JP2000193637A - Hydrocarbon sensor - Google Patents

Hydrocarbon sensor

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JP2000193637A
JP2000193637A JP10367085A JP36708598A JP2000193637A JP 2000193637 A JP2000193637 A JP 2000193637A JP 10367085 A JP10367085 A JP 10367085A JP 36708598 A JP36708598 A JP 36708598A JP 2000193637 A JP2000193637 A JP 2000193637A
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JP
Japan
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heater
ceramic substrate
hydrocarbon sensor
solid electrolyte
electrolyte layer
Prior art date
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Application number
JP10367085A
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Japanese (ja)
Inventor
Masato Shoji
理人 東海林
Takashi Tamai
孝 玉井
Noboru Taniguchi
昇 谷口
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a hydrocarbon sensor having a satisfactory yield and high detection accuracy. SOLUTION: This sensor is equipped with a solid electrolyte layer 1 comprising barium/cerium-based oxides, a cathode 2 and an anode 3, a pair of electrodes installed on the solid electrolyte layer 1, a ceramic substrate 4 having a thermal expansion coefficient roughly equal to that of the solid electrolyte layer 1, and a heater 7 installed on the ceramic substrate 4. In this case, the solid electrolyte layer 1 and the ceramic substrate 4 are jointed together.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は炭化水素センサに関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a hydrocarbon sensor.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、固体電解質としてバリウムセリウ
ム系酸化物を用いた炭化水素センサが提案されている
(特開平9−127055号公報)。
2. Description of the Related Art Conventionally, a hydrocarbon sensor using a barium-cerium-based oxide as a solid electrolyte has been proposed (Japanese Patent Laid-Open No. 9-127055).

【0003】この炭化水素センサの概略構造を図6に示
す。51はバリウムセリウム系酸化物からなる固体電解
質層で、その表面にはカソード52およびアノード53
が厚膜印刷プロセスにより形成されている。固体電解質
層51には、フォルステライト製のセラミックス基板5
4が無機系の材料からなる接着剤(以下、無機系接着剤
と略す)58により接着固定されている。セラミックス
基板54の表面にはヒーター59が厚膜印刷プロセスに
より形成されている。無機系接着剤58により接合され
た接着層の一部には、炭化水素ガス(以下、HCと表
す)が導入される拡散律速孔61(図6中、点線で表し
た部分)が設けられている。
FIG. 6 shows a schematic structure of this hydrocarbon sensor. Reference numeral 51 denotes a solid electrolyte layer made of a barium-cerium-based oxide.
Are formed by a thick film printing process. The solid electrolyte layer 51 includes a ceramic substrate 5 made of forsterite.
Reference numeral 4 denotes an adhesive made of an inorganic material (hereinafter abbreviated as an inorganic adhesive) 58, which is bonded and fixed. On the surface of the ceramic substrate 54, a heater 59 is formed by a thick film printing process. A diffusion-controlling hole 61 (portion indicated by a dotted line in FIG. 6) into which a hydrocarbon gas (hereinafter, referred to as HC) is introduced is provided in a part of the adhesive layer joined by the inorganic adhesive 58. I have.

【0004】次に、この炭化水素センサの動作について
説明する。図6に示すように、カソード52およびアノ
ード53には、定電圧が印加されている。また、回路中
に出力検出用の電流計が設けられている。固体電解質層
51を活性化させるためにヒーター59で加熱してい
る。この状態でHCが拡散律速孔61を通ってアノード
53に達すると、HCが分解し、固体電解質層51中を
プロトンが伝導する。これにより、回路に電流Iが流れ
る。この電流Iの大きさはプロトンの量、すなわちHC
の濃度に比例して大きくなる。従って、電流計の出力か
らHCの濃度を検出することができる。
Next, the operation of the hydrocarbon sensor will be described. As shown in FIG. 6, a constant voltage is applied to the cathode 52 and the anode 53. Also, an ammeter for output detection is provided in the circuit. The heater 59 is used to activate the solid electrolyte layer 51. When HC reaches the anode 53 through the diffusion control holes 61 in this state, the HC is decomposed, and protons are conducted in the solid electrolyte layer 51. As a result, a current I flows through the circuit. The magnitude of this current I depends on the amount of protons, that is, HC
Increases in proportion to the concentration of Therefore, the concentration of HC can be detected from the output of the ammeter.

【0005】このような構成の炭化水素センサはHC濃
度に対しリニアな出力が得られるだけでなく、HCが低
濃度時に酸素が共存してもその影響を受けない。すなわ
ち、ガス選択性の良い炭化水素センサを得ることができ
る。
[0005] The hydrocarbon sensor having such a structure not only provides a linear output with respect to the HC concentration, but is not affected by the coexistence of oxygen when the HC concentration is low. That is, a hydrocarbon sensor having good gas selectivity can be obtained.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような炭
化水素センサを自動車排ガス中のHC濃度検出に応用す
る際、固体電解質層51を活性化させなければならな
い。このためにヒーター59に電流を流すと、ヒーター
59を設けたセラミックス基板54は大きなストレスを
受けるため、歩留まりが低下することが明らかになっ
た。これには以下の理由が考えられる。
However, when such a hydrocarbon sensor is applied to the detection of HC concentration in automobile exhaust gas, the solid electrolyte layer 51 must be activated. For this reason, it has been found that when a current is passed through the heater 59, the ceramic substrate 54 provided with the heater 59 receives a large stress, and the yield decreases. This can be for the following reasons.

【0007】1)ヒーター59が設けられているセラミ
ックス基板54(フォルステライト)の熱膨張係数は1
1〜11.5×10-6/℃であるが、固体電解質層51
の熱膨張係数は約10×10-6/℃であり、両者の値が
1×10-6/℃以上ずれているためと考えられる。
1) The ceramic substrate 54 (forsterite) provided with the heater 59 has a coefficient of thermal expansion of 1
1 to 11.5 × 10 −6 / ° C., but the solid electrolyte layer 51
Has a thermal expansion coefficient of about 10 × 10 −6 / ° C., which is considered to be due to the difference between the two values by 1 × 10 −6 / ° C. or more.

【0008】2)排ガス中のHCは、還元雰囲気であり
この中にセラミックス基板54がさらされることにより
セラミックス基板54の組成の一部(フォルステライト
中のMgO)が還元され、強度が低下するためと考えら
れる。
2) HC in the exhaust gas is a reducing atmosphere, and when the ceramic substrate 54 is exposed to the reducing atmosphere, part of the composition of the ceramic substrate 54 (MgO in forsterite) is reduced and the strength is reduced. it is conceivable that.

【0009】3)ヒーター59を形成するための厚膜の
白金ペーストがポーラス且つむらのある構成であるた
め、これらの部分に集中的に電流が流れ、局所的に温度
が高くなるためと考えられる。
3) It is considered that since the thick platinum paste for forming the heater 59 has a porous and uneven structure, current flows intensively in these portions, and the temperature is locally increased. .

【0010】4)ヒーター59はセラミックス基板54
の片面のみに形成され、しかも形成された面はむき出し
の構造であり、この状態でヒーター59に電流を流すと
ヒーターが形成された面と裏面(固体電解質層との接着
面)との間に急激に温度差が生じ大きなストレスが発生
するためと考えられる。
4) The heater 59 is a ceramic substrate 54
Is formed on only one side, and the formed surface has an exposed structure. In this state, when an electric current is applied to the heater 59, the surface between the heater formed and the back surface (adhesion surface with the solid electrolyte layer) is formed. It is considered that the temperature difference suddenly occurs and a large stress is generated.

【0011】また、従来の炭化水素センサの別の課題と
して、自動車排ガス中に炭化水素センサを設置した場
合、エンジンの運転状況により排ガスの温度が変わり、
炭化水素センサの温度は620±30℃となる。即ち温
度変動幅が60℃もあった。炭化水素センサの出力電流
はHC濃度だけでなく、温度によっても影響を受けるた
め、この温度変動により炭化水素センサの精度が低下す
る一因となる。これは、ヒーター5の温度調節精度が不
十分であったためである。
Another problem with the conventional hydrocarbon sensor is that when a hydrocarbon sensor is installed in the exhaust gas of an automobile, the temperature of the exhaust gas changes depending on the operating condition of the engine.
The temperature of the hydrocarbon sensor will be 620 ± 30 ° C. That is, the temperature fluctuation range was as high as 60 ° C. Since the output current of the hydrocarbon sensor is affected not only by the HC concentration but also by the temperature, this temperature fluctuation contributes to a decrease in the accuracy of the hydrocarbon sensor. This is because the temperature adjustment accuracy of the heater 5 was insufficient.

【0012】本発明はこの課題を解決するものであり、
歩留まりが良好且つ検出精度の高い炭化水素センサを提
供することを目的とする。
The present invention solves this problem,
It is an object of the present invention to provide a hydrocarbon sensor having good yield and high detection accuracy.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の炭化水素センサは、バリウムセリウム系酸化
物よりなる固体電解質層と、前記固体電解質層に設けら
れた一対の電極と、前記固体電解質層と略同等の熱膨張
係数を有するセラミックス基板と、前記セラミックス基
板に設けられたヒーターとを備え、前記固体電解質層と
前記セラミックス基板が接合されたことを特徴とするも
のである。
In order to solve this problem, a hydrocarbon sensor according to the present invention comprises: a solid electrolyte layer made of a barium-cerium-based oxide; a pair of electrodes provided on the solid electrolyte layer; A ceramic substrate having substantially the same thermal expansion coefficient as the solid electrolyte layer, and a heater provided on the ceramic substrate are provided, and the solid electrolyte layer and the ceramic substrate are joined.

【0014】また、セラミックス基板のヒーター形成面
側に、前記セラミックス基板と略同等の熱膨張係数を有
する補助基板を設けたことを特徴とするものである。
Further, an auxiliary substrate having a thermal expansion coefficient substantially equal to that of the ceramic substrate is provided on the heater forming surface side of the ceramic substrate.

【0015】さらに、ヒーターには、前記ヒーターをオ
ンオフ制御するための制御手段と、前記ヒーターの抵抗
値と温度に対応して予め規定された前記ヒーターの目標
とする抵抗値とを比較するための比較手段と、前記比較
手段からの信号に応じて前記制御手段からの出力を抑制
するための判断手段とが接続されたことを特徴とするも
のである。
Further, the heater has a control means for controlling the heater to be turned on and off, and a control means for comparing a resistance value of the heater with a target resistance value of the heater defined in advance corresponding to the temperature. A comparison means is connected to a judgment means for suppressing an output from the control means in accordance with a signal from the comparison means.

【0016】これらの構成により、歩留まりが良好且つ
検出精度の高い炭化水素センサが得られる。
With these configurations, a hydrocarbon sensor having good yield and high detection accuracy can be obtained.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、バリウムセリウム系酸化物よりなる固体電解質層
と、前記固体電解質層に設けられた一対の電極と、前記
固体電解質層と略同等の熱膨張係数を有するセラミック
ス基板と、前記セラミックス基板に設けられたヒーター
とを備え、前記固体電解質層と前記セラミックス基板が
接合された構成であるため、前記固体電解質層と前記セ
ラミックス基板の熱膨張係数差によるヒーターへのスト
レスが小さくなり炭化水素センサとしての歩留まりが向
上するという作用を有する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The invention according to claim 1 of the present invention comprises a solid electrolyte layer made of a barium-cerium-based oxide, a pair of electrodes provided on the solid electrolyte layer, A ceramic substrate having the same thermal expansion coefficient and a heater provided on the ceramic substrate are provided, and the solid electrolyte layer and the ceramic substrate are joined. This has the effect of reducing the stress on the heater due to the difference in expansion coefficient and improving the yield as a hydrocarbon sensor.

【0018】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の発明において、セラミックス基板が部分安定化ジルコ
ニアが使用されているため、還元雰囲気の排ガス中で使
用されても基板の強度低下が少なく、ヒーターへのダメ
ージも減少するという作用を有する。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, since the ceramic substrate is made of partially stabilized zirconia, the strength of the substrate is not reduced even when used in exhaust gas in a reducing atmosphere. It has the effect of reducing the damage to the heater.

【0019】請求項3に記載の発明は、請求項1に記載
の発明において、ヒーターが白金ペーストを用い厚膜形
成工法により緻密に構成されているため、ヒーター部が
安価になるばかりか局所的な抵抗値のむらもなくなりヒ
ーターの劣化が抑制されるという作用を有する。
According to a third aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, since the heater is densely formed by a thick film forming method using a platinum paste, the heater portion is not only inexpensive but also locally formed. This has the effect of eliminating unevenness in the resistance value and suppressing the deterioration of the heater.

【0020】請求項4に記載の発明は、請求項1に記載
の発明において、セラミックス基板のヒーター形成面側
に、前記セラミックス基板と略同等の熱膨張係数を有す
る補助基板を設けた構成であるため、ヒーター通電時に
前記補助基板へも熱が拡散し、前記セラミックス基板の
表裏に急激な温度差が発生しないようにでき、ヒーター
へのダメージも減少するという作用を有する。
According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, an auxiliary substrate having a thermal expansion coefficient substantially equal to that of the ceramic substrate is provided on the heater forming surface side of the ceramic substrate. Therefore, when the heater is energized, heat is also diffused to the auxiliary substrate, so that a rapid temperature difference between the front and back of the ceramic substrate can be prevented, and the effect of reducing damage to the heater can be obtained.

【0021】請求項5に記載の発明は、請求項4に記載
の発明において、セラミックス基板と補助基板は無機系
の材料からなる接着剤で接合された構成であるため、ヒ
ーターが高温になっても両基板を確実に接合できるとい
う作用を有する。
According to a fifth aspect of the present invention, in the fourth aspect of the invention, since the ceramic substrate and the auxiliary substrate are joined by an adhesive made of an inorganic material, the temperature of the heater becomes high. Also has the effect that both substrates can be securely joined.

【0022】請求項6に記載の発明は、請求項1または
4に記載の発明において、ヒーターには駆動手段と、前
記ヒーターをオン・オフ制御するための制御手段と、前
記ヒーターの抵抗値と温度に対応して予め規定された前
記ヒーターの目標とする抵抗値とを比較するための比較
手段と、前記比較手段からの信号に応じて前記制御手段
からの出力を抑制するための判断手段とが接続された構
成であるため、前記ヒーターを目標の温度に高度に制御
可能となり、延いてはHC濃度を検出する固体電解質層
を高精度に温度制御できるばかりか構成も比較的簡易に
できるという作用を有する。
According to a sixth aspect of the present invention, in the first or the fourth aspect of the present invention, the heater has a driving means, a control means for controlling on / off of the heater, and a resistance value of the heater. A comparing unit for comparing a target resistance value of the heater predetermined in accordance with a temperature, and a judging unit for suppressing an output from the control unit according to a signal from the comparing unit. Is connected, so that the heater can be highly controlled to a target temperature, and furthermore, the temperature of the solid electrolyte layer for detecting the HC concentration can be controlled with high accuracy, and the structure can be relatively simplified. Has an action.

【0023】請求項7に記載の発明は、請求項4乃至5
に記載の発明において、固体電解質層、セラミックス基
板および補助基板からなる検出素子部をセラミックス製
円柱の一端に設けた平坦部に無機系の材料からなる接着
剤により固定し、金属製のケースに収納した構成である
ため、高温且つ酸素還元雰囲気に強く、高い信頼性が確
保できるという作用を有する。
The invention described in claim 7 is the invention according to claims 4 and 5.
In the invention described in the above, the detection element portion comprising the solid electrolyte layer, the ceramic substrate, and the auxiliary substrate is fixed to a flat portion provided at one end of the ceramic column with an adhesive made of an inorganic material, and housed in a metal case. With such a configuration, it has an effect that it is resistant to high-temperature and oxygen-reducing atmosphere and high reliability can be secured.

【0024】請求項8に記載の発明は、請求項7に記載
の発明において、セラミックス製円柱の熱膨張係数をセ
ラミックス基板若しくは補助基板の熱膨張係数と略同等
の構成にしているため、前記セラミックス基板若しくは
前記補助基板が前記セラミックス製円柱から大きなスト
レスを受けるのを防止でき、ヒーターへのダメージも減
少するという作用を有する。
According to an eighth aspect of the present invention, in the invention according to the seventh aspect, since the thermal expansion coefficient of the ceramic cylinder is substantially equal to the thermal expansion coefficient of the ceramic substrate or the auxiliary substrate, This has the effect of preventing the substrate or the auxiliary substrate from receiving a large stress from the ceramic cylinder and reducing the damage to the heater.

【0025】請求項9に記載の発明は、請求項7に記載
の発明において、無機系の材料からなる接着剤とセラミ
ックス基板の熱膨張係数と略同等になるように構成され
ているため、ヒーターが高温になっても検出素子部を構
成する補助基板とセラミックス製円柱の一端に設けた平
坦部との確実な接合ができるばかりかヒーターへのダメ
ージも減少するという作用を有する。
According to a ninth aspect of the present invention, there is provided the heater according to the seventh aspect of the invention, which is configured so that the thermal expansion coefficient of the adhesive made of an inorganic material and the thermal expansion coefficient of the ceramic substrate are substantially equal to each other. Even when the temperature rises, not only can the auxiliary substrate forming the detecting element portion and the flat portion provided at one end of the ceramic cylinder be securely bonded, but also the effect of reducing the damage to the heater can be obtained.

【0026】請求項10に記載の発明は、請求項7に記
載の発明において、金属製のケースは耐熱性ステンレス
鋼により構成されているため、セラミックスに比べて加
工が容易であるばかりか、高温でもセラミックス製円柱
を確実に固定できるという作用を有する。
According to a tenth aspect of the present invention, in the invention of the seventh aspect, since the metal case is made of heat-resistant stainless steel, it is not only easy to process than ceramics, but also has a high temperature. However, it has the effect that the ceramic cylinder can be securely fixed.

【0027】以下、本発明の実施の形態について、図1
から図4を用いて説明する。 (実施の形態1)図1は本発明の炭化水素センサの実施
の形態の検出素子部の概略断面図である。図2はヒータ
ーのパターン図である。図3は検出素子部を保持するセ
ラミックス製円柱に設けた平坦部を主に説明する概略斜
視図である。図4はセラミックス製円柱を保持する金属
製のケースの分解斜視図である。図5は、ヒーターの駆
動回路を説明するためのブロック図である。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to FIG. (Embodiment 1) FIG. 1 is a schematic sectional view of a detection element portion of an embodiment of a hydrocarbon sensor according to the present invention. FIG. 2 is a pattern diagram of the heater. FIG. 3 is a schematic perspective view mainly illustrating a flat portion provided on a ceramic cylinder holding a detection element portion. FIG. 4 is an exploded perspective view of a metal case holding a ceramic column. FIG. 5 is a block diagram for explaining a heater driving circuit.

【0028】1は10mm角で、厚さ0.5mmのバリウ
ム、セリウムとガドリニウムの酸化物からなる固体電解
質層であり、その表面に接触するようにカソード2およ
びアノード3からなる一対の電極が厚膜印刷された後、
焼成により形成されている。カソード2の形成にはアル
ミ系ペースト、アノード3の形成には白金系ペーストを
用いた。
Reference numeral 1 denotes a 10 mm square solid electrolyte layer made of barium, cerium and gadolinium oxide having a thickness of 0.5 mm, and a pair of electrodes consisting of a cathode 2 and an anode 3 having a thickness in contact with the surface thereof. After membrane printing
It is formed by firing. An aluminum paste was used for forming the cathode 2 and a platinum paste was used for forming the anode 3.

【0029】固体電解質層1のアノード3側には固体電
解質層1と略同じ寸法の部分安定化ジルコニア製セラミ
ックス基板4が無機系接着剤5によって接合されてい
る。ここで、無機系接着剤5としてはガラスペーストを
用い、固体電解質層1とセラミックス基板4の両方に印
刷し焼成した後、両者を重ね合わせて再焼成することに
より接合した。また、部分安定化ジルコニア製セラミッ
クス基板4の熱膨張係数は10×10-6/℃であり、固
体電解質層1の熱膨張係数(約10×10-6/℃)と略
同等であった。
A partially stabilized zirconia ceramic substrate 4 having substantially the same dimensions as the solid electrolyte layer 1 is bonded to the anode 3 side of the solid electrolyte layer 1 with an inorganic adhesive 5. Here, a glass paste was used as the inorganic adhesive 5, and both the solid electrolyte layer 1 and the ceramic substrate 4 were printed and fired, and then they were overlapped and fired again. The coefficient of thermal expansion of the partially stabilized zirconia ceramic substrate 4 was 10 × 10 −6 / ° C., which was substantially equal to the coefficient of thermal expansion of the solid electrolyte layer 1 (about 10 × 10 −6 / ° C.).

【0030】図1に示すように無機系接着剤5の一部を
開口させることにより拡散律速孔6が形成されている。
As shown in FIG. 1, a diffusion controlling hole 6 is formed by opening a part of the inorganic adhesive 5.

【0031】セラミックス基板4の固体電解質層1と接
合する面と反対側の面上には、白金ペースト(例えば、
田中貴金属製の品番TR709)を印刷し、1100℃
で焼成することによりヒーター7が厚膜且つ緻密に形成
される。ヒーター7のパターンは、図2(a)に示すつ
づら折れ状タイプ、または図2(b)に示す同心円状タ
イプとした。
On the surface of the ceramic substrate 4 opposite to the surface joined to the solid electrolyte layer 1, a platinum paste (for example,
Printed the product number TR709) made by Tanaka Kikinzoku, 1100 ° C
By baking, the heater 7 is formed thickly and densely. The pattern of the heater 7 was a serpentine type shown in FIG. 2A or a concentric type shown in FIG. 2B.

【0032】ヒーター7を形成したセラミックス基板4
の上には、セラミックス基板4と略同じ寸法の部分安定
化ジルコニアからなる補助基板8が無機系接着剤5で接
合されている。従って、セラミックス基板4と補助基板
8の熱膨張係数を一致させることができる。無機系接着
剤5としては、シリコン系接着剤{例えば、セラマボン
ド(アレムコ社の商品名)の品番685}を用いている
ため、その熱膨張係数は10.8×10-6/℃である。
従って、部分安定化ジルコニアの熱膨張係数と比べて
も、その熱膨張係数差は、0.8×10-6/℃であり、
略同等である。
The ceramic substrate 4 on which the heater 7 is formed
An auxiliary substrate 8 made of partially stabilized zirconia having substantially the same dimensions as the ceramic substrate 4 is bonded thereon with an inorganic adhesive 5. Therefore, the thermal expansion coefficients of the ceramic substrate 4 and the auxiliary substrate 8 can be matched. As the inorganic adhesive 5, a silicon-based adhesive (for example, Ceramabond (trade name of Alemco), part number 685) is used, and its thermal expansion coefficient is 10.8 × 10 −6 / ° C.
Therefore, even when compared with the thermal expansion coefficient of the partially stabilized zirconia, the thermal expansion coefficient difference is 0.8 × 10 −6 / ° C.,
They are almost equivalent.

【0033】接合は、371℃で2時間加熱し硬化させ
る条件で行う。以上のようにして完成した検出素子部9
は、図3(a)または図3(b)に示すようにセラミッ
クス製円柱10の一端に設けた平坦部11に無機系接着
剤5により固定される。セラミックス製円柱10には図
3(a),図3(b)のような形状を施さなければなら
ない。さらに、セラミックス製円柱10の内部にリード
線(後述)を通すための貫通穴を設ける必要もあるた
め、快削性を有するもの{例えば、シリカ系ガラス質の
セラミックス(マコール(コーニング社製の商品名な
ど)が望ましい。ここで、マコールの熱膨張係数は9.
4×10-6/℃であり、セラミックス基板4の材質であ
る部分安定化ジルコニアの熱膨張係数(10×10-6
℃)と略同等であった。また、無機系接着剤5として
は、前述と同じセラマボンドを用いた。
The bonding is performed under the condition of heating at 371 ° C. for 2 hours for curing. Detection element section 9 completed as described above
Is fixed to the flat part 11 provided at one end of the ceramic column 10 by the inorganic adhesive 5 as shown in FIG. 3 (a) or 3 (b). The ceramic cylinder 10 must be shaped as shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b). Further, since it is necessary to provide a through hole for passing a lead wire (described later) inside the ceramic cylinder 10, a material having a free-cutting property, for example, a silica-based vitreous ceramic (a product of Macor (a product of Corning Incorporated)) Here, the thermal expansion coefficient of macol is 9.
4 × 10 −6 / ° C., and the coefficient of thermal expansion of the partially stabilized zirconia (10 × 10 −6 /
° C). As the inorganic adhesive 5, the same ceramer bond as described above was used.

【0034】セラミックス製円柱10の内部には、セン
サ出力用およびヒーター用のリード線11が通され、そ
れぞれ電気的に接続している。
Inside the ceramic cylinder 10, lead wires 11 for sensor output and heater are passed and electrically connected to each other.

【0035】セラミックス製円柱10は、金属製のケー
ス13に収納され、金属製のフタ14により固定され
る。また、図4に示すように、金属製のケース13には
検出素子部9と対応する位置に、排ガスを通すために通
気孔15が開けられている。また、金属製のケース13
および金属製のフタ14は、いずれも自動車の排ガス中
で使用することを考慮して耐熱性ステンレス鋼で作製さ
れている。本実施の形態では、耐熱性ステンレス鋼とし
てJIS規格のSUS430を用いたが、例えばJIS
規格のSUS310他、多くの耐熱性ステンレス鋼も使
用可能である。
The ceramic cylinder 10 is housed in a metal case 13 and fixed by a metal lid 14. As shown in FIG. 4, a vent hole 15 is formed in the metal case 13 at a position corresponding to the detection element section 9 for passing exhaust gas. Also, the metal case 13
The metallic cover 14 is made of heat-resistant stainless steel in consideration of use in exhaust gas from automobiles. In this embodiment, JIS SUS430 is used as the heat-resistant stainless steel.
Many heat-resistant stainless steels other than the standard SUS310 can be used.

【0036】本実施の形態における炭化水素センサの検
出原理は、従来例と基本的に同じであるため、以下にヒ
ーター7の駆動、制御のための構成と方法について詳述
する。
Since the principle of detection of the hydrocarbon sensor in this embodiment is basically the same as that of the conventional example, the configuration and method for driving and controlling the heater 7 will be described in detail below.

【0037】図5において、16はヒーター7を駆動す
るための駆動手段、17はオンオフ制御するための制御
手段、18は目標の抵抗値を規定するための基準抵抗、
19は比較手段、20は判断手段、21,22,23は
抵抗である。
In FIG. 5, 16 is a driving means for driving the heater 7, 17 is a control means for on / off control, 18 is a reference resistance for defining a target resistance value,
19 is a comparing means, 20 is a judging means, 21, 22, and 23 are resistors.

【0038】ヒーター7には、白金抵抗体を用いている
ため、抵抗温度係数は一定であり、温度と抵抗値の間に
は比例関係が成立する。従って、温度(例えば、700
℃)に対応して予め規定されたヒーター7の目標の抵抗
値に相当する基準抵抗18を選定しておくことが可能と
なる。
Since the heater 7 uses a platinum resistor, the resistance temperature coefficient is constant, and a proportional relationship is established between the temperature and the resistance value. Therefore, the temperature (for example, 700
C), it is possible to select a reference resistor 18 corresponding to a target resistance value of the heater 7 specified in advance.

【0039】例えば、電源から12Vがヒーター7を駆
動するための駆動手段16に供給されていると、目標の
温度に達するまでは、制御手段17からオンオフの繰り
返しパルス(パルス周波数は約4Hz)が判断手段20
としてのAND回路を経由してヒータ7に与えられ続け
る。
For example, when 12 V is supplied from a power supply to the driving means 16 for driving the heater 7, a repetition pulse of ON / OFF (pulse frequency is about 4 Hz) is supplied from the control means 17 until the target temperature is reached. Judgment means 20
And is continuously supplied to the heater 7 via the AND circuit.

【0040】しかし、ヒーター7の温度が目標の温度に
到達するとヒーター7の抵抗値と基準抵抗18の抵抗値
が一致するため、比較手段19からの出力はLow(ロ
ー)レベルとなる。次にこの出力が判断手段20に入力
されると判断手段20からはもはやオンオフの繰り返し
パルスが駆動手段16に与えられなくなり、ヒーター7
の加熱は停止する。
However, when the temperature of the heater 7 reaches the target temperature, the resistance value of the heater 7 and the resistance value of the reference resistor 18 match, so that the output from the comparing means 19 becomes a low level. Next, when this output is inputted to the judging means 20, the judging means 20 no longer provides the driving means 16 with a repetition pulse of ON / OFF.
Is stopped.

【0041】上記構成の炭化水素センサを、実際に自動
車排ガス中で試験検討をした。その結果、ヒーター7の
通電後の歩留まりは100%を達成した(試験個数1
0)。
The hydrocarbon sensor having the above configuration was actually tested and examined in automobile exhaust gas. As a result, the yield after energization of the heater 7 achieved 100% (the number of test pieces 1).
0).

【0042】これは、固体電解質層1、セラミックス基
板4の熱膨張係数を合わせた上に、さらに補助基板8を
設置し、この熱膨張係数も合わせたことが、ヒーター7
の受けるストレスを著しく軽減されたものと考えられ
る。
This is because the heater 7 has the same thermal expansion coefficient as that of the solid electrolyte layer 1 and the ceramic substrate 4, and further has an auxiliary substrate 8.
It is considered that the stress received by the subject was remarkably reduced.

【0043】また、上述のヒーター7の温度制御機能を
詳細に評価検討するために以下の実験を試みた。検出素
子部9の温度をモニターするために固体電解質層1上に
温度センサとしての熱電対を無機系の接着剤で貼付した
サンプルを作製し、これを自動車の排ガス中に配した状
態で上述のような温度制御を実施した。その結果、エン
ジンの運転状況を変えた場合に、従来温度変動幅が60
℃あったものが、本実施の形態で述べたような温度制御
を行なったことにより、わずか8℃まで抑制することが
でき、高精度に温度制御ができることを実証した。
In order to evaluate and evaluate the temperature control function of the heater 7 in detail, the following experiment was conducted. A sample in which a thermocouple as a temperature sensor was adhered on the solid electrolyte layer 1 with an inorganic adhesive to monitor the temperature of the detection element section 9 was prepared, and the above-described sample was arranged in exhaust gas of an automobile. Such temperature control was implemented. As a result, when the operating condition of the engine is changed, the conventional temperature fluctuation range is 60
However, by performing the temperature control as described in the present embodiment, the temperature can be suppressed to only 8 ° C., and it has been demonstrated that the temperature can be controlled with high accuracy.

【0044】また、ヒーター7の温度制御のために検出
素子部9の一部に温度センサを設け、常に検出素子部9
の温度をモニターし、ヒーター7の電流を制御すること
により高精度に温度制御できると期待される。しかし、
実際に検討した結果、ヒーター7自身の抵抗値から温度
を求めて制御する構成と比べ、特段の温度制御特性は得
られなかった。従って、ヒーター7自身の抵抗値の特性
を利用した本実施の形態に述べた温度制御方法の方が温
度センサを別個に設ける必要もなく、また、リード線の
増加もなく、構造がシンプルな分メリットも多い。
In order to control the temperature of the heater 7, a temperature sensor is provided in a part of the detecting element section 9 so that the detecting element section 9 is always controlled.
It is expected that the temperature can be controlled with high accuracy by monitoring the temperature of the heater 7 and controlling the current of the heater 7. But,
As a result of an actual study, no particular temperature control characteristic was obtained compared to a configuration in which the temperature was obtained from the resistance value of the heater 7 and controlled. Therefore, the temperature control method described in the present embodiment utilizing the characteristics of the resistance value of the heater 7 itself does not require a separate temperature sensor, does not increase the number of lead wires, and has a simple structure. There are many benefits.

【0045】本実施の形態にて述べたヒーター7自身の
抵抗値の特性を利用した温度制御には、この他にも様々
な制御をするための構成(例えば、フィードバック制
御)が考えられる。
In the temperature control using the characteristic of the resistance value of the heater 7 itself described in the present embodiment, other configurations (for example, feedback control) for performing various controls can be considered.

【0046】また、ヒーター7のパターンとしては、図
2(a),図2(b)に示すような2種類に関して説明
したが、温度制御の観点からはどちらでも同等の高精度
化が実現できる。両者の違いは、同一の幅のパターンに
した時にヒーター7の抵抗値に差異があるだけであるた
め、要求される温度や消費電力等を勘案して最適抵抗値
が得られるよう、いずれかの形状を選択すればよい。ま
た、ヒーター7のパターンの幅や間隔、つづら折れの回
数、同心円の数等についても要求される温度や消費電力
等を勘案して最適抵抗値が得られるよう任意に選択すれ
ばよく、図2(a),図2(b)に示したパターン形状
に何ら限定されるものではない。
Also, the two types of heater 7 patterns as shown in FIGS. 2A and 2B have been described, but from the viewpoint of temperature control, the same high accuracy can be realized in either case. . The difference between the two is that there is only a difference in the resistance value of the heater 7 when the pattern has the same width, so that the optimum resistance value is obtained in consideration of the required temperature and power consumption. What is necessary is just to select a shape. Further, the width and interval of the pattern of the heater 7, the number of twists, the number of concentric circles, and the like may be arbitrarily selected in consideration of the required temperature, power consumption, and the like, so that the optimum resistance value can be obtained. 2A and 2B are not limited at all.

【0047】さらに、セラミック製円柱の形状は図3
(a),図3(b)に2種類示したが、炭化水素センサ
を形成する上では、どちらでもよい。但し、図3(a)
に示す平坦部11は、薄いため熱容量が小さく、ヒータ
ー7を加熱する時の昇温時間が短くなる長所がある一
方、薄いがゆえに平坦部11を形成するのが難しいとい
う短所がある。また図3(b)に示す平坦部11は円柱
の一部をカットしただけで構成されるので、加工しやす
いという長所がある反面、平坦部11の熱容量が大きく
昇温時間がやや長くなるという短所がある。従って、図
3(a),図3(b)いずれも相反する長所、短所があ
るため、必要とする昇温時間、加工コスト等を勘案して
最適な形状、寸法とすればよい。
Further, the shape of the ceramic cylinder is shown in FIG.
(A) and FIG. 3 (b) show two types, but either may be used in forming a hydrocarbon sensor. However, FIG.
The flat portion 11 shown in FIG. 1 has an advantage that the heat capacity is small because it is thin and the heating time when the heater 7 is heated is short. On the other hand, there is a disadvantage that it is difficult to form the flat portion 11 because it is thin. Further, since the flat portion 11 shown in FIG. 3B is formed by cutting only a part of a cylinder, it has an advantage that it is easy to process, but has a large heat capacity of the flat portion 11 and a slightly longer temperature rise time. There are disadvantages. Therefore, both FIG. 3A and FIG. 3B have contradictory advantages and disadvantages. Therefore, the optimum shape and dimensions may be determined in consideration of the required heating time, processing cost, and the like.

【0048】また、本実施の形態においては、補助基板
8を設けた構成を中心に説明してきたが、これも要求さ
れる温度、消費電力及び検出精度を総合的に勘案すると
必ずしも必須ではない。しかし、この構成においても、
本発明の技術的思想は十分に貫徹している。
Further, in the present embodiment, the description has been made mainly on the configuration in which the auxiliary substrate 8 is provided. However, this is not necessarily essential when the required temperature, power consumption and detection accuracy are comprehensively considered. However, even in this configuration,
The technical idea of the present invention has been fully implemented.

【0049】なお、本実施の形態で述べた具体的な材料
名や商標、品番は、いずれも炭化水素センサを構成する
上での一例であり、これらの材料に何ら限定されるもの
ではない。
It should be noted that the specific material names, trademarks, and product numbers described in the present embodiment are all examples of constituting a hydrocarbon sensor, and the present invention is not limited to these materials.

【0050】以上により、歩留まりが良好且つ検出精度
の高い炭化水素センサを実現することができる。
As described above, a hydrocarbon sensor having good yield and high detection accuracy can be realized.

【0051】[0051]

【発明の効果】以上のように本発明は、バリウムセリウ
ム系酸化物よりなる固体電解質層と、前記固体電解質層
に設けられた一対の電極と、前記固体電解質層と略同等
の熱膨張係数を有するセラミックス基板と、前記セラミ
ックス基板に設けられたヒーターとを備え、前記固体電
解質層と前記セラミックス基板が接合された構成である
ため、歩留まりが良好な炭化水素センサが得られる。
As described above, the present invention provides a solid electrolyte layer made of a barium-cerium-based oxide, a pair of electrodes provided on the solid electrolyte layer, and a thermal expansion coefficient substantially equal to that of the solid electrolyte layer. Since the ceramic substrate has a ceramic substrate and a heater provided on the ceramic substrate, and the solid electrolyte layer and the ceramic substrate are joined, a hydrocarbon sensor having a good yield can be obtained.

【0052】また、ヒーターには、前記ヒーターをオン
オフ制御するための制御手段と、前記ヒーターの抵抗値
と温度に対応して予め規定された前記ヒーターの目標と
する抵抗値とを比較するための比較手段と、前記比較手
段からの信号に応じて前記制御手段からの出力を抑制す
るための判断手段とが接続された構成であるため、検出
精度の高い炭化水素センサが実現可能である。
The heater has a control means for controlling the heater to be turned on and off, and a control means for comparing a resistance value of the heater with a target resistance value of the heater defined in advance corresponding to the temperature. Since the comparison unit and the determination unit for suppressing the output from the control unit in accordance with the signal from the comparison unit are connected, a hydrocarbon sensor with high detection accuracy can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の炭化水素センサの実施の形態の検出素
子部の概略断面図
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a detection element section of an embodiment of a hydrocarbon sensor of the present invention.

【図2】(a)本実施の形態におけるヒーターのパター
ン図 (b)同パターン図
FIG. 2A is a pattern diagram of a heater according to the present embodiment; FIG.

【図3】(a)本実施の形態におけるセラミックス製円
柱に設けた平坦部を主に説明する概略斜視図 (b)同概略斜視図
FIG. 3A is a schematic perspective view mainly illustrating a flat portion provided on a ceramic column in the present embodiment; FIG.

【図4】本実施の形態における金属製のケースの分解斜
視図
FIG. 4 is an exploded perspective view of a metal case in the present embodiment.

【図5】本実施の形態におけるヒーターの駆動回路を説
明するためのブロック図
FIG. 5 is a block diagram for describing a heater driving circuit according to the present embodiment.

【図6】従来の炭化水素センサの検出素子部の概略断面
FIG. 6 is a schematic sectional view of a detection element section of a conventional hydrocarbon sensor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 固体電解質層 2 カソード 3 アノード 4 セラミックス基板 5 無機系接着剤 6 拡散律速孔 7 ヒーター 8 補助基板 9 検出素子部 10 セラミックス製円柱 11 平坦部 12 リード線 13 金属製のケース 14 金属製のフタ 15 通気孔 16 駆動手段 17 制御手段 18 基準抵抗 19 比較手段 20 判断手段 21,22,23 抵抗 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Solid electrolyte layer 2 Cathode 3 Anode 4 Ceramic substrate 5 Inorganic adhesive 6 Diffusion controlling hole 7 Heater 8 Auxiliary substrate 9 Detecting element part 10 Ceramic column 11 Flat part 12 Lead wire 13 Metal case 14 Metal lid 15 Vent hole 16 Driving means 17 Control means 18 Reference resistance 19 Comparison means 20 Judging means 21, 22, 23 Resistance

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 バリウムセリウム系酸化物よりなる固体
電解質層と、前記固体電解質層に設けられた一対の電極
と、前記固体電解質層と略同等の熱膨張係数を有するセ
ラミックス基板と、前記セラミックス基板に設けられた
ヒーターとを備え、前記固体電解質層と前記セラミック
ス基板が接合された炭化水素センサ。
1. A solid electrolyte layer made of a barium-cerium-based oxide, a pair of electrodes provided on the solid electrolyte layer, a ceramic substrate having a thermal expansion coefficient substantially equal to that of the solid electrolyte layer, and the ceramic substrate Wherein the solid electrolyte layer and the ceramic substrate are joined.
【請求項2】 セラミックス基板が部分安定化ジルコニ
アからなる請求項1に記載の炭化水素センサ。
2. The hydrocarbon sensor according to claim 1, wherein the ceramic substrate is made of partially stabilized zirconia.
【請求項3】 ヒーターは白金ペーストを用い厚膜形成
工法により緻密に構成された請求項1に記載の炭化水素
センサ。
3. The hydrocarbon sensor according to claim 1, wherein the heater is densely formed by a thick film forming method using a platinum paste.
【請求項4】 セラミックス基板のヒーター形成面側
に、前記セラミックス基板と略同等の熱膨張係数を有す
る補助基板を設けた請求項1に記載の炭化水素センサ。
4. The hydrocarbon sensor according to claim 1, wherein an auxiliary substrate having a thermal expansion coefficient substantially equal to that of the ceramic substrate is provided on the side of the ceramic substrate on which the heater is formed.
【請求項5】 セラミックス基板と補助基板は無機系の
材料からなる接着剤で接合された請求項4に記載の炭化
水素センサ。
5. The hydrocarbon sensor according to claim 4, wherein the ceramic substrate and the auxiliary substrate are joined with an adhesive made of an inorganic material.
【請求項6】 ヒーターには駆動手段と、前記ヒーター
をオンオフ制御するための制御手段と、前記ヒーターの
抵抗値と温度に対応して予め規定された前記ヒーターの
目標とする抵抗値とを比較するための比較手段と、前記
比較手段からの信号に応じて前記制御手段からの出力を
抑制するための判断手段とが接続された請求項1または
4に記載の炭化水素センサ。
6. The heater includes a driving unit, a control unit for controlling on / off of the heater, and a comparison between a resistance value of the heater and a target resistance value defined in advance corresponding to the temperature. 5. The hydrocarbon sensor according to claim 1, further comprising: a comparison unit configured to perform the operation, and a determination unit configured to suppress an output from the control unit according to a signal from the comparison unit. 6.
【請求項7】 固体電解質層、セラミックス基板および
補助基板からなる検出素子部をセラミックス製円柱の一
端に設けた平坦部に無機系の材料からなる接着剤により
固定し、金属製のケースに収納した請求項4乃至5に記
載の炭化水素センサ。
7. A detecting element portion comprising a solid electrolyte layer, a ceramic substrate and an auxiliary substrate is fixed to a flat portion provided at one end of a ceramic column with an adhesive made of an inorganic material, and housed in a metal case. The hydrocarbon sensor according to claim 4.
【請求項8】 セラミックス製円柱の熱膨張係数がセラ
ミックス基板若しくは補助基板の熱膨張係数と略同等で
ある請求項7に記載の炭化水素センサ。
8. The hydrocarbon sensor according to claim 7, wherein a coefficient of thermal expansion of the ceramic cylinder is substantially equal to a coefficient of thermal expansion of the ceramic substrate or the auxiliary substrate.
【請求項9】 無機系の材料からなる接着剤の熱膨張係
数がセラミックス基板の熱膨張係数と略同等である請求
項7に記載の炭化水素センサ。
9. The hydrocarbon sensor according to claim 7, wherein the thermal expansion coefficient of the adhesive made of an inorganic material is substantially equal to the thermal expansion coefficient of the ceramic substrate.
【請求項10】 金属製のケースは耐熱性ステンレス鋼
からなる請求項7に記載の炭化水素センサ。
10. The hydrocarbon sensor according to claim 7, wherein the metal case is made of heat-resistant stainless steel.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004219232A (en) * 2003-01-14 2004-08-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd Gas sensor structure
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JP2017514129A (en) * 2014-04-17 2017-06-01 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh Apparatus for detecting gas parameters, method of operating the apparatus, and measurement system for identifying gas parameters

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