FR939658A - Dispositif d'examen de la structure cristalline à l'aide de rayons électroniques - Google Patents
Dispositif d'examen de la structure cristalline à l'aide de rayons électroniquesInfo
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
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Family Applications (1)
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