JP2000196120A - Manufacture of thin-film solar battery, the solar battery, and solar battery attaching structure - Google Patents

Manufacture of thin-film solar battery, the solar battery, and solar battery attaching structure

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JP2000196120A
JP2000196120A JP10369733A JP36973398A JP2000196120A JP 2000196120 A JP2000196120 A JP 2000196120A JP 10369733 A JP10369733 A JP 10369733A JP 36973398 A JP36973398 A JP 36973398A JP 2000196120 A JP2000196120 A JP 2000196120A
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JP
Japan
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solar cell
thin
film solar
substrate
film
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JP10369733A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasue Nagano
尉絵 長野
Hiroshi Taniguchi
浩 谷口
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
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    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flexible lightweight solar battery at a low cost. SOLUTION: A main boy 2 of a thin-film solar battery is formed on a substrate 3 for a thin-film solar battery, having fine ruggedness sections 7 on its surface which is brought into contact with a support body 8, having fine ruggedness sections 12 on its support surface after the substrate 3 is supported by the support body 8, by engaging the fine ruggedness sections 7 and 12 of the substrate 3 and body 8 with each other. Since the front ends of the ruggedness sections 7 and 12 adhere strongly to each other by friction in a state where the front ends intersect each other, the substrate 3 hardly melts nor is deformed by heat, even if the substrate 3 is subjected to heat treatment at forming of the main body 2 of the solar battery, when the main body 2 is formed on the substrate 3 in this manner.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜太陽電池の製
造方法、太陽電池、および太陽電池の取り付け構造に関
する。
The present invention relates to a method for manufacturing a thin-film solar cell, a solar cell, and a structure for mounting the solar cell.

【0002】[0002]

【従来の技術】薄膜太陽電池は結晶系太陽電池と比較し
て少量の原料で作製することが可能であるという特徴
と、集積を行うことにより出力電圧、電流の設計に自由
度が得られるという特徴を有している。また、太陽電池
本体を実装する基材を選択することにより、結晶系太陽
電池に比べて、軽量性、可撓性が得られるという特徴を
有している。さらには、場所を選ぶことなく広範囲に設
置できて設置の自由度が高まるという特徴を有してい
る。
2. Description of the Related Art A thin-film solar cell is characterized in that it can be manufactured with a smaller amount of raw materials as compared with a crystalline solar cell, and that the integration provides a degree of freedom in designing output voltage and current. Has features. Further, by selecting a base material on which the solar cell main body is mounted, light weight and flexibility can be obtained as compared with a crystalline solar cell. Furthermore, it has the feature that it can be installed in a wide range without choosing a place, and the degree of freedom of installation is increased.

【0003】このような特徴を有する薄膜太陽電池とし
て、従来から、第1の構成および第2の構成がある。第
1の構成は、光が入射される電池端(以下、光入射端と
称す)にガラス等の透光性絶縁基板からなる薄膜太陽電
池用基材を配置したうえで、この薄膜太陽電池用基材上
に、光入射方向の順方向に沿って透明電極層、非晶質半
導体層、および裏面電極層からなる薄膜太陽電池本体
を、記述した順序に配置して構成されている。
Conventionally, there are a first configuration and a second configuration as a thin-film solar cell having such features. The first configuration is such that a thin-film solar cell base made of a light-transmitting insulating substrate such as glass is disposed at a cell end where light is incident (hereinafter, referred to as a light incident end), A thin-film solar cell body composed of a transparent electrode layer, an amorphous semiconductor layer, and a back electrode layer is arranged on a base material in a forward direction of a light incident direction in the described order.

【0004】第2の構成は、前記光入射端の反対側に位
置する電池端にフィルム基板や金属基板からなる薄膜太
陽電池用基材を配置したうえで、光入射方向の逆方向に
沿って、この薄膜太陽電池用基材上用に裏面電極層、非
晶質半導体層、および透明電極層からなる薄膜太陽電池
本体を、記述した順序に配置して構成されている。
[0004] In a second configuration, a base material for a thin-film solar cell made of a film substrate or a metal substrate is arranged at a battery end located on a side opposite to the light incident end, and is arranged along a direction opposite to the light incident direction. The thin-film solar cell main body including the back electrode layer, the amorphous semiconductor layer, and the transparent electrode layer is arranged on the thin-film solar cell substrate in the described order.

【0005】太陽電池においては、地上での電力用とし
てだけでなく、人口衛星や飛行船の動力源としての使用
も期待されており、搭載にあたり、外部形状が曲面形状
をしているこれら太陽電池取付部材(人工衛星や飛行
船)に張り付けるために、より高い可撓性の付与の要望
があるうえ、これら太陽電池取付対象部材が飛行物体で
あるために、さらなる軽量化の要望がある。
[0005] Solar cells are expected to be used not only for power on the ground but also as power sources for artificial satellites and airships. There is a demand for higher flexibility to be attached to members (artificial satellites and airships), and there is a demand for further weight reduction because these solar cell mounting members are flying objects.

【0006】このような要望に対しては、上記第2の構
成を有する薄膜太陽電池が有望視されている。
[0006] In response to such a demand, a thin-film solar cell having the above-mentioned second configuration is considered promising.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】上記第2の構成を採用
することで、ある程度の軽量化や可撓性の獲得は可能と
なるが、より高い可撓性と、さらなる軽量化を促進しよ
うとする場合には、薄膜太陽電池用基材の薄膜化が重要
となる、そして、このような薄膜太陽電池用基材の薄膜
化を促進するうえでは、薄膜太陽電池用基材としてフィ
ルム基板を用いることが望ましく、また使用するフィル
ム基板はより薄い方が望ましい。
By adopting the above-mentioned second structure, it is possible to achieve a certain degree of weight reduction and flexibility, but to promote higher flexibility and further weight reduction. In this case, it is important to reduce the thickness of the thin-film solar cell substrate, and to promote the thinning of such a thin-film solar cell substrate, a film substrate is used as the thin-film solar cell substrate. It is desirable that the film substrate used be thinner.

【0008】しかしながら、薄膜太陽電池用基材として
フィルム基板を用いて上記第2の構成の薄膜太陽電池を
作製する場合、薄膜太陽電池本体を構成する各層の成膜
時の熱によって薄膜太陽電池用基材(フィルム基板)が
溶融したり、成膜時の熱や膜応力によって薄膜太陽電池
用基材が変形する、といった課題があり、このような課
題は、薄膜太陽電池用基材を薄くする程、顕著となる。
However, when a thin film solar cell having the second structure is manufactured using a film substrate as a base material for the thin film solar cell, the heat generated during the formation of each layer constituting the thin film solar cell main body is used for forming the thin film solar cell. There are problems such as melting of the base material (film substrate) and deformation of the base material for thin-film solar cells due to heat and film stress during film formation. The more significant it becomes.

【0009】このような課題を解消するため、従来か
ら、フィルム基板からなる薄膜太陽電池用基材に張力を
かけた状態で薄膜太陽電池本体の成膜を行うロールツー
ロール等の方法が一般的に用いられるが、張力を付与し
た状態での薄膜太陽電池本体の各層の成膜では、薄膜太
陽電池用基材の薄膜化が難しい。
Conventionally, in order to solve such a problem, a method such as a roll-to-roll method for forming a thin-film solar cell main body in a state where tension is applied to a thin-film solar cell substrate composed of a film substrate is generally used. However, it is difficult to reduce the thickness of the thin-film solar cell substrate by forming each layer of the thin-film solar cell main body under a tension.

【0010】さらには、薄膜太陽電池で高い変換効率を
得るためには、非晶質半導体層の成膜において、150
度〜200度といった高い処理温度が必要である。これ
に対して、薄膜太陽電池用基材として使用可能で、か
つ、張力をかけた状態で150度程度の温度条件下で変
形を起こさないフィルム基板は、ポリイミド系フィルム
やフッ素系フィルムといった一部の耐熱性フィルムに限
られてしまうが、このような樹脂フィルムは非常に高価
であり、そのために、薄膜太陽電池の製造コストを上昇
させるという不都合がある。以上のような理由により、
ロールツーロール法等の方法では、実質的に課題の解決
に至っていない。
Further, in order to obtain a high conversion efficiency in a thin-film solar cell, the formation of an amorphous semiconductor layer requires 150 nm.
A high processing temperature, such as about 200 degrees to 200 degrees, is required. On the other hand, a film substrate that can be used as a base material for a thin-film solar cell and does not deform under a temperature condition of about 150 degrees under tension is a part of a polyimide-based film or a fluorine-based film. However, such a resin film is very expensive, and therefore has a disadvantage of increasing the manufacturing cost of the thin-film solar cell. For the above reasons,
Methods such as the roll-to-roll method have not substantially solved the problem.

【0011】また、このような課題を解決するために
は、薄膜太陽電池用基材(フィルム基板)を、ガラスや
金属板等の支持体に貼着したうえで、薄膜太陽電池本体
を成膜することが考えられる。そうすれば、支持体によ
って裏打ちされた薄膜体電池用基材(フィルム基板)に
おいて、成膜時の熱による溶融や変形が生じにくくな
る。しかしながら、一般的な接着剤を用いて薄膜太陽電
池用基材(フィルム基板)を支持体に貼着したのでは、
薄膜太陽電池用基材と支持体とを剥離することが不可能
となるため、できあがった太陽電池は支持体が着いた状
態となり、これでは可撓性と軽量化を得ることが不可能
となるため、この構成においても、実質的に課題の解決
に至っているとはいえない。
In order to solve such problems, a thin film solar cell substrate (film substrate) is attached to a support such as glass or a metal plate, and then a thin film solar cell body is formed. It is possible to do. Then, the thin film battery substrate (film substrate) lined with the support is less likely to be melted or deformed by the heat during film formation. However, when a thin film solar cell substrate (film substrate) is attached to a support using a general adhesive,
Since it is impossible to peel the base material for the thin-film solar cell and the support, the completed solar cell is in a state where the support is attached, which makes it impossible to obtain flexibility and weight reduction. Therefore, even in this configuration, it cannot be said that the problem has been substantially solved.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明は、次のような手
段によって、上述した課題の解決を達成している。
The present invention achieves the above-mentioned object by the following means.

【0013】本発明の請求項1に係る発明では、支持面
に微小な凹凸が形成された支持体と、前記支持体に当接
する面に微小な凹凸が形成された薄膜太陽電池用基材と
を用意し、前記微小な凹凸どうしを係合させることで、
前記薄膜太陽電池用基材を前記支持体で支持したのち、
前記薄膜太陽電池用基材上に薄膜太陽電池本体を形成す
ることに特徴を有しており、これにより次のような作用
を有する。すなわち、支持体の支持面に薄膜太陽電池用
基材の当接面を当接させた状態で、これらの面に対して
その当接方向に圧力を加えることにより、微小な凹凸の
先端どうしが交差し合って摩擦により強力に接着し合
う。この状態で、薄膜太陽電池用基材上に薄膜太陽電池
本体を形成すれば、薄膜太陽電池本体形成時において加
熱処理を行ったとしても、その熱による薄膜太陽電池用
基材の溶融や変形は起こりにくくなる。
In the invention according to claim 1 of the present invention, a support having fine irregularities formed on a support surface and a base material for a thin film solar cell having fine irregularities formed on a surface in contact with the support are provided. Is prepared, and the minute irregularities are engaged with each other,
After supporting the thin-film solar cell substrate with the support,
The present invention is characterized in that a thin film solar cell main body is formed on the thin film solar cell base material, and thereby has the following operation. That is, in the state where the contact surfaces of the thin film solar cell substrate are in contact with the support surface of the support, pressure is applied to these surfaces in the contact direction, so that the tips of the minute irregularities are brought together. They cross each other and adhere strongly by friction. In this state, if the thin-film solar cell main body is formed on the thin-film solar cell base material, even if a heat treatment is performed at the time of forming the thin-film solar cell main body, melting and deformation of the thin-film solar cell base material due to the heat do not occur. Less likely to happen.

【0014】本発明の請求項2に係る発明では、請求項
1に係る薄膜太陽電池の製造方法であって、前記薄膜太
陽電池用基材として、微粒子が添加された樹脂からなる
薄膜太陽電池用基材を用いるとともに、当該薄膜太陽電
池用基材上に、裏面電極層、非晶質半導体層、および透
明電極層からなる薄膜太陽電池本体をこの順に形成する
ことに特徴を有しており、これにより次のような作用を
有する。すなわち、微粒子が添加された樹脂からなる薄
膜太陽電池用基材の表面には、前記した微小な凹凸より
さらに小さい極小の凹凸が存在することになる。このよ
うな極小の凹凸が存在する薄膜太陽電池用基材上に薄膜
太陽電池本体の各層を形成すれば、各層の表面、特に裏
面電極層にも同様の極小の凹凸が形成されることにな
る。一方、薄膜太陽電池用基材上に、裏面電極層、非晶
質半導体層、および透明電極層からなる薄膜太陽電池本
体をこの順に形成すれば、このような薄膜太陽電池に透
明電極層側から入射したのち非晶質半導体層で吸収され
なかった光は裏面電極層で反射されたのち、非晶質半導
体層に再度吸収されることになる。ここで、裏面電極層
には、上述したように極小の凹凸が形成されることにな
るので、反射する光は、反射時に極小な凹凸で拡散さ
れ、その光路長がのびるため、非晶質半導体層における
光の吸収効率が向上して短絡電流値が大きくなり、結果
として高い変換効率が得られることになる。
According to a second aspect of the present invention, there is provided the method for manufacturing a thin-film solar cell according to the first aspect, wherein the base material for the thin-film solar cell comprises a resin to which fine particles are added. While using a substrate, on the thin film solar cell substrate, a back electrode layer, an amorphous semiconductor layer, and characterized in that a thin film solar cell body composed of a transparent electrode layer is formed in this order, This has the following effect. That is, on the surface of the base material for a thin film solar cell made of a resin to which fine particles are added, extremely small irregularities smaller than the aforementioned minute irregularities are present. If each layer of the thin-film solar cell main body is formed on the thin-film solar cell substrate having such minimal irregularities, similar minimal irregularities are formed on the surface of each layer, especially on the back electrode layer. . On the other hand, if a thin film solar cell body composed of a back electrode layer, an amorphous semiconductor layer, and a transparent electrode layer is formed in this order on a thin film solar cell substrate, such a thin film solar cell can be formed from the transparent electrode layer side. Light that has not been absorbed by the amorphous semiconductor layer after being incident is reflected by the back electrode layer and then absorbed again by the amorphous semiconductor layer. Here, as described above, extremely small irregularities are formed on the back electrode layer, so that the reflected light is diffused by the extremely small irregularities at the time of reflection, and the optical path length is extended. The light absorption efficiency of the layer is improved and the short-circuit current value is increased, resulting in high conversion efficiency.

【0015】本発明の請求項3に記載の発明は、請求項
1または2に係る薄膜太陽電池の製造方法であって、前
記薄膜太陽電池用基材上に前記薄膜太陽電池本体を形成
したのち、前記微小な凹凸どうしの係合に抗して、前記
薄膜太陽電池用基材から前記支持体を分離することに特
徴を有しており、これにより次のような作用を有する。
すなわち、微小な凹凸どうしは、その先端どうしが互い
違いに交差し合って摩擦により接着しているだけである
ので、その接着力に抗して薄膜太陽電池用基材から支持
体を分離することは比較的容易に行うことができる。支
持体から分離された薄膜太陽電池は、溶融や変形を起こ
しにくくなって薄膜基板の薄膜化が達成できるため、軽
量化が図るうえに可撓性も向上することになる。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a thin film solar cell according to the first or second aspect, wherein the thin film solar cell body is formed on the thin film solar cell substrate. The feature is that the support is separated from the base material for the thin-film solar cell against the engagement of the fine irregularities, thereby having the following effects.
In other words, since the tips of the microscopic irregularities only alternately cross each other and are bonded by friction, it is not possible to separate the support from the thin-film solar cell base material against the adhesive force. It can be done relatively easily. The thin-film solar cell separated from the support is less likely to be melted or deformed, so that the thin-film substrate can be made thinner, so that the weight is reduced and the flexibility is improved.

【0016】本発明の請求項4に記載の発明は、外部接
着面に微小な凹凸を形成して太陽電池を構成したことに
特徴を有しており、これにより次のような作用を有す
る。すなわち、太陽電池取付対象部材として、上記微小
な凹凸と同様の微小な凹凸を有するものを用いれば、微
小な凹凸どうしを係合させることで、太陽電池を、容易
かつ確実に、さらには着脱自在に太陽電池取付対象部材
に取り付けることができるようになる。
The invention according to claim 4 of the present invention is characterized in that minute irregularities are formed on the external bonding surface to constitute a solar cell, and thereby has the following effects. That is, if a member having fine irregularities similar to the above minute irregularities is used as the solar cell mounting target member, the solar cell can be easily and reliably attached and detached by engaging the minute irregularities. Can be attached to the solar cell attachment target member.

【0017】本発明の請求項5に記載の発明は、請求項
4に係る太陽電池であって、前記外部接着面を、太陽電
池の光入射端とは反対側に位置する電池端に設けること
に特徴を有しており、これにより次のような作用を有す
る。すなわち、微小な凹凸が光入射端側に配置されない
ので、微小な凹凸により光の入射が妨げられることがな
くなる。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a solar cell according to the fourth aspect, wherein the external bonding surface is provided on a cell end located on a side opposite to a light incident end of the solar cell. This has the following effects. That is, since the minute unevenness is not arranged on the light incident end side, the incidence of light is not hindered by the minute unevenness.

【0018】本発明の請求項6に記載の発明は、表面に
微小な凹凸を有する太陽電池取付対象部材と、前記太陽
電池取付対象部材に当接する外部接着面に微小な凹凸を
有する太陽電池とを有し、前記微小な凹凸どうしを係合
させることで、前記太陽電池を前記太陽電池取付対象部
材に取り付けることに特徴を有しており、これにより次
のような作用を有する。すなわち、微小な凹凸どうしを
係合させることで、太陽電池を容易かつ確実に、さらに
は着脱自在に太陽電池取付対象部材に取り付けることが
できるようになる。しかも、取付面が曲面となった太陽
電池取付対象部材に対しても、確実に太陽電池を取り付
けることができるようになる。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a solar cell mounting target member having fine irregularities on a surface, and a solar cell having fine irregularities on an external bonding surface in contact with the solar cell mounting target member. The feature is that the solar cell is attached to the solar cell attachment target member by engaging the minute unevenness with each other, thereby having the following operation. In other words, by engaging the small irregularities, the solar cell can be easily and reliably attached to the solar cell attachment target member in a detachable manner. In addition, the solar cell can be securely mounted even on a solar cell mounting target member having a curved mounting surface.

【0019】本発明の請求項7に記載の発明は、請求項
6に係る太陽電池の取付構造であって、前記微小な凹凸
それぞれは、その頂部と底部との高低差が50μm〜2
mmであることに特徴を有しており、これにより次のよ
うな作用を有する。すなわち、微小な凹凸の頂部と底部
との高低差をこのような範囲に設定することにより、太
陽電池を確実に太陽電池取付対象部材に取り付けること
ができるようになる。
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided the solar cell mounting structure according to the sixth aspect, wherein each of the fine irregularities has a height difference between a top and a bottom of 50 μm to 2 μm.
mm, which has the following effect. That is, by setting the height difference between the top and the bottom of the minute unevenness in such a range, the solar cell can be securely mounted on the solar cell mounting target member.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
面を参照して詳細に説明する。
An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0021】本発明の一実施の形態の薄膜太陽電池1
は、図1に示すように、薄膜太陽電池1の光入射端1a
から光入射方向αの順方向に沿って、薄膜太陽電池本体
2と、薄膜太陽電池用基材3とを備えて構成されてい
る。薄膜太陽電池本体2は、光入射方向αの順方向に沿
って、透明電極層4と、非晶質半導体層5と、裏面電極
層6とを備えて構成されている。透明電極層4は、例え
ば、ITO、SnO2、ZnOから構成されている。非晶
質半導体層5は、図示はしないが、p層、i層、n層を
積層して構成されている。裏面電極層6は、例えば、A
g又はAlとZnOとの積層体から構成されている。薄膜
太陽電池用基材3は、例えば、塩化ビニル系、ポリエス
テル系、ポリイミド系、フッ素系、ないしアクリル系の
樹脂材料からなるフィルム基板を用いることができる
が、ポリイミド系樹脂やフッ素樹脂からなるフィルム基
板は、比較的高価であるので、他の樹脂材料からなるフ
ィルム基板を選択するのが望ましい。光入射端1aとは
対向する太陽電池端1bに面する薄膜太陽電池用基材3
の端面(後述する支持体8に対する当接面や外部接着面
となる)には微小な凹凸7が形成されている。微小な凹
凸7は、図2に示すように、薄膜太陽電池用基材3の端
面上に無数(例えば、1cm2当たり、100〜100
万個程度)形成されており、その頂部と底部との高低差
7aは50μm〜2mm程度に設定されている。
A thin-film solar cell 1 according to one embodiment of the present invention
Is a light incident end 1a of the thin-film solar cell 1 as shown in FIG.
And a thin film solar cell main body 2 and a thin film solar cell substrate 3 along the forward direction of the light incident direction α. The thin-film solar cell main body 2 includes a transparent electrode layer 4, an amorphous semiconductor layer 5, and a back electrode layer 6 along the forward direction of the light incident direction α. The transparent electrode layer 4 is made of, for example, ITO, SnO 2 , and ZnO. Although not shown, the amorphous semiconductor layer 5 is configured by laminating a p-layer, an i-layer, and an n-layer. The back electrode layer 6 is made of, for example, A
g or a laminate of Al and ZnO. As the thin film solar cell substrate 3, for example, a film substrate made of a vinyl chloride-based, polyester-based, polyimide-based, fluorine-based, or acrylic-based resin material can be used. Since the substrate is relatively expensive, it is desirable to select a film substrate made of another resin material. Thin-film solar cell substrate 3 facing solar cell end 1b facing light incident end 1a
Are formed on the end surface (which will be a contact surface to a support 8 described later and an external bonding surface). As shown in FIG. 2, minute irregularities 7 are innumerably (eg, 100 to 100 per cm 2) on the end surface of the thin film solar cell substrate 3.
The height difference 7a between the top and the bottom is set to about 50 μm to 2 mm.

【0022】次に、この薄膜太陽電池1の製造方法の一
例を説明する。
Next, an example of a method for manufacturing the thin-film solar cell 1 will be described.

【0023】まず、薄膜太陽電池用基材3を用意する。
薄膜太陽電池用基材3は塩化ビニル系、ポリエステル
系、ポリイミド系、アクリル系、フッ素系等の樹脂から
なるフィルム基板から構成することができるが、ここで
は、その一例であるアクリル系樹脂からなるフィルム基
板を用いる。この薄膜太陽電池用基材3の一面(後述す
る支持体8に対する当接面や外部接着面となる)には、
予め、微小な凹凸7を形成しておく。微小な凹凸7は、
薄膜太陽電池用基材3を精密成型する際に同時に形成す
ることができる。微小な凹凸7の頂部と底部とのの高低
差7aとしては、上述したように、50μm〜2mm程
度が望ましい。これは50μ以下、あるいは2mm以上
の場合、後述する支持体8や太陽電池取付対象部材との
間で十分な接着性が得られないからである。
First, a thin film solar cell substrate 3 is prepared.
The thin film solar cell substrate 3 can be formed of a film substrate made of a resin such as a vinyl chloride-based, polyester-based, polyimide-based, acrylic-based, or fluorine-based resin. In this example, the base material 3 is formed of an acrylic-based resin. Use a film substrate. One surface of the thin-film solar cell substrate 3 (a contact surface to the support 8 described later and an external adhesive surface)
The minute unevenness 7 is formed in advance. The minute irregularities 7
The thin film solar cell substrate 3 can be formed simultaneously with the precision molding. As described above, the height difference 7a between the top and the bottom of the minute unevenness 7 is preferably about 50 μm to 2 mm. This is because if the thickness is 50 μm or less, or 2 mm or more, sufficient adhesiveness cannot be obtained between the support 8 and a member to which the solar cell is to be described later.

【0024】一方、予め、支持体8を用意しておく。支
持体8は、ガラス基材9上にフィルム材10を接着剤1
1により張り付けて構成されている。さらには、支持体
8の支持面を構成するフィルム材10の表面には、予め
微小な凹凸12を形成しておく。微小な凹凸12は、上
記微小な凹凸7と同様の高低差12aおよび形成密度を
有したものとする。ここでは、フィルム材10を張り付
ける基材としてガラス基板9を用いているが、SUSや
アルミニウム等の金属基板を用いることもできる。
On the other hand, the support 8 is prepared in advance. The support 8 is formed by bonding a film material 10 on a glass substrate 9 with an adhesive 1
1 is attached. Further, fine irregularities 12 are previously formed on the surface of the film material 10 constituting the support surface of the support 8. The minute irregularities 12 have the same height difference 12a and formation density as the minute irregularities 7. Here, the glass substrate 9 is used as the base material on which the film material 10 is attached, but a metal substrate such as SUS or aluminum can also be used.

【0025】このようにして用意した支持体8に薄膜太
陽電池用基材3を支持固定する。この支持固定は、薄膜
太陽電池用基材3の微小な凹凸7と支持体8の微小な凹
凸12とを当接させたうえで、これら微小な凹凸7、1
2に対して、外側からローラー等で均一に圧力を加える
ことで行う。このときの状態の断面図を図3(a)に示
す。
The thin-film solar cell substrate 3 is supported and fixed to the support 8 thus prepared. This supporting and fixing is performed by bringing the fine irregularities 7 of the thin film solar cell substrate 3 into contact with the minute irregularities 12 of the support body 8 and then contacting these minute irregularities 7, 1.
This is performed by uniformly applying pressure from outside to rollers 2 and the like. FIG. 3A is a cross-sectional view in this state.

【0026】薄膜太陽電池用基材3を支持体8で支持固
体したのち、薄膜太陽電池用基材3の一面(微小な凹凸
7の形成面とは対向する面)3aに、基板設定温度18
0度の雰囲気下で行うスパッタリングにより、膜厚約5
00nmのAgを成膜する。さらに、成膜したAg膜上
に、膜厚50nmのZnOを成膜することで、裏面電極
層6を形成する。なお、本実施の形態では、スパッタリ
ングにより裏面電極層6を形成したが、蒸着法で形成し
てもよい。
After the thin-film solar cell substrate 3 is supported and solidified by the support 8, a substrate setting temperature 18 is applied to one surface 3 a of the thin-film solar cell substrate 3 (the surface opposite to the surface on which the fine irregularities 7 are formed).
By sputtering performed in an atmosphere of 0 degrees, a film thickness of about 5
A 00 nm Ag film is formed. Further, a 50 nm-thick ZnO film is formed on the formed Ag film to form the back electrode layer 6. In the present embodiment, the back electrode layer 6 is formed by sputtering, but may be formed by an evaporation method.

【0027】その後、プラズマCVD装置で裏面電極層
6上に非晶質半導体層5を形成する。非晶質半導体層5
はp層、i層、n層から形成されており、それぞれの膜
厚は例えば、順次20nm、400nm、30nmとな
るように設定する。各層の形成条件に一例を表1に示
す。基板設定温度は170度であり、このような設定で
十分な特性の非晶質半導体層5を得ることができる。
After that, the amorphous semiconductor layer 5 is formed on the back electrode layer 6 by a plasma CVD apparatus. Amorphous semiconductor layer 5
Is formed of a p-layer, an i-layer, and an n-layer, and the thicknesses of the respective layers are set, for example, to 20 nm, 400 nm, and 30 nm, respectively. Table 1 shows an example of the conditions for forming each layer. The substrate setting temperature is 170 degrees, and the amorphous semiconductor layer 5 having sufficient characteristics can be obtained by such setting.

【0028】[0028]

【表1】 [Table 1]

【0029】その後、スパッタリング法により非晶質半
導体層5上に透明電極層4を形成することで、薄膜太陽
電池本体2を薄膜太陽電池基材3上に作製する。透明電
極層4を作製する方法としては、蒸着法やプラズマCV
D法を用いてもよい。透明電極層4としては、ITO、
SnO2、ZnOを使用することができる。このときの基
板設定温度は150度である。このような方法で形成し
た薄膜太陽電池5の断面図をを図3(b)に示す。
Thereafter, the thin-film solar cell main body 2 is formed on the thin-film solar cell substrate 3 by forming the transparent electrode layer 4 on the amorphous semiconductor layer 5 by a sputtering method. The method for producing the transparent electrode layer 4 includes a vapor deposition method and a plasma CV method.
Method D may be used. As the transparent electrode layer 4, ITO,
SnO 2 and ZnO can be used. The substrate set temperature at this time is 150 degrees. FIG. 3B is a cross-sectional view of the thin-film solar cell 5 formed by such a method.

【0030】このように、薄膜太陽電池本体2の形成時
の温度は150度以上であり、アクリル樹脂フィルムか
らなる薄膜太陽電池用基材3単体に、薄膜太陽電池本体
2の成膜を行うとフィルムの溶融、または熱応力や膜応
力による変形が起こる。しかし、薄膜太陽電池用基材3
を支持体8に張り付けることにより、耐熱性の低いフィ
ルムからなる薄膜太陽電池用基材3であっても、薄膜太
陽電池本体2の形成時において、フィルム基板変形等を
抑止することが可能となる。
As described above, the temperature at the time of forming the thin-film solar cell main body 2 is 150 ° C. or more, and when the thin-film solar cell main body 2 is formed on the thin-film solar cell base material 3 made of an acrylic resin film alone. Melting of the film or deformation due to thermal stress or film stress occurs. However, the thin film solar cell substrate 3
Is attached to the support body 8, even when the thin film solar cell substrate 3 is formed of a film having low heat resistance, it is possible to suppress the deformation of the film substrate and the like when the thin film solar cell body 2 is formed. Become.

【0031】なお、薄膜太陽電池用基材3の全面に微小
な凹凸7を形成して支持体8で支持固定すると、薄膜太
陽電池用基材3の変形をより確実に防止することができ
る。しかしながら、耐熱性も高く熱変形しにくい樹脂フ
ィルムから薄膜太陽電池用基材3を構成する場合には、
必ずしも、微小な凹凸7を薄膜太陽電池用基材3の全面
に設ける必要はなくその一部の領域に微小な凹凸7を形
成してもよい。
When the fine irregularities 7 are formed on the entire surface of the thin film solar cell substrate 3 and supported and fixed by the support 8, the deformation of the thin film solar cell substrate 3 can be more reliably prevented. However, when the base material 3 for a thin-film solar cell is made of a resin film having high heat resistance and being hardly thermally deformed,
It is not always necessary to provide the fine unevenness 7 on the entire surface of the thin film solar cell substrate 3, and the fine unevenness 7 may be formed in a part of the area.

【0032】以上のようにして、薄膜太陽電池本体2を
作製した後、薄膜太陽電池用基材3から支持体8を分離
することで、図1に示す薄膜太陽電池1が完成する。支
持体8の分離は、微小な凹凸7と微小な凹凸12との係
合に抗して、支持体8を薄膜太陽電池用基材3から引き
はがすことで行える。なお、支持体8は、接着剤を使用
して薄膜太陽電池用基材3に接着していないので、繰り
返し使用することができ、経済的である。
After the thin-film solar cell main body 2 is manufactured as described above, the support 8 is separated from the thin-film solar-cell base material 3 to complete the thin-film solar cell 1 shown in FIG. The support 8 can be separated by peeling the support 8 from the thin-film solar cell substrate 3 against the engagement between the minute unevenness 7 and the minute unevenness 12. Since the support 8 is not adhered to the thin film solar cell substrate 3 using an adhesive, it can be used repeatedly and is economical.

【0033】以上のようにして、薄膜太陽電池1を作製
するのであるが、このような製法において、次にように
してもよい。すなわち、薄膜太陽電池基板用基材3の材
料(上述した実施の形態ではアクリル樹脂)に対して、
成形前に微粒子を添加する。添加する微粒子としては、
Al23、SiO2、TiO2等を使用することができる。
微粒子の粒経は、200〜500nm程度が望ましい。
200nm以下の場合は凝集して所望する大きさより大
きな微粒子となりやすい。また、500nm以上の場合
も比較的大きな微粒子となりやすい。薄膜太陽電池用基
材3中に大きな微粒子が含有されると、薄膜太陽電池の
短絡等の原因となり都合が悪い。このような理由により
微粒子の粒経は200〜500nm程度が望ましい。
The thin-film solar cell 1 is manufactured as described above. In such a manufacturing method, the following method may be used. That is, with respect to the material of the thin film solar cell substrate substrate 3 (acrylic resin in the above-described embodiment),
Fine particles are added before molding. As the fine particles to be added,
Al 2 O 3 , SiO 2 , TiO 2 and the like can be used.
The particle diameter of the fine particles is preferably about 200 to 500 nm.
If it is less than 200 nm, it tends to aggregate into fine particles larger than the desired size. Also, in the case of 500 nm or more, relatively large fine particles tend to be formed. When the fine particles are contained in the thin film solar cell substrate 3, short circuit of the thin film solar cell may be caused, which is inconvenient. For these reasons, the particle size of the fine particles is preferably about 200 to 500 nm.

【0034】そこで、薄膜太陽電池用基材3の材料中
に、例えば、粒経約300nmのSiO2微粒子を25W
t%添加する。このように、薄膜太陽電池用基材3の材
料中に微粒子を添加することにより、形成された薄膜太
陽電池用基材3’の表面には微粒子の粒経に準じた極小
の凹凸(上述した微小な凹凸7や微小な凹凸12に比べ
て極めて小さい大きさを有する)13を形成することが
できる。
Therefore, for example, SiO 2 fine particles having a particle size of about 300 nm
Add t%. As described above, by adding fine particles to the material of the thin film solar cell substrate 3, the surface of the formed thin film solar cell substrate 3 'has extremely small irregularities corresponding to the particle diameter of the fine particles (as described above). 13), which has an extremely small size as compared with the minute unevenness 7 and the minute unevenness 12).

【0035】このような極小の凹凸13を有する薄膜太
陽電池用基材3’に薄膜太陽電池本体2’を形成する
と、図4に示すように、極小の凹凸13を型にして薄膜
太陽電池本体2’を構成する各層(特に裏面電極層
6’)の表面にも同様の極小の凹凸14(裏面電極層
6’)、15(非晶質半導体層5’)、16(透明電極
層4’)が形成されることになる。
When the thin film solar cell main body 2 'is formed on the thin film solar cell base material 3' having such extremely small irregularities 13, as shown in FIG. The same minimal unevenness 14 (backside electrode layer 6 '), 15 (amorphous semiconductor layer 5'), and 16 (transparent electrode layer 4 ') are also formed on the surface of each layer constituting 2' (particularly, backside electrode layer 6 '). ) Is formed.

【0036】このようにして作製された薄膜太陽電池
1’では、透明電極層4’側から入射したのち非晶質半
導体層5’で吸収されなかった光は裏面電極層6’で反
射されるが、反射時に裏面電極層6’表面に設けられた
極小の凹凸14で光が拡散され、その光路長がのびるた
め、短絡電流値が大きくなり、結果として高い変換効率
が得られる。
In the thin-film solar cell 1 'manufactured in this manner, light which is not absorbed by the amorphous semiconductor layer 5' after being incident from the transparent electrode layer 4 'side is reflected by the back electrode layer 6'. However, at the time of reflection, light is diffused by the very small irregularities 14 provided on the surface of the back electrode layer 6 ', and the optical path length increases, so that the short-circuit current value increases, and as a result, high conversion efficiency is obtained.

【0037】裏面電極層6’に極小の凹凸14が形成さ
れた薄膜太陽電池1’と、裏面電極層6に極小の凹凸1
4を有さない薄膜太陽電池1とを、それぞれ10サンプ
ルずつ作製して、特性を測定したところ、表2のような
結果が得られた。表2の値はそれぞれ平均値である。表
2から明らかなように、微粒子を添加して裏面電極層
6’に極小の凹凸14を形成した方が高い変換効率を得
られることがわかる。
The thin-film solar cell 1 ′ in which the very small irregularities 14 are formed on the back electrode layer 6 ′,
The thin film solar cell 1 having no 4 was manufactured for each of 10 samples, and the characteristics were measured. As a result, the results shown in Table 2 were obtained. The values in Table 2 are average values. As is clear from Table 2, higher conversion efficiency can be obtained by adding the fine particles and forming the minimum unevenness 14 on the back electrode layer 6 '.

【0038】[0038]

【表2】 [Table 2]

【0039】以上のようにして作製した薄膜太陽電池1
を、薄膜太陽電池取付対象部材の一例である飛行船や気
球(この例では飛行船)に取り付ける場合を説明する。
図5に示すように、まず、塩化ビニルデンフィルム(ヘ
リウムガスを透過しない)等からなる飛行船20の外壁
材21の表面に上述した微小な凹凸7と同様の大きさを
備えた微小な凹凸23を形成する。微小な凹凸23は、
外壁材21の表面の薄膜太陽電池接着領域22に形成す
る。
The thin-film solar cell 1 manufactured as described above
Is attached to an airship or a balloon (in this example, an airship), which is an example of a thin-film solar cell mounting target member.
As shown in FIG. 5, first, fine irregularities 23 having the same size as the fine irregularities 7 described above are formed on the surface of the outer wall material 21 of the airship 20 made of a vinyl chloride film (which does not transmit helium gas) or the like. To form The minute irregularities 23
It is formed in the thin film solar cell bonding area 22 on the surface of the outer wall material 21.

【0040】そして、このような微小な凹凸23が形成
された薄膜太陽電池形成領域22に薄膜太陽電池1を貼
着する。貼着は、微小な凹凸23に微小な凹凸7を当接
させた状態である程度の圧力をかけて両凹凸7、23ど
うしを係合させることで簡単に行うことができる。これ
により簡便かつ低コストに薄膜太陽電池1を貼着するこ
とができる。しかも、この貼着構造は、薄膜太陽電池1
を局面となった外壁材21表面に直接に貼着することが
できるので、軽量な動力源を搭載した飛行船をつくるこ
とが可能となる。この太陽電池設置構造は、飛行船、気
球、人工衛星のみならず、薄膜太陽電池の地上用設置に
おいても簡便かつ低コストでかつ軽量な設置方法であ
る。
Then, the thin-film solar cell 1 is adhered to the thin-film solar-cell forming region 22 in which such fine irregularities 23 are formed. The sticking can be easily performed by applying a certain amount of pressure in a state where the fine unevenness 7 is brought into contact with the minute unevenness 23 and engaging the two unevennesses 7 and 23 with each other. Thereby, the thin-film solar cell 1 can be simply and inexpensively attached. In addition, this bonding structure is a thin-film solar cell 1
Can be directly adhered to the surface of the outer wall material 21 which has become a phase, so that an airship equipped with a lightweight power source can be manufactured. This solar cell installation structure is a simple, low-cost, and lightweight installation method not only for airships, balloons, and artificial satellites, but also for ground installation of thin-film solar cells.

【0041】なお、上述した実施の形態では、薄膜太陽
電池用基材3として、樹脂フィルム(アクリル樹脂フィ
ルム)単体としたが、図6に示すように、微小な凹凸7
を有する樹脂フィルム30を接着剤31で金属基板32
に張り付けてなる薄膜太陽電池用基材33を有して、薄
膜太陽電池34を構成してもよい。このような構成であ
っても、薄膜太陽電池取付対象部材に対して簡単かつ容
易に貼着することができる。
In the above-described embodiment, the resin film (acrylic resin film) is used alone as the base material 3 for the thin-film solar cell. However, as shown in FIG.
A resin film 30 having a metal substrate 32 with an adhesive 31
The thin-film solar cell 34 may be configured to have the thin-film solar cell base material 33 attached to the substrate. Even with such a configuration, it can be simply and easily attached to the thin film solar cell mounting target member.

【0042】[0042]

【発明の効果】本発明の請求項1によれば、微小な凹凸
の先端どうしが交差し合って摩擦により強力に接着し合
うので、この状態で、薄膜太陽電池用基材上に薄膜太陽
電池本体を形成すれば、薄膜太陽電池本体形成時におい
て加熱処理を行ったとしても、その熱による薄膜太陽電
池用基材の溶融や変形は起こりにくくなる。そのため、
薄膜太陽電池用基材の溶融や変形が起こりにくくなる
分、薄膜太陽電池用基材の薄膜化が図れる。さらには、
薄膜太陽電池用基材として、耐熱性の低い安価な樹脂フ
ィルムを使用することが可能となり、その分、製造コス
トの低減が図れる。
According to the first aspect of the present invention, the tips of the fine irregularities cross each other and strongly adhere to each other by friction. In this state, the thin film solar cell is placed on the thin film solar cell substrate. If the main body is formed, even if heat treatment is performed during the formation of the thin-film solar cell main body, the heat does not cause the thin-film solar cell base material to be easily melted or deformed. for that reason,
Since the melting and deformation of the base material for thin film solar cells are less likely to occur, the base material for thin film solar cells can be made thinner. Moreover,
An inexpensive resin film having low heat resistance can be used as the base material for the thin-film solar cell, and the manufacturing cost can be reduced accordingly.

【0043】本発明の請求項2によれば、薄膜太陽電池
本体の各層の表面、特に裏面電極層に極小の凹凸が形成
されることになるので、形成された裏面電極層で反射す
る光は、反射時に極小の凹凸で拡散されてその光路長が
のびることになる。そのため、この製造方法で作製した
薄膜太陽電池は、結果として高い変換効率が得られるこ
とになる。
According to the second aspect of the present invention, since minimal irregularities are formed on the surface of each layer of the thin-film solar cell main body, particularly on the back electrode layer, light reflected on the formed back electrode layer can be reduced. At the time of reflection, the light is diffused by extremely small irregularities and the optical path length is extended. Therefore, the thin-film solar cell manufactured by this manufacturing method can obtain high conversion efficiency as a result.

【0044】本発明の請求項3によれば、接着力に抗し
て薄膜太陽電池用基材から支持体を分離することで、薄
膜太陽電池の軽量化を図ることができるうえに可撓性も
向上することになる。
According to the third aspect of the present invention, by separating the support from the thin film solar cell base material against the adhesive force, the weight of the thin film solar cell can be reduced, and the flexibility can be improved. Will also improve.

【0045】本発明の請求項4によれば、太陽電池取付
対象部材として、微小な凹凸と同様の微小な凹凸を有す
るものを用いれば、太陽電池を、容易かつ確実に、さら
には着脱自在に取り付けることができるようになり、設
置コストの軽減が図れるうえに、接着剤等を用いる必要
がない分、太陽電池の設置構造の軽量化が図れる。
According to the fourth aspect of the present invention, when the member having the fine irregularities similar to the minute irregularities is used as the solar cell mounting target member, the solar cell can be easily and reliably attached and detached. The solar cell can be attached, the installation cost can be reduced, and the installation structure of the solar cell can be reduced in weight because it is not necessary to use an adhesive or the like.

【0046】本発明の請求項5によれば、微小な凹凸が
光入射端側に配置されないので、微小な凹凸により光の
入射が妨げられることがなくなり、その分、太陽電池の
発電効率を落とすことなく、太陽電池の設置を行うこと
ができるようになる。
According to the fifth aspect of the present invention, since the minute unevenness is not arranged on the light incident end side, light incidence is not hindered by the minute unevenness, and the power generation efficiency of the solar cell is reduced accordingly. Without this, the solar cell can be installed.

【0047】本発明の請求項6によれば、微小な凹凸ど
うしを係合させることで、太陽電池を容易かつ確実に、
さらには着脱自在に太陽電池取付対象部材に取り付ける
ことができるようになる。しかも、取付面が曲面となっ
た太陽電池取付対象部材に対しても、確実に太陽電池を
取り付けることができる。これにより、設置コストの軽
減が図れるうえに、接着剤等を用いる必要がない分、太
陽電池の設置構造の軽量化が図れる。
According to the sixth aspect of the present invention, the solar cell can be easily and reliably formed by engaging the minute unevenness with each other.
Furthermore, it can be detachably attached to the solar cell attachment target member. In addition, the solar cell can be securely mounted on the solar cell mounting target member having a curved mounting surface. As a result, the installation cost can be reduced, and the weight of the solar cell installation structure can be reduced because no adhesive or the like is required.

【0048】本発明の請求項7によれば、微小な凹凸の
頂部と底部との高低差をこのような範囲に設定すること
により、太陽電池を確実に太陽電池取付対象部材に取り
付けることができるようになる。
According to the seventh aspect of the present invention, by setting the height difference between the top and bottom of the fine unevenness in such a range, the solar cell can be securely mounted on the solar cell mounting target member. Become like

【0049】以上のように本発明によれば、可撓性が高
く、軽量で着脱の容易な太陽電池を得ることが可能とな
る。また、輸送コストや設置コストが下がるため、薄膜
太陽電池の製造コストの低減が可能となる。また、薄膜
太陽電池を形成する際、耐熱性の低い安価な樹脂フィル
ムを使用することができるので、その分でも、製造コス
トを低減することができる。さらには、薄膜太陽電池用
基材を支持体により支持固定した状態で薄膜太陽電池本
体を形成することができるので、ガラス基板等を使用す
る従前の製造ラインをそのまま使用することができるた
め、新たな設備投資をする必要がなくなり、その分で
も、製造コストの低減が図れる。
As described above, according to the present invention, it is possible to obtain a solar cell having high flexibility, light weight, and easy attachment and detachment. Further, since the transportation cost and the installation cost are reduced, the production cost of the thin-film solar cell can be reduced. In addition, when a thin film solar cell is formed, an inexpensive resin film having low heat resistance can be used, so that the manufacturing cost can be reduced accordingly. Furthermore, since the thin-film solar cell body can be formed in a state where the thin-film solar cell base material is supported and fixed by the support, the conventional production line using a glass substrate or the like can be used as it is. It is not necessary to make a capital investment, and the manufacturing cost can be reduced by that much.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態に係る薄膜太陽電池の構
造を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a structure of a thin-film solar cell according to one embodiment of the present invention.

【図2】実施の形態の薄膜太陽電池の要部を示す斜視図
である。
FIG. 2 is a perspective view showing a main part of the thin-film solar cell of the embodiment.

【図3】実施の形態の薄膜太陽電池の製造方法の各工程
を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing each step of a method for manufacturing a thin-film solar cell according to an embodiment.

【図4】本発明の変形例である薄膜太陽電池の構造を示
す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a structure of a thin-film solar cell according to a modification of the present invention.

【図5】実施の形態の薄膜太陽電池の設置例を示す図で
ある。
FIG. 5 is a diagram showing an example of installation of a thin-film solar cell according to an embodiment.

【図6】本発明のさらに他の変形例である薄膜太陽電池
の構造を示す断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a structure of a thin-film solar cell according to another modification of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 薄膜太陽電池 1a 光入射端
1b 太陽電池端 2 薄膜太陽電池本体 3 薄膜太陽電池用基材 3a 薄膜太陽電池用基材3の一面(微小な凹凸7の形
成面とは対向する面) 4 透明電極層 5 非晶質半導体層
6 裏面電極層 7 微小な凹凸 7a 高低差
8 支持体 9 ガラス基板 10 フィルム材
11 接着剤 12 凹凸 12a 高低差
13 極小の凹凸 14 裏面電極層表面の極小の凹凸 15 非晶質半
導体層の極小の凹凸 16 透明電極層の極小の凹凸 20 飛行船 21 外壁材 22 薄膜太陽
電池形成領域 23 微小な凹凸 30 樹脂フィルム
31 接着剤 32 金属基板 33 薄膜太陽電池用基材
34 薄膜太陽電池 α 入射光 2′ 極小凹凸の形成された薄膜太陽電池本体 3′ 極小凹凸の形成された薄膜太陽電池用基材 4′ 極小凹凸の形成された透明電極層 5′ 極小凹凸の形成された非晶質半導体層 6′ 極小凹凸の形成された裏面電極層
1 Thin-film solar cell 1a Light incidence end
1b Solar cell end 2 Thin-film solar cell body 3 Thin-film solar cell base material 3a One surface of thin-film solar cell base material 3 (surface opposed to surface on which minute irregularities 7 are formed) 4 Transparent electrode layer 5 Amorphous semiconductor layer
6 Back electrode layer 7 Minute irregularities 7a Height difference
8 support 9 glass substrate 10 film material
11 Adhesive 12 Irregularity 12a Height difference
DESCRIPTION OF SYMBOLS 13 Tiny unevenness 14 Tiny unevenness of the back electrode layer surface 15 Tiny unevenness of an amorphous semiconductor layer 16 Tiny unevenness of a transparent electrode layer 20 Airship 21 Outer wall material 22 Thin film solar cell formation region 23 Fine unevenness 30 Resin film
31 adhesive 32 metal substrate 33 base material for thin film solar cell
34 Thin-film solar cell α Incident light 2 'Thin-film solar cell main body with very small unevenness 3' Thin-film solar cell base material with very small unevenness 4 'Transparent electrode layer with very small unevenness 5' Formation of very small unevenness Amorphous semiconductor layer 6 'Backside electrode layer with extremely small irregularities

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 支持面に微小な凹凸が形成された支持体
と、前記支持体に当接する面に微小な凹凸が形成された
薄膜太陽電池用基材とを用意し、 前記微小な凹凸どうしを係合させることで、前記薄膜太
陽電池用基材を前記支持体で支持したのち、 前記薄膜太陽電池用基材上に薄膜太陽電池本体を形成す
ることを特徴とする薄膜太陽電池の製造方法。
1. A support having fine irregularities formed on a support surface and a base material for a thin-film solar cell having fine irregularities formed on a surface in contact with the support are prepared. By supporting the thin-film solar cell substrate with the support, and then forming a thin-film solar cell main body on the thin-film solar cell substrate. .
【請求項2】 請求項1記載の薄膜太陽電池の製造方法
であって、 前記薄膜太陽電池用基材として、微粒子が添加された樹
脂からなる基材を用いるとともに、当該薄膜太陽電池用
基材上に、裏面電極層、非晶質半導体層、および透明電
極層からなる薄膜太陽電池本体をこの順に形成すること
を特徴とする薄膜太陽電池の製造方法。
2. The method for manufacturing a thin-film solar cell according to claim 1, wherein a base made of a resin to which fine particles are added is used as the base for the thin-film solar cell, and the base for the thin-film solar cell is used. A method for manufacturing a thin-film solar cell, comprising: forming a thin-film solar cell main body including a back electrode layer, an amorphous semiconductor layer, and a transparent electrode layer in this order.
【請求項3】 請求項1または2記載の薄膜太陽電池の
製造方法であって、 前記薄膜太陽電池用基材上に前記薄膜太陽電池本体を形
成したのち、前記微小な凹凸どうしの係合に抗して、前
記薄膜太陽電池用基材から前記支持体を分離することを
特徴とする薄膜太陽電池の製造方法。
3. The method for manufacturing a thin-film solar cell according to claim 1, wherein after the thin-film solar cell main body is formed on the thin-film solar cell base material, the thin unevenness is engaged with each other. A method for manufacturing a thin-film solar cell, comprising separating the support from the base material for the thin-film solar cell.
【請求項4】 外部接着面に微小な凹凸が形成されてい
ることを特徴とする太陽電池。
4. A solar cell, wherein minute irregularities are formed on an external bonding surface.
【請求項5】 請求項4記載の太陽電池であって、 前記外部接着面を、太陽電池の光入射端とは反対側に位
置する電池端に設けることを特徴とする太陽電池。
5. The solar cell according to claim 4, wherein the external bonding surface is provided at a cell end located on a side opposite to a light incident end of the solar cell.
【請求項6】 表面に微小な凹凸を有する太陽電池取付
対象部材と、前記太陽電池取付対象部材に当接する外部
接着面に微小な凹凸を有する太陽電池とを有し、 前記微小な凹凸どうしを係合させることで、前記太陽電
池を前記太陽電池取付対象部材に取り付けることを特徴
とする太陽電池の取り付け構造。
6. A solar cell mounting target member having fine irregularities on the surface, and a solar cell having fine irregularities on an external bonding surface abutting on the solar cell mounting target member, wherein the fine irregularities are fixed to each other. A solar cell mounting structure, wherein the solar cell is mounted on the solar cell mounting target member by engaging.
【請求項7】 請求項6記載の太陽電池の取り付け構造
であって、 前記微小な凹凸それぞれは、その頂部と底部との高低差
が50μm〜2mmであることを特徴とする太陽電池の
取り付け構造。
7. The mounting structure for a solar cell according to claim 6, wherein each of the minute irregularities has a height difference between a top and a bottom of 50 μm to 2 mm. .
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