JP2000006369A - Thin film printer - Google Patents

Thin film printer

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JP2000006369A
JP2000006369A JP17937398A JP17937398A JP2000006369A JP 2000006369 A JP2000006369 A JP 2000006369A JP 17937398 A JP17937398 A JP 17937398A JP 17937398 A JP17937398 A JP 17937398A JP 2000006369 A JP2000006369 A JP 2000006369A
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JP
Japan
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printing
thin film
protrusion
film
projection
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JP17937398A
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Japanese (ja)
Inventor
Takatsugi Wada
隆亜 和田
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Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce a printing unevenness of a thin film by providing a printing protrusion on a letterpress arranged on an outer periphery of a cylindrical printing roller, and providing a dummy printing protrusion to be brought into pressure contact with a printing surface before the protrusion, thereby alleviating an impact in the case of bringing the protrusion into contact with the printing surface. SOLUTION: On a letterpress 7, a printing protrusion 71 having a pattern shape to be formed and a dummy printing protrusion 72 for alleviating an impact in the case of bringing the protrusion 71 into pressure contact with a material to be printed by bringing the protrusion 72 into pressure contact with the material before the protrusion 71 is brought into pressure contact with the material. The protrusion 72 is, for example, provided at the letterpress 7 so as to be brought into pressure contact with a position out of a thin film printing range of a printing surface to be cut out after the thin film printing. Accordingly, even if a film thick distribution occurs at this position according to its impact, no influence is affected. Thus, the thin film having small printing unevenness can be printed, and a glass board having a uniform and good thin film can be formed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、印刷面に薄膜を印
刷する薄膜印刷装置に関し、特に薄膜の印刷むらを少な
くするものに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thin film printing apparatus for printing a thin film on a printing surface, and more particularly to an apparatus for reducing uneven printing of a thin film.

【0002】[0002]

【従来の技術】TV画像は、精細で中間調を持つ動画像
である。このTV画像を表示する場合には、高解像度、
高速応答、多段階調表示、高コントラスト、高信頼性、
カラー化など最も高度な技術が要求される。この点で、
CRTに表示されるTV画像の品質は非常に優れてい
る。
2. Description of the Related Art A TV image is a moving image having a fine and halftone. When displaying this TV image, high resolution,
High-speed response, multi-step display, high contrast, high reliability,
The most advanced technology such as colorization is required. In this regard,
The quality of the TV image displayed on the CRT is very good.

【0003】ところで、近年表示画像の大面積化の流れ
の中で軽量化が可能な液晶(表示)装置が注目されるよ
うになり、最近では、各画素毎にスイッチング素子を設
けてネマティック液晶を直接駆動するアクティブマトリ
ックス型液晶素子によるTV画像表示方法を中心に盛ん
に研究されている。
In recent years, liquid crystal (display) devices that can be reduced in weight in the trend of increasing the area of a display image have been receiving attention. Recently, a nematic liquid crystal has been provided by providing a switching element for each pixel. Active research has been made mainly on a TV image display method using a directly driven active matrix type liquid crystal element.

【0004】ここで、このような液晶素子に組み込むス
イッチング素子としてはTFT方式が最も優れていると
考えられるが、素子作製プロセスの複雑さ、工程数等が
大面積化への大きな障害となっている。
Here, the TFT method is considered to be the most excellent as a switching element incorporated in such a liquid crystal element. However, the complexity of the element manufacturing process, the number of steps, and the like are major obstacles to an increase in area. I have.

【0005】一方、強誘電性液晶分子の屈折率異方性を
利用して偏光素子との組み合わせにより透過光線を制御
する形の表示素子がクラーク(Clark)及びラガー
ウォル(Lagerwall)により提案されている
(特開昭56−107216号公報、米国特許第436
7924号明細書等)。
On the other hand, a display device in which transmitted light is controlled in combination with a polarizing element utilizing the refractive index anisotropy of ferroelectric liquid crystal molecules has been proposed by Clark and Lagerwall. (JP-A-56-107216, U.S. Pat.
No. 7924).

【0006】ここで、この強誘電性液晶は、一般に特定
の温度領域において、非らせん構造のカイラルスメクチ
ックC相(SmC* )又はH相(SmH* )を有し、こ
の状態において、加えられた電界に応答して第1の光学
的安定状態と第2の光学的安定状態のいずれかを取り、
且つ電界の印加のないときにはその状態を維持する性
質、すなわち双安定性を有し、また電界の変化に対応す
る応答も速やかであり、高速並びに記憶型の表示素子と
して広い利用が期待され、特にその機能から単純マトリ
ックス駆動方式による大画面で高精細な表示素子への応
用が期待されている。
Here, this ferroelectric liquid crystal generally has a non-helical chiral smectic C phase (SmC * ) or H phase (SmH * ) in a specific temperature range, and is added in this state. Taking one of a first optically stable state and a second optically stable state in response to an electric field;
In addition, it has a property of maintaining the state when no electric field is applied, that is, it has bistability, has a quick response to a change in the electric field, and is expected to be widely used as a high-speed and storage-type display element. From this function, application to a large-screen, high-definition display device using a simple matrix driving method is expected.

【0007】ところで、液晶素子には配向膜等の様々な
薄膜が形成されるが、特に強誘電性液晶の場合、その配
向制御のため50〜300Åの非常に薄い配向膜が必要
とされる。なお、このような配向膜等の薄膜を形成する
方法としては、外周面に凸版を設けた円筒状の印刷ロー
ラーを回転させ、この凸版の印刷凸部をガラス基板の印
刷面に圧接させることにより、印刷凸部に付いている薄
膜の原液をガラス基板の印刷面に転写し、薄膜を印刷す
る薄膜のフレキソ印刷法が挙げられる。
By the way, various thin films such as an alignment film are formed on a liquid crystal element. In the case of a ferroelectric liquid crystal in particular, a very thin alignment film of 50 to 300 ° is required for controlling the alignment. In addition, as a method of forming such a thin film such as an alignment film, a cylindrical printing roller provided with a relief on the outer peripheral surface is rotated, and a printing projection of the relief is pressed against a printing surface of a glass substrate. Flexographic printing of a thin film, in which an undiluted solution of a thin film attached to a printing projection is transferred to a printing surface of a glass substrate and the thin film is printed.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなフレキソ印刷により薄膜を印刷する従来の薄膜印刷
装置においては、最初に印刷凸部がガラス基板に当たる
際、ガラス基板の、印刷凸部が最初に圧接する部分に衝
撃が生じる。そして、この衝撃によりガラス基板に対す
る薄膜の原液の転写量が多くなり、これによりこの部分
の膜厚が厚くなり、印刷むらが生じる。
However, in such a conventional thin film printing apparatus that prints a thin film by flexographic printing, when the printing projection first hits the glass substrate, the printing projection of the glass substrate firstly contacts the glass substrate. An impact occurs at the pressed part. Then, due to this impact, the transfer amount of the undiluted solution of the thin film to the glass substrate increases, whereby the film thickness in this portion increases, and printing unevenness occurs.

【0009】例えば、配向膜の原液がポリアミック酸
で、この原液で200Å前後の膜厚のポリイミド薄膜を
形成しようとする場合、ガラス基板の最初に印刷凸部が
圧接する部分の膜厚は平均膜厚より40〜50Å程度厚
くなり、膜厚分布の指標である偏差=(σ/Ave)×
100(%)が強誘電性液晶に求められる6.0%を超
えてしまう。
For example, if the stock solution of the alignment film is polyamic acid and a polyimide thin film having a thickness of about 200.degree. It becomes about 40 to 50 ° thicker than the thickness, and the deviation = (σ / Ave) ×
100 (%) exceeds the 6.0% required for the ferroelectric liquid crystal.

【0010】そして、このように印刷むらにより配向膜
等に薄膜の膜厚分布が生じると、例えば強誘電性液晶デ
ィスプレイなどでは色むらやスイッチング不良を生じる
という問題点があった。
[0010] When the film thickness distribution of the thin film is generated on the alignment film or the like due to the printing unevenness, there is a problem that, for example, in a ferroelectric liquid crystal display or the like, color unevenness or switching failure occurs.

【0011】なお、他の薄膜印刷装置として、例えば特
開昭63−217324号公報に示されるもののように
印刷凸部の側部に圧力調整用凸部を形成して印刷面の各
位置による押圧力を略一定にしようとするものもある
が、このような構成のものでも最初に印刷凸部が当たる
際の衝撃を吸収することはできない。
As another thin-film printing apparatus, for example, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-217324, a pressure-adjusting convex portion is formed on the side of the printing convex portion so as to be able to press each position on the printing surface. Although some attempts are made to make the pressure substantially constant, even with such a configuration, it is not possible to absorb the impact when the printing projection first hits.

【0012】そこで、本発明は上記の問題点を解決する
ために発明されたものであり、薄膜の印刷むらを少なく
できる薄膜印刷装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and has as its object to provide a thin film printing apparatus capable of reducing uneven printing of a thin film.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明は、円筒状の印刷
ローラーの外周面に配された凸版の印刷凸部によって印
刷面に薄膜を印刷する薄膜印刷装置において、前記凸版
に前記印刷凸部よりも先に前記印刷面に圧接するダミー
印刷凸部を設けたことを特徴とするものである。
According to the present invention, there is provided a thin-film printing apparatus for printing a thin film on a printing surface by using a printing convex portion of a relief plate arranged on an outer peripheral surface of a cylindrical printing roller. In this case, a dummy printing convex portion that is pressed against the printing surface is provided earlier.

【0014】また本発明は、前記ダミー印刷凸部を、前
記印刷面の薄膜印刷範囲から外れた位置に圧接するよう
前記凸版に設けたことを特徴とするものである。
Further, the present invention is characterized in that the dummy printing projection is provided on the relief printing plate so as to be pressed against a position outside the thin-film printing area of the printing surface.

【0015】また本発明のように、円筒状の印刷ローラ
ーの外周面に配された凸版にダミー印刷凸部を設け、こ
のダミー印刷凸部を印刷凸部よりも先に印刷面に圧接さ
せて、印刷凸部が印刷面に当たる際の衝撃を緩和する。
Further, as in the present invention, a dummy printing projection is provided on a relief plate arranged on the outer peripheral surface of a cylindrical printing roller, and the dummy printing projection is pressed against the printing surface prior to the printing projection. In addition, the impact when the printing projection hits the printing surface is reduced.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を用いて詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0017】図1は本実施の形態に係る薄膜印刷装置の
基本構成を示す図である。同図において、1は薄膜形成
材料(以下、インキという)を表面に均一に保持する展
色テーブルであり、この展色テーブル1は不図示の昇降
機構により上下に移動可能で、かつモータ5によりスピ
ン(回転)可能となっている。なお、この展色テーブル
1は、平坦な金属、ガラス、または高分子材料からな
り、その形状は形成しようとするパターンよりも広い面
積を有する円盤形状である。
FIG. 1 is a diagram showing a basic configuration of a thin film printing apparatus according to the present embodiment. Referring to FIG. 1, reference numeral 1 denotes a developing color table for uniformly holding a thin film forming material (hereinafter referred to as ink) on the surface. The developing color table 1 can be moved up and down by a lifting mechanism (not shown) and a motor 5. Spin (rotation) is possible. The coloring table 1 is made of flat metal, glass, or a polymer material, and has a disk shape having a larger area than a pattern to be formed.

【0018】また、2は展色テーブル1にインキを吐出
するインキ供給部であり、このインキ供給部2は展色テ
ーブル1が下側(破線)の位置にあるとき破線で示す位
置に移動して展色テーブル1の中心に加圧タンク3から
インキKを一定量吐出するようになっている。ここで、
このインキKは低粘度のものであり、粘度は数cp〜2
000cpで、樹脂又は樹脂前駆体及び溶剤の混合物か
らなるものである。
Reference numeral 2 denotes an ink supply unit for discharging ink to the developed color table 1. The ink supply unit 2 moves to the position shown by the broken line when the developed color table 1 is at the lower position (broken line). The ink K is discharged from the pressurized tank 3 to the center of the display table 1 in a fixed amount. here,
This ink K has a low viscosity and has a viscosity of several cp to 2 cp.
000 cp and is composed of a mixture of a resin or a resin precursor and a solvent.

【0019】ところで、このようにインキKを吐出した
後、インキ供給部2は実線で示す位置にスライド移動す
るようになっている。また、展色テーブル1はインクK
が吐出された後、上昇してスピンカップ4の外へ出るよ
うになっている。そして、このようにスピンカップ4の
外へ出た後、モータ5により設定時間、設定回転数にて
スピンし、吐出されたインキKを表面に均一に広げるよ
うにしている。なお、このようにインキKを表面に均一
に広げた後、展色テーブル1は、所定の位置まで上昇
し、固定されるようになっている。
After the ink K is ejected, the ink supply unit 2 is slid to the position shown by the solid line. In addition, the exhibition color table 1 uses the ink K
Is ejected and then rises and comes out of the spin cup 4. After leaving the spin cup 4 in this manner, the motor 5 spins for a set time and a set number of revolutions so that the ejected ink K is evenly spread on the surface. After the ink K is evenly spread on the surface in this way, the spread color table 1 is raised to a predetermined position and fixed.

【0020】一方、同図において、6は印刷ローラであ
る版胴であり、この版胴6の外周面には凸版7が配され
ている。ここで、この版胴6は、インキKを表面に均一
に広げた状態で所定の位置まで上昇し、固定されている
展色テーブル1の上方に移動した後、回転するようにな
っている。
On the other hand, in the figure, reference numeral 6 denotes a plate cylinder which is a printing roller, and a relief plate 7 is arranged on the outer peripheral surface of the plate cylinder 6. Here, the plate cylinder 6 rises to a predetermined position in a state where the ink K is spread evenly on the surface, moves above the fixed developing table 1, and then rotates.

【0021】そして、このように版胴6が回転すると、
版胴6の外周面に配された凸版7が展色テーブル1の表
面に当接し、凸版表面にインキが転移されるようになっ
ている。なお、この凸版7は形成しようとするパターン
形状を有すると共に、例えばブチルゴム等のゴム又はナ
イロン系樹脂、あるいは感光性ゴム又は感光性樹脂より
成形されたものである。
When the plate cylinder 6 rotates as described above,
The letterpress 7 arranged on the outer peripheral surface of the plate cylinder 6 comes into contact with the surface of the color developing table 1 so that the ink is transferred to the letterpress surface. The relief printing plate 7 has a pattern shape to be formed, and is formed of rubber such as butyl rubber or a nylon resin, or photosensitive rubber or photosensitive resin.

【0022】さらに、このように凸版表面にインキが転
移された後、版胴6はインキを表面に転移する被印刷体
8の上方に移動した後、回転するようになっている。そ
して、このように版胴6が回転すると、表面にインキが
転移されている凸版7が被印刷体8の表面に圧接し、被
印刷体表面にインキが転移され、薄膜が印刷されるよう
になっている。ここで、この被印刷体8としてはガラス
基板等の表面が平滑なものを用いる。なお、同図におい
て、9は被印刷体8を支持するステージである。
Further, after the ink has been transferred to the relief printing plate surface in this way, the plate cylinder 6 moves above the printing material 8 which transfers the ink to the surface, and then rotates. Then, when the plate cylinder 6 rotates in this manner, the relief printing plate 7 having the ink transferred to the surface thereof is pressed against the surface of the printing medium 8, the ink is transferred to the printing medium surface, and a thin film is printed. Has become. Here, as the printing medium 8, a glass substrate or the like having a smooth surface is used. In FIG. 1, reference numeral 9 denotes a stage for supporting the printing medium 8.

【0023】ところで、図2は凸版7の平面図であり、
同図に示すように凸版7は、形成しようとするパターン
形状を有する印刷凸部71と、ダミー印刷凸部72とが
形成されている。ここで、このダミー印刷凸部72は、
印刷凸部71が被印刷体8に圧接する前に被印刷体8に
圧接して印刷凸部71が被印刷体8が圧接する際の衝撃
を軽減するためのものである。なお、同図において、7
3は版胴6の外周面に凸版7を配する際、版中心と基板
中心とを一致させるためのアライメントマークである。
FIG. 2 is a plan view of the relief printing plate 7,
As shown in the figure, the relief printing plate 7 has a printing projection 71 having a pattern shape to be formed and a dummy printing projection 72. Here, the dummy print projection 72 is
This is for reducing the impact when the printing projection 71 presses against the printing medium 8 before the printing projection 71 presses against the printing medium 8. Note that in FIG.
Reference numeral 3 denotes an alignment mark for aligning the center of the plate with the center of the substrate when disposing the relief plate 7 on the outer peripheral surface of the plate cylinder 6.

【0024】そして、このようにダミー印刷凸部72に
より、印刷凸部71が被印刷体8に圧接する際の衝撃を
軽減することにより、印刷むらの少ない薄膜を印刷する
ことができる。これにより、均一で良好な薄膜を有する
ガラス基板を形成することができ、高信頼性・高品質の
液晶素子及びこれを備えた液晶装置を得ることができ
る。
In this way, the dummy printing projections 72 reduce the impact when the printing projections 71 are pressed against the printing medium 8, so that a thin film with less printing unevenness can be printed. Accordingly, a glass substrate having a uniform and favorable thin film can be formed, and a highly reliable and high quality liquid crystal element and a liquid crystal device having the same can be obtained.

【0025】なお、このダミー印刷凸部72が被印刷体
8が圧接する際には衝撃が生じるが、ダミー印刷凸部7
2は、例えば薄膜印刷後切り取られるようになっている
印刷面の薄膜印刷範囲から外れた位置に圧接するよう凸
版7に設けられていることから、この位置に衝撃により
薄膜の膜厚分布が生じても影響は生じない。
When the dummy print projection 72 comes into pressure contact with the printing medium 8, an impact is generated.
For example, since the relief plate 2 is provided on the relief plate 7 so as to be pressed against a position out of the thin-film printing area of the printing surface which is cut off after the thin-film printing, the impact causes a film thickness distribution of the thin film at this position. There is no effect.

【0026】次に、このように構成された薄膜形成装置
における薄膜形成動作について説明する。
Next, a description will be given of a thin film forming operation in the thin film forming apparatus thus configured.

【0027】まず、図1に示すように展色テーブル1が
下側(破線)の位置に移動し、この後インキ供給部2が
破線で示す位置に移動して展色テーブル1の中心に加圧
タンク3からインキKを一定量吐出する。この後、イン
キ供給部2は、実線で示す位置にスライド移動し、展色
テーブル1は上昇してスピンカップ4の外へ出る。
First, as shown in FIG. 1, the spread color table 1 is moved to the lower position (broken line), and thereafter the ink supply unit 2 is moved to the position shown by broken line and added to the center of the spread color table 1. A predetermined amount of ink K is discharged from the pressure tank 3. Thereafter, the ink supply unit 2 slides to the position shown by the solid line, and the developed color table 1 rises and goes out of the spin cup 4.

【0028】次に、このようにスピンカップ4の外に出
た展色テーブル1は、モータ5により設定時間、設定回
転数にてスピンし、吐出されたインキKを表面に均一に
広げる。この後、展色テーブル1は、所定の位置まで上
昇し、固定される。
Next, the developed color table 1 that has come out of the spin cup 4 is spun by the motor 5 for a set time and a set number of revolutions, and the ejected ink K is spread evenly on the surface. Thereafter, the developed color table 1 is raised to a predetermined position and fixed.

【0029】次に、版胴6が同図に示す位置から図3に
示すように、所定の位置まで上昇し、固定されている展
色テーブル1の上方に移動した後、回転する。これによ
り、版胴6の外周面に配した凸版7が展色テーブル表面
に圧接し、展色テーブル表面のインキKが凸版7表面、
具体的には印刷凸部71及びダミー印刷凸部72(図2
参照)に転移する。
Next, the plate cylinder 6 rises from the position shown in the figure to a predetermined position as shown in FIG. 3, moves to a position above the fixed developing table 1, and then rotates. As a result, the relief plate 7 arranged on the outer peripheral surface of the plate cylinder 6 is pressed against the surface of the color developing table, and the ink K on the surface of the color developing table is moved to the surface of the relief plate 7,
Specifically, the printing projection 71 and the dummy printing projection 72 (FIG. 2)
See).

【0030】次に、このように凸版7表面にインキが転
移した後、版胴6が同図に示す位置から図4に示すよう
に被印刷体8の上方に移動し、回転する。これにより、
凸版7が被印刷体8に圧接してインキKを被印刷体8表
面に転移させ、薄膜を形成する。
Next, after the ink is transferred to the surface of the relief printing plate 7, the plate cylinder 6 is moved from the position shown in FIG. 4 to above the printing material 8 as shown in FIG. This allows
The relief printing plate 7 is pressed against the printing medium 8 to transfer the ink K to the surface of the printing medium 8 to form a thin film.

【0031】ここで、この印刷の際、印刷凸部71が被
印刷体8に圧接する前に、ダミー印刷凸部72が被印刷
体8に圧接するので、印刷凸部71が被印刷体8に圧接
する際の衝撃は軽減される。
Here, during this printing, before the printing projection 71 presses against the printing medium 8, the dummy printing projection 72 presses against the printing medium 8. The impact at the time of pressing against is reduced.

【0032】そして、このようにダミー印刷凸部72に
よって印刷凸部71が被印刷体8に圧接する際の衝撃を
軽減することにより、圧接部分の膜厚が高くならず、偏
差=(σ/Ave)×100(%)が6.0%以内のほ
ぼ均一な膜厚分布の薄膜を得ることができる。
By reducing the impact when the printing projection 71 is pressed against the printing medium 8 by the dummy printing projection 72 in this manner, the thickness of the pressed portion does not increase, and the deviation = (σ / (Ave) × 100 (%) can be obtained as a thin film having a substantially uniform film thickness distribution within 6.0%.

【0033】次に、本実施の形態の実施例を示す。Next, an example of this embodiment will be described.

【0034】(第1実施例)まず、被印刷体8として1
mm厚のガラス基板を用い、このガラス基板にAlをス
パッタ法で約1500Å成膜し、エリプソメータによる
膜厚測定用モニターとした。次に、このガラス基板の上
に本実施の形態に係る薄膜印刷装置により、ポリイミド
配向膜を耐溶剤性樹脂版:APR版を用いてフレキソ印
刷し、焼成を行って約200Å形成した。
(First Embodiment) First, 1
Using a glass substrate having a thickness of 1 mm, Al was formed on this glass substrate by sputtering at a thickness of about 1500 ° to provide a monitor for measuring the film thickness by an ellipsometer. Next, a polyimide alignment film was flexographically printed on the glass substrate by using a thin film printing apparatus according to the present embodiment using a solvent-resistant resin plate: APR plate, and baked to form about 200 mm.

【0035】なお、本実施例において、ポリイミド配向
膜形成用の印刷溶液(インキ)として、日立化成社製L
Q1800を99.5%以上の超高純度NMP及びnB
Cで重量比LQ1800:NMP:nBC=9.86:
50.14:40.00となるように希釈した液を用い
た。また、展色テーブル1を1000rpmで20se
c回転させ、印刷溶液を展色テーブル上にほぼ均一に広
げた。さらに、凸版は、既述した図2に示すものを用い
た。
In this embodiment, a printing solution (ink) for forming a polyimide alignment film was prepared by Hitachi Chemical Co., Ltd.
Ultra-high purity NMP and nB of 99.5% or more
C: weight ratio LQ1800: NMP: nBC = 9.86:
A solution diluted to 50.14: 40.00 was used. In addition, the exhibition color table 1 is set at 1000 rpm for 20 seconds.
After the rotation of c, the printing solution was spread almost uniformly on the developing table. Further, the letterpress used was the one shown in FIG. 2 described above.

【0036】図5は、このように印刷された後、焼成さ
れた薄膜のエリプソメタによる測定結果を示すものであ
り、同図からも明らかなようにダミー印刷凸部を設けた
凸版を用いた場合、凸版の印刷凸部がガラス基板に最初
に圧接する部分の膜厚が高くならず、偏差=(σ/Av
e)×100(%)が6.0%以内のほぼ均一な膜厚分
布の薄膜が得られた。
FIG. 5 shows the result of measurement of the thin film printed and fired by the ellipsometer in the case of using a relief plate provided with a dummy printing projection as is apparent from FIG. The thickness of the portion where the printing convex portion of the relief printing plate first comes into pressure contact with the glass substrate does not increase, and the deviation = (σ / Av
e) A thin film having a substantially uniform film thickness distribution of x100 (%) within 6.0% was obtained.

【0037】(第2実施例)まず、被印刷体8として1
mm厚のガラス基板を用い、このガラス基板にAlをス
パッタ法で約1500Å成膜し、エリプソメータによる
膜厚測定用モニターとした。次に、このガラス基板の上
に本実施の形態に係る薄膜印刷装置により、ポリイミド
配向膜を耐溶剤性樹脂版:APR版を用いてフレキソ印
刷し、焼成を行って約200Å形成した。
(Second Embodiment) First, 1
Using a glass substrate having a thickness of 1 mm, Al was formed on this glass substrate by sputtering at a thickness of about 1500 ° to provide a monitor for measuring the film thickness by an ellipsometer. Next, a polyimide alignment film was flexographically printed on the glass substrate by using a thin film printing apparatus according to the present embodiment using a solvent-resistant resin plate: APR plate, and baked to form about 200 mm.

【0038】なお、本実施例において、ポリイミド配向
膜形成用の印刷溶液(インキ)として、日立化成社製L
Q1800を99.5%以上の超高純度NMP及びnB
Cで重量比LQ1800:NMP:nBC=9.86:
50.14:40.00となるように希釈した液を用い
た。
In this embodiment, a printing solution (ink) for forming a polyimide alignment film was prepared by Hitachi Chemical Co., Ltd.
Ultra-high purity NMP and nB of 99.5% or more
C: weight ratio LQ1800: NMP: nBC = 9.86:
A solution diluted to 50.14: 40.00 was used.

【0039】また、展色テーブル1は1000rpmで
20sec回転させ、印刷溶液を展色テーブル上にほぼ
均一に広げた。さらに、本実施例において、凸版は図6
に示すものを用いた。なお、同図において、74はダミ
ー印刷凸部であり、このダミー印刷凸部74も、薄膜印
刷後切り取られるようになっている印刷面の薄膜印刷範
囲から外れた位置に圧接するよう凸版7に設けられてい
る。
Further, the printing table 1 was rotated at 1000 rpm for 20 seconds, and the printing solution was spread almost uniformly on the printing table. Further, in the present embodiment, the letterpress is shown in FIG.
The following was used. In the same figure, reference numeral 74 denotes a dummy printing convex portion, and the dummy printing convex portion 74 is also pressed against the relief plate 7 so as to be pressed against a position out of the thin film printing range of the printing surface which is cut off after the thin film printing. Is provided.

【0040】図7は、このように印刷された後、焼成さ
れた薄膜のエリプソメタによる測定結果を示すものであ
り、同図からも明らかなようにダミー印刷凸部を設けた
凸版を用いた場合、凸版の印刷凸部がガラス基板に最初
に圧接する部分の膜厚が高くならず、偏差=(σ/Av
e)×100(%)が6.0%以内のほぼ均一な膜厚分
布の薄膜が得られた。
FIG. 7 shows the results of measurement of the thin film printed and baked in this way by ellipsometry. As can be seen from FIG. 7, the case where a relief plate provided with a dummy printing projection is used. The thickness of the portion where the printing convex portion of the relief printing plate first comes into pressure contact with the glass substrate does not increase, and the deviation = (σ / Av
e) A thin film having a substantially uniform film thickness distribution of x100 (%) within 6.0% was obtained.

【0041】次に、比較例について説明する。Next, a comparative example will be described.

【0042】(比較例)まず、被印刷体8として1mm
厚のガラス基板を用い、このガラス基板にAlをスパッ
タ法で約1500Å成膜し、エリプソメータによる膜厚
測定用モニターとした。次に、このガラス基板の上に本
実施の形態に係る薄膜印刷装置により、ポリイミド配向
膜を耐溶剤性樹脂版:APR版を用いてフレキソ印刷
し、焼成を行って約200Å形成した。
(Comparative Example) First, the printing medium 8 was 1 mm
Using a thick glass substrate, Al was deposited on this glass substrate by sputtering at a thickness of about 1500 ° to provide a monitor for film thickness measurement by an ellipsometer. Next, a polyimide alignment film was flexographically printed on the glass substrate by using a thin film printing apparatus according to the present embodiment using a solvent-resistant resin plate: APR plate, and baked to form about 200 mm.

【0043】なお、本比較例において、ポリイミド配向
膜形成用の印刷溶液(インキ)として、日立化成社製L
Q1800を99.5%以上の超高純度NMP及びnB
Cで重量比LQ1800:NMP:nBC=9.86:
50.14:40.00となるように希釈した液を用い
た。また、展色テーブルは1000rpmで20sec
回転させ印刷溶液を展色テーブル上にほぼ均一に広げ
た。
In this comparative example, as a printing solution (ink) for forming a polyimide alignment film, L was manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.
Ultra-high purity NMP and nB of 99.5% or more
C: weight ratio LQ1800: NMP: nBC = 9.86:
A solution diluted to 50.14: 40.00 was used. The exhibition color table is 20 seconds at 1000 rpm.
The printing solution was rotated to spread the printing solution almost uniformly on the color developing table.

【0044】さらに、本比較例において、凸版は図8に
示すようにダミー印刷部が設けられていないものを用い
た。
Further, in this comparative example, a letterpress having no dummy printing portion was used as shown in FIG.

【0045】図9は、このように印刷された後、焼成さ
れた薄膜のエリプソメタによる測定結果を示すものであ
り、同図からも明らかなようにダミー印刷凸部を設けて
いない凸版を用いた場合、凸版の印刷凸部がガラス基板
に最初に圧接する部分の膜厚が高くなり、偏差=(σ/
Ave)×100(%)が8.0%を超えてしまい、均
一な膜厚分布にはならなかった。
FIG. 9 shows the results of measurement of the thin film printed and fired by the ellipsometer in this manner. As is apparent from FIG. 9, a relief plate having no dummy print projection was used. In this case, the thickness of the portion where the printing convex portion of the relief printing plate is first pressed against the glass substrate becomes high, and the deviation = (σ /
(Ave) × 100 (%) exceeded 8.0%, and a uniform film thickness distribution was not obtained.

【0046】[0046]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、円
筒状の印刷ローラーの外周面に配された凸版にダミー印
刷凸部を設け、このダミー印刷凸部を印刷凸部よりも先
に印刷面に圧接させることにより、印刷凸部が印刷面に
当たる際の衝撃を緩和することができ、薄膜の印刷むら
を少なくすることができる。
As described above, according to the present invention, a dummy printing projection is provided on a relief plate arranged on the outer peripheral surface of a cylindrical printing roller, and the dummy printing projection is formed before the printing projection. By contacting the printing surface with the printing surface, it is possible to reduce the impact when the printing projection hits the printing surface, and it is possible to reduce the printing unevenness of the thin film.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態に係る薄膜印刷装置の基本
構成を示す図。
FIG. 1 is a diagram showing a basic configuration of a thin film printing apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】上記薄膜印刷装置に用いられる凸版の平面図。FIG. 2 is a plan view of a relief plate used in the thin film printing apparatus.

【図3】上記薄膜印刷装置の薄膜印刷動作の一部を説明
する図。
FIG. 3 is a diagram illustrating a part of a thin film printing operation of the thin film printing apparatus.

【図4】上記薄膜印刷装置の薄膜印刷動作の他の一部を
説明する図。
FIG. 4 is a view for explaining another part of the thin film printing operation of the thin film printing apparatus.

【図5】本実施の形態の第1実施例に係る膜厚分布測定
結果を示す図。
FIG. 5 is a diagram showing a film thickness distribution measurement result according to a first example of the present embodiment.

【図6】本実施の形態の第2実施例において用いた凸版
の平面図。
FIG. 6 is a plan view of a letterpress used in a second example of the present embodiment.

【図7】上記第2実施例に係る膜厚分布測定結果を示す
図。
FIG. 7 is a view showing a film thickness distribution measurement result according to the second embodiment.

【図8】本実施の形態の比較例において用いた凸版の平
面図。
FIG. 8 is a plan view of a relief plate used in a comparative example of the present embodiment.

【図9】上記比較例に係る膜厚分布測定結果を示す図。FIG. 9 is a view showing a result of measuring a film thickness distribution according to the comparative example.

【符号の説明】 1 展色テーブル 2 インキ供給部 5 回転用モータ 6 胴版 7 凸版 71 印刷凸部 72,74 ダミー印刷凸部 8 被印刷体 K インキ[Description of Signs] 1 Developing color table 2 Ink supply unit 5 Rotating motor 6 Body plate 7 Letterpress 71 Printing projection 72, 74 Dummy printing projection 8 Printed object K ink

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 円筒状の印刷ローラーの外周面に配され
た凸版の印刷凸部によって印刷面に薄膜を印刷する薄膜
印刷装置において、 前記凸版に前記印刷凸部よりも先に前記印刷面に圧接す
るダミー印刷凸部を設けたことを特徴とする薄膜印刷装
置。
1. A thin-film printing apparatus that prints a thin film on a printing surface by a printing ridge of a relief plate disposed on an outer peripheral surface of a cylindrical printing roller, wherein the printing plate is provided on the printing surface earlier than the printing projection portion. A thin-film printing apparatus comprising a dummy printing projection to be pressed against.
【請求項2】 前記ダミー印刷凸部を、前記印刷面の薄
膜印刷範囲から外れた位置に圧接するよう前記凸版に設
けたことを特徴とする請求項1記載の薄膜印刷装置。
2. The thin-film printing apparatus according to claim 1, wherein the dummy printing projection is provided on the relief printing plate so as to be pressed against a position outside the thin-film printing range on the printing surface.
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JP2010049226A (en) * 2008-08-25 2010-03-04 Lg Display Co Ltd Method and device for printing alignment film
US8141483B2 (en) 2008-08-25 2012-03-27 Lg. Display Co. Ltd. Printing plate and method of printing an alignment film using the same

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