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L'invenzione riguarda un dispositivo di controllo per un espositore per lastre fotolitografiche negative e positive comprendente mezzi di regolazione (18, 22, 26, 39, 41, 43, 44, 49) operativamente connessi ad una lampada a scarica in gas (1) per mantenere sostanzialmente costante nel tempo una corrente di alimentazione di detta lampada (1), in modo da conservare sostanzialmente invariata la sua intensità luminosa; preferibilmente il sistema comprende anche ulteriori mezzi di regolazione (18, 24, 28, 30) operativamente, connessi ad un ventilatore (2) per mantenere ad un determinato valore la temperatura di detta lampada (1). (Fig. 1)
IT92MI001396A1992-06-051992-06-05Dispositivo di controllo di un espositore per lastre fotolitografiche negative e positive
IT1265684B1
(it)