JP2000169993A - Titanium mother plate for copper electrolysis and polishing device for titanium mother plate - Google Patents

Titanium mother plate for copper electrolysis and polishing device for titanium mother plate

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JP2000169993A
JP2000169993A JP11133377A JP13337799A JP2000169993A JP 2000169993 A JP2000169993 A JP 2000169993A JP 11133377 A JP11133377 A JP 11133377A JP 13337799 A JP13337799 A JP 13337799A JP 2000169993 A JP2000169993 A JP 2000169993A
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base plate
region
plate
titanium base
surface roughness
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Japanese (ja)
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Yasukatsu Sasaki
康勝 佐々木
Shigeki Miura
茂記 三浦
Yoshitaka Himeno
嘉孝 姫野
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Eneos Corp
Original Assignee
Nippon Mining and Metals Co Ltd
Nippon Mining Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a titanium mother plate for copper electrolysis which is capable of eliminating the occurrence of such an accident as the undesirable peeling of an electrodeposited seed plate from the mother plate and easily stripping the seed plate from the mother plate at the time of stripping work from the mother plate and a polishing device for the titanium mother plate for copper electrolysis capable of manufacturing the such titanium mother plate for copper electrolysis. SOLUTION: The titanium mother plate 100 for copper electrolysis for electrodeposition of the seed plate is constituted by dividing the region where the seed plate is electrodeposited to three regions; an upper region 100A a middle region 100B and a lower region 100C in a vertical direction and making the surface roughness of the upper region 100A finer and the surface roughness of the middle region 100B and the lower region 100C coarser. The upper region is preferably a region of about 1/3 upper the entire part region where the seed plate is electrodeposited.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、種板を作製するた
めの銅電解用チタン(Ti)母板及びチタン母板の研磨
装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a titanium (Ti) base plate for copper electrolysis for producing a seed plate and an apparatus for polishing the titanium base plate.

【0002】[0002]

【従来の技術】図4に種板を作製するための銅電解用母
板の一例を示す。母板100は、両側部に絶縁材から成
るエッジワイズプロテクタ101が設けられ、上端部に
は、クロスバー102が取り付けられている。母板10
0は、クロスバー102を介してトロリーコンベアのフ
ックに係止されて懸吊されながら搬送される。
2. Description of the Related Art FIG. 4 shows an example of a copper electrolysis mother plate for producing a seed plate. An edgewise protector 101 made of an insulating material is provided on both sides of the mother plate 100, and a crossbar 102 is attached to the upper end. Mother plate 10
0 is conveyed while being suspended and hooked on the hook of the trolley conveyor via the crossbar 102.

【0003】種板電解槽にて母板100の両表面に種板
が電着される。種板が電着された母板100は、トロリ
ーコンベアにて搬送されて口付装置へと送入し、種板の
上部をハンマリングして剥がれ易くする。その後、口明
け装置に送入し、吸盤にて吸引して種板の上部のみが母
板から剥がされた状態とされる。次いで、種板は、剥ぎ
取り装置へと送入し、剥がされた種板上部に剥ぎ取りア
ームを差込み、アームを下降することにより、母板から
剥ぎ取られる。
A seed plate is electrodeposited on both surfaces of a mother plate 100 in a seed plate electrolytic cell. The mother plate 100 on which the seed plate has been electrodeposited is conveyed by a trolley conveyor and sent into a spouting device, where the upper portion of the seed plate is hammered to facilitate peeling. After that, it is fed into the opening device, sucked by the suction cup, and only the upper part of the seed plate is peeled off from the mother plate. Next, the seed plate is fed into a stripping device, a stripping arm is inserted above the peeled seed plate, and the arm is lowered to be stripped from the mother plate.

【0004】従来、このような母板100としては、S
US板、或いは圧延銅板などが使用されている、近年、
軽量で、丈夫であり、取り扱いが容易で作業性がよいと
いう理由から、厚さ3.1mm程度のチタン(Ti)板
が母板として使用されている。
Conventionally, such a mother plate 100 has been
In recent years, US plates or rolled copper plates have been used.
A titanium (Ti) plate having a thickness of about 3.1 mm is used as a base plate because it is lightweight, strong, easy to handle, and has good workability.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、本発明
者らの研究実験の結果によると、チタン母板は、酸化し
易く、母板表面に酸化膜(TiO2)が形成され、この
酸化膜は、銅の電着状態を悪化させ、網目状(穴あき)
電着となり易いことが分かった。
However, according to the results of research conducted by the present inventors, the titanium base plate is easily oxidized, and an oxide film (TiO 2 ) is formed on the surface of the base plate. Deterioration of copper electrodeposition, mesh-like (perforated)
It was found that electrodeposition was easy.

【0006】そこで、この問題を解決するために、酸化
膜を除去することが考えられる。しかしながら、酸化膜
を除去するために、母板全表面を一様に研磨し、細かい
表面とした場合には、電着した種板が剥がれ易くなり、
不所望に種板が母板から剥がれてしまうという事故が発
生する。逆に、研磨により母板表面を荒くした場合に
は、種板は母板にしっかりと固着し、種板が母板から不
用意に剥がれてしまうといった事故は防止できるが、ハ
ンマリングにより種板の上部を剥がし易くする作業、及
び、吸盤にて吸引して種板の上部のみを母板から剥がす
作業、更には、剥がされた種板上部に剥ぎ取りアームを
差込み、アームを下降することにより、種板を母板から
剥ぎ取る作業が困難となる。
To solve this problem, it is conceivable to remove the oxide film. However, in order to remove the oxide film, if the entire surface of the mother plate is uniformly polished to a fine surface, the electrodeposited seed plate is easily peeled off,
An accident occurs in which the seed plate is undesirably peeled off from the mother plate. Conversely, if the surface of the base plate is roughened by polishing, the seed plate is firmly fixed to the base plate and accidents such as the seed plate being inadvertently peeled off from the base plate can be prevented, but the seed plate can be prevented by hammering. Work to make the upper part of the seed plate easy to peel off, and work to remove only the upper part of the seed plate from the mother plate by sucking with the suction cup, and further, insert the peeling arm into the upper part of the peeled seed plate and lower the arm In addition, it is difficult to remove the seed plate from the mother plate.

【0007】又、研磨時に発生するチタン粉及びチタン
酸化膜粉は、研磨工程周辺に飛散し、また、チタン粉は
特に酸化し易く、発火し易いといった問題をも有してい
る。
Further, titanium powder and titanium oxide film powder generated during polishing are scattered around the polishing step, and titanium powder is particularly liable to be oxidized and ignited.

【0008】従って、本発明の目的は、電着した種板が
不所望に母板から剥がれてしまうという事故の発生をな
くし、且つ、母板からの剥ぎ取り作業時には種板を容易
に母板から剥ぎ取ることのできる銅電解用チタン母板及
び斯かる銅電解用チタン母板を作製することのできる銅
電解用チタン母板の研磨装置を提供することである。
Accordingly, an object of the present invention is to eliminate the occurrence of an accident in which an electrodeposited seed plate is undesirably peeled off from a mother plate, and to easily remove the seed plate from the mother plate at the time of stripping work from the mother plate. It is an object of the present invention to provide a titanium plate for copper electrolysis that can be peeled off from a copper base plate and a polishing apparatus for a titanium base plate for copper electrolysis that can produce such a titanium base plate for copper electrolysis.

【0009】本発明の他の目的は、研磨時の発火の危険
性もなく効率よく上記銅電解用チタン母板を作製するこ
とのできる銅電解用チタン母板の研磨装置を提供するこ
とである。
Another object of the present invention is to provide an apparatus for polishing a titanium base plate for copper electrolysis which can efficiently produce the titanium base plate for copper electrolysis without danger of ignition during polishing. .

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的は本発明に係る
銅電解用チタン母板及び銅電解用チタン母板の研磨装置
にて達成される。要約すれば、本発明は、種板を電着す
るための銅電解用チタン母板であって、チタン母板は、
種板が電着される領域を上下方向に3つの領域、上領
域、中領域、下領域に分割し、上領域の表面粗さを細か
くし、中領域及び下領域の表面粗さを荒くしたことを特
徴とする銅電解用チタン母板である。本発明の一実施態
様によると、前記上領域は、種板が電着される全体領域
の上方約1/3の領域であり、前記上領域の表面粗さは
0.4〜1.0μmRa、好ましくは、0.6〜1.0
μmRaであり、前記中領域及び下領域の表面粗さは
1.0〜2.0μmRa、好ましくは、1.5〜2.0
μmRaとされる。典型的には、前記上領域の表面粗さ
は約0.8μmRaであり、前記中領域及び下領域の表
面粗さは約1.7μmRaである。
The above object is achieved by a titanium base plate for copper electrolysis and an apparatus for polishing a titanium base plate for copper electrolysis according to the present invention. In summary, the present invention is a titanium electroplate for copper electrolysis for electrodepositing a seed plate,
The area where the seed plate is electrodeposited is vertically divided into three areas, an upper area, a middle area, and a lower area, and the surface roughness of the upper area is reduced, and the surface roughness of the middle area and the lower area is increased. It is a titanium base plate for copper electrolysis characterized by the above. According to an embodiment of the present invention, the upper region is approximately one third above the entire region on which the seed plate is electrodeposited, and the surface roughness of the upper region is 0.4 to 1.0 μm Ra, Preferably, 0.6 to 1.0
μmRa, and the surface roughness of the middle region and the lower region is 1.0 to 2.0 μmRa, preferably 1.5 to 2.0 μmRa.
μmRa. Typically, the upper region has a surface roughness of about 0.8 μmRa, and the middle and lower regions have a surface roughness of about 1.7 μmRa.

【0011】上記銅電解用チタン母板は、種板を電着す
るための銅電解用チタン母板の両表面を研磨するための
研磨装置であって、前記チタン母板の両側にそれぞれ上
下方向に整列して、且つ互いに離間して配置された第
1、第2、第3のブラシローラと、前記第1、第2、第
3のブラシローラを回転駆動する手段と、前記第1、第
2、第3のブラシローラを前記チタン母板に対して上下
方向に移動するための手段と、前記第1、第2、第3の
ブラシローラが位置する研磨領域周辺に水を噴射するた
めの手段と、を有することを特徴とする銅電解用チタン
母板の研磨装置にて効率よく作製される。本発明の一実
施態様によると、前記第1のブラシローラは、前記上領
域の表面粗さを0.4〜1.0μmRa、好ましくは、
0.6〜1.0μmRaとし、前記第2及び第3のブラ
シローラは、前記中領域及び下領域の表面粗さを1.0
〜2.0μmRa、好ましくは、1.5〜2.0μmR
aとする。典型的には、前記上領域の表面粗さは約0.
8μmRaとされ、前記中領域及び下領域の表面粗さは
約1.7μmRaとされる。
The above-mentioned titanium base plate for copper electrolysis is a polishing device for polishing both surfaces of the titanium base plate for copper electrolysis for electrodepositing a seed plate, and is provided on both sides of the titanium base plate in a vertical direction. First, second, and third brush rollers aligned with each other and spaced apart from each other; means for rotating and driving the first, second, and third brush rollers; Means for moving the third brush roller in the vertical direction with respect to the titanium base plate, and means for injecting water around the polishing area where the first, second, and third brush rollers are located. And a means for polishing a titanium base plate for copper electrolysis, comprising: According to one embodiment of the present invention, the first brush roller has a surface roughness of the upper region of 0.4 to 1.0 μmRa, preferably,
0.6 to 1.0 μm Ra, and the second and third brush rollers have a surface roughness of the middle region and the lower region of 1.0 to 1.0 μm Ra.
2.02.0 μmRa, preferably 1.5-2.0 μmR
a. Typically, the surface roughness of the upper region is about 0.5.
The surface roughness of the middle region and the lower region is about 1.7 μmRa.

【0012】好ましくは、前記ブラシローラは、カーボ
ン砥材を混入した不織布をコアロールに固着させたロー
ラである。
Preferably, the brush roller is a roller in which a nonwoven fabric mixed with a carbon abrasive is fixed to a core roll.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る銅電解用チタ
ン母板及び銅電解用チタン母板の研磨装置を図面に則し
て更に詳しく説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a titanium base plate for copper electrolysis and a polishing apparatus for the titanium base plate for copper electrolysis according to the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

【0014】本発明に係る種板を作製するための銅電解
用チタン母板は、図4に関連して前に説明した従来の母
板100と同様の形状とすることができ、両側部に絶縁
材から成るエッジワイズプロテクタ101が設けられ、
上端部には、クロスバー102が取り付けられている。
必要に応じて、下端部にも絶縁材を配置することもでき
る。本実施例のチタン母板100は、厚さ3.1mm、
巾(W0)986mm(研磨範囲W:最大960m
m)、高さ(H0)1085mm(研磨範囲H:最大1
030mm)の寸法形状のものであった。
The titanium base plate for copper electrolysis for producing the seed plate according to the present invention can have the same shape as the conventional base plate 100 described above with reference to FIG. An edgewise protector 101 made of an insulating material is provided,
The crossbar 102 is attached to the upper end.
If necessary, an insulating material can also be arranged at the lower end. The titanium mother plate 100 of this embodiment has a thickness of 3.1 mm,
Width (W 0 ) 986 mm (polishing range W: 960 m maximum)
m), height (H 0 ) 1085 mm (polishing range H: maximum 1)
030 mm).

【0015】本発明者らは、多くの研究実験を行った結
果、チタン母板100の表面粗さを、0.4〜1.0μ
mRa、特に、0.6〜1.0μmRa、典型的には、
0.8μmRa前後とすることにより、電着された種板
の母板からの剥ぎ取りが容易となることを見出した。つ
まり、口付装置におけるハンマリングによる種板の上部
の剥がし作業、及びその後の口明け装置における吸盤に
よる種板上部のみの母板からの剥がし作業が極めて容易
に達成される。
The present inventors have conducted many research experiments and found that the surface roughness of the titanium base plate 100 was 0.4 to 1.0 μm.
mRa, especially 0.6-1.0 μmRa, typically
It has been found that by setting the thickness to about 0.8 μmRa, the electrodeposited seed plate can be easily removed from the mother plate. That is, the work of peeling off the upper part of the seed plate by hammering in the splicer and the work of peeling only the upper part of the seed plate from the mother plate by the suction cup in the piercing device can be achieved very easily.

【0016】又、チタン母板100の表面粗さを、1.
0〜2.0μmRa、特に、1.5〜2.0μmRa、
典型的には、1.7μmRa前後とすることにより、電
着された種板が母板100へとしっかりと固着すること
を見出した。
The surface roughness of the titanium base plate 100 is set to 1.
0 to 2.0 μmRa, especially 1.5 to 2.0 μmRa,
Typically, it was found that the electrodeposited seed plate was firmly fixed to the mother plate 100 by setting the thickness to about 1.7 μm Ra.

【0017】従って、本発明によれば、チタン母板10
0は、種板が電着される領域を上下方向に3つの領域、
上領域100A、中領域100B、下領域100Cに分
割し、上領域100Aの表面粗さを細かくし、中領域1
00B及び下領域100Cの表面粗さが荒くされる。上
領域100Aは、好ましくは、全体領域(H)の1/3
程度、即ち、本実施例では、約320mmとされ、上述
のように、表面粗さが、0.4〜1.0μmRa、好ま
しくは、0.6〜1.0μmRa、典型的には、0.8
μmRa前後とされる。又、中及び下領域100B、1
00Cは、それぞれ全体領域(H)の1/3程度、即
ち、本実施例ではそれぞれ約320mmとされ、上述の
ように、表面粗さが、1.0〜2.0μmRa、好まし
くは、1.5〜2.0μmRa、典型的には、1.7μ
mRa前後とされる。
Therefore, according to the present invention, the titanium base plate 10
0 indicates three regions in which the seed plate is electrodeposited vertically.
The upper region 100A, the middle region 100B, and the lower region 100C are divided, and the surface roughness of the upper region 100A is reduced.
00B and the lower region 100C are roughened. The upper region 100A is preferably 1/3 of the entire region (H).
In this embodiment, the surface roughness is about 320 mm, and as described above, the surface roughness is 0.4 to 1.0 μmRa, preferably 0.6 to 1.0 μmRa, typically 0.1 μmRa. 8
It is about μmRa. Also, the middle and lower regions 100B, 1
00C is about one-third of the entire area (H), that is, about 320 mm in this embodiment, and has a surface roughness of 1.0 to 2.0 μmRa, preferably 1. 5 to 2.0 μm Ra, typically 1.7 μm
mRa.

【0018】本発明にて、表面粗さは、(株)東京精密
製の超小型表面粗さ測定機(商品名:ハンディーサーフ
E−30A)を用いて、上、中、下領域をそれぞれ横
方向に5点測定して得られた値であり、JIS B06
01−1982で規定される中心線平均粗さ(Ra)で
ある。
In the present invention, the upper, middle, and lower regions are measured using an ultra-small surface roughness measuring device (trade name: Handy Surf E-30A) manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd. It is a value obtained by measuring five points in the direction, and is JIS B06
It is a center line average roughness (Ra) defined by 01-1982.

【0019】チタン母板100は、上述の表面粗さを得
るために、研磨装置にてその表面が研磨される。上述に
て理解されるように、特に、中領域100B及び下領域
100Cのチタン母板表面を研磨して粗くすることによ
り、種板の母板からの不所望の剥がれが防止されると共
に、酸化膜が除去され、それによって種板が網目状(穴
あき)となることも又防止される。
The surface of the titanium base plate 100 is polished by a polishing apparatus in order to obtain the above-mentioned surface roughness. As understood from the above, in particular, by polishing and roughening the surface of the titanium base plate in the middle region 100B and the lower region 100C, undesired peeling of the seed plate from the base plate is prevented, and oxidation is prevented. The membrane is also removed, which also prevents the seedboard from becoming meshed (perforated).

【0020】次に、本発明に従って構成される研磨装置
について説明する。
Next, a polishing apparatus constructed according to the present invention will be described.

【0021】図1〜図3に、本発明の研磨装置の一実施
例を示す。
1 to 3 show one embodiment of the polishing apparatus of the present invention.

【0022】図2及び図3を参照すると、本実施例に
て、研磨装置1は、基台2を有する。基台2内には、後
で説明する洗浄タンク3が設置されており、又、基台2
上には、一対の移動台4(4A、4B)が設置される。
各移動台4A、4Bは、その下端に設置されたスライド
手段5A、5Bが基台上に設置されたレール9上に摺動
自在に適合することにより、水平方向に移動自在とされ
る。各移動台4A、4Bは、例えばエアシリンダなどと
される駆動手段(図示せず)にて、必要に応じて、基台
2上を互いの方に接近して、或いは互いに離れる方向へ
と駆動される。
Referring to FIG. 2 and FIG. 3, in this embodiment, the polishing apparatus 1 has a base 2. In the base 2, a washing tank 3, which will be described later, is installed.
A pair of movable tables 4 (4A, 4B) is installed on the upper side.
Each of the movable bases 4A and 4B is horizontally movable by the slide means 5A and 5B installed at the lower end thereof slidably fitted on the rail 9 installed on the base. Each of the moving tables 4A and 4B is driven by a driving means (not shown) such as an air cylinder to move on the base 2 toward or away from each other as necessary. Is done.

【0023】各移動台4A、4Bには、互いに対面する
側に、ブラシローラ支持枠体6(6A、6B)が設けら
れる。この支持枠体6A、6Bは、移動台4A、4Bの
垂直面に設けたレール7(7A、7B)に沿って、例え
ばスライド手段8(8A、8B)にて上下方向に昇降自
在に取り付けられている。
Each of the movable tables 4A and 4B is provided with a brush roller supporting frame 6 (6A and 6B) on the side facing each other. The support frames 6A and 6B are attached to, for example, slide means 8 (8A and 8B) so as to be vertically movable along rails 7 (7A and 7B) provided on the vertical surfaces of the movable tables 4A and 4B. ing.

【0024】各ブラシローラ支持枠体6A、6Bは、例
えばエアシリンダのような駆動手段(図示せず)にて、
上下方向に移動可能とされる。本実施例では、図2に実
線で示す最高(上限)位置から、一点鎖線で示す下限位
置まで往復運動可能とされ、その時のストローク(S
T)は、最大350mmとした。
The brush roller supporting frames 6A and 6B are driven by driving means (not shown) such as an air cylinder, for example.
It can be moved up and down. In this embodiment, it is possible to reciprocate from the highest (upper limit) position shown by the solid line in FIG. 2 to the lower limit position shown by the dashed line, and the stroke (S
T) was 350 mm at the maximum.

【0025】ブラシローラ支持枠体6A、6Bは、図1
をも参照すると理解されるように、背板20A、20B
と、両側板21A、21Bとを備え、互いに対面した側
が開口した箱状に形成される。又、ブラシローラ支持枠
体6A、6Bには、この開口部に位置して且つ上下方向
に整列して3個の第1、第2、第3ブラシローラ11
A、12A、13A;11B、12B、13Bが回転自
在に取り付けられており、各ブラシローラは、電動モー
タのような駆動手段(図示せず)にて回転駆動される。
これら各ブラシローラ11A、12A、13A;11
B、12B、13Bは、それぞれ個別に制御することが
でき、所定の回転数にて、且つ所定の回転方向に回転可
能とされる。又、両支持枠体6A、6Bの3個の第1、
第2、第3ブラシローラ11A、12A、13A;11
B、12B、13Bは、それぞれ互いに対向配置して取
り付けられ、その間にチタン母板100が挟持可能とさ
れる。又、両ブラシローラ支持枠体6A、6Bの第1、
第2、第3ブラシローラ11A、12A、13A;11
B、12B、13Bは、本実施例では、挟持したチタン
母板100を上方より下方へと摺擦するように回転され
ている。
The brush roller supporting frames 6A and 6B are shown in FIG.
As will be understood with reference to FIGS.
And both side plates 21A and 21B, and are formed in a box shape with the sides facing each other opened. Also, three first, second, and third brush rollers 11 are positioned on the brush roller supporting frames 6A and 6B and are aligned in the vertical direction.
A, 12A, 13A; 11B, 12B, 13B are rotatably mounted, and each brush roller is rotationally driven by driving means (not shown) such as an electric motor.
Each of these brush rollers 11A, 12A, 13A; 11
B, 12B, and 13B can be individually controlled, and can be rotated at a predetermined rotation speed and in a predetermined rotation direction. Also, the first of the three support frames 6A and 6B,
Second and third brush rollers 11A, 12A, 13A; 11
B, 12B, and 13B are mounted so as to face each other, and the titanium base plate 100 can be sandwiched therebetween. The first of the two brush roller support frames 6A, 6B,
Second and third brush rollers 11A, 12A, 13A; 11
In the present embodiment, B, 12B, and 13B are rotated so as to rub the sandwiched titanium mother plate 100 downward from above.

【0026】ブラシローラ11A、11Bは、カーボン
砥材を混入した不織布をコアロールに放射状に固着させ
たショーテックス♯120(商品名:昭和電工研装株式
会社社製)、ブラシローラ12A、13A;12B、1
3Bは、同様のショーテックス♯80(商品名:昭和電
工研装株式会社社製)を使用し、好結果を得ることがで
きた。
The brush rollers 11A and 11B are Shotex # 120 (trade name, manufactured by Showa Denko Kenso Co., Ltd.) in which a nonwoven fabric mixed with a carbon abrasive is radially fixed to a core roll, and brush rollers 12A, 13A; 12B. , 1
For 3B, similar results were obtained using the same Showtex # 80 (trade name: Showa Denko Kenso Co., Ltd.).

【0027】又、本実施例で各ブラシローラ11A、1
2A、13A;11B、12B、13Bは、外径が95
mm、軸線方向長さが960mmとされ、隣り合ったロ
ーラは互いに距離(L)=345mmだけ離間して配置
された。
In this embodiment, each of the brush rollers 11A, 1
2A, 13A; 11B, 12B, 13B have an outer diameter of 95
mm, the axial length was 960 mm, and the adjacent rollers were spaced apart from each other by a distance (L) of 345 mm.

【0028】チタン母材100は、そのクロスバー10
2がトロリーコンベア200のフック201に係止さ
れ、それによって、懸吊されながら研磨装置1へと搬送
される。このとき、各移動台4A、4Bは、図1及び図
2に示すように、互いに離間した位置へと移動してお
り、従って、両ブラシローラ支持枠体6A、6Bも互い
に離間し、各対向したブラシローラ11A、12A、1
3A;11B、12B、13Bの間には空隙が形成され
ている。トロリーコンベア200に懸吊されたチタン母
材100は、ブラシローラ11A、12A、13A;1
1B、12B、13B間に送入され、そしてその空隙部
に設置される。このとき、ブラシローラ支持枠体6A、
6Bは、移動台4A、4Bにて最も高い位置に位置して
いる。
[0028] The titanium base material 100 is
2 is hooked on the hook 201 of the trolley conveyor 200, and is thereby conveyed to the polishing apparatus 1 while being suspended. At this time, as shown in FIGS. 1 and 2, the moving tables 4A and 4B have moved to positions separated from each other, and accordingly, both brush roller support frames 6A and 6B are also separated from each other, and Brush rollers 11A, 12A, 1
3A; voids are formed between 11B, 12B, and 13B. The titanium base material 100 suspended on the trolley conveyor 200 includes brush rollers 11A, 12A, 13A;
It is fed between 1B, 12B, 13B and installed in the gap. At this time, the brush roller support frame 6A,
6B is located at the highest position on the moving tables 4A and 4B.

【0029】ここで、図1を参照して研磨装置1の内部
構造の概要を説明する。
Here, the outline of the internal structure of the polishing apparatus 1 will be described with reference to FIG.

【0030】本発明によると、ブラシローラ支持枠体6
A、6Bには、上述のように所定の間隔にてブラシロー
ラ11A、12A、13A;11B、12B、13Bが
回転自在に取り付けられているが、ブラシローラ11A
及び11Bの上方には天井板22A、22Bが配置さ
れ、一方、ブラシローラ13A及び13Bの下方には、
下側へとV字状に傾斜した底板23A、23Bが配置さ
れる。又、ブラシローラ11A、12A;11B、12
Bの下方には、チタン母材100側からブラシローラ支
持枠体背板20A、20B側へと下方に傾斜した傾斜板
24A、24Bが配置される。又、傾斜板24A、24
Bの下端から、ブラシローラ支持枠体背板20A、20
Bに沿って、且つ両者間に所定の間隙を持って、下方へ
と延在した仕切板25A、25Bが設置される。斯かる
構成にて、支持枠体6A、6B内には、上方より下方へ
と第1、第2及び第3室16A、17A、18A;16
B、17B、18Bがそれぞれ画成される。
According to the present invention, the brush roller supporting frame 6
The brush rollers 11A, 12A, and 13A; 11B, 12B, and 13B are rotatably attached to A and 6B at predetermined intervals as described above.
And 11B, ceiling plates 22A and 22B are arranged above, while below brush rollers 13A and 13B,
Bottom plates 23A and 23B inclined downward in a V-shape are arranged. Also, brush rollers 11A, 12A; 11B, 12
Below B, inclined plates 24A and 24B which are inclined downward from the titanium base material 100 side to the brush roller support frame back plates 20A and 20B side are arranged. Also, the inclined plates 24A, 24
B from the lower end thereof, the brush roller supporting frame back plate 20A, 20B
Partition plates 25A and 25B extending downward along B and with a predetermined gap therebetween are installed. With such a configuration, the first, second and third chambers 16A, 17A, 18A;
B, 17B and 18B are respectively defined.

【0031】更に、本発明によれば、ブラシローラ支持
枠体6A、6Bには、チタン母板100側から、チタン
母板とは反対側の背板20A、20Bの方向へと水を噴
射するための噴射ノズル26A、26Bが設置される。
噴射ノズル26A、26Bから噴射される水は、チタン
母板100やブラシローラ11A、12A、13A;1
1B、12B、13Bに直接かからないようにその噴射
方向が調整される。本実施例では、支持枠体6A、6B
の天井板22A、22Bに隣接した位置にも噴射ノズル
26A、26Bが設置される。ただ、噴射ノズル26
A、26Bからの水が各ブラシローラに吹き付けられな
いように天井板22A、22Bから下方へと延在する仕
切板28A、28Bが設けられる。
Further, according to the present invention, water is sprayed onto the brush roller supporting frames 6A, 6B from the titanium base plate 100 toward the back plates 20A, 20B opposite to the titanium base plate. Nozzles 26A and 26B are installed.
Water injected from the injection nozzles 26A and 26B is supplied to the titanium base plate 100 and the brush rollers 11A, 12A and 13A;
The injection direction is adjusted so as not to directly hit 1B, 12B, and 13B. In this embodiment, the support frames 6A, 6B
The injection nozzles 26A and 26B are also installed at positions adjacent to the ceiling plates 22A and 22B. However, the injection nozzle 26
Partition plates 28A, 28B extending downward from ceiling plates 22A, 22B are provided so that water from A, 26B is not sprayed on each brush roller.

【0032】各噴射ノズル26A、26Bから噴射され
た水で、支持枠体内部を、即ち、各ブラシローラ11
A、12A、13A;11B、12B、13Bが位置す
る研磨領域周辺を水噴霧状態とする。これによって、ブ
ラシローラ11A、12A、13A;11B、12B、
13Bによって研磨されて発生し、飛散したチタン(T
i)粉末(及び酸化チタン(TiO2)粉末)が発火す
るのが防止される。水噴射量としては、例えば20〜4
0リットル/分とされる。
The inside of the support frame, that is, each of the brush rollers 11, is sprayed with water sprayed from each of the spray nozzles 26 A and 26 B.
A, 12A, and 13A; The periphery of the polishing area where 11B, 12B, and 13B are located is in a water spray state. Thereby, the brush rollers 11A, 12A, 13A; 11B, 12B,
Titanium (T
i) Prevention of ignition of powder (and titanium oxide (TiO 2 ) powder). As the water injection amount, for example, 20 to 4
0 liter / min.

【0033】噴射された水は、傾斜板24A、24Bに
より、背板20A、20Bと仕切板25A、25Bとの
間の間隙へと流下され、V字底板23A、23Bにより
排水管路29A、29Bを介して洗浄タンク3へと送給
される。洗浄タンク3については後述する。
The injected water flows down into the gaps between the back plates 20A, 20B and the partition plates 25A, 25B by the inclined plates 24A, 24B, and is drained by the V-shaped bottom plates 23A, 23B. To the cleaning tank 3 via the The cleaning tank 3 will be described later.

【0034】本実施例によると、傾斜板24A、24B
の、チタン母板100に近接した上側端部の下方位置に
洗浄ノズル27A、27Bが配置される。この洗浄ノズ
ル27A、27Bは、研磨作業が終了した後、ブラシロ
ーラ支持枠体6A、6Bの内部を洗浄する作用をなす。
According to the present embodiment, the inclined plates 24A, 24B
Cleaning nozzles 27A and 27B are arranged at a position below the upper end portion close to titanium base plate 100. The cleaning nozzles 27A and 27B serve to clean the inside of the brush roller supporting frames 6A and 6B after the polishing operation is completed.

【0035】上記構成にて、上述のように、トロリーコ
ンベア200に懸吊されたチタン母材100がブラシロ
ーラ11A、12A、13A;11B、12B、13B
間に送入され、そしてその空隙部に設置されると、次い
で、図1に一点鎖線にて示すように、両移動台4A、4
Bは互いの方へと移動し、駆動手段にて回転駆動される
ブラシローラ11A、12A、13A;11B、12
B、13Bがチタン母材に接触する。
In the above configuration, as described above, the titanium base material 100 suspended on the trolley conveyor 200 is provided with brush rollers 11A, 12A, 13A; 11B, 12B, 13B.
When it is fed into the gap and installed in the gap, then, as shown by a dashed line in FIG.
B move toward each other, and the brush rollers 11A, 12A, 13A; 11B, 12
B and 13B contact the titanium base material.

【0036】本実施例によると、各ブラシローラ11
A、12A、13A;11B、12B、13Bは、上述
のように、その直径は95mmとされ、最大4600r
pmにて回転された。又、上述のように、各ブラシロー
ラ11A、12A、13A;11B、12B、13B
は、ブラシローラ支持枠体6A、6Bを上限位置から下
限位置までの昇降ストローク(ST)=350mm、昇
降移動速度=85mm/secで上下方向に繰り返し往
復移動することにより、それぞれチタン母板100の両
表面の上領域100A、中領域100B、下領域100
Cを研磨した。
According to the present embodiment, each brush roller 11
A, 12A, 13A; 11B, 12B, 13B have a diameter of 95 mm and a maximum of 4600 r as described above.
Rotated at pm. Further, as described above, each of the brush rollers 11A, 12A, 13A; 11B, 12B, 13B
The vertical movement of the brush roller supporting frames 6A and 6B from the upper limit position to the lower limit position (ST) is 350 mm and the vertical movement speed is 85 mm / sec. Upper area 100A, middle area 100B, lower area 100 on both surfaces
C was polished.

【0037】尚、本実施例では、回転数を約4300r
pmとすることにより、上領域100Aの表面粗さを約
0.8μmRa、中領域100B及び下領域100Cの
表面粗さを約1.7μmRaに研磨することができた。
In this embodiment, the rotational speed is set to about 4300 r.
By setting pm, the surface roughness of the upper region 100A could be polished to about 0.8 μmRa, and the surface roughness of the middle region 100B and the lower region 100C could be polished to about 1.7 μmRa.

【0038】上記洗浄タンク3は、本実施例では、内部
が仕切り板31にて区画されており、図1にて、左側端
部天井部からタンク内に供給されたチタン(Ti)粉末
及び酸化チタン(TiO2)粉末を含んだ水は、右側へ
と流れる過程で粉末をタンク内に沈殿して浄化される。
浄化された水は、モータMにて駆動されるポンプPにて
供給管路32を介して再度ブラシローラ支持枠体6A、
6Bの噴射ノズル20及び洗浄ノズルへと供給される。
タンク底部に沈殿した粉末分は、管路33を介して適宜
回収され、又、消費された水量に相当する新鮮な水が管
路34を介してタンク3内へと供給される。
In this embodiment, the inside of the washing tank 3 is partitioned by a partition plate 31. In FIG. 1, titanium (Ti) powder and oxidized titanium supplied to the tank from the left end ceiling are shown in FIG. The water containing the titanium (TiO 2 ) powder is purified by settling the powder in the tank while flowing to the right.
The purified water is again supplied to the brush roller supporting frame 6A by the pump P driven by the motor M via the supply line 32,
6B is supplied to the injection nozzle 20 and the cleaning nozzle.
The powder that has settled at the bottom of the tank is appropriately collected through a pipe 33, and fresh water corresponding to the consumed water amount is supplied into the tank 3 through a pipe 34.

【0039】上述のようにして作製したチタン母材10
0を使用して実際に種板を電着したが、電着した種板が
不所望に母板から剥がれてしまうこともなく、しかも、
口付装置におけるハンマリング及び口明け装置における
吸盤による吸引にて種板の上部のみを母板から容易に剥
がすことができた。又、種板は、剥ぎ取り装置へと送入
し、剥がされた種板上部に剥ぎ取りアームを差込み、ア
ームを下降することにより、母板から極めて効率よく剥
ぎ取ることができた。又、研磨時の発火の危険性も全く
なかった。
The titanium base material 10 produced as described above
Although the seed plate was actually electrodeposited using 0, the electrodeposited seed plate was not undesirably peeled off from the mother plate, and
Only the upper part of the seed plate could be easily peeled off from the mother plate by hammering in the mouthing device and suction by the suction cup in the mouth opening device. Also, the seed plate was fed into the peeling device, a peeling arm was inserted above the peeled seed plate, and the arm was lowered, whereby the seed plate could be peeled off from the mother plate very efficiently. Also, there was no danger of ignition during polishing.

【0040】[0040]

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る銅電
解用チタン母板は、種板が電着される領域を上下方向に
3つの領域、上領域、中領域、下領域に分割し、上領域
の表面粗さを細かくし、中領域及び下領域の表面粗さを
荒くした構成とし、典型的には、上領域の表面粗さを約
0.8μmRa、中領域及び下領域の表面粗さを約1.
7μmRaとされるので、電着した種板が不所望に母板
から剥がれてしまうという事故の発生をなくし、且つ、
母板からの剥ぎ取る作業時には種板を容易に母板から剥
ぎ取ることができる。
As described above, the titanium base plate for copper electrolysis according to the present invention divides the region where the seed plate is electrodeposited into three regions vertically, an upper region, a middle region and a lower region. The surface roughness of the upper region is made finer, and the surface roughness of the middle region and the lower region is made rough. Typically, the surface roughness of the upper region is about 0.8 μmRa, and the surface of the middle region and the lower region Roughness is about 1.
Since it is 7 μmRa, the occurrence of an accident that the electrodeposited seed plate is undesirably peeled off from the mother plate is eliminated, and
The seed plate can be easily peeled off from the mother plate during the operation of peeling off the mother plate.

【0041】又、本発明に従った銅電解用チタン母板の
研磨装置は、チタン母板の両側にそれぞれ上下方向に整
列して、且つ互いに離間して配置された第1、第2、第
3のブラシローラと、第1、第2、第3のブラシローラ
を回転駆動する手段と、第1、第2、第3のブラシロー
ラをチタン母板に対して上下方向に移動するための手段
と、第1、第2、第3のブラシローラが位置する研磨領
域周辺に水を噴射するための手段と、を有する構成とさ
れるので、研磨時の発火の危険性もなく効率よく上記銅
電解用チタン母板を作製することができる。
The apparatus for polishing a titanium base plate for copper electrolysis according to the present invention comprises first, second, and second parts arranged vertically on both sides of the titanium base plate and spaced apart from each other. A third brush roller, means for rotating and driving the first, second, and third brush rollers, and means for moving the first, second, and third brush rollers in the vertical direction with respect to the titanium base plate. And means for injecting water around the polishing area where the first, second, and third brush rollers are located, so that the copper can be efficiently produced without danger of ignition during polishing. A titanium base plate for electrolysis can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る銅電解用チタン母板の研磨装置の
一実施例の概略構成を示す図である。
FIG. 1 is a view showing a schematic configuration of an embodiment of a polishing apparatus for a titanium base plate for copper electrolysis according to the present invention.

【図2】本発明に係る銅電解用チタン母板の研磨装置の
一実施例の正面図である。
FIG. 2 is a front view of one embodiment of a polishing apparatus for a titanium base plate for copper electrolysis according to the present invention.

【図3】図2に示す銅電解用チタン母板の研磨装置の線
II-IIに取った図である。
FIG. 3 shows a line of the apparatus for polishing a titanium base plate for copper electrolysis shown in FIG. 2;
It is a figure taken on II-II.

【図4】本発明に係る銅電解用チタン母板の一実施例の
正面図である。
FIG. 4 is a front view of one embodiment of a titanium base plate for copper electrolysis according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 研磨装置 2 基台 3 洗浄タンク 4A、4B 移動台 5A、5B、8A、8B スライダ手段 6A、6B ブラシローラ支持枠体 7A、7B、9 レール 11A、12A、13A ブラシローラ 11B、12B、13B ブラシローラ 24A、24B 傾斜板 26A、26B 噴射ノズル 27A、27B 洗浄ノズル 100 チタン母板 101 エッジワイズプロテク
タ 102 クロスバー
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Polishing apparatus 2 Base 3 Cleaning tank 4A, 4B Moving table 5A, 5B, 8A, 8B Slider means 6A, 6B Brush roller support frame 7A, 7B, 9 rail 11A, 12A, 13A Brush roller 11B, 12B, 13B Brush Rollers 24A, 24B Inclined plates 26A, 26B Injection nozzles 27A, 27B Cleaning nozzles 100 Titanium base plate 101 Edgewise protector 102 Crossbar

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 姫野 嘉孝 大分県北海部郡佐賀関町大字関3の3382番 地 日鉱金属株式会社佐賀関製錬所内 Fターム(参考) 3C058 AA06 AA09 AA13 AA14 AA16 AA18 AB03 AC04 CA01 CA04 CB02 CB04 CB06 CB10 4K058 AA30 BA21 BB02 EB02 EB16 FA09  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Yoshitaka Himeno 3382-3, Seki, Saganoseki-cho, Sakaseki-cho, North Sea District, Oita Prefecture F-term in the Saganoseki Smelter & Refinery (reference) 3C058 AA06 AA09 AA13 AA14 AA16 AA18 AB03 AC04 CA01 CA04 CB02 CB04 CB06 CB10 4K058 AA30 BA21 BB02 EB02 EB16 FA09

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 種板を電着するための銅電解用チタン母
板であって、チタン母板は、種板が電着される領域を上
下方向に3つの領域、上領域、中領域、下領域に分割
し、上領域の表面粗さを細かくし、中領域及び下領域の
表面粗さを荒くしたことを特徴とする銅電解用チタン母
板。
1. A titanium base plate for copper electrolysis for electrodepositing a seed plate, wherein the titanium base plate has three regions in which a seed plate is electrodeposited in an up-down direction, an upper region, a middle region, A titanium base plate for copper electrolysis, which is divided into a lower region, the surface roughness of an upper region is made finer, and the surface roughness of a middle region and a lower region is made rough.
【請求項2】 前記上領域は、種板が電着される全体領
域の上方約1/3の領域であることを特徴とする請求項
1の銅電解用チタン母板。
2. The titanium base plate for copper electrolysis according to claim 1, wherein the upper region is approximately one third above the entire region where the seed plate is electrodeposited.
【請求項3】 前記上領域の表面粗さは0.4〜1.0
μmRa、好ましくは、0.6〜1.0μmRaであ
り、前記中領域及び下領域の表面粗さは1.0〜2.0
μmRa、好ましくは、1.5〜2.0μmRaである
ことを特徴とする請求項1又は2の銅電解用チタン母
板。
3. The surface roughness of the upper region is 0.4 to 1.0.
μmRa, preferably 0.6 to 1.0 μmRa, and the surface roughness of the middle region and the lower region is 1.0 to 2.0
3. The titanium base plate for copper electrolysis according to claim 1, wherein the titanium base plate has a μmRa of 1.5 to 2.0 μmRa. 4.
【請求項4】 前記上領域の表面粗さは約0.8μmR
aであり、前記中領域及び下領域の表面粗さは約1.7
μmRaであることを特徴とする請求項3の銅電解用チ
タン母板。
4. The surface roughness of the upper region is about 0.8 μmR.
a, and the surface roughness of the middle region and the lower region is about 1.7.
4. The titanium base plate for copper electrolysis according to claim 3, wherein the thickness is μmRa.
【請求項5】 種板を電着するための銅電解用チタン母
板の両表面を研磨するための研磨装置であって、 前記チタン母板の両側にそれぞれ上下方向に整列して、
且つ互いに離間して配置された第1、第2、第3のブラ
シローラと、 前記第1、第2、第3のブラシローラを回転駆動する手
段と、 前記第1、第2、第3のブラシローラを前記チタン母板
に対して上下方向に移動するための手段と、 前記第1、第2、第3のブラシローラが位置する研磨領
域周辺に水を噴射するための手段と、を有することを特
徴とする銅電解用チタン母板の研磨装置。
5. A polishing apparatus for polishing both surfaces of a titanium base plate for copper electrolysis for electrodepositing a seed plate, the polishing device being vertically aligned on both sides of the titanium base plate,
A first, a second, and a third brush roller that are spaced apart from each other; a unit that rotationally drives the first, second, and third brush rollers; and a first, a second, and a third brush roller. Means for vertically moving a brush roller with respect to the titanium base plate; and means for injecting water around a polishing area where the first, second, and third brush rollers are located. An apparatus for polishing a titanium base plate for copper electrolysis, comprising:
【請求項6】 前記第1のブラシローラは、前記上領域
の表面粗さを0.4〜1.0μmRa、好ましくは、
0.6〜1.0μmRaとし、前記第2及び第3のブラ
シローラは、前記中領域及び下領域の表面粗さを1.0
〜2.0μmRa、好ましくは、1.5〜2.0μmR
aとすることを特徴とする請求項6の銅電解用チタン母
板の研磨装置。
6. The first brush roller has a surface roughness of the upper region of 0.4 to 1.0 μmRa, preferably,
0.6 to 1.0 μm Ra, and the second and third brush rollers have a surface roughness of the middle region and the lower region of 1.0 to 1.0 μm Ra.
2.02.0 μmRa, preferably 1.5-2.0 μmR
7. The apparatus for polishing a titanium base plate for copper electrolysis according to claim 6, wherein: a.
【請求項7】 前記上領域の表面粗さは約0.8μmR
aとされ、前記中領域及び下領域の表面粗さは約1.7
μmRaとされることを特徴とする請求項6の銅電解用
チタン母板の研磨装置。
7. The surface roughness of the upper region is about 0.8 μmR.
and the surface roughness of the middle and lower regions is about 1.7
The polishing apparatus for a titanium base plate for copper electrolysis according to claim 6, wherein the polishing speed is set to μmRa.
【請求項8】 前記ブラシローラは、カーボン砥材を混
入した不織布をコアロールに固着させたローラであるこ
とを特徴とする請求項5、6又は7の銅電解用チタン母
板の研磨装置。
8. The apparatus for polishing a titanium base plate for copper electrolysis according to claim 5, wherein the brush roller is a roller in which a nonwoven fabric mixed with a carbon abrasive is fixed to a core roll.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008207333A (en) * 2000-12-21 2008-09-11 Qed Technologies Internatl Inc Jet-induced finishing of substrate surface
JP2020164972A (en) * 2019-03-29 2020-10-08 Jx金属株式会社 Surface processing method of electrode plate for cobalt, electrolytic refining method of cobalt, and manufacturing method of electric cobalt

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008207333A (en) * 2000-12-21 2008-09-11 Qed Technologies Internatl Inc Jet-induced finishing of substrate surface
JP2010110889A (en) * 2000-12-21 2010-05-20 Qed Technologies Internatl Inc Finishing device for substrate surface with jet
JP2020164972A (en) * 2019-03-29 2020-10-08 Jx金属株式会社 Surface processing method of electrode plate for cobalt, electrolytic refining method of cobalt, and manufacturing method of electric cobalt
JP7166215B2 (en) 2019-03-29 2022-11-07 Jx金属株式会社 Method for surface processing of electrode plate for cobalt, method for electrolytic refining of cobalt, and method for producing electrolytic cobalt

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