FR368717A - Procédé de production d'arcs à flammes de haute tension pour le traitement de l'air ou des gaz - Google Patents

Procédé de production d'arcs à flammes de haute tension pour le traitement de l'air ou des gaz

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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32055Arc discharge

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