JP2000163818A - Lubricating layer, information recording medium, its production and information recording device - Google Patents

Lubricating layer, information recording medium, its production and information recording device

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JP2000163818A
JP2000163818A JP10337355A JP33735598A JP2000163818A JP 2000163818 A JP2000163818 A JP 2000163818A JP 10337355 A JP10337355 A JP 10337355A JP 33735598 A JP33735598 A JP 33735598A JP 2000163818 A JP2000163818 A JP 2000163818A
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JP
Japan
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lubricating layer
lubricant
fine particles
information recording
recording medium
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JP10337355A
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Japanese (ja)
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Masato Aoyama
真人 青山
Toshiyuki Tanaka
俊行 田中
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Mitsubishi Chemical Corp
Original Assignee
Mitsubishi Chemical Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent sucking with a head and to obtain good lubricating property and durability by forming a lubricant layer consisting of a hardening resin and porous crosslinked vinylpolymer fine particles impregnated or copolymerized with a lubricant. SOLUTION: As for the lubricant, a lubricant which can impregnate porous crosslinked vinylpolymer fine particles and which is liquid is preferable, and for example, a silicon lubricant and a fluorine lubricant are used. As for a preferable compd., a polyorganosiloxane having 1000 to 20000 number average mol.wt. which may be modified, or a perfluoropolyether having -CaF2aO- unit in the main chain (wherein (a) is an integer 1 to 4) or a perfluoroalkyl compd. which may be modified, can be used. As for the porous crosslinked vinylpolymer fine particles, a compd. which can be formed hard and can be controlled for the particle size is used, and for example, a styrene-divinylbenzene crosslinked copolymer is used. The lubricant is applied by dipping or spray coating, and hardened.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、潤滑層及び該潤滑
層を有する情報記録媒体とその製造方法、及び情報記録
装置に関する。
The present invention relates to a lubricating layer, an information recording medium having the lubricating layer, a method for manufacturing the same, and an information recording apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】コンピュータ技術の発展に伴い、記録装
置の容量は拡大の一途をたどっている。ハードディスク
装置などの磁気記録装置においては、より高密度に記録
を行うために従来の薄膜ヘッドに加えてMRヘッドやG
MRヘッドが用いられるようになり、また、磁気ヘッド
の浮上量も急激に低下している。これに伴い浮上してい
る磁気ヘッドと磁気記録媒体とが高速で接触摺動しやす
くなるため、摩耗損傷を受けたり磁気特性の劣化を起こ
したりしやすくなる。
2. Description of the Related Art With the development of computer technology, the capacity of recording devices has been steadily increasing. In a magnetic recording device such as a hard disk device, an MR head or a G
MR heads have come to be used, and the flying height of the magnetic head has rapidly decreased. Accordingly, the floating magnetic head and the magnetic recording medium are liable to contact and slide at a high speed, so that they are liable to be damaged by wear or to deteriorate magnetic properties.

【0003】一方、光ディスクにおいては、従来、読み
出し専用型(ROM)、書き換え型(RAM)、ライト
ワンス型等があり、これらの媒体では光ディスク基板の
記録面と反対側に光ヘッドが設けられているため、光ヘ
ッドから出射した読み出し光、或いは記録光が基板を通
過して記録面に到達する、いわゆる基板面入射方式が採
られている。これらの光が記録面で焦点を結ぶよう、光
ヘッドにはアクチュエータによって焦点軸方向に可動な
対物レンズが設けられているため、光ヘッドとディスク
との距離は通常1mm程度である。
On the other hand, conventional optical disks include a read-only type (ROM), a rewritable type (RAM), and a write-once type. In these media, an optical head is provided on the side opposite to the recording surface of the optical disk substrate. Therefore, a so-called substrate surface incidence method is adopted, in which read light or recording light emitted from an optical head passes through a substrate and reaches a recording surface. The optical head is provided with an objective lens movable in the direction of the focal axis by an actuator so that these lights are focused on the recording surface. Therefore, the distance between the optical head and the disk is usually about 1 mm.

【0004】ところが、磁界変調オーバーライト方式を
採る光磁気記録媒体等においては、多くの場合、上記光
ヘッドとは別に記録層側に浮上型磁気ヘッド或いは接触
型(摺動型)磁気ヘッドが配置され、両ヘッドが協同し
て記録を行う。この場合、特にCSS方式(コンタクト
スタートアンドストップ方式)によるオーバーライト法
が採用された場合には、媒体の回転開始時及び停止時に
記録媒体表面と磁気ヘッドの接触・摺動が生じるために
双方に摩耗、損傷や記録媒体表面へのヘッドの吸着、ヘ
ッドクラッシュが生じやすい。
However, in a magneto-optical recording medium employing a magnetic field modulation overwrite method, a floating magnetic head or a contact type (sliding type) magnetic head is arranged on the recording layer side in addition to the optical head in many cases. Then, both heads perform recording in cooperation. In this case, particularly when the overwriting method based on the CSS method (contact start and stop method) is adopted, the contact and sliding of the magnetic head with the recording medium surface occur at the start and stop of the rotation of the medium. Wear, damage, adhesion of the head to the recording medium surface, and head crash are likely to occur.

【0005】さらに近年では、大容量かつ高速アクセス
可能な記録再生装置として、光磁気記録媒体や相変化型
光記録媒体、色素型光記録媒体など既存の各種光ディス
クをハードディスク的に用いる装置が提案されている。
すなわち、1枚或いは同軸に固定された2枚以上の光デ
ィスクを内蔵し、各記録面に対し光ヘッドを対向させて
設け、基板を介さずに記録面側から光を照射する、いわ
ゆる膜面入射により記録再生を行う。従来の基板面入射
方式では基板の傾きや基板厚さの誤差等により光スポッ
トの収差が増大するために、対物レンズの開口数を大き
くすることができなかったが、膜面入射により対物レン
ズの開口数を大きくし、光スポットを小さくすること
で、光ディスクの大容量化とハードディスクのような高
速アクセスが可能となるのである。
Further, in recent years, as a recording / reproducing apparatus having a large capacity and a high speed access, an apparatus using a variety of existing optical disks such as a magneto-optical recording medium, a phase-change optical recording medium, a dye-type optical recording medium as a hard disk has been proposed. ing.
In other words, one or two or more optical disks fixed coaxially are built in, an optical head is provided to face each recording surface, and light is irradiated from the recording surface side without passing through the substrate, so-called film surface incidence. To perform recording and reproduction. In the conventional substrate surface incidence method, the numerical aperture of the objective lens could not be increased because the aberration of the light spot increased due to the inclination of the substrate and errors in the thickness of the substrate. By increasing the numerical aperture and decreasing the light spot, it is possible to increase the capacity of the optical disk and to access the disk at high speed.

【0006】図2に、そのような記録再生装置の一例を
示す。複数の両面記録型光ディスク11、11′、1
1″が同軸に固定されており、各光ディスクを挟むよう
にそれぞれ2個の光ヘッド12、13、12′、1
3′、12″、13″が配置される。これら光ヘッド
は、同じ支持アーム14上に配置されており、同軸に固
定され、連動して移動する。光ヘッドの移動方向は、半
径方向に移動しても、これらのヘッドが支持される軸を
中心に回転してもよい。
FIG. 2 shows an example of such a recording / reproducing apparatus. A plurality of double-sided recording type optical discs 11, 11 ', 1
1 ″ is coaxially fixed, and two optical heads 12, 13, 12 ′, 1
3 ', 12 ", 13" are arranged. These optical heads are arranged on the same support arm 14, fixed coaxially, and move in conjunction. The moving direction of the optical head may be a radial direction or a rotation about an axis on which these heads are supported.

【0007】光ディスクとヘッドとの距離はそれぞれの
ヘッドにより異なるが、通常3μm以下に設定される。
浮上式のスライダにレンズや反射鏡、或いは光ファイバ
ーなどを設置した浮上型ヘッドでは、この距離を保つた
めに、スライダ部をディスクに押しつけるアーム部のバ
ネ圧と、浮上に必要な浮力を得るためのスライダ部の面
積や形状が設定される。また、スライダ部とディスク面
が一部接触している接触型ヘッドなども提案されてい
る。
The distance between the optical disk and the head differs depending on the head, but is usually set to 3 μm or less.
In the case of a floating head with a lens, reflector, or optical fiber installed on a floating slider, to maintain this distance, the spring pressure of the arm that presses the slider against the disk and the buoyancy required for floating are obtained. The area and shape of the slider are set. Further, a contact type head in which a slider portion and a disk surface are partially in contact has been proposed.

【0008】外部から送られてきた情報を記録する場合
には、各ヘッドは、予め記録されているピットや溝など
のプリフォーマットを元に、アドレス(基板上の物理的
な位置)情報を検出し、対向する光ディスクの記録層に
情報を記録する。情報を記録する方法は、片方のヘッド
のみを使っても、両方のヘッドを同時に使ってもかまわ
ない。
When recording information sent from the outside, each head detects address (physical position on the substrate) information based on preformats such as pits and grooves recorded in advance. Then, information is recorded on the recording layer of the optical disk facing the optical disk. Regarding the method of recording information, either one head or both heads may be used at the same time.

【0009】ディスク上に記録された情報を読み出す場
合は、記録されている情報の位置をヘッドにより検索
し、読み出す。このときに、再生信号強度を最大にする
ように各々のヘッドは、記録されている情報に対して、
サーボ調整は独自に行うとよい。ディスクの回転が停止
したときのヘッドの位置は、いわゆるCSS方式のよう
にディスクに接触した状態になっていても、ダイナミッ
クローディング方式のようにディスクの回転時のみディ
スクと近接或いは接しており、ディスクの停止時にはデ
ィスクから十分離れた状態になっていてもよい。
When reading information recorded on a disk, the position of the recorded information is searched by a head and read. At this time, each of the heads with respect to the recorded information so as to maximize the reproduction signal strength
Servo adjustment should be performed independently. When the rotation of the disk is stopped, the head position is close to or in contact with the disk only when the disk is rotating, as in the dynamic loading method, even if the head is in contact with the disk as in the so-called CSS method. May be in a state sufficiently separated from the disk when the recording is stopped.

【0010】ところが、上記記録再生装置に光ディスク
を用いる際には、以下のような問題点があることが分か
った。すなわち、従来の光ディスクでは光ヘッドと基板
との距離は通常1mm或いはそれ以上あったのに対し、
上記記録再生装置に光ディスクを用いる場合、光ヘッド
と基板との距離は極めて近接し、通常3μm以内となる
ため、光ヘッドが光ディスクと衝突し媒体を傷つけたり
ヘッドが損傷したりする可能性があった。特に、ダイナ
ミックローディング時に衝突が起こりやすいのである。
However, it has been found that there are the following problems when an optical disk is used in the recording / reproducing apparatus. That is, in the conventional optical disk, the distance between the optical head and the substrate is usually 1 mm or more,
When an optical disk is used in the recording / reproducing apparatus, the distance between the optical head and the substrate is extremely short, usually within 3 μm, so that the optical head may collide with the optical disk and damage the medium or damage the head. Was. In particular, collisions are likely to occur during dynamic loading.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】そこで、磁気記録媒体
や光記録媒体の記録層上に、記録層の保護と磁気ヘッド
と記録媒体間のCSS特性の向上を目的として、表面が
粗面化され、かつ潤滑性に富んだ潤滑層を形成しようと
する試みが行われている。このような潤滑層の作成はい
くつか提唱されている。
Therefore, on the recording layer of a magnetic recording medium or an optical recording medium, the surface is roughened for the purpose of protecting the recording layer and improving the CSS characteristics between the magnetic head and the recording medium. Attempts have been made to form a lubricating layer having high lubricity. Several proposals have been made for the formation of such a lubricating layer.

【0012】例えば、特開平4−229433号、特開
平5−67359号では潤滑性フィラーを含有する紫外
線硬化樹脂膜からなる潤滑層を設けることが提案されて
いる。しかし、潤滑性フィラーとしてシリコンフィラ
ー、フッ素樹脂系フィラー、固体潤滑剤としてのグラフ
ァイト、二硫化モリブデン、六方晶窒化硼素が例示され
ているものの、実際にこれらのフィラーをそのまま紫外
線硬化樹脂に混合して塗布、硬化させても有効な潤滑層
は全く形成できなかった。
For example, JP-A-4-229433 and JP-A-5-67359 propose to provide a lubricating layer comprising an ultraviolet curable resin film containing a lubricating filler. However, silicon filler, fluororesin filler, graphite as solid lubricant, molybdenum disulfide, and hexagonal boron nitride are exemplified as lubricating fillers, but these fillers are actually mixed with an ultraviolet curable resin as it is. No effective lubricating layer could be formed at all even when applied and cured.

【0013】なぜならば、これら潤滑性フィラーと紫外
線硬化樹脂の密着性が劣り、徐々に微粒子が紫外線硬化
樹脂層から剥離して潤滑性が低下するばかりか、潤滑性
フィラーの粒径が考慮されていないため、潤滑層表面の
凹凸の制御がされておらず、潤滑層の摩擦低下に貢献し
にくく、さらには、フィラーが軟らかいためにCSS時
には押しつぶされてしまって潤滑層の粗面化効果も出な
いためである。
This is because the adhesion between the lubricating filler and the ultraviolet curable resin is inferior, the fine particles are gradually peeled off from the ultraviolet curable resin layer and the lubricating property is reduced, and the particle size of the lubricating filler is taken into consideration. Therefore, the unevenness of the surface of the lubricating layer is not controlled, and it is difficult to contribute to the reduction of the friction of the lubricating layer. Furthermore, since the filler is soft, it is crushed at the time of CSS, and the lubricating layer has a rough surface effect. Because there is no.

【0014】また、特開平2−40149号、特開平4
−302835号、特開平4−315839号ではシリ
カ、アルミナ等の無機微粒子と、シリコンオイル、高級
脂肪酸等の潤滑剤を含む紫外線硬化樹脂で粗面化され、
かつ潤滑性を持たせた潤滑層を形成する方法が提案され
ている。しかし、本方法ではシリカ、アルミナ等の無機
粒子と潤滑剤は別々に入っているため、潤滑層を形成時
に一旦潤滑層表面は潤滑剤で適当に覆われるが、使用中
に潤滑剤がだんだん振り切られて消失した後には補充さ
れないので永続性に乏しかった。また、無機微粒子と紫
外線硬化樹脂の有機化合物間の親和性が必ずしも良くな
く、分散が難しかったり、一旦作成した樹脂が容易に相
分離して保存が難しい問題もあった。
Further, Japanese Patent Application Laid-Open Nos.
In JP-A-302835 and JP-A-4-315839, the surface is roughened with an inorganic fine particle such as silica and alumina, and an ultraviolet curable resin containing a lubricant such as silicon oil and a higher fatty acid.
A method for forming a lubricating layer having lubricity has been proposed. However, in this method, since the inorganic particles such as silica and alumina and the lubricant are contained separately, the surface of the lubricating layer is once appropriately covered with the lubricant when the lubricating layer is formed, but the lubricant gradually shakes off during use. It was poorly durable because it was not replenished after disappearing. Further, there is a problem that the affinity between the inorganic fine particles and the organic compound of the ultraviolet curable resin is not always good, and it is difficult to disperse, and the resin once formed is easily phase-separated and difficult to store.

【0015】さらに、特開平4−255935号には光
磁気ディスクの記録膜上に中空部に潤滑性オイルが充填
されたビーズ状中空樹脂粉末を充填した有機物潤滑層を
設けることが提案されている。樹脂粉末を用いる分、潤
滑層となる有機物との親和性はよいが、本方法では、潤
滑層表面は粗面化されるものの、潤滑性オイルはビーズ
内部に充填されているので潤滑性への寄与が極めて乏し
かった。
Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-255935 proposes to provide an organic lubricating layer filled with a bead-shaped hollow resin powder in which a hollow portion is filled with a lubricating oil, on a recording film of a magneto-optical disk. . Since the resin powder is used, it has good affinity with the organic substance serving as the lubricating layer, but in this method, although the lubricating layer surface is roughened, the lubricating oil is filled inside the beads, so that the lubricating oil has a poor lubricity. The contribution was very poor.

【0016】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れた。すなわち、本発明は、薄膜で優れた潤滑性・耐摩
耗性を有し、潤滑剤の凝集を防ぎかつスピンオフを抑制
する結果、長期間にわたり優れた耐久性を維持すること
ができる信頼性の高い潤滑層び情報記録媒体を得ること
を目的とし、さらに、ヘッドを低浮上化した浮上型ヘッ
ド又は接触型ヘッドに対応した平滑な基板を用いた場合
に、ヘッドとの吸着を発生させることがなく、良好な潤
滑性と十分な耐久性を有する潤滑層及び情報記録媒体を
得ることを目的とする。
The present invention has been made to solve the above problems. In other words, the present invention has excellent lubricity and abrasion resistance in a thin film, and prevents aggregation of a lubricant and suppresses spin-off. The purpose of the present invention is to obtain a lubrication layer and an information recording medium.Furthermore, when a flat substrate corresponding to a floating type head or a contact type head in which the head is lowered is used, the suction with the head does not occur. It is an object of the present invention to obtain a lubricating layer and an information recording medium having good lubricity and sufficient durability.

【0017】ひいては、情報記録媒体に対するヘッドの
浮上量をより小さくし、媒体のデータ記録密度を増大さ
せ、長期にわたり信頼性の高い情報記録媒体及び情報記
録装置を得ることを目的とする。
It is another object of the present invention to reduce the flying height of the head with respect to the information recording medium, increase the data recording density of the medium, and obtain an information recording medium and an information recording apparatus having high reliability over a long period of time.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、潤滑剤
が含浸され又は共重合されてなる多孔性架橋ビニルポリ
マー系微粒子及び硬化性樹脂からなる潤滑層、およびこ
れを用いた情報記録媒体とその製造方法、及び情報記録
装置に存する。本発明の潤滑層は、潤滑層を形成する硬
化性樹脂と有機化合物からなる微粒子の親和性がよく、
潤滑層を形成するための安定した樹脂の作製、保存が容
易である。かつ、制御された粒径の微粒子によって潤滑
層表面を適当に粗面化させることができ、また架橋ビニ
ルポリマー系であるためCSSに耐えられるほど十分に
硬く、またその細孔に潤滑剤を保持しているため、潤滑
性を保持した粒子として作用する特徴がある。
SUMMARY OF THE INVENTION The gist of the present invention is to provide a lubricant layer comprising porous crosslinked vinyl polymer fine particles impregnated or copolymerized with a lubricant and a curable resin, and an information recording medium using the same. And its manufacturing method and information recording device. The lubricating layer of the present invention has good affinity between the curable resin forming the lubricating layer and the fine particles composed of the organic compound,
It is easy to prepare and store a stable resin for forming a lubricating layer. In addition, the surface of the lubricating layer can be appropriately roughened by fine particles having a controlled particle size, and since it is a crosslinked vinyl polymer system, it is sufficiently hard to withstand CSS, and the lubricant is retained in its pores. Therefore, they have the feature of acting as particles maintaining lubricity.

【0019】そして、この潤滑層を形成した情報記録媒
体は優れた潤滑性・耐摩耗性を有し、潤滑剤の凝集を防
ぎかつスピンオフを抑制する結果、長期間にわたり優れ
た耐久性を維持することができ、ヘッドとの吸着を発生
させることがないものとなる。ひいては、情報記録媒体
に対するヘッドの浮上量をより小さくでき、媒体のデー
タ記録密度を増大させ、長期にわたり信頼性の高い情報
記録装置が得られる。
The information recording medium on which the lubricating layer is formed has excellent lubricity and abrasion resistance, prevents aggregation of the lubricant and suppresses spin-off, and maintains excellent durability for a long period of time. Therefore, the suction with the head does not occur. As a result, the flying height of the head with respect to the information recording medium can be reduced, the data recording density of the medium can be increased, and an information recording apparatus having high reliability over a long period of time can be obtained.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
多孔性架橋ビニルポリマー系微粒子としては、硬くする
ことが出来て、多孔性を付与することが出来、粒径の制
御が可能な粒子が好ましく、例えばスチレン−ジビニル
ベンゼン架橋共重合体が用いられる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in detail.
As the porous crosslinked vinyl polymer-based fine particles, particles that can be hardened, can impart porosity, and can control the particle size are preferable. For example, a styrene-divinylbenzene crosslinked copolymer is used.

【0021】情報記録媒体の潤滑層として用いる場合、
特に浮上型ヘッドや接触型ヘッドを用いる場合には上記
微粒子の平均粒径は10μm以下が好ましい。平均粒径
が10μmを越えると、ヘッドが継続的に摺動したまま
の接触型ヘッドを用いる場合には、粒子の脱落が起こり
やすくノイズやヘッド汚れの原因となりやすい。浮上型
ヘッドを用いる場合はこのような懸念はないが、ヘッド
が浮上しにくくなり、ヘッドと媒体潤滑層との間の摩擦
が著しく大きくなる。また、潤滑層表面に大きな突起が
形成されやすく、ヘッドとの衝突が起こりやすくなった
り、ヘッドとの摩擦が大きくなることがある。平均粒径
が約2μm以下が特に好ましい。
When used as a lubricating layer of an information recording medium,
In particular, when a floating type head or a contact type head is used, the average particle diameter of the fine particles is preferably 10 μm or less. When the average particle size exceeds 10 μm, when a contact type head in which the head is continuously slid is used, particles are likely to drop off, which is likely to cause noise and head contamination. When a floating head is used, there is no such a concern, but the head is difficult to fly, and the friction between the head and the medium lubricating layer is significantly increased. Further, large projections are likely to be formed on the surface of the lubricating layer, which may easily cause collision with the head or increase friction with the head. Particularly preferred is an average particle size of about 2 μm or less.

【0022】潤滑剤としては、多孔性架橋ビニルポリマ
ー系微粒子に含浸させられるもの、即ち液体潤滑剤が好
ましく、例えばシリコン系潤滑剤やフッ素系潤滑剤など
である。好適な化合物として、数平均分子量が1000
〜20000の変性されていてもよいポリオルガノシロ
キサン、または、主鎖に−Ca2aO−単位(但し、a
は1〜4の整数)を有するパーフルオロポリエーテル、
或いは変性されていてもよいパーフルオロアルキル化合
物が挙げられる。これら潤滑剤は、多孔性架橋ビニルポ
リマー系微粒子に取り込まれるのに必要な親和性と、多
孔性架橋ビニルポリマー系微粒子からの放出による潤滑
効果を両立させられる特徴がある。
As the lubricant, those which are impregnated in the porous crosslinked vinyl polymer fine particles, that is, liquid lubricants are preferable, and examples thereof include silicon-based lubricants and fluorine-based lubricants. Preferred compounds have a number average molecular weight of 1000
~20000 of modified unprotected polyorganosiloxanes also, or in the main chain -C a F 2a O- units (where, a
Is an integer from 1 to 4),
Alternatively, a perfluoroalkyl compound which may be modified may be mentioned. These lubricants are characterized in that they have both an affinity required for being incorporated into the porous crosslinked vinyl polymer-based fine particles and a lubricating effect due to release from the porous crosslinked vinyl polymer-based fine particles.

【0023】ポリオルガノシロキサンは例えば以下の一
般式[I]に示す繰返し単位を有する。
The polyorganosiloxane has, for example, a repeating unit represented by the following general formula [I].

【0024】[0024]

【化1】 Embedded image

【0025】(式中、R1およびR2はメチル基、エチル
基、またはフェニル基である) 数平均分子量が1000未満のものではポリオルガノシ
ロキサンの持つ潤滑効果が低下し、20000を越える
と多孔性架橋ビニルポリマー系微粒子に取り込まれにく
くなるので好ましくない。数平均分子量が1000〜2
0000のポリオルガノシロキサンとしては、例えば、
信越化学工業(株)製KF96を挙げることができる。
(Wherein R 1 and R 2 are a methyl group, an ethyl group or a phenyl group) When the number average molecular weight is less than 1,000, the lubricating effect of the polyorganosiloxane is reduced. It is not preferable because it is difficult to be taken into the hydrophilic crosslinked vinyl polymer fine particles. Number average molecular weight of 1000-2
As the polyorganosiloxane of 0000, for example,
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. KF96 can be mentioned.

【0026】より好ましくは、数平均分子量が1000
〜20000のポリオルガノシロキサンのアルコキシ変
性物、ポリエーテル変性物又は(メタ)アクリル変性
物、或いは主鎖に−Ca2aO−単位(但し、aは1〜
4の整数)を有し末端にエステル結合の官能基を有する
パーフルオロポリエーテルや、主鎖に−Cb2b−単位
(但し、bは1〜15の整数)を有し末端にエステル結
合の官能基を有する化合物のいずれかである。
More preferably, the number average molecular weight is 1000
Alkoxy-modified products of polyorganosiloxane ~20000, polyether-modified product or (meth) acrylic-modified product, or the main chain -C a F 2a O- units (wherein, a is 1
Perfluoropolyether and having a functional group of the ester bonded to the terminal has 4 integer), -C b F 2b in the main chain - units (wherein, b is an ester bond at the terminal has an integer) from 1 to 15 Is a compound having a functional group of

【0027】ポリジメチルシロキサンのアルコキシ変性
物またはポリエーテル変性物として、それぞれ、例え
ば、信越化学工業(株)製KF−851、KF−352
を挙げることが出来る。ポリジメチルシロキサンの(メ
タ)アクリル変性物としては、例えば
Examples of the alkoxy-modified or polyether-modified polydimethylsiloxane include, for example, KF-851 and KF-352 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Can be mentioned. As the (meth) acrylic modified polydimethylsiloxane, for example,

【0028】[0028]

【化2】CH2=C(CH3)COO(CH2)3(OSi(CH
3)2)nOSi(CH3)3 といった化合物が挙げられる。また、パーフルオロポリ
エーテルの例として、アウジモント(株)製フォンブリ
ン−Zシリーズを挙げることが出来る。
## STR2 ## CH 2 = C (CH 3) COO (CH 2) 3 (OSi (CH
3 ) 2 ) n OSi (CH 3 ) 3 . As an example of the perfluoropolyether, there may be mentioned Fomblin-Z series manufactured by Ausimont Co., Ltd.

【0029】例えば、アウジモント社製Fomblin
−Z DEALはCF2CF2OとCF2Oの重合体で直
鎖構造を有し、両末端にエステル基−COOR(但し、
Rはフッ素で置換されていてもよいアルキル基を表
す。)を有する。また、ダイキン工業社製Demnum
タイプ(SPやSY)はヘキサフルオロプロピレンオキ
シドのホモポリマーで、片方の末端にエステル基−CO
OR(但し、Rはフッ素で置換されていてもよいアルキ
ル基を表す。)を有する。
For example, Fomblin manufactured by Ausimont Co., Ltd.
-Z DEAL is a polymer of CF 2 CF 2 O and CF 2 O and has a linear structure, and has an ester group —COOR (both in which
R represents an alkyl group which may be substituted by fluorine. ). In addition, demnum manufactured by Daikin Industries, Ltd.
The type (SP or SY) is a homopolymer of hexafluoropropylene oxide, and has an ester group -CO at one end.
OR (where R represents an alkyl group which may be substituted with fluorine).

【0030】アウジモント社製Fomblin−Z D
EALの構造式は下記の通りである。
Fomblin-Z D manufactured by Ausimont
The structural formula of EAL is as follows.

【0031】[0031]

【化3】ROOCCF2[(OCF2CF2)p−(OCF2)q]
OCF2COOR (Rは炭素数2〜3のアルキル基) ダイキン工業社製Demnum SYの構造式は下記の
通りである。
Embedded image ROOCCF 2 [(OCF 2 CF 2 ) p- (OCF 2 ) q ]
OCF 2 COOR (R is an alkyl group having 2 to 3 carbon atoms) The structural formula of Demmnum SY manufactured by Daikin Industries, Ltd. is as follows.

【0032】[0032]

【化4】 Embedded image

【0033】パーフルオロアルキル化合物としては、例
えば
As the perfluoroalkyl compound, for example,

【0034】[0034]

【化5】CH2=CHCOOCH2CH2(CF2)8CF3 といった化合物が挙げられる。潤滑剤の分子量は100
〜20000の範囲内が好ましい。分子量が低いと一般
的に蒸気圧が高く、塗布した後にわずかずつ蒸発し、時
間と共に所望の膜厚から遠ざかってしまう。逆に分子量
が高い場合は、一般的に粘性が高く、所望の潤滑性が得
られない時がある。
Embedded image compounds such CH 2 = CHCOOCH 2 CH 2 ( CF 2) 8 CF 3 and the like. The molecular weight of the lubricant is 100
It is preferably in the range of 20,000 to 20,000. If the molecular weight is low, the vapor pressure is generally high, evaporates little by little after coating, and moves away from the desired film thickness with time. Conversely, when the molecular weight is high, the viscosity is generally high, and the desired lubricity may not be obtained.

【0035】また、これらを溶解させる溶媒としては例
えばフロン系、アルコール系、炭化水素系、ケトン系、
エーテル系、フッ素系、芳香族系等が用いられる。さら
に、これらの潤滑剤に微粒子と反応しうるエチレン性不
飽和基が導入された化合物を用いて微粒子中に一部潤滑
剤成分を共重合させておくと、さらに効果的に潤滑性を
付与できると共に、潤滑効果が永続する特徴がある。
As a solvent for dissolving these, for example, fluorocarbons, alcohols, hydrocarbons, ketones,
Ether type, fluorine type, aromatic type and the like are used. Further, when a lubricant component is partially copolymerized in the fine particles using a compound having an ethylenically unsaturated group capable of reacting with the fine particles in these lubricants, lubricity can be more effectively imparted. In addition, there is a feature that the lubrication effect is permanent.

【0036】このような潤滑剤としては例えば、数平均
分子量が1000〜20000のポリオルガノシロキサ
ンの片末端にエチレン性不飽和基を有するラジカル重合
性シリコーンマクロモノマー、または主鎖に−Cb2b
−単位(但し、bは1〜15の整数)を有し末端に(メ
タ)アクリレート基を有する化合物が挙げられる。これ
らは、多孔性架橋ビニルポリマー系微粒子を形成するビ
ニルモノマーとの親和性及び反応性、入手の容易さの観
点から特に好ましい。
Examples of such a lubricant include a radically polymerizable silicone macromonomer having an ethylenically unsaturated group at one end of a polyorganosiloxane having a number average molecular weight of 1,000 to 20,000, or -C b F 2b in the main chain.
-A compound having a unit (where b is an integer of 1 to 15) and having a (meth) acrylate group at a terminal. These are particularly preferable from the viewpoints of affinity and reactivity with a vinyl monomer forming the porous crosslinked vinyl polymer fine particles and availability.

【0037】分子量が1000未満のものではポリオル
ガノシロキサンの持つ潤滑効果が低下し、20000を
越えると多孔性架橋ビニルポリマー系微粒子形成時に反
応しにくかったり取り込まれにくかったりするので好ま
しくない。数平均分子量が1000〜20000のこの
ようなポリオルガノシロキサンとしては、例えば、信越
化学工業(株)製X−22−174DX、チッソ(株)
製FM0721等を挙げることができる。
If the molecular weight is less than 1,000, the lubricating effect of the polyorganosiloxane is reduced, and if it is more than 20,000, it is difficult to react during the formation of the porous crosslinked vinyl polymer fine particles and it is difficult to be taken in. Examples of such a polyorganosiloxane having a number average molecular weight of 1,000 to 20,000 include X-22-174DX manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. and Chisso Corporation.
FM0721 and the like.

【0038】本発明に用いる硬化性樹脂は、光や熱等の
何らかの手段により硬化しうる樹脂であればよく、例え
ば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アルキド樹脂等の
熱硬化性樹脂、(メタ)アクリル酸エステル等の放射線
硬化性樹脂等が挙げられる。この中でも、安価な材料
で、装置も比較的簡単で、硬化が速い、といった観点か
ら多官能アクリレートを主成分とする紫外線硬化樹脂が
好んで用いられる。
The curable resin used in the present invention may be any resin that can be cured by any means such as light or heat. Examples thereof include thermosetting resins such as epoxy resin, phenol resin, and alkyd resin, and (meth) acrylic resin. Radiation-curable resins such as acid esters are exemplified. Among these, an ultraviolet curable resin containing polyfunctional acrylate as a main component is preferably used from the viewpoints of inexpensive materials, relatively simple equipment, and rapid curing.

【0039】次に本発明における潤滑層の好ましい製法
を説明する。まず、多孔性架橋ビニルポリマー系微粒子
に潤滑剤が含浸されてなる微粒子の作成法について述べ
る。多孔性架橋ビニルポリマー系微粒子の製造方法は公
知であり、実際に合成吸着剤、イオン交換樹脂として用
いられている。例えば、スチレン−ジビニルベンゼン共
重合体を母体とした市販品としてダイヤイオンHP−1
0、20、30(三菱化学(株)製)、アンバーライト
XAD2、4(ローム&ハース社製)を挙げることが出
来る。
Next, a preferred method for producing the lubricating layer in the present invention will be described. First, a method for preparing fine particles obtained by impregnating a porous crosslinked vinyl polymer-based fine particle with a lubricant will be described. Methods for producing porous crosslinked vinyl polymer-based fine particles are known, and are actually used as synthetic adsorbents and ion exchange resins. For example, as a commercial product having a styrene-divinylbenzene copolymer as a base, Diaion HP-1 is commercially available.
0, 20, 30 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) and Amberlite XAD2, 4 (manufactured by Rohm & Haas).

【0040】これらの微粒子作成はスチレン、ジビニル
ベンゼン等のビニルモノマーを、それらモノマーが溶解
しない分散媒中で懸濁重合させるか、それらモノマーが
溶解する溶媒と生成粒子の凝集を防ぐ分散媒の混合溶液
中で重合させて微粒子を徐々に析出させる方法で作成さ
れる。多孔性、架橋度の制御にはビニルモノマーの組成
比、使用分散媒の濃度、重合中の反応系のかき混ぜ方が
重要である。このことは例えば、特公平5−49337
等にも示されている。
These fine particles are prepared by suspension polymerization of a vinyl monomer such as styrene or divinylbenzene in a dispersion medium in which the monomer is not dissolved, or by mixing a solvent in which the monomer is dissolved with a dispersion medium for preventing agglomeration of formed particles. It is produced by a method of polymerizing in a solution to gradually precipitate fine particles. For controlling the porosity and the degree of crosslinking, the composition ratio of the vinyl monomer, the concentration of the dispersion medium used, and the manner of stirring the reaction system during polymerization are important. This is described, for example, in Japanese Patent Publication No. 5-49337.
And so on.

【0041】多孔性架橋ビニルポリマー系微粒子の平均
粒径は、粒子を形成させる重合時の使用分散媒の濃度、
重合中の反応系のかき混ぜ方、溶媒の量、粘度等が重要
である。このことは特公昭63−30948等にも述べ
られている。本発明のように目的の微粒子に潤滑剤を含
浸させたものを得たい場合、粒子だけを先に形成した後
に潤滑剤を含浸させる方法を採ることも当然可能である
が、分散媒の全部または一部として該潤滑剤を使用する
方法がより簡便で好ましい。
The average particle size of the porous crosslinked vinyl polymer fine particles is determined by the concentration of the dispersing medium used in the polymerization for forming the particles,
Stirring of the reaction system during the polymerization, amount of the solvent, viscosity and the like are important. This is also described in JP-B-63-30948. When it is desired to obtain a target particle in which a lubricant is impregnated as in the present invention, it is of course possible to adopt a method of impregnating the lubricant after forming only the particle first, but it is possible to adopt a method in which all or all of the dispersion medium is used. The method of using the lubricant as a part is more convenient and preferable.

【0042】微粒子の孔は重合過程において重合液滴中
に生成した不溶性の架橋共重合体の微小な粒子が凝集
し、その間隙が細孔として残ることにより生成するもの
と考えられる。従って、重合過程において潤滑剤を共存
させた場合、潤滑剤の選択が適当であれば、潤滑剤を適
当に内包した(含浸された)多孔性架橋ビニルポリマー
系微粒子を作成することが出来る。
It is considered that the pores of the fine particles are formed by agglomeration of fine particles of the insoluble crosslinked copolymer formed in the polymerization droplets during the polymerization process, and the gaps remaining as pores. Therefore, when a lubricant is co-present in the polymerization process, if the selection of the lubricant is appropriate, it is possible to produce porous crosslinked vinyl polymer-based fine particles appropriately containing (impregnated) the lubricant.

【0043】この方法を採るときの潤滑剤は、ビニルモ
ノマーに対して親和性のあるものを用いることが好まし
い。ビニルモノマーに対して全く親和性がなければ、粒
子生成途中に細孔に取り込まれることがないし、粒子生
成後にも細孔に取り込まれにくいからである。潤滑剤と
して働き得る化合物にビニルモノマーと反応し得る基が
共有結合した化合物を用いると、多孔性架橋ビニルポリ
マー系微粒子に潤滑剤が共有結合された微粒子を得るこ
とが出来る。このような微粒子は、微粒子自身が潤滑性
を帯びるだけでなく、細孔に取り込まれている潤滑剤の
保持性能にも優れているため、長期に渡ってより安定し
た潤滑性を有する潤滑層を形成できる。
It is preferable to use a lubricant having an affinity for the vinyl monomer when employing this method. If there is no affinity for the vinyl monomer, the particles are not taken into the pores during the production of the particles, and are not easily taken into the pores after the production of the particles. When a compound capable of reacting with a vinyl monomer is used as a compound capable of functioning as a lubricant, fine particles in which a lubricant is covalently bonded to porous crosslinked vinyl polymer-based fine particles can be obtained. Such fine particles not only have lubricating properties themselves, but also have excellent retention performance of the lubricant incorporated in the pores, so that a lubricating layer having more stable lubricating properties over a long period of time is required. Can be formed.

【0044】情報記録媒体の潤滑層には、長期に渡って
安定した耐久性が特に求められるので、このような潤滑
剤が共有結合された微粒子を用いることが好ましい。数
平均分子量が1000〜20000のポリオルガノシロ
キサンの片末端にエチレン性不飽和基を有するラジカル
重合性シリコーンマクロモノマーや、主鎖に−Cb2b
−単位(但し、bは1〜15の整数)を有し末端に(メ
タ)アクリレート基を有する化合物は、多孔性架橋ビニ
ルポリマー系微粒子を形成するビニルモノマーと反応す
るだけでなく、既に述べた粒子形成時の分散媒(の一
部)として用いられる潤滑剤としても働く。
Since the lubricating layer of the information recording medium is particularly required to have stable durability for a long period of time, it is preferable to use fine particles to which such a lubricant is covalently bonded. And radical-polymerizable silicone macromonomer having a number average molecular weight having an ethylenically unsaturated group at one terminal of the polyorganosiloxane 1000~20000, -C b F 2b in the main chain
The compound having a unit (where b is an integer of 1 to 15) and having a (meth) acrylate group at a terminal not only reacts with a vinyl monomer forming porous crosslinked vinyl polymer-based fine particles, but also as described above. It also works as a lubricant used as (part of) a dispersion medium during particle formation.

【0045】このような化合物を用いて粒子を形成させ
ても、一部は多孔性架橋ビニルポリマー系微粒子と共有
結合はせず、粒子形成の分散媒としての働きをしたり細
孔に取り込まれて単なる潤滑剤としての働きを示したり
する。このような化合物と、数平均分子量が1000〜
20000のポリオルガノシロキサンのアルコキシ変性
物、ポリエーテル変性物又は(メタ)アクリル変性物、
或いは主鎖に−Ca2aO−単位(但し、aは1〜4の
整数)を有し末端にエステル結合の官能基を有するパー
フルオロポリエーテルや、主鎖に−Cb2b−単位(但
し、bは1〜15の整数)を有し末端にエステル結合の
官能基を有する化合物とを共に用いても良い。
Even when particles are formed using such a compound, some of them do not covalently bond with the porous cross-linked vinyl polymer fine particles, but function as a dispersion medium for forming particles or are taken into pores. Or simply act as a lubricant. Such a compound has a number average molecular weight of 1,000 to 1,000.
An alkoxy-modified, polyether-modified or (meth) acryl-modified 20,000 polyorganosiloxane,
Alternatively, a perfluoropolyether having a —C a F 2a O— unit (where a is an integer of 1 to 4) in the main chain and having a functional group of an ester bond at a terminal, or a —C b F 2b — A compound having a unit (where b is an integer of 1 to 15) and having a functional group of an ester bond at a terminal may be used together.

【0046】ついで、潤滑層を形成させる硬化性樹脂に
ついて述べる。硬化性樹脂としては、放射線硬化樹脂、
特に紫外線硬化樹脂が好んで用いられるが、多官能アク
リレートを主成分とした比較的硬い塗膜を与えるものが
特に好ましい。多孔性架橋ビニルポリマー系微粒子は適
当な方法で硬化性樹脂に分散できる。分散の方法は公知
の方法を用いることが出来る。このとき、さらに潤滑剤
を加えることにより、潤滑層の潤滑効果を上げることが
できる。
Next, the curable resin for forming the lubricating layer will be described. As the curable resin, radiation curable resin,
In particular, an ultraviolet curable resin is preferably used, but a resin which gives a relatively hard coating film containing a polyfunctional acrylate as a main component is particularly preferable. The porous crosslinked vinyl polymer fine particles can be dispersed in the curable resin by an appropriate method. A known method can be used for the dispersion method. At this time, the lubrication effect of the lubrication layer can be improved by further adding a lubricant.

【0047】上述の方法で作製した多孔性架橋ビニルポ
リマー系微粒子は、粒径も細かく、無機微粒子と違って
凝集の程度が軽微で、硬化性樹脂との親和性も良いこと
から、例えば、超音波分散やバブルホモジナイザーを用
いて簡便に分散させることができる。無機微粒子の分散
でよく用いられるような、適当なビーズとともに激しく
振盪または攪拌する方法を用いることもできるが、この
方法は、分散後にビーズを分離しなければならないの
で、超音波分散ほど簡便ではない。
The porous crosslinked vinyl polymer fine particles produced by the above-described method have a small particle size, a small degree of aggregation unlike inorganic fine particles, and a good affinity with a curable resin. It can be easily dispersed by using a sound wave dispersion or a bubble homogenizer. Vigorous shaking or stirring with suitable beads, such as those commonly used in the dispersion of inorganic microparticles, can also be used, but this method is not as simple as ultrasonic dispersion because the beads must be separated after dispersion. .

【0048】こうして得られた多孔性架橋ビニルポリマ
ー系微粒子が分散された硬化性樹脂は、ディップコート
法、スプレーコート法、バーコート法、ロールコート法
のような公知の方法で基材表面に塗布、硬化されて潤滑
層が形成される。情報記録媒体上に潤滑層を形成させる
場合は、生産性と膜厚管理の観点から、スピンコート法
で記録膜上に塗布した後に、硬化させて潤滑層を形成す
るのが好ましい。
The curable resin in which the porous crosslinked vinyl polymer fine particles thus obtained are dispersed is applied to the substrate surface by a known method such as dip coating, spray coating, bar coating, and roll coating. Is cured to form a lubricating layer. When a lubricating layer is formed on an information recording medium, it is preferable that the lubricating layer is formed by applying the composition onto the recording film by spin coating and then curing the lubricating layer from the viewpoints of productivity and film thickness control.

【0049】本発明における磁気記録媒体の基板として
は、アルミニウム、アルミニウム合金、ガラス等のディ
スク状非磁性基板が用いられる。通常の場合、これらの
非磁性基板は、所定の厚さに加工後その表面を鏡面加工
したのち、非磁性金属、例えばNi−P合金、Ni−C
u−P合金等を無電解メッキ処理等により約5〜20μ
mの膜厚で成膜して表面層を形成させた後使用される。
As the substrate of the magnetic recording medium in the present invention, a disk-shaped non-magnetic substrate made of aluminum, aluminum alloy, glass or the like is used. Normally, these non-magnetic substrates are processed to a predetermined thickness, mirror-finished on the surface thereof, and then subjected to a non-magnetic metal, for example, Ni-P alloy, Ni-C
Approximately 5-20 μm of u-P alloy etc. by electroless plating
It is used after forming a surface layer by forming a film with a thickness of m.

【0050】このようにして基板上に形成した表面層に
は必要に応じてテクスチャ加工を施し、微細な溝又は凸
凹を精度良く加工形成し、特定の表面粗さに仕上げた表
面加工層とする。このテクスチャ加工により、磁気ヘッ
ドと磁気記録媒体との吸着が防止でき、且つCSS特性
が改善され、更に磁気異方性が良好となる。更に、この
表面加工層上には下地層を形成した後、磁性層を被着形
成する。下地層は、スパッタリング法により、例えば膜
厚50〜2000Å程度のクロム又はCr合金、Ni−
Al合金下地層を成膜することにより形成される。
The surface layer formed on the substrate in this way is subjected to texture processing as required, and fine grooves or irregularities are processed and formed with high precision to obtain a surface processed layer finished to a specific surface roughness. . By this texture processing, adsorption between the magnetic head and the magnetic recording medium can be prevented, CSS characteristics are improved, and magnetic anisotropy is further improved. Further, after forming an underlayer on the surface processing layer, a magnetic layer is formed by adhesion. The underlayer is made of, for example, a chromium or Cr alloy, Ni-
It is formed by forming an Al alloy underlayer.

【0051】この下地層上に形成される磁性層として
は、Co−Cr、Co−Ni、Co−Cr−X、Co−
Ni−X、Co−W−X等で表されるCo系合金の磁性
層が好適である。なおここで、XとしてはLi、Si、
Ca、Ti、V、Cr、Ni、As、Y、Zr、Nb、
Mo、Ru、Rh、Ag、Sb、Hf、Ta、W、R
e、Os、Ir、Pt、Au、La、Ce、Pr、N
d、Pm、Sm及びEuよりなる群から選ばれる1種又
は2種以上の元素が挙げられる。
As the magnetic layer formed on the underlayer, Co-Cr, Co-Ni, Co-Cr-X, Co-
A magnetic layer of a Co-based alloy represented by Ni-X, Co-WX or the like is preferable. Here, X is Li, Si,
Ca, Ti, V, Cr, Ni, As, Y, Zr, Nb,
Mo, Ru, Rh, Ag, Sb, Hf, Ta, W, R
e, Os, Ir, Pt, Au, La, Ce, Pr, N
One or more elements selected from the group consisting of d, Pm, Sm and Eu.

【0052】このようなCo系合金からなる金属磁性層
は、スパッタリング等の手段により基板の下地層上に被
着形成される。この金属磁性層の膜厚としては、通常、
50〜600Åの範囲とされる。保護層は、炭素膜、水
素化カーボン膜、窒素化カーボン膜、TiC、SiC等
の炭化膜、SiN、TiN等の窒化膜、SiO、Al2
3、ZrO等の酸化物膜等によって構成されるが、特
に炭素膜、水素化カーボン膜及び窒素化カーボン膜が好
ましく、蒸着法、CVD法、スパッタ法、イオンプレー
ティング法、湿式法等により形成される。
The metal magnetic layer made of such a Co-based alloy is formed on the underlayer of the substrate by means such as sputtering. The thickness of the metal magnetic layer is usually
The range is 50 to 600 °. The protective layer includes a carbon film, a hydrogenated carbon film, a nitrogenated carbon film, a carbonized film such as TiC and SiC, a nitride film such as SiN and TiN, SiO, and Al 2.
Although it is composed of an oxide film such as O 3 and ZrO, a carbon film, a hydrogenated carbon film and a nitrogenated carbon film are particularly preferable. It is formed.

【0053】例えば、水素化カーボン膜としては、水素
と炭素を含有する膜であれば良く、特に限定されるもの
ではないが、例えば、カーボンをターゲットとして希ガ
スと水素ガスを含むプラズマ中でスパッタリングするこ
とにより形成される。ここで使用されるターゲットとし
ては、ダイヤモンド状、グラファイト状、又は、アモル
ファス状のカーボンが用いられる。
For example, the hydrogenated carbon film is not particularly limited as long as it is a film containing hydrogen and carbon. For example, sputtering is performed in a plasma containing a rare gas and hydrogen gas with carbon as a target. It is formed by doing. As a target used here, diamond-like, graphite-like, or amorphous carbon is used.

【0054】また、希ガスとしては、アルゴン、ヘリウ
ム、ネオン、キセノン、ラドン、クリプトン等が挙げら
れるが、これらのうち、特に、アルゴンが好適に用いら
れる。アルゴンガス等の希ガスと水素ガスを含むスパッ
タリング雰囲気中の水素ガスの含有量は、通常、2〜2
0体積%、望ましくは5〜10体積%の範囲である。ス
パッタリング法としては、通常直流マグネトロンスパッ
タリング法が採用されるが、高周波マグネトロンスパッ
タリング法も使用できる。
Examples of the rare gas include argon, helium, neon, xenon, radon, and krypton. Of these, argon is particularly preferably used. The content of hydrogen gas in a sputtering atmosphere containing a rare gas such as argon gas and hydrogen gas is usually 2 to 2 times.
0 volume%, desirably in the range of 5 to 10 volume%. As the sputtering method, a DC magnetron sputtering method is usually employed, but a high-frequency magnetron sputtering method can also be used.

【0055】スパッタリング時のチャンバー内の圧力
は、通常、0.5〜20mTorr、望ましくは1〜1
0mTorrとされ、基板の温度は通常300℃以下で
あり、望ましくは常温〜250℃の範囲とする。基板と
ターゲットとの間隔、スパッタ時間、投入電力等は、形
成する水素化カーボン保護層の膜厚に応じて適宜決定さ
れる。
The pressure in the chamber during sputtering is generally 0.5 to 20 mTorr, preferably 1 to 1 mTorr.
0 mTorr, and the temperature of the substrate is usually 300 ° C. or lower, preferably in the range of room temperature to 250 ° C. The distance between the substrate and the target, the sputtering time, the input power, and the like are appropriately determined according to the thickness of the hydrogenated carbon protective layer to be formed.

【0056】なお、水素化カーボン保護層の厚さは、通
常、50〜1000Å、望ましくは100〜600Åの
範囲である。一方、光記録媒体にはピットや溝を設けた
樹脂基板を用い、樹脂としては、アクリル系樹脂、ノル
ボルネン系などのポリオレフィン樹脂、液晶ポリマー、
ポリカーボネート等が挙げられ、例としてポリメチルメ
タクリレート(PMMA)、ARTON(日本合成ゴム
社 ノルボルネン系エステル置換環状オレフィン開環重
合体水添物)、ZEONEX(日本ゼオン社 ノルボル
ネン系環状オレフィン開環重合体水添物)、芳香族ポリ
エステル系液晶ポリマー、ポリカーボネートなどが挙げ
られる。
Incidentally, the thickness of the hydrogenated carbon protective layer is usually in the range of 50 to 1000 °, preferably 100 to 600 °. On the other hand, a resin substrate provided with pits and grooves is used for the optical recording medium, and as the resin, an acrylic resin, a polyolefin resin such as a norbornene type, a liquid crystal polymer,
Polycarbonate and the like are exemplified, and examples thereof include polymethyl methacrylate (PMMA), ARTON (Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd., hydrogenated norbornene-based ester-substituted cyclic olefin polymer), and ZEONEX (Zeon Corporation, norbornene-based cyclic olefin polymer-opened polymer water). Additives), aromatic polyester-based liquid crystal polymers, polycarbonates and the like.

【0057】ピット/溝を設けたスタンパーをもとに、
これら樹脂を用いて射出成形、射出圧縮成形、放射線硬
化などによりピット/溝を転写形成して樹脂基板とす
る。ガラス、金属、セラミック等と異なり、樹脂を用い
ることで、幅または長さが2μm以下、深さが100n
m以下の微細なピットや溝が精密かつ安価に形成でき
る。
Based on a stamper provided with pits / grooves,
Using these resins, pits / grooves are transferred and formed by injection molding, injection compression molding, radiation curing, or the like to form a resin substrate. Unlike glass, metal, ceramic, etc., the width or length is 2 μm or less and the depth is 100 n by using resin.
m and smaller pits or grooves can be formed precisely and at low cost.

【0058】基板の厚みは0.4〜2mm程度が一般的
である。あまり薄すぎると、基板が自重によりたわんで
平面性が出にくくなるが、2mmを超えると強度面では
大差がなくなる。基板上に形成する光記録層としては、
各種のものを用いることができ、例えば光磁気記録層や
相変化型記録層、色素型記録層が用いられる。また、層
構成としても特に制限はなく、各種層構成を採用するこ
とができる。
The thickness of the substrate is generally about 0.4 to 2 mm. If the thickness is too thin, the substrate is bent by its own weight and it is difficult to obtain flatness, but if it exceeds 2 mm, there is no great difference in strength. As the optical recording layer formed on the substrate,
Various types can be used. For example, a magneto-optical recording layer, a phase change recording layer, and a dye recording layer are used. The layer configuration is not particularly limited, and various layer configurations can be adopted.

【0059】光磁気記録層としては、希土類‐遷移金属
の合金膜、磁性人工格子膜、酸化物磁性体膜、およびそ
れらの多層膜等が用いられる。例えばTbFe、TbF
eCo、TbCo、GdFeCo、DyTbFeCo等
の希土類と遷移金属との非晶質磁性層、MnBi、Mn
CuBi等の多結晶垂直磁化層、Pt/Co多層膜等が
用いられる。
As the magneto-optical recording layer, a rare earth-transition metal alloy film, a magnetic artificial lattice film, an oxide magnetic film, a multilayer film thereof, or the like is used. For example, TbFe, TbF
an amorphous magnetic layer of a rare earth such as eCo, TbCo, GdFeCo, DyTbFeCo and a transition metal, MnBi, Mn
A polycrystalline perpendicular magnetization layer of CuBi or the like, a Pt / Co multilayer film, or the like is used.

【0060】光磁気記録層は単層であっても良いし、オ
ーバーライトやMSRを可能とするためにGdTbFe
/TbFeのように2層以上の磁性層を重ねて用いても
良い。相変化型記録層としては、例えばGeSbTeや
InSbTe、AgSbTe、AgInSbTeといっ
た化合物が使用できる。
The magneto-optical recording layer may be a single layer, or GdTbFe for overwriting or MSR.
Two or more magnetic layers such as / TbFe may be stacked and used. As the phase-change recording layer, for example, compounds such as GeSbTe, InSbTe, AgSbTe, and AgInSbTe can be used.

【0061】好ましくは、{(Sb2Te31-x(Ge
Te)x1-ySby(0.2<x<0.9、0≦y<
0.1)合金、及び該3元合金に10原子%程度までの
In、Ga、Zn、Sn、Si、Cu、Au、Ag、P
d、Pt、Pb、Cr、Co、O、S、Se、Ta、N
b、Vのうち少なくとも1種を含む合金薄膜があげられ
る。
Preferably, Δ (Sb 2 Te 3 ) 1-x (Ge
Te) x} 1-y Sb y (0.2 <x <0.9,0 ≦ y <
0.1) In the alloy and the ternary alloy, up to about 10 atomic% of In, Ga, Zn, Sn, Si, Cu, Au, Ag, P
d, Pt, Pb, Cr, Co, O, S, Se, Ta, N
An alloy thin film containing at least one of b and V is mentioned.

【0062】あるいは、高速でのオーバーライトが可能
な材料として、Sb70Te30共晶点近傍のSbTe合金
を主成分とする、MSbTe(M=In、Ga、Zn、
Ge、Sn、Si、Cu、Au、Ag、Pd、Pt、P
b、Cr、Co、O、S、Se、Ta、Nb、Vのうち
少なくとも1種)合金薄膜が好ましい。光記録層上には
耐候性、高硬度、高滑性などの性質を備えた透明中間層
を設ける。中間層の材質はこれら性質を考慮の上選ばれ
る。
Alternatively, as a material that can be overwritten at high speed, MSbTe (M = In, Ga, Zn, MSbTe) mainly containing a SbTe alloy near the eutectic point of Sb 70 Te 30 .
Ge, Sn, Si, Cu, Au, Ag, Pd, Pt, P
b, Cr, Co, O, S, Se, Ta, Nb and V). On the optical recording layer, a transparent intermediate layer having properties such as weather resistance, high hardness and high lubricity is provided. The material of the intermediate layer is selected in consideration of these properties.

【0063】耐候性、高硬度といった点では誘電体が好
ましい。誘電体としては金属酸化物、窒化物、カルコゲ
ン化物、炭化物、フッ化物、およびその混合物などが用
いられる。金属酸化物としてはAl23、Ta25、S
iO2、SiO、TiO2等の金属酸化物単独又はこれら
の混合物、或いはAl−Ta−Oの複合酸化物等が挙げ
られる。
A dielectric is preferable in terms of weather resistance and high hardness. As the dielectric, metal oxide, nitride, chalcogenide, carbide, fluoride, a mixture thereof, and the like are used. Al 2 O 3 , Ta 2 O 5 , S
iO 2, SiO, a metal oxide such as TiO 2 alone or a mixture thereof, or a composite oxide of Al-Ta-O, and the like.

【0064】金属窒素物としては、窒化ケイ素、窒化ア
ルミニウム等が挙げられる。カルコゲン化物としては、
ZnS、ZnSe等のカルコゲン化亜鉛、CdS、Cd
Se等のII−V族化合物、La23、Ce23等の希土
類硫化物、TaS2、MgS、CaS等があげられる。
カルコゲン化亜鉛は化学的にも安定で、その中でも特に
ZnSは毒性も低く最も好ましい。
Examples of the metal nitride include silicon nitride and aluminum nitride. As chalcogenides,
Zinc chalcogenide such as ZnS, ZnSe, CdS, Cd
II-V group compound such as Se, La 2 S 3, Ce rare earth sulfides such as 2 S 3, TaS 2, MgS , CaS and the like.
Zinc chalcogenide is chemically stable, and among them, ZnS is particularly preferable because of its low toxicity.

【0065】これら誘電体層の形成方法としては、蒸着
やスパッタリングが挙げられるが、スパッタリングがよ
り好ましい。滑性に優れた材質としては炭素膜、水素化
カーボン膜、窒素化カーボン膜、TiC、SiC等の炭
化膜、SiN、TiN等の窒化膜、SiO、Al23
ZrO等の酸化物膜等によって構成され、通常、スパッ
タ法、等により形成される。
As a method for forming these dielectric layers, vapor deposition and sputtering are mentioned, but sputtering is more preferable. Materials having excellent lubricity include carbon films, hydrogenated carbon films, nitrogenated carbon films, carbide films such as TiC and SiC, nitride films such as SiN and TiN, SiO, Al 2 O 3 ,
It is composed of an oxide film such as ZrO or the like, and is usually formed by a sputtering method or the like.

【0066】より好ましくは、炭素膜、水素化カーボン
膜及び窒素化カーボン膜である。水素化カーボン膜は、
水素と炭素を含有する膜であればよく、特に限定される
ものではなく、例えばカーボンターゲットを用いて、ス
パッタガス(通常は、アルゴンなどの不活性ガスを用い
る。)と水素ガスを含むプラズマ中でスパッタリングす
る方法により形成することができる。
More preferred are a carbon film, a hydrogenated carbon film and a nitrogenated carbon film. The hydrogenated carbon membrane is
The film is not particularly limited as long as it is a film containing hydrogen and carbon. For example, using a carbon target, a plasma containing a sputtering gas (usually, an inert gas such as argon is used) and a hydrogen gas is used. And can be formed by a sputtering method.

【0067】窒素化カーボン膜は、窒素と炭素を含有す
る膜であればよく、特に限定されるものではなく、例え
ばカーボンターゲットを用いて、スパッタガスと窒素ガ
ス、一酸化窒素ガス、二酸化窒素ガス、アンモニアガス
などの窒素含有あるいは空気などの窒素ガス含有ガスを
含むプラズマ中でスパッタリングすることにより形成す
ることができる。例えば、空気を用いた場合、スパッタ
雰囲気中の空気の含有量は、通常、2〜20体積%であ
る。
The nitrogenated carbon film may be a film containing nitrogen and carbon, and is not particularly limited. For example, a sputter gas, a nitrogen gas, a nitrogen monoxide gas, and a nitrogen dioxide gas may be used by using a carbon target. It can be formed by sputtering in a plasma containing a nitrogen-containing gas such as ammonia gas or a nitrogen-containing gas such as air. For example, when air is used, the content of air in the sputtering atmosphere is usually 2 to 20% by volume.

【0068】また、例えば、スパッタガス中に水素ガス
及び窒素(含有)ガスを同時に混入させることにより、
水素化かつ窒素化したカーボン膜を形成することもでき
る。中間層は保護層および滑性層としての役割を有する
が、これを複数層としてもよい。例えば記録層に接する
側に耐候性に優れ硬度の高い保護層を、潤滑層に接する
側に滑性に優れた滑性層を設けると、全体として両方に
優れた性質を得ることができ、好ましい。
Further, for example, by simultaneously mixing a hydrogen gas and a nitrogen (containing) gas into a sputtering gas,
A hydrogenated and nitrogenated carbon film can also be formed. The intermediate layer has a role as a protective layer and a lubricating layer, but may have a plurality of layers. For example, when a protective layer having high weather resistance and high hardness is provided on the side in contact with the recording layer, and a lubricating layer having excellent lubricity is provided on the side in contact with the lubricating layer, both excellent properties can be obtained as a whole, which is preferable. .

【0069】光磁気記録層に接する層としては、窒化シ
リコン、SiO2、Ta25などが好適に用いられる。
相変化型記録層に接する層としては、ZnSと金属酸化
物の混合物が好適に用いられる。好ましくは、基板と記
録層との間に反射層を設ける。反射層としては高反射率
の金属または合金が用いられ、例えばAl、Ag、A
u、Cuやこれを主成分とする合金である。
As the layer in contact with the magneto-optical recording layer, silicon nitride, SiO 2 , Ta 2 O 5 or the like is preferably used.
As a layer in contact with the phase-change recording layer, a mixture of ZnS and a metal oxide is preferably used. Preferably, a reflective layer is provided between the substrate and the recording layer. As the reflective layer, a metal or alloy having a high reflectivity is used. For example, Al, Ag, A
u, Cu and alloys containing these as main components.

【0070】さらに、基板あるいは反射層と、記録層と
の間に、光を干渉させ増幅させる目的や記録層保護の目
的等で透明中間層を設けても良い。材質としては、上述
した誘電体等が好ましく用いられる。
Further, a transparent intermediate layer may be provided between the substrate or the reflective layer and the recording layer for the purpose of interfering light and amplifying the light or for the purpose of protecting the recording layer. As the material, the above-described dielectric or the like is preferably used.

【0071】[0071]

【実施例】以下、実施例をもって本発明の例を示すが、
本発明はその要旨を超えない限り、以下の実施例に限定
されるものではない。 実施例1 直径90mm、厚さ1.2mmのプレグルーブを有する
ポリカーボネート基板上に、第一誘電体層、光磁気記録
層、第二誘電体層、反射層を順にスパッタリング法によ
って成膜して光磁気記録媒体を作成した。
The following examples illustrate the present invention.
The present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist. Example 1 A first dielectric layer, a magneto-optical recording layer, a second dielectric layer, and a reflective layer were sequentially formed on a polycarbonate substrate having a pregroove having a diameter of 90 mm and a thickness of 1.2 mm by a sputtering method to form a light. A magnetic recording medium was created.

【0072】スチレン5g、純度55%ジビニルベンゼ
ン(他はエチルビニルベンゼン)9.1g、数平均分子
量が4700であるメタクリル変性ジメチルシロキサン
(X−22−174DX、信越化学工業(株)製)10
g、アゾイソブチロニトリル0.5gをヘプタン100
mLに溶解させ、かき混ぜながら窒素下にて70℃で7
時間加熱した。
Methacryl-modified dimethylsiloxane (X-22-174DX, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) having 5 g of styrene, 9.1 g of 55% pure divinylbenzene (others are ethylvinylbenzene), and having a number average molecular weight of 4,700.
g, azoisobutyronitrile 0.5 g in heptane 100
and stirred at 70 ° C. under nitrogen with stirring.
Heated for hours.

【0073】時間と共に反応系は生成したスチレン−ジ
ビニルベンゼン共重合体微粒子のために白濁した。反応
終了後溶媒部分を除去して、多孔性架橋ビニルポリマー
系微粒子に潤滑剤(メタクリル変性ジメチルシロキサ
ン)が含浸されるとともに、一部は共重合されてなる微
粒子を得た。生成粒子の粒子径をヘプタン中で粒度分布
計(HORIBA LA−500)で測定したところ、
平均粒径は0.43μmであった。
With time, the reaction system became cloudy due to the styrene-divinylbenzene copolymer fine particles formed. After completion of the reaction, the solvent portion was removed to obtain fine particles obtained by impregnating the porous crosslinked vinyl polymer-based fine particles with a lubricant (methacryl-modified dimethylsiloxane) and partially copolymerizing them. When the particle size of the formed particles was measured in heptane with a particle size distribution analyzer (HORIBA LA-500),
The average particle size was 0.43 μm.

【0074】得られた多孔性架橋ビニルポリマー系微粒
子に潤滑剤が含浸されてなる微粒子5重量部にさらに上
記メタクリル変性ジメチルシロキサン(X−22−17
4DX)を8重量部含浸させ、一晩静置したものを紫外
線硬化樹脂(HOD−1011、日本化薬(株)製)1
00重量部に加え、超音波ホモジナイザー(BRANS
ON SONIFIER 450)で30分間分散させ
た。このようにして得られた樹脂は3月間静置しても相
分離しなかった。
The porous methacrylate modified dimethylsiloxane (X-22-17) was added to 5 parts by weight of the porous crosslinked vinyl polymer fine particles obtained by impregnating a lubricant with the obtained fine particles.
4DX) was impregnated with 8 parts by weight and left to stand overnight. A UV-curable resin (HOD-1011, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 1
00 parts by weight, an ultrasonic homogenizer (BRANS
ON SONIFIER 450) for 30 minutes. The resin thus obtained did not undergo phase separation even after standing for 3 months.

【0075】得られた樹脂を濾紙と孔径5μmフィルタ
(MILLIPORE社製MILLEX−SV SLS
V025LS)で使用直前に濾過して、上記光磁気記録
媒体の反射層の上にスピンコート法によって塗布した
後、紫外線を照射して硬化させ、潤滑層を形成した。潤
滑層の厚さは、半径40mmの地点で6.43μmであ
った(Tencor社Alpha−stepで測定)。
The obtained resin was filtered using a filter paper and a filter having a pore size of 5 μm (MILLIP-SV SLS manufactured by MILLIPORE).
V025LS), filtered immediately before use, applied on the reflective layer of the magneto-optical recording medium by a spin coating method, and then cured by irradiating ultraviolet rays to form a lubricating layer. The thickness of the lubricating layer was 6.43 μm at a point with a radius of 40 mm (measured by Tencor Corp., Alpha-step).

【0076】次に、この光磁気記録媒体についてCSS
テストを行った。CSSテストは、スピンドルモーター
に光磁気記録媒体を取り付け、エアーベアリングスライ
ダーの大きさが5mm×5mmでレール幅1.9mmの
2本のレールを持つ浮上型磁気ヘッドを、媒体の記録可
能範囲の最内周側(コアの半径位置r=25mm)に配
置した後、媒体の最高回転数3600RPMの回転と停
止を1万回繰り返して行った。時間は、回転数上昇で1
秒、3600RPMで3秒回転、1秒で回転数減少、停
止1秒の計6秒を1繰り返し単位として行った。
Next, this magneto-optical recording medium was subjected to CSS.
Tested. In the CSS test, a magneto-optical recording medium was mounted on a spindle motor, and a flying magnetic head having two rails with an air bearing slider size of 5 mm x 5 mm and a rail width of 1.9 mm was used to measure the maximum recording area of the medium. After being arranged on the inner circumference side (radial position r of the core = 25 mm), rotation and stop of the medium at the maximum rotation speed of 3600 RPM were repeated 10,000 times. The time is 1 as the rotation speed rises.
The rotation was performed at 3600 RPM for 3 seconds, the number of rotations decreased for 1 second, and stopped for 1 second, for a total of 6 seconds.

【0077】同時に浮上型ヘッドが着地状態から浮上状
態になる際、ヘッドが光磁気記録媒体の回転方向に引っ
張られる力をロードセル(ミネベア(株)製UT−10
0GR)で測定し、表示される数値のうち、回転数上昇
時の最大値を摩擦係数として求めた。これを浮上型磁気
ヘッドと光磁気記録媒体との間の摩擦係数とし、一回の
回転毎に測定、記録を行った。
At the same time, when the floating type head changes from the landing state to the floating state, the force for pulling the head in the rotation direction of the magneto-optical recording medium is applied to a load cell (UT-10 manufactured by Minebea Co., Ltd.).
0GR), and among the displayed numerical values, the maximum value when the rotational speed was increased was determined as the friction coefficient. This was defined as the friction coefficient between the flying magnetic head and the magneto-optical recording medium, and measurement and recording were performed for each rotation.

【0078】CSSテストで記録された各回転毎の摩擦
係数を図1に示す。初期の摩擦係数は0.05と良好
で、CSSテスト10000回後も0.08と良好な潤
滑性を保っていた。すなわち本潤滑層は薄膜で優れた潤
滑性・耐摩耗性を示し、これを用いた光磁気記録媒体は
良好な潤滑性と十分な耐久性を有し、浮上型磁気ヘッド
との吸着も起こりにくかった。
FIG. 1 shows the friction coefficient for each rotation recorded in the CSS test. The initial coefficient of friction was as good as 0.05, and the lubricity was as good as 0.08 even after 10,000 CSS tests. In other words, the present lubricating layer has excellent lubricity and wear resistance as a thin film, and the magneto-optical recording medium using the lubricating layer has good lubricity and sufficient durability, and is unlikely to be attracted to the flying magnetic head. Was.

【0079】実施例2 スチレン5g、純度55%ジビニルベンゼン(他はエチ
ルビニルベンゼン)9.1g、1H,1H,2H,2H
−ヘキサデカフルオロデシルアクリレート5g、アゾイ
ソブチロニトリル0.5gをヘプタン100mLに溶解
させ、かき混ぜながら窒素下にて70℃で7時間加熱し
た。
Example 2 5 g of styrene, 9.1 g of 55% pure divinylbenzene (others were ethylvinylbenzene), 1H, 1H, 2H, 2H
5 g of hexadecafluorodecyl acrylate and 0.5 g of azoisobutyronitrile were dissolved in 100 mL of heptane, and heated at 70 ° C. for 7 hours under nitrogen while stirring.

【0080】時間と共に反応系は生成したスチレン−ジ
ビニルベンゼン共重合体微粒子のために白濁した。反応
終了後溶媒部分を除去し、多孔性架橋ビニルポリマー系
微粒子に潤滑剤(ヘキサデカフルオロデシルアクリレー
ト)が含浸されるとともに、一部は共重合されてなる微
粒子を得た。この潤滑剤が含浸されてなる微粒子5重量
部を紫外線硬化樹脂(HOD−1011、日本化薬
(株)製)100重量部に加え、超音波ホモジナイザー
(BRANSON SONIFIER 450)で30
分間分散させた。このようにして得られた樹脂は3月間
静置しても相分離しなかった。
With time, the reaction system became cloudy due to the formed styrene-divinylbenzene copolymer fine particles. After completion of the reaction, the solvent portion was removed, and the porous crosslinked vinyl polymer-based fine particles were impregnated with a lubricant (hexadecafluorodecyl acrylate), and partially obtained as copolymerized fine particles. 5 parts by weight of the fine particles impregnated with the lubricant are added to 100 parts by weight of an ultraviolet curable resin (HOD-1011, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), and the mixture is treated with an ultrasonic homogenizer (BRANSON SONIFIER 450).
Dispersed for minutes. The resin thus obtained did not undergo phase separation even after standing for 3 months.

【0081】この樹脂を用いた以外は実施例1と同様に
して、光磁気記録媒体上に潤滑層を形成させた。この媒
体にCSSテストを行ったところ、初期の摩擦係数は
0.05と良好で、CSSテスト10000回までさし
たる摩擦係数の変化はなかった。すなわち本潤滑層は薄
膜で優れた潤滑性・耐摩耗性を示し、これを用いた光磁
気記録媒体は良好な潤滑性と十分な耐久性を有し、浮上
型磁気ヘッドとの吸着も起こりにくかった。
A lubricating layer was formed on a magneto-optical recording medium in the same manner as in Example 1 except that this resin was used. When a CSS test was performed on this medium, the initial friction coefficient was as good as 0.05, and there was no change in the friction coefficient up to 10,000 times of the CSS test. In other words, the present lubricating layer has excellent lubricity and wear resistance as a thin film, and the magneto-optical recording medium using the lubricating layer has good lubricity and sufficient durability, and is unlikely to be attracted to the flying magnetic head. Was.

【0082】実施例3 スチレン5g、純度55%ジビニルベンゼン(他はエチ
ルビニルベンゼン)9.1g、アルコキシ変性ポリジメ
チルシロキサン(信越化学工業(株)製 KF−85
1)5g、アゾイソブチロニトリル0.5gをヘプタン
100mLに溶解させ、かき混ぜながら窒素下にて70
℃で7時間加熱した。時間と共に反応系は生成したスチ
レン−ジビニルベンゼン共重合体微粒子のために白濁し
た。反応終了後溶媒部分を除去し、多孔性架橋ビニルポ
リマー系微粒子に潤滑剤(アルコキシ変性ポリジメチル
シロキサン)が含浸されてなる微粒子を得た。
Example 3 5 g of styrene, 9.1 g of 55% pure divinylbenzene (others are ethylvinylbenzene), and alkoxy-modified polydimethylsiloxane (KF-85 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
1) 5 g and 0.5 g of azoisobutyronitrile are dissolved in 100 mL of heptane, and stirred under nitrogen for 70 minutes.
Heated at 7 ° C. for 7 hours. With time, the reaction system became cloudy due to the formed styrene-divinylbenzene copolymer fine particles. After completion of the reaction, the solvent portion was removed to obtain fine particles obtained by impregnating a porous crosslinked vinyl polymer-based fine particle with a lubricant (alkoxy-modified polydimethylsiloxane).

【0083】この潤滑剤が含浸されてなる微粒子5重量
部を紫外線硬化樹脂(HOD−1011、日本化薬
(株)製)100重量部に加え、超音波ホモジナイザー
(BRANSON SONIFIER 450)で30
分間分散させた。このようにして得られた樹脂は3月間
静置しても相分離しなかった。この樹脂を用いた以外は
実施例1と同様にして、光磁気記録媒体上に潤滑層を形
成させた。
5 parts by weight of the fine particles impregnated with the lubricant were added to 100 parts by weight of an ultraviolet curable resin (HOD-1011, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), and the mixture was treated with an ultrasonic homogenizer (BRANSON SONIFIER 450).
Dispersed for minutes. The resin thus obtained did not undergo phase separation even after standing for 3 months. A lubricating layer was formed on a magneto-optical recording medium in the same manner as in Example 1 except that this resin was used.

【0084】この媒体にCSSテストを行ったところ、
初期の摩擦係数は0.05と良好で、CSSテスト10
000回までさしたる摩擦係数の変化はなかった。すな
わち本潤滑層は薄膜で優れた潤滑性・耐摩耗性を示し、
これを用いた光磁気記録媒体は良好な潤滑性と十分な耐
久性を有し、浮上型磁気ヘッドとの吸着も起こりにくか
った。
When a CSS test was performed on this medium,
The initial coefficient of friction was as good as 0.05.
There was no change in the coefficient of friction down to 000 cycles. In other words, this lubrication layer shows excellent lubricity and wear resistance in a thin film,
A magneto-optical recording medium using this had good lubricity and sufficient durability, and was less likely to be attracted to a flying magnetic head.

【0085】実施例4 数平均分子量が4700のメタクリル変性ジメチルシロ
キサン(X−22−174DX、信越化学工業(株)
製)の量を2gとした以外は実施例1と同じものをヘプ
タン100mLに溶解させ、かき混ぜながら窒素下にて
70℃で7時間加熱して、多孔性架橋ビニルポリマー系
微粒子に潤滑剤(メタクリル変性ジメチルシロキサン)
が含浸されるとともに、一部は共重合されてなる微粒子
を得た。平均粒径は20μmであった。
Example 4 A methacryl-modified dimethylsiloxane having a number average molecular weight of 4700 (X-22-174DX, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
) Was dissolved in 100 mL of heptane, and heated at 70 ° C for 7 hours under nitrogen with stirring to give a lubricant (methacrylic) to the porous crosslinked vinyl polymer fine particles. Modified dimethyl siloxane)
Were impregnated and partially copolymerized to obtain fine particles. The average particle size was 20 μm.

【0086】この潤滑剤が含浸されてなる微粒子5重量
部を紫外線硬化樹脂(HOD−1011、日本化薬
(株)製)100重量部に加え、超音波ホモジナイザー
(BRANSON SONIFIER 450)で30
分間分散させた。この樹脂を用いた以外は実施例1と同
様にして、光磁気記録媒体上に潤滑層を形成させた。潤
滑層の厚さが60μm未満では、目視でわかる縞模様が
出来、潤滑層の凹凸が均一でないことが示唆されたの
で、70μmの潤滑層を形成させた。
5 parts by weight of the fine particles impregnated with the lubricant were added to 100 parts by weight of an ultraviolet curable resin (HOD-1011, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), and the mixture was treated with an ultrasonic homogenizer (BRANSON SONIFIER 450).
Dispersed for minutes. A lubricating layer was formed on a magneto-optical recording medium in the same manner as in Example 1 except that this resin was used. When the thickness of the lubricating layer was less than 60 μm, a visually recognizable stripe pattern was formed, suggesting that the unevenness of the lubricating layer was not uniform. Therefore, a 70 μm lubricating layer was formed.

【0087】この媒体にCSSテストを行ったところ、
初期の摩擦係数は0.1であり潤滑性を有しており、C
SSテスト10000回までさしたる摩擦係数の変化は
なかった。しかし、媒体の回転数上昇時、3600RP
Mで回転中、回転数減少時、ともに摩擦係数に大きな変
化がなく、ヘッドが媒体から浮上していないことが示唆
された。また、潤滑層の厚さが70μmもあるため、磁
気ヘッドによる磁界変調記録には適さないことも示唆さ
れた。
When a CSS test was performed on this medium,
The initial coefficient of friction is 0.1 and has lubricity.
There was no change in the coefficient of friction up to 10000 SS tests. However, when the rotation speed of the medium increases, 3600 RP
During rotation at M and when the number of rotations decreased, there was no significant change in the friction coefficient, suggesting that the head did not float from the medium. It was also suggested that the lubricating layer had a thickness of 70 μm, which was not suitable for magnetic field modulation recording by a magnetic head.

【0088】比較例1 メタクリル変性ジメチルシロキサンを用いなかった以外
は実施例1と同じものをヘプタン100mLに溶解さ
せ、かき混ぜながら窒素下にて70℃で7時間加熱し
て、多孔性架橋ビニルポリマー系微粒子を得た。平均粒
径は50μmであった。この場合、多孔性架橋ビニルポ
リマー系微粒子には潤滑剤は全く含浸されていない。
Comparative Example 1 The same composition as in Example 1 except that methacryl-modified dimethylsiloxane was not used was dissolved in 100 mL of heptane, and heated at 70 ° C. for 7 hours under nitrogen while stirring to obtain a porous crosslinked vinyl polymer. Fine particles were obtained. The average particle size was 50 μm. In this case, the porous crosslinked vinyl polymer-based fine particles are not impregnated with the lubricant at all.

【0089】この微粒子5重量部を紫外線硬化樹脂(H
OD−1011、日本化薬(株)製)100重量部に加
え、超音波ホモジナイザー(BRANSON SONI
FIER 450)で30分間分散させた。この樹脂を
用いた以外は実施例1と同様にして、光磁気記録媒体上
に潤滑層を形成させた。
5 parts by weight of these fine particles were mixed with an ultraviolet curable resin (H
100 parts by weight of OD-1011 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and an ultrasonic homogenizer (BRANSON SONI)
(FIER 450) for 30 minutes. A lubricating layer was formed on a magneto-optical recording medium in the same manner as in Example 1 except that this resin was used.

【0090】この媒体にCSSテストを行ったところ、
初期の摩擦係数が1.0を超え潤滑性を有しておらず、
継続してテストを行うことが出来なかった。
When a CSS test was performed on this medium,
The initial coefficient of friction exceeds 1.0 and does not have lubricity,
I couldn't continue testing.

【0091】[0091]

【発明の効果】本発明によれば、薄膜で優れた潤滑性・
耐摩耗性を有し、潤滑剤の凝集を防ぎかつスピンオフを
抑制する結果、長期間にわたり優れた耐久性を維持する
ことができる信頼性の高い潤滑層が得られる。特にヘッ
ドの低浮上化に対応した平滑な基板を用いた場合に、ヘ
ッドとの吸着を発生させることがなく、良好な潤滑性と
十分な耐久性を有する。本発明による潤滑層を情報記録
媒体に適用することによって、ヘッドが低浮上化できデ
ータ記録密度を増大させることが可能となるとともに、
長期にわたり信頼性の高い情報記録媒体及び情報記録装
置を得ることができる。
According to the present invention, a thin film having excellent lubricity
As a result of having abrasion resistance, preventing aggregation of the lubricant and suppressing spin-off, a highly reliable lubricating layer capable of maintaining excellent durability for a long period of time is obtained. In particular, when a smooth substrate corresponding to the low flying height of the head is used, it has good lubricity and sufficient durability without causing adsorption to the head. By applying the lubricating layer according to the present invention to the information recording medium, it becomes possible to increase the data recording density by reducing the flying height of the head,
An information recording medium and an information recording device with high reliability over a long period can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 実施例1の光磁気記録媒体のCSSテストに
よる摩擦係数の変化を示す図
FIG. 1 is a diagram showing a change in a coefficient of friction of a magneto-optical recording medium of Example 1 by a CSS test.

【図2】 本発明の光ディスクを用いる記録再生装置の
一例を示す図
FIG. 2 is a diagram showing an example of a recording / reproducing apparatus using the optical disc of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11、11′、11″ 光ディスク 12、12′、12″ 光ヘッド 13、13′、13″ 光ヘッド 14 支持アーム 11, 11 ', 11 "optical disk 12, 12', 12" optical head 13, 13 ', 13 "optical head 14 support arm

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 5/72 G11B 5/72 5/84 5/84 B // C10N 20:06 40:18 Fターム(参考) 4H104 CA08A CB08A CB12A CB13A CD04A CJ02A CJ10A CJ11A CJ12A EA03A EA08A PA16 PA50 RA03 5D006 AA01 AA02 AA06 DA03 FA02 FA06 5D075 EE03 FG10 FG15 5D112 AA07 AA24 BC02 BC08 CC12──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G11B 5/72 G11B 5/72 5/84 5/84 B // C10N 20:06 40:18 F term ( 4H104 CA08A CB08A CB12A CB13A CD04A CJ02A CJ10A CJ11A CJ12A EA03A EA08A PA16 PA50 RA03 5D006 AA01 AA02 AA06 DA03 FA02 FA06 5D075 EE03 FG10 FG15 5D112 AA07 AA12 BC02 BC08 BC08

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 潤滑剤が含浸され又は共重合されてなる
多孔性架橋ビニルポリマー系微粒子及び硬化性樹脂から
なることを特徴とする潤滑層。
1. A lubricating layer comprising porous crosslinked vinyl polymer-based fine particles impregnated with or copolymerized with a lubricant and a curable resin.
【請求項2】 上記微粒子の平均粒径が10μm以下で
ある請求項1に記載の潤滑層。
2. The lubricating layer according to claim 1, wherein the fine particles have an average particle size of 10 μm or less.
【請求項3】 上記潤滑剤が、数平均分子量が1000
〜20000の変性されていてもよいポリオルガノシロ
キサン、或いは、主鎖に−Ca2aO−単位(但し、a
は1〜4の整数)を有するパーフルオロポリエーテル又
は変性されていてもよいパーフルオロアルキル化合物の
いずれかである請求項1又は2に記載の潤滑層。
3. The lubricant has a number average molecular weight of 1,000.
~20000 of modified unprotected polyorganosiloxanes also, or in the backbone -C a F 2a O- units (where, a
The lubricating layer according to claim 1, wherein the lubricating layer is any one of a perfluoropolyether having an integer of 1 to 4) and a perfluoroalkyl compound which may be modified.
【請求項4】 上記潤滑剤が、数平均分子量が1000
〜20000のポリオルガノシロキサンのアルコキシ変
性物、ポリエーテル変性物、又は(メタ)アクリル変性
物、あるいは主鎖に−Ca2aO−単位(但し、aは1
〜4の整数)を有し末端にエステル結合の官能基を有す
るパーフルオロポリエーテル、または主鎖に−Cb2b
−単位(但し、bは1〜15の整数)を有し末端にエス
テル結合の官能基を有する化合物のいずれかである請求
項3に記載の潤滑層。
4. The lubricant has a number average molecular weight of 1,000.
Alkoxy-modified products of polyorganosiloxane ~20000, polyether-modified product, or (meth) acrylic-modified product, or a main chain -C a F 2a O- units (wherein, a is 1
Perfluoropolyether having a terminal ester bond of a functional group having to 4 integer) -C b F 2b or the main chain,
The lubricating layer according to claim 3, wherein the lubricating layer is a compound having a unit (where b is an integer of 1 to 15) and having a functional group of an ester bond at a terminal.
【請求項5】 上記微粒子に、数平均分子量が1000
〜20000のポリオルガノシロキサンの片末端にエチ
レン性不飽和基を有するラジカル重合性シリコーンマク
ロモノマー、または主鎖に−Cb2b−単位(但し、b
は1〜15の整数)を有し、末端に(メタ)アクリレー
ト基を有する化合物のいずれかが共重合されてなる請求
項1乃至3のいずれかに記載の潤滑層。
5. The fine particles have a number average molecular weight of 1,000.
Radical polymerizable silicone macromonomer having an ethylenically unsaturated group at one terminal of the polyorganosiloxane ~20000 or backbone -C b F 2b, - units (wherein, b
The lubricating layer according to any one of claims 1 to 3, wherein any one of compounds having a (meth) acrylate group at a terminal is copolymerized.
【請求項6】 請求項1乃至5のいずれかに記載の潤滑
層を設けたことを特徴とする情報記録媒体。
6. An information recording medium provided with the lubricating layer according to claim 1.
【請求項7】 潤滑剤が含浸され又は共重合されてなる
多孔性架橋ビニルポリマー系微粒子を含む硬化性樹脂を
塗布し、次いで該樹脂を硬化させることを特徴とする情
報記録媒体の製造方法。
7. A method for producing an information recording medium, comprising applying a curable resin containing porous crosslinked vinyl polymer-based fine particles impregnated or copolymerized with a lubricant, and then curing the resin.
【請求項8】 請求項1乃至5のいずれかに記載の潤滑
層を設けた情報記録媒体と、浮上型ヘッド又は接触型ヘ
ッドからなる情報記録装置。
8. An information recording device comprising an information recording medium provided with the lubricating layer according to claim 1 and a floating head or a contact head.
【請求項9】 請求項1乃至5のいずれかに記載の潤滑
層を設けた情報記録媒体と浮上型ヘッドからなる情報記
録装置。
9. An information recording device comprising an information recording medium provided with a lubricating layer according to claim 1 and a flying head.
JP10337355A 1998-11-27 1998-11-27 Lubricating layer, information recording medium, its production and information recording device Pending JP2000163818A (en)

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