JP2000153489A - Compliance unit - Google Patents

Compliance unit

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JP2000153489A
JP2000153489A JP10326875A JP32687598A JP2000153489A JP 2000153489 A JP2000153489 A JP 2000153489A JP 10326875 A JP10326875 A JP 10326875A JP 32687598 A JP32687598 A JP 32687598A JP 2000153489 A JP2000153489 A JP 2000153489A
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axis direction
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slide
compliance unit
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藤 太 平 佐
Hiroshi Miyaji
地 博 宮
Susumu Takada
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable a compliance unit to compactly and smoothly actuate by providing a compliance function in a Z-axis direction perpendicular to an X-Y plane as well as in the X-Y plane. SOLUTION: In this unit, a slide member guided to move in a Z-axis direction by an inner circumference of a body 1 through a slide element 20 is engaged in the body in a cylindrical form. On the inner side of the slide member, a base plate 32 integrated with a table 31 is slidably disposed in an X-Y plane perpendicular to the Z-axis direction through a plane slide element 30.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ロボットハンドに
よる自動組立等において、部品の嵌挿等の任意部材の相
対的な接触に対する柔軟な対応を実現するためのコンプ
ライアンスユニットに関するものであり、特に、平面的
なXY方向の位置補正機能ばかりでなく、XY平面に垂
直なZ軸方向についてもコンプライアンス機能をもちな
がら、その構成がコンパクト化されたコンプライアンス
ユニットに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a compliance unit for realizing a flexible response to relative contact of arbitrary members such as insertion and insertion of parts in automatic assembly and the like by a robot hand. The present invention relates to a compliance unit having a compact configuration while having a compliance function not only in a planar XY position correction function but also in a Z-axis direction perpendicular to the XY plane.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ロボットハンド等に保持されたワ
ークや工具に、外部からの作用に対する柔軟性を付与す
るため、あるいは、他の任意部材の相対的な接触に対す
る柔軟な対応を実現するために、コンプライアンスユニ
ットが用いられている。このコンプライアンスユニット
は、平面的なXY方向の位置補正機能を有するものが一
般的であるが、その利用の多様化に伴い、XY平面に垂
直なZ軸方向についてもコンプライアンス機能をもたせ
ることが望まれ、しかも、それをコンパクトな構造で実
現することが望まれている。
2. Description of the Related Art Conventionally, in order to impart flexibility to an external action to a workpiece or a tool held by a robot hand or the like, or to flexibly cope with relative contact of another arbitrary member. In addition, a compliance unit is used. This compliance unit generally has a planar position correction function in the XY directions. However, with the diversification of its use, it is desired to provide a compliance function also in the Z axis direction perpendicular to the XY plane. Moreover, it is desired to realize it with a compact structure.

【0003】また、上記Z軸方向にもコンプライアンス
機能をもたせ、例えば、任意部材の穴に他の部材を嵌挿
する場合などにおいては、一方の部材を保持するテーブ
ルが傾斜することなく、XY平面及びZ軸方向のコンプ
ライアンス機能を発揮することが求められ、即ち、テー
ブルに対してそれを傾斜させる方向の力が作用し、ある
いは、テーブルの中心からある程度外れた位置に偏荷重
が作用しても、円滑にXY平面内及びZ軸方向に作動し
て、コンプライアンス機能を失わないことが要求され
る。
A compliance function is also provided in the Z-axis direction. For example, when another member is inserted into a hole of an arbitrary member, the table holding one member does not tilt, and the table holding one member does not tilt. And it is required to exhibit a compliance function in the Z-axis direction. That is, even if a force is applied to the table in a direction to incline the table, or an eccentric load is applied to a position slightly deviated from the center of the table. It is required to operate smoothly in the XY plane and the Z-axis direction so as not to lose the compliance function.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる要求
を満たすためになされたもので、その技術的課題は、基
本的には、上記XY平面内ばかりでなく、その平面に垂
直なZ軸方向についてもコンプライアンス機能をもたせ
たコンプライアンスユニットを提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to satisfy such a demand, and its technical problem is not only in the XY plane but also in the Z axis perpendicular to the plane. It is another object of the present invention to provide a compliance unit having a compliance function in the direction.

【0005】本発明の更に具体的な技術的課題は、上記
Z軸方向のコンプライアンス機能を付与し、更に当該Z
軸方向に駆動するシリンダを組み込むに際し、装置のコ
ンパクト化を実現したコンプライアンスユニットを提供
することにある。本発明の他の技術的課題は、中心より
ずれた位置などに荷重点があっても円滑にXY平面内及
びZ軸方向に作動し、コンプライアンス機能を失わない
ようにしたコンプライアンスユニットを提供することに
ある。
A more specific technical object of the present invention is to provide a compliance function in the Z-axis direction,
An object of the present invention is to provide a compliance unit that realizes a compact apparatus when incorporating a cylinder that is driven in the axial direction. Another technical object of the present invention is to provide a compliance unit that operates smoothly in the XY plane and in the Z-axis direction even if there is a load point at a position deviated from the center so that the compliance function is not lost. It is in.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明のコンプライアンスユニットは、円筒状をなす
ボディ内に、スライド要素を介して該ボディの内周によ
り軸方向移動をガイドさせた摺動部材を嵌装し、上記摺
動部材の内側に、平面スライド要素を介して、テーブル
と一体化したベース板を、上記摺動部材の移動方向であ
るZ軸方向と直交するXY平面内において摺動自在に配
設したことを特徴とするものである。上記コンプライア
ンスユニットにおいては、ボディに軸線をZ軸方向に向
けた空気圧シリンダを一体的に設け、該シリンダ内への
圧縮空気の給排により駆動されるピストンと摺動部材と
を一体化することができる。
A compliance unit according to the present invention for solving the above-mentioned problems is a slide unit in which a cylindrical body is guided in an axial direction by an inner periphery of the body via a slide element. A moving member is fitted, and a base plate integrated with a table is placed inside the sliding member via a plane sliding element in an XY plane orthogonal to a Z-axis direction which is a moving direction of the sliding member. It is characterized by being slidably disposed. In the compliance unit, a pneumatic cylinder whose axis is oriented in the Z-axis direction is provided integrally with the body, and a piston driven by supply and discharge of compressed air into and from the cylinder is integrated with a sliding member. it can.

【0007】また、上記コンプライアンスユニットにお
いては、ボディの内周において摺動部材の軸方向移動を
ガイドするスライド要素を、円筒状をなすボディと摺動
部材との間のリテーナに多数の鋼球を保持させることに
より構成し、該鋼球を摺動部材の軸方向両端部に対応さ
せて該摺動部材の全周に多数配設することができ、ま
た、摺動部材の内側においてベース板をXY平面内にお
いて摺動自在とする平面スライド要素を、上記ベース板
の両面に配設したリテーナに多数の鋼球を保持させるこ
とにより構成し、このベース板及び平面スライド要素
を、摺動部材を構成するところの摺動部材本体とそれに
スぺーサを介して固定したカバー板との間に保持させる
ことができる。
Further, in the compliance unit, a slide element for guiding the axial movement of the slide member on the inner periphery of the body is provided, and a large number of steel balls are provided on a retainer between the cylindrical body and the slide member. By holding the steel plate, a large number of steel balls can be arranged on the entire periphery of the sliding member corresponding to both axial ends of the sliding member, and a base plate is provided inside the sliding member. A planar slide element that is slidable in the XY plane is configured by holding a large number of steel balls on retainers disposed on both sides of the base plate, and the base plate and the planar slide element are formed by a sliding member. It can be held between the sliding member body to be configured and the cover plate fixed thereto via a spacer.

【0008】上記構成を有するコンプライアンスユニッ
トは、円筒状をなすボディ内に、スライド要素を介して
該ボディの内周により軸方向移動をガイドさせた摺動部
材を嵌装し、この摺動部材の内側にテーブルと一体化し
たベース板をXY平面内において摺動自在に保持させて
いるので、コンパクトな構造で、XY平面内ばかりでな
く、その平面に垂直なZ軸方向についてもコンプライア
ンス機能をもたせることができる。このコンプライアン
スユニットのボディに、軸線をZ軸方向に向けた空気圧
シリンダを一体的に設け、該シリンダ内への圧縮空気の
給排によりピストンを駆動可能にする場合にも、同様に
コンパクトに形成できる。
In the compliance unit having the above structure, a sliding member whose axial movement is guided by the inner periphery of the body via a sliding element is fitted in a cylindrical body. Because the base plate integrated with the table is slidably held in the XY plane on the inside, it has a compact structure and has a compliance function not only in the XY plane but also in the Z-axis direction perpendicular to the plane. be able to. In a case where a pneumatic cylinder whose axis is oriented in the Z-axis direction is integrally provided on the body of the compliance unit and the piston can be driven by supplying and discharging compressed air into the cylinder, the piston can be similarly made compact. .

【0009】また、上記コンプライアンスユニットにお
いて、摺動部材の軸方向移動をガイドするスライド要素
を、円筒状をなすボディと摺動部材との間のリテーナに
多数の鋼球を保持させることにより構成し、該鋼球を摺
動部材の軸方向両端部に対応させて該摺動部材の全周に
多数配設すると、摺動部材の軸方向両端部に鋼球が離間
して配設されるので、摺動部材の姿勢の安定化が図ら
れ、テーブル中心よりずれた位置などに荷重点があって
も、該テーブルが円滑にXY平面内及びZ軸方向に作動
し、コンプライアンス機能を失うことはない。
In the above compliance unit, the sliding element for guiding the sliding member in the axial direction is constituted by holding a large number of steel balls in a retainer between the cylindrical body and the sliding member. When a large number of the steel balls are arranged on the entire circumference of the sliding member in correspondence with both ends in the axial direction of the sliding member, the steel balls are arranged at both ends in the axial direction of the sliding member. Therefore, even if there is a load point at a position deviated from the center of the table, the table operates smoothly in the XY plane and in the Z-axis direction, and the compliance function is lost. Absent.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】図1ないし図3は、本発明に係る
コンプライアンスユニットの第1実施例を示している。
この第1実施例のコンプライアンスユニットは、産業用
ロボットのハンドH等に取付けられる実質的に円筒状の
ボディ1を備えている。このボディ1は、ハンドHの一
部と協働して空気圧シリンダ6を構成するシリンダ部2
と、内部に収容した摺動部材10の軸方向(Z軸方向)
移動をガイドする耐摩耗性のガイド筒部3とをボルト7
で連結し、更に、そのガイド筒部3の先端に円環状をな
すエンドプレート4をボルト8で連結することにより構
成したものである。
1 to 3 show a first embodiment of a compliance unit according to the present invention.
The compliance unit according to the first embodiment includes a substantially cylindrical body 1 attached to a hand H or the like of an industrial robot. The body 1 includes a cylinder portion 2 which forms a pneumatic cylinder 6 in cooperation with a part of the hand H.
And the axial direction of the sliding member 10 housed therein (Z-axis direction)
A bolt 7 is attached to the wear-resistant guide cylinder 3 for guiding the movement.
And further, an annular end plate 4 is connected to the tip of the guide tube portion 3 with a bolt 8.

【0011】上記ボディ1内に嵌装し、スライド要素2
0を介して該ボディ1の内周により軸方向移動をガイド
させた摺動部材10は、ピストン12を一体化して設け
た摺動部材本体11と、該摺動部材本体11に対してス
ぺーサ13を介して固定したカバー板14とを備え、そ
れらをボルト16,17により固定している。なお、符
号18,19は、摺動部材本体11とスぺーサ13、及
びスぺーサ13とカバー板14の固定時の位置決めに用
いるピンを示している。
A slide element 2 fitted in the body 1
The sliding member 10, whose axial movement is guided by the inner periphery of the body 1 through the sliding member 0, has a sliding member body 11 integrally provided with a piston 12 and a sliding member with respect to the sliding member body 11. And a cover plate 14 fixed through a cover 13, which are fixed by bolts 16 and 17. Reference numerals 18 and 19 indicate pins used for positioning the sliding member body 11 and the spacer 13 and for fixing the spacer 13 and the cover plate 14 at the time of fixing.

【0012】そして、上記シリンダ部2内には、摺動部
材本体11と一体化した上記ピストン12を摺動自在に
収容すると共に、該ピストン12の外側(ハンドHにお
けるボディ1の取付け面との間)の圧力室22に圧縮空
気を給排して該ピストン12を軸線方向に駆動するため
の、給排ポート23を備えている。なお、上記ピストン
12の周囲にはピストンパッキン12aを嵌装してい
る。上記空気圧シリンダ6は、圧力室22に圧縮空気を
給排する給排ポート23を備えているが、ピストン12
の復帰のための手段を備えていない。これは、この第1
実施例では、必要に応じて、外部からの力によってピス
トン12が復帰駆動されることを前提としているためで
ある。
The piston 12 integrated with the sliding member main body 11 is slidably accommodated in the cylinder portion 2 and the piston 12 is slidably accommodated outside the piston 12 (with respect to the mounting surface of the hand H on which the body 1 is mounted). The pressure chamber 22 is provided with a supply / discharge port 23 for supplying / discharging compressed air to / from the pressure chamber 22 to drive the piston 12 in the axial direction. A piston packing 12a is fitted around the piston 12. The pneumatic cylinder 6 has a supply / discharge port 23 for supplying / discharging compressed air to / from the pressure chamber 22.
It does not have any means for returning. This is the first
This is because the embodiment presupposes that the piston 12 is driven to return by an external force as necessary.

【0013】上記ボディ1におけるガイド筒部3内に
は、スライド要素20を介して該ガイド筒部3の内周に
より軸方向移動をガイドされる摺動部材10、即ち、摺
動部材本体11、スぺーサ13及びカバー板14を嵌装
しているが、このスライド要素20は、ボディ1のガイ
ド筒部3と摺動部材10との間の円筒状のリテーナ25
に設けた孔25aに多数の鋼球26を保持させることに
より構成し、該鋼球26を摺動部材10の軸方向両端部
の近傍に対応させて、該摺動部材10の全周に多数配設
している。また、該リテーナ25には、その周囲上下端
に等間隔で多数のばね収容穴25bを穿設し、それらの
ばね収容穴25bにそれぞれリターンスプリング28を
収容して、それらの外端をシリンダ部2とエンドプレー
ト4に保持させ、リテーナ25にそれを常に中立位置に
保持するための付勢力を付与している。従って、リテー
ナ25は摺動部材10のZ軸方向の移動に随伴してその
方向に移動するが、それに摺動部材10からの力が作用
しなくなったときには常に中立位置に復帰する。
A sliding member 10, that is, a sliding member main body 11, which is guided in an axial direction by an inner periphery of the guide cylindrical portion 3 through a sliding element 20, is provided in a guide cylindrical portion 3 of the body 1. The spacer 13 and the cover plate 14 are fitted. The slide element 20 is a cylindrical retainer 25 between the guide cylinder 3 of the body 1 and the slide member 10.
A plurality of steel balls 26 are held in holes 25 a provided in the sliding member 10, and the steel balls 26 are arranged around the entire periphery of the sliding member 10 so as to correspond to the vicinity of both axial ends of the sliding member 10. It is arranged. In the retainer 25, a number of spring receiving holes 25b are formed at equal intervals at the upper and lower ends of the periphery, and return springs 28 are respectively housed in the spring receiving holes 25b, and the outer ends thereof are connected to the cylinder portion. 2 and the end plate 4, and a biasing force is applied to the retainer 25 to always keep it at the neutral position. Accordingly, the retainer 25 moves in the direction along with the movement of the sliding member 10 in the Z-axis direction, but always returns to the neutral position when the force from the sliding member 10 stops acting thereon.

【0014】また、上記摺動部材10の内側には、Z軸
に対して直交するXY平面内における位置補正機能、即
ちコンプライアンス機能をもたせたテーブル31を保持
させている。このテーブル31は、それにボルト33に
よって固定一体化したベース板32を備え、このベース
板32において周囲に突出する円板状部分を、その表裏
面に当接した一対の平面スライド要素30を介して、ガ
イド筒部3内にZ軸方向移動をガイドされた摺動部材1
0における摺動部材本体11とカバー板14との間に嵌
装することにより、摺動部材10の移動方向であるZ軸
方向と直交するXY平面内において、任意方向に摺動自
在に保持させたものである。上記平面スライド要素30
は、円環板をなす軟質材のリテーナ35に多数の鋼球3
6を等間隔に保持させたものである。
A table 31 having a position correcting function in the XY plane orthogonal to the Z axis, that is, a compliance function, is held inside the sliding member 10. The table 31 includes a base plate 32 fixed and integrated with bolts 33, and a disk-shaped portion of the base plate 32 protruding around the base plate 32 via a pair of flat slide elements 30 abutting on the front and back surfaces thereof. Sliding member 1 guided in Z-axis direction movement in guide cylinder 3
In the XY plane orthogonal to the Z-axis direction, which is the moving direction of the sliding member 10, the sliding member 10 is slidably held in any direction by being fitted between the sliding member main body 11 and the cover plate 14 at the same time. It is a thing. The flat slide element 30
A large number of steel balls 3 are attached to a soft material retainer 35 forming an annular plate.
6 are held at equal intervals.

【0015】従って、テーブル31はXY平面内におけ
るコンプライアンス機能を有するばかりでなく、前述の
ように、テーブル31を保持する摺動部材10を、ガイ
ド筒部3にスライド要素20を介してZ軸方向移動をガ
イドさせているので、Z軸方向についてもコンプライア
ンス機能が付与される。なお、このZ軸方向のコンプラ
イアンス機能は、上記ピストン12の圧力室22に適宜
低圧空気を導入し、その作用力を外部からのテーブル3
1に対する力に対向させることもできる。上記ピストン
12はその圧力室22に圧縮空気を供給してテーブル3
1をZ軸方向に駆動できることは勿論である。
Therefore, the table 31 not only has a compliance function in the XY plane, but also slides the slide member 10 holding the table 31 on the guide cylinder 3 via the slide element 20 in the Z-axis direction as described above. Since the movement is guided, a compliance function is also provided in the Z-axis direction. The Z-axis compliance function is such that low-pressure air is appropriately introduced into the pressure chamber 22 of the piston 12 and the action force is applied to the table 3 from the outside.
1 can also be opposed. The piston 12 supplies compressed air to the pressure chamber 22 so that the table 3
1 can be driven in the Z-axis direction.

【0016】また、上記摺動部材本体11におけるテー
ブル31側の面には、凹円錐面状のボール受け39を有
する数個のボールベース38を設け、テーブル31にお
ける対応位置に保持させたボール40を、その背後に配
設したスプリング41で上記ボール受け39内に圧嵌す
ることにより、テーブル31を常に原点位置に保持する
ように付勢している。図2において、カバー板14に設
けた平行ピン43は、エンドプレート4の凹溝に嵌入し
て摺動部材10のボディ1に対する回転許容範囲を設定
し、また、ボディ1に設けた平行ピン44は、テーブル
31の凹溝に嵌入して、ボディ1に対するZ軸回りのテ
ーブル31の回転許容範囲を設定している。
On the surface of the sliding member main body 11 on the table 31 side, several ball bases 38 having a concave conical ball receiver 39 are provided, and balls 40 held at corresponding positions on the table 31 are provided. Is pressed into the ball receiver 39 by a spring 41 disposed behind the spring to bias the table 31 so as to always maintain the table 31 at the origin position. In FIG. 2, a parallel pin 43 provided on the cover plate 14 fits into a concave groove of the end plate 4 to set an allowable rotation range of the sliding member 10 with respect to the body 1, and a parallel pin 44 provided on the body 1. Is set in the concave groove of the table 31 to set an allowable rotation range of the table 31 around the Z axis with respect to the body 1.

【0017】上記構成を有する第1実施例のコンプライ
アンスユニットは、円筒状をなすボディ1内に、スライ
ド要素20を介して該ボディ1の内周によりZ軸方向移
動をガイドさせた摺動部材10を嵌装し、この摺動部材
10の内側に、テーブル31と一体化したベース板32
をXY平面内において任意方向に摺動自在に保持させて
いるので、Z軸方向のコンプライアンス機能を付与する
ための部材を、XY平面内でのコンプライアンス機能を
もたせる部材に対し、コンパクトな構造のものとして組
み込むことができる。また、このコンプライアンスユニ
ットのボディ1に、軸線をZ軸方向に向けた空気圧シリ
ンダ6を一体的に設けるのも、同様にコンパクトに形成
できる。
The compliance unit according to the first embodiment having the above-described structure includes a sliding member 10 in which the Z-axis direction movement is guided inside the cylindrical body 1 by the inner circumference of the body 1 via the sliding element 20. And a base plate 32 integrated with the table 31 is provided inside the sliding member 10.
Is slidably held in any direction in the XY plane, so that the member for providing the compliance function in the Z-axis direction has a more compact structure than the member having the compliance function in the XY plane. Can be incorporated as Also, the pneumatic cylinder 6 whose axis is oriented in the Z-axis direction is integrally provided on the body 1 of the compliance unit, and it can be similarly formed compact.

【0018】さらに、上記コンプライアンスユニットに
おいて、摺動部材10のZ軸方向移動をガイドするスラ
イド要素20を、円筒状をなすボディ1と摺動部材10
との間のリテーナ25に多数の鋼球26を保持させるこ
とにより構成し、該鋼球26を摺動部材10の軸方向両
端部に対応させて、該摺動部材10の全周に多数配設
し、それにより摺動部材10の軸方向両端部に鋼球26
が離間して配設されるようにしているので、摺動部材1
0はZ軸方向の摺動が円滑であるばかりでなく、摺動部
材10にそれを傾斜させる方向力が作用し、あるいは、
テーブル31の中心よりずれた位置などに荷重が作用す
ることがあったとしても、摺動部材10の姿勢が安定化
し、該テーブル31が円滑にXY平面内及びZ軸方向に
作動し、コンプライアンス機能が達成される。
Further, in the compliance unit, the sliding element 20 for guiding the movement of the sliding member 10 in the Z-axis direction is replaced with the cylindrical body 1 and the sliding member 10.
A large number of steel balls 26 are arranged on the entire circumference of the sliding member 10 so as to correspond to both ends of the sliding member 10 in the axial direction. The sliding member 10 is provided with steel balls 26 at both ends in the axial direction.
Are arranged apart from each other, so that the sliding member 1
0 indicates that not only the sliding in the Z-axis direction is smooth, but also a directional force acting on the sliding member 10 to incline it, or
Even if a load is applied to a position shifted from the center of the table 31, the posture of the sliding member 10 is stabilized, and the table 31 smoothly operates in the XY plane and the Z-axis direction, and Is achieved.

【0019】図4は、本発明に係るコンプライアンスユ
ニットの第2実施例を示している。この第2実施例のコ
ンプライアンスユニットは、図1の第1実施例の場合と
同様に、産業用ロボットのハンド等に取付けられる実質
的に円筒状のボディ51を備えているが、このボディ5
1は、独立に空気圧シリンダ56を構成するシリンダ部
52と、内部に収容した摺動部材60の軸方向(Z軸方
向)移動をガイドする耐摩耗性のガイド筒部53とを連
結し、更に、そのガイド筒部53の先端に円環状をなす
エンドプレート54を連結することにより構成したもの
である。
FIG. 4 shows a second embodiment of the compliance unit according to the present invention. The compliance unit of the second embodiment has a substantially cylindrical body 51 attached to the hand of an industrial robot, as in the case of the first embodiment of FIG.
1 connects the cylinder portion 52 independently constituting the pneumatic cylinder 56 and a wear-resistant guide cylinder portion 53 for guiding the axial movement (Z-axis direction) of the sliding member 60 housed therein, An annular end plate 54 is connected to the end of the guide cylinder 53.

【0020】上記ボディ51内に嵌装して軸方向移動を
ガイドさせた摺動部材60は、シリンダ部52内のピス
トン62とは別体に形成した摺動部材本体61を備え、
この摺動部材本体61とピストン62とを、ピストン6
2の中心に設けたねじにより相互に連結して、その連結
部を空気圧シリンダ56のロッド側端壁56aに気密に
挿入し、それを貫通させている。これにより、シリンダ
部52内には、ピストン62の両側に圧力室72a,7
2bが形成され、シリンダ部52には、それらの圧力室
72a,72bにそれぞれ圧縮空気を給排して該ピスト
ン62を軸線方向に駆動及び復帰させるための給排ポー
ト73a,73bを設けている。
The sliding member 60 fitted in the body 51 to guide the axial movement is provided with a sliding member main body 61 formed separately from the piston 62 in the cylinder portion 52.
The sliding member main body 61 and the piston 62 are
The two parts are connected to each other by screws provided at the center, and the connection part is airtightly inserted into the rod-side end wall 56a of the pneumatic cylinder 56 and penetrated therethrough. Thereby, the pressure chambers 72a, 7a are provided on both sides of the piston 62 in the cylinder portion 52.
The cylinder portion 52 is provided with supply / discharge ports 73a, 73b for supplying and discharging compressed air to the pressure chambers 72a, 72b to drive and return the piston 62 in the axial direction. .

【0021】この空気圧シリンダ56は、圧力室72
a,72bへの圧縮空気の給排により駆動、復帰させる
ことができるものであるが、その他の機能及び作用は前
記第1実施例の場合と変わるところがない。また、この
第2実施例の上記以外の構成及び作用も、前記第1実施
例の場合と変わるところがない。従って、図4の第2実
施例において、第1実施例と同一または対応する主要部
分に第1実施例と同一の符号を付し、それらの説明を省
略する。
The pneumatic cylinder 56 includes a pressure chamber 72
Although it can be driven and returned by supplying and discharging compressed air to the a and 72b, other functions and operations are the same as those of the first embodiment. In addition, the configuration and operation of the second embodiment other than those described above are the same as those of the first embodiment. Therefore, in the second embodiment of FIG. 4, the same or corresponding main parts as those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals as those of the first embodiment, and description thereof will be omitted.

【0022】[0022]

【発明の効果】以上に詳述したように、本発明のコンプ
ライアンスユニットによれば、XY平面内ばかりでな
く、その平面に垂直なZ軸方向についてもコンプライア
ンス機能をもたせたコンプライアンスユニットを得るこ
とができ、しかも、それらのコンプライアンス機能を備
えたコンプライアンスユニットを、コンパクト化された
構造で、中心よりずれた位置などに荷重点があっても円
滑にXY平面内及びZ軸方向に作動し、コンプライアン
ス機能を失わないようにしたコンプライアンスユニット
を得ることができる。
As described above in detail, according to the compliance unit of the present invention, it is possible to obtain a compliance unit having a compliance function not only in the XY plane but also in the Z-axis direction perpendicular to the plane. The compliance unit with these compliance functions can be operated in the XY plane and the Z-axis direction smoothly even if there is a load point at a position deviated from the center with a compact structure. And a compliance unit that does not lose data.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るコンプライアンスユニットの第1
実施例の構成を示す断面図である。
FIG. 1 shows a first example of a compliance unit according to the present invention.
It is sectional drawing which shows the structure of an Example.

【図2】上記第1実施例の他の位置での断面図である。FIG. 2 is a sectional view at another position of the first embodiment.

【図3】上記第1実施例の構成を示す部分破断斜視図で
ある。
FIG. 3 is a partially broken perspective view showing the configuration of the first embodiment.

【図4】本発明に係るコンプライアンスユニットの第2
実施例の構成を示す断面図である。
FIG. 4 shows a second example of the compliance unit according to the present invention.
It is sectional drawing which shows the structure of an Example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,51 ボディ 6,56 空気圧シリンダ 10,60 摺動部材 11,61 摺動部材本体 12,62 ピストン 13 スぺーサ 14 カバー板 20 スライド要素 25,35 リテーナ 26,36 鋼球 30 平面スライド要素 31 テーブル 32 ベース板 1,51 Body 6,56 Pneumatic cylinder 10,60 Sliding member 11,61 Sliding member body 12,62 Piston 13 Spacer 14 Cover plate 20 Slide element 25,35 Retainer 26,36 Steel ball 30 Flat slide element 31 Table 32 Base plate

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高 田 進 茨城県筑波郡谷和原村絹の台4−2−2 エスエムシー株式会社筑波技術センター内 Fターム(参考) 3F060 FA11 3J101 AA02 AA32 AA43 AA52 AA53 AA62 AA72 AA73 BA34 BA35 BA44 GA32  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Susumu Takada, Inventor 4-2-2 Kinudai, Taniwara-mura, Tsukuba-gun, Ibaraki F-Term in Tsukuba Technical Center, SMC Corporation 3F060 FA11 3J101 AA02 AA32 AA43 AA52 AA53 AA62 AA72 AA73 BA34 BA35 BA44 GA32

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】円筒状をなすボディ内に、スライド要素を
介して該ボディの内周により軸方向移動をガイドさせた
摺動部材を嵌装し、上記摺動部材の内側に、平面スライ
ド要素を介して、テーブルと一体化したベース板を、上
記摺動部材の移動方向であるZ軸方向と直交するXY平
面内において摺動自在に配設した、ことを特徴とするコ
ンプライアンスユニット。
A sliding member whose axial movement is guided by an inner periphery of the body via a sliding element is fitted in a cylindrical body, and a flat sliding element is provided inside the sliding member. A base plate integrated with the table is slidably disposed in an XY plane orthogonal to the Z-axis direction, which is the direction of movement of the sliding member, via the base unit.
【請求項2】請求項1に記載のコンプライアンスユニッ
トにおいて、 ボディに軸線をZ軸方向に向けた空気圧シリンダを一体
的に設け、該シリンダ内への圧縮空気の給排により駆動
されるピストンと摺動部材とを一体化した、ことを特徴
とするコンプライアンスユニット。
2. The compliance unit according to claim 1, wherein a pneumatic cylinder having an axis oriented in the Z-axis direction is integrally provided on the body, and a piston and a slide driven by the supply and discharge of compressed air into the cylinder. A compliance unit characterized by integrating a moving member.
【請求項3】請求項1または2に記載のコンプライアン
スユニットにおいて、 ボディの内周において摺動部材の軸方向移動をガイドす
るスライド要素を、円筒状をなすボディと摺動部材との
間のリテーナに多数の鋼球を保持させることにより構成
し、該鋼球を摺動部材の軸方向両端部に対応させて該摺
動部材の全周に多数配設した、ことを特徴とするコンプ
ライアンスユニット。
3. The compliance unit according to claim 1, wherein a slide element for guiding an axial movement of the slide member at an inner periphery of the body is provided between the cylindrical body and the slide member. A plurality of steel balls are provided on the entire circumference of the sliding member so as to correspond to both axial ends of the sliding member.
【請求項4】請求項1ないし3のいずれかに記載のコン
プライアンスユニットにおいて、 摺動部材の内側においてベース板をXY平面内において
摺動自在とする平面スライド要素を、上記ベース板の両
面に配設したリテーナに多数の鋼球を保持させることに
より構成し、このベース板及び平面スライド要素を、摺
動部材を構成するところの摺動部材本体とそれにスぺー
サを介して固定したカバー板との間に保持させた、こと
を特徴とするコンプライアンスユニット。
4. The compliance unit according to claim 1, wherein a planar slide element for slidably moving the base plate in the XY plane inside the slide member is provided on both sides of the base plate. The base plate and the planar slide element are constituted by holding a large number of steel balls in a retainer provided, and a sliding member body constituting the sliding member and a cover plate fixed thereto via a spacer. A compliance unit characterized by being held between.
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