JP2000022254A - Laser oscillation control method and device - Google Patents

Laser oscillation control method and device

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JP2000022254A JP10183953A JP18395398A JP2000022254A JP 2000022254 A JP2000022254 A JP 2000022254A JP 10183953 A JP10183953 A JP 10183953A JP 18395398 A JP18395398 A JP 18395398A JP 2000022254 A JP2000022254 A JP 2000022254A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】光音響光学素子へ入力される音響波の入力強度
の変化による光音響光学素子の温度変化を確実に防止す
る。 【解決手段】レーザー共振器内に第1の音響波を入力さ
れた複屈折性の光音響光学素子を配置し、所定範囲の波
長域においてレーザー発振可能な波長可変レーザーを光
音響光学素子に入射し、第1の音響波の周波数に応じて
波長制御する波長選択方法において、光音響光学素子に
対して第1の音響波とともに第2の音響波を入力し、第
1の音響波の周波数はレーザー発振可能な周波数とし、
第2の音響波の周波数はレーザー発振不能な周波数と
し、第1の音響波の入力強度値は第1の音響波の周波数
によりレーザー発振可能な入力強度値とし、第2の音響
波の入力強度値は所定値から第1の音響波の入力強度値
を減算した値とするものである。
(57) Abstract: To reliably prevent a temperature change of a photoacoustic optical element due to a change in input intensity of an acoustic wave input to the photoacoustic optical element. A birefringent photoacoustic optical element to which a first acoustic wave is input is arranged in a laser resonator, and a wavelength tunable laser capable of oscillating laser in a predetermined wavelength range is incident on the photoacoustic optical element. Then, in the wavelength selection method of controlling the wavelength according to the frequency of the first acoustic wave, the second acoustic wave is input to the photoacoustic optical element together with the first acoustic wave, and the frequency of the first acoustic wave is Laser oscillation frequency,
The frequency of the second acoustic wave is a frequency at which laser oscillation is not possible, the input intensity value of the first acoustic wave is an input intensity value at which laser oscillation is possible based on the frequency of the first acoustic wave, and the input intensity value of the second acoustic wave is The value is a value obtained by subtracting the input intensity value of the first acoustic wave from the predetermined value.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザー発振制御
方法およびその装置に関し、さらに詳細には、レーザー
発振波長を電子的に高速にかつ信頼性高く制御すること
のできるレーザー発振制御方法およびその装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser oscillation control method and apparatus, and more particularly, to a laser oscillation control method and apparatus capable of electronically controlling a laser oscillation wavelength at high speed and with high reliability. About.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のレーザー発振制御装置として、例
えば、特開平9−172215号公報に開示されたレー
ザー発振制御装置が知られている。
2. Description of the Related Art As a conventional laser oscillation control device, for example, a laser oscillation control device disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-172215 is known.

【0003】図1には、特開平9−172215号公報
において図3として開示されたレーザー発振制御装置が
示されているが、このレーザー発振制御装置において
は、所定の透過性を有する出射ミラー112と全反射ミ
ラー110とよりレーザー共振器が構成されている。
FIG. 1 shows a laser oscillation control device disclosed in FIG. 3 in JP-A-9-172215. In this laser oscillation control device, an emission mirror 112 having a predetermined transmittance is used. And a total reflection mirror 110 constitute a laser resonator.

【0004】そして、レーザー共振器内には、波長可変
レーザーのレーザー媒質としてのTi:Al2O3レーザ
ー結晶14と、波長選択用の光音響光学素子としての光
音響光学結晶100と、回折光補正用プリズム28と
が、出射側ミラー112から全反射ミラー110側へ向
けて順次配設されている。
In the laser resonator, a Ti: Al2O3 laser crystal 14 as a laser medium of a wavelength tunable laser, a photoacoustic optical crystal 100 as a photoacoustic optical element for selecting a wavelength, and a diffraction light correcting prism 28 are sequentially arranged from the emission side mirror 112 to the total reflection mirror 110 side.

【0005】光音響光学結晶100には、音響波入力手
段としてRF電源20により駆動される圧電素子22が
添着されている。従って、RF電源20により圧電素子
22を駆動させて、圧電素子22に歪みを生じさせる
と、この圧電素子22の歪みに基づいて、当該歪みに応
じた周波数の音響波が光音響光学結晶100に入力され
ることになる。
A piezoelectric element 22 driven by an RF power supply 20 is attached to the photoacoustic optical crystal 100 as acoustic wave input means. Accordingly, when the piezoelectric element 22 is driven by the RF power source 20 to cause distortion in the piezoelectric element 22, an acoustic wave having a frequency corresponding to the distortion is generated in the photoacoustic optical crystal 100 based on the distortion of the piezoelectric element 22. Will be entered.

【0006】また、回折光補正用プリズム28は、光音
響光学結晶100から出射された回折光106を、波長
に関わらず常に一定の方向に出射するように構成されて
おり、全反射ミラー110は、回折光補正用プリズム2
8から出射された光を反射するように構成されている。
The diffracted light correction prism 28 is configured to always emit the diffracted light 106 emitted from the photoacoustic optical crystal 100 in a fixed direction regardless of the wavelength. , Diffraction light correction prism 2
It is configured to reflect the light emitted from 8.

【0007】以上の構成において、励起レーザー24と
してNd:YAGレーザーの第二高調波を用いてTi:
Al2O3レーザー結晶14を励起する。また、出射側ミ
ラー112から出射させたい出射レーザー光の波長に応
じてRF電源20により入力されるRF周波数を制御
し、圧電素子22を駆動する。
In the above arrangement, the second harmonic of an Nd: YAG laser is used as the excitation laser 24 and Ti:
The Al2O3 laser crystal 14 is excited. Further, the piezoelectric element 22 is driven by controlling the RF frequency input from the RF power supply 20 according to the wavelength of the emitted laser light to be emitted from the emission side mirror 112.

【0008】上記のようにすると、光音響光学結晶10
0に入射されたTi:Al2O3レーザー結晶14から出
射された広範囲の波長帯域の出射光のなかで、RF電源
20により入力されるRF周波数に応じた波長の出射光
に関しては、所定の方向に回折されて回折光106とし
て光音響光学素子100から出射されることになる。
As described above, the photoacoustic optical crystal 10
In the light emitted from the Ti: Al2O3 laser crystal 14 and having a wavelength corresponding to the RF frequency input from the RF power source 20, the light emitted from the Ti: Al2O3 laser crystal 14 is diffracted in a predetermined direction. Then, the light is emitted from the photoacoustic optical element 100 as the diffracted light 106.

【0009】さらに、光音響光学結晶100から所定の
方向に回折されて出射された回折光106は、回折光補
正用プリズム28に入射され、一定の方向に出射され
る。そして、回折光補正用プリズム28から出射された
光は、全反射ミラー110によって反射され、レーザー
共振器内を往復することになる。
Further, the diffracted light 106 diffracted and emitted from the photoacoustic optical crystal 100 in a predetermined direction enters the diffracted light correcting prism 28 and is emitted in a certain direction. The light emitted from the diffraction light correcting prism 28 is reflected by the total reflection mirror 110 and reciprocates in the laser resonator.

【0010】従って、RF電源20により入力されるR
F周波数に応じた波長の光のみが増幅されてレーザー発
振を生ぜしめ、レーザー共振器から当該波長の出射レー
ザー光のみを出射させることができる。
[0010] Therefore, the R input from the RF power supply 20
Only the light of the wavelength corresponding to the F frequency is amplified to cause laser oscillation, and only the emitted laser light of the wavelength can be emitted from the laser resonator.

【0011】このように、従来のレーザー発振制御装置
においては、RF電源20により入力されるRF周波
数、即ち、光音響光学結晶100に入力される音響波周
波数を可変することにより、RF電源20により入力さ
れるRF周波数、即ち、光音響光学結晶100入力する
音響波周波数に応じた波長の出射レーザー光のみを選択
的に出射させることができるものであった。
As described above, in the conventional laser oscillation control apparatus, the RF frequency input by the RF power supply 20, that is, the acoustic wave frequency input to the photoacoustic optical crystal 100 is varied so that the RF power supply 20 Only the output laser light having a wavelength corresponding to the input RF frequency, that is, the acoustic wave frequency input to the photoacoustic optical crystal 100 can be selectively emitted.

【0012】ところで、光音響光学結晶100において
は、RF電源20より入力されるRF入力強度、即ち、
光音響光学結晶100に入力される音響波強度に応じ
て、光音響光学結晶100における回折効率が影響を受
け、RF入力強度、即ち、光音響光学結晶100に入力
される音響波強度の変化によって出射レーザー光の出力
強度が変化することが知られている。
Incidentally, in the photoacoustic optical crystal 100, the RF input intensity input from the RF power supply 20, that is,
The diffraction efficiency of the photoacoustic optical crystal 100 is affected according to the acoustic wave intensity input to the photoacoustic optical crystal 100, and the RF input intensity, that is, the change in the acoustic wave intensity input to the photoacoustic optical crystal 100 It is known that the output intensity of the emitted laser light changes.

【0013】しかも、最も出力強度の高い出射レーザー
を得るためのRF入力強度、即ち、光音響光学結晶10
0に入力される音響波強度は、出射レーザー光の周波数
を設定し、RF周波数、即ち、光音響光学結晶100に
入力される音響波周波数に応じて異なるものであった。
Moreover, the RF input intensity for obtaining the output laser having the highest output intensity, that is, the photoacoustic optical crystal 10
The acoustic wave intensity input to 0 is different depending on the frequency of the emitted laser light and the RF frequency, that is, the acoustic wave frequency input to the photoacoustic optical crystal 100.

【0014】本願出願人が、図1に示すレーザー発振制
御装置を用いて実験したところ、図2に示すように、例
えば、出射レーザー光の発振波長が約850nm〜約1
000nmにおいては、RF入力強度を2Wとする方が
RF入力強度を1Wとするよりも、より高い出力強度の
出射レーザー光を得ることができる一方で、出射レーザ
ー光の発振波長が約720nm〜約850nmにおいて
は、RF入力強度を1Wとする方がRF入力強度を2W
とするよりも、より高い出力強度の出射レーザー光を得
ることができるものであった。
When the applicant of the present invention conducted an experiment using the laser oscillation control apparatus shown in FIG. 1, as shown in FIG. 2, for example, the oscillation wavelength of the emitted laser light was about 850 nm to about 1 nm.
At 000 nm, when the RF input intensity is set to 2 W, the output laser light having a higher output intensity can be obtained than when the RF input intensity is set to 1 W, while the oscillation wavelength of the output laser light is about 720 nm to about 720 nm. At 850 nm, setting the RF input intensity to 1 W makes the RF input intensity 2 W
It was possible to obtain outgoing laser light with higher output intensity than that described above.

【0015】このため、出力強度の高い出射レーザー光
を得るためには、RF周波数、即ち、光音響光学結晶に
入力される音響波周波数を変化させる度に、RF入力強
度、即ち、光音響光学結晶に入力される音響波強度を変
化させる必要があった。
Therefore, in order to obtain an output laser beam having a high output intensity, every time the RF frequency, ie, the acoustic wave frequency input to the photoacoustic optical crystal is changed, the RF input intensity, ie, the photoacoustic optical It was necessary to change the intensity of the acoustic wave input to the crystal.

【0016】ところが、RF入力強度、即ち、光音響光
学結晶に入力される音響波強度を変化させると、RF入
力、即ち、音響波の入力の吸収によって光音響光学結晶
の温度が変化し、光音響光学結晶100における屈折率
や回折角の乱れが発生し、それが出射レーザー光の発振
波長や出力強度に悪影響を及ぼすという問題点が指摘さ
れていた。
However, when the RF input intensity, that is, the intensity of the acoustic wave input to the photoacoustic optical crystal is changed, the temperature of the photoacoustic optical crystal changes due to the absorption of the RF input, that is, the input of the acoustic wave. It has been pointed out that disorder of the refractive index and diffraction angle of the acousto-optic crystal 100 occurs, which adversely affects the oscillation wavelength and output intensity of the emitted laser light.

【0017】特に、出射レーザー光の出力強度を一定に
制御したり、あるいは各レーザー発振波長で最大の出力
強度を得ることができるようにしながら波長掃引する場
合には、RF入力強度、即ち、光音響光学結晶100に
入力される音響波強度をRF周波数、即ち、光音響光学
結晶100に入力される音響波周波数に応じて変化しな
ければならないため、必然的に光音響光学結晶100に
非常に速い温度変化が生じることになり、低速掃引時に
比べて高速掃引時は出射レーザー光の出力強度が不安定
なってしまっていた。
In particular, when the output intensity of the emitted laser light is controlled to be constant or the wavelength is swept while obtaining the maximum output intensity at each laser oscillation wavelength, the RF input intensity, ie, the light The intensity of the acoustic wave input to the acousto-optic crystal 100 must be changed according to the RF frequency, that is, the frequency of the acoustic wave input to the acousto-optic crystal 100. As a result, a rapid temperature change occurs, and the output intensity of the emitted laser light becomes unstable during high-speed sweep as compared with during low-speed sweep.

【0018】そこで、従来の技術においては、こうした
出射レーザー光の出力強度に影響を及ぼすような光音響
光学結晶の温度変化を抑止するために、温度計、サーモ
スタット、熱交換媒質(ヒーター、ペルチェ素子など)
を用いて、ヒートシンクからの熱伝導によって光音響光
学結晶の温度を制御するようにし、その温度一定化のた
めにフィードバック方式による制御を行うことが現実的
に考えられた。
Therefore, in the prior art, a thermometer, a thermostat, a heat exchange medium (a heater, a Peltier element) are used in order to suppress a temperature change of the photoacoustic optical crystal which affects the output intensity of the emitted laser light. Such)
It has been realistically considered that the temperature of the photoacoustic optical crystal is controlled by heat conduction from a heat sink by using the method, and the feedback control is performed to stabilize the temperature.

【0019】しかしながら、上記した従来の方法におい
ては、以下に示す(1)〜(3)などの問題点があっ
た。
However, the above-mentioned conventional method has the following problems (1) to (3).

【0020】(1)光音響光学結晶たる無機・有機結晶
は熱伝導率が悪く、外部からの温度調整では均一な熱分
布を得ることが困難であるという問題点があった。
(1) Inorganic / organic crystals, which are photoacoustic optical crystals, have poor thermal conductivity, and it is difficult to obtain a uniform heat distribution by external temperature control.

【0021】(2)熱交換の速度が遅く、光音響光学結
晶の波長変化周波数(kHzオーダーである。)に対応
して高速で温度制御することが困難であるという問題点
があった。
(2) There is a problem in that the speed of heat exchange is low, and it is difficult to control the temperature at a high speed corresponding to the wavelength change frequency (on the order of kHz) of the photoacoustic optical crystal.

【0022】(3)フィードバック方式による制御で
は、温度計やヒーターの熱容量によって、温度制御のタ
イミングが遅れてしまい、RF周波数の変化に追随でき
ないという問題点があった。
(3) In the control by the feedback system, there is a problem that the timing of the temperature control is delayed due to the heat capacity of the thermometer and the heater, and it is impossible to follow the change of the RF frequency.

【0023】[0023]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来の技術
の有する上記したような種々の問題点に鑑みてなされた
ものであり、その目的とするところは、従来の技術にお
ける(1)〜(3)における問題点をそれぞれ解決しな
がら、光音響光学素子へ入力される音響波の入力強度の
変化による光音響光学素子の温度変化を確実に防止し
て、出射レーザー光が光音響光学素子の温度変化による
影響を受けないようにしたレーザー発振制御方法および
その装置を提供しようとするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned various problems of the prior art, and has as its object the following (1) to (4). While solving the problems in (3), the temperature of the photoacoustic optical element due to the change in the input intensity of the acoustic wave input to the photoacoustic optical element is reliably prevented, and the emitted laser light is emitted from the photoacoustic optical element. It is an object of the present invention to provide a laser oscillation control method and an apparatus therefor which are not affected by a change in temperature.

【0024】[0024]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、光音響光学素子へ入力される音響波の入
力強度の変化による光音響光学素子の温度変化を確実に
防止するために、出射レーザー光の発振周波数である第
1の周波数の第1の音響波とともに、レーザー媒質の発
振可能範囲外の周波数である第2の周波数の第2の音響
波を光音響光学素子へ入力し、この第2の音響波の入力
強度によって第1の周波数による発振波長を制御・掃引
するための第1の音響波の入力強度の変化を相殺するこ
とにより、光音響光学素子の温度の変動を防ぐようにし
たものである。これは、能動的な温度管理であり、フィ
ードバック方式による制御とは全く異なるものである。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention provides a method for reliably preventing a temperature change of a photoacoustic optical element due to a change in input intensity of an acoustic wave input to the photoacoustic optical element. In addition, a second acoustic wave of a second frequency, which is a frequency outside the oscillatable range of the laser medium, is input to the photoacoustic optical element together with a first acoustic wave of the first frequency, which is the oscillation frequency of the emitted laser light. Then, the change in the input intensity of the first acoustic wave for controlling and sweeping the oscillation wavelength at the first frequency is offset by the input intensity of the second acoustic wave, whereby the temperature of the photoacoustic optical element is changed. This is to prevent. This is an active temperature control, which is completely different from control by a feedback method.

【0025】即ち、本発明のうち請求項1に記載の発明
は、レーザー共振器内に第1の音響波を入力された複屈
折性の光音響光学素子を配置し、所定範囲の波長域にお
いてレーザー発振可能な波長可変レーザーを上記光音響
光学素子に入射し、上記第1の音響波の周波数に応じて
波長制御する波長選択方法において、上記光音響光学素
子に対して上記第1の音響波とともに第2の音響波を入
力し、上記第1の音響波の周波数はレーザー発振可能な
周波数とし、上記第2の音響波の周波数はレーザー発振
不能な周波数とし、上記第1の音響波の入力強度値は上
記第1の音響波の周波数によりレーザー発振可能な入力
強度値とし、上記第2の音響波の入力強度値は所定値か
ら上記第1の音響波の入力強度値を減算した値とするよ
うにしたものである。
That is, according to the first aspect of the present invention, a birefringent photoacoustic optical element to which a first acoustic wave is input is arranged in a laser resonator, and a birefringent photoacoustic element is provided within a predetermined wavelength range. In a wavelength selection method of irradiating a wavelength-tunable laser capable of laser oscillation into the photoacoustic optical element and controlling the wavelength according to the frequency of the first acoustic wave, the first acoustic wave is transmitted to the photoacoustic optical element. And the second acoustic wave is input, the frequency of the first acoustic wave is a frequency at which laser oscillation is possible, the frequency of the second acoustic wave is a frequency at which laser oscillation is not possible, and the input of the first acoustic wave is The intensity value is an input intensity value that allows laser oscillation by the frequency of the first acoustic wave, and the input intensity value of the second acoustic wave is a value obtained by subtracting the input intensity value of the first acoustic wave from a predetermined value. Is something that I tried to do .

【0026】従って、本発明のうち請求項1に記載の発
明によれば、光音響光学素子には、第1の音響波と第2
の音響波との入力よって常に所定値の入力強度の音響波
が入力されていることになるので、たとえ第1の音響波
の入力強度が変化しても、実質的に光音響光学素子の内
部においては音響波の入力強度に変化が生じないことに
なる。このため、第1の音響波の入力強度の変化による
光音響光学素子の温度変化が防止され、出射レーザー光
が光音響光学素子の温度変化による影響を受ける恐れを
排除することができる。
Therefore, according to the first aspect of the present invention, the photoacoustic optical element includes the first acoustic wave and the second acoustic wave.
Therefore, even if the input intensity of the first acoustic wave changes, the inside of the photoacoustic optical element is substantially changed even if the input intensity of the first acoustic wave changes. In, no change occurs in the input intensity of the acoustic wave. Therefore, a change in the temperature of the photoacoustic optical element due to a change in the input intensity of the first acoustic wave is prevented, and the possibility that the emitted laser light is affected by the change in the temperature of the photoacoustic optical element can be eliminated.

【0027】ここで、上記第1の音響波の入力強度値
は、本発明のうち請求項2に記載の発明のように、上記
第1の音響波の周波数に応じて所望の状態でレーザー発
振可能なように可変されるものとしてもよい。
Here, the input intensity value of the first acoustic wave is set to a desired value in accordance with the frequency of the first acoustic wave, as in the second aspect of the present invention. It may be variable as possible.

【0028】また、上記第1の音響波の入力強度値は、
本発明のうち請求項3に記載の発明のように、レーザー
発振のために最適な値とすることができる。
The input intensity value of the first acoustic wave is
According to the third aspect of the present invention, an optimal value for laser oscillation can be obtained.

【0029】また、上記所定値は、本発明のうち請求項
4に記載の発明のように、上記第1の音響波の周波数に
応じて可変されるものとしてもよい。
Further, the predetermined value may be changed according to the frequency of the first acoustic wave, as in the invention according to a fourth aspect of the present invention.

【0030】即ち、光音響光学素子の音響波の吸収率と
熱への変換効率が、音響波の周波数により異なる可能性
がある。例えば、音響波の合計入力強度の最大値が1W
で、80MHzでの熱変換効率が130MHzでの熱変
換効率の半分であったとする。ここで、第1の音響波の
周波数を80MHzまたは130MHzとした場合にお
いて、第1の音響波の入力強度値をいずれの場合にも
0.5Wで制御する場合をそれぞれ検討すると、第1の
音響波の周波数が80MHzの時に与える第2の音響波
の入力強度値は0.5Wで、第1の音響波の周波数が1
30MHzのときの第2の音響波の入力強度値たる0.
25Wの2倍の強度が必要となる。
That is, there is a possibility that the absorptivity of the acoustic wave of the photoacoustic optical element and the efficiency of conversion into heat differ depending on the frequency of the acoustic wave. For example, the maximum value of the total input intensity of the acoustic wave is 1 W
It is assumed that the heat conversion efficiency at 80 MHz is half of the heat conversion efficiency at 130 MHz. Here, when the frequency of the first acoustic wave is set to 80 MHz or 130 MHz, and the input intensity value of the first acoustic wave is controlled at 0.5 W in each case, the first acoustic wave is considered. The input intensity value of the second acoustic wave given when the frequency of the wave is 80 MHz is 0.5 W, and the frequency of the first acoustic wave is 1
At 30 MHz, the input intensity value of the second acoustic wave, 0.
Twice the strength of 25W is required.

【0031】音響波の周波数ωにおける熱変換効率をe
(ω)、第1の音響波の周波数と入力強度とをそれぞれω
1、I1とし、第2の音響波の周波数と入力強度とをそれ
ぞれω2、I2とし、発生する熱量をhとすると、 h=e(ω1)×I1+e(ω2)×I2 において、発生する熱量hが一定となるようにI1とI2
との関係を保ちながらレーザーの制御を行うことが望ま
しい。
The heat conversion efficiency at the frequency ω of the acoustic wave is e
(ω), the frequency of the first acoustic wave and the input intensity are respectively ω
1, I1, the frequency and input intensity of the second acoustic wave are ω2 and I2, respectively, and the amount of heat generated is h, and the amount of heat h generated at h = e (ω1) × I1 + e (ω2) × I2 So that I1 and I2
It is desirable to control the laser while maintaining the relationship.

【0032】ただし、任意のω1とω2とに対して、常に
e(ω1)とe(ω2)とが近似的に等しい場合には、「I1
+I2」を一定に保つことによって、レーザーの制御を
行うことができる。
However, if e (ω1) and e (ω2) are always approximately equal to arbitrary ω1 and ω2, “I1
By keeping "+ I2" constant, laser control can be performed.

【0033】また、光音響光学素子の熱変換効率の周波
数依存性は、素子の大きさなどによっても変わるため、
第1の音響波の入力強度値と第2の音響波の入力強度値
との合計入力強度値は、第1の音響波の周波数に対し
て、任意の値で設定できることが好ましいものである。
Further, the frequency dependence of the heat conversion efficiency of the photoacoustic optical element varies depending on the size of the element, and so on.
It is preferable that the total input intensity value of the input intensity value of the first acoustic wave and the input intensity value of the second acoustic wave can be set to any value with respect to the frequency of the first acoustic wave.

【0034】また、上記第2の音響波の周波数は、本発
明のうち請求項5に記載の発明のように、レーザー発振
不能な周波数帯域内において上記第1の音響波の周波数
に応じて可変されるものとしてもよい。
Further, the frequency of the second acoustic wave is variable according to the frequency of the first acoustic wave within a frequency band where laser oscillation is not possible, as in the invention according to a fifth aspect of the present invention. It may be done.

【0035】即ち、仮に第1の音響波の周波数と第2の
音響波の周波数とが非常に近いものであるならば、音響
波同士の相互作用によってうねりが生じることになる。
そして、こうしたうねりが生じた場合には、レーザーの
発振強度に悪影響を及ぼすことになる。
That is, if the frequency of the first acoustic wave and the frequency of the second acoustic wave are very close to each other, swelling will occur due to the interaction between the acoustic waves.
When such undulation occurs, the laser oscillation intensity is adversely affected.

【0036】また、第1の音響波の周波数と第2の音響
波の周波数とが離れている場合でも、うねりが生じる場
合がある。例えば、周波数が80MHzと121MHz
とである場合には、80MHzの第2倍音である240
MHzと121MHzの第1倍音である242MHzと
の間で相互作用が起きる場合が考えられる。
Also, even when the frequency of the first acoustic wave is far from the frequency of the second acoustic wave, swelling may occur. For example, if the frequencies are 80 MHz and 121 MHz
And the second harmonic of 80 MHz, 240
It is conceivable that an interaction may occur between MHz and 242 MHz, which is the first harmonic of 121 MHz.

【0037】このため、第2の音響波の周波数を、第1
の音響波の周波数に対してうねりが生じない値に保つよ
うにすると、レーザー発振強度に悪影響が出ないように
することができる。
For this reason, the frequency of the second acoustic wave is changed to the first
By maintaining the acoustic wave frequency at a value that does not cause undulation, the laser oscillation intensity can be prevented from being adversely affected.

【0038】従って、第2の音響波の周波数は、レーザ
ー発振不能な周波数帯域内において第1の音響波の周波
数に依存して変化させることが好ましいものである。
Therefore, it is preferable that the frequency of the second acoustic wave is changed depending on the frequency of the first acoustic wave within a frequency band where laser oscillation is not possible.

【0039】また、本発明のうち請求項6に記載の発明
は、対向する所定の反射率を有するミラーにより構成さ
れるレーザー共振器と、上記レーザー共振器内に配設さ
れた所定範囲の波長域においてレーザー発振可能な波長
可変レーザー媒質と、上記レーザー共振器内に配設さ
れ、上記波長可変レーザー媒質からの出射光が入射され
る複屈折性の光音響光学素子と、第1の音響波を生成し
て上記光音響光学素子へ入力する第1の音響波入力手段
と、第2の音響波を生成して上記光音響光学素子へ入力
する第2の音響波入力手段と、上記第1の音響波入力手
段および上記第2の音響波入力手段を制御して、上記第
1の音響波入力手段にレーザー発振可能な周波数ならび
に入力強度値を備えた第1の音響波を生成させ、上記第
2の音響波入力手段にレーザー発振不能な周波数ならび
に所定値から上記第1の音響波の入力強度値を減算した
入力強度値を備えた第2の音響波を生成する制御手段と
を有するようにしたものである。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a laser resonator comprising mirrors having a predetermined reflectance facing each other, and a wavelength within a predetermined range provided in the laser resonator. A wavelength tunable laser medium capable of oscillating laser light in a wavelength range, a birefringent photoacoustic optical element disposed in the laser resonator and receiving light emitted from the wavelength tunable laser medium, and a first acoustic wave. First acoustic wave input means for generating a second acoustic wave and inputting the first acoustic wave to the photoacoustic optical element; second acoustic wave input means for generating a second acoustic wave and inputting the second acoustic wave to the photoacoustic optical element; Controlling the acoustic wave input means and the second acoustic wave input means to generate a first acoustic wave having a laser oscillating frequency and an input intensity value in the first acoustic wave input means, Second acoustic wave input means It is obtained as a control means for generating a second acoustic wave having an input intensity value obtained by subtracting the first input intensity value of the acoustic wave from the laser oscillating non frequency and a predetermined value.

【0040】従って、本発明のうち請求項6に記載の発
明によれば、制御手段によって第1の音響波入力手段お
よび第2の音響波入力手段が制御されて、光音響光学素
子には、第1の音響波と第2の音響波との入力よって常
に所定値の入力強度の音響波が入力されていることにな
るので、たとえ第1の音響波の入力強度が変化しても、
実質的に光音響光学素子の内部においては音響波の入力
強度に変化が生じないことになる。このため、第1の音
響波の入力強度の変化による光音響光学素子の温度変化
が防止され、出射レーザー光が光音響光学素子の温度変
化による影響を受ける恐れを排除することができる。
Therefore, according to the sixth aspect of the present invention, the first acoustic wave input means and the second acoustic wave input means are controlled by the control means, and the photoacoustic optical element includes: Since the acoustic wave having the input intensity of the predetermined value is always input by the input of the first acoustic wave and the second acoustic wave, even if the input intensity of the first acoustic wave changes,
Substantially, no change occurs in the input intensity of the acoustic wave inside the photoacoustic optical element. Therefore, a change in the temperature of the photoacoustic optical element due to a change in the input intensity of the first acoustic wave is prevented, and the possibility that the emitted laser light is affected by the change in the temperature of the photoacoustic optical element can be eliminated.

【0041】ここで、上記制御手段は、請求項7に記載
の発明のように、上記第1の音響波の入力強度値を、上
記第1の音響波の周波数に応じて所望の状態でレーザー
発振可能なように可変するものとすることができる。
Here, the control means sets the input intensity value of the first acoustic wave in a desired state according to the frequency of the first acoustic wave. It can be changed so that it can oscillate.

【0042】また、上記制御手段は、請求項8に記載の
発明のように、上記第1の音響波の入力強度値を、レー
ザー発振のために最適な値とすることができる。
Further, the control means can set the input intensity value of the first acoustic wave to an optimum value for laser oscillation, as in the invention of claim 8.

【0043】また、上記制御手段は、請求項9に記載の
発明のように、上記第1の音響波の周波数に応じて、上
記所定値を可変するものとすることができる。
[0043] The control means may vary the predetermined value according to the frequency of the first acoustic wave.

【0044】即ち、光音響光学素子の音響波の吸収率と
熱への変換効率が、音響波の周波数により異なる可能性
がある。例えば、音響波の合計入力強度の最大値が1W
で、80MHzでの熱変換効率が130MHzでの熱変
換効率の半分であったとする。ここで、第1の音響波の
周波数を80MHzまたは130MHzとした場合にお
いて、第1の音響波の入力強度値をいずれの場合にも
0.5Wで制御する場合をそれぞれ検討すると、第1の
音響波の周波数が80MHzの時に与える第2の音響波
の入力強度値は0.5Wで、第1の音響波の周波数が1
30MHzのときの第2の音響波の入力強度値たる0.
25Wの2倍の強度が必要となる。
That is, there is a possibility that the absorptance of the acoustic wave of the photoacoustic optical element and the conversion efficiency into heat may differ depending on the frequency of the acoustic wave. For example, the maximum value of the total input intensity of the acoustic wave is 1 W
It is assumed that the heat conversion efficiency at 80 MHz is half of the heat conversion efficiency at 130 MHz. Here, when the frequency of the first acoustic wave is set to 80 MHz or 130 MHz, and the input intensity value of the first acoustic wave is controlled at 0.5 W in each case, the first acoustic wave is considered. The input intensity value of the second acoustic wave given when the frequency of the wave is 80 MHz is 0.5 W, and the frequency of the first acoustic wave is 1
At 30 MHz, the input intensity value of the second acoustic wave, 0.
Twice the strength of 25W is required.

【0045】音響波の周波数ωにおける熱変換効率をe
(ω)、第1の音響波の周波数と入力強度とをそれぞれω
1、I1とし、第2の音響波の周波数と入力強度とをそれ
ぞれω2、I2とし、発生する熱量をhとすると、 h=e(ω1)×I1+e(ω2)×I2 において、発生する熱量hが一定となるようにI1とI2
との関係を保ちながらレーザーの制御を行うことが望ま
しい。
The heat conversion efficiency at the frequency ω of the acoustic wave is e
(ω), the frequency of the first acoustic wave and the input intensity are respectively ω
1, I1, the frequency and input intensity of the second acoustic wave are ω2 and I2, respectively, and the amount of heat generated is h, and the amount of heat h generated at h = e (ω1) × I1 + e (ω2) × I2 So that I1 and I2
It is desirable to control the laser while maintaining the relationship.

【0046】ただし、任意のω1とω2とに対して、常に
e(ω1)とe(ω2)とが近似的に等しい場合には、「I1
+I2」を一定に保つことによって、レーザーの制御を
行うことができる。
However, if e (ω1) and e (ω2) are always approximately equal to arbitrary ω1 and ω2, “I1
By keeping "+ I2" constant, laser control can be performed.

【0047】また、光音響光学素子の熱変換効率の周波
数依存性は、素子の大きさなどによっても変わるため、
第1の音響波の入力強度値と第2の音響波の入力強度値
との合計入力強度値は、第1の音響波の周波数に対し
て、任意の値で設定できることが好ましいものである。
Further, the frequency dependence of the heat conversion efficiency of the photoacoustic optical element changes depending on the size of the element, and so on.
It is preferable that the total input intensity value of the input intensity value of the first acoustic wave and the input intensity value of the second acoustic wave can be set to any value with respect to the frequency of the first acoustic wave.

【0048】また、上記制御手段は、請求項10に記載
の発明のように、上記第2の音響波の周波数を、レーザ
ー発振不能な周波数帯域内において上記第1の音響波の
周波数に応じて可変するものとすることができる。
Further, the control means sets the frequency of the second acoustic wave in accordance with the frequency of the first acoustic wave within a frequency band in which laser oscillation is not possible, as in the tenth aspect of the present invention. It can be variable.

【0049】即ち、仮に第1の音響波の周波数と第2の
音響波の周波数とが非常に近いものであるならば、音響
波同士の相互作用によってうねりが生じることになる。
そして、こうしたうねりが生じた場合には、レーザーの
発振強度に悪影響を及ぼすことになる。
That is, if the frequency of the first acoustic wave and the frequency of the second acoustic wave are very close to each other, undulation will occur due to the interaction between the acoustic waves.
When such undulation occurs, the laser oscillation intensity is adversely affected.

【0050】また、第1の音響波の周波数と第2の音響
波の周波数とが離れている場合でも、うねりが生じる場
合がある。例えば、周波数が80MHzと121MHz
とである場合には、80MHzの第2倍音である240
MHzと121MHzの第1倍音である242MHzと
の間で相互作用が起きる場合が考えられる。
Also, even when the frequency of the first acoustic wave and the frequency of the second acoustic wave are far apart, swelling may occur. For example, if the frequencies are 80 MHz and 121 MHz
And the second harmonic of 80 MHz, 240
It is conceivable that an interaction may occur between MHz and 242 MHz, which is the first harmonic of 121 MHz.

【0051】このため、第2の音響波の周波数を、第1
の音響波の周波数に対してうねりが生じない値に保つよ
うにすると、レーザー発振強度に悪影響が出ないように
することができる。
For this reason, the frequency of the second acoustic wave is
By maintaining the acoustic wave frequency at a value that does not cause undulation, the laser oscillation intensity can be prevented from being adversely affected.

【0052】従って、制御手段は、第2の音響波の周波
数を、レーザー発振不能な周波数帯域内において第1の
音響波の周波数に依存して変化させることができること
が好ましいものである。
Therefore, it is preferable that the control means can change the frequency of the second acoustic wave depending on the frequency of the first acoustic wave within a frequency band where laser oscillation is not possible.

【0053】[0053]

【発明の実施の形態】以下、添付の図面に基づいて、本
発明によるレーザー発振制御方法およびその装置の実施
の形態の一例を詳細に説明するものとする。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of a laser oscillation control method and apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

【0054】図3は、本発明によるレーザー発振制御装
置の実施の形態の一例を示す概略構成説明図であり、図
1に示した従来のレーザー発振制御装置の構成と同一ま
たは相当する構成に関しては、理解を容易にするため
に、同一の符号を付して示すものとする。
FIG. 3 is a schematic structural explanatory view showing an example of an embodiment of a laser oscillation control device according to the present invention. Regarding the same or equivalent configuration as that of the conventional laser oscillation control device shown in FIG. In order to facilitate understanding, the same reference numerals are used.

【0055】このレーザー発振制御装置においては、従
来のレーザー発振制御装置と同様に、所定の透過性を有
する出射ミラー112と全反射ミラー110とよりレー
ザー共振器が構成されている。
In this laser oscillation control device, as in the case of the conventional laser oscillation control device, a laser resonator is constituted by an emission mirror 112 having a predetermined transmittance and a total reflection mirror 110.

【0056】そして、レーザー共振器内には、波長可変
レーザーのレーザー媒質としてのTi:Al2O3レーザ
ー結晶14と、波長選択用の光音響光学素子としての光
音響光学結晶100と、回折光補正用プリズム28と
が、出射側ミラー112から全反射ミラー110側へ向
けて順次配設されている。
In the laser resonator, a Ti: Al2O3 laser crystal 14 as a laser medium of a wavelength tunable laser, a photoacoustic optical crystal 100 as a photoacoustic optical element for selecting a wavelength, and a diffraction light correcting prism 28 are sequentially arranged from the emission side mirror 112 to the total reflection mirror 110 side.

【0057】光音響光学結晶100には、音響波入力手
段として、Ti:Al2O3レーザー結晶14がレーザー
発振可能な波長に対応する第1RF周波数(例えば、8
0MHz〜130MHzである。)を発生可能な第1R
F電源10と、Ti:Al2O3レーザー結晶14がレー
ザー発振不能な波長に対応する第2RF周波数(例え
ば、60MHzである。)を発生可能な第2RF電源1
2と、これら第1RF電源10ならびに第2RF電源1
2により駆動される圧電素子22が添着されている。
In the photoacoustic optical crystal 100, as an acoustic wave input means, a first RF frequency (for example, 8) corresponding to a wavelength at which the Ti: Al2O3 laser crystal 14 can perform laser oscillation.
0 MHz to 130 MHz. ) That can generate
An F power source 10 and a second RF power source 1 capable of generating a second RF frequency (for example, 60 MHz) corresponding to a wavelength at which the Ti: Al2O3 laser crystal 14 cannot perform laser oscillation.
2, the first RF power source 10 and the second RF power source 1
2 is attached.

【0058】従って、第1RF電源10から入力された
第1RF周波数により圧電素子22を駆動させて、圧電
素子22に歪みを生じさせると、この圧電素子22の歪
みに基づいて、当該歪みに応じた周波数の音響波(第1
音響波)が光音響光学結晶100に入力されることにな
る。
Therefore, when the piezoelectric element 22 is driven by the first RF frequency input from the first RF power source 10 to cause the piezoelectric element 22 to be distorted, the piezoelectric element 22 is distorted based on the distortion. Acoustic wave of frequency (first
Acoustic wave) is input to the photoacoustic optical crystal 100.

【0059】また、回折光補正用プリズム28は、光音
響光学結晶100から出射された回折光106を、波長
に関わらず常に一定の方向に出射するように構成されて
おり、全反射ミラー110は、回折光補正用プリズム2
8から出射された光を反射するように構成されている。
The diffracted light correcting prism 28 is configured to always emit the diffracted light 106 emitted from the photoacoustic optical crystal 100 in a fixed direction regardless of the wavelength. , Diffraction light correction prism 2
It is configured to reflect the light emitted from 8.

【0060】そして、第1RF電源10ならびに第2R
F電源12には、第1RF電源10ならびに第2RF電
源12を制御するRF電源制御装置13が接続されてい
る。
Then, the first RF power source 10 and the second R
The F power supply 12 is connected to an RF power supply control device 13 that controls the first RF power supply 10 and the second RF power supply 12.

【0061】このRF電源制御装置13は、例えば、マ
イクロ・コンピューターにより動作の制御がなされるも
のである。このRF電源制御装置13の制御に基づい
て、第1RF電源10から圧電素子22に入力される第
1RF周波数ならびに第1RF入力強度が制御されると
ともに、第2RF電源12から圧電素子22に入力され
る第2RF周波数ならびに第2RF入力強度が制御され
るものである。
The operation of the RF power supply controller 13 is controlled by, for example, a microcomputer. Based on the control of the RF power supply control device 13, the first RF frequency and the first RF input strength input from the first RF power supply 10 to the piezoelectric element 22 are controlled, and the first RF frequency and the first RF input intensity are input from the second RF power supply 12 to the piezoelectric element 22. The second RF frequency and the second RF input strength are controlled.

【0062】ここで、第1RF電源10から圧電素子2
2に入力される第1RF周波数ならびに第1RF入力強
度と、第2RF電源12から圧電素子22に入力される
第2RF周波数ならびに第2RF入力強度とは、以下に
示すようにして設定されるものである。
Here, the first RF power source 10 supplies the piezoelectric element 2
The first RF frequency and the first RF input intensity input to the second 2 and the second RF frequency and the second RF input intensity input to the piezoelectric element 22 from the second RF power supply 12 are set as described below. .

【0063】即ち、Ti:Al2O3レーザー結晶14に
おいて第1RF周波数に対応する光をレーザー発振させ
て出射レーザー光として取り出すものであるので、上記
したように、第1RF周波数は出射レーザー光の周波数
に対応するTi:Al2O3レーザー結晶14においてレ
ーザー発振可能な周波数(例えば、80MHz〜130
MHz)とし、第2RF周波数はTi:Al2O3レーザ
ー結晶14においてレーザー発振不能な周波数(例え
ば、60MHzである。)とする。ここで、第2RF周
波数は、一定値であってもよいし、適宜に可変するよう
にしてもよい。
That is, since the light corresponding to the first RF frequency is oscillated by the laser in the Ti: Al 2 O 3 laser crystal 14 and extracted as the output laser light, the first RF frequency corresponds to the frequency of the output laser light as described above. The frequency at which laser oscillation is possible in the Ti: Al2O3 laser crystal 14 (for example, 80 MHz to 130 MHz).
MHz), and the second RF frequency is a frequency at which laser oscillation is impossible in the Ti: Al2O3 laser crystal 14 (for example, 60 MHz). Here, the second RF frequency may be a constant value or may be appropriately changed.

【0064】そして、第1RF入力強度は、第1RF周
波数のレーザー発振に最も適した強度に設定することが
好ましいが、第2RF入力強度は第1RF入力強度との
合計値(合計入力強度)が常に一定になるように制御さ
れるものである。
The first RF input intensity is preferably set to an intensity most suitable for laser oscillation at the first RF frequency, but the second RF input intensity is always the sum of the first RF input intensity (total input intensity). It is controlled to be constant.

【0065】即ち、第1RF入力強度と第2RF入力強
度との加算値は、常に予め設定された合計入力強度(例
えば、2Wである。)となるように制御されるものであ
る。なお、この合計入力強度の値は、ユーザーが適宜に
任意の値に設定することができる。
That is, the sum of the first RF input intensity and the second RF input intensity is controlled so as to always become a preset total input intensity (for example, 2 W). It should be noted that the value of the total input strength can be appropriately set by the user to an arbitrary value.

【0066】以下、第1RF周波数、第2RF周波数、
第1RF入力強度ならびに第2RF入力強度をまとめる
と、次のようになる。
Hereinafter, the first RF frequency, the second RF frequency,
The first RF input intensity and the second RF input intensity are summarized as follows.

【0067】(1)第1RF周波数・・・所望のレーザ
ー発振周波数(例えば、80MHz〜130MHzであ
る。) (2)第2RF周波数・・・レーザー発振不能な周波数
(例えば、60MHzである。) (3)第1RF入力強度・・・第1RF周波数のレーザ
ー発振のための最適値(例えば、0〜2Wである。) (4)第RF2入力強度・・・合計入力強度から第1R
F入力強度を減算した減算値(0W〜2Wである。) なお、第1RF周波数により光音響光学結晶100に入
力される音響波の周波数(第1の音響波の周波数)が与
えられ、第2RF周波数により光音響光学結晶100に
入力される音響波の周波数(第2の音響波の周波数)が
与えられ、第1RF入力強度により光音響光学結晶10
0に入力される音響波の入力強度(第1の音響波の入力
強度)が与えられ、第2RF入力強度により光音響光学
結晶100に入力される音響波の入力強度(第2の音響
波の入力強度)が与えられる。
(1) First RF frequency: desired laser oscillation frequency (for example, 80 MHz to 130 MHz) (2) Second RF frequency: frequency at which laser oscillation is not possible (for example, 60 MHz) 3) 1st RF input intensity: optimum value for laser oscillation at the first RF frequency (for example, 0 to 2 W) (4) 2nd RF2 input intensity: 1st R from total input intensity
A subtraction value obtained by subtracting the F input intensity (0 W to 2 W). The frequency of the acoustic wave input to the photoacoustic optical crystal 100 (the frequency of the first acoustic wave) is given by the first RF frequency, and the second RF The frequency of the acoustic wave input to the photoacoustic optical crystal 100 (the frequency of the second acoustic wave) is given by the frequency, and the photoacoustic optical crystal 10 is given by the first RF input intensity.
The input intensity of the acoustic wave (the input intensity of the first acoustic wave) input to 0 is given, and the input intensity of the acoustic wave (the input intensity of the second acoustic wave) input to the photoacoustic optical crystal 100 is given by the second RF input intensity. Input strength).

【0068】以上の構成において、励起レーザー24と
してNd:YAGレーザーの第二高調波を用いてTi:
Al2O3レーザー結晶14を励起する。また、出射側ミ
ラー112から出射させたい出射レーザー光の波長に応
じて、RF電源制御手段14によって第1RF電源10
にから入力される第1RF周波数を制御し、圧電素子2
2を駆動する。
In the above configuration, the second harmonic of an Nd: YAG laser is used as the excitation laser 24 and Ti:
The Al2O3 laser crystal 14 is excited. Further, the first RF power source 10 is controlled by the RF power source control unit 14 in accordance with the wavelength of the emitted laser light to be emitted from the emission side mirror 112.
Controls the first RF frequency input from the
2 is driven.

【0069】上記のようにすると、光音響光学結晶10
0に入射されたTi:Al2O3レーザー結晶14から出
射された広範囲の波長帯域の出射光のなかで、第1RF
電源10により入力される第1RF周波数に応じた波長
の出射光に関しては、所定の方向に回折されて回折光1
06として光音響光学素子100から出射されることに
なる。
As described above, the photoacoustic optical crystal 10
In the light emitted from the Ti: Al2O3 laser crystal 14 and incident in a wide wavelength band, the first RF
The outgoing light of a wavelength corresponding to the first RF frequency input by the power supply 10 is diffracted in a predetermined direction and
It is emitted from the photoacoustic optical element 100 as 06.

【0070】さらに、光音響光学結晶100から所定の
方向に回折されて出射された回折光106は、回折光補
正用プリズム28に入射され、一定の方向に出射され
る。そして、回折光補正用プリズム28から出射された
光は、全反射ミラー110によって反射され、レーザー
共振器内を往復することになる。
Further, the diffracted light 106 diffracted and emitted from the photoacoustic optical crystal 100 in a predetermined direction enters the diffracted light correcting prism 28 and is emitted in a certain direction. The light emitted from the diffraction light correcting prism 28 is reflected by the total reflection mirror 110 and reciprocates in the laser resonator.

【0071】従って、第1RF電源10により入力され
る第1RF周波数に応じた波長の光のみが増幅されてレ
ーザー発振を生ぜしめ、レーザー共振器から当該波長の
出射レーザー光のみを出射させることができる。
Accordingly, only the light of the wavelength corresponding to the first RF frequency inputted by the first RF power supply 10 is amplified to cause laser oscillation, and only the emitted laser light of the wavelength can be emitted from the laser resonator. .

【0072】ここで、上記したレーザー発振制御装置に
おいては、第1RF電源10により第1RF周波数を入
力するとともに、第2RF電源12によって第2RF周
波数を入力している。即ち、光音響光学結晶100の波
長選択に用いる第1RF周波数の第1RF入力強度の変
動を打ち消すように、補償用RF入力として第2RF周
波数を第2RF入力強度で入力し、第1RF入力強度と
第2RF入力強度との合計値を常に一定に保つことで、
光音響光学結晶100の熱的変動押さえるようになされ
ている。
Here, in the laser oscillation control device described above, the first RF power is input by the first RF power supply 10 and the second RF frequency is input by the second RF power supply 12. That is, the second RF frequency is input as the compensation RF input at the second RF input intensity so as to cancel the fluctuation of the first RF input intensity of the first RF frequency used for the wavelength selection of the photoacoustic optical crystal 100, and the first RF input intensity and the second RF input intensity are changed. By always keeping the total value with 2RF input strength constant,
The thermal fluctuation of the photoacoustic optical crystal 100 is suppressed.

【0073】即ち、このレーザー発振制御装置において
は、光音響光学結晶100の超音波吸収による発生熱を
波長掃引時にも一定とするために、超音波吸収による発
熱を利用して常に光音響光学結晶100を外気と熱平衡
状態におくようにしているものである。
That is, in this laser oscillation control device, in order to keep the heat generated by the ultrasonic absorption of the photoacoustic optical crystal 100 constant even during wavelength sweeping, the photoacoustic optical crystal always uses the heat generated by the ultrasonic absorption. 100 is in thermal equilibrium with the outside air.

【0074】つまり、第1RF入力強度を「I1」と
し、第2RF入力強度を「I2」とし、合計入力強度を
「Itotal」とすると、RF電源制御手段14によりレ
ーザー発振していないときも(I1=0)、常に光音響
光学結晶100が熱平衡状態にあるように、「I2=It
otal」となるようにRF電源制御手段14により第2R
F電源12を制御する。そして、RF電源制御手段14
によりレーザー発振しているときも(I1≠0)、常に
光音響光学結晶100が熱平衡状態にあるように、「I
1+I2=Itotal」となるようにRF電源制御手段14
により第1RF電源10および第2RF電源12を制御
するものである。
That is, assuming that the first RF input intensity is “I 1”, the second RF input intensity is “I 2”, and the total input intensity is “I total”, even if the laser is not oscillated by the RF power source control means 14, (I 1 = 0) so that the photoacoustic optical crystal 100 is always in a thermal equilibrium state.
otal ”by the RF power controller 14
The F power supply 12 is controlled. Then, the RF power control means 14
Even when the laser oscillation occurs (I1 ≠ 0), “I” is set so that the photoacoustic optical crystal 100 is always in thermal equilibrium.
1 + I2 = Itotal "
Controls the first RF power supply 10 and the second RF power supply 12.

【0075】なお、上記は基本原理であるが、「I2=
Itotal−I1」が必ずしも最適とは限らないため、「I
2」と「Itotal−I1」とが略等しい値となるような範
囲で適宜調整することが好ましい。
Although the above is the basic principle, "I2 =
Since “Itotal−I1” is not always optimal,
It is preferable to appropriately adjust the value so that “2” and “Itotal−I1” are substantially equal.

【0076】このようにして、光音響光学結晶100に
入力される音響波強度が常に一定となるようにし、光音
響光学結晶100の熱平衡状態を実現する。
In this way, the intensity of the acoustic wave input to the photoacoustic optical crystal 100 is always kept constant, and a thermal equilibrium state of the photoacoustic optical crystal 100 is realized.

【0077】なお、光音響光学結晶100の音響波の吸
収率と熱への変換効率が、音響波の周波数により異なる
可能性がある。例えば、音響波の合計入力強度の最大値
が1Wで、80MHzでの熱変換効率が130MHzで
の熱変換効率の半分であったとする。ここで、第1RF
周波数を80MHzまたは130MHzとした場合にお
いて、第1RF入力強度をいずれの場合にも0.5Wで
制御する場合をそれぞれ検討すると、第1RF周波数が
80MHzの時に与える第2RF入力強度は0.5W
で、第1RF周波数が130MHzのときの第2RF入
力強度たる0.25Wの2倍の強度が必要となる。
Incidentally, there is a possibility that the absorptance of the acoustic wave of the photoacoustic optical crystal 100 and the conversion efficiency to heat may differ depending on the frequency of the acoustic wave. For example, it is assumed that the maximum value of the total input intensity of the acoustic wave is 1 W, and the heat conversion efficiency at 80 MHz is half of the heat conversion efficiency at 130 MHz. Here, the first RF
When the frequency is set to 80 MHz or 130 MHz, and the first RF input intensity is controlled at 0.5 W in each case, the second RF input intensity given when the first RF frequency is 80 MHz is 0.5 W
Therefore, twice the intensity of 0.25 W which is the second RF input intensity when the first RF frequency is 130 MHz is required.

【0078】音響波の周波数ωにおける熱変換効率をe
(ω)、第1RF周波数と第1RF入力強度とをそれぞれ
ω1、I1とし、第2RF周波数と第2RF入力強度とを
それぞれω2、I2とし、発生する熱量をhとすると、 h=e(ω1)×I1+e(ω2)×I2 において、発生する熱量hが一定となるようにI1とI2
との関係を保ちながらレーザーの制御を行うことが望ま
しい。
The heat conversion efficiency at the frequency ω of the acoustic wave is e
(ω), when the first RF frequency and the first RF input intensity are ω1 and I1, respectively, the second RF frequency and the second RF input intensity are ω2 and I2, respectively, and the generated heat amount is h, h = e (ω1) In the case of × I1 + e (ω2) × I2, I1 and I2 are set so that the generated heat quantity h is constant.
It is desirable to control the laser while maintaining the relationship.

【0079】ただし、任意のω1とω2とに対して、常に
e(ω1)とe(ω2)とが近似的に等しい場合には、「I1
+I2」を一定に保つことによって、レーザーの制御を
行うことができる。
However, if e (ω1) and e (ω2) are always approximately equal for arbitrary ω1 and ω2, “I1
By keeping "+ I2" constant, laser control can be performed.

【0080】また、光音響光学結晶100の熱変換効率
の周波数依存性は、素子の大きさなどによっても変わる
ため、第1RF入力強度と第2RF入力強度との合計入
力強度は、第1RF周波数に対して、任意の値で設定で
きることが好ましいものである。
Since the frequency dependence of the heat conversion efficiency of the photoacoustic optical crystal 100 also changes depending on the size of the element, the total input intensity of the first RF input intensity and the second RF input intensity is equal to the first RF frequency. On the other hand, it is preferable that the value can be set at any value.

【0081】また、仮に第1RF周波数と第2RF周波
数とが非常に近いものであるならば、音響波同士の相互
作用によってうねりが生じることになる。そして、こう
したうねりが生じた場合には、レーザーの発振強度に悪
影響を及ぼすことになる。
If the first RF frequency and the second RF frequency are very close to each other, swelling will occur due to the interaction between acoustic waves. When such undulation occurs, the laser oscillation intensity is adversely affected.

【0082】さらに、第1RF周波数と第2RF周波数
とが離れている場合でも、うねりが生じる場合がある。
例えば、周波数が80MHzと121MHzとである場
合には、80MHzの第2倍音である240MHzと1
21MHzの第1倍音である242MHzとの間で相互
作用が起きる場合が考えられる。
Further, even when the first RF frequency is separated from the second RF frequency, swelling may occur.
For example, when the frequencies are 80 MHz and 121 MHz, 240 MHz and 1
An interaction may occur with 242 MHz, which is the first overtone of 21 MHz.

【0083】このため、第2RF周波数を、第1RF周
波数に対してうねりが生じない値に保つようにすると、
レーザー発振強度に悪影響が出ないようにすることがで
きる。
For this reason, if the second RF frequency is kept at a value that does not cause undulation with respect to the first RF frequency,
The laser oscillation intensity can be prevented from being adversely affected.

【0084】従って、第2RF周波数は、レーザー発振
不能な周波数帯域内において第1RF周波数に依存して
変化させることが好ましいものである。
Therefore, it is preferable that the second RF frequency is changed depending on the first RF frequency within a frequency band where laser oscillation is not possible.

【0085】ここで、図4のグラフに示すように、この
レーザー発振制御装置を用いない場合(実線で示す「温
度制御前」の場合)には、光音響光学結晶へ入力される
音響波の入力強度の変化による光音響光学結晶の温度変
化の影響が表れているが、このレーザー発振制御装置を
用いた場合(破線で示す「温度制御後」の場合)には、
光音響光学結晶へ入力される音響波の入力強度の変化に
よる光音響光学結晶の温度変化の影響が全く表れていな
い。
Here, as shown in the graph of FIG. 4, when this laser oscillation control device is not used (in the case “before temperature control” indicated by a solid line), the acoustic wave input to the photoacoustic optical crystal is The effect of the change in the temperature of the photoacoustic optical crystal due to the change in the input intensity appears. When this laser oscillation control device is used (in the case of “after temperature control” indicated by a broken line),
The effect of the temperature change of the photoacoustic optical crystal due to the change of the input intensity of the acoustic wave input to the photoacoustic optical crystal does not appear at all.

【0086】なお、実際の波長掃引法としては、補償用
の第2RF電源12の入力条件は事前に各波長毎に実験
的に最適化して求めてテーブルを作り、当該テーブルを
参照しながらレーザー発振を最適化して制御すればよ
い。
In the actual wavelength sweeping method, a table is created by optimizing the input conditions of the second RF power supply 12 for each wavelength experimentally in advance for each wavelength, and a table is created. May be optimized and controlled.

【0087】従って、上記した実施の形態によれば、以
下に示す(1)〜(3)の効果が得られるものである。
Therefore, according to the above-described embodiment, the following effects (1) to (3) can be obtained.

【0088】(1)光音響光学結晶自体が発熱するの
で、熱伝導率に関係なく素子中の温度分布を一定にでき
る。
(1) Since the photoacoustic optical crystal itself generates heat, the temperature distribution in the element can be kept constant regardless of the thermal conductivity.

【0089】(2)熱交換の速度に関係なく、与える熱
量を高速に変化させることができる。
(2) The amount of heat to be applied can be changed at a high speed regardless of the speed of heat exchange.

【0090】(3)フィードバックでなく、能動的に温
度管理を行うために、タイミングのずれがなく、RF入
力強度の変動をカバーできる。
(3) Active temperature management is performed instead of feedback, so that there is no timing shift and fluctuations in RF input intensity can be covered.

【0091】なお、上記した実施の形態においては、補
正用プリズムを設けたがこれを設けなくてもよいことは
勿論である。
In the above-described embodiment, the correction prism is provided, but it is needless to say that the correction prism need not be provided.

【0092】[0092]

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、光音響光学素子へ入力される音響波の入力
強度の変化による光音響光学素子の温度変化を確実に防
止することができ、出射レーザー光が光音響光学素子の
温度変化による影響を受けることがなくなるという優れ
た効果を奏する。
Since the present invention is configured as described above, it is possible to reliably prevent the temperature change of the photoacoustic optical element due to the change of the input intensity of the acoustic wave input to the photoacoustic optical element. As a result, there is an excellent effect that the emitted laser light is not affected by the temperature change of the photoacoustic optical element.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】従来のレーザー発振制御装置の概略構成説明図
である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a conventional laser oscillation control device.

【図2】光音響光学結晶に入力される音響波強度の変化
と出射レーザー光の出力強度の変化との関係を示すグラ
フである。
FIG. 2 is a graph showing a relationship between a change in an acoustic wave intensity input to a photoacoustic optical crystal and a change in an output intensity of an output laser beam.

【図3】本発明によるレーザー発振制御装置の実施の形
態の一例を示す概略構成説明図である。
FIG. 3 is a schematic configuration explanatory view showing an example of an embodiment of a laser oscillation control device according to the present invention.

【図4】本発明の効果を示すグラフである。FIG. 4 is a graph showing the effect of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 第1RF電源 12 第2RF電源 13 RF電源制御装置 14 Ti:Al2O3レーザー結晶 22 圧電素子 24 励起レーザー光 28 回折光補正用プリズム 106 回折光 100 光音響光学結晶 110 全反射ミラー 112 出射ミラー DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 1st RF power supply 12 2nd RF power supply 13 RF power supply control device 14 Ti: Al2O3 laser crystal 22 Piezoelectric element 24 Excitation laser light 28 Diffraction light correction prism 106 Diffraction light 100 Photoacoustic optical crystal 110 Total reflection mirror 112 Emission mirror

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田代 英夫 宮城県仙台市青葉区長町字越路19−1399 理化学研究所 フォトダイナミクス研究セ ンター内 Fターム(参考) 5F072 AB20 GG02 HH03 HH05 HH09 JJ05 KK06 KK13 KK18 KK30 MM03 TT12 TT28  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Hideo Tashiro 19-1399, Koshiji, Nagamachi, Aoba-ku, Sendai, Miyagi Prefecture F-term in the Photodynamics Research Center, RIKEN (Reference) 5F072 AB20 GG02 HH03 HH05 HH09 JJ05 KK06 KK13 KK18 KK30 MM03 TT12 TT28

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レーザー共振器内に第1の音響波を入力
された複屈折性の光音響光学素子を配置し、所定範囲の
波長域においてレーザー発振可能な波長可変レーザーを
前記光音響光学素子に入射し、前記第1の音響波の周波
数に応じて波長制御する波長選択方法において、 前記光音響光学素子に対して前記第1の音響波とともに
第2の音響波を入力し、 前記第1の音響波の周波数はレーザー発振可能な周波数
とし、 前記第2の音響波の周波数はレーザー発振不能な周波数
とし、 前記第1の音響波の入力強度値は前記第1の音響波の周
波数によりレーザー発振可能な入力強度値とし、 前記第2の音響波の入力強度値は所定値から前記第1の
音響波の入力強度値を減算した値とするものであるレー
ザー発振制御方法。
1. A birefringent photoacoustic optical element to which a first acoustic wave is input is disposed in a laser resonator, and a wavelength tunable laser capable of oscillating laser in a predetermined wavelength range is provided by the photoacoustic optical element. In the wavelength selection method of controlling the wavelength according to the frequency of the first acoustic wave, a second acoustic wave is input to the photoacoustic optical element together with the first acoustic wave; The frequency of the acoustic wave is a frequency at which laser oscillation is possible, the frequency of the second acoustic wave is a frequency at which laser oscillation is not possible, and the input intensity value of the first acoustic wave is determined by the frequency of the first acoustic wave. A laser oscillation control method, wherein the input intensity value is an oscillating input value, and the input intensity value of the second acoustic wave is a value obtained by subtracting the input intensity value of the first acoustic wave from a predetermined value.
【請求項2】 請求項1に記載のレーザー発振制御方法
において、 前記第1の音響波の入力強度値は、前記第1の音響波の
周波数に応じて所望の状態でレーザー発振可能なように
可変されるものであるレーザー発振制御方法。
2. The laser oscillation control method according to claim 1, wherein the input intensity value of the first acoustic wave is set so that the laser can oscillate in a desired state according to the frequency of the first acoustic wave. A laser oscillation control method that is variable.
【請求項3】 請求項1に記載のレーザー発振制御方法
において、 前記第1の音響波の入力強度値は、レーザー発振のため
に最適な値とされるものであるレーザー発振制御方法。
3. The laser oscillation control method according to claim 1, wherein the input intensity value of the first acoustic wave is an optimal value for laser oscillation.
【請求項4】 請求項1、2または3のいずれか1項に
記載のレーザー発振制御方法において、 前記所定値は、前記第1の音響波の周波数に応じて可変
されるものであるレーザー発振制御方法。
4. The laser oscillation control method according to claim 1, wherein the predetermined value is variable according to a frequency of the first acoustic wave. Control method.
【請求項5】 請求項1、2、3または4のいずれか1
項に記載のレーザー発振制御方法において、 前記第2の音響波の周波数は、レーザー発振不能な周波
数帯域内において前記第1の音響波の周波数に応じて可
変されるものであるレーザー発振制御方法。
5. The method according to claim 1, wherein the first, second, third, or fourth aspect is selected.
3. The laser oscillation control method according to claim 1, wherein the frequency of the second acoustic wave is varied according to the frequency of the first acoustic wave within a frequency band where laser oscillation is not possible.
【請求項6】 対向する所定の反射率を有するミラーに
より構成されるレーザー共振器と、 前記レーザー共振器内に配設された所定範囲の波長域に
おいてレーザー発振可能な波長可変レーザー媒質と、 前記レーザー共振器内に配設され、前記波長可変レーザ
ー媒質からの出射光が入射される複屈折性の光音響光学
素子と、 第1の音響波を生成して前記光音響光学素子へ入力する
第1の音響波入力手段と、 第2の音響波を生成して前記光音響光学素子へ入力する
第2の音響波入力手段と、 前記第1の音響波入力手段および前記第2の音響波入力
手段を制御して、前記第1の音響波入力手段にレーザー
発振可能な周波数ならびに入力強度値を備えた第1の音
響波を生成させ、前記第2の音響波入力手段にレーザー
発振不能な周波数ならびに所定値から前記第1の音響波
の入力強度値を減算した入力強度値を備えた第2の音響
波を生成する制御手段とを有するレーザー発振制御装
置。
6. A laser resonator constituted by opposed mirrors having a predetermined reflectance, a tunable laser medium capable of oscillating laser in a predetermined wavelength range provided in the laser resonator, A birefringent photoacoustic optical element disposed in a laser resonator and receiving light emitted from the wavelength tunable laser medium; and a second acoustic wave generating a first acoustic wave and inputting the first acoustic wave to the photoacoustic optical element. A first acoustic wave input means, a second acoustic wave input means for generating a second acoustic wave and inputting the generated acoustic wave to the photoacoustic optical element; a first acoustic wave input means and a second acoustic wave input means Controlling the means to cause the first acoustic wave input means to generate a first acoustic wave having a frequency capable of laser oscillation and an input intensity value; And prescribed Laser oscillation control device and a control means for generating a second acoustic wave having an input intensity value obtained by subtracting the input intensity value of the first acoustic wave from.
【請求項7】 請求項6に記載のレーザー発振制御装置
において、 前記制御手段は、前記第1の音響波の入力強度値を、前
記第1の音響波の周波数に応じて所望の状態でレーザー
発振可能なように可変するものであるレーザー発振制御
装置。
7. The laser oscillation control device according to claim 6, wherein the control unit sets the input intensity value of the first acoustic wave in a desired state in accordance with the frequency of the first acoustic wave. A laser oscillation control device that can be oscillated.
【請求項8】 請求項6に記載のレーザー発振制御装置
において、 前記制御手段は、前記第1の音響波の入力強度値を、レ
ーザー発振のために最適な値とするものであるレーザー
発振制御装置。
8. The laser oscillation control device according to claim 6, wherein the control unit sets an input intensity value of the first acoustic wave to an optimal value for laser oscillation. apparatus.
【請求項9】 請求項6、7または8のいずれか1項に
記載のレーザー発振制御装置において、 前記制御手段は、前記第1の音響波の周波数に応じて、
前記所定値を可変するものであるレーザー発振制御装
置。
9. The laser oscillation control device according to claim 6, wherein the control unit controls a frequency of the first acoustic wave.
A laser oscillation control device that changes the predetermined value.
【請求項10】 請求項6、7、8または9のいずれか
1項に記載のレーザー発振制御装置において、 前記制御手段は、前記第2の音響波の周波数を、レーザ
ー発振不能な周波数帯域内において前記第1の音響波の
周波数に応じて可変するものであるレーザー発振制御装
置。
10. The laser oscillation control device according to claim 6, wherein the control means sets the frequency of the second acoustic wave within a frequency band in which laser oscillation is not possible. 2. The laser oscillation control device according to claim 1, wherein the laser oscillation control device varies according to the frequency of the first acoustic wave.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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