ITRM910686A1 - STRUTTURA POLARIZZATA PER PROCESSI AL PLASMA CHE PERMETTE LyINSEGUIMENTO DEL PROFILO DI SUBSTRATI ANCHE NON PIANI, PER PROCESSI "PECVD", "SPUTTERING" E SIMILI. - Google Patents

STRUTTURA POLARIZZATA PER PROCESSI AL PLASMA CHE PERMETTE LyINSEGUIMENTO DEL PROFILO DI SUBSTRATI ANCHE NON PIANI, PER PROCESSI "PECVD", "SPUTTERING" E SIMILI.

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ITRM910686A1
ITRM910686A1 IT000686A ITRM910686A ITRM910686A1 IT RM910686 A1 ITRM910686 A1 IT RM910686A1 IT 000686 A IT000686 A IT 000686A IT RM910686 A ITRM910686 A IT RM910686A IT RM910686 A1 ITRM910686 A1 IT RM910686A1
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IT
Italy
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pecvd
sputtering
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IT000686A
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Agostino Riccardo D
Carlo Misiano
Enrico Simonetti
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Consorzio Ct Delle Tecnologie Del Vuoto Ce T
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