JP2000009658A - Measuring method for linearity of tape - Google Patents

Measuring method for linearity of tape

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JP2000009658A
JP2000009658A JP10171797A JP17179798A JP2000009658A JP 2000009658 A JP2000009658 A JP 2000009658A JP 10171797 A JP10171797 A JP 10171797A JP 17179798 A JP17179798 A JP 17179798A JP 2000009658 A JP2000009658 A JP 2000009658A
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magnetic tape
image
linearity
data
recording pattern
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JP10171797A
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Japanese (ja)
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Hiroyuki Yoshitaka
弘幸 良尊
Masanori Okazaki
昌紀 岡崎
Hiroshi Sugiki
拓 杉木
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a measuring method in which the linearity of a visualized magnetic tape can be measured with high accuracy and at high speed by a method wherein the visualized magnetic tape is illuminated with a light source whose irradiation angle can be adjusted, the magnetic tape is imaged by a camera, an imaged image is image-analyzed and the linearity of a recording pattern is measured. SOLUTION: A magnetic tape 1 which comprises a black-and-white visualized recording pattern 2 is placed on an X-Y stage 10. A CCD camera 11 to which a control device 14 is connected via a CCD driver 13 is installed at the upper part of the X-Y stage 10. In the control device 14, a digital video board 16 which is connected to the CCD driver 13 is contained, an image processing part 17 which is composed of a preprocessing part, an FET, an analytical part, a pasting part and the like is contained, and a GPIP board 18 is contained. The movement position of the X-Y stage 10 is controlled by a controller 19. A plurality of light sources 12 are installed at the obliquely upper part of the X-Y stage 10 so as to be capable of being changed over, and an irradiation angle onto the magnetic tape 1 is changed over and controlled by the control device 14. Since an image which is imaged by the CCD camera 11 is image-processed in this manner, the linearity of the magnetic tape 1 can be measured without the intermediary of man power.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はテープ直線性測定方
法に関する。より詳しくは、回転磁気ヘッド装置の精度
の確認のために、磁気テープの記録パターンの直線性精
度を測定する方法に関するものである。
The present invention relates to a method for measuring tape linearity. More specifically, the present invention relates to a method for measuring the linearity accuracy of a recording pattern on a magnetic tape in order to confirm the accuracy of a rotary magnetic head device.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気記録方式として用いられているヘリ
カルスキャン記録方式では、記録密度の向上のため、狭
トラック化が進んでいる。この場合、トラックピッチの
減少に伴い高精度のトラック直線性測定装置が望まれて
いる。
2. Description of the Related Art In a helical scan recording system used as a magnetic recording system, a track is being narrowed in order to improve a recording density. In this case, as the track pitch decreases, a highly accurate track linearity measuring device is desired.

【0003】ヘリカルスキャン記録では、テープに対し
斜めに記録を行うために、図1に示すように、磁気テー
プ1に対し記録パターン2が角度αだけ傾斜している。
このような斜めの記録パターン2からなる磁気テープ1
が他の装置との間で再生互換を保つためには、この傾斜
角度αがいかに正確であるか、およびいかに正確に直線
的であるかが重要な問題となる。したがって、このよう
な直線性の精度は各種フォーマットによってフォーマッ
ト仕様書により厳密に規定され、ヘリカルスキャン記録
装置を製造する場合は、この直線性を厳密に測定しその
直線性を保証しなければならない。
In helical scan recording, a recording pattern 2 is inclined by an angle α with respect to a magnetic tape 1 as shown in FIG.
Magnetic tape 1 composed of such an oblique recording pattern 2
In order to maintain reproduction compatibility with other devices, it is important how exactly the inclination angle α is and how accurately the inclination angle α is linear. Therefore, the accuracy of such linearity is strictly defined by format specifications in various formats, and when manufacturing a helical scan recording device, this linearity must be strictly measured to guarantee the linearity.

【0004】従来の直線性測定方法は、測定すべき磁気
テープをステージ付きの顕微鏡のステージ上にセット
し、高倍率の顕微鏡で記録パターンのエッジ部分を観察
し、観察ができたらステージを動かして次のパターンの
エッジ部分を観察し、その間隔をステージのスケールを
用いて測定するという方法である。
In a conventional linearity measuring method, a magnetic tape to be measured is set on a stage of a microscope with a stage, and the edge portion of a recorded pattern is observed with a high-power microscope, and when the observation is completed, the stage is moved. In this method, the edge portion of the next pattern is observed, and the interval is measured using the scale of the stage.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の直線性測定方法には以下のような問題があった。 (1)磁気記録パターンのエッジは非常に見にくく、人
間の目による観察では大きな誤差を生みやすい。 (2)観察精度を上げるためには、倍率の高い対物レン
ズを使用する必要があるが、光学顕微鏡の限界がありあ
まり大きな倍率は使えない。 (3)ステージの機械的精度を上げることに技術的に限
界があり、またステージの精度を上げるためには多大な
費用が発生する。 (4)測定がすべて人間の手作業で行われるため、1回
の測定に非常に多くの時間を必要とし、作業効率が悪
い。
However, the conventional linearity measuring method has the following problems. (1) The edges of the magnetic recording pattern are very difficult to see, and large errors are likely to occur when observed by human eyes. (2) In order to increase observation accuracy, it is necessary to use an objective lens with a high magnification. However, there is a limit of an optical microscope, so that a very large magnification cannot be used. (3) There is a technical limit in improving the mechanical accuracy of the stage, and a great deal of cost is required to increase the accuracy of the stage. (4) Since all measurements are performed manually, a large amount of time is required for one measurement, resulting in poor work efficiency.

【0006】本発明は上記の点を考慮したものであっ
て、高精度でかつ高速度で直線性を測定できる磁気テー
プの直線性測定方法の提供を目的とする。
The present invention has been made in consideration of the above points, and has as its object to provide a method for measuring the linearity of a magnetic tape which can measure the linearity with high accuracy and high speed.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明では、磁気テープの記録パターンを可視化
し、可視化された磁気テープを、照射角度調整可能な光
源からの光で照明し、照明された磁気テープをカメラで
撮像し、撮像した画像の画像解析により記録パターンの
直線性を測定することを特徴とするテープ直線性測定方
法を提供する。
According to the present invention, a recording pattern of a magnetic tape is visualized, and the visualized magnetic tape is illuminated with light from a light source whose irradiation angle is adjustable. A method for measuring tape linearity, characterized in that the magnetic tape obtained is imaged by a camera, and the linearity of the recording pattern is measured by image analysis of the imaged image.

【0008】この構成によれば、カメラで撮像した記録
パターンを画像処理することにより、人手によることな
く直線性が測定でき、人間の目による誤差やステージの
精度に起因する誤差等がなくなり高精度の測定が可能に
なるとともに、人手による手間が省かれ熟練を要するこ
となく高精度の測定が短時間で行われる。また精度を上
げるための効果なステージが必要なくなり、安価な測定
システムを達成することができる。
According to this configuration, by processing the recording pattern captured by the camera, the linearity can be measured without manual operation, and errors due to human eyes and errors due to the precision of the stage are eliminated, thereby achieving high precision. Measurement can be performed, and manual labor can be omitted, and highly accurate measurement can be performed in a short time without skill. In addition, an effective stage for improving the accuracy is not required, and an inexpensive measurement system can be achieved.

【0009】好ましい構成例では、磁気テープに磁性粒
子を含むコロイド溶液を塗布することにより記録パター
ンを可視化し、この記録パターンの記録波長と照明する
光源の光の波長とに応じて、照射角度を調整することに
より、記録パターンに対応した白黒パターンを形成する
ことを特徴としている。
In a preferred configuration example, the recording pattern is visualized by applying a colloid solution containing magnetic particles to a magnetic tape, and the irradiation angle is adjusted according to the recording wavelength of the recording pattern and the wavelength of light from a light source to be illuminated. By adjusting, a black and white pattern corresponding to the recording pattern is formed.

【0010】この構成によれば、コロイド粒子が磁気テ
ープ上のN極S極の変化点に集中して凹凸が形成され、
この凹凸に対し、記録パターンの記録波長と照明する光
の波長と照射角度とを適当に選定することにより、隣接
するコロイド粒子の凹凸間の光路差を調整して光の干渉
を利用することにより記録パターンに対応した白黒パタ
ーンを形成することができる。
According to this configuration, the colloidal particles are concentrated on the change point of the N pole and the S pole on the magnetic tape to form irregularities,
By appropriately selecting the recording wavelength of the recording pattern, the wavelength of the light to be illuminated, and the irradiation angle with respect to the irregularities, the optical path difference between the irregularities of the adjacent colloid particles is adjusted to utilize the light interference. A monochrome pattern corresponding to the recording pattern can be formed.

【0011】さらに本発明においては、磁気テープの記
録パターンを可視化し、可視化された磁気テープを、照
射角度調整可能な光源からの光で照明し、照明された磁
気テープをカメラで撮像し、撮像した画像を画像処理装
置に入力し、この画像処理装置に入力された画像データ
をフーリエ変換し、フーリエ変換されたデータをフィル
タ処理し、フィルタ処理されたデータを周波数軸上で移
動し、移動したデータを逆フーリエ変換し、逆フーリエ
変換されたデータをノイズ除去のために平均化処理する
ことを特徴とするテープ直線性測定方法を提供する。
Further, in the present invention, the recording pattern of the magnetic tape is visualized, the visualized magnetic tape is illuminated with light from a light source whose irradiation angle is adjustable, and the illuminated magnetic tape is imaged by a camera. The input image is input to the image processing device, the image data input to the image processing device is Fourier-transformed, the Fourier-transformed data is filtered, the filtered data is moved on the frequency axis, and the Provided is a tape linearity measuring method, which performs inverse Fourier transform on data, and averages the inverse Fourier transformed data to remove noise.

【0012】この構成によれば、カメラで撮像され画像
処理装置(制御装置)に入力された画像データがフーリ
エ変換され、フィルタ処理によりこのデータから基準周
波数近辺のデータのみが抽出され、基準周波数が0Hz
の成分になるように周波数軸上でデータが移動され、移
動したデータが逆フーリエ変換されて直線性が判別さ
れ、さらに平均化処理によりノイズが除去され直線性が
確実に判別される。
According to this configuration, the image data captured by the camera and input to the image processing device (control device) is subjected to Fourier transform, and only data near the reference frequency is extracted from the data by the filtering process. 0Hz
The data is moved on the frequency axis so as to have a component of .times..times..times..times..times..times..times..times.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】(A)まず、画像処理に適した画
像を得るための照明方法について説明する。本発明で
は、画像処理を利用するため、磁気記録パターンを画像
処理に利用しやすい形に可視化する必要がある。この方
法としてコロイド現像液を用いる。
(A) First, an illumination method for obtaining an image suitable for image processing will be described. In the present invention, since the image processing is used, it is necessary to visualize the magnetic recording pattern in a form that can be easily used for the image processing. This method uses a colloid developer.

【0014】ここで、コロイド現像液がどのようにして
磁気記録パターンを可視化することができるかを説明す
る。コロイド現像液には、非常に小さい粒子の磁性体が
コロイド状となって含まれている。これを磁気記録され
たテープに塗布すると、図2に示すように、磁気テープ
1のN極S極間の変化点に磁性粒子であるコロイド粒子
3が集中する。これにより、テープ表面上には、磁気記
録パターンに応じた細かい凹凸を作ることが可能にな
る。本発明では、この細かい凹凸を利用して、画像処理
に適した白黒の縞模様を形成する。以下にその方法を説
明する。
Here, how the colloid developer can visualize the magnetic recording pattern will be described. The colloid developer contains a magnetic substance of very small particles in a colloidal state. When this is applied to a magnetically recorded tape, as shown in FIG. 2, the colloidal particles 3 which are magnetic particles are concentrated at a change point between the N pole and the S pole of the magnetic tape 1. This makes it possible to form fine irregularities on the tape surface according to the magnetic recording pattern. In the present invention, a black-and-white striped pattern suitable for image processing is formed using the fine unevenness. The method will be described below.

【0015】まず、単一の周波数を記録することによ
り、同じ間隔で規則正しいNSの反転を記録テープ上に
作成する。次に、規則正しく細かい凹凸が並んでいると
ころに斜めから光を照射し、真上から観測する場合を考
える。簡単のために光の波長が一定(レーザー光のよう
なもの、ここでは波長λとする。)である場合について
考える。ここで、図3に示すように、光路Aと光路Bの
光路差については、光路差=Lcosθと表わせる。こ
こで、Lは記録波長、θは光の照射角である。
First, by recording a single frequency, regular NS inversions are created on a recording tape at the same intervals. Next, a case is considered in which light is irradiated obliquely to a place where fine irregularities are regularly arranged and observed from directly above. For the sake of simplicity, a case where the wavelength of light is constant (such as laser light, here, wavelength λ) will be considered. Here, as shown in FIG. 3, the optical path difference between the optical path A and the optical path B can be expressed as: optical path difference = Lcos θ. Here, L is the recording wavelength, and θ is the light irradiation angle.

【0016】光路Aと光路Bに上記のような光路差が生
じることから、もしも、この光路差が光の波長の整数倍
であれば、即ち光路差=Nλであれば、光の干渉の関係
で上から見た場合、非常に明るく観測することができ
る。一方、光路Aと光路Bの光路差が光の波長の整数倍
+半波長分であれば、即ち光路差=(N+0.5)λで
あれば、光路Aと光路Bの間で干渉を起こしてこの部分
は暗く見える。すなわち、記録波長と観察する光の波
長、そして、光の照射を行う角度を適宜選定すれば、観
察している領域を明るく又は暗くすることが可能であ
る。
Since the above-described optical path difference occurs between the optical path A and the optical path B, if the optical path difference is an integral multiple of the wavelength of light, that is, if the optical path difference is equal to Nλ, the relationship between the light interference When viewed from above, it can be observed very brightly. On the other hand, if the optical path difference between the optical path A and the optical path B is an integral multiple of the wavelength of light + half wavelength, that is, if the optical path difference = (N + 0.5) λ, interference occurs between the optical path A and the optical path B. The leverage looks dark. That is, by appropriately selecting the recording wavelength, the wavelength of the light to be observed, and the angle at which the light is radiated, the region to be observed can be made brighter or darker.

【0017】ここで、上記の斜め照明が、通常の時期記
録装置の“ベタ記録”に関して応用された場合について
考える。通常時期記録装置は隣り合う記録トラック上に
+側と−側の2種類のアジマス角度で記録を行う“ベタ
記録”を行っている(図4参照)。この時、+アジマス
側と−アジマス側では、光の照射方向からの見た目の記
録波長が違うことになる。この性質を用いることによ
り、2つのアジマスのトラックを白黒に分けることが可
能になる。その照明の角度は、以下の方程式の解であ
る。
Here, consider the case where the above-described oblique illumination is applied to “solid recording” of a normal time recording device. The normal-time recording apparatus performs "solid recording" in which recording is performed on adjacent recording tracks at two azimuth angles of + side and-side (see FIG. 4). At this time, the apparent recording wavelength from the light irradiation direction differs between the + azimuth side and the −azimuth side. By using this property, it is possible to separate the two azimuth tracks into black and white. The angle of illumination is the solution of the following equation:

【0018】[0018]

【数1】 (Equation 1)

【0019】ここで、α:アジマス角、N:1,2,
3,・・・、L:記録波長、λ:光源の波長、β:水平
照射角、θ:仰角である。上記方程式を満たすβ、θの
方向から光を照射すればよい。VHSフォーマットのキ
ャリア周波数の記録波長L=1.7μm、緑色の光の波
長550nmとした場合のNとθとβは以下の表1のよ
うに求められる。
Here, α: azimuth angle, N: 1, 2, 2,
3,..., L: recording wavelength, λ: light source wavelength, β: horizontal irradiation angle, θ: elevation angle. Light may be emitted from the directions of β and θ that satisfy the above equation. N, θ, and β when the recording wavelength L of the carrier frequency in the VHS format is 1.7 μm and the wavelength of green light is 550 nm are obtained as shown in Table 1 below.

【0020】[0020]

【表1】 [Table 1]

【0021】上記の水平方向角度βと仰角θの関係の下
に単色光を照射すると、隣同士のトラックが明確に白と
黒になって観察することができる。実際には、光は広が
りをもって照射されてしまうが、多少波長の違う光で干
渉を起こしたり、多少コントラストが悪くなったりする
だけで、良好な白黒のコントラストを得ることができ
る。
When monochromatic light is irradiated under the relationship between the horizontal angle β and the elevation angle θ, the tracks adjacent to each other can be clearly observed as white and black. In practice, light is irradiated with a spread, but good black-and-white contrast can be obtained only by causing interference with light having slightly different wavelengths or slightly deteriorating the contrast.

【0022】(B)次に、画像処理用照明装置について
説明する。上記(A)の照明方法で説明を行ったよう
に、本発明では測定するテープに対しての照明の角度が
重要であり、またその制御が可能であることが必要であ
る。
(B) Next, an image processing illumination device will be described. As described in the illumination method (A), in the present invention, the angle of illumination with respect to the tape to be measured is important, and it is necessary that the angle can be controlled.

【0023】図5は、本発明の実施の形態に係る照明装
置の構成図である。測定すべき磁気テープ1の上方にレ
ンズ5が配設される。レンズ5は支持材6に保持され
る。支持材6にはさらに第1傾斜ステージ7および第2
傾斜ステージ8が連結して装着される。第1傾斜ステー
ジ7は、磁気テープ1が置かれた観察位置を中心に所定
方向に回転可能である。第2傾斜ステージ8は、同様
に、磁気テープ1が置かれた観察位置を中心に第1傾斜
ステージ7の回転方向と直角な方向に回転可能である。
この第1傾斜ステージ7の先端に光源9が設けられる。
FIG. 5 is a configuration diagram of a lighting device according to an embodiment of the present invention. A lens 5 is provided above the magnetic tape 1 to be measured. The lens 5 is held by a support member 6. The support member 6 further includes a first tilt stage 7 and a second tilt stage 7.
The tilt stage 8 is connected and mounted. The first tilt stage 7 is rotatable in a predetermined direction around the observation position where the magnetic tape 1 is placed. Similarly, the second tilt stage 8 is rotatable in a direction perpendicular to the rotation direction of the first tilt stage 7 around the observation position where the magnetic tape 1 is placed.
A light source 9 is provided at the tip of the first tilt stage 7.

【0024】従って、光源9は、磁気テープ1に対し、
任意の斜め上方の角度から光を照射することができる。
すなわち、傾斜ステージ7、8は、どちらも観察範囲の
中心を回転中心として回転する傾斜ステージであり、こ
れらのステージを回転させることにより、観察範囲の中
心を回転中心として、照明の角度を変えることが可能に
なる。また、これらのステージは観察される側ではな
く、レンズ側に固定されているために、広い範囲を観測
するために観測される側が移動しても、観察中心と成す
角は一定のままである。このため、一定の条件の照射角
度を保つことが可能となり、常に一定の白黒を実現する
ことが可能になる。
Therefore, the light source 9 is
Light can be emitted from any obliquely upward angle.
That is, each of the tilt stages 7 and 8 is a tilt stage that rotates around the center of the observation range as a center of rotation. By rotating these stages, the angle of illumination can be changed with the center of the observation range as the center of rotation. Becomes possible. In addition, since these stages are fixed not on the observation side but on the lens side, even if the observation side moves to observe a wide range, the angle formed with the observation center remains constant. . For this reason, it is possible to keep the irradiation angle under a certain condition, and to always realize a certain black and white.

【0025】(C)次に、白黒の境界線を高精度に認識
する方法について説明する。以上の説明で得られた画像
を、高解像度のCCDで取り込み、そのデジタルデータ
をパソコンで表示させたものが図6である。図6を水平
方向に1ラインだけスキャンしたときの画素番号と明る
さのグラフは、図7に示すようなものになる。ここで、
記録されたテープの直線性を測定する事を考える。直線
性というのは、記録されたパターンがいかに理想とされ
る傾き直線にならっているかということであるが、見方
を変えればこの図7のグラフの立ち上がりのエッジの間
隔がいかに理想の間隔にならっているかということにも
なる。そこで、このグラフの立ち上がりエッジをできる
だけ正確に、一つの画素の解像度以上に細かい精度で求
める事が要求される。そのため、以下のようなアルゴリ
ズムを考案した。
(C) Next, a method of recognizing a black and white boundary line with high accuracy will be described. FIG. 6 shows the image obtained in the above description taken in by a high-resolution CCD and the digital data is displayed on a personal computer. FIG. 7 shows a graph of pixel numbers and brightness when only one line in FIG. 6 is scanned in the horizontal direction. here,
Consider measuring the linearity of the recorded tape. The linearity refers to how the recorded pattern has an ideal inclination straight line. From a different point of view, the interval between the rising edges in the graph of FIG. It also means that it is. Therefore, it is required to find the rising edge of this graph as accurately as possible, with a finer precision than the resolution of one pixel. Therefore, the following algorithm was devised.

【0026】1.1ラインの明るさの平均値を求める。 2.若い画素番号から調べていって、1の平均値をまた
ぐところを探す。 3.2の場所を中心にあるデフォルト画素分ずれたとこ
ろから、若い方にあるデフォルト値ずれたところ、大き
い方にあるデフォルト分ずれたところまで、それぞれの
平均値を求める。 4.2の付近で3の値をまたぐポイントを探す。 5.4の付近を直線補完し、3の平均値に相当する画素
ポイントを探し出す。
1. Find the average brightness of one line. 2. It searches from the young pixel number and finds a place that straddles the average value of 1. The average value is calculated from the position shifted by the default pixel at the center of 3.2, the position shifted by the default value in the younger one, and the position shifted by the default value in the larger one. Find a point that crosses the value of 3 near 4.2. The area around 5.4 is linearly complemented, and a pixel point corresponding to the average value of 3 is found.

【0027】この方法では、全体の平均ではなく、前後
の白黒の平均をスレッシュホールドに用いるために、前
述の照明方法で説明をしたような1つの画面内での明暗
の程度の変化の影響を受けることなく、エッジポイント
を高精度に求めることが可能になる。 実際には、黒の
部分の平均と白の部分の平均がそれぞれ必要なため、最
初のエッジを求めるのではなく、2番目のエッジを求め
ている。 その精度は、100ラインのスキャンで平均
0.06画素のずれしかないような高精度である。
In this method, since the average of the front and rear black and white is used for the threshold instead of the entire average, the influence of the change in the degree of light and darkness in one screen as described in the above-described illumination method is used. The edge point can be obtained with high accuracy without receiving it. Actually, since the average of the black portion and the average of the white portion are required, the second edge is obtained instead of the first edge. The accuracy is high such that there is only an average shift of 0.06 pixels in a scan of 100 lines.

【0028】(D)次に、記録パターンの曲り具合を測
定する方法について説明する。上記図7のグラフに関し
て、上記(C)の説明の通りに全てのエッジを求めてそ
の間隔を測定すれば、そこから直線性を求めることが可
能になる。しかし、実際には、この計算に時間がかか
り、また現像ムラ、汚れ、ごみの影響を受けやすく誤差
がでやすい等の問題があり、正確な測定ができない。
(D) Next, a method for measuring the degree of bending of a recording pattern will be described. As for the graph of FIG. 7, if all edges are obtained and their intervals are measured as described in the above (C), linearity can be obtained therefrom. However, in practice, this calculation takes a long time, and there are problems such as being easily affected by development unevenness, dirt, and dust, and an error is likely to occur, so that accurate measurement cannot be performed.

【0029】そこで、曲り具合を測定するためにフーリ
エ変換を用いたモアレ観測法を用いる。この方法は、図
8に示すように、以下のようなアルゴリズムで行われ
る。
Therefore, a moire observation method using a Fourier transform is used to measure the degree of bending. This method is performed by the following algorithm as shown in FIG.

【0030】1.入力されたデータをフーリエ変換す
る。 2.分かっている基準周波数近辺のデータだけを抽出す
る。 3.基準周波数が0Hzの成分になるように周波数軸上
でデータを移動する。 4.逆フーリエ変換する。 5.ノイズ除去のために平均化処理する。
1. Fourier transform the input data. 2. Only the data near the known reference frequency is extracted. 3. Data is moved on the frequency axis so that the reference frequency becomes a component of 0 Hz. 4. Inverse Fourier transform. 5. Averaging is performed to remove noise.

【0031】これで、出てきたデータが曲り具合のデー
タになり、画素のポジションVS曲り具合画素量が示さ
れる。実際には、1画素=Xμmをあらかじめ求めてお
き、この数字をかけることにより実際の曲り具合にな
り、テープ内のポジションVS曲り具合(μm)が示さ
れる。
The data thus obtained becomes the data of the degree of bending, and the position VS of the pixel and the amount of bent state pixels are indicated. Actually, one pixel = X μm is obtained in advance, and by multiplying this number, the actual bending degree is obtained, and the position VS bending degree (μm) in the tape is indicated.

【0032】(E)次に、曲り具合を測定するためのサ
ンプリング方法について説明する。上記(D)の曲り具
合測定方法により曲り具合を補完により求めることが可
能になるが、以下のポイントが問題になる。
(E) Next, a sampling method for measuring the degree of bending will be described. The bending degree can be obtained by complementation by the bending degree measuring method (D), but the following points become problems.

【0033】1.サンプリングされたデータが正確に基
準周波数のデータとなっていない場合、エリアジングの
影響を大きく受けて誤差の大きいデータとなってしま
う。 2.サンプリングされたデータが2nで構成されていな
い場合、FFTを用いることができないため、計算に時
間がかかる。
1. If the sampled data is not exactly the data of the reference frequency, the data is greatly affected by aliasing and becomes data with a large error. 2. If the sampled data is not composed of 2 n , it takes a long time to calculate because FFT cannot be used.

【0034】そこで、図9に示すように、以下のような
アルゴリズムで、上記問題点を解決することにした。 1.前述の(C)の白黒の境界線を高精度に認識する方
法のアルゴリズムで、最初のエッジを求める。 2.同様に上記(C)のアルゴリズムで最後のエッジを
求める。 3.1のエッジ−1番目から2のエッジ+1の間のデー
タをスプラインで補完する。 4.(2のエッジ−1のエッジ)/2nでサンプリング
し直す。
Therefore, as shown in FIG. 9, the above problem is solved by the following algorithm. 1. The first edge is obtained by the algorithm of the method (C) for recognizing the black and white boundary line with high accuracy. 2. Similarly, the last edge is obtained by the algorithm (C). 3.1 Edge—The data between the first edge and the second edge + 1 is complemented by a spline. 4. Resample at (2 edges-1 edge) / 2 n .

【0035】このアルゴリズムでデータを取り直すこと
により、エッジからエッジまで正確に基準周波数分のデ
ータを取り込むことができるために、エリアジングの影
響がなくなり、計算誤差を生じなくなる。また、データ
数が2nとなるために、FFTを用いることが可能にな
り、計算時間を大幅に短縮することが可能になる。これ
により、計算誤差等は小さくなるが、逆にこの方法で
は、正確に基準周波数分だけのデータしか使わないため
に、直線性の傾きの成分が見えなくなる。そこで、以下
の方法で傾きを求める。
By re-acquisition of data by this algorithm, data of the reference frequency can be accurately acquired from edge to edge, so that the influence of aliasing is eliminated and no calculation error occurs. In addition, since the number of data is 2 n , FFT can be used, and the calculation time can be significantly reduced. As a result, calculation errors and the like are reduced, but conversely, in this method, since only data corresponding to the reference frequency is used accurately, the component of the slope of linearity becomes invisible. Therefore, the inclination is obtained by the following method.

【0036】1.あらかじめマスターを観測しておき、
基準周波数分の長さが何画素に相当するかを測定してお
く。(M画素) 2.最後のエッジと最初のエッジの間隔を求める。(X
画素) 3.以下の式で傾きを求める。(X画素−M画素)/M
画素*2n ここで、2nはサンプリングに使った2nである。これ
で、2n分割に対する傾きを求めることができる。この
値をサンプリング数からμmに直すには、まず、画素数
と長さの対応を求める必要がある。それは、上記1で測
定したマスターの長さ(Lとする)をあらかじめ測定し
ておいて、M画素=Lより、1画素=L/Mμmを求め
ることができる。次に、今回はX画素を2nでサンプリ
ングし直しているため、X画素=2n個のサンプリング
数より、1サンプリング数=X/2n画素となる。これ
らをまとめて、1サンプリング数=X*L/M/2nμ
mという補正式ででてきたデータをμmに直すことがで
きる。実際には、補完の際の誤差が生じるため、複数ト
ラックにわたって曲り具合を求め、その複数トラック間
の平均値を求めて、その画像のデータとする。
1. Observe the master in advance,
The number of pixels corresponding to the length of the reference frequency is measured. (M pixels) Find the interval between the last edge and the first edge. (X
Pixel) 3. The slope is calculated by the following equation. (X pixel−M pixel) / M
Here pixels * 2 n, 2 n is 2 n using the sampling. Thus, the inclination for the 2 n division can be obtained. In order to convert this value from the sampling number to μm, first, it is necessary to find the correspondence between the number of pixels and the length. That is, the length (L) of the master measured in 1 is measured in advance, and 1 pixel = L / M μm can be obtained from M pixels = L. Next, since the X pixels are re-sampled at 2 n this time, 1 sampling number = X / 2 n pixels from the X pixel = 2 n sampling numbers. Collectively, one sampling number = X * L / M / 2 n μ
Data obtained by the correction formula of m can be converted to μm. Actually, since an error occurs at the time of complementation, the degree of bending is obtained over a plurality of tracks, and an average value between the plurality of tracks is obtained as data of the image.

【0037】(F)次に、複数のデータを貼りあわせる
方法について説明する。今までの評価方法により1画面
内の直線性の傾き、曲り具合を求めることができるよう
になったが、以下の理由で求めるべきトラックをすべて
1画像内に入れて解析することはできない。
(F) Next, a method of pasting a plurality of data will be described. The inclination and the degree of bending in one screen can be obtained by the evaluation method up to now, but it is not possible to put all the tracks to be obtained in one image for analysis for the following reasons.

【0038】1.解析すべきトラックをちょうど1画像
に入れるのに適当な倍率のレンズを選定することが困難
である。 2.非常に多くのトラックを1画像に入れた場合、CC
Dの画素数がそのトラックに追いつかないため、入力画
像を良好な画質で得ることができない。 3.非常に多くのトラックを1画像に入れた場合、1つ
の白黒を形成する画素数が少なくなり、1画素当たりの
長さが大きくなり、画素当たりの解像度が悪くなる。 4.フーリエ変換で直線性を求める場合に1つの白黒内
の画素数が少なくなるために解析誤差が大きくなる。
1. It is difficult to select a lens with an appropriate magnification to exactly include the track to be analyzed in one image. 2. If you put too many tracks in one image, CC
Since the number of pixels of D cannot keep up with the track, an input image cannot be obtained with good image quality. 3. When a very large number of tracks are included in one image, the number of pixels forming one black and white is reduced, the length per pixel is increased, and the resolution per pixel is deteriorated. 4. When linearity is obtained by Fourier transform, the number of pixels in one black and white becomes small, so that an analysis error increases.

【0039】このような理由で1つの画像にすべてのト
ラックを入れることはできない。そこで、複数の画像か
ら1つのデータを得ることになるが、そのために、どれ
くらいの数のトラックを1つの画像に入れるのがいいの
かを求める。なぜならば、あまりに多いトラックを入れ
るのは、上記理由の通り好ましくない。逆にあまりに少
ないトラックを入れるのは、以下の理由で好ましくな
い。
For this reason, it is not possible to include all tracks in one image. Therefore, one data is obtained from a plurality of images. For that purpose, how many tracks should be included in one image is determined. This is because it is not preferable to include too many tracks as described above. Conversely, having too few tracks is undesirable for the following reasons.

【0040】1.すべてのトラックを解析するために、
何枚もの画像を入力する必要があり、解析に非常に時間
がかかる。 2.1つの画像にほんの数本しかトラックが無いという
ことは、フーリエ変換後の帯域フィルター通過後の周波
数軸上でのデータ数が少なくなって、解析後の誤差が大
きくなる。
1. To analyze every track,
Many images need to be input, and analysis takes a very long time. 2. The fact that there are only a few tracks in one image means that the number of data on the frequency axis after passing through the bandpass filter after the Fourier transform decreases, and the error after analysis increases.

【0041】すなわち、1画像中の最適なトラック数が
ある。検討の結果、今回の発明では、1024サンプリ
ング時に15〜100本ほどのトラックがある状態が最
適なトラック数であることが分かった。このように1画
像内のトラック数に制限があるため、複数の画像の解析
データを合成して、全体の解析結果とする必要がある。
That is, there is an optimum number of tracks in one image. As a result of the study, it has been found that in the present invention, the optimum number of tracks is a state where there are about 15 to 100 tracks at the time of 1024 samplings. As described above, since the number of tracks in one image is limited, it is necessary to combine analysis data of a plurality of images to obtain an overall analysis result.

【0042】そこで、各画像から得られたデータを合成
することを考える場合(図10)、まず1枚の画像から
得られるデータについて考えてみる。このデータは、開
始点からの曲り具合と傾きを得ることができる。このデ
ータは開始点を0として得られるデータであり、しかも
最初のエッジを起点として、最後のエッジまでのデータ
である。
Therefore, when combining data obtained from each image (FIG. 10), first consider data obtained from one image. With this data, the degree of bending and inclination from the starting point can be obtained. This data is data obtained with the start point being 0, and is data from the first edge to the last edge.

【0043】次に、被測定物を移動して次の画像を解析
するときを考える。このとき、被測定物を前回解析した
最後のエッジが今回の画像の最初のエッジ近辺に移動す
るように動かす。そして、同様に解析を行うと、前回解
析の最後のエッジを起点とする曲り具合と傾きを得るこ
とができる。その結果は同様に開始点を0にしたデータ
である。つまり、このデータは、前回解析を行ったデー
タの最後のポイントを0としたデータである。つまり、
最初の値を前回解析を行った結果の最後の値とするだけ
で、そのまま連続したデータになる。
Next, consider the case where the object to be measured is moved and the next image is analyzed. At this time, the object to be measured is moved so that the last edge analyzed last time moves near the first edge of the current image. When the analysis is performed in the same manner, it is possible to obtain the degree of bending and the inclination starting from the last edge of the previous analysis. The result is similarly data with the starting point set to 0. That is, this data is data with the last point of the data analyzed last time being 0. That is,
Just by setting the first value as the last value of the result of the previous analysis, continuous data is obtained as it is.

【0044】この際、被測定物の移動量は無関係になる
ためラフでよく、前回解析の最後のトラックが今回の最
初のトラックである事が判別できる程度のものでよい、
これはトラック幅程度の精度でよく、要求される精度
(0.01μm程度)に比べてはるかに大きい(VHS
で60μm程度)ものであるため、汎用のステージ等で
十分なくらいラフなものである。すなわち、従来の測定
方法のように非常に高価なステージを必要とせず、安価
なシステムを構築する事が可能になる。
At this time, since the movement amount of the object to be measured becomes irrelevant, it may be rough, and may be of such a degree that it can be determined that the last track of the previous analysis is the current first track.
This can be as high as the track width, which is much larger than the required precision (about 0.01 μm) (VHS
(Approximately 60 μm), which is sufficiently rough on a general-purpose stage or the like. That is, unlike the conventional measuring method, an extremely expensive stage is not required, and an inexpensive system can be constructed.

【0045】図11は、このシステムの構成図を示す。
前述のように黒白の可視パターン化された記録パターン
2を有する磁気テープ1は、XYステージ10上に載置
される。このXYステージの上方にCCDカメラ11が
セットされる。このCCDカメラ11は、CCDドライ
バ13を介して制御装置(画像処理装置)14に接続さ
れる。制御装置14は、CCDドライバ13に接続する
デジタルビデオボード16や、前処理部、FFTおよび
解析部および貼り付け部等のプログラムソフトからなる
画像処理部17およびGPIBボード18を含んでい
る。GPIPボード18は、GPIBケーブルを介して
コントローラ19およびXYステージ10に接続され、
コントローラ19によりXYステージ10の移動位置制
御を行う。なお、XYステージの駆動はGPIP型式に
よることなく、他の通信インターフェイス型式を用いて
もよい。
FIG. 11 shows a configuration diagram of this system.
The magnetic tape 1 having the recording pattern 2 formed into a black and white visible pattern as described above is placed on the XY stage 10. A CCD camera 11 is set above the XY stage. The CCD camera 11 is connected to a control device (image processing device) 14 via a CCD driver 13. The control device 14 includes a digital video board 16 connected to the CCD driver 13, an image processing unit 17 composed of program software such as a preprocessing unit, an FFT and an analysis unit, and a pasting unit, and a GPIB board 18. The GPIP board 18 is connected to the controller 19 and the XY stage 10 via a GPIB cable,
The controller 19 controls the movement position of the XY stage 10. It should be noted that the XY stage may be driven by another communication interface type without using the GPIP type.

【0046】XYステージ10の斜め上方には複数の光
源12が切換え可能に設けられる。これらの光源12
は、前述の(A)の照明方法で説明したように、磁気テ
ープ1に対する照射角度を調整するために、制御装置1
4により切換え制御される。各光源12を位置調整可能
に構成してもよい。また、複数の光源12を切換え可能
に設ける構成に代えて、前述の図5に示した照明装置を
用いてもよい。
Above the XY stage 10, a plurality of light sources 12 are switchably provided. These light sources 12
As described in the illumination method (A), the control device 1 controls the irradiation angle with respect to the magnetic tape 1.
Switching control is performed by the control unit 4. Each light source 12 may be configured to be position adjustable. Further, instead of the configuration in which the plurality of light sources 12 are provided so as to be switchable, the illumination device shown in FIG. 5 described above may be used.

【0047】[0047]

【発明の効果】以上説明したように、本発明では、カメ
ラで撮像した記録パターンを画像処理することにより、
人手によることなく直線性が測定でき、人間の目による
誤差やステージの精度に起因する誤差等がなくなり高精
度の測定が可能になるとともに、人手による手間が省か
れ熟練を要することなく高精度の測定が短時間で行われ
る。また精度を上げるための効果なステージが必要なく
なり、簡単な構造で安価な測定システムを達成すること
ができる。
As described above, according to the present invention, a recording pattern captured by a camera is processed by image processing.
The linearity can be measured without manual operation, and errors due to human eyes and errors due to the accuracy of the stage are eliminated, and high-precision measurement can be performed. The measurement is performed in a short time. In addition, an effective stage for improving accuracy is not required, and an inexpensive measurement system with a simple structure can be achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 磁気テープの傾斜記録パターンの説明図。FIG. 1 is an explanatory view of an inclined recording pattern of a magnetic tape.

【図2】 記録パターン可視化のためのコロイド粒子の
説明図。
FIG. 2 is an explanatory diagram of colloid particles for visualizing a recording pattern.

【図3】 コロイド粒子に対する光路差による光の干渉
の説明図。
FIG. 3 is an explanatory diagram of light interference due to an optical path difference on colloid particles.

【図4】 光の照射方向による光の干渉の説明図。FIG. 4 is an explanatory diagram of light interference depending on a light irradiation direction.

【図5】 本発明の実施形態に係る照明装置の構成図。FIG. 5 is a configuration diagram of a lighting device according to the embodiment of the present invention.

【図6】 記録パターンの入力画像の写真。FIG. 6 is a photograph of an input image of a recording pattern.

【図7】 図6の写真をスキャンして形成したグラフ。FIG. 7 is a graph formed by scanning the photograph of FIG. 6;

【図8】 フーリエ変換を用いた直線性測定方法の説明
図。
FIG. 8 is an explanatory diagram of a linearity measurement method using a Fourier transform.

【図9】 データサンプリング方法の説明図。FIG. 9 is an explanatory diagram of a data sampling method.

【図10】 データ貼り合わせ方法の説明図。FIG. 10 is an explanatory diagram of a data bonding method.

【図11】 本発明に係る直線性測定システムの構成
図。
FIG. 11 is a configuration diagram of a linearity measurement system according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:磁気テープ、2:記録パターン、3:コロイド粒
子、5:レンズ 6:支持材、7:第1傾斜ステージ、8:第2傾斜ステ
ージ、9:光源、10:XYステージ、11:CCDカ
メラ、12:光源、13:CCDドライバ、14:制御
装置、15:モニタ、16:デジタルビデオボード、1
7:画像処理部、18:GPIBボード、19:コント
ローラ。
1: magnetic tape, 2: recording pattern, 3: colloid particles, 5: lens 6: support material, 7: first tilt stage, 8: second tilt stage, 9: light source, 10: XY stage, 11: CCD camera , 12: light source, 13: CCD driver, 14: control device, 15: monitor, 16: digital video board, 1
7: image processing unit, 18: GPIB board, 19: controller.

フロントページの続き Fターム(参考) 2G051 AA73 AB20 AC12 BB01 BC07 CA03 DA07 EA02 EA11 EA12 EA16 EA25 EC03 EC04 EC05 ED11 5B057 CE02 CE06 CG05 DA03 DB02 DC02 5D091 AA03 BB01 BB03 CC09 FF02 FF20 GG02 HH20 Continued on the front page F term (reference) 2G051 AA73 AB20 AC12 BB01 BC07 CA03 DA07 EA02 EA11 EA12 EA16 EA25 EC03 EC04 EC05 ED11 5B057 CE02 CE06 CG05 DA03 DB02 DC02 5D091 AA03 BB01 BB03 CC09 FF20 FF20 GG02H

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】磁気テープの記録パターンを可視化し、 可視化された磁気テープを、照射角度調整可能な光源か
らの光で照明し、 照明された磁気テープをカメラで撮像し、 撮像した画像の画像解析により記録パターンの直線性を
測定することを特徴とするテープ直線性測定方法。
1. A visualization of a recording pattern of a magnetic tape, illuminating the visualized magnetic tape with light from a light source capable of adjusting an irradiation angle, capturing an image of the illuminated magnetic tape with a camera, and obtaining an image of the captured image. A tape linearity measuring method characterized by measuring the linearity of a recording pattern by analysis.
【請求項2】磁気テープに磁性粒子を含むコロイド溶液
を塗布することにより記録パターンを可視化し、 この記録パターンの記録波長と照明する光源の光の波長
とに応じて、照射角度を調整することにより、記録パタ
ーンに対応した白黒パターンを形成することを特徴とす
る請求項1に記載のテープ直線性測定方法。
2. A recording pattern is visualized by applying a colloid solution containing magnetic particles to a magnetic tape, and an irradiation angle is adjusted according to a recording wavelength of the recording pattern and a wavelength of light of a light source to be illuminated. 2. The method according to claim 1, wherein a black-and-white pattern corresponding to the recording pattern is formed.
【請求項3】磁気テープの記録パターンを可視化し、 可視化された磁気テープを、照射角度調整可能な光源か
らの光で照明し、 照明された磁気テープをカメラで撮像し、 撮像した画像を画像処理装置に入力し、 この画像処理装置に入力された画像データをフーリエ変
換し、 フーリエ変換されたデータをフィルタ処理し、 フィルタ処理されたデータを周波数軸上で移動し、 移動したデータを逆フーリエ変換し、 逆フーリエ変換されたデータをノイズ除去のために平均
化処理することを特徴とするテープ直線性測定方法。
3. A visualization of a recording pattern of a magnetic tape, illuminating the visualized magnetic tape with light from a light source whose irradiation angle is adjustable, capturing an image of the illuminated magnetic tape with a camera, and capturing the captured image as an image. The image data input to the image processing device is subjected to Fourier transform, the Fourier-transformed data is filtered, the filtered data is moved on the frequency axis, and the moved data is inversely Fourier-transformed. A method of measuring tape linearity, which comprises converting and performing an averaging process on the data subjected to the inverse Fourier transform in order to remove noise.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2002025929A1 (en) * 2000-09-22 2002-03-28 Applied Science Fiction Multiple-orientation image defect detection and correction
CN106338514A (en) * 2016-08-30 2017-01-18 苏州博众精工科技有限公司 Visual system compatible with detection of various products and detection method of visual system

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