FR939658A - Dispositif d'examen de la structure cristalline à l'aide de rayons électroniques - Google Patents

Dispositif d'examen de la structure cristalline à l'aide de rayons électroniques

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    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/295Electron or ion diffraction tubes

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