FR3132946B1 - Procede de realisation d’un detecteur elementaire pour un capteur infrarouge, detecteur elementaire et capteur infrarouge associes - Google Patents

Procede de realisation d’un detecteur elementaire pour un capteur infrarouge, detecteur elementaire et capteur infrarouge associes Download PDF

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Abstract

L’invention concerne un procédé de réalisation d’au moins un détecteur élémentaire (10a) d’un rayonnement infrarouge, chaque détecteur élémentaire (10a) comprenant au moins deux micro-bolomètres (11) associés chacun à un filtre distinct (21a-21c) d’une fenêtre optique (13), le procédé comprenant les étapes suivantes :– réalisation des micro-bolomètres (11) sur un substrat d’embase (12) ;– gravure d’au moins une partie d’une face interne (16) de la fenêtre optique (13) pour définir deux niveaux de profondeurs distincts : un niveau de liaison (NL) et un niveau cavité (NC) ;– structuration d’un ensemble de réseaux périodiques de diffraction spécifiques (21a-21c) avec des propriétés de filtration distinctes en termes de longueurs d’onde dans le niveau cavité ;– report du niveau de liaison de la fenêtre optique sur des zones de support (25) du substrat d’embase ; et– collage direct de type SAB du niveau de liaison sur le substrat d’embase. Figure pour l’abrégé : Fig 4
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FR2936868B1 (fr) * 2008-10-07 2011-02-18 Ulis Detecteur thermique a micro-encapsulation.
EP2264765A1 (fr) * 2009-06-19 2010-12-22 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Boîtier pour dispositif micro à rayonnement infrarouge et procédé pour fabriquer ledit boîtier
FR2985576B1 (fr) 2012-01-05 2014-10-17 Ulis Detecteur infrarouge comportant un boitier integrant au moins un reseau de diffraction
US9761740B2 (en) * 2012-03-23 2017-09-12 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. Electromagnetic radiation micro device, wafer element and method for manufacturing such a micro device
KR102089866B1 (ko) * 2018-09-19 2020-04-23 한국과학기술원 멤스 소자 및 멤스 디바이스의 제조 방법
FR3103551B1 (fr) 2019-11-27 2021-12-17 Commissariat Energie Atomique Procédé de fabrication d’un dispositif de détection comportant une etape de collage direct d’une couche mince de scellement munie d’un matériau getter
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