JP2000203493A - アクチュエータ及びアクチュエータを製作する方法 - Google Patents

アクチュエータ及びアクチュエータを製作する方法

Info

Publication number
JP2000203493A
JP2000203493A JP10291037A JP29103798A JP2000203493A JP 2000203493 A JP2000203493 A JP 2000203493A JP 10291037 A JP10291037 A JP 10291037A JP 29103798 A JP29103798 A JP 29103798A JP 2000203493 A JP2000203493 A JP 2000203493A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
actuator
actuator according
block
blocks
separator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10291037A
Other languages
English (en)
Inventor
Jean Thierry Audren
ジャン、ティエリ、オドラン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sagem SA
Original Assignee
SFIM Industries SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from FR9712774A external-priority patent/FR2769768B1/fr
Priority claimed from FR9712775A external-priority patent/FR2769769B1/fr
Application filed by SFIM Industries SA filed Critical SFIM Industries SA
Publication of JP2000203493A publication Critical patent/JP2000203493A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/208—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using shear or torsion displacement, e.g. d15 type devices
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N35/00—Magnetostrictive devices

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧電型、電歪型又は磁歪型の活性物質を用い
る増幅されたアクチュエータを得ることである。 【解決の手段】 圧電型、電歪型又は磁歪型の活性物質
のユニットブロックであって、筒状構造体を形成するよ
うに配置された前記単位ユニットブロックの複数のスタ
ックと、電界又は磁界を前記ユニットに加えて、筒状構
造体がよじれるようにして前記ユニットを変形させるこ
とができるようにする手段とを備えることを特徴とする
アクチュエータ。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は圧電型、電歪型又は
磁歪型の活性物質を用いる増幅機能を有するアクチュエ
ータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】航空機に搭載される操縦装置には、航空
機の直接運動を制御するために作用し、翼の後縁部に設
けられる全体として可動面である第１の操縦装置と、飛
行の種々の段階に適合するために航空機の空気力学的運
動を調整するための、水平尾翼と高揚力可動面及び翼端
を含む第２の操縦装置と、の２種類がある。
【０００３】そのような翼のためのアクチュエータに求
められる諸特性は非常に多様である。第１の操縦装置は
航空機が実行できる運動のスペクトラム幅よりも広い通
過帯域を取り扱えなければならず、常に動作できなけれ
ばならず、かつ出力が失われたら中立位置へ戻るために
適していなければならない。対照的に、第２の操縦装置
は間欠的に動作するから、それらの操縦装置は狭い通過
帯域のみを必要とするが、出力停止の場合にそれらの操
縦装置は最後の位置に留まることができなければならな
い。
【０００４】それらの操縦装置は油圧装置として一般に
実現される。油圧装置は、第１の操縦装置の場合には直
接動作するが、第２の操縦装置の場合には機械的な減速
手段を介して動作する。第２の操縦装置の場合に使用さ
れるのは求められている非可逆性を提供する機械的減速
手段である。種々の理由（修理、汚染、火災の危険等）
から、航空機の製造者は制御に油圧を使用することを減
らし、かつ電気的制御を促進しようとしている。不幸な
ことに、減速手段に組合わされる電動機は過大な重量を
搭載することになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、高エ
ネルギー密度を提供するために適当で、高い応力に耐え
ることができ、したがって第１の操縦装置の良い候補を
構成する圧電材料、電歪材料、又は磁歪材料を基にした
モータを提供することである。
【０００６】ステータに発生される接線方向の振動と垂
直方向の振動を、ステータとロータとの間の機械的接触
摩擦によって連続運動に変換する振動モータを基にした
アクチュエータを提供するという提案が既に行われてい
る。その種のモータを第２の操縦装置に応用することに
ついての全体的な記述について、たとえば、アクチュエ
ータ−将来の制御のための圧電材料（Actionneurs-Des
materiaux piezoelectriques pour les commanndes du
futur ）、１９９６年１０月３１日、Usine Nouvelle発
行、No.2568 、圧電飛行操縦装置（Des commanndes de
vol piezoelectriques）１９９７年２月２８日 Air et
Cosmos/Aviztion International発行、No.1602 を参照
することができる。しかし、そのような種類のモータ
は、連続動作でインタフェースが極めて急速に摩耗する
ことになり、かつ出力停止の場合に最後に達した位置に
維持されるのであれば、第１の操縦装置の製作に使用す
るには適当でない。
【０００７】また提案されている別の解決策は、操縦翼
面を限られた量だけ動かすために圧電変位を直接使用す
ることにある。圧電材料は非常に高いレベルの力を与え
ることができるが、非常に小さい変位を行うことができ
るだけであるために、操縦翼面に求められる運動の大き
さに圧電材料を適合させるように変位を大きくする構造
体を含ませると適切である。そのような装置は、パワー
入力がパワー出力よりも常に大きいのであるが、一般的
に「増幅器」と呼ばれている。
【０００８】増幅されたアクチュエータ構造体が、たと
えば、１９９７年５月１３〜１６日にツールーズで開か
れた、第２回宇宙マイクロダイナミックス及び精密制御
シンポジウム（2nd Space Microdynamics and Accurate
Control Symposium）において、R.Le Letty、F.Claeys
sen 、G.Thominにより発表された「精密配置及び半受動
ダンピング用の新規な増幅器圧電アクチュエータ（A ne
w amplifier piezoelectric actuator for precise pos
itioning and semi-passove damping ）」と題する論文
に記述されている。
【０００９】その論文では、圧電アクチュエータからの
出口に弾性機械的増幅器を使用することが提案されてい
る。増幅器として油圧変換手段を使用することを他の文
献が提案している（Usin Nouvelle から発行された上記
論文参照）。しかし、それらの解決策は満足なものでは
ない。変換を行う構造体は基本構造体よりも強固でなけ
ればならない。さもなければ、アクチュエータによって
供給される動力は動力出力を損なうまで変換構造体を変
形させる。この剛性は重い部品を用いることによってし
ばしば得られるが、それによって、計量及び高エネルギ
ー密度という初めの利点がかなり減少する。従って、本
発明の目的は、小さい圧電変位を大きい変位に変換する
ための頑丈で軽い構造体を提案することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】そのために、本発明は、
圧電型、電歪型又は磁歪型の活性物質のユニットブロッ
クにおいて、筒状構造体を形成するように配置された前
記単位ユニットブロックの複数のスタックと、電界又は
磁界を前記ユニットに加えて、筒状構造体がよじれるよ
うにして前記ユニットを変形させることができるように
する手段とを備えることを特徴とするアクチュエータを
提供するものである。
【００１１】第１の変更実施形態では、ユニットブロッ
クは圧電性又は磁歪性であり、前記ブロックを変形させ
る手段は、電界を前記ブロックに加えることができるよ
うにする電極を形成する手段を備える。そのようなアク
チュエータは下記の種々の特性を単独で、又は任意の可
能な組合わせで更に含むから有利である。ユニットブロ
ックは伸び／縮みで動作し、それらは筒状構造体の高さ
方向で交番する分極で積み重ねられる。
【００１２】構造体の高さ方向に沿って伸びる分離器手
段によってスタックは対となって分離され、分離要素は
一連の厚板によって構成され、各厚板の厚さは２つのユ
ニットブロックの高さに少なくとも対応し、厚板は相互
に滑るために適当であって、かつそれのスチフネスはユ
ニットブロックのスチフネスより高く、重畳させられた
同じ高さの厚板の間の分離器領域は、１つの分離器手段
から円周方向に次の分離器手段への構造体の高さ方向に
ずれている。
【００１３】分離器手段は、対となって、厚板を構成す
る複数のスロットを呈するストリップによって構成され
る。分離器手段は重畳させられている複数の分離要素に
よって構成され、各分離要素はユニット厚板を構成す
る。電極構成手段は分離器手段によって構成される。ユ
ニットブロックはせん断モードで動作する。与えられた
スタックの高さ方向に引き続く２つのユニットブロック
がそれらの向き合う面に電極構成金属化部を呈する。ユ
ニットブロックのスタックが導電性分離器手段によって
分離され、その分離器手段に電極構成金属化部が接続さ
れる。
【００１４】ユニットブロックは筒状構造体の高さ方向
にワッシャーとして分布される。アクチュエータはプレ
ストレス外皮を含み、その外皮の内部にユニットブロッ
クの筒状構造体が置かれる。プレストレス外皮は複数の
リングを備え、各リングは筒状構造体のユニットブロッ
クのワッシャーにプレストレスを与える。リングは導電
性であり、アクチュエータは複数の接触領域を備え、そ
れらの接触領域は、分離器手段とプレストレスリングと
の間で構造体の高さ方向に分布させられる。他のあらゆ
る厚板に接触するように接触領域は分布させられる。リ
ングは電気絶縁ワッシャーによって分離させられる。外
皮すなわちプレストレスリングは形状記憶合金で製作さ
れる。
【００１５】そのようなアクチュエータは次のようにし
て製作されるから有利である。 ａ）絶縁ワッシャーとプレストレスリングとを低温度段
階で外部チューブの内部に交互に積み重ね、 ｂ）絶縁面を有する円筒形内部コアの母線に沿って分割
金属ストリップを、隣接するストリップ対が、前記個あ
の長さ方向に、コアの厚さの半分だけ相互にずらされる
ようにして、積み重ね、 ｃ）プレストレスリングとワッシャーとによって構成さ
れている筒状構造体の内部にコアをそれのストリップと
一緒に挿入し、 ｄ）リングと、ストリップと、コアとの間のハウジング
にユニットブロックを挿入し、 ｅ）この組立体を加熱してプレストレスリングの相を変
化させる。
【００１６】他の変形実施形態では、筒状能動構造体の
ユニットブロックは、磁気歪み効果によって変形させら
れるように設計された複数のブロックのスタックを備
え、ブロックの間に分離器手段が置かれ、分離器手段は
分離器厚板のスタックによって構成され、各分離器厚板
のスタックの高さは磁気歪み効果によって変形させるべ
き２つのブロックの高さに少なくとも対応し、能動構造
体の高さ方向における重畳させられている種々の厚板は
相対的に滑るために適当であり、同じ高さに重畳されて
いる分離器厚板の間の分離領域は、１つの分離手段から
他の分離手段まで、構造体の高さ方向にずれ、アクチュ
エータは、磁気歪み効果によって変形させるべきブロッ
クに磁界を加えるための手段を含み、それによって前記
ブロックを構造体の高さ方向及びそれの周囲で交互に伸
縮させる。
【００１７】そのようなアクチュエータは下記の種々の
特性を単独で、又は任意の可能な組合わせで更に含むか
ら有利である。能動構造体は磁気歪み物質のチューブで
あって、互い違いに配置された複数のスロットを有し、
それらのスロットの間に、磁気歪み効果によって変形さ
せられるように設計されたブロックに対応する領域と、
分離器厚板に対応する領域とを形成する。一様で永久的
な半径方向磁界を能動構造体に加えるため、及び前記永
久磁界に、磁気歪み効果によって変形させるべき１つの
ブロックから他のブロックへ交番する半径方向制御磁界
を加えるための手段を含む。
【００１８】磁気歪み効果によって変形させるように設
計された１つのブロックから次のブロックへ交番する、
永久的な半径方向磁界を能動構造体に加えるため、及び
前記永久磁界に一様な半径方向制御磁界を加えるための
手段を含む。
【００１９】磁気歪み効果によって変形させるように設
計された種々のブロックに位置を合わされた永久磁石を
アクチュエータは有する。永久磁石は１つの磁石から次
の磁石へ交番する分極のものである。永久磁石は相互に
相対的に回るために適当な複数の部分を有するコアによ
って支持され、能動構造体のねじれ運動を前記部分に伝
えるための手段を更に含む。
【００２０】前記手段は軸線方向のねじれ棒を備える。
前記手段は能動構造体の高さ方向に引き続く永久磁石の
間にエラストマーリンクを備える。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明を実
施形態に基づいて詳細に説明する。図１に示す１つの可
能な実施形態を構成するアクチュエータの形は円筒形で
あって、筒状能動構造体１と、プレストレス外皮２とを
有する。そのプレストレス外皮の内部に能動構造体１が
装着される。希望によってはアクチュエータは中心コア
３も含む。そのコアはアクチュエータの製作中に主とし
て機能し、製作が終了したら、適切な場合には、以下で
詳細に説明するように引く抜くことができる。円筒形の
アクチュエータは、制御電圧がそれのプレストレス外皮
に加えられた時に、それの対称軸線を中心として大きな
よじれ運動を行う。下記の能動アクチュエータ１では、
このよじれは０．２５ラジアン、すなわち１５°のよう
に大きくできる。
【００２２】図２は１つの可能な実施形態を構成する少
数のアクチュエータ１を展開した形で示す。軸線Ａは円
筒の軸線の向きを表す。真ん中にそれぞれの矢印が描か
れている長方形が圧電物質又は電歪物質のブロックを表
す。それらのブロックを参照符号４で表す。それらのブ
ロック４は中実セラミックブロック、又は多層ブロック
である。それらのブロックがセラミックブロックであれ
ば、矢印の向きはブロックの分極の向きに一致する。ブ
ロックが多層ブロックであれば、矢印の向きはブロック
の最も端の層の分極の向きに一致する。
【００２３】ブロック４は構造体の長手方向に積み重ね
られ、スタックすなわち積み重ねられたものの各層は、
閉じた環を形成するように並置されている複数のブロッ
ク４によって構成されて、ワッシャーＲを構成する。与
えられたスタック層では、引き続くブロック４が不活性
分離要素５（厚板）によって対として分離される。各分
離要素はスタックの２つの層を貫通して伸びる。それら
の分離要素はブロック４のセラミックのスチフネスより
高いスチフネスを持つ材料で製作される。分離要素はた
とえば鋼で製作できる。
【００２４】スタックの与えられた任意の層内の引き続
く分離要素５は、そのスタック層のいずれかの側のスタ
ックの２つの層のおのおのの中に交互に突き込み、関係
する２つの層のおのおのにおけるブロック４のための分
離要素を構成する。構造体の軸線方向に引き続く２つの
分離要素５は相互に接触するが、相対的に動くために適
する。ブロック４（又はブロックが多層材料で製作され
ているならば外側の層）の分極の向きは１つのスタック
層から次のスタック層へ交番する。
【００２５】交番電圧（＋Ｖ、−Ｖ）が分離要素５の軸
線Ａに沿ってアラインメントに加えられるとすると、各
層はそれの近くの層に対して移動させられる。それぞれ
のワッシャーＲ中の交番する磁界と、１つのワッシャー
Ｒから次のワッシャーへ交番する分極とのために、移動
は常に同じ向きである。これを図３に示す。分離要素５
を構成する材料（金属）の変形を、ブロック４を構成し
ているセラミックの変形に対して無視できる（ヤング率
の大きな違い）と仮定し、かつ分離要素５が動いても分
離要素の最初の向きに平行なままであると仮定すると、
第１の近似で、 θ＝２πμε．ｍ／ｎ Ｋ＝（Ｅ／２πμ）（ｎ2 ／ｍ2 ）Ｒ．ΔＲ．ｌ が得られる。ここに、 θ＝加えられた電圧の下での軸の最大よじれ、 ｍ＝円筒中の層の数、 ε＝加えられたフィールドの下におけるセラミックの最
大相対変形、 μ＝セラミックの体積ｐと金属＋セラミックの全体積と
の比、 Ｒ＝能動構造体の外半径、 Ｋ＝軸のよじれスチフネス。
【００２６】 ｎ＝ワッシャー中のセラミックブロックの数、 Ｅ＝セラミックのヤング率、 ΔＲ＝能動層の外半径と内半径との差、 ｌ＝アクチュエータの長さ、 である。
【００２７】それらの２つの式を用いると、円筒形アク
チュエータによって構成された軸に対して望まれる特性
を選択することが可能である。比μｍ／ｎは機械的な増
幅率を表すことがわかる。この比を高くするためには、
層の数を多くし、層当りのブロックの数をできるだけ少
なくすることが望ましい。比μも高くしなければならな
いが、０．５より低く維持する必要がある。この比が高
くなるにつれて、金属分離要素５はよじれ運動をさせら
れる。そのよじれ運動はこの装置の動作にとっては不利
である。この現象を避けながらμをできるだけ高くでき
るようにするためには、個々の分離要素５を、円筒の軸
線Ａに平行に伸び、かつスロット７が形成されているス
トリップ６、たとえば、金属ストリップ、によって構成
されている分離要素で置き換えることが有利である。
【００２８】それらのラインの変形を図４に示す。スト
リップ６のスロット７が、ブロック４の２つの引き続く
層の高さに位置する距離だけ離隔される。１つのストリ
ップと次のストリップとの間では、スロット７はブロッ
ク４の１つの艘の高さだけずらされる。そのような構造
体では、あるストリップ中の引き続く２つのスロット７
の間の金属（厚板）の質量が、図２及び図３を参照して
説明した構造体における分離要素５の質量を表し、前記
スロット７は１つの分離要素５が傾斜を制限しながら他
の分離要素に対して滑ることができるようにする分離要
素５の間のリンクをまねる。
【００２９】スロット７の周囲のストリップ６の領域の
変形を図５に示す。スロット７は、変位中に表面に一様
に分布されるせん断応力の大きな部分を無くし、傾斜中
は分離要素５の縁部で大きい引っ張り応力／圧縮応力を
最大にすることを観察されるであろう。プレストレス外
皮２がプレストレスリング８によって円筒の各層のため
に製作される。プレストレスリング８は図６に示すよう
にして金属／セラミック組立体に対して止められる。プ
レストレスリング８は高い温度ヒステリシスを持つ形状
記憶合金、たとえば、Ｎｉ−Ｔｉ−Ｎｂ型の合金で製作
すると有利である。液体窒素中で冷却することによって
得られる低温相では、プレストレスリング８はセラミッ
クと金属とが交番する構造体を製作することを可能にす
るために十分である常温における内部直径を有する。１
５０°Ｃ以上に加熱することによって、リング８は収縮
することによってそれの高温構造体をとり、それによっ
てプレストレスを与える。通常の使用温度（−６０°Ｃ
〜＋１００°Ｃ）に戻ってもリング８はこの構造体を保
持する。
【００３０】＋Ｖ電源回路と−Ｖ電源回路との間の短絡
を避けるために、１つ置きのストリップ６（又は１つ置
きの分離要素５）だけがリング８に接触する。
【００３１】接触は接触領域１０によって行うことが好
ましい。プレストレスを一様にするために、接触領域の
分布が１つの層から次の層まで交番させられる。こうす
ると各プレストレスリング８がそれのすぐ近くのリング
に潜在的に向き合う結果となる。したがって、図７に示
すように、電気絶縁ワッシャー９をプレストレスリング
８の間に挿入することが適切である。
【００３２】分離要素６の可能な構造体の例を図８に示
す。この図に示すストリップ６はくぼみ１１と交番する
接触領域１０を形成する一連の突出部を有する。各接触
領域１０とくぼみ１１は能動構造体１の１つの層に対応
する。この解決策は良い電気的連続性を提供して、スロ
ットの両側でストリップ６に沿って伸びるマージンすな
わち横のブレード１２によって、１つの層から他の層ま
でプレストレスを伝えることを可能にするので、この解
決策は好ましい。したがって、くぼみ１１に対応し、か
つ対応する層のプレストレスリング８に接触するストリ
ップ６のそれらの領域でも、すぐ近くの層のリング８に
よって所定場所に保持される。この解決策の他の利点は
電気的連続性が良いことである。
【００３３】上記構造体は次のようにして製作すると有
利である（図９（ａ）ないし図９（ｃ））。 ａ．外側チューブ１３を取り、低温状態のプレストレス
リング８をそのチューブの内部に絶縁ワッシャー９と交
互に積み重ねる（図９（ａ））。 ｂ．絶縁面を有する内部円筒コア３の周囲に分割金属ス
トリップ６をコアの母線に沿って一時的に、又は他のや
り方で付着する。それらのストリップは１つの層の厚さ
だけコアの母線に沿ってずらされる（図９（ｂ））。 ｃ．コアとそれのストリップを、プレストレスワッシャ
ーによって構成されているチューブの中に挿入する（図
９（ｃ））。 ｄ．リング８と、ストリップ６と、コア３との間に残っ
ているハウジングの内部に挿入して、セラミックブロッ
クの分極の半径に直角な向き（orthoradial direction
）が、このようにして製作されたスタックの各層にお
いて同じで、１つの層と次の層とで交番するようにす
る。 ｅ．組立体又はそれのを外側を加熱してプレストレスリ
ング８の相を変化させるようにする。セラミックブロッ
クの分極が無くなることを避けるように、リングの上昇
温度はセラミックブロックのキューリー点より低くなけ
ればならない。 ｆ．以後の使用に応じて、外側チューブ１３と内部コア
３との少なくとも一方を希望によって除去する。内部コ
アを残すものとすると、内部コア自身の柔軟性又はそれ
の絶縁層の柔軟性のために、それのスチフネスは能動構
造体のスチフネスよりはるかに低くなければならない。
コア３の中心には軸線方向のプレストレスを加えること
ができるようにするロッドを設けることができる。
【００３４】もちろん他の実施形態も可能である。とく
に、上の説明では、伸縮するセラミック（圧電変形率が
Ｄ３３又はＤ３１）でブロック９を製作するものと暗黙
のうちに仮定している。しかし、せん断モードで動作す
るセラミック（圧電変形率がＤ１５）を用いることを考
えることも可能である。現在はこの種の圧電セラミック
はむくのセラミックの形で入手できる。
【００３５】飛行アクチュエータのために数十ボルトの
電圧を使用できるものとすると、そのようなセラミック
を使用することを考えることが可能である。
【００３６】図１０と図１１は、ブロック１０４をせん
断モードで動作する圧電物質で製作した本発明のアクチ
ュエータ構造体を示す。ブロック１０４は構造体の高さ
に沿って（軸線Ａに沿って）分極を交番して積み重ね
る。同じスタック内の連続する２つのブロック１０４は
電極形成金属化部１２０によって分離され、能動構造体
の高さ方向における金属化部１２０の引き続く層が、ス
タックの１つの側と他の側とに配置されている導電性分
離ストリップ１０６に交互に接続される。
【００３７】このように、＋Ｖと−Ｖの電位を１つ置き
の分離要素１０６に加えることによって、構造体は図１
１に示すようにして変形させられる。図１０及び図１１
に示す例では、構造体の高さ方向における与えられた層
中のブロック１０４は同じ向きの分極を有し、展開図で
は、ブレードすなわち金属化部１２０は分離要素１０６
の両側で対称的に分布させられる。しかし、スタックの
与えられた層内の全てのブロック１０４に対しては同じ
ようにして分極させることは重要ではない。層の内部で
は、分極を１つのブロック１０４から次のブロックまで
交番でき、その時に同じ層内の引き続く２つのブロック
の金属開口部１２０が２つの異なる分離要素１０６に接
続される。
【００３８】図１３に示す可能な実施形態を構成する磁
歪アクチュエータは円筒形をしており、筒状能動構造体
２０１と、外皮２０２と、中心コア２０２とを有する。
外皮の中に能動構造体２０１が装着される。
【００３９】図１４は、この可能な実施形態を構成する
能動構造体２０１の高さの僅かな部分を示す展開図であ
る。軸線Ａは円筒の軸線の方向を表す。この能動構造体
は磁歪セラミックのブロック２０４を複数個有する。そ
れらのブロックは構造体の高さ方向に積み重ねられる。
スタックの各層は、閉じたループを構成し、したがっ
て、ワッシャーＲを構成するように並置されている複数
のブロック２０４で製作される。
【００４０】このスタックの任意の１つの層では、引き
続くブロック２０４が不活性分離要素２０５（金属厚
板）によって対となって離隔される。各分離要素はスタ
ックの２つの層を貫いて伸びる。それらの分離要素は、
ブロック２０４のセラミックよりもはるかに硬い材料で
製作される。たとえば、分離要素は鋼で製作できる。ス
タックの層中の引き続く分離要素２０５は、問題の層の
両側においてスタックの隣接する２つの層のおのおのの
中に交互に伸び、したがって、前記２つの隣接する層の
一方又は他方におけるブロック２０４のための分離要素
も構成する。この構造体の軸線方向における高さ方向の
引き続く２つの分離要素２０５は相互に接触するように
なるが、相互に相対的に移動させられるのに適する。
【００４１】与えられた層中のブロック２０４が変形さ
せられて、同じ層中の引き続く２つのブロック又は構造
体の高さ方向における引き続く２つのブロックが縮む１
つのブロックと、伸びる他のブロックとを構成し、それ
によって各層をそれの近くの層に対してずらせ、かつ能
動構造体２０１をよじらせるように、半径方向の磁界が
ブロック２０４に加えられる。
【００４２】これを図１４に示す。（金属）分離要素２
０５は、ブロック２０４のセラミックの変形と比較して
無視できる大きさだけ変形する（ヤング率の大きな差）
ために選択される材料で製作される。分離ストリップを
ブロック２０４と一体にすることも可能である。その場
合には、図１６に示す、チューブ２０６と、互い違いに
分布された複数のスロット２０７を有する磁歪物質とで
構成される種類の能動構造体が得られる。厚板２０５の
領域が構造体の高さ方向における共通母線上にあるスロ
ット２０７の間に形成され、半径方向の磁界が加えられ
た時に磁歪効果を発生し、かつブロック２０４に対応す
る領域（図１６で斜線を施した領域）は、構造体に沿う
引き続く２つの高さレベルに配置されているスロット２
０７に重なり合う部分の間に形成された領域である。
【００４３】磁気歪みは一様な現象である、すなわち、
磁界の符号に依存しない（図１７参照）ために、各領域
が交番する機械的効果を円筒の軸線に沿って、及び半径
に垂直な方向（ｏｒｔｈｏｒａｄｉａｌ）に呈するよう
に、バイアス磁界を加えることが適切である。そうする
と２つの可能性がある。すなわち、一様な半径方向の永
久磁界を円筒全体に加えることができ、かつ半径方向制
御磁界を、１つの領域から次の領域へ交互にその永久磁
界に加え合わせる（図１７の二重頭矢印Ｉ）。又は半径
方向の永久磁界を１つの領域から次の領域へ交番すして
加えることができ、制御のためにかつ一様な半径方向制
御磁界をそれに加えることができる（図１７の一重頭矢
印ＩＩ）。
【００４４】第２の可能性に対応する構造体を図１８に
示す。この図を参照して以下に説明する。しかし、半径
方向の永久磁界が一定ではなく、より広い領域にわたっ
て交番するような中間構造体を考えることも可能であ
る。永久磁界中の交番は１つの領域から次の領域への遷
移でずらされる。
【００４５】図１８に示す構造体を半径方向の半分の断
面で示す。その構造体の外皮２０２は軟磁性体、たとえ
ば金属、で製作される。コア２０３は、領域（ブロッ
ク）２０４に整列させられた複数の磁石２０９を保持す
る軟磁性体（金属）のロッド２１０によって構成され
る。それらの磁石２０９は、ロッド２１０に対して高さ
方向及び円周方向に交番するようにして、分極させられ
る。
【００４６】例によって、それらの磁石は前記ロッド２
１０と、軟磁性体の要素２１０ａとの間に、能動構造体
２０１に位置を合わせて置かれる。磁石２０９の交番す
る分極は磁歪物質優に交番する永久磁界を生ずる。図１
９に示すように、この交番は半径に垂直な方向（orthor
adial direction ）にも起きる。コア２０３の端部に制
御コイルが存在する。その制御コイルは軸線方向の磁界
を加える。その磁界は外皮を通じてループ状に戻され
る。制御磁界はコア２０３の磁気抵抗を供給する磁歪物
質を貫通して一様に閉じる。その閉路の磁気抵抗は空隙
の磁気抵抗と比較して低い。これは、非常に長い円筒の
場合には必ずしもそうではない。そのような状況の下で
は、図２０に示すように、制御コイル２１１をロッド２
１０に沿って一定の間隔で置くことによって、制御磁界
の向きを交番させる必要があることがある。こうすると
各コイルから見た磁気抵抗が低くなる。
【００４７】一定磁界が閉路中で半径に垂直な方向に閉
じられるならば、上で述べた構造体はとくに有利である
ことを観察されるであろう。その理由は、永久磁石の分
極が半径に垂直な方向に交番するためである。この構造
体は長さには敏感でない。しかし、能動構造体が円筒の
軸線に沿ってよじれると、コアの磁極が励磁すべき領域
２０４にもはや整列しなくなる。したがって、コア２０
３が能動構造体２０１のよじれに等しい量だけよじれる
ことができることが適切であるが、それでもスチフネス
ははるかに低い。このために、コア２０３は能動構造体
２０１の端部に固定しなければならない。
【００４８】そのために、ロッド２１０は、短い直径の
よじれ棒２１４（金属製の場合）によって、又は長い直
径のよじれ棒２１４（エラストマー製の場合）によっ
て、相互に連結されている複数のセグメント２１３で製
作すると有利である。これを図１に示す（軸線方向の半
断面で）。この図でドットはコアの要素とよじれ棒との
間の連結点を表す。
【００４９】コアの２つの要素２１０ａの間の連結を、
種々の磁極層の間に置かれているエラストマーのワッシ
ャー２１２を介して行うことも可能である。これを図２
２に示す。それらのエラストマーワッシャー２１２は制
御コイルを被覆することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１つの可能な実施形態を構成するアク
チュエータの線図的斜視図である。
【図２】図１に示すアクチュエータの能動構造体の展開
図である。
【図３】能動構造体がどのように動作するかを示す図２
に類似の図である。
【図４】能動構造体の他の可能な実現の展開図である。
【図５】図４に示す構造体における分離手段の２枚の厚
板の間の滑りを示す。
【図６】図１のアクチュエータの横断面図である。
【図７】プレストレス外皮の１つの可能な実施形態を示
す線図的斜視図である。
【図８】分離手段の可能な実施形態を示す斜視図であ
る。
【図９】図１に示すアクチュエータを製作する工程の１
つを示す線図である。
【図１０】本発明の他の可能な実施形態を示す図２に類
似する図である。
【図１１】本発明の他の可能な実施形態を示す図３に類
似する図である。
【図１２】本発明の他の可能な実施形態を示す図１０に
類似する図である。
【図１３】他の可能な実施形態を構成する磁歪アクチュ
エータを示す図１の線図的斜視図に類似する線図的斜視
図である。
【図１４】図１３に示すアクチュエータの能動構造体の
展開図である。
【図１５】能動構造体のよじれ運動を示す図１４に類似
する図である。
【図１６】本発明の他の可能な実施形態を示す図１４に
類似する図である。
【図１７】磁歪物質の伸びをそれに加えられた磁界の関
数として描いたグラフである。
【図１８】図１５のアクチュエータの半径方向における
半分図である。
【図１９】同じアクチュエータの横断面図である。
【図２０】本発明の他の実施形態を示す図１７に類似す
る図である。
【図２１】図１８に示す構造体のロッドの１つの可能な
構造を示す。
【図２２】図２０に示す構造体のロッドの他の可能な構
造を示す。
【符号の説明】
１、２０１ 能動構造体 ２、２０２ プレストレス外皮 ３、２０３ 中心コア ４、１０４ 圧電物質、電歪物質、のブロック ５、１０６、２０５ 分離要素 ６ ストリップ ７、２０７ スロット ８ プレストレスリング ９、２１２ 電気絶縁ワッシャー １０ 接触領域 １１ くぼみ １２ ブレード １３、２０６ 外側チューブ １２０ 金属化部 ２０９ 磁石 ２１０ 軟磁性体のロッド ２１１ 制御コイル ２１４ よじれ棒

Claims (27)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】圧電型、電歪型又は磁歪型の活性物質のユ
    ニットブロックにおいて、筒状構造体を形成するように
    配置された前記単位ユニットブロックの複数のスタック
    と、電界又は磁界を前記ユニットに加えて、筒状構造体
    がよじれるようにして前記ユニットを変形させることが
    できるようにする手段とを備えたことを特徴とするアク
    チュエータ。
  2. 【請求項２】請求項１に記載のアクチュエータにおい
    て、ユニットブロックは圧電性又は電歪性であり、前記
    ブロックを変形させる手段は、電界を前記ブロックに加
    えることができるようにする電極を形成する電極形成手
    段を備えたことを特徴とするアクチュエータ。
  3. 【請求項３】請求項２に記載のアクチュエータにおい
    て、ユニットブロックは伸び／縮みで動作し、それらは
    筒状構造体の高さ方向で交番する分極で積み重ねられる
    ことを特徴とするアクチュエータ。
  4. 【請求項４】請求項３に記載のアクチュエータにおい
    て、構造体の高さ方向に沿って伸びる分離器手段によっ
    てスタックは対となって分離され、分離要素は一連の厚
    板によって構成され、各厚板の厚さは２つのユニットブ
    ロックの高さに少なくとも対応し、厚板は相互に滑るた
    めに適当であって、かつ、それのスチフネスはユニット
    ブロックのスチフネスより高く、重畳させられた同じ高
    さの厚板の間の分離器領域は、１つの分離器手段から円
    周方向に次の分離器手段への構造体の高さ方向にずれて
    いることを特徴とするアクチュエータ。
  5. 【請求項５】請求項４に記載のアクチュエータにおい
    て、分離器手段は、対となって、厚板を構成する複数の
    スロットを呈するストリップによって構成されたことを
    特徴とするアクチュエータ。
  6. 【請求項６】請求項４に記載のアクチュエータにおい
    て、分離器手段は重畳させられている複数の分離要素に
    よって構成され、各分離要素はユニット厚板を構成する
    ことを特徴とするアクチュエータ。
  7. 【請求項７】請求項４に記載のアクチュエータにおい
    て、電極形成手段は分離器手段によって構成されたこと
    を特徴とするアクチュエータ。
  8. 【請求項８】請求項２に記載のアクチュエータにおい
    て、ユニットブロックはせん断モードで動作することを
    特徴とするアクチュエータ。
  9. 【請求項９】請求項８に記載のアクチュエータにおい
    て、与えられたスタックの高さ方向に引き続く２つのユ
    ニットブロックがそれらの向き合う面に電極形成金属化
    部を呈することを特徴とするアクチュエータ。
  10. 【請求項１０】請求項９に記載のアクチュエータにおい
    て、ユニットブロックのスタックが導電性分離器手段に
    よって分離され、その分離器手段に電極形成金属化部が
    接続されることを特徴とするアクチュエータ。
  11. 【請求項１１】請求項１乃至１０のいずれか１つに記載
    のアクチュエータにおいて、ユニットブロックは筒状構
    造体の高さ方向にワッシャーとして分布されることを特
    徴とするアクチュエータ。
  12. 【請求項１２】請求項１乃至１１のいずれか１つに記載
    のアクチュエータにおいて、プレストレス外皮を含み、
    その外皮の内部にユニットブロックの筒状構造体が置か
    れたことを特徴とするアクチュエータ。
  13. 【請求項１３】請求項１１及び１２に記載のアクチュエ
    ータにおいて、プレストレス外皮は複数のリングを備
    え、各リングは筒状構造体のユニットブロックのワッシ
    ャーにプレストレスを与えることを特徴とするアクチュ
    エータ。
  14. 【請求項１４】請求項１３に記載のアクチュエータにお
    いて、リングは導電性であり、アクチュエータは複数の
    接触領域を備え、それらの接触領域は、分離器手段とプ
    レストレスリングとの間で構造体の高さ方向に分布させ
    られたことを特徴とするアクチュエータ。
  15. 【請求項１５】請求項１４に記載のアクチュエータにお
    いて、他のあらゆる厚板に接触するように接触領域は分
    布させられることを特徴とするアクチュエータ。
  16. 【請求項１６】請求項１４又は１５に記載のアクチュエ
    ータにおいて、リングは電気絶縁ワッシャーによって分
    離させられることを特徴とするアクチュエータ。
  17. 【請求項１７】請求項１３乃至１５のいずれか１つに記
    載のアクチュエータにおいて、外皮すなわちプレストレ
    スリングは形状記憶合金で製作されたことを特徴とする
    アクチュエータ。
  18. 【請求項１８】ａ）絶縁ワッシャーとプレストレスリン
    グとを低温度段階で外部チューブの内部に交互に積み重
    ね、 ｂ）絶縁面を有する円筒形内部コアの母線に沿って分割
    金属ストリップを、隣接するストリップ対が、前記コア
    の長さ方向に、コアの厚さの半分だけ相互にずらされる
    ようにして、積み重ね、 ｃ）プレストレスリングとワッシャーとによって構成さ
    れている筒状構造体の内部にコアをそれのストリップと
    一緒に挿入し、 ｄ）リングと、ストリップと、コアとの間のハウジング
    にユニットブロックを挿入し、 ｅ）この組立体を加熱してプレストレスリングの相を変
    化させる、ことを特徴とするアクチュエータを製作する
    方法。
  19. 【請求項１９】請求項１に記載のアクチュエータにおい
    て、筒状能動構造体のユニットブロックは、磁気歪み効
    果によって変形させられるように設計された複数のブロ
    ックのスタックを備え、ブロックの間に分離器手段が置
    かれ、分離器手段は分離器厚板のスタックによって構成
    され、各分離器厚板のスタックの高さは磁気歪み効果に
    よって変形させるべき２つのブロックの高さに少なくと
    も対応し、能動構造体の高さ方向における重畳させられ
    ている種々の厚板は相対的に滑るために適当であり、同
    じ高さに重畳されている分離器厚板の間の分離領域は、
    １つの分離手段から他の分離手段まで、構造体の高さ方
    向にずれ、アクチュエータは、磁気歪み効果によって変
    形させるべきブロックに磁界を加えるための手段を含
    み、それによって前記ブロックを構造体の高さ方向及び
    それの周囲で交互に伸縮させることを特徴とするアクチ
    ュエータ。
  20. 【請求項２０】請求項１９に記載のアクチュエータにお
    いて、能動構造体は磁気歪み物質のチューブにおいて、
    互い違いに配置された複数のスロットを有し、それらの
    スロットの間に、磁気歪み効果によって変形させられる
    ように設計されたブロックに対応する領域と、分離器厚
    板に対応する領域とを形成することを特徴とするアクチ
    ュエータ。
  21. 【請求項２１】請求項１９又は２０に記載のアクチュエ
    ータにおいて、一様で永久的な半径方向磁界を能動構造
    体に加えるため、及び前記永久磁界に、磁気歪み効果に
    よって変形させるべき１つのブロックから他のブロック
    へ交番する半径方向制御磁界を加えるための手段を含む
    ことを特徴とするアクチュエータ。
  22. 【請求項２２】請求項１９又は２０に記載のアクチュエ
    ータにおいて、磁気歪み効果によって変形させるように
    設計された１つのブロックから次のブロックへ交番す
    る、永久的な半径方向磁界を能動構造体に加えるため、
    及び前記永久磁界に一様な半径方向制御磁界を加えるた
    めの手段を含むことを特徴とするアクチュエータ。
  23. 【請求項２３】請求項１９ないし２２のいずれか１つに
    記載のアクチュエータにおいて、磁気歪み効果によって
    変形させるように設計された種々のブロックに位置を合
    わされた永久磁石を有することを特徴とするアクチュエ
    ータ。
  24. 【請求項２４】組合わせた請求項２２及び２３に記載の
    アクチュエータにおいて、永久磁石は１つの磁石から次
    の磁石へ交番する分極のものであることを特徴とするア
    クチュエータ。
  25. 【請求項２５】請求項２３に記載のアクチュエータにお
    いて、永久磁石は相互に相対的に回るために適当な複数
    の部分を有するコアによって支持され、能動構造体のね
    じれ運動を前記部分に伝えるための手段を更に含むこと
    を特徴とするアクチュエータ。
  26. 【請求項２６】請求項２５に記載のアクチュエータにお
    いて、前記手段は軸線方向のねじれ棒を備えることを特
    徴とするアクチュエータ。
  27. 【請求項２７】請求項２５に記載のアクチュエータにお
    いて、前記手段は、能動構造体の高さ方向に引き続く永
    久磁石の間にエラストマーリンクを備えることを特徴と
    するアクチュエータ。
JP10291037A 1997-10-13 1998-10-13 アクチュエータ及びアクチュエータを製作する方法 Pending JP2000203493A (ja)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9712774A FR2769768B1 (fr) 1997-10-13 1997-10-13 Actionneur amplifie a materiaux piezoelectriques ou electrostrictifs
FR9712775 1997-10-13
FR9712775A FR2769769B1 (fr) 1997-10-13 1997-10-13 Actionneur magnetostrictif
FR9712774 1997-10-13

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000203493A true JP2000203493A (ja) 2000-07-25

Family

ID=26233863

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10291037A Pending JP2000203493A (ja) 1997-10-13 1998-10-13 アクチュエータ及びアクチュエータを製作する方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6268682B1 (ja)
EP (1) EP0908961B1 (ja)
JP (1) JP2000203493A (ja)
CA (1) CA2250502C (ja)
DE (1) DE69815247T2 (ja)
ES (1) ES2199412T3 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006150495A (ja) * 2004-11-29 2006-06-15 Konica Minolta Holdings Inc 製造ユニット、および位置制御装置の製造方法
JP2015231045A (ja) * 2014-06-09 2015-12-21 株式会社村田製作所 圧電フィルム、振動デバイス、および、歪検出デバイス

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2800028B1 (fr) * 1999-10-21 2002-01-18 Sfim Ind Actionneur a piston actif
US6459550B1 (en) * 2000-10-02 2002-10-01 International Business Machines Corporation Active damping control for a disk drive
FR2825680B1 (fr) * 2001-06-07 2003-09-26 Sagem Actionneur de commande de vol primaire a moteur a vibration
GB0115063D0 (en) * 2001-06-20 2001-08-15 1 Ltd Piezoelectric devices
FR3012701B1 (fr) * 2013-10-25 2015-11-13 Inst Polytechnique Grenoble Generateur d'electricite
JP2019011700A (ja) * 2017-06-30 2019-01-24 富士電機株式会社 内燃機関点火用の半導体装置
CN109932106B (zh) * 2019-04-03 2020-12-29 业成科技（成都）有限公司 压电传感器制作方法
CN110723550B (zh) * 2019-09-23 2024-04-26 天津新玛特科技发展有限公司 用于汽车制造的手动三节伸缩磁分离器

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4629925A (en) * 1983-11-22 1986-12-16 Raychem Corporation Piezoelectric coaxial cable
US4609845A (en) * 1984-07-06 1986-09-02 Raychem Corporation Stretched piezoelectric polymer coaxial cable
US4928030A (en) * 1988-09-30 1990-05-22 Rockwell International Corporation Piezoelectric actuator
US5001382A (en) * 1988-11-28 1991-03-19 Alps Electric Co., Ltd. Stepping motor and a method of driving the same
US5323082A (en) * 1989-05-03 1994-06-21 Spectra Physics Lasers, Inc. Piezoelectric actuator for planar alignment
EP0427901B1 (en) * 1989-11-14 1996-04-03 Battelle Memorial Institute Method of manufacturing a multilayer piezoelectric actuator stack
EP0443873B1 (en) * 1990-02-23 1994-12-14 Kabushiki Kaisha Toshiba Magnetostriction type actuator
CA2066084A1 (en) * 1991-05-31 1992-12-01 Gordon Walter Culp Twisting actuators
US5268611A (en) * 1992-03-16 1993-12-07 Rockwell International Corporation Anisotropic transducer
US5306919A (en) * 1992-09-21 1994-04-26 Digital Instruments, Inc. Positioning device for scanning probe microscopes
US5306979A (en) * 1992-10-07 1994-04-26 Schwarz Jr John F Multiplexing incremental linear actuator system
US5485437A (en) * 1993-02-05 1996-01-16 Discovision Associates Shock-resistant, electrostatically actuated pick-up for optical recording and playback
US5490015A (en) * 1993-03-04 1996-02-06 Olympus Optical Co., Ltd. Actuator apparatus
EP0682403B1 (en) * 1993-11-30 1999-04-21 Citizen Watch Co. Ltd. Micromotor
US6420819B1 (en) * 1994-01-27 2002-07-16 Active Control Experts, Inc. Packaged strain actuator
GB9409133D0 (en) * 1994-05-09 1994-11-30 Secr Defence Sonar ring transducer
US5626312A (en) * 1994-07-06 1997-05-06 Mcdonnell Douglas Corporation Piezoelectric actuator
US5802195A (en) * 1994-10-11 1998-09-01 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration High displacement solid state ferroelectric loudspeaker
JPH08252920A (ja) * 1995-03-16 1996-10-01 Brother Ind Ltd 積層型圧電素子の製造方法
DE19539201C1 (de) * 1995-10-20 1996-11-21 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt Schwenkantrieb
US5701043A (en) * 1996-09-09 1997-12-23 Razzaghi; Mahmoud High resolution actuator
US5861702A (en) * 1997-03-07 1999-01-19 Bishop; Richard Patten Piezoelectrically actuated ground fault interrupter circuit apparatus
US6020674A (en) * 1997-10-31 2000-02-01 The Penn State Research Foundation Torsional electrostrictive actuators

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006150495A (ja) * 2004-11-29 2006-06-15 Konica Minolta Holdings Inc 製造ユニット、および位置制御装置の製造方法
JP2015231045A (ja) * 2014-06-09 2015-12-21 株式会社村田製作所 圧電フィルム、振動デバイス、および、歪検出デバイス

Also Published As

Publication number Publication date
DE69815247D1 (de) 2003-07-10
CA2250502C (fr) 2011-08-09
US6268682B1 (en) 2001-07-31
DE69815247T2 (de) 2004-05-06
CA2250502A1 (fr) 1999-04-13
EP0908961B1 (fr) 2003-06-04
EP0908961A1 (fr) 1999-04-14
ES2199412T3 (es) 2004-02-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4752712A (en) Piezoelectric laminate stack
US6362559B1 (en) Piezoelectric transformer with segmented electrodes
EP2302712A1 (en) Method for resonance frequency tuning of micromachined structures
EP0308970B1 (en) Piezoelectric motor
JP2000203493A (ja) アクチュエータ及びアクチュエータを製作する方法
EP1138942A2 (en) Microelectromechanical systems including thermally actuated beams on heaters that move with the thermally actuated beams
US6461337B1 (en) Electrostatic microactuators, active three-dimensional microcatheters using same and method for making same
Newton et al. A linear piezoelectric motor
US20230322546A1 (en) MEMS with cover drive and method of operating the same
JPH10510136A (ja) 静電モータおよびその製造方法
Xu et al. Ceramic-metal composite actuator
JPH0661542A (ja) 異方性トランスデューサ
Baltzer et al. A linear stepping actuator in surface micromachining technology for low voltages and large displacements
KR20040064268A (ko) 곡선진 전기-활성 작동기
US6222306B1 (en) Actuators of active piezoelectric or electrostrictive material
US7336022B2 (en) Piezoelectrical bending converter
JPH07273384A (ja) 積層型圧電素子およびその製造方法
CN113236671B (zh) 一种基于pzt堆栈的主动磁气混合轴承
US8912708B2 (en) Electromechanical motor
JPH0774410A (ja) 電歪積層板の製造方法
Fearing Micro-actuators for micro-robots: Electric and magnetic
WO2023244160A1 (en) Drive elements for electromechanical motor
SE545844C2 (en) A drive element with two separate monolithic actuators for an electromechanical motor
US6297576B1 (en) Piezoelectric actuator
Minotti et al. Arrayed electrostatic scratch drive actuators: Toward visible effects up to the human scale