JP2000059100A - Component suction device - Google Patents

Component suction device

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JP2000059100A
JP2000059100A JP10230388A JP23038898A JP2000059100A JP 2000059100 A JP2000059100 A JP 2000059100A JP 10230388 A JP10230388 A JP 10230388A JP 23038898 A JP23038898 A JP 23038898A JP 2000059100 A JP2000059100 A JP 2000059100A
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vacuum pressure
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a component suction equipment which is capable of surely detecting malfunctions and abnormalities in equipment or members related to suction of a component and surely mounting a component by properly breaking a vacuum pressure. SOLUTION: The pressures in a vacuum producing means and a part suction means 11 are each detected by pressure sensors 21 and 27 respectively, whereby the times required for the vacuum producing means and the part suction means to reach to target pressures or monitoring pressures are measured. When the target pressures or the required times vary from initial values, it is considered that the vacuum producing means 17 and 19, air pipings 16, 12, and 14 or an air filter 13 and the like are malfunctioning or operating abnormally, and failure analyses are carried out. When vacuum is broken, a vacuum breaking valve 22 is actuated to give a positive pressure. At this point, when a vacuum pressure is shut down, and a positive pressure is applied, a period of giving a positive pressure are regulated so as to optimize a vacuum breaking. With this constitution, failure analyses can be carried out, and a vacuum break can be optimized, so that components sure suction and mounting of are components realized.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、部品吸着装置、特
に、真空圧発生手段により発生する真空圧により部品を
吸着し、真空圧を破壊することにより部品の吸着を解除
する部品吸着装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a component suction device, and more particularly, to a component suction device which sucks a component by a vacuum pressure generated by a vacuum pressure generating means and releases the component by breaking the vacuum pressure.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、電子部品実装機(チップマウ
ンタ)では、例えばICチップ部品等の電子部品(以下
単に部品という)を吸着する吸着ノズルを備えた吸着ヘ
ッドが設けられており、フィーダから供給される部品が
吸着ノズルにより吸着され、回路基板上に移送、搭載さ
れている。部品吸着装置は吸着ノズルを備えた吸着ヘッ
ドなどから構成されており、部品吸着時にはZ軸(垂直
軸)に沿って下降して発生した真空圧により部品を吸着
し、また部品搭載時には、真空圧を破壊させて部品を基
板に搭載後Z軸に沿って上昇するようになっている。
2. Description of the Related Art Conventionally, an electronic component mounting machine (chip mounter) has been provided with a suction head having a suction nozzle for sucking an electronic component (hereinafter simply referred to as a component) such as an IC chip component. The supplied component is sucked by the suction nozzle, and is transferred and mounted on the circuit board. The component suction device is composed of a suction head or the like having a suction nozzle. The component is suctioned by vacuum pressure generated by descending along the Z axis (vertical axis) at the time of component suction, and the vacuum pressure at the time of component mounting. After the components are mounted on the substrate, the components rise along the Z-axis.

【0003】この場合、部品搭載時は瞬時に真空圧を破
壊しノズル内を大気圧にする必要がある。仮に搭載後の
Z軸上昇時に真空圧(残圧)があると、基板に粘着力の
乏しく、軽量の小型チップ部品は搭載されず吸い上げら
れることになる。このため、残圧を無くし、瞬時に大気
圧開放する方法として、正圧を瞬間的に加える方法が考
えられるが、この加圧時間が長いと搭載後のZ軸上昇時
に、ノズル先端から加圧されたエアが漏れ、正常に搭載
された周囲の部品をずらしてしまう、という問題が発生
する。
In this case, when components are mounted, it is necessary to instantaneously break the vacuum pressure and bring the inside of the nozzle to atmospheric pressure. If there is a vacuum pressure (residual pressure) when the Z-axis rises after mounting, the substrate will have poor adhesion and will be sucked up without mounting a small lightweight chip component. For this reason, as a method of eliminating the residual pressure and instantaneously releasing the atmospheric pressure, a method of instantaneously applying a positive pressure can be considered. The leaked air leaks and shifts normally mounted components around, which causes a problem.

【0004】従って、真空圧を遮断し、正圧を加え、さ
らに正圧を加える時間を電子部品の種類で微妙に制御す
る必要がある。別の方法として、上記制御時間を規定値
に固定して加圧側のスピードコントローラにより加圧量
を調整する方法がある。
Therefore, it is necessary to cut off the vacuum pressure, apply a positive pressure, and finely control the time for applying the positive pressure depending on the type of electronic component. As another method, there is a method in which the control time is fixed to a specified value and the pressure amount is adjusted by a speed controller on the pressure side.

【0005】上記方法の場合、真空発生器の発生真空圧
の経時的な低下、エアフィルタの目詰まりによる真空圧
の低下等により、搭載時の真空破壊状態が変化し、搭載
位置ずれなど搭載品質を低下させることがある。
In the case of the above method, the vacuum breaking state at the time of mounting changes due to a temporal decrease in the vacuum pressure generated by the vacuum generator, a decrease in the vacuum pressure due to clogging of the air filter, etc. May be reduced.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】このように、部品吸着
に関連するエア機器ないし部材、すなわち、真空発生手
段などが故障したりあるいは劣化したりすると、あるい
は正圧を加圧して真空を破壊させる場合、その加圧開始
時点あるいは加圧期間が最適化されないと、正常な部品
搭載が保証されなくなる。
As described above, when the air device or member related to the component suction, that is, the vacuum generating means breaks down or deteriorates, or the positive pressure is applied to break the vacuum. In this case, unless the pressurization start time or pressurization period is optimized, normal component mounting cannot be guaranteed.

【0007】従って、本発明は、このような問題点を解
決するためになされたもので、部品吸着に関連する機器
あるいは部材の故障ないし異常を確実に検出でき、また
真空圧を最適に破壊して部品を確実に搭載できる部品吸
着装置を提供することをその課題とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made to solve such a problem, and it is possible to reliably detect a failure or abnormality of a device or a member related to component suction and to optimally destroy a vacuum pressure. It is an object of the present invention to provide a component suction device capable of mounting components reliably.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明では、上記課題を
解決するために、真空圧発生手段により発生する真空圧
により部品を吸着し、真空圧を破壊することにより部品
の吸着を解除する部品吸着装置において、真空圧発生側
の圧力を検出する第1の圧力検出手段と、部品吸着側の
圧力を検出する第2の圧力検出手段と、真空発生あるい
は破壊時に前記第1と第2の圧力検出手段により検出さ
れる圧力に基づき部品吸着に関連する機器あるいは部材
の故障を検出する手段とを有する構成を採用している。
According to the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, a component which sucks a component by a vacuum pressure generated by a vacuum pressure generating means and releases the component by breaking the vacuum pressure is released. In a suction device, a first pressure detecting means for detecting a pressure on a vacuum pressure generating side, a second pressure detecting means for detecting a pressure on a component suction side, and the first and second pressures when a vacuum is generated or broken. Means for detecting a failure of a device or a member related to component suction based on the pressure detected by the detecting means.

【0009】また、本発明では、上記課題を解決するた
めに、真空圧発生手段により発生する真空圧により部品
を吸着し、真空圧を破壊することにより部品の吸着を解
除する部品吸着装置において、真空圧を発生あるいは破
壊してから真空圧発生側の圧力が所定の圧力になるまで
の時間と部品吸着側の圧力が所定の圧力になるまでの時
間をそれぞれ計測する計測手段と、前記計測された各時
間に基づき部品吸着に関連する機器あるいは部材の故障
を検出する手段とを有する構成も採用している。
According to another aspect of the present invention, there is provided a component suction device for sucking a component by a vacuum pressure generated by a vacuum pressure generating means and releasing the suction of the component by breaking the vacuum pressure. Measuring means for measuring the time from when the vacuum pressure is generated or broken until the pressure on the vacuum pressure generation side reaches a predetermined pressure and the time until the pressure on the component suction side reaches the predetermined pressure, and Means for detecting a failure of a device or a member related to component suction based on each time.

【0010】いずれの構成においても、部品吸着に関連
する機器あるいは部材、例えば真空発生手段、エア配管
あるいはエアフィルタ等に故障ないし異常があると、真
空発生側と部品吸着側の到達圧力が変化したり、それぞ
れの側で所定圧力(監視圧)になるまでの時間が変化す
るので、真空発生側と部品吸着側の到達圧力ないし所定
圧力になるまでの時間を計測することにより、どの部分
に故障ないし異常があるかを確実に診断することが可能
になる。
[0010] In any of the configurations, if there is a failure or abnormality in a device or a member related to component suction, for example, a vacuum generating means, an air pipe or an air filter, the ultimate pressure on the vacuum generating side and the component suction side changes. Or the time required for each side to reach a predetermined pressure (monitoring pressure) changes. By measuring the ultimate pressure on the vacuum generation side and the component suction side or the time required to reach the predetermined pressure, any part of the In addition, it is possible to reliably diagnose whether there is an abnormality.

【0011】また、本発明では、上記課題を解決するた
めに、真空圧発生手段により発生する真空圧により部品
を吸着し、真空圧を破壊することにより部品の吸着を解
除する部品吸着装置において、正圧を加圧して真空圧を
破壊させる真空圧破壊手段と、真空圧発生手段の作動を
停止し真空圧破壊手段を作動させてから部品吸着側の圧
力が所定の圧力になるまでの時間を計測する計測手段と
を設け、前記計測された時間に基づき、真空圧発生手段
の作動停止時点、真空圧破壊手段の作動時点並びにその
作動期間を最適化する構成を採用している。
According to another aspect of the present invention, there is provided a component sucking apparatus for sucking a component by a vacuum pressure generated by a vacuum pressure generating means and releasing the suction of the component by breaking the vacuum pressure. The vacuum pressure breaking means for breaking the vacuum pressure by applying a positive pressure, and the time from when the operation of the vacuum pressure generating means is stopped to the time when the vacuum pressure breaking means is operated until the pressure on the component suction side becomes a predetermined pressure. A measuring means for measuring is provided, and based on the measured time, the operation time of the vacuum pressure generating means, the operation time of the vacuum pressure breaking means, and the operation period thereof are optimized.

【0012】このような構成では、真空圧を遮断する時
点、正圧を加える時点、さらに正圧を加える期間を調整
できるので、真空破壊を最適化でき、部品搭載が確実に
なる。
In such a configuration, the time when the vacuum pressure is cut off, the time when the positive pressure is applied, and the period for applying the positive pressure can be adjusted, so that the vacuum breakage can be optimized and the components can be reliably mounted.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、図面に示す実施の形態に基
づいて本発明を詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments shown in the drawings.

【0014】図1には、本発明に係わる部品吸着装置の
一実施形態の構成が図示されており、同図において、符
号10で示すものは、吸着ノズルを保持するノズル保持
部で、このノズル保持部10の下端には、ノズル径の異
なる種々の吸着ノズル11が着脱可能に保持される。ノ
ズル保持部10内には配管12が形成されていて、配管
12はエアフィルタ13を介して他の配管14並びに吸
着ノズル11内の配管15に連通している。なお、吸着
ノズル11は、検査時には取り外されるので、一点鎖線
で図示されている。
FIG. 1 shows the configuration of an embodiment of a component suction device according to the present invention. In FIG. 1, reference numeral 10 denotes a nozzle holding portion for holding a suction nozzle. At the lower end of the holding unit 10, various suction nozzles 11 having different nozzle diameters are detachably held. A pipe 12 is formed in the nozzle holding unit 10, and the pipe 12 communicates with another pipe 14 and a pipe 15 in the suction nozzle 11 via an air filter 13. In addition, since the suction nozzle 11 is removed at the time of inspection, it is illustrated by a dashed line.

【0015】ノズル保持部10の配管12は、配管16
を介して真空発生器(エジェクタ)17に接続されてお
り、この真空発生器17は、制御装置(CPU)18に
より制御される真空発生電磁弁19がオンになったと
き、エア供給源20より供給される圧縮エアにより作動
し、配管16、12、14、15に負圧を発生させる。
これにより吸着ノズル11はその下端部で部品(不図
示)を吸着できるようになる。部品を正常に吸着してい
るときには、真空圧になり、また吸着していないときに
は、負圧にならないので、配管16の圧力を検出する圧
力センサ21により吸着部品の有無が判定され、その情
報が制御装置18に入力される。
The pipe 12 of the nozzle holding section 10 has a pipe 16
Is connected to a vacuum generator (ejector) 17 via an air supply source 20 when a vacuum generation solenoid valve 19 controlled by a control device (CPU) 18 is turned on. It operates by the supplied compressed air to generate a negative pressure in the pipes 16, 12, 14, and 15.
Thus, the suction nozzle 11 can suction a component (not shown) at the lower end. When the component is normally sucked, the vacuum pressure is obtained, and when the component is not suctioned, the pressure does not become negative. It is input to the control device 18.

【0016】また、吸着部品を吸着ノズル11から離脱
させるときには、真空発生電磁弁19をオフにして真空
発生器17を停止させ、真空を解除する。このとき、真
空を解除後早急に大気圧に回復させるために、制御装置
18により駆動される真空破壊電磁弁22をオンにして
エア供給源20より正圧を配管16に供給するようにし
ている。
When the suction component is separated from the suction nozzle 11, the vacuum generating solenoid valve 19 is turned off, the vacuum generator 17 is stopped, and the vacuum is released. At this time, in order to quickly return to the atmospheric pressure after releasing the vacuum, the vacuum breaking solenoid valve 22 driven by the controller 18 is turned on to supply the positive pressure from the air supply source 20 to the pipe 16. .

【0017】通常、ノズル保持部10、吸着ノズル1
1、真空発生器17、真空発生電磁弁19、真空破壊電
磁弁22、圧力センサ21は、電子部品実装装置(チッ
プマウンタ)の吸着ヘッド(不図示)に取り付けられて
いる。吸着ヘッドは、制御装置18により制御されるX
Y駆動機構23によりXY移動して、フィーダから供給
される部品を吸着ノズル11により吸着し、回路基板上
にその部品を搭載する。部品吸着時並びに搭載時には、
同様に制御装置18により制御されるZ軸昇降機構24
によりノズル保持部10と吸着ノズル11が上下に昇降
されるように制御される。
Normally, the nozzle holding unit 10 and the suction nozzle 1
1. The vacuum generator 17, the vacuum generating solenoid valve 19, the vacuum breaking solenoid valve 22, and the pressure sensor 21 are attached to a suction head (not shown) of an electronic component mounting apparatus (chip mounter). The suction head is controlled by X
The component supplied from the feeder is moved by XY movement by the Y drive mechanism 23 and is sucked by the suction nozzle 11, and the component is mounted on the circuit board. When picking up and mounting components,
Similarly, the Z-axis elevating mechanism 24 controlled by the controller 18
Thus, the nozzle holding unit 10 and the suction nozzle 11 are controlled to move up and down.

【0018】また、エア機器の故障を検出するために、
あるいは真空破壊時の自己補正(最適化)を行なうため
に、検出ポスト25と圧力センサ27からなる検出ユニ
ット28が設けられており、圧力センサ27は検出ポス
ト25内に形成された配管26内の圧力を検出し、その
データを制御装置18に伝達する。なお、制御装置18
は、メモリ29に接続されており、このメモリ29に
は、各種制御を行なうためのデータ、取得あるいは処理
したデータ、あるいは故障検出、自己補正等に必要な固
定データなどが格納される。
In order to detect a failure of the air equipment,
Alternatively, a detection unit 28 including a detection post 25 and a pressure sensor 27 is provided in order to perform self-correction (optimization) at the time of vacuum break, and the pressure sensor 27 is provided in a pipe 26 formed in the detection post 25. The pressure is detected, and the data is transmitted to the control device 18. The control device 18
Is connected to a memory 29, which stores data for performing various controls, acquired or processed data, fixed data necessary for failure detection, self-correction, and the like.

【0019】なお、検出ユニット28は、例えば、電子
部品実装装置の所定のフレーム部分に設けられる。
The detection unit 28 is provided, for example, on a predetermined frame of the electronic component mounting apparatus.

【0020】次に、このように構成された部品吸着装置
において、エア機器の故障を検出するための、あるいは
真空破壊時の自己補正を行なうための動作を図2を参照
して説明する。
Next, an operation for detecting a failure of the air device or performing a self-correction at the time of a vacuum break in the component suction device thus configured will be described with reference to FIG.

【0021】この故障検出ないし自己補正時には、吸着
ノズル11をノズル保持部10から取り外し、XY駆動
機構23を介して吸着ヘッドを、検出ユニット28が設
置されている場所へXY移動させる(ステップS1)。
続いて、ステップS2で、Z軸昇降機構24を介してノ
ズル保持部10を下降させ、検出ポスト28に着地させ
る。検出ポスト28は吸着ノズル11を代替させるもの
で、着地時検出ポスト28は、ノズル保持部10に装着
され、各配管15と26が連通するようになる。
At the time of this failure detection or self-correction, the suction nozzle 11 is detached from the nozzle holding unit 10, and the suction head is moved XY to the place where the detection unit 28 is installed via the XY drive mechanism 23 (step S1). .
Subsequently, in step S2, the nozzle holding unit 10 is lowered via the Z-axis elevating mechanism 24, and lands on the detection post 28. The detection post 28 replaces the suction nozzle 11, and the landing detection post 28 is mounted on the nozzle holding unit 10 so that the pipes 15 and 26 communicate with each other.

【0022】次に、ステップS3で真空発生電磁弁19
をオンにすると、真空発生器17にはエア供給装置20
からエアが供給され、配管16、12に真空圧が発生す
る。それによりエアフィルタ13を介して配管14、2
6にも真空圧が発生するようになる。
Next, in step S3, the vacuum generating solenoid valve 19
Is turned on, the vacuum generator 17 has an air supply device 20
, And vacuum pressure is generated in the pipes 16 and 12. Thereby, the pipes 14, 2,
6, a vacuum pressure is also generated.

【0023】この状態が図3に図示されており、t0で
真空発生電磁弁19をオンにすると、配管16、12、
14、26に真空圧が発生するので、圧力センサ21、
27により最終到達圧P1、P1’を測定し、また、監視
圧P2に達する時間t1、t2を制御装置18内のタイマ
ーを用いて測定する。なお、監視圧P2は、メモリ29
に設定値として格納されているので、それを呼び出すよ
うにする。これらのデータに基づいてステップS4で以
下のようなエア機器の故障解析を行なう。なお、エア機
器の正常時における到達圧P1、P1’の値、時間t1、
t2の値は、例えば製造時に測定され、メモリ29に初
期値として格納されているものとする。また、以下に述
べる各測定値が比較される基準値も同様に、製造時など
に測定され、初期値としてメモリ29に格納されるもの
とする。
This state is shown in FIG. 3. When the vacuum generating solenoid valve 19 is turned on at t0, the pipes 16, 12,
Since a vacuum pressure is generated in the pressure sensors 14, 26,
27, the ultimate pressures P1 and P1 'are measured, and the times t1 and t2 to reach the monitoring pressure P2 are measured using a timer in the control device 18. The monitoring pressure P2 is stored in the memory 29
Is stored as a set value, so call it. Based on these data, a failure analysis of the air equipment as described below is performed in step S4. Note that the values of the ultimate pressures P1, P1 'when the air device is normal, the time t1,
It is assumed that the value of t2 is measured at the time of manufacture, for example, and stored in the memory 29 as an initial value. Similarly, a reference value with which each measured value described below is compared is also measured at the time of manufacture or the like, and stored in the memory 29 as an initial value.

【0024】圧力センサ21の到達圧P1がメモリに格
納された初期値に達しない場合には、真空発生器(エジ
ェクタ)17の故障(例えばそのノズルの詰まり)が考
えられるので、真空発生器を清掃するか、あるいは交換
する。また、P1とP1’の差がその差の初期値より大き
い場合には、例えば配管12、14の部分にエア漏れが
考えられるので、その部分のチェックを行なうようにす
る。また、時間t2とt1の差がその差の初期値より大き
い場合には、エアフィルタ13の汚れあるいは詰まりが
考えられるので、エアフィルタ13を清掃するかあるい
は交換する。更に時間t1が初期値より大きい、あるい
は測定回数毎にばらつく場合には、真空発生電磁弁19
のオンタイミングの遅れ、あるいはオンタイミングがば
らついていることなので、真空発生電磁弁19を交換す
るようにする。
If the ultimate pressure P1 of the pressure sensor 21 does not reach the initial value stored in the memory, a failure of the vacuum generator (ejector) 17 (for example, clogging of the nozzle) may be considered. Clean or replace. When the difference between P1 and P1 'is larger than the initial value of the difference, for example, it is possible that air leaks from the pipes 12 and 14, so that the parts are checked. If the difference between the times t2 and t1 is larger than the initial value of the difference, the air filter 13 may be dirty or clogged, and the air filter 13 is cleaned or replaced. Further, when the time t1 is larger than the initial value or varies with the number of measurements, the vacuum generating solenoid valve 19
Since the on-timing is delayed or the on-timing varies, the vacuum generating solenoid valve 19 is replaced.

【0025】以上のような故障解析を終了したあと、ス
テップS5で真空発生電磁弁19をオフにして、続くス
テップS6で真空破壊(自然破壊)時のチェックを行な
い、故障解析を行なう。この真空破壊時の状態が図4に
図示されている。t3で真空発生電磁弁19をオフにす
ると、配管16、12、14、26に発生していた真空
圧が破壊されるので、圧力センサ21、27により測定
される真空圧は大気圧まで減少する。そこで、監視圧P
2に達するまでの時間t4、t5を制御装置18内のタイ
マーを用いて測定する。
After the above-described failure analysis is completed, the vacuum generating solenoid valve 19 is turned off in step S5, and a check is made at the time of vacuum breakdown (natural failure) in step S6 to perform failure analysis. FIG. 4 shows the state at the time of the vacuum break. When the vacuum generation solenoid valve 19 is turned off at t3, the vacuum pressure generated in the pipes 16, 12, 14, and 26 is destroyed, and the vacuum pressure measured by the pressure sensors 21 and 27 decreases to the atmospheric pressure. . Therefore, the monitoring pressure P
The times t4 and t5 until reaching 2 are measured using a timer in the controller 18.

【0026】故障解析は次のようになる。測定時間t5
とt4の差が、その差の初期値よりも大きい場合には、
エアフィルタ13の汚れ、あるいは詰まりが考えられる
ので、エアフィルタ13を清掃あるいは交換するように
する。また、時間t4が初期値より大きい、あるいは測
定回数毎にばらつく場合には、真空発生電磁弁19のオ
フタイミングの遅れ、あるいはオフタイミングがばらつ
いていることなので、真空発生電磁弁19を交換するよ
うにする。
The failure analysis is as follows. Measurement time t5
And the difference between t4 and t4 is greater than the initial value of the difference,
Since the air filter 13 may be dirty or clogged, the air filter 13 is cleaned or replaced. If the time t4 is larger than the initial value or varies at every measurement, the off-timing of the vacuum generating solenoid valve 19 is delayed or the off-timing varies. To

【0027】なお、ステップS6が終了したら、ステッ
プS3に戻り、これを複数回繰り返す。これは、ステッ
プS4(S6)で行なった真空発生電磁弁のオン(オ
フ)タイミングのばらつきをチェックするためである。
When step S6 is completed, the process returns to step S3, and this is repeated a plurality of times. This is to check the variation in the on (off) timing of the vacuum generating solenoid valve performed in step S4 (S6).

【0028】上記ステップS5、S6では、真空発生電
磁弁19がオフにされて故障解析が行なわれるが、その
場合、各配管内の真空は自然に破壊されるので、大気圧
に戻るのに時間がかかる。そこで、その時間を減少させ
るために、正圧を加圧し真空を加圧破壊することが行な
われる。すなわち、ステップS7で真空発生電磁弁19
をオンにして真空圧を発生させた後、ステップS8でオ
フにすると、自然に真空圧は破壊されるが、その時間を
減少させるために、ステップS9で真空破壊電磁弁22
をオンにして正圧を発生させる。
In steps S5 and S6, the vacuum generating solenoid valve 19 is turned off to perform a failure analysis. In this case, since the vacuum in each pipe is naturally broken, it takes time to return to the atmospheric pressure. It takes. Therefore, in order to reduce the time, a positive pressure is applied to break the vacuum. That is, in step S7, the vacuum generation solenoid valve 19
Is turned on to generate a vacuum pressure, and then turned off in step S8, the vacuum pressure is spontaneously destroyed. However, in order to reduce the time, the vacuum breaking solenoid valve 22 is turned on in step S9.
Is turned on to generate a positive pressure.

【0029】この状態が図5に図示されており、t6で
真空発生電磁弁19がオフにされた後、t7で真空破壊
電磁弁22をオンにすると、正圧が発生するので、大気
圧に戻る傾斜が大きくなる。そして、時刻t10で真空破
壊電磁弁22をオフにする(ステップS10)。それに
より圧力は、正圧がなくなるので、一旦負圧側に反動し
て大気圧に戻る。このとき、圧力センサ21、27が測
定する加圧到達圧P3、P3’、真空破壊電磁弁22がオ
ンしてから(t7)、圧力センサ21、27がそれぞれ
監視圧P2を測定する時刻t8、t9、それに真空破壊電
磁弁22がオフしてから(t10)、圧力センサ21、2
7がそれぞれ加圧到達圧P3、P3’を測定する時刻t1
1、t12を測定する。
This state is shown in FIG. 5. When the vacuum generating solenoid valve 19 is turned off at t6 and then the vacuum breaking solenoid valve 22 is turned on at t7, a positive pressure is generated. The return slope increases. Then, at time t10, the vacuum breaking solenoid valve 22 is turned off (step S10). As a result, the positive pressure disappears, so that the pressure temporarily returns to the negative pressure side and returns to the atmospheric pressure. At this time, after the pressure ultimate pressures P3 and P3 'measured by the pressure sensors 21 and 27 and the vacuum breaking solenoid valve 22 are turned on (t7), the time t8 when the pressure sensors 21 and 27 measure the monitoring pressure P2, respectively. At t9, and after the vacuum break solenoid valve 22 is turned off (t10), the pressure sensors 21, 2
7 is the time t1 at which the ultimate pressures P3 and P3 'are measured.
1. Measure t12.

【0030】ステップS11において、これらの測定値
に基づき加圧により真空破壊を行なったときの故障解析
を行なう。まず、t8とt7の差がその差の初期値より大
きいとき、あるいは複数回のばらつきが大きいときは、
真空破壊電磁弁22のオンのタイミングの遅れ、あるい
はタイミングのばらつきが考えられるので、真空破壊電
磁弁22を交換するようにする。また、t11とt10の差
がその差の初期値より大きいとき、あるいは複数回のば
らつきが大きいときは、真空破壊電磁弁22のオフのタ
イミングの遅れ、あるいはタイミングのばらつきが考え
られるので、真空破壊電磁弁22を交換するようにす
る。
In step S11, a failure analysis is performed when the vacuum is broken by pressurization based on these measured values. First, when the difference between t8 and t7 is larger than the initial value of the difference, or when the variation of a plurality of times is large,
The delay in turning on the vacuum breaking solenoid valve 22 or the variation in the timing may be considered, so that the vacuum breaking solenoid valve 22 is replaced. When the difference between t11 and t10 is larger than the initial value of the difference, or when the variation is large a plurality of times, a delay in the OFF timing of the vacuum breaking solenoid valve 22 or a variation in the timing may be considered. The solenoid valve 22 is replaced.

【0031】続いて、ステップS12において上記各測
定値から真空破壊状態の自己補正を行ない、初期値の更
新を行なう。すなわち、t2とt0の差、t5とt3の差、
t9とt7の差、並びにt12とt10の差を更新する。監視
圧P2を部品吸着あるいは吸着解除の限界圧とすると、
吸着ノズルが部品吸着のためにZ軸に沿って部品まで下
降したときには、監視圧P2に達していなければならな
いので、更新されたt2とt0の差に基づき、吸着ノズル
が下降時Z軸のどの位置にあるときに真空発生電磁弁1
9をオンにしなければならないかのタイミングを決める
ことができる。また、吸着ノズルが下降して吸着部品を
離し基板に搭載するとき、Z軸に沿って基板まで下降し
たときには、監視圧P2に達していなければならないの
で、更新されたt5とt3の差に基づき、吸着ノズルがZ
軸のどの位置にあるときに真空発生電磁弁19をオフに
しなければならないかのタイミングを決めることができ
る。また、同様に、正圧を加圧して真空を破壊する場
合、t9とt7の差に基づき真空破壊電磁弁をオンにする
タイミングを決め、あるいはt12とt10の差に基づき真
空破壊電磁弁をオフにするタイミングを決め、加圧時間
を調整し部品を搭載させるための最適な圧力値を得るよ
うにすることができる。
Subsequently, in step S12, the self-correction of the vacuum break state is performed from the above measured values, and the initial value is updated. That is, the difference between t2 and t0, the difference between t5 and t3,
The difference between t9 and t7 and the difference between t12 and t10 are updated. Assuming that the monitoring pressure P2 is the limit pressure for component suction or suction release,
When the suction nozzle descends to the component along the Z axis for component adsorption, the monitoring pressure P2 must have been reached. Therefore, based on the updated difference between t2 and t0, the suction nozzle moves to the Z axis Vacuum generating solenoid valve 1 when in position
9 can be determined as to when it should be turned on. Further, when the suction nozzle is lowered to release the suction component on the board, and when the suction component is lowered to the board along the Z-axis, the monitoring pressure P2 must be reached. Therefore, based on the difference between the updated t5 and t3, , The suction nozzle is Z
The timing at which position on the shaft the vacuum generating solenoid valve 19 must be turned off can be determined. Similarly, when the vacuum is broken by applying a positive pressure, the timing for turning on the vacuum breaking solenoid valve is determined based on the difference between t9 and t7, or the vacuum breaking solenoid valve is turned off based on the difference between t12 and t10. Is determined, the pressurizing time is adjusted, and an optimal pressure value for mounting components can be obtained.

【0032】このように、ステップS12において行な
われる自己補正により上記各初期値が更新され、部品吸
着並びに吸着解除時に部品に加わる圧力を最適化するた
めの真空発生(破壊)電磁弁のオンオフタイミングが決
定できる。なお、電磁弁のオンオフにはばらつきがある
ので、ステップS7とS11は複数回繰り返し、その平
均値を取得して初期値の更新を行なう。ステップS12
の処理が終了後は、ステップS13でZ軸を上昇させ、
各処理を終了する。
As described above, the above-mentioned initial values are updated by the self-correction performed in step S12, and the on / off timing of the vacuum generation (destruction) solenoid valve for optimizing the pressure applied to the component at the time of suction and release of the component is determined. Can decide. Steps S7 and S11 are repeated a plurality of times because the ON / OFF of the solenoid valve varies, and the average value is obtained to update the initial value. Step S12
Is completed, the Z-axis is raised in step S13,
Each process ends.

【0033】なお、上記故障解析において故障ないし異
常が検出されたときには、警告を発生するようにして故
障修理あるいは機器の交換を促すようにする。またメン
テナンス実施後は、各初期値を再取得しメモリに保存す
るようにする。
When a failure or abnormality is detected in the failure analysis, a warning is issued to urge the user to repair the failure or replace the device. After the maintenance, each initial value is reacquired and stored in the memory.

【0034】また、上記処理においては、吸着ノズル1
1を取り外して検査したが、吸着ノズル11を装着して
検査を行なうようにすることもできる。この場合には、
検出ユニット28は、圧力センサ27から構成され、圧
力センサ27で吸着ノズルの吸着面を塞ぐようにして測
定を行なうようにする。
In the above process, the suction nozzle 1
Although the inspection is performed with the nozzle 1 removed, the inspection may be performed with the suction nozzle 11 attached. In this case,
The detection unit 28 includes a pressure sensor 27, and measures the pressure sensor 27 so as to close the suction surface of the suction nozzle.

【0035】また、上記構成においては、真空発生器1
7にエジェクタを用いているが、これは、真空ポンプ等
の真空発生器を用いてもよい。この実施形態が図6に図
示されており、制御装置18により真空発生電磁弁19
が作動されると、真空ポンプ30により真空圧が発生さ
れ、また制御装置18により真空破壊電磁弁22が作動
されると、エア供給源20により正圧が加圧され、真空
圧が破壊される。
In the above configuration, the vacuum generator 1
Although an ejector is used for 7, a vacuum generator such as a vacuum pump may be used. This embodiment is shown in FIG.
Is operated, a vacuum pressure is generated by the vacuum pump 30, and when the vacuum break solenoid valve 22 is operated by the control device 18, the positive pressure is increased by the air supply source 20 and the vacuum pressure is broken. .

【0036】[0036]

【発明の効果】以上説明したように、本発明では、真空
発生側と部品吸着側の到達圧力を検出したそれぞれの側
で所定圧力になるまでの時間を計測するようにしている
ので、真空発生あるいは破壊手段、エア配管あるいはエ
アフィルタ等の部品吸着に関連する機器あるいは部材の
どの部分に故障ないし異常があるかを確実に診断するこ
とが可能になり、確実な部品吸着ないしその解除が保証
される。
As described above, according to the present invention, the time required to reach a predetermined pressure is measured on each of the sides on which the ultimate pressures on the vacuum generating side and the component suction side are detected. Alternatively, it is possible to reliably diagnose which part of a device or a member related to the suction of components such as a destruction means, an air pipe or an air filter has a failure or abnormality, and it is ensured that the suction or release of the component is surely performed. You.

【0037】また、本発明では、真空圧を遮断する時
点、正圧を加える時点、さらに正圧を加える期間を調整
できるので、真空破壊を最適化でき、部品搭載が確実に
なる、など種々の効果が得られる。
Further, according to the present invention, the time when the vacuum pressure is cut off, the time when the positive pressure is applied, and the period for applying the positive pressure can be adjusted, so that the vacuum breakage can be optimized and the component mounting can be ensured. The effect is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明装置の全体の構成を示すブロック図であ
る。
FIG. 1 is a block diagram showing the overall configuration of the device of the present invention.

【図2】故障解析ないし真空破壊状態の自己補正を行な
う工程を示したフローチャート図である。
FIG. 2 is a flowchart illustrating a process of performing a failure analysis or a self-correction of a vacuum break state.

【図3】真空発生時、真空発生側と部品吸着側の圧力な
いしそれぞれの側で所定圧力になるまでの時間を示した
線図である。
FIG. 3 is a diagram showing the pressure on the vacuum generation side and the component suction side or the time required to reach a predetermined pressure on each side when a vacuum is generated.

【図4】真空破壊時、真空発生側と部品吸着側の圧力な
いしそれぞれの側で所定圧力になるまでの時間を示した
線図である。
FIG. 4 is a diagram showing the pressure on the vacuum generation side and the component suction side or the time required to reach a predetermined pressure on each side when the vacuum is broken.

【図5】正圧を加圧して真空破壊を行なう時、真空発生
側と部品吸着側の圧力ないしそれぞれの側で所定圧力に
なるまでの時間を示した線図である。
FIG. 5 is a diagram showing the pressure on the vacuum generation side and the component suction side or the time required to reach a predetermined pressure on each side when vacuum is broken by applying a positive pressure.

【図6】真空圧の形成及び破壊を行なう他の実施形態を
示したブロック図である。
FIG. 6 is a block diagram showing another embodiment for forming and breaking a vacuum pressure.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ノズル保持部 11 吸着ノズル 13 エアフィルタ 17 真空発生器 18 制御装置 19 真空発生電磁弁 20 エア供給源 21 圧力センサ 22 真空破壊電磁弁 23 XY駆動機構 24 Z軸昇降機構 25 検出ポスト 27 圧力センサ 28 検出ユニット 29 メモリ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Nozzle holding part 11 Suction nozzle 13 Air filter 17 Vacuum generator 18 Controller 19 Vacuum generation solenoid valve 20 Air supply source 21 Pressure sensor 22 Vacuum break solenoid valve 23 XY drive mechanism 24 Z-axis elevating mechanism 25 Detection post 27 Pressure sensor 28 Detection unit 29 Memory

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 真空圧発生手段により発生する真空圧に
より部品を吸着し、真空圧を破壊することにより部品の
吸着を解除する部品吸着装置において、 真空圧発生側の圧力を検出する第1の圧力検出手段と、 部品吸着側の圧力を検出する第2の圧力検出手段と、 真空発生あるいは破壊時に前記第1と第2の圧力検出手
段により検出される圧力に基づき部品吸着に関連する機
器あるいは部材の故障を検出する手段と、 を有することを特徴とする部品吸着装置。
1. A component suction device for suctioning a component by a vacuum pressure generated by a vacuum pressure generating means and releasing the suction of the component by breaking the vacuum pressure, wherein a first pressure on a vacuum pressure generation side is detected. A pressure detecting means, a second pressure detecting means for detecting a pressure on the component suction side, and a device relating to the component suction based on the pressure detected by the first and second pressure detecting means when a vacuum is generated or broken. Means for detecting failure of a member.
【請求項2】 真空圧発生手段により発生する真空圧に
より部品を吸着し、真空圧を破壊することにより部品の
吸着を解除する部品吸着装置において、 真空圧を発生あるいは破壊してから真空圧発生側の圧力
が所定の圧力になるまでの時間と部品吸着側の圧力が所
定の圧力になるまでの時間をそれぞれ計測する計測手段
と、 前記計測された各時間に基づき部品吸着に関連する機器
あるいは部材の故障を検出する手段と、 を有することを特徴とする部品吸着装置。
2. A component suction device for sucking a component by a vacuum pressure generated by a vacuum pressure generating means and releasing the suction of the component by breaking the vacuum pressure, generating a vacuum pressure after generating or breaking the vacuum pressure. Measuring means for measuring the time until the pressure on the side reaches a predetermined pressure and the time until the pressure on the component suction side reaches the predetermined pressure, and a device or a device related to component suction based on the measured time. Means for detecting failure of a member.
【請求項3】 前記真空圧の破壊が正圧を加圧して行な
われることを特徴とする請求項1又は2に記載の部品吸
着装置。
3. The component suction apparatus according to claim 1, wherein the breaking of the vacuum pressure is performed by applying a positive pressure.
【請求項4】 真空圧発生手段により発生する真空圧に
より部品を吸着し、真空圧を破壊することにより部品の
吸着を解除する部品吸着装置において、 正圧を加圧して真空圧を破壊させる真空圧破壊手段と、 真空圧発生手段の作動を停止し真空圧破壊手段を作動さ
せてから部品吸着側の圧力が所定の圧力になるまでの時
間を計測する計測手段とを設け、 前記計測された時間に基づき、真空圧発生手段の作動停
止時点、真空圧破壊手段の作動時点並びにその作動期間
を最適化することを特徴とする部品吸着装置。
4. A component suction device for sucking a component by a vacuum pressure generated by a vacuum pressure generating means and releasing the suction of the component by breaking the vacuum pressure, wherein a vacuum for breaking a vacuum pressure by applying a positive pressure. Pressure rupture means, and measurement means for measuring the time from when the operation of the vacuum pressure generation means is stopped and the vacuum pressure rupture means is activated until the pressure on the component suction side reaches a predetermined pressure, wherein the measurement is performed. A component suction device characterized by optimizing, based on time, an operation stop time of a vacuum pressure generating means, an operation time of a vacuum pressure breaking means, and an operation period thereof.
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