JP2000056210A - Automatic focusing device - Google Patents
Automatic focusing deviceInfo
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明はオートフォーカス
装置に関し、特に、液晶ディスプレイ(LCD)やプラ
ズマディスプレイ(PDP)などの電極の欠陥を修正す
るための欠陥修正装置に用いられるようなオートフォー
カス装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an autofocus device, and more particularly to an autofocus device used for a defect repair device for repairing a defect of an electrode such as a liquid crystal display (LCD) or a plasma display (PDP). .
【0002】[0002]
【従来の技術】LCDやPDPはますます大型化してき
ているが、価格がブラウン管ディスプレイに比べて高価
であるという難点がある。価格が高い原因は、電極を形
成する際の歩留りが悪いのがその1つの原因となってい
る。基板に電極をエッチングする際、電極パターンが欠
けてしまったり、電極パターン同士がひっついてしまう
不具合がある。このような欠陥を修正するために、パタ
ーン修正装置が用いられている。2. Description of the Related Art Although LCDs and PDPs are becoming larger and larger, there is a drawback in that they are more expensive than CRT displays. One of the causes of the high price is that the yield in forming the electrodes is poor. When the electrodes are etched on the substrate, there is a problem that the electrode patterns are chipped or the electrode patterns are stuck together. In order to correct such a defect, a pattern correction device is used.
【0003】図6は従来のパターン修正装置の構成を示
す図である。図6において、パターン修正装置は、大き
く分類すると、レーザおよびその光学系からなるレーザ
照射機構5と、欠陥修正用インクあるいは導電性ペース
トやインクを塗布する針からなるインク塗布機構9と、
欠陥を認識するための画像処理機構2と、装置全体を制
御するホストコンピュータ1とから構成されており、そ
の他にワークを搭載するXYテーブル6と、XYテーブ
ル6上でワークを保持するチャック台7と、レーザ照射
機構5を上下に駆動するZ軸テーブル4と、ワークを照
明するための投下照明10と、モニタ8などが設けられ
ている。FIG. 6 is a diagram showing a configuration of a conventional pattern correction device. In FIG. 6, the pattern correction apparatus is roughly classified into a laser irradiation mechanism 5 including a laser and its optical system, an ink application mechanism 9 including a needle for applying defect correction ink or conductive paste or ink,
An image processing mechanism 2 for recognizing a defect, a host computer 1 for controlling the entire apparatus, and an XY table 6 on which a work is mounted, and a chuck table 7 for holding the work on the XY table 6 And a Z-axis table 4 for driving a laser irradiation mechanism 5 up and down, a drop lighting 10 for illuminating a work, a monitor 8 and the like.
【0004】レーザ照射機構5には、図示しないCCD
カメラが設けられており、その画像出力が画像処理機構
2に与えられて画像処理により、パターンの欠陥が認識
される。CCDカメラでパターンの画像を撮像するため
に、自動的に焦点合わせを行なうオートフォーカス装置
が設けられている。The laser irradiation mechanism 5 has a CCD (not shown)
A camera is provided, and its image output is provided to the image processing mechanism 2 to recognize a pattern defect by image processing. In order to capture an image of a pattern with a CCD camera, an autofocus device for automatically performing focusing is provided.
【0005】従来のオートフォーカス装置では、CCD
カメラから取込まれた濃淡画像を処理し、画像全域の微
分値の絶対値を求め、CCDカメラの上下移動を繰返し
行なって合焦位置が探索される。微分値の計測は、ある
移動ステップごとに行なわれるが、正確な微分値を得る
ために、計測に際してはカメラの移動を停止してから画
像が取込まれる。In a conventional autofocus device, a CCD is used.
The grayscale image captured from the camera is processed, the absolute value of the differential value of the entire image is obtained, and the CCD camera is repeatedly moved up and down to search for the in-focus position. The measurement of the differential value is performed at every certain movement step, but in order to obtain an accurate differential value, the image is captured after the movement of the camera is stopped during the measurement.
【0006】合焦位置の探索方向は現微分値と1つ前の
微分値とを比較することにより決定される。現微分値が
1つ前の微分値よりも大きい場合に、現探索方向に合焦
位置が存在することとする。そうでなければ、逆方向に
合焦位置が存在することとし、方向転換が行なわれる。
方向転換後のカメラの移動ステップを1/2にすること
により、移動量を小さくして合焦位置に集束される。The search direction of the in-focus position is determined by comparing the current differential value with the immediately preceding differential value. When the current differential value is larger than the previous differential value, it is assumed that a focus position exists in the current search direction. Otherwise, it is assumed that the in-focus position exists in the opposite direction, and the direction is changed.
By reducing the moving step of the camera after the direction change to 方向, the moving amount is reduced and the camera is focused on the in-focus position.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、微分値
である高域成分量は電気的あるいは光学的なノイズを強
調する傾向にあるため、カメラの移動に伴って必ずしも
滑らかに変化するわけではない。たとえば、ノイズによ
り局所的な極大点を合焦位置として検出してしまうおそ
れがある。しかも、距離を狭めつつ往復運動にて合焦位
置を探索するため、検出に時間を要する。さらに、画像
データを正確に得るためにカメラを停止してから画像を
取込んでいるため、カメラの移動停止時間が平均移動速
度を下げてしまう欠点がある。さらに、探索の終了条件
が不明確であった。However, the high-frequency component, which is a differential value, tends to emphasize electrical or optical noise, and therefore does not always change smoothly with the movement of the camera. For example, a local maximum point may be detected as a focus position due to noise. In addition, since the focus position is searched for by the reciprocating motion while narrowing the distance, it takes time for detection. Furthermore, since the camera is stopped before capturing the image in order to obtain the image data accurately, there is a disadvantage that the moving stop time of the camera decreases the average moving speed. Furthermore, the conditions for terminating the search were unclear.
【0008】それゆえに、この発明の主たる目的は、ノ
イズによる誤動作を少なくでき、かつ合焦位置の検出時
間を短縮でき、さらに探索の終了条件が明確にできるよ
うなオートフォーカス装置を提供することである。[0008] Therefore, a main object of the present invention is to provide an auto-focusing apparatus which can reduce malfunctions due to noise, shorten the time required to detect a focus position, and clarify the conditions for terminating a search. is there.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
被写体の画像から抽出した特徴量と、撮像手段の位置情
報とに基づいて合焦位置を決めるオートフォーカス装置
であって、画像から抽出した特徴量とそのときの撮像手
段の位置情報とを対データとして順次記憶するデータ記
憶手段と、記憶されている特徴量を縦軸に、位置情報を
横軸にとって特徴量を粗く補間し、複数の特徴量に基づ
いて合焦位置の探索方向を決定する探索方向決定手段
と、探索方向が決定されたことに応じて、データ記憶手
段に記憶されている特徴量のうち精探索範囲を特定し、
その範囲内の特徴量を補間して合焦位置を決定する合焦
位置決定手段とを備えて構成される。The invention according to claim 1 is
An auto-focusing device that determines a focus position based on a feature amount extracted from an image of a subject and position information of an imaging unit, wherein the feature amount extracted from the image and the position information of the imaging unit at that time are paired with data. A data storage means for sequentially storing the feature amounts, and a search for determining a focus direction search direction based on a plurality of feature amounts by coarsely interpolating the feature amounts using the stored feature amounts on the vertical axis and position information on the horizontal axis. A direction determining means, and specifying a fine search range among the feature amounts stored in the data storage means in response to the search direction being determined;
A focus position determining means for determining a focus position by interpolating a feature amount within the range.
【0010】請求項2に係る発明では、請求項1の探索
方向決定手段は、横軸の位置情報を粗く設定して補間し
た直線の傾きに基づいて、合焦位置の存在を判別する。In the invention according to claim 2, the search direction determining means determines the presence of the in-focus position based on the inclination of a straight line interpolated by roughly setting the position information on the horizontal axis.
【0011】請求項3に係る発明では、請求項1または
2の探索方向決定手段は、補間するのに適切な特徴量の
画像を得るために特徴量のサンプリング周期をもとに撮
像手段の移動速度を決定する。In the invention according to claim 3, the search direction determining means according to claim 1 or 2 moves the imaging means based on a sampling cycle of the characteristic amount in order to obtain an image of the characteristic amount suitable for interpolation. Determine the speed.
【0012】請求項4に係る発明では、請求項1の合焦
位置決定手段は、合焦位置で極大または極小となる特徴
量を用いる。In the invention according to claim 4, the in-focus position determining means in claim 1 uses a feature amount which is maximum or minimum at the in-focus position.
【0013】請求項5に係る発明では、請求項1または
4の合焦位置決定手段は、2次曲線,ガウシアンまたは
ラプラシアンをフィッティングさせ、極大または極小と
なる位置を合焦位置とする。In the invention according to claim 5, the focus position determining means according to claim 1 or 4 fits a quadratic curve, Gaussian or Laplacian, and determines the position where the maximum or minimum is the focus position.
【0014】請求項6に係る発明では、請求項1の撮像
手段は、被写体の画像が抽出した特徴量をデータ記憶手
段に記憶している間も移動しながら被写体の画像を撮像
する。According to a sixth aspect of the present invention, the imaging means of the first aspect captures an image of the subject while moving while the feature amount extracted from the image of the subject is stored in the data storage means.
【0015】[0015]
【発明の実施の形態】図1はこの発明の一実施形態の概
略ブロック図である。図1において、CCDカメラ50
は図1に示したレーザ照射機構5に取付けられており、
その画像出力は制御部20の画像メモリ22に記憶され
る。CPU21は画像メモリ22に記憶した画像データ
に基づいて特徴量を計測するとともに、位置情報を取得
し、計測データ記憶部23に記憶していく。CPU21
にはZテーブル4の位置を制御する位置制御部24から
位置情報が与えられ、CPU21から位置制御部24に
対してZテーブル4を移動させるための移動指令が与え
られる。FIG. 1 is a schematic block diagram of an embodiment of the present invention. In FIG. 1, a CCD camera 50 is shown.
Is attached to the laser irradiation mechanism 5 shown in FIG.
The image output is stored in the image memory 22 of the control unit 20. The CPU 21 measures the feature amount based on the image data stored in the image memory 22, acquires the position information, and stores it in the measurement data storage unit 23. CPU 21
Is supplied with position information from a position control unit 24 that controls the position of the Z table 4, and a movement command for moving the Z table 4 is given from the CPU 21 to the position control unit 24.
【0016】図2および図3はこの発明の一実施形態の
動作を説明するためのフローチャートであり、特に、図
2は粗探索動作を示し、図3は精探索動作を示す。FIGS. 2 and 3 are flow charts for explaining the operation of the embodiment of the present invention. In particular, FIG. 2 shows a coarse search operation, and FIG. 3 shows a fine search operation.
【0017】図4は粗探索範囲と微分値との関係を示す
図であり、図5は位置と微分値との関係を示す図であ
る。FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the coarse search range and the differential value, and FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the position and the differential value.
【0018】次に、図1ないし図5を参照して、この発
明の一実施形態の動作について説明する。まず、図2に
示す粗探索が行なわれる。この粗探索は図4に示す粗探
索範囲内を検索して合焦位置であるか否かを判別するも
のである。より具体的に説明すると、CPU21はステ
ップ(図示ではSPと略称する)SP1において、Zテ
ーブル4の移動速度を設定し、ステップSP2で位置制
御部24によってZテーブル4を図4に示す初期観測方
向に移動させる。ステップSP3でZテーブル4が一定
の速度になるまで待ち、一定速度になると、ステップS
P4でi=1を設定し、ステップSP5でCCDカメラ
50からの画像データを画像メモリ22に記憶させ、そ
の画像データから特徴量を計測し、また画像の取込みに
同期してCCDカメラ50の位置情報を位置制御部24
から取得し、計測データ記憶部23に両者を蓄積する。Next, the operation of the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. First, a coarse search shown in FIG. 2 is performed. This coarse search is to search within the coarse search range shown in FIG. 4 to determine whether or not the current position is the in-focus position. More specifically, the CPU 21 sets the moving speed of the Z table 4 in a step (abbreviated as SP in the drawing) SP1, and in step SP2, causes the position control unit 24 to move the Z table 4 to the initial observation direction shown in FIG. Move to In step SP3, wait until the Z table 4 reaches a constant speed.
In step P4, i = 1 is set. In step SP5, the image data from the CCD camera 50 is stored in the image memory 22, the feature amount is measured from the image data, and the position of the CCD camera 50 is synchronized with the image capture. Information to the position control unit 24
And accumulate them in the measurement data storage unit 23.
【0019】ステップSP6でiを+1し、ステップS
P7でi≦Mであるかを判別し、ステップSP8で探索
範囲の限界に達したかを判別する。限界に達していなけ
ればステップSP5に戻る。特徴量と位置情報のM個の
対データが計測データ記憶部23に蓄積されると、ステ
ップSP9において、計測データ記憶部23を参照して
縦軸に特徴量をとり、横軸に位置をとって直線補間を行
なう。In step SP6, i is incremented by 1 and step S
At P7, it is determined whether i ≦ M, and at step SP8, it is determined whether the limit of the search range has been reached. If the limit has not been reached, the process returns to step SP5. When M pairs of feature amount and position information are accumulated in the measurement data storage unit 23, in step SP9, the feature amount is set on the vertical axis and the position is set on the horizontal axis with reference to the measurement data storage unit 23. To perform linear interpolation.
【0020】ステップSP10において、直線の傾きが
正であるか否かが判別され、直線でなければステップS
P11でZテーブル4を停止させ、ステップSP12で
Zテーブル4を逆方向に移動させ、ステップSP13で
Zテーブル4が一定速度になるまで待ち、ステップSP
14でi=1に設定する。At step SP10, it is determined whether or not the inclination of the straight line is positive.
At step P11, the Z table 4 is stopped. At step SP12, the Z table 4 is moved in the opposite direction. At step SP13, the system waits until the Z table 4 reaches a constant speed.
At 14, i = 1 is set.
【0021】このようにして、探索方向を決定した後、
粗探索において合焦位置が存在するか否かの判定が行な
われる。すなわち、ステップSP16で計測データ記憶
部23に記憶されているデータN個のうち、(i−N)
〜iまでのデータを用い、縦軸に特徴量をとり、横軸に
位置をとって直線補間を行ない、直線の傾きが負の場合
に合焦位置が存在すると判定する。After the search direction is determined in this way,
In the rough search, it is determined whether or not the in-focus position exists. That is, of the N data stored in the measurement data storage unit 23 in step SP16, (i−N)
Using the data up to i, the vertical axis represents the feature amount, the horizontal axis represents the position, and linear interpolation is performed. When the inclination of the straight line is negative, it is determined that the in-focus position exists.
【0022】傾きが正の場合には、ステップSP18〜
SP20において継続して特徴量を計測し、その特徴量
が位置とともに計測データ記憶部23に蓄積される。そ
して、ステップSP20で探索範囲の限界に達したこと
を判別すると、XYテーブル6を止め、処理を中止す
る。これらの処理によって、図4の●に示す粗探索計測
点が抽出される。If the inclination is positive, the program proceeds to steps SP18 to SP18.
In SP20, the feature amount is continuously measured, and the feature amount is stored in the measurement data storage unit 23 together with the position. If it is determined in step SP20 that the search range has been reached, the XY table 6 is stopped, and the process is stopped. Through these processes, the coarse search measurement points indicated by ● in FIG. 4 are extracted.
【0023】次に、上述のごとく、粗探索により合焦位
置の存在が確認された後、図3に示すフローチャートに
基づいて精探索に入る。この処理では、粗探索にて計測
された対データをもとに合焦位置の存在範囲を決定し、
その範囲内で特徴量をより細かく計測して補間により合
焦位置を決定する。すなわち、図3に示すステップSP
21において、粗探索にて計測されたデータのうち、デ
ータ(i−N/2)を基準とし、近傍±Kの合計(2K
−1)個のデータを用い、(i−N/2−K)〜(i−
N/2)の間で特徴量の変化が最大になる位置Lを、
(i−N/2)〜(i−N/2+K)の間で特徴量の変
化が最大になる位置をRとし、図5に示すようにL〜R
を精探索の範囲とする。Next, as described above, after the existence of the in-focus position is confirmed by the coarse search, the fine search is started based on the flowchart shown in FIG. In this process, the existence range of the focus position is determined based on the pair data measured in the coarse search,
The feature amount is more finely measured within the range, and the focus position is determined by interpolation. That is, step SP shown in FIG.
21, the data (i−N / 2) of the data measured in the coarse search is used as a reference, and the sum of the neighborhood ± K (2K
−1) data, and (i−N / 2−K) to (i−
N / 2), the position L at which the change in the feature amount is the maximum,
The position where the change of the feature amount becomes maximum between (i−N / 2) to (i−N / 2 + K) is R, and as shown in FIG.
Is the range of the fine search.
【0024】ステップSP22において、探索範囲が決
定された後は、L〜Rの間でS個の特徴量が計測できる
ように、特徴量のサンプリング周期TとL〜Rの間の移
動量|L−R|から次式に従ってテーブル速度Vが計算
される。After the search range is determined in step SP22, the movement amount | L between the sampling period T of the feature amount and L to R so that S feature amounts can be measured between L and R. The table speed V is calculated from −R | according to the following equation.
【0025】V=|L−R|/T これによって、S個の微分値が計測できるように設定さ
れると、ステップSP23でZテーブル4の移動方向が
反転され、ステップSP24でZテーブル4が移動され
る。そして、ステップSP25でZテーブル4が一定速
になるまで待機し、ステップSP26でiを1に設定す
る。V = | LR- / T When the setting is made so that S differential values can be measured, the moving direction of the Z table 4 is reversed in step SP23, and the Z table 4 is changed in step SP24. Be moved. Then, in step SP25, the process waits until the Z table 4 reaches a constant speed, and i is set to 1 in step SP26.
【0026】ステップSP27において、Zテーブル4
を一定の速度で移動させ、特徴量の計測と位置情報の取
得を行ないつつ計測データ記憶部13に計測した特徴量
と位置情報とを次のデータとして蓄積していく。ステッ
プSP28でS個の特徴量が計測されると、ステップS
P29でZテーブル4を停止させる。そして、ステップ
SP30で計測データ記憶部23を参照し、縦軸に特徴
量,横軸に位置をとって2次補間を行ない、ステップS
P31で極大となる位置を求めてこれを合焦位置とす
る。最後に、Zテーブル4の現在位置から合焦位置まで
の移動量を求め、Zテーブル4を合焦位置に移動して処
理を終了する。In step SP27, the Z table 4
Is moved at a constant speed, and the measured feature amount and the position information are accumulated as the next data in the measurement data storage unit 13 while measuring the feature amount and acquiring the position information. When S feature values are measured in step SP28, the process proceeds to step S28.
At P29, the Z table 4 is stopped. Then, in step SP30, the measurement data storage unit 23 is referred to, and a secondary interpolation is performed by taking the feature amount on the ordinate and the position on the abscissa.
In P31, a position where the maximum value is obtained is determined as the in-focus position. Finally, the amount of movement of the Z table 4 from the current position to the in-focus position is obtained, the Z table 4 is moved to the in-focus position, and the process ends.
【0027】探索で用いた特徴量は微分値であり、画像
から次のように計算される。The feature value used in the search is a differential value, and is calculated from the image as follows.
【0028】[0028]
【数1】 (Equation 1)
【0029】ここでΔdは画像位置(x,y)における
微分値を表わす。微分値とカメラ位置との関係は図5に
示すようになる。すなわち、合焦位置で極大となり、遠
ざかるにつれて小さくなっていく。この実施形態では、
CCDカメラ50の垂直同期信号をトリガとして画像の
取込および位置情報の取得を行なった。このため、サン
プリング周期Tは1/60秒である。Here, Δd represents a differential value at the image position (x, y). The relationship between the derivative value and the camera position is as shown in FIG. That is, it becomes maximum at the in-focus position and becomes smaller as the distance increases. In this embodiment,
The capture of an image and the acquisition of position information were performed using the vertical synchronization signal of the CCD camera 50 as a trigger. Therefore, the sampling period T is 1/60 second.
【0030】また、補間に関しては、この実施形態では
微分値と位置との関係を多項式で近似した。変数(x,
y)に関して、yを微分値とし、xを位置として、 y=a0 +a1 x+a2 x2 +…+an xn という多項式をモデルとした。ここで、直線補間とは、 y=a0 +a1 x という1次式で(x,y)の関係を近似し、離散的に得
られる(x,y)の間を内挿することである。a1 が直
線の傾きに相当し、a0 がy切片に相当する。係数(a
0 ,a1 )の推定には最小2乗法を用いた。As for the interpolation, in this embodiment, the relation between the differential value and the position is approximated by a polynomial. Variable (x,
respect y), the y and the derivative value, as the position of x, as a model the polynomial that y = a 0 + a 1 x + a 2 x 2 + ... + a n x n. Here, the linear interpolation is to approximate the relationship of (x, y) with a linear expression of y = a 0 + a 1 x and interpolate between (x, y) obtained discretely. . a 1 corresponds to the slope of the straight line, a 0 corresponds to the y-intercept. Coefficient (a
0 , a 1 ) was estimated using the least squares method.
【0031】また、2次補間とは、 y=a0 +a1 x+a2 x2 という2次式で(x,y)の関係を近似し、離散的に得
られる(x,y)の間を内挿することである。係数(a
0 ,a1 ,a2 )の推定には、1次式の場合と同様に最
小2乗法を用いた。Further, the quadratic interpolation, y = a 0 + a 1 x + a 2 x 2 of a quadratic equation (x, y) approximating the relationship, between the discretely obtained (x, y) Is to interpolate. Coefficient (a
0 , a 1 , a 2 ) was estimated using the least squares method as in the case of the linear equation.
【0032】なお、2次直線を用いることなく、ガウシ
アンまたはラプラシアンをフィッティングさせ、極大ま
たは極小となる位置を合焦位置とするようにしてもよ
い。It is to be noted that a Gaussian or Laplacian may be fitted without using a quadratic straight line, and a position where a maximum or a minimum is obtained may be set as a focus position.
【0033】[0033]
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、記憶
した特徴量を縦軸に、位置情報を横軸にとって特徴量を
粗く補間し、これらの特徴量に基づいて合焦位置の探索
方向を決定し、記憶されている特徴量のうち、精探索範
囲を特定し、その範囲内の特徴量を補間して合焦位置を
決定するようにしたので、ノイズによる誤検出を少なく
でき、安定したフォーカシングが可能となる。しかも、
探索の終了条件が明確であり、合焦位置に正確に位置決
めできる。また、特徴量を計測している間は、撮像手段
を停止することなく被写体を撮像するように移動してい
るため、カメラの起動,停止による平均移動速度の低下
を少なくできる。As described above, according to the present invention, coarsely interpolated feature values are stored by using the stored feature values on the vertical axis and position information on the horizontal axis, and the in-focus position is searched based on these feature values. Since the direction is determined, the fine search range is specified among the stored feature amounts, and the focus position is determined by interpolating the feature amounts within the range, so that erroneous detection due to noise can be reduced, Stable focusing becomes possible. Moreover,
The conditions for terminating the search are clear, and the in-focus position can be accurately positioned. Further, while the feature amount is being measured, the movement is performed so as to capture the image of the subject without stopping the imaging unit, so that a decrease in the average moving speed due to the start and stop of the camera can be reduced.
【図1】この発明の一実施形態の概略ブロック図であ
る。FIG. 1 is a schematic block diagram of an embodiment of the present invention.
【図2】この発明の一実施形態の動作を説明するための
フローチャートであり、特に粗探索動作を示す。FIG. 2 is a flowchart for explaining the operation of the embodiment of the present invention, and particularly shows a coarse search operation.
【図3】この発明の一実施形態の具体的な動作を説明す
るためのフローチャートであり、精探索動作を示す。FIG. 3 is a flowchart for explaining a specific operation of the embodiment of the present invention, and shows a fine search operation.
【図4】粗探索範囲と微分値との関係を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a relationship between a coarse search range and a differential value.
【図5】位置と微分値との関係を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a relationship between a position and a differential value.
【図6】従来のパターン修正装置の構成を示す図であ
る。FIG. 6 is a diagram showing a configuration of a conventional pattern correction device.
4 Zテーブル 20 制御部 21 CPU 22 画像メモリ 23 データ記憶部 24 位置制御部 50 CCDカメラ 4 Z table 20 control unit 21 CPU 22 image memory 23 data storage unit 24 position control unit 50 CCD camera
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Claims (6)
像手段の位置情報とに基づいて合焦位置を決めるオート
フォーカス装置であって、 前記画像から抽出した特徴量と、そのときの前記撮像手
段の位置情報とを対データとして順次記憶するデータ記
憶手段、 前記データ記憶手段に記憶されている特徴量を縦軸に、
位置情報を横軸にとって特徴量を粗く補間し、複数の特
徴量に基づいて合焦位置の探索方向を決定する探索方向
決定手段、および前記探索方向決定手段によって探索方
向が決定されたことに応じて、前記データ記憶手段に記
憶されている特徴量のうち、精探索範囲を特定し、その
範囲内の特徴量を補間して合焦位置を決定する合焦位置
決定手段を備えた、オートフォーカス装置。1. An auto-focusing device that determines a focus position based on a feature amount extracted from an image of a subject and position information of an imaging unit, wherein the feature amount extracted from the image and the imaging at that time Data storage means for sequentially storing the position information of the means as paired data, wherein the vertical axis represents the feature amount stored in the data storage means,
Search direction determining means for coarsely interpolating the feature amount using the position information as the horizontal axis and determining a search direction of the in-focus position based on the plurality of feature amounts, and according to the search direction being determined by the search direction determining means. An auto-focusing device, comprising: a focus position determining unit that specifies a fine search range among the feature amounts stored in the data storage unit and determines a focus position by interpolating the feature amount within the range. apparatus.
置情報を粗く設定して補間した位置の傾きに基づいて、
合焦位置の存在を判別することを特徴とする、請求項1
に記載のオートフォーカス装置。2. The search direction determining means sets coarsely the position information of the horizontal axis,
2. The method according to claim 1, wherein the presence of the in-focus position is determined.
An autofocus device according to item 1.
のに適切な特徴量の画像を得るために特徴量のサンプリ
ング周期をもとに前記撮像手段の移動速度を決定するこ
とを特徴とする、請求項1または2に記載のオートフォ
ーカス装置。3. The search direction determining means determines a moving speed of the image pickup means based on a feature value sampling cycle in order to obtain an image of a feature quantity suitable for the interpolation. The autofocus device according to claim 1.
大または極小となる特徴量を用いることを特徴とする、
請求項1に記載のオートフォーカス装置。4. The method according to claim 1, wherein the in-focus position determining means uses a feature amount that is maximum or minimum at the in-focus position.
The autofocus device according to claim 1.
ウシアンまたはラプラシアンをフィッティングさせ、前
記極大または極小となる位置を合焦位置とすることを特
徴とする、請求項1または4に記載のオートフォーカス
装置。5. The focusing position determining unit according to claim 1, wherein the focusing position determination unit fits a quadratic curve, Gaussian, or Laplacian, and determines the maximum or minimum position as a focusing position. Auto focus device.
出した特徴量を前記データ記憶手段に記憶している間も
移動しながら該被写体の画像を撮像することを特徴とす
る、請求項1に記載のオートフォーカス装置。6. The imaging device according to claim 1, wherein the imaging unit captures the image of the subject while moving the feature amount extracted from the image of the subject in the data storage unit. An autofocus device according to item 1.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22423798A JP2000056210A (en) | 1998-08-07 | 1998-08-07 | Automatic focusing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP22423798A JP2000056210A (en) | 1998-08-07 | 1998-08-07 | Automatic focusing device |
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---|---|
JP2000056210A true JP2000056210A (en) | 2000-02-25 |
Family
ID=16810650
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22423798A Pending JP2000056210A (en) | 1998-08-07 | 1998-08-07 | Automatic focusing device |
Country Status (1)
Country | Link |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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