As shown in FIG. 1, an inlet manifold 2 is connected to an air pressure source 1 as a fluid pressure source having a pressure setting portion 1a, and a plurality of, ie, n, passages 3 1 are connected to the inlet manifold 2. , 3 2 , 3 3 , 3 4 ,..., 3 n are connected in parallel.

【0016】入口側マニホールド2は、空気圧源1から
供給されて流量を制御される流体としての空気を、各々
の通路31 ,32 ,33 ,34 ,……3n に均等に分配
する。
The inlet-side manifold 2, the air as a fluid which is supplied from the air pressure source 1 is controlled flow rate, each of the passages 3 1, 3 2, 3 3, 3 4, distributed evenly ...... 3 n I do.

【0017】これらの各々の通路31 ,32 ,33 ,3
4 ,……3n には、各通路内にそれぞれ設置されて相互
に並列に接続された複数のオリフィス41 ,42
3 ,44 ,……4n (以下、単にオリフィス4とい
う)と、各通路中に介在された複数の開閉作動形の弁5
1 ,52 ,53 ,54 ,……5n (以下、単に弁5とい
う)とが、それぞれ直列に配置されている。
Each of these passages 3 1 , 3 2 , 3 3 , 3
4 ,..., 3 n include a plurality of orifices 4 1 , 4 2 , 4.
4 3 , 4 4 ,... 4 n (hereinafter, simply referred to as the orifice 4) and a plurality of open / close-operated valves 5 interposed in each passage.
1 , 5 2 , 5 3 , 5 4 ,... 5 n (hereinafter simply referred to as valve 5) are arranged in series.

【0018】各々のオリフィス4は、空気圧源1の一定
の設定圧力下において、順にQ・1、Q・2、Q・4、
Q・8、……Q・2n (nは任意の整数、Qは単位流
量)の異なる流量が得られるように、相互に異なる開口
面積に設定されている。
Each of the orifices 4 is, under a predetermined set pressure of the air pressure source 1, sequentially Q.1, Q.2, Q.4,
Q · 8,... Q · 2 n (n is an arbitrary integer, Q is a unit flow rate), are set to different opening areas so as to obtain different flow rates.

【0019】各々の弁5は、開作動により選択したオリ
フィス4の組合せで流体の流量を制御するもので、これ
らの各弁5からの空気を集合させる出口側マニホールド
6に接続され、この出口側マニホールド6には、空気に
より液体を粉砕し微粒子化する2流体スプレーノズル
(以下、単にスプレーノズルという)7が接続されてい
る。
Each of the valves 5 controls the flow rate of the fluid by a combination of the orifices 4 selected by the opening operation, and is connected to an outlet manifold 6 for collecting air from each of the valves 5. The manifold 6 is connected to a two-fluid spray nozzle (hereinafter, simply referred to as a spray nozzle) 7 that pulverizes and atomizes the liquid with air.

【0020】さらに、各弁5をそれぞれ電気的にオン/
オフ作動するソレノイドなどの電気的作動部には、スプ
レーノズル7で必要とする空気流量の入力値に応じて任
意のオリフィス4と対応する弁5を開閉制御する演算制
御部8が、電線91 ,92 ,93 ,94 ,……9n によ
りそれぞれ接続されている。
Further, each valve 5 is electrically turned on / off.
An electrical operation unit such as a solenoid that is turned off includes an arithmetic control unit 8 that controls opening and closing of a valve 5 corresponding to an arbitrary orifice 4 in accordance with an input value of an air flow required by the spray nozzle 7, and an electric wire 9 1. , 9 2 , 9 3 , 9 4 ,... 9 n .

【0021】そして、演算制御部8に流量指令を与える
と、演算制御部8は、設定されたQ・2n の流量指令に
対し、その流量が得られるように各弁5の開閉をそれぞ
れ決定し、n個の各弁5に対して開指令または閉指令を
出力する。
When a flow rate command is given to the arithmetic and control unit 8, the arithmetic and control unit 8 determines the opening and closing of each valve 5 so as to obtain the flow rate in response to the set flow rate command of Q · 2 n. Then, an open command or a close command is output to each of the n valves 5.

【0022】これにより、複数の弁5の開作動により選
択されたオリフィス4の組合せで決定された流量の空気
がスプレーノズル7に供給される。
Thus, a flow of air determined by the combination of the orifices 4 selected by the opening operation of the plurality of valves 5 is supplied to the spray nozzle 7.

【0023】このように、演算制御部8からの信号によ
り、各オリフィス4に接続された各弁5を開閉すること
により、流量設定の最小単位をQとし、その2の整数乗
倍となるような空気流量を出口側マニホールド6の出口
から吐出させる。
As described above, by opening and closing each valve 5 connected to each orifice 4 in response to a signal from the arithmetic and control unit 8, the minimum unit for setting the flow rate is Q, which is an integral multiple of two. An appropriate air flow is discharged from the outlet of the outlet side manifold 6.

【0024】要するに、空気により液体を粉砕し微粒子
化するスプレーノズル7の霧化空気流量制御において、
空気圧源に対し、順にQ・2n (nは任意の整数、Qは
単位流量)の流量を持って並列に複数個接続されたオリ
フィス4と、各々のオリフィス4に直列に接続された弁
5と、空気流量入力値に応じて各弁5の開閉を制御する
演算制御部8とによって、空気流量を制御する。
In short, in the control of the atomizing air flow rate of the spray nozzle 7 for pulverizing and atomizing the liquid with air,
A plurality of orifices 4 connected in parallel to the pneumatic pressure source at a flow rate of Q · 2 n (n is an arbitrary integer, Q is a unit flow rate) and a valve 5 connected in series to each orifice 4 And an arithmetic and control unit 8 that controls the opening and closing of each valve 5 according to the input value of the air flow rate, thereby controlling the air flow rate.

【0025】上記装置において、各弁5は全開あるいは
全閉のどちらかの状態になることで、空気流量制御を行
うので、シーケンサからのオン/オフ信号で空気の流量
制御の目的を達成し、同様の機能をもたせるために高価
なD/A変換回路を用いる必要はなく、装置にかかる費
用を節約できる。
In the above-described apparatus, the air flow control is performed by setting each of the valves 5 to a fully opened state or a fully closed state. Therefore, the purpose of the air flow rate control is achieved by an on / off signal from the sequencer. It is not necessary to use an expensive D / A conversion circuit to provide the same function, and the cost for the apparatus can be saved.

【0026】また、上述のような流量特性の異なる複数
のオリフィス4の代わりに、全て同量の空気流量特性を
持った複数のオリフィスを並列に使用し、開状態の弁の
個数を変化させることでも、空気流量の制御は可能であ
るものの、このような場合は、2n 段階の空気の流量制
御を行うためには2n 個のオリフィスおよび弁が必要と
なり、費用がかさむが、上述のような異なった流量特性
の複数のオリフィス4を組合せて用いることにより、全
閉を含めて2n 段階と非常に多段階の流量制御を、n個
のオリフィス4と弁5とで、きめ細かく行うことがで
き、装置にかかる費用を節減できる。
In place of the plurality of orifices 4 having different flow characteristics as described above, a plurality of orifices having the same amount of air flow characteristics are used in parallel, and the number of valves in the open state is changed. but, although the air flow control is possible, in such a case, in order to control the flow rate of 2 n stages air requires 2 n pieces of orifices and valves, but costly, as described above By using a plurality of orifices 4 having different flow characteristics in combination, it is possible to perform a very multi-stage flow control of 2 n stages including fully closed by n orifices 4 and valves 5 in detail. The cost of the apparatus can be reduced.

【0027】図2に、左端の弁51 に接続されたオリフ
ィス41 の空気圧源1の設定圧力下での流量を1とし、
各弁5およびオリフィス4の数をそれぞれ5個、すなわ
ちn=5としたときの各弁5の開閉と流量との関係を示
す。
[0027] Figure 2, the flow rate under a set pressure of the pressure source 1 of the orifice 4 1 connected to the left end of the valve 5 1 1,
The relationship between the opening and closing of each valve 5 and the flow rate when the number of each valve 5 and orifice 4 is 5, that is, when n = 5, is shown.

【0028】本装置が主に想定する適用先であるスプレ
ーフラクサにおいて一般的に使用されるスプレーノズル
7では、供給される空気流量をコントロールすることに
より、スプレーノズル7から吐出される微粒子化された
フラックスの粒子径を変化させることが可能である。
In the spray nozzle 7 generally used in a spray fluxer to which the present apparatus is mainly applied, fine particles discharged from the spray nozzle 7 are controlled by controlling the flow rate of supplied air. It is possible to change the particle size of the flux.

【0029】本装置をスプレーフラクサに適用すること
により、はんだ付けされる部品搭載基板上へのリターン
シャワーを嫌い、できるだけ細かいフラックス粒子を得
るため、スプレーノズル7へ供給する空気の流量を多く
する場合や、基板のスルーホールへのはんだ上がりを必
要とし、比較的大きい粒子径を得るため、スプレーノズ
ル7に供給する空気流量を少なくする場合など、場合に
よって電気的な信号をもって手動による減圧弁の操作な
しに空気流量を変化させ、希望する塗布状態を得ること
ができる。
By applying this apparatus to a spray fluxer, the return shower onto the component mounting board to be soldered is disliked, and the flow rate of air supplied to the spray nozzle 7 is increased in order to obtain the finest possible flux particles. In some cases, such as when soldering to a through hole of a substrate is required and a relatively large particle diameter is obtained, the flow rate of air supplied to the spray nozzle 7 is reduced, and in some cases, an electric signal is used to manually operate the pressure reducing valve. The desired application state can be obtained by changing the air flow rate without any operation.

【0030】このフラックス塗布中にスプレーノズル7
への供給フラックス流量と供給空気流量とを同時に、あ
るいは個別に変化させれば、基板の一部に対して適当な
フラックス塗布を行うことも可能である。
During the application of the flux, the spray nozzle 7
If the flow rate of the supplied flux and the flow rate of the supplied air are simultaneously or individually changed, it is possible to apply a suitable flux to a part of the substrate.

【0031】空気の流量制御を手動減圧弁によって行う
従来の装置では、このように塗布条件を自動的に、さら
には塗布中に任意に変化させることは不可能であった。
In a conventional apparatus in which the flow rate of air is controlled by a manual pressure reducing valve, it is impossible to automatically change the coating conditions and arbitrarily change the coating conditions during coating.

【0032】また、スプレーフラクサにおいて、空気供
給による自吸性を持つスプレーノズル7を使用した場
合、任意の時期にスプレーノズル7の液供給管路をフラ
ックス供給管からIPA(イソ・プロピル・アルコー
ル)などの洗浄液の供給管に切替えた上で、本装置によ
る空気流量制御をもってスプレーノズル7に最大空気流
量を与え、スプレーノズル7の自吸性によって洗浄液を
スプレーノズル7に導き、このスプレーノズル7を洗浄
することも可能である。
When a spray nozzle having a self-priming property by air supply is used in the spray fluxer, the liquid supply line of the spray nozzle 7 is connected to the IPA (iso-propyl alcohol) from the flux supply pipe at any time. ), The maximum flow rate of air is given to the spray nozzle 7 by controlling the air flow rate by the present apparatus, and the cleaning liquid is guided to the spray nozzle 7 by the self-priming property of the spray nozzle 7. Can also be washed.

【0033】[0033]

【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、複数の弁
を単純なオン/オフ信号によってそれぞれ開閉制御する
ことにより、流量特性の異なる複数のオリフィスの組合
せを変えて流体の流量を多段階に制御できる、安価な流
量制御装置を提供できる。
According to the first aspect of the present invention, by controlling the opening and closing of a plurality of valves by a simple on / off signal, the combination of a plurality of orifices having different flow characteristics is changed to increase the flow rate of the fluid. An inexpensive flow control device that can be controlled in stages can be provided.

【0034】請求項2記載の発明によれば、演算制御部
に必要とする流量を入力するのみで、この演算制御部に
より各々の弁の開閉を自動的に制御して、オリフィスの
組合せを自動的に変えることができる。
According to the second aspect of the present invention, only by inputting the required flow rate to the arithmetic and control unit, the arithmetic and control unit automatically controls the opening and closing of each valve to automatically set the combination of orifices. Can be changed.

【0035】請求項3記載の発明によれば、スプレーノ
ズルで必要とする流量を演算制御部に入力すると、この
演算制御部からの信号により複数の弁がそれぞれ開閉制
御され、これらの弁の開作動で選択された流量特性の異
なる複数のオリフィスの組合せにより、流体圧源よりス
プレーノズルに供給される流体の流量を多段階に、かつ
安価に制御できる流量制御装置を提供できる。
According to the third aspect of the present invention, when the flow rate required by the spray nozzle is input to the arithmetic and control unit, a plurality of valves are controlled to open and close by signals from the arithmetic and control unit. By combining a plurality of orifices with different flow characteristics selected by operation, it is possible to provide a flow control device capable of controlling the flow rate of the fluid supplied from the fluid pressure source to the spray nozzle in multiple stages and at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明にかかる流量制御装置の実施の一形態を
示す概要図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing one embodiment of a flow control device according to the present invention.

【図2】同上流量制御装置において弁の開閉と流量との
関係を示すグラフである。
FIG. 2 is a graph showing a relationship between opening and closing of a valve and a flow rate in the flow rate control device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 流体圧源としての空気圧源 4 オリフィス 5 弁 7 スプレーノズル 8 演算制御部 Reference Signs List 1 Air pressure source as fluid pressure source 4 Orifice 5 Valve 7 Spray nozzle 8 Operation control unit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤川 真一 埼玉県狭山市大字上広瀬591番地11 株式 会社タムラエフエーシステム内 Fターム(参考) 4F035 AA04 BA05 BC06 5H307 AA20 BB02 CC12 DD12 EE04 EE36 ES02 GG03 HH01 HH06 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Shinichi Fujikawa 591-11, Kamihirose, Oaza, Sayama-shi, Saitama F-term in the Tamura FA system (reference) 4F035 AA04 BA05 BC06 5H307 AA20 BB02 CC12 DD12 EE04 EE36 ES02 GG03 HH01 HH06

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 同一の流体圧力に対し異なる流量が得ら
れるように設定され相互に並列に接続された複数のオリ
フィスと、 これらのオリフィスにそれぞれ直列に接続され開作動に
より選択したオリフィスの組合せで流体の流量を制御す
る複数の開閉作動形の弁とを具備したことを特徴とする
流量制御装置。
1. A combination of a plurality of orifices set to obtain different flow rates for the same fluid pressure and connected in parallel with each other, and orifices each connected in series to each of these orifices and selected by an opening operation. A flow control device comprising: a plurality of open / close-operated valves for controlling a flow rate of a fluid.
【請求項2】 必要とする流量の入力により各々の弁の
開閉を制御する演算制御部を具備したことを特徴とする
請求項1記載の流量制御装置。
2. The flow control device according to claim 1, further comprising an arithmetic and control unit for controlling the opening and closing of each valve by inputting a required flow rate.
【請求項3】 流体圧源と、 この流体圧源の設定圧力に対し異なる流量が得られるよ
うに設定され相互に並列に接続された複数のオリフィス
と、 これらのオリフィスにそれぞれ直列に接続された複数の
開閉作動形の弁と、これらの弁の開作動により選択した
オリフィスの組合せで決定された流量の流体が供給され
るスプレーノズルと、 このスプレーノズルで必要とする流量の入力により各々
の弁の開閉を制御する演算制御部とを具備したことを特
徴とする流量制御装置。
3. A fluid pressure source, a plurality of orifices set so as to obtain different flow rates with respect to a set pressure of the fluid pressure source, and connected in parallel with each other; and respectively connected in series to these orifices. A plurality of on-off operated valves, a spray nozzle to which a fluid of a flow rate determined by a combination of orifices selected by opening these valves is supplied, and each of the valves by inputting a flow rate required by the spray nozzle A flow control device, comprising: an arithmetic control unit that controls the opening and closing of the device.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003053548A (en) * 2001-08-17 2003-02-26 Koike Sanso Kogyo Co Ltd Discharge regulator and processing equipment
JP2013054419A (en) * 2011-09-01 2013-03-21 Miura Co Ltd Flow rate regulator

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