JP2000091356A - Mounting device and mounting method for optical fiber element - Google Patents

Mounting device and mounting method for optical fiber element

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JP2000091356A
JP2000091356A JP25652798A JP25652798A JP2000091356A JP 2000091356 A JP2000091356 A JP 2000091356A JP 25652798 A JP25652798 A JP 25652798A JP 25652798 A JP25652798 A JP 25652798A JP 2000091356 A JP2000091356 A JP 2000091356A
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fiber element
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optical
package
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the mounting device and the mounting method of an optical fiber element, which can improve mounting accuracy and the production efficiency. SOLUTION: In the optical-fiber element mounting device, which mounts the optical-fiber element for optical communication in a package, a positioning means which performs the position alignment of an optical fiber element 8 around an axis in the direction θ, is provided in the temporary mounting stage that picks up an optical fiber element 8 from a supply part and temporarily sets an element. The position aligning means comprises a rotating mechanism, which rotates the optical fiber element 8 by a motor 43, and a laser irradiation device 50 and an optical receiver, which detects the slant direction of the tip surface of a fiber 8b. With a timing that the light-receiving part 51 receives light, the motor 43 is stopped. Thus, position alignment is performed in the direction θ with the timing, when the light receiving part 51 has received the laser light. Thus, it is not necessary to perform position alignment by the manual work of a worker, and the mounting accuracy and the production efficiency can be improved.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光通信用のファイ
バ素子をパッケージに実装する光ファイバ素子の実装装
置および実装方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical fiber device mounting apparatus and method for mounting a fiber device for optical communication in a package.

【0002】[0002]

【従来の技術】光通信ユニットは、パッケージに発光素
子、受光素子や光ファイバ素子など各種の部品を実装し
て組み立てられる。従来上記多品種の部品をそれぞれに
要求される実装精度などの実装条件に応じて作業性よく
実装を行う技術は確立されておらず、かなりの実装工程
を作業者の手作業に依存している実情にあった。
2. Description of the Related Art An optical communication unit is assembled by mounting various components such as a light emitting element, a light receiving element and an optical fiber element on a package. Conventionally, there is no established technique for mounting the above-mentioned various types of parts with good workability according to mounting conditions such as mounting accuracy required for each of them, and a considerable amount of the mounting process is dependent on manual labor of an operator. It was in fact.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】例えば、前述の光ファ
イバ素子は円柱状の部品であり、しかもパッケージへの
実装に際しては円柱のθ軸方向の位置を正確に合わせた
上で装着する必要がある。しかしながら従来の実装方法
においては、この位置合せは供給部のトレーに光ファイ
バ素子を載置する際に作業者が目視によってθ軸方向の
位置合せしてセットすることにより行われており、手作
業に頼る部分が多く実装精度の確保が難しいとともに、
生産効率が低いという問題点があった。
For example, the above-mentioned optical fiber element is a columnar component, and when mounted on a package, it is necessary to mount the column after the position of the column in the θ-axis direction is accurately adjusted. . However, in the conventional mounting method, this alignment is performed by an operator visually aligning and setting in the θ-axis direction when placing the optical fiber element on the tray of the supply unit. And it is difficult to secure mounting accuracy.
There was a problem that the production efficiency was low.

【0004】そこで本発明は、実装精度と生産効率を向
上させることができる光ファイバ素子の実装装置と実装
方法を提供することを目的とする。
Accordingly, an object of the present invention is to provide an optical fiber device mounting apparatus and a mounting method capable of improving mounting accuracy and production efficiency.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の光ファイ
バ素子の実装装置は、光通信用のファイバ素子をパッケ
ージに実装する光ファイバ素子の実装装置であって、光
ファイバ素子を供給する供給部と、前記光ファイバ素子
を仮置きして位置合わせを行う位置合わせ手段を備えた
仮置きステージと、前記光ファイバ素子を前記供給部か
らピックアップして前記仮置きステージに移載する第1
の移載ヘッドと、位置合わせされた光ファイバ素子を前
記仮置ステージからピックアップして前記パッケージに
移載する第2の移載ヘッドとを備えた。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an optical fiber element mounting apparatus for mounting an optical fiber element in a package, the optical fiber element mounting apparatus comprising: And a temporary placement stage provided with a positioning means for temporarily placing and positioning the optical fiber element, and a first stage for picking up the optical fiber element from the supply section and transferring the optical fiber element to the temporary placement stage.
And a second transfer head that picks up the aligned optical fiber element from the temporary stage and transfers it to the package.

【0006】請求項2記載の光ファイバ素子の実装方法
は、光通信用のファイバ素子をパッケージに実装する光
ファイバ素子の実装方法であって、供給部に載置された
光ファイバ素子を第1の移載ヘッドによりピックアップ
して仮置きステージに移載する工程と、位置合わせ手段
により仮置きステージ上の光ファイバ素子の位置合せを
行う工程と、位置合せされた光ファイバ素子を第2の移
載ヘッドによりピックアップして位置決め部上のパッケ
ージに移載する工程とを含む。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of mounting an optical fiber element for mounting an optical communication fiber element on a package, wherein the optical fiber element mounted on the supply unit is a first optical fiber element. Picking up by the transfer head and transferring it to the temporary placing stage; aligning the optical fiber element on the temporary placing stage by the aligning means; Picking up by the mounting head and transferring the package to the package on the positioning section.

【0007】各請求項記載の発明によれば、供給部から
ピックアップした光ファイバ素子の仮置きステージを設
け、ここで光ファイバ素子の位置合せを行うようにした
ので、作業者の手作業による位置合せを行う必要がな
く、実装精度と生産効率を向上させることができる。
According to the invention described in each claim, a temporary placement stage for the optical fiber element picked up from the supply unit is provided, and the optical fiber element is aligned here. There is no need to perform matching, and mounting accuracy and production efficiency can be improved.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態の光フ
ァイバ素子の実装装置の斜視図、図2(a)は同パッケ
ージを搭載したキャリアの斜視図、図2(b)は同パッ
ケージの斜視図、図3(a),(b)は同光ファイバ素
子の実装装置の仮置きステージの斜視図、図4(a),
(b)は同光ファイバ素子の実装装置の位置合せ部の斜
視図である。
Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of an optical fiber device mounting apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2A is a perspective view of a carrier on which the package is mounted, and FIG. 2B is a perspective view of the package. 3 (a) and 3 (b) are perspective views of a temporary placing stage of the optical fiber element mounting apparatus, and FIGS.
(B) is a perspective view of a positioning unit of the optical fiber element mounting device.

【0009】まず図1、図2を参照して光ファイバ素子
の実装装置の構造を説明する。図1において、搬送路1
1上にはストッカ10から押し出されて供給されたキャ
リア1が搬送される。キャリア1は搬送路11を左方へ
搬送され、位置決め部である可動テーブル12により位
置決めされる。可動テーブルはXテーブル13、Yテー
ブル14より構成される。
First, the structure of an optical fiber device mounting apparatus will be described with reference to FIGS. In FIG. 1, the transport path 1
The carrier 1 pushed out from the stocker 10 and supplied is transported onto the top 1. The carrier 1 is transported leftward on the transport path 11 and is positioned by a movable table 12 which is a positioning unit. The movable table includes an X table 13 and a Y table 14.

【0010】ここでキャリア1について説明する。図2
(a)に示すようにキャリア1は細長いリードフレーム
であり、キャリア1上には多数個のパッケージ3が搭載
されている。図2(b)において、パッケージ3はセラ
ミックから成り、その上面には凹入部4が形成されてい
る。凹入部4の一方の側壁上面には凹部5が形成されて
いる。凹入部4にはシリコンから成り上面に溝7が直線
状に形成された基板6が搭載される。この光ファイバ素
子の実装装置においては、基板6が搭載された後のパッ
ケージ3に、光ファイバ素子8が実装される。光ファイ
バ素子8は細長い円柱状の基体8aと、基体8aの前端
面から前方へ直線状に延出するファイバ8bから成り、
基体8aを凹部5に嵌合させ、またファイバ8bを基板
6の溝7に嵌合させることによりパッケージ3に実装さ
れる。可動テーブル12上で実装が終了したキャリア1
1は搬送路11上を下流側に搬送されてストッカー15
に収納される。
Here, the carrier 1 will be described. FIG.
As shown in FIG. 1A, the carrier 1 is an elongated lead frame, and a large number of packages 3 are mounted on the carrier 1. In FIG. 2B, the package 3 is made of ceramic, and has a recess 4 formed on the upper surface thereof. A recess 5 is formed on the upper surface of one side wall of the recess 4. A substrate 6 made of silicon and having a groove 7 formed linearly on the upper surface is mounted in the recess 4. In the optical fiber element mounting apparatus, the optical fiber element 8 is mounted on the package 3 after the substrate 6 is mounted. The optical fiber element 8 comprises an elongated cylindrical base 8a, and a fiber 8b linearly extending forward from the front end face of the base 8a.
The package 8 is mounted on the package 3 by fitting the base 8a into the concave portion 5 and fitting the fiber 8b into the groove 7 of the substrate 6. Carrier 1 mounted on movable table 12
1 is transported downstream on the transport path 11 to the stocker 15
Is stored in.

【0011】搬送路11の上方には、これと直交する方
向(Y方向)に長尺のスライドテーブル20が配設され
ている。スライドテーブル20には、第1の移載ヘッド
21、第2の移載ヘッド23およびボンド塗布ヘッド2
5が装着されている。これらのヘッドはそれぞれ吸着ノ
ズル22,24、ボンド塗布用のディスペンサ26を備
えている。ここで、吸着ノズル22は通常用いられるフ
ラットノズルであり、吸着された光ファイバ素子8の姿
勢は正確には保持されないタイプであるのに対し、吸着
ノズル24は光ファイバ素子8の形状に応じた吸着面を
有するものとなっており、吸着された光ファイバ素子8
は姿勢を正確に保持されたまま搬送される。もちろん、
吸着ノズル22としてフラットノズルの替わりに、吸着
ノズル24と同タイプのものを用いるようにしても良
い。スライドテーブル20は図外の駆動手段によりY方
向へ往復移動し、第1の移載ヘッド21、第2の移載ヘ
ッド23およびボンド塗布ヘッド25はスライドテーブ
ル20と一体的に同期して移動する。
A long slide table 20 is arranged above the transport path 11 in a direction (Y direction) orthogonal to the transport path 11. The slide table 20 has a first transfer head 21, a second transfer head 23, and a bond application head 2.
5 is attached. Each of these heads has suction nozzles 22 and 24 and a dispenser 26 for applying a bond. Here, the suction nozzle 22 is a commonly used flat nozzle, and is of a type in which the posture of the sucked optical fiber element 8 is not accurately held, whereas the suction nozzle 24 conforms to the shape of the optical fiber element 8. The optical fiber element 8 having the suction surface
Is transported while maintaining its posture accurately. of course,
Instead of the flat nozzle, the suction nozzle 22 may be of the same type as the suction nozzle 24. The slide table 20 reciprocates in the Y direction by a driving unit (not shown), and the first transfer head 21, the second transfer head 23, and the bond applying head 25 move integrally and synchronously with the slide table 20. .

【0012】搬送路11の側方には光ファイバ素子8の
供給部30が設けられている。供給部30のターンテー
ブル31には、プレート32上に支持された複数個のト
レイ33が装着されている。トレイ33には複数個の光
ファイバ素子8が整列して収納されている。トレイ33
の上方には、光ファイバ素子8を認識するためのカメラ
34が設けられている。また、可動テーブル12の側方
には、吸着ノズル24に真空吸着された光ファイバ素子
8を下方からカメラで認識する認識ユニット36が設け
られており、キャリア1の上方にはパッケージ3を認識
するカメラ35が設けられている。
A supply section 30 for the optical fiber element 8 is provided on the side of the transport path 11. A plurality of trays 33 supported on a plate 32 are mounted on a turntable 31 of the supply unit 30. In the tray 33, a plurality of optical fiber elements 8 are arranged and stored. Tray 33
Above the camera, a camera 34 for recognizing the optical fiber element 8 is provided. A recognition unit 36 is provided on the side of the movable table 12 for recognizing the optical fiber element 8 vacuum-sucked on the suction nozzle 24 by a camera from below, and recognizes the package 3 above the carrier 1. A camera 35 is provided.

【0013】供給部30と搬送路11の間には、仮置き
ステージ40が配設されている。仮置きステージ40上
には、トレイ33から第1の移載ヘッド21によりピッ
クアップされた光ファイバ素子8が仮置きされ、ここで
位置合せされる。位置合せされた光ファイバ素子8は、
第2の移載ヘッド23によりピックアップされ、キャリ
ア1上のパッケージ3に実装される。
A temporary stage 40 is provided between the supply unit 30 and the transport path 11. The optical fiber element 8 picked up from the tray 33 by the first transfer head 21 is temporarily placed on the temporary placement stage 40, and is aligned here. The aligned optical fiber element 8
It is picked up by the second transfer head 23 and mounted on the package 3 on the carrier 1.

【0014】次に図3、図4を参照して仮置きステージ
40について説明する。図3(a)において、仮置きス
テージ40は載置台41より成り、載置台41の上面に
設けられた載置溝42に光ファイバ素子8の基体8aを
載置することにより、ファイバ8bのθ回転方向の位置
合せが行われる。載置台41の内部には、図3(b)に
示すように光ファイバ素子8の回転機構が設けられてい
る。図3(b)において44a,44bは円周面を有す
る扉形の回転部材であり、2つの回転軸45によってそ
れぞれ回転する。回転軸45にはギヤ46が結合されて
おり、ギヤ46にはギヤ47が噛み合っている。ギア4
7に連結されたモータ43を駆動することにより、回転
部材44a,44bはそれぞれ同一方向に回転運動を行
う。したがって、回転部材44a,44bの円周面上に
光ファイバ素子8の基体8aを載置した状態でモータ4
3を駆動することにより、基体8aは摩擦により回転す
る。
Next, the temporary placement stage 40 will be described with reference to FIGS. In FIG. 3A, the temporary placing stage 40 is composed of a placing table 41, and the base 8 a of the optical fiber element 8 is placed in the placing groove 42 provided on the upper surface of the placing table 41 so that the θ of the fiber 8 b is changed. Rotational alignment is performed. A rotation mechanism for the optical fiber element 8 is provided inside the mounting table 41 as shown in FIG. In FIG. 3B, reference numerals 44a and 44b denote door-shaped rotating members having a circumferential surface, which are respectively rotated by two rotating shafts 45. A gear 46 is connected to the rotating shaft 45, and a gear 47 meshes with the gear 46. Gear 4
By driving the motor 43 connected to the rotating member 7, the rotating members 44a and 44b perform rotational movement in the same direction. Therefore, in a state where the base 8a of the optical fiber element 8 is mounted on the circumferential surfaces of the rotating members 44a and 44b,
By driving 3, the base 8a is rotated by friction.

【0015】次に図4を参照して、光ファイバ素子8の
位置合せを行う位置合わせ部について説明する。図4
(a)に示すように、ファイバ8bの先端面は軸線に対
して直角とはなっておらず、特定方向に角度αだけ傾い
ている。光ファイバ素子8をパッケージ3に実装する際
には、この角度αの傾斜面をパッケージ3の特定方向に
合わせる必要があるため、仮置きステージ40にてθ方
向の位置合せが行われる。
Next, with reference to FIG. 4, a positioning unit for positioning the optical fiber element 8 will be described. FIG.
As shown in (a), the distal end surface of the fiber 8b is not perpendicular to the axis, but is inclined at an angle α in a specific direction. When the optical fiber element 8 is mounted on the package 3, it is necessary to adjust the inclined surface of the angle α to a specific direction of the package 3.

【0016】図4(a)は、この位置合せのための回転
位置検出方法として、ファイバ8bの先端面そのものの
傾きを用いる方法である。図4(a)において、50は
レーザ照射器であり、レーザ光(光軸aで示す)をファ
イバ8bの先端面に向かって照射する。先端の傾きαの
傾斜面の向きが特定方向と一致している状態では、反射
光(光軸bで示す)は、位置関係が予め角度αに対応し
て設定された受光器51に受光される。したがって、受
光器51からの受光信号を制御部52によって検出しな
がらモータ43を徐々に回転駆動し、受光器51による
受光信号が検出された位置でモータ43を停止すること
により、ファイバ8bのθ方向の位置合せが行われる。
FIG. 4A shows a method of using the inclination of the end face of the fiber 8b as a rotational position detecting method for this alignment. In FIG. 4A, reference numeral 50 denotes a laser irradiator, which irradiates a laser beam (indicated by an optical axis a) toward the distal end surface of the fiber 8b. In a state where the direction of the inclined surface having the tip inclination α coincides with the specific direction, the reflected light (indicated by the optical axis b) is received by the light receiver 51 whose positional relationship is set in advance corresponding to the angle α. You. Therefore, the motor 43 is gradually driven to rotate while the light receiving signal from the light receiver 51 is detected by the control unit 52, and the motor 43 is stopped at the position where the light receiving signal from the light receiver 51 is detected. Direction alignment is performed.

【0017】次に図4(b)は、位置合せのための回転
方向の位置検出方法として、基体8aの側面に形成され
たマーク8cを用いる例を示している。このマーク8c
は、前述のファイバ8bの先端面の傾き方向に対応して
設けられるものであり、マーク8cの回転方向位置を特
定することにより、ファイバ8bの回転方向の位置合せ
を行うことができる。図4(b)に示すように基体8a
をモータ43によって回転させながら、センサ53を用
い光学的にマーク8cをマーク検出部54によって検出
する。モータ43を徐々に回転させながらマーク検出信
号の検出タイミングを制御部55によって監視し、検出
タイミングに従ってモータ43を停止させることによ
り、図4(a)と同様にファイバ8bのθ方向の位置合
せを行うことができる。したがって、図4(a),
(b)に示す位置合わせ部と光ファイバ素子8を回転さ
せる回転機構は、位置合わせ手段を構成している。
FIG. 4B shows an example in which a mark 8c formed on a side surface of the base 8a is used as a method of detecting a position in the rotation direction for alignment. This mark 8c
Are provided corresponding to the inclination direction of the distal end surface of the fiber 8b. By specifying the rotational direction position of the mark 8c, the rotational direction of the fiber 8b can be aligned. As shown in FIG.
While the is rotated by the motor 43, the mark 8c is optically detected by the mark detection unit 54 using the sensor 53. The control unit 55 monitors the detection timing of the mark detection signal while gradually rotating the motor 43, and stops the motor 43 according to the detection timing, thereby aligning the fiber 8b in the θ direction in the same manner as in FIG. It can be carried out. Therefore, FIG.
The rotation unit for rotating the optical fiber element 8 and the positioning unit shown in FIG. 3B constitute a positioning unit.

【0018】この光ファイバ素子の実装装置は上記のよ
うに構成されており、以下動作について説明する。図1
において、ストッカ10から供給されたキャリア1は搬
送路11上を移動して可動テーブル12上に到達し、こ
こで位置決めされる。この動作と並行して、供給部30
のトレイ33から光ファイバ素子8が第1の移載ヘッド
21によりピックアップされ、仮置きステージ40上に
載置される。そして位置合せ手段によりファイバ8bの
θ方向の位置合せが行われる。
The optical fiber device mounting apparatus is configured as described above, and the operation will be described below. FIG.
In, the carrier 1 supplied from the stocker 10 moves on the transport path 11 and reaches the movable table 12, where it is positioned. In parallel with this operation, the supply unit 30
The optical fiber element 8 is picked up from the tray 33 by the first transfer head 21 and placed on the temporary placement stage 40. Then, the positioning of the fiber 8b in the θ direction is performed by the positioning means.

【0019】位置合せ後の光ファイバ素子8は、第2の
移載ヘッド23によってピックアップされる。第2の移
載ヘッド23に装着された吸着ノズル24は、光ファイ
バ素子8の形状に応じたものであるため、光ファイバ素
子8は移動中に位置ずれを生ずることなく位置合せされ
た状態を保持したままキャリア1のパッケージ3に実装
される。このとき、光ファイバ素子8は仮置きステージ
40でθ方向の位置合せがなされているため、パッケー
ジ3への実装時にファイバ8bの先端面を正しい方向に
合わせて搭載することができる。
The aligned optical fiber element 8 is picked up by the second transfer head 23. Since the suction nozzle 24 mounted on the second transfer head 23 is in accordance with the shape of the optical fiber element 8, the state where the optical fiber element 8 is aligned without causing displacement during movement is determined. It is mounted on the package 3 of the carrier 1 while holding it. At this time, since the optical fiber element 8 has been aligned in the θ direction by the temporary placement stage 40, the tip end surface of the fiber 8b can be mounted in the correct direction when mounted on the package 3.

【0020】[0020]

【発明の効果】本発明によれば、供給部からピックアッ
プした光ファイバ素子の仮置きステージを設け、ここで
光ファイバ素子の位置合せを行うようにしたので、作業
者の手作業による位置合せを行う必要なく、実装精度と
生産効率を向上させることができる。
According to the present invention, the provisional stage of the optical fiber element picked up from the supply unit is provided, and the optical fiber element is aligned at this stage. This eliminates the need to perform this process, thereby improving mounting accuracy and production efficiency.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態の光ファイバ素子の実装
装置の斜視図
FIG. 1 is a perspective view of an optical fiber device mounting apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】(a)本発明の一実施の形態のパッケージを搭
載したキャリアの斜視図 (b)本発明の一実施の形態のパッケージの斜視図
2A is a perspective view of a carrier on which a package according to an embodiment of the present invention is mounted. FIG. 2B is a perspective view of a package according to an embodiment of the present invention.

【図3】(a)本発明の一実施の形態の光ファイバ素子
の実装装置の仮置きステージの斜視図 (b)本発明の一実施の形態の光ファイバ素子の実装装
置の仮置きステージの斜視図
FIG. 3A is a perspective view of a temporary placing stage of the optical fiber element mounting apparatus according to one embodiment of the present invention; FIG. 3B is a perspective view of a temporary placing stage of the optical fiber element mounting apparatus according to one embodiment of the present invention; Perspective view

【図4】(a)本発明の一実施の形態の光ファイバ素子
の実装装置の位置合せ部の斜視図 (b)本発明の一実施の形態の光ファイバ素子の実装装
置の位置合せ部の斜視図
FIG. 4A is a perspective view of a positioning unit of an optical fiber element mounting apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 4B is a perspective view of an alignment unit of the optical fiber element mounting apparatus according to an embodiment of the present invention. Perspective view

【符号の説明】[Explanation of symbols]

3 パッケージ 8 光ファイバ素子 21 第1の移載ヘッド 23 第2の移載ヘッド 30 供給部 40 仮置きステージ 43 モータ Reference Signs List 3 Package 8 Optical fiber element 21 First transfer head 23 Second transfer head 30 Supply unit 40 Temporary placement stage 43 Motor

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】光通信用のファイバ素子をパッケージに実
装する光ファイバ素子の実装装置であって、光ファイバ
素子を供給する供給部と、前記光ファイバ素子を仮置き
して位置合わせを行う位置合わせ手段を備えた仮置きス
テージと、前記光ファイバ素子を前記供給部からピック
アップして前記仮置きステージに移載する第1の移載ヘ
ッドと、位置合わせされた光ファイバ素子を前記仮置ス
テージからピックアップして前記パッケージに移載する
第2の移載ヘッドとを備えたことを特徴とする光ファイ
バ素子の実装装置。
An optical fiber device mounting apparatus for mounting a fiber element for optical communication in a package, comprising: a supply section for supplying an optical fiber element; and a position for temporarily positioning and positioning the optical fiber element. A temporary placement stage having alignment means, a first transfer head for picking up the optical fiber element from the supply unit and transferring the optical fiber element to the temporary placement stage, and And a second transfer head for picking up from above and transferring the package to the package.
【請求項2】光通信用のファイバ素子をパッケージに実
装する光ファイバ素子の実装方法であって、供給部に載
置された光ファイバ素子を第1の移載ヘッドによりピッ
クアップして仮置きステージに移載する工程と、位置合
わせ手段により仮置きステージ上の光ファイバ素子の位
置合せを行う工程と、位置合せされた光ファイバ素子を
第2の移載ヘッドによりピックアップして位置決め部上
のパッケージに移載する工程とを含むことを特徴とする
光ファイバ素子の実装方法。
2. A method for mounting an optical fiber element for mounting an optical communication fiber element on a package, comprising picking up an optical fiber element mounted on a supply unit by a first transfer head and temporarily placing the optical fiber element on a temporary placement stage. And a step of aligning the optical fiber element on the temporary placing stage by the alignment means, and picking up the aligned optical fiber element by the second transfer head and mounting the package on the positioning section. Mounting the optical fiber element.
JP25652798A 1998-09-10 1998-09-10 Optical fiber element mounting apparatus and mounting method Expired - Fee Related JP3402213B2 (en)

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