JP2000143983A - Laminated material for circuit - Google Patents

Laminated material for circuit

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JP2000143983A
JP2000143983A JP10331980A JP33198098A JP2000143983A JP 2000143983 A JP2000143983 A JP 2000143983A JP 10331980 A JP10331980 A JP 10331980A JP 33198098 A JP33198098 A JP 33198098A JP 2000143983 A JP2000143983 A JP 2000143983A
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laminate material
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武司 橋本
Masaharu Kobayashi
正治 小林
Takeshi Sato
健 佐藤
Daisuke Orino
大輔 織野
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain the subject material having a low dielectric constant, excellent heat resistance, sufficient peel strength at a room temperature, not causing scattering of resin in cutting, etc., having excellent handleability by laminating an adhesion layer of a specific composition to one side of a releasable film. SOLUTION: This material is obtained by laminating an adhesion layer composed of (A) a siloxane-modified polyimide, (B) a compound containing three allyl groups or methylallyl groups of formula I (R is H or methyl) and (C) a compound containing two or more maleimides to one side of a releasable film or a metal foil. A siloxane-modified polyimide comprising 90-40 mol% of a unit of formula II (X is O, CO or the like; Ar is a bifunctional group such as a group of formula III or the like) and 10-60 mol% of a unit of formula IV (R is -CH2OC6H4- in which methylene is bonded to Si or a 1-10C alkylene; n is 1-20) is preferable as the component A. Preferably the total of the components B and C is 10-900 pts.wt. based on 100 pts.wt. of the component A and the amount of methylallyl of the component B is 0.1-2 mol equivalent based on 1 mol equivalent maleimide of the component C.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板に
使用するための低誘電率、低誘電正接であり、かつ金属
への接着性に優れ、作業時に樹脂の飛散がきわめて少な
い剥離性フィルムまたは金属箔の上に接着層を設けた回
路積層材料に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a releasable film which has a low dielectric constant and a low dielectric loss tangent for use in a printed wiring board, has excellent adhesion to metal, and has very little resin scattering during operation. The present invention relates to a circuit laminate material provided with an adhesive layer on a metal foil.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子機器等に用いられている多層プリン
ト配線板は、内層にも電気回路を有する配線板である。
この多層プリント配線板は、あらかじめ回路を形成した
内層回路板と外層回路用銅箔とを、プリプレグを間に挟
んで熱圧成形することにより得た内層回路入り多層銅張
積層板の外層に回路形成して得られる。このプリプレグ
には、従来、ガラスクロス基材エポキシ樹脂プリプレグ
が用いられている。近年、電子機器の信号スピード及び
作動周波数が飛躍的に増加してきているので、高周波領
域で用いられる電子機器、特に小型軽量化を要求される
電子機器には、微細配線形成のために、耐熱性に優れ、
低誘電率、低誘電正接の薄型の回路積層材料が望まれて
いる。低誘電材料を使用した薄型の回路積層材料は電気
信号の伝搬速度を早くすることができるため、より速い
スピードで信号の処理を行うことができるようになる。
2. Description of the Related Art A multilayer printed wiring board used for electronic equipment and the like is a wiring board having an electric circuit also in an inner layer.
This multi-layer printed wiring board is composed of a circuit formed on the outer layer of a multi-layer copper-clad laminate containing an inner circuit obtained by hot-pressing an inner circuit board having a circuit formed in advance and a copper foil for an outer circuit with a prepreg interposed therebetween. Obtained by forming. Conventionally, a glass cloth-based epoxy resin prepreg is used for the prepreg. In recent years, the signal speed and operating frequency of electronic devices have been dramatically increased, so that electronic devices used in a high-frequency region, especially electronic devices required to be small and light, require heat resistance to form fine wiring. Excellent,
There is a demand for a thin circuit laminate material having a low dielectric constant and a low dielectric loss tangent. Since a thin circuit laminate material using a low dielectric material can increase the propagation speed of an electric signal, the signal can be processed at a higher speed.

【0003】現在、薄型の多層プリント配線板では、3
0〜100μm厚さの薄型ガラスクロス基材エポキシ樹
脂プリプレグが用いられている。しかし、クロス目が浮
き出しやすく、さらに内層回路基板の凹凸がプリプレグ
内部で吸収できず、外層表面に凹凸が現れやすいため、
表面の平滑性が損なわれ、微細配線形成の障害になって
いる。そこで、従来のガラスクロス基材エポキシ樹脂プ
リプレグを使用する代わりにガラスクロスを含まない接
着フィルムをプリプレグとして使用する方法、あるい
は、予め外層回路用銅箔の片面に接着剤層を積層した樹
脂付き銅箔を外層回路用銅箔とプリプレグとして使用す
る方法がある。これらの接着フィルム及び樹脂付き銅箔
にはフィルム形成能を有する樹脂が使用されており、使
用できる樹脂はフィルム形成能を有する樹脂に限られて
いる。。フィルム形成能を有さないと、接着フィルムの
搬送、切断及び積層等の工程において、樹脂の割れや欠
落等のトラブルを生じやすく、多層板の層間接続用絶縁
材料として用いた際の熱圧形成時に層間絶縁層が内層回
路存在部分で異常に薄くなったり、層間絶縁抵抗の低下
やショート等のトラブルを生じやすくなる。フィルム形
成能を有する樹脂としては、熱可塑性ポリイミド接着フ
ィルム(USP4,543,295)、高分子量エポキ
シ樹脂(特開平4−120135)、アクリロニトリル
ブタジエン共重合体/フェノール樹脂(特開平4−29
393)、フェノール樹脂/ブチラール樹脂(特開平4
−36366)、アクリロニトリルブタジエン共重合体
/エポキシ樹脂(特開平4−41581)などが提案さ
れている。しかし、これらの樹脂は、誘電率特性に問題
があり、より速いスピードで信号の処理を行うことがで
きない。
At present, a thin multilayer printed wiring board has three
A thin glass cloth base epoxy resin prepreg having a thickness of 0 to 100 μm is used. However, the cross eyes are easy to emerge, and the unevenness of the inner layer circuit board cannot be absorbed inside the prepreg, and the unevenness tends to appear on the outer layer surface.
The smoothness of the surface is impaired, which hinders the formation of fine wiring. Therefore, instead of using a conventional glass cloth base epoxy resin prepreg, a method of using an adhesive film containing no glass cloth as a prepreg, or a resin-coated copper in which an adhesive layer is preliminarily laminated on one side of an outer layer copper foil. There is a method of using a foil as a copper foil for an outer layer circuit and a prepreg. Resins having film forming ability are used for these adhesive films and resin-attached copper foils, and usable resins are limited to resins having film forming ability. . If it does not have the ability to form a film, troubles such as cracking or chipping of the resin are likely to occur in the process of transporting, cutting, and laminating the adhesive film. Occasionally, the interlayer insulating layer becomes abnormally thin in the portion where the inner layer circuit is present, or the troubles such as a decrease in interlayer insulating resistance and a short circuit are liable to occur. Examples of the resin having film forming ability include thermoplastic polyimide adhesive film (US Pat. No. 4,543,295), high molecular weight epoxy resin (JP-A-4-120135), acrylonitrile-butadiene copolymer / phenol resin (JP-A-4-29).
393), phenolic resin / butyral resin (Japanese Unexamined Patent Application Publication No.
-36366), acrylonitrile butadiene copolymer / epoxy resin (JP-A-4-41581), and the like. However, these resins have a problem in the dielectric constant characteristics and cannot process signals at a higher speed.

【0004】低誘電樹脂としては、フッ素樹脂、ポリフ
ェニレンエーテル樹脂、熱硬化性の1,2−ポリブタジ
エンを主成分とするポリブタジエン樹脂、ポリフェニレ
ンエーテル樹脂100重量部に対し1,2−ポリブタジ
エン樹脂5〜20重量部、架橋性モノマー5〜10重量
部およびラジカル架橋剤を配合した組成物(特開昭61
−83224)などが提案されているが、耐熱性、作業
性、非フィルム形成能に劣り、実用上問題がある。
As the low dielectric resin, fluorine resin, polyphenylene ether resin, polybutadiene resin having thermosetting 1,2-polybutadiene as a main component, 1,2-polybutadiene resin 5 to 20 parts by weight per 100 parts by weight of polyphenylene ether resin are used. 1 part by weight, a composition containing 5 to 10 parts by weight of a crosslinkable monomer and a radical crosslinking agent.
-83224) have been proposed, but are inferior in heat resistance, workability and non-film forming ability, and have problems in practical use.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、プリ
ント配線に使用するための低誘電率、低誘電正接で金属
への接着性に優れ、フィルム形成能を有する熱硬化性低
誘電樹脂組成物を用いた回路積層材料を提供することに
ある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a thermosetting low-dielectric resin composition having a low dielectric constant, a low dielectric loss tangent, excellent adhesion to metal, and film-forming ability for use in printed wiring. An object of the present invention is to provide a circuit laminate material using a product.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、剥離性フィル
ムの一面または金属箔の少なくとも一面に、成分(a)
シロキサン変性ポリイミドと、成分(b)下記式(1)
で示すアリル基またはメチルアリル基を3個含有する化
合物と、成分(c)マレイミド基を2個以上含有する化
合物とからなる接着層を積層した回路積層材料を提供す
る。
According to the present invention, there is provided a composition comprising a component (a) on one surface of a peelable film or at least one surface of a metal foil.
A siloxane-modified polyimide and a component (b) represented by the following formula (1)
(C) a circuit laminate material comprising an adhesive layer comprising a compound containing three allyl groups or methylallyl groups and a compound containing two or more maleimide groups as the component (c).

【0007】[0007]

【化6】 Embedded image

【0008】さらに本発明において、上記各成分が、成
分(a)100重量部に対して、成分(b)および成分
(c)の総和が10〜900重量部であり、成分(c)
のマレイミド基1モル当量に対する成分(b)のアリル
基またはメチルアリル基が0.1〜2.0モル当量から
なる接着層が特に好ましく使用される。
Further, in the present invention, the total amount of the components (b) and (c) is 10 to 900 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the component (a).
An adhesive layer comprising 0.1 to 2.0 molar equivalents of the allyl group or methylallyl group of the component (b) with respect to 1 molar equivalent of the maleimide group is particularly preferably used.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】まず、本発明の樹脂組成物は、熱
硬化性低誘電樹脂組成物である。この樹脂組成物は、
(a)シロキサン変性ポリイミドと、成分(b)アリル
基もしくはメチルアリル基を3個含有する式(1)に示
す化合物と、成分(c)マレイミド基を2個以上含有す
る化合物とから構成される。シロキサン変性ポリイミド
を使用することにより、樹脂組成物のフィルム形成能が
良くなり、作業時の樹脂の飛散がきわめて少なくなり、
プリント配線板を製造する際、取り扱い性が良くなり、
歩留まりが向上する。本発明に使用されるシロキサン変
性ポリイミドは、下記式(2a)で表される構造単位の
少なくとも1種を90〜40モル%と、下記式(2b)
で表される構造単位の少なくとも1種を10〜60モル
%含有する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, the resin composition of the present invention is a thermosetting low dielectric resin composition. This resin composition is
It comprises (a) a siloxane-modified polyimide, component (b) a compound represented by the formula (1) containing three allyl groups or methylallyl groups, and component (c) a compound containing two or more maleimide groups. By using the siloxane-modified polyimide, the film forming ability of the resin composition is improved, and the scattering of the resin during operation is extremely reduced.
When manufacturing printed wiring boards, handling becomes better,
The yield is improved. The siloxane-modified polyimide used in the present invention contains 90 to 40 mol% of at least one structural unit represented by the following formula (2a) and the following formula (2b)
At least one structural unit represented by the formula:

【0010】[0010]

【化7】 Embedded image

【0011】(式中Xは、直接結合、−O−、−SO
2−、−CO−、−C(CH32−、−C(CF3
2−、−COOCH2CH2OCO−何れかの結合を示
し、Arは芳香環を有する下記式(3)の構造を有する
基群から選ばれる二価の基を、Rはメチレン基がSiに
結合している−CH2OC64−または炭素数1〜10
のアルキレン基を示し、nは1〜20の整数を意味す
る。)。
(Wherein X is a direct bond, -O-, -SO
2 -, - CO -, - C (CH 3) 2 -, - C (CF 3)
2 -, - COOCH 2 CH 2 OCO- either showed binding, Ar is a divalent group selected from Group having a structure according to formula with an aromatic ring (3), R is the methylene group Si Bound —CH 2 OC 6 H 4 — or carbon number 1-10
And n represents an integer of 1 to 20. ).

【0012】[0012]

【化8】 Embedded image

【0013】(式中R1、R2、R3及びR4はそれぞれ同
じでも異なっていてもよく、水素原子、炭素数1〜4の
アルキル基又はアルコキシ基を示すが、これら全ての基
が同時に水素原子であることはない。)。より好ましい
シロキサン変性ポリイミドは、下記式(4a)で表され
る構造単位の少なくとも1種を90〜40モル%と、下
記式(4b)で表される構造単位の少なくとも1種を1
0〜60モル%含有する。
(Wherein R 1 , R 2 , R 3 and R 4 may be the same or different and each represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alkoxy group. It cannot be a hydrogen atom at the same time.) More preferably, the siloxane-modified polyimide has 90 to 40 mol% of at least one structural unit represented by the following formula (4a) and 1 to 40 mol% of the structural unit represented by the following formula (4b).
0-60 mol% is contained.

【0014】[0014]

【化9】 Embedded image

【0015】(式中、Xは四価の芳香族基で3,3’,
4,4’−ジフェニルスルホン構造、3,3’,4,
4’−ビフェニル構造、2,3’,3,4’−ビフェニ
ル構造の何れかを、Arは式(3)のArと同義であ
り、Rは炭素数1〜10のアルキレン基またはメチレン
基がSiに結合している−CH2OC64−を示し、n
は1〜20の整数を意味する。)。本発明のシロキサン
変性ポリイミドは、重量平均分子量が5,000〜50
0,000、ガラス転移点温度が150℃以下、誘電率
が3.0以下のものが好ましい。重量平均分子量が5,
000〜300,000、ガラス転移点温度が140℃
以下、誘電率が3.0以下のもがより好ましく、重量平
均分子量が10,000〜300,000、ガラス転移点
温度が130℃以下、誘電率が3.0以下のもがさらに
好ましい。重量平均分子量が上記範囲の下限より小さく
なると熱安定性が不良になり、耐熱性が低下し、上記範
囲の上限より大きくなると溶融粘度の増大により、樹脂
組成物として使用した場合、作業性、接着性が不良とな
る。ガラス転移点温度が150℃より高くなると溶融温
度が高くなり、作業温度の上昇を招いたり、接着性が不
良となったりする。誘電率が3.0を超えると樹脂組成
物の低誘電化を達成できず、高速度の信号処理に不向き
である。なお、本発明において、ガラス転移点温度は下
記のようにして測定された温度である。 ガラス転移点温度(Tg)の測定条件: 装置:剪断弾性率測定装置(HAAKE社製Rheo Stress RS7
5) 測定温度範囲:−10℃〜300℃ 昇温速度:3℃/min. 測定周波数:1Hz 歪み率:0.01%±0.0025%。
(Wherein X is a tetravalent aromatic group, 3,3 ′,
4,4′-diphenyl sulfone structure, 3,3 ′, 4
In any of the 4′-biphenyl structure and 2,3 ′, 3,4′-biphenyl structure, Ar has the same meaning as Ar in the formula (3), and R represents an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms or a methylene group. -CH 2 OC 6 H 4- bonded to Si, and n
Represents an integer of 1 to 20. ). The siloxane-modified polyimide of the present invention has a weight average molecular weight of 5,000 to 50.
It is preferable that the material has a glass transition temperature of 150 ° C. or less and a dielectric constant of 3.0 or less. Weight average molecular weight of 5,
000-300,000, glass transition temperature 140 ° C
Hereinafter, it is more preferable that the dielectric constant is 3.0 or less, and it is further preferable that the weight average molecular weight is 10,000 to 300,000, the glass transition temperature is 130 ° C. or less, and the dielectric constant is 3.0 or less. When the weight average molecular weight is less than the lower limit of the above range, the thermal stability becomes poor, the heat resistance is reduced, and when the weight average molecular weight is larger than the upper limit of the above range, the melt viscosity increases. Property becomes poor. If the glass transition point temperature is higher than 150 ° C., the melting temperature will increase, leading to an increase in working temperature or poor adhesion. If the dielectric constant exceeds 3.0, the resin composition cannot be reduced in dielectric constant, and is not suitable for high-speed signal processing. In the present invention, the glass transition point temperature is a temperature measured as described below. Measurement conditions of glass transition temperature (Tg): Apparatus: Shear modulus measurement apparatus (Rheo Stress RS7 manufactured by HAAKE)
5) Measurement temperature range: -10 ° C to 300 ° C Heating rate: 3 ° C / min. Measurement frequency: 1 Hz Distortion rate: 0.01% ± 0.0025%.

【0016】本発明に使用するシロキサン変性ポリイミ
ドは、一般的なポリイミドの製造方法を用いることによ
り得ることができる。即ち、各繰り返し構造単位に対応
するテトラカルボン酸二無水物と、各繰り返し構造単位
に対応するジアミン又はジイソシアナートとから製造が
できる。具体的には、テトラカルボン酸二無水物として
ピロメリト酸二無水物、3,3‘、4,4’−ジフェニ
ルスルホンテトラカルボン酸二無水物、3,3‘,4,
4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,
3‘,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水
物、2,3‘,3,4’−ビフェニルテトラカルボン酸
二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エー
テル二無水物、4,4‘−ビス(3,4−ジカルボキシ
フェノキシ)ジフェニルスルホン二無水物、エチレング
リコールビストリメリテート二無水物、2,2−ビス
[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]
プロパン二無水物等を、より好ましくは3,3’,4,
4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、
3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無
水物、2,3’,3,4’−ビフェニルテトラカルボン
酸二無水物を前記の式(3)で表される化合物及び下記
式(6)で表されるシロキサン系化合物とを反応させる
ことにより製造することができる。 (式中、Rは式(2b)のRと同義である)
The siloxane-modified polyimide used in the present invention
Can be obtained by using a general polyimide manufacturing method.
Can be obtained. That is, for each repeating structural unit
Tetracarboxylic dianhydride and each repeating structural unit
Production from diamine or diisocyanate corresponding to
it can. Specifically, as tetracarboxylic dianhydride
Pyromellitic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-diphenyl
Rusulfonetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ‘, 4
4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,
3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride
, 2,3 ', 3,4'-biphenyltetracarboxylic acid
Dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) A
Terdianhydride, 4,4'-bis (3,4-dicarboxy)
Phenoxy) diphenyl sulfone dianhydride, ethylene glycol
Recall bis trimellitate dianhydride, 2,2-bis
[4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl]
And propane dianhydride and the like, more preferably 3,3 ', 4.
4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride,
3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid
Water, 2,3 ', 3,4'-biphenyltetracarboxylic
An acid dianhydride is used as a compound represented by the above formula (3) and
Reacting with the siloxane compound represented by the formula (6)
It can be manufactured by the following. (Wherein, R has the same meaning as R in formula (2b))

【0017】ポリイミドの製造原料として使用する式
(6)で表されるシロキサン系化合物において、官能基
Yがアミノ基であるジアミン類としては、ビス(3−ア
ミノプロピル)テトラメチルジシロキサン、ビス(10
−アミノデカメチレン)テトラメチルジシロキサン、ア
ミノプロピル末端のジメチルシロキサン4量体、8量
体、ビス(3−アミノフェノキシメチル)テトラメチル
ジシロキサン等が挙げられ、これらを併用することも可
能である。
In the siloxane compound represented by the formula (6) used as a raw material for producing polyimide, the diamines in which the functional group Y is an amino group include bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane and bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane. 10
-Aminodecamethylene) tetramethyldisiloxane, aminopropyl-terminated dimethylsiloxane tetramer, octamer, bis (3-aminophenoxymethyl) tetramethyldisiloxane, etc., and these can be used in combination. .

【0018】また、式(6)で表される化合物におい
て、官能基Yがイソシアナート基であるジイソシアナー
ト類としては、上記に示したジアミン類において、「ア
ミノ」を「イソシアナート」に置き換えたものを挙げる
ことができる。上記式(6)で表される化合物におい
て、官能基Yがイソシアナート基であるジイソシアナー
ト類は、上記に例示した対応するジアミンを常法に従い
ホスゲンと反応させることにより容易に製造することが
できる。
In the compounds represented by the formula (6), as the diisocyanates wherein the functional group Y is an isocyanate group, in the diamines shown above, "amino" is replaced by "isocyanate". Can be mentioned. In the compound represented by the above formula (6), diisocyanates in which the functional group Y is an isocyanate group can be easily produced by reacting the corresponding diamine illustrated above with phosgene according to a conventional method. it can.

【0019】シロキサン変性ポリイミドは式(2a)で
示される構成単位の少なくとも一種を90〜40モル%
と、式(2b)で示される構成単位の少なくとも一種を
10〜60モル%とからなることが好ましい。式(2
a)で示されるArを構成できるジアミン類をさらに具
体的に例示すると次の通りである。1、3−ビス[1−
(3−アミノフェニル)−1−メチルエチル]ベンゼ
ン、1、3−ビス[1−(4−アミノフェニル)−1−
メチルエチル]ベンゼン、1、4−ビス[1−(3−ア
ミノフェニル)−1−メチルエチル]ベンゼン、1、4
−ビス[1−(4−アミノフェニル)−1−メチルエチ
ル]ベンゼン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フ
ェニル]スルホン、ビス[4−(4−アミノフェノキ
シ)フェニル]スルホン、2、2−ビス[3−(3−ア
ミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2、2−ビス
[3−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、
2、2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン、2、2−ビス[4−(4−アミノフェノ
キシ)フェニル]プロパン、2、2−ビス[3−(3−
アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパ
ン、2、2−ビス[3−(4−アミノフェノキシ)フェ
ニル]ヘキサフルオロプロパン、2、2−ビス[4−
(3−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプ
ロパン、2、2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)
フェニル]ヘキサフルオロプロパン、4、4’−ジアミ
ノ−3,3’,5,5’−テトラメチルジフェニルメタ
ン、4,4’−ジアミノ−3,3’,5,5’−テトラ
エチルジフェニメタン、4,4’−ジアミノー3,
3’,5,5’−テトラプロピルジフェニルメタン、
4,4’−ジアミノ−3,3’,5,5’−テトライソ
プロピルジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,
3’,5,5’−テトラブチルジフェニルメタン、4、
4’−ジアミノ−3,3’−ジエチル−5,5’−ジメ
チルジフェニルメタン、4,4−ジアミノ−3,3’−
ジメチルジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,
3’−ジエチルジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ
−3,3’,5−5’−テトラメトキシジフェニルメタ
ン、4,4’−ジアミノ−3,3’,5,5’−テトラ
エトキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,
3’,5,5’−テトラプロポキシジフェニルメタン、
4,4−ジアミノ−3,3’,5,5’−テトラブトキ
シジフェニルメタン、4,4’−ジアミノー3,3’−
ジメトキシジフェニルメタン、等である。
The siloxane-modified polyimide contains at least one structural unit represented by the formula (2a) in an amount of 90 to 40 mol%.
And at least one of the structural units represented by the formula (2b) is preferably 10 to 60 mol%. Equation (2
The diamines capable of constituting Ar represented by a) are more specifically exemplified as follows. 1,3-bis [1-
(3-Aminophenyl) -1-methylethyl] benzene, 1,3-bis [1- (4-aminophenyl) -1-
Methylethyl] benzene, 1,4-bis [1- (3-aminophenyl) -1-methylethyl] benzene, 1,4
-Bis [1- (4-aminophenyl) -1-methylethyl] benzene, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 2,2 -Bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] propane,
2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3- (3-
Aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [4-
(3-Aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy)
Phenyl] hexafluoropropane, 4,4'-diamino-3,3 ', 5,5'-tetramethyldiphenylmethane, 4,4'-diamino-3,3', 5,5'-tetraethyldiphenylmethane, 4 , 4'-Diamino-3,
3 ′, 5,5′-tetrapropyldiphenylmethane,
4,4′-diamino-3,3 ′, 5,5′-tetraisopropyldiphenylmethane, 4,4′-diamino-3,
3 ′, 5,5′-tetrabutyldiphenylmethane 4,
4'-diamino-3,3'-diethyl-5,5'-dimethyldiphenylmethane, 4,4-diamino-3,3'-
Dimethyldiphenylmethane, 4,4'-diamino-3,
3'-diethyldiphenylmethane, 4,4'-diamino-3,3 ', 5-5'-tetramethoxydiphenylmethane, 4,4'-diamino-3,3', 5,5'-tetraethoxydiphenylmethane, 4, 4'-diamino-3,
3 ′, 5,5′-tetrapropoxydiphenylmethane,
4,4-diamino-3,3 ', 5,5'-tetrabutoxydiphenylmethane, 4,4'-diamino-3,3'-
And dimethoxydiphenylmethane.

【0020】本発明で使用されるシロキサン変性ポリイ
ミドは、次の様にして製造することができる。原料とし
て、テトラカルボン酸二無水物とジアミンとを使用する
場合、これらを有機溶媒中、必要に応じてトリブチルア
ミン、トリエチルアミン、亜リン酸トリフェニル等の触
媒存在下(反応物の20重量部以下)で、100℃以
上、好ましくは180℃以上に加熱し、直接ポリイミド
を得る方法、テトラカルボン酸二無水物とジアミンとを
有機溶媒中、100℃以下で反応させポリイミドの前駆
体であるポリアミド酸を得た後、必要に応じてp−トル
エンスルホン酸等の脱水触媒(テトラカルボン酸二無水
物の1〜5倍モル)を加え、加熱によりイミド化を行う
ことでポリイミドを得る方法、或いはこのポリアミド酸
を、無水酢酸、無水プロピオン酸、無水安息香酸等の酸
無水物、ジシクロヘキシルカルボジイミド等のカルボジ
イミド化合物等の脱水閉環剤と、必要に応じてピリジ
ン、イソキノリン、イミダゾール、トリエチルアミン等
の閉環触媒(脱水閉環剤及び閉環触媒はテトラカルボン
酸二無水物の2〜10倍モル)を添加して、比較的低温
(室温〜100℃程度)で化学閉環させる方法等があ
る。
The siloxane-modified polyimide used in the present invention can be produced as follows. When tetracarboxylic dianhydride and diamine are used as raw materials, they may be used in an organic solvent in the presence of a catalyst such as tributylamine, triethylamine, or triphenyl phosphite as needed (20 parts by weight or less of the reactant). ), Heating to 100 ° C. or higher, preferably 180 ° C. or higher to directly obtain a polyimide; a polyamic acid which is a precursor of polyimide by reacting tetracarboxylic dianhydride and diamine in an organic solvent at 100 ° C. or lower Is obtained, if necessary, a dehydration catalyst such as p-toluenesulfonic acid (1 to 5 times the molar amount of tetracarboxylic dianhydride) is added, and a polyimide is obtained by imidation by heating, or Polyamic acid is converted to an acid anhydride such as acetic anhydride, propionic anhydride or benzoic anhydride, or a carbodiimide compound such as dicyclohexylcarbodiimide. And a ring-closing catalyst such as pyridine, isoquinoline, imidazole, triethylamine (dehydration ring-closing agent and ring-closing catalyst are 2 to 10 moles of tetracarboxylic dianhydride) as needed. There is a method of chemically ring closing at a low temperature (from room temperature to about 100 ° C.).

【0021】上記の反応に用いる有機溶媒としては、N
−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトア
ミド、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホ
キシド、スルホラン、ヘキサメチルリン酸トリアミド、
1,3−ジメチル−2−イミダゾリドン等の非プロトン
性極性溶媒、フェノール、クレゾール、キシレノール、
p−クロロフェノール等のフェノール系溶媒等が挙げら
れる。また、必要に応じて、ベンゼン、トルエン、キシ
レン、メチルエチルケトン、アセトン、テトラヒドロフ
ラン、ジオキサン、モノグライム、ジグライム、メチル
セロソルブ、セロソルブアセテート、メタノール、エタ
ノール、イソプロパノール、塩化メチレン、クロロホル
ム、トリクレン、ニトロベンゼン等を先の溶媒に混合し
て用いることも可能である。また、原料として、テトラ
カルボン酸二無水物とジイソシアナートとを使用する場
合には、上記したポリイミドを直接得る方法に準じて製
造することが可能であり、このときの反応温度は室温以
上、特に60℃以上であることが好ましい。テトラカル
ボン酸二無水物とジアミン或いはジイソシアナートとの
反応は等モル量で反応させることにより、高重合度のポ
リイミドを得ることが可能であるが、必要に応じて何れ
か一方が10モル%以下の範囲で過剰量用いてポリイミ
ドを製造することも可能である。
As the organic solvent used in the above reaction, N
-Methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, dimethylsulfoxide, sulfolane, hexamethylphosphoric triamide,
Aprotic polar solvents such as 1,3-dimethyl-2-imidazolidone, phenol, cresol, xylenol,
Phenol solvents such as p-chlorophenol are exemplified. If necessary, benzene, toluene, xylene, methyl ethyl ketone, acetone, tetrahydrofuran, dioxane, monoglyme, diglyme, methyl cellosolve, cellosolve acetate, methanol, ethanol, isopropanol, methylene chloride, chloroform, trichlene, nitrobenzene, etc. Can also be used as a mixture. Further, when using tetracarboxylic dianhydride and diisocyanate as raw materials, it is possible to produce according to the method of directly obtaining the above polyimide, the reaction temperature at this time is room temperature or higher, In particular, the temperature is preferably 60 ° C. or higher. The reaction between tetracarboxylic dianhydride and diamine or diisocyanate can be carried out in an equimolar amount to obtain a polyimide having a high degree of polymerization. It is also possible to produce polyimide using an excess amount in the following range.

【0022】アリル基あるいはメチルアリル基を3個含
有する式(1)に示す化合物は、樹脂組成物の硬化後の
耐熱性、誘電率特性を向上させる。この化合物は一般に
市販されており、容易に入手することができる。
The compound represented by the formula (1) containing three allyl groups or three methylallyl groups improves the heat resistance and the dielectric constant after curing of the resin composition. This compound is generally commercially available and can be easily obtained.

【0023】マレイミド基を2個以上含有する化合物と
しては、いずれのものも使用できるが、電気的信頼性、
溶剤溶解性等の点から、下記式(5−1)ないし(5−
5)が特に好ましい。これらの化合物は一般に市販され
ており、容易に入手することができる。又従来公知の方
法により合成することもできる。
As the compound containing two or more maleimide groups, any compound can be used.
From the viewpoint of solvent solubility and the like, the following formulas (5-1) to (5-
5) is particularly preferred. These compounds are generally commercially available and can be easily obtained. It can also be synthesized by a conventionally known method.

【0024】[0024]

【化10】 Embedded image

【0025】熱硬化性低誘電樹脂組成物の配合割合は、
成分(a)100重量部に対して、成分(b)および成
分(c)の総和が10〜900重量部、好ましくは50
〜900上記、より好ましくは100〜900重量部に
設定する。成分(b)および成分(c)の総和が上記範
囲の下限重量部より少なくなると硬化した後、樹脂組成
物の耐熱性、特にTg、ヤング率の低下が著しくなり、
目的の用途に適さない。また、900重量部より多くな
ると、樹脂組成物をBステージまで硬化した際に、樹脂
組成物自体が脆くなって樹脂の飛び散りの原因となる。
また、成分(b)と成分(c)の配合割合は、成分
(c)のマレイミド基1モル当量に対する成分(b)の
アリル基またはメチルアリル基が0.1〜2.0モル当
量になるようにする必要があり、好ましくは0.3〜
1.8モル当量、より好ましくは0.5〜1.5モル当
量に設定する。アリル基またはメチルアリル基当量が上
記範囲の下限より少なくなると、樹脂組成物の硬化後、
電気的な信頼性が悪くなり、上記範囲の上限より多くな
ると、混合に際してゲル化するため、接着剤を調製する
ことができなくなる。
The mixing ratio of the thermosetting low dielectric resin composition is as follows:
The total of components (b) and (c) is 10 to 900 parts by weight, preferably 50, based on 100 parts by weight of component (a).
To 900, more preferably 100 to 900 parts by weight. When the total of the component (b) and the component (c) is less than the lower limit of the above range by weight, the resin composition is cured, and the heat resistance of the resin composition, particularly, Tg and Young's modulus are significantly reduced,
Not suitable for intended use. On the other hand, when the amount exceeds 900 parts by weight, when the resin composition is cured to the B stage, the resin composition itself becomes brittle and causes scattering of the resin.
The mixing ratio of the component (b) to the component (c) is such that the allyl group or methylallyl group of the component (b) is 0.1 to 2.0 molar equivalents per 1 molar equivalent of the maleimide group of the component (c). , Preferably from 0.3 to
It is set to 1.8 molar equivalents, more preferably 0.5 to 1.5 molar equivalents. When the allyl group or methylallyl group equivalent is less than the lower limit of the above range, after curing of the resin composition,
If the electrical reliability deteriorates and exceeds the upper limit of the above range, gelation occurs during mixing, and it becomes impossible to prepare an adhesive.

【0026】成分(a)、成分(b)及び成分(c)の
混合は、それらを溶解する溶媒中で行うこともできる。
溶媒としては、例えば、N−メチル−2−ピロリドン、
N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホル
ムアミド、ジメチルスルホキシド、スルホラン、ヘキサ
メチルリン酸トリアミド、1,3−ジメチル−2−イミ
ダゾリドン、ヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレ
ン、メチルエチルケトン、アセトン、ジエチルエーテ
ル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、1,2−ジメト
キシメタン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、
メチルセロソルブ、セロソルブアセテート、メタノー
ル、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、酢
酸メチル、酢酸エチル、アセトニトリル、塩化メチレ
ン、クロロホルム、四塩化炭素、クロロベンゼン、ジク
ロロベンゼン、ジクロロエタン、トリクロロエタン等が
挙げられ、これらの中から、各成分が溶解するように種
類と量を適宜選択して使用する。
The mixing of the components (a), (b) and (c) can be carried out in a solvent in which they are dissolved.
As the solvent, for example, N-methyl-2-pyrrolidone,
N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, dimethylsulfoxide, sulfolane, hexamethylphosphoric triamide, 1,3-dimethyl-2-imidazolidone, hexane, benzene, toluene, xylene, methylethylketone, acetone, diethylether, Tetrahydrofuran, dioxane, 1,2-dimethoxymethane, diethylene glycol dimethyl ether,
Methyl cellosolve, cellosolve acetate, methanol, ethanol, propanol, isopropanol, methyl acetate, ethyl acetate, acetonitrile, methylene chloride, chloroform, carbon tetrachloride, chlorobenzene, dichlorobenzene, dichloroethane, trichloroethane, and the like. The type and amount are appropriately selected and used so that the components are dissolved.

【0027】熱硬化性低誘電樹脂組成物においては、乾
燥時、又は加熱硬化時における反応を促進させるため
に、必要に応じて、ジアザビシクロオクタン、又はメチ
ルエチルケトンパーオキサイド、シクロヘキサンパーオ
キサイド、3,3,5−トリメチルシクロヘキサノンパー
オキサイド、メチルシクロヘキサノンパーオキサイド、
メチルアセトアセテートパーオキサイド、アセチルアセ
トンパーオキサイド、1,1−ビス(t−ブチルパーオ
キシ)−3,3,5トリメチルヘキサン、1,1−ビス
(t−ブチルパーオキシ)−シクロヘキサン、2,2−
ビス(t−ブチルパーオキシ)オクタン、n−ブチル−
4,4−ビス(t−ブチルパーオキシ)バレート、2,2
−ビス(t−ブチルパーオキシ)ブタン、t−ブチルハ
イドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイ
ド、ジ−イソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイ
ド、p−メンタンハイドロパーオキサイド、2,5−ジ
メチルヘキサン−2,5−ジハイドロパーオキサイド、
1,1,3,3−テトラメチルブチルハイドロパーオキサ
イド、ジ−t−ブチルパーオキサイド、t−ブチルクミ
ルパーオキサイド、ジ−クミルパーオキサイド、α,
α’−ビス(t−ブチルパーオキシ−m−イソプロピ
ル)ベンゼン、2,5−ジメチル−2,5−ジ(t−ブチ
ルパーオキシ)ヘキサン、2,5−ジメチル−2,5−ジ
(t−ブチルパーオキシ)ヘキシン、アセチルパーオキ
サイド、イソブチルパーオキサイド、オクタノイルパー
オキサイド、デカノイルパーオキサイド、ベンゾイルパ
ーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、3,5,5−
トリメチルヘキサノイルパーオキサイド、スクシニック
アシッドパーオキサイド、2,4−ジクロロベンゾイル
パーオキサイド、m−トルオイルパーオキサイド、ジ−
イソプロピルパーオキシジカーボネート、ジ−2−エチ
ルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ−n−プロピ
ルパーオキシジカーボネート、ビス−(4−t−ブチル
シクロヘキシル)パーオキシジカーボネート、ジ−ミリ
スティルパーオキシジカーボネート、ジ−2−エトキシ
エチルパーオキシジカーボネート、ジ−メトキシイソプ
ロピルパーオキシジカーボネート、ジ(3−メチル−3
−メトキシブチル)パーオキシジカーボネート、ジ−ア
リルパーオキシジカーボネート、t−ブチルパーオキシ
アセテート、t−ブチルパーオキシイソブチレート、t
−ブチルパーオキシピバレート、t−ブチルパーオキシ
ネオデカネート、クミルパーオキシネオデカネート、t
−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサネート、t−ブ
チルパーオキシ−3,5,5−トリメチルヘキサネート、
t−ブチルパーオキシラウレート、t−ブチルパーオキ
シベンゾエート、ジ−t−ブチルパーオキシイソフタレ
ート、2,5−ジメチル−2,5−ジ(ベンゾイルパーオ
キシ)ヘキサン、t−ブチルパーオキシマレイン酸、t
−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、クミル
パーオキシオクテート、t−ヘキシルパーオキシネオデ
カネート、t−ヘキシルパーオキシピバレート、t−ブ
チルパーオキシネオヘキサネート、アセチルシクロヘキ
シルスルフォニルパーオキサイド、t−ブチルパーオキ
シアリルカーボネート等の有機過酸化物、1,2−ジメ
チルイミダゾール、1−メチル−2−エチルイミダゾー
ル、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチル
イミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプ
タデシルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、1
−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−
2−フェニルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニ
ルイミダゾール・トリメリット酸塩、1−ベンジル−2
−エチルイミダゾール、1−ベンジル−2−エチル−5
−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−
イソプロピルイミダゾール、2−フェニル−4−ベンジ
ルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダ
ゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイ
ミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダ
ゾール、1−シアノエチル−2−イソプロピルイミダゾ
ール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、
1−シアノエチル−2−メチルイミダゾリウムトリメリ
テート、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウ
ムトリメリテート、2,4−ジアミノ−6−[2’−メ
チルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジ
ン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4−メチ
ルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジ
ン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダ
ゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2−メ
チルイミダゾリウムイソシアヌール酸付加物、2−フェ
ニルイミダゾリウムイソシアヌール酸付加物、2,4−
ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−
(1’)]−エチル−s−トリアジン−イソシアヌール
酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチル
イミダゾール、2−フェニル−4−ベンジル−5−ヒド
ロキシメチルイミダゾール、4,4’−メチレン−ビス
−(2−エチル−5−メチルイミダゾール)、1−アミ
ノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル
−2−フェニル−4,5−ジ(シアノエトキシメチル)
イミダゾール、1−ドデシル−2−メチル−3−ベンジ
ルイミダゾリウムクロライド、2−メチルイミダゾール
・ベンゾトリアゾール付加物、1−アミノエチル−2−
エチルイミダゾール、1−(シアノエチルアミノエチ
ル)−2−メチルイミダゾール、N,N’−[2−メチ
ルイミダゾリル−(1)−エチル]−アジポイルジアミ
ド、N,N’−ビス−(2−メチルイミダゾリル−1−
エチル)尿素、N−(2−メチルイミダゾリル−1−エ
チル)尿素、N,N’−[2−メチルイミダゾリル−
(1)−エチル]ドデカンジオイルジアミド、N,N’
−[2−メチルイミダゾリル−(1)−エチル]エイコ
サンジオイルジアミド、1−ベンジル−2−フェニルイ
ミダゾール・塩化水素酸塩等のイミダゾール類、トリフ
ェニルフォスフィン等の反応促進剤を添加することもで
きる。
In the thermosetting low dielectric resin composition, diazabicyclooctane, methyl ethyl ketone peroxide, cyclohexane peroxide, 3, 3 3,5-trimethylcyclohexanone peroxide, methylcyclohexanone peroxide,
Methyl acetoacetate peroxide, acetylacetone peroxide, 1,1-bis (t-butylperoxy) -3,3.5-trimethylhexane, 1,1-bis (t-butylperoxy) -cyclohexane, 2,2-
Bis (t-butylperoxy) octane, n-butyl-
4,4-bis (t-butylperoxy) valate, 2,2
-Bis (t-butylperoxy) butane, t-butyl hydroperoxide, cumene hydroperoxide, di-isopropylbenzene hydroperoxide, p-menthane hydroperoxide, 2,5-dimethylhexane-2,5-di Hydroperoxide,
1,1,3,3-tetramethylbutyl hydroperoxide, di-t-butyl peroxide, t-butylcumyl peroxide, di-cumyl peroxide, α,
α'-bis (t-butylperoxy-m-isopropyl) benzene, 2,5-dimethyl-2,5-di (t-butylperoxy) hexane, 2,5-dimethyl-2,5-di (t -Butylperoxy) hexine, acetyl peroxide, isobutyl peroxide, octanoyl peroxide, decanoyl peroxide, benzoyl peroxide, lauroyl peroxide, 3,5,5-
Trimethylhexanoyl peroxide, succinic acid peroxide, 2,4-dichlorobenzoyl peroxide, m-toluoyl peroxide, di-
Isopropyl peroxydicarbonate, di-2-ethylhexylperoxydicarbonate, di-n-propylperoxydicarbonate, bis- (4-t-butylcyclohexyl) peroxydicarbonate, di-myristyl peroxydicarbonate, Di-2-ethoxyethyl peroxydicarbonate, di-methoxyisopropylperoxydicarbonate, di (3-methyl-3
-Methoxybutyl) peroxydicarbonate, di-allylperoxydicarbonate, t-butylperoxyacetate, t-butylperoxyisobutyrate, t
-Butylperoxypivalate, t-butylperoxyneodecanate, cumylperoxyneodecanate, t
-Butyl peroxy-2-ethyl hexanate, t-butyl peroxy-3,5,5-trimethyl hexanate,
t-butylperoxylaurate, t-butylperoxybenzoate, di-t-butylperoxyisophthalate, 2,5-dimethyl-2,5-di (benzoylperoxy) hexane, t-butylperoxymaleic acid , T
-Butylperoxyisopropyl carbonate, cumylperoxyoctate, t-hexylperoxyneodecanate, t-hexylperoxypivalate, t-butylperoxyneohexanate, acetylcyclohexylsulfonyl peroxide, t-butylperoxy Organic peroxides such as allyl carbonate, 1,2-dimethylimidazole, 1-methyl-2-ethylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole , 2-phenylimidazole, 1
-Benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-
2-phenylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole trimellitate, 1-benzyl-2
-Ethylimidazole, 1-benzyl-2-ethyl-5
-Methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-
Isopropylimidazole, 2-phenyl-4-benzylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2- Isopropylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole,
1-cyanoethyl-2-methylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6- [2′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s -Triazine, 2,4-diamino-6- [2'-ethyl-4-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-undecylimidazolyl- (1 ′)]-Ethyl-s-triazine, 2-methylimidazolium isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazolium isocyanuric acid adduct, 2,4-
Diamino-6- [2'-methylimidazolyl-
(1 ′)]-Ethyl-s-triazine-isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-benzyl-5-hydroxymethylimidazole, 4,4′-methylene -Bis- (2-ethyl-5-methylimidazole), 1-aminoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenyl-4,5-di (cyanoethoxymethyl)
Imidazole, 1-dodecyl-2-methyl-3-benzylimidazolium chloride, 2-methylimidazole / benzotriazole adduct, 1-aminoethyl-2-
Ethyl imidazole, 1- (cyanoethylaminoethyl) -2-methylimidazole, N, N ′-[2-methylimidazolyl- (1) -ethyl] -adipoyldamide, N, N′-bis- (2-methyl Imidazolyl-1-
Ethyl) urea, N- (2-methylimidazolyl-1-ethyl) urea, N, N ′-[2-methylimidazolyl-
(1) -ethyl] dodecandioyldiamide, N, N '
-[2-Methylimidazolyl- (1) -ethyl] eicosanedioiled diamide, imidazoles such as 1-benzyl-2-phenylimidazole / hydrochloride, and reaction accelerators such as triphenylphosphine may also be added. it can.

【0028】また、熱硬化性低誘電樹脂組成物には、樹
脂組成物の流動性を安定させるために、平均粒径1μm
以下のフィラーを含ませることができる。フィラーの含
有率は、全固形分の5〜70重量%、好ましくは10〜
60重量%、より好ましくは20〜50重量%の範囲に
設定される。含有率が上記範囲の下限よりも低くなると
流動性の安定化効果が小さくなり、上限よりも多くなる
と積層板の接着強度が低下し、誘電率が上昇する。フィ
ラーとしては、例えば、シリカ、石英粉、アルミナ、炭
酸カルシウム、酸化マグネシウム、ダイヤモンド粉、マ
イカ、フッ素樹脂、ジルコン粉等が使用される。
The thermosetting low dielectric resin composition has an average particle diameter of 1 μm in order to stabilize the fluidity of the resin composition.
The following fillers can be included. The content of the filler is 5 to 70% by weight of the total solid, preferably 10 to 70% by weight.
It is set in the range of 60% by weight, more preferably 20 to 50% by weight. When the content is lower than the lower limit of the above range, the effect of stabilizing the fluidity is reduced, and when the content is higher than the upper limit, the adhesive strength of the laminate decreases, and the dielectric constant increases. As the filler, for example, silica, quartz powder, alumina, calcium carbonate, magnesium oxide, diamond powder, mica, fluororesin, zircon powder and the like are used.

【0029】次に、上記の熱硬化性低誘電樹脂組成物を
使用した本発明の回路積層材料について説明する。本発
明の接着フィルム及び樹脂付き金属板を作製するには、
上記の樹脂組成物を、金属箔の片面、又は両面に、ある
いは、剥離性フィルムの片面に塗布し、乾燥すればよ
い。その際、塗布厚さは、5〜100μm、とりわけ1
0〜70μmの範囲にあることが好ましい。金属箔とし
ては厚さ10〜200μm、好ましくは100μm以
下、特に好ましくは36μm以下の銅、白銅、銀、鉄、
42合金、ステンレスが使用される。厚すぎる場合には
微細配線形成が困難になるので、上記の範囲が好まし
い。本発明の接着フィルムに使用される剥離性フィルム
としては、厚さ1〜200μm、好ましくは、10〜1
00μmの範囲のものが使用され、仮の支持体として作
用する。使用可能な剥離性フィルムとしては、ポリプロ
ピレンフィルム、フッ素樹脂系フィルム、ポリエチレン
フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、紙、
及び場合によってはそれらにシリコーン樹脂で剥離性を
付与したもの等が挙げられる。これらの剥離性フィルム
は、90゜ピール強度が0.01〜7.0g/cmの範
囲にあることが望ましい。剥離強度が上記の範囲より小
さい場合には接着テープ搬送時に剥離性フィルムが簡単
に剥離する等の問題があり、上記の範囲より大きい場合
には剥離性フィルムが接着剤層からきれいに剥がれず、
作業性が悪くなる。なお、金属箔の片面又は両面に、上
記樹脂組成物を塗布して接着層を形成した樹脂付き金属
箔の場合には、接着層の上に更に剥離性の保護フィルム
を設けてもよい。保護フィルムとしては、上記の剥離性
フィルムと同様のものが使用できる。
Next, the circuit laminate material of the present invention using the thermosetting low dielectric resin composition will be described. To produce the adhesive film and the resin-attached metal plate of the present invention,
The above resin composition may be applied to one or both surfaces of a metal foil or one surface of a peelable film and dried. At this time, the coating thickness is 5 to 100 μm, especially 1
It is preferably in the range of 0 to 70 μm. As the metal foil, a thickness of 10 to 200 μm, preferably 100 μm or less, particularly preferably 36 μm or less, copper, copper, silver, iron,
42 alloy and stainless steel are used. If the thickness is too large, it becomes difficult to form fine wiring, so the above range is preferable. The peelable film used for the adhesive film of the present invention has a thickness of 1 to 200 μm, preferably 10 to 1 μm.
Those having a size of 00 μm are used and act as a temporary support. Available peelable films include polypropylene film, fluororesin film, polyethylene film, polyethylene terephthalate film, paper,
And, in some cases, those obtained by imparting releasability to them with a silicone resin are exemplified. It is desirable that these peelable films have a 90 ° peel strength in the range of 0.01 to 7.0 g / cm. If the peel strength is smaller than the above range, there is a problem that the peelable film is easily peeled off during the adhesive tape conveyance, and if the peel strength is larger than the above range, the peelable film does not peel off cleanly from the adhesive layer,
Workability deteriorates. In the case of a metal foil with a resin in which the above-mentioned resin composition is applied to one or both surfaces of the metal foil to form an adhesive layer, a peelable protective film may be further provided on the adhesive layer. As the protective film, the same as the above-mentioned releasable film can be used.

【0030】以下、本発明を実施例に基づいてより詳細
に説明する。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples.

【実施例】(シロキサン変性ポリイミド合成例) 合成例1 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]
プロパン29.42g(72ミリモル)と前記式におい
てY=NH2、R=プロピル、n=1で表されるジアミ
ノシロキサン6.96g(28ミリモル)と3,3’,
4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水
物35.83g(100ミリモル)及びN−メチル−2
−ピロリドン(以下、「NMP」と記す。)300ml
とを氷温下に導入し、1時間攪拌を続けた。次いで、こ
の溶液を室温で2時間反応させポリアミド酸を合成し
た。得られたポリアミド酸に50mlのトルエンと1.
0gのp−トルエンスルホン酸を加え、160℃に加熱
し、反応の進行に伴ってトルエンと共沸してきた水分を
分離しながら、3時間イミド化反応を行った。その後ト
ルエンを留去し、得られたシロキサン変性ポリイミドワ
ニスをメタノール中に注いで、得られた沈殿物を分離、
粉砕、洗浄、乾燥させる工程を経ることにより、上記し
た式で表される各構成単位のモル比が(1a):(1
b)=72:28で示される分子量18,000、Tg
30℃、誘電率2.8のシロキサン変性ポリイミド6
1.9g(収率94%)を得た。得られたシロキサン変
性ポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、
1718cm-1及び1783cm-1に典型的なイミドの
吸収が認められた。
EXAMPLES (Synthesis example of siloxane-modified polyimide) Synthesis example 1 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl]
29.42 g (72 mmol) of propane and 6.96 g (28 mmol) of diaminosiloxane represented by the above formula, wherein Y = NH 2, R = propyl and n = 1, and 3,3 ′,
35.83 g (100 mmol) of 4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride and N-methyl-2
-Pyrrolidone (hereinafter referred to as "NMP") 300 ml
Was introduced under ice temperature, and stirring was continued for 1 hour. Next, this solution was reacted at room temperature for 2 hours to synthesize a polyamic acid. 50 ml of toluene and 1.
0 g of p-toluenesulfonic acid was added, the mixture was heated to 160 ° C., and an imidization reaction was carried out for 3 hours while separating water azeotropic with toluene as the reaction proceeded. Thereafter, toluene was distilled off, the obtained siloxane-modified polyimide varnish was poured into methanol, and the obtained precipitate was separated.
Through the steps of pulverization, washing and drying, the molar ratio of each structural unit represented by the above formula becomes (1a) :( 1
b) = molecular weight of 18,000, Tg = 72: 28
Siloxane-modified polyimide 6 having a dielectric constant of 2.8 at 30 ° C.
1.9 g (94% yield) was obtained. When the infrared absorption spectrum of the obtained siloxane-modified polyimide was measured,
Typical imide absorption was observed at 1718 cm -1 and 1783 cm -1 .

【0032】合成例2 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]
プロパン30.39g(74ミリモル)と前記式におい
てY=NH2、R=プロピル、n=8で表されるジアミ
ノシロキサン19.94g(26ミリモル)と3,
3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
29.42g(100ミリモル)及びNMP300ml
を用いて、合成例1と同様の方法で、各構成単位のモル
比が(3a):(3b)=74:26で示される分子量
19,000、Tg45℃、誘電率2.9のシロキサン
変性ポリイミド72.3g(収率95%)を得た。得ら
れたシロキサン変性ポリイミドの赤外吸収スペクトルを
測定したところ、1718cm-1及び1783cm-1
典型的なイミドの吸収が認められた。
Synthesis Example 2 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl]
30.39 g (74 mmol) of propane, 19.94 g (26 mmol) of diaminosiloxane represented by the above formula, wherein Y = NH 2, R = propyl and n = 8, and 3,
29.42 g (100 mmol) of 3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 300 ml of NMP
In the same manner as in Synthesis Example 1, a siloxane-modified product having a molecular weight of (3a) :( 3b) = 74: 26, a molecular weight of 19,000, a Tg of 45 ° C., and a dielectric constant of 2.9 is obtained. 72.3 g (95% yield) of polyimide was obtained. When the infrared absorption spectrum of the obtained siloxane-modified polyimide was measured, typical imide absorption was observed at 1718 cm -1 and 1783 cm -1 .

【0033】合成例3 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]
ヘキサフルオロプロパン41.48g(80ミリモル)
と前記式においてY=NH2、R=プロピル、n=8で
表されるジアミノシロキサン15.54g(20ミリモ
ル)と2,3’,3,4’−ビフェニルテトラカルボン
酸二無水物29.42g(100ミリモル)及びNMP
300mlを用いて、合成例1と同様の方法で、各構成
単位のモル比が(3a):(3b)=80:20で示さ
れる分子量10,000、Tg60℃、誘電率2.9の
シロキサン変性ポリイミド81.2g(収率94%)を
得た。得られたシロキサン変性ポリイミドの赤外吸収ス
ペクトルを測定したところ、1718cm-1及び178
3cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。
Synthesis Example 3 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl]
Hexafluoropropane 41.48 g (80 mmol)
And 15.54 g (20 mmol) of diaminosiloxane represented by Y = NH 2, R = propyl and n = 8 in the above formula, and 29.42 g of 2,3 ′, 3,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride ( 100 mmol) and NMP
Siloxane having a molecular weight of 10,000, a Tg of 60 ° C. and a dielectric constant of 2.9, in which the molar ratio of each structural unit is (3a) :( 3b) = 80: 20, using 300 ml in the same manner as in Synthesis Example 1. 81.2 g (94% yield) of the modified polyimide was obtained. When the infrared absorption spectrum of the obtained siloxane-modified polyimide was measured, it was 1718 cm -1 and 178 cm -1.
Typical imide absorption was observed at 3 cm -1 .

【0034】(熱硬化性低誘電樹脂組成物作成例) 樹脂組成物作成例1 合成例3で得られたシロキサン変性ポリイミド樹脂10
0重量部、前記式(5−2)で示される化合物314重
量部、前記式(1)で示される化合物の内Rがメチル基
である化合物86重量部(マレイミド基1モル当量に対
するメチルアリル基のモル当量は0.5)を、テトラヒ
ドロフラン中に添加して充分に混合、溶解し、固形分率
30重量%の樹脂組成物ワニスを得た。
(Preparation Example of Thermosetting Low Dielectric Resin Composition) Resin Composition Preparation Example 1 The siloxane-modified polyimide resin 10 obtained in Synthesis Example 3
0 parts by weight, 314 parts by weight of the compound represented by the formula (5-2), 86 parts by weight of the compound represented by the formula (1) in which R is a methyl group (the methyl allyl group relative to 1 mole equivalent of the maleimide group) The molar equivalent of 0.5) was added to tetrahydrofuran, sufficiently mixed and dissolved to obtain a resin composition varnish having a solid content of 30% by weight.

【0035】樹脂組成物作成例2 前記式(5−2)で示される化合物を259重量部に、
前記式(1)で示される化合物の内Rがメチル基である
化合物を141重量部(マレイミド基1モル当量に対す
るメチルアリル基のモル当量は1.0)に代えた以外は
樹脂組成物作成例1と同様に操作して樹脂組成物ワニス
を得た。
Resin Composition Preparation Example 2 The compound represented by the formula (5-2) was added to 259 parts by weight
Example 1 of preparing a resin composition except that the compound represented by the formula (1) in which R is a methyl group was replaced by 141 parts by weight (the molar equivalent of methylallyl group was 1.0 with respect to 1 molar equivalent of maleimide group). In the same manner as in above, a resin composition varnish was obtained.

【0036】樹脂組成物作成例3 前記式(5−2)で示される化合物を221重量部に、
前記式(1)で示される化合物の内Rがメチル基である
化合物を179重量部(マレイミド基1モル当量に対す
るメチルアリル基のモル当量は1.5)に代えた以外は
樹脂組成物作成例1と同様に操作して樹脂組成物ワニス
を得た。
Resin Composition Preparation Example 3 The compound represented by the formula (5-2) was added to 221 parts by weight of
Example 1 of preparing a resin composition except that the compound represented by the formula (1) in which R is a methyl group was replaced by 179 parts by weight (the molar equivalent of methylallyl group was 1.5 per mole equivalent of maleimide group). In the same manner as in above, a resin composition varnish was obtained.

【0037】樹脂組成物作成例4 前記式(5−2)で示される化合物を64重量部に、前
記式(1)で示される化合物の内Rがメチル基である化
合物を36重量部(マレイミド基1モル当量に対するメ
チルアリル基のモル当量は1.0)に代えた以外は樹脂
組成物作成例1と同様に操作して樹脂組成物ワニスを得
た。
Resin Composition Preparation Example 4 A compound represented by the above formula (5-2) was added to 64 parts by weight, and a compound represented by the above formula (1) wherein R was a methyl group was added to 36 parts by weight (maleimide A resin composition varnish was obtained in the same manner as in Preparation Example 1 of the resin composition except that the molar equivalent of methylallyl group was changed to 1.0) per 1 molar equivalent of the group.

【0038】樹脂組成物作成例5 前記式(5−2)で示される化合物を584重量部に、
前記式(1)で示される化合物の内Rがメチル基である
化合物を316重量部(マレイミド基1モル当量に対す
るメチルアリル基のモル当量は1.0)に代えた以外は
樹脂組成物作成例1と同様に操作して樹脂組成物ワニス
を得た。
Resin Composition Preparation Example 5 The compound represented by the formula (5-2) was added to 584 parts by weight
Example 1 of preparing a resin composition except that the compound represented by the formula (1) in which R is a methyl group was replaced by 316 parts by weight (the molar equivalent of methylallyl group was 1.0 with respect to 1 molar equivalent of maleimide group). In the same manner as in above, a resin composition varnish was obtained.

【0039】樹脂組成物作成例6 前記式(5−2)で示される化合物314重量部を前記
式(5−1)で示される化合物298重量部に、前記式
(1)で示される化合物の内Rがメチル基である化合物
86重量部を102重量部(マレイミド基1モル当量に
対するメチルアリル基のモル当量は1.0)に代えた以
外は樹脂組成物作成例1と同様に操作して樹脂組成物ワ
ニスを得た。
Resin Composition Preparation Example 6 314 parts by weight of the compound represented by the formula (5-2) was added to 298 parts by weight of the compound represented by the formula (5-1), and In the same manner as in Resin Composition Preparation Example 1 except that 86 parts by weight of the compound in which R is a methyl group was replaced by 102 parts by weight (the molar equivalent of methylallyl group to 1 molar equivalent of maleimide group was 1.0) A composition varnish was obtained.

【0040】樹脂組成物作成例7 前記式(5−2)で示される化合物314重量部を前記
式(5−3)で示される化合物278重量部に、前記式
(1)で示される化合物の内Rがメチル基である化合物
86重量部を122重量部(マレイミド基1モル当量に
対するメチルアリル基のモル当量は1.0)に代えた以
外は樹脂組成物作成例1と同様に操作して樹脂組成物ワ
ニスを得た。
Resin Composition Preparation Example 7 314 parts by weight of the compound represented by the formula (5-2) was added to 278 parts by weight of the compound represented by the formula (5-3), and In the same manner as in Resin Composition Preparation Example 1, except that 86 parts by weight of the compound in which R is a methyl group was replaced by 122 parts by weight (the molar equivalent of methylallyl group to 1 molar equivalent of maleimide group was 1.0). A composition varnish was obtained.

【0041】樹脂組成物作成例8 前記式(5−2)で示される化合物314重量部を前記
式(5−4)で示される化合物の内pが0(ゼロ)であ
る化合物271重量部に、前記式(1)で示される化合
物の内Rがメチル基である化合物86重量部を129重
量部(マレイミド基1モル当量に対するメチルアリル基
のモル当量は1.0)に代えた以外は樹脂組成物作成例
1と同様に操作して樹脂組成物ワニスを得た。
Resin Composition Preparation Example 8 314 parts by weight of the compound represented by the formula (5-2) was added to 271 parts by weight of the compound represented by the formula (5-4) wherein p was 0 (zero). And the resin composition except that 86 parts by weight of the compound represented by the formula (1) in which R is a methyl group was replaced by 129 parts by weight (the molar equivalent of methylallyl group was 1.0 with respect to 1 molar equivalent of maleimide group). A resin composition varnish was obtained in the same manner as in Preparation Example 1.

【0042】樹脂組成物作成例9 前記式(5−2)で示される化合物314重量部を前記
式(5−4)で示される化合物の内pが4である化合物
309重量部に、前記式(1)で示される化合物の内R
がメチル基である化合物86重量部を90重量部(マレ
イミド基1モル当量に対するメチルアリル基のモル当量
は1.0)に代えた以外は樹脂組成物作成例1と同様に
操作して樹脂組成物ワニスを得た。
Resin Composition Preparation Example 9 314 parts by weight of the compound represented by the formula (5-2) was added to 309 parts by weight of the compound represented by the formula (5-4) wherein p was 4, R of the compounds represented by (1)
Was replaced with 90 parts by weight (the molar equivalent of methylallyl group was 1.0 with respect to 1 molar equivalent of maleimide group) except that 86 parts by weight of the compound having a methyl group was a methyl group. I got a varnish.

【0043】樹脂組成物作成例10 前記式(5−2)で示される化合物314重量部を前記
式(5−4)で示される化合物の内pが8である化合物
333重量部に、前記式(1)で示される化合物の内R
がメチル基である化合物86重量部を67重量部(マレ
イミド基1モル当量に対するメチルアリル基のモル当量
は1.0)に代えた以外は樹脂組成物作成例1と同様に
操作して樹脂組成物ワニスを得た。
Resin Composition Preparation Example 10 314 parts by weight of the compound represented by the formula (5-2) was added to 333 parts by weight of the compound represented by the formula (5-4) wherein p was 8, R of the compounds represented by (1)
Is a methyl group, except that 86 parts by weight of the compound is replaced by 67 parts by weight (the molar equivalent of methylallyl group to 1 mole equivalent of maleimide group is 1.0). I got a varnish.

【0044】樹脂組成物作成例11 前記式(5−2)で示される化合物314重量部を前記
式(5−5)で示される化合物294重量部に、前記式
(1)で示される化合物の内Rがメチル基である化合物
86重量部を106重量部(マレイミド基1モル当量に
対するメチルアリル基のモル当量は1.0)に代えた以
外は樹脂組成物作成例1と同様に操作して樹脂組成物ワ
ニスを得た。
Resin Composition Preparation Example 11 314 parts by weight of the compound represented by the formula (5-2) was added to 294 parts by weight of the compound represented by the formula (5-5), and In the same manner as in Resin Composition Preparation Example 1, except that 86 parts by weight of the compound in which R is a methyl group was replaced by 106 parts by weight (the molar equivalent of methylallyl group to 1 molar equivalent of maleimide group), A composition varnish was obtained.

【0045】樹脂組成物作成例12 合成例3で得られたシロキサン変性ポリイミドを合成例
1で得られたシロキサン変性ポリイミドに代えた以外は
樹脂組成物作成例2と同様に操作して樹脂組成物ワニス
を得た。
Resin Composition Preparation Example 12 A resin composition was prepared in the same manner as in Resin Composition Preparation Example 2 except that the siloxane-modified polyimide obtained in Synthesis Example 3 was replaced with the siloxane-modified polyimide obtained in Synthesis Example 1. I got a varnish.

【0046】樹脂組成物作成例13 合成例3で得られたシロキサン変性ポリイミドを合成例
2で得られたシロキサン変性ポリイミドに代えた以外は
樹脂組成物作成例2と同様に操作して樹脂組成物ワニス
を得た。
Resin Composition Preparation Example 13 A resin composition was prepared in the same manner as in Resin Composition Preparation Example 2 except that the siloxane-modified polyimide obtained in Synthesis Example 3 was replaced with the siloxane-modified polyimide obtained in Synthesis Example 2. I got a varnish.

【0047】樹脂組成物作成例14 樹脂組成物作成例2で得られた樹脂組成物ワニスにシリ
カフィラー150重量部を分散し、樹脂組成物ワニスを
得た。
Resin Composition Preparation Example 14 150 parts by weight of silica filler was dispersed in the resin composition varnish obtained in Resin Composition Preparation Example 2 to obtain a resin composition varnish.

【0048】樹脂組成物作成例15 樹脂組成物作成例2で得られた樹脂組成物ワニスにシリ
カフィラー300重量部を分散し、樹脂組成物ワニスを
得た。
Resin Composition Preparation Example 15 300 parts by weight of silica filler was dispersed in the resin composition varnish obtained in Resin Composition Preparation Example 2 to obtain a resin composition varnish.

【0049】樹脂組成物作成例16 合成例3で得られたシロキサン変性ポリイミド樹脂10
0重量部、前記式(5−2)で示される化合物273重
量部、前記式(1)で示される化合物の内Rが水素であ
る化合物127重量部(マレイミド基1モル当量に対す
るアリル基のモル当量は1.0)を、テトラヒドロフラ
ン中に添加して充分に混合、溶解し、固形分率30重量
%の樹脂組成物ワニスを得た。
Resin Composition Preparation Example 16 The siloxane-modified polyimide resin 10 obtained in Synthesis Example 3
0 parts by weight, 273 parts by weight of the compound represented by the formula (5-2), 127 parts by weight of the compound represented by the formula (1) wherein R is hydrogen (the mole of the allyl group relative to 1 mole equivalent of the maleimide group) (1.0 equivalent) was added to tetrahydrofuran, mixed and dissolved sufficiently to obtain a resin composition varnish having a solid content of 30% by weight.

【0050】樹脂組成物作成例17 前記式(5−2)で示される化合物を68重量部に、前
記式(1)で示される化合物の内Rが水素である化合物
を32重量部(マレイミド基1モル当量に対するアリル
基のモル当量は1.0)に代えた以外は樹脂組成物作成
例16と同様に操作して樹脂組成物ワニスを得た。
Resin Composition Preparation Example 17 A compound represented by the above formula (5-2) was added to 68 parts by weight, and a compound represented by the above formula (1), wherein R was hydrogen, was added to 32 parts by weight (maleimide group). A resin composition varnish was obtained in the same manner as in Resin Composition Preparation Example 16 except that the molar equivalent of allyl group was changed to 1.0) per 1 molar equivalent.

【0051】樹脂組成物作成例18 前記式(5−2)で示される化合物を615重量部に、
前記式(1)で示される化合物の内Rが水素である化合
物を285重量部(マレイミド基1モル当量に対するア
リル基のモル当量は1.0)に代えた以外は樹脂組成物
作成例16と同様に操作して樹脂組成物ワニスを得た。
Resin Composition Preparation Example 18 The compound represented by the formula (5-2) was added to 615 parts by weight
Resin composition Preparation Example 16 except that among the compounds represented by the formula (1), the compound in which R was hydrogen was replaced with 285 parts by weight (the molar equivalent of allyl group was 1.0 with respect to 1 molar equivalent of maleimide group). The same operation was performed to obtain a resin composition varnish.

【0052】樹脂組成物作成例19 前記式(5−2)で示される化合物325重量部を前記
式(5−1)で示される化合物310重量部に、前記式
(1)で示される化合物の内Rが水素である化合物75
重量部を90重量部(マレイミド基1モル当量に対する
アリル基のモル当量は1.0)に代えた以外は樹脂組成
物作成例16と同様に操作して樹脂組成物ワニスを得
た。
Resin Composition Preparation Example 19 325 parts by weight of the compound represented by the formula (5-2) was added to 310 parts by weight of the compound represented by the formula (5-1), and Wherein R is hydrogen
A resin composition varnish was obtained by operating in the same manner as in Resin Composition Preparation Example 16 except that the parts by weight was changed to 90 parts by weight (the molar equivalent of the allyl group relative to 1 molar equivalent of the maleimide group was 1.0).

【0053】樹脂組成物作成例20 前記式(5−2)で示される化合物325重量部を前記
式(5−3)で示される化合物291重量部に、前記式
(1)で示される化合物の内Rが水素である化合物75
重量部を109重量部(マレイミド基1モル当量に対す
るアリル基のモル当量は1.0)に代えた以外は樹脂組
成物作成例16と同様に操作して樹脂組成物ワニスを得
た。
Resin Composition Preparation Example 20 325 parts by weight of the compound represented by the formula (5-2) was added to 291 parts by weight of the compound represented by the formula (5-3), and Wherein R is hydrogen
A resin composition varnish was obtained by operating in the same manner as in Resin Composition Preparation Example 16 except that the parts by weight was changed to 109 parts by weight (the molar equivalent of the allyl group relative to 1 molar equivalent of the maleimide group was 1.0).

【0054】樹脂組成物作成例21 合成例3で得られたシロキサン変性ポリイミドを合成例
1で得られたシロキサン変性ポリイミドに代えた以外は
樹脂組成物作成例16と同様に操作して樹脂組成物ワニ
スを得た。
Resin Composition Preparation Example 21 A resin composition was prepared in the same manner as in Resin Composition Preparation Example 16 except that the siloxane-modified polyimide obtained in Synthesis Example 3 was replaced with the siloxane-modified polyimide obtained in Synthesis Example 1. I got a varnish.

【0055】樹脂組成物作成例22 合成例3で得られたシロキサン変性ポリイミドを合成例
2で得られたシロキサン変性ポリイミドに代えた以外は
樹脂組成物作成例16と同様に操作して樹脂組成物ワニ
スを得た。
Resin Composition Preparation Example 22 A resin composition was prepared in the same manner as in Resin Composition Preparation Example 16 except that the siloxane-modified polyimide obtained in Synthesis Example 3 was replaced with the siloxane-modified polyimide obtained in Synthesis Example 2. I got a varnish.

【0056】(実施例) 実施例1〜22 樹脂組成物作成例1〜22で得られた樹脂組成物ワニス
を乾燥後の接着剤層の厚さが60μmになるように厚さ
18μmの銅箔の片面に塗布し、熱風循環型乾燥機中に
て140℃で5分間乾燥して、樹脂付き銅箔を作成し
た。作成した樹脂付き銅箔は、カッターナイフによる切
断時に切断箇所近傍の樹脂に樹脂割れ及び飛散が無く、
取り扱い性は良好であった。一方、樹脂組成物作成例1
〜22で得られた樹脂組成物ワニスを、芳香族ポリエス
テル不織布(厚さ0.1mm、クラレ社製)100重量
部に対して固形分で120重量部となるように含浸させ
て140℃の乾燥炉中で5分間乾燥させプリプレグを作
成した。このプリプレグを4枚重ねあわせ、さらに上下
の最外層の面に18μmの銅箔を配して、20kg/c
2の圧力で、200℃で0.4mmの両面銅張積層板
を得、さらに該両面の銅箔の不要な箇所をエッチング除
去して内層回路板を作成した。次いで、前記樹脂付き銅
箔の樹脂面が内層回路に向き合うようにして重ね、20
kg/cm2の圧力で、200℃、2時間の加熱条件で
成形し、内層回路入り多層銅張積層板を作成した。試験
結果を表−1に示す。
(Examples) Examples 1 to 22 A copper foil having a thickness of 18 μm so that the adhesive layer after drying the resin composition varnish obtained in each of the resin composition preparation examples 1 to 22 has a thickness of 60 μm. And dried at 140 ° C. for 5 minutes in a hot-air circulation dryer to prepare a resin-coated copper foil. The created resin-coated copper foil has no resin cracking and scattering in the resin near the cutting point when cutting with a cutter knife,
The handleability was good. On the other hand, resin composition preparation example 1
The resin composition varnish obtained in No. 22 to No. 22 is impregnated with 100 parts by weight of an aromatic polyester nonwoven fabric (thickness: 0.1 mm, manufactured by Kuraray Co., Ltd.) so as to have a solid content of 120 parts by weight, and dried at 140 ° C. The prepreg was dried in an oven for 5 minutes. Four prepregs are superimposed on each other, and a copper foil of 18 μm is arranged on the upper and lower outermost layers.
At a pressure of m 2 , a double-sided copper-clad laminate of 0.4 mm was obtained at 200 ° C., and unnecessary portions of the copper foil on both sides were removed by etching to form an inner layer circuit board. Then, the resin-coated copper foil is stacked so that the resin surface faces the inner layer circuit, and
It was molded under a heating condition of 200 ° C. and 2 hours under a pressure of kg / cm 2 to prepare a multilayer copper-clad laminate having an inner layer circuit. Table 1 shows the test results.

【0057】実施例23 樹脂組成物作成例2で得られた樹脂を使用し、厚さ18
μmの銅箔を厚さ18μmの42合金箔に代えた以外は
実施例1〜22と同様に操作して内層回路入り多層金属
張積層板を作成した。試験結果を表−1に示す。
Example 23 The resin obtained in Resin Composition Preparation Example 2 was used and had a thickness of 18
A multilayer metal-clad laminate with an inner layer circuit was prepared in the same manner as in Examples 1 to 22, except that the μm copper foil was replaced by a 42 μm-thick 42 alloy foil. Table 1 shows the test results.

【0058】実施例24 樹脂組成物作成例2で得られた樹脂組成物ワニスを乾燥
後の接着剤層の厚さが60μmになるように剥離処理を
施した厚さ38μmのポリエチレンテレフタレートフィ
ルム片面に塗布し、熱風循環型乾燥機中にて140℃で
5分間乾燥して、接着フィルムを作成した。作成した接
着フィルムは、カッターナイフによる切断時に切断箇所
近傍の樹脂に樹脂割れ及び飛散が無く、取り扱い性は良
好であった。一方、樹脂組成物作成例2で得られた樹脂
組成物ワニスを、芳香族ポリエステル不織布(厚さ0.
1mm、クラレ社製)100重量部に対して固形分で1
20重量部となるように含浸させて140℃の乾燥炉中
で5分間乾燥させプリプレグを作成した。このプリプレ
グを4枚重ねあわせ、さらに上下の最外層の面に18μ
mの銅箔を配して、20kg/cm2の圧力で、200
℃で0.4mmの両面銅張積層板を得、さらに該両面の
銅箔の不要な箇所をエッチング除去して内層回路板を作
成した。次いで、前記接着フィルムの樹脂面が内層回路
に向き合うように該内層回路板の両面に重ね、20kg
/cm2の圧力で、200℃、2時間の加熱条件で成形
し、内層回路入り多層銅張積層板を作成した。試験結果
を表−1に示す。
Example 24 One side of a 38 μm thick polyethylene terephthalate film obtained by subjecting the resin composition varnish obtained in Resin Composition Preparation Example 2 to a release treatment so that the thickness of the adhesive layer after drying was 60 μm was obtained. It was applied and dried at 140 ° C. for 5 minutes in a hot air circulation type drier to form an adhesive film. The produced adhesive film had no resin cracking or scattering in the resin in the vicinity of the cut portion when cut with a cutter knife, and the handleability was good. On the other hand, the resin composition varnish obtained in Resin Composition Preparation Example 2 was applied to an aromatic polyester nonwoven fabric (with a thickness of 0.1 mm).
1 mm, manufactured by Kuraray Co., Ltd.)
It was impregnated to 20 parts by weight and dried in a drying oven at 140 ° C. for 5 minutes to prepare a prepreg. Four prepregs are stacked on top of each other, and 18 μm
m of copper foil, and at a pressure of 20 kg / cm 2 , 200
A 0.4 mm double-sided copper-clad laminate at 0.4 ° C. was obtained, and unnecessary portions of the copper foil on both sides were removed by etching to prepare an inner circuit board. Then, the resin film of the adhesive film is superimposed on both surfaces of the inner circuit board so that the resin surface faces the inner circuit, and 20 kg
/ Cm 2 under a heating condition of 200 ° C. for 2 hours to produce a multilayer copper-clad laminate having an inner circuit. Table 1 shows the test results.

【0059】比較例1 合成例3で得られたシロキサン変性ポリイミド樹脂10
0重量部と前記式(5−2)で示される化合物400重
量部を、テトラヒドロフラン中に添加して充分に混合、
溶解し、得られた固形分率30重量%の樹脂組成物を用
いて、実施例1〜22と同様に操作して内層回路入り多
層銅張積層板を作成した。試験結果を表−1に示す。
Comparative Example 1 Siloxane-modified polyimide resin 10 obtained in Synthesis Example 3
0 parts by weight and 400 parts by weight of the compound represented by the formula (5-2) are added to tetrahydrofuran and mixed well.
Using a resin composition having a solid content of 30% by weight, the same operation as in Examples 1 to 22 was performed to prepare a multilayer copper-clad laminate having an inner circuit. Table 1 shows the test results.

【0060】比較例2 前記式(5−2)で示される化合物179重量部と前記
式(1)で示される化合物の内Rがメチル基である化合
物168重量部(マレイミド基1モル当量に対するメチ
ルアリル基のモル当量は1.0)を、テトラヒドロフラ
ン中に添加して充分に混合、溶解し、固形分率30重量
%の樹脂組成物を用いて、実施例1〜22と同様に操作
して内層回路入り多層銅張積層板を作成した。試験結果
を表−1に示す。
Comparative Example 2 179 parts by weight of the compound represented by the formula (5-2) and 168 parts by weight of the compound represented by the formula (1) in which R is a methyl group (methylallyl relative to 1 mole equivalent of the maleimide group) The molar equivalent of the group is 1.0), added to tetrahydrofuran, thoroughly mixed and dissolved, and using a resin composition having a solid content of 30% by weight, operating in the same manner as in Examples 1 to 22, to form the inner layer. A multilayer copper-clad laminate with a circuit was prepared. Table 1 shows the test results.

【0061】比較例3 合成例3で得られたシロキサン変性ポリイミドをアクリ
ロニトリル−ブタジエン共重合体に代えた以外は樹脂組
成物作成例1と同様に操作して得られた樹脂組成物ワニ
スを用いて、実施例1〜22と同様に操作して内層回路
入り多層銅張積層板を作成した。試験結果を表−1に示
す。
Comparative Example 3 Using a resin composition varnish obtained in the same manner as in Resin Composition Preparation Example 1 except that the siloxane-modified polyimide obtained in Synthesis Example 3 was replaced with an acrylonitrile-butadiene copolymer. In the same manner as in Examples 1 to 22, a multilayer copper-clad laminate containing an inner layer circuit was prepared. Table 1 shows the test results.

【0062】 表−1 特性 誘電率 ヒ゜ール強度 ハンタ゛耐熱性 飛散性 PCBT 実施例1 2.9 1.3 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 実施例2 2.8 1.2 kg/cm 異常なし バリ無し ショート無し 実施例3 2.9 1.3 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 実施例4 2.9 1.2 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 実施例5 3.0 1.2 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 実施例6 3.0 1.3 kg/cm 異常なし バリ無し ショート無し 実施例7 3.0 1.3 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 実施例8 2.8 1.3 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 実施例9 2.9 1.2 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 実施例10 2.8 1.2 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 実施例11 2.9 1.2 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 実施例12 2.8 1.2 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 実施例13 3.0 1.3 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 実施例14 2.9 1.3 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 実施例15 2.8 1.2 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 実施例16 2.9 1.2 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 実施例17 2.9 1.4 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 実施例18 3.0 1.4 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 実施例19 3.0 1.4 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 実施例20 2.9 1.3 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無しTable 1 Characteristics Dielectric constant Peel strength Hunter heat resistance Spattering property PCBT Example 1 2.9 1.3 kg / cm No abnormality No cracking No short-circuiting Example 2 2.8 1.2 kg / cm No abnormality No burring No short-circuiting Example 3 2.9 1.3 kg / cm No abnormality No cracking No short circuit Example 4 2.9 1.2 kg / cm No abnormality No cracking No short circuit Example 5 3.0 1.2 kg / cm No abnormality No cracking No short circuit Example 6 3.0 1.3 kg / cm No abnormality No burr No short circuit Example 7 3.0 1.3 kg / cm No abnormality No crack No short circuit Example 8 2.8 1.3 kg / cm No abnormality No crack No short circuit Example 9 9 1.2 kg / cm No abnormality No crack No short circuit Example 10 2.8 1.2 kg / cm No abnormality No crack No short example 11 2.9 1.2 kg / cm No abnormality No crack No short Example 12 2.8 1.2 kg / cm No abnormality No crack No short example Example 13 3.0 1.3 kg / cm No abnormality No crack No short Example 14 2.9 1.3 kg / cm No abnormality No crack No short example 15 2.8 1.2 kg / cm No abnormality No crack No short circuit Example 16 2.9 1.2 kg / cm No abnormality No crack No short example 17 2.9 1.4 kg / cm No abnormality No crack No short circuit Example 183 2.0 1.4 kg / cm No abnormalities No irregularities No short-circuit Example 19 3.0 1.4 kg / cm No abnormalities No irregularities No short-circuits Example 20 2.9 1.3 kg / cm No abnormalities No irregularities No shorts

【0063】 表−1(続) 特性 誘電率 ヒ゜ール強度 ハンタ゛耐熱性 飛散性 PCBT 実施例21 2.9 1.4 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 実施例22 2.9 1.2 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 実施例23 2.9 1.2 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 実施例24 2.8 1.3 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無し 比較例1 3.3 1.4 kg/cm 銅箔ふくれ ハ゛リ無し ショート無し 比較例2 2.8 1.3 kg/cm 異常なし ハ゛リ有り ショート無し 比較例3 3.5 1.2 kg/cm 異常なし ハ゛リ無し ショート無しTable 1 (continued) Characteristics Dielectric constant Peel strength Hunter heat resistance Spattering property PCBT Example 21 2.9 1.4 kg / cm No abnormality No cracking No short circuit Example 22 2.9 1.2 kg / cm No abnormality No cracking No short circuit Example 23 2.9 1.2 kg / cm No abnormality No cracking No short circuit Example 24 2.8 1.3 kg / cm No abnormality No cracking No short comparative example 1 3.3 1.4 kg / cm Copper foil blister No cracking Short None Comparative Example 2 2.8 1.3 kg / cm No abnormality No cracking No short circuit Comparative Example 3 3.5 1.2 kg / cm No abnormality No cracking No short circuit

【0064】(評価方法) 誘電率:JIS C6481(比誘電率および誘電正
接)に準じて行い周波数1MHzの静電容量を測定して
求めた。 ピール強度:JIS C6481(引き剥がし強度)に
準じて測定した。 はんだ耐熱性:JIS C6481(はんだ耐熱性)に
準じて測定し、はんだ耐熱性は260℃での外観の異常
の有無を調べた。 PCBT:積層板の表面にエッチングで線間100μm
のパターンを作成し、そのパターンの上に厚さ0.1m
mのプリプレグを積層し、圧力20kg/cm2、温度
200℃で2時間加熱加圧成形を行い試験体を作成し
た。試験体に5V印加、121℃、2気圧、100%R
H、1000時間の条件でパターン間のショート有無を
調べた。 飛散性:半硬化状樹脂付銅箔を金型にて打ち抜き、その
端面を観察した。
(Evaluation Method) Dielectric constant: Measured according to JIS C6481 (relative dielectric constant and dielectric loss tangent), and measured by measuring the capacitance at a frequency of 1 MHz. Peel strength: Measured according to JIS C6481 (peeling strength). Solder heat resistance: Measured according to JIS C6481 (solder heat resistance), and the solder heat resistance was checked for any abnormal appearance at 260 ° C. PCBT: 100 μm between lines by etching on the surface of the laminate
A pattern of 0.1m thick on the pattern
m of prepreg were laminated, and heated and pressed at a pressure of 20 kg / cm 2 and a temperature of 200 ° C. for 2 hours to prepare a test body. 5V applied to test specimen, 121 ° C, 2 atm, 100% R
H, the presence or absence of a short between the patterns was examined under the conditions of 1000 hours. Scatterability: The semi-cured resin-coated copper foil was punched out with a mold, and the end face was observed.

【0065】[0065]

【発明の効果】本発明によれば、低誘電率、耐熱性に優
れ、かつ室温において十分なピール強度を有し、切断時
に切断箇所近傍の樹脂に樹脂割れ及び飛散が無く、取り
扱い性が良好である回路積層材料が提供される。本発明
の回路積層材料は、プリント配線板等への使用に好適で
ある。
According to the present invention, low dielectric constant, excellent heat resistance, sufficient peel strength at room temperature, no resin cracking and scattering in the vicinity of the cut portion at the time of cutting, and good handleability. Is provided. The circuit laminate material of the present invention is suitable for use in printed wiring boards and the like.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C08L 35/00 C08L 35/00 4J100 39/04 39/04 C09J 7/02 C09J 7/02 Z 179/08 179/08 Z H05K 1/03 610 H05K 1/03 610N (72)発明者 佐藤 健 静岡県静岡市用宗巴町3番1号 株式会社 巴川製紙所電子材料事業部内 (72)発明者 織野 大輔 静岡県静岡市用宗巴町3番1号 株式会社 巴川製紙所電子材料事業部内 Fターム(参考) 4F100 AB01A AB33A AK49B AL08B AR00A BA02 GB43 YY00A 4J002 CM04W CN03W CP03W CP03X EU027 EU196 EX077 FD150 GF00 GQ05 4J004 AA11 AA17 AB05 CA04 CA06 CA08 CC02 DA04 DB02 DB03 FA05 4J040 EH031 EH032 EK111 EK112 FA061 FA062 FA181 FA182 FA191 FA192 JA09 JB02 LA09 MA02 MB03 NA20 4J043 PA04 PA08 PC016 PC116 QB26 QB58 RA34 SA06 SA11 SA72 SB02 TA22 TB01 UA122 UA131 UA141 UA151 UA231 UA262 UB011 UB022 UB061 UB062 UB122 UB131 UB141 UB152 UB172 UB301 UB302 WA09 XA14 XA15 XA16 XA17 XA18 XA19 XB16 XB19 XB20 XB34 XB36 ZA02 ZA42 ZA60 ZB01 ZB50 4J100 AM43P AQ20P BA75H BC41H JA43 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) C08L 35/00 C08L 35/00 4J100 39/04 39/04 C09J 7/02 C09J 7/02 Z 179/08 179/08 Z H05K 1/03 610 H05K 1/03 610N (72) Inventor Ken Sato 3-1, Yomuneha-cho, Shizuoka-shi, Shizuoka Prefecture Electronic Materials Division, Hamakawa Paper Co., Ltd. (72) Daisuke Orino F-1 Term (Reference) 4-3, Yomune-cho, Yomunecho, Shizuoka City, Shizuoka Pref., Ltd. CA04 CA06 CA08 CC02 DA04 DB02 DB03 FA05 4J040 EH031 EH032 EK111 EK112 FA061 FA062 FA181 FA182 FA191 FA192 JA09 JB02 LA09 MA02 MB03 NA20 4J043 PA04 PA08 PC01 6 PC116 QB26 QB58 RA34 SA06 SA11 SA72 SB02 TA22 TB01 UA122 UA131 UA141 UA151 UA231 UA262 UB011 UB022 UB061 UB062 UB122 UB131 UB141 UB152 UB172 UB301 UB302 WA09 XA14 XA15 XA16 XA18 XA XB18 XA18 XA18 XA18 XA18 XA18BA JA43

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 剥離性フィルム又は金属箔の一面に、成
分(a)シロキサン変性ポリイミドと、成分(b)下記
式(1)記載のアリル基またはメチルアリル基を3個含
有する化合物と、成分(c)マレイミド基を2個以上含
有する化合物とからなる接着層を積層していること特徴
とする回路積層材料。 【化1】
1. A component (a) a siloxane-modified polyimide, a component (b) a compound containing three allyl groups or methyl allyl groups represented by the following formula (1), and a component (a) c) A circuit laminate material characterized by laminating an adhesive layer comprising a compound containing two or more maleimide groups. Embedded image
【請求項2】 請求項1記載の各成分が、成分(a)1
00重量部に対して、成分(b)および成分(c)の総
和が10〜900重量部であり、成分(c)のマレイミ
ド基1モル当量に対する成分(b)のメチルアリル基が
0.1〜2.0モル当量であることを特徴とする請求項
1記載の回路積層材料。
2. The composition according to claim 1, wherein each component is component (a) 1.
The total amount of the component (b) and the component (c) is 10 to 900 parts by weight with respect to 00 parts by weight, and the amount of the methylallyl group of the component (b) is 0.1 to 1 mol equivalent to 1 mole equivalent of the maleimide group of the component (c). 2. The circuit laminate material according to claim 1, having a molar equivalent of 2.0.
【請求項3】 成分(a)のシロキサン変性ポリイミド
が下記式(2a)で表される構造単位の少なくとも1種
を90〜40モル%と、下記式(2b)で表される構造
単位の少なくとも1種を10〜60モル%含有してなる
ことを特徴とする請求項1記載の回路積層材料、 【化2】 (式中Xは、直接結合、−O−、−SO2−、−CO−、
−C(CH32−、−C(CF32−、−COOCH2
CH2OCO−何れかの結合を示し、Arは芳香環を有
する下記式(3)の構造を有する基群から選ばれる二価
の基を、Rはメチレン基がSiに結合している−CH2
OC64−または炭素数1〜10のアルキレン基を示
し、nは1〜20の整数を意味する。) 式(3) 【化3】 (式中R1、R2、R3及びR4はそれぞれ同じでも異なっ
ていてもよく、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基又
はアルコキシ基を示すが、これら全ての基が同時に水素
原子であることはない。)
3. The siloxane-modified polyimide of the component (a) contains 90 to 40 mol% of at least one of the structural units represented by the following formula (2a) and at least one of the structural units represented by the following formula (2b): The circuit laminate material according to claim 1, wherein one kind of the laminate material is contained in an amount of 10 to 60 mol%. (Wherein X is a direct bond, -O -, - SO 2 - , - CO-,
—C (CH 3 ) 2 —, —C (CF 3 ) 2 —, —COOCH 2
CH 2 OCO—indicates any bond, Ar represents a divalent group selected from a group of groups having a structure of the following formula (3) having an aromatic ring, and R represents —CH in which a methylene group is bonded to Si. Two
It represents OC 6 H 4 — or an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and n represents an integer of 1 to 20. ) Formula (3) (In the formula, R 1 , R 2 , R 3 and R 4 may be the same or different and each represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alkoxy group. Is not.)
【請求項4】 成分(a)のシロキサン変性ポリイミド
が下記式(4a)で表される構造単位の少なくとも1種
を90〜40モル%と、下記式(4b)で表される構造
単位の少なくとも1種を10〜60モル%含有してなる
ことを特徴とする請求項3記載の回路積層材料、 【化4】 (式中、Xは四価の芳香族基で3,3’,4,4’−ジ
フェニルスルホン構造、3,3’,4,4’−ビフェニ
ル構造、2,3’,3,4’−ビフェニル構造の何れか
を、Arは式(3)に示される構造を有する基群から選
ばれる二価の基を、Rは炭素数1〜10のアルキレン基
またはメチレン基がSiに結合している−CH2OC6
4−を示し、nは1〜20の整数を意味する。)。
4. The siloxane-modified polyimide of the component (a) comprises 90 to 40 mol% of at least one of the structural units represented by the following formula (4a) and at least one of the structural units represented by the following formula (4b): 4. The circuit laminate material according to claim 3, wherein one kind is contained in an amount of 10 to 60 mol%. (Wherein X is a tetravalent aromatic group, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone structure, 3,3 ′, 4,4′-biphenyl structure, 2,3 ′, 3,4′- Ar is a divalent group selected from a group having the structure represented by the formula (3), R is an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms or a methylene group bonded to Si. -CH 2 OC 6 H
4 - shows a, n represents an integer of 1 to 20. ).
【請求項5】 成分(a)のシロキサン変性ポリイミド
の誘電率が3.0以下であることを特徴とする請求項1
記載の回路積層材料。
5. The siloxane-modified polyimide of component (a) has a dielectric constant of 3.0 or less.
The described circuit laminate material.
【請求項6】 成分(a)のシロキサン変性ポリイミド
のガラス転移点温度が150℃以下であることを特徴と
する請求項1記載の回路積層材料。
6. The circuit laminate material according to claim 1, wherein the siloxane-modified polyimide as the component (a) has a glass transition temperature of 150 ° C. or lower.
【請求項7】 成分(a)のシロキサン変性ポリイミド
の重量平均分子量が5,000〜500,000であるこ
とを特徴とする請求項1記載の回路積層材料。
7. The circuit laminate material according to claim 1, wherein the weight average molecular weight of the siloxane-modified polyimide of the component (a) is 5,000 to 500,000.
【請求項8】 成分(c)のマレイミド基を2個以上含
有する化合物が、下記式(5−1)から(5−5) 【化5】 で示される化合物であることを特徴とする請求項1記載
の回路積層材料。
8. The compound of the component (c) containing two or more maleimide groups is represented by the following formulas (5-1) to (5-5): The circuit laminate material according to claim 1, which is a compound represented by the formula:
【請求項9】 平均粒径1μm以下のフィラーが、樹脂
全固形分の5〜70%含まれていることを特徴とする請
求項1記載の回路積層材料。
9. The circuit laminate material according to claim 1, wherein a filler having an average particle size of 1 μm or less is contained in an amount of 5 to 70% of the total solid of the resin.
【請求項10】 金属箔の材質が銅、白銅、銀、鉄、4
2合金、ステンレスから選ばれた少なくとも1つである
ことを特徴とする請求項1記載の回路積層材料。
10. The material of the metal foil is copper, white copper, silver, iron,
The circuit laminate material according to claim 1, wherein the material is at least one selected from two alloys and stainless steel.
【請求項11】 金属箔の厚さが10μm〜300μ
mの範囲にあることを特徴とする請求項1記載の回路積
層材料。
11. The metal foil has a thickness of 10 μm to 300 μm.
2. The circuit laminate material according to claim 1, wherein m is in the range of m.
【請求項12】 請求項1記載の接着層の表面に、剥
離性フィルムを設けたことを特徴とする回路積層材料。
12. A circuit laminate material, wherein a release film is provided on the surface of the adhesive layer according to claim 1.
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