JP2000056185A - Laser diode module - Google Patents

Laser diode module

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JP2000056185A
JP2000056185A JP10224194A JP22419498A JP2000056185A JP 2000056185 A JP2000056185 A JP 2000056185A JP 10224194 A JP10224194 A JP 10224194A JP 22419498 A JP22419498 A JP 22419498A JP 2000056185 A JP2000056185 A JP 2000056185A
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JP
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laser diode
wavelength
optical
laser
wavelength filter
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JP10224194A
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Japanese (ja)
Inventor
Tatsuya Takeshita
達也 竹下
Kaoru Yoshino
薫 吉野
Norio Nishi
功雄 西
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To easily improve wavelength stability by adjusting the temperature of a laser diode, controlling the transmission wavelength and bringing the laser diode and an optical wavelength filter into thermal contact so as to keep both at an almost equal temperature. SOLUTION: A laser diode 1 inside a module package outputs the laser beam of a prescribed transmission wavelength and an optical fiber 9 is optically coupled to the laser diode 1 and leads out the laser beam outputted from the laser diode 1 to the outside. An optical wavelength filter 3 is provided with a cut-off wavelength almost same as the transmission wavelength of the laser diode 1. One or more photodiodes for wavelength control transmits or reflects a part of the light output of the laser diode 1 to the optical wavelength filter, then, receives it and outputs the received light level. Then, a Peltier element 6 controls the transmission wavelength of the laser diode 1. Further, a thermal contact means brings the laser diode 1 and the optical wavelength filter 3 into thermal contact so as to keep both at the almost same temperature.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザダイオード
モジュールに関し、特に光通信や計測に用いられるレー
ザダイオード光源モジュールで、特に精密な波長精度を
要求される場合に利用されるレーザダイオードモジュー
ルに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser diode module, and more particularly to a laser diode light source module used for optical communication and measurement, and more particularly to a laser diode module used when precise wavelength accuracy is required. is there.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、波長多重伝送技術の進展に伴い、
0.1nmオーダーでの波長(周波数)精度が要求され
るようになり、DFB−LD(Distributed Feed Back-
LaserDiode )を単純に一定温度で使用するといった制
御だけでは、素子の経時変化などに伴う波長変動を補償
できないため、精度が不足するようになった。従来、高
精度に波長制御したLD光源としては、図6に示すよう
に、ファイバグレーティングを用いて特定の波長にロッ
クする構成がある。
2. Description of the Related Art In recent years, with the development of wavelength multiplexing transmission technology,
Wavelength (frequency) accuracy on the order of 0.1 nm is required, and DFB-LD (Distributed Feed Back-
Simply controlling the laser diode at a constant temperature cannot compensate for the wavelength variation due to the aging of the element, so the accuracy has become insufficient. Conventionally, as an LD light source whose wavelength is controlled with high precision, as shown in FIG. 6, there is a configuration in which a specific wavelength is locked by using a fiber grating.

【0003】同図において、61は温度調節素子を内蔵
したLDモジュール、62は光分岐器、63はファイバ
グレーティング、64はPD(Photo Diode )モジュー
ル、65は自動周波数制御(AFC)回路、66はファ
イバグレーティング用の恒温装置である。この場合、L
Dモジュール61の出力光の一部を光分岐器62でファ
イバグレーティングに導入し、その反射光が特定の波長
に対してピーク値をとるので、これをPDモジュール6
4で検出し、AFC回路65によりLDモジュール61
のLD温度にフィードバックすることによって、発振波
長の安定化が行われる。
In FIG. 1, reference numeral 61 denotes an LD module having a built-in temperature control element, 62 denotes an optical splitter, 63 denotes a fiber grating, 64 denotes a PD (Photo Diode) module, 65 denotes an automatic frequency control (AFC) circuit, and 66 denotes It is a thermostat for fiber grating. In this case, L
A part of the output light of the D module 61 is introduced into the fiber grating by the optical splitter 62, and the reflected light takes a peak value for a specific wavelength.
4 and the AFC circuit 65 detects the LD module 61
The oscillation wavelength is stabilized by feedback to the LD temperature.

【0004】しかし、この構成では最初に設定した波長
以外の波長を任意に出すことができないために、波長多
重などで多数の波長を出すためには各波長専用に精密に
波長を合わせて製作したファイバグレーティングが必要
になる。さらに、0〜60℃といった広い使用温度範囲
で0.1nm以下の波長安定度を得るためには、ファイ
バグレーティングといえども0.005nm/℃程度の
温度依存性があるので温度安定化が必要となり、構成が
複雑になるといった問題があった。
However, in this configuration, it is impossible to arbitrarily output wavelengths other than the initially set wavelength. Therefore, in order to output a large number of wavelengths by wavelength multiplexing or the like, the wavelengths are precisely adjusted for each wavelength. Fiber grating is required. Further, in order to obtain a wavelength stability of 0.1 nm or less in a wide operating temperature range of 0 to 60 ° C., even a fiber grating has a temperature dependency of about 0.005 nm / ° C., so that temperature stabilization is required. However, there is a problem that the configuration becomes complicated.

【0005】一方、図7のように、誘電体多層膜を用い
た光波長フィルタの急峻なカットオフ領域を用いて、L
Dの出力光の一部を光波長フィルタに通し、その透過パ
ワーおよび反射パワーの比が一定になるようにLDの温
度や駆動電流を調整する構成もある。同図において、7
1は温度調節素子を内蔵したLDモジュール、72はビ
ームスプリッタ、73は光波長フィルタ、74はPDモ
ジュール、75はAFC回路、76は光波長フィルタ7
3の恒温装置、77はコリメート光学系、78は光波長
フィルタ73の入射角制御機構である。
On the other hand, as shown in FIG. 7, a steep cut-off region of an optical wavelength filter using a dielectric multilayer film is used to
There is also a configuration in which a part of the output light of D is passed through an optical wavelength filter, and the temperature and drive current of the LD are adjusted so that the ratio between the transmitted power and the reflected power becomes constant. In FIG.
1 is an LD module having a built-in temperature control element, 72 is a beam splitter, 73 is an optical wavelength filter, 74 is a PD module, 75 is an AFC circuit, and 76 is an optical wavelength filter 7
3 is a constant temperature device, 77 is a collimating optical system, and 78 is an incident angle control mechanism of the optical wavelength filter 73.

【0006】この場合、LDモジュール71の出力光を
コリメート光学系77によってコリメートした後、ビー
ムスプリッタ72でその一部を取り出して光波長フィル
タ73に導入し、その透過パワー(反射パワーや透過と
反射を差動にして使うこともある)が波長に依存して敏
感に変化するので、それをPDモジュール74で検出
し、AFC回路75によってLDモジュール71のLD
温度を調整して発振波長の安定化を行うものとなってい
た。
In this case, after the output light of the LD module 71 is collimated by the collimating optical system 77, a part thereof is taken out by the beam splitter 72 and introduced into the optical wavelength filter 73, and its transmission power (reflection power and transmission and reflection) is obtained. Is sometimes sensitively changed depending on the wavelength. Therefore, it is detected by the PD module 74, and the LD module 71 of the LD module 71 is detected by the AFC circuit 75.
The oscillation wavelength is stabilized by adjusting the temperature.

【0007】なお、ここで用いる光波長フィルタ73
は、カットオフ領域を使うだけなのでバイパスでもロー
パスでもまたバンドパスフィルタであっても構わない。
この構成では、入射角制御機構78で機械的にフィルタ
の入射角を変えることによりフィルタの中心波長がずれ
る効果を利用して、一種類のフィルタで広範囲の波長チ
ューニングが可能であり、さらに透過(反射)のパワー
比を選ぶことにより電気的に波長の微調も可能であると
いう利点を有する。
The optical wavelength filter 73 used here
May use a bypass, a low-pass, or a band-pass filter because only the cut-off region is used.
In this configuration, by utilizing the effect that the center wavelength of the filter is shifted by mechanically changing the incident angle of the filter by the incident angle control mechanism 78, a wide range of wavelength tuning can be performed with one type of filter, and the transmission ( By selecting the power ratio of (reflection), there is an advantage that the wavelength can be finely adjusted electrically.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のレーザダイオードモジュールでは、波長精度
が誘電体多層膜を用いた光波長フィルタの安定度に依存
することになり、光波長フィルタもファイバグレーティ
ングと同レベルの温度係数を有するので、広い使用温度
範囲に対しては温度制御が不可欠となるという問題点が
あった。また、それぞれ個別のモジュールから構成され
ているためスペースファクタが悪く、光学系も複雑にな
り高コストとなるという問題点があった。本発明はこの
ような課題を解決するためのものであり、低コストでし
かもコンパクトで波長安定性の良いレーザダイオードモ
ジュールを提供することを目的としている。
However, in such a conventional laser diode module, the wavelength accuracy depends on the stability of an optical wavelength filter using a dielectric multilayer film, and the optical wavelength filter is also a fiber grating. Therefore, there is a problem that temperature control is indispensable over a wide operating temperature range. In addition, there is a problem that the space factor is poor because each module is composed of an individual module, the optical system is complicated, and the cost is high. An object of the present invention is to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a compact, low-cost laser diode module having good wavelength stability.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明によるレーザダイオードモジュール
は、モジュールパッケージ内に、所定発振波長のレーザ
光を出力するレーザダイオードと、このレーザダイオー
ドに光学結合されレーザダイオードから出力されたレー
ザ光を外部に導出する光ファイバと、レーザダイオード
の発振波長とほぼ同じカットオフ波長を持つ光波長フィ
ルタと、レーザダイオードの光出力の一部を光波長フィ
ルタに透過または反射させた後に受光し、その受光レベ
ルを出力する1つ以上の波長制御用フォトダイオード
と、レーザダイオードの温度を調整することによりレー
ザダイオードの発振波長を制御するペルチェ素子と、レ
ーザダイオードおよび光波長フィルタがほぼ等温に保た
れるように両者を熱接触させる熱接触手段とを備えるも
のである。したがって、光波長フィルタが、ペルチェ素
子によりほぼ一定に温度調節されるレーザダイオードと
ほぼ等温となって温度安定化される。
In order to achieve the above object, a laser diode module according to the present invention includes a laser diode for outputting a laser beam having a predetermined oscillation wavelength in a module package, and an optical element for the laser diode. An optical fiber that couples the laser light output from the laser diode to the outside, an optical wavelength filter that has a cutoff wavelength that is almost the same as the oscillation wavelength of the laser diode, and a part of the optical output of the laser diode to the optical wavelength filter One or more wavelength controlling photodiodes that receive light after being transmitted or reflected and output the received light level, a Peltier element that controls the oscillation wavelength of the laser diode by adjusting the temperature of the laser diode, Heat-contact both so that the optical wavelength filter is kept almost isothermal. Those comprising a thermal contact means for. Therefore, the optical wavelength filter is substantially equal in temperature to the laser diode whose temperature is adjusted to be substantially constant by the Peltier element, and the temperature is stabilized.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。図1は本発明の第1の実施の形態である
レーザダイオードモジュールを示す構成図である。同図
において、1はLD(Laser Diode )素子、2は光ビー
ムスプリッタ、3は誘電体多層膜を用いた光波長フィル
タ、4A,4B,4CはPD(Photo Diode )素子を端
面に搭載したPDキャリヤである。
Next, the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing a laser diode module according to a first embodiment of the present invention. In the figure, 1 is an LD (Laser Diode) element, 2 is an optical beam splitter, 3 is an optical wavelength filter using a dielectric multilayer film, 4A, 4B and 4C are PDs having PD (Photo Diode) elements mounted on the end faces. Carrier.

【0011】また、5はAFC回路、6はLDの温度制
御を行うペルチェ素子、7はLDの裏面光を集束するた
めのレンズ、9は光ファイバ、10はLDの前方光を光
ファイバ9に結合するためのレンズ、11はLDを搭載
したLDキャリヤ、12は光波長フィルタ3やPDキャ
リア4A〜4Cを搭載した金属基板、13はLDモジュ
ールパッケージ、14はファイバ保持固定用のスリーブ
である。
Reference numeral 5 denotes an AFC circuit; 6, a Peltier element for controlling the temperature of the LD; 7, a lens for converging light from the back of the LD; 9, an optical fiber; A lens for coupling, 11 is an LD carrier on which an LD is mounted, 12 is a metal substrate on which the optical wavelength filter 3 and PD carriers 4A to 4C are mounted, 13 is an LD module package, and 14 is a sleeve for holding and fixing the fiber.

【0012】本実施の形態では、LD裏面出力光をレン
ズ7で集束し、ビームスプリッタ2でパワーモニタ用と
波長制御用とに分け、各々のPDキャリア4A〜4Cの
PDに受光させる。図1において、4Aがパワーモニタ
用のPDキャリア、4Bと4Cが波長制御用のPDキャ
リアである。PDキャリア4Cは、光波長フィルタ3で
反射された光がビームスプリッタ2を透過して受光でき
る位置に置く。
In this embodiment, the output light from the back surface of the LD is focused by the lens 7 and divided by the beam splitter 2 for power monitoring and wavelength control, and is received by the PDs of the PD carriers 4A to 4C. In FIG. 1, 4A is a PD carrier for power monitoring, and 4B and 4C are PD carriers for wavelength control. The PD carrier 4C is placed at a position where the light reflected by the optical wavelength filter 3 can be transmitted through the beam splitter 2 and received.

【0013】これを組み立てるには、まずLD素子1を
LDキャリヤ11に搭載し、レンズ10をYAGレーザ
溶接でLDキャリヤ11に固定する。その後LDモジュ
ールパッケージ内にペルチェ素子6とLDキャリヤ11
をハンダで固定し、スリーブを介してファイバ9を最適
結合位置に調心してYAGレーザ溶接で固定する。
To assemble this, first, the LD element 1 is mounted on the LD carrier 11, and the lens 10 is fixed to the LD carrier 11 by YAG laser welding. After that, the Peltier element 6 and the LD carrier 11 are placed in the LD module package.
Is fixed by soldering, the fiber 9 is centered at an optimum coupling position via a sleeve, and fixed by YAG laser welding.

【0014】次に、レンズ7をYAG溶接または低温ハ
ンダまたは接着剤でLDキャリヤ11に固定し、一方、
PDキャリヤ4A〜4C、光波長フィルタ3およびビー
ムスプリッタ2を金属基板12にハンダや接着剤で固定
する。そして、長めの金ワイヤでパッケージ端子に接続
した上でLD素子1を発光させ、波長制御用PDキャリ
ア4B,4Cの受光電流が希望波長の時にほぼ等しく、
かつパワーモニタ用PDキャリア4Aの受光電流ができ
るだけ大きくなるように、LDキャリヤ11に対する金
属基板12の角度と位置を調整して上方からYAGレー
ザで固定する。
Next, the lens 7 is fixed to the LD carrier 11 by YAG welding, low-temperature solder or adhesive, while
The PD carriers 4A to 4C, the optical wavelength filter 3, and the beam splitter 2 are fixed to the metal substrate 12 with solder or an adhesive. Then, the LD element 1 is made to emit light after being connected to the package terminal with a longer gold wire, and the light receiving currents of the wavelength controlling PD carriers 4B and 4C are substantially equal when the desired wavelength is obtained.
In addition, the angle and the position of the metal substrate 12 with respect to the LD carrier 11 are adjusted so that the light receiving current of the power monitoring PD carrier 4A becomes as large as possible, and the metal substrate 12 is fixed with a YAG laser from above.

【0015】この固定時の要求精度(トレランス)は主
にPDの受光面積に依存するが、ここでは低速用の大面
積PDが使えるので、トレランスは緩くYAG溶接時の
軸ずれは問題ない。ここで、金属基板12をステンレス
などの熱伝導率の低い材料にしておくと、YAGレーザ
での溶接性が良く、またLD素子1の温度が回路のノイ
ズなどで瞬間的に変化した際にも温度変化が緩やかにな
るので、ノイズに対する許容度が大きくなるという利点
がある。
The required accuracy (tolerance) at the time of fixing mainly depends on the light receiving area of the PD. However, since a large-area PD for a low speed can be used here, the tolerance is loose and there is no problem with the axis deviation during YAG welding. Here, if the metal substrate 12 is made of a material having a low thermal conductivity such as stainless steel, the weldability with the YAG laser is good, and even when the temperature of the LD element 1 changes instantaneously due to circuit noise or the like. Since the temperature change becomes gentle, there is an advantage that tolerance for noise is increased.

【0016】基本的に、誘電体多層膜を用いた光波長フ
ィルタの温度依存係数は、LD(通常のDFB−LDで
0.1nm/℃程度)よりはるかに小さい。したがっ
て、それほど精密かつ高速に温度制御する必要はなく、
多少熱伝導率が低くても長期的には一定温度に安定化さ
れるため十分である。
Basically, the temperature dependency coefficient of an optical wavelength filter using a dielectric multilayer film is much smaller than that of an LD (about 0.1 nm / ° C. in a normal DFB-LD). Therefore, there is no need to control the temperature so precisely and quickly.
Even if the thermal conductivity is somewhat low, it is sufficient because it is stabilized at a constant temperature in the long term.

【0017】本実施の形態では、温度を変えたときに出
力パワーを一定に保つための自動パワー調整(APC)
回路を独立させるために、パワーモニタ用PD(PDキ
ャリア4A)を専用に設けている。しかし、APCとA
FCの回路を工夫して一体化すれば、波長制御用PD
(PDキャリア4B,4C)の受光電流でAPC制御す
ることも可能である。
In this embodiment, automatic power adjustment (APC) for keeping the output power constant when the temperature is changed
In order to make the circuit independent, a power monitoring PD (PD carrier 4A) is provided exclusively. However, APC and A
If the FC circuit is devised and integrated, the wavelength control PD
It is also possible to perform APC control with the light receiving current of the (PD carriers 4B, 4C).

【0018】これは、波長制御用の2つのPD(PDキ
ャリア4B,4C)の受光電流比が一定に決まれば、そ
の時に流れる受光電流はパワーに比例するからである、
ただし、本実施の形態では、AFC回路5を使わない場
合に、通常のAPC回路で一般的な普通のLDモジュー
ルとして利用できる利点がある。また、各部品の固定手
段や組立順序は上記の記述にこだわる必要はなく、装置
や部材の条件等により変更しても良い。
This is because if the light receiving current ratio between the two wavelength controlling PDs (PD carriers 4B and 4C) is determined to be constant, the light receiving current flowing at that time is proportional to the power.
However, in the present embodiment, when the AFC circuit 5 is not used, there is an advantage that the AFC circuit 5 can be used as a normal LD module in a normal APC circuit. Further, the fixing means and the assembling order of each part do not need to be limited to the above description, and may be changed according to the conditions of the apparatus and members.

【0019】さらに、図1では、各PDキャリアが入射
光に垂直に向く位置に描いてあるが、実際には反射光が
LDへ戻るのを避けるために光軸と端面が僅かに角度が
付くように配置した方が良いのは言うまでもない。
Further, in FIG. 1, each PD carrier is drawn at a position perpendicular to the incident light, but in practice, the optical axis and the end face are slightly angled to avoid the reflected light returning to the LD. Needless to say, it is better to arrange them.

【0020】次に、図2を参照して、本発明の第2の実
施の形態について説明する。図2は第2の実施の形態で
あるレーザダイオードモジュールを示す構成図である。
同図において、前述(図1参照)と同じまたは同等部分
には同一符号を付してあり、5AはAFC/APC兼用
の制御回路である。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a configuration diagram illustrating a laser diode module according to a second embodiment.
In this figure, the same or equivalent parts as those described above (see FIG. 1) are denoted by the same reference numerals, and 5A is a control circuit for both AFC and APC.

【0021】本実施の形態は、波長制御用PDを1つに
して簡易化すると同時に、光波長フィルタ3をLD素子
1の光軸方向に置くことでモジュールパッケージ13の
横幅をスリム化できるというのが特徴である。組立方法
は、第1の実施の形態とほぼ同様であるが、波長制御用
PDがPDキャリア4Bだけであるので、規定波長の時
に受光電流が最大値のほぼ1/2になる辺りで固定す
る。
In the present embodiment, the wavelength control PD can be simplified to one, and the width of the module package 13 can be reduced by placing the optical wavelength filter 3 in the optical axis direction of the LD element 1. Is the feature. The assembling method is almost the same as that of the first embodiment, but since the wavelength controlling PD is only the PD carrier 4B, the light receiving current is fixed at about half the maximum value at the specified wavelength. .

【0022】実使用時では、LDキャリヤ温度は高々5
℃以内の変化であり、光波長フィルタ3および波長制御
用PDが温度安定化されている構造では、片方のPDだ
けでも十分安定化は可能である。ただし、AFC回路5
Aは、モニタ用PDと波長制御用PDの電流比が一定に
なるように制御する必要があり、同時にAPC動作もさ
せるためには、AFC回路5AにAPC用のLD駆動回
路を内蔵させることになる。
In actual use, the LD carrier temperature is at most 5
In the structure in which the optical wavelength filter 3 and the wavelength control PD are temperature-stabilized, it is possible to sufficiently stabilize only one of the PDs. However, the AFC circuit 5
In A, it is necessary to control the current ratio between the monitor PD and the wavelength control PD to be constant. At the same time, in order to perform the APC operation, the AFC circuit 5A needs to incorporate a LD drive circuit for the APC. Become.

【0023】次に、図3を参照して、本発明の第3の実
施の形態について説明する。図3は第3の実施の形態で
あるレーザダイオードモジュールを示す構成図である。
同図において、前述(図1,2参照)と同じまたは同等
部分には同一符号を付してある。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a configuration diagram showing a laser diode module according to the third embodiment.
In the figure, the same or equivalent parts as those described above (see FIGS. 1 and 2) are denoted by the same reference numerals.

【0024】本実施の形態では、ビームスプリッタ2と
光波長フィルタ3を貼り合わせ、あるいは両面蒸着によ
って一体化することで、組立の簡易化を図っている。P
Dキャリヤ4A,4Bの配置上、光波長フィルタ3ヘの
入射角を大きくしなければならないため、それに合わせ
た膜設計が必要であるが、基本的には問題はなく、組立
方法や使用方法は、第2の実施の形態とほとんど同じで
あり、ここでの説明は省略する。
In the present embodiment, the assembly is simplified by bonding the beam splitter 2 and the optical wavelength filter 3 or integrating them by double-side deposition. P
Due to the arrangement of the D carriers 4A and 4B, the angle of incidence on the optical wavelength filter 3 must be increased. Therefore, a film design corresponding to this is necessary. However, there is basically no problem. , Are almost the same as those of the second embodiment, and a description thereof will be omitted.

【0025】次に、図4を参照して、本発明の第4の実
施の形態について説明する。図4は第4の実施の形態で
あるレーザダイオードモジュールを示す構成図である。
同図において、前述(図1〜3参照)と同じまたは同等
部分には同一符号を付してあり、15は1/2波長板で
ある。
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a configuration diagram illustrating a laser diode module according to a fourth embodiment.
In the figure, the same or equivalent parts as those described above (see FIGS. 1 to 3) are denoted by the same reference numerals, and 15 is a half-wave plate.

【0026】本実施の形態では、ビームスプリッタ2と
して普通のガラス板を用いることにより、入射角に対す
る偏光成分の反射率の差を利用して検出感度の向上を計
っている。ここで、ガラス板としてBK7(屈折率=
1.51)を用い、入射角56.5度(ブリュースター
角)とすると、入射面に対し平行成分の偏光に対する反
射率は約15%、一方垂直成分光に対してはほとんど0
%となる。
In this embodiment, by using a normal glass plate as the beam splitter 2, the detection sensitivity is improved by utilizing the difference in the reflectance of the polarization component with respect to the incident angle. Here, BK7 (refractive index =
Assuming that the incident angle is 56.5 degrees (Brewster's angle) using 1.51), the reflectance for the polarized light of the parallel component with respect to the incident surface is about 15%, while the reflectance for the vertical component light is almost 0%.
%.

【0027】LD素子1は、通常、TEモード発振(図
4の配置だと入射角垂直偏光)であるので、ビームスプ
リッタ2との間に1/2波長板15を入れて、これを9
0度回転してやれば、LD素子1のTM成分(主に広い
波長成分を含む自然放出光)は波長検出PDには来ない
ので、波長検出のノイズレベルを低減できるという利点
がある。
Since the LD element 1 normally performs TE mode oscillation (in the case of the arrangement shown in FIG. 4, vertical polarization at the incident angle), a half-wave plate 15 is inserted between the LD element 1 and the beam splitter 2, and
If rotated by 0 degrees, the TM component of the LD element 1 (spontaneous emission light mainly including a wide wavelength component) does not come to the wavelength detection PD, so that there is an advantage that the noise level of wavelength detection can be reduced.

【0028】なお、ガラス板の入射角は実際には±5度
ぐらいの誤差があっても偏波分離には十分有効であり、
波長合せ時の角度調整にも問題はない。1/2波長板1
5を追加した以外、組立方法や使用方法は第2の実施の
形態とほとんど同じであり、ここでの説明は省略する。
Incidentally, even if the incident angle of the glass plate actually has an error of about ± 5 degrees, it is sufficiently effective for polarization separation.
There is no problem in angle adjustment at the time of wavelength adjustment. 1/2 wave plate 1
Except for the addition of 5, the assembling method and the method of use are almost the same as those of the second embodiment, and a description thereof will be omitted.

【0029】次に、図5を参照して、本発明の第5の実
施の形態について説明する。図5は第5の実施の形態で
あるレーザダイオードモジュールを示す構成図である。
同図において、前述(図1〜4参照)と同じまたは同等
部分には同一符号を付してあり、3Aは予め金属部材に
固定した光波長フィルタである。
Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a configuration diagram illustrating a laser diode module according to a fifth embodiment.
In the figure, the same or equivalent parts as those described above (see FIGS. 1 to 4) are denoted by the same reference numerals, and 3A is an optical wavelength filter fixed to a metal member in advance.

【0030】本実施の形態は、第2の実施の形態と光学
的には同じ構成であるが、組立手順を変更したものであ
る。すなわち、予めビームスプリッタとPDを搭載した
金属基板12を、LDキャリヤ11に対して各PD(P
Dキャリア4A,4B)の受光電流が最大になるよう位
置合せしてYAG固定しておく。
This embodiment has the same optical configuration as the second embodiment, but is different from the second embodiment in the assembly procedure. That is, a metal substrate 12 on which a beam splitter and a PD are mounted in advance is attached to the LD carrier 11 by each PD (P
DAGs 4A and 4B) are aligned and fixed to YAG so that the light receiving current is maximized.

【0031】そして、最後に光波長フィルタ3を位置
(主に角度)合せして、波長制御用PD(PDキャリア
4B)の受光電流が最大値の半分程度になる所で金属部
をYAG固定して組み立てる。このような組立方法によ
れば、工数は増えるものの各部品の精度は緩和できるの
で歩留りの向上や特性の最適化が期待できる。
Finally, the optical wavelength filter 3 is positioned (mainly at an angle), and the metal part is fixed by YAG at a place where the light receiving current of the wavelength controlling PD (PD carrier 4B) becomes about half of the maximum value. And assemble. According to such an assembling method, although the number of steps is increased, the accuracy of each part can be relaxed, so that improvement in yield and optimization of characteristics can be expected.

【0032】なお、以上説明した各実施の形態におい
て、波長検出には、もっぱらLD素子1の裏面光を用い
たが、ある程度のパワー損を許せば、LD素子1の前方
出射光の一部をハーフミラーなどで取り出して利用する
ことも可能である。
In each of the above-described embodiments, the wavelength of the light emitted from the back surface of the LD element 1 is used exclusively for the wavelength detection. It is also possible to use it by taking it out with a half mirror or the like.

【0033】[0033]

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、モジュ
ールパッケージ内に、所定発振波長のレーザ光を出力す
るレーザダイオードと、このレーザダイオードに光学結
合されレーザダイオードから出力されたレーザ光を外部
に導出する光ファイバと、レーザダイオードの発振波長
とほぼ同じカットオフ波長を持つ光波長フィルタと、レ
ーザダイオードの光出力の一部を光波長フィルタに透過
または反射させた後に受光し、その受光レベルを出力す
る1つ以上の波長制御用フォトダイオードと、レーザダ
イオードの温度を調整することによりレーザダイオード
の発振波長を制御するペルチェ素子と、レーザダイオー
ドおよび光波長フィルタがほぼ等温に保たれるように両
者を熱接触させる熱接触手段とを備えるものである。し
たがって、光波長フィルタが、ペルチェ素子によりほぼ
一定に温度調節されるレーザダイオードとほぼ等温とな
って温度安定化されるため、従来のように、恒温装置を
別途設けることなく、優れた波長安定度を持ったレーザ
ダイオード光源を単一のモジュールで、コンパクトかつ
低コストに実現できる。
As described above, according to the present invention, a laser diode for outputting a laser beam having a predetermined oscillation wavelength and a laser beam optically coupled to the laser diode and output from the laser diode are provided in a module package. Optical fiber, an optical wavelength filter with a cut-off wavelength that is almost the same as the laser diode's oscillation wavelength, and a part of the laser diode's optical output that is transmitted or reflected by the optical wavelength filter and then received. One or more wavelength controlling photodiodes that output laser light, a Peltier element that controls the oscillation wavelength of the laser diode by adjusting the temperature of the laser diode, and a laser diode and an optical wavelength filter that are kept substantially isothermal. Thermal contact means for bringing the two into thermal contact with each other. Therefore, since the optical wavelength filter is almost isothermal with the laser diode whose temperature is controlled to be substantially constant by the Peltier element, the temperature is stabilized, so that the excellent wavelength stability can be achieved without separately providing a thermostat. The laser diode light source having the above characteristics can be realized compactly and at low cost with a single module.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 第1の実施の形態によるレーザダイオードモ
ジュールを示す構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram showing a laser diode module according to a first embodiment.

【図2】 第2の実施の形態によるレーザダイオードモ
ジュールを示す構成図である。
FIG. 2 is a configuration diagram illustrating a laser diode module according to a second embodiment.

【図3】 第3の実施の形態によるレーザダイオードモ
ジュールを示す構成図である。
FIG. 3 is a configuration diagram showing a laser diode module according to a third embodiment.

【図4】 第4の実施の形態によるレーザダイオードモ
ジュールを示す構成図である。
FIG. 4 is a configuration diagram showing a laser diode module according to a fourth embodiment.

【図5】 第5の実施の形態によるレーザダイオードモ
ジュールを示す構成図である。
FIG. 5 is a configuration diagram showing a laser diode module according to a fifth embodiment.

【図6】 従来のレーザダイオードモジュールを示す構
成図である。
FIG. 6 is a configuration diagram showing a conventional laser diode module.

【図7】 従来の他のレーザダイオードモジュールを示
す構成図である。
FIG. 7 is a configuration diagram showing another conventional laser diode module.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…LD素子、2…ビームスプリッタ、3…光波長フィ
ルタ、4A…PDキャリア(パワーモニタ用)、4B,
4C…PDキャリア(波長制御用)、5…AFC回路、
5A…AFC/APC回路、6…ペルチェ素子、7…レ
ンズ(裏面光用)、9…光ファイバ、10…レンズ(前
面光用)、11…LDキャリア、12…金属基板、13
…モジュールパッケージ、14…スリーブ、15…1/
2波長板。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... LD element, 2 ... Beam splitter, 3 ... Optical wavelength filter, 4A ... PD carrier (for power monitor), 4B,
4C: PD carrier (for wavelength control), 5: AFC circuit,
5A: AFC / APC circuit, 6: Peltier element, 7: Lens (for back light), 9: Optical fiber, 10: Lens (for front light), 11: LD carrier, 12: Metal substrate, 13
... Module package, 14 ... Sleeve, 15 ... 1 /
Two-wave plate.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西 功雄 東京都渋谷区桜丘町20番1号 エヌティテ ィエレクトロニクス株式会社内 Fターム(参考) 2H037 AA01 BA03 BA12 DA03 DA04 DA05 DA06 DA38 5F073 BA02 EA03  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Isao Nishi 20-1 Sakuragaoka-cho, Shibuya-ku, Tokyo F-term in NTT Electronics Corporation (reference) 2H037 AA01 BA03 BA12 DA03 DA04 DA05 DA06 DA38 5F073 BA02 EA03

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 モジュールパッケージ内に、 所定発振波長のレーザ光を出力するレーザダイオード
と、 このレーザダイオードに光学結合されレーザダイオード
から出力されたレーザ光を外部に導出する光ファイバ
と、 レーザダイオードの発振波長とほぼ同じカットオフ波長
を持つ光波長フィルタと、 レーザダイオードの光出力の一部を光波長フィルタに透
過または反射させた後に受光し、その受光レベルを出力
する1つ以上の波長制御用フォトダイオードと、 レーザダイオードの温度を調整することによりレーザダ
イオードの発振波長を制御するペルチェ素子と、 レーザダイオードおよび光波長フィルタがほぼ等温に保
たれるように両者を熱接触させる熱接触手段とを備える
ことを特徴とするレーザダイオードモジュール。
A laser diode for outputting a laser beam having a predetermined oscillation wavelength; an optical fiber optically coupled to the laser diode for guiding the laser beam output from the laser diode to the outside; An optical wavelength filter that has a cutoff wavelength that is almost the same as the oscillation wavelength, and one or more wavelength controls that output a part of the optical output of the laser diode after being transmitted or reflected by the optical wavelength filter and output the received light level A photodiode, a Peltier element for controlling the oscillation wavelength of the laser diode by adjusting the temperature of the laser diode, and a thermal contact means for thermally contacting the laser diode and the optical wavelength filter so that the two are maintained at substantially equal temperatures. A laser diode module comprising:
【請求項2】 モジュールパッケージ内に、 所定発振波長のレーザ光を出力するレーザダイオード
と、 このレーザダイオードに光学結合されレーザダイオード
から出力されたレーザ光を外部に導出する光ファイバ
と、 レーザダイオードの発振波長とほぼ同じカットオフ波長
を持つ光波長フィルタと、 レーザダイオードの光出力の一部を2つに分光するビー
ムスプリッタと、 このビームスプリッタの分光出力の一方を光波長フィル
タに透過または反射させた後に受光し、その受光レベル
を出力する1つ以上の波長制御用フォトダイオードと、 ビームスプリッタの分光出力の他方を受光し、その受光
レベルを出力するパワーモニタ用フォトダイオードと、 レーザダイオードの温度を調整することによりレーザダ
イオードの発振波長を制御するペルチェ素子と、 レーザダイオードおよび光波長フィルタがほぼ等温に保
たれるように両者を熱接触させる熱接触手段とを備える
ことを特徴とするレーザダイオードモジュール。
2. A laser diode for outputting a laser beam having a predetermined oscillation wavelength, an optical fiber optically coupled to the laser diode for guiding the laser beam output from the laser diode to the outside, and a laser diode. An optical wavelength filter having a cut-off wavelength substantially equal to the oscillation wavelength, a beam splitter for splitting a part of the optical output of the laser diode into two, and transmitting or reflecting one of the spectral outputs of the beam splitter to the optical wavelength filter. One or more wavelength controlling photodiodes that receive light after receiving the light, and output the light receiving level; a power monitoring photodiode that receives the other of the spectral output of the beam splitter and output the light receiving level; and a temperature of the laser diode. The oscillation wavelength of the laser diode by adjusting The laser diode module comprising: the Peltier element, and a thermal contact means for thermally contacting the two so that the laser diode and the optical wavelength filter is kept substantially isothermal.
【請求項3】 請求項2記載のレーザダイオードモジュ
ールにおいて、 熱接触手段は、 光波長フィルタ、各フォトダイオードおよびビームスプ
リッタを予め搭載し、パワーモニタ用フォトダイオード
の受光レベルが最大となるようにレーザダイオードに対
して位置合わせしてYAGレーザ溶接で固定されている
ことを特徴とするレーザダイオードモジュール。
3. The laser diode module according to claim 2, wherein the thermal contact means is provided with an optical wavelength filter, each photodiode and a beam splitter in advance, and a laser is provided so that the light receiving level of the power monitoring photodiode is maximized. A laser diode module which is aligned with a diode and fixed by YAG laser welding.
【請求項4】 請求項2記載のレーザダイオードモジュ
ールにおいて、 熱接触手段は、 各フォトダイオードおよびビームスプリッタを予め搭載
し、パワーモニタ用フォトダイオードの受光レベルが最
大となるように位置合わせして固定してYAGレーザ溶
接で固定されており、 光波長フィルタは、 波長制御用フォトダイオードの受光レベルが所定値とな
るように固定後の熱接触手段にYAGレーザ溶接で固定
されていることを特徴とするレーザダイオードモジュー
ル。
4. The laser diode module according to claim 2, wherein the thermal contact means has a photodiode and a beam splitter mounted in advance, and is positioned and fixed so that the light receiving level of the power monitoring photodiode is maximized. The optical wavelength filter is fixed to the thermal contact means after the fixing by YAG laser welding so that the light receiving level of the wavelength controlling photodiode becomes a predetermined value. Laser diode module.
【請求項5】 請求項1〜4記載のレーザダイオードモ
ジュールにおいて、 熱接触手段は、 熱伝導率の低い金属基板からなることを特徴とするレー
ザダイオードモジュール。
5. The laser diode module according to claim 1, wherein said thermal contact means comprises a metal substrate having a low thermal conductivity.
【請求項6】 請求項1〜5記載のレーザダイオードモ
ジュールにおいて、 光波長フィルタとビームスプリッタとが一体に構成され
ていることを特徴とするレーザダイオードモジュール。
6. The laser diode module according to claim 1, wherein the optical wavelength filter and the beam splitter are integrally formed.
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